JP4465418B2

JP4465418B2 - Ceiling transport vehicle temporary stop device

Info

Publication number: JP4465418B2
Application number: JP2000209149A
Authority: JP
Inventors: 正直村田; 潤一黒川; 明石倉
Original assignee: Muratec Automation Co Ltd
Current assignee: Muratec Automation Co Ltd
Priority date: 2000-07-11
Filing date: 2000-07-11
Publication date: 2010-05-19
Anticipated expiration: 2020-07-11
Also published as: JP2002019605A

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a temporary stop device for an overhead carrying truck and a lifting implement for it capable of suspending the travelling of the overhead carrying truck in a simple operation. SOLUTION: The temporary stop device A is integrally connected to a lifting tool B and lifted so that it is temporarily fixed on a rail R. The temporary stop device A comprises a light reflector 5 having a light reflecting face 5a for reflecting the light L beamed from a light sensor 3 on an overhead carrying truck V and a supporting part 6 installed a magnetic plate M magnetic attracted by a magnet 2 attached on the under surface of the rail R.

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造工場等において、天井に敷設されたレールに、吊下げ状態で走行する天井搬送車を一時停止させるための装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の技術を説明するに当たり、本発明の実施例の図面を援用する。図８に示されるように、半導体製造工場では、天井ＷにレールＲが敷設されていて、多数台の天井搬送車Ｖが物品（ウェハキャリア）を搬送するために、前記レールＲに案内されて連なった状態で走行する。これらの天井搬送車Ｖの車体１には光センサ装置３が取付けられていて、各天井搬送車Ｖは、前記光センサ装置３から常に前方に光Ｌを発しながら走行する。そして、前方に存する障害物（例えば、前走する天井搬送車）からの反射光を受光することにより、当該障害物との距離が計測される。この距離が設定値以下になると、天井搬送車Ｖは減速し、更には停止する。こうすることによって、天井搬送車Ｖとその前方に存する障害物との衝突が防止される。
【０００３】
前記半導体製造工場において、工場に設置された各種の半導体製造装置Ｈ、或いはレールＲの保守・点検を行う場合、天井搬送車Ｖの走行を一時的に停止させる必要がある。本格的な天井搬送車Ｖの停止は、工場をあげてのものであるが、ちょっとした停止を行いたい場合がある。各天井搬送車Ｖは、床面Ｆに設置された制御装置（図示せず）によって制御されていて、各天井搬送車Ｖの走行を停止させるためには、前記制御装置を操作することが必要である。この操作は、制御担当者のみ可能である。
【０００４】
そのため、半導体製造装置Ｈ、或いはレールＲの保守・点検を行う作業者は、安全面から制御担当者に対して、天井搬送車Ｖの走行を停止させてもらうように依頼する。制御担当者は、半導体製造装置Ｈの稼働状況を見て、可能な場合には天井搬送車Ｖを一時停止させていた。
【０００５】
このように、作業者は、自身で天井搬送車Ｖを一時停止させることができず、いちいち制御担当者に依頼する必要があり、作業効率が極めて悪い。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記した不具合に鑑み、装置、或いはレールの保守・点検をする作業者が、制御担当者に依頼することなく、簡単な操作で天井搬送車の走行を一時停止させること、及びそれを解除させることができるようにすることを課題としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための請求項１に記載の発明は、天井に敷設されたレールに吊り下げられ、その車体に取付けられた光センサ装置から光を発しながら走行し、前方の障害物との距離が設定値以下になった場合に停止する天井搬送車を一時停止させるための装置であって、前記天井搬送車と相対向され、その光センサ装置から発せられる光を当てて反射させるための光反射面を有し、棒状の持上具を用いて一人の作業者により前記レールの部分まで持ち上げ可能な軽量材から成り、前記持上具の上端部に設けられた被引掛部にワンタッチで着脱可能な引掛部が形成されている装置本体と、前記持上具の上端部に前記装置本体を引っ掛けた状態で、当該持上具の操作のみによって、前記装置本体をレールに吊り下げて仮固定できる仮固定手段とから構成されていることを特徴としている。
【０００８】
請求項１に記載の発明の場合、多数台の天井搬送車は、天井に敷設されたレールに吊り下げられ、連なった状態で走行する。これらの天井搬送車を一時停止させる場合、作業者は、持上具により一時停止装置を持ち上げて、レールに仮固定させる。このとき、一時停止装置の光反射面は、天井搬送車の車体に取付けられた光センサ装置と相対向するように配置される。前記光センサ装置から発せられる光が光反射面に当たって反射されることにより、天井搬送車と一時停止装置との距離が計測される。この距離が設定値以下になると、天井搬送車が減速され、更には停止される。このようにして、作業者は、制御担当者に依頼することなく、自身で天井搬送車を一時停止させることができる。また、一時停止装置はレールに仮固定されているのみであり、該一時停止装置をレールから取り外すだけで、再び天井搬送車を走行させることができる。また、装置本体には、持上具の上端部に設けられた被引掛部にワンタッチで着脱可能な引掛部が形成されていて、当該持上具の上端部に装置本体を引っ掛けた状態で、当該持上具の操作のみによって、当該装置本体をレールの部分まで持ち上げて仮固定手段を介して仮固定できるので、前記レールに対して一時停止装置を吊り下げたり、取り外したりする作業を地上に立ったままで一人で行える。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、天井に敷設されたレールに吊り下げられ、その車体に取付けられた光センサ装置から光を発しながら走行し、前方の障害物との距離が設定値以下になった場合に停止する天井搬送車を一時停止させるための装置であって、前記天井搬送車と相対向され、その光センサ装置から発せられる光を当てて反射させるための光反射面を有し、しかも、一人の作業者によって持ち上げ可能な軽量材から成る装置本体と、前記装置本体をレールに吊り下げて仮固定させるための仮固定手段とから構成され、前記天井搬送車はリニアモータで走行する構成であり、前記レールにはリニアモータを作動させるための磁石が貼り付けられていて、前記仮固定手段は、前記装置本体の上面に取付けられ、前記磁石に磁気吸着される磁性板であることを特徴としている。このため、請求項２の発明によれば、作業者は、レールに貼り付けられた磁石と、装置本体の上面に取付けられた磁性板とを磁気吸着させるだけで済むため、操作が簡単である。また、レールの任意の位置で一時停止装置を仮固定できる。そして、もし、天井搬送車が一時停止装置に衝突した場合であっても該装置が滑ることによって、両者が損傷することが防止される。
【００１０】
請求項３に記載の発明によれば、作業者は、一時停止装置をレールに無造作に仮固定させた場合であっても、前記光反射面がレールの長手方向に対してほぼ直交する状態で配置される。このため、一時停止装置の位置合わせが容易であると共に、天井搬送車から発せられた光が前記光反射面に確実に反射され、前記天井搬送車と一時停止装置との距離の計測精度が高められる。
【００１１】
一時停止装置の装置本体が発泡樹脂材から成る場合、その外側面を清掃することが困難である。しかし、請求項４に記載の発明によれば、前記装置本体が柔軟性のある塗料で塗装されているため、外側面の拭き掃除が可能である。この結果、該装置がクリーンルームで使用される場合であっても、その清浄度を悪化させることが防止される。
【００１２】
請求項５に記載の発明によれば、何らかの原因で、天井搬送車の光センサ装置が作動しなかったとき、天井搬送車がそのまま走行し、一時停止装置に衝突するおそれがある。しかし、天井搬送車の車体の前面部に接触式の搬送車停止スイッチが取付けられていて、一時停止装置の光反射面が前記搬送車停止スイッチを作動させることができるだけの堅さを有している場合、天井搬送車の前面部と一時停止装置の光反射面が当接されたときに、前記搬送車停止スイッチが作動して天井搬送車の走行が停止される。このため、両者の損傷が最小に抑えられる。
【００１３】
【００１４】
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、実施形態を挙げて本発明を更に詳細に説明する。図１は本発明に係る一時停止装置Ａが、レールＲの下面に取付けられた状態の斜視図、図２は一時停止装置Ａの斜視図、図３は一時停止装置Ａと持上具Ｂとを分離させた状態の斜視図、図４は一時停止装置Ａの平面図、図５は一時停止装置Ａの光反射部５及び支持部６から、補強板９a,９b 及び磁性板Ｍを分離させた状態の斜視図、図６は図４のＸ−Ｘ線拡大断面図、図７は図４のＹ−Ｙ線拡大断面図である。最初に、図１を参照しながら、本実施例のレールＲと天井搬送車Ｖについて簡単に説明し、次に、図２ないし図７を参照しながら、本発明に係る一時停止装置Ａと、それをレールＲに取付けるための持上具Ｂについて説明する。本実施例の天井搬送車Ｖは、天井Ｗ（図８参照）に敷設されたレールＲに吊り下げられた状態で、その車体１に内装されたリニアモータ（図示せず）で駆動されて走行する。このため、図１に示されるように、レールＲの下面には、その長手方向に沿って磁石２が貼り付けられている。天井搬送車Ｖを構成する車体１の前面部には、光センサ装置３（図８参照）が取付けられていて、該光センサ装置３から前方に、常に光Ｌが発せられている。天井搬送車Ｖの直前に障害物が存する場合、発せられた光Ｌが前記障害物に当たって反射され、その反射光が、再び光センサ装置３に受光されることによって、天井搬送車Ｖと障害物との距離が計測される。この距離が設定値以下になると、天井搬送車Ｖが減速され、更には停止される。
【００１６】
前記天井搬送車Ｖの車体１における高さ方向の所定位置には、その全周に亘って接触式の搬送車停止スイッチ（バンパスイッチ４）が取付けられている。このバンパスイッチ４は、テープ状のスイッチが僅かな隙間を介して二重に巻き付けられていて、外側のスイッチが押し付けられると、内側のスイッチと接触することにより作動する構成であり、天井搬送車Ｖの車体１よりも僅かに突出されている。このバンパスイッチ４が作動すると、天井搬送車Ｖは停止される。
【００１７】
次に、一時停止装置Ａについて説明する。図２及び図３に示されるように、この一時停止装置Ａは、天井搬送車Ｖの光センサ装置３から発せられる光Ｌを当てて反射させるための光反射部５と、該光反射部５を支持するための支持部６とから構成されている。本実施例の場合、前記光反射部５と前記支持部６とは軽量な発泡樹脂材（例えば、発泡ポリエチレン、発泡ポリスチレン等）から成る。
【００１８】
最初に、光反射部５について説明する。この光反射部５は略長方形状のプレートであり、その幅、及び高さは、天井搬送車Ｖの光センサ装置３から発せられる光Ｌの広がり幅に対応している。図５及び図６に示されるように、前記光反射部５の上端部には、持上具Ｂ（後述）を着脱可能に連結するための２つの挿通孔７が設けられている。２つの挿通孔７の間隔は、持上具Ｂの２本の連結ピン２８（図３参照）の間隔と同一であり、その内径は、前記連結ピン２８のフランジ部２８ａの外径よりも少し大きい。前記持上具Ｂの各連結ピン２８が、対応する挿通孔７に挿通されることにより、一時停止装置Ａと持上具Ｂとが一体に連結される。また、前記各挿通孔７の上下の部分には、それぞれボルト挿通孔８が設けられている。
【００１９】
前記光反射部５の正面側（光反射面５ａの側）の上部で、２つの挿通孔７の周囲には、１枚の正面側補強板９ａが取付けられ、同じく背面側で各挿通孔７の周囲には、２枚の背面側補強板９ｂが取付けられる。本実施例の各補強板９a,９b はステンレス板より成り、各挿通孔７に持上具Ｂの連結ピン２８が挿通されたり、該持上具Ｂにより一時停止装置Ａが持ち上げられたりするときに、光反射面５ａ、或いは各挿通孔７が損傷することを防止するためのものである。各補強板９a,９b の構成は殆ど同一なので、ここでは正面側の補強板９ａについてのみ説明する。そして、同一の部材には同一の符号を付すと共に、正面側の補強板９ａを構成する部材には添字「ａ」を付し、背面側の補強板９ｂを構成する部材には添字「ｂ」を付すことによって、両者を区別する。図５及び図６に示されるように、正面側の補強板９ａにおいて、光反射部５の各挿通孔７及び各ボルト挿通孔８と対応する部分には、それぞれ挿通孔１１ａ、及びボルト挿通孔１２ａが設けられている。前記補強板９ａの背面側（光反射面５ａに密着される側）で、前記各ボルト挿通孔１２ａと対応する部分には、それぞれナット部材１３が固着されている。そして、光反射部５に設けられた各ボルト挿通孔８における光反射面５ａの部分には、前記ナット部材１３を嵌め込むためのざぐり孔８ａが設けられている。
【００２０】
各補強板９a,９b は、予め、各ボルト挿通孔８に樹脂材から成るスペーサ１４が挿通された後、光反射部５の正面側（光反射面５ａ）及び背面側に密着される。そして、背面側から補強板取付ねじ１５が挿通され、ナット部材１３に螺合して締め付けられることによって固定される。各補強板取付ねじ１５が過度に締め付けられても、予め挿通されたスペーサ１４によって一定以上締め付けられることが防止され、発泡樹脂材から成る光反射部５を損傷させることはない。
【００２１】
また、図１及び図２に示されるように、前記光反射面５ａにおいて、天井搬送車Ｖのバンパスイッチ４と対応する部分には、前記バンパスイッチ４を作動させるためのバンパスイッチ作動板１６が貼り付けられている。このバンパスイッチ作動板１６は、発泡樹脂材より堅いプレート（例えば、樹脂板、金属板等）より成る。
【００２２】
次に、図２ないし図７を参照しながら、支持部６について説明する。この支持部６は、略直方体状のブロックであり、平面視における長手方向が、前記光反射部５の幅方向に対してほぼ直角にして接着されている（図４参照）。図５及び図７に示されるように、この支持部６の上面には、磁性板Ｍを取付けるための取付凹部１７が設けられている。そして、前記支持部６の上部で、前記取付凹部１７の底面近傍の部分には、前記支持部６の幅方向に沿って３本のボルト挿通孔１８が設けられている。これらの各ボルト挿通孔１８は、磁性板Ｍを支持部６に固定するための各取付ボルト１９を挿通させるためのものである。この磁性板Ｍは、軽量化のため薄い磁性ステンレス板より成り、長方形状の上面（磁気吸着面２１）の周囲にスカート部２２a,２２b が下方に延設された構成である。そして、幅方向の両端部から延設された一対のスカート部２２ａには、上記した各ボルト挿通孔１８に対応するボルト挿通孔２３が設けられている。
【００２３】
図７に示されるように、この磁性板Ｍが、支持部６の上面に設けられた取付凹部１７に取付けられると、前記支持部６のボルト挿通孔１８と、前記磁性板Ｍの一対のスカート部２２ａに設けられたボルト挿通孔２３とは、連通状態に配置される。そして、これらのボルト挿通孔１８，２３に、各スペーサ２４が嵌合される。各スペーサ２４の長さは、支持部６の幅とほぼ同一である。続いて、図５に示されるように、支持部６の幅方向の一方側から、前記各スペーサ２４に取付ボルト１９が挿通され、他方側の突出部分に六角ナット２５が螺合されて締め付けられる。各六角ナット２５が過度に締め付けられても、予め挿通されたスペーサ２４によって一定以上締め付けられることが防止され、発泡樹脂材から成る支持部６を損傷させることはない。
【００２４】
上記した、前記光反射部５の上面と前記支持部６の上面とは、ほぼ同一平面内に存している。更に、発泡樹脂材から成る光反射部５と支持部６とは、その全面が柔軟性に富む塗料（例えば、水性のアクリル系樹脂エマルジョンペイント等）によって塗装されている。こうすることによって、前記光反射部５と前記支持部６の外側面を拭き掃除することができる。この塗料は、天井搬送車Ｖの光センサ装置３から発せられる光Ｌの反射率を上げるために、白色系の色彩にすることが望ましい。
【００２５】
次に、持上具Ｂについて説明する。図３に示されるように、この持上具Ｂは、長い棒状の操作棒部２６の上端部に、連結板２７が水平にして固着されたものである。図８に示されるように、前記操作棒部２６の長さは、床面ＦからレールＲの下面までの高さ（本実施例の場合、約４ｍ）に対応している。図６に示されるように、この連結板２７における操作棒部２６と反対側の面には、正面側及び背面側の補強板９a,９b の挿通孔１１a,１１b 、及び光反射部５の挿通孔７に挿通される２本の連結ピン２８が取付けられている。各連結ピン２８の先端部には、それらの軸径よりも僅かに大きなフランジ部２８ａが設けられている。図９に示されるように、前記各連結ピン２８が対応する挿通孔７に挿通されて、一時停止装置Ａと持上具Ｂとが一体に連結されたときに、正面側の補強板９ａと連結板２７とが密着する。しかも、各連結ピン２８のフランジ部２８ａが、光反射部５の背面から突出された状態で連結されている。このため、各連結ピン２８の抜け止めが図られる。そして、操作棒部２６の下半部には、作業者が持上具Ｂを操作するときに滑らないようにするための滑り止め部２６ａが設けられている。
【００２６】
本発明に係る一時停止装置Ａ、及びその持上具Ｂの作用について説明する。作業者は、図３に示されるように、床面Ｆにおいて一時停止装置Ａの光反射部５に設けられた各挿通孔７に、持上具Ｂの２本の連結ピン２８を挿通させる。一時停止装置Ａと持上具Ｂとを連結させるとき、作業者は、持上具Ｂの２本の連結ピン２８を、対応する挿通孔７に挿通させるだけで済むため、ワンタッチで連結させることができる。そして、図８に示されるように、持上具Ｂの操作棒部２６を操作して、一時停止装置Ａ全体を持ち上げる。本実施例の一時停止装置Ａを構成する光反射部５と支持部６は、発泡樹脂材から成るため軽量（本実施例の場合、約１．５ｋｇ）であり、作業者が一人であっても容易に持ち上げることができる。しかも、各連結ピン２８のフランジ部２８ａが、一時停止装置Ａの光反射部５の背面側から突出しているため抜け止めが図られており、持ち上げ途中に一時停止装置Ａが落下するおそれはない（図９参照）。
【００２７】
図８及び図９に示されるように、作業者は、一時停止装置Ａを持ち上げ、保守・点検を行う半導体製造装置Ｈの近傍のレールＲの下面に接近させる。すると、レールＲの下面に貼り付けられた磁石２と、一時停止装置Ａの支持部６の上面に取付けられた磁性板Ｍとが磁気吸着され、前記一時停止装置ＡがレールＲに仮固定される。このとき、天井搬送車Ｖの光センサ装置３から発せられた光Ｌを確実に反射させるために、一時停止装置Ａの光反射面５ａが、レールＲの長手方向とほぼ直交する（換言すれば、天井搬送車Ｖの前面部と相対向状態で配置される）ように仮固定されることが望ましい。本実施例の一時停止装置Ａの場合、図４に示されるように、その支持部６に取付けられた磁性板Ｍの磁気吸着面２１は平面視において長方形状であり、その長辺部２１ａは光反射面５ａに対して直交している。このため、作業者が、一時停止装置Ａを無造作にレールＲに仮固定させた場合であっても、前記光反射面５ａをレールＲの長手方向に対してほぼ直交させた位置合わせ状態で仮固定させることができる。しかも、その状態で、前記磁気吸着面２１のほぼ全面がレールＲの磁石２に吸着されるため、前記一時停止装置ＡはレールＲに対してもっとも強固に仮固定される。一時停止装置ＡがレールＲに仮固定された後、一時停止装置Ａの各挿通孔７から持上具Ｂの連結ピン２８を抜き、一時停止装置Ａと持上具Ｂを分離させる。
【００２８】
図１及び図８に示されるように、天井搬送車Ｖが前方に光Ｌを発しながら走行し、一時停止装置Ａに接近する。該光Ｌが一時停止装置Ａの光反射面５ａに当たり、その反射光が検出されることによって両者の距離が計測される。この距離が設定値以下になると、前記天井搬送車Ｖは自動で減速し、更には停止される。そして、該天井搬送車Ｖは、一時停止されたまま保持される。このため、作業者は天井搬送車Ｖを気にかけることなく、半導体製造装置Ｈの保守・点検を行うことができる。そして、作業終了後、再び持上具Ｂを操作して、一時停止装置ＡをレールＲから取り外す。天井搬送車Ｖの前方から障害物（一時停止装置Ａ）が消滅するため、該天井搬送車Ｖは、再び自動で走行を開始する。
【００２９】
もし、何らかの原因で、天井搬送車Ｖと一時停止装置Ａとの距離が設定値以下になっても、前記天井搬送車Ｖが停止せずにそのまま走行した場合、該天井搬送車Ｖと一時停止装置Ａとが衝突することがある。通常の場合、最初に天井搬送車Ｖのバンパスイッチ４と光反射部５の光反射面５ａとが当接され、バンパスイッチ４が作動して天井搬送車Ｖは停止される。ここで、一時停止装置Ａの光反射部５が柔軟な発泡樹脂材より成る場合、前記バンパスイッチ４が発泡樹脂材に押し込まれてしまい、作動しないおそれがある。しかし、本実施例の一時停止装置Ａの光反射面５ａには、天井搬送車Ｖのバンパスイッチ４と相対向する部分に、発泡樹脂材よりも堅いプレートから成るバンパスイッチ作動板１６が取付けられている。このため、バンパスイッチ４は確実に作動される。しかも、一時停止装置ＡとレールＲとの仮固定手段が磁気吸着であるため、一時停止装置Ａが天井搬送車Ｖと一体になってレールＲの長手方向に沿って滑り、両者の損傷が最小に抑えられる。
【００３０】
また、発泡樹脂材より成る光反射部５及び支持部６は、その外側面を拭き掃除することが困難である。しかし、本実施例の一時停止装置Ａを構成する光反射部５と支持部６の外側面には、柔軟性に富む塗料によって塗装されている。このため、一時停止装置Ａの外側面を拭き掃除することができ、常に清浄な状態に保持させておくことができる。この結果、一時停止装置Ａがクリーンルームで使用される場合であっても、その清浄度を悪化させることが防止される。
【００３１】
上記したように、本発明に係る一時停止装置Ａは、その装置本体（光反射部５、及び支持部６）を発泡樹脂材等の軽量材とし、それ以外の部分（磁性板Ｍ、補強板９a,９b 、スペーサ１４，２４、バンパスイッチ作動板１６）を金属材、或いは樹脂材とすることによって全体を軽量化させ、作業者が一人であっても持ち上げることができる重量に定めたものである。
【００３２】
本実施例は、天井搬送車Ｖがリニアモータ（図示せず）により駆動走行される構成であり、一時停止装置Ａに取付けられた磁性板Ｍが、レールＲの下面に貼り付けられた磁石２に磁気吸着される場合である。この実施例の場合、レールＲにおける任意の位置で、一時停止装置Ａを仮固定させることができるという利点がある。しかし、前記レールＲが金属から成る場合、一時停止装置Ａの側に磁石が取付けられていても構わない。この場合、レールＲの下面に磁石２が貼り付けられていなくても、一時停止装置ＡをレールＲに仮固定させることができる。更に、磁気吸着以外の方法、例えば、吸枝自在テープ、ホック部材による仮固定であっても構わない。
【００３３】
本実施例は、一時停止装置Ａの光反射部５に設けられた挿通孔７に、持上具Ｂの連結ピン２８が挿通されることによって、両者が一体に連結される構成である。しかし、これ以外の連結手段、例えば、前記光反射部５の背面側に取付けられた補強板９ｂに、フック部材（図示せず）を設け、該フック部材と持上具Ｂとを引っ掛けることによって両者を連結させても構わない。
【００３４】
【発明の効果】
本発明に係る一時停止装置を構成する装置本体には、持上具の上端部に設けられた被引掛部にワンタッチで着脱可能な引掛部が形成されていて、当該持上具の上端部に装置本体を引っ掛けた状態で、当該持上具の操作のみによって、当該装置本体をレールの部分まで持ち上げて仮固定手段を介して仮固定できるので、前記レールに対して一時停止装置を吊り下げたり、取り外したりする作業を地上に立ったままで一人で行える。
【００３５】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る一時停止装置Ａが、レールＲの下面に取付けられた状態の斜視図である。
【図２】一時停止装置Ａの斜視図である。
【図３】一時停止装置Ａと持上具Ｂとを分離させた状態の斜視図である。
【図４】一時停止装置Ａの平面図である。
【図５】一時停止装置Ａの光反射部５及び支持部６から、補強板９a,９b 及び磁性板Ｍを分離させた状態の斜視図である。
【図６】図４のＸ−Ｘ線拡大断面図である。
【図７】図４のＹ−Ｙ線拡大断面図である。
【図８】一時停止装置Ａの作用説明図である。
【図９】一時停止装置ＡがレールＲに仮固定される状態の拡大図である。
【符号の説明】
Ａ：一時停止装置
Ｂ：持上具
Ｆ：床面（地上）
Ｌ：光
Ｍ：磁性板
Ｒ：レール
Ｖ：天井搬送車
Ｗ：天井
１：車体
２：磁石
３：光センサ装置
４：バンパスイッチ（搬送車停止スイッチ）
５：光反射部（装置本体）
５ａ：光反射面
６：支持部（装置本体）
７：挿通孔（被引掛部）
１６：バンパスイッチ作動板（光反射面）
２１ａ：長辺部
２６：操作棒部（持上具本体）
２８：連結ピン（引掛部）[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention is a semiconductor manufacturing plant or the like, in the laid rails on the ceiling, it is relates to a device for temporarily stopping the ceiling transport vehicle traveling in a suspended state.
[0002]
[Prior art]
In describing the prior art, reference is made to the drawings of the embodiments of the present invention. As shown in FIG. 8, in a semiconductor manufacturing factory, rails R are laid on a ceiling W, and a large number of ceiling transport vehicles V are guided by the rails R in order to transport articles (wafer carriers). Drive in a chain. An optical sensor device 3 is attached to the vehicle body 1 of these ceiling conveyance vehicles V, and each ceiling conveyance vehicle V travels while always emitting light L forward from the optical sensor device 3. And the distance with the said obstacle is measured by receiving the reflected light from the obstruction which exists ahead (for example, the ceiling conveyance vehicle ahead). When this distance is less than or equal to the set value, the ceiling transport vehicle V decelerates and further stops. By doing so, a collision between the ceiling transport vehicle V and an obstacle existing in front thereof is prevented.
[0003]
In the semiconductor manufacturing factory, when performing maintenance / inspection of various semiconductor manufacturing apparatuses H or rails R installed in the factory, it is necessary to temporarily stop the traveling of the ceiling transport vehicle V. Although the stop of the full-scale ceiling transport vehicle V is for the factory, there are cases where it is desired to make a slight stop. Each ceiling transport vehicle V is controlled by a control device (not shown) installed on the floor surface F, and in order to stop the traveling of each ceiling transport vehicle V, it is necessary to operate the control device. It is. This operation can only be performed by a control person.
[0004]
For this reason, an operator who performs maintenance / inspection of the semiconductor manufacturing apparatus H or the rail R requests the control person in charge to stop the traveling of the ceiling transport vehicle V from the safety aspect. The person in charge of the control looked at the operation status of the semiconductor manufacturing apparatus H, and suspended the overhead conveyance vehicle V when possible.
[0005]
Thus, the worker cannot stop the ceiling conveyance vehicle V by himself / herself, and needs to ask the person in charge of the control one by one, so that the work efficiency is extremely poor.
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
In view of the above-described problems, the present invention allows an operator who performs maintenance / inspection of a device or a rail to temporarily stop the traveling of a ceiling transport vehicle by a simple operation without requesting a controller. It is an issue to be able to cancel.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above-mentioned problem, the invention according to claim 1 is suspended from a rail laid on a ceiling, travels while emitting light from an optical sensor device attached to the vehicle body, and A device for temporarily stopping a ceiling transport vehicle that stops when a distance becomes a set value or less, for opposing and reflecting the light emitted from the optical sensor device opposed to the ceiling transport vehicle It consists of a lightweight material that has a light reflecting surface and can be lifted up to the rail by a single worker using a rod-shaped lifting tool, and can be easily touched on the hooked portion provided at the upper end of the lifting tool. In the state where the apparatus main body is formed with a detachable hook part and the apparatus main body is hooked on the upper end of the lifting tool, the apparatus main body is suspended from the rail only by the operation of the lifting tool. fixed can be temporarily fixed means It is characterized in that it is composed of.
[0008]
In the case of the invention described in claim 1, a large number of ceiling transport vehicles are suspended from rails laid on the ceiling and run in a connected state. When these overhead transport vehicles are temporarily stopped, the operator lifts the temporary stop device with a lifting tool and temporarily fixes it to the rail. At this time, the light reflecting surface of the temporary stop device is arranged so as to oppose the optical sensor device attached to the vehicle body of the ceiling transport vehicle. The light emitted from the optical sensor device hits the light reflecting surface and is reflected, whereby the distance between the ceiling transport vehicle and the temporary stop device is measured. When this distance is less than or equal to the set value, the overhead transport vehicle is decelerated and further stopped. In this manner, the operator can temporarily stop the ceiling transport vehicle by himself / herself without requesting the person in charge of control. Further, the temporary stop device is only temporarily fixed to the rail, and the overhead conveyance vehicle can be run again only by removing the temporary stop device from the rail. In addition, in the apparatus main body, a hook part that can be attached and detached with one touch is formed on the hooked part provided at the upper end part of the lifting tool, and the apparatus main body is hooked on the upper end part of the lifting tool, Only by operating the lifting tool, the device main body can be lifted up to the rail portion and temporarily fixed via the temporary fixing means, so that the work of suspending or removing the temporary stop device from the rail can be performed on the ground. You can do it alone while standing.
[0009]
The invention according to claim 2 is hung on a rail laid on the ceiling, travels while emitting light from the optical sensor device attached to the vehicle body, and the distance from the obstacle in front becomes less than a set value. A device for temporarily stopping the ceiling transport vehicle that stops in the case of having a light reflecting surface that is opposed to the ceiling transport vehicle and reflects light emitted from the optical sensor device, In addition, the apparatus main body is made of a lightweight material that can be lifted by a single worker, and temporary fixing means for temporarily fixing the apparatus main body by suspending the apparatus main body on a rail, and the overhead traveling vehicle travels with a linear motor. A magnet for operating a linear motor is affixed to the rail, and the temporary fixing means is attached to the upper surface of the apparatus main body and is magnetically attracted to the magnet It is characterized in that. For this reason, according to the invention of claim 2, since the operator only needs to magnetically attract the magnet attached to the rail and the magnetic plate attached to the upper surface of the apparatus main body, the operation is simple. . In addition, the temporary stop device can be temporarily fixed at an arbitrary position on the rail. And even if it is a case where an overhead conveyance vehicle collides with a temporary stop apparatus, both are prevented from being damaged by this apparatus slipping.
[0010]
According to invention of Claim 3, even if it is a case where an operator temporarily fixes a temporary stop apparatus to a rail, in the state where the said light reflective surface is substantially orthogonal with respect to the longitudinal direction of a rail. Be placed. For this reason, the positioning of the temporary stop device is easy, and the light emitted from the ceiling transport vehicle is reliably reflected by the light reflecting surface, so that the measurement accuracy of the distance between the overhead transport vehicle and the temporary stop device is improved. It is done.
[0011]
When the main body of the temporary stop device is made of a foamed resin material, it is difficult to clean the outer surface. However, according to the invention described in claim 4, since the apparatus main body is painted with a flexible paint, the outer surface can be wiped and cleaned. As a result, even when the apparatus is used in a clean room, the cleanliness is prevented from deteriorating.
[0012]
According to the fifth aspect of the present invention , when the optical sensor device of the ceiling transport vehicle does not operate for some reason, the ceiling transport vehicle may travel as it is and may collide with the temporary stop device. However, a contact-type transport vehicle stop switch is attached to the front of the vehicle body of the overhead transport vehicle, and the light reflecting surface of the temporary stop device has sufficient rigidity to operate the transport vehicle stop switch. If the front part of the ceiling transport vehicle and the light reflecting surface of the temporary stop device are in contact with each other, the transport vehicle stop switch is activated to stop the traveling of the ceiling transport vehicle. For this reason, the damage of both is suppressed to the minimum.
[0013]
[0014]
[0015]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to embodiments. 1 is a perspective view of a state in which a temporary stop device A according to the present invention is attached to the lower surface of a rail R, FIG. 2 is a perspective view of the temporary stop device A, and FIG. 4 is a plan view of the temporary stop device A, and FIG. 5 is a diagram in which the reinforcing plates 9a and 9b and the magnetic plate M are separated from the light reflecting portion 5 and the support portion 6 of the temporary stop device A. 6 is an enlarged sectional view taken along line XX of FIG. 4, and FIG. 7 is an enlarged sectional view taken along line YY of FIG. First, the rail R and the overhead transport vehicle V of the present embodiment will be briefly described with reference to FIG. 1, and then, with reference to FIGS. 2 to 7, the temporary stop device A according to the present invention, The lifting tool B for attaching it to the rail R will be described. The ceiling transport vehicle V of this embodiment is driven by a linear motor (not shown) built in the vehicle body 1 while being suspended from a rail R laid on the ceiling W (see FIG. 8). To do. For this reason, as shown in FIG. 1, the magnet 2 is affixed to the lower surface of the rail R along the longitudinal direction. An optical sensor device 3 (see FIG. 8) is attached to the front portion of the vehicle body 1 constituting the ceiling transport vehicle V, and light L is always emitted forward from the optical sensor device 3. When there is an obstacle immediately before the ceiling transport vehicle V, the emitted light L is reflected by the obstacle and reflected by the light sensor device 3 again, so that the ceiling transport vehicle V and the obstacle are reflected. Is measured. When this distance becomes less than or equal to the set value, the ceiling transport vehicle V is decelerated and further stopped.
[0016]
A contact-type transport vehicle stop switch (bumper switch 4) is attached to a predetermined position in the height direction of the vehicle body 1 of the ceiling transport vehicle V over the entire circumference. The bumper switch 4 has a structure in which a tape-like switch is wound twice through a slight gap, and when the outer switch is pressed, the bumper switch 4 operates by contacting the inner switch. It protrudes slightly from the vehicle body 1 of V. When the bumper switch 4 is operated, the ceiling transport vehicle V is stopped.
[0017]
Next, the temporary stop device A will be described. As shown in FIGS. 2 and 3, the temporary stop device A includes a light reflecting portion 5 for reflecting and reflecting the light L emitted from the light sensor device 3 of the ceiling transport vehicle V, and the light reflecting portion 5. It is comprised from the support part 6 for supporting. In this embodiment, the light reflecting portion 5 and the support portion 6 are made of a lightweight foamed resin material (for example, foamed polyethylene, foamed polystyrene, etc.).
[0018]
First, the light reflecting portion 5 will be described. The light reflecting portion 5 is a substantially rectangular plate, and the width and height thereof correspond to the spreading width of the light L emitted from the optical sensor device 3 of the ceiling transport vehicle V. As shown in FIGS. 5 and 6, two insertion holes 7 for detachably connecting a lifting tool B (described later) are provided at the upper end portion of the light reflecting portion 5. The interval between the two insertion holes 7 is the same as the interval between the two connecting pins 28 (see FIG. 3) of the lifting tool B, and the inner diameter thereof is slightly smaller than the outer diameter of the flange portion 28a of the connecting pin 28. large. When each connecting pin 28 of the lifting tool B is inserted into the corresponding insertion hole 7, the temporary stop device A and the lifting tool B are integrally connected. In addition, bolt insertion holes 8 are provided in the upper and lower portions of the respective insertion holes 7.
[0019]
A front reinforcing plate 9a is attached to the periphery of the two insertion holes 7 above the front side of the light reflecting portion 5 (on the light reflecting surface 5a side), and each insertion hole 7 is also provided on the back side. Two back-side reinforcing plates 9b are attached around. Each of the reinforcing plates 9a and 9b of this embodiment is made of a stainless steel plate, and when the connecting pin 28 of the lifting tool B is inserted into each insertion hole 7 or when the temporary stopping device A is lifted by the lifting tool B. In addition, the light reflection surface 5a or each insertion hole 7 is prevented from being damaged. Since the configurations of the reinforcing plates 9a and 9b are almost the same, only the reinforcing plate 9a on the front side will be described here. The same member is denoted by the same reference numeral, the member constituting the front-side reinforcing plate 9a is denoted by the suffix “a”, and the member constituting the rear-side reinforcing plate 9b is denoted by the suffix “b”. By distinguishing the two, the two are distinguished. As shown in FIGS. 5 and 6, in the reinforcing plate 9 a on the front side, the portions corresponding to the respective insertion holes 7 and the respective bolt insertion holes 8 of the light reflecting portion 5 are respectively inserted into the insertion holes 11 a and the bolt insertion holes. 12a is provided. On the back side of the reinforcing plate 9a (the side in close contact with the light reflecting surface 5a), nut members 13 are fixed to portions corresponding to the respective bolt insertion holes 12a. And the counterbore hole 8a for fitting the said nut member 13 in the part of the light reflection surface 5a in each bolt insertion hole 8 provided in the light reflection part 5 is provided.
[0020]
The reinforcing plates 9a and 9b are brought into close contact with the front side (light reflecting surface 5a) and the back side of the light reflecting portion 5 after the spacers 14 made of a resin material are inserted into the bolt insertion holes 8 in advance. Then, the reinforcing plate mounting screw 15 is inserted from the back side, and is fixed by being screwed into the nut member 13 and tightened. Even if each reinforcing plate mounting screw 15 is tightened excessively, it is prevented from being tightened by a predetermined amount or more by the spacer 14 inserted in advance, and the light reflecting portion 5 made of the foamed resin material is not damaged.
[0021]
As shown in FIGS. 1 and 2, a bumper switch operating plate 16 for operating the bumper switch 4 is provided at a portion corresponding to the bumper switch 4 of the ceiling transport vehicle V on the light reflecting surface 5a. It is pasted. The bumper switch operation plate 16 is made of a plate (for example, a resin plate, a metal plate, etc.) that is harder than the foamed resin material.
[0022]
Next, the support portion 6 will be described with reference to FIGS. 2 to 7. The support portion 6 is a substantially rectangular parallelepiped block, and is bonded so that the longitudinal direction in plan view is substantially perpendicular to the width direction of the light reflecting portion 5 (see FIG. 4). As shown in FIGS. 5 and 7, an attachment recess 17 for attaching the magnetic plate M is provided on the upper surface of the support portion 6. Three bolt insertion holes 18 are provided in the upper portion of the support portion 6 and in the vicinity of the bottom surface of the mounting recess 17 along the width direction of the support portion 6. Each of these bolt insertion holes 18 is for inserting each mounting bolt 19 for fixing the magnetic plate M to the support portion 6. This magnetic plate M is made of a thin magnetic stainless steel plate for weight reduction, and has a configuration in which skirt portions 22a and 22b extend downward around a rectangular upper surface (magnetic adsorption surface 21). A pair of skirt portions 22 a extending from both ends in the width direction is provided with bolt insertion holes 23 corresponding to the respective bolt insertion holes 18.
[0023]
As shown in FIG. 7, when the magnetic plate M is attached to the attachment recess 17 provided on the upper surface of the support portion 6, the bolt insertion hole 18 of the support portion 6 and the pair of skirts of the magnetic plate M are provided. The bolt insertion hole 23 provided in the portion 22a is arranged in a communicating state. The spacers 24 are fitted into the bolt insertion holes 18 and 23. The length of each spacer 24 is substantially the same as the width of the support portion 6. Subsequently, as shown in FIG. 5, the mounting bolts 19 are inserted into the spacers 24 from one side in the width direction of the support portion 6, and the hexagon nut 25 is screwed into the other protruding portion and tightened. . Even if each hexagon nut 25 is tightened excessively, it is prevented from being tightened more than a certain amount by the spacer 24 inserted in advance, and the support portion 6 made of the foamed resin material is not damaged.
[0024]
The above-described upper surface of the light reflecting portion 5 and the upper surface of the support portion 6 are substantially in the same plane. Furthermore, the light reflecting portion 5 and the support portion 6 made of a foamed resin material are entirely coated with a highly flexible paint (for example, an aqueous acrylic resin emulsion paint). By doing so, the outer surfaces of the light reflecting portion 5 and the supporting portion 6 can be wiped and cleaned. In order to increase the reflectance of the light L emitted from the optical sensor device 3 of the ceiling transport vehicle V, it is desirable that the paint has a white color.
[0025]
Next, the lifting tool B will be described. As shown in FIG. 3, the lifting tool B is obtained by fixing a connecting plate 27 horizontally to the upper end portion of a long rod-like operation rod portion 26. As shown in FIG. 8, the length of the operation rod portion 26 corresponds to the height from the floor surface F to the lower surface of the rail R (in the present embodiment, about 4 m). As shown in FIG. 6, the insertion plate 11 a, 11 b of the reinforcing plates 9 a, 9 b on the front side and the back side and the insertion of the light reflecting portion 5 are inserted into the surface of the connecting plate 27 opposite to the operation rod portion 26. Two connecting pins 28 inserted through the holes 7 are attached. A flange portion 28a slightly larger than the shaft diameter is provided at the distal end portion of each connecting pin 28. As shown in FIG. 9, when each of the connecting pins 28 is inserted into the corresponding insertion hole 7 and the temporary stop device A and the lifting tool B are integrally connected, The connecting plate 27 is in close contact. In addition, the flange portions 28 a of the connecting pins 28 are connected in a state of protruding from the back surface of the light reflecting portion 5. For this reason, each connecting pin 28 is prevented from coming off. The lower half of the operation bar 26 is provided with a non-slip portion 26a for preventing the operator from slipping when operating the lifting tool B.
[0026]
The operation of the temporary stop device A and the lifting tool B according to the present invention will be described. As shown in FIG. 3, the operator causes the two connecting pins 28 of the lifting tool B to be inserted into the insertion holes 7 provided in the light reflecting portion 5 of the temporary stop device A on the floor surface F. When connecting the temporary stop device A and the lifting tool B, the operator only has to insert the two connecting pins 28 of the lifting tool B through the corresponding insertion holes 7, so that they can be connected with one touch. Can do. And as FIG. 8 shows, the operation stick part 26 of the lifting tool B is operated, and the temporary stop apparatus A whole is lifted. The light reflecting portion 5 and the support portion 6 constituting the temporary stop device A of the present embodiment are made of a foamed resin material and are lightweight (in the present embodiment, about 1.5 kg), and there is only one worker. Can also be lifted easily. Moreover, since the flange portion 28a of each connecting pin 28 protrudes from the back side of the light reflecting portion 5 of the temporary stop device A, it is prevented from coming off, and there is no possibility that the temporary stop device A falls during lifting. (See FIG. 9).
[0027]
As shown in FIGS. 8 and 9, the operator lifts the temporary stop device A and brings it close to the lower surface of the rail R in the vicinity of the semiconductor manufacturing apparatus H that performs maintenance and inspection. Then, the magnet 2 attached to the lower surface of the rail R and the magnetic plate M attached to the upper surface of the support portion 6 of the temporary stop device A are magnetically attracted, and the temporary stop device A is temporarily fixed to the rail R. The At this time, in order to reliably reflect the light L emitted from the optical sensor device 3 of the ceiling transport vehicle V, the light reflecting surface 5a of the temporary stop device A is substantially orthogonal to the longitudinal direction of the rail R (in other words, It is preferably temporarily fixed so as to be opposed to the front surface portion of the ceiling transport vehicle V). In the case of the temporary stop device A of the present embodiment, as shown in FIG. 4, the magnetic attraction surface 21 of the magnetic plate M attached to the support portion 6 is rectangular in plan view, and the long side portion 21a is It is orthogonal to the light reflecting surface 5a. For this reason, even if the operator temporarily fixes the temporary stopping device A to the rail R, the temporary position is temporarily set in the alignment state in which the light reflecting surface 5a is substantially orthogonal to the longitudinal direction of the rail R. Can be fixed. In addition, in this state, almost the entire surface of the magnetic attracting surface 21 is attracted to the magnet 2 of the rail R, so that the temporary stop device A is temporarily fixed to the rail R most firmly. After the temporary stopping device A is temporarily fixed to the rail R, the connecting pin 28 of the lifting tool B is removed from each insertion hole 7 of the temporary stopping device A, and the temporary stopping device A and the lifting tool B are separated.
[0028]
As shown in FIGS. 1 and 8, the ceiling transport vehicle V travels while emitting light L forward, and approaches the temporary stop device A. The light L strikes the light reflecting surface 5a of the temporary stop device A, and the distance between the two is measured by detecting the reflected light. When this distance is less than or equal to the set value, the ceiling transport vehicle V is automatically decelerated and further stopped. The ceiling transport vehicle V is held while being temporarily stopped. For this reason, the operator can perform maintenance and inspection of the semiconductor manufacturing apparatus H without worrying about the ceiling transport vehicle V. Then, after the work is completed, the lifting tool B is operated again to remove the temporary stop device A from the rail R. Since the obstacle (temporary stop device A) disappears from the front of the ceiling transport vehicle V, the ceiling transport vehicle V automatically starts running again.
[0029]
If, for some reason, the distance between the ceiling transport vehicle V and the suspension device A is equal to or less than the set value, the ceiling transport vehicle V travels as it is without stopping. Device A may collide. In a normal case, the bumper switch 4 of the ceiling transport vehicle V and the light reflecting surface 5a of the light reflecting portion 5 are first brought into contact with each other, and the bumper switch 4 is activated to stop the ceiling transport vehicle V. Here, when the light reflecting portion 5 of the temporary stop device A is made of a flexible foamed resin material, the bumper switch 4 may be pushed into the foamed resin material and may not operate. However, the bumper switch operating plate 16 made of a plate harder than the foamed resin material is attached to the light reflecting surface 5a of the temporary stopping device A of the present embodiment at a portion opposite to the bumper switch 4 of the ceiling transport vehicle V. ing. For this reason, the bumper switch 4 is reliably operated. Moreover, since the temporary fixing means between the temporary stop device A and the rail R is magnetic adsorption, the temporary stop device A slides along the longitudinal direction of the rail R together with the ceiling transport vehicle V, and the damage to both is minimal. Can be suppressed.
[0030]
Moreover, it is difficult to wipe and clean the outer surface of the light reflecting portion 5 and the support portion 6 made of a foamed resin material. However, the light reflecting portion 5 and the outer surface of the support portion 6 constituting the temporary stop device A of this embodiment are painted with a highly flexible paint. For this reason, the outer surface of the temporary stop apparatus A can be wiped and cleaned, and can always be kept in a clean state. As a result, even when the temporary stop device A is used in a clean room, the cleanliness is prevented from deteriorating.
[0031]
As described above, the temporary stop device A according to the present invention uses a light-weight material such as a foamed resin material for the device main body (the light reflecting portion 5 and the support portion 6), and other portions (the magnetic plate M, the reinforcing plate). 9a, 9b, spacers 14, 24, and bumper switch operation plate 16) are made of metal or resin to reduce the overall weight, and are set to a weight that can be lifted even by one operator. is there.
[0032]
In this embodiment, the overhead transport vehicle V is driven and driven by a linear motor (not shown), and a magnet 2 attached to the lower surface of the rail R is a magnetic plate M attached to the temporary stop device A. Is magnetically attracted to the surface. In the case of this embodiment, there is an advantage that the temporary stop device A can be temporarily fixed at an arbitrary position on the rail R. However, when the rail R is made of metal, a magnet may be attached to the temporary stop device A side. In this case, even if the magnet 2 is not attached to the lower surface of the rail R, the temporary stop device A can be temporarily fixed to the rail R. Furthermore, a method other than magnetic attraction, for example, temporary fixation with a suckable tape or a hook member may be used.
[0033]
In the present embodiment, the connection pin 28 of the lifting tool B is inserted into the insertion hole 7 provided in the light reflecting portion 5 of the temporary stop device A so that both are integrally connected. However, by providing a hook member (not shown) to other connecting means, for example, the reinforcing plate 9b attached to the back side of the light reflecting portion 5, and hooking the hook member and the lifting tool B. You may connect both.
[0034]
【The invention's effect】
In the apparatus main body constituting the temporary stop device according to the present invention, a hooking portion that can be attached and detached with one touch is formed on the hooked portion provided on the upper end portion of the lifting tool, and the upper end portion of the lifting tool is With the device main body hooked, the device main body can be lifted up to the rail portion and temporarily fixed through the temporary fixing means only by operating the lifting tool. , Can be removed alone while standing on the ground.
[0035]
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view of a state in which a temporary stop device A according to the present invention is attached to a lower surface of a rail R. FIG.
FIG. 2 is a perspective view of a temporary stop device A. FIG.
FIG. 3 is a perspective view of a state in which a pause device A and a lifting tool B are separated.
4 is a plan view of a temporary stop device A. FIG.
5 is a perspective view showing a state in which reinforcing plates 9a and 9b and a magnetic plate M are separated from the light reflecting portion 5 and the supporting portion 6 of the temporary stop device A. FIG.
6 is an enlarged sectional view taken along line XX in FIG.
7 is an enlarged sectional view taken along line YY in FIG.
FIG. 8 is a diagram illustrating the operation of the temporary stop device A.
FIG. 9 is an enlarged view of a state where the temporary stopping device A is temporarily fixed to the rail R.
[Explanation of symbols]
A: Temporary stop device
B: Lifting tool
F: Floor (ground)
L: Light
M: Magnetic plate
R: Rail
V: Ceiling transport vehicle
W: Ceiling
1: Body
2: Magnet
3: Optical sensor device
4: Bumper switch (Carrier stop switch)
5: Light reflecting part (device main body)
5a: Light reflecting surface
6: Support section (device main body)
7: Insertion hole (hooked part)
16: Bumper switch operating plate (light reflecting surface)
21a: Long side part
26: Control rod (lifting tool body)
28: Connecting pin (hook part)

Claims

A ceiling transport vehicle that is suspended from a rail laid on the ceiling, travels while emitting light from the optical sensor device attached to the vehicle body, and stops when the distance to the obstacle in front is less than the set value. A device for temporarily stopping
Opposite to the ceiling transport vehicle, having a light reflecting surface for reflecting and emitting light emitted from the light sensor device, lifted up to the rail portion by a single operator using a rod-shaped lifting tool An apparatus main body formed of a possible lightweight material, wherein a hooked portion detachable with a single touch is formed on a hooked portion provided at an upper end portion of the lifting tool ;
Temporary fixing means capable of suspending the apparatus main body on a rail and temporarily fixing the apparatus main body only by operation of the lifting tool in a state where the apparatus main body is hooked on the upper end of the lifting tool ;
It is comprised from these. The temporary stop apparatus of the ceiling conveyance vehicle characterized by the above-mentioned.

A ceiling transport vehicle that is suspended from a rail laid on the ceiling, travels while emitting light from the optical sensor device attached to the vehicle body, and stops when the distance to the obstacle in front is less than the set value. A device for temporarily stopping
An apparatus main body made of a lightweight material that is opposed to the ceiling transport vehicle and has a light reflecting surface for reflecting and reflecting light emitted from the optical sensor device, and that can be lifted by a single operator,
A temporary fixing means for temporarily fixing the apparatus main body by suspending it on a rail;
Consisting of
The ceiling transport vehicle is configured to travel with a linear motor, and a magnet for operating the linear motor is attached to the rail,
The temporary stopping device for a ceiling transport vehicle, wherein the temporary fixing means is a magnetic plate attached to the upper surface of the apparatus main body and magnetically attracted to the magnet.

The said magnetic board is substantially rectangular shape in planar view, The long side part is attached along the direction orthogonal to the said light reflection surface, The temporary stop of the ceiling conveyance vehicle of Claim 2 characterized by the above-mentioned. apparatus.

The apparatus for temporarily stopping a ceiling transport vehicle according to any one of claims 1 to 3, wherein the apparatus main body is made of a foamed resin material and is coated with a flexible paint.

A contact-type transport vehicle stop switch is attached to the front portion of the vehicle body of the overhead transport vehicle, and the light reflecting surface of the temporary stop device has sufficient rigidity to operate the transport vehicle stop switch. The suspension device for a ceiling guided vehicle according to any one of claims 1 to 4, wherein: