JP2002013665A - 真空弁 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 真空搬送システムに使用し、微少な負圧下で
も円滑に作動するシリンダにより弁体の開閉操作が可能
な大口径の真空弁を提供することである。 【解決手段】下水の真空搬送システムの真空接続管など
の負圧配管に取り付けられ、弁の開閉操作をシリンダ駆
動により行う真空弁において、前記真空弁１の弁体部に
弁体７を弁軸６の回転中心と偏芯して設けた偏芯弁２を
用い、偏芯弁２の開閉を負圧を利用して作動するシリン
ダ３により行うようにしたのである。シリンダチューブ
１７とピストン１８との間を、端縁がシリンダチューブ
１７に固定され、シリンダチューブ１７とピストン１８
との間で折り返えし、ピストン１８を覆うように張設し
たダイアフラム１９により行う。作動時にダイアフラム
１９は常にピストン１８の外周面から外れず、摩擦抵抗
が小さいため、微少な負圧でも大口径の偏芯弁２の開閉
操作を円滑に行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、真空搬送システ
ム、特に下水の真空接続管路に取付けられる大容量の真
空弁に関する。

【０００２】

【従来の技術】下水の真空搬送システムでは、生活排水
等の汚水や雨水が地下に配置された真空弁を装備した枡
に集められ、枡内の水位が上昇すると、制御装置が検知
して真空弁を開き、枡に溜まった汚水は吸込み管から真
空接続管に吸引されて真空ステーションまで真空搬送さ
れた後、排水処理が行われる。

【０００３】下水の真空搬送システムに用いられる真空
弁は、一般に、特許第２７３５７５６号公報や特許第２
８１６５２４号公報に示されているように、逆三角形状
の弁体が弁棒に取り付けらた所謂Ｙ字形弁が使用されて
いる。特許第２７３５７５６号公報に示されたこのよう
な真空弁の一例を記せば、前記のＹ字形の弁体を取り付
けた弁棒は、バンドクランプによって一体化された第１
及び第２のハウジングに収容されたプランジャーと連結
している。この第２のハウジングの内部が弁作動室とな
っており、バネがプランジャーに押し当てられて収納さ
れている。第２ハウジングの後端部に制御部がバンドク
ランプにより一体化されている。枡内の水位が上昇する
と制御部により、負圧源から負圧が導入され、プランジ
ャーが弁作動室内を移動して弁体が開状態となり、汚水
が吸込み管から真空接続管の方へ吸引される。枡の水位
が低下すると、制御部により前記弁作動室が大気に連通
し、プランジャーがバネにより押されて弁体が閉状態と
なる。

【０００４】この下水の真空搬送システムは、比較的小
規模の居住域を対象としているため、真空接続管路に取
り付けられる真空弁の口径はφ５０〜φ７５ｍｍ程度で
汚水の搬送に支障を生じなかった。このため、前記Ｙ字
形の弁体を用いた真空弁の口径もこの程度の小さなもの
が汎用されている。しかし、前記の居住域に比較的大規
模のマンション等の集合住宅が含まれる場合には、前記
の真空弁では口径が小さく、汚水の真空搬送を行うこと
ができない。そのため、多量の汚水の吸引が可能な大口
径の真空弁が必要とされる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】大口径のものが製作可
能な既存の弁型式の一例として、下水や汚泥用として広
く使用され、弁体が弁軸の中心と偏芯して設けられた偏
芯構造弁（以下偏芯弁と記す）が挙げられ、その弁軸の
回転操作は、通常４００ＫＰａ程度の圧縮空気で作動す
るピストン型式の従来の空気圧シリンダによって行われ
る。

【０００６】前記真空弁を開閉するシリンダの作動に
は、通常、真空搬送システムの真空源又は別個に設けた
真空排気装置により導入される負圧が用いられる。この
負圧は、真空搬送システム上の問題から、大気圧よりも
２５ＫＰａ程度低い範囲の微少な負圧となる。このよう
な微少な負圧下では、ピストンパッキンなどの摩擦抵抗
の大きい従来のピストン形式のシリンダを作動させるこ
とができない。また、このような微少な作動圧で前記シ
リンダを作動させようとすると、非常に大きな径のシリ
ンダが必要となり、実用的ではない。

【０００７】一方、前記真空弁の開閉操作にバネ入りシ
リンダを用いる場合、大容量用で口径も大きい前記偏芯
弁の開閉操作力は大きいため、前述のような微少な負圧
ではこの偏芯弁の操作力に匹敵する反力を有するバネに
抗してシリンダを作動させることはできない。この場合
も、バネ反力に抗してシリンダを作動させようとする
と、前述の場合と同様に、非常に大きなシリンダ径が必
要となり、実用的ではなくなる。

【０００８】このため、真空弁の弁体部として大口径の
偏芯弁を用いるためには、微少な負圧の範囲でも作動し
て弁体の開閉が可能な構造のシリンダが必要である。こ
のような微少な負圧を動力源として作動する真空シリン
ダとして、従来からシリンダチューブ内を弛みを持たせ
たダイアフラムにより仕切ってシリンダチューブとピス
トン間をシールするダイアフラム式シリンダが知られて
いる。しかし、このダイアフラム式シリンダではダイヤ
フラムの弛み分しかピストンが移動出来ないため、スト
ロークを長くできず、前記偏芯弁の開閉操作に必要なス
トロークを実現するためには、必然的に大きなシリンダ
径が必要となる。

【０００９】また、偏芯弁などの回転式の弁では、弁閉
付近のシリンダストロークの終端で操作トルクが大きく
なる。このため、偏芯弁を効率的に作動させるために
は、ストロークの終端側で操作トルクが最も大きくなる
ような動力伝達機構を採用する必要がある。

【００１０】そこで、この発明の課題は、下水などの真
空搬送システムに使用し、微少な負圧下でも円滑に作動
するシリンダにより弁体を効率よく開閉することができ
る大口径の真空弁を提供することである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、この発明では以下の構成を採用したのである。

【００１２】即ち、真空搬送システムの真空接続管に取
り付けられ、この真空接続管の流路の開閉操作をシリン
ダ駆動により行う真空弁において、前記真空弁が弁軸の
回転操作により弁体を回転させて前記流路の開閉を行う
弁体部を有し、シリンダの直線運動を弁軸の回転運動に
変換する手段を介在させて、前記弁軸の回転操作を、ピ
ストンとシリンダチューブとがダイアフラムによりシー
ルされ、負圧を用いて作動するシリンダにより行うよう
にしたのである。

【００１３】前記回転式の弁体部は、口径の大きなもの
が製作可能であり、また、前記シールはピストンパッキ
ンではなくダイアフラムによって行うため、シリンダ作
動時の摩擦抵抗が小さく、真空源、即ち負圧源から導入
される微少な負圧でシリンダを作動させ、その直線運動
を弁軸の回転運動に変換する手段を介在させて弁体の開
閉を行うことができ、大口径の真空弁が実現できる。

【００１４】前記シリンダが、その端縁を前記シリンダ
チューブに固定され、前記シリンダチューブと前記ピス
トンとの間で折り返して前記ピストンの側面から端面に
かけてそれらの面を覆うように張設されたダイヤフラム
を備える構成をとることができる。

【００１５】このようにすれば、ダイアフラムは、前記
負圧室に負圧が導入されても半径方向に収縮してシリン
ダの作動を妨げることなく、シリンダの全行程において
常にピストンの外周面から外れないため、微少な負圧下
でも円滑な作動が可能であり、ストロークも長くでき
る。

【００１６】前記シリンダが、そのシリンダチューブの
内部を前記ダイアフラムにより負圧源に接続した負圧室
と大気に連通した大気室の二つの室に分けられ、前記負
圧室と大気室との圧力差により前記ピストンを一方向に
移動させるようにした単動式シリンダであり、この単動
式シリンダを前記弁体部の両側に対向して配置し、前記
圧力差をこれらのシリンダ内に交互に生じさせ、前記の
直線運動を回転運動に変換する手段を介在させて、前記
弁軸を前記弁体の開方向又は閉方向に回転させるように
することができる。

【００１７】このようにすれば、微少な負圧でもピスト
ンを円滑に作動させて、口径の大きい偏芯弁の弁軸を弁
体の開方向又は閉方向のいずれの方向にも回転操作を行
うことができ、前記流路の開閉を行うことがきる。

【００１８】なお、上記の負圧源として、前記の真空接
続管内の負圧又は別個に配置した真空排気装置のいずれ
をも用いることができる。

【００１９】前記シリンダが、そのシリンダチューブ内
に２個のピストンが対向してロッドに取り付けられ、前
記ピストンはスペーサを介在させて互いに連結され、前
記の各ピストンと前記シリンダチューブの端部との間に
それぞれ圧力制御バルブを介して負圧源に接続した第１
及び第２の負圧室が設けられ、これらの負圧室は前記ダ
イアフラムにより仕切られ、前記圧力制御バルブの操作
により、いずれか一方が負圧源に連通する場合は他方が
大気に開放され、前記第１の負圧室と前記第２の負圧室
の間に生じる圧力差により、前記ピストンが往復運動を
行うようにされた複動式シリンダであり、この複動式シ
リンダにより、前記の直線運動を回転運動に変換する手
段を介在させて、前記弁軸を前記弁体の開方向又は閉方
向に回転させるようにすることができる。

【００２０】このようにすれば、前記の微少な負圧で
も、前記弁体の開閉を一つのシリンダで操作でき、前記
流路を開閉することができる。

【００２１】前記ダイアフラムはゴム又はゴムを母材と
した弾性体により形成することができる。

【００２２】前記弁体を前記弁軸の回転中心と偏芯して
設けることができる。

【００２３】このような偏芯弁を弁体部に採用すること
によって、その弁体は、全開時に、弁箱の円弧面をした
内壁に収納されて流路の側部に隠れた状態となるため
に、異物や付着物が多く含まれる汚水などの流体に適
し、耐久性が良好な大口径の真空弁を実現することがで
き、比較的大規模のマンションなどの集合住宅が含まれ
る居住域の下水の真空搬送システムに使用が可能であ
る。

【００２４】

【発明の実施の形態】この発明の実施の形態を添付の図
１から図４に基づいて説明する。

【００２５】図１は、この発明の第１の実施形態を示し
たもので、真空弁１はその弁体部である偏芯弁２とこの
偏芯弁２の両側に配置した弁体開閉操作用のシリンダー
３、３により構成されている。偏芯弁２の流入口９ａは
前述の枡に集められて汚水の吸込み管４に接続され、流
出口９ｂは真空接続管５に接続されている。シリンダー
３、３は偏芯弁２の弁軸６の回転操作により弁体７を回
転させて真空接続管５の流路の開閉を行うために配置さ
れている。

【００２６】偏芯弁２は、円筒状の弁箱８の側面に、流
体を通過させるための長方形の開口部９が形成され、こ
の開口部９には弁箱弁座１０が形成されている。弁箱８
の上部には弁蓋１１がボルト４９ａにより取り付けられ
ている。

【００２７】弁箱８内には弁体７が配置され、その上端
及び下端に弁体７と垂直方向に支持部１２ａ、１２ｂが
一体に形成され、上端の支持部１２ａには弁軸６が取り
付けられ、この弁軸６はブッシュ１３ａを介して弁蓋１
１を挿通している。弁軸６とブッシュ１３ａとの界面に
はシール性に優れたＵ形パッキン１４、１４が装着され
ている。下端の支持部１２ｂにはブッシュ１３ｂを介し
て支持軸１５が弁箱８の下部に嵌め込まれている。この
ように、弁箱８内に弁体７が弁軸６と偏芯して配置され
ている。

【００２８】弁体７の表面にはゴムライニングが施さ
れ、弁軸６の回転操作により、図２（ａ）に示すよう
に、弁体７が弁箱８の円弧面をした内壁１６に収納され
て流路の側部に隠れた状態となって全開状態となり、図
２（ｂ）に示すように弁体７が弁箱弁座１０に着座した
状態で流路が閉鎖される。

【００２９】シリンダ３は、図３に示すように、シリン
ダチューブ１７とピストン１８とのシールをピストンパ
ッキンではなく、布入りニトリルゴムからなるダイアフ
ラム１９を用いている。このダイアフラム１９は、その
端縁がシリンダチューブ１７に設けた段差２０にスペー
サリング２１を押し当てることにより固定され、シリン
ダチューブ１７とピストン１８との間で折り返してピス
トン１８の側面から端面にかけてそれらの面を覆うよう
に張設されている。

【００３０】ピストン１８に一端をねじ結合されたロッ
ド２２は、他端がヘッドカバー２３の中央部に嵌め込ま
れたブッシュ２４、２４に支持され、ヘッドカバー２３
のロッド挿通部にはロッドシール２５が装着されてい
る。

【００３１】シリンダチューブ１７の内部は、ダイアフ
ラム１９により圧力制御バルブ２６を介して真空接続管
に接続された負圧室２７と大気に連通した大気室２８の
二つの室に分けられ、負圧室２７と大気室２８との圧力
差によりピストン１８が一方向に移動される。

【００３２】図１及び図４に示すように、弁軸６の上端
の円柱部２９にはキー溝３０が形成され、キー結合によ
りボス部３１が円柱部２９に固定され、このボス部３１
の上下に操作アーム３２、３２が取り付けられている。
各操作アーム３２の先端部には、一端が開放した溝部３
３がそれぞれ形成されている。偏芯弁２の両側に対向し
て配置された弁軸６の回転操作用のシリンダ３、３のロ
ッド２２、２２はその先端をブロック３４にねじ結合さ
れて係合され、このブロック３４の上面及び下面には突
起が形成されており、これらの突起にローラ３５、３５
が取り付けられている。ローラ３５は溝部３３に嵌め込
まれ、ロッド２２の変位とともに溝部３３に沿って移動
し、シリンダ３、即ちロッド２２の直線運動が弁軸６の
回転運動に変換され、操作アーム３２が弁軸６を回転さ
せて弁体７を開閉する。

【００３３】円柱部２９の上部中央にはピン３６が嵌め
込まれ、このピン３６の先端に指針３７が取り付けら
れ、図５に示すように弁軸６の回転によってピン３６を
介して指針３７が振れて偏芯弁２の弁開度が表示され
る。

【００３４】シリンダ３、３の間には操作アーム３２を
用いた弁軸６の回転操作部を覆うように、アームカバー
３８が設けられ、アームカバー３８の凸状の側面３９の
内面には、弁体７が開口部９を全開及び全閉とする弁軸
６の回転端で操作アーム３２を制止するようにストッパ
ー４０、４０が設けられている。このストッパー４０、
４０を設けた位置は、前記の弁体７が全開又は全閉とな
る弁軸６の回転端の角度が、この弁軸６の全回転角度範
囲９０°の中央から左右均等に振り分けて４５°になる
位置である。（図４参照）。

【００３５】偏芯弁２はその弁蓋１１の上部に形成され
たフランジ４１をアームカバー３８の下面４２にボルト
４９ｂにより取り付けられ、シリンダ３、３と一体とな
って真空弁１が形成されている。

【００３６】この発明の実施形態は以上のような構成で
あり、以下にその作用について説明する。

【００３７】前述のように、シリンダ３は、シリンダチ
ューブ１７とピストン１８とのシールを摩擦抵抗を殆ど
生じないダイアフラム１９によって行っているため、前
述の負圧源から導入される大気圧から２５ｋＰａ程度低
い微少な負圧で作動して偏芯弁２の弁軸６を回転させる
ことができ、弁体７が開口部９を開閉して流路が連通又
は閉鎖される。

【００３８】ダイアフラム１９はその端縁をシリンダチ
ューブ１７に固定され、シリンダーチューブ１７とピス
トン１８との間で折り返して前述のようにピストン１８
を覆っているので、圧力制御バルブ２６を操作して負圧
室２７に負圧が導入されても、半径方向に収縮してシリ
ンダの作動を妨げることなく、ダイアフラム１９がシリ
ンダチューブ１７の内径方向に収縮してピストン１８の
運動を妨げることはなく、シリンダ３の全行程において
常にピストンの外周面から外れないため、微少な負圧下
でも円滑な作動が可能である。

【００３９】偏芯弁２の両側にシリンダ３を配置してい
るので、弁軸６の弁体７の開方向と閉方向の回転をそれ
ぞれのシリンダ３で行うことができ、前記の微少な負圧
で大容量用で口径が大きく、操作力が大きい偏芯弁２の
開閉を容易に行うことができる。また、それぞれのシリ
ンダ３がその推力により操作レバー３２を介して弁軸６
を回転させる角度は、弁軸６の全回転角度範囲９０°の
中央から左右均等に４５°となるように振り分けている
ため、ストロークの等しいシリンダを用いることができ
る。このことは、最小ストロークのシリンダ３を一対配
置すればよいことになり、また、保守の面でも有利であ
る。

【００４０】真空弁１を通過する流体は、固形物等の異
物を含む汚水や雨水であるため、弁体部に偏芯弁２を用
いることにより、異物が噛み込みにくく、弁体７の開閉
操作が妨げられることがない。

【００４１】図６はこの発明の第２の実施形態を示した
もので、偏芯弁２の弁軸６の回転操作を行うシリンダと
して、前述の場合と同様に、シリンダチューブ１７とピ
ストン２１とのシールをダイアフラム１９によって行う
複動のシリンダ４３を用いている。この複動のシリンダ
４３では、その詳細を図７に示すように、シリンダチュ
ーブ１７内に２個のピストン１８ａ、１８ｂがスペーサ
４４を介して対向してロッド２２に取り付けられてい
る。ダイアフラム１９はいずれも、前述の場合と同様
に、その端縁をシリンダチューブ１７にスペーサリング
４６により固定され、シリンダチューブ１７とピストン
１８ａ、１８ｂとの間で折り返され、これらのピストン
１８ａ、１８ｂの側面から端面を覆うように張設されて
いる。スペーサリング４６には通気孔４７ａが設けら
れ、シリンダチューブ１７に設けた通気孔４７ｂと合致
して大気に連通している。

【００４２】ピストン１８ａとシリンダチューブ１７の
端部との間に第１の負圧室４８ａが設けられ、ピストン
１８ｂとシリンダーチューブ１７の端部との間に第２の
負圧室４８ｂが設けられ、これらの第１及び第２の負圧
室４８ａ及び４８ｂには、圧力制御バルブ２６を介して
真空接続管に接続されている。圧力制御バルブ２６の操
作により、第１及び第２の負圧室４８ａ、４８ｂのいず
れか一方が負圧源に連通する場合は他方が大気に開放さ
れ、これらの第１の負圧室４８ａと第２の負圧室４８ｂ
との間に生じる圧力差により、ピストン１８ａ及び１８
ｂが往復運動を行うようになっている。

【００４３】図３に示した場合と同様に、この複動ダイ
アフラム式シリンダ４３のロッド２２はその先端を、ブ
ロック３４にねじ結合されて連結され、このブロック３
４の上面及び下面に形成された突起にそれぞれローラ３
５が取り付けられている。操作アーム３２が弁軸６を回
転できるように、各ローラ３５は操作アーム３２の先端
に設けた溝部３３に嵌め込まれ、ロッド２２の変位とと
もに溝部３３に沿って移動する。

【００４４】前述のように、圧力制御バルブ２６の開閉
操作により、複動のシリンダ４３のロッド２２は弁体７
の全開の位置から全閉の位置までの範囲を往復運動をす
るために、一つのシリンダで弁軸６を回転させて大口径
の偏芯弁２の開閉操作を行うことができる。

【００４５】

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、真空
弁の弁体部に大口径の回転式の偏芯弁を用い、その開閉
を前述の変換手段を用いて、作動時の摩擦抵抗が極めて
小さいダイアフラムをシリンダの全行程において常にピ
ストンの外周面から外れないように装着したシリンダで
行うようにしている。それらにより、負圧源から導入さ
れる微少な負圧によって前記シリンダが円滑に作動し、
大口径の偏芯弁を弁体部に有する真空弁を操作して、前
記真空接続管の流路を確実に開閉することができる。そ
の結果、前記真空搬送システムは、従来よりも大規模の
区域にも対応可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の真空弁の第１の実施形態を示す一部
省略縦断側面図

【図２】（ａ）同上の偏芯弁の全開状態を示す模式図 （ｂ）同上の偏芯弁の全閉状態を示す模式図

【図３】図１のシリンダの拡大断面図

【図４】第１の実施形態の真空弁の弁体部とシリンダの
連結状態を示す横断平面図

【図５】第１の実施形態の真空弁の弁開度の表示機構を
示す平面図

【図６】第２の実施形態の真空弁の弁体部とシリンダの
連結状態を示す横断平面図

【図７】図６のシリンダの拡大断面図

【符号の説明】

１ 真空弁 ２ 偏芯弁 ３ シリンダ ４ 吸込み管 ５ 真空接続管 ６ 弁軸 ７ 弁体 ８ 弁箱 ９ 開口部 ９ａ 流入口 ９ｂ 流出口 １０ 弁座 １１ 弁蓋 １２ａ、１２ｂ 支持部 １３ａ、１３ｂ ブッシュ １４ パッキン １５ 支持軸 １６ 弁箱内壁 １７ シリンダチューブ １８、１８ａ、１８ｂ ピストン １９ ダイアフラム ２０ 段差 ２１ スペーサリング ２２ ロッド ２３ ヘッドカバー ２４ ブッシュ ２５ ロッドシール ２６ 操作バルブ ２７ 負圧室 ２８ 大気室 ２９ 円柱部 ３０ キー溝 ３１ ボス部 ３２ 操作アーム ３３ 溝部 ３４ ブロック ３５ ローラ ３６ ピン ３７ 指針 ３８ アームカバー ３９ 側面 ４０ ストッパー ４１ フランジ ４２ 下面 ４３ シリンダ ４４ スペーサ ４５ ボルト ４６ スペーサリング ４７ａ、４７ｂ 通気孔 ４８ａ、４８ｂ 負圧室 ４９ａ、４９ｂ ボルト

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｆ１６Ｋ 31/165 Ｆ１６Ｋ 31/165 31/385 31/385 31/44 31/44 Ｆ Ｇ (72)発明者 桑原 隆 大阪市西区北堀江１丁目12番19号 株式会 社栗本鐵工所内 (72)発明者 伊藤 宏 愛知県常滑市鯉江本町５丁目１番地 株式 会社イナックス内 Ｆターム(参考） 2D063 AA07 3H052 AA02 CA34 CA39 EA02 3H056 AA07 BB06 CA08 CB02 CC03 CD04 CE04 DD04 DD05 DD06 DD07 GG05 3H063 AA02 BB08 DA15 DB46 GG06 3H066 AA02 BA23

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空搬送システムの真空接続管に取り付
   けられ、この真空接続管の流路の開閉操作をシリンダ駆
   動により行う真空弁において、前記真空弁が弁軸の回転
   操作により弁体を回転させて前記流路の開閉を行う弁体
   部を有し、シリンダの直線運動を弁軸の回転運動に変換
   する手段を介在させて、前記弁軸の回転操作を、ピスト
   ンとシリンダチューブとがダイアフラムによりシールさ
   れ、負圧を用いて作動するシリンダにより行うようにし
   たことを特徴とする真空弁。
2. 【請求項２】 前記シリンダが、その端縁を前記シリン
   ダチューブに固定され、前記シリンダチューブと前記ピ
   ストンとの間で折り返して前記ピストンをその側面から
   端面にかけて覆うように張設されたダイヤフラムを備え
   たことを特徴とする請求項１に記載の真空弁。
3. 【請求項３】 前記シリンダが、そのシリンダチューブ
   の内部を前記ダイアフラムにより負圧源に接続した負圧
   室と大気に連通した大気室の二つの室に分けられ、前記
   負圧室と大気室との圧力差により前記ピストンを一方向
   に移動させるようにした単動式シリンダであり、この単
   動式シリンダを前記弁体部の両側に対向して配置し、前
   記圧力差をこれらのシリンダ内に交互に生じさせ、前記
   の直線運動を回転運動に変換する手段を介在させて前記
   弁軸を前記弁体の開方向又は閉方向に回転させるように
   したことを特徴とする請求項１又は２に記載の真空弁。
4. 【請求項４】 前記シリンダが、そのシリンダチューブ
   内に２個のピストンが対向してロッドに取り付けられ、
   前記ピストンはスペーサを介在させて互いに連結され、
   前記の各ピストンと前記シリンダチューブの端部との間
   にそれぞれ圧力制御バルブを介して負圧源に接続した第
   １及び第２の負圧室が設けられ、これらの負圧室は前記
   ダイアフラムにより仕切られ、前記圧力制御バルブの操
   作により、いずれか一方が負圧源に連通する場合は他方
   が大気に開放され、前記第１の負圧室と前記第２の負圧
   室の間に生じる圧力差により、前記ピストンが往復運動
   を行うようにされた複動式シリンダであり、この複動式
   シリンダにより、前記の直線運動を回転運動に変換する
   手段を介在させて、前記弁軸を前記弁体の開方向又は閉
   方向に回転させるようにしたことを特徴とする請求項１
   又は２に記載の真空弁。
5. 【請求項５】前記ダイアフラムがゴム又はゴムを母材と
   した弾性体により形成されることを特徴とする請求項１
   から４のいずれかに記載の真空弁。
6. 【請求項６】 前記弁体が前記弁軸の回転中心と偏芯し
   て設けられていることを特徴とする請求項１から５のい
   ずれかに記載の真空弁。