JP2002013479A - 往復動ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 チャッキボール近傍の流体の逆流による洩れ
に対応する量の流体を補充すべく構成されることによっ
て、効果的に脈動を防止することができる往復動ポンプ
を提供することを課題とする。 【解決手段】搬送される流体と接した状態で往復動する
ダイヤフラムと、ダイヤフラムを駆動させる駆動力供給
部とを備えた往復動ポンプにおいて、駆動力供給部が、
一つの偏心カム（４２）と、偏心カム（４２）の回転に
よって往復動する第一のピストン部（４３）および第二
のピストン部（４４）と、偏心カム（４２）の駆動力を
各ピストン部（４３），（４４）に伝えるべく、偏心カ
ム（４２）に接する接触転動要素とを用いて構成されて
おり、ダイヤフラムの駆動状態を調整可能な駆動調整機
構が設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、往復動ポンプに関
し、詳しくは、往復動する駆動手段としてダイヤフラム
等（他には、例えばピストンまたはプランジャ等）を用
いて構成された往復動ポンプに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ダイヤフラムを駆動させて流体を搬送さ
せる往復動ポンプは、従来から知られている。係る往復
動ポンプにおいては、モータ等の駆動手段で得られる回
転運動をカムを介して直線往復運動に変換して、この直
線往復運動にてダイヤフラムを駆動させるべく構成され
ている。

【０００３】上記従来技術に係る往復動ポンプは、一般
的には、化学薬品や薬剤等を注入する際の、いわゆる定
量注入等に用いられている。つまり、ダイヤフラムを用
いて構成された往復動ポンプ（以下、単に「往復動ポン
プ」ともいう。）は、従来から、定量搬送を必要とする
箇所に設けられている。

【０００４】しかし、以上のような利点（吐出流量の変
動が少ないという利点）を有する往復動ポンプにも、次
のような問題がある。上記往復動ポンプは、ダイヤフラ
ムの往復動に基づいて流体の搬送を行うわけであるが、
その際には、ダイヤフラムが往動することによってポン
プヘッド部内の流体が加圧されて押し出され（以下、
「往動工程」という。）、ダイヤフラムが復動すること
によってポンプヘッド部内が減圧されて流体が引き込ま
れる（以下、「復動工程」という。）こととなる。従来
技術に係る往復動ポンプにおいては、このような比較的
細かい動作たる往動工程と復動工程とを所定時間に所定
回数繰り返すことによって、全体として定量搬送を可能
とするが、一の往動工程と一の復動工程とを比較すれ
ば、これらの工程間には、大きな吐出流量の差が存在す
る（基本的に、復動工程においては吐出は行わな
い。）。すなわち、上記従来技術に係る往復動ポンプに
おいては、この吐出流量の差によって、搬送される流体
に脈動が発生するという問題が生ずるわけである。

【０００５】そこで、係る問題を解決するための技術と
して、最近は、ダイヤフラムを有するポンプヘッドを二
つ設けた構造の往復動ポンプが知られている。

【０００６】図１２は、従来技術に係る往復動ポンプの
概略斜視図を示したものである。図１２において、往復
動ポンプ２００は、第一のポンプヘッド部２１０と、第
二のポンプヘッド部２２０と、これらのポンプヘッド部
２１０，２２０に内包されているダイヤフラムを駆動さ
せる駆動部２３０と、各ポンプヘッド部２１０，２２０
における流体の流入側および流出側に設けられた逆止弁
機構（例えば、バルブ部および弁座部等から成る）（図
示省略）を有した接続部２１１，２１２，２２１，２２
２等とを用いて構成されている。ここで、駆動部２３０
は、例えば、電動モータ等を用いて構成されている。

【０００７】往復動ポンプ２００には、液体の流入側に
流入側配管部２４０が接続され、流出側に流出側配管部
２５０が接続されている。具体的には、流入側配管部２
４０に設けられた流入側フランジ部２４１，２４２と、
ポンプ流入側フランジ部２１３，２２３とがボルト等を
用いて連結され、流出側配管部２５０に設けられた流出
側フランジ部２５１，２５２と、ポンプ流出側フランジ
部２１４，２２４とがボルト等を用いて連結されること
によって、往復動ポンプ２００と配管部２４０，２５０
とが接続されている。

【０００８】ここで、通常、各接続部２１１，２１２，
２２１，２２２の一方の端部は、ポンプヘッド部２１
０，２２０に螺合状態で固着されている。また、各接続
部２１１，２１２，２２１，２２２の他方の端部には、
フランジ部２１３，２１４，２２３，２２４が固着され
ている。さらに、各接続部２１１，２１２，２２１，２
２２内には、それぞれチャッキボール（図示省略）が配
設されている。

【０００９】そして、上記往復動ポンプ２００を構成す
る各ポンプヘッド部２１０，２２０に内包されているダ
イヤフラムは、一方のダイヤフラムが往動工程のときは
他方のダイヤフラムが復動工程となり、一方のダイヤフ
ラムが復動工程のときは他方のダイヤフラムが往動工程
となるように構成されている。

【００１０】すなわち、図１２に示された往復動ポンプ
によれば、一方のダイヤフラムが他方のダイヤフラム
を、他方のダイヤフラムが一方のダイヤフラムを補完す
べく駆動するので、従来問題であった脈動を効果的に改
善可能な往復動ポンプを得ることができる。この際、従
来技術に係る往復動ポンプにおいては、各ダイヤフラム
が、それぞれ略１８０゜位相の異なるカムを用いて駆動
させられており、各ダイヤフラムについては、所定方向
（通常は吐出と反対方向）にダイヤフラムを付勢すべ
く、付勢手段（スプリング等）が設けられている。

【００１１】往復動ポンプ２００を構成する各ポンプヘ
ッドの内部は、例えば、図１３に示すように構成されて
いる。図１３は、従来技術に係る往復動ポンプ２００を
構成するいずれか一方のポンプヘッド部の一部の縦断面
図を示したものである。

【００１２】図１３においては、ダイヤフラム３０１を
往復動させるための駆動手段たるピストン部３４３が、
ベアリング３４７を有するベアリング支持部３４８に固
着されており、ピストン部３４３等を内包する支持体３
５０とベアリング支持部３４８との間には付勢手段３４
９が設けられ、この付勢手段３４９によってベアリング
３４７が偏心カム３４２に接すべく（図面上の右方向
に）付勢して構成されている。そして、図１３において
は、図面上の左方向に搬送流体が流通する配管部２４
０，２５０等が設けられている。

【００１３】このように構成された従来技術に係る往復
動ポンプによれば、偏心カム３４２を矢印Ｒ方向に回転
させることによって、ベアリング３４７、ベアリング支
持部３４８、およびピストン部３４３等を介してダイヤ
フラム３０１が矢印Ｚ方向に往復動されることとなる。
その際、偏心カム３４２のＴ０点からＴ１点までがダイ
ヤフラム３０１の吐出工程となり、Ｔ０点のときの上死
点Ｓ０からＴ１点のときの下死点Ｓ１までのストローク
距離Ｓが、付勢手段３４９が撓む距離ということにな
る。

【００１４】すなわち、この従来技術に係る往復動ポン
プによれば、偏心カム３４２とベアリング３４７とが接
した状態で、偏心カム３４２が回転し、この回転に基づ
いてピストン部３４３が往復動することによって、適切
にダイヤフラム３０１を往復動させて、流体の搬送を行
っている。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術に係る往復動ポンプには、次のような問題があっ
た。

【００１６】従来技術に係る往復動ポンプ２００は、上
述したように、付勢手段３４９によって、ベアリング３
４７の外輪側が偏心カム３４２に接触すべく付勢され、
その状態にて、偏心カム３４２の駆動力がピストン部３
４３等を介してダイヤフラム３０１に伝えられる。すな
わち、常時、ベアリング３４７の外輪側と偏心カム３４
２とが接触した状態で往復動ポンプが駆動されることと
なる。

【００１７】このような構成によれば、ダイヤフラムの
動きに応じて、各接続部２１１，２１２，２２１，２２
２内の各チャッキボールに対しては、正圧と負圧とが交
互に作用することとなり、ダイヤフラムおよびチャッキ
ボールの作用によって、流入側配管部２４０から流出側
配管部２５０に、流体が搬送されることとなる。

【００１８】しかしながら、従来技術に係る往復動ポン
プは、左右各ポンプの吸込工程が終了し、吐出工程をは
じめるときに、吸込側弁座（接続部２１１，２２１側の
弁座）で、チャッキボールが着座するまでの短時間に、
わずかな量の液体が流入側配管部２４０側に逆流すると
いう現象が発生する。また、ピストン部の駆動力をダイ
ヤフラムに伝達する作動油中には、何等かの原因によっ
てエアが混入する場合がある。このようにエアの混入が
生ずると、作動油中のエアが圧縮されることがある。ま
た、超高圧（例えば、１０ＭＰａ以上）の環境下におい
ては、ポンプを駆動させる際において、作動油自体が圧
縮されて体積変化等の現象が生ずることがある。すなわ
ち、従来技術に係る往復動ポンプにおいては、上述した
逆流による洩れや、エアの圧縮あるいは作動油の体積変
化（減少方向）等が発生して、脈動が生ずるという問題
があった。

【００１９】そこで、本発明は、上記従来技術に係る問
題を解決するためになされたものであって、チャッキボ
ール近傍の流体の逆流による洩れに対応する量の流体を
補充すべく構成されることによって、効果的に脈動を防
止することができる往復動ポンプを提供することを課題
とする。

【００２０】

【課題を解決するための手段】すなわち、上記課題を解
決するための本発明は、搬送される流体と接した状態で
往復動するダイヤフラムと、前記ダイヤフラムを駆動さ
せる駆動力供給部とを備えた往復動ポンプにおいて、前
記駆動力供給部が、一つの偏心カムと、前記偏心カムの
回転によって往復動する第一のピストン部および第二の
ピストン部と、前記偏心カムの駆動力を前記各ピストン
部に伝えるべく、前記偏心カムに接する接触転動要素と
を用いて構成されており、前記ダイヤフラムの駆動状態
を調整可能な駆動調整機構が設けられていることを特徴
としている。

【００２１】本発明に係る往復動ポンプによれば、前記
駆動調整機構を設けることによって、前記ダイヤフラム
の駆動状態を適宜調整可能であるため、前記往復動ポン
プの吐出側にて脈動等が発生したとしても、その脈動部
分の減少分を補正すべく、前記ダイヤフラムを駆動させ
ることが可能となり、効果的に脈動を防止可能な往復動
ポンプを得ることができる。

【００２２】また、本発明に係る往復動ポンプにおいて
は、前記ピストン部の駆動力が作動油を介して前記ダイ
ヤフラムに伝達されるべく構成されており、前記駆動調
整機構が、各ピストン部の動きに応じて駆動する補助プ
ランジャと、前記補助プランジャの作用時間を調整可能
な調整用プランジャとを有し、前記補助プランジャが前
記作動油を押圧することによって前記ダイヤフラムの駆
動状態が調整される構成が好ましい。

【００２３】この好ましい構成によれば、前記往復動ポ
ンプの吐出側にて脈動等が発生したとした場合であって
も、前記補助プランジャによって前記作動油を押圧する
ことによって、前記脈動部分の補正すべく、前記ダイヤ
フラムを駆動させることが可能であるため、効果的に脈
動を防止可能な往復動ポンプを得ることができる。

【００２４】また、本発明に係る往復動ポンプにおいて
は、前記補助プランジャと前記調整用プランジャとの間
隔が前記補助プランジャの作用時間を規制し、前記間隔
を任意に設定可能であるべく前記調整用プランジャが構
成されていることが好ましい。

【００２５】この好ましい構成によれば、前記補助プラ
ンジャの作用時間を任意に設定可能であるため、ポンプ
の機差等によって、種々の脈動等が生ずる場合であって
も、各ポンプ毎に前記調整用プランジャを用いた調整が
可能であるため、効果的に脈動を防止可能な往復動ポン
プを得ることができる。

【００２６】また、本発明に係る往復動ポンプにおいて
は、前記駆動調整機構が、前記偏心カムを駆動させる可
変速モータと、前記偏心カムの位置を検知可能な回転位
置検出器と、前記回転位置検出器における位置信号に基
づいて前記可変速モータを制御可能な制御手段とを用い
て構成されていることが好ましい。

【００２７】この好ましい構成によれば、前記位置信号
および前記制御手段を用いて、適宜前記可変速モータを
制御可能であるため、前記ダイヤフラムを駆動させる前
記偏心カムの回転速度を適切に制御できる。よって、脈
動等が発生したとしても、必要に応じて、前記偏心カム
の回転を制御し、前記ダイヤフラムの駆動状態を制御す
ることによって、効果的に脈動等を防止可能な往復動ポ
ンプを得ることができる。

【００２８】また、本発明に係る往復動ポンプにおいて
は、搬送される流体の吐出側に脈動検知手段が設けられ
ており、前記脈動検知手段にて検出された脈動信号が前
記制御手段にフィードバックされるべく構成されてお
り、前記位置信号と前記脈動信号と前記制御手段とに基
づいて前記可変速モータが制御される構成が好ましい。
ここで、前記脈動検知手段としては、搬送流体の脈動を
何等かの形で検知可能な流量計、圧力計等の検知手段を
用いることが好ましい。

【００２９】さらに、本発明に係る往復動ポンプにおい
ては、前記可変速モータがステッピングモータであるこ
とが好ましく、また、本発明に係る往復動ポンプにおい
ては、前記回転位置検出器が、ロータリーエンコーダあ
るいはタコジェネレータである構成が好ましい。

【００３０】

【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて、本発明の
実施の形態を説明する。

【００３１】図１は、本発明の第一の実施形態に係る往
復動ポンプの概略断面図を示したものである。また、図
２は、図１の往復動ポンプを構成する流体搬送部の拡大
図を示したものであり、図２（イ）は組立状態を示し、
図２（ロ）は分解状態を示している。さらに、図３は図
１のIII−III断面図を示したものであり、図４は、図１
のIV−IV断面図を示したものである。以下、これらの図
面に基づいて、本実施形態に係る往復動ポンプについて
詳細に説明する。

【００３２】本実施形態に係る往復動ポンプは、ダイヤ
フラム（第一のダイヤフラム１および第二のダイヤフラ
ム２）が往復動することによって流体の搬送を実現する
流体搬送部１０と、ダイヤフラム１，２を駆動させるべ
く適切なタイミングで作動油を供給する駆動力供給部４
０と、この駆動力供給部４０の偏心カムを駆動させる駆
動部７０等とを用いて構成されている。

【００３３】本実施形態に係る往復動ポンプを成す流体
搬送部１０は、具体的には、図１、図２および図４に示
すべく構成されている。これらの図面において、流体搬
送部１０は、第一のダイヤフラム１と、第二のダイヤフ
ラム２と、ポンプヘッド３と、このポンプヘッド３と共
にダイヤフラム１，２を挟持して支持するダイヤフラム
支持体（第一のダイヤフラム支持体４および第二のダイ
ヤフラム支持体５）と、ダイヤフラム１，２の接液面１
ａ，２ａ側であってポンプヘッド３と各ダイヤフラム
１，２との間に設けられた搬送流体流通部（第一の搬送
流体流通部６および第二の搬送流体流通部７）と、ダイ
ヤフラム１，２の裏面（接液面１ａ，２ａの裏面）側で
あって各ダイヤフラム支持体４，５と各ダイヤフラム
１，２との間に設けられた作動油流通部（第一の作動油
流通部８および第二の作動油流通部９）と、駆動力供給
部４０（後述する）からの駆動力を伝達する配管部（第
一の配管部２１および第二の配管部２２）に連通すべく
形成された作動油供給部（第一の作動油供給部１１およ
び第二の作動油供給部１２）等とを用いて構成されてい
る。

【００３４】ここで、各ダイヤフラム１，２は、その断
面形状が、例えば、波形形状、曲面形状等に形成されて
いるが、図２等においては、図面の複雑化を避けるため
に、あえて具体的な断面形状については省略している。
また、ポンプヘッド３には、流体を搬送する際の搬送経
路３Ａ，３Ｂが形成されている。そして、これらの搬送
経路３Ａ，３Ｂの流入側と流出側には、図４に示すべ
く、それぞれ逆止弁（流入側逆止弁２３、流出側逆止弁
２４）が設けられている。ここで、各逆止弁２３，２４
は、ボールチャッキを二個用いて構成されている。さら
に、各ダイヤフラム１，２とポンプヘッド３との間に
は、搬送流体流通部６，７が設けられている。搬送流体
流通部６，７には、複数個の貫通孔が形成されており、
ダイヤフラム１，２の往復動による正圧・負圧が貫通孔
を介して搬送経路３Ａ，３Ｂに伝えられる。そして、こ
のダイヤフラム１，２の往復動（による正圧・負圧）に
よって、逆止弁２３，２４が開閉して、流体の搬送が行
われる。

【００３５】各ダイヤフラム１，２の裏面側には、作動
油流通部８，９を介してダイヤフラム支持体４，５が設
けられており、このダイヤフラム支持体４，５とポンプ
ヘッド３とによって、ダイヤフラム１，２が挟持して固
定されている。また、ダイヤフラム支持体４，５とポン
プヘッド３とは、ボルト等の締結手段にて締結されてい
る。作動油流通部８，９には、複数個の貫通孔が形成さ
れており、後述する駆動力供給部４０から供給される作
動油が、この貫通孔を介してダイヤフラム１，２裏面側
に対して送排出されることとなる。また、作動油流通部
８，９には、駆動力供給部４０に連通した作動油供給部
１１，１２が取り付けられており、この作動油供給部１
１，１２は、ボルト等にて作動油流通部８，９に締結さ
れている。

【００３６】次に、本実施形態に係る往復動ポンプを成
す駆動力供給部４０は、具体的には、図１、図３、およ
び図４等に示すべく構成されている。これらの図面にお
いて、駆動力供給部４０は、後述する駆動部７０からの
駆動力を伝える駆動力伝達軸４１と、この駆動力伝達軸
４１に取り付けられた偏心カム４２と、この偏心カム４
２の動きに応じて往復動するピストン部（第一のピスト
ン部４３および第二のピストン部４４）と、第一のピス
トン部４３内のベアリング４７，４７の内輪で支持され
た第一の回動軸４５と、第二のピストン部４４内のベア
リング４８，４８の内輪で支持された第二の回動軸４６
と、第二のピストン部４４内にて第一のピストン部４３
と第二のピストン部４４とを適切に付勢して、各ピスト
ン部４３，４４内に設けられている各回動軸４５，４６
を偏心カム４２に接触させるべく機能する調整手段たる
位置規制付勢手段４９と、これらの各要素を内包してい
るケーシング部５０等とを用いて構成されている。そし
て、以上のような要素を有する駆動力供給部４０におい
ては、ケーシング部５０内壁とピストン部４３，４４と
の間の密閉空間に、作動油が充填されている。

【００３７】本実施形態に係る駆動力供給部４０におい
ては、第二のピストン部４４が中空状に形成されてい
る。すなわち、第二のピストン部４４は、その内部に、
駆動力伝達軸４１、偏心カム４２、第一のピストン部４
３、ベアリング４８、および位置規制付勢手段４９等が
包含可能であるべく形成されている。そして、第二のピ
ストン部４４の内壁部（内面部）４４ａと第一のピスト
ン部４３の外壁部（外面部）４３ａとの間には、位置規
制付勢手段４９が挟持されている。すなわち、この位置
規制付勢手段４９によって、第一および第二のピストン
部４３，４４が偏心カム４２の位置する方向に付勢され
ることとなる。換言すれば、この位置規制付勢手段４９
によって、第一のピストン部４３内の第一の回動軸４５
と、第二のピストン部４４内の第二の回動軸４５とが、
常に偏心カム４２の外周面に接すべく、適切に付勢され
ることとなる。

【００３８】また、ケーシング部５０には、各配管部２
１，２２に連通すべく、作動油の供給口（第一の供給口
５１および第二の供給口５２）が形成されている。そし
て、各ピストン部４３，４４の端面部４３ａ，４４ａか
ら、供給口５１，５２、配管部２１，２２等を介して、
各ダイヤフラム１，２までの間に形成される空間は、略
密閉状態に構成されており、この空間内には、作動油が
充填されている。したがって、本実施形態においては、
各ピストン部４３，４４の動きに応じて作動油に対して
正圧・負圧が作用し、この圧力変動により各供給口５
１，５２を介して作動油が流通することとなる。そし
て、この作動油によって、ダイヤフラム１，２が往復動
することとなる。

【００３９】次に、本実施形態に係る往復動ポンプを成
す駆動部７０は、図１および図４に示すべく構成されて
いる。これらの図面において、駆動部７０は、回転運動
を生ずる電動モータ７１と、この電動モータ７１からの
回転力を先に述べた駆動力伝達軸４１に伝えるためのギ
ヤ部７２等とを用いて構成されている。

【００４０】以上のように、本実施形態に係る往復動ポ
ンプは、流体搬送部１０、駆動力供給部４０、および駆
動部７０等を用いて構成されており、次のように機能す
る。

【００４１】本実施形態に係る往復動ポンプにおいて
は、まずはじめに、電動モータ７１を回転させて、この
回転力をギヤ部７２を介して駆動力伝達軸４１に伝え
る。

【００４２】次に、この駆動力伝達軸４１によって偏心
カム４２を回転させ、この偏心カム４２の回転によっ
て、第一および第二のピストン部４３，４４を往復動さ
せる。ここでは、上述した構成に基づいて、第一のピス
トン部４３と第二のピストン部４４とが一体的に、一つ
の偏心カム４２によって往復動する。そして、このピス
トン部４３，４４の往復動によって作動油に対して所定
の力および方向の圧力が作用し、その作動油が、供給口
５１，５２を介して配管部２１，２２に送排出されるこ
ととなる。

【００４３】次に、配管部２１，２２を介して流通する
作動油に基づいて、ダイヤフラム１，２が適切なタイミ
ングで往復動し、このダイヤフラム１，２の動きによっ
て、流入側逆止弁２３および流出側逆止弁２４が作動し
て、所望の液体が搬送されることとなる。

【００４４】以上のように構成され、そして機能する本
実施形態に係る往復動ポンプは、係る構成および機能の
少なくとも一方に基づいて、以下のような特徴を有する
こととなる。

【００４５】本実施形態に係る往復動ポンプを構成する
駆動力供給部４０は、上述したように、ケーシング５０
内に設けられた偏心カム４２、ピストン部４３，４４、
および位置規制付勢手段４９等を用いて構成されてい
る。また、各ピストン部４３，４４には、ベアリング４
７，４８が設けられており、このベアリング４７，４８
の内輪側に支持された第一および第二の回動軸４５，４
６に対して、偏心カム４２の外周部が接するべく構成さ
れている。

【００４６】すなわち、本実施形態に係る往復動ポンプ
においては、ピストン部４３，４４を往復動させるため
の駆動力が、偏心カム４２から第一および第二の回動軸
４５，４６を介して伝えられることとなる。したがっ
て、本実施形態によれば、従来（ベアリングの外輪側）
よりも径が小さい回動軸４５，４６（ベアリングの内輪
側）と、偏心カム４２とが接触した状態で往復動ポンプ
が駆動することとなる。よって、本実施形態によれば、
偏心カム４２との間に生ずる圧力角を従来よりも小さく
することが可能となり、長期間の無脈動搬送を実現する
ことができる。つまり、従来技術と比較して、往復動ポ
ンプの長寿命化を図ることが可能となる。

【００４７】また、本実施形態においては、二つのダイ
ヤフラム１，２を駆動させる場合であっても、従来の如
く（図１２および図１３参照）、それぞれカムおよびス
プリング等を有した二つのポンプヘッド部等を設ける必
要がない。すなわち、本実施形態によれば、一つの偏心
カム４２を用いて、二つのピストン部４３，４４を往復
動させ、これに基づいて、二つのダイヤフラム１，２を
往復動させている。

【００４８】したがって、本実施形態によれば、二つの
ダイヤフラムを駆動させる場合であっても、従来より
も、部品点数を削減することが可能となり、それに伴
い、封止部の数も減らすことができるので、液漏れ等の
発生確率を低減可能な往復動ポンプを得ることができ
る。

【００４９】また、本実施形態に係る往復動ポンプは、
上述したように、従来よりも構成要素を少なくすること
が可能となるので、各要素の製作誤差の発生確率を従来
よりも低減でき、また、その分組立誤差等も低減可能と
なる。したがって、本実施形態によれば、従来技術にお
いては往復動ポンプの駆動状態に悪影響を及ぼしていた
各要素の製作誤差・組立誤差等を、部品点数の低減等に
より、効果的に削減することが可能となる。

【００５０】また、従来であれば、二つの偏心カムを１
８０゜位相をずらして取り付ける必要があり、さらに、
取り付ける偏心カムは、同一の形状であることが必要で
あったので、製作誤差・組立誤差等に高い精度が要求さ
れていた。よって、製作・組立等の工程が非常に煩雑で
あった。しかしながら、本実施形態においては、一つの
偏心カムを用いて構成されているので、従来のように二
つの偏心カムの形状の同一性等求められることはなく、
また、一つの偏心カムであるため、従来ほどの組立精度
等を要求されることはない。したがって、本実施形態に
よれば、従来ほどの煩雑な工程を経ることなく、効率的
に往復動ポンプ（および各要素）を製作・組立等するこ
とが可能となる。

【００５１】さらに、本実施形態に係る往復動ポンプ
は、以下の理由により、従来と比較して、より小型化す
ることが可能となる。

【００５２】図５は、本実施形態に係る駆動力供給部４
０を構成する第二のピストン部４４の駆動状態を示した
ものである。ここで、図５（イ）は、第二のピストン部
４４が下死点にある状態を示し、図５（ロ）は、第二の
ピストン部４４が上死点にある状態を示している。図５
においては、所定位置（偏心カム４２等の回転、往復運
動によって特に変動しない適当な位置、例えばケーシン
グ５０壁面）から第二のピストン部４４の端面部４４ａ
までの距離を、それぞれ下死点距離Ｐ１、上死点距離Ｐ
２としている。

【００５３】本実施形態に係る往復動ポンプにおいて
は、この図５における下死点と上死点との距離の差が、
往復動ポンプにおける第二のピストン部４４のストロー
ク距離Ｐ（Ｐ＝Ｐ２−Ｐ１）となる。なお、ここでは、
省略するが、１８０゜位相をずらした状態において、第
一のピストン部４３についても、同様のストローク距離
Ｐにて往復動が行われる。

【００５４】本実施形態においては、図５（イ）の如く
第二のピストン部４４が下死点にある状態を「偏心カム
角度０゜」と定義して、第二のピストン部４４を押し込
む方向に偏心カム４２を回転させて、例えば、偏心カム
４２が２１０゜回転したときに第二のピストン部４４が
上死点にある状態となる。なお、この偏心カム４２の回
転角度は、偏心カムの形状等に基づいて、適宜変更し得
るものである。

【００５５】また、図６は、本実施形態に係る駆動力供
給部４０を構成する位置規制付勢手段４９の作動状態を
示したものである。ここで、図６（イ）は、位置規制付
勢手段４９が最も縮んだ状態（最小長さＲ１）を示し、
図６（ロ）は、位置規制付勢手段４９が最も伸びた状態
（最大長さＲ２）を示している。

【００５６】本実施形態に係る往復動ポンプにおいて
は、この図６における縮んだ状態（最小長さＲ１）と伸
びた状態（最大長さＲ２）との距離の差が、位置規制付
勢手段４９の最大撓み距離Ｒ（Ｒ＝Ｒ２−Ｒ１）とな
る。

【００５７】つまり、本実施形態に係る往復動ポンプに
おいては、第一のピストン部４３と第二のピストン部４
４とに挟持された位置規制付勢手段４９が、偏心カム４
２の回転に伴って、ピストン部４３，４４と共にスライ
ドしながら最大撓み距離Ｒの分だけ、伸び縮みすること
となる。

【００５８】図５および図６から明らかなように、本実
施形態によれば、ピストン部の往復動距離Ｐに対して、
位置規制付勢手段４９の最大撓み距離Ｒは、かなり小さ
な距離となっている。本実施形態においては、Ｐ：Ｒ＝
４：１程度となっている。

【００５９】一方、従来技術においては、上述したよう
に、ピストンのストローク距離と付勢手段が撓む距離と
は、同一であった（ピストンのストローク距離分撓む付
勢手段が必要であった）わけであるが（図１３参照）、
本実施形態によれば、位置規制付勢手段４９の撓み量Ｒ
は、ストローク距離Ｐの１／４程度でよいこととなる。

【００６０】したがって、本実施形態によれば、従来よ
りも、小型で従来ほどの強度も必要ない付勢手段を用い
て位置規制付勢手段４９を構成することが可能となるの
で、駆動力供給部４０、延いては往復動ポンプの小型化
を実現することができる。

【００６１】また、本実施形態に係る往復動ポンプを構
成する位置規制付勢手段４９は、コイルばね等の付勢手
段を用いて形成されているので、その付勢力によって、
第一のピストン部４３と第二のピストン部４４とを偏心
カム４２の位置する方向に（偏心カム４２に接する方向
に）効果的に付勢し、ピストン部４３，４４と偏心カム
４２との位置関係を適切に維持することができる。

【００６２】さらに、位置規制付勢手段４９は、コイル
ばね等の付勢手段を用いて形成されているので、偏心カ
ム４２（の対角距離の変化等）に起因して、各ピストン
４３，４４および偏心カム４２との間に隙間が生ずる方
向に力が作用する場合であっても、付勢手段であるため
（コイルばね等が付勢力と共に弾性力をも有するた
め）、係る隙間を効果的に吸収することができる。すな
わち、位置規制付勢手段４９が、各ピストン４３，４４
等に生ずる隙間を効果的に吸収する緩衝機能をも備える
こととなる。

【００６３】以上説明したように、本実施形態によれ
ば、従来よりも撓み量の少ない小型の付勢手段を用い
て、往復動ポンプを構成することが可能となる。このよ
うな小型の付勢手段を用いて構成可能となるのは、図３
等に示したように、本実施形態に係る駆動力供給部４０
を構成するピストン部４３，４４が、それぞれスライド
しつつ、往復動を繰り返すべく構成されているからであ
る。

【００６４】すなわち、本実施形態に係る往復動ポンプ
によれば、第二のピストン部４４が中空状に形成されて
おり、この第二のピストン部４４の内部に偏心カム４２
と第一のピストン部４３とが設けられ、この第一のピス
トン部４３の外面部４３ａと第二のピストン部４４の内
面部４４ａとの間に調整手段たる位置規制付勢手段４９
が設けられているため、偏心カム４２の回転によって第
一のピストン部４３と第二のピストン部４４とが位置規
制付勢手段４９を伴って往復動することとなる。つま
り、偏心カム４２の回転によって、位置規制付勢手段４
９を挟持した状態でピストン部４３，４４がそれぞれス
ライドしつつ、往復動を繰り返すこととなるため、上述
したように、位置規制付勢手段４９の小型化を実現する
ことが可能となる。

【００６５】なお、本実施形態に係る往復動ポンプは、
各ピストン部４３，４４と各ダイヤフラム１，２との間
に作動油を有し、この作動油を介して各ピストン部４
３，４４からの駆動力を各ダイヤフラム１，２に伝える
構成について説明したが、本発明は、この構成に限定さ
れるものではなく、何等かの手段によって各ピストン部
４３，４４からの駆動力を各ダイヤフラム１，２に伝え
ることが可能であればよい。したがって、例えば、各ピ
ストン部と各ダイヤフラム１，２とが機械的に連動可能
であるべく構成されていてもよい。また、本実施形態に
係る往復動ポンプにおいては、接液部にダイヤフラムを
用いる場合について説明したが、本発明はこの構成に限
定されるものではなく、例えば、接液部にピストンある
いはプランジャ等を設けて、往復動ポンプを構成しても
よい。

【００６６】また、本実施形態に係る往復動ポンプは、
二つのダイヤフラム１，２を有し、これらの各接液面１
ａ，２ａは、搬送流体流通部６，７およびポンプヘッド
３を介して略平行となるべく設けられている。さらに、
各ダイヤフラム１，２の裏面側には、作動油流通部８，
９を介してダイヤフラム支持体４，５が設けられてい
る。つまり、本実施形態によれば、ポンプヘッド３、ダ
イヤフラム支持体４，５、搬送流体流通部６，７、およ
び作動油流通部８，９等を用いて、搬送流体流通ブロッ
ク２５が形成されることとなる（図２（ロ）参照）。な
お、この搬送流体流通ブロック２５は、上記構成に限定
されるものではなく、搬送流体を漏洩させない状態であ
れば、他の構成としてもよい。例えば、ダイヤフラム
１，２をポンプヘッド３に固着させて、これらの部材を
用いて搬送流体流通ブロックを構成してもよい。

【００６７】このように構成された搬送流体流通ブロッ
ク２５は、第一のダイヤフラム１と第二のダイヤフラム
２との間が密閉空間として形成されているため、図２
（ロ）に示すべく作動油供給部１１，１２等を取り外し
た状態においても、搬送流体流通ブロック２５内から搬
送流体が漏洩することはない。

【００６８】したがって、以上のように構成された本実
施形態に係る往復動ポンプによれば、メンテナンス処理
を効率的に行うことが可能となる。すなわち、本実施形
態に係る往復動ポンプによれば、図２（ロ）に示すよう
に、搬送流体流通ブロック２５を分解等することなく、
配管部２１，２２等を取り外し、駆動力供給部４０のメ
ンテナンス（例えば、偏心カム４２、位置規制付勢手段
４９の交換等）を行うことが可能となるので、従来のよ
うに、二つのポンプヘッド部の分解・組立等を行うこと
なく、メンテナンス処理を行うことができる。よって、
本実施形態においては、搬送流体流通ブロック２５内を
流通する搬送流体を予め抜いたりすることなく、駆動力
供給部４０のメンテナンス等を行うことが可能である、
メンテナンス性に優れた往復動ポンプを得ることができ
る。

【００６９】また、本実施形態に係る往復動ポンプも、
従来と同様に二つのダイヤフラムを有しているが、本実
施形態によれば、二つのダイヤフラムが一つのブロック
（搬送流体流通ブロック２５）内に設けられているの
で、従来のように二つの独立したポンプヘッド部を有す
る場合と比較すれば、ポンプを構成する際の部品点数を
大幅に減少させることが可能となる。したがって、部品
点数の減少に伴い、封止部の数も従来よりも削減させる
ことが可能となるので、封止部の減少分だけ液漏れの可
能性を低減させることができる。

【００７０】さらに、本実施形態に係る往復動ポンプに
よれば、対向するダイヤフラム１，２の間にポンプヘッ
ド３が設けられているので、一のダイヤフラムの動きが
他のダイヤフラムに対して悪影響等を及ぼすことなく、
各ダイヤフラムがそれぞれ所定の動きを適切に実施する
ことができる。したがって、本実施形態によれば、各ダ
イヤフラムにおける吐出流量が適切に保持され、効果的
に搬送流体の脈動を防止することが可能な往復動ポンプ
を得ることができる。

【００７１】また、図７は、本発明の第二の実施形態に
係る往復動ポンプを構成する駆動力供給部９０の断面図
を示したものである。図７において、駆動力供給部９０
は、先に述べた駆動部７０からの駆動力を伝える駆動力
伝達軸４１と、この駆動力伝達軸４１に取り付けられた
偏心カム４２と、この偏心カム４２の動きに応じて往復
動する第一および第二のピストン部４３，４４と、第二
のピストン部４４内にて第一のピストン部４３と第二の
ピストン部４４とを適切に付勢する位置規制付勢手段４
９と、これらの各要素を内包しているケーシング部５０
等とを用いて構成されている。

【００７２】また、本実施形態に係る駆動力供給部９０
においては、各ピストン部４３，４４には、それぞれ二
つずつのベアリング９７（９７Ａ，９７Ｂ），９８（９
８Ａ，９８Ｂ）と、ベアリング９７，９８と偏心カム４
２との間に位置する（ベアリング９７，９８と偏心カム
４２とで三点支持されている）転動部（第一の転動部１
０１，第二の転動部１０２）とが設けられている。そし
て、偏心カム４２の駆動力が、転動部１０１，１０２お
よびベアリング９７，９８を介して、各ピストン部４
３，４４に伝達されるべく構成されている。そして、以
上のような要素を有する駆動力供給部９０においては、
ケーシング部５０内壁とピストン部４３，４４との間の
密閉空間に、作動油が充填されている。

【００７３】さらに、本実施形態に係る往復動ポンプ
は、偏心カム４２、転動部１０１，１０２、およびベア
リング９７，９８周辺の構成以外については、原則とし
て、図１および図２等を用いて先に説明した実施形態と
同様の構成を有している。

【００７４】以上のように、本実施形態においては、偏
心カム４２とベアリング９７，９８とが直接接触するこ
となく、ベアリング９７，９８の内輪側よりもさらに径
の小さい転動部１０１，１０２と、偏心カム４２とが接
触することによって、偏心カム４２からの駆動力がピス
トン部４３，４４に伝わるように構成されている。した
がって、本実施形態に係る往復動ポンプによれば、偏心
カム４２と直接接触する部材たる転動部１０１，１０２
を小さく形成することができるので、偏心カム４２との
間に生ずる圧力角を従来よりも小さくすることが可能と
なるため、長期間の無脈動搬送を実現し、従来技術と比
較して、往復動ポンプの長寿命化を図ることができる。

【００７５】また、図８は、本発明の第三の実施形態に
係る往復動ポンプの概略断面図を示したものである。こ
の第三の実施形態に係る往復動ポンプは、基本的に、第
一の実施形態と同様の構成を有しており、補助プランジ
ャ等を有する点のみが、第一の実施形態と異なる。そこ
で、以下、第三の実施形態については、主に、第一の実
施形態と異なる部分に関する説明を行うこととし、特に
説明しない部分については、原則として、第一の実施形
態と同様である。

【００７６】この第三の実施形態に係る往復動ポンプ
は、図８に示すべく、第一および第二のピストン部４
３，４４の近傍に補助プランジャ機構Ａ，Ｂを有してい
る。偏心カム４２の左右に設けられた各補助プランジャ
機構Ａ，Ｂは、基本的には、それぞれ同様の構成を有し
ている。よって、以下、図９および図１０においては、
左側に位置する補助プランジャ機構Ａを用いて、第三の
実施形態に係る往復動ポンプを具体的に説明する。

【００７７】先に述べたように（本明細書の［発明が解
決しようとする課題］中にて述べたように）、従来技術
に係る往復動ポンプにおいては、吸込側弁座にチャッキ
ボールが着座するまでの短時間に、わずかな量の液体が
液体の流入側に逆流する。また、作動油の中にわずかに
残るエアの圧縮や、超高圧下における作動油自体の体積
変化（減少）によって作動油の効率低下を生じる。そこ
で、この第三の実施形態においては、その逆流や作動油
の効率低下による流体量に対応する流量を補充すべく、
補助プランジャ機構が設けられている。具体的には、こ
の補助プランジャ機構は、逆流する搬送流体分を補充す
べくダイヤフラムを駆動させるために、作動油の押圧量
を調整している。

【００７８】図９は、所定量の補充を行うために構成
し、調整された補助プランジャ機構の拡大図を示したも
のである。図９（イ）は、補助プランジャの駆動開始時
を示し、図９（ロ）は、補助プランジャの駆動終了時を
示したものである。

【００７９】図９において、本実施形態に係る補助プラ
ンジャ機構は、作動油押圧手段１４０と、補充量調整手
段１６０とを用いて構成されている。作動油押圧手段１
４０は、第一のピストン部４３に取り付けられた押圧部
１７０で押圧される補助プランジャ１４１と、補助プラ
ンジャ１４１を摺動可能に保持する補助プランジャ保持
部１４２と、補助プランジャ１４１に固着されたスプリ
ング保持部１４３と、プランジャ保持部１４２とスプリ
ング保持部１４３との間に設けられ、補助プランジャ１
４１を偏心カム４２側に付勢しているスプリング部１４
４とを用いて構成されている。また、補充量調整手段１
６０は、補助プランジャ１４１の作用時間を調整する調
整用プランジャ１６１と、調整用プランジャ１６１を摺
動可能に保持する調整用プランジャ保持部１６２と、調
整用プランジャ保持部１６２に固着されたスプリング保
持部１６３と、調整用プランジャ１６１とスプリング保
持部１６３との間に設けられ、調整用プランジャ１６１
を作動油押圧手段１４０側（偏心カム４２側）に付勢し
ているスプリング部１６４とを用いて構成されている。

【００８０】調整用プランジャ保持部１６２の外周面に
は、雄ネジ部が形成されており、この雄ネジ部は、調整
手段挿入部１８０の内周面に形成された雌ネジ部と螺合
すべく形成されている。すなわち、本実施形態において
は、調整手段挿入部１８０と調整用プランジャ保持部１
６２との螺合位置（螺合状態）を調整することによっ
て、補充量調整手段１６０を矢印Ｘ方向（図９（イ）参
照）に移動させることが可能となる。よって、本実施形
態においては、補助プランジャ１４１の端面と、調整用
プランジャ１６１の端面との距離ｔを容易に調整でき
る。

【００８１】本実施形態に係る補助プランジャ機構にお
いては、補助プランジャ１４１の端面が、調整用プラン
ジャ１６１の端面に接するまでが、作動油を補充する工
程となる。すなわち、補助プランジャ１４１の端面と、
調整用プランジャ１６１の端面との距離ｔが、作動油の
補充量を規定することとなる。そして、上述したよう
に、本実施形態においては、距離ｔ（補助プランジャ１
４１の作用時間）を容易に調整することが可能であるた
め、作動油の補充量をも容易に調整可能となる。

【００８２】上述したように、図９（イ）は、補助プラ
ンジャ１４１の駆動開始時を示しており、補助プランジ
ャ１４１は、第一のピストン部４３の動きに応じて、プ
ランジャ押圧部１７０によって押圧され、矢印Ｐ方向
（図９（イ）参照）に摺動する。そして、図９（ロ）の
如く、補助プランジャ１４１が調整用プランジャ１６１
に接すれば、補助プランジャ１４１は、作動油に対して
何も作用しない（作動油に対して押圧力等を生じない）
こととなるため、このように、互いのプランジャ１４
１，１６１が接した状態が、補助プランジャ１４１の駆
動終了時を示すこととなる。

【００８３】すなわち、本実施形態に係る往復動ポンプ
においては、従来技術にて問題となっていた洩れ量を補
うために、搬送される流体の逆流するタイミングに合わ
せて、ダイヤフラムを駆動させるべく、ダイヤフラムを
駆動させる作動油の吐出量を増加させている。つまり、
本実施形態に係る往復動ポンプによれば、搬送される流
体の逆流タイミングに合わせて、吐出工程終了間際のピ
ストン部側の作動油の流量を増加させることによって、
搬送流体の逆流分を補正すべくダイヤフラムを駆動させ
て、脈動を減少させることが可能となる。よって、本実
施形態においては、作動油室内に補助プランジャ機構を
設けることによって、容易に脈動を防止することが可能
となる。

【００８４】また、図１０は、補助プランジャの流量を
零に調整した状態の拡大図を示したものである。図１０
（イ）は、補助プランジャの駆動開始時を示し、図１０
（ロ）は、補助プランジャの駆動終了時を示したもので
ある。

【００８５】図１０に示すべく調整された補助プランジ
ャ１４１および調整用プランジャ１６１は、基本的に
は、図９にて説明した場合と同様に、第一のピストン部
４３に取り付けられた押圧部１７０によって駆動する。
しかしながら、この図１０においては、押圧部１７０が
補助プランジャ１４１に接する前から、補助プランジャ
１４１と調整用プランジャ１６１とが互いに接するべく
調整されている（図１０（イ）参照）。具体的には、調
整用プランジャ保持部１６２と調整手段挿入部１８０と
の螺合状態を調整することによって、図９（イ）と比較
して、補充量調整手段１６０を、矢印Ｙ方向（図１０
（イ）参照）に移動させている（補助プランジャ１４１
と調整用プランジャ１６１とが接する位置まで、補充量
調整手段１６０（調整用プランジャ保持部１６２）を移
動させている）。

【００８６】したがって、この図１０に示すべく調整す
れば、補助プランジャ１４１の駆動開始時（図１０
（イ））から、駆動終了時（図１０（ロ））に至るま
で、補助プランジャ１４１と調整用プランジャ１６１と
は接した状態となる。すなわち、この図１０の調整状態
であれば、補助プランジャ１４１の端面と調整用プラン
ジャ１６１の端面との距離が零であるため、補助プラン
ジャ１４１は、作動油に何の作用も及ぼさないこととな
る。

【００８７】以上の図８、図９および図１０に示すよう
に、本実施形態に係る補助プランジャ機構は、必要に応
じて、補助プランジャ１４１の作用時間を容易に調整す
ることができる。したがって、本実施形態によれば、往
復動ポンプ毎の脈動状態に応じて、適宜、補充量調整手
段１６０を調整し、効果的に脈動を防止することができ
る。

【００８８】さらに、図１１は、本発明の第四の実施形
態に係る往復動ポンプを構成する偏心カム近傍の概略斜
視図を示したものである。図１１に示すべく、本実施形
態においては、偏心カム（等速度偏心カム）４２を駆動
させるべく設けられた駆動力伝達軸４１に対して、減速
機１９２を介してステッピングモータ１９１から駆動力
が供給されるべく構成されており、駆動力伝達軸４１の
同軸上には、偏心カム４２の変位を検知すべく、回転位
置検出器１９３が設けられている。この回転位置検出器
１９３としては、例えば、ロータリーエンコーダ、タコ
ジェネレータ等があげられる。そして、本実施形態にお
いては、回転位置検出器１９３の検知信号に基づいてス
テッピングモータ１９１の制御を行うことが可能な制御
手段（図示省略）が設けられている。つまり、本実施形
態においては、回転位置検出器１９３と制御手段とを用
いることによって、偏心カム４２の回転速度を任意に制
御することが可能となる。また、本実施形態において
は、吐出側の流量を検出すべく、流量計（図示省略）が
設けられており、係る流量計で検知される検知信号も制
御手段に送られるべく構成されている。

【００８９】本実施形態に係る偏心カム４２近傍は、以
上のように構成されているため、第三の実施形態にて説
明したチャッキボール近傍における流体の逆流が生ずる
場合であっても、本実施形態によれば、効果的に脈動を
防止することができる。すなわち、本実施形態によれ
ば、先に説明した逆流が発生して吐出側流量に脈動が発
生したとしても、その流量信号（脈動信号）が流量計か
ら制御手段に送られ、逆流による脈動分の流量を増加さ
せるべく、制御手段からステッピングモータ１９１に駆
動信号が送られることとなる。また、この駆動信号は、
偏心カム４２の位置も正確に検知した上で、制御手段か
らステッピングモータ１９１に送られる。つまり、本実
施形態に係る往復動ポンプによって、脈動を補正する場
合には、偏心カム４２の回転位置と連動させた状態でス
テッピングモータ１９１の回転を制御することによっ
て、逆流による減少分を補正している。

【００９０】なお、往復動ポンプを駆動させる場合にお
いては、各ポンプの機差および搬送させる流体の性状に
よって、先に述べたチャッキボール近傍の逆流量が変化
する場合がある。しかしながら、本実施形態に係る往復
動ポンプによれば、上述したように、ポンプの吐出側に
設けられた流量計等にて、流量の脈動（あるいは圧力の
変動等）を検知して、その検知信号をステッピングモー
タ１９１にフィードバックすることによって、脈動分を
補正することができる。すなわち、本実施形態に係る往
復動ポンプによれば、流体を搬送する際のいかなるタイ
ミングであっても、脈動等を防止して、効果的な流体搬
送を実現することが可能となる。

【００９１】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、チ
ャッキボール近傍の流体の逆流による洩れに対応する量
の流体を補充すべく構成することによって、効果的に脈
動を防止することができる往復動ポンプを得ることが可
能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一の実施形態に係る往復動ポンプの
概略断面図

【図２】図１の往復動ポンプを構成する流体搬送部の拡
大図

【図３】図１のIII−III断面図

【図４】図１のIV−IV断面図

【図５】第一の実施形態に係る駆動力供給部を構成する
第二のピストン部の駆動状態を示した概略図

【図６】第一の実施形態に係る駆動力供給部を構成する
位置規制付勢手段の作動状態を示した概略図

【図７】本発明の第二の実施形態に係る往復動ポンプを
構成する駆動力供給部の概略断面図

【図８】本発明の第三の実施形態に係る往復動ポンプの
概略断面図

【図９】第三の実施形態に係る往復動ポンプにおける補
助プランジャ機構の拡大図

【図１０】第三の実施形態に係る往復動ポンプにおける
補助プランジャ機構の拡大図（補充量が零の場合）

【図１１】本発明の第四の実施形態に係る往復動ポンプ
を構成する偏心カム近傍の概略斜視図

【図１２】従来技術に係る往復動ポンプの概略斜視図

【図１３】図１２の往復動ポンプを構成するいずれか一
方のポンプヘッド部の一部縦断面図

【符号の説明】

１…第一のダイヤフラム、２…第二のダイヤフラム、３
…ポンプヘッド、４…第一のダイヤフラム支持体、５…
第二のダイヤフラム支持体、６…第一の搬送流体流通
部、７…第二の搬送流体流通部、８…第一の作動油流通
部、９…第二の作動油流通部、１０…流体搬送部、１１
…第一の作動油供給部、１２…第二の作動油供給部、２
１…第一の配管部、２２…第二の配管部、２３…流入側
逆止弁、２４…流出側逆止弁、２５…搬送流体流通ブロ
ック、４０，９０…駆動力供給部、４１…駆動力伝達
軸、４２…偏心カム、４３…第一のピストン部、４４…
第二のピストン部、４５…第一の回動軸、４６…第二の
回動軸、４７，４８，９７，９８…ベアリング、４９…
位置規制付勢手段、５０…ケーシング、５１…第一の供
給口、５２…第二の供給口、７０…駆動部、１０１…第
一の転動部、１０２…第二の転動部、１４０…作動油押
圧手段、１４１…補助プランジャ、１４２…プランジャ
保持部、１４３…スプリング保持部、１４４…スプリン
グ部、１６０…補充量調整手段、１６１…調整用プラン
ジャ、１６２…調整用プランジャ保持部、１６３…スプ
リング保持部、１６４…スプリング部、１７０…プラン
ジャ押圧部、１８０…調整手段挿入部、１９１…ステッ
ピングモータ、１９２…減速機、１９３…回転位置検出
器

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｆ０４Ｂ 43/06 Ｂ

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 搬送される流体と接した状態で往復動す
   るダイヤフラムと、前記ダイヤフラムを駆動させる駆動
   力供給部とを備えた往復動ポンプにおいて、 前記駆動力供給部が、一つの偏心カムと、前記偏心カム
   の回転によって往復動する第一のピストン部および第二
   のピストン部と、前記偏心カムの駆動力を前記各ピスト
   ン部に伝えるべく、前記偏心カムに接する接触転動要素
   とを用いて構成されており、前記ダイヤフラムの駆動状
   態を調整可能な駆動調整機構が設けられていることを特
   徴とする往復動ポンプ。
2. 【請求項２】 前記ピストン部の駆動力が作動油を介し
   て前記ダイヤフラムに伝達されるべく構成されており、
   前記駆動調整機構が、各ピストン部の動きに応じて駆動
   する補助プランジャと、前記補助プランジャの作用時間
   を調整可能な調整用プランジャとを有し、前記補助プラ
   ンジャが前記作動油を押圧することによって前記ダイヤ
   フラムの駆動状態が調整される請求項１に記載の往復動
   ポンプ。
3. 【請求項３】 前記補助プランジャと前記調整用プラン
   ジャとの間隔が前記補助プランジャの作用時間を規制
   し、前記間隔を任意に設定可能であるべく前記調整用プ
   ランジャが構成されている請求項２に記載の往復動ポン
   プ。
4. 【請求項４】 前記駆動調整機構が、前記偏心カムを駆
   動させる可変速モータと、前記偏心カムの位置を検知可
   能な回転位置検出器と、前記回転位置検出器における位
   置信号に基づいて前記可変速モータを制御可能な制御手
   段とを用いて構成されている請求項１に記載の往復動ポ
   ンプ。
5. 【請求項５】 搬送される流体の吐出側に脈動検知手段
   が設けられており、前記脈動検知手段にて検出された脈
   動信号が前記制御手段にフィードバックされるべく構成
   されており、前記位置信号と前記脈動信号と前記制御手
   段とに基づいて前記可変速モータが制御される請求項４
   に記載の往復動ポンプ。
6. 【請求項６】 前記可変速モータがステッピングモータ
   である請求項４または５に記載の往復動ポンプ。
7. 【請求項７】 前記回転位置検出器が、ロータリエンコ
   ーダあるいはタコジェネレータである請求項４から６の
   いずれか１項に記載の往復動ポンプ。