JP2002010613A - 荷重制御型アクチュエータ - Google Patents
荷重制御型アクチュエータInfo
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- B23P21/00—Machines for assembling a multiplicity of different parts to compose units, with or without preceding or subsequent working of such parts, e.g. with programme control
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
- H02K41/035—DC motors; Unipolar motors
- H02K41/0352—Unipolar motors
- H02K41/0354—Lorentz force motors, e.g. voice coil motors
- H02K41/0356—Lorentz force motors, e.g. voice coil motors moving along a straight path
Abstract
(57)【要約】
【課題】ワークに対する衝撃荷重を小さくし、ワークダ
メージを小さくできる荷重制御型アクチュエータを提供
する。 【解決手段】ワークと接触するノズル９と、ノズル９を
ばね１０を介して支持するノズルホルダ８と、ノズルホ
ルダ８に対する推力を制御可能なボイスコイルモータ２
とを備えた荷重制御型アクチュエータであって、ワーク
とノズル９との接触時の最大衝撃荷重Ｆ1maxよりも、ボ
イスコイルモータ２の応答時間ｔk 以内のばね１０のば
ね反力Ｆ2 が小さくなるように、ばね１０のばね定数ｋ
b を設定した。ノズル９はばね１０によって吊り下げ支
持され、初期荷重が０に設定されている。
メージを小さくできる荷重制御型アクチュエータを提供
する。 【解決手段】ワークと接触するノズル９と、ノズル９を
ばね１０を介して支持するノズルホルダ８と、ノズルホ
ルダ８に対する推力を制御可能なボイスコイルモータ２
とを備えた荷重制御型アクチュエータであって、ワーク
とノズル９との接触時の最大衝撃荷重Ｆ1maxよりも、ボ
イスコイルモータ２の応答時間ｔk 以内のばね１０のば
ね反力Ｆ2 が小さくなるように、ばね１０のばね定数ｋ
b を設定した。ノズル９はばね１０によって吊り下げ支
持され、初期荷重が０に設定されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、部品の実装や組立
を行うハンドリング装置や、電子部品の電気的特性を測
定する測定選別装置などに用いられる荷重制御型アクチ
ュエータに関するものである。
を行うハンドリング装置や、電子部品の電気的特性を測
定する測定選別装置などに用いられる荷重制御型アクチ
ュエータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、小型の電子部品を回路基板に実装
する際などに、ボイスコイルモータを用いた部品組立装
置が広く用いられている。ボイスコイルモータは、空圧
を用いた実装機やソレノイドを用いた実装機に比べて、
位置決め精度に優れ、部品に与える力を軽減できる点で
優れている。
する際などに、ボイスコイルモータを用いた部品組立装
置が広く用いられている。ボイスコイルモータは、空圧
を用いた実装機やソレノイドを用いた実装機に比べて、
位置決め精度に優れ、部品に与える力を軽減できる点で
優れている。
【０００３】図１はこのようなボイスコイルモータを用
いた従来のハンドリング装置の一例を示す。２０はボイ
ルコイルモータによって上下方向に駆動されるＺ軸駆動
機構の可動部、２１は可動部２０の下端部に設けられる
ノズル、２２は可動部２０とノズル２１との間に介装さ
れた内蔵ばねである。ノズル２１には吸引穴２１ａが設
けられ、可動部２０の吸引通路２０ａを介して図示しな
い真空吸引装置と接続されている。そのため、ノズル２
１の先端部にはワークＷが吸着される。ノズル２１の外
周部には鍔部２１ｂが一体に設けられ、ばね２２のばね
力によりノズル２１は下方へ付勢され、鍔部２１ｂが可
動部２０の下端部に設けられた受け部２０ｂに押し付け
られて保持されている。
いた従来のハンドリング装置の一例を示す。２０はボイ
ルコイルモータによって上下方向に駆動されるＺ軸駆動
機構の可動部、２１は可動部２０の下端部に設けられる
ノズル、２２は可動部２０とノズル２１との間に介装さ
れた内蔵ばねである。ノズル２１には吸引穴２１ａが設
けられ、可動部２０の吸引通路２０ａを介して図示しな
い真空吸引装置と接続されている。そのため、ノズル２
１の先端部にはワークＷが吸着される。ノズル２１の外
周部には鍔部２１ｂが一体に設けられ、ばね２２のばね
力によりノズル２１は下方へ付勢され、鍔部２１ｂが可
動部２０の下端部に設けられた受け部２０ｂに押し付け
られて保持されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、可動部
２０が上下に移動した時にノズル２１が動かないように
するため、ばね２２に初期荷重を発生させている。その
ため、ノズル２１がワークＷに接触する際、またはワー
クＷを吸着したノズル２１が対象物（回路基板など）に
接触する際に発生する衝撃荷重は、初期荷重より必ず大
きくなってしまい、小型・薄型素子をハンドリングする
際やマウントする際に、ワレカケなどの不具合が発生し
てしまう。上記のような問題は、ハンドリング装置に限
るものではなく、例えば測定選別装置において、電子部
品の電気的特性を測定するために、測定端子を電子部品
に押し当てた場合にも発生する。
２０が上下に移動した時にノズル２１が動かないように
するため、ばね２２に初期荷重を発生させている。その
ため、ノズル２１がワークＷに接触する際、またはワー
クＷを吸着したノズル２１が対象物（回路基板など）に
接触する際に発生する衝撃荷重は、初期荷重より必ず大
きくなってしまい、小型・薄型素子をハンドリングする
際やマウントする際に、ワレカケなどの不具合が発生し
てしまう。上記のような問題は、ハンドリング装置に限
るものではなく、例えば測定選別装置において、電子部
品の電気的特性を測定するために、測定端子を電子部品
に押し当てた場合にも発生する。
【０００５】また、吸引ノズル２を備えた部品組立装置
の場合、素子の吸着の有無、吸着ズレ状態によりエアー
の漏れが発生すると、エアーの吸引力とばね２２の初期
荷重のバランスが崩れ、初期荷重が大きくなり、ハンド
リング時にワークにダメージを与える原因となってい
る。
の場合、素子の吸着の有無、吸着ズレ状態によりエアー
の漏れが発生すると、エアーの吸引力とばね２２の初期
荷重のバランスが崩れ、初期荷重が大きくなり、ハンド
リング時にワークにダメージを与える原因となってい
る。
【０００６】さらに、ワークＷを吸着するピックアップ
時にはノズル２１の吸引穴２１ａが解放されているの
で、エアー吸引力によって初期荷重がさほど大きくなら
ないが、ワークＷを吸着した後、回路基板などにプレー
スする時には、ノズル２１の吸引穴２１ａが閉じられて
いるので、エアー吸引力によってノズル２１が可動部２
０側へ引っ張られ、ばね２２の初期荷重が大きくなる。
そのため、プレース時の方がピックアップ時に比べてワ
ークＷにかかる負担が大きくなるという問題がある。
時にはノズル２１の吸引穴２１ａが解放されているの
で、エアー吸引力によって初期荷重がさほど大きくなら
ないが、ワークＷを吸着した後、回路基板などにプレー
スする時には、ノズル２１の吸引穴２１ａが閉じられて
いるので、エアー吸引力によってノズル２１が可動部２
０側へ引っ張られ、ばね２２の初期荷重が大きくなる。
そのため、プレース時の方がピックアップ時に比べてワ
ークＷにかかる負担が大きくなるという問題がある。
【０００７】そこで、本発明の目的は、ワークに対する
衝撃荷重を小さくし、ワークダメージを小さくできる荷
重制御型アクチュエータを提供することにある。
衝撃荷重を小さくし、ワークダメージを小さくできる荷
重制御型アクチュエータを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１に係る発明は、ワークと接触する接触部
と、この接触部を弾性体を介して支持する可動部と、可
動部に対する推力を制御可能な作動手段とを備えた荷重
制御型アクチュエータにおいて、ワークと接触部との接
触時の最大衝撃荷重をＦ1maxとし、アクチュエータの応
答時間ｔk 以内の弾性体のばね反力をＦ2 としたとき、
Ｆ1max≧Ｆ2 を満たすように弾性体のばね定数ｋb を設
定したことを特徴とする荷重制御型アクチュエータを提
供する。
め、請求項１に係る発明は、ワークと接触する接触部
と、この接触部を弾性体を介して支持する可動部と、可
動部に対する推力を制御可能な作動手段とを備えた荷重
制御型アクチュエータにおいて、ワークと接触部との接
触時の最大衝撃荷重をＦ1maxとし、アクチュエータの応
答時間ｔk 以内の弾性体のばね反力をＦ2 としたとき、
Ｆ1max≧Ｆ2 を満たすように弾性体のばね定数ｋb を設
定したことを特徴とする荷重制御型アクチュエータを提
供する。
【０００９】部品のピックおよびプレース動作を行なう
ための吸引ノズルを備えた部品組立装置を例にして説明
する。ばねを内蔵した吸引ノズルの場合、ワークへの衝
撃力は、図２の３つの力に分解される。第１の力は初期
荷重（Ａ）であり、第２の力は衝突物の剛性パラメータ
による衝撃荷重（Ｂ）であり、第３の力は内蔵ばね反力
による荷重（Ｃ）である。図２から、従来の装置に含ま
れる初期荷重（Ａ）をなくすことができれば、全体の衝
撃荷重が下げられることがわかる。しかし、初期荷重
（Ａ）はノズルを安定に保持するためのものであるか
ら、初期荷重＝０として構成するためには、剛性の高い
（硬い) ばねを内蔵しなくてはならない。しかし、この
剛性が高すぎると、図２における内蔵ばね反力による荷
重（Ｃ）の影響が大きくなるため、このばね定数を適正
に設計する必要がある。そこで、本発明では、ワークと
接触部との最大衝撃荷重Ｆ1maxよりも、アクチュエータ
の応答時間ｔk 以内の弾性体のばね反力Ｆ2 が小さくな
るように、弾性体のばね定数ｋb を設定している。これ
により、ワークに対する衝撃荷重を低くでき、ワークダ
メージを低減することができる。しかも、初期荷重を小
さくしながら接触部を安定に保持できるので、可動部を
高速で作動させることができる。
ための吸引ノズルを備えた部品組立装置を例にして説明
する。ばねを内蔵した吸引ノズルの場合、ワークへの衝
撃力は、図２の３つの力に分解される。第１の力は初期
荷重（Ａ）であり、第２の力は衝突物の剛性パラメータ
による衝撃荷重（Ｂ）であり、第３の力は内蔵ばね反力
による荷重（Ｃ）である。図２から、従来の装置に含ま
れる初期荷重（Ａ）をなくすことができれば、全体の衝
撃荷重が下げられることがわかる。しかし、初期荷重
（Ａ）はノズルを安定に保持するためのものであるか
ら、初期荷重＝０として構成するためには、剛性の高い
（硬い) ばねを内蔵しなくてはならない。しかし、この
剛性が高すぎると、図２における内蔵ばね反力による荷
重（Ｃ）の影響が大きくなるため、このばね定数を適正
に設計する必要がある。そこで、本発明では、ワークと
接触部との最大衝撃荷重Ｆ1maxよりも、アクチュエータ
の応答時間ｔk 以内の弾性体のばね反力Ｆ2 が小さくな
るように、弾性体のばね定数ｋb を設定している。これ
により、ワークに対する衝撃荷重を低くでき、ワークダ
メージを低減することができる。しかも、初期荷重を小
さくしながら接触部を安定に保持できるので、可動部を
高速で作動させることができる。
【００１０】弾性体のばね定数ｋb は、請求項２に示す
式で求めることができる。これにより、弾性体のばね係
数ｋb の最大値を計算によって求めることができる。
式で求めることができる。これにより、弾性体のばね係
数ｋb の最大値を計算によって求めることができる。
【００１１】請求項３のように、作動手段をボイスコイ
ルモータで構成した場合、応答時間ｔ k は 0.001sec 〜
0.1secであるのが望ましい。ボイスコイルモータとはリ
ニアアクチュエータの一種であり、電流に比例した推力
を発生するものである。コントローラより電流アンプを
介してボイスコイルに電流Ｉを流すと、磁気回路で構成
される磁束密度Ｂと、コイル導体長Ｌとから、コイル部
にはＦ＝ＢＩＬの力が発生する。力Ｆにより、コイルと
連結機構を介して連結されたノズル（接触部) が移動す
る。たとえば、ワークハンドリングのためにコイルを含
むノズル機構を下降させた場合、位置センサ信号に基づ
き、ノズルを正確に位置決め（0.1mm より小さい）でき
る。また、前述のとおり、衝突速度を制御することでワ
ークに対する衝撃荷重を抑え、衝突後の電流を制御する
ことで、正確な静的荷重を与えるワークへのアプローチ
が実現される。なお、ボイスコイルモータを用いた場
合、応答時間ｔk は 0.001〜0.1sec程度が実用範囲であ
る。
ルモータで構成した場合、応答時間ｔ k は 0.001sec 〜
0.1secであるのが望ましい。ボイスコイルモータとはリ
ニアアクチュエータの一種であり、電流に比例した推力
を発生するものである。コントローラより電流アンプを
介してボイスコイルに電流Ｉを流すと、磁気回路で構成
される磁束密度Ｂと、コイル導体長Ｌとから、コイル部
にはＦ＝ＢＩＬの力が発生する。力Ｆにより、コイルと
連結機構を介して連結されたノズル（接触部) が移動す
る。たとえば、ワークハンドリングのためにコイルを含
むノズル機構を下降させた場合、位置センサ信号に基づ
き、ノズルを正確に位置決め（0.1mm より小さい）でき
る。また、前述のとおり、衝突速度を制御することでワ
ークに対する衝撃荷重を抑え、衝突後の電流を制御する
ことで、正確な静的荷重を与えるワークへのアプローチ
が実現される。なお、ボイスコイルモータを用いた場
合、応答時間ｔk は 0.001〜0.1sec程度が実用範囲であ
る。
【００１２】請求項４のように、作動手段を、可動部を
接触部がワークと接触する直前位置まで前進させる位置
制御と、直前位置から接触部がワークと接触する接触位
置までの間、可動部を一定速度で前進させる速度制御
と、接触部がワークと接触した後、接触部とワークとの
接触圧を制御しながらさらに可動部を前進させる荷重制
御と、接触部をワークから離間させるべく可動部を後退
させる位置制御とが順に実行されるように制御するのが
よい。このように作動手段をシーケンシャルに制御する
ことで、ワークにかかる負担を軽減し、高精度で高速な
作業を行うことができる。
接触部がワークと接触する直前位置まで前進させる位置
制御と、直前位置から接触部がワークと接触する接触位
置までの間、可動部を一定速度で前進させる速度制御
と、接触部がワークと接触した後、接触部とワークとの
接触圧を制御しながらさらに可動部を前進させる荷重制
御と、接触部をワークから離間させるべく可動部を後退
させる位置制御とが順に実行されるように制御するのが
よい。このように作動手段をシーケンシャルに制御する
ことで、ワークにかかる負担を軽減し、高精度で高速な
作業を行うことができる。
【００１３】弾性体のばね定数ｋb は、請求項５に示す
最低条件式を満たすことが望ましい。すなわち、接触部
をワークに接触させる直前に、位置制御から速度制御へ
切り替え、この切替点の後にゆっくりと接触部をワーク
に接触させれば、ワークに対する衝撃荷重を軽減でき
る。ところが、弾性体のばね定数が小さ過ぎる（ばねが
柔らか過ぎる）と、切替点で接触部が上下に振れ、安定
しなくなる。そこで、請求項５の最低条件式を満足する
ことで、接触部の振れを抑制し、接触部をワークに接触
させた時に安定した接触性を確保できる。
最低条件式を満たすことが望ましい。すなわち、接触部
をワークに接触させる直前に、位置制御から速度制御へ
切り替え、この切替点の後にゆっくりと接触部をワーク
に接触させれば、ワークに対する衝撃荷重を軽減でき
る。ところが、弾性体のばね定数が小さ過ぎる（ばねが
柔らか過ぎる）と、切替点で接触部が上下に振れ、安定
しなくなる。そこで、請求項５の最低条件式を満足する
ことで、接触部の振れを抑制し、接触部をワークに接触
させた時に安定した接触性を確保できる。
【００１４】請求項６のように、接触部が、可動部に対
して弾性体を介して吊り下げ支持され、接触部のワーク
に対する初期荷重を０とするのがよい。つまり、弾性体
として比較的硬いばねを採用し、初期荷重＝０で組み込
むことで、衝撃荷重を低減しながら、接触部の挙動を安
定化させることができる。
して弾性体を介して吊り下げ支持され、接触部のワーク
に対する初期荷重を０とするのがよい。つまり、弾性体
として比較的硬いばねを採用し、初期荷重＝０で組み込
むことで、衝撃荷重を低減しながら、接触部の挙動を安
定化させることができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】図３，図４は本発明を適用したハ
ンドリング装置の一例を示す。このハンドリング装置
は、ＸＹロボットのヘッド部などに取り付けられた非磁
性体よりなるシャーシ１を備え、シャーシ１の上部には
ボイスコイルモータの磁気回路部２が設けられている。
磁気回路部２は、シャーシ１の上部に固定されたヨーク
３、ヨーク３の円筒部３ａの内面に固定された磁石４、
ヨーク３の中心磁極３ｂに対して上下動自在に挿通され
たボビン５、ボビン５に巻回されたコイル６などで構成
されている。コイル６は磁石４と軸方向にオーバーラッ
プしている。この実施例では、固定側に磁石４、可動側
にコイル６を設けたが、これとは逆に固定側にコイル
６、可動側に磁石４を設けてもよい。
ンドリング装置の一例を示す。このハンドリング装置
は、ＸＹロボットのヘッド部などに取り付けられた非磁
性体よりなるシャーシ１を備え、シャーシ１の上部には
ボイスコイルモータの磁気回路部２が設けられている。
磁気回路部２は、シャーシ１の上部に固定されたヨーク
３、ヨーク３の円筒部３ａの内面に固定された磁石４、
ヨーク３の中心磁極３ｂに対して上下動自在に挿通され
たボビン５、ボビン５に巻回されたコイル６などで構成
されている。コイル６は磁石４と軸方向にオーバーラッ
プしている。この実施例では、固定側に磁石４、可動側
にコイル６を設けたが、これとは逆に固定側にコイル
６、可動側に磁石４を設けてもよい。
【００１６】ボビン５の下端面には、連結部材７の一端
部が固定され、連結部材７の他端部はシャーシ１および
ヨーク３より半径方向へ突出し、この突出部７ａにノズ
ルホルダ（可動部）８が固定されている。ノズルホルダ
８の下端部には、図４に示すように、ワークＷを吸着す
る吸引口９ａを備えたノズル（接触部）９が上下移動自
在に嵌合され、ノズル９はノズルホルダ８に対して内蔵
ばね１０を介して吊り下げ支持されている。この実施例
では、ばね１０として板ばねを用いているが、コイルば
ねや皿ばねなどを用いてもよい。ノズル９の吸引口９ａ
は、ノズルホルダ８の通気穴８ａに連通しており、通気
穴８ａはエアー吸引装置（図示せず）とエアーホースな
どを介して接続されている。
部が固定され、連結部材７の他端部はシャーシ１および
ヨーク３より半径方向へ突出し、この突出部７ａにノズ
ルホルダ（可動部）８が固定されている。ノズルホルダ
８の下端部には、図４に示すように、ワークＷを吸着す
る吸引口９ａを備えたノズル（接触部）９が上下移動自
在に嵌合され、ノズル９はノズルホルダ８に対して内蔵
ばね１０を介して吊り下げ支持されている。この実施例
では、ばね１０として板ばねを用いているが、コイルば
ねや皿ばねなどを用いてもよい。ノズル９の吸引口９ａ
は、ノズルホルダ８の通気穴８ａに連通しており、通気
穴８ａはエアー吸引装置（図示せず）とエアーホースな
どを介して接続されている。
【００１７】連結部材７の突出部７ａには検出素子１１
が固定され、この検出素子１１と対向する部位には、シ
ャーシ１またはヨーク３とリテーナ１３を介して連結さ
れた位置検出用センサ１２が配置されている。シャーシ
１の内部には、連結部材７を上方へ付勢するスプリング
１４が設けられ、これにより、ノズル１０を原点位置
（上限位置）へ復帰付勢することができる。連結部材７
とシャーシ１との間には直動ガイド１５が設けられ、連
結部材７は上下方向（Ｚ軸方向）に円滑に移動すること
ができる。
が固定され、この検出素子１１と対向する部位には、シ
ャーシ１またはヨーク３とリテーナ１３を介して連結さ
れた位置検出用センサ１２が配置されている。シャーシ
１の内部には、連結部材７を上方へ付勢するスプリング
１４が設けられ、これにより、ノズル１０を原点位置
（上限位置）へ復帰付勢することができる。連結部材７
とシャーシ１との間には直動ガイド１５が設けられ、連
結部材７は上下方向（Ｚ軸方向）に円滑に移動すること
ができる。
【００１８】上記位置検出用センサ１２の検出信号はコ
ントローラ１６に入力され、コントローラ１６は位置検
出信号に基づいて電流アンプ１７に指令信号を出力し、
上記コイル６に電流を流す。これにより、コイル６には
磁束密度と電流とコイルの導体長に比例した推力が作用
し、コイル６と連結部材７を介して連結されたノズルホ
ルダ８も上下方向へ移動する。このようにして、ノズル
ホルダ８ひいてはノズル９の高さ位置を高精度（例えば
±０．１ｍｍ以下）に制御できる。
ントローラ１６に入力され、コントローラ１６は位置検
出信号に基づいて電流アンプ１７に指令信号を出力し、
上記コイル６に電流を流す。これにより、コイル６には
磁束密度と電流とコイルの導体長に比例した推力が作用
し、コイル６と連結部材７を介して連結されたノズルホ
ルダ８も上下方向へ移動する。このようにして、ノズル
ホルダ８ひいてはノズル９の高さ位置を高精度（例えば
±０．１ｍｍ以下）に制御できる。
【００１９】次に、ノズル９を吊り下げ支持しているば
ね１０の設計方法について説明する。まず、ノズルとワ
ークのように２物体が衝突する際に発生する衝撃力は、
以下の１自由度振動の式で近似できる。
ね１０の設計方法について説明する。まず、ノズルとワ
ークのように２物体が衝突する際に発生する衝撃力は、
以下の１自由度振動の式で近似できる。
【数４】 なお、ｋ0 ，ｃ0 は、ノズル、ワーク、またはワーク搭
載面のうち、最も値の小さいもので代表値として用い
る。また、上式をｘについて解くと、
載面のうち、最も値の小さいもので代表値として用い
る。また、上式をｘについて解くと、
【数５】 なお、Ｖ0 は衝突直後の物体の歪み速度の初期値であ
る。衝撃力は、Ｆ1 ＝ｋ0 ｘであり、衝撃荷重の最大値
は、ｑｔ＝π／２の時であるから、衝撃力の最大値Ｆ
1maxは、
る。衝撃力は、Ｆ1 ＝ｋ0 ｘであり、衝撃荷重の最大値
は、ｑｔ＝π／２の時であるから、衝撃力の最大値Ｆ
1maxは、
【数６】 で求められる。式3)に示すとおり、衝撃力Ｆ1 の制御に
は、衝突直後の速度Ｖ0 が重要である。ここで、
は、衝突直後の速度Ｖ0 が重要である。ここで、
【数７】 である。ただし、Ｖ1 ：質量ｍ2 の物体の衝突速度、質
量ｍ1 の衝突前速度は０とする。上式は、運動量保存則
によるもので、衝突直後の速度Ｖ0 に衝突速度と２物体
の質量が影響していることを示している。
量ｍ1 の衝突前速度は０とする。上式は、運動量保存則
によるもので、衝突直後の速度Ｖ0 に衝突速度と２物体
の質量が影響していることを示している。
【００２０】そこで、ワーク接触時のＺ軸機構として図
３に示すボイスコイルモータを用い、図５に示すような
位置−速度−荷重切替え制御を行い、衝突速度の制御を
行う。図５では、まずノズルホルダ８をノズル９がワー
クＷと接触する直前位置（切替点）まで降下させる位置
制御と、切替点からノズル９がワークＷと接触する接触
位置までの間、ノズルホルダ８を一定速度で降下させる
速度制御と、ノズル９がワークＷと接触した後、ノズル
９とワークＷとの接触圧を制御しながらさらにノズルホ
ルダ８を降下させる荷重制御と、ノズル９をワークＷか
ら離間させるべくノズルホルダ８を上昇させる位置制御
とが順に実行される。
３に示すボイスコイルモータを用い、図５に示すような
位置−速度−荷重切替え制御を行い、衝突速度の制御を
行う。図５では、まずノズルホルダ８をノズル９がワー
クＷと接触する直前位置（切替点）まで降下させる位置
制御と、切替点からノズル９がワークＷと接触する接触
位置までの間、ノズルホルダ８を一定速度で降下させる
速度制御と、ノズル９がワークＷと接触した後、ノズル
９とワークＷとの接触圧を制御しながらさらにノズルホ
ルダ８を降下させる荷重制御と、ノズル９をワークＷか
ら離間させるべくノズルホルダ８を上昇させる位置制御
とが順に実行される。
【００２１】前述の図５に示す切替え制御において、ば
ね定数の適正な設計方法を次に示す。 （Ｉ）切替位置（図５：位置−速度切替え点Ｐ１）での
設計条件 図６はノズル構造の概念図であり、ノズルホルダの下部
にノズルが内蔵ばねを介して吊り下げられている。ここ
で、ノズルホルダの質量：ｍV （但し、ｍV ≫ｍ n ）、
内蔵ばねの定数：ｋb 、ノズルの質量：ｍn とする。切
替位置では、位置制御から一定速度の速度制御へ移行す
る。よって、切替時に発生する速度変化をα（負の値）
とすると、
ね定数の適正な設計方法を次に示す。 （Ｉ）切替位置（図５：位置−速度切替え点Ｐ１）での
設計条件 図６はノズル構造の概念図であり、ノズルホルダの下部
にノズルが内蔵ばねを介して吊り下げられている。ここ
で、ノズルホルダの質量：ｍV （但し、ｍV ≫ｍ n ）、
内蔵ばねの定数：ｋb 、ノズルの質量：ｍn とする。切
替位置では、位置制御から一定速度の速度制御へ移行す
る。よって、切替時に発生する速度変化をα（負の値）
とすると、
【数８】 であり、
【数９】 となる。よって、ノズル先端部の挙動をどの程度に小さ
く設計するかは、上式を用いてばね定数ｋb を決定すれ
ばよい。
く設計するかは、上式を用いてばね定数ｋb を決定すれ
ばよい。
【００２２】例えば、位置−速度切替え点（Ｐ１点）で
の挙動を任意の振幅ｘmax 以下にする場合は、
の挙動を任意の振幅ｘmax 以下にする場合は、
【数１０】 となるように、ばね定数ｋb を大きく設計する。上記条
件式1)がばね定数の最低条件式である。振幅ｘmax は、
位置センサの分解能、機構上のガタ、切替点の高さのク
リアランスなどの和で与えられる。なお、図６におい
て、ノズル９そのものにばね剛性を持たせて、ノズル９
の質量ｍn を最小化することが想定できる。この場合、
ばね定数ｋb を小さく実現でき、衝撃力を小さくする効
果がある。
件式1)がばね定数の最低条件式である。振幅ｘmax は、
位置センサの分解能、機構上のガタ、切替点の高さのク
リアランスなどの和で与えられる。なお、図６におい
て、ノズル９そのものにばね剛性を持たせて、ノズル９
の質量ｍn を最小化することが想定できる。この場合、
ばね定数ｋb を小さく実現でき、衝撃力を小さくする効
果がある。
【００２３】（II）接触位置（図５：速度−荷重切替え
点Ｐ２）での設計条件 内蔵ばね１０のばね剛性（ｋb ＝ｋ0 ）を変更した場合
の衝突時の衝撃力波形（シミュレーション）の例を図７
に示す。図７は、従来使用されているばね（ｋ0 ＝0.16
Ｎ／ｍｍ）と、その１０倍（ｋ1＝ｋ0 ×10）および１
００倍（ｋ2 ＝ｋ0 ×100)のばね定数を有するばねとを
用いた場合の２自由度モデルで衝撃荷重シミュレーショ
ンした結果を示す。図７から、衝撃荷重としてとらえて
いる衝突直後の衝撃ピーク（Ｂ）には、ノズルに組み込
まれたばねが殆ど影響していない事がわかる。これは、
ばね定数によって決まる減衰振動の周波数と、ノズルと
ワークとの剛性によって決まる衝撃波の周波数とが１オ
ーダー以上違うためである。つまり、比較的硬いばねを
採用しても、衝撃荷重を変えずにノズルの挙動は安定化
することができるので、初期荷重＝０で組み込めること
がわかる。ばね定数ｋが大きくなると、衝突物の剛性パ
ラメータによる衝撃荷重（Ｂ）よりも、内蔵ばね反力に
よる荷重（Ｃ）が大きくなる。前述の式3)における衝撃
力Ｆ1 は、衝突物の剛性パラメータによる衝撃荷重
（Ｂ）に相当する。同様に、内蔵ばね反力による荷重
（Ｃ）であるＦ2 は、以下の式で表現できる。
点Ｐ２）での設計条件 内蔵ばね１０のばね剛性（ｋb ＝ｋ0 ）を変更した場合
の衝突時の衝撃力波形（シミュレーション）の例を図７
に示す。図７は、従来使用されているばね（ｋ0 ＝0.16
Ｎ／ｍｍ）と、その１０倍（ｋ1＝ｋ0 ×10）および１
００倍（ｋ2 ＝ｋ0 ×100)のばね定数を有するばねとを
用いた場合の２自由度モデルで衝撃荷重シミュレーショ
ンした結果を示す。図７から、衝撃荷重としてとらえて
いる衝突直後の衝撃ピーク（Ｂ）には、ノズルに組み込
まれたばねが殆ど影響していない事がわかる。これは、
ばね定数によって決まる減衰振動の周波数と、ノズルと
ワークとの剛性によって決まる衝撃波の周波数とが１オ
ーダー以上違うためである。つまり、比較的硬いばねを
採用しても、衝撃荷重を変えずにノズルの挙動は安定化
することができるので、初期荷重＝０で組み込めること
がわかる。ばね定数ｋが大きくなると、衝突物の剛性パ
ラメータによる衝撃荷重（Ｂ）よりも、内蔵ばね反力に
よる荷重（Ｃ）が大きくなる。前述の式3)における衝撃
力Ｆ1 は、衝突物の剛性パラメータによる衝撃荷重
（Ｂ）に相当する。同様に、内蔵ばね反力による荷重
（Ｃ）であるＦ2 は、以下の式で表現できる。
【数１１】 これを、ｘについて解くと、
【数１２】 ばね反力による荷重は、Ｆ2 ＝ｋb ｘより
【数１３】 なお、衝撃力Ｆ2 の最大値は、
【数１４】 である。ここで、前述のように速度−荷重切替え制御を
行う前提条件から、制御系の応答として切替えが完了す
るまでの時間ｔk において、式4)で示すばね反力による
荷重Ｆ2 が、式3)で示す衝突物の剛性パラメータによる
衝撃荷重の最大値Ｆ1maxを超えない範囲に小さくする必
要がある。よって、ばね剛性の最大条件として以下の条
件式を与える。
行う前提条件から、制御系の応答として切替えが完了す
るまでの時間ｔk において、式4)で示すばね反力による
荷重Ｆ2 が、式3)で示す衝突物の剛性パラメータによる
衝撃荷重の最大値Ｆ1maxを超えない範囲に小さくする必
要がある。よって、ばね剛性の最大条件として以下の条
件式を与える。
【数１５】 ｔk とはアクチュエータの応答時間であり、ボイスコイ
ルモータ（ＶＣＭ）を用いた場合、ｔk は 0.001〜0.1
（sec ）程度が実用範囲である。
ルモータ（ＶＣＭ）を用いた場合、ｔk は 0.001〜0.1
（sec ）程度が実用範囲である。
【００２４】以上のように、設計条件1)と2)とを用いて
ばね定数ｋb を決定することで、ノズル９がワークＷに
衝突する際に発生する衝撃力を最低限に抑制でき、しか
も切替時にノズル９の振れを最小限に抑制することがで
きる。
ばね定数ｋb を決定することで、ノズル９がワークＷに
衝突する際に発生する衝撃力を最低限に抑制でき、しか
も切替時にノズル９の振れを最小限に抑制することがで
きる。
【００２５】図８は、初期荷重：０．４３Ｎ、静荷重指
令：０．３６Ｎとした従来例によるアクチュエータ（ば
ね定数ｋ0 ＝0.16Ｎ／ｍｍ）のワークに対する衝撃荷重
と、初期荷重：０Ｎ、静荷重指令：０．２Ｎとした本発
明にかかるアクチュエータ（ばね定数ｋ1 ＝ｋ0 ×10）
のワークに対する衝撃荷重と、を比較したものである。
図８から明らかなように、本発明の場合には、ばね定数
ｋ1 を従来（ｋ0 ）に比べて高くし、かつ初期荷重を０
Ｎとしているので、衝撃荷重を従来例に比べて約半分に
低減できたことがわかる。本発明では、ばね１０とし
て、ノズル９が位置制御時に発生するノズルホルダ８の
推力によってセンサ分解能以下でしか動作しない程度の
硬めのばね（ばね定数ｋ1 ）を用いた。その結果とし
て、ノズル９のストローク量も短くできるため、ノズル
９を小型化でき、その質量を小さくできることも、衝撃
荷重低減化において有利となった。
令：０．３６Ｎとした従来例によるアクチュエータ（ば
ね定数ｋ0 ＝0.16Ｎ／ｍｍ）のワークに対する衝撃荷重
と、初期荷重：０Ｎ、静荷重指令：０．２Ｎとした本発
明にかかるアクチュエータ（ばね定数ｋ1 ＝ｋ0 ×10）
のワークに対する衝撃荷重と、を比較したものである。
図８から明らかなように、本発明の場合には、ばね定数
ｋ1 を従来（ｋ0 ）に比べて高くし、かつ初期荷重を０
Ｎとしているので、衝撃荷重を従来例に比べて約半分に
低減できたことがわかる。本発明では、ばね１０とし
て、ノズル９が位置制御時に発生するノズルホルダ８の
推力によってセンサ分解能以下でしか動作しない程度の
硬めのばね（ばね定数ｋ1 ）を用いた。その結果とし
て、ノズル９のストローク量も短くできるため、ノズル
９を小型化でき、その質量を小さくできることも、衝撃
荷重低減化において有利となった。
【００２６】本発明の荷重制御用アクチュエータは、上
記実施例のような吸引ノズル９を備えたハンドリング装
置に限らず、図９に示すような測定選別装置にも適用可
能である。図９において、２０は測定器の可動部である
端子ホルダを示し、図３と同様なボイスコイルモータな
どによって上下に駆動される。端子ホルダ２０の内部に
はガイド穴２１が設けられ、ガイド穴２１には測定端子
２２が上下移動自在に挿入されている。測定端子２２
は、ガイド穴２１の内部に周縁部が固定された内蔵ばね
２３を介して吊り下げ支持されている。そのため、自由
状態においては、測定端子２２にかかる初期荷重は０に
設定されている。この実施例では、内蔵ばね２３として
板ばねを使用したが、コイルばねであってもよい。上記
測定端子２２は図示しない測定器と電気的に接続されて
いるが、内蔵ばね２３は測定端子２２と測定器とを接続
する導線の一部を構成している。なお、内蔵ばね２３と
は別に、測定端子２２と測定器とを接続する導線を設け
てもよい。
記実施例のような吸引ノズル９を備えたハンドリング装
置に限らず、図９に示すような測定選別装置にも適用可
能である。図９において、２０は測定器の可動部である
端子ホルダを示し、図３と同様なボイスコイルモータな
どによって上下に駆動される。端子ホルダ２０の内部に
はガイド穴２１が設けられ、ガイド穴２１には測定端子
２２が上下移動自在に挿入されている。測定端子２２
は、ガイド穴２１の内部に周縁部が固定された内蔵ばね
２３を介して吊り下げ支持されている。そのため、自由
状態においては、測定端子２２にかかる初期荷重は０に
設定されている。この実施例では、内蔵ばね２３として
板ばねを使用したが、コイルばねであってもよい。上記
測定端子２２は図示しない測定器と電気的に接続されて
いるが、内蔵ばね２３は測定端子２２と測定器とを接続
する導線の一部を構成している。なお、内蔵ばね２３と
は別に、測定端子２２と測定器とを接続する導線を設け
てもよい。
【００２７】上記構成の測定選別装置の場合も、内蔵ば
ね２３のばね定数ｋb を最大条件式2)と最低条件式1)と
で決定することにより、測定端子２２がワークに接触す
る際に発生する衝撃力を最低限に抑制でき、しかも切替
時に測定端子２２の振れを最小限に抑制することができ
る。
ね２３のばね定数ｋb を最大条件式2)と最低条件式1)と
で決定することにより、測定端子２２がワークに接触す
る際に発生する衝撃力を最低限に抑制でき、しかも切替
時に測定端子２２の振れを最小限に抑制することができ
る。
【００２８】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、請求項１
に記載の発明によれば、ワークと接触部との最大衝撃荷
重Ｆ1maxよりも、アクチュエータの応答時間ｔk 以内の
弾性体のばね反力Ｆ2 が小さくなるように、弾性体のば
ね定数ｋb を設定したので、ワークに対する衝撃荷重を
低くでき、ワークダメージを低減することができる。ま
た、ばね定数をある程度高く設定できるので、初期荷重
を小さくしながら接触部を安定に保持でき、可動部を高
速で作動させることができる。また、本発明を吸引ノズ
ルを備えた部品組立装置に適用した場合、ワークの吸着
の有無、吸着ズレ状態によりエアーの漏れが発生する
と、エアーの吸引力と弾性体の初期荷重のバランスが崩
れ、初期荷重が大きくなる可能性があるが、本発明では
初期荷重をほぼ０に設定できるので、ハンドリング時に
ワークにダメージを与えることが少ない。
に記載の発明によれば、ワークと接触部との最大衝撃荷
重Ｆ1maxよりも、アクチュエータの応答時間ｔk 以内の
弾性体のばね反力Ｆ2 が小さくなるように、弾性体のば
ね定数ｋb を設定したので、ワークに対する衝撃荷重を
低くでき、ワークダメージを低減することができる。ま
た、ばね定数をある程度高く設定できるので、初期荷重
を小さくしながら接触部を安定に保持でき、可動部を高
速で作動させることができる。また、本発明を吸引ノズ
ルを備えた部品組立装置に適用した場合、ワークの吸着
の有無、吸着ズレ状態によりエアーの漏れが発生する
と、エアーの吸引力と弾性体の初期荷重のバランスが崩
れ、初期荷重が大きくなる可能性があるが、本発明では
初期荷重をほぼ０に設定できるので、ハンドリング時に
ワークにダメージを与えることが少ない。
【図１】ボイスコイルモータを用いた従来のハンドリン
グ装置の一例の断面図である。
グ装置の一例の断面図である。
【図２】ワークとノズルとの衝撃荷重の概念図である。
【図３】本発明にかかる荷重制御型アクチュエータをハ
ンドリング装置に適用した一例の断面図である。
ンドリング装置に適用した一例の断面図である。
【図４】図３に示すハンドリング装置のノズル部分の拡
大断面図である。
大断面図である。
【図５】位置−速度−荷重の切替制御の方法を示す図で
ある。
ある。
【図６】ノズルの概念図である。
【図７】ばね剛性と衝撃荷重との関係をシミュレートし
た結果を示す図である。
た結果を示す図である。
【図８】従来例と本発明との衝撃荷重を比較した図であ
る。
る。
【図９】本発明にかかる荷重制御型アクチュエータを測
定選別装置に適用した例の断面図である。
定選別装置に適用した例の断面図である。
２ 作動手段（ボイスコイルモータ） ８ ノズルホルダ（可動部） ９ ノズル（接触部） １０ 内蔵ばね
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 牧 謙一郎 京都府長岡京市天神２丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 Ｆターム(参考） 2G036 AA27 BB22 CA02 CA03 3F060 AA03 AA07 CA24 EB03 EB07 FA02 GA01 GA12 GA16 GB08 GD12 HA03 HA11 HA23 HA35 5H607 AA04 AA12 BB01 BB11 BB14 BB25 CC01 CC03 DD19 EE14 KK08 KK10 5H633 BB02 GG03 GG05 GG06 GG09 HH02 HH07 JA02 JB06
Claims (8)
- 【請求項１】ワークと接触する接触部と、この接触部を
弾性体を介して支持する可動部と、可動部に対する推力
を制御可能な作動手段とを備えた荷重制御型アクチュエ
ータにおいて、ワークと接触部との接触時の最大衝撃荷
重をＦ1maxとし、アクチュエータの応答時間ｔk 以内の
弾性体のばね反力をＦ2 としたとき、下記の最大条件式
を満たすように弾性体のばね定数ｋb を設定したことを
特徴とする荷重制御型アクチュエータ。 Ｆ1max≧Ｆ2 - 【請求項２】上記弾性体のばね定数ｋb は、下記の条件
式を満たすことを特徴とする請求項１に記載の荷重制御
型アクチュエータ。 【数１】 【数２】 - 【請求項３】上記作動手段はボイスコイルモータにより
構成され、上記ｔk は 0.001sec 〜0.1secであることを
特徴とする請求項１または２に記載の荷重制御型アクチ
ュエータ。 - 【請求項４】上記作動手段は、可動部を接触部がワーク
と接触する直前位置まで前進させる位置制御と、直前位
置から接触部がワークと接触する接触位置までの間、可
動部を一定速度で前進させる速度制御と、接触部がワー
クと接触した後、接触部とワークとの接触圧を制御しな
がらさらに可動部を前進させる荷重制御と、接触部をワ
ークから離間させるべく可動部を後退させる位置制御と
が順に実行されることを特徴とする請求項１ないし３の
いずれかに記載の荷重制御型アクチュエータ。 - 【請求項５】上記弾性体のばね定数ｋb は、下記の最低
条件式を満たすことを特徴とする請求項４のいずれかに
記載の荷重制御型アクチュエータ。 【数３】 ただし、ｍn ：接触部の質量、α：位置制御から速度制
御への切替点での接触部の速度変化、ｇ：重力加速度、
ｘmax：位置制御から速度制御への切替点での接触部の
挙動の最大振幅。 - 【請求項６】上記接触部は、可動部に対して弾性体を介
して吊り下げ支持され、接触部のワークに対する初期荷
重を０としたことを特徴とする請求項１ないし５のいず
れかに記載の荷重制御型アクチュエータ。 - 【請求項７】請求項１ないし６のいずれかに記載の荷重
制御型アクチュエータの接触部は、真空吸引通路を介し
てエアー吸引装置と接続され、ワークを真空吸着するノ
ズルであることを特徴とする部品組立装置。 - 【請求項８】請求項１ないし６のいずれかに記載の荷重
制御型アクチュエータの接触部は、測定器と電気的に接
続され、ワークと接触してワークの電気的特性を測定す
る測定端子であることを特徴とする測定選別装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000181171A JP3659132B2 (ja) | 2000-06-16 | 2000-06-16 | 荷重制御型アクチュエータ |
| KR10-2001-0033873A KR100432990B1 (ko) | 2000-06-16 | 2001-06-15 | 하중 제어형 액츄에이터 |
| US09/881,729 US6583637B2 (en) | 2000-06-16 | 2001-06-18 | Load-control-type actuator |
| CNB011210990A CN1205850C (zh) | 2000-06-16 | 2001-06-18 | 负载控制型激励器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000181171A JP3659132B2 (ja) | 2000-06-16 | 2000-06-16 | 荷重制御型アクチュエータ |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002010613A true JP2002010613A (ja) | 2002-01-11 |
| JP3659132B2 JP3659132B2 (ja) | 2005-06-15 |
Family
ID=18682144
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000181171A Expired - Fee Related JP3659132B2 (ja) | 2000-06-16 | 2000-06-16 | 荷重制御型アクチュエータ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
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| JP (1) | JP3659132B2 (ja) |
| KR (1) | KR100432990B1 (ja) |
| CN (1) | CN1205850C (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100465212B1 (ko) * | 2001-02-19 | 2005-01-13 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 핸드링 장치 및 이 핸드링 장치를 사용한 부품 조립 장치 |
| JP2010162653A (ja) * | 2009-01-16 | 2010-07-29 | Tesetsuku:Kk | ハンドリング装置および電子部品検査システム |
| JP2011095206A (ja) * | 2009-11-02 | 2011-05-12 | Ihi Corp | 飛翔体速度検出システム、摺動装置および飛翔体速度検出方法 |
| JP2019140812A (ja) * | 2018-02-13 | 2019-08-22 | キヤノンマシナリー株式会社 | ワーク接触装置、ワーク接触方法、およびワーク接触装置の製造方法 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005108004A1 (de) * | 2004-04-23 | 2005-11-17 | Schott Ag | Vorrichtung und verfahren zur erzeugung von mikrostrukturen |
| JP5875376B2 (ja) | 2012-01-12 | 2016-03-02 | ヤマハ発動機株式会社 | 吸着ノズル昇降用リニアモータおよび電子部品実装装置 |
| JP6131039B2 (ja) * | 2012-12-20 | 2017-05-17 | Juki株式会社 | 電子部品実装装置 |
| US10116196B2 (en) * | 2016-04-28 | 2018-10-30 | Disney Enterprises, Inc. | Parallel elastic mechanism for robot-environment force interaction |
| EP3464789B1 (en) * | 2016-06-07 | 2021-04-28 | Welltec A/S | Downhole operational tool |
| CN110383969B (zh) * | 2017-03-10 | 2021-03-12 | 株式会社富士 | 元件安装机 |
| CN116930668B (zh) * | 2023-09-15 | 2023-12-05 | 国科大杭州高等研究院 | 电推力器响应时间测量的检测系统与运行方法 |
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|---|---|---|---|---|
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| JPH1038966A (ja) * | 1996-07-29 | 1998-02-13 | Ando Electric Co Ltd | Ｉｃの測定機構 |
-
2000
- 2000-06-16 JP JP2000181171A patent/JP3659132B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-06-15 KR KR10-2001-0033873A patent/KR100432990B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2001-06-18 US US09/881,729 patent/US6583637B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-06-18 CN CNB011210990A patent/CN1205850C/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100465212B1 (ko) * | 2001-02-19 | 2005-01-13 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 핸드링 장치 및 이 핸드링 장치를 사용한 부품 조립 장치 |
| JP2010162653A (ja) * | 2009-01-16 | 2010-07-29 | Tesetsuku:Kk | ハンドリング装置および電子部品検査システム |
| JP2011095206A (ja) * | 2009-11-02 | 2011-05-12 | Ihi Corp | 飛翔体速度検出システム、摺動装置および飛翔体速度検出方法 |
| JP2019140812A (ja) * | 2018-02-13 | 2019-08-22 | キヤノンマシナリー株式会社 | ワーク接触装置、ワーク接触方法、およびワーク接触装置の製造方法 |
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| CN1205850C (zh) | 2005-06-08 |
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