JP2001512230A5 - - Google Patents

Description

【特許請求の範囲】
【請求項１】 原子間力顕微鏡であって、試料表面（５２）の近傍に移動させうるように構成された力感知プローブ・チップ（６４）と、前記プローブ・チップと前記試料表面との間での相対的な運動を発生させる走査要素（５０）と、前記プローブ・チップの撓みを生じさせる磁場を発生させるデバイス（６２）と、前記デバイスのためのドライバ（７３）であって、交流源（６６）を含むドライバ（７３）と、前記プローブ・チップの位置を検出する検出器（６０）と、を備えている原子力間力顕微鏡において、前記ドライバがさらに、前記プローブ・チップの時間平均位置の変位を生じさせるよう大きさが制御された静的な第２の電流源（７４）を含んでいることを特徴とする原子間力顕微鏡。
【請求項２】 請求項１記載の原子間力顕微鏡において、前記第２の電流源が、変動する電流を生じることを特徴とする原子間力顕微鏡。
【請求項３】 請求項１記載の原子間力顕微鏡において、前記位置検出器（６０）からの信号を受信するように構成された位相感知性検出器（６８）をさらに含むことを特徴とする原子間力顕微鏡。
【請求項４】 プローブ・チップ（６４）を有する力感知カンチレバー（４８）を含む走査プローブ顕微鏡の操作方法であって、前記力感知カンチレバーに磁気的な駆動力を加えるステップと、前記プローブ・チップが試料表面に対して移動される際に前記駆動力に応答する前記プローブ・チップの移動を測定するステップと、を含む方法において、前記駆動力が、前記プローブ・チップの発振運動を生じさせる第１の信号と、前記プローブ・チップの時間平均位置の変位を生じさせる第２の信号と、を含むことを特徴とする方法。
【請求項５】 請求項４記載の方法において、前記プローブ・チップの前記移動が、前記試料表面からのプローブ・チップの距離に対する前記プローブ・チップの相対的な変位のデータとして記録されることを特徴とする方法。
【請求項６】 請求項５記載の方法において、前記記録されたデータを用いて、前記試料表面からの距離に対する相対的な変位のプロット上の点を選択することにより前記顕微鏡の動作点を設定するステップを含むことを特徴とする方法。
【請求項７】 請求項４記載の方法において、前記第２の信号が時間的に変動するようになされていることを特徴とする方法。
【請求項８】 請求項４記載の方法において、前記移動が位置感知性検出器（６０）によって感知されるようになされていることを特徴とする方法。
【請求項９】 請求項８記載の方法において、位相感知性検出器（６８）に対する前記プローブ・チップの移動量の関数である前記位置感知性検出器からの第３の信号を供給するステップを含むことを特徴とする方法。
【請求項１０】 プローブ・チップ（６４）を有する力感知カンチレバー（４８）を含む走査プローブ顕微鏡を用いて試料の動的な弾性を測定する測定する方法であって、駆動力を前記プローブ・チップに加えるステップと、前記駆動力を変化させるステップと、時間の関数として前記プローブ・チップの移動を記録するステップと、を含む方法において、前記駆動力が、前記プローブ・チップの発振運動を生じさせる第１の信号と、前記プローブ・チップの時間平均位置の変位を生じさせる第２の信号と、を含むことを特徴とする方法。
【請求項１１】 請求項１０記載の方法において、前記駆動力が、ソレノイド（６２）によって供給される磁気的な駆動力であり、前記磁気的な駆動力が、前記ソレノイドに与えられる電流を変化させることによって変化させられるようになされていることを特徴とする方法。
【請求項１２】 請求項１０記載の方法において、前記駆動力が、圧電アクチュエータ（５０）によって供給され、前記駆動力が、前記プローブ・チップに磁気的な駆動力を与えることによって変化させられるようになされていることを特徴とする方法。
【請求項１３】 請求項１０記載の方法において、前記プローブ・チップの違相運動を記録するステップを含むことを特徴とする方法。