JP2001509602A - 空気中の汚染物質インジケーター - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 インジケーターシステム（１８）は空気中の汚染物質の蓄積レベルを視覚的に示す。インジケーターは、酸及びｐＨ指示薬により処理されたサポート媒体を有する透明な鞘（２０）を有し、汚染物質を吸着するにつれて、媒体（２４）は端から変色する。インジケーターシステムを吸着フィルターシステムに用いて、吸着ベッド部材の寿命を予測するために使用しても良い。一例では、サンプル気流を吸着ベッドの前段からとり、流量計及びバルブを用いて基準化する。インジケーターを監視することにより、吸着ベッドの寿命を正確に予測することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】１．発明の背景 本発明は、有機塩基及び無機塩基などの空気中の汚染物質の存在及び空気中の
汚染物質の蓄積状態を示すための方法及び装置に関し、特に、空気中の汚染物質
を除去するためのフィルターシステムの寿命予測に関する。

【０００２】２．従来の技術 人や、環境、またしばしば製造中の製品の特に重要な製造工程を守るために、
有機塩基などの空気中の汚染物質を除去する目的で、多くの産業で気体吸着ベッ
ドが利用されている。気体吸着ベッド利用の具体例として半導体産業があり、製
品は一般に「クリーンルーム」として知られる非常に清潔な環境下で生産される
。製造工程では、クリーンルーム環境下で溶剤などの物質を使用することが通常
求められる。これらの物質を使用した場合、製造工程中に蒸気が発生すると、そ
の蒸気を適切に除去しない限り、クリーンルーム内の空気及び他の処理を汚染す
る可能性があるといった問題がある。更に、多くの環境下では、周辺空気中で自
然発生する数種類の気体が存在するため、製品及び／または処理が汚染される場
合もあるが、普通の微粒子フィルターでは取り除くことができない。そのような
工程で生成される汚染物質として、アンモニア、有機アミン、Ｎ−メチル２−ピ
ロリドン等の空気中の塩基がある。

【０００３】 こういった問題を解決するために、フレームと、フレーム内に保持された活性
カーボンなどの吸着媒体とを有する粒子吸着ベッド組立品に汚染された空気を通
すことがしばしば行われている。吸着媒体が気体状の汚染物質を気流から吸着す
ることにより、清潔な空気をクリーンルーム及び／または処理に戻すことができ
る。このようなベッドの除去効率は、処理やその処理中の製品を保護するために
大変重要であることが分かる。

【０００４】 更に、除去処理では、空気中の汚染物質を吸着、または汚染物質と科学反応す
る活性カーボンベッドに空気を通すため、粒子フィルターを装着した場合ほどに
は、重大な圧力変化は起きないことも分かる。従って、活性カーボンベッドの状
態や劣化を直接監視するのは難しい。活性カーボンヘッドの後段にモニターを設
置することで、性能、効率、または故障が起きた時を検知して、吸着ベッドが消
耗したことを検知することは可能である。しかし、現存のセンサーは、半導体産
業において非常に重要である汚染物質閾値レベルで動作するには感度が不十分で
ある場合があり、また、非常に高価であることが多い。使用に耐える感度を有す
るセンサーの問題点は、１種類の汚染物質を検知するためのものであることが多
いことである。そういったセンサーは１種類の汚染物質を低レベルまで検知する
かもしれないが、他の種類の汚染物質が高レベルになるまで蓄積され、しかも検
知されないこともあり得る。しかし、吸着ベッドが消耗したことが示されたとし
ても、その指示が遅すぎることが多く、その場合処理や製品が台無しになったり
、ダメージを受けたりしていた。

【０００５】 一方、吸着ベッドを直列に並べることで、吸着ベッドの寿命を監視することの
できるシステムが考案されている。吸着ベッドを直列に並べた場合、センサーを
２つの吸着ベッドの間に直列に設置してもよい。従って、１つの吸着ベッドが消
耗し、センサーが汚染物質の存在を知らせても、２番目の吸着ベッドはまだ除去
効果を有するので、故障を回避することができる。しかし、そのような検知シス
テムにはいくつかの欠点がある。２つの吸着ベッドを使用した場合、圧力の低下
は２倍になる。このことは使用状況によっては致命的となる場合もあり得る。更
に、１番目のベッドが消耗したと知らせられると、普通、吸着ベッドは時には複
雑な方法でローテーションして使用される。このようなローテーションは、上記
のようなシステムのメインテナンスにかかる時間および非稼働時間を延ばすこと
になる。また、手間を減らすために吸着ベッドを両方とも交換する場合もあるが
、そうすることにより後段の吸着ベッドは完全に消耗する前に交換されてしまう
ので、後段の吸着ベッドの耐用寿命は短くなっていた。

【０００６】 また、吸着ベッドの中に直接センサーを設置したシステムがある。しかしなが
ら、非常に細い吸着ベッドの中では、このようなセンサーは貴重な空間を占めて
しまう。更に、吸着ベッド内に存在する汚染物質を検知する境界面は封印する必
要があり、複雑で高価であった。

【０００７】 もし濾過された空気がバランスよく、平均してそれぞれの吸着ベッドに配分さ
れれば、それぞれのベッドの耐用期間を適切に予測する事ができ、何ら問題なく
交換期限を長く設定することができる。また、失敗することなく最長交換期間を
達成できるならば、フィルター素材のコストと、吸着ベッドフィルタの交換にか
かる手間のコストを削減することができる。

【０００８】 既知のフィルター能力に基づいて、フィルターベッドがさらされた汚染物質の
実際量を示すことで、吸着ベッドの最適交換期間を正確に予測することが望まし
い。そのような処理は、フィルターを通る実際の気流量が分かっている場合に、
吸着ベッドを抜ける実際の気流量に比例する気流量に応じて予測を行えば、更に
正確になる。吸着ベッドの上流の空気をサンプリングすることにより、吸着ベッ
ドに流れ込む汚染物質を正確に予測することができる。

【０００９】 上記の説明から、空気中の汚染物質の蓄積レベルを検知するインジケーターシ
ステムが必要であることが分かる。そのようなシステムは、吸着ベッド装置を流
れる空気中の汚染物質の比例量をサンプルできなければならない。そういったイ
ンジケーターシステムは、ベッドの使用状態をはっきりと視認できるように示し
、いつ吸着ベッドを交換すべきかを示すようにしなければならない。更に、汚染
物質の濃度は異なるため、システムは交換期間を予測するために、吸着ベッドを
流れる汚染物質を含む実際の気流量に応じて、リアルタイムで蓄積された汚染物
質のレベルを表示する必要がある。また、吸着ベッドの動作異常が起こらないこ
とを確実にするために、上記のようなシステムは様々な安全率に対応できるよう
にしたほうがよい。また、そのようなシステムでは、汚染物質の存在及び蓄積レ
ベルを計測し、視覚的な表示ができるとよい。本発明は、空気中の汚染物質の存
在の表示に関する上記及び他の問題点に鑑みてなされたものである。

【００１０】発明の要旨 本発明は、空気中の塩基の存在を示すためのシステム及び方法に関するもので
ある。このようなシステムは、クリーンルームや空気の質が非常に重要である場
合に利用することができる。

【００１１】 インジケーターシステムは、システムに流入、流出する気流を制御するバルブ
構成を有する。空気のサンプルを得るために、プローブを用いる。一例では、得
られたサンプルは、サンプルされた空気の実際の流量レートに比例する。従って
、システムは汚染物質のレベルが異なっていても、より精密な予測装置として使
用できる。

【００１２】 システムは、システムを監視し、基準化するために流量計を使用する。インジ
ケーター装置は、表示媒体を内包するチューブなどの鞘を有する。汚染物質がチ
ューブの第１端部に接触すると、特殊処理された媒体の色が変わって汚染物質の
存在を知らせる。チューブはほぼ透明であるため、鞘内において反応して変色し
た媒体の先端部分が進んでいくのを視認することができる。従って、汚染物質が
より多く媒体内を通り抜けるに連れて、より多量の媒体が反応して変色し、レベ
ルが上昇したことを示す。気流量は、基準化した流量計により実際の気量流に比
例するレートとなるように保たれる。圧縮された空気により始動するエジェクタ
ータイプのポンプが、システムを通り抜ける気流量を保つ。

【００１３】 典型的なクリーンルーム処理ではアンモニアやアミン、また他の塩基物質が放
出されるので、媒体は硫酸などの酸により処理されたシリカゲルが典型的である
。混合物は、塩基にさらすことによるｐＨ値の上昇に伴って黄色から青に変色す
る、ブロノフェノールブルーなどの試薬により処理される。従って、空気中の塩
基が媒体を通り抜けるにつれて、異なる色となった反応済み媒体の先端部分がチ
ューブに沿って進んで行く。

【００１４】 クリーンルーム環境で一般的に用いられる吸着タイプのベッドは、通常のフィ
ルターのように詰まることはなく、交換期間決定のための監視をすることは難し
い。吸着ベッドが消耗した時を検知するために、フィルターの後段にセンサーを
つけても良いが、そのような装置は高価で、しかも低レベルの空気中の汚染物質
を監視するには十分な感度を有していない場合が多い。更に、吸着ベッドの使用
限界を検知した時にはすでにダメージを受けてしまった後で、遅すぎてしまうと
いった、致命的な性質を処理は有している。従って、いつ吸着ベッドのメインテ
ナンスを予定すればよいか、また、交換しなければならないかを予測し、何か問
題が起こる前にフィルターを交換するまでの期間を最長にすることは有益なこと
である。

【００１５】 期間を予測するために、吸着ベッド上を通過する空気の流れからサンプルを取
り出すように、フィルターの前段にシステムのためのプローブを設置する。こう
することにより、チューブ内における変色部分先端の進み具合のレートと、吸着
ベッド上の流量率と、吸着ベッドの劣化率とが分かれば、吸着ベッドの使用期限
がいつ切れるかを予測するためにモニターシステムを用いることができる。しか
し、流量を比例するように保つため、インジケーター媒体の変色部分先端も実際
の吸着ベッドの変化に比例したレートで変化する。

【００１６】 本発明を特徴づけるこれらの新規な特質及び様々な利点は、本発明の一部を構
成する付帯請求項により詳細に示す。しかし、本発明を分かり易くするために、
利点及び使用により得られる目的については、本発明の一部を更に構成する図面
および添付の記述内容を参照して、本発明の好適な実施の形態において説明する
。

【００１７】発明の実施の形態 図面、特に図１は、空気中の汚染物質の存在とレベルを指示する、番号１０で
示すシステムを表す。システムは、ダクトまたは周辺空気１００から空気をサン
プリングするためのプローブ１２を含む。インジケーターシステム１０は、流量
計１６と、プローブ１２と流量計１６との間に設置された制御バルブ１４を更に
有する。インジケーター１８は流量計１６の後段にある。ポンプ４０はインジケ
ータシステム１０を流れる気流量を一定に保つ。好適な実施の形態においては、
ポンプはコール−パーマー（Cole-Parmer）社製の型番＃７９７００−００等の 圧縮空気供給部４４によって始動するエジェクタタイプのポンプである。バルブ
４２は圧縮空気供給部４４とポンプ４０間の安全弁の働きをする。バルブ１４は
、システム１０への気流量を制御するもので、流量計１６により基準化される。
好適な実施の形態においては、この気流量はサンプリングされた気流量に比例す
る。ポンプ４４は通気口４６を介してサンプリングした空気をダクトに戻し、サ
ンプル元の空気または周辺空気１００に戻す。なお、周辺空気または気流のサン
プリングなどのいくつかの監視形態においては、ポンプ４０、流量計１６、及び
バルブ１４を使用しなくてもよい。

【００１８】 図２に示すように、インジケータシステム１０は吸着フィルターシステム６０
と共に使用してもよい。そのようなフィルターシステム６０は通常、連絡扉６６
を有する筐体６２を含む。筐体内部は、吸着ベッドスタック７０を垂直に突き抜
ける注入プレナム６４を有する。気流は、注入プレナム６４から吸着ベッド７０
を抜けて、排気プレナム７２へ流れる。処理済みの空気は周辺空気に循環される
。本発明の譲受人であるドナルドソン社に譲渡されたオーセンドーフによる米国
特許第5,269,345に、他のシステムも開示されている。

【００１９】 図２に示す構成では、プローブ１２は、吸着ベッド７０による処理前にある注
入プレナムのところに設置されている。しかし、そのようなシステムを、周辺空
気や、吸着ベッド７０の後段といったフィルター装置の異なる場所における汚染
レベルを測定するのに用いても良い。図に示す構成では、インジケーターシステ
ム１０は吸着ベッドの寿命を予測する装置として使用することができる。もちろ
ん、吸着ベッド７０のそれぞれの劣化率が等しくなるように、吸着ベッド７０が
バランスのとれた空気の供給を受けられるように設置しても良い。インジケータ
ーシステム１０は、従来のセンサーにあるようにすでに起きている問題の発生時
を示すというよりも、吸着ベッドの寿命及び交換期間の予測をするために用いら
れる。以下に説明するように、インジケーター１８は吸着ベッド７０の劣化の度
合いも示す。

【００２０】 図３〜５は、インジケータ１８の詳細を示す。インジケーター１８はチューブ
２０を有し、そのチューブは、チューブ内の比色定量指示媒体２２が十分に見え
る程度の透明度を持つことが好ましい。好適な実施の形態においてはチューブ２
０はかなり細く、外径は１／８インチほど、内径は０．０８インチほどであり、
テフロン（登録商標）等の適した素材により作られている。チューブ２０のそれ
ぞれの端部にはグラスウールのような多孔性の栓３２があり、指示媒体３２をチ
ューブ２０内にきつく詰め込んだ状態に保つ。チューブ２０は、Swagelok（登録
商標）部や、結合フィッティングに接続するのに適した他のフィッティングなど
のフィッティング部３０を更に含み、全体で約７．５インチとなる。フィッティ
ング部３０は、指示媒体２２が消耗した時や、吸着ベッドが交換されて、新しい
吸着ベッド組立部品７０と共に新しいインジケータ１８にしたほうが良い場合に
、インジケーター１８を簡単に除去し、取り替えることができるようにしている
。典型的な媒体２０としては、フィルターベッドシステム７０の寿命に合わせて
反応進行レートが設計された、コーティングまたは浸透処理されたシリカゲルが
ある。他に、ガラスビーズ、多孔性ポリマー、アルミナなども適した媒体である
。流量率、チューブのサイズ、シリカゲル、メッシュの大きさ及び表面面積、酸
の量、及び／または流量率を基準化する事により、消耗した指示媒体２４を監視
すればフィルターベッド組立部品７０を交換するまでの最適使用期間を予測する
ことができる。

【００２１】 一例として、典型的な指示媒体２２はコーティングまたは浸透処理されたシリ
カゲルである。シリカゲルのメッシュ及び表面面積は、それぞれのインジケータ
ーシステム１０の必要性に応じて選択しなければならない。粒子を小さくすれば
、変色した媒体２４の先端部分の色の区分がよりくっきりと現れるが、サンプリ
ングされた空気の圧力低下がより大きくなる。空気中の塩基のための典型的な媒
体の一例としては、１００／２００メッシュのシリカゲルまたは１グラムにつき
約５００ｍ^２の特定表面積を有するビーズがある。シリカゲルを準備するにあた
り、まず硫酸液に約２時間浸し、その後余分な硫酸を流し出して、シリカゲルを
蒸留水で数回洗い流す。シリカゲルの最終液は濾過されて、乾かされる。乾かし
たサンプルをイソプロパノール水溶液で湿らせて、適切な指示薬を所定量加える
。適当なｐＨで変色する指示薬の例としては、ブロモフェノールブルーがある。
しかし、システムの必要性および除去する汚染物質のタイプに応じて、フェノー
ルフタレイン、チモールフタレインフェノールレッドや、異なるｐＨで変色する
比色定量指示薬など、他のインジケーター媒体を使用しても良い。また、使用さ
れるインジケータの濃度は、希望する色の濃さに応じて変えることができること
は言うまでもない。０．５重量％濃度のブロモフェノールブルーがうまく作用す
ることが分かった。また、希望のｐＨのレンジ及び使用するインジケーターによ
っては、塩酸や酢酸など、他の種類の酸を使用しても良い。酸性化されたシリカ
ゲルの溶液と、水とイソプロパノールとの混合と、ブロモフェノールブルー指示
物質は数分間よくかき混ぜられる。溶液をそのままの状態で放置した後、イソプ
ロパノールで洗浄する。その結果として得られるゲルを、約６０℃でオーブンで
乾かす。このように処理されたシリカゲルは明るい黄色をしているが、アンモニ
アなどの塩基に触れると黄色から青色に変色する。ブロモフェノールブルーの濃
度を高くするとシリカゲルはオレンジ色に仕上がり、塩基に触れると青／紫色に
変化する。指示媒体２２はチューブ２０内に真空パックされ、グラスウール３２
の栓により保持される。

【００２２】 チューブの準備が済むと、既知量の汚染物質または空気中の塩基を含む制御さ
れた気流にさらすことにより、基準化を行う。システムを通過するサンプル気流
量は流量計１６により計測することができる。図４に示す、反応済媒体２４と未
反応媒体２６との間にある変色先端部分２８は、結果曲線により指示媒体２２の
劣化率と変色とを示すことができるのであれば、汚染物質の量の関数として計測
することができる。この曲線を吸着ベッド７０の既知の容量と比較する事で、吸
着ベッド７０の期待破過時間を予測することができる。インジケーターシステム
１０を通る気流量レートは、必須安全要件に応じて流量計１６及びバルブ１４に
より増減することができる。

【００２３】 図３〜５に示すように、インジケーター１８が新しい場合は、指示媒体２２は
変色前の色、典型的には黄色である。しかし、図４に示すように、より多くの汚
染物質がインジケーター１８を透過すると媒体は変色し、反応済みの媒体２４は
チューブ２０を介して視認することができる。先端２８はチューブ２０内を進む
、はっきりと視認可能な線を示す。図５に示すように、媒体２２がほぼ全体的に
作用を受けると、媒体全体が反応済みの媒体２４であることを示す色に変化し、
吸着ベッドフィルタ７０を交換したほうが良いことを示す。

【００２４】 なお、上記例はアンモニアなどの空気中の塩基を除去する装置のためのもので
あるが、他種類の空気中の合成物の存在を計測するために他の物質を使用すれば
、同様に効果的に利用することができる。また、上記例は吸着ベッド組立部品の
寿命を予測するためのものであるが、このインジケーターシステムは、吸塵機ま
たは吸着機を持たない周辺環境において、汚染物質の存在及びその蓄積濃度を時
間を追って計測するために使用することも可能である。

【００２５】 図６は、図１に示すインジケーターシステム１０を使用した吸着フィルタの寿
命を予測する方法を示す。吸着ベッド７０に、例えば活性カーボンなどの新しい
吸着媒体が設置されると、未使用の媒体２４を有する新しいチューブ１８も設置
される。流量計１６及び制御バルブ１４を用いて、インジケーターシステム１０
により指示される適切な変化レートが吸着ベッド７０の寿命と希望する安全要件
とを調和させるような十分な気流量を供給するように、設置の最中にサンプル気
流量を基準化する。初期設定後は、吸着ベッド７０を流れる気流量が変化しない
限り、再度の基準化は必要ない。しかし、システムが適切に動作していることを
確認するために、流量計１６で気流を監視しても良い。もし、気流量が適切に基
準化されていたならば、処理の間、気流はプローブ１２及びインジケーター１８
を抜けるように方向制御される。流量計１６及びバルブ１４は、監視下の気流量
に比例する適切な気流量となるように保たれていることを確認する。時間経過に
伴って、インジケーターチューブが多くの汚染物質にさらされるにつれ、図３〜
５に示すように、反応済み媒体２４の先端部２８はチューブ１８の長さ方向に沿
って進む。これは、監視可能な、視認可能表示となる。チューブの先端２８の進
み方のレートは、吸着ベッド７０の劣化率に匹敵するため、チューブ１８を見れ
ば吸着ベッド７０の使用状態及び寿命を予測することができる。図５に表すよう
に、チューブ１８がインジケーター媒体２０が全体的に変色してほぼ消耗したこ
とを示すと、システムオペレーターは吸着ベッド７０を交換する時期であること
を知ることができる。

【００２６】 チューブ１８の交換も、吸着ベッド媒体７０のためのベッドを交換する際に行
うことが好ましい。吸着フィルターシステムの気流量にインジケーターシステム
１０内の気流量をすでに基準化してある場合、インジケーターチューブ１８のみ
が吸着ベッド７０と同時に交換されるため、再度基準化を行う必要はない。新し
いインジケーターチューブ１８は、交換後の吸着ベッド７０の使用状態レートの
予測に用いられる。

【００２７】 なお、本発明の詳細構成及び機能と共に、本発明の多数の特徴及び効果を上記
の通り説明したが、上記開示は説明のためだけのものであり、特に形状、大きさ
、部品の配置などの詳細については、本発明の原理の範囲で変更してもよく、添
付の請求項に表現される用語の一般的な広義の意味により示される内容をも含む
ものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の原理によるインジケータシステムを示す図である。

【図２】 図１に示すインジケータシステムを有する逆流吸着ベッド装置の側面図である
。

【図３】 図３は、図１に示すシステムのためのインジケータ装置の側面図である

【図４】 図２のインジケータ装置において、インジケーター媒体の一部が変化した場合
の側面図である。

【図５】 図２のインジケータ装置において、インジケーター媒体全体が変化した場合を
示す側面図である。

【図６】 本発明の原理による吸着装置の使用期間を予測するための指示装置を標準化す
る方法を示すフローチャートである。

【手続補正書】特許協力条約第３４条補正の翻訳文提出書

【提出日】平成１２年１月１１日（２０００．１．１１）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正内容】

【特許請求の範囲】

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＭＬ，ＭＲ， ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，ＫＥ，Ｌ Ｓ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＺ，ＵＧ，ＺＷ)，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＬ ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ， ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，Ｅ Ｅ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ，ＧＷ，ＨＲ ，ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ， ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，Ｌ Ｖ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ， ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＧ，Ｕ Ｚ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＷ (72)発明者 グレイフ， チモシー， エイチ. アメリカ合衆国 ミネソタ州 55416 イ ダイナ グリムス アベニュー サウス 4242 Ｆターム(参考） 2G042 AA01 BB06 BD13 BE02 CA01 CB01 FA12 FB06 HA02 HA07

Claims (18)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 空気中の汚染物質のレベルを指示するインジケーターであっ
   て、 （ａ） 少なくとも透明な部分を有するチューブと、 （ｂ） 前記チューブ内に配置され、前記チューブの透明部分を通して見るこ
   とのできる媒体とを有し、 （ｉ） 前記媒体は変色色素によりコーティングされ、前記変色色素は前記
   空気中の汚染物質にさらされると変色することを特徴とするインジケーター。
2. 【請求項２】 （ａ） 前記チューブは、対向する端である第１及び第２端
   部と、 （ｂ）前記チューブの前記第１及び第２端部に配置された第１及び第２の多孔
   栓構成（３２）を有することを特徴とする請求項１に記載のインジケーター。
3. 【請求項３】 （ａ） 前記チューブの第１端部に取り外し可能であるよう
   に接続された第１のフィッティングと、 （ｂ） 前記チューブの第２端部に取り外し可能であるように接続された第２
   のフィッティングとを更に有することを特徴とする請求項２に記載のインジケー
   ター。
4. 【請求項４】 （ａ） 前記媒体は、シリカゲルを含むことを特徴とする請
   求項１乃至２のいずれかに記載のインジケーター。
5. 【請求項５】 （ａ） 前記変色色素は、ｐＨインジケーターを含むことを
   特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のインジケーター。
6. 【請求項６】 （ａ） 前記変色色素は、ブロモフェノールブルーを含むこ
   とを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のインジケーター。
7. 【請求項７】 （ａ） 前記チューブは内径０．０８インチの円筒であるこ
   とを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載のインジケーター。
8. 【請求項８】 （ａ） 前記媒体は、シリカゲル、ガラスビーズ、多孔ポリ
   マー、及びアルミナのグループから選択されることを特徴とする請求項１乃至７
   のいずれかに記載のインジケーター。
9. 【請求項９】 請求項１乃至８のいずれかに記載のインジケーターを含むイ
   ンジケーターシステムであって、 （ａ） サンプル気流をインジケーター内に供給するポンプと、 （ｂ） 上記サンプル気流量を計測して基準化する流量計とをする事を特徴と
   するインジケーターシステム。
10. 【請求項１０】 （ａ） 前記サンプル気流を調節するために設定、配置さ
    れた制御バルブを更に有することを特徴とする請求項９に記載のインジケーター
    システム。
11. 【請求項１１】 空気中の汚染物質を含む空気を処理する吸着フィルターシ
    ステムであって、前記吸着フィルターシステムは、請求項９及び１０のいずれか
    に記載のインジケーターシステムを有し、 （ａ） 空気中の汚染物質を含む気流を吸入する吸入口と、吸入プレナムと、
    空気中の汚染物質の少なくとも一部を除去するための少なくとも１つの吸着ベッ
    ドと、処理済みの気流を排出するための排出口とを有する筐体であって、 （１） 前記インジケーターは、前記吸着ベッドの上流方向を向くように設
    置されることを特徴とする吸着フィルターシステム。
12. 【請求項１２】 （ａ） 前記気流をサンプリングするためのプローブを更
    に有し、前記プローブは、吸入プレナム内で方向付けられることを特徴とする請
    求項１１に記載のインジケーターシステム。
13. 【請求項１３】 空気中の汚染物質を除去するための吸着媒体の交換時期を
    判断する方法であって、前記吸着媒体内を前段から後段へ流れる第１の気流を有
    し、前記方法は、 （ａ） 前記第１の気流に比例するサンプル気流を得、 （ｂ） 上記サンプル気流を色反応コーティングされた指示媒体に通し、前記
    空気中の汚染物質へさらされることにより色反応コーティングがその色を変化す
    ることを特徴とする方法。
14. 【請求項１４】 （ａ） サンプル気流を得る工程の前に、前記吸着媒体の
    交換が必要となったときに指示媒体の色が完全に変わることを確実にするために
    、サンプル気流量を基準化する工程を更に有することを特徴とする請求項１３に
    記載の方法。
15. 【請求項１５】 （ａ） 前記サンプル気流を指示媒体に通す前記工程は、
    前記サンプル気流を、指示媒体を保持する少なくとも部分的に透明なチューブを
    有するインジケーターに通す工程を有することを特徴とする請求項１３及び１４
    のいずれかに記載の方法。
16. 【請求項１６】 （ａ） 前記サンプル気流を指示媒体に通す工程の後に、
    前記指示媒体が完全に変色するまで前記サンプル気流を指示媒体に通す工程を定
    期的に繰り返す工程を更に有することを特徴とする請求項１５に記載の方法。
17. 【請求項１７】 （ａ） 前記サンプル気流を指示媒体に通す工程の後に、
    インジケーターシステムから指示媒体を内包するチューブを取り外す工程と、 （ｂ） 前記取り外したチューブを新しい指示媒体を内包するチューブに交換
    する工程とを更に有することを特徴とする請求項１６に記載の方法。
18. 【請求項１８】 （ａ） 前記サンプル気流を指示媒体に通す工程の後に、
    前記空気処理システムから前記吸着媒体を取り外す工程と、 （ｂ） 前記取り外した吸着媒体を新しい吸着媒体に交換する工程とを更に有
    することを特徴とする請求項１６及び１７のいずれかに記載の方法。