JP2001502058A - 二次元アレイ送受波器およびビーム形成器 - Google Patents

二次元アレイ送受波器およびビーム形成器

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Abstract

(57)【要約】 最小限のアパーチャ径を備え2つの次元で狭峻分散の広帯域または狭帯域音響ビームの組を形成可能である音響アレイ送受波器。アレイ送受波素子との同時的かつ独立した電気的インタフェースにより、最小限のサポート回路を要しながら、アレイ面に垂直な2つの平面方向において傾斜した複数の送信および受信ビームの形成を可能にする。堅固に保持される送受波器材料の固体円板の接合層を増分的にダイシングすることによって上記の送受波器アレイを経済的かつ精確に製造する方法も開示される。

Description

【発明の詳細な説明】 二次元アレイ送受波器およびビーム形成器 発明の背景 1.発明の分野 本発明は、アレイ面に垂直な2個の平面方向において複数の狭峻分散な音響ビ ームの組を同時に形成するプレーナアレイソナー送受波器に関する。 2.関連技術の説明 平面から2軸上で外方に傾斜した複数の細い音響ビームを同時に生成する送受 波器は、現在、二次元または三次元における速度および/または距離を測定する 各種の音波の後方散乱システムにおいて使用されている。実例としては、2軸ま たは3軸速度測定のために、単なる“ヤヌス”構成の4個のビームの単純な組合 わせを使用する音響ドップラ速度センサ(Acoustic Doppler Velocity Sensors 、ADVS)、水中での目標までの距離を測定するソナー(例えば、前方スキャ ニングソナー)、海底マッピングソナーなどがある。 ADVSは、水流測定値の垂直分布の測定や、船舶航行のための対地および/ または対水速度測定に、広範に使用されている。それらは、細い音響ビームによ り規定される位置のラインに沿った速度を測定することによって3軸速度を測定 する。直交する3つの速度成分を測定するためには、異なる方向に向けて出射さ れる少なくとも3個のビームが必要である。一般には、ある平面上の2軸に配置 され、その平面の垂直線(法線)に対して傾斜された、4個の細い(1〜4°) の円錐状の送信/受信ビームが使用される。音響技術では公知であるこの構成は ヤヌス構成と呼ばれ、2組細い円錐状ビームが、対称的に外方に傾斜され、比較 的大きく外開きしている(一般に60°)円錐の円周の表面上に90°毎に配置 されている。すなわち、通常60°程度の中心角を持つ円錐の円周上に、4個の ビームが互いに対称に外方に傾斜するように均等に配置されている。現在、この 4ビーム構成を得るために用いることができる送受波器技術には、4ピストン送 受波器または1対の一次元フェーズドアレイ送受波器(すなわち、音響ビームが 1平面のみにおいて形成されるアレイ)のアセンブリ(組立体)が含まれる。 従来の4ピストン送受波器アセンブリは4個の独立した円形ピストン型送受波 器より構成され、各送受波器がピストン面に対して垂直方向に単一の狭峻分散の 円錐状送信/受信ビームを生成する。図1に示すように、4個の送受波器が、所 要のヤヌスビーム構成を得るために強固なアセンブリとして物理的に配置されて いる。従来の狭周波数帯ADVS用途の場合、これらの送受波器の各々は公称音 響搬送周波数の約2%の実効送受信帯域幅を要する。一般的な搬送周波数は10 OkHz〜5MHzの範囲である。各ピストン送受波器は一般に、セラミックの 単一の固体円板または小形セラミック素子の平板アレイによって製作される。現 在の広周波数帯域ADVSは約50%の比帯域幅で動作する。これらも固体セラ ミック円板または平板アレイによって製造されるが、所望の帯域幅を得るために その表面に1個以上の補助的なインピーダンス整合層が接合される。米国特許第 5,343,443号「広周波数帯域音響送受波器」はそうしたシステムを開示 している。この4ピストン方式の主な長所は、送受波器の構成および動作の単純 なことである。各ピストン送受波器は個別の信号によって,駆動されており、ビ ーム形成回路が不要である。 上述のような単一ビーム送受波器もビーム形成器アレイとすることができる。 これらのアレイでは一般に、送受波素子の全部を電気的に並列に接続させる。ビ ーム角度のアライメントは主にピストンの正しい位置決めによって得られる。こ のようなアレイに関する短所には、1)送受波器を支持するために、大型で重い 機械的構造を必要とする、2)表面形状が凹凸であるので、滑らかな流体力学形 状とするためには、平面形状を有する厚い音響的透明材料をアセンブリの前面に 付設しなければならない、3)ビームを形成するために大きなアパーチャを要す る、4)速度を正確に測定するには送受波器表面における音速が既知でなければ ならない、といった点が含まれる。 ADVS用の2軸上で4個のヤヌス構成のビームを生成する、改良された送受 波器の物理構成は、1対の一次元フェーズドアレイ送受波器を使用することであ る。図2に示す通り、単一の一次元プレーナアレイは、アレイの縦軸に垂直な方 向に対して傾斜した2個の円錐状ビームを生成する(米国特許第4,641,2 91号「フェーズドアレイドプラソナー送受波器」参照)。4個のADVSビー ムを生成するためには、隣接して配置された2個のアレイが使用される。これら 2個のあれは、一方が他方に対して前述の垂直方向に関して90°回転された状 態で配置されている。各一次元アレイは、単一ビームピストンよりもごくわずか に大きい単一のアパーチャを使用して2個のビームを生成するので、アパーチャ の空間効率において、複数ピストン方式に比べて約2倍の改善が得られる。 一次元フェーズドアレイは一般に、搬送周波数の1/2波長分だけ離間された 平行なラインアレイによって構成される。各ラインアレイは、両面に並列に配線 された多数の小さな正方形または円形のセラミック素子を用いて作製されたもの であってもよいし、単一の長い長方形素子によって製作されたものであってもよ い。1個おきのラインアレイが、所望のビーム形成機能を付与するために互いに 電気的に並列に配線される。そのような配線構成の一つとして、各々4番目のラ インアレイを並列に電気接続するものがある。ここで、円形および長方形の幾何 学形状を有するアレイが使用される。典型的なADVSに要求される4°のビー ム分散を生じるために、直径で約16波長(1/2波長の間隔を開けた32素子 )のアパーチャを要する。動作周波数が100kHz〜5MHzの範囲の典型的 なADVSの場合(1ピースの市販のライン素子は通常この範囲で動作する)、 32個の平行な長い素子のアレイのほうが、製造組立費用の点で、32×32ダ イスドアレイ(市松模様に配置されたアレイ,すなわち、単一の固体素子から切 断またはダイシングされたもの)よりも好ましい。 アレイが“受信”モードで動作する(すなわち、信号を受信する)時、単純な 移相ビーム形成器が使用され、(上述の構成と仮定して)2個のアレイによって 受信される信号を、1個おきのラインアレイの間で媒体中の1/2波長の経路長 での音響伝搬により生じる時間遅延を補償するために±90°移相させる。移相 は時間遅延の近似値であり、狭比帯域幅の信号にのみ適用できる。狭周波数帯域 の信号の場合、加算プロセスは平坦なアレイ平面に対して傾斜した2個の受信ビ ームを形成する。“送信”モードで動作する場合、2個のアレイは、4個(1個 のアレイにつき2個)の同時送信ビームを形成するための適切な相対移相を伴っ た狭周波数帯域の信号によって駆動される。 これらのフェーズドアレイが広周波数帯域の信号によって駆動されると、信号 に含まれる種々の周波数が種々の角度方向で送受波器から分散され、結果的にビ ームを拡大させる。フェーズドアレイ技術は、信号帯域幅が約3%未満である場 合にのみ細いビームを形成する。これは狭帯域ADVS用途には適切であるが、 ほぼ8〜16倍のファクタを有する現在の広周波数帯域ADVSシステム(例え ば、米国特許第5,483,499号「広周波数帯域音響ドプラカレントプロフ ァイラ」参照)に関する帯域幅には不充分である。 帯域幅/分散性能における改善は、上述の一次元フェーズドアレイ送受波器の 組の場合、(送信および受信の両モードにおける)単純な90°移相ビーム形成 網をより複雑な時間遅延網と置き換えることによって得ることができる。時間遅 延を使用することにより、周波数と、受信/送信波の相対入射角との関係を切り 離すことができ、それにより広周波数帯域に適用される場合のビームの角伝搬を 低減する。この時間遅延アレイ方法によれば、個々のラインアレイ信号はそれぞ れ時間遅延され、入射角から独立した合成信号を形成するために加算される。こ の技法における主な短所は、より複雑になる送信および受信ビーム形成器である 。 フェーズドアレイおよび時間遅延アレイ方式の付加的な性能の利点は、ADV S用途の場合、アレイ面に平行な速度成分は、媒体中の音の速さの変化を本質的 に自動補正するということである。音の速さが変化するにつれて、示差経路長お よび種々のアレイ送受波器に対応する時間遅延は変化する。自動修正は、送受波 器面(通常は水平)に平行な速度成分を計算する際の誤差を直接的に補償するよ うな形で、ビーム角度が音の速さとともに変化する、ということに起因する。こ れは、高精度の航行のために送受波器面における音の速さを測定する必要性を最 小限にするが、完全に不要にするものではない。 このように、4ピストンアセンブリに比べ、一次元フェーズドアレイは、一定 のビーム特性に関して空間効率を改善し、良好な流体力学性能のための平坦面を 有し、媒体中で伝搬速度が変化する音の速度分解能を改善することができるが、 広周波数帯域ADVS動作を適切にサポートするものではない。一方、一次元時 間遅延アレイは、広帯域ADVS動作をもサポートする付加的な利点を有する。 一次元フェーズドアレイおよび時間遅延アレイ技術は、アレイ面上の単一平面 において2個以上のビームを形成することにより、海底マッピングおよび前方ス キャニング用途にも普通に使用されている。これらの用途の場合、複数の位相遅 延および/または時間遅延ビーム形成器が単一の一次元アレイと結合されており 、各ビーム形成器は、アレイ面に対して垂直な単一の平面内で、且つ、このアレ イ面に対して異なる傾斜角を有する、複数のビームを同時に形成するために、異 なる位相/時間遅延を有する。第2の平面方向での測定が必要であれば、前述の ように一方が他方に対して物理的に90°回転している、2個の隣接するフェー ズドアレイまたは時間遅延アレイが使用される。 上述したような、アレイ面に垂直な2平面内で傾斜した複数の音響ビームを形 成する各技術の場合、1本の細いビームを形成するために要するアパーチャの少 なくとも2倍の大きさのアパーチャが要求される。適正な信号をアレイの各素子 に供給することができれば、アレイ面に垂直な2平面内で2個以上の円錐ビーム を形成することは可能である。単一のプレーナアレイから2つの垂直平面内で出 射される4個のビームの構成を図3に示す。個々の送受波素子の間に適切な移相 が導入されれば、こうしたプレーナアレイがアレイ面に対して任意の角度で集中 する4個のビームを形成できることがよく理解されよう。この概念は、多年にわ たりレーダアンテナアレイに使用されており、ソナーの送受波器アレイに関して もある程度用いられてきた。また、広帯域用途のためのビーム形成は、異なる素 子で異なる媒体中の各経路長での伝搬によって生じる時間遅延を補償するために 、素子間における真の時間遅延を要することも理解されるであろう。 ADVS送受波器アセンブリの大きさ、重量およびコストの実質的な低減は、 図3に示す通り、全部のビームを完全に形成することができるアパーチャを用い て、アレイ面に垂直な2平面において方向づけられた4個の傾斜ビームが送受波 素子の単一のプレーナアレイから形成できれば、達成できるであろう。これを実 現するために、2つの平面方向において、すなわち図2のX−Y座標系に関して 、アレイ素子が1/2波長毎に精確に整列された、約800個の32×32アレ イが要求される。800個の個別の素子によるこの精密アレイのアセンブリは相 当に複雑である。この多数の素子について2つの次元でのビーム形成をサポート するために、複雑な位相遅延および/または時間遅延回路も要求される。現行の アレイ技術を用いると、アレイの各個の素子に個別の電力増幅器ならびに位相遅 延 および/または時間遅延回路も一般に必要とされる。こうしたアレイの製作およ びビーム形成器の複雑さが要因で、二次元プレーナアレイを使用することは、ほ とんど全部の用途について経済的に非実用的なものとなっている。 従って、著しく縮小されたアパーチャ内でアレイ面に対して2つの次元で狭峻 分散のビームの組を生成でき、そうしたアレイに固有な多数の個別の送受波器素 子をサポートするために単純な位相遅延および/または時間遅延ビーム形成回路 を使用する、改良されたプレーナアレイを提供することが極めて望ましい。さら に、その製造および使用を経済的に実用性あるものとするために、上述のアレイ を製作する効率的かつコスト効果的な方法を提供することも強く望まれる。 発明の要約 本発明は、縮小されたアパーチャ面積を備え、送受波器アレイ面に対して傾斜 した狭周波数帯域または広周波数帯域のビームの組を複数平面内で形成する改良 されたシステムおよび方法を提供することによって、前述の要請を満足させるも のである。送受波器アレイを製造するコスト効果的かつ単純な方法も開示してい る。 本発明の第1の態様によれば、送受波素子の1つの2軸プレーナアレイから形 成される2軸ビームの各組は、アレイの全部の素子と、各ビームを充分に形成す ることができるアパーチャを用いている。アパーチャの空間効率の観点から、こ れは、各ビームを、用いられたアパーチャの面積によって可能な限り細くするこ とができるので、複数の細い2軸ビームを形成する最適な方法である。アパーチ ャ面積全体は、複数の各2軸ビームの所定のビーム幅に基づいて最小化される。 前述の4ピストン方式に比べ、アパーチャ直径は2.5倍(面積で6倍)縮小さ れ、送受波器面は著しく流体力学的となり(それにより流れ抵抗、ノイズ、アパ ーチャ付近での空気の合着から生じるポテンシャルの不正確さを低減することが できる)、送受波器アセンブリの容積はほぼ10倍縮小する。前述の二重の一次 元アレイ方式に比べ、アパーチャ面積は2倍縮小する。 本発明の第2の態様において、本明細書に開示された複数平面(2軸)アレイ は、アレイの素子の数に対して、位相遅延ビーム形成回路または時間遅延ビーム 形成回路の数を低減することができる。単一のプレーナアレイから複数の2軸の 細いビームを生成できる能力は、アレイ平面の2つの次元で複数で傾斜した送信 ,受信ビームの形成を独立的に、かつ、同時に行うことができる、アレイの2方 向において独立して電気的にインタフェースをとる方法によって得られる。これ は、アレイの背面行および前面列を電気的に接続し、背面および前面の平行な組 を、動作の送信および受信の両モードにおいて(行および列のインピーダンスに 比べて)低い電気的インピーダンスを有するビーム形成網に接続し、アレイ平面 の2つの次元で複数の傾斜送信/受信ビームの独立的かつ同時に形成するために アレイの2面との間での送信/受信信号を処理することによって実現される。2 方向は、必ずしもそうではないが、一般には相互に直交する。 本発明のさらに別の態様によれば、約800個の精確に整列された素子のプレ ーナアレイを製作するコスト効果的な方法が開示される。前述の通り、従来技術 の複数ビームアレイは幅が約1/2波長の約32個の長い長方形の送受波素子の アレイによって形成されるのに対し、本発明の好ましい実施態様は、両面の次元 で搬送周波数の約1/2波長の寸法を有するアレイ素子の使用を要する。さらに 、広帯域用途に必要な帯域幅を得るために、各素子は、一体に接合されるべき多 様な材料の複数の層から構成されなければならない。従って、約800個(32 ×32)の多層素子のアレイは、上述の設計を経済的に実現可能にするためにコ スト効果的な方式で精確に組み立てられる必要がある。これを行うために、この 複雑なアレイを製作する改良された方法が開示され、その方法では、複数の円柱 形円板(各々は最終アレイと等しい直径を有する)が、全部の製造段階で切り込 まれた素子が固体層によって堅固に保持されるように工程の各段階で平行なダイ ヤモンド刃カッタにより部分的に切り込まれ、順番に接合される。完了すると、 アレイは、必要な精度で所要の形態に内部的にダイシングされ、機械的に剛性で 音響的に透明な前面および固体支持円板によって形状が保たれる。 上述の単純な設計および製作技法により、二次元の平坦なアレイの形態および 性能の長所を備えたコスト効果的な商品を製造することが経済的に実用的となる 。本発明は、典型的なADVS(すなわち、4°の1方向ビーム幅を有する4ビ ームの150kHz送受波器)用途のための著しく改善された性能を付与する。 本 発明の上述その他の特徴は、以下の図面に関してなされる以下の説明および請求 の範囲によってより完全に明白となるであろう。 図面の簡単な説明 図1は、従来技術のヤヌス構成での4ピストン送受波器アレイの平面図である 。 図2は、2個の細い音響ビームの形成を例示した従来技術の一次元フェーズド 音響アレイの斜視図である。 図3は、アレイ平面(すなわちX−Y平面)に垂直な2平面内に配置され、ア レイの垂直線(すなわちZ軸)に対して傾斜した4個の音響ビームの典型的な構 成を示す斜視図である。 図4は、アレイ素子の電気的接続方法および送信,受信ビーム形成器に接続す るためのアレイ−ビーム形成器接続方法を含む、二次元送受波器アレイの好まし い実施態様の機能ブロック図である。 図5は、受信モードで動作する際の簡略化した16素子二次元フェーズドアレ イ送受波器の動作を示す機能ブロック図である。 図6は、送信モードで動作する際の簡略化した16素子二次元フェーズドアレ イ送受波器の動作を示す機能ブロック図である。 図7は、受信モードで動作する際の簡略化した16素子二次元時間遅延送受波 器の動作を示す機能ブロック図である。 図8は、送信モードで動作する際の簡略化した16素子二次元時間遅延送受波 器の動作を示す機能ブロック図である。 図9は、時間遅延技法を用いたときの、アレイ面に垂直な2平面での複数のビ ームの形成の様子を示す斜視図である。 図10は、800個の矩形表面形状の圧電セラミック素子を中心間距離5mm で密に配置した円形150kHz送受波器アレイの好ましい1実施態様の平面図 である。 図11は、送受波器アセンブリの好ましい1実施態様の積層構成を例示するた めに厚さ寸法を拡張した状態の斜視図である。 図12は、本発明と併せて使用される時間遅延受信ビーム形成器の好ましい1 実施態様の概略ブロック図である。 図13は、本発明と併せて使用される時間遅延送信ビーム形成器の好ましい1 実施態様の概略ブロック図である。 図14は、1個の音響ビームの形成を示す、X−ZまたはY−Z平面で見聞さ れる、公称150kHzの32×32フェーズドアレイ送受波器に関する(アレ イ面の垂直線であるZ軸から測定された)信号振幅とビーム角度の関係を示すグ ラフである。 図15は、本発明の好ましいアレイ送受波器を製作するための好ましい製造工 程を例示する工程図である。 好ましい実施態様の詳細な説明 以下、全図において類似番号は類似部品を示す。この節の説明は、機能の説明 、ハードウエアの説明および製作の説明という項目に分けて説明する。 1.機能の説明 二次元送受波器アレイの好ましい実施態様のブロック図を図4に示す。典型的 なプレーナ音響送受波器アレイの機器構成100が図示されている。個々のアレ イ素子102は、前面列104および背面行106に沿って相互に接続されてい る。アレイ素子102は、2軸送信/受信(T/R)スイッチ118を介して、 関係するビーム形成器108および110に接続されている。送信ビーム形成器 108および受信ビーム形成器110は、位相遅延または時間遅延のいずれか一 方のビーム形成網であってもよい。この説明のために使用する座標系は、X軸方 向の行106、Y軸方向の列104および表面116に垂直なZ軸によって示さ れている。 アレイ面116は円形をしているが、2つの面の次元において概ね対称である 楕円形または多角形といった他の形態要素も通常の円錐形の細い傾斜ビームの形 成に適用できる。アレイは、一般に正方形、円形または長方形の対称な面を有す る(表面の横断面の)形状の多数の小形素子102より構成される。各素子の面 幅は約0.5λ(ここでλは所望の中心周波数の水中での音波長である)。4° のビーム幅のビームを形成するには、約16λのアレイ直径を要し、約800素 子の32×32素子アレイとなる。アレイ素子の背面行106(X方向)および 前面列104(Y方向)は、図4に示す通り、薄い音響的透明材料による素子の 平行ラインに沿って一体に電気的に接続されている。これらの行列は、通常は相 互に直交するが、必ずしもその必要はない。 アレイのX軸の行106およびY軸の列104はそれぞれ、T/Rスイッチ1 18と接続されており、このスイッチは、T/R論理信号120による制御に従 って、XラインおよびYラインの組を、受信モードでは各々のXおよびY受信ビ ーム形成器110に、送信モードでは各々のXおよびY送信ビーム形成器108 に接続する。送信モードにある場合、アレイラインはT/Rスイッチ118を介 して送信ビーム形成器108と接続される。この送信ビーム形成器108は、( 送受波器素子のそのラインの電気的インピーダンスに関して)低インピーダンス 電源からの電気的送信駆動信号を供給する。受信モードにある場合、アレイライ ンはT/Rスイッチを介して受信ビーム形成器110と接続される。この受信ビ ーム形成器110は、XおよびYの各ラインの信号用アースに(送受波器素子の そのラインの電気的インピーダンスに対して)低い電気的インピーダンスの経路 を付与しつつ、送受波器ラインから電気信号を受信する。 XおよびYの各ラインにおけるこの低い電気的電源/負荷インピーダンス(送 信時の低電源インピーダンスおよび受信時の低負荷インピーダンス)によって、 送信電気駆動信号の供給およびX行およびY列からの信号の受信についてX行1 06およびY列104のそれぞれへのアクセスを同時にかつ独立におこなうこと ができる。さらに、XおよびY軸ラインのアレイの並列な組が同時かつ独立的に 形成され得る。X軸の送信および受信ラインアレイは、背面行106に沿った並 列電気接続および前面のY軸列104の全部の低インピーダンス信号用アースの 存在によって形成される。 送信モードにおいて、信号用アースに対して低出力インピーダンスを有する送 信増幅器からの送信駆動信号が、T/Rスイッチを介して、並列なX軸の背面電 気接続ラインに供給される。X軸駆動信号が個々のX軸ラインアレイに供給され ている間、Y軸の32の並列ラインアレイ面全体は、X軸駆動信号がX軸行に対 してのみ適用され、アレイのY軸側と結合しないようにするために、(X軸T/ Rスイッチ118aを経てYビーム形成器108aの低インピーダンスY軸ドラ イバへの信号経路を通じて)信号用アースへの低インピーダンス経路として維持 される。同様に、Y軸駆動信号がY軸ラインアレイに適用されている間、X軸ア レイ面全体は、X軸との結合をせずにY軸に独立して信号が適用されるように、 信号用アースへの低インピーダンス経路として維持される。従って、X軸および Y軸の駆動信号の重ね合わせによって、送信ビーム形成器電源に関係する低イン ピーダンスは、X軸およびY軸ライン送信アレイが同時かつ独立的に形成できる ようにする。 受信モードでは、(信号用アースへの前面の低インピーダンス経路を備えた) 各X軸行106に存在する電気信号は、各行の全部の素子の受信電気信号の総和 を表す。大半の従来のソナー受信増幅器は、受信送受波器に高インピーダンスの 負荷をかける。しかし、本発明の二次元アレイを適用することによって、受信中 に低インピーダンス負荷を付与する受信ビーム形成器において使用するための増 幅器が開発された。これは、X軸およびY軸のラインの各々を、受信ビーム形成 器内の受信前置増幅器で仮想アースノード(アースと同電位であるが、アースと 直接的には接続されていないポイント)に接続することによって実現される。各 仮想アースノードに流れる信号電流は、列または行における全部のセラミック素 子からの信号電流の総和である。列から信号を受信する際、列信号は、全部の行 の仮想アースが呈する低インピーダンス負荷によって、同時に受信する行信号と は独立している。同様に、行から信号を受信する場合、全部の列の仮想アースが 呈する低インピーダンス負荷のために、この行信号は同時に受信されている列信 号から独立している。 送信および受信の両モードにおいて、XおよびY信号ラインを介するこうした 独立的かつ同時的なX行およびY列の電気的アクセスによって、アレイは、X− ZおよびY−Zの両平面において複数の傾斜音響ビームの組を同時にかつ独立し て形成するための二次元アレイとして使用できる。各平面におけるビーム形成動 作は、従来の一次元のフェーズドアレイおよび/または時間遅延アレイと同様で ある。従って、二次元のビーム形成動作は概ね、1個のアレイを90°回転させ て他の1個に重ね合わせた2個の一次元アレイと等しい。 送信モード動作では、X行に供給された位相遅延または時間遅延信号がY方向 (YZ平面)で傾斜音響送信ビームを形成する。同時かつ独立して、Y列に供給 された位相遅延または時間遅延信号はX方向(XZ平面)で傾斜音響送信ビーム を生成する。受信モード動作では、X行で受信された電気信号は、位相遅延また は時間遅延され、X行の受信ビーム形成器で結合されY方向の傾斜受信音響ビー ムを生成する。同時かつ独立して、Y列で受信されY側ビーム形成器で結合され た信号は、X方向で傾斜受信音響ビームを生成する。このようにして、X軸およ びY軸の電気的および音響的信号の重ね合わせによって、送信および受信の両モ ードにおいて単一のプレーナアレイからの二次元音響ビーム形成が達成される。 このような二次元の送信,受信音響ビームがどのように形成されるかという動 作の基本原理を理解するために、32×32素子の二次元アレイ送受波器の16 素子アレイサブセットの動作を検討する。位相遅延(狭周波数帯域)および時間 遅延(狭周波数帯域および広周波数帯域の)ビーム形成器による動作をここで説 明する。 フェーズドアレイ動作 移相ビーム形成器による上述の二次元アレイの16(4×4)素子サブセット の動作を図5および図6に示す。単一の(狭周波数帯域の)周波数fで、波長λ =c/f(ここでcは流体媒体中の音の伝搬速度)のロングトーンバースト音響 信号の受信において、X方向でかつZ軸(Zはアレイ面の垂直線または図の平面 の垂直線である)に関して角度θ202で入射する音線の波先200は、Y軸( 前面)列のラインアレイ204の各々に異なる距離で伝わるので、異なる時間に 、そして一般には異なる位相でラインアレイ204の各々にぶつかる。図5に示 す通り、隣り合うラインアレイ(α)206の間の経路長差は、次式表される素 子の中心間距離(d)に関係する。 α=dsinθ 隣り合うラインアレイ間の波先の到着時間差(τ)は次式の通りである。 τ=α/c=(d/c)sinθ それらの素子感の間隔が着信する狭帯域信号の半波長に一致する距離(d=λ/ 2)である場合、着信した信号の波長を用いて表現される経路長差は次式によっ て与えられる。 α=(λ/2)sinθ 着信する角度(θ)が30°の場合、 α=(λ/2)sin30=λ/4 これは、着信する狭周波数帯域の信号について90°の素子間角移相に対応する 。従って、狭帯域パルスが前述したような、裏で低インピーダンスの仮想アース 208に結合された全部のY軸ラインアレイによって受信される場合、4個のY 軸ラインアレイの組に沿った受信電気信号の位相は、それぞれ、0°、90°、 180°および270°となる。 X軸受信ビーム形成器110bの信号用アースに全部の背面行106が接続さ れている前面(Y)列の受信動作について、まず検討する。(例示に使用した4 ×4アレイにおける)4個のX軸の電気信号の各組は、背面行の信号基準を形成 するために受信ビーム形成器110aの受信前置増幅器の仮想アースノード20 8に接続されており、図示の通り、隣接するラインアレイ間で−90°ずつ(0 °、−90°、−180°および−270°)移相されている。課された移相は 、図5に示す通り、ラインアレイに入射する狭帯域音響パルスの異なる素子間の 経路長差によって生じる移相を補償する。得られた4個の信号は同相となり、加 算されると、30°の入射角で到着する波先を受信する際に最大の音響干渉縞を 形成する。この最大値は形成されたビームの主ローブの1個の中心軸に対応する 。 第2の受信ビームは、X方向で、Z方向に関して角度θ(−30°の入射角) で入射する音線の波先について、4個の信号にで90°課された移相の正弦(波 )を反転し、それらの信号を加算することによって形成することができる。4個 の信号位相の組は4個のラインアレイの付加的な組について反復されるので、± 30°で干渉縞をさらに拡大するために、4個のラインアレイの全部の組からの 信号を加算することによって、より大形のアレイを実現することができる。4個 のラインアレイの付加的な組が上述の通り使用されると、±30°方向に沿った 音響信号利得が増加するか、またはこれに伴い、アレイの付加的な組が加えられ るにつれて、当該方向でのビーム幅が縮小する。 同様なビーム形成方法としては、最初に異なるアレイの組からの等しい位相の 信号を全て加算し、その後4個の信号の加算された組に90°の移相を課す方法 がある。これは単に、前述のような一次元フェーズドアレイの場合の実際におい て一般に行われているように(図2参照)、各々の第4のラインアレイを並列に 電気接続することによって実現できる。X方向の実効ビーム幅は、そのアレイ中 のラインアレイの組の数によって決まる。Y方向では、ビーム幅は、アレイライ ンの(音波波長における)長さに反比例する、ラインアレイのビームパターンに よって決定される。ADVS用途の場合、両平面で同様の幅を持った細い、傾斜 した音響ビームであることが望ましく、従って、XおよびY平面の寸法はほぼ同 じに保たれる。 送信モードにおいて、2軸アレイの動作は、図6に示す通り、信号の流れが逆 になること以外、上述の受信モードと同様である。背面行が全部信号用アースに 接続された前面列の送信動作をまず検討する。ロングトーンバースト搬送周波数 300が移相送信ビーム形成器108aに供給され、0°、90°、180°お よび270°の相対位相を有する4個の駆動信号を生成する。これらは、低イン ピーダンスドライバからY列の4個の並列配線接続の組302に供給される。課 された移相は、ラインアレイ間での異なる経路長によって生じる移相を補償し、 30°の入射角での送信音響信号の干渉縞が形成され、それは主ビームローブの 1個の中心に対応する。別の送信ビームは、前述と同様、90°課された移相の 正弦(波)を反転することによって−30°の入射角で形成できる。 Y軸における受信および送信動作は同じである。背面行との間で供給および受 信される信号を考慮する際、前面列は低インピーダンスによって信号用アースに 接続される。各側にアースへの低い送信駆動および受信器負荷インピーダンスが 存在することにより、完全に独立したX軸およびY軸動作をもたらす。Xおよび Y軸信号の重ね合わせから、両軸(すなわち行および列)が同時に動作し得るこ ともわかる。 細い送信,受信ビームを形成する際に一定の位相遅延を用いた上述の2軸ビー ム形成技法は、“二次元フェーズドアレイ”送受波器とも称する。単一周波数( 狭帯域)ロングトーンバーストを送信する狭帯域用途での使用に適する。X−Z 平面およびY−Z平面に位置し、全部がZ方向に対して所定の角度で傾斜した4 個の傾斜した狭峻ビームが、図3に示す通り、単一の平坦なアレイアパーチャか ら形成される。 図5の音線図より、一定の素子間隔dについて、各ビームの角度は次式によっ て音響周波数と関係づけられる。 θ=sin-1(λ/4d)=sin-1(c/4fd) 従って、ビーム角度は周波数に依存しており、受信波または発信波が広帯域スペ クトルを有する場合、主ローブビームパターンの角はそれに応じて拡大すること になる。ビームの拡大を生じるこの帯域幅のために、上述のフェーズドアレイ技 法は、広帯域スペクトル(一般に搬送波周波数の20〜50%)を伴う信号を送 信する広帯域ADVSではうまく働かない。広帯域信号を伴う二次元アレイ技法 を使用するには、以下の節で説明する、代替的な時間遅延ビーム形成技法を要す る。 時間遅延アレイの動作 前述の通り、速度cかつZ方向に対して角度θでX方向に進行する入射音線の 波先は、隣り合うラインアレイ間の経路長差のために異なる時間に異なるY軸の 前面ラインアレイ位置にぶつかる。経路長差αは、dsinθに等しいことを示 した。対応する経路長時間遅延差(τ)は(dsinθ)/cである。フェーズ ドアレイは、狭帯域信号にのみ適応する素子間位相遅延を補償するビーム形成器 を使用するのに対し、時間遅延アレイは、より広い周波数帯域の信号に適応する 素子間時間遅延を補償するビーム形成器を使用する。 ここで、図7に示すような、X軸受信ビーム形成器において背面行が仮想アー スに接続された4×4サブセットの動作の受信モードを検討すれば、4個のY軸 受信電気信号の各組は、背面行の信号基準を形成するために受信器ビーム形成器 増幅器402の仮想アースノードに接続されている。増幅器の出力は、図7に示 すタップ付き双方向時間遅延加算網404に供給される。加えられた素子間電気 的時間遅延406、τは、着信する音響信号の異なる素子間経路長から生じる時 間遅延を補償し、次式の入射角で±X軸(X−Z平面)で2個のビームの形成を もたらす。 θ=sin-1(cτ/d) この式より、この時、ビーム角度は音響周波数と独立であり、従って広い周波数 スペクトルにより空間において空間的に拡大しないことがわかる。この広帯域能 力は、前述の移相技法に優る時間遅延技法の第1の利点である。 受信モードにおいて、4×4アレイの動作は、図8に示すように信号の流れが 逆になること以外、上述の受信モードと同様である。X軸ビーム形成器500に おいて背面行全部が信号用アースに結合されている前面列の動作をまず検討すれ ば、送信信号502が時間遅延送信ビーム形成器504に供給され、0、τ、2 τおよび3τの相対的時間遅延508を伴う4個の駆動信号を生成する。これら は、低出力インピーダンスドライバからY列の4個の並列配線の組506に供給 される。課された時間遅延はラインアレイ間で異なる経路長から生じる時間遅延 を補償し、入射角θで送信音響信号干渉パターンが形成され、これは主ビームロ ーブの1個の中心に対応する。もう1個の送信ビームは、時間遅延網の信号の流 れ方向を逆にすることによって−θの入射角で形成され得る。 他方の次元(Y軸)における時間遅延アレイの受信および送信動作は、上述と まったく同様である。Y軸動作では、信号は背面行との間で供給および受信され 、前面列は低インピーダンスによって信号用アースと結合される。各側での低い 送信駆動および受信器負荷インピーダンスの存在により、X軸およびY軸動作の 完全な独立がもたらされ、従って、X軸およびY軸の両方において同時に動作可 能となる。 大形のアレイの場合、上述の時間遅延法は、移相法よりも実施が複雑になる。 移相法を使用する際には4個の個別の移相のみ要するのに対し、各個別のライン アレイ間で個別の時間遅延素子が要求されるからである。32素子の時間遅延網 は32素子アレイが必要であり、それにより、同じ大きさの対応するフェーズド アレイよりも時間遅延アレイの方が著しく複雑となる。(広帯域動作環境におけ る狭峻ビームを形成できる能力に加え)時間遅延法のさらなる利点は、ビーム角 θが単一の一定のアレイ物理構成に関してsin-1(cτ/d)によって決定さ れるので、各軸における複数の傾斜ビームが、各ビームの組について異なる組の 時間遅延を用いることにより容易に形成できることである。この概念は図9に示 す。この例では、4つの傾斜角θでZ軸552に関して対称に方向づけられた4 組の4ビームの組合せ550が4組のXおよびYビーム形成器(BF1X〜BF 4X、554およびBF1Y〜BF4Y、556)を用いて得られ、各組は基本 時間遅延アレイについて上述のように動作する。 2.ハードウエアの説明 上述からわかる通り、本発明は、様々な搬送波周波数、ビーム特性および信号 帯域幅の能力を備える2個の傾斜ビームの多数の組合せを生成して実施できる。 本節において説明する特定の好ましいハードウエアの実施態様は、前節で機能に 関して説明した、ADVS用途での使用のための2軸の各々において150kH z搬送波周波数で2個の狭峻なビーム幅の広帯域ビームを生成する時間遅延ビー ム形成器を使用する。 以下で開示する好ましい実施態様に関係するハードウエアは、円形送受波器ア レイおよび、各々が2個の傾斜送信/受信ビームを形成するために電気信号伝送 を行う2個のほほ同一のビーム形成網より構成される。送受波器アレイの平面図 を図10に示す。アレイの直径D600は約160mmである。5mm(約15 00m/sの伝搬速度にもとづく150kHzにおけるほぼ1/2波長)の中心 間距離604で間隔を開けて密に配置された800個の個別の正方形表面の15 0kHz圧電セラミック素子102が存在する。 送受波器アレイの多層構成を図11に立体図で示す。この立体図での厚さ寸法 は層構造を示すために拡大されている。例えば図10に示した800個の素子1 02であるセラミックアレイ素子700は、上面および底面のセラミック表面に ある2個の音響的透明材料からなる柔軟な薄層のプリント回路(FPC)702 および704によって電気的かつ機械的に接続されている。このような回路は、 Kapton(ポリイミド、登録商標)その他の適切な材料によって製作できよ う。各セラミック素子700への電気接続は、プリント配線をアレイ素子の導電 面に圧着およびボンディング(あるいはまた、低温はんだ付け)することによっ て得られる。ボンディングは適切な接着剤を用いて行えるであろうが、他のボン ディング形式も適格となり得ることが理解できよう。接続パターンは、前面で素 子の列方向に、背面で行方向になっており、片面で列(Yライン705)に、他 方の面で行(Xライン707)にアクセスできる。表面寸法がセラミックと一致 している1枚の1/8インチ(3.18mm)厚の薄いガラス繊維材料706( 商用名“G−10”と呼ばれるものや他の類似材料)が、各150kHz送受波 器アレイの上面フレキシブル回路の前面に接合されている。このガラス繊維部材 (G−10または相当品)は、アレイと水との間のインピーダンス結合を改善し 、送受波素子の帯域幅を著しく高めるために使用される音響的四分の一波長変成 器である。送受波器帯域幅の点で相当の増大が広帯域ADVS技術では要求され る。ガラス繊維部材の前面に接合されたウレタン層708は、前面を前方の水か らシールする。空気入り厚紙の層710は、ハウジングの背面712と底面のフ レキシブル回路の裏面との間に、後方に発信される音響エネルギーを反射し、送 受波器アレイ表面の前面714に生じる水圧に対する必要な機械的支持を与える ために設けられている。 好ましい時間遅延受信モードビーム形成回路(1軸のみ)を図12に示す。動 作の受信モードにおいて、全部の前面列104および背面行106からの受信信 号はそれぞれ、T/Rスイッチ118を経てX軸ビーム形成器110aおよびY 軸ビーム形成器110bに結合される。各T/Rスイッチは、受信器増幅器入力 端子808と直列の電界効果トランジスタ(FET)によって実施されている。 受信モード動作における全部のXラインおよびYラインの仮想アース低インピー ダンス負荷は、相対的に低インピーダンスの送受波器ラインアレイと結合された 時に低ノイズ値を有する高利得差動前置増幅器810によって実施されている。 XおよびYの送受波器ラインアレイは高入力インピーダンスの差動前置増幅器の 負端子と接続され、正端子は信号用アース812と接続され、帰還インピーダン ス814は低インピーダンス前置増幅器出力と負入力端子との間に接続されてい る。これは、送受波器ラインアレイがそのラインアレイの電気インピーダンスに 等しい電源インピーダンス816を入力信号に付与する、公知の反転動作増幅器 構成(増幅器の得られる利得は電源インピーダンス816への帰還インピーダン スの比の負数に比例する)を成す。増幅器の開ループ利得が、帰還抵抗器と各1 50kHzラインアレイの電源インピーダンス(約200Ω)との比によって決 定される閉ループ利得よりも相当大きい場合、入力端子間電圧は受信信号に対し て低くなる。増幅器の正端子が接地されているので、負端子も増幅器のループ動 作によってほとんど地電位に維持される。従って、負端子入力808は“仮想” アースとみなされる。 前置増幅器の出力は、ラインアレイから得られた信号電流をタップ付きアナロ グ時間遅延加算網404に注入するトランジスタ818によって高出力電流電源 に変換される。この網は(各次元で使用される32個の行または列の各々に対応 する)32個のタップを有し、タップ間の各区間は、選択された入射角でライン アレイに着信および放出するために生起するtマイクロ秒の音響的時間遅延を補 償するために要する遅延に一致する、tマイクロ秒の時間遅延を有する。各時間 遅延区間は、秒オーダの全通過フィルタに近似する4構成要素の誘導子/コンデ ンサ網822によって実施されている。この誘導子/コンデンサ網は、25%帯 域幅に対して0.1%の精度である広帯域幅時間遅延の近似値を付与する。 上述の説明は、2軸アレイの2個の軸の一方に関係する受信ビーム形成器に当 てはまる。受信ビーム形成器の電気的ハードウエアの対応する組が他方の軸の受 信信号の処理にも使用されることが理解できよう。 図13は、本発明に関係する好ましい時間遅延送信ビーム形成器(1軸のみ) を示している。この送信ビーム形成器の時間遅延は、回路を単純にし、正確なク ロック信号により決定される精確な時間遅延を得るために、ディジタル回路およ び矩形波形によって得られる。TB1およびTB2 850は、4個の音響ビー ムによって送信される周波数での矩形波形である。32個の行の各々について、 TB1およびTB2 850は、(32ビットシフトレジスタ852を用いて得 られる)適切な時間遅延の後に加算回路851によって加算され、送信増幅器8 54を経て32個のアレイ行に供給される。送信増幅器の矩形波出力信号に関係 する調波は、送受波器アレイの行または列856の帯域通過特性によって減衰さ れるので、送信信号は基本送信周波数が支配的となる。送信増幅器は、送受波器 を駆動する際に低出力インピーダンスを有する低インピーダンスFETのプッシ ュ/プル出力段858によって実施されている。受信モード動作では、プッシュ /プル段の両方をオフにすることによって高出力インピーダンス負荷が供給され る。 送信モードにおいては、各セラミック素子の2面間の電位は、上述の2個の行 駆動信号(TB1およびTB2)および対応する組の時間遅延列駆動信号(TB 3およびTB4)の4個の適切に遅延された波形の加算によって決定される。2 軸(X−ZおよびY−Z平面)における4個の傾斜音響ビームは、これらの時間 遅延駆動波形によって生成される。 時間遅延アレイは、それぞれ4°のビーム幅(2面、3dB降下点にもとづく )を有する4個の送信および受信ビームを形成する。図14は、公称値150k Hzの32×32フェーズドアレイ送受波器アレイについて、X−ZまたはY− Z平面において見られる1個の音響ビーム900の形成を示す、(アレイ表面に 垂直なZ軸から測定された)信号振幅対ビーム角度のグラフである。図示の通り 、隣接および反対のビーム位置(±30°ビーム角度904)におけるサイドロ ーブの減衰は約−40dBである。 3.製作の説明 本発明の別の側面は、経済的な方法で当該の複数ビームのソナーにおける使用 に適し、素子間の精確な幾何学的関係を保持する送受波器アレイを製造する独自 の方法に関する。この方法について以下の各段落で詳細に説明する。 上述のような高周波アレイの場合、個々の送受波器素子の直径および個々の送 受波器素子間の距離は、例えば5mm未満といったように小さく、かつ、多数の 精確に配置された素子が要求される。こうした多数の小形の個別部品をアレイに 組み立てることは実際的ではないので、素子は、ダイシング中およびその後にお いて各々の原位置に残存され、前述の通り電気的に接続されるようにしなければ ならない。それ故、セラミック素子、ガラス繊維、音響透過性フレキシブル印刷 回路(FPC)および支持材を単に貼り合わせ、その後に所要数の部品に切断す ることはできない。素子間の精確な幾何学的関係を保持する2軸送受波器アレイ を製造するための信頼でき経済的な方法が要求される。 本発明の好ましい実施態様を製造するために使用される好ましい工程を図15 に示す。好ましい送受波器アレイの組み立てに必要な構成部品には、円柱固体ガ ラス繊維素子706(G−10または相当品)、前面(Y軸)のY−FPCシー ト702、円柱セラミック素子700、背面(X軸)のX−FPCシート704 、厚紙支持層720およびウレタン層708が含まれる。また、製造工程が完了 した時に送受波器アレイアセンブリを収容するためにカップ形ハウジングも使用 できよう。2面の次元において概ね対称である楕円形または多角形といった他の 形状も上述の円柱形に代わる使用に適することに留意されたい。 製造工程は一般に、電気的および機械的に独立した素子を作り出すために、前 面および背面の固体セラミックピースおよび付属するインピーダンス層を切り込 むための平行刃ダイヤモンドカッタの使用を伴う。これは、素子間の精確な幾何 学的関係を保持するために切り込み中およびその後に全部のアレイ素子が正しい 位置に保たれるような方法で行われる。詳細に言えば、本発明の好ましい実施態 様を製造するための開示した工程は、図15を参照すれば以下の通りである。 1.最初に、平行刃ダイヤモンドカッタ(図示せず)を使用して、XおよびY 方向で、Z軸によって規定されるその厚さの半分までガラス繊維整合層706の 前面を切り込む。 2.次に、音響的透明なウレタン層708をガラス繊維整合層706の前面に 接合する。 3.その後、ダイヤモンドカッタを使用して、XおよびYの両方向で残りの厚 さについてガラス繊維整合層706の背面を切り込む。 4.次に、ダイヤモンドカッタを使用して、XおよびY方向で、Z軸によって 規定されるその厚さの半分まで送受波器アレイブランク700の背面を切り込む 。 5.X軸導体ホイル(X−FPC)の薄層704をブランク700の背面に接 合する。 6.支持材層700をX−FPC704の背面に接合する。 7.ブランク700の前面をXおよびY方向で残りの厚さ(Z方向)について 切り込む。 8.Y軸導体ホイル(Y−FPC)の薄層702をセラミック/X−FPCア センブリの前面に接合する。 9.最後に、切り込まれたガラス繊維整合層/ウレタン層アセンブリ706, 708およびセラミック/FPC/支持体アセンブリ700,702,704, 710を、図示のように一体に接合する。 必要に応じて、所要の基台(船体または音速プロファイラといった)に送受波 器アレイを取り付け、水の浸入から密閉するために、カップ形ハウジングその他 の支持要素を被せることができよう。そうした要請を満たすために、多様なハウ ジング設計および密閉機構が本発明と関連させて使用することが可能であろう。 以上の詳細な説明により、各種実施態様に適用される本発明の新規の基本的特 徴を図示、解説および指摘したが、例示した装置または工程の形態および詳細に おいて多様な省略、代替および変更が、本発明の範囲を逸脱することなく当業者 によって行い得ることが理解されるであろう。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ブレッドリー,スティーブン,イー. アメリカ合衆国,92124 カリフォルニア, サン ディエゴ,コート プラヤ カタリ ナ 5096 (72)発明者 ロウ,フランシス,ディー. アメリカ合衆国,92117 カリフォルニア, サン ディエゴ,ロディ ストリート 5723

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1.音響システムであって、 第1次元で行に、第2次元で列に電気的に接続され、且つ、前記行と列とはそ れぞれ電気的に独立されて、単一の二次元アレイを形成するように構成された複 数の送受波素子と、 前記アレイ面の外方へ、前記第1次元に対して垂直に発射される音響ビームに よる第1の平面を形成する第1のビーム形成回路であって、この第1のビーム形 成回路は前記第2次元の各送受波素子と電気的に接続されており、前記各列に入 力される信号を遅延させるものである、そのような第1のビーム形成回路と、 前記アレイ面の外方へ、前記第2次元に対して垂直に発射される音響ビームに よる第2の平面を形成する第2のビーム形成回路であって、この第2のビーム形 成回路は前記第1次元の各送受波素子と電気的に接続されており、前記各行に入 力される信号を遅延させるものである、そのような第2のビーム形成回路とを有 し、 これにより、少なくとも2平面の音響ビームを形成可能とする音響システム。 2.前記システムによって形成される音響ビームはヤヌス構成である 請求項1記載の音響システム。 3.前記送受波素子は、円形,楕円形,または多角形の形状より成る一群から 選択される形を形成するように配置されている 請求項1記載の音響システム。 4.前記行および前記列は相互に直交している 請求項1記載の音響システム。 5.前記各送受波素子は、円形,楕円形,または多角形の形状より成る一群か ら選択される表面横断面を有する 請求項1記載の音響システム。 6.前記送受波素子は、各素子の中心線間距離が、水中測定された前記アレイ の前面におけるシステムの音響搬送波の波長の1/2となるように、前記アレイ 内で配置されている 請求項1記載の音響システム。 7.前記第1および第2のビーム形成回路は複数のビットシフトレジスタを含 む 請求項1記載の音響システム。 8.各送受波素子は対称な表面形状を有する 請求項1記載の音響システム。 9.前記第1および第2のビーム形成回路は、システムが信号を受信する際に 前記全ての行および列のそれぞれに対して仮想アース負荷インピーダンスを付与 する 請求項1記載の音響システム。 10.前記第1および第2のビーム形成回路は、システムが信号を送信する際 に前記全ての行および列のそれぞれに対して低電源インピーダンスを付与する 請求項1記載の音響システム。 11.前記送受波素子の行および列は、第Pの行および列を各々相互接続する ことによりP組の素子に電気的に接続され、 前記第1および第2のビーム形成回路は、これらのP組の行および列のそれぞ れと電気的に接続されている 請求項1記載の音響システム。 12.単一のプレーナアパーチャからの、複数の送信または受信音響ビームを 形成が可能である電気音響送受波器であって、 N個の平行な行およびM個の平行な列を有するプレーナアレイに配置された複 数の送受波素子であり、これら送受波素子の前記各行は前記アレイの第1の面に 沿って電気的に接続され、前記各列は前記アレイの第2の面に沿って電気的に接 続されている、そのような複数の送受波素子と、 前記行と電気的に接続された第1の送信/受信ビーム形成器と、 前記列と電気的に接続され、前記第1のビーム形成器と電気的に独立して動作 する第2の送信/受信ビーム形成器と、 前記第1および第2のビーム形成器と前記行および列との間でそれぞれ電気的 に接続された送信/受信スイッチとを有し、 前記スイッチの送信設定により、送信ビームを形成するために、前記第1およ び第2のビーム形成器が、時間遅延または位相遅延された信号を、それぞれ、前 記送受波素子の前記行および列に対して供給可能としており、 前記スイッチの受信設定により、前記第1および第2のビーム形成器が信号を 前記行および列の送受波器素子からそれぞれ受信可能にし、前記行および列から の信号は、それぞれ、時間遅延または位相遅延されており、受信ビームを形成す るために結合される送受波器。 13.前記システムによって形成される音響ビームはヤヌス構成である 請求項12記載の送受波器。 14.前記送受波素子は、円形,楕円形,または多角形の形状より成る一群か ら選択される形を形成するように配置されている 請求項12記載の送受波器。 15.前記行および列は相互に直交している 請求項12記載の送受波器。 16.前記各送受波素子は、円形,楕円形,または多角形の形状より成る一群 から選択される表面横断面を有する 請求項12記載の送受波器。 17.前記送受波素子が、各素子の中心線間距離が、水中測定されたアレイの 前面におけるシステムの音響搬送波の波長の1/2となるように、前記アレイ内 で配置されている 請求項12記載の送受波器。 18.前記第1および第2のビーム形成回路は、複数のビットシフトレジスタ を含む 請求項12記載の送受波器。 19.各送受波器素子は対称な表面形状を有する 請求項12記載の送受波器。 20.前記第1および第2のビーム形成回路が、前記送信/受信スイッチが信 号を受信するように配置された場合に、前記全ての行および列のそれぞれに対し て仮想アース負荷インピーダンスを付与する 請求項12記載の送受波器。 21.前記第1および第2のビーム形成回路が、前記送信/受信スイッチが信 号を送信するように配置された場合に、前記全ての行および列のそれぞれに対し て低電源インピーダンスを付与する 請求項12記載の送受波器。 22.前記送受波素子の行および列は、第Pの行および列を各々相互接続する ことによりP組の素子に電気的に接続され、 前記第1および第2のビーム形成回路は、これらのP組の行および列のそれぞ れと電気的に接続されている 請求項12記載の送受波器。 23.N個の平行な行およびM個の平行な列のプレーナアレイに配置された複 数の送受波素子を有する単一のプレーナアレイから複数の送信または受信ビーム を形成する方法であり、 前記プレーナアレイは、前記行と電気的に接続された第1の送信/受信ビーム 形成器と、前記列と電気的に接続された第2の送信/受信ビーム形成器と、前記 第1および第2のビーム形成器と前記行および列との間でそれぞれ電気的に接続 された送信/受信スイッチとを有するものである、そのような方法であって、 前記送信/受信スイッチを送信設定に設定する工程と、 送信ビームを形成するために、時間遅延または位相遅延されている,あるいは 別態様の信号を、前記第1および第2のビーム形成器から前記送受波素子の行お よび列にそれぞれ供給する工程と、 前記送信/受信スイッチを受信設定に設定する工程と、 受信ビームを形成するために、送受波器素子の行および列からの信号を時間遅 延または位相遅延させて、前記第1および第2のビーム形成器に供給させる工程 とを含むことを特徴とする方法。 24.前記システムによって形成される音響ビームがヤヌス構成である 請求項23記載の方法。 25.前記送受波素子は、円形,楕円形,または多角形の形状より成る一群か ら選択される形を形成するように配置されている 請求項23記載の方法。 26.前記行および列h相互に直交している 請求項23記載の方法。 27.各送受波素子が円形,楕円形,または多角形の形状より成る一群から選 択される表面横断面を有する 請求項23記載の方法。 28.前記送受波素子が、各素子の中心線間距離が、水中測定されたアレイの 前面におけるシステムの音響搬送波の波長の1/2となるように、前記アレイ内 で配置されている 請求項23記載の方法。 29.前記第1および第2のビーム形成器は、複数のビットシフトレジスタを 含む 請求項23記載の方法。 30.各送受波器素子は対称な表面形状を有する 請求項23記載の方法。 31.前記第1および第2のビーム形成器が、前記送信/受信スイッチが信号 を受信するように配置された場合に、前記全ての行および列のそれぞれに対して 仮想アース負荷インピーダンスを付与する 請求項23記載の方法。 32.前記第1および第2のビーム形成器が、前記送信/受信スイッチが信号 を送信するように配置された場合に、前記全ての行および列のそれぞれに対して 低電源インピーダンスを付与する 請求項23記載の方法。 33.前記送受波素子の行および列は、第Pの行および列を各々相互接続する ことによりP組の素子に電気的に接続され、 前記第1および第2の送信/受信ビーム形成器は、これらのP組の行および列 のそれぞれと電気的に接続されている 請求項23記載の方法。 34.前記プレーナアレイの行および列は、2平面において送信ビームまたは 受信ビームのいずれか一方を同時に形成する 請求項23記載の方法。 35.複数の素子を有する音響送受波器を製造する方法であって、 第1および第2の平行な面を有する送受波器ブランクを作製する工程と、 前記送受波器ブランクを前記第1の面の1つ以上の次元でその厚さの半分まで 切り込む工程と、 前記送受波器ブランクの前記第1の面を、少なくとも前記素子の1個の電気接 続を行うための剛性部材に接合する工程と、 前記送受波器ブランクに前記第2の面の1つ以上の次元で切り込む工程であり 、前記ブランクが完全に切断されるように、前記切り込みは前記第1の面の切り 込みと空間的に合致するものであり、これにより、前記ブランクから個別の送受 波素子を形成し、前記素子の各々は前記剛性の部材に接合される工程とを含む方 法。 36.前記送受波器ブランクが鉛−ジルコン−チタン酸塩で構成されている 請求項35記載の方法。 37.前記送受波器ブランクの表面が、円形,楕円形,正方形,多角形,また は長方形の形状より成る一群から選択される断面形状を有する 請求項35記載の方法。 38.単一のプレーナアパーチャから第1および第2の直交平面において複数 の送信または受信音響ビームを同時に形成可能である圧電音響送受波器であって 、 N個の平行な行およびM個の平行な列のプレーナアレイに配置された複数の送 受波素子であり、これら送受波素子の前記各行は前記アレイの第1の面に沿って 電気的に接続され、前記各列は前記アレイの第2の面に沿って電気的に接続され ている、そのような複数の送受波素子と、 前記行と電気的に接続された第1の送信/受信ビーム形成器と、 前記列と電気的に接続され、前記第1のビーム形成器と電気的に独立して動作 する第2の送信/受信ビーム形成器と、 前記第1および第2のビーム形成器と前記行および列との間でそれぞれ電気的 に接続された送信/受信スイッチとを有し、 前記プレーナアレイの前記第1および第2の表面に垂直な方向に対して同一の 傾斜角を有する複数の送信ビームを、前記第1および第2の直交平面内において それぞれ形成するために、前記スイッチの送信設定により、前記第1および第2 のビーム形成器が、時間遅延または位相遅延された信号をそれぞれ前記行および 列に対して供給可能としており、 前記スイッチの受信設定により、前記第1および第2のビーム形成器が信号を 前記行および列の送受波素子からそれぞれ受信可能にし、前記行および列からの 信号は、それぞれ時間遅延または位相遅延されており、且つ、前記第1および第 2の直交平面内において方向づけられた受信ビームを形成するために結合され、 前記ビームは前記プレーナアレイの前記第1および第2の表面に垂直な方向に対 して同一の傾斜角となっている 圧電音響送受波器。 39.流体媒体の複数の音響ビームを送信または受信可能である電気音響シス テムであって、 第1のアレイ面において第1の方向でN個の行で、第2のアレイ面において第 2の方向でM個の列で、電気接続された素子であって、前記第1および第2の面 における前記接続は電気的に独立しており、これにより単一の二次元アレイを形 成するように配置された複数の送受波素子と、 前記N個の行と電気的にインタフェースされた第1の送信/受信ビーム形成器 であり、前記各行との間で供給および受信される信号は、前記列との間で同時に 供給および受信される信号と電気的に独立している、第1の送信/受信ビーム形 成器と、 前記第1の送信/受信ビーム形成器を送信モードで動作させる手段であり、前 記第1のビーム形成器は、各信号が時間遅延または位相遅延されているN個の電 気信号の組を生成し、各電気信号を各自の送受波素子の行に供給し、それによっ て前記第1および第2の面に垂直な方向に対して外方へ傾斜し、前記第1の方向 に垂直に方向づけられる平面内に配置される複数の送信音響ビームの組を形成す る、そのような手段と、 前記第1の送信/受信ビーム形成器を受信モードで動作させる手段であり、前 記第1のビーム形成器は、前記N個の各行に入力される電気信号の組を受信し、 各信号に対して時間遅延または位相遅延を適用し、このとき、得られた各行から の時間遅延または位相遅延信号は、前記第1および第2の面に垂直な方向に対し て外方へ傾斜し、前記第1の方向に垂直に方向づけられる平面内に配置される複 数の受信音響ビームの組を形成するために結合されるものである、そのような手 段と、 前記第2の送信/受信ビーム形成器を送信モードで動作させる手段であり、前 記第2のビーム形成器は、各信号が時間遅延または位相遅延されているM個の電 気信号の組を生成し、各電気信号を各自の送受波素子の列に供給し、それによっ て前記第1および第2の面に垂直な方向に対して外側へ傾斜し、前記第2の方向 に垂直に方向づけられる平面内に配置される複数の送信音響ビームの組を形成す る、そのような手段と、 前記第2の送信/受信ビーム形成器を受信モードで動作させる手段であり、前 記第2のビーム形成器は、前記M個の各列に入力される電気信号の組を受信し、 各信号に対して時間遅延または位相遅延を適用し、このとき、得られた時間遅延 または位相遅延信号は、前記第1および第2の面に垂直な方向に対して外方へ傾 斜し、前記第2の方向に垂直に方向づけられる平面内に配置される複数の受信音 響ビームの組を形成するために結合されるものである、そのような手段とを有す る電気音響システム。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007260581A (ja) * 2006-03-29 2007-10-11 Nec Tokin Corp 超音波フェイズドアレイ送受波器

Families Citing this family (107)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6016313A (en) * 1996-11-07 2000-01-18 Wavtrace, Inc. System and method for broadband millimeter wave data communication
JP3636573B2 (ja) * 1997-06-27 2005-04-06 パイオニア株式会社 輝度制御装置
US6160756A (en) * 1998-06-15 2000-12-12 Guigne International Limited Seabed sonar matrix system
US7914442B1 (en) 1999-03-01 2011-03-29 Gazdzinski Robert F Endoscopic smart probe and method
US10973397B2 (en) 1999-03-01 2021-04-13 West View Research, Llc Computerized information collection and processing apparatus
US8068897B1 (en) 1999-03-01 2011-11-29 Gazdzinski Robert F Endoscopic smart probe and method
US8636648B2 (en) * 1999-03-01 2014-01-28 West View Research, Llc Endoscopic smart probe
US6285628B1 (en) 1999-09-13 2001-09-04 L3 Communications Corporation Swept transit beam bathymetric sonar
JP4560858B2 (ja) * 1999-10-25 2010-10-13 ソニー株式会社 送受信装置
US6368276B1 (en) 1999-11-23 2002-04-09 James K. Bullis Deep penetration beamformed television
US6307507B1 (en) * 2000-03-07 2001-10-23 Motorola, Inc. System and method for multi-mode operation of satellite phased-array antenna
US20030195415A1 (en) * 2002-02-14 2003-10-16 Iddan Gavriel J. Device, system and method for accoustic in-vivo measuring
JP4216647B2 (ja) * 2003-05-29 2009-01-28 古野電気株式会社 超音波送信装置、超音波送受信装置、および探知装置
CA2530290C (en) * 2003-07-11 2015-11-17 Blueview Technologies, Inc. Systems and methods implementing frequency-steered acoustic arrays for 2d and 3d imaging
US7658110B2 (en) * 2004-09-29 2010-02-09 Panasonic Corporation Ultrasonic diagnostic system
DE102005031973B3 (de) * 2005-07-08 2006-08-31 Atlas Elektronik Gmbh Vorrichtung zum Bestimmen der Eigengeschwindigkeit eines Wasserfahrzeugs
US8409094B2 (en) * 2006-03-15 2013-04-02 Kabushiki Kaisha Toshiba Ultrasound diagnostic apparatus and method for displaying ultrasound image
WO2008105932A2 (en) * 2006-09-15 2008-09-04 Teledyne Rd Instruments, Inc. System and method for forward looking sonar
CA2664584C (en) * 2006-09-28 2016-01-12 Teledyne Rd Instruments, Inc. System and method for acoustic doppler velocity processing with a phased array transducer
US7539082B2 (en) * 2006-09-28 2009-05-26 Teledyne Rd Instruments, Inc. System and method for acoustic Doppler velocity processing with a phased array transducer including using a wide bandwidth pulse transmission to resolve ambiguity in a narrow bandwidth velocity estimate
US7542374B2 (en) * 2006-09-28 2009-06-02 Teledyne Rd Instruments, Inc. System and method for acoustic Doppler velocity processing with a phased array transducer including applying correction factors to velocities orthogonal to the transducer face
US7839720B2 (en) * 2006-09-28 2010-11-23 Teledyne Rd Instruments, Inc. System and method for acoustic doppler velocity processing with a phased array transducer including using differently coded transmit pulses in each beam so that the cross-coupled side lobe error is removed
US8009513B2 (en) 2006-11-06 2011-08-30 Second Wind Systems, Inc. Transducer array arrangement and operation for sodar application
CN101558324B (zh) * 2006-11-06 2012-10-17 涅磬公司 用于声雷达应用的换能器阵列布置以及操作
US8004935B2 (en) * 2007-05-10 2011-08-23 Second Wind Systems, Inc. Sodar housing with non-woven fabric lining for sound absorption
US7827861B2 (en) * 2007-06-01 2010-11-09 Second Wind, Inc. Position correction in sodar and meteorological lidar systems
US8174930B2 (en) * 2007-06-01 2012-05-08 Second Wind Systems, Inc. Housing for phased array monostatic sodar systems
US8351295B2 (en) * 2007-06-01 2013-01-08 Second Wind Systems, Inc. Waterproof membrane cover for acoustic arrays in sodar systems
US7847925B2 (en) * 2007-06-18 2010-12-07 Teledyne Rd Instruments, Inc. System and method of acoustic doppler beamforming
US7889601B2 (en) * 2007-06-19 2011-02-15 Lockheed Martin Corporation Lightweight acoustic array
US7420875B1 (en) * 2007-06-25 2008-09-02 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Methods and systems for use of an acoustic doppler current profiler for measurement of compact jets
JP4968847B2 (ja) * 2008-01-23 2012-07-04 Necトーキン株式会社 超音波フェイズドアレイ送受波器
US7952513B2 (en) * 2008-06-16 2011-05-31 Lockheed Martin Corporation Counter target acquisition radar and acoustic adjunct for classification
US8427370B2 (en) * 2008-07-31 2013-04-23 Raytheon Company Methods and apparatus for multiple beam aperture
US8254208B2 (en) 2008-12-08 2012-08-28 Teledyne Rd Instruments, Inc. Multi-state beamforming array
KR101295849B1 (ko) * 2008-12-18 2013-08-12 삼성전자주식회사 음향 방사 패턴 제어 장치 및 방법
JP5164218B2 (ja) * 2009-01-26 2013-03-21 Necトーキン株式会社 超音波フェイズドアレイ送受波器
US8264908B2 (en) * 2009-03-09 2012-09-11 Second Wind Systems, Inc. Method of detecting and compensating for precipitation in sodar systems
US8305840B2 (en) 2009-07-14 2012-11-06 Navico, Inc. Downscan imaging sonar
US8300499B2 (en) 2009-07-14 2012-10-30 Navico, Inc. Linear and circular downscan imaging sonar
AU2015201220B2 (en) * 2009-07-14 2017-02-23 Navico Holding As Downscan imaging sonar
WO2012061179A2 (en) 2010-11-01 2012-05-10 Powe Technologies, Inc. Multi frequency 2d phased array transducer
US9142206B2 (en) 2011-07-14 2015-09-22 Navico Holding As System for interchangeable mounting options for a sonar transducer
US9182486B2 (en) 2011-12-07 2015-11-10 Navico Holding As Sonar rendering systems and associated methods
US9268020B2 (en) 2012-02-10 2016-02-23 Navico Holding As Sonar assembly for reduced interference
US9354312B2 (en) 2012-07-06 2016-05-31 Navico Holding As Sonar system using frequency bursts
DE102013100894A1 (de) * 2013-01-29 2014-07-31 Atlas Elektronik Gmbh Unterwasserschallsignal, Unterwassersender oder Unterwasserempfänger, Unterwassersonar, Unterwasserfahrzeug und Nachrüstsatz
US9823104B2 (en) 2013-02-21 2017-11-21 Rowe Technologies, Inc. Acquatic velocity scanning apparatus and methods
CN105556333A (zh) * 2013-08-15 2016-05-04 罗韦技术有限公司 子阵列换能器设备及方法
US9506790B2 (en) * 2015-03-24 2016-11-29 Daniel Measurement And Control, Inc. Transducer mini-horn array for ultrasonic flow meter
US10551498B2 (en) 2015-05-21 2020-02-04 Navico Holding As Wireless sonar device
US9759813B2 (en) * 2015-06-22 2017-09-12 Appetite Lab Inc. Devices and methods for locating and visualizing underwater objects
WO2017023651A1 (en) 2015-07-31 2017-02-09 Teledyne Instruments, Inc. Small aperture acoustic velocity sensor
US10578706B2 (en) 2015-08-06 2020-03-03 Navico Holding As Wireless sonar receiver
WO2017059837A1 (de) * 2015-10-09 2017-04-13 Microsonic Gmbh Sensor mit monolithischen ultraschallarray
KR102551252B1 (ko) 2015-11-11 2023-07-05 삼성메디슨 주식회사 초음파 진단 장치 및 그 동작방법
US10151829B2 (en) 2016-02-23 2018-12-11 Navico Holding As Systems and associated methods for producing sonar image overlay
US10132924B2 (en) * 2016-04-29 2018-11-20 R2Sonic, Llc Multimission and multispectral sonar
US10315222B2 (en) 2016-05-04 2019-06-11 Invensense, Inc. Two-dimensional array of CMOS control elements
US10670716B2 (en) 2016-05-04 2020-06-02 Invensense, Inc. Operating a two-dimensional array of ultrasonic transducers
US10656255B2 (en) 2016-05-04 2020-05-19 Invensense, Inc. Piezoelectric micromachined ultrasonic transducer (PMUT)
US10445547B2 (en) 2016-05-04 2019-10-15 Invensense, Inc. Device mountable packaging of ultrasonic transducers
US10539539B2 (en) 2016-05-10 2020-01-21 Invensense, Inc. Operation of an ultrasonic sensor
US10408797B2 (en) 2016-05-10 2019-09-10 Invensense, Inc. Sensing device with a temperature sensor
US10706835B2 (en) 2016-05-10 2020-07-07 Invensense, Inc. Transmit beamforming of a two-dimensional array of ultrasonic transducers
US10562070B2 (en) 2016-05-10 2020-02-18 Invensense, Inc. Receive operation of an ultrasonic sensor
US10600403B2 (en) * 2016-05-10 2020-03-24 Invensense, Inc. Transmit operation of an ultrasonic sensor
US10632500B2 (en) 2016-05-10 2020-04-28 Invensense, Inc. Ultrasonic transducer with a non-uniform membrane
US11673165B2 (en) 2016-05-10 2023-06-13 Invensense, Inc. Ultrasonic transducer operable in a surface acoustic wave (SAW) mode
US10441975B2 (en) 2016-05-10 2019-10-15 Invensense, Inc. Supplemental sensor modes and systems for ultrasonic transducers
US10452887B2 (en) 2016-05-10 2019-10-22 Invensense, Inc. Operating a fingerprint sensor comprised of ultrasonic transducers
US10719077B2 (en) 2016-10-13 2020-07-21 Navico Holding As Castable sonar devices and operations in a marine environment
US10891461B2 (en) 2017-05-22 2021-01-12 Invensense, Inc. Live fingerprint detection utilizing an integrated ultrasound and infrared sensor
US10474862B2 (en) 2017-06-01 2019-11-12 Invensense, Inc. Image generation in an electronic device using ultrasonic transducers
US10643052B2 (en) * 2017-06-28 2020-05-05 Invensense, Inc. Image generation in an electronic device using ultrasonic transducers
US10067228B1 (en) * 2017-09-11 2018-09-04 R2Sonic, Llc Hyperspectral sonar
US10545236B2 (en) * 2017-09-18 2020-01-28 Navico Holding As Sonar transducer assembly having a printed circuit board with flexible element tabs
US11367425B2 (en) 2017-09-21 2022-06-21 Navico Holding As Sonar transducer with multiple mounting options
KR20200088380A (ko) 2017-11-15 2020-07-22 버터플라이 네트워크, 인크. 초음파 장치들 및 초음파 디바이스들을 제조하기 위한 방법들
WO2019109010A1 (en) 2017-12-01 2019-06-06 Invensense, Inc. Darkfield tracking
US10984209B2 (en) 2017-12-01 2021-04-20 Invensense, Inc. Darkfield modeling
US10997388B2 (en) 2017-12-01 2021-05-04 Invensense, Inc. Darkfield contamination detection
US11151355B2 (en) 2018-01-24 2021-10-19 Invensense, Inc. Generation of an estimated fingerprint
GB2572475B (en) * 2018-02-02 2022-11-09 Teledyne Instruments Inc Acoustic phased array with reduced beam angle
US11333757B2 (en) 2018-02-02 2022-05-17 Teledyne Instruments, Inc. Acoustic phased array with reduced beam angle
US10816652B2 (en) * 2018-02-28 2020-10-27 Codaoctopus Group Method of compressing sonar data
WO2019167563A1 (ja) * 2018-03-02 2019-09-06 古野電気株式会社 水中探知装置、および、水中探知方法
US10755067B2 (en) 2018-03-22 2020-08-25 Invensense, Inc. Operating a fingerprint sensor comprised of ultrasonic transducers
US10718865B2 (en) * 2018-05-14 2020-07-21 Coda Octopus Group Method of compressing beamformed sonar data
EP3861371A4 (en) 2018-10-01 2022-04-13 Teledyne Instruments, Inc. COMMON BEAM ANGLE ACOUSTIC DUAL-FREQUENCY PHASE-LOCKED NETWORK
US11619527B2 (en) 2018-10-01 2023-04-04 Micro Motion, Inc. Ultrasonic transducer with a sealed 3D-printed mini-horn array
US10936843B2 (en) 2018-12-28 2021-03-02 Invensense, Inc. Segmented image acquisition
US11188735B2 (en) 2019-06-24 2021-11-30 Invensense, Inc. Fake finger detection using ridge features
WO2020264046A1 (en) 2019-06-25 2020-12-30 Invensense, Inc. Fake finger detection based on transient features
US11216632B2 (en) 2019-07-17 2022-01-04 Invensense, Inc. Ultrasonic fingerprint sensor with a contact layer of non-uniform thickness
US11176345B2 (en) 2019-07-17 2021-11-16 Invensense, Inc. Ultrasonic fingerprint sensor with a contact layer of non-uniform thickness
US11232549B2 (en) 2019-08-23 2022-01-25 Invensense, Inc. Adapting a quality threshold for a fingerprint image
EP4031899A4 (en) * 2019-09-17 2023-10-18 Callaghan Innovation SONAR SYSTEM AND METHOD
US10887709B1 (en) * 2019-09-25 2021-01-05 Amazon Technologies, Inc. Aligned beam merger
US11392789B2 (en) 2019-10-21 2022-07-19 Invensense, Inc. Fingerprint authentication using a synthetic enrollment image
CN111060915A (zh) * 2020-01-15 2020-04-24 中国水产科学研究院渔业机械仪器研究所 双换能器阵子合并收发的多波束渔用声呐系统
CN115551650A (zh) 2020-03-09 2022-12-30 应美盛公司 具有非均匀厚度的接触层的超声指纹传感器
US11243300B2 (en) 2020-03-10 2022-02-08 Invensense, Inc. Operating a fingerprint sensor comprised of ultrasonic transducers and a presence sensor
US11328165B2 (en) 2020-04-24 2022-05-10 Invensense, Inc. Pressure-based activation of fingerprint spoof detection
WO2022226651A1 (en) * 2021-04-30 2022-11-03 Olympus NDT Canada Inc. Contemporaneous firing scheme for acoustic inspection
WO2023240044A1 (en) 2022-06-06 2023-12-14 Teledyne Instruments, Inc. Transducer with improved velocity estimation accuracy systems and methods
SE2251346A1 (en) * 2022-11-16 2024-04-09 Myvox Ab Parametric array loudspeaker for emitting acoustic energy to create a directional beam

Family Cites Families (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3324453A (en) * 1966-10-18 1967-06-06 Gen Dynamics Corp Recirculating delay line phase control system for use in producing a variable direction beam from a fixed transmitting array
US3346837A (en) * 1966-10-18 1967-10-10 Gen Dynamics Corp Delay counter phase control system for use in producing a variable direction beam from a fixed transmitting array
US3436721A (en) * 1968-01-16 1969-04-01 Gen Instrument Corp Fan beam acoustic doppler navigation system
DE1798276B1 (de) * 1968-09-19 1972-04-27 Krupp Gmbh Vorrichtung zur bestimmung der geschwindigkeit und/oder des weges von fahrzeugen durch messung des dopplereffektes
DE1962436C1 (de) * 1969-12-12 1984-05-24 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Dopplernavigations-Radarantenne mit automatischer Land- See- Fehlerkorrektur auf Grund unterschiedlich geneigter Keulengruppen
US3806930A (en) * 1969-12-23 1974-04-23 Siemens Ag Method and apparatus for electronically controlling the pattern of a phased array antenna
US3704465A (en) * 1970-08-28 1972-11-28 Hazeltine Corp Angular position determining system compensated for doppler
US4159462A (en) * 1977-08-18 1979-06-26 General Electric Company Ultrasonic multi-sector scanner
US4121209A (en) * 1977-10-20 1978-10-17 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Two-axis motion compensation for AMTI
US4208916A (en) * 1978-09-13 1980-06-24 Picker Corporation Electronic ultrasonic sector scanning apparatus and method
US4241610A (en) * 1979-02-05 1980-12-30 Varian Associates, Inc. Ultrasonic imaging system utilizing dynamic and pseudo-dynamic focusing
US4265126A (en) * 1979-06-15 1981-05-05 General Electric Company Measurement of true blood velocity by an ultrasound system
FR2460489A1 (fr) * 1979-07-04 1981-01-23 Labo Electronique Physique Circuit de traitement des signaux de reception d'une mosaique de transducteur ultra-sonore utilisee en echographie de type b
US4413332A (en) * 1981-06-24 1983-11-01 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Scanning beamformer for a very high resolution circular arc sonar
US4423494A (en) * 1981-09-21 1983-12-27 Sperry Corporation Beam steerable sonar array
US4532519A (en) * 1981-10-14 1985-07-30 Rudish Ronald M Phased array system to produce, steer and stabilize non-circularly-symmetric beams
US4550607A (en) * 1984-05-07 1985-11-05 Acuson Phased array acoustic imaging system
US4641291A (en) * 1985-02-19 1987-02-03 Ametek, Inc. Phased array Doppler sonar transducer
US4661937A (en) * 1985-04-01 1987-04-28 Sperry Corporation Sonar beam steering circuit
US4736463A (en) * 1986-08-22 1988-04-05 Itt Corporation Electro-optically controlled wideband multi-beam phased array antenna
US4882588A (en) * 1986-12-22 1989-11-21 Hughes Aircraft Company Steerable beam antenna system using butler matrix
WO1990004793A1 (de) * 1988-10-19 1990-05-03 Urs Moser Verfahren und messanordnung zum messen einer zweidimensionalen reflektierenden struktur
JPH02217000A (ja) * 1989-02-16 1990-08-29 Hitachi Ltd 超音波探触子
EP0446610A1 (en) * 1990-03-07 1991-09-18 Hughes Aircraft Company Magnified phased array with a digital beamforming network
EP0573431B1 (en) * 1990-09-26 1997-05-07 Rowe, Deines Instruments Incorporated Acoustic doppler current profiler
US5208785A (en) * 1990-09-26 1993-05-04 Rowe, Deines Instruments Incorporated Broadband acoustic doppler current profiler
US5343443A (en) * 1990-10-15 1994-08-30 Rowe, Deines Instruments, Inc. Broadband acoustic transducer
US5327895A (en) * 1991-07-10 1994-07-12 Kabushiki Kaisha Toshiba Ultrasonic probe and ultrasonic diagnosing system using ultrasonic probe
FR2709559B1 (fr) * 1993-08-31 1995-10-06 Thomson Csf Système Sonar pour courantomètre et Loch Doppler.
US5550792A (en) * 1994-09-30 1996-08-27 Edo Western Corp. Sliced phased array doppler sonar system
US5530683A (en) * 1995-04-06 1996-06-25 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Steerable acoustic transducer

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007260581A (ja) * 2006-03-29 2007-10-11 Nec Tokin Corp 超音波フェイズドアレイ送受波器

Also Published As

Publication number Publication date
NO991555D0 (no) 1999-03-30
US5808967A (en) 1998-09-15
NO331521B1 (no) 2012-01-16
DE69720483T2 (de) 2003-12-24
NO991555L (no) 1999-06-04
WO1998015846A1 (en) 1998-04-16
ATE236409T1 (de) 2003-04-15
DE69720483D1 (de) 2003-05-08
EP0929825B1 (en) 2003-04-02
EP0929825A1 (en) 1999-07-21
JP4087430B2 (ja) 2008-05-21
JP3995270B2 (ja) 2007-10-24
JP2007192830A (ja) 2007-08-02

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