JP2001355820A - Method and device for treating exhaust gas - Google Patents
Method and device for treating exhaust gasInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造のため
のＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition ）工程時に排出
される排ガスを処理するのに適した排ガスの処理方法と
処理装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an exhaust gas treatment method and apparatus suitable for treating exhaust gas discharged during a CVD (Chemical Vapor Deposition) process for manufacturing semiconductors.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体製造のためのＣＶＤ工程における
成膜工程では、シラン（ＳｉＨ4 ）、ジシラン（Ｓｉ2
Ｈ6 ）、ジクロルシラン（ＳｉＨ2 Ｃｌ2 ）、ジボラン
（Ｂ2 Ｈ 6 ）、ホスフィン（ＰＨ3 ）等の金属水素化物
を含む排ガスが排出される。また、そのＣＶＤ工程にお
ける反応炉のクリーニング工程では、ＣＦ4 、Ｃ2 Ｆ
6 、Ｃ3 Ｆ8 等のフッ化炭素、ＣｌＦ3 等のフッ化塩
素、ＮＦ3 等のフッ化窒素等のフッ素化合物を含む排ガ
スが排出される。従ってＣＶＤ工程においては、金属水
素化合物を含む排ガスとフッ素化合物を含む排ガスとが
一定時間間隔で排出される。それらＣＶＤ排ガスは有害
性があることから、排ガス処理装置の燃焼室内で燃焼分
解させることで無害化した後に排気されている。2. Description of the Related Art In a CVD process for manufacturing semiconductors,
In the film forming process, silane (SiHFour ), Disilane (SiTwo
H6 ), Dichlorosilane (SiHTwo ClTwo ), Diborane
(BTwo H 6 ), Phosphine (PHThree ) And other metal hydrides
The exhaust gas containing is discharged. Also, in the CVD process,
In the cleaning process of the reaction furnace, CFFour , CTwo F
6 , CThree F8 Fluorocarbon, ClFThree Such as fluoride salts
Elementary, NFThree Exhaust gas containing fluorine compounds such as nitrogen fluoride
Is discharged. Therefore, in the CVD process, metal water
Exhaust gas containing fluorine compounds and exhaust gas containing fluorine compounds
It is discharged at regular time intervals. These CVD exhaust gases are harmful
Combustion, the combustion components in the combustion chamber of the exhaust gas treatment device
It is exhausted after detoxification by dissolving.
【０００３】そのシラン等の金属水素化物は、不完全燃
焼により粘着性固形物であるポリマー状のシロキサンや
一酸化酸化ケイ素（ＳｉＯ）等の金属酸化物を生成す
る。その固形物は粉塵状であることから、排ガスを燃焼
室に導入する燃焼ノズルや燃焼室内面に付着する。その
付着した固形物の堆積層は燃焼室内におけるシラン等の
濃度増大につれて凝集し、燃焼ノズル閉塞の原因にな
る。[0003] The metal hydride such as silane generates metal oxide such as polymeric siloxane or silicon monoxide (SiO) which is a sticky solid by incomplete combustion. Since the solid matter is in the form of dust, it adheres to a combustion nozzle or a combustion chamber surface for introducing exhaust gas into the combustion chamber. The deposited layer of the attached solids agglomerates as the concentration of silane or the like in the combustion chamber increases, causing the combustion nozzle to be blocked.
【０００４】そこで、燃焼ノズルを３重以上の多重管構
造とし、内管から排ガス、中間の管から不活性ガス、外
管から支燃性ガスを燃焼室に導入することで、燃焼ノズ
ル近傍では排ガスを不活性ガスにより保護したり（特公
平２‐３０８２号、特公平５‐４５８４５号）、内管か
ら排ガス、中間の管から燃料ガス、外管から支燃性ガス
を燃焼室に導入し、内管出口近傍では燃料ガスの燃焼に
より形成される火炎を還元炎とすることが行われている
（特開平１０‐９５５１号）。これにより、排ガスを燃
焼ノズルから離れた位置で燃焼させ、燃焼ノズルへの固
形物の付着防止が図られている。また、燃焼室を複数の
筒状部材を互いに重ね合わせることで構成し、各筒状部
材相互間の隙間を支燃用空気取り入れ口とし、その空気
の流れにより燃焼室に付着する固形物を除去することが
提案されている（特開平１１‐２７０８３１号）。[0004] Therefore, the combustion nozzle has a multi-tube structure having three or more pipes, and exhaust gas is introduced into the combustion chamber from the inner tube, inert gas is introduced from the intermediate tube, and combustion-supporting gas is introduced from the outer tube. Exhaust gas can be protected by inert gas (Japanese Patent Publication No. 2-3082, Japanese Patent Publication No. 5-45845), exhaust gas can be introduced into the combustion chamber from the inner pipe, fuel gas from the middle pipe, and supporting gas from the outer pipe. In the vicinity of the inner tube outlet, a flame formed by combustion of fuel gas is used as a reducing flame (Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-9551). As a result, the exhaust gas is burned at a position away from the combustion nozzle, thereby preventing solid matter from adhering to the combustion nozzle. Further, the combustion chamber is constituted by stacking a plurality of cylindrical members on each other, and a gap between each of the cylindrical members is used as a combustion supporting air intake, and a solid substance attached to the combustion chamber is removed by the flow of the air. Has been proposed (Japanese Patent Laid-Open No. 11-270831).
【０００５】また、ＣＶＤ反応炉からは、排ガスとして
シラン等の可燃性ガスだけでなく、フッ化窒素等の支燃
性ガスも時間差をおいて排出される場合がある。それら
可燃性ガスと支燃性ガスとが配管内で接触して容易に燃
焼反応を起こすのを防止するため、１台のＣＶＤ反応炉
につき１台の排ガス処理装置を設置することが考えられ
るが、設備コストが大幅に増大する。そのため、複数台
のＣＶＤ反応炉それぞれと一台の排ガス処理装置の燃焼
室とを互いに独立した複数の配管により接続すること
で、その排ガス処理装置の燃焼室に至るまでは各ＣＶＤ
反応炉からの排ガスが合流しないようにしている。[0005] In addition, not only a combustible gas such as silane but also a combustible gas such as nitrogen fluoride may be exhausted from the CVD reactor with a time lag. In order to prevent the combustible gas and the supporting gas from coming into contact with each other in the pipe and easily causing a combustion reaction, it is conceivable to install one exhaust gas treatment device for one CVD reactor. In addition, the equipment cost is greatly increased. Therefore, by connecting each of the plurality of CVD reactors and the combustion chamber of one exhaust gas treatment device with a plurality of pipes independent of each other, each CVD reactor is connected to the combustion chamber of the exhaust gas treatment device.
Exhaust gas from the reactor is prevented from joining.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】従来の排ガス処理装置
では、排ガスを保護するために不活性ガスを燃焼室内に
導入すると燃焼温度が低下する。また、排ガスを燃焼ノ
ズルから離れた位置で燃焼させると、排ガスが拡散して
燃焼領域が拡大するため、燃焼室内でのガス混合性が低
下して局所的な酸素不足により不完全燃焼が生じやすく
燃焼温度も低下する。そうすると、フッ素化合物を含む
排ガスは化学的にも熱的にも非常に安定であり、燃焼分
解するには非常に高い温度を要することから、充分な燃
焼分解が困難になるという問題がある。すなわち、高温
での排ガスの効率的な燃焼と固形物の付着防止とを同時
に満足させることができなかった。In the conventional exhaust gas treatment apparatus, when an inert gas is introduced into the combustion chamber to protect the exhaust gas, the combustion temperature decreases. In addition, if the exhaust gas is burned away from the combustion nozzle, the exhaust gas is diffused and the combustion area is expanded, so that the gas mixing property in the combustion chamber decreases and incomplete combustion easily occurs due to a local lack of oxygen. The combustion temperature also drops. Then, the exhaust gas containing the fluorine compound is very stable both chemically and thermally, and requires a very high temperature for the combustion decomposition, so that there is a problem that it is difficult to sufficiently decompose the combustion. In other words, efficient combustion of exhaust gas at high temperature and prevention of solid matter adhesion cannot be simultaneously satisfied.
【０００７】また、燃焼ノズルを３重以上の多重管構造
としたり、燃焼室を複数の筒状部材を互いに重ね合わせ
ることで構成すると構造が複雑化する。そのため、燃焼
室に複数の排ガス導入用配管を接続することが設置スペ
ースや構造上等の制限から困難になり、複数台のＣＶＤ
反応炉それぞれと一台の排ガス処理装置の燃焼室とを互
いに独立した複数の配管により接続することが困難にな
り、設備コストが増大するという問題がある。Further, the structure becomes complicated when the combustion nozzle has a multi-tube structure of three or more layers, or when the combustion chamber is constituted by stacking a plurality of cylindrical members on each other. For this reason, it is difficult to connect a plurality of exhaust gas introduction pipes to the combustion chamber due to restrictions on installation space, structure, and the like.
It becomes difficult to connect each of the reactors to the combustion chamber of one exhaust gas treatment device with a plurality of independent pipes, and there is a problem that the equipment cost increases.
【０００８】本発明は、上記問題を解決することのでき
る排ガスの処理方法および処理装置を提供することを目
的とする。An object of the present invention is to provide a method and an apparatus for treating exhaust gas which can solve the above problems.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明の排ガスの処理方
法は、燃焼室内に燃料ガス導入用配管を介して導入され
る燃料ガスと排ガス導入用配管を介して導入される排ガ
スとを、支燃性ガスの存在下に燃焼させるに際して、そ
の燃料ガス導入用配管の出口を排ガス導入用配管内に配
置することで、その燃料ガスと排ガスとを燃焼前に予め
混合すると共に、その燃料ガス導入用配管の出口から流
出する燃料ガスの流れにより排ガス導入用配管内の排ガ
スを吸引することで、その排ガスの流速を増大すること
を特徴とする。本発明の構成によれば、燃料ガスと排ガ
スとを燃焼前に予め混合して燃焼室に導入することで、
燃焼室におけるガス混合性を向上できる。これにより、
排ガスを拡散させることなく狭いピンポイント領域で燃
焼させ、支燃性ガスが局所的に不足するのを防止して不
完全燃焼の抑制と燃焼温度の増大を図ることができる。
また、その混合性の向上により、排ガスを完全燃焼させ
る上で必要な支燃性ガスを可及的に少なくし、支燃性ガ
スを最小限にとどめ単位燃料ガス当たりの支燃性ガス比
や、単位燃料ガス当たりの燃焼ガス量を低減できること
によっても、燃焼温度を増大させることができる。さら
に本発明の構成によれば、排ガスは燃料ガスの流れに吸
引されることで流速が増大することから、排ガスの燃焼
により生じる固形物が排ガス導入用配管や燃焼室の内面
に堆積するのを防止できる。また、シラン等の金属水素
化物を酸素等の支燃性ガスの存在下に燃焼させる際に、
完全燃焼によりシリカ（ＳｉＯ2 ）等を生成でき、燃焼
が不完全であることにより生じるポリマー状のシロキサ
ンや一酸化ケイ素等の粘着性のある固形物の生成を抑制
できる。そのシリカが堆積しやすい変態温度は２００〜
８００℃と比較的低温であることから、排ガスの燃焼温
度を高温とすることで堆積を防止できる。According to the method for treating exhaust gas of the present invention, a fuel gas introduced into a combustion chamber through a fuel gas introducing pipe and an exhaust gas introduced through an exhaust gas introducing pipe are supported. When the fuel gas is burned in the presence of the flammable gas, the outlet of the fuel gas introducing pipe is arranged in the exhaust gas introducing pipe, so that the fuel gas and the exhaust gas are mixed in advance before the combustion and the fuel gas is introduced. The flow rate of the exhaust gas is increased by sucking the exhaust gas in the exhaust gas introduction pipe by the flow of the fuel gas flowing out from the outlet of the exhaust pipe. According to the configuration of the present invention, the fuel gas and the exhaust gas are mixed in advance before combustion and introduced into the combustion chamber,
The gas mixture in the combustion chamber can be improved. This allows
Exhaust gas is burned in a narrow pinpoint region without being diffused, thereby preventing a shortage of the supporting gas locally, thereby suppressing incomplete combustion and increasing the combustion temperature.
In addition, by improving the mixing properties, the amount of supporting gas necessary for complete combustion of the exhaust gas is reduced as much as possible, the supporting gas is minimized, and the ratio of supporting gas per unit fuel gas and Also, the combustion temperature can be increased by reducing the amount of combustion gas per unit fuel gas. Further, according to the configuration of the present invention, since the exhaust gas is sucked into the flow of the fuel gas and the flow velocity increases, solid matter generated by the combustion of the exhaust gas is prevented from accumulating on the exhaust gas introduction pipe and the inner surface of the combustion chamber. Can be prevented. Further, when burning metal hydrides such as silane in the presence of a supporting gas such as oxygen,
Silica (SiO 2 ) and the like can be generated by complete combustion, and the generation of sticky solids such as polymeric siloxane and silicon monoxide caused by incomplete combustion can be suppressed. The transformation temperature at which silica is easily deposited is 200 ~
Since the temperature is relatively low at 800 ° C., deposition can be prevented by setting the combustion temperature of the exhaust gas to a high temperature.
【００１０】本発明の排ガスの処理装置は、燃焼室と、
その燃焼室内への燃料ガス導入用配管と、その燃焼室内
への排ガス導入用配管と、その燃焼室内への支燃性ガス
導入用配管とを備え、その燃料ガス導入用配管の出口
は、その排ガス導入用配管の内部に配置され、その燃料
ガスは、その燃料ガス導入用配管の出口から排ガス導入
用配管の内部に流出することで、燃焼前に排ガスと予め
混合可能とされ、その排ガス導入用配管内の排ガスが、
その燃料ガス導入用配管の出口から流出する燃料ガスの
流れに吸引されることで流速が増大されるように、その
燃料ガス導入用配管内に供給される燃料ガスの流速は、
その排ガス導入用配管内に供給される排ガスの流速より
も大きくされ、その混合された燃料ガスと排ガスとが、
その支燃性ガス導入用配管から導入された支燃性ガスが
存在する燃焼室内に導入されることで燃焼されることを
特徴とする。本発明装置によれば本発明方法を実施でき
る。また、排ガス導入用配管と燃料ガス導入用配管とを
２重管構造にするだけで燃料ガス導入用配管の出口を排
ガス導入用配管の内部に配置でき、３重以上の多重管構
造とする必要がない。これにより、燃焼室に複数の排ガ
ス導入用配管を接続する上での制限を緩和し、可及的に
多くのＣＶＤ反応炉等の排ガス発生源それぞれと一台の
排ガス処理装置の燃焼室とを互いに独立した複数の配管
により接続することができる。An exhaust gas treatment apparatus according to the present invention comprises: a combustion chamber;
A pipe for introducing fuel gas into the combustion chamber, a pipe for introducing exhaust gas into the combustion chamber, and a pipe for introducing a supporting gas into the combustion chamber are provided. The fuel gas is disposed inside the exhaust gas introducing pipe, and the fuel gas flows out of the exhaust gas introducing pipe from the outlet of the fuel gas introducing pipe so that the fuel gas can be mixed with the exhaust gas before combustion. Exhaust gas in the piping for
The flow rate of the fuel gas supplied into the fuel gas introduction pipe is set such that the flow rate is increased by being sucked into the flow of the fuel gas flowing out from the outlet of the fuel gas introduction pipe.
The flow rate of the exhaust gas supplied into the exhaust gas introduction pipe is set to be larger than the flow rate, and the mixed fuel gas and the exhaust gas are
The fuel is characterized by being introduced into the combustion chamber in which the supporting gas introduced from the supporting gas introducing pipe is present, and is combusted. According to the device of the present invention, the method of the present invention can be performed. In addition, the outlet of the fuel gas introduction pipe can be arranged inside the exhaust gas introduction pipe only by forming the exhaust gas introduction pipe and the fuel gas introduction pipe in a double pipe structure, and a triple or more multiple pipe structure is required. There is no. As a result, restrictions on connecting a plurality of exhaust gas introduction pipes to the combustion chamber are relaxed, and as many exhaust gas generation sources as possible, such as CVD reactors, and the combustion chamber of one exhaust gas treatment device are connected. It can be connected by a plurality of pipes independent of each other.
【００１１】本発明方法において、その燃焼室で流動す
る支燃性ガスの流れの中に、その混合された燃料ガスと
排ガスを導入するのが好ましい。そのために本発明装置
において、その燃焼室内への支燃性ガスの導入位置は、
その混合された燃料ガスと排ガスの導入位置よりも、そ
の燃焼室でのガスの流れにおける上流側とされているの
が好ましい。これにより、混合された燃料ガスと排ガス
とは燃焼室内に導入されるやいなや確実に支燃性ガスに
接することになるので、より確実に排ガスを狭いピンポ
イント領域で燃焼させ、燃焼温度を増大させることがで
きる。さらに、その支燃性ガスの流れにより燃焼室内で
のガス流速を増大させ、燃焼により生成する固形物を堆
積させることなく燃焼室から下流に吹き飛ばすことがで
きる。また、その支燃性ガスによりシランの排ガス濃度
を低減することで、燃焼により生成するシロキサンや一
酸化ケイ素等の粉塵状の固形物の濃度を低減し、その固
形物の凝集を抑制して堆積を防止できる。In the method of the present invention, it is preferable to introduce the mixed fuel gas and exhaust gas into the flow of the supporting gas flowing in the combustion chamber. Therefore, in the device of the present invention, the introduction position of the supporting gas into the combustion chamber is
It is preferable that the upstream side of the flow of gas in the combustion chamber is located upstream of the position where the mixed fuel gas and exhaust gas are introduced. As a result, as soon as the mixed fuel gas and the exhaust gas are introduced into the combustion chamber, the mixed fuel gas and the exhaust gas surely come into contact with the supporting gas, so that the exhaust gas is more reliably burned in a narrow pinpoint region and the combustion temperature is increased. be able to. Further, the flow of the supporting gas increases the gas flow velocity in the combustion chamber, and the solid matter generated by the combustion can be blown downstream from the combustion chamber without being deposited. In addition, by reducing the exhaust gas concentration of silane with the supportive gas, the concentration of dusty solids such as siloxane and silicon monoxide generated by combustion is reduced, and the aggregation of the solids is suppressed while depositing. Can be prevented.
【００１２】本発明装置において、その燃焼室は円筒面
に沿う内周を有し、その円筒面の中心軸回りに旋回する
ガスの流れが燃焼室内に生じるように、その混合された
燃料ガスと排ガス、および支燃性ガスの中の少なくとも
一方は、その円筒面に沿って燃焼室内に導入されるのが
好ましい。これにより、燃焼室におけるガスの流れによ
りガス混合性を向上して燃焼温度を増大させると共に、
燃焼室の内面に固形物が付着するのを防止できる。In the apparatus of the present invention, the combustion chamber has an inner periphery along a cylindrical surface, and the mixed fuel gas and the mixed fuel gas are generated so that a gas flow swirling around the central axis of the cylindrical surface is generated in the combustion chamber. At least one of the exhaust gas and the supporting gas is preferably introduced into the combustion chamber along the cylindrical surface. As a result, the gas flow in the combustion chamber improves the gas mixing properties and increases the combustion temperature,
Solid substances can be prevented from adhering to the inner surface of the combustion chamber.
【００１３】本発明装置において、その燃焼室内におけ
る混合された燃料ガスと排ガスの導入位置近傍に向け、
支燃性ガスを間欠的に噴出する手段が設けられているの
が好ましい。これにより、排ガスの燃焼により生成する
粉塵状の固形物の濃度が最も高い排ガス導入用配管の出
口近傍において、支燃性ガスにより固形物を吹き飛ばし
て堆積するのを防止できる。しかも、その支燃性ガスを
間欠的に噴出することで固形物を吹き飛ばすための支燃
性ガス量を可及的に少なくし、支燃性ガスによる燃焼室
内の温度低下を抑制できる。[0013] In the apparatus of the present invention, the fuel gas and the exhaust gas mixed in the combustion chamber are directed toward the vicinity of the introduction position.
Preferably, a means for intermittently ejecting the supporting gas is provided. Thus, it is possible to prevent the solid matter from being blown off by the supporting gas and deposited near the outlet of the exhaust gas introduction pipe having the highest concentration of the dusty solid matter generated by the combustion of the exhaust gas. In addition, by intermittently ejecting the supporting gas, the amount of the supporting gas for blowing off the solids can be reduced as much as possible, and the temperature drop in the combustion chamber due to the supporting gas can be suppressed.
【００１４】前記排ガス導入用配管の数は複数とされ、
各排ガス導入用配管により互いに異なる排ガスが互いに
接触することなく一つの燃焼室内に導入可能とされ、前
記燃料ガス導入用配管の数は排ガス導入用配管と同数と
され、各排ガス導入用配管の内部に各燃料ガス導入用配
管の出口が配置されるのが好ましい。これにより、複数
のＣＶＤ反応炉等の排ガス発生源それぞれと一台の排ガ
ス処理装置の燃焼室とを互いに独立した複数の配管によ
り接続して設備コストを低減できる。The number of the exhaust gas introduction pipes is plural,
Different exhaust gases can be introduced into one combustion chamber without contact with each other by each exhaust gas introduction pipe, and the number of the fuel gas introduction pipes is the same as the number of the exhaust gas introduction pipes. It is preferable that the outlet of each fuel gas introduction pipe is disposed at the bottom. Thereby, each exhaust gas generation source such as a plurality of CVD reactors and the combustion chamber of one exhaust gas treatment device are connected by a plurality of pipes independent of each other, so that the equipment cost can be reduced.
【００１５】本発明装置は、少なくとも金属水素化物を
含む排ガスとフッ素化合物とを含む排ガスとを処理する
ために用いられるのが好ましい。これにより、フッ素化
合物を含む排ガスの高温での効率的な燃焼と、金属水素
化物を含む排ガスの燃焼により生成する固形物の付着防
止とを同時に満足させることができる。The apparatus of the present invention is preferably used for treating an exhaust gas containing at least a metal hydride and an exhaust gas containing a fluorine compound. Thereby, efficient combustion of the exhaust gas containing the fluorine compound at a high temperature and prevention of the adhesion of solid matter generated by the combustion of the exhaust gas containing the metal hydride can be satisfied at the same time.
【００１６】[0016]
【発明の実施の形態】図１に示す排ガスの処理装置１
は、少なくとも金属水素化物を含む排ガスとフッ素化合
物を含む排ガスとを処理するために用いられるもので、
一つの燃焼室２と、その燃焼室２内へ燃料ガス源Ｆから
燃料ガスを導入する複数の燃料ガス導入用配管３と、そ
の燃焼室２内へ複数のＣＶＤ反応炉Ｒ１、Ｒ２から排出
される排ガスを導入する複数の排ガス導入用配管４と、
その燃焼室２内へ支燃性ガスを導入する複数の支燃性ガ
ス導入用配管５と、パイロットバーナ６とを備えてい
る。その燃料ガスとして、例えば液化石油ガス（ＬＰ
Ｇ）、液化天然ガス（ＬＮＧ）、水素ガス或いはこれら
の混合ガス等を用いることができる。また、その支燃性
ガスとして、例えば空気や、空気に必要に応じて酸素を
添加した酸素富化空気等を用いることができる。なお、
排ガス、燃料ガス、支燃性ガスの燃焼室２への導入量は
図外バルブの調節により変更可能とされている。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Exhaust gas treatment apparatus 1 shown in FIG.
Is used to treat at least exhaust gas containing metal hydride and exhaust gas containing fluorine compound,
One combustion chamber 2, a plurality of fuel gas introduction pipes 3 for introducing fuel gas from the fuel gas source F into the combustion chamber 2, and a plurality of CVD reactors R1, R2 discharged into the combustion chamber 2. A plurality of exhaust gas introduction pipes 4 for introducing exhaust gas,
A plurality of supporting gas introducing pipes 5 for introducing a supporting gas into the combustion chamber 2 and a pilot burner 6 are provided. As the fuel gas, for example, liquefied petroleum gas (LP
G), liquefied natural gas (LNG), hydrogen gas, or a mixed gas thereof can be used. Further, as the combustion supporting gas, for example, air, oxygen-enriched air obtained by adding oxygen to air as needed, or the like can be used. In addition,
The amount of exhaust gas, fuel gas, and combustible gas introduced into the combustion chamber 2 can be changed by adjusting a valve (not shown).
【００１７】図２に示すように、その燃焼室２の周囲
は、アルミナ系キャスタブル等の耐熱材２Ａにより覆わ
れ、その耐熱材２Ａは筒状の内壁２Ｂの内周にライニン
グされ、その内壁２Ｂは空気断熱層２Ｃを構成する空間
を介して外壁２Ｄにより囲まれる。また、燃焼室２の上
方は上壁２Ｅに覆われ、下方は第１排気ダクト８に接続
されている。その上壁２Ｅの中央にパイロットバーナ６
が取り付けられ、そのパイロットバーナ６に燃料ガス源
Ｆから配管１１を介して燃料ガスが供給され、ブロアー
７により空気が支燃性ガスとして配管１７を介して供給
されることで、その燃焼室２の上部中央において火炎を
形成する。As shown in FIG. 2, the periphery of the combustion chamber 2 is covered with a heat-resistant material 2A such as an alumina-based castable, and the heat-resistant material 2A is lined on the inner periphery of a cylindrical inner wall 2B. Is surrounded by an outer wall 2D via a space constituting the air heat insulating layer 2C. The upper part of the combustion chamber 2 is covered with the upper wall 2E, and the lower part is connected to the first exhaust duct 8. At the center of the upper wall 2E, there is a pilot burner 6
The fuel gas is supplied to the pilot burner 6 from a fuel gas source F via a pipe 11, and the air is supplied from a blower 7 as a combustion supporting gas through a pipe 17, so that the combustion chamber 2 A flame is formed in the upper center of the flame.
【００１８】図２、図３に示すように、上記燃料ガス導
入用配管３の数は排ガス導入用配管４と同数とされ、本
実施形態ではそれぞれ２本とされている。各排ガス導入
用配管４により互いに異なる２台のＣＶＤ反応炉Ｒ１、
Ｒ２から排出される排ガスが互いに接触することなく一
つの燃焼室２内に導入可能とされている。各排ガス導入
用配管４の出口近傍と各燃料ガス導入用配管３の出口近
傍とは２重管状とされ、各排ガス導入用配管４の内部に
各燃料ガス導入用配管３の出口３ａが配置される。その
燃料ガスは、その燃料ガス導入用配管３の出口３ａから
排ガス導入用配管４の内部に流出することで、燃焼前に
排ガスと予め混合される。As shown in FIGS. 2 and 3, the number of the fuel gas introducing pipes 3 is the same as the number of the exhaust gas introducing pipes 4. In the present embodiment, the number is two. Two CVD reactors R1 different from each other by each exhaust gas introduction pipe 4,
The exhaust gas discharged from R2 can be introduced into one combustion chamber 2 without contacting each other. The vicinity of the outlet of each exhaust gas introducing pipe 4 and the vicinity of the outlet of each fuel gas introducing pipe 3 are double tubular, and the outlet 3a of each fuel gas introducing pipe 3 is disposed inside each exhaust gas introducing pipe 4. You. The fuel gas flows from the outlet 3a of the fuel gas introduction pipe 3 into the exhaust gas introduction pipe 4 and is thus preliminarily mixed with the exhaust gas before combustion.
【００１９】その排ガス導入用配管４内の排ガスが、そ
の燃料ガス導入用配管３の出口３ａから流出する燃料ガ
スの流れによりエゼクタ効果に基づき吸引されることで
流速が増大されるように、その燃料ガス導入用配管３内
に供給される燃料ガスの流速は、その排ガス導入用配管
４内に供給される排ガスの流速よりも大きくされる。例
えば、排ガスの供給流速は０．５〜２ｍ／ｓ、燃料ガス
の供給流速は２〜５ｍ／ｓとされる。The exhaust gas in the exhaust gas introducing pipe 4 is sucked by the flow of the fuel gas from the outlet 3a of the fuel gas introducing pipe 3 based on the ejector effect so that the flow velocity is increased. The flow rate of the fuel gas supplied into the fuel gas introduction pipe 3 is set higher than the flow rate of the exhaust gas supplied into the exhaust gas introduction pipe 4. For example, the supply flow rate of the exhaust gas is 0.5 to 2 m / s, and the supply flow rate of the fuel gas is 2 to 5 m / s.
【００２０】その燃焼室２は上下方向軸心の円筒面に沿
う内周２ａを有し、その内周２ａに形成された開口２
ａ′に、各燃料ガス導入用配管３の出口３ａと各排ガス
導入用配管４の出口４ａが通じる。各開口２ａ′は周方
向において互いに等間隔をおいて配置される。各燃料ガ
ス導入用配管３と各排ガス導入用配管４の出口３ａ、４
ａ近傍の軸心は、その燃焼室２の内周２ａが平面視で沿
う円の接線方向に沿い、且つ、その円の中心と交差する
ことがないものとされている。これにより、その内周２
ａが沿う円筒面の中心軸回りに旋回するガスの流れが燃
焼室２内に生じるように、その混合された燃料ガスと排
ガスが、その円筒面に沿って燃焼室２内に導入される。The combustion chamber 2 has an inner periphery 2a along the cylindrical surface of the vertical axis, and an opening 2 formed in the inner periphery 2a.
The outlet 3a of each fuel gas introducing pipe 3 and the outlet 4a of each exhaust gas introducing pipe 4 communicate with a '. The openings 2a 'are arranged at equal intervals in the circumferential direction. Outlets 3a, 4 of each fuel gas introducing pipe 3 and each exhaust gas introducing pipe 4
The axis near "a" is such that the inner circumference 2a of the combustion chamber 2 extends in the tangential direction of the circle along the plan view and does not cross the center of the circle. Thereby, its inner circumference 2
The mixed fuel gas and exhaust gas are introduced into the combustion chamber 2 along the cylindrical surface such that a gas flow swirling around the central axis of the cylindrical surface along a is generated in the combustion chamber 2.
【００２１】図４に示すように、上記支燃性ガス導入用
配管５の数は本実施形態では４本とされ、上記燃焼室２
の内周２ａに形成された開口２ａ″に、各支燃性ガス導
入用配管５の出口５ａが通じる。各開口２ａ″は周方向
において互いに等間隔をおいて配置される。各支燃性ガ
ス導入用配管５の出口近傍の軸心は、その燃焼室２の内
周２ａが平面視で沿う円の接線方向に沿い、且つ、その
円の中心と交差することがないものとされている。これ
により、その内周２ａが沿う円筒面の中心軸回りに旋回
するガスの流れが燃焼室２内に生じるように、その支燃
性ガスが、その円筒面に沿って燃焼室２内に導入され
る。なお本実施形態では、各支燃性ガス導入用配管５の
入り口は、上記燃焼室２を囲む空気断熱層２Ｃに配置さ
れ、その空気断熱層２Ｃにブロアー７から供給される空
気が支燃性ガスとして、後述の熱交換器から配管１８を
介して予熱後に供給される。As shown in FIG. 4, the number of the supporting gas introducing pipes 5 is four in this embodiment, and
The outlet 5a of each of the supporting gas introducing pipes 5 communicates with an opening 2a "formed in the inner circumference 2a of each of the above. The openings 2a" are arranged at equal intervals in the circumferential direction. The axial center near the outlet of each supporting gas introducing pipe 5 is such that the inner circumference 2a of the combustion chamber 2 is in the tangential direction of a circle along the plan view and does not cross the center of the circle. It has been. Thereby, the supporting gas is introduced into the combustion chamber 2 along the cylindrical surface so that a gas flow swirling around the central axis of the cylindrical surface along the inner periphery 2a is generated in the combustion chamber 2. Is done. In the present embodiment, the inlet of each of the combustion supporting gas introducing pipes 5 is disposed in the air insulating layer 2C surrounding the combustion chamber 2, and the air supplied from the blower 7 is supplied to the air insulating layer 2C. As a gas, it is supplied from a heat exchanger described later via a pipe 18 after preheating.
【００２２】上記の燃焼室２の内周が沿う円筒面の中心
軸回りに旋回するガスの流れにより、燃焼室２における
ガス混合性を向上して燃焼温度を増大させると共に、燃
焼室２の内面に固形物が付着するのを防止できる。The gas flow swirling around the central axis of the cylindrical surface along the inner circumference of the combustion chamber 2 improves the gas mixing in the combustion chamber 2 to increase the combustion temperature, and at the same time, increases the inner surface of the combustion chamber 2. Can be prevented from adhering to the solid.
【００２３】その燃焼室２内への支燃性ガスの導入位置
は、その混合された燃料ガスと排ガスの導入位置より
も、その燃焼室２でのガスの流れにおける上流側とされ
ている。本実施形態では、燃焼室２においてガスは上方
から下方に向かい流れることから、その支燃性ガス導入
用配管５を介する支燃性ガスの導入位置は、燃料ガス導
入用配管３と排ガス導入用配管４を介する混合された燃
料ガスと排ガスの導入位置の上方とされている。The position where the supporting gas is introduced into the combustion chamber 2 is upstream of the position where the mixed fuel gas and exhaust gas are introduced in the gas flow in the combustion chamber 2. In the present embodiment, since the gas flows downward from above in the combustion chamber 2, the introduction position of the supporting gas through the supporting gas introducing pipe 5 is determined by the fuel gas introducing pipe 3 and the exhaust gas introducing pipe 3. It is located above the position where the mixed fuel gas and exhaust gas are introduced via the pipe 4.
【００２４】その燃焼室２内における混合された燃料ガ
スと排ガスの導入位置近傍に、支燃性ガスを間欠的に噴
出する手段が設けられている。すなわち図２、図３に示
すように、燃焼室２内における開口２ａ′の近傍であっ
て、その開口２ａ′からのガス流出方向前方の上方にお
いて、上壁２Ｅに支燃性ガス噴出口２Ｆが形成される。
その支燃性ガス噴出口２Ｆに高圧空気供給源Ｐから配管
１２を介して高圧空気が支燃性ガスとして間欠的に、例
えば、３０秒に１回、１秒間に１０Ｌずつ供給される。
これにより、排ガスの燃焼により生成する粉塵状の固形
物の濃度が最も高い排ガス導入用配管４の出口近傍にお
いて、支燃性ガスにより固形物を吹き飛ばして堆積する
のを防止できる。しかも、その支燃性ガスの噴出を間欠
的に行うことで、固形物を吹き飛ばすための支燃性ガス
量を可及的に少なくし、支燃性ガスによる燃焼室２内の
温度低下を抑制できる。なお、その高圧空気の供給量や
供給タイミングは図外バルブの調節により変更可能とさ
れている。In the vicinity of the position where the mixed fuel gas and exhaust gas are introduced in the combustion chamber 2, there is provided means for intermittently ejecting the supporting gas. That is, as shown in FIGS. 2 and 3, near the opening 2a 'in the combustion chamber 2, and above the front in the gas outflow direction from the opening 2a', the upper wall 2E has a combustion supporting gas outlet 2F. Is formed.
High-pressure air is intermittently supplied to the combustion supporting gas outlet 2F from the high pressure air supply source P via the pipe 12 as the combustion supporting gas, for example, once every 30 seconds and 10 L per second.
Accordingly, it is possible to prevent the solid matter from being blown off by the supporting gas and deposited near the outlet of the exhaust gas introduction pipe 4 where the concentration of the dusty solid matter generated by the combustion of the exhaust gas is highest. In addition, by intermittently ejecting the supporting gas, the amount of the supporting gas for blowing off solids is reduced as much as possible, and the temperature drop in the combustion chamber 2 due to the supporting gas is suppressed. it can. The supply amount and supply timing of the high-pressure air can be changed by adjusting a valve (not shown).
【００２５】上記構成よれば、燃焼室２内に燃料ガス導
入用配管３を介して導入される燃料ガスと排ガス導入用
配管４を介して導入される排ガスとを、支燃性ガスの存
在下に燃焼させるに際して、その燃料ガス導入用配管３
の出口３ａを排ガス導入用配管４内に配置することで、
その燃料ガスと排ガスとを燃焼前に予め混合する。ま
た、その燃料ガス導入用配管３の出口３ａから流出する
燃料ガスの流れにより排ガス導入用配管４内の排ガスを
吸引することで、その排ガスの流速を増大する。そし
て、その燃焼室２内で流動する支燃性ガスの流れの中
に、その混合された燃料ガスと排ガスを導入すること
で、その燃料ガスと排ガスとを燃焼させる。According to the above configuration, the fuel gas introduced into the combustion chamber 2 via the fuel gas introduction pipe 3 and the exhaust gas introduced via the exhaust gas introduction pipe 4 are separated by the presence of the supporting gas. When the fuel gas is introduced, the fuel gas introduction pipe 3
By disposing the outlet 3a in the exhaust gas introduction pipe 4,
The fuel gas and the exhaust gas are mixed before combustion. Further, the flow rate of the exhaust gas is increased by sucking the exhaust gas in the exhaust gas introduction pipe 4 by the flow of the fuel gas flowing out from the outlet 3a of the fuel gas introduction pipe 3. The fuel gas and the exhaust gas are burned by introducing the mixed fuel gas and the exhaust gas into the flow of the supporting gas flowing in the combustion chamber 2.
【００２６】そのように燃料ガスと排ガスとを燃焼前に
予め混合して燃焼室２に導入することで、燃焼室２にお
けるガス混合性を向上できる。これにより、排ガスを拡
散させることなく狭いピンポイント領域で燃焼させ、支
燃性ガスが局所的に不足するのを防止して不完全燃焼の
抑制と燃焼温度の増大を図ることができる。また、その
混合性の向上により、排ガスを完全燃焼させる上で必要
な支燃性ガスを可及的に少なくし、支燃性ガスを最小限
にとどめ単位燃料ガス当たりの支燃性ガス比や、単位燃
料ガス当たりの燃焼ガス量を低減できることによって
も、燃焼温度を増大させることができる。さらに、排ガ
スは燃料ガスの流れに吸引されることで流速が増大する
ことから、排ガスの燃焼により生じる固形物が排ガス導
入用配管４や燃焼室２の内面に堆積するのを防止でき
る。また、シラン等の金属水素化物を酸素等の支燃性ガ
スの存在下に燃焼させる際に、完全燃焼によりシリカ等
を生成でき、燃焼が不完全であることにより生じるポリ
マー状のシロキサンや一酸化ケイ素等の粘着性のある固
形物の生成を抑制できる。そのシリカが堆積しやすい変
態温度は２００〜８００℃と比較的低温であることか
ら、排ガスの燃焼温度を高温とすることで堆積を防止で
きる。さらに、排ガスは燃料ガスの流れに吸引されるこ
とで流速が増大することから、排ガスの燃焼により生じ
る固形物が排ガス導入用配管４や燃焼室２の内面に堆積
するのを防止できる。また、排ガス導入用配管４と燃料
ガス導入用配管３とを２重管構造にするだけで燃料ガス
導入用配管３の出口を排ガス導入用配管４の内部に配置
でき、３重以上の多重管構造とする必要がない。これに
より、燃焼室２に複数の排ガス導入用配管４を接続する
上での制限を緩和し、複数のＣＶＤ反応炉Ｒ１、Ｒ２そ
れぞれと一台の排ガス処理装置１の燃焼室２とを互いに
独立した複数の配管４により接続することができ、設備
コスト低減を図ることができる。その燃焼室２内で流動
する支燃性ガスの流れの中に混合された燃料ガスと排ガ
スを導入することで、混合された燃料ガスと排ガスとは
燃焼室２内に導入されるやいなや支燃性ガスに接するこ
とになるので、より確実に排ガスを狭いピンポイント領
域で燃焼させ、燃焼温度を増大させることができる。さ
らに、その支燃性ガスの流れにより燃焼室２内でのガス
流速を増大させ、例えば３〜１０ｍ／ｓ程度とし、燃焼
により生成するシリカ等の固形物を堆積させることなく
燃焼室２から下流に吹き飛ばすことができる。また、そ
の支燃性ガスによりシランの排ガス濃度を低減すること
で、燃焼により生成するシロキサンや一酸化ケイ素等の
粉塵状の固形物の濃度を低減し、その固形物の凝集を抑
制して堆積を防止できる。よって、フッ素化合物を含む
排ガスの高温での効率的な燃焼と、金属水素化物を含む
排ガスの燃焼により生成する固形物の付着防止とを同時
に満足させることができる。As described above, by mixing the fuel gas and the exhaust gas in advance before the combustion and introducing the mixed gas into the combustion chamber 2, the gas mixing property in the combustion chamber 2 can be improved. This makes it possible to burn the exhaust gas in a narrow pinpoint region without diffusing the exhaust gas, prevent a shortage of the supporting gas locally, suppress the incomplete combustion, and increase the combustion temperature. In addition, by improving the mixing properties, the amount of supporting gas necessary for complete combustion of the exhaust gas is reduced as much as possible, the supporting gas is minimized, and the ratio of supporting gas per unit fuel gas and Also, the combustion temperature can be increased by reducing the amount of combustion gas per unit fuel gas. Furthermore, since the exhaust gas is sucked into the flow of the fuel gas to increase the flow velocity, solid matter generated by the combustion of the exhaust gas can be prevented from being deposited on the exhaust gas introducing pipe 4 and the inner surface of the combustion chamber 2. Further, when a metal hydride such as silane is burned in the presence of a supporting gas such as oxygen, silica or the like can be generated by complete combustion, and polymer siloxane or monoxide generated due to incomplete combustion. The formation of sticky solids such as silicon can be suppressed. Since the transformation temperature at which silica is easily deposited is relatively low at 200 to 800 ° C., deposition can be prevented by setting the combustion temperature of exhaust gas to a high temperature. Furthermore, since the exhaust gas is sucked into the flow of the fuel gas to increase the flow velocity, solid matter generated by the combustion of the exhaust gas can be prevented from being deposited on the exhaust gas introducing pipe 4 and the inner surface of the combustion chamber 2. Further, the outlet of the fuel gas introduction pipe 3 can be arranged inside the exhaust gas introduction pipe 4 only by forming the exhaust gas introduction pipe 4 and the fuel gas introduction pipe 3 in a double pipe structure, so that a triple pipe or more multiple pipes can be provided. There is no need to have a structure. Thereby, the restriction on connecting the plurality of exhaust gas introduction pipes 4 to the combustion chamber 2 is relaxed, and the plurality of CVD reactors R1 and R2 and the combustion chamber 2 of one exhaust gas treatment apparatus 1 are independent of each other. It can be connected by the plurality of pipes 4 thus made, and the equipment cost can be reduced. By introducing the mixed fuel gas and exhaust gas into the flow of the supporting gas flowing in the combustion chamber 2, the mixed fuel gas and exhaust gas are supported as soon as they are introduced into the combustion chamber 2. Since the exhaust gas comes into contact with the reactive gas, the exhaust gas can be more reliably burned in a narrow pinpoint region, and the combustion temperature can be increased. Further, the flow velocity of the gas in the combustion chamber 2 is increased by the flow of the combustion supporting gas to, for example, about 3 to 10 m / s, and the solid material such as silica generated by the combustion is deposited downstream from the combustion chamber 2 without being deposited. Can be blown off. In addition, by reducing the exhaust gas concentration of silane with the supportive gas, the concentration of dusty solids such as siloxane and silicon monoxide generated by combustion is reduced, and the aggregation of the solids is suppressed while depositing. Can be prevented. Therefore, efficient combustion of the exhaust gas containing the fluorine compound at a high temperature and prevention of adhesion of the solid matter generated by the combustion of the exhaust gas containing the metal hydride can be satisfied at the same time.
【００２７】上記処理装置１により実際に排ガスを処理
したところ、排ガス導入用配管４の出口近傍で１５５０
℃の温度上昇を確認できた。また、単位燃料ガス当たり
少ない支燃性ガス量で燃焼させることができ、従来の処
理装置であれば支燃性ガス中の酸素濃度と理論酸素濃度
の比である空気比が１．２０以上であるのに対して、上
記実施形態では１．０２とした場合でも、完全燃焼指数
である燃焼ガス中の一酸化炭素濃度が２０ｐｐｍ以下と
なり、充分に完全燃焼ができた。その空気比は１．０５
以下にするのが好ましい。When the exhaust gas was actually treated by the treatment apparatus 1, 1550 was found near the outlet of the exhaust gas introducing pipe 4.
A temperature rise of ° C was confirmed. Further, it is possible to burn with a small amount of supporting gas per unit fuel gas, and in the case of a conventional processing apparatus, the air ratio which is the ratio of the oxygen concentration in the supporting gas to the theoretical oxygen concentration is 1.20 or more. On the other hand, even in the case of 1.02 in the above embodiment, the concentration of carbon monoxide in the combustion gas, which is the complete combustion index, was 20 ppm or less, and sufficient complete combustion was achieved. The air ratio is 1.05
It is preferable to set the following.
【００２８】図１に示すように、その燃焼室２から排出
される燃焼ガスは、上記第１排気ダクト８を介して冷却
室３１に導入され、その冷却室３１から第２排気ダクト
３２を介して洗浄室３３に導入され、その洗浄室３３か
らガス吸収用充填層３４、第３排気ダクト３５を介して
排気される。その第１排気ダクト８と冷却室３１は空冷
ジャケット８ａ、３１ａにより覆われ、その空冷ジャケ
ット８ａに上記ブロアー７により配管２１を介して空気
が供給され、その空冷ジャケット８ａから空冷ジャケッ
ト３１ａに配管２２を介して空気が供給され、その空冷
ジャケット３１ａから支燃性ガスとして空気が支燃性ガ
ス導入用配管５に供給される。これにより、その燃焼ガ
スの廃熱により支燃性ガスを予熱する熱交換器が構成さ
れている。その冷却室３１に配置されたスプレーノズル
３６に、前記高圧空気供給源Ｐから配管２３を介して高
圧空気が、水源Ｗから配管２４を介して水が供給され
る。これにより、そのスプレーノズル３６から噴霧され
る水により燃焼ガスが冷却される。さらに、その第２排
気ダクト３２の入口と洗浄室３３の上部と充填層３４の
上部とに配置されたノズル３７、３８、３９に水源Ｗか
ら水が配管２５、２６、２７を介して供給される。これ
により、各ノズル３７、３８、３９から噴出する水によ
り燃焼ガスが冷却される。その洗浄室３３の下部には洗
浄液４０が貯留され、その洗浄液４０はポンプ４１によ
り第２排気ダクト３２の入口と洗浄室３３の上部に配置
されたノズル４２、４３に配管２８、２９を介して供給
され、噴出される。その洗浄液により晒された燃焼ガス
が充填層３４を通過する。これにより燃焼ガスに含まれ
るフッ化水素等の酸性ガスやシリカ等の微粉状金属酸化
物の除去が行われた燃焼ガスが、第３排気ダクト３５か
ら排気される。この排気の際、その第３排気ダクト３５
に接続されるブロアー４４から供給される空気により、
その燃焼ガスが希釈される。また、燃焼ガスに含まれる
フッ酸やシリカ等を含んだ酸性の懸濁排液は排液管４５
から排出される。As shown in FIG. 1, the combustion gas discharged from the combustion chamber 2 is introduced into the cooling chamber 31 through the first exhaust duct 8, and from the cooling chamber 31 through the second exhaust duct 32. Then, the gas is introduced into the cleaning chamber 33, and is exhausted from the cleaning chamber 33 through the gas absorption filling layer 34 and the third exhaust duct 35. The first exhaust duct 8 and the cooling chamber 31 are covered by air-cooling jackets 8a, 31a, and air is supplied to the air-cooling jacket 8a via the pipe 21 by the blower 7, and the pipe 22 is connected to the air-cooling jacket 31a from the air-cooling jacket 31a. Is supplied through the air-cooling jacket 31a, and air is supplied to the supporting gas introducing pipe 5 as a supporting gas. This constitutes a heat exchanger for preheating the supporting gas by the waste heat of the combustion gas. High-pressure air is supplied from the high-pressure air supply source P via the pipe 23 and water is supplied from the water source W via the pipe 24 to the spray nozzle 36 arranged in the cooling chamber 31. Thereby, the combustion gas is cooled by the water sprayed from the spray nozzle 36. Further, water is supplied from the water source W to the nozzles 37, 38, and 39 disposed at the entrance of the second exhaust duct 32, the upper part of the cleaning chamber 33, and the upper part of the filling layer 34 via the pipes 25, 26, and 27. You. Thus, the combustion gas is cooled by the water jetted from each of the nozzles 37, 38, and 39. A cleaning liquid 40 is stored in a lower portion of the cleaning chamber 33, and the cleaning liquid 40 is supplied to the inlet of the second exhaust duct 32 and nozzles 42 and 43 disposed above the cleaning chamber 33 by a pump 41 via pipes 28 and 29. Supplied and squirted. The combustion gas exposed by the cleaning liquid passes through the packed bed 34. As a result, the combustion gas from which the acidic gas such as hydrogen fluoride and the fine metal oxide such as silica contained in the combustion gas have been removed is exhausted from the third exhaust duct 35. At the time of this exhaust, the third exhaust duct 35
Air supplied from a blower 44 connected to
The combustion gas is diluted. The acidic suspended wastewater containing hydrofluoric acid, silica, etc., contained in the combustion gas is discharged from the drainage pipe 45.
Is discharged from
【００２９】本発明は上記実施形態に限定されない。例
えば、上記実施形態の燃焼室２は上下方向軸心の円筒面
に沿う内周２ａを有するが、その円筒面の軸心が横方向
に沿うように燃焼室を配置してもよい。The present invention is not limited to the above embodiment. For example, although the combustion chamber 2 of the above embodiment has an inner periphery 2a along a cylindrical surface having a vertical axis, the combustion chamber may be arranged so that the axis of the cylindrical surface extends along the lateral direction.
【００３０】[0030]
【実施例１】上記実施形態の処理装置１を用いて排ガス
を燃焼させた。燃焼室２を構成する外壁２Ｄは内径３０
０ｍｍ、内壁２Ｂは内径２００ｍｍのステンレス製筒状
材とし、耐熱材２Ａは厚さ２５ｍｍのアルミナ系キャス
タブルとした。燃料ガスとしてプロパンガスを、支燃性
ガスとして空気を用いた。まず、パイロットバーナ６に
燃焼ガスを４Ｌ／ｍｉｎ、支燃性ガスを１００Ｌ／ｍｉ
ｎ供給し、燃焼温度が５００℃になった時に４本の支燃
性ガス導入用配管５から支燃性ガスを合計で４３０Ｌ／
ｍｉｎ供給し、２本の燃料ガス導入用配管３から燃料ガ
スを合計で１８Ｌ／ｍｉｎ、２本の排ガス導入用配管４
から排ガスとして窒素を合計で１００Ｌ／ｍｉｎ供給し
た。燃焼温度が１５００℃まで上がると、２本の排ガス
導入用配管４から排ガスとして合計で２Ｌ／ｍｉｎのフ
ッ化炭素（ＣＦ4 ）を窒素に加えた。燃焼室２から排出
された燃焼ガス中のＣＦ4 の導入時と分解後の濃度をガ
スクロマトグラフィーで測定するとと共に分解率を求め
た。その分解後の濃度は２０ｐｐｍであり、燃焼ガスの
風量増加を考慮した分解率は９９．１％であった。Example 1 Exhaust gas was burned using the processing apparatus 1 of the above embodiment. The outer wall 2D constituting the combustion chamber 2 has an inner diameter of 30.
The inner wall 2B was made of a stainless steel tubular material having an inner diameter of 200 mm, and the heat-resistant material 2A was made of an alumina-based castable having a thickness of 25 mm. Propane gas was used as the fuel gas, and air was used as the supporting gas. First, the combustion gas is supplied to the pilot burner 6 at 4 L / min and the supporting gas is supplied at 100 L / mi.
n, and when the combustion temperature reaches 500 ° C., a total of 430 L /
min., and a total of 18 L / min of fuel gas from the two fuel gas introduction pipes 3 and two exhaust gas introduction pipes 4
Was supplied with nitrogen as exhaust gas at a total rate of 100 L / min. When the combustion temperature rose to 1500 ° C., a total of 2 L / min of carbon fluoride (CF 4 ) was added to nitrogen as exhaust gas from the two exhaust gas introduction pipes 4. The concentration of CF 4 in the combustion gas discharged from the combustion chamber 2 at the time of introduction and after decomposition was measured by gas chromatography, and the decomposition rate was determined. The concentration after the decomposition was 20 ppm, and the decomposition ratio in consideration of the increase in the amount of combustion gas was 99.1%.
【００３１】[0031]
【実施例２−１〜２−３】実施例１において燃料ガスと
支燃性ガスの量を変化させることで燃焼温度を変化さ
せ、フッ化炭素（ＣＦ4 ）の導入時と分解後の濃度およ
び分解率を測定した。以下の表１に測定結果を示す。燃
焼温度が高い程に分解率を高くできるのを確認できる。Embodiments 2-1 to 2-3 In Embodiment 1, the combustion temperature is changed by changing the amounts of the fuel gas and the supporting gas, and the concentration at the time of introduction of carbon fluoride (CF 4 ) and the concentration after decomposition. And the decomposition rate was measured. Table 1 below shows the measurement results. It can be confirmed that the higher the combustion temperature, the higher the decomposition rate can be.
【００３２】[0032]
【表１】 [Table 1]
【００３３】[0033]
【実施例３−１〜３−３】実施例１において用いた上記
実施形態の処理装置１に、燃料ガス導入用配管３と排ガ
ス導入用配管４を２本ずつ追加してそれぞれ４本とし、
排ガスの合計量を２倍にし、燃料ガス量と支燃性ガス量
を変化させることで燃焼温度を変化させ、フッ化炭素
（ＣＦ4 ）の導入時と分解後の濃度および分解率を測定
した。以下の表２に測定結果を示す。排ガス量が多くて
も燃焼温度を高くすることで分解率を高くできるのを確
認できる。Embodiments 3-1 to 3-3 Two additional fuel gas introduction pipes 3 and two exhaust gas introduction pipes 4 were added to the processing apparatus 1 of the above embodiment used in Example 1 to make each of them four.
The total amount of exhaust gas was doubled, the combustion temperature was changed by changing the amount of fuel gas and the amount of supporting gas, and the concentration and decomposition rate of carbon fluoride (CF 4 ) at introduction and after decomposition were measured. . Table 2 below shows the measurement results. It can be confirmed that the decomposition rate can be increased by increasing the combustion temperature even if the amount of exhaust gas is large.
【００３４】[0034]
【表２】 [Table 2]
【００３５】[0035]
【実施例４−１〜４−８】実施例３−１において排ガス
をフッ化炭素（ＣＦ4 ）としていたのを、異なるフッ化
炭素（Ｃ2 Ｆ6 ）、フッ化イオウ（ＳＦ6 ）、フッ化窒
素（ＮＦ3 ）に変更し、燃料ガス量と支燃性ガス量を変
化させることで燃焼温度を変化させ、各排ガスの導入時
と分解後の濃度および分解率を測定した。以下の表３に
測定結果を示す。排ガスの種類が異なっても燃焼温度を
高くすることで分解率を高くできるのを確認できる。Embodiments 4-1 to 4-8 Except that the exhaust gas in the embodiment 3-1 was made of carbon fluoride (CF 4 ), different types of carbon fluoride (C 2 F 6 ), sulfur fluoride (SF 6 ) The combustion temperature was changed by changing to nitrogen fluoride (NF 3 ) and changing the amount of fuel gas and the amount of supporting gas, and the concentration and decomposition rate of each exhaust gas at the time of introduction and after decomposition were measured. Table 3 below shows the measurement results. It can be confirmed that the decomposition rate can be increased by increasing the combustion temperature even if the type of exhaust gas is different.
【００３６】[0036]
【表３】 [Table 3]
【００３７】[0037]
【実施例５−１〜５−４】実施例３−１において排ガス
をフッ化炭素（ＣＦ4 ）としていたのを、シラン（Ｓｉ
Ｈ4 ）に変更し、燃料ガス量と支燃性ガス量を変化させ
ることで燃焼温度を変化させ、シランの導入時と分解後
の濃度をガスクロマトグラフィーで測定した。以下の表
４に測定結果を示す。燃焼温度が８００℃以上であれば
シランの残存濃度を十分に低くできることを確認でき
る。Examples 5-1 to 5-4 In Example 3-1 except that the exhaust gas was carbon fluoride (CF 4 ), silane (Si
H 4 ), the combustion temperature was changed by changing the fuel gas amount and the supporting gas amount, and the concentrations of silane at the time of introduction and after decomposition were measured by gas chromatography. Table 4 below shows the measurement results. It can be confirmed that if the combustion temperature is 800 ° C. or higher, the residual concentration of silane can be sufficiently reduced.
【００３８】[0038]
【表４】 [Table 4]
【００３９】[0039]
【実施例６】実施例５−１〜５−４においてシランを連
続２００時間処理し、燃焼室２や排ガス導入用配管４に
おけるシリカの付着の有無を確認したところ、シリカの
付着は殆どなかった。Example 6 In Examples 5-1 to 5-4, silane was treated continuously for 200 hours, and it was confirmed whether or not silica had adhered to the combustion chamber 2 and the exhaust gas introducing pipe 4. As a result, almost no silica was adhered. .
【００４０】[0040]
【発明の効果】本発明によれば、ＣＶＤ工程で排出する
可燃性の金属水素化物と支燃性かつ難燃性のフッ素化合
物を含む排ガスを、安全に効率よく燃焼分解することが
でき、また、副生する固形物による配管の閉塞を防止可
能で、複数台のＣＶＤ反応炉からの排ガスにも安全に対
応して設備コストの低減を図ることができる排ガスの処
理方法および処理装置を提供できる。According to the present invention, an exhaust gas containing a combustible metal hydride and a combustible and flame-retardant fluorine compound discharged in a CVD process can be safely and efficiently decomposed by combustion. In addition, it is possible to provide an exhaust gas treatment method and apparatus capable of preventing clogging of pipes by solid by-products, and capable of safely responding to exhaust gas from a plurality of CVD reactors and reducing equipment costs. .
【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]
【図１】本発明の実施形態の排ガスの処理装置の構成説
明図FIG. 1 is a configuration explanatory view of an exhaust gas treatment apparatus according to an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の実施形態の燃焼室の構成説明用側断面
図FIG. 2 is a side sectional view for explaining a configuration of a combustion chamber according to an embodiment of the present invention.
【図３】本発明の実施形態の燃焼室と燃料ガス導入用配
管の構成説明用平断面図FIG. 3 is a cross-sectional plan view for explaining a configuration of a combustion chamber and a fuel gas introduction pipe according to the embodiment of the present invention.
【図４】本発明の実施形態の燃焼室と支燃性ガス導入用
配管の構成説明用平断面図FIG. 4 is a cross-sectional plan view illustrating the configuration of a combustion chamber and a pipe for introducing a supporting gas according to an embodiment of the present invention.
１ 処理装置 ２ 燃焼室 ２Ｆ 支燃性ガス噴出口 ３ 燃料ガス導入用配管 ４ 排ガス導入用配管 ５ 支燃性ガス導入用配管 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Processing apparatus 2 Combustion chamber 2F Flame-reducing gas injection port 3 Fuel gas introduction pipe 4 Exhaust gas introduction pipe 5 Combustion gas introduction pipe
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 21/205 Ｂ０１Ｄ 53/34 １３４Ｃ (72)発明者 中川 正明 奈良県北葛城郡広陵町弁財天348―３ (72)発明者 山田 学 大阪府泉佐野市市場東２―340―７ Ｆターム(参考） 3K078 AA05 BA20 BA21 BA28 BA29 CA02 CA07 CA11 CA27 4D002 AA01 AA22 AA26 AA27 AA28 AA40 AB01 AC10 BA05 CA11 CA13 DA56 DA70 HA01 HA05 5F045 AC01 AC02 AC05 EB03 EC07 EE19 EE20 EG07 EG10 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI Theme coat ゛ (Reference) H01L 21/205 B01D 53/34 134C (72) Inventor Masaaki Nakagawa 348-3 Benzaiten, Koryo-cho, Kitatsukatsuragi-gun, Nara Prefecture ( 72) Inventor Manabu Yamada 2-340-7 F-term (Reference) 3K078 AA05 BA20 BA21 BA28 BA29 CA02 CA07 CA11 CA27 4D002 AA01 AA22 AA26 AA27 AA28 AA40 AB01 AC10 BA05 CA11 CA13 DA56 DA70 HA01 HA05 5F045 AC01 AC02 AC05 EB03 EC07 EE19 EE20 EG07 EG10
Claims (8)
入される燃料ガスと排ガス導入用配管を介して導入され
る排ガスとを、支燃性ガスの存在下に燃焼させるに際し
て、その燃料ガス導入用配管の出口を排ガス導入用配管
内に配置することで、その燃料ガスと排ガスとを燃焼前
に予め混合すると共に、その燃料ガス導入用配管の出口
から流出する燃料ガスの流れにより排ガス導入用配管内
の排ガスを吸引することで、その排ガスの流速を増大す
ることを特徴とする排ガスの処理方法。When a fuel gas introduced into a combustion chamber through a fuel gas introduction pipe and an exhaust gas introduced through an exhaust gas introduction pipe are burned in the presence of a supporting gas, the fuel By arranging the outlet of the gas introduction pipe in the exhaust gas introduction pipe, the fuel gas and the exhaust gas are premixed before combustion, and the exhaust gas is discharged by the flow of the fuel gas flowing out of the fuel gas introduction pipe. A method for treating exhaust gas, wherein the flow rate of the exhaust gas is increased by sucking the exhaust gas in the introduction pipe.
中に、その混合された燃料ガスと排ガスを導入する請求
項１に記載の排ガスの処理方法。2. The exhaust gas treatment method according to claim 1, wherein the mixed fuel gas and exhaust gas are introduced into the flow of the supporting gas flowing in the combustion chamber.
用配管と、その燃焼室内への排ガス導入用配管と、その
燃焼室内への支燃性ガス導入用配管とを備え、その燃料
ガス導入用配管の出口は、その排ガス導入用配管の内部
に配置され、その燃料ガスは、その燃料ガス導入用配管
の出口から排ガス導入用配管の内部に流出することで、
燃焼前に排ガスと予め混合可能とされ、その排ガス導入
用配管内の排ガスが、その燃料ガス導入用配管の出口か
ら流出する燃料ガスの流れに吸引されることで流速が増
大されるように、その燃料ガス導入用配管内に供給され
る燃料ガスの流速は、その排ガス導入用配管内に供給さ
れる排ガスの流速よりも大きくされ、その混合された燃
料ガスと排ガスとが、その支燃性ガス導入用配管から導
入された支燃性ガスが存在する燃焼室内に導入されるこ
とで燃焼されることを特徴とする排ガスの処理装置。3. A fuel chamber comprising: a combustion chamber; a pipe for introducing fuel gas into the combustion chamber; a pipe for introducing exhaust gas into the combustion chamber; and a pipe for introducing a supporting gas into the combustion chamber. The outlet of the gas introduction pipe is disposed inside the exhaust gas introduction pipe, and the fuel gas flows out of the exhaust gas introduction pipe from the fuel gas introduction pipe,
Before the combustion, it is possible to mix with the exhaust gas in advance, so that the exhaust gas in the exhaust gas introduction pipe is sucked into the flow of the fuel gas flowing out from the outlet of the fuel gas introduction pipe so that the flow velocity is increased, The flow rate of the fuel gas supplied into the fuel gas introduction pipe is set to be higher than the flow rate of the exhaust gas supplied into the exhaust gas introduction pipe, and the mixed fuel gas and the exhaust gas have a fuel supporting property. An exhaust gas treatment apparatus characterized in that it is burned by being introduced into a combustion chamber in which a supporting gas introduced from a gas introduction pipe is present.
は、その混合された燃料ガスと排ガスの導入位置より
も、その燃焼室でのガスの流れにおける上流側とされて
いる請求項３に記載の排ガスの処理装置。4. The introduction position of the supporting gas into the combustion chamber is located upstream of the introduction position of the mixed fuel gas and exhaust gas in the gas flow in the combustion chamber. 4. The exhaust gas treatment device according to 3.
の円筒面の中心軸回りに旋回するガスの流れが燃焼室内
に生じるように、その混合された燃料ガスと排ガス、お
よび支燃性ガスの中の少なくとも一方は、その円筒面に
沿って燃焼室内に導入される請求項３または４に記載の
排ガスの処理装置。5. The combustion chamber has an inner periphery along a cylindrical surface, and the mixed fuel gas and exhaust gas, and a gas flow swirling around a central axis of the cylindrical surface is generated in the combustion chamber. 5. The exhaust gas treatment device according to claim 3, wherein at least one of the supporting gases is introduced into the combustion chamber along the cylindrical surface.
と排ガスの導入位置近傍に向け、支燃性ガスを間欠的に
噴出する手段が設けられている請求項３〜５の中の何れ
かに記載の排ガスの処理装置。6. A fuel supply system according to claim 3, further comprising means for intermittently ejecting the supporting gas toward the vicinity of the position where the mixed fuel gas and exhaust gas are introduced in the combustion chamber. An exhaust gas treatment device as described in the above.
各排ガス導入用配管により互いに異なる排ガスが互いに
接触することなく一つの燃焼室内に導入可能とされ、前
記燃料ガス導入用配管の数は排ガス導入用配管と同数と
され、各排ガス導入用配管の内部に各燃料ガス導入用配
管の出口が配置される請求項３〜６の中の何れかに記載
の排ガスの処理装置。7. The number of said exhaust gas introducing pipes is plural,
Different exhaust gases can be introduced into one combustion chamber without contact with each other by each exhaust gas introduction pipe, and the number of the fuel gas introduction pipes is the same as the number of the exhaust gas introduction pipes. The exhaust gas treatment apparatus according to any one of claims 3 to 6, wherein an outlet of each fuel gas introduction pipe is disposed in the exhaust gas pipe.
ッ素化合物とを含む排ガスとを処理するために用いられ
る請求項３〜７の中の何れかに記載の排ガスの処理装
置。8. An exhaust gas treatment apparatus according to claim 3, which is used for treating an exhaust gas containing at least a metal hydride and an exhaust gas containing a fluorine compound.
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|---|---|
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Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100504390B1 (en) * | 2002-11-18 | 2005-07-27 | 한국에너지기술연구원 | Cyclonic combustor for low calorific gases |
| KR100667223B1 (en) | 2006-01-26 | 2007-01-16 | 주식회사 제너럴시스템 | Low oxygen vortex burner |
| KR100886190B1 (en) | 2007-11-12 | 2009-02-27 | 한국에너지기술연구원 | The burner for making deoxidizing atmosphere of exhaust gas in engine cogeneration plant with denox process |
| JP2010276307A (en) * | 2009-05-29 | 2010-12-09 | Japan Pionics Co Ltd | Thermal decomposition device |
| JP2015038412A (en) * | 2013-08-19 | 2015-02-26 | 大陽日酸株式会社 | Combustion detoxification device |
| JP2016133286A (en) * | 2015-01-21 | 2016-07-25 | 大陽日酸株式会社 | Exhaust gas treatment method and exhaust gas treatment device |
| JP2017219260A (en) * | 2016-06-08 | 2017-12-14 | 株式会社荏原製作所 | Exhaust gas treatment device |
| JP2018028412A (en) * | 2016-08-18 | 2018-02-22 | 株式会社荏原製作所 | Exhaust gas treatment device |
| JP7377332B2 (en) | 2019-11-21 | 2023-11-09 | エコシス ピーティーイー リミテッド | Gas contaminant treatment equipment |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61138010A (en) * | 1984-12-06 | 1986-06-25 | Toyo Sanso Kk | Suction burning device of inflammable powder |
| JPS62134414A (en) * | 1985-12-04 | 1987-06-17 | Nippon Sanso Kk | Method for burning semiconductor manufacturing exhaust gas and device for burning said gas |
| JPH0355415A (en) * | 1989-07-21 | 1991-03-11 | Chiyoda Corp | Method for preventing propagation of fluctuation in pressure of combustion furnace |
| JPH08105618A (en) * | 1994-07-25 | 1996-04-23 | Alzeta Corp | Combustion breakdown of harmful substance |
| JPH10103634A (en) * | 1996-09-25 | 1998-04-21 | Kobe Steel Ltd | Method and apparatus for operating melting furnace for waste disposal facility |
| JPH11118128A (en) * | 1997-10-20 | 1999-04-30 | Ebara Corp | Waste gas processing combustor |
| JPH11218317A (en) * | 1997-11-21 | 1999-08-10 | Ebara Corp | Waste gas treating combustion device |
| JPH11270831A (en) * | 1998-03-20 | 1999-10-05 | Taiyo Toyo Sanso Co Ltd | Exhaust gas detoxification device |
-
2000
- 2000-06-12 JP JP2000175388A patent/JP2001355820A/en active Pending
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61138010A (en) * | 1984-12-06 | 1986-06-25 | Toyo Sanso Kk | Suction burning device of inflammable powder |
| JPS62134414A (en) * | 1985-12-04 | 1987-06-17 | Nippon Sanso Kk | Method for burning semiconductor manufacturing exhaust gas and device for burning said gas |
| JPH0355415A (en) * | 1989-07-21 | 1991-03-11 | Chiyoda Corp | Method for preventing propagation of fluctuation in pressure of combustion furnace |
| JPH08105618A (en) * | 1994-07-25 | 1996-04-23 | Alzeta Corp | Combustion breakdown of harmful substance |
| JPH10103634A (en) * | 1996-09-25 | 1998-04-21 | Kobe Steel Ltd | Method and apparatus for operating melting furnace for waste disposal facility |
| JPH11118128A (en) * | 1997-10-20 | 1999-04-30 | Ebara Corp | Waste gas processing combustor |
| JPH11218317A (en) * | 1997-11-21 | 1999-08-10 | Ebara Corp | Waste gas treating combustion device |
| JPH11270831A (en) * | 1998-03-20 | 1999-10-05 | Taiyo Toyo Sanso Co Ltd | Exhaust gas detoxification device |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100504390B1 (en) * | 2002-11-18 | 2005-07-27 | 한국에너지기술연구원 | Cyclonic combustor for low calorific gases |
| KR100667223B1 (en) | 2006-01-26 | 2007-01-16 | 주식회사 제너럴시스템 | Low oxygen vortex burner |
| WO2007086706A1 (en) * | 2006-01-26 | 2007-08-02 | General System Co., Ltd | Low oxygen vortex burner |
| KR100886190B1 (en) | 2007-11-12 | 2009-02-27 | 한국에너지기술연구원 | The burner for making deoxidizing atmosphere of exhaust gas in engine cogeneration plant with denox process |
| JP2010276307A (en) * | 2009-05-29 | 2010-12-09 | Japan Pionics Co Ltd | Thermal decomposition device |
| JP2015038412A (en) * | 2013-08-19 | 2015-02-26 | 大陽日酸株式会社 | Combustion detoxification device |
| JP2016133286A (en) * | 2015-01-21 | 2016-07-25 | 大陽日酸株式会社 | Exhaust gas treatment method and exhaust gas treatment device |
| WO2016117167A1 (en) * | 2015-01-21 | 2016-07-28 | 大陽日酸株式会社 | Exhaust gas treatment method and exhaust gas treatment device |
| US10502417B2 (en) | 2015-01-21 | 2019-12-10 | Taiyo Nippon Sanso Corporation | Exhaust gas treatment method and exhaust gas treatment device |
| JP2017219260A (en) * | 2016-06-08 | 2017-12-14 | 株式会社荏原製作所 | Exhaust gas treatment device |
| JP2018028412A (en) * | 2016-08-18 | 2018-02-22 | 株式会社荏原製作所 | Exhaust gas treatment device |
| JP7377332B2 (en) | 2019-11-21 | 2023-11-09 | エコシス ピーティーイー リミテッド | Gas contaminant treatment equipment |
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