JP2001082723A - Combustion type noxious substance removing device and burner for combustion type noxious substance removing device - Google Patents
Combustion type noxious substance removing device and burner for combustion type noxious substance removing deviceInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、燃焼式除害装置及
び燃焼式除害装置用バーナーに関し、詳しくは、半導体
やＬＣＤの製造装置から排出される排ガス等に含まれる
毒性ガス、腐食性ガス、可燃性ガス、支燃性ガス等の有
害ガスや地球環境に影響を及ぼす不燃性ガスを燃焼や熱
分解により除害処理して無害化する装置に関するととも
に、このような燃焼式除害装置のメインバーナーとして
用いるのに好適な構造を有するバーナーに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a combustion type abatement apparatus and a burner for a combustion type abatement apparatus, and more particularly, to a toxic gas or a corrosive gas contained in exhaust gas discharged from a semiconductor or LCD manufacturing apparatus. Harmless gas such as flammable gas and supporting gas, and non-flammable gas that affects the global environment by detoxifying it by combustion or thermal decomposition. The present invention relates to a burner having a structure suitable for being used as a main burner.
【０００２】[0002]
【従来の技術】工業プロセス、例えば、半導体やＬＣＤ
製造装置から排出される排ガス中には、毒性ガス、腐食
性ガス、可燃性ガス等の有害ガスが含まれるため、これ
らの有害成分の除害（無害化）処理を行ってから排ガス
を排出する必要がある。このような、排ガスの除害を行
うための装置の一つとして、燃焼式除害装置が知られて
いる。2. Description of the Related Art Industrial processes such as semiconductors and LCDs
Since the exhaust gas discharged from the manufacturing equipment contains harmful gases such as toxic gas, corrosive gas, and flammable gas, the exhaust gas is discharged after performing harmless (detoxification) treatment of these harmful components. There is a need. As one of the devices for removing such exhaust gas, a combustion type removing device is known.
【０００３】この燃焼式除害装置は、燃焼筒内に導入さ
れた排ガス中に含まれる各種有害成分を、燃焼筒内でメ
インバーナーの火炎によって燃焼させたり、熱分解させ
たりして除害処理を行うもので、その一例は、特開平１
０−１１０９２６号公報に開示されている。この公報に
開示されている燃焼式除害装置のメインバーナーは、前
記排ガスを噴出する被処理ガスノズルと、不活性ガスを
噴出するリフトガスノズルと、前記排ガス中の可燃成分
を燃焼させる支燃性ガスを噴出する被処理ガス燃焼用支
燃性ガスノズルと、燃料ガスを燃焼させる支燃性ガスを
噴出する燃料ガス燃焼用支燃性ガスノズルと、燃料ガス
を噴出する燃料ガスノズルとを、中心から外周にわたっ
て順に同心状に形成した多重管型バーナーである。In this combustion type abatement apparatus, various harmful components contained in exhaust gas introduced into a combustion cylinder are combusted by a flame of a main burner in the combustion cylinder or thermally decomposed to remove the harmful components. One example is disclosed in
No. 0-110926. The main burner of the combustion type abatement apparatus disclosed in this publication includes a target gas nozzle that ejects the exhaust gas, a lift gas nozzle that ejects an inert gas, and a supporting gas that burns combustible components in the exhaust gas. A fuel gas combustible gas nozzle for injecting the gas to be treated, a fuel gas combustible gas nozzle for injecting a combustible gas for burning the fuel gas, and a fuel gas nozzle for ejecting the fuel gas from the center to the outer periphery. It is a multiple tube type burner formed concentrically in order.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】この例示した多重管型
バーナーを備えた燃焼式除害装置は、可燃性又は支燃性
等の燃焼しやすいガスを対象としているため、ＳｉＨ４
等の易燃焼性の有害ガスは、許容濃度以下に燃焼処理さ
れて、無害化することができた。ところが、Ｃ２Ｆ６等
の地球環境に影響を及ぼす分解温度の高い不燃性及び難
燃性のガスは、ほとんど分解燃焼できないことが判明し
た。[Problems that the Invention is to Solve The exemplary combustion type detoxifying apparatus having a multi-tube burner has, since that is targeted to the combustion tends to gases such as combustible or combustion supporting, SiH 4
The easily combustible harmful gas, such as, was burned to a permissible concentration or less and could be rendered harmless. However, high incombustibility and flame retardancy of the gas of influence decomposition temperature to global environment, such as C 2 F 6 has been found to be hardly degraded combustion.
【０００５】そこで本発明は、ＳｉＨ４等の可燃性有害
ガス及びＮＦ３等の支燃性有害ガスを許容濃度以下まで
燃焼処理でき、かつ、Ｃ２Ｆ６等の地球環境に影響を及
ぼす不燃性ガスを分解燃焼できる燃焼式除害装置を提供
することを目的としている。また、本発明は、燃焼生成
物の燃焼筒内面への付着を防止して、長時間にわたって
燃焼処理が行えることを目的としている。さらに、本発
明は、燃焼式除害装置において各種有害成分を燃焼及び
／又は分解させのに好適な火炎を形成することができる
バーナーを提供することを目的としている。Accordingly, the present invention provides a non-flammable harmful gas such as SiH 4 and a flammable harmful gas such as NF 3 which can be burned down to an allowable concentration or less, and which can affect the global environment such as C 2 F 6. It is an object of the present invention to provide a combustion type abatement apparatus capable of decomposing and burning a reactive gas. Another object of the present invention is to prevent the combustion products from adhering to the inner surface of the combustion cylinder and perform the combustion treatment for a long time. Further, another object of the present invention is to provide a burner capable of forming a flame suitable for burning and / or decomposing various harmful components in a combustion type abatement apparatus.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の燃焼式除害装置は、一端が蓋体によって閉
塞され、他端開口が冷却筒内に連通する燃焼筒と、前記
閉塞された一端から燃焼筒内に被処理ガスを導入する被
処理ガス導入ノズルと、前記燃焼筒内で前記被処理ガス
を燃焼及び／又は熱分解するための火炎を形成するメイ
ンバーナーと、該メインバーナーを着火させるパイロッ
トバーナーとを備えた燃焼式除害装置であって、第１の
構成は、前記メインバーナーが、内周面にＶ字状の周溝
を形成した環状体であり、該Ｖ字状の周溝を形成する一
方の面に前記燃料ガス噴出ノズルが、他方の面に前記燃
料燃焼用支燃性ガス噴出ノズルがそれぞれ開口し、両噴
出ノズルのノズル軸が燃焼筒内で交差していることを特
徴としている。In order to achieve the above object, a combustion type abatement apparatus according to the present invention comprises: a combustion cylinder having one end closed by a lid and the other end communicating with a cooling cylinder; A target gas introduction nozzle for introducing a target gas into the combustion cylinder from one of the ends, a main burner for forming a flame for burning and / or thermally decomposing the target gas in the combustion cylinder, A combustion type abatement apparatus including a pilot burner for igniting a burner, wherein the first configuration is such that the main burner is an annular body having a V-shaped peripheral groove formed on an inner peripheral surface thereof. The fuel gas ejection nozzle is opened on one surface forming a U-shaped circumferential groove, and the fuel combustion supporting gas ejection nozzle is opened on the other surface, and the nozzle axes of both ejection nozzles intersect in the combustion cylinder. It is characterized by doing.
【０００７】また、本発明の燃焼式除害装置の第２の構
成は、除害装置における前記メインバーナーが、内周面
に燃料ガス噴出ノズル及び燃料燃焼用支燃性ガス噴出ノ
ズルを有する環状体であり、前記燃料燃焼用支燃性ガス
噴出ノズルに燃料燃焼用支燃性ガスを供給する管路に、
ノズル洗浄液を供給するノズル洗浄液供給管が設けられ
ていることを特徴としている。In a second aspect of the combustion type abatement apparatus according to the present invention, the main burner in the abatement apparatus has an annular shape having a fuel gas ejection nozzle and a fuel combustion supporting gas ejection nozzle on an inner peripheral surface. A pipe for supplying fuel-combustion gas to the fuel-combustion gas ejection nozzle.
A nozzle cleaning liquid supply pipe for supplying a nozzle cleaning liquid is provided.
【０００８】本発明の第３の構成は、一端が蓋体によっ
て閉塞され、他端開口が冷却筒内に連通する燃焼筒と、
前記閉塞された一端から燃焼筒内に被処理ガスを導入す
る被処理ガス導入ノズルと、前記燃焼筒内で前記被処理
ガスを燃焼及び／又は熱分解するための火炎を形成する
メインバーナーと、該メインバーナーを着火させるパイ
ロットバーナーとを備えた燃焼式除害装置であって、前
記メインバーナーは、内周面に燃料ガス噴出ノズル及び
燃料燃焼用支燃性ガス噴出ノズルを有する環状体であ
り、前記燃焼筒は、軸方向に配設した周壁体と、前記メ
インバーナーとで形成され、少なくとも、該メインバー
ナーよりも下流の周壁体は、多孔質材料で形成された内
壁を有する二重壁構造に形成され、該二重壁構造に形成
された周壁体の外壁には、前記内壁を通じて燃焼筒内に
噴出される被処理ガス酸化用支燃性ガスを前記二重壁間
に供給する酸化用支燃性ガス供給管が接続されているこ
とを特徴としている。According to a third aspect of the present invention, there is provided a combustion cylinder having one end closed by a lid and the other end opening communicating with the inside of a cooling cylinder.
A target gas introduction nozzle for introducing a target gas into the combustion cylinder from the closed end, a main burner for forming a flame for burning and / or thermally decomposing the target gas in the combustion cylinder, A combustion type abatement apparatus comprising a pilot burner for igniting the main burner, wherein the main burner is an annular body having a fuel gas ejection nozzle and a fuel combustion supporting gas ejection nozzle on an inner peripheral surface. The combustion cylinder is formed of a peripheral wall disposed in the axial direction and the main burner, and at least a peripheral wall downstream of the main burner has a double wall having an inner wall formed of a porous material. The outer wall of the peripheral wall formed in the double-walled structure is provided with an oxidation supporting gas for oxidizing the gas to be processed, which is jetted into the combustion cylinder through the inner wall, between the double-walled. Support It is characterized by sexual gas supply pipe is connected.
【０００９】さらに、上記第３の構成において、前記メ
インバーナーが、内周面がＶ字状の周溝に形成され、該
Ｖ字状の周溝を形成する一方の面に前記燃料ガス噴出ノ
ズルが、他方の面に前記燃料燃焼用支燃性ガス噴出ノズ
ルがそれぞれ開口し、両噴出ノズルのノズル軸が燃焼筒
内で交差しているものであること、前記メインバーナー
の燃料燃焼用支燃性ガス噴出ノズルに燃料燃焼用支燃性
ガスを供給する管路に、ノズル洗浄液を供給するノズル
洗浄液供給管が設けられていること、前記燃焼筒のメイ
ンバーナーよりも上流側の周壁体は、前記被処理ガス酸
化用支燃性ガスが燃焼筒内に供給されない構造であるこ
とを特徴としている。さらに、前記被処理ガス酸化用支
燃性ガスは、空気、空気と酸素との混合ガス、あるい
は、酸素ガスのいずれかが好ましく、前記燃料ガスは、
炭化水素又は水素ガスのいずれかであることが好まし
い。Further, in the third configuration, the main burner has an inner peripheral surface formed in a V-shaped peripheral groove, and the fuel gas ejection nozzle is formed on one surface forming the V-shaped peripheral groove. However, the fuel-burning supporting gas ejection nozzles are respectively opened on the other surface, and the nozzle axes of both the ejection nozzles intersect in the combustion cylinder. A nozzle cleaning liquid supply pipe for supplying a nozzle cleaning liquid is provided in a pipe for supplying a fuel-combustion supporting gas to the reactive gas ejection nozzle, and a peripheral wall body upstream of a main burner of the combustion cylinder is provided with: The structure is characterized in that the oxidizing combustion supporting gas is not supplied into the combustion cylinder. Further, the gas to be treated for oxidation is preferably air, a mixed gas of air and oxygen, or oxygen gas, and the fuel gas is preferably
Preferably, it is either hydrocarbon or hydrogen gas.
【００１０】また、本発明の燃焼式除害装置用バーナー
は、一端が蓋体によって閉塞され、他端開口が冷却筒内
に連通する燃焼筒と、前記閉塞された一端から燃焼筒内
に被処理ガスを導入する被処理ガス導入ノズルと、前記
燃焼筒内で前記被処理ガスを燃焼及び／又は熱分解する
ための火炎を形成するメインバーナーと、該メインバー
ナーを着火させるパイロットバーナーとを備えた燃焼式
除害装置の前記メインバーナーとして用いるのに好適な
バーナーであって、内周面にＶ字状の周溝が形成された
環状体からなり、該Ｖ字状の周溝を形成する一方の面に
燃料ガス噴出ノズルが、他方の面に燃料燃焼用支燃性ガ
ス噴出ノズルがそれぞれ開口し、両噴出ノズルのノズル
軸が前記燃焼筒内で交差していることを特徴としてい
る。In the burner for a combustion type abatement apparatus of the present invention, one end of the burner is closed by a lid, and the other end of the burner communicates with the inside of the cooling cylinder. A processing gas introduction nozzle for introducing a processing gas, a main burner for forming a flame for burning and / or thermally decomposing the processing gas in the combustion cylinder, and a pilot burner for igniting the main burner; A burner suitable for use as the main burner of the combustion type abatement apparatus, wherein the burner is formed of an annular body having a V-shaped peripheral groove formed on an inner peripheral surface thereof to form the V-shaped peripheral groove. A fuel gas ejection nozzle is opened on one surface and a fuel-combustion gas ejection nozzle for fuel combustion is opened on the other surface, and the nozzle axes of both ejection nozzles intersect in the combustion cylinder.
【００１１】さらに、燃焼式除害装置用バーナーの他の
構成は、燃料ガス噴出ノズルと燃料燃焼用支燃性ガス噴
出ノズルとを備えるとともに、該燃料燃焼用支燃性ガス
噴出ノズルに燃料燃焼用支燃性ガスを供給する管路に、
ノズル洗浄液を供給するノズル洗浄液供給管が設けられ
ていることを特徴としている。Further, another configuration of the burner for a combustion type abatement apparatus includes a fuel gas ejection nozzle and a fuel combustion supporting gas ejection nozzle, and the fuel combustion supporting gas ejection nozzle includes a fuel combustion nozzle. Pipe for supplying combustion supporting gas,
A nozzle cleaning liquid supply pipe for supplying a nozzle cleaning liquid is provided.
【００１２】[0012]
【発明の実施の形態】以下、本発明の第１形態例を図１
乃至図５に基づいてさらに詳しく説明する。本発明の原
理は、高温火炎中に被処理ガスを直に導入して燃焼及び
／又は分解燃焼させるものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
This will be described in more detail with reference to FIGS. The principle of the present invention is to directly introduce a gas to be treated into a high-temperature flame to burn and / or decompose and burn.
【００１３】本形態例に係る燃焼式除害装置は、図１に
示されるように、一端（上端）が蓋体１によって閉塞さ
れ、他端（下端）開口が冷却筒２内に連通する燃焼筒３
と、前記蓋体１に取付けられて、燃焼筒３内に被処理ガ
ス（例えば、半導体やＬＣＤの製造装置から排出される
排ガス）を導入する被処理ガス導入ノズル４と、前記燃
焼筒３内で被処理ガスを燃焼及び／又は熱分解するため
の火炎を形成するメインバーナー５と、前記蓋体１の中
心に取付けられて、該メインバーナー５を着火させるパ
イロットバーナー６とを備えている。As shown in FIG. 1, the combustion type abatement apparatus according to the present embodiment has a combustion chamber in which one end (upper end) is closed by a lid 1 and the other end (lower end) communicates with the inside of the cooling cylinder 2. Cylinder 3
A gas to be treated nozzle 4 attached to the lid 1 for introducing a gas to be treated (for example, exhaust gas discharged from a semiconductor or LCD manufacturing apparatus) into the combustion cylinder 3; A main burner 5 for forming a flame for burning and / or thermally decomposing the gas to be treated, and a pilot burner 6 attached to the center of the lid 1 to ignite the main burner 5.
【００１４】前記メインバーナー５は、図２及び図３に
示すように、内周面がＶ字状の周溝に形成された環状体
であって、該Ｖ字状の周溝を形成する一方の面に燃料ガ
ス噴出ノズル５１が、他方の面に燃料燃焼用支燃性ガス
噴出ノズル５２がそれぞれ開口し、両噴出ノズル５１，
５２のノズル軸は、該バーナー５の中心方向に向けられ
るとともに、燃焼筒３内で交差している。また、両噴出
ノズル５１，５２の径及び数は、特に制限されるもので
はなく、被処理ガスの燃焼に必要な熱量により決定すれ
ばよいが、本形態例の両噴出ノズル５１，５２は、周方
向に５度の等間隔で各７２孔形成されている。さらに、
噴出ノズル５１，５２は、該バーナー５内に形成された
環状空間部５３，５４にそれぞれ連通している。環状空
間部５３には燃料ガス供給管５５が、環状空間部５４に
は燃料燃焼用支燃性ガス供給管５６がそれぞれ連通して
いる。As shown in FIGS. 2 and 3, the main burner 5 is an annular body having an inner peripheral surface formed in a V-shaped peripheral groove. A fuel gas ejection nozzle 51 is opened on one side, and a fuel combustion supporting gas ejection nozzle 52 is opened on the other side.
The nozzle axis 52 is directed toward the center of the burner 5 and crosses inside the combustion tube 3. Further, the diameter and the number of the two ejection nozzles 51 and 52 are not particularly limited, and may be determined according to the amount of heat required for the combustion of the gas to be treated. 72 holes are formed at equal intervals of 5 degrees in the circumferential direction. further,
The ejection nozzles 51 and 52 communicate with annular spaces 53 and 54 formed in the burner 5, respectively. A fuel gas supply pipe 55 communicates with the annular space 53, and a fuel combustion supporting gas supply pipe 56 communicates with the annular space 54.
【００１５】前記燃料ガス供給管５５から供給される燃
料ガスとしては、ＬＰＧのような炭化水素や、水素ガス
が用いられ、前記燃料燃焼用支燃性ガス供給管５６から
供給される支燃性ガスとしては、空気、空気と酸素ガス
との混合ガス、あるいは、酸素ガスのいずれかが用いら
れる。前記燃料ガス噴出ノズル５１から噴出する燃料ガ
ス及び燃料燃焼用支燃性ガス噴出ノズル５２から噴出す
る支燃性ガスは、燃焼筒３内の径方向中心に向かうに連
れて拡散しながら交差することにより効率よく混合し、
パイロットバーナー６のパイロット火炎にて着火し、燃
焼筒３内を径方向に横切る平面状の高温火炎を形成す
る。このような平面状の火炎を形成することにより、被
処理ガスが必ず火炎を横切るので、確実な燃焼及び／又
は熱分解を行うことができる。As the fuel gas supplied from the fuel gas supply pipe 55, a hydrocarbon gas such as LPG or hydrogen gas is used, and the fuel supporting property supplied from the fuel combustion supporting gas supply pipe 56 is used. As the gas, any of air, a mixed gas of air and oxygen gas, or oxygen gas is used. The fuel gas ejected from the fuel gas ejection nozzle 51 and the combustion supporting gas ejected from the fuel combustion supporting gas ejection nozzle 52 intersect while diffusing toward the radial center in the combustion tube 3. Mixing more efficiently,
It is ignited by the pilot flame of the pilot burner 6 to form a planar high-temperature flame that crosses the inside of the combustion tube 3 in the radial direction. By forming such a planar flame, the gas to be treated always crosses the flame, so that reliable combustion and / or thermal decomposition can be performed.
【００１６】なお、本形態例では、メインバーナー５の
内周面をＶ字状の周溝に形成して、燃料ガス噴出ノズル
５１と燃料燃焼用支燃性ガス噴出ノズル５２とを、それ
ぞれのノズル軸が交差するように設けたが、内周面を平
面状に形成し、燃料ガス噴出ノズル５１と燃料燃焼用支
燃性ガス噴出ノズル５２とをバーナー中心方向に平行に
設けるようにしてもよく、外方に凸の曲面としてもよ
い。このように、燃料ガス及び燃料燃焼用支燃性ガスを
それぞれ別のノズルから噴出するように設けることによ
り、高熱量を得ようとする場合等に支燃性ガス中の酸素
濃度が高くても逆火が起こらず安全である。また、メイ
ンバーナー５の使用個数に制限はないが、燃焼効率向上
のため２個以上設けることが好ましい。In this embodiment, the inner peripheral surface of the main burner 5 is formed in a V-shaped peripheral groove, and the fuel gas ejection nozzle 51 and the fuel combustion supporting gas ejection nozzle 52 are connected to each other. Although the nozzle axes are provided so as to intersect with each other, the inner peripheral surface may be formed in a planar shape, and the fuel gas ejection nozzle 51 and the fuel combustion supporting gas ejection nozzle 52 may be provided in parallel with the burner center direction. It may be a curved surface that is convex outward. In this way, by providing the fuel gas and the fuel-combustion supporting gas so as to be ejected from different nozzles, even when the oxygen concentration in the supporting gas is high when a high calorie is to be obtained. It is safe without flashback. There is no limitation on the number of main burners 5 to be used, but it is preferable to provide two or more main burners 5 for improving combustion efficiency.
【００１７】前記パイロットバーナー６には、例えば、
ＬＰＧ（燃料ガス）と空気（支燃性ガス）との混合ガス
が供給される。また、パイロットバーナー６は、そのパ
イロット火炎の先端がメインバーナー５の設置レベル位
置に届くように設定する。前記被処理ガス導入ノズル４
は、１個以上あればよく、本形態例では、全部は図示さ
れていないが、４個設けられている。The pilot burner 6 includes, for example,
A mixed gas of LPG (fuel gas) and air (combustible gas) is supplied. The pilot burner 6 is set so that the tip of the pilot flame reaches the installation level position of the main burner 5. The gas-to-be-treated nozzle 4
In this embodiment, four or more are provided, although not all are shown.
【００１８】前記燃焼筒３は、一端から他端（上流側か
ら下流側）に向かって配設した３つの周壁体３１，３
２，３３と、周壁体３１，３２間及び周壁体３２，３３
間に狭持されたメインバーナー５，５とで形成されてい
る。The combustion cylinder 3 includes three peripheral wall members 31 and 3 disposed from one end to the other end (from the upstream side to the downstream side).
2, 33, and between the peripheral wall bodies 31, 32 and between the peripheral wall bodies 32, 33
It is formed by main burners 5, 5 sandwiched between them.
【００１９】上流側のメインバーナー５より下流側の周
壁体３２，３３は、図４及び図５に示す如く、内壁３４
を被処理ガス酸化用支燃性ガスが通過する多孔質材料、
例えば、焼結金属で形成した同軸二重壁構造であって、
外壁３５には、内壁３４を通じて燃焼筒３内に被処理ガ
ス酸化用支燃性ガスを噴出させるために、前記二重壁間
３６に該支燃性ガスを供給するための酸化用支燃性ガス
供給管３７が接続されている。このように、周壁体３
２，３３の内壁３４を多孔質材料で形成することによ
り、ＳｉＨ４の燃焼やＣ２Ｆ６の分解燃焼用の酸化ガス
となる被処理ガス酸化用支燃性ガスが該内壁３４を通じ
て噴出し、例えば、ＳｉＨ４の燃焼により生成するＳｉ
Ｏ２粉末の内壁３４への付着を防止する。As shown in FIGS. 4 and 5, the peripheral walls 32, 33 downstream of the upstream main burner 5 have inner walls 34.
A porous material through which the oxidizing combustion supporting gas passes,
For example, a coaxial double-wall structure formed of a sintered metal,
The outer wall 35 is provided with an oxidizing supporter for supplying the oxidizing supporter between the double walls 36 in order to jet the oxidizing supporter gas into the combustion tube 3 through the inner wall 34. The gas supply pipe 37 is connected. Thus, the surrounding wall 3
By forming the inner walls 34 of the 2, 33 with a porous material, the gas to be treated, which becomes the oxidizing gas for combustion of SiH 4 and decomposition and combustion of C 2 F 6 , is spouted through the inner wall 34. , For example, Si generated by combustion of SiH 4
O 2 powder is prevented from adhering to the inner wall 34.
【００２０】また、メインバーナー５の燃焼により内壁
３１の温度が、内壁３４に使用している多孔質材料の耐
熱温度以上になる場合等には、内壁３４の内側に、本形
態例の如く、セラミックフォーム等の耐熱性多孔質材料
からなる断熱体７を組込んでもよい。前記被処理ガス酸
化用支燃性ガスは、空気、空気及び酸素ガスの混合ガ
ス、又は酸素ガスのいずれかが用いられる。なお、３８
は被処理ガス酸化用支燃性ガス拡散用の邪魔板、３９は
燃焼筒３内の温度測定用ポートである。In the case where the temperature of the inner wall 31 becomes higher than the heat resistant temperature of the porous material used for the inner wall 34 due to the combustion of the main burner 5, for example, the inside of the inner wall 34 is provided as in the present embodiment. A heat insulator 7 made of a heat-resistant porous material such as a ceramic foam may be incorporated. Either air, a mixed gas of air and oxygen gas, or oxygen gas is used as the oxidizing combustion supporting gas. 38
Reference numeral 39 denotes a baffle plate for oxidizing the gas to be treated and a diffusion port for the combustible gas.
【００２１】前記蓋体１と該蓋体１に最も隣接する上流
側のメインバーナー５との間の周壁体３１は、燃焼筒３
内に導入された被処理ガスがメインバーナー５の火炎に
触れる前の位置に配設されているから、例えばＳｉＯ２
粉末の成長が少なく、内壁面への粉末の付着も少ない。
このため、周壁体３１は、前記被処理ガス酸化用支燃性
ガスが燃焼筒３内に供給されない構造とすることができ
る。すなわち、一重壁構造、又は、本形態例の如く、内
壁３４ａが通常の金属で形成された二重壁構造であって
もよい。The peripheral wall 31 between the lid 1 and the upstream main burner 5 closest to the lid 1
Since the gas to be treated introduced into the inside is disposed at a position before touching the flame of the main burner 5, for example, SiO 2
Less powder growth and less powder adhesion to inner wall surface.
For this reason, the peripheral wall body 31 can be configured to have a structure in which the above-mentioned oxidizing combustion supporting gas is not supplied into the combustion tube 3. That is, a single wall structure or a double wall structure in which the inner wall 34a is formed of a normal metal as in the present embodiment may be used.
【００２２】なお、例えば、被処理ガス中に酸素ガスが
含まれていると、被処理ガス中に含まれている、例え
ば、ＳｉＨ４が被処理ガス導入ノズル４内で燃焼して、
該ノズル４の先端にＳｉＯ２粉末が付着成長する。この
ような場合には、内壁３４ａを焼結金属などの多孔質材
料で構成し、二重壁間３６ａに不活性ガスを供給し、多
孔質の内壁３４ａから燃焼筒３内に不活性ガスを噴出さ
せることにより、ノズル４の先端へのＳｉＯ２粉末の付
着を防止するようにしてもよい。If the gas to be treated contains oxygen gas, for example, the SiH 4 contained in the gas to be treated, for example, is burned in the gas introduction nozzle 4 to be treated.
SiO 2 powder adheres and grows on the tip of the nozzle 4. In such a case, the inner wall 34a is made of a porous material such as a sintered metal, and an inert gas is supplied between the double walls 36a. The ejection may prevent the SiO 2 powder from adhering to the tip of the nozzle 4.
【００２３】燃焼筒３の他端は、冷却筒２の有底筒状の
冷却室２１の上部開口に接続している。この冷却筒２
は、前記冷却室２１と、該冷却室２１の周壁に接続する
冷却ガス導入管２２と、該導入管２２と対向する周壁に
接続する処理済ガス排出管２３とを有し、該排出管２３
は、例えば、処理済ガスを洗浄処理する等のスクラバー
（図示せず）に接続している。前記燃焼筒３は、その軸
方向が冷却筒２の冷却ガス流方向に直交するよう設けら
れている。The other end of the combustion tube 3 is connected to an upper opening of a bottomed cylindrical cooling chamber 21 of the cooling tube 2. This cooling cylinder 2
Has the cooling chamber 21, a cooling gas introduction pipe 22 connected to a peripheral wall of the cooling chamber 21, and a treated gas discharge pipe 23 connected to a peripheral wall facing the introduction pipe 22.
Is connected, for example, to a scrubber (not shown) for cleaning the treated gas. The combustion cylinder 3 is provided so that its axial direction is orthogonal to the direction of the cooling gas flow of the cooling cylinder 2.
【００２４】そして、燃焼筒３内に導入された被処理ガ
スは、処理済ガス排出管２３側に接続されているブロワ
ー（図示せず）の吸引作用により、燃焼筒３内を冷却筒
２に向かって流れ、その間にメインバーナー５の平面状
の高温火炎を通過して、被処理ガス中の有害成分が燃焼
及び／又は熱分解し、前記吸引作用によって冷却ガス導
入管２２から冷却室２１内に流入した冷却空気と合流し
て冷却され、処理済ガス排出管２３から冷却空気と共に
排出される。The gas to be treated introduced into the combustion tube 3 is drawn into the cooling tube 2 by the suction action of a blower (not shown) connected to the treated gas discharge pipe 23. The harmful components in the gas to be treated are burned and / or thermally decomposed while passing through the planar high-temperature flame of the main burner 5 during the flow. Is cooled by merging with the cooling air that has flowed into the processing gas discharge pipe 23 and discharged together with the cooling air.
【００２５】図６は本発明の第２形態例を燃焼式除害装
置の縦断面図である。なお、以下の説明において、前記
第１形態例の構成要素と同一の構成要素には同一の符号
を付して詳細な説明は省略する。FIG. 6 is a longitudinal sectional view of a combustion type abatement apparatus according to a second embodiment of the present invention. In the following description, the same components as those of the first embodiment will be denoted by the same reference numerals, and detailed description will be omitted.
【００２６】本形態例に示す燃焼筒３は、前記形態例と
同様に、２つのメインバーナー５，５と、このメインバ
ーナー５を挟持するように設けられた３つの周壁体３８
とにより形成されている。各周壁体３８は、内部にガス
通路３８ａを有する二重壁構造で形成されており、周壁
体外壁には冷却ガス導入管３９と冷却ガス導出管（図示
せず）とがそれぞれ接続されている。この周壁体３８
は、冷却ガス導入管３９からガス通路３８ａに空気等の
ガスを導入して冷却ガス導出管から導出することによ
り、周壁体内壁の温度上昇を防止するようにしている。The combustion cylinder 3 shown in the present embodiment has two main burners 5, 5 and three peripheral wall members 38 provided so as to sandwich the main burner 5 in the same manner as in the above embodiment.
Are formed. Each peripheral wall body 38 is formed in a double wall structure having a gas passage 38a therein, and a cooling gas introduction pipe 39 and a cooling gas outlet pipe (not shown) are connected to the outer wall of the peripheral wall body, respectively. . This peripheral wall body 38
By introducing a gas such as air from the cooling gas introduction pipe 39 into the gas passage 38a and extracting the gas from the cooling gas discharge pipe, the temperature of the inner wall of the peripheral wall is prevented from rising.
【００２７】また、冷却ガスとして前記支燃性ガスを使
用し、ガス通路３８ａに導入されて周壁体内壁との熱交
換で昇温し、冷却ガス導出管から導出された高温の冷却
ガスを前記燃料燃焼用支燃性ガス供給管５６に供給して
前記メインバーナー５の燃料燃焼用支燃性ガス噴出ノズ
ル５２から噴出させることにより、メインバーナー５の
火炎温度を上昇させることができ、より効果的な燃焼除
害を行うことができる。The above-mentioned combustible gas is used as a cooling gas, and is introduced into the gas passage 38a to increase the temperature by heat exchange with the inner wall of the peripheral wall. The flame temperature of the main burner 5 can be increased by supplying the fuel to the fuel-burning supporting gas supply pipe 56 and ejecting the fuel from the fuel-burning supporting gas supply nozzle 52 of the main burner 5. Combustion abatement can be performed.
【００２８】さらに、本形態例に示すメインバーナー５
では、燃料燃焼用支燃性ガス噴出ノズル５２に支燃性ガ
スを供給する前記燃料燃焼用支燃性ガス供給管５６に、
ノズル洗浄液を供給するノズル洗浄液供給管５７を接続
している。ノズル洗浄液は、メインバーナー５のノズル
部に付着したＳｉＯ２等の粉末を洗い流すためのもので
あって、例えば、水やアルカリ水溶液等の液体を、付着
物の性状に合わせて選択することができる。Further, the main burner 5 shown in this embodiment
In the fuel combustion supporting gas supply pipe 56 for supplying a supporting gas to the fuel burning supporting gas ejection nozzle 52,
The nozzle cleaning liquid supply pipe 57 for supplying the nozzle cleaning liquid is connected. The nozzle cleaning liquid is for washing powder such as SiO 2 adhered to the nozzle portion of the main burner 5, and for example, a liquid such as water or an alkaline aqueous solution can be selected according to the properties of the adhered substance. .
【００２９】このようにノズル洗浄液供給管５７を接続
しておくことにより、長時間の運転でメインバーナー５
の内周面やノズル先端部に粉末が付着しても、燃料燃焼
用支燃性ガス供給管５６の弁５６Ｖを閉じてノズル洗浄
液供給管５７の弁５７Ｖを開き、燃料燃焼用支燃性ガス
噴出ノズル５２にノズル洗浄液を供給することにより、
燃焼筒３を分解することなく、メインバーナー５の内周
面に付着した粉末を洗浄除去することができる。これに
より、保守に要するコストを大幅に低減することができ
る。また、既存の燃焼式除害装置にも配管の増設だけで
簡単に適用することができる。By connecting the nozzle cleaning liquid supply pipe 57 in this way, the main burner 5 can be operated for a long time.
Even if powder adheres to the inner peripheral surface of the nozzle or the tip of the nozzle, the valve 56V of the fuel combustion supporting gas supply pipe 56 is closed and the valve 57V of the nozzle cleaning liquid supply pipe 57 is opened, and the fuel combustion supporting gas is opened. By supplying the nozzle cleaning liquid to the ejection nozzle 52,
The powder adhering to the inner peripheral surface of the main burner 5 can be washed and removed without disassembling the combustion tube 3. Thus, the cost required for maintenance can be significantly reduced. Further, the present invention can be easily applied to an existing combustion type abatement apparatus only by adding pipes.
【００３０】なお、ノズル洗浄液で洗浄した後は、弁５
６Ｖ，５７Ｖを切換えて燃料燃焼用支燃性ガス供給管５
６に支燃性ガスを流し、燃料燃焼用支燃性ガス噴出ノズ
ル５２内からノズル洗浄液を排出すればよいが、支燃性
ガスとして酸素ガスのような高価なガスを使用している
場合は、弁５８Ｖを設けたパージガス導入管５８を燃料
燃焼用支燃性ガス供給管５６に接続しておき、このパー
ジガス導入管５８からパージガスとして安価なガス、例
えば圧縮空気等を高速流で、あるいは高温で供給するこ
とにより、ノズル洗浄液を経済的にかつ効率よくパージ
することができる。また、洗浄液と空気等とを混合した
状態で噴出させることもできる。After cleaning with the nozzle cleaning liquid, the valve 5
Switching between 6V and 57V, the combustion supporting gas supply pipe 5 for fuel combustion
It is only necessary to flow a supporting gas to 6 and discharge the nozzle cleaning liquid from inside the fuel-burning supporting gas ejection nozzle 52. However, when an expensive gas such as oxygen gas is used as the supporting gas. , A purge gas introduction pipe 58 provided with a valve 58V is connected to the fuel-combustion supporting gas supply pipe 56, and an inexpensive gas such as compressed air is supplied as a purge gas from the purge gas introduction pipe 58 at a high speed or at a high temperature. , The nozzle cleaning liquid can be economically and efficiently purged. Further, the cleaning liquid and the air can be ejected in a mixed state.
【００３１】また、このようなノズル洗浄液供給管は、
燃料ガス供給管５５に接続しておくことも可能である
が、安全性を考慮すると、上述のように燃料燃焼用支燃
性ガス供給管５６に接続しておくことが好ましい。Further, such a nozzle cleaning liquid supply pipe is
Although it is possible to connect to the fuel gas supply pipe 55, it is preferable to connect to the fuel combustion supporting gas supply pipe 56 as described above in consideration of safety.
【００３２】[0032]
【実施例】実施例１ 図１〜５に示す構成の燃焼式除害装置を使用した。メイ
ンバーナー５は、外径３５０ｍｍ，内径１５５ｍｍ，厚
さ１６ｍｍのステンレス製で、ドーナツ形状をしてい
る。該バーナー５の燃料ガス噴出ノズル５１の孔径は
１．６ｍｍで、燃料燃焼用支燃性ガス噴出ノズル５２の
孔径は２．２ｍｍで、孔数は各７２孔である。また、両
ガス噴出面のＶ字溝の角度は４０度で、両噴出ノズル５
１，５２のノズル軸は、燃焼筒３内で交差するように、
それぞれ水平面に対して５度傾いている。EXAMPLE 1 A combustion type abatement apparatus having the structure shown in FIGS. 1 to 5 was used. The main burner 5 is made of stainless steel having an outer diameter of 350 mm, an inner diameter of 155 mm, and a thickness of 16 mm, and has a donut shape. The hole diameter of the fuel gas ejection nozzle 51 of the burner 5 is 1.6 mm, the hole diameter of the fuel-burning supporting gas ejection nozzle 52 is 2.2 mm, and the number of holes is 72 each. The angle of the V-shaped groove on both gas ejection surfaces was 40 degrees, and both ejection nozzles 5
1, 52 nozzle axes intersect in the combustion cylinder 3,
Each is inclined 5 degrees to the horizontal plane.
【００３３】上流側のメインバーナーより下流側の周壁
体３２，３３は、外径２００ｍｍ，厚さ３ｍｍのステン
レス製焼結金属を内壁３ｅに、外径２６７．４ｍｍのス
テンレス鋼を外壁３ｆに用いた二重壁構造であり、各周
壁体３２，３３の長さは８４ｍｍである。また、焼結金
属製内壁３４の内側には、断熱体７として外径２００ｍ
ｍ，内径１５０ｍｍのセラミックフォーム（（株）ブリ
ジストン製）を組込んだ。上流側のメインバーナー５よ
り上流に位置する周壁体３１は、外径２６７．４ｍｍ及
び２１６．３ｍｍのステンレス鋼を、それぞれ外壁及び
内壁３４ａに用いた二重壁構造である。The peripheral wall bodies 32 and 33 downstream of the upstream main burner use stainless steel sintered metal having an outer diameter of 200 mm and a thickness of 3 mm for the inner wall 3e and stainless steel having an outer diameter of 267.4 mm for the outer wall 3f. And the length of each peripheral wall body 32, 33 is 84 mm. Further, inside the sintered metal inner wall 34, an outer diameter of 200 m
m, a ceramic foam having an inner diameter of 150 mm (manufactured by Bridgestone Corporation) was incorporated. The peripheral wall body 31 located upstream of the main burner 5 on the upstream side has a double wall structure using stainless steel having an outer diameter of 267.4 mm and 216.3 mm for the outer wall and the inner wall 34a, respectively.
【００３４】冷却筒２の冷却室２１は、外径２６７．４
ｍｍ，内径２６０．６ｍｍ，高さ１７０ｍｍ、冷却ガス
導入管２２及び処理済ガス排出管２３は、外径１１４．
３ｍｍ，内径１１０．１ｍｍであり、冷却筒２の冷却空
気の流量は毎分１６０００リットル，流速は毎秒２８ｍ
とした。The cooling chamber 21 of the cooling cylinder 2 has an outer diameter of 267.4.
mm, inner diameter 260.6 mm, height 170 mm, the cooling gas introduction pipe 22 and the treated gas discharge pipe 23 have an outer diameter 114.
3 mm, inner diameter 110.1 mm, flow rate of cooling air of cooling cylinder 2 is 16000 liters per minute, flow rate is 28 m per second
And
【００３５】パイロットバーナー６は（株）ナイガイの
ＰＰ−２−Ｌを使用し、このパイロットバーナーに、毎
分３リットルのＬＰＧ（燃料ガス）と毎分６２．５リッ
トルの空気（燃料燃焼用の支燃性ガス）の混合ガス供給
し、付属のスパークロッドにより点火した。The pilot burner 6 uses PP-2-L of Naigai Co., Ltd. This pilot burner is provided with 3 liters of LPG (fuel gas) per minute and 62.5 liters of air per minute (for fuel combustion). A mixed gas of a supporting gas was supplied, and the mixture was ignited by an attached spark rod.
【００３６】被処理ガス導入ノズル４は、外径４２．７
ｍｍのものを４つ用い、各ノズル４に、毎分５０リット
ルのＮ２、すなわち、合計毎分２００リットルのＮ２を
供給して燃焼筒３内に導入するとともに、周壁体３２，
３３の二重壁間３６には、それぞれ標準状態（０℃、１
気圧）換算で毎分３００リットルの空気（内壁への粉末
付着防止兼被処理ガス酸化用支燃性ガス）を供給し、内
壁３６及び断熱体７を介して燃焼筒３内に通気した後、
２つのメインバーナー５，５それぞれに、毎分１０リッ
トルのＬＰＧ（燃料ガス）と、毎分１３３リットルの空
気と毎分１４リットルの酸素とからなる混合ガス（燃料
燃焼用支燃性ガス）とをそれぞれ供給してパイロットバ
ーナー６により点火した。The target gas introduction nozzle 4 has an outer diameter of 42.7.
The nozzle 4 is supplied with 50 liters of N 2 per minute, that is, 200 liters of N 2 per minute in total, and introduced into the combustion cylinder 3.
Each of the 33 double-walls 36 has a standard condition (0 ° C., 1
After supplying 300 liters of air (combustion supporting gas for preventing powder adhesion to the inner wall and oxidizing the gas to be treated) per minute in terms of (atmospheric pressure), and ventilating the inside of the combustion cylinder 3 through the inner wall 36 and the heat insulator 7,
For each of the two main burners 5, 5, 10 liters per minute of LPG (fuel gas) and a mixed gas consisting of 133 liters of air per minute and 14 liters of oxygen per minute (fuel supporting gas for fuel combustion) Was supplied to each of the tanks and ignited by the pilot burner 6.
【００３７】その後、被処理ガス導入ノズル４のＮ２を
ＳｉＨ４を２％含むＮ２ガスに切り替え、毎分５０リッ
トルずつ合計２００リットル供給して８時間連続燃焼処
理させたところ、燃焼筒３の他端出口部でのＳｉＨ４濃
度は、常に許容濃度（５ｐｐｍ）以下であった。また、
燃焼処理停止後、燃焼筒３を開放点検したところ、被処
理ガス導入ノズル部及び内壁へのＳｉＯ２粉末の付着は
みられなかった。After that, N 2 of the gas introducing nozzle 4 was switched to N 2 gas containing 2% of SiH 4, and a total of 200 liters were supplied at a rate of 50 liters per minute to perform continuous combustion for 8 hours. The SiH 4 concentration at the outlet at the other end was always below the allowable concentration (5 ppm). Also,
After the combustion process was stopped, when the combustion cylinder 3 was opened and inspected, adhesion of the SiO 2 powder to the gas introduction nozzle portion and the inner wall of the gas to be treated was not observed.
【００３８】実施例２ 実施例１と同じ装置及び同じユーティリティ条件におい
て、被処理ガスとして、ＮＦ３を２％含むＮ２ガスを毎
分５０リットルずつ合計毎分２００リットルを導入して
燃焼処理させたところ、燃焼筒３の出口部でのＮＦ３濃
度は許容濃度（１０ｐｐｍ）以下であった。Embodiment 2 Under the same apparatus and under the same utility conditions as in Embodiment 1, as a gas to be treated, N 2 gas containing 2% of NF 3 was introduced at a rate of 50 liters per minute for a total of 200 liters per minute for combustion treatment. As a result, the NF 3 concentration at the outlet of the combustion tube 3 was lower than the allowable concentration (10 ppm).
【００３９】実施例３ 実施例１と同じ装置及び同じユーティリティ条件におい
て、被処理ガスとして、Ｃ２Ｆ６を２％含むＮ２ガスを
毎分５０リットルずつ合計毎分２００リットルを導入し
て分解燃焼処理させたところ、本装置での分解率は９７
％以上であった。Example 3 Under the same apparatus and under the same utility conditions as in Example 1, as a gas to be treated, N 2 gas containing 2% of C 2 F 6 was introduced at a rate of 50 liters per minute for a total of 200 liters per minute for decomposition. After the combustion treatment, the decomposition rate of this device was 97
% Or more.
【００４０】実施例４ 燃料燃焼用支燃性ガス供給管５６にノズル洗浄液供給管
５７を接続した以外は、実施例１と同じ装置及び条件
で、ＳｉＨ４の燃焼処理を連続して１６８時間行った
後、燃焼筒３の内部を点検したところ、メインバーナー
５のノズル先端部に５ｍｍ程度の厚さでＳｉＯ２粉末が
付着していた。このままの状態でノズル洗浄液供給管５
７から水道水を供給し、燃料燃焼用支燃性ガス噴出ノズ
ル５２から１０分間噴出させた。その結果、ノズル先端
部のＳｉＯ２粉末を除去することができた。Example 4 The same apparatus and conditions as in Example 1 were used except that the nozzle cleaning liquid supply pipe 57 was connected to the fuel combustion supporting gas supply pipe 56, and the SiH 4 combustion treatment was continuously performed for 168 hours. After that, when the inside of the combustion tube 3 was inspected, it was found that SiO 2 powder had adhered to the tip of the nozzle of the main burner 5 with a thickness of about 5 mm. In this state, the nozzle cleaning liquid supply pipe 5
7. Tap water was supplied from No. 7 and the tap water was jetted from the fuel-combustion gas jet nozzle 52 for fuel combustion for 10 minutes. As a result, the SiO 2 powder at the tip of the nozzle could be removed.
【００４１】[0041]
【発明の効果】以上に説明したように、本発明によれ
ば、燃焼筒を横切る平面状の火炎が形成されるので、可
燃性有害ガス及び支燃性有害ガスを許容濃度以下にまで
効率よく燃焼処理でき、かつ、不燃性ガスを高効率に分
解燃焼でき、地球環境に影響を及ぼす有害ガスの排出量
を最小限に抑えることができる。さらに、ノズル洗浄液
を供給することにより、ノズル先端部の洗浄を装置を分
解せずに容易に行うことができる。また、燃焼筒内面へ
の生成粉末の付着を防止し、長期にわたり安定した燃焼
処理ができる。As described above, according to the present invention, since a flat flame is formed across the combustion cylinder, the flammable harmful gas and the supporting harmful gas can be efficiently reduced to the allowable concentration or less. Combustion treatment can be performed, and nonflammable gas can be decomposed and burned with high efficiency, and the emission of harmful gases that affect the global environment can be minimized. Further, by supplying the nozzle cleaning liquid, the nozzle tip can be easily cleaned without disassembling the apparatus. In addition, the generated powder is prevented from adhering to the inner surface of the combustion cylinder, and stable combustion treatment can be performed for a long time.
【００４２】さらに、メインバーナーとして用いる本発
明のバーナーは、燃焼筒を横切る方向の平面的な火炎を
形成することができ、確実な燃焼除害処理を行うことが
できる。また、拡散燃焼式であるので燃料燃焼用の支燃
性ガスに高濃度に酸素が含有されていても逆火が起こら
ず安全に燃焼処理できる。加えて、ノズル洗浄液を供給
するノズル洗浄液供給経路を設けておくことにより、ノ
ズル先端部に粉末が付着しても、装置を分解せずに容易
に除去することができる。Further, the burner of the present invention used as a main burner can form a flat flame in a direction crossing the combustion tube, and can perform a reliable combustion abatement process. In addition, because of the diffusion combustion type, even if oxygen is contained in the combustion supporting gas for fuel combustion at a high concentration, flashback does not occur and the combustion treatment can be performed safely. In addition, by providing a nozzle cleaning liquid supply path for supplying the nozzle cleaning liquid, even if powder adheres to the tip of the nozzle, it can be easily removed without disassembling the apparatus.
【図１】 本発明の燃焼式除害装置の第１形態例を示す
要部縦断正面図である。FIG. 1 is a vertical sectional front view of a main part showing a first embodiment of a combustion type abatement apparatus of the present invention.
【図２】 図１の燃焼式除害装置のメインバーナーの一
形態例を示す一部断面平面図である。FIG. 2 is a partial cross-sectional plan view showing one embodiment of a main burner of the combustion type abatement apparatus of FIG.
【図３】 図２のメインバーナーの断面正面図である。FIG. 3 is a sectional front view of the main burner of FIG. 2;
【図４】 図１の燃焼式除害装置の燃焼筒を形成する周
壁体の一形態例を示す一部断面平面図である。FIG. 4 is a partial cross-sectional plan view showing one embodiment of a peripheral wall forming a combustion cylinder of the combustion type abatement apparatus of FIG. 1;
【図５】 図４の周壁体の断面正面図である。FIG. 5 is a sectional front view of the peripheral wall body of FIG. 4;
【図６】 本発明の燃焼式除害装置の第２形態例を示す
要部縦断正面図である。FIG. 6 is a vertical sectional front view of a main part showing a second embodiment of the combustion type abatement apparatus of the present invention.
１…蓋体、２…冷却筒、３…燃焼筒、３１，３２，３３
…周壁体、３４，３４ａ…内壁、３５…外壁、３７…酸
化用支燃性ガス供給管、４…被処理ガス導入ノズル、５
…メインバーナー、５１…燃料ガス噴出ノズル、５２…
燃料燃焼用支燃性ガス噴出ノズル、５５…燃料ガス供給
管、５６…燃料燃焼用支燃性ガス供給管、５７…ノズル
洗浄液供給管、６…パイロットバーナー、７…断熱体DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Lid, 2 ... Cooling cylinder, 3 ... Combustion cylinder, 31, 32, 33
... peripheral wall body, 34, 34a ... inner wall, 35 ... outer wall, 37 ... oxidizing combustible gas supply pipe, 4 ... target gas introduction nozzle, 5
… Main burner, 51… Fuel gas jet nozzle, 52…
Fuel combustion supporting gas ejection nozzle, 55: fuel gas supply pipe, 56: fuel combustion supporting gas supply pipe, 57: nozzle cleaning liquid supply pipe, 6: pilot burner, 7: heat insulator
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 遠藤 文誉 東京都港区西新橋１−16−７ 日本酸素株 式会社内 Ｆターム(参考） 3K065 FA11 FB03 3K078 BA17 BA20 BA26 BA29 CA03 CA08 CA09 CA12 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (72) Inventor Fumihisa Endo 1-16-7 Nishi-Shimbashi, Minato-ku, Tokyo F-term within Nippon Sanso Corporation (reference) 3K065 FA11 FB03 3K078 BA17 BA20 BA26 BA29 CA03 CA08 CA09 CA12
Claims (8)
が冷却筒内に連通する燃焼筒と、前記閉塞された一端か
ら燃焼筒内に被処理ガスを導入する被処理ガス導入ノズ
ルと、前記燃焼筒内で前記被処理ガスを燃焼及び／又は
熱分解するための火炎を形成するメインバーナーと、該
メインバーナーを着火させるパイロットバーナーとを備
えた燃焼式除害装置であって、前記メインバーナーは、
内周面にＶ字状の周溝を形成した環状体であり、該Ｖ字
状の周溝を形成する一方の面に前記燃料ガス噴出ノズル
が、他方の面に前記燃料燃焼用支燃性ガス噴出ノズルが
それぞれ開口し、両噴出ノズルのノズル軸が燃焼筒内で
交差していることを特徴とする燃焼式除害装置。A combustion tube having one end closed by a lid and an opening at the other end communicating with a cooling cylinder; a processing gas introduction nozzle for introducing a processing gas into the combustion cylinder from the closed one end; A combustion type abatement apparatus comprising: a main burner for forming a flame for burning and / or thermally decomposing the gas to be treated in the combustion cylinder; and a pilot burner for igniting the main burner. Burners are
An annular body having a V-shaped peripheral groove formed on an inner peripheral surface, the fuel gas ejection nozzle is provided on one surface forming the V-shaped peripheral groove, and the fuel combustion supporting property is provided on the other surface. A combustion type abatement apparatus characterized in that the gas ejection nozzles are open, and the nozzle axes of both the ejection nozzles intersect in the combustion cylinder.
が冷却筒内に連通する燃焼筒と、前記閉塞された一端か
ら燃焼筒内に被処理ガスを導入する被処理ガス導入ノズ
ルと、前記燃焼筒内で前記被処理ガスを燃焼及び／又は
熱分解するための火炎を形成するメインバーナーと、該
メインバーナーを着火させるパイロットバーナーとを備
えた燃焼式除害装置であって、前記メインバーナーは、
内周面に燃料ガス噴出ノズル及び燃料燃焼用支燃性ガス
噴出ノズルを有する環状体であり、前記燃料燃焼用支燃
性ガス噴出ノズルに燃料燃焼用支燃性ガスを供給する管
路に、ノズル洗浄液を供給するノズル洗浄液供給管が設
けられていることを特徴とする燃焼式除害装置。2. A combustion cylinder having one end closed by a lid and an opening at the other end communicating with a cooling cylinder; a processing gas introduction nozzle for introducing a processing gas into the combustion cylinder from the closed one end; A combustion type abatement apparatus comprising: a main burner for forming a flame for burning and / or thermally decomposing the gas to be treated in the combustion cylinder; and a pilot burner for igniting the main burner. Burners are
An annular body having a fuel gas ejection nozzle and a fuel combustion supporting gas ejection nozzle on an inner peripheral surface, and a pipe for supplying the fuel combustion supporting gas to the fuel combustion supporting gas ejection nozzle, A combustion type abatement apparatus characterized by comprising a nozzle cleaning liquid supply pipe for supplying a nozzle cleaning liquid.
が冷却筒内に連通する燃焼筒と、前記閉塞された一端か
ら燃焼筒内に被処理ガスを導入する被処理ガス導入ノズ
ルと、前記燃焼筒内で前記被処理ガスを燃焼及び／又は
熱分解するための火炎を形成するメインバーナーと、該
メインバーナーを着火させるパイロットバーナーとを備
えた燃焼式除害装置であって、前記メインバーナーは、
内周面に燃料ガス噴出ノズル及び燃料燃焼用支燃性ガス
噴出ノズルを有する環状体であり、前記燃焼筒は、軸方
向に配設した周壁体と、前記メインバーナーとで形成さ
れ、少なくとも、該メインバーナーよりも下流の周壁体
は、多孔質材料で形成された内壁を有する二重壁構造に
形成され、該二重壁構造に形成された周壁体の外壁に
は、前記内壁を通じて燃焼筒内に噴出される被処理ガス
酸化用支燃性ガスを前記二重壁間に供給する酸化用支燃
性ガス供給管が接続されていることを特徴とする燃焼式
除害装置。3. A combustion cylinder, one end of which is closed by a lid, and the other end opening of which communicates with the inside of the cooling cylinder; a processing gas introduction nozzle for introducing a gas to be processed into the combustion cylinder from the closed one end; A combustion type abatement apparatus comprising: a main burner for forming a flame for burning and / or thermally decomposing the gas to be treated in the combustion cylinder; and a pilot burner for igniting the main burner. Burners are
An annular body having a fuel gas ejection nozzle and a fuel combustion supporting gas ejection nozzle on an inner peripheral surface, wherein the combustion cylinder is formed by a peripheral wall body provided in an axial direction and the main burner, at least A peripheral wall downstream of the main burner is formed in a double wall structure having an inner wall formed of a porous material, and an outer wall of the peripheral wall formed in the double wall structure has a combustion tube through the inner wall. A combustion type abatement apparatus, characterized in that a combustion supporting gas supply pipe for supplying a processing target gas oxidizing supporting gas ejected into the inside between the double walls is connected.
の周溝に形成され、該Ｖ字状の周溝を形成する一方の面
に前記燃料ガス噴出ノズルが、他方の面に前記燃料燃焼
用支燃性ガス噴出ノズルがそれぞれ開口し、両噴出ノズ
ルのノズル軸が燃焼筒内で交差していることを特徴とす
る請求項３記載の燃焼式除害装置。4. The main burner has an inner peripheral surface formed in a V-shaped peripheral groove, the fuel gas ejection nozzle is formed on one surface forming the V-shaped peripheral groove, and the V-shaped peripheral groove is formed on the other surface. 4. The combustion type abatement apparatus according to claim 3, wherein the fuel-burning supporting gas ejection nozzles are respectively opened, and the nozzle axes of both the ejection nozzles intersect in the combustion cylinder.
ガス噴出ノズルに燃料燃焼用支燃性ガスを供給する管路
に、ノズル洗浄液を供給するノズル洗浄液供給管が設け
られていることを特徴とする請求項３又は４記載の燃焼
式除害装置。5. A nozzle cleaning liquid supply pipe for supplying a nozzle cleaning liquid is provided in a conduit for supplying a fuel combustion supporting gas to a fuel combustion supporting gas ejection nozzle of the main burner. The combustion type abatement apparatus according to claim 3 or 4, wherein:
側の周壁体は、前記被処理ガス酸化用支燃性ガスが燃焼
筒内に供給されない構造であることを特徴とする請求項
３記載の燃焼式除害装置。6. The structure according to claim 3, wherein the peripheral wall of the combustion cylinder upstream of the main burner has a structure in which the supporting gas for oxidizing the target gas is not supplied into the combustion cylinder. Combustion type abatement system.
が冷却筒内に連通する燃焼筒と、前記閉塞された一端か
ら燃焼筒内に被処理ガスを導入する被処理ガス導入ノズ
ルと、前記燃焼筒内で前記被処理ガスを燃焼及び／又は
熱分解するための火炎を形成するメインバーナーと、該
メインバーナーを着火させるパイロットバーナーとを備
えた燃焼式除害装置の前記メインバーナーとして用いる
バーナーであって、内周面にＶ字状の周溝が形成された
環状体からなり、該Ｖ字状の周溝を形成する一方の面に
燃料ガス噴出ノズルが、他方の面に燃料燃焼用支燃性ガ
ス噴出ノズルがそれぞれ開口し、両噴出ノズルのノズル
軸が前記燃焼筒内で交差していることを特徴とする燃焼
式除害装置用バーナー。7. A combustion cylinder having one end closed by a lid and an opening at the other end communicating with the inside of the cooling cylinder; a processing gas introduction nozzle for introducing a gas to be processed into the combustion cylinder from the closed one end; Used as the main burner of a combustion type abatement system including a main burner for forming a flame for burning and / or pyrolyzing the gas to be treated in the combustion cylinder, and a pilot burner for igniting the main burner. A burner comprising an annular body having a V-shaped peripheral groove formed on an inner peripheral surface, a fuel gas ejection nozzle on one surface forming the V-shaped peripheral groove, and a fuel combustion nozzle on the other surface. A burner for a combustion-type abatement apparatus, wherein the combustion supporting gas ejection nozzles are opened, and the nozzle axes of both the ejection nozzles intersect in the combustion cylinder.
が冷却筒内に連通する燃焼筒と、前記閉塞された一端か
ら燃焼筒内に被処理ガスを導入する被処理ガス導入ノズ
ルと、前記燃焼筒内で前記被処理ガスを燃焼及び／又は
熱分解するための火炎を形成するメインバーナーと、該
メインバーナーを着火させるパイロットバーナーとを備
えた燃焼式除害装置の前記メインバーナーとして用いる
バーナーであって、燃料ガス噴出ノズルと燃料燃焼用支
燃性ガス噴出ノズルとを備えるとともに、該燃料燃焼用
支燃性ガス噴出ノズルに燃料燃焼用支燃性ガスを供給す
る管路に、ノズル洗浄液を供給するノズル洗浄液供給管
が設けられていることを特徴とする燃焼式除害装置用バ
ーナー。8. A combustion cylinder, one end of which is closed by a lid, and the other end of which is open to the inside of the cooling cylinder; a processing gas introduction nozzle for introducing a processing gas into the combustion cylinder from the closed one end; Used as the main burner of a combustion type abatement system including a main burner for forming a flame for burning and / or pyrolyzing the gas to be treated in the combustion cylinder, and a pilot burner for igniting the main burner. A burner, comprising a fuel gas ejection nozzle and a fuel combustion supporting gas ejection nozzle, and a nozzle for supplying the fuel combustion supporting gas to the fuel combustion supporting gas ejection nozzle; A burner for a combustion type abatement apparatus, comprising a nozzle cleaning liquid supply pipe for supplying a cleaning liquid.
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