KR101594209B1 - Pilot - Google Patents

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Abstract

연소성 유체 스트림을 점화시키기 위한 파일럿(10)에 관한 것이다. 파일럿은 연료 및 공기/산소 혼합물을 포함하는 연료 가스(14)를 파일럿 내에 수용하기 위한 입구(12)를 포함한다. 상기 연료 가스(14)를 점화시키기 위해 점화 수단(16), 예를 들면 스파크 점화기 또는 점화 전극이 제공된다. 원주방향 개구(20)를 형성하는 환형 범위를 따라서 대체로 환형의 도관(18)이 개방된다. 도관(18)은 연료 가스를 입구로부터 원주방향 개구로 이송한다. 원주방향 개구(20)로부터 유출되는 연료 가스가 점화될 때, 도관의 반경방향으로 연속 환형 파일럿 화염이 발생된다. To a pilot (10) for igniting a combustible fluid stream. The pilot includes an inlet (12) for receiving a fuel gas (14) containing fuel and an air / oxygen mixture in the pilot. An ignition means 16, for example a spark igniter or an ignition electrode, is provided to ignite the fuel gas 14. A generally annular conduit 18 is opened along an annular range forming circumferential opening 20. The conduit 18 transfers the fuel gas from the inlet to the circumferential opening. When the fuel gas flowing out of the circumferential opening 20 is ignited, a continuous annular pilot flame is generated in the radial direction of the conduit.

Description

파일럿{PILOT}Pilot {PILOT}

본 발명은 연소성 유체 스트림을 점화시키기 위한 파일럿, 및 이러한 파일럿을 포함하는 버너에 관한 것이다. The present invention relates to a pilot for igniting a combustible fluid stream, and to a burner comprising such a pilot.

유체 스트림 내의 유해 물질을 연소 파괴하기 위한 버너가 공지되어 있다. 연소는 직화(open flame) 장치 또는 방사 버닝(radiant burning) 장치에 의해 연소실에서 이루어질 수 있다. Burners for burning and destroying toxic substances in a fluid stream are known. Combustion can be done in the combustion chamber by means of an open flame device or a radiant burning device.

도 6에 부분 도시된 직화 버너(50)에서는, 유체 스트림(52)이 연소실(56)의 입구(54)를 통해서 연료 가스(58)와의 혼합물로서 도입된다. 혼합물은 파일럿(62)의 파일럿 화염(60)에 의해 점화되고, 유해 물질을 연소시키는 직화(64)로서 버닝된다. 파일럿(62)은 연료 가스를 도입하기 위한 연소실의 입구 근처에 단부를 갖는 주입 튜브(66)를 포함하며, 상기 연료 가스는 점화기(68)에 의해 점화되고 이어서 혼합물이 입구(54)를 통해서 연소실에 도입될 때 이 혼합물을 점화시킨다. Fluid stream 52 is introduced as a mixture with fuel gas 58 through inlet 54 of combustion chamber 56 in flame burner 50 shown partially in Fig. The mixture is ignited by the pilot flame 60 of the pilot 62 and burned as the flame 64 to burn the toxic substance. The pilot 62 includes an injection tube 66 having an end near the inlet of the combustion chamber for introducing the fuel gas which is ignited by the igniter 68 and the mixture then passes through the inlet 54 to the combustion chamber The mixture is ignited.

상기 버너(50)에는 여러가지 문제점이 존재한다. 파일럿 화염(60)이 직화(64)에 대해 하나의 위치에만 위치하며, 따라서 화염의 버닝이 파일럿 화염 근처 구역에서 보다 쉽게 달성되고 파일럿 화염에서 먼 구역에서는 달성되지 않거나 완전히 달성되지 않을 수 있다. 따라서, 연소실에 진입하는 혼합물이 완전히 연소되지 못할 수 있으며 결국 버너로부터 유해 물질이 배출된다. 또한, 파일럿의 주입 튜브는 통상 비교적 좁으며, 따라서 연료 가스는 튜브를 통해서 좁고 농축된 제트(jet)로 주입되는 바, 이 제트는 직화(64)를 붕괴시켜 혼합물의 불완전 연소를 초래하는 성향을 갖는다. 예를 들어 하나 이상의 유해 물질 소스로부터 유체 스트림을 도입하기 위해 하나 이상의 입구가 제공될 경우(도 6에는 도시되지 않음)에는 각각의 입구에 파일럿이 요구되는 바, 이는 상기 문제에 추가적으로 추가 비용을 초래한다. The burner 50 has various problems. The pilot flame 60 is located at only one position relative to the flame 64 and thus the burning of the flame is more easily achieved in the area near the pilot flame and may not be achieved or completely achieved in areas remote from the pilot flame. Therefore, the mixture entering the combustion chamber may not be completely burned, and the harmful substances are eventually discharged from the burner. In addition, the injection tube of the pilot is usually relatively narrow, so that the fuel gas is injected through the tube into a narrow, concentrated jet which disrupts the directive 64 to cause incomplete combustion of the mixture . For example, if more than one inlet is provided to introduce a fluid stream from one or more sources of hazardous material (not shown in FIG. 6), a pilot is required at each inlet, which adds an additional cost to the problem do.

도 7에 도시된 방사 버너(70)에서는, 주위의 대체로 원통형인 다공성 벽(74)에 의해 연소실(72)이 형성된다. 연료 가스(76)는 입구(80)를 통해서 외부 챔버(78)에 도입되고 다공성 벽(74)을 통과한다. 파일럿(82)은 벽의 내표면에서 연료 가스를 점화시켜 고온 반응 지역(86)을 생성하기 위한 파일럿 화염(84)을 발생시킨다. 둑(weir) 구조(88)는, 연소된 유체 스트림의 성분을 용해시키고 입자상 물질을 씻어내기 위한 저온 액체(90)(통상은 물)를 생성한다. 저온 액체는 또한 버너로부터 배출되는 유체를 용이하게 폐기될 수 있도록 냉각시킨다. 적어도 하나의 유해 물질을 함유하는 유체 스트림(92)은 입구(94)를 통해서 연소실(72)에 도입되며, 벽(74)의 표면 근처에서 고온 반응 지역(86)으로부터의 가스와 접촉함으로써 연소된다. 연소는 또한, 벽(74)의 반대면으로부터 발생 및 반사되는 열에 의해 달성된다. 방사 버너에 대해서는 EP 0694735에 보다 상세히 나타나 있다. In the radiant burner 70 shown in Fig. 7, the combustion chamber 72 is formed by the surrounding generally cylindrical porous wall 74. Fig. The fuel gas 76 is introduced into the outer chamber 78 through the inlet 80 and passes through the porous wall 74. The pilot 82 generates a pilot flame 84 for igniting the fuel gas at the inner surface of the wall to create the hot reaction zone 86. The weir structure 88 dissolves the components of the burned fluid stream and creates a cold liquid 90 (typically water) to rinse the particulate matter. The cold liquid also cools the fluid discharged from the burner to be easily discarded. A fluid stream 92 containing at least one hazardous substance is introduced into the combustion chamber 72 through the inlet 94 and burned by contact with gas from the hot reaction zone 86 near the surface of the wall 74 . Combustion is also accomplished by heat generated and reflected from the opposite side of the wall 74. Radial burners are described in more detail in EP 0694735.

버너(70)는 여러가지 문제에 시달린다. 먼저, 완전히 점화되었을 때의 화염은 원통형이며, 파일럿 화염(84)이 고온 반응 지역(86)의 한 위치에만 위치하므로 점화는 이 구역에서 보장된다. 파일럿에서 멀리 있는 벽(74) 영역에서는 화염이 버닝되지 않거나 완전히 버닝되지 않을 수 있다. 고온 반응 지역이 유지되지 않는 벽면 영역은 다공성 벽에 손상을 초래하는 입자상 물질의 퇴적에 취약할 수 있다. 또한, 냉각 기둥 근처는 특히 벽의 하측 부분에서 벽(74)의 표면을 냉각시킨다. 또한, 냉각수로부터는 열이 반사되지 않으며 이는 추가로 연소실(72)을 냉각시키는 작용을 한다. 따라서, 유체 스트림(92)의 완전 연소는 연료/공기 혼합물(76)의 불완전 연소와 더불어 달성될 수 없다. 또한, 단일의 비교적 높은 에너지 집약된 화염의 제공은 버너의 섬세한 다공성 벽을 손상시킬 수 있으며 이는 고비용의 교체를 요구한다. The burner 70 suffers from various problems. First, the flame when fully ignited is cylindrical, and ignition is ensured in this zone since the pilot flame 84 is located at only one location in the high temperature reaction zone 86. In the area of the wall 74 remote from the pilot, the flame may or may not be completely burned. The area of the walls where the high temperature reaction zone is not maintained may be vulnerable to the deposition of particulate matter which causes damage to the porous walls. In addition, the cooling pillar closes the surface of the wall 74, particularly at the lower portion of the wall. Further, no heat is reflected from the cooling water, which further serves to cool the combustion chamber 72. Thus, complete combustion of the fluid stream 92 can not be achieved with incomplete combustion of the fuel / air mixture 76. In addition, the provision of a single, relatively high energy-intensive flame can damage the delicate porous walls of the burner, which requires a costly replacement.

본 발명의 목적은, 상기 문제점이 해결된, 연소성 유체 스트림을 점화시키기 위한 파일럿, 및 이러한 파일럿을 포함하는 버너를 제공하는 것이다. It is an object of the present invention to provide a pilot for igniting a combustible fluid stream, and a burner including such a pilot, over which the problem is solved.

본 발명은 연소성 유체 스트림을 점화시키기 위한 파일럿으로서, 상기 파일럿 내에 연료 가스를 수용하기 위한 입구; 상기 연료 가스를 점화시키기 위한 수단; 및 연료 가스가 점화될 때 환형 파일럿 화염이 발생하도록 상기 입구로부터 연료 가스를 이송하기 위해 원주방향 개구에 의해 환형 범위를 따라서 개방되는 대체로 환형의 도관을 포함하는 파일럿을 제공한다. The present invention relates to a pilot for igniting a combustible fluid stream, comprising: an inlet for receiving fuel gas in the pilot; Means for igniting the fuel gas; And a generally annular conduit that is open along an annular range by a circumferential opening to transfer the fuel gas from the inlet such that an annular pilot flame is generated when the fuel gas is ignited.

본 발명의 다른 바람직한 및/또는 선택적인 양태는 청구범위에서 한정된다. Other preferred and / or optional aspects of the invention are defined in the claims.

본 발명이 잘 이해될 수 있도록, 이제 그 예시적인 실시예를 첨부 도면을 참조하여 설명할 것이다.
도 1a는 도 2의 I-I선을 따라서 취한 파일럿의 단면도이다.
도 1b는 도 2의 J-J선을 따라서 취한 파일럿의 단면도이다.
도 2는 I-I 및 J-J 단면의 라인을 나타내는 파일럿의 정면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 파일럿을 포함하는 직화 버너의 도시도이다.
도 4는 도 1에 도시된 파일럿을 포함하는 방사 버너의 도시도이다.
도 5는 도 1에 도시된 파일럿을 포함하는 추가 직화 버너의 도시도이다.
도 6은 종래의 직화 버너의 도시도이다.
도 7은 종래의 방사 버너의 도시도이다.
도 8 및 도 9는 버너의 둑 구조체와 일체로 만들어진 추가 파일럿의 도시도이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS For a better understanding of the invention, reference will now be made, by way of example, to the accompanying drawings, in which: FIG.
Figure 1a is a cross-sectional view of a pilot taken along the line II in Figure 2;
1B is a cross-sectional view of a pilot taken along the line JJ in Fig.
Figure 2 is a front view of a pilot showing a line of cross section II and JJ.
Figure 3 is an illustration of a flame burner including the pilot shown in Figure 1;
Figure 4 is an illustration of a radiant burner including the pilot shown in Figure 1;
5 is an illustration of an additional flame burner including the pilot shown in FIG.
6 is an illustration of a conventional flame burner.
7 is a schematic view of a conventional spinning burner.
Figs. 8 and 9 are diagrams of additional pilots made integrally with the duck structure of the burner. Fig.

도 1a, 도 1b 및 도 2를 참조하면, 연소성 유체 스트림을 점화시키기 위한 파일럿(10)이 도시되어 있다. 파일럿은 연료 및 공기/산소 혼합물을 포함하는 연료 가스(14)를 파일럿 내에 수용하기 위한 벤츄리 장치를 포함할 수 있는 입구(12)를 포함한다. 연료 가스(14)를 점화시키기 위해 예를 들어 스파크 점화기 또는 점화 전극과 같은 점화 수단(16)이 제공된다. 원주방향 개구(20)를 형성하는 환형 범위를 따라서 대체로 환형의 도관(18)이 개방된다. 도관(18)은 연료 가스를 입구로부터 원주방향 개구로 이송한다. 원주방향 개구(20)로부터 유출되는 연료 가스가 점화될 때, 도관의 반경방향으로 연속 환형 파일럿 화염이 발생된다. Referring to Figures 1A, 1B and 2, a pilot 10 for igniting a combustible fluid stream is shown. The pilot includes an inlet 12 that may include a venturi device for receiving a fuel gas 14 containing fuel and an air / oxygen mixture within the pilot. Ignition means 16, such as, for example, a spark igniter or an ignition electrode, are provided to ignite the fuel gas 14. A generally annular conduit 18 is opened along an annular range forming circumferential opening 20. The conduit 18 transfers the fuel gas from the inlet to the circumferential opening. When the fuel gas flowing out of the circumferential opening 20 is ignited, a continuous annular pilot flame is generated in the radial direction of the conduit.

도시된 환형 도관은 원형이지만, 정사각형, 직사각형 또는 육각형과 같은 다른 형상으로 형성될 수 있다. 이와 관련하여, 환형 도관은 연료 가스를 입구로부터 360°에 걸쳐서 이송시키며, 이 가스가 점화시에 환형 화염이 발생되도록 입구로부터 유출될 수 있게 한다. 마찬가지로, 발생되는 환형 화염은 링-형상일 필요가 없지만, 대신 도관의 형상과 대체로 일치한다. 예를 들어, 도관이 직사각형이면, 대체로 직사각형의 화염이 발생된다. The illustrated annular conduit is circular, but may be formed in other shapes such as square, rectangular, or hexagonal. In this regard, the annular conduit conveys the fuel gas from the inlet over 360 [deg.], Allowing the gas to escape from the inlet to produce an annular flame upon ignition. Likewise, the resulting annular flame does not need to be ring-shaped, but instead generally conforms to the shape of the conduit. For example, if the conduit is rectangular, a generally rectangular flame is generated.

도 1a, 도 1b 및 도 2에 도시된 도관은 원주방향 개구(20)에 의해 그 환형 범위를 따라서 개방된다. 개구는 연료 가스가 도관으로부터 그 원주 주위로 대략 동일하게 유동할 수 있도록 360°에 걸쳐서 연장된다. 개구는 연료 가스의 동일한 유동이 원주 주위에 분배되어 일관된 화염을 발생하도록 보장하기 위해 크기 결정된다. The conduits shown in Figs. 1A, 1B and 2 are opened along the annular range by the circumferential opening 20. Fig. The openings extend over 360 degrees so that the fuel gas flows approximately equally around the circumference of the conduit. The openings are sized to ensure that the same flow of fuel gas is distributed around the circumference to produce a consistent flame.

연료 가스는 통상 탄화수소와 같은 연료와 산소 또는 공기의 혼합물을 함유한다. The fuel gas typically contains a mixture of oxygen and air with a fuel such as a hydrocarbon.

도 1 및 도 2에 도시하듯이, 도관(18)은 원주방향 개구(20)가 반경방향 내측으로 향하도록 반경방향 내측 환형 범위를 따라서 개방된다. 연료 가스(14)가 점화 수단(16)에 의해 점화되면, 점화될 유체 스트림을 둘러싸기 위해 환형 파일럿 화염이 도관의 반경방향 내측으로 발생된다. 다른 구조에서, 도관은 예를 들어 도 2에서 위로 향하거나 페이지 밖을 향하는 축방향으로 개방될 수 있다. As shown in Figures 1 and 2, the conduit 18 is open along the radially inner annular extent such that the circumferential opening 20 is radially inward. When the fuel gas 14 is ignited by the ignition means 16, an annular pilot flame is generated radially inward of the conduit to surround the fluid stream to be ignited. In other constructions, the conduit may be open in the axial direction, for example, upward in FIG. 2 or out of the page.

발생되는 파일럿 화염은 환형이지만, 이 화염이 점화기 구역에서 점화되면 파일럿의 원주 주위로 쉽게 퍼지므로 점화기(16)는 하나만 요구된다. 따라서, 도시된 점화 수단(16)은 파일럿의 원주 상의 단일 위치에 배치되며, 사용 시에는 연료 가스를 점화시켜 연속 환형 파일럿 화염을 형성한다. 연료 가스의 유동이 원주 주위에 완전히 동일하게 분배되지 않거나 유체 스트림이 때로는 환형 화염의 일부를 꺼버릴 수도 있기 때문에 파일럿 화염은 항상 완전한 환형이 아닐 수도 있다. 그러나, 일반적으로 사용 시에 파일럿은 연속 환형 파일럿 화염을 발생할 수 있다. The generated pilot flame is annular, but once the flame is ignited in the igniter zone, it is easily spread around the circumference of the pilot, so only one igniter 16 is required. Thus, the illustrated ignition means 16 are located at a single location on the circumference of the pilot and, in use, ignite the fuel gas to form a continuous annular pilot flame. The pilot flame may not always be perfectly annular because the flow of the fuel gas is not distributed equally equally around the circumference or because the fluid stream may occasionally turn off some of the annular flame. However, in general use, the pilot can generate a continuous annular pilot flame.

화염의 존재나 연료 가스의 유동 또는 압력과 같은 파일럿의 특징을 모니터링 또는 감지하기 위한 모니터링 또는 감지 수단이 파일럿 주위에 간격을 두고 배치될 수 있다. 이러한 감지 수단은 연료 가스 공급 밸브 또는 점화 수단에 연결될 수 있는 파일럿 제어기에 피드백될 수 있다. Monitoring or sensing means for monitoring or sensing the characteristics of the pilot, such as the presence of the flame or the flow or pressure of the fuel gas, may be spaced around the pilot. This sensing means may be fed back to a pilot controller which may be connected to the fuel gas supply valve or the ignition means.

도 1a, 도 1b 및 도 2의 대체로 환형 도관(18)은 입구(14)로부터 연료 가스를 수용하기 위한 플리넘 챔버(plenum chamber)(22), 및 연속 환형 파일럿 화염을 형성하기 위해 연료 가스를 상기 플리넘 챔버로부터 원주방향 개구(20)로 채널안내하기 위한 원주방향 채널(24)을 포함한다. 사용 시에 플리넘 챔버(22)는 점화 시에 연속 환형 파일럿 화염이 도관의 환형 범위에 대해 대략 동일한 강도와 크기로 대체로 균일하게 버닝되도록 연료 가스를 도관(18)의 환형 범위의 주위에 동일 압력으로 대체로 동일하게 분배한다. 이러한 구조는 비파괴적이고 환형인 파일럿 화염의 발생을 촉진한다. The generally annular conduit 18 of FIGS. 1A, 1B, and 2 includes a plenum chamber 22 for receiving fuel gas from the inlet 14, and a plenum chamber 22 for receiving the fuel gas to form a continuous annular pilot flame. And a circumferential channel (24) for channeling from the plenum chamber to the circumferential opening (20). In use, the plenum chamber 22 is configured such that, during ignition, the continuous annular pilot flame is uniformly burned substantially uniformly with approximately the same strength and size relative to the annular extent of the conduit, To the same extent. This structure facilitates the generation of non-destructive and annular pilot flames.

도관(18) 내의 가스의 압력은 입구(12) 근처 구역에서 최대일 수 있다. 따라서, 원주방향 개구(20)를 빠져나가는 가스의 양은 입구 근처에서 최대일 수 있으며, 따라서 환형 화염은 입구(12) 근처에서 가장 클 수 있다. 전술한 플리넘 챔버 구조는 가스를 도관 주위에서 동일하게 분배시키는 작용을 한다. 또한, 입구(12)가 채널 부분(24)과 정렬되지 않음을 알 것이다. 대신에 입구를 통해서 진입하는 가스는 원주방향 개구를 통해서 파일럿을 빠져나가기 전에 구불구불한 경로를 따라서 유동해야 한다. 이런 식으로, 도 1a 및 도 1b에 도시하듯이 입구와 대향하는 플리넘 챔버의 표면과 배플(baffle)의 상면은 연료 가스의 유동에 대한 배플로서 작용한다. The pressure of the gas in the conduit 18 may be maximum in the region near the inlet 12. Thus, the amount of gas exiting the circumferential opening 20 can be maximum near the inlet, so that the annular flame can be greatest near the inlet 12. The plenum chamber structure described above serves to equally distribute the gas around the conduit. It will also be appreciated that inlet 12 is not aligned with channel portion 24. Instead, the gas entering through the inlet must flow along a serpentine path before exiting the pilot through the circumferential opening. In this way, as shown in Figs. 1A and 1B, the surface of the plenum chamber facing the inlet and the top surface of the baffle act as baffles for the flow of the fuel gas.

파일럿은 금속 재료에 의해 단일 피스 또는 연속적으로 함께 고정되는 둘 이상의 피스로 몰딩될 수 있다. 상기 채널 부분(24) 또는 파일럿 화염과 접촉하거나 밀접하게 되는 파일럿의 기타 부분은 스테인레스 스틸과 같은 금속 또는 세라믹 재료와 같은 내열성 또는 난연성 재료로 형성될 수 있다. 금속 표면은 파일럿 화염과의 접촉을 피하는 것이 바람직한데 그 이유는 이것이 바람직하지 않은 질소산화물 화합물을 발생할 수 있기 때문이다. The pilot may be molded as a single piece by a metallic material or as two or more pieces that are successively secured together. Other portions of the pilot that are in contact with or close to the channel portion 24 or pilot flame may be formed of a heat resistant or flame resistant material, such as a metal or ceramic material, such as stainless steel. The metal surface is preferably avoided from contact with the pilot flame, since it may produce undesirable nitrogen oxide compounds.

사용 시에, 연료 가스는 도관(22)에 도입되고 원주방향 개구(20)로부터 유출될 수 있도록 도관 주위로 이송된다. 개구를 통한 유동이 성립되면, 점화 수단(16)은 연료 가스를 점화시켜, 개구로부터 반경방향 내측으로 연장되는 대체로 환형 구조의 파일럿 화염을 발생시킨다. 연료 가스가 도관에 도입되는 속도와 개구의 크기는 플리넘 챔버(22) 내로의 역화(flash back) 가능성을 감소시키도록 선택된다. 이와 관련하여, 화염 속도는 연료 가스의 전진 속도보다 낮아야 한다. 화염 속도는 화염이 그 소스 연료 및 산화제를 향해서 되돌아가는 속도이다. 전진 속도는 가스가 개구를 통해서 대체로 반경방향 내측 방향으로 이송되는 속도이며, 화염 속도보다 빨라야 한다. 가스 혼합물이 개구를 떠나면, 이는 (부채처럼) 퍼져나갈 것이며, 따라서 전진 속도가 저하될 것이다. 전진 속도가 화염 속도와 같아지는 앵커(anchor) 구역은 따라서 개구의 출구를 바로 지나서 존재한다. 파일럿의 주요 부분을 구성하는 재료가 금속성이면, 개구(20) 구역에는 예를 들어 세라믹으로 만들어진 난연성 부분이 배치된다. In use, the fuel gas is introduced into the conduit 22 and is transported around the conduit so that it can flow out of the circumferential opening 20. Once flow through the open is established, the ignition means 16 ignite the fuel gas and generate a pilot flame in a generally annular configuration extending radially inwardly from the opening. The rate at which the fuel gas is introduced into the conduit and the size of the opening are selected to reduce the possibility of flash back into the plenum chamber 22. In this regard, the flame speed should be less than the forward speed of the fuel gas. The flame velocity is the rate at which the flame returns back toward its source fuel and oxidizer. The forward speed is the rate at which the gas is transported generally radially inward through the opening and must be faster than the flame speed. If the gas mixture leaves the opening, it will spread (like a fan) and therefore the forward speed will decrease. The anchor zone, where the advancing speed is equal to the flame velocity, thus exists just past the exit of the aperture. If the material constituting the main part of the pilot is metallic, then the flame retardant part made of, for example, ceramic, is disposed in the opening 20 area.

본 예에서 파일럿은 제 1 또는 하부 파일럿 판(116)에 의해 형성되며, 이는 제 2 또는 상부 파일럿 판(117)과 함께 플리넘 챔버(22), 채널 부분(24) 및 원주방향 개구(20)를 형성한다. 제 1 및 제 2 파일럿 판은 볼트와 같은 임의의 적합한 수단에 의해 함께 고정될 수 있다. 제 1 파일럿 판을 제 2 파일럿 판으로부터 이격시키기 위해 파일럿 판 주위에는 스페이서(121)가 간격을 두고 배치된다. 이들 스페이서는 채널 부분(24)과 원주방향 개구(20)가 파일럿 주위에 정확히 균일하게 크기 형성되도록 보장해준다. 본 예에서 점화 전극인 점화 수단(16)은 제 1 파일럿 판의 벽을 통해서 연장되며, 스웨이징(swageing) 시스템에 의해 기밀하게 만들어진다. 점화 전극은 연료 가스가 개구를 통해서 유동할 때 점화 소스를 제공하기 위해 원주방향 개구 내로 연장된다. 입구(12)는 스웨이지로크(Swagelok) 부품에 의해 밀봉될 수 있는 제 1 파일럿 판(116)에 형성된다. In this example, the pilot is formed by a first or lower pilot plate 116 which includes a plenum chamber 22, a channel portion 24 and a circumferential opening 20, together with a second or upper pilot plate 117, . The first and second pilot plates may be secured together by any suitable means such as bolts. Spacers 121 are spaced around the pilot plate to separate the first pilot plate from the second pilot plate. These spacers ensure that the channel portion 24 and the circumferential opening 20 are sized precisely uniformly around the pilot. In this example, the ignition means 16, which is the ignition electrode, extends through the walls of the first pilot plate and is made airtight by means of a swaging system. The ignition electrode extends into the circumferential opening to provide an ignition source when the fuel gas flows through the opening. The inlet 12 is formed in a first pilot plate 116 that can be sealed by a Swagelok component.

도 3에는 파일럿(10)을 포함하는 직화 버너(27)가 도시되어 있다. 파일럿(10)은 간명함을 위해 도 3에서 상세히 도시되지 않았다. 3 shows a flame burner 27 comprising a pilot 10. Pilot 10 is not shown in detail in FIG. 3 for clarity.

연소실(33)의 입구(31)를 통해서 유체 스트림(29)이 연료 가스(35)와의 혼합물로서 도입된다. 혼합물은 파일럿(10)의 파일럿 화염(37)에 의해 점화되고, 유해 물질을 연소시키는 직화(39)로서 버닝된다. 도 3에는 화염(37)의 반원형 부분만 도시되었지만, 파일럿 화염(37)은 환형이며, 따라서 유체 스트림 및 연료 가스 혼합물이 입구(31)를 통해서 연소실(33)에 진입할 때 이를 둘러싼다. 본 명세서에 사용되는 "수평 파일럿"이란 용어는 파일럿이 버너에 진입하는 가스의 유동 방향에 대해 대체로 수직하게 연장된다는 점에서 도시된 구조를 기술하기 위해 사용된다. 보통 버너는 도시하듯이 직립되어 있으며, 이 경우에 파일럿은 대체로 수평적이다. 따라서, 혼합물이 전방위에서 측방으로 파일럿 화염에 노출됨으로써 혼합물의 비교적 완전한 연소가 보장된다. 이러한 구조는 파일럿 화염 근처에 있는 유체 스트림 부분만 지속적으로 버닝되는 전술한 종래 기술에 비해 개선 사항을 구성한다. 또한, 원주방향 개구(20)가 비교적 크고 따라서 화염이 분산된 저에너지 화염이므로, 개구를 통해서 유동하는 연료 가스가 메인 화염(39)을 크게 붕괴시키지 않는다. 도 4를 참조하면, 유체 스트림(28)으로부터 유해 물질을 제거하기 위한, 파일럿(10)을 포함하는 방사 버너(26)가 도시되어 있다. 버너(26)는 연료 가스가 유체 스트림을 연소시키기 위해 버닝될 수 있는 연소 구역을 포함한다. 이 구조에서 연소 구역은 대체로 원통형인 벽(32)으로 둘러싸이는 챔버(30)에 의해 형성된다. 벽(32)은 연료 가스가 벽의 내표면에서의 버닝을 위해 이를 통과하여 연소실 내로 이동할 수 있도록 다공성이다. 연료 가스(34)는 입구(38)를 통해서 외부 챔버(36)에 도입되고 벽(32)을 통과한다. 연료 가스(34)가 버닝하여 열을 반경방향 내측으로 방사하고 유체 스트림을 연소시킬 수 있는 표면이 벽에 형성되도록 벽은 직원형(right circular) 실린더, 타원형 실린더, 포물선형 실린더 또는 쌍곡선형 실린더를 형성할 수 있다. 공간이 제한되는 버너의 정상부 또는 헤드로부터 먼 곳에 파일럿(10)이 위치하는 것도 이해될 것이다. The fluid stream 29 is introduced as a mixture with the fuel gas 35 through the inlet 31 of the combustion chamber 33. The mixture is ignited by the pilot flame 37 of the pilot 10 and burned as the flame 39 which burns the toxic substance. 3, only the semicircular portion of the flame 37 is shown, but the pilot flame 37 is annular so that it encloses the fluid stream and fuel gas mixture as it enters the combustion chamber 33 through the inlet 31. The term "horizontal pilot, " as used herein, is used to describe the structure shown in that the pilot extends generally perpendicular to the flow direction of the gas entering the burner. Usually the burner is standing upright as shown, in which case the pilot is generally horizontal. Thus, exposure of the mixture to the pilot flame sideways in all directions ensures relatively complete combustion of the mixture. This arrangement constitutes an improvement over the prior art described above in which only the portion of the fluid stream near the pilot flame is continuously burned. Further, since the circumferential opening 20 is relatively large and thus the flame is dispersed, the fuel gas flowing through the opening does not significantly collapse the main flame 39. Referring to FIG. 4, there is shown a radiant burner 26 including a pilot 10 for removing toxic substances from the fluid stream 28. The burner 26 includes a combustion zone through which the fuel gas can be burned to burn the fluid stream. In this structure, the combustion zone is defined by a chamber 30 surrounded by a generally cylindrical wall 32. The wall 32 is porous so that the fuel gas can pass therethrough for burning at the inner surface of the wall and into the combustion chamber. The fuel gas 34 is introduced into the outer chamber 36 through the inlet 38 and passes through the wall 32. The wall may be a right circular cylinder, an elliptical cylinder, a parabolic cylinder, or a hyperbolic cylinder such that the fuel gas 34 burns to radially emit heat radially inwardly and a surface is formed in the wall that can combust the fluid stream. . It will also be understood that the pilot 10 is located far from the top or head of the burner where space is limited.

둑 구조체(44)는 연소된 유체 스트림의 성분을 용해하고 입자상 물질을 씻어내기 위한 저온 액체(46)(통상은 물)의 둑을 생성한다. 저온 액체는 또한 버너로부터 배출되는 유체를 용이하게 폐기될 수 있도록 냉각시킨다. The dirt structure 44 dissolves the components of the burned fluid stream and creates a bank of cold liquid 46 (typically water) to rinse particulate matter. The cold liquid also cools the fluid discharged from the burner to be easily discarded.

파일럿(10)은 도 4에 단순한 형태로 도시되어 있으며, 벽(32) 아래에서 연소실(30)과 둑 구조체(44) 사이에 배치된다. 사용 시에 파일럿(10)은 환형 화염(40)을 발생하지만 도 4에는 그 반원형 부분만 도시되어 있다. 파일럿 화염(40)은 연료 가스를 벽의 내표면에서 점화시켜 화염(42)을 생성한다. 적어도 하나의 유해 물질을 함유하는 유체 스트림(28)은 입구(48)를 통해서 연소실(30)에 도입되며, 벽(74)의 표면 근처에서 고온 반응 지역(42)과 접촉하여 연소된다. The pilot 10 is shown in simplified form in FIG. 4 and is disposed between the combustion chamber 30 and the dirt structure 44 below the wall 32. In use, the pilot 10 produces an annular flame 40, but only its semicircular portion is shown in Fig. The pilot flame 40 ignites the fuel gas at the inner surface of the wall to produce flame 42. A fluid stream 28 containing at least one hazardous material is introduced into the combustion chamber 30 through the inlet 48 and is contacted with the high temperature reaction zone 42 near the surface of the wall 74 and burned.

파일럿(10)은, 대체로 원통형인 벽을 통과하는 연료 가스(34)가 효과적으로 점화되고 그 표면에서의 화염이 유지될 수 있도록 점화 시에 연속 환형 파일럿 화염(40)과 대체로 원통형인 벽(32)이 그 각각의 환형 범위를 따라서 인접하도록 배치된다. 환형 파일럿 화염(40)은 화염(42)의 하측 부분의 전체 원주 범위가 점화되도록 그리고 불타는 상태가 유지되도록 보장하므로, 벽(32)의 전체 내표면에 걸친 연료 가스(34)의 연소가 증가된다. The pilot 10 has a continuous annular pilot flame 40 and a generally cylindrical wall 32 at ignition such that the fuel gas 34 passing through the generally cylindrical wall is effectively ignited and the flame at its surface can be maintained. Are arranged adjacent to each other along their respective annular ranges. The annular pilot flame 40 ensures that the entire circumferential extent of the lower portion of the flame 42 is ignited and that the burning condition is maintained so that the combustion of the fuel gas 34 over the entire inner surface of the wall 32 is increased .

또한, 파일럿(10)은 점화 시에 연속 환형 파일럿 화염(40)이 메인 연소기 반응 지역(42)을 둑 구조체 위를 지나는 비교적 저온의 액체(46)에 의해 발생되는 냉각 효과로부터 단열시키도록 배치된다. 따라서, 열은 반응 지역(42)의 베이스에서 보다 효과적으로 발생되며, 따라서 둑에 가장 가까운 베이스에서 연소기로부터의, 예를 들면 일산화탄소 및 탄화수소(CxHy) 배출이 개선된다. 표 1은 본 발명의 실시예의 테스트에서 관측된 개선을 도시한다. The pilot 10 is also arranged so that at the time of ignition the continuous annular pilot flame 40 insulates the main combustor reaction zone 42 from the cooling effect generated by the relatively low temperature liquid 46 passing over the dirt structure . Thus, heat is generated more effectively at the base of the reaction zone 42, thus improving emissions of, for example, carbon monoxide and hydrocarbons (CxHy) from the combustor at the base closest to the dam. Table 1 shows the improvements observed in the tests of the embodiments of the present invention.

조건Condition 잔류 산소Residual oxygen 일산화탄소carbon monoxide CxHyCxHy 도 7에 도시된 종래기술7, 5.2%5.2% 196 ppm196 ppm 0.34%0.34% 수평 파일럿을 갖는
도 4에 도시된 실시예Having a horizontal pilot
In the embodiment shown in Fig. 4 5.0%5.0% 100 ppm100 ppm 0.17%0.17%

상기 개선은 실시예의 여러가지 양태에 의한 것이다. 예를 들어, 방사 버너 패드의 베이스를 가열하게 되면 베이스에서의 연소가 개선된다. The improvement is in accordance with various aspects of the embodiments. For example, heating the base of a radiant burner pad improves combustion at the base.

분말은 베이스에서의 연소기 패드(32)/반응 지역의 낮아진 온도로 인해 연소기의 베이스에 형성되는 경향이 있다. 수평 파일럿의 제공은 패드의 베이스를 단열시켜 패드의 효율을 증가시킴으로써 패드가 더 높은 온도를 견딜 수 있게 한다. 또한, 수평 파일럿은 분말이 패드(32)의 연약한 다공성 구조물에 들러붙는 성향을 감소시킨다. 분말 퇴적의 문제는 여전히 발생하지만, 이 실시예에서는 패드(32)의 하류에서 발생한다. 그러나, 파일럿 판은 비교적 튼튼하며 파일럿 상의 분말 퇴적은 큰 문제로 간주되지 않는다. 고체는 실리카를 포함할 수 있으며 이는 압축 공기 또는 압축 수류에 의한 파일럿 표면의 가벼운 교반에 의해 쉽게 제거된다. 또한, 파일럿은 현장 세척 방법(도 8 및 도 9를 참조하여 이하에 보다 상세히 설명됨)에서 물로 씻어냄으로써 세척될 수 있다. The powder tends to form at the base of the combustor due to the reduced temperature of the combustor pad 32 / reaction zone at the base. The provision of a horizontal pilot insulates the base of the pad to increase the efficiency of the pad, thereby allowing the pad to withstand higher temperatures. The horizontal pilot also reduces the propensity of the powder to adhere to the soft porous structure of the pad 32. The problem of powder deposition still occurs, but in this embodiment occurs downstream of the pad 32. However, the pilot plate is relatively robust and powder deposition on the pilot is not considered a major problem. The solids may comprise silica, which is easily removed by light agitation of the pilot surface by compressed air or pressurized water. In addition, the pilot can be cleaned by rinsing with water in a field cleaning method (described in more detail below with reference to Figures 8 and 9).

유리하게, 파일럿(10)은 연약한 다공성 벽(32)에 대한 손상 성향이 덜한 저에너지 분포된 화염 표면을 제공한다. Advantageously, the pilot 10 provides a low energy distributed flame surface that is less prone to damage to the fragile porous wall 32.

도시되지는 않았지만, 유체 스트림 내의 특정 형태의 유해 물질을 연소시키기 위해 도 4에 도시된 방사 버너가 도 3에 도시된 직화 버너와 조합하여 사용될 수 있다. 이 구조에서, 도 4에 도시된 연소실(30)의 상류에 있는 입구는, 본 명세서에 원용되는 WO 2006/013355호에 개시하듯이 유체 스트림과 연료 가스를 혼합물로서 연소 구역에 도입하기에 적합하다. 입구에서의 혼합물은, 대체로 원통형인 벽의 표면에 형성되고 그 자체가 원통형 벽의 베이스에서 파일럿(10)에 의해 점화되는 화염(42)에 의해 점화될 수 있다. 대안적으로, 파일럿(10)은 입구에서 혼합물을 점화시키고 벽 표면에서 연료 가스를 점화시키기 위해 벽(32)과 입구(도 4에 도시하듯이 벽의 상부에 존재) 사이에 배치된다. Although not shown, the radiant burner shown in FIG. 4 may be used in combination with the flame burner shown in FIG. 3 to burn certain types of toxic substances in the fluid stream. In this construction, the inlet upstream of the combustion chamber 30 shown in Fig. 4 is suitable for introducing the fluid stream and the fuel gas into the combustion zone as a mixture, as described in WO 2006/013355, which is incorporated herein by reference . The mixture at the inlet can be ignited by the flame 42 formed on the surface of the generally cylindrical wall and itself ignited by the pilot 10 at the base of the cylindrical wall. Alternatively, the pilot 10 is disposed between the wall 32 and the inlet (present at the top of the wall as shown in FIG. 4) to ignite the mixture at the inlet and ignite the fuel gas at the wall surface.

도 5는 도 3에 도시된 직화 버너의 수정예를 도시한다. 버너(45)는 예를 들어 복수의 반도체 웨이퍼 처리 챔버 각각으로부터, 복수의 유체 스트림(47)으로부터 유해 물질을 제거하기에 적합하다. 버너(45)는 각각의 유체 스트림(47)을 위한 입구(41, 43)를 포함한다. 두 개의 입구만 도시되었지만, 버너는 둘 이상의 입구를 포함할 수도 있다. 입구(41, 43)는 복수의 유체 스트림(47) 및 연료 가스(49)를 각각의 혼합물로서 연소실(33) 내에 도입한다. 파일럿(10)은, 점화 시에 연속 환형 파일럿 화염(37)이 버닝될 혼합물을 둘러싸서 혼합물 전부가 단일 파일럿에 의해 점화될 수 있도록 배치된다. Fig. 5 shows a modification of the flame burner shown in Fig. The burner 45 is suitable for removing harmful materials from a plurality of fluid streams 47, for example, from each of a plurality of semiconductor wafer processing chambers. The burner 45 includes an inlet 41, 43 for each fluid stream 47. Although only two entrances are shown, the burner may include more than one inlet. The inlets 41 and 43 introduce a plurality of fluid streams 47 and fuel gas 49 into the combustion chamber 33 as respective mixtures. The pilot 10 is arranged such that, at the time of ignition, the continuous annular pilot flame 37 surrounds the mixture to be burned so that all of the mixture can be ignited by a single pilot.

통상적으로, 파일럿(10)의 세척은 버너 장치(26)의 제거를 요구하며, 이 제거는 노동 집약적이고, 상당한 공구 작동중지 시간을 초래한다. Typically, cleaning of the pilot 10 requires removal of the burner device 26, which removal is labor intensive and results in significant tool down time.

그러나, 파일럿 판의 현장 세척이 이루어질 수 있다. 세척은 물 또는 공기와 같은 압축 유체를 파일럿의 입구(12)를 통해서, 플리넘 챔버를 통해서 및 원주방향 개구(20) 밖으로 펌핑함으로써 이루어진다. 유체는 액체인 것이 유리한 바, 액체가 중력 하에 떨어져서 입자성 물질을 하부 파일럿 판(116)의 외벽으로부터 제거하기 때문이다. However, field cleaning of the pilot plate can be achieved. Cleaning is accomplished by pumping compressed fluid, such as water or air, through the inlet 12 of the pilot, through the plenum chamber, and out of the circumferential opening 20. Advantageously, the fluid is a liquid as the liquid falls under gravity and removes particulate matter from the outer wall of the lower pilot plate 116.

추가로, 파일럿 판(10)은 둑(44)과 통합될 수 있다. 도 8 및 도 9에 도시하듯이, 파일럿 판 플리넘(105)과 둑 체적(107) 사이에 통로(112)가 가공 형성된다. 마개(bung)(106)는 통로(112)를 차단하는 제 1 위치와 통로가 개방되는 제 2 위치 사이를 이동할 수 있다. 통로가 개방되면, 파일럿의 입구(12)를 통해서 주입된 물이 파일럿 플리넘(105)에 유입되고 원주방향 개구(109)를 통해서 유출되며, 하부 파일럿 판(102)의 외벽 전체를 타고 내려가서, 고체상 잔류물을 물리적 및 화학적(용해) 작용에 의해 제거한다. 세척후 물은 끊어지며 플리넘 챔버는 배수될 수 있다. 배수되면, 마개(106)는 다시 사용된다. 파일럿은 입구를 통해서 공기를 불어넣음으로써 건조된다. 건조되면, 파일럿은 점화될 수 있다. 상기 현장 세척 공정은 버너를 분해하고, 각종 파이프를 분리하며, 파일럿을 세척한 후 버너를 재조립하고 파이프를 다시 연결하는 것보다 효과적이고 덜 시간 집약적임을 알 것이다. 추가로, 현장 세척은 조작자가 잠재적으로 위험한 연소 부산물(즉 AsH3 공정에서의 비소 산화물)과 접촉할 가능성을 감소시킨다. In addition, the pilot plate 10 can be integrated with the dam 44. As shown in Figs. 8 and 9, a passage 112 is formed between the pilot plate plenum 105 and the dike volume 107. As shown in Fig. The bung 106 may move between a first position blocking the passageway 112 and a second position opening the passageway. When the passage is opened, water injected through the inlet 12 of the pilot flows into the pilot plenum 105, flows out through the circumferential opening 109, falls down the entire outer wall of the lower pilot plate 102 , And the solid residue is removed by physical and chemical (dissolving) action. After washing, the water is blown and the plenum chamber can be drained. Once drained, the plug 106 is again used. The pilot is dried by blowing air through the inlet. Once dry, the pilot can be ignited. It will be appreciated that the site cleaning process is more efficient and less time-intensive than dismantling the burner, separating the various pipes, cleaning the pilot, reassembling the burner, and reconnecting the pipe. In addition, field cleaning reduces the likelihood that an operator will come in contact with potentially hazardous combustion byproducts (i.e., non-oxides in the AsH3 process).

따라서, 파일럿(10)을 버너 내부의 현장에서 세척하는 방법은, 연료 소스를 파일럿 입구로부터 분리하는 단계, 세척 유체의 소스를 입구에 연결하는 단계, 및 파일럿을 상기 유체로 세척하는 단계를 포함한다.
Thus, the method of cleaning the pilot 10 in the field inside the burner includes separating the fuel source from the pilot inlet, connecting the source of the cleaning fluid to the inlet, and washing the pilot with the fluid .

Claims (17)

버너의 연소성 유체 스트림을 점화시키기 위한 파일럿에 있어서,
상기 파일럿 내에 연료 가스를 수용하기 위한 입구;
상기 연료 가스를 점화시키기 위한 점화 수단; 및
대체로 환형의 도관으로서, 상기 입구로부터, 상기 도관의 환형 범위를 따라서 형성된 반경방향 내측을 향한 원주방향 개구까지 연료 가스를 이송하기 위해 360°에 걸쳐서 연장되는 플리넘 챔버를 구비하는, 상기 도관을 포함하고,
상기 입구는, 상기 환형의 도관 주위에 360°에 걸쳐서 대체로 균일한 압력으로 연료 가스를 분배하기 위해 상기 원주방향 개구와 어긋나게 됨으로써, 상기 연료 가스가 점화될 때 대체로 균일하며 연속적인 환형 파일럿 화염이 상기 도관의 직경방향 내측으로 발생하는 것을 특징으로 하는
파일럿.In a pilot for igniting a combustible fluid stream of a burner,
An inlet for receiving fuel gas in the pilot;
Ignition means for igniting the fuel gas; And
A generally annular conduit having a plenum chamber extending from the inlet through 360 degrees to deliver fuel gas to a radially inwardly directed circumferential opening formed along an annular extent of the conduit and,
Said inlet being offset from said circumferential opening to dispense the fuel gas at substantially uniform pressure over 360 degrees around said annular conduit such that a substantially uniform and continuous annular pilot flame is formed when said fuel gas is ignited, And is generated radially inward of the conduit
pilot. 제 1 항에 있어서,
상기 점화 수단은 스파크 점화기를 포함하는 것을 특징으로 하는
파일럿.The method according to claim 1,
Characterized in that the ignition means comprises a spark igniter
pilot. 제 2 항에 있어서,
상기 점화 수단은 단일 점화기를 포함하며, 사용 시에는 상기 연료 가스를 점화켜서 상기 연속적인 환형 파일럿 화염을 형성하는 것을 특징으로 하는
파일럿.3. The method of claim 2,
Characterized in that the ignition means comprises a single igniter and, in use, ignites the fuel gas to form the continuous annular pilot flame
pilot. 유체 스트림으로부터 유해 물질을 제거하기 위한 버너에 있어서,
상기 유체 스트림을 연소시키기 위해 연료 가스가 버닝될 수 있는 연소 구역; 및
연소실에서 상기 연료 가스를 점화시키기 위한 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항의 파일럿을 포함하는 것을 특징으로 하는
버너.A burner for removing harmful substances from a fluid stream,
A combustion zone in which a fuel gas can be burned to combust the fluid stream; And
Characterized by comprising a pilot according to any one of claims 1 to 3 for igniting the fuel gas in a combustion chamber
burner. 제 4 항에 있어서,
상기 연소 구역은 대체로 원통형인 주위 벽을 갖는 챔버에 의해 형성되고, 상기 챔버를 통해서 연료 가스를 연소실 내로 도입하여 파일럿에 의해 점화될 때 상기 벽의 표면 상에서 버닝시킴으로써 상기 챔버를 통과하는 유체 스트림이 연소될 수 있게 하는 것을 특징으로 하는
버너.5. The method of claim 4,
Wherein the combustion zone is formed by a chamber having a generally cylindrical peripheral wall through which the fuel gas is introduced into the combustion chamber and burned on the surface of the wall when ignited by the pilot, ≪ RTI ID = 0.0 >
burner. 제 5 항에 있어서,
상기 파일럿은, 상기 벽을 통과하는 상기 연료 가스가 효과적으로 점화되고 표면에서 화염이 유지될 수 있도록, 점화 시에 환형 파일럿 화염과 상기 벽이 그 각각의 환형 범위를 따라서 인접하도록 배치되는 것을 특징으로 하는
버너.6. The method of claim 5,
Characterized in that the pilot is arranged such that, in ignition, the annular pilot flame and the wall are adjacent to each other along their respective annular ranges such that the fuel gas passing through the wall is effectively ignited and the flame can be maintained at the surface
burner. 제 6 항에 있어서,
연소된 연료 스트림을 수용하기 위해 연소실의 하류에 배치되는 둑 구조체를 포함하며, 상기 파일럿은, 점화 시에 환형 파일럿 화염이 대체로 원통형인 벽을 상기 둑 구조체 상을 통과하는 비교적 저온의 액체로부터 단열시키도록 배치되는 것을 특징으로 하는
버너.The method according to claim 6,
And a duck structure disposed downstream of the combustion chamber to receive the combusted fuel stream, the pilot being adapted to insulate the annular pilot flame at ignition from a relatively low temperature liquid passing over the duck structure Are arranged so that
burner. 제 4 항에 있어서,
상기 연소 구역은 상기 유체 스트림과 상기 연료 가스를 혼합물로서 연소 구역 내로 도입하기 위해 연소실의 상류에 입구를 포함하는 것을 특징으로 하는
버너.5. The method of claim 4,
Characterized in that the combustion zone comprises an inlet upstream of the combustion chamber for introducing the fluid stream and the fuel gas into the combustion zone as a mixture
burner. 제 8 항에 있어서,
상기 혼합물은 대체로 원통형인 벽의 표면에 형성되는 화염에 의해 상기 입구에서 점화되는 것을 특징으로 하는
버너.9. The method of claim 8,
Characterized in that the mixture is ignited at the inlet by a flame formed on the surface of a generally cylindrical wall
burner. 제 9 항에 있어서,
상기 파일럿은 상기 대체로 원통형인 벽과 입구 사이에 배치되어, 혼합물을 입구에서 점화시키고 연료 가스를 대체로 원통형인 벽의 표면에서 점화시키는 것을 특징으로 하는
버너.10. The method of claim 9,
Wherein the pilot is disposed between the generally cylindrical wall and the inlet to ignite the mixture at the inlet and ignite the fuel gas at the surface of the generally cylindrical wall
burner. 제 4 항에 있어서,
상기 연소 구역은 상기 유체 스트림과 상기 연료 가스를 혼합물로서 연소 구역 내로 도입하기 위해 연소실의 상류에 입구를 포함하며, 상기 파일럿은 점화 시에 환형 파일럿 화염이 버닝될 혼합물을 둘러싸도록 배치되는 것을 특징으로 하는
버너.5. The method of claim 4,
Characterized in that the combustion zone comprises an inlet upstream of the combustion chamber for introducing the fluid stream and the fuel gas into the combustion zone as a mixture, the pilot being arranged so as to surround the mixture in which the annular pilot flame is to be burned upon ignition doing
burner. 제 10 항에 있어서,
복수의 유체 스트림과 연료 가스를 각각의 혼합물로서 연소실 내로 도입하기 위해 연소실에 복수의 입구를 포함하며, 상기 파일럿은, 점화 시에 환형 파일럿 화염이 버닝될 혼합물을 둘러쌈으로써 혼합물 전부가 상기 파일럿에 의해 점화될 수 있도록 배치되는 것을 특징으로 하는
버너.11. The method of claim 10,
A plurality of inlets in the combustion chamber for introducing the plurality of fluid streams and the fuel gas as respective mixtures into the combustion chamber, the pilot being configured to surround the mixture in which the annular pilot flame is to be burned upon ignition, Is arranged so as to be able to ignite
burner. 제 7 항에 있어서,
상기 둑 구조체의 일부는 파일럿과 일체를 이루고, 파일럿은 폐쇄 가능한 통로를 포함하며, 상기 통로가 개방되면 파일럿을 세척하는데 사용되는 물이 상기 통로를 통해서 둑 구조체 위로 흐르고 상기 통로가 폐쇄되면 파일럿은 상기 환형 화염을 형성할 수 있는 것을 특징으로 하는
버너.8. The method of claim 7,
Wherein a portion of the dirt structure is integral with the pilot and the pilot comprises a closable passage through which water used to clean the pilot flows over the dirt structure when the passage is opened and the passage is closed, Characterized in that it is capable of forming an annular flame
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