JP2001343756A - Exposure device - Google Patents

Exposure device

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JP2001343756A
JP2001343756A JP2000160890A JP2000160890A JP2001343756A JP 2001343756 A JP2001343756 A JP 2001343756A JP 2000160890 A JP2000160890 A JP 2000160890A JP 2000160890 A JP2000160890 A JP 2000160890A JP 2001343756 A JP2001343756 A JP 2001343756A
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JP
Japan
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light
correction lens
light source
exposure apparatus
exposure
Prior art date
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Application number
JP2000160890A
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Japanese (ja)
Inventor
Munechika Tani
宗親 谷
Toshio Uchigawa
寿夫 内河
Masachika Inoue
雅及 井上
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To uniformly expose the fluorescent surface of a panel of a color image picture tube. SOLUTION: An exposure device 10 has a support base 12 for positioning a panel 1, a light source L and plural correction lenses 16a, 16b, 16c and 16d which correct the orbit of light. The flanks or non-use regions of the at least one correction lenses are subjected to black coating. The scattering of the unwanted light in exposure reduced, and the illuminance of the exposure range on the inside surface of the panel 1 is readily optimized and the satisfactory fluorescent surface 3 may be formed.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、カラー受
像管の蛍光面形成用の露光装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to, for example, an exposure apparatus for forming a fluorescent screen of a color picture tube.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般的に、カラー受像管は、外囲器を構
成するパネルの内面に蛍光面が形成され、電子銃から放
出される電子ビームを外囲器の外側に装着された偏向ヨ
ークの発生する磁界により偏向し、さらに、シャドウマ
スクを介して上記の蛍光面を水平、垂直走査することに
より、この蛍光面上にカラー画像を表示している。
2. Description of the Related Art Generally, a color picture tube has a deflecting yoke in which a phosphor screen is formed on an inner surface of a panel constituting an envelope and an electron beam emitted from an electron gun is mounted outside the envelope. Is deflected by the magnetic field generated, and the phosphor screen is horizontally and vertically scanned through a shadow mask, thereby displaying a color image on the phosphor screen.

【0003】そして、上記の蛍光面としては、青、緑、
赤に発光するドット状あるいはストライプ状の3色蛍光
体層からなる蛍光面、あるいは、上記の3色蛍光体層か
らなる蛍光面及び上記の3色蛍光体層の隙間に黒色の光
吸収層が設けられたブラックマトリクス形またはブラッ
クストライプ形と呼ばれる蛍光面が知られている。
[0003] As the above-mentioned phosphor screen, blue, green,
A phosphor screen composed of a three-color phosphor layer in the form of dots or stripes emitting red light, or a black light absorbing layer in the gap between the phosphor screen composed of the three-color phosphor layer and the three-color phosphor layer described above. A provided phosphor screen called a black matrix type or a black stripe type is known.

【0004】また、これらの蛍光面は、従来、写真印刷
法により形成されている。すなわち、光吸収層を持たな
い3色蛍光体層からなる蛍光面については、パネル内面
に特定の色の蛍光体と感光剤を主成分とする蛍光体スラ
リを塗布して蛍光体スラリ層を形成し、この蛍光体スラ
リ層をシャドウマスクを介して露光し、現像して所定の
パターンの蛍光体層を形成し、これを各色について繰り
返し、3色の蛍光体層を形成している。また、光吸収層
を持つブラックマトリクス形またはブラックストライプ
形の蛍光面については、上記の3色の蛍光体層を形成す
る前に、パネル内面に感光剤を塗布して感光膜を形成
し、この感光膜を露光し、現像して、蛍光体層の形成位
置にドット状あるいはストライプ状のパターンからなる
レジストを形成する。次いで、このレジストが形成され
たパネルの内面に、黒色塗料を塗布し、黒色塗料層であ
る光吸収層を形成する。この後、この光吸収層の隙間に
上記の3色蛍光体層の形成方法と同様の方法により蛍光
体層を形成して、蛍光面を形成している。
[0004] Further, these phosphor screens are conventionally formed by a photographic printing method. That is, for a phosphor screen composed of a three-color phosphor layer having no light absorption layer, a phosphor slurry of a specific color and a photosensitive agent as a main component is applied to the inner surface of the panel to form a phosphor slurry layer. Then, this phosphor slurry layer is exposed through a shadow mask and developed to form a phosphor layer of a predetermined pattern, and this is repeated for each color to form phosphor layers of three colors. For a black matrix type or black stripe type fluorescent surface having a light absorbing layer, a photosensitive agent is applied to the inner surface of the panel to form a photosensitive film before the above-described three color phosphor layers are formed. The photosensitive film is exposed and developed to form a resist having a dot or stripe pattern at the position where the phosphor layer is to be formed. Next, a black paint is applied to the inner surface of the panel on which the resist is formed to form a light absorption layer which is a black paint layer. Thereafter, a phosphor layer is formed in the gap between the light absorbing layers by the same method as the above-described method of forming the three-color phosphor layer, thereby forming a phosphor screen.

【0005】そして、このような蛍光面形成方法におい
て、パネル内面に形成された蛍光体スラリ層あるいは感
光膜を露光するときに、露光装置が使用されている。こ
の露光装置は、通常、図10に示すように、パネル1を
位置決め支持する支持台2を有し、この支持台2の下部
内側に、パネル1の内面に塗布して形成された蛍光体ス
ラリ層3または感光膜にシャドウマスク4を介して光を
照射する光源5と、この光源5から放射される光の軌道
を電子銃から放出される電子ビームの軌道と一致させる
ための第1補正レンズ6a、第2補正レンズ6b、及び電子
ビームに対する地磁気の垂直成分の影響を補正する第3
補正レンズ6cなどからなる3個の補正レンズ7とが配置
されており、さらに、長光源を使用する露光台では、パ
ネル1の内面の曲面形状により、光源のパネル内面への
投影形状を補正するために、第4補正レンズ6dが配置さ
れる構成も知られている。また、各補正レンズ6a,6b,
6cは、各々1mm〜10mm程度の厚みを有し、丸型、角型
などのレンズが用いられている。
[0005] In such a phosphor screen forming method, an exposure apparatus is used when exposing a phosphor slurry layer or a photosensitive film formed on the inner surface of the panel. As shown in FIG. 10, this exposure apparatus usually has a support 2 for positioning and supporting the panel 1. A phosphor slurry formed by applying the inner surface of the panel 1 to the inside of the lower portion of the support 2. A light source 5 for irradiating the layer 3 or the photosensitive film with light through a shadow mask 4, and a first correction lens for matching the trajectory of the light emitted from the light source 5 with the trajectory of the electron beam emitted from the electron gun 6a, a second correction lens 6b, and a third correction lens for correcting the influence of the vertical component of terrestrial magnetism on the electron beam.
In the exposure table using a long light source, the projection shape of the light source on the inner surface of the panel is corrected by the curved surface shape of the inner surface of the panel 1 on the exposure table using the long light source. Therefore, a configuration in which the fourth correction lens 6d is arranged is also known. In addition, each correction lens 6a, 6b,
Each of the lenses 6c has a thickness of about 1 mm to 10 mm, and a round or square lens is used.

【0006】上記のように、カラー受像管の蛍光面の形
成には、パネルを位置決め支持する支持台の下部内側
に、パネル内面に塗布形性された蛍光体スラリ層あるい
は感光膜にシャドウマスクを介して光を照射する光源
と、この光源から放射される光の軌道を電子銃から放出
される電子ビームの軌道と一致させるための補正レンズ
が配置された露光装置が使用されている。
As described above, to form the fluorescent screen of the color picture tube, a phosphor slurry layer coated on the inner surface of the panel or a shadow mask is formed on the photosensitive film on the inner side of the lower portion of the support for positioning and supporting the panel. An exposure apparatus is used in which a light source for irradiating light through the light source and a correction lens for aligning the trajectory of the light emitted from the light source with the trajectory of the electron beam emitted from the electron gun are used.

【0007】しかしながら、光源から放射された光が補
正レンズを通過するとき、レンズ内で反射した光がレン
ズの側壁部からレンズ外に漏洩すると、所望する露光範
囲内の露光照度の均一性が低下する。そして、露光範囲
内の露光照度の均一性が低下すると、光吸収層の形成工
程においては、ブラックマトリクス形あるいはブラック
ストライプ形の光吸収層を形成するための感光膜の感光
が不均一になり、光吸収層の面積及び幅が不均一にな
り、色純度の劣化の原因になる。また、蛍光体層の形成
工程においては、同様に、露光範囲内の露光照度の均一
性が低下すると、蛍光体スラリ層の感光が不均一にな
り、蛍光体スラリ層の膜厚が不均一になり、色純度の劣
化の原因になる。さらに、各補正レンズからの漏洩光
が、所望する露光範囲外の感光膜あるいは蛍光体スラリ
層を感光させた場合は、不適切な領域に蛍光面が形成さ
れるなどの問題を有している。そして、このような現象
は、光源の照度を大きくする必要がある大型管や、光源
からの光のレンズに対する入射角が大きくなる広角偏向
管の露光装置で顕著になる。
However, when the light emitted from the light source passes through the correction lens and the light reflected in the lens leaks out of the lens from the side wall of the lens, the uniformity of the exposure illuminance within a desired exposure range is reduced. I do. Then, when the uniformity of the exposure illuminance within the exposure range is reduced, in the light absorbing layer forming step, the photosensitive film for forming the black matrix type or black stripe type light absorbing layer becomes non-uniform, and The area and width of the light absorbing layer become non-uniform, which causes deterioration of color purity. Similarly, in the step of forming the phosphor layer, if the uniformity of the exposure illuminance within the exposure range is reduced, the sensitivity of the phosphor slurry layer becomes nonuniform, and the thickness of the phosphor slurry layer becomes nonuniform. Color deterioration. Furthermore, when the light leaked from each correction lens exposes the photosensitive film or the phosphor slurry layer outside the desired exposure range, there is a problem that a phosphor screen is formed in an inappropriate area. . Such a phenomenon is remarkable in a large-sized tube in which it is necessary to increase the illuminance of the light source or a wide-angle deflection tube exposure apparatus in which the angle of incidence of light from the light source on the lens is large.

【0008】また、センターガンに対してサイドガンが
画面長軸方向に配置されるインライン型電子銃を備える
カラー受像管では、蛍光面の露光時において、光源をカ
ラー受像管の電子銃配列と対応する方向である画面長軸
方向すなわち図8に示すy方向に変位させて、サイドガ
ンに対応する感光膜及び蛍光体スラリ層を露光する。そ
のため、光源を変位させた側の画面半面は、もう一方の
半面より光源からの距離が遠くなり、露光時の照度が相
対的に低下する。そして、この露光時の照度差は、画面
長軸から離れるに従って大きくなり、また、画面寸法が
大きい大型管や、偏向角の大きい広角偏向管において顕
著になる。
In a color picture tube provided with an in-line type electron gun in which a side gun is arranged in a longitudinal direction of a screen with respect to a center gun, a light source corresponding to an electron gun arrangement of the color picture tube is used when exposing a fluorescent screen. The photosensitive film and the phosphor slurry layer corresponding to the side gun are exposed while being displaced in the direction of the long axis of the screen, that is, the y direction shown in FIG. Therefore, the half surface of the screen on which the light source is displaced has a longer distance from the light source than the other half surface, and the illuminance at the time of exposure relatively decreases. The illuminance difference at the time of exposure increases as the distance from the long axis of the screen increases, and becomes remarkable in a large tube having a large screen size or a wide-angle deflection tube having a large deflection angle.

【0009】このように、インライン型電子銃を備える
カラー受像管では、蛍光面の露光時において、光源をカ
ラー受像管の電子銃配列と対応する方向である画面長軸
方向に変位させて、サイドガンに対応する感光膜及び蛍
光体スラリ層を露光する。そのため、光源を変位させた
側の画面半面は、もう一方の半面より光源からの距離が
遠くなり、露光時の照度が相対的に低下する。そして、
このサイドガンの露光時の照度差は、画面長軸の中間部
から長軸端部におけるサイドガンに対応する色の感光膜
露光のアンバランスを引き起こし、例えば、赤色蛍光体
の有効発光領域に対する青色蛍光体の有効発光領域が小
さいなどの問題を引き起こし、色純度の劣化の原因とな
る。そして、この露光時の照度差は、画面長軸から離れ
るに従って大きくなり、また、画面寸法が大きい大型管
や、偏向角の大きい広角偏向管において顕著になる。
As described above, in the color picture tube provided with the in-line type electron gun, when exposing the phosphor screen, the light source is displaced in the longitudinal direction of the screen which is the direction corresponding to the arrangement of the electron guns of the color picture tube. The photosensitive film and the phosphor slurry layer corresponding to the gun are exposed. Therefore, the half surface of the screen on which the light source is displaced has a longer distance from the light source than the other half surface, and the illuminance at the time of exposure relatively decreases. And
The illuminance difference at the time of exposure of the side gun causes an imbalance in the exposure of the photosensitive film of a color corresponding to the side gun from the middle part of the screen long axis to the end of the long axis. This causes a problem that the effective light emitting area of the phosphor is small and causes deterioration of color purity. The illuminance difference at the time of exposure increases as the distance from the long axis of the screen increases, and becomes remarkable in a large tube having a large screen size or a wide-angle deflection tube having a large deflection angle.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】上記のように、カラー
受像管の蛍光面の形成に使用する露光装置は、パネルを
位置決め支持する支持台の下部内側に、パネル内面に塗
布形性された蛍光体スラリ層あるいは感光膜にシャドウ
マスクを介して光を照射する光源と、この光源から放射
される光の軌道を電子銃から放出される電子ビームの軌
道と一致させるための補正レンズが配置されているが、
光源から放射された光が補正レンズを通過するとき、レ
ンズ内で反射した光がレンズの側壁部からレンズ外に漏
洩すると、所望する露光範囲内の露光照度の均一性が低
下し、感光膜あるいは蛍光体スラリ層の感光が不均一に
なり、色純度が低下する問題を有している。また、セン
ターガンに対してサイドガンが画面長軸方向に配置され
るインライン型電子銃を備えるカラー受像管では、光源
をカラー受像管の電子銃配列と対応する方向である画面
長軸方向に変位させて、サイドガンに対応する感光膜及
び蛍光体スラリ層を露光するため、光源を変位させた側
の画面半面は、もう一方の半面より光源からの距離が遠
くなり、露光時の照度が相対的に低下する。そして、こ
のサイドガンの露光時の照度差は、画面長軸の中間部か
ら長軸端部におけるサイドガンに対応する色の感光膜露
光のアンバランスを引き起こし、色純度の劣化の原因と
なる問題を有している。
As described above, the exposure apparatus used for forming the fluorescent screen of the color picture tube is provided with a fluorescent coating formed on the inner surface of the panel inside the lower part of the support base for positioning and supporting the panel. A light source that irradiates the body slurry layer or the photosensitive film with light through a shadow mask, and a correction lens for aligning the trajectory of the light emitted from the light source with the trajectory of the electron beam emitted from the electron gun are arranged. But
When light emitted from the light source passes through the correction lens, if light reflected in the lens leaks out of the lens from the side wall of the lens, the uniformity of exposure illuminance within a desired exposure range decreases, and the photosensitive film or There is a problem that the photosensitivity of the phosphor slurry layer becomes non-uniform and the color purity is reduced. In a color picture tube provided with an in-line type electron gun in which a side gun is arranged in a screen long axis direction with respect to a center gun, a light source is displaced in a screen long axis direction which is a direction corresponding to an electron gun arrangement of the color picture tube. Then, to expose the photosensitive film and the phosphor slurry layer corresponding to the side gun, the half surface of the screen on which the light source is displaced is farther from the light source than the other half surface, and the illuminance during exposure is relatively high. Decline. The illuminance difference at the time of exposure of the side gun causes an imbalance in the exposure of the photosensitive film of a color corresponding to the side gun from the middle portion of the screen to the end portion of the long axis from the middle portion of the long axis of the screen, thereby causing deterioration of color purity. have.

【0011】本発明は、このような点に鑑みなされたも
ので、光源の光を補正レンズで補正する精度の高い露光
装置を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide an exposure apparatus with high accuracy for correcting light from a light source with a correction lens.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明の露光装置は、光
源と、この光源から放出される光の軌道を補正する有効
使用領域を設けた補正レンズと、この補正レンズの有効
使用領域外に光の漏洩を抑制する漏洩抑制手段とを具備
したものである。そして、この構成では、光源から放出
される光の軌道を補正レンズで補正して、露光対象物に
露光する。補正レンズの有効使用領域外に設けた漏洩抑
制手段により、補正レンズからの不要な漏洩光が低減さ
れ、精度の高い感光が可能になり、品質の高い製品が提
供される。
An exposure apparatus according to the present invention comprises a light source, a correction lens provided with an effective use area for correcting the trajectory of light emitted from the light source, and a correction lens provided outside the effective use area of the correction lens. And a leakage suppressing means for suppressing light leakage. In this configuration, the trajectory of the light emitted from the light source is corrected by the correction lens, and the exposure target is exposed. Unnecessary leakage light from the correction lens is reduced by the leakage suppression means provided outside the effective use area of the correction lens, so that high-precision exposure is possible, and a high-quality product is provided.

【0013】また、漏洩抑制手段は、黒色塗装膜とする
ことにより、容易に形成される。
[0013] The leakage suppressing means is easily formed by using a black paint film.

【0014】さらに、漏洩抑制手段は、補正レンズに形
成した凹凸部の表面に黒色塗装膜を設けることにより、
黒色塗装膜が補正レンズに強固に付着される。
Further, the leakage suppressing means is provided by providing a black coating film on the surface of the uneven portion formed on the correction lens,
A black paint film is firmly attached to the correction lens.

【0015】そして、露光対象物としてのカラー受像管
のパネルを支持手段で支持し、このパネルの内面を露光
して、均一で色純度の高い蛍光面が形成される。
A panel of a color picture tube as an object to be exposed is supported by a supporting means, and an inner surface of the panel is exposed to form a phosphor screen having uniform and high color purity.

【0016】また、本発明の露光装置は、露光対象物を
支持する支持手段と、光源と、この光源から放出される
光の軌道を補正して前記露光対象物に照射する補正レン
ズと、この補正レンズに設けられ光源と露光対象物との
位置に応じて異なる光透過分布が設定された光吸収手段
とを具備したものである。そして、この構成では、光源
から放出される光の軌道を補正レンズで補正して、露光
対象物に露光する。補正レンズに設けた光吸収手段によ
り、光源と露光対象物との位置に応じて光透過量が調整
され、精度の高い感光が可能になり、品質の高い製品が
提供される。
Further, the exposure apparatus of the present invention comprises a supporting means for supporting an object to be exposed, a light source, a correction lens for correcting the trajectory of light emitted from the light source and irradiating the object with the light, And a light absorbing means provided in the correction lens and having different light transmission distributions set according to the positions of the light source and the object to be exposed. In this configuration, the trajectory of the light emitted from the light source is corrected by the correction lens, and the exposure target is exposed. By the light absorbing means provided in the correction lens, the light transmission amount is adjusted according to the positions of the light source and the object to be exposed, so that high-precision exposure is possible, and a high-quality product is provided.

【0017】また、本発明の露光装置は、センターガン
に対しサイドガンが画面長軸方向に配置されるインライ
ン型電子銃を備えるカラー受像管のパネルの蛍光面を露
光する露光装置であって、各色蛍光体を露光する光源
と、この光源から放出される光の軌道を補正する補正レ
ンズと、この補正レンズに設けられ長軸方向に沿って異
なる光透過分布が設定された光吸収手段とを具備したも
のである。そして、この構成では、センターガン及びサ
イドガンに対応する複数の位置から放射される光源の光
の軌道を補正レンズで補正して、カラー受像管のパネル
の蛍光面に露光する。補正レンズに設けた光吸収手段に
より、光源と露光対象物との位置に応じて光透過量が調
整され、精度の高い感光が可能になり、品質の高い製品
が提供される。
The exposure apparatus of the present invention is an exposure apparatus for exposing a fluorescent screen of a panel of a color picture tube provided with an in-line type electron gun in which a side gun is arranged in a longitudinal direction of a screen with respect to a center gun, A light source for exposing each color phosphor, a correction lens for correcting the trajectory of light emitted from the light source, and light absorbing means provided on the correction lens and having different light transmission distributions set along the long axis direction. It is provided. In this configuration, the trajectories of the light of the light source radiated from a plurality of positions corresponding to the center gun and the side gun are corrected by the correction lens, and the fluorescent screen of the panel of the color picture tube is exposed. By the light absorbing means provided in the correction lens, the light transmission amount is adjusted according to the positions of the light source and the object to be exposed, so that high-precision exposure is possible, and a high-quality product is provided.

【0018】そして、光吸収手段は、短軸を挟む半面ご
とに異なる光透過分布を設定し、また、長軸方向の片側
半面に短軸からの距離に応じて小さくなる透過率分布を
設定することができる。
The light absorbing means sets a different light transmission distribution for each half surface sandwiching the short axis, and sets a transmittance distribution that decreases in accordance with the distance from the short axis on one half surface in the long axis direction. be able to.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】以下、本発明の露光装置の一実施
の形態を図面を参照して説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an embodiment of the exposure apparatus of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0020】なお、露光対象物としての陰極線管である
カラー受像管のパネル1は、図10に示すものと同様
で、非球面状などに湾曲した曲面部1aの内面に、赤
(R)、緑(G)、青(B)の3色の蛍光体層及び光吸
収層を所定のパターンで形成した蛍光面3が形成されて
いる。そして、このパネル1は、内側にシャドウマスク
4を組み合わせた後、ファンネルと組み合わされて外囲
器を構成し、電子銃を封着してカラー受像管が構成され
る。また、この電子銃は、緑(G)のセンターガンに対
して、赤(R)及び青(B)のサイドガンが水平面状す
なわち画面長軸方向に配置されるインライン配列のイン
ライン型電子銃となっている。
The panel 1 of a color picture tube, which is a cathode ray tube as an object to be exposed, is the same as that shown in FIG. 10 and has red (R), red (R), A phosphor screen 3 is formed in which phosphor layers of three colors of green (G) and blue (B) and a light absorbing layer are formed in a predetermined pattern. After the panel 1 is combined with the shadow mask 4 on the inside, it is combined with a funnel to form an envelope, and the electron gun is sealed to form a color picture tube. In addition, this electron gun has an in-line type electron gun in which red (R) and blue (B) side guns are arranged in a horizontal plane, that is, in the longitudinal direction of the screen, with respect to a green (G) center gun. Has become.

【0021】図1において、10は露光装置で、この露光
装置10は、パネル1を位置決め支持する支持手段として
の支持台12を有し、この支持台12には、パネル1の内面
に対向する開口部12aが形成されている。そして、この
支持台12の下部内側には、パネル1の内面に塗布形成さ
れた蛍光体スラリ層あるいは感光膜にシャドウマスク4
を介して光を照射する光源Lと、この光源Lから放射さ
れる光の軌道を電子銃から放出される電子ビームの軌道
と一致させるための第1補正レンズ16a、第2補正レン
ズ16b、電子ビームに対する地磁気の垂直成分の影響を
補正する第3補正レンズ16c、光源Lのパネル内面への
投影形状を補正する第4補正レンズ16dを備えた補正レ
ンズ17と、フィルタ18とが配置されている。なお、第4
補正レンズ16dは、ブラックストライプ状の光吸収層を
備える蛍光面を形成するための長光源を使用する露光台
では、パネル1の内面の曲面形状による光源Lのパネル
内面への投影形状を補正するため、必要に応じて補正さ
れるものである。また、光源Lとしては、露光に必要な
光を放射する例えば、超高圧水銀ランプが用いられてい
る。さらに、各補正レンズ16a,16b,16c,16dの一部あ
るいは全部には、必要に応じて多層膜が形成されてい
る。
In FIG. 1, reference numeral 10 denotes an exposure apparatus. The exposure apparatus 10 has a support table 12 as a support means for positioning and supporting the panel 1. The support table 12 faces the inner surface of the panel 1. An opening 12a is formed. On the inner side of the lower portion of the support table 12, a phosphor slurry layer or a photosensitive film coated on the inner surface of the panel 1
A first correction lens 16a, a second correction lens 16b for matching the trajectory of light emitted from the light source L with the trajectory of the electron beam emitted from the electron gun, A third correction lens 16c for correcting the influence of the vertical component of the terrestrial magnetism on the beam, a correction lens 17 including a fourth correction lens 16d for correcting the shape of the light source L projected on the inner surface of the panel, and a filter 18 are provided. . The fourth
The correction lens 16d corrects the projected shape of the light source L on the panel inner surface due to the curved shape of the inner surface of the panel 1 on an exposure table using a long light source for forming a phosphor screen having a light absorption layer in the form of a black stripe. Therefore, it is corrected as needed. As the light source L, for example, an ultra-high pressure mercury lamp that emits light necessary for exposure is used. Further, a multilayer film is formed on a part or all of the correction lenses 16a, 16b, 16c, and 16d as necessary.

【0022】そして、第1ないし第3補正レンズ16a,1
6b,16cは、図2及び図3に示すように、例えば円盤状
などの略板状で、露光時に用いる矩形状の有効使用領域
21が設定されているとともに、この有効使用領域21の周
囲は、露光時には用いない有効使用領域外22となり、さ
らに、外周部は、光軸すなわちz軸に沿った側壁部であ
る側面部23となっている。そして、この実施の形態で
は、側面部23に、黒色塗料が塗布され、すなわち、黒色
塗装が施されて黒色塗装膜が形成され、漏洩抑制手段25
が形成されている。
Then, the first to third correction lenses 16a, 1
As shown in FIGS. 2 and 3, reference numerals 6b and 16c denote a substantially plate-like shape such as a disk, and a rectangular effective use area used at the time of exposure.
21 is set, the periphery of this effective use area 21 is outside the effective use area 22 not used at the time of exposure, and further, the outer peripheral part is a side wall part 23 which is a side wall part along the optical axis, that is, the z axis. Has become. In this embodiment, the side surface portion 23 is coated with black paint, that is, black paint is applied to form a black paint film.
Are formed.

【0023】また、第4補正レンズ16dは、図4及び図
5に示すように、例えば略半球状の曲面部27と、この曲
面部27の端部に位置する水平な環状の底面部28及び垂直
な環状の側壁部である側面部29とを備え、これら底面部
28及び側面部29に、黒色塗料が塗布され、すなわち、黒
色塗装が施されて黒色塗装膜が形成され、漏洩抑制手段
30が形成されている。
As shown in FIGS. 4 and 5, the fourth correction lens 16d has, for example, a substantially hemispherical curved surface portion 27, and a horizontal annular bottom surface portion 28 located at an end of the curved surface portion 27. And a side surface portion 29 that is a vertical annular side wall portion.
A black paint is applied to 28 and the side surface 29, that is, a black paint is applied to form a black paint film,
30 are formed.

【0024】このように、本実施の形態のカラー受像管
の蛍光面の蛍光面形成用露光装置によれば、カラー受像
管用の露光台に用いる複数のレンズのうちの少なくとも
1個のレンズの側面または不使用領域すなわち有効使用
領域外に黒色塗装を施すことにより、露光時のレンズ側
壁部及びレンズ有効使用領域外からの不要光の漏洩を軽
減でき、パネル露光時に不要な散乱光を低減して、パネ
ル内面の露光範囲である露光面における照度の最適化が
容易になり、感光膜及びスラリ層の不均一な感光を低減
し、さらに、所望する露光範囲外の感光膜あるいはスラ
リ層を感光させることなく、色純度などの良好な蛍光面
を形成できるカラー受像管の露光装置を構成できる。
As described above, according to the phosphor screen forming exposure apparatus of the color picture tube according to the present embodiment, the side surface of at least one of the plurality of lenses used for the exposure stand for the color picture tube is used. Alternatively, by applying black paint to the non-use area, that is, outside the effective use area, it is possible to reduce unnecessary light leakage from the lens side wall part and the outside of the lens effective use area at the time of exposure, and reduce unnecessary scattered light at the time of panel exposure. It is easy to optimize the illuminance on the exposure surface, which is the exposure range of the inner surface of the panel, to reduce the uneven exposure of the photosensitive film and the slurry layer, and to expose the photosensitive film or the slurry layer outside the desired exposure range. Thus, an exposure apparatus for a color picture tube capable of forming a fluorescent screen having good color purity and the like can be constructed without using the same.

【0025】すなわち、第1ないし第3補正レンズ16
a,16b,16cの側面部23、及び、第4補正レンズ16dの底
面部28及び側面部29に漏洩抑制手段25,30を設けたた
め、光源Lから放射された光が各補正レンズ16a,16b,
16c,16dを通過する時、レンズ内部で反射した光が側面
部23,29あるいは底面部28に設けた漏洩抑制手段25,30
の黒色塗料で十分に遮断、吸収され、レンズ外への漏洩
を防止できる。そこで、所望の露光範囲に到達する不要
光を遮断し、良好な蛍光面3を形成できる。
That is, the first to third correction lenses 16
Since the leakage suppression means 25 and 30 are provided on the side surface 23 of the a, 16b and 16c, and on the bottom surface 28 and the side surface 29 of the fourth correction lens 16d, light emitted from the light source L is transmitted to each of the correction lenses 16a and 16b. ,
When passing through 16c and 16d, the light reflected inside the lens is leak-suppressing means 25, 30 provided on the side surface 23, 29 or the bottom surface 28.
The black paint is sufficiently shielded and absorbed, and can be prevented from leaking out of the lens. Therefore, unnecessary light reaching the desired exposure range can be blocked, and a good phosphor screen 3 can be formed.

【0026】なお、このように不要光を遮断し、良好な
蛍光面3を形成できる効果は、光源Lの照度を大きくす
る必要のある大型管や、光源Lからの光のレンズに対す
る入射角が大きくなる広角偏向管の露光装置でさらに有
効となる。
The effect of blocking unnecessary light and forming a good phosphor screen 3 as described above is due to the fact that the incident angle of the light from the light source L to the lens or the large tube which needs to increase the illuminance of the light source L is required. This is more effective for an exposure apparatus having a wide-angle deflection tube that becomes larger.

【0027】また、上記の実施の形態では、4個の補正
レンズ16a,16b,16c,16dの側面及び底面に黒色塗料を
塗布したが、漏洩抑制手段は、一部のみの補正レンズの
側面あるいは底面に設けても、同様の効果を実現でき
る。また、側面及び底面に設ける漏洩抑制手段ととも
に、あるいはこれら漏洩抑制手段に代えて、各補正レン
ズの有効使用領域外22に黒色塗料を塗布して漏洩抑制手
段を設けても、同様の効果を実現できる。
Further, in the above embodiment, the black paint is applied to the side and bottom surfaces of the four correction lenses 16a, 16b, 16c, 16d. The same effect can be realized even if it is provided on the bottom surface. In addition, the same effect can be achieved by applying a black paint to the outside of the effective use area 22 of each correction lens together with or instead of the leakage suppressing means provided on the side surface and the bottom surface, and providing the same effect. it can.

【0028】また、漏洩抑制手段は、光を遮断、吸収す
る黒色塗料の塗布により、容易に実現できる。
Further, the leakage suppressing means can be easily realized by applying a black paint which blocks and absorbs light.

【0029】さらに、レンズの黒色塗料を塗布する領域
に、予めスリガラス状の加工など、塗料の付着を容易に
する凹凸部を形成する加工を施すことにより、黒色塗料
のレンズ付着効果を向上でき、漏洩抑制手段を容易かつ
強固に形成できる。なお、凹凸部と黒色塗装膜とは、全
領域で一致しても良く、あるいは一部で重なる構成とす
ることもできる。
Further, by applying a process of forming a concave and convex portion for facilitating the application of the paint, such as a ground glass process, in the area of the lens where the black paint is applied, the effect of attaching the black paint to the lens can be improved. The leak suppressing means can be easily and firmly formed. In addition, the uneven portion and the black coating film may be identical in the entire region, or may be configured to partially overlap.

【0030】また、補正レンズの構成も上記のものに限
られず、例えば、1個の補正レンズのみの構成に適用す
ることもできる。
Further, the configuration of the correction lens is not limited to the above-described one, and can be applied to, for example, a configuration having only one correction lens.

【0031】次に、本発明の他の実施の形態を図6ない
し図9を参照して説明する。なお、図1に示す構成と同
様の部分は同一の符号を付して説明を省略する。また、
この実施の形態では、漏洩抑制手段あるいは第4補正レ
ンズ16dなどは図示されていないが、必要に応じて設け
ることもできる。
Next, another embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. The same parts as those in the configuration shown in FIG. Also,
In this embodiment, the leakage suppressing means, the fourth correction lens 16d, and the like are not shown, but may be provided as necessary.

【0032】そして、この構成では、緑(G)のセンタ
ーガンに対して、赤(R)及び青(B)のサイドガンが
水平面状すなわち画面長軸方向すなわちx方向に沿って
配置されるインライン配列のインライン型電子銃に対応
した蛍光面3を形成するもので、光源Lは、一方のサイ
ドガンに対応する色、例えば赤(R)の蛍光膜の形成時
には、図6に示すように、x方向に沿ってプラスすなわ
ち左方向に変位すなわち移動し、もう一方のサイドガン
に対応する色、例えば青(B)の蛍光膜の形成時には、
x方向に沿ってマイナスすなわち右方向に変位すなわち
移動する。
In this configuration, the red (R) and blue (B) side guns are arranged in a horizontal plane, that is, along the screen long axis direction, that is, along the x direction, with respect to the green (G) center gun. As shown in FIG. 6, when forming a fluorescent film of a color corresponding to one of the side guns, for example, a red (R) fluorescent film, When forming a fluorescent film of a color corresponding to the other side gun, for example, blue (B), it is displaced or moved in the plus direction, that is, the left direction along the x direction.
It is displaced or moved in the negative or right direction along the x direction.

【0033】また、第1乃至第3補正レンズ16a,16b,
16cを有する補正レンズ17は、赤(R)、緑(G)、青
(B)の3色の蛍光体層、すなわちインライン型電子銃
に対応して設けられる。ここで、その補正レンズは必ず
しも全て異なっている必要は無く、例えば、赤(R)露
光時の第1補正レンズに「A」、第2補正レンズに
「B」、第3補正レンズに「E」を用い、緑(G)露光
時の第1補正レンズに「A」、第2補正レンズに
「C」、第3補正レンズに「E」を用い、青(B)露光
時の第1補正レンズに「A」、第2補正レンズに
「D」、第3補正レンズに「E」を用いる、など適宜組
合せることができる。上記の場合では、第1補正レンズ
16a及び第3補正レンズ16cは同じレンズを横方向の変位
で各色に対応させて用いるとともに、第2補正レンズ16
bを各色専用としているので、レンズの総計は5枚にな
る。
The first to third correction lenses 16a, 16b,
The correction lens 17 having 16c is provided corresponding to the phosphor layers of three colors of red (R), green (G), and blue (B), that is, an in-line type electron gun. Here, the correction lenses do not necessarily have to be all different, for example, “A” for the first correction lens, “B” for the second correction lens, and “E” for the third correction lens during red (R) exposure. , "A" for the first correction lens at the time of green (G) exposure, "C" for the second correction lens, and "E" for the third correction lens, and the first correction at the time of blue (B) exposure. A combination such as “A” for the lens, “D” for the second correction lens, and “E” for the third correction lens can be used. In the above case, the first correction lens
The same lens 16a and the third correction lens 16c are used in correspondence to each color with a lateral displacement, and the second correction lens 16c is used.
Since b is dedicated to each color, the total number of lenses is five.

【0034】そして、図6に示すように、赤(R)用の
サイドガンの位置に対応する位置に光源Lが変位した状
態、すなわち、赤色の蛍光体の露光時のパネル1内面の
照度は、x軸プラス側の領域よりx軸マイナス側の領域
の方が小さくなるため、赤(R)用のサイドガンの位置
に対応する第1補正レンズ16aには、図8に示すよう
に、x軸プラス側の領域よりx軸マイナス側の領域の透
過率が大きい透過率分布特性を有する光吸収層である光
吸収手段41が設けられ、パネル1内面の照度の均一化が
図られている。
As shown in FIG. 6, the light source L is displaced to a position corresponding to the position of the red (R) side gun, that is, the illuminance of the inner surface of the panel 1 when the red phosphor is exposed. Since the area on the negative side of the x-axis is smaller than the area on the positive side of the x-axis, the first correction lens 16a corresponding to the position of the side gun for red (R) has x as shown in FIG. A light absorbing means 41, which is a light absorbing layer having a transmittance distribution characteristic in which the transmittance in the region on the negative side of the x axis is larger than that in the region on the positive side of the axis, is provided to make the illuminance on the inner surface of the panel 1 uniform.

【0035】同様に、図7に示すように、青(B)用の
サイドガンの位置に対応する位置に光源Lが変位した状
態、すなわち、青色の蛍光体の露光時のパネル1内面の
照度は、x軸プラス側の領域よりx軸マイナス側の領域
の方が大きくなるため、青(B)用のサイドガンの位置
に対応する第1補正レンズ16aには、図9に示すよう
に、x軸プラス側の領域よりx軸マイナス側の領域の透
過率が小さい透過率分布特性を有する光吸収層である光
吸収手段42が設けられ、パネル1内面の照度の均一化が
図られている。
Similarly, as shown in FIG. 7, the light source L is displaced to a position corresponding to the position of the side gun for blue (B), that is, the illuminance of the inner surface of the panel 1 when the blue phosphor is exposed. Since the area on the x-axis minus side is larger than the area on the x-axis plus side, the first correction lens 16a corresponding to the position of the side gun for blue (B) has The light absorbing means 42, which is a light absorbing layer having a transmittance distribution characteristic in which the transmittance in the region on the negative side of the x axis is smaller than that in the region on the positive side of the x axis, is provided to make the illuminance of the inner surface of the panel 1 uniform. .

【0036】このように、本実施の形態によれば、光源
Lの変位に対応した透過率分布特性を有する光吸収手段
41,42を第1補正レンズ16aに設けることにより、この
ような光吸収手段41,42を設けない構成では補正が困難
であった、y軸を挟みx軸プラス側の領域では例えば赤
色蛍光体の有効発光領域の幅が青色蛍光体の有効発光領
域の幅より大きく、x軸マイナス側の領域では例えば青
色蛍光体の有効発光領域の幅が赤色蛍光体の有効発光領
域の幅より大きくなるといった現象を解消でき、画面周
辺部においてもサイドガンに対応する蛍光体の有効発光
領域のアンバランスのない、色純度の良好な蛍光面を形
成できる。
As described above, according to the present embodiment, the light absorbing means having the transmittance distribution characteristic corresponding to the displacement of the light source L
By providing the first and second correction lenses 16 and 41 in the first correction lens 16a, it is difficult to correct such a configuration without the light absorbing means 41 and 42. The width of the effective light emitting region of the blue phosphor is larger than the width of the effective light emitting region of the blue phosphor, and the width of the effective light emitting region of the blue phosphor is larger than the width of the effective light emitting region of the red phosphor in the region on the x-axis minus side. The phenomenon can be eliminated, and a fluorescent screen with good color purity can be formed even in the peripheral portion of the screen without any imbalance in the effective light emitting area of the phosphor corresponding to the side gun.

【0037】なお、光吸収手段を構成する光吸収層は、
レンズの底面すなわち光源L側あるいは上面すなわちパ
ネル1側のいずれか一方あるいは両方に形成することが
できる。また、光吸収手段を構成する光吸収層は、補正
レンズの短軸すなわちy軸を挟む半面にのみ形成しても
同様な効果を実現できる。
The light absorbing layer constituting the light absorbing means is
It can be formed on one or both of the bottom surface of the lens, that is, the light source L side or the top surface, that is, the panel 1 side. Further, the same effect can be realized even if the light absorbing layer constituting the light absorbing means is formed only on the half surface sandwiching the short axis of the correction lens, that is, the y axis.

【0038】すなわち、光源とこの光源から放出される
赤、緑、青の各色蛍光体を露光するための光の軌道を補
正する専用の補正レンズを備え、これら補正レンズは、
サイドガンに対応する蛍光面形成用の補正レンズの画面
長軸方向の透過率分布が異なるように、あるいは、短軸
を挟む半面毎に異なるように、または、片側半面に短軸
からの距離に応じて低くなる透過率分布特性を有する光
吸収層を形成することにより、画面周辺部においてもサ
イドガンに対応する色の露光時の照度すなわち露光のア
ンバランスを解消でき、各サイドガンに対応する蛍光体
の色の有効発光領域のアンバランスを低減して、色純度
の良好な蛍光面を形成できる。
That is, a light source and a dedicated correction lens for correcting the trajectory of light for exposing the red, green, and blue phosphors emitted from the light source are provided.
The transmittance distribution in the direction of the long axis of the screen of the correction lens for forming the phosphor screen corresponding to the side gun is different, or different for each half surface sandwiching the short axis, or the distance from the short axis to one half surface. By forming a light absorbing layer having a transmittance distribution characteristic that becomes lower as a result, the illuminance at the time of exposing the color corresponding to the side gun, that is, the imbalance of exposure, can be eliminated even in the peripheral portion of the screen, and it corresponds to each side gun. It is possible to form a phosphor screen with good color purity by reducing the imbalance of the effective light emitting region of the color of the phosphor.

【0039】[0039]

【発明の効果】本発明の露光装置によれば、光源の光を
補正レンズで補正し照度の最適化が容易で精度の高い露
光が可能な露光装置を提供できる。
According to the exposure apparatus of the present invention, it is possible to provide an exposure apparatus capable of correcting light from a light source with a correction lens, optimizing illuminance, and performing exposure with high accuracy.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の露光装置の一実施の形態を示す構成図
である。
FIG. 1 is a configuration diagram showing one embodiment of an exposure apparatus of the present invention.

【図2】同上露光装置の補正レンズを示す斜視図であ
る。
FIG. 2 is a perspective view showing a correction lens of the exposure apparatus.

【図3】同上補正レンズを示す一部の断面図である。FIG. 3 is a partial cross-sectional view showing the same correction lens.

【図4】同上露光装置の補正レンズを示す斜視図であ
る。
FIG. 4 is a perspective view showing a correction lens of the exposure apparatus.

【図5】同上補正レンズを示す一部の断面図である。FIG. 5 is a partial cross-sectional view showing the same correction lens.

【図6】本発明の他の実施の形態を示す一方のサイドガ
ンに対応する蛍光体を露光する位置に光源が移動した状
態の構成図である。
FIG. 6 is a configuration diagram showing another embodiment of the present invention, in which a light source is moved to a position for exposing a phosphor corresponding to one side gun.

【図7】同上他方のサイドガンに対応する蛍光体を露光
する位置に光源が移動した状態の構成図である。
FIG. 7 is a configuration diagram showing a state in which the light source is moved to a position for exposing a phosphor corresponding to the other side gun of the above.

【図8】同上一方のサイドガンに対応する蛍光体を露光
する補正レンズに設けられた光吸収手段の透過率分布特
性を示すグラフである。
FIG. 8 is a graph showing a transmittance distribution characteristic of a light absorbing means provided in a correction lens for exposing a phosphor corresponding to one side gun of the above.

【図9】同上他方のサイドガンに対応する蛍光体を露光
する補正レンズに設けられた光吸収手段の透過率分布特
性を示すグラフである。
FIG. 9 is a graph showing transmittance distribution characteristics of light absorbing means provided in a correction lens for exposing a phosphor corresponding to the other side gun of the above.

【図10】従来の露光装置を示す構成図である。FIG. 10 is a configuration diagram showing a conventional exposure apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 露光対象物としてのパネル 10 露光装置 12 支持手段 16a 補正レンズを構成する第1補正レンズ 21 有効使用領域 22 有効使用領域外 25 漏洩抑制手段 41,42 光吸収手段 L 光源 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Panel as an exposure object 10 Exposure apparatus 12 Support means 16a First correction lens which constitutes a correction lens 21 Effective use area 22 Outside effective use area 25 Leakage suppression means 41, 42 Light absorption means L Light source

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 井上 雅及 埼玉県深谷市幡羅町一丁目9番地2号 株 式会社東芝深谷工場内 Fターム(参考) 2H097 AA16 BB10 LA11 5C028 GG04 GG08 GG12  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Masayo Inoue 1-9-9, Hara-cho, Fukaya-shi, Saitama F-term in Toshiba Fukaya Plant (reference) 2H097 AA16 BB10 LA11 5C028 GG04 GG08 GG12

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光源と、 この光源から放出される光の軌道を補正する有効使用領
域を設けた補正レンズと、 この補正レンズの有効使用領域外に光の漏洩を抑制する
漏洩抑制手段とを具備したことを特徴とする露光装置。
1. A light source, a correction lens provided with an effective use area for correcting the trajectory of light emitted from the light source, and a leakage suppressing means for suppressing light leakage outside the effective use area of the correction lens. An exposure apparatus, comprising:
【請求項2】 漏洩抑制手段は、黒色塗装膜を設けたこ
とを特徴とする請求項1記載の露光装置。
2. An exposure apparatus according to claim 1, wherein said leakage suppressing means includes a black paint film.
【請求項3】 漏洩抑制手段は、補正レンズに形成した
凹凸部の表面に黒色塗装膜を設けたことを特徴とする請
求項2記載の露光装置。
3. The exposure apparatus according to claim 2, wherein the leakage suppressing means has a black coating film provided on the surface of the uneven portion formed on the correction lens.
【請求項4】 露光対象物を支持する支持手段を備え、
露光対象物は、カラー受像管のパネルであることを特徴
とする請求項1ないし3いずれか記載の露光装置。
4. A supporting means for supporting an object to be exposed,
4. The exposure apparatus according to claim 1, wherein the object to be exposed is a panel of a color picture tube.
【請求項5】 露光対象物を支持する支持手段と、 光源と、 この光源から放出される光の軌道を補正して前記露光対
象物に照射する補正レンズと、 この補正レンズに設けられ光源と露光対象物との位置に
応じて異なる光透過分布が設定された光吸収手段とを具
備したことを特徴とする露光装置。
5. A supporting means for supporting an object to be exposed, a light source, a correction lens for correcting the trajectory of light emitted from the light source and irradiating the object with the light, and a light source provided on the correction lens. An exposure apparatus comprising: a light absorbing unit in which a different light transmission distribution is set according to a position with respect to an object to be exposed.
【請求項6】 センターガンに対しサイドガンが画面長
軸方向に配置されるインライン型電子銃を備えるカラー
受像管のパネルの蛍光面を露光する露光装置であって、 各色蛍光体を露光する光源と、 この光源から放出される光の軌道を補正する補正レンズ
と、 この補正レンズに設けられ長軸方向に沿って異なる光透
過分布が設定された光吸収手段とを具備したことを特徴
とする露光装置。
6. An exposure apparatus for exposing a phosphor screen of a panel of a color picture tube provided with an in-line type electron gun in which a side gun is arranged in a longitudinal direction of a screen with respect to a center gun, wherein a light source for exposing each color phosphor is provided. And a correction lens for correcting the trajectory of light emitted from the light source, and light absorbing means provided on the correction lens and having different light transmission distributions set along the long axis direction. Exposure equipment.
【請求項7】 光吸収手段は、短軸を挟む半面ごとに異
なる光透過分布が設定されたことを特徴とする請求項6
記載の露光装置。
7. The light absorbing means according to claim 6, wherein a different light transmission distribution is set for each half surface sandwiching the short axis.
Exposure apparatus according to the above.
【請求項8】 光吸収手段は、長軸方向の片側半面に短
軸からの距離に応じて小さくなる透過率分布が設定され
たことを特徴とする請求項6記載の露光装置。
8. The exposure apparatus according to claim 6, wherein the light absorption means has a transmittance distribution that is reduced in accordance with the distance from the minor axis on one half surface in the major axis direction.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100723140B1 (en) 2005-10-27 2007-05-30 삼성전기주식회사 Camera module Having Black Coating Lens
WO2020012653A1 (en) * 2018-07-13 2020-01-16 テクノアルファ株式会社 Method for manufacturing photomask and method for manufacturing molded article having pattern mounted thereon
CN112526784A (en) * 2019-09-19 2021-03-19 李崇华 Light emitting diode device, backlight module and display equipment comprising same

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