JP2002231134A - Exposure device and exposure method for forming fluorescent face of color picture tube - Google Patents

Exposure device and exposure method for forming fluorescent face of color picture tube

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JP2002231134A
JP2002231134A JP2001021428A JP2001021428A JP2002231134A JP 2002231134 A JP2002231134 A JP 2002231134A JP 2001021428 A JP2001021428 A JP 2001021428A JP 2001021428 A JP2001021428 A JP 2001021428A JP 2002231134 A JP2002231134 A JP 2002231134A
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JP
Japan
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light
picture tube
color picture
exposure
shielding plate
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Application number
JP2001021428A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiroaki Ibuki
裕昭 伊吹
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an exposure device and an exposure method for forming the fluorescent face of a color picture tube capable of surely improving the deterioration of a white uniformity and brightness characteristics particularly in a highly accurate color picture tube formed in flat and wide angle with a simple structure and without sacrificing a working efficiency by solving such problems that the unbalance of light beam volume distribution at the horizontal axis ends and diagonal axis ends occurs in the lateral direction when a photosensitive layer corresponding to a side beam is exposed to form the fluorescent face of the color picture tube and a uniform exposure is not performed. SOLUTION: A lamp house 16 is selectively and movably installed parallel to a face plate 13 installed in the exposure device, and ultra violet of a mercury lamp 23 forming the lamp house 16 is radiated through a slit 25 formed in a light shielding plate 26. The light shielding plate 26 is formed so as to be moved by a drive device 28 in the longitudinal direction of the mercury lamp 23 independently of the lamp house 16.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、カラー受像管のフ
ェースパネル内面に設けられた感光層を露光するための
露光装置及び露光方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an exposure apparatus and an exposure method for exposing a photosensitive layer provided on an inner surface of a face panel of a color picture tube.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般にカラー受像管は、図5に示すよう
に、略矩形状を呈するフェースパネル51と、このフェ
ースパネル51に接合されたファンネル52からなる外
囲器を有し、そのフェースパネル51の内面に、青、
緑、赤に発光する3色蛍光体層からなる蛍光面53が形
成され、この蛍光面53に対向してフェースパネル51
内には、多数の電子ビーム通過孔が形成されたシャドウ
マスク54が配置されている。
2. Description of the Related Art As shown in FIG. 5, a color picture tube generally has a face panel 51 having a substantially rectangular shape, and an envelope comprising a funnel 52 joined to the face panel 51. 51 inside, blue,
A phosphor screen 53 made of a three-color phosphor layer that emits green and red light is formed, and the face panel 51 faces the phosphor screen 53.
Inside, a shadow mask 54 in which a number of electron beam passage holes are formed is arranged.

【0003】一方、ファンネル52のネック55内に
は、3電子ビーム56B,56G,56Rを放出する電
子銃57が配設され、この電子銃57から放出される3
電子ビーム56B,56G,56Rをファンネル52の
外側に装着された偏向ヨーク58の発生する磁界により
偏向して、この電子ビーム56B,56G,56Rによ
って蛍光面53を水平、垂直方向に走査することによ
り、蛍光面53上にカラー画像を再生表示するように形
成されている。
On the other hand, an electron gun 57 for emitting three electron beams 56B, 56G, 56R is provided in the neck 55 of the funnel 52, and the electron gun 57 emits three electron beams 56B, 56G, 56R.
The electron beams 56B, 56G, and 56R are deflected by a magnetic field generated by a deflection yoke 58 mounted outside the funnel 52, and the fluorescent screen 53 is horizontally and vertically scanned by the electron beams 56B, 56G, and 56R. The color image is reproduced and displayed on the fluorescent screen 53.

【0004】この蛍光面53としては、マトリクス状ま
たはストライプ状の光吸収層の間隙部に、3色蛍光体層
が埋め込まれたブラックマトリクス形またはブラックス
トライプ形の蛍光面53が多用されている。
As the phosphor screen 53, a black matrix or black stripe phosphor screen 53 in which a three-color phosphor layer is embedded in a gap between a matrix-shaped or striped light-absorbing layer is frequently used.

【0005】このカラー受像管の蛍光面53は、従来か
ら写真印刷法にて形成されている。例えば、光吸収層を
備えるブラックマトリクス形、またはブラックストライ
プ形の蛍光面53については、次のようにして形成され
ている。
The fluorescent screen 53 of the color picture tube has been conventionally formed by a photographic printing method. For example, the black matrix type or black stripe type fluorescent screen 53 having the light absorbing layer is formed as follows.

【0006】まず、フェースパネル51の内面を洗浄し
た後に、このフェースパネル51の内面に、ポリビニル
アルコール(PVA)及び重クロム酸アンモニウム(A
DC)を主成分とする感光膜を塗布して乾燥させる。
[0006] First, after cleaning the inner surface of the face panel 51, polyvinyl alcohol (PVA) and ammonium dichromate (A)
DC) is applied and dried.

【0007】次いで、この感光膜をシャドウマスク54
を介して露光し、シャドウマスク54の電子ビーム通過
孔に対応するパターンを感光膜に焼付けた後に現像し
て、フェースパネル51の内面に、シャドウマスク54
の開孔パターンに対応するパターンからなるマトリクス
状の感光層となるレジスト膜を形成する。
Next, the photosensitive film is formed on a shadow mask 54.
The pattern corresponding to the electron beam passage hole of the shadow mask 54 is baked on the photosensitive film and developed, and the inner surface of the face panel 51 is exposed to the shadow mask 54.
Then, a resist film to be a matrix-shaped photosensitive layer composed of a pattern corresponding to the opening pattern is formed.

【0008】そして、このレジスト膜の形成されたフェ
ースパネル51の内面に、例えば黒鉛からなる光吸収塗
料層を塗布し、レジスト膜と共にそのレジスト膜上の光
吸収塗料を剥離除去して、マトリクス状またはストライ
プ状の光吸収層を形成する。
Then, a light absorbing paint layer made of, for example, graphite is applied to the inner surface of the face panel 51 on which the resist film is formed, and the light absorbing paint on the resist film is peeled off together with the resist film to form a matrix. Alternatively, a stripe-shaped light absorption layer is formed.

【0009】その後、光吸収層の形成されたフェースパ
ネル51の内面に、蛍光体、PVA、ADC等を主成分
とする感光層となる蛍光体スラリ層を塗布して乾燥さ
せ、この蛍光体スラリ層を、シャドウマスク54を介し
て露光することによって、シャドウマスク54の電子ビ
ーム通過孔に対応するパターンを焼付けた後に現像し
て、光吸収層の所定の間隙部に、青、緑、赤の3色のう
ちの1色に対応する蛍光体層を形成する。このような蛍
光体層の形成工程を、残りの2色の蛍光体についても繰
返すことによって、3色の蛍光面が形成される。
Thereafter, a phosphor slurry layer serving as a photosensitive layer mainly containing a phosphor, PVA, ADC or the like is applied to the inner surface of the face panel 51 on which the light absorbing layer is formed and dried, and the phosphor slurry is dried. The layer is exposed through a shadow mask 54 so that a pattern corresponding to the electron beam passage holes of the shadow mask 54 is printed and then developed, and blue, green, and red are formed in predetermined gaps of the light absorbing layer. A phosphor layer corresponding to one of the three colors is formed. By repeating such a phosphor layer forming process for the remaining two color phosphors, three color phosphor screens are formed.

【0010】また、光吸収層を持たない3色蛍光面につ
いては、蛍光体層の形成工程を、3色の蛍光体について
夫々繰返して実施することにより、形成することができ
る。
The three-color phosphor screen having no light absorbing layer can be formed by repeating the phosphor layer forming process for the three color phosphors.

【0011】このような光吸収層及び3色蛍光体層を得
るための、感光膜または蛍光体スラリ層等の蛍光面形成
用感光層に対するシャドウマスク54の電子ビーム通過
孔に対応するパターンの焼付けには、図6に示すような
露光装置が使用されている。
In order to obtain such a light absorbing layer and a three-color phosphor layer, a pattern corresponding to the electron beam passage holes of the shadow mask 54 is printed on a photosensitive layer for forming a phosphor screen such as a photosensitive film or a phosphor slurry layer. Uses an exposure apparatus as shown in FIG.

【0012】即ち、内面に感光膜または蛍光体スラリ層
等の感光層61が形成され、且つフォトマスクとしての
機能を有するシャドウマスク54が装着されたフェース
パネル51を位置決め支持する支持台62が、筐体63
の上部に設けられる。
That is, a support base 62 for positioning and supporting a face panel 51 on which a photosensitive layer 61 such as a photosensitive film or a phosphor slurry layer is formed on the inner surface and on which a shadow mask 54 having a function as a photomask is mounted is provided. Case 63
It is provided on the upper part of.

【0013】この筐体63の下部には、超高圧水銀ラン
プを内蔵したランプハウス56が、フェースパネル51
に対して選択的に移動可能に設置され、このランプハウ
ス64上には、このランプハウス64から支持台62方
向に、順次ランプハウス64から放射される紫外線を電
子ビーム56B,56G,56Rの軌道に近似させ、蛍
光体の青、緑、赤の各色毎に個別に対応するために配置
される補正レンズ65や、各色共通に使用する共通レン
ズ66、67等の光学レンズ系、及びフェースパネル5
1内面に形成された蛍光面形成用の感光層61に対する
光量分布を補正する光量補正フィルタ68が設置されて
いる。
A lamp house 56 having a built-in ultra-high pressure mercury lamp is provided below the housing 63 with a face panel 51.
UV light radiated from the lamp house 64 sequentially from the lamp house 64 in the direction of the support 62 on the orbit of the electron beams 56B, 56G and 56R. , And an optical lens system such as a common lens 66 and 67 commonly used for each color, and a correction lens 65 arranged to individually correspond to each of the blue, green, and red colors of the phosphor, and the face panel 5.
A light amount correction filter 68 for correcting the light amount distribution with respect to the phosphor layer forming photosensitive layer 61 formed on the inner surface is provided.

【0014】また、補正レンズ65では、各蛍光体位置
が電子ビーム56B,56G,56R軌道と一致するよ
うに、紫外線の軌道を補正しているもので、夫々のレン
ズ65,66,67は、ランプハウス64からの紫外線
を、実際の電子ビーム56B,56G,56Rに近似す
るように、各レンズ65,66,67面が微妙な凹凸を
有するように非球面状に加工されている。
The correcting lens 65 corrects the trajectory of the ultraviolet rays so that the positions of the respective phosphors coincide with the trajectories of the electron beams 56B, 56G, 56R. The lenses 65, 66, and 67 are aspherically shaped so that the surfaces of the lenses 65, 66, and 67 have fine irregularities so that the ultraviolet rays from the lamp house 64 approximate the actual electron beams 56B, 56G, and 56R.

【0015】このランプハウス64は、フェースパネル
51に取付けられたシャドウマスク54のスロット状透
孔を形成している電子ビーム通過孔の長手方向、即ち形
成される直線状のストライプの長手方向と一致するよう
に、後述するスリットを設けた遮光板が配置されてお
り、このスリットを介して紫外線が放出されている。
The lamp house 64 is aligned with the longitudinal direction of the electron beam passage hole forming the slot-shaped through hole of the shadow mask 54 attached to the face panel 51, that is, the longitudinal direction of the formed linear stripe. A light-shielding plate provided with a slit, which will be described later, is disposed so that ultraviolet light is emitted through the slit.

【0016】このように構成された露光装置を使用し
て、カラー受像管の蛍光面53を形成するための感光層
61を露光させるには、ランプハウス64から放射され
た紫外線を、補正レンズ65,66,67群で紫外線軌
道の補正を行った後に、補正フィルタ68で光量分布を
補正して、色選択機能を有するシャドウマスク54をフ
ォトマスクとして、フェースパネル51の内面に塗布さ
れた感光膜、あるいは蛍光体と感光結合剤とを混合して
形成された感光性蛍光体スラリ層等の感光層61を露光
し、この露光の後に現像してストライプ状の蛍光面53
パターンを形成するものである。
In order to expose the photosensitive layer 61 for forming the fluorescent screen 53 of the color picture tube using the exposure apparatus having the above-described structure, the ultraviolet light radiated from the lamp house 64 is irradiated with the correction lens 65. , 66, and 67 correct the ultraviolet ray trajectory, correct the light amount distribution by the correction filter 68, and use the shadow mask 54 having a color selection function as a photomask to apply the photosensitive film applied to the inner surface of the face panel 51. Alternatively, a photosensitive layer 61 such as a photosensitive phosphor slurry layer formed by mixing a phosphor and a photosensitive binder is exposed, developed after this exposure, and developed into a stripe-shaped phosphor screen 53.
It forms a pattern.

【0017】このような露光装置のランプハウス64の
詳細について、図7及び図8を参照して説明する。この
ランプハウス64は、超高圧水銀ランプ71を収納する
箱状の筐体72を有し、この筐体72の対向する一側面
には、夫々透孔(図示せず)が設けられており、この一
対の透孔を貫通して筐体72内部に水銀ランプ71がフ
ェースパネル51の水平方向が長手方向となるように装
着される。
The details of the lamp house 64 of such an exposure apparatus will be described with reference to FIGS. The lamp house 64 has a box-shaped housing 72 for accommodating an ultra-high pressure mercury lamp 71, and a through hole (not shown) is provided on each of the opposed side surfaces of the housing 72. A mercury lamp 71 is mounted inside the housing 72 so as to extend through the pair of through holes so that the horizontal direction of the face panel 51 is the longitudinal direction.

【0018】また水銀ランプ71と対向して筐体72内
部には、光量調整用のスリット73を有する遮光板74
が、このスリット73の長手方向が水銀ランプ71の軸
方向と直交するように設けられ、更に、この遮光板74
の上部には、透明なガラス板75が筐体72の上側面に
取着されている。この筐体72内は、水銀ランプ71の
放熱を容易にするために冷却液が筐体72内を循環する
ように充填されており、これらランプハウス64は、筐
体63に対して水銀ランプ71の軸方向に移動可能に構
成されている。
A light shielding plate 74 having a slit 73 for adjusting the amount of light is provided inside a housing 72 facing the mercury lamp 71.
Are provided so that the longitudinal direction of the slit 73 is orthogonal to the axial direction of the mercury lamp 71.
A transparent glass plate 75 is attached to the upper surface of the housing 72. The interior of the housing 72 is filled with a cooling liquid so as to circulate through the housing 72 to facilitate heat radiation of the mercury lamp 71. Is configured to be movable in the axial direction.

【0019】ここで使用されている水銀ランプ71の一
般的な照度分布特性Lは、図9に示すように、水銀ラン
プ71のアーク中心部で一番大きな照度が得られ、両端
方向に向かうに従って、放物線を画くように漸次照度が
減少していくものである。
As shown in FIG. 9, the general illuminance distribution characteristic L of the mercury lamp 71 used here is such that the largest illuminance is obtained at the center of the arc of the mercury lamp 71, and as it goes toward both ends. The illuminance gradually decreases so as to draw a parabola.

【0020】このような照度分布特性Lを有する水銀ラ
ンプ71を使用したランプハウス64で感光層61を露
光する場合を考えると、いまフェースパネル51の水平
(長軸)方向をHとして、その中心から一方方向、例え
ば右側方向を+、反対方向を−とし、垂直(短軸)方向
をVとして、その中心から一方方向、例えば上側方向を
+、反対方向を−、更に対角軸方向をDと設定すると、
水銀ランプ71の長手方向はH方向と平行に配置され、
また遮光板74のスリット73はV方向となるように設
置されていることになる。
Considering the case where the photosensitive layer 61 is exposed by the lamp house 64 using the mercury lamp 71 having the illuminance distribution characteristics L, the horizontal (long axis) direction of the face panel 51 is set to H, , One direction, for example, the right direction is +, the opposite direction is-, the vertical (short axis) direction is V, and one direction from the center thereof, for example, the upper direction is +, the opposite direction is-, and the diagonal axis direction is D. If you set
The longitudinal direction of the mercury lamp 71 is arranged parallel to the H direction,
Further, the slit 73 of the light shielding plate 74 is provided so as to be in the V direction.

【0021】そこで、例えば緑の感光層を露光する場合
のフェースパネル51の中心Cとフェースパネル51の
H方向両端H+、H−付近を露光する紫外線をフェース
パネル51のVの−方向から見た様子を図10に示す。
この図には、図9に示した照度分布特性Lも合成して表
示しており、フェースパネル51の中心C及びH+、H
−端を露光する実質的な光源位置を図中に黒丸表記で、
また夫々の紫外線の光線を矢印で夫々表記している。
Therefore, for example, when exposing a green photosensitive layer, ultraviolet rays exposing near the center C of the face panel 51 and both ends H + and H− in the H direction of the face panel 51 are viewed from the V direction of the face panel 51. This is shown in FIG.
In this figure, the illuminance distribution characteristics L shown in FIG. 9 are also synthesized and displayed, and the centers C, H +, and H of the face panel 51 are displayed.
-The actual light source position for exposing the edge is indicated by a black circle in the figure,
In addition, each ultraviolet ray is indicated by an arrow.

【0022】従ってフェースパネル51の中心に対する
実質的な光源位置は、水銀ランプ71の黒丸cで示す部
分と考えることができ、このcによる光線はCで示すよ
うに中心方向に放出される。同様にフェースパネル51
のHの+方向では、実質的な光源としてはa部分でH+
方向の光線が放射され、Hの−方向では、実質的な光源
としてはb部分でH−方向の光線が放射されていると考
えられる。この各光源a,b,cの位置を照度分布特性
L上に当てはめてみると、夫々図中×印で示すように、
a´,b´,c´に位置しており、夫々光源a´、b
´、c´と見なすことができる。
Accordingly, the substantial light source position with respect to the center of the face panel 51 can be considered as a portion indicated by a black circle c of the mercury lamp 71, and a light beam due to this c is emitted toward the center as indicated by C. Similarly, face panel 51
In the + direction of H, as a substantial light source, H +
In the H direction, it is considered that a light ray in the H direction is emitted at the portion b as a substantial light source. When the positions of the light sources a, b, and c are applied to the illuminance distribution characteristic L, as shown by the crosses in the figure,
a ', b', and c ', respectively, and light sources a', b, respectively.
', C'.

【0023】この図からも解るように、緑用の感光層を
露光する際には、ランプハウス64がフェースパネル5
1の中心と一致しているために、中心を照射する光源c
´から見てH端部方向を照射する光源a´,b´は、夫
々左右等位置にあることから、夫々等しい照度で露光さ
れていることが理解される。
As can be seen from this figure, when exposing the photosensitive layer for green, the lamp house 64 is connected to the face panel 5.
Light source c that illuminates the center because it coincides with the center of 1
′, The light sources a ′ and b ′ that irradiate in the H end direction are at the same position on the left and right, respectively, so that it is understood that they are exposed with the same illuminance.

【0024】これに対して青の感光層を露光する場合に
は、ランプハウス64がフェースパネル51のV軸左側
へH軸上をシフトされるために、結果的には図11に示
すように、H−側を露光するための光線H−を発生する
光源bは、実質的に照度分布特性Lの中心に近付き、反
対にH+側を露光するための光線H+を発生する光源a
は、中心から遠ざかる位置となる。この結果、フェース
パネル51の左右で照度の均等性が崩れてH−側を露光
する露光照度が高く、H+側を露光する露光照度が低く
なるアンバランスな状態で露光することになる。従って
光路長の不均一による露光照度の左右のバランスを崩す
結果となっており、赤の感光層を露光する場合には、こ
の青の感光層の露光時と反対の現象が発生している。
On the other hand, when the blue photosensitive layer is exposed, the lamp house 64 is shifted on the H axis to the left of the V axis of the face panel 51, and as a result, as shown in FIG. , A light source b for generating a light beam H- for exposing the H- side substantially approaches the center of the illuminance distribution characteristic L, and conversely, a light source a for generating a light beam H + for exposing the H + side.
Is a position away from the center. As a result, the exposure is performed in an unbalanced state in which the uniformity of the illuminance on the left and right sides of the face panel 51 is lost and the exposure illuminance for exposing the H- side is high, and the exposure illuminance for exposing the H + side is low. Therefore, the left and right balance of the exposure illuminance is lost due to the unevenness of the optical path length, and when the red photosensitive layer is exposed, the opposite phenomenon to the exposure of the blue photosensitive layer occurs.

【0025】しかも近年では、高精細カラー受像管は大
形化及び広角化が一層進んでおり、これに対応する露光
装置においても、フェースパネル51の水平H端や対角
D端を露光する際の露光光線の出射角が増加する傾向に
あり、この出射角が大きくなればなるほど、上記の光路
長の不均一性が増大するので、より深刻な状態となって
いる。従って、フェースパネル51内面の中央部と周辺
部とで、光源a,bからの距離及び光の入射角が相違す
るために光量差が生じ、感光層61全域で均一あるいは
所望の光量分布が得られず、このため形成される光吸収
層や蛍光体層が所定のサイズにならなくなっている
In recent years, the size and width of a high-definition color picture tube have been further increased, and even in an exposure apparatus corresponding to this, when exposing the horizontal H end and the diagonal D end of the face panel 51, it is difficult to expose the face panel 51. The emission angle of the exposure light beam tends to increase, and as the emission angle increases, the above-mentioned nonuniformity of the optical path length increases, resulting in a more serious state. Accordingly, the distance from the light sources a and b and the incident angle of the light are different between the central portion and the peripheral portion of the inner surface of the face panel 51, so that a light amount difference occurs, and a uniform or desired light amount distribution is obtained in the entire photosensitive layer 61. Therefore, the formed light absorbing layer and phosphor layer are no longer of a predetermined size.

【0026】[0026]

【発明が解決しようとする課題】この問題点を解決する
ために、光量補正フィルタ68が使用されているが、こ
の光量補正フィルタ68は、ガラス透明基板69の一方
の面に、NiやCr等の金属を蒸着して金属蒸着膜70
を形成し、この金属蒸着膜70の膜厚を変化させて、中
央部の光透過率を抑え、周辺部になるのに従って、光透
過率が大きくなるように設定されている。
In order to solve this problem, a light amount correction filter 68 is used. The light amount correction filter 68 is provided on one surface of a glass transparent substrate 69 such as Ni or Cr. Metal is deposited to form a metal deposited film 70
Is formed, and the film thickness of the metal deposition film 70 is changed so as to suppress the light transmittance at the central portion and to increase the light transmittance toward the peripheral portion.

【0027】しかしながら、このように金属蒸着膜70
の膜厚によって光透過率を調整することは容易ではな
く、再現性に劣るものである。そのために、光透過率分
布の相違によって、形成される光吸収層や蛍光体層が所
定のサイズにならないという問題が発生する。
However, as described above, the metal deposition film 70
It is not easy to adjust the light transmittance depending on the thickness of the film, and the reproducibility is poor. Therefore, there arises a problem that the formed light absorption layer and phosphor layer do not have a predetermined size due to a difference in light transmittance distribution.

【0028】そこで、光量補正フィルタ68を青、緑、
赤の夫々で個別に設計製造し、各露光時に取換えながら
露光することが考えられるが、光量を低下させる方向の
補正は可能であるが、光量を増加させる方向の補正はで
きず、また光量補正フィルタ68自体の製造バラツキに
よって、形成される光吸収層や蛍光体層の大きさにバラ
ツキが生じるばかりでなく、3色に組合わされた光吸収
層や蛍光体層においてもそのバラツキの度合いが増加し
てしまう恐れが高くなり、ホワイトユニフォーミティや
輝度の劣化を招き、製品の安定化が阻害されるばかりで
なく、光量補正フィルタ68を3枚用意してその都度交
換しながら作業を行う必要から、製造コストが高くなる
ばかりでなく、作業性も頗る悪化することになる。
Therefore, the light amount correction filter 68 is changed to blue, green,
It is conceivable that each red color is individually designed and manufactured, and exposure is performed while replacing each exposure.However, it is possible to correct in the direction of decreasing the light amount, but not in the direction of increasing the light amount. Due to the manufacturing variation of the correction filter 68 itself, not only does the size of the light absorbing layer and the phosphor layer formed vary, but also the degree of the variation in the light absorbing layer and the phosphor layer combined in three colors. The risk of increase increases, causing white uniformity and luminance degradation, not only stabilizing the product, but also requiring three light quantity correction filters 68 to be replaced and replaced each time. Therefore, not only the manufacturing cost is increased, but also the workability is extremely deteriorated.

【0029】本発明は、このような課題に対処してなさ
れたものであり、光量補正フィルタを夫々に応じて用意
することなく簡単な構成で確実に露光することができる
カラー受像管の蛍光面形成用露光装置及び露光方法を提
供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and a fluorescent screen of a color picture tube capable of reliably performing exposure with a simple structure without preparing a light amount correction filter for each of them. An object of the present invention is to provide a forming exposure apparatus and an exposure method.

【0030】[0030]

【課題を解決するための手段】本発明は、カラー受像管
のフェースパネル内面に蛍光面を形成するためのカラー
受像管の蛍光面形成用露光装置において、内面に感光層
が形成され、この感光層に対向してシャドウマスクが装
着されたフェースパネルを支持位置決めする支持台と、
この支持台に対向して配置され、シャドウマスクを介し
て感光層に紫外線を照射する光源用ランプを内蔵し移動
可能に設置されたランプハウスと、このランプハウスの
シャドウマスク側に配置され、光源用ランプの紫外線を
通過させるスリットを有する遮光板と、この遮光板の前
記スリットを介して放出される紫外線を所定の軌道に補
正するための補正レンズと、遮光板を光源用ランプに対
して選択的に移動させる駆動装置とを備え、遮光板を光
源用ランプに対して相対的に移動可能に構成した。
According to the present invention, there is provided an exposure apparatus for forming a fluorescent screen on a face of a color picture tube for forming a phosphor screen on an inner face of a face panel of the color picture tube. A support base for supporting and positioning the face panel on which the shadow mask is mounted facing the layer,
A lamp house, which is disposed opposite to the support table and movably installed with a built-in light source lamp for irradiating the photosensitive layer with ultraviolet rays through a shadow mask; and a light source, which is disposed on the shadow mask side of the lamp house. A light-shielding plate having a slit through which ultraviolet light from the lamp passes, a correction lens for correcting the ultraviolet light emitted through the slit of the light-shielding plate to a predetermined trajectory, and a light-shielding plate selected for the light source lamp. And a driving device for moving the light shielding plate relative to the light source lamp.

【0031】また、シャドウマスクを有するカラー受像
管のフェースパネル内面に形成した感光層に対して、光
源用ランプからの紫外線を遮光板に形成したスリット及
び紫外線の軌道を補正する補正レンズを通して照射する
ことにより、感光層を露光するカラー受像管の蛍光面形
成用露光方法において、光源用ランプの位置を感光層に
対応して移動させるとともに、この光源用ランプとは独
立して遮光板を相対的に移動させることによって、光源
用ランプからの紫外線放射位置を実質的に変更して露光
するようにした。
The photosensitive layer formed on the inner surface of the face panel of the color picture tube having a shadow mask is irradiated with ultraviolet rays from a light source lamp through a slit formed in a light shielding plate and a correction lens for correcting the trajectory of the ultraviolet rays. Thus, in the exposure method for forming a fluorescent screen of a color picture tube for exposing the photosensitive layer, the position of the light source lamp is moved corresponding to the photosensitive layer, and the light shielding plate is moved independently of the light source lamp. Then, the position of ultraviolet radiation from the light source lamp was substantially changed to perform exposure.

【0032】このように構成した本発明のカラー受像管
の蛍光面形成用露光装置及び露光方法によれば、青及び
赤用の感光層を露光する際に、フェースパネルのV軸か
ら遠ざかる方向にH軸上をシフトさせたランプハウスの
移動に応じて、遮光板と水銀ランプとの間隔を一定に保
持しながら、遮光板に形成したスリットを水銀ランプの
アーク中心から遠ざかるように、相対的にランプハウス
の移動とは独立して移動させることによって、実質的な
光源位置を変動させて露光を行うことにより、露光光線
の光量分布の左右の不均一性を低減させて、感光層を左
右均等に露光することを可能とし、蛍光面の大きさの均
一性を確保すると共に、簡単な構成でしかも光量補正フ
ィルタをその都度交換するようなこともないので、廉価
で作業性にも優れたカラー受像管の蛍光面形成用露光装
置及び露光方法を提供することができる。
According to the exposure apparatus and the exposure method for forming a fluorescent screen of a color picture tube according to the present invention, when the photosensitive layers for blue and red are exposed, the exposure is performed in a direction away from the V axis of the face panel. In accordance with the movement of the lamp house shifted on the H axis, while keeping the distance between the light shielding plate and the mercury lamp constant, the slit formed in the light shielding plate is relatively moved away from the arc center of the mercury lamp. The exposure is performed by changing the substantial light source position by moving independently of the movement of the lamp house, thereby reducing the left and right non-uniformity of the light amount distribution of the exposure light beam and making the photosensitive layer uniform left and right. And the uniformity of the size of the phosphor screen is ensured, and the simple configuration and the need to replace the light intensity correction filter each time make it inexpensive and excellent in workability. Phosphor surface forming an exposure apparatus and the exposure method of the color picture tube can be provided.

【0033】[0033]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、カラー
受像管自体の構成については、従来と同様な構成をとる
ので、その詳細な説明は省略する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. Since the configuration of the color picture tube itself is the same as that of the related art, a detailed description thereof will be omitted.

【0034】図1は、カラー受像管の蛍光面形成用補正
レンズを備えた露光装置を簡略化して示す断面図であ
る。
FIG. 1 is a sectional view schematically showing an exposure apparatus having a correction lens for forming a fluorescent screen of a color picture tube.

【0035】即ち、内面に感光膜または蛍光体スラリ層
等の感光層11が形成され、且つフォトマスクとしての
機能を有するシャドウマスク12が装着されたフェース
パネル13を位置決め支持する支持台14が、筐体15
の上部に設けられる。この筐体15の下部には、光源用
ランプとしての超高圧水銀ランプを内蔵したランプハウ
ス16が、フェースパネル13に対して選択的に移動可
能に設置され、このランプハウス16上には、このラン
プハウス16から支持台14方向に、順次ランプハウス
16から放射される紫外線を電子ビームの軌道に近似さ
せ、蛍光体の青、緑、赤の各色毎に個別に対応するため
に配置される補正レンズ17や、各色共通に使用する共
通レンズ18、19等の光学レンズ系、及びフェースパ
ネル13内面に形成された蛍光面形成用の感光層11に
対する光量分布を補正するガラス透明基板20に金属蒸
着膜21を形成した構成からなる光量補正フィルタ22
が設置されている。
That is, a support base 14 for positioning and supporting a face panel 13 on which a photosensitive layer 11 such as a photosensitive film or a phosphor slurry layer is formed on the inner surface and on which a shadow mask 12 having a function as a photomask is mounted is provided. Case 15
It is provided on the upper part of. A lamp house 16 having a built-in ultra-high pressure mercury lamp as a light source lamp is installed below the housing 15 so as to be selectively movable with respect to the face panel 13. A correction arranged to make the ultraviolet rays radiated from the lamp house 16 successively from the lamp house 16 in the direction of the support base 14 approximate to the trajectory of the electron beam, and to correspond to each of the blue, green and red colors of the phosphor individually. Metal deposition on the lens 17, the optical lens system such as common lenses 18 and 19 commonly used for each color, and the glass transparent substrate 20 which corrects the light amount distribution for the phosphor layer forming photosensitive layer 11 formed on the inner surface of the face panel 13. Light amount correction filter 22 having a structure in which film 21 is formed
Is installed.

【0036】また、補正レンズ17では、各蛍光体位置
が電子ビーム軌道と一致するように、紫外線の軌道を補
正しているもので、夫々のレンズ17,18,19は、
ランプハウス16からの紫外線を、実際の電子ビームに
近似するように、各レンズ17,18,19面が微妙な
凹凸を有するように非球面状に加工されている。
The correcting lens 17 corrects the trajectory of the ultraviolet rays so that the position of each fluorescent substance coincides with the trajectory of the electron beam.
The lenses 17, 18, and 19 are aspherically shaped so that the surfaces of the lenses 17, 18, and 19 have fine irregularities so that the ultraviolet light from the lamp house 16 approximates an actual electron beam.

【0037】このランプハウス16内部には、後述する
水銀ランプが長手方向をフェースパネル13の水平軸方
向と一致するように設置され、さらにそのフェースパネ
ル13側に開口部が水銀ランプ長手方向と垂直になるよ
うに遮光板が配置されており、このスリットを介して紫
外線が放出されている。
Inside the lamp house 16, a mercury lamp described later is installed so that its longitudinal direction coincides with the horizontal axis direction of the face panel 13, and an opening is formed on the face panel 13 side in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the mercury lamp. A light-shielding plate is arranged so that the ultraviolet light is emitted through the slit.

【0038】このように構成された露光装置を使用し
て、カラー受像管の蛍光面を形成するための感光層11
を露光させるには、ランプハウス16から放射された紫
外線を、補正レンズ17,18,19群で紫外線軌道の
補正を行った後に、光量補正フィルタ22で光量分布を
補正して、色選択機能を有するシャドウマスク12をフ
ォトマスクとして、フェースパネル13の内面に塗布さ
れた感光膜、あるいは蛍光体と感光結合剤とを混合して
形成された感光性蛍光体スラリ層等の感光層11を露光
し、この露光の後に現像してストライプ状の蛍光面パタ
ーンを形成するものである。
The photosensitive layer 11 for forming the fluorescent screen of the color picture tube using the exposure apparatus having the above-described structure.
In order to expose the light, the ultraviolet ray radiated from the lamp house 16 is corrected for the ultraviolet ray trajectory by the correction lenses 17, 18, and 19, and then the light amount distribution is corrected by the light amount correction filter 22, so that the color selection function is performed. The photosensitive layer 11 such as a photosensitive film applied on the inner surface of the face panel 13 or a photosensitive phosphor slurry layer formed by mixing a phosphor and a photosensitive binder is exposed using the shadow mask 12 having a photomask as a photomask. After the exposure, development is performed to form a stripe-shaped phosphor screen pattern.

【0039】このような露光装置のランプハウス16に
ついて、図2を参照して詳細に説明する。このランプハ
ウス12は、光源用ランプ23として超高圧水銀ランプ
23を収納する箱状の筐体24を有し、この筐体24の
対向する一側面には、夫々透孔(図示せず)が設けられ
ており、この一対の透孔を貫通して筐体24内部に水銀
ランプ23がフェースパネル13の水平方向が長手方向
となるように装着される。
The lamp house 16 of such an exposure apparatus will be described in detail with reference to FIG. The lamp house 12 has a box-shaped housing 24 for accommodating an ultra-high pressure mercury lamp 23 as a light source lamp 23, and a through hole (not shown) is formed on one of the opposed side surfaces of the housing 24. A mercury lamp 23 is mounted inside the housing 24 through the pair of through holes so that the horizontal direction of the face panel 13 is the longitudinal direction.

【0040】また、水銀ランプ23と対向して筐体24
内部には、光量調整用のスリット25を有する遮光板2
6が、このスリット25の長手方向が水銀ランプ23の
軸方向と直交するように設けられ、この遮光板26は筐
体24を貫通する駆動軸27を介して駆動装置28に連
結されており、この駆動装置28によって筐体24内を
水銀ランプ23との間隔を一定に保持しつつ、水銀ラン
プ23の管軸方向に平行に移動可能に装着されている。
The housing 24 faces the mercury lamp 23.
A light shielding plate 2 having a slit 25 for light quantity adjustment therein
6 is provided so that the longitudinal direction of the slit 25 is orthogonal to the axial direction of the mercury lamp 23, and the light shielding plate 26 is connected to a driving device 28 via a driving shaft 27 penetrating the housing 24. The driving device 28 is mounted so as to be movable in parallel with the tube axis direction of the mercury lamp 23 while keeping the inside of the housing 24 constant with the mercury lamp 23 by the driving device 28.

【0041】更に、この遮光板26の上部には、透明な
ガラス板29が筐体24の上側面に取着され、またこの
筐体24内は、水銀ランプ23の放熱を容易にするため
に冷却液が筐体24内を循環するように充填されてい
る。これらランプハウス16全体は、筐体15に対して
水銀ランプ23の軸方向に移動可能に筐体15に装着さ
れている。
Further, a transparent glass plate 29 is attached to the upper surface of the light-shielding plate 26 on the upper side surface of the housing 24. The inside of the housing 24 is provided for facilitating heat radiation of the mercury lamp 23. The coolant is filled so as to circulate in the housing 24. The entire lamp house 16 is mounted on the housing 15 so as to be movable in the axial direction of the mercury lamp 23 with respect to the housing 15.

【0042】このように構成されている露光装置を使用
して露光を行う場合は、この露光装置の対象物となるカ
ラー受像管を構成するフェースパネル13の内面にPV
A及びADCを主成分とする感光膜等の感光層11が塗
布されたフェースパネル13を支持台14上に載置固定
し、その感光層11を、露光装置を使用して、フェース
パネル13に取着されたシャドウマスク12をフォトマ
スクとして露光する。
In the case of performing exposure using the exposure apparatus having the above-described configuration, a PV panel is provided on the inner surface of the face panel 13 constituting the color picture tube which is the object of the exposure apparatus.
A face panel 13 on which a photosensitive layer 11 such as a photosensitive film containing A and ADC as a main component is applied is placed and fixed on a support base 14, and the photosensitive layer 11 is attached to the face panel 13 using an exposure device. Exposure is performed using the attached shadow mask 12 as a photomask.

【0043】このシャドウマスク12の電子ビーム通過
孔に対応するパターンを焼付けた後に現像して、フェー
スパネル13の内面にシャドウマスク12の開孔パター
ンに対応するパターンからなるレジスト膜を形成する。
このレジスト膜の形成されたフェースパネル13の内面
に、更に光吸収塗料層を塗布した後にレジスト膜と共
に、そのレジスト膜上の光吸収塗料を剥離除去して、マ
トリクス状の光吸収層を形成する。
After a pattern corresponding to the electron beam passage holes of the shadow mask 12 is baked and developed, a resist film having a pattern corresponding to the opening pattern of the shadow mask 12 is formed on the inner surface of the face panel 13.
After further applying a light absorbing paint layer to the inner surface of the face panel 13 on which the resist film is formed, the light absorbing paint on the resist film is peeled off together with the resist film to form a matrix light absorbing layer. .

【0044】その後、光吸収層の形成されたフェースパ
ネル13の内面に、蛍光体、PVA、ADC等を主成分
とする蛍光体スラリ層等の感光層11を塗布形成し、こ
の感光層11をシャドウマスク12を介して露光し、シ
ャドウマスク12の電子ビーム通過孔に対応するパター
ンを焼付けた後に現像して、光吸収層の所定の間隙部に
青、緑、赤のいずれか1色の蛍光体層を形成する。
Thereafter, a photosensitive layer 11 such as a phosphor slurry layer mainly composed of a phosphor, PVA, ADC or the like is applied and formed on the inner surface of the face panel 13 on which the light absorbing layer is formed. Exposure is performed through the shadow mask 12, a pattern corresponding to the electron beam passage holes of the shadow mask 12 is printed and developed, and fluorescent light of any one of blue, green and red is applied to a predetermined gap of the light absorbing layer. Form a body layer.

【0045】そして、この蛍光体層の形成工程を、残り
の2色の蛍光体について繰返すことにより、3色の蛍光
体を有する蛍光面が形成される。なお、この光吸収層を
持たない蛍光面については、蛍光体形成工程のみを、3
色蛍光体について繰返すことによって形成される。
The phosphor layer forming process is repeated for the remaining two color phosphors to form a phosphor screen having three color phosphors. In addition, for the phosphor screen having no light absorbing layer, only the phosphor forming step is performed in three steps.
It is formed by repeating for color phosphors.

【0046】この露光に際してセンタービームの緑用の
感光層11を露光する場合には、従来と同様に遮光板2
6のスリット25が水銀ランプ23のアークの中心と一
致しているために、水平方向左右H+、H−端用の光源
位置は左右均等な位置となり、略等量の光量を有する光
線によって露光することが可能であるが、サイドビーム
の青及び赤用の感光層11を露光する場合には、次のよ
うにして露光が行われる。
In this exposure, when exposing the green photosensitive layer 11 of the center beam, the light shielding plate 2 is formed in the same manner as in the prior art.
6 are aligned with the center of the arc of the mercury lamp 23, the light source positions for the left and right H + and H- ends in the horizontal direction are equal in the left and right directions, and are exposed by light beams having substantially the same amount of light. However, when exposing the blue and red photosensitive layers 11 of the side beam, the exposure is performed as follows.

【0047】即ち、青用の感光層11を露光する場合に
は、フェースパネル13のV−方向から見た場合に、ラ
ンプハウス16をH−方向にシフトさせると共に、駆動
装置28を駆動して駆動軸27を水平方向に移動させ、
遮光板26をH−方向外側に連動して移動させる。これ
によってスリット25位置も水銀ランプ23のアーク中
心からH−方向にシフトすることになる。
That is, when the blue photosensitive layer 11 is exposed, the lamp house 16 is shifted in the H-direction when viewed from the V-direction of the face panel 13 and the driving device 28 is driven. Move the drive shaft 27 in the horizontal direction,
The light shielding plate 26 is moved outward in the H-direction. As a result, the position of the slit 25 is also shifted in the H-direction from the arc center of the mercury lamp 23.

【0048】このシフトによって図3に示すように、H
+光線の実質的な光源aは照度分布特性Lの中央側a´
に位置するようになる。またH−光線については反対に
実質的な光源bの位置が照度分布特性Lの中央側から離
れる方向のb´に位置するようになって、総合的にH+
及びH−光線としての実質的な光源a,bは、照度分布
特性L上でa´、b´となり、左右均等に設定すること
が可能となる。
By this shift, as shown in FIG.
The substantial light source a of the + ray is a central side a ′ of the illuminance distribution characteristic L
Will be located at Conversely, for the H- ray, the substantial position of the light source b is located at b 'in a direction away from the center side of the illuminance distribution characteristic L, so that H +
And the substantial light sources a and b as H-rays are a 'and b' on the illuminance distribution characteristic L, and can be set equally to the left and right.

【0049】このようにランプハウス16の移動に連動
して遮光板26を移動させるように構成すれば、調整を
自動設定化することが可能で、能率の向上を図ることが
でき、また自動化も可能となる。
If the light shielding plate 26 is moved in conjunction with the movement of the lamp house 16, the adjustment can be automatically set, the efficiency can be improved, and the automation can be achieved. It becomes possible.

【0050】また赤用の感光層11を露光する場合に
は、青用の場合と反対方向にシフトすることによって、
同様に左右均等な照度分布に設定することが可能とな
る。
When exposing the photosensitive layer 11 for red, the light is shifted in the opposite direction to that for blue,
Similarly, it is possible to set the illuminance distribution evenly to the left and right.

【0051】また、H+あるいはH−光線のいずれかが
極端に変動している場合には、蛍光ランプ23に対して
遮光板26の位置をより多くシフトさせることで、蛍光
ランプ23とスリット25との相対的な位置関係を大き
く変更することが可能であって、例えば図4に示すよう
に、H+光線側の露光照度を大きくし、H−光線側の露
光照度を相対的に低下させることも可能で、より精密に
光路長による露光照度の左右分布差を調整することがで
きる。
When either the H + or H- ray is extremely fluctuating, the position of the light shielding plate 26 is shifted more with respect to the fluorescent lamp 23 so that the fluorescent lamp 23 and the slit 25 Can be largely changed, for example, as shown in FIG. 4, it is also possible to increase the exposure illuminance on the H + ray side and relatively reduce the exposure illuminance on the H− ray side. It is possible to more precisely adjust the difference in the left and right distribution of the exposure illuminance due to the optical path length.

【0052】なお、本発明は、上記実施の形態に限定さ
れることなく、例えば遮光板を駆動するために、駆動装
置から駆動軸を左右に移動させて遮光板をシフトさせる
ように説明しているが、この駆動装置をモータ等の回転
運動を行う駆動源として構成し、駆動軸によって回転運
動を伝達して、遮光板側にこの回転駆動を往復運動に変
換するようなラックを設けて行うラックとピニオンによ
る駆動方法を採用することも可能であり、その他にも種
々の応用や変形が可能であることはいうまでもない。
The present invention is not limited to the above-described embodiment. For example, in order to drive a light-shielding plate, it is described that a driving shaft is moved left and right from a driving device to shift the light-shielding plate. However, this drive device is configured as a drive source such as a motor that performs a rotary motion, and a rack that transmits the rotary motion by a drive shaft and converts the rotary drive into a reciprocating motion is provided on the light shielding plate side. A driving method using a rack and a pinion can be adopted, and it goes without saying that various other applications and modifications are possible.

【0053】[0053]

【発明の効果】本発明は、感光層に対するランプハウス
のシフトに伴って発生するフェースパネル内面の露光光
量分布の左右不均一性を低減することが可能となり、特
に大形化及び広角化が図られた高精細用のカラー受像管
の蛍光面形成用として使用するのに好適であり、廉価で
作業性にも優れた露光装置及び露光方法を提供すること
ができるので、製造バラツキの少ないホワイトユニフォ
ーミティ及び輝度特性の良好なカラー受像管を製造する
ことが可能となる。
According to the present invention, it is possible to reduce the non-uniformity of the exposure light amount distribution on the inner surface of the face panel caused by the shift of the lamp house with respect to the photosensitive layer. It is suitable to be used for forming a fluorescent screen of a high-definition color picture tube, and it is possible to provide an inexpensive exposure apparatus and an exposure method which are inexpensive and excellent in workability. It is possible to manufacture a color picture tube having good quality and brightness characteristics.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係るカラー受像管の蛍光面形成用露光
装置を説明するための断面図。
FIG. 1 is a cross-sectional view for explaining an exposure apparatus for forming a fluorescent screen of a color picture tube according to the present invention.

【図2】本発明に係る露光装置を構成するランプハウス
の構成を示す断面図。
FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a configuration of a lamp house included in the exposure apparatus according to the present invention.

【図3】同じくランプハウスによる照度分布を説明する
ための説明図。
FIG. 3 is an explanatory diagram for explaining illuminance distribution by a lamp house.

【図4】同じくランプハウスによる照度分布の別な例を
説明するための説明図。
FIG. 4 is an explanatory diagram for explaining another example of the illuminance distribution by the lamp house.

【図5】従来のカラー受像管の構成を示す一部切欠側面
図。
FIG. 5 is a partially cutaway side view showing the configuration of a conventional color picture tube.

【図6】従来のカラー受像管用蛍光面形成用露光装置を
示す断面図。
FIG. 6 is a sectional view showing a conventional exposure apparatus for forming a fluorescent screen for a color picture tube.

【図7】同じく露光装置を構成するランプハウスを示す
斜視図。
FIG. 7 is a perspective view showing a lamp house constituting the exposure apparatus.

【図8】同じくランプハウスを示す断面図。FIG. 8 is a sectional view showing the lamp house.

【図9】同じくランプハウスを構成する水銀ランプの照
度分布を示す説明図。
FIG. 9 is an explanatory diagram showing an illuminance distribution of a mercury lamp constituting the lamp house.

【図10】同じくランプハウスによる照度分布を説明す
るための説明図。
FIG. 10 is an explanatory diagram for explaining the illuminance distribution by the lamp house.

【図11】同じくランプハウスによる照度分布の他の例
を示す説明図。
FIG. 11 is an explanatory diagram showing another example of the illuminance distribution by the lamp house.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11:感光層 12:シャドウマスク 13:フェースパネル 14:支持台 16:ランプハウス 17,18,19:補正レンズ 23:超高圧水銀ランプ(光源用ランプ) 24:筐体 25:スリット 26:遮光板 27:駆動軸 28:駆動装置 11: photosensitive layer 12: shadow mask 13: face panel 14: support base 16: lamp house 17, 18, 19: correction lens 23: ultra-high pressure mercury lamp (lamp for light source) 24: housing 25: slit 26: light shielding plate 27: drive shaft 28: drive device

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 カラー受像管のフェースパネル内面に蛍
光面を形成するためのカラー受像管の蛍光面形成用露光
装置において、 内面に感光層が形成され、この感光層に対向してシャド
ウマスクが装着されたフェースパネルを支持位置決めす
る支持台と、 この支持台に対向して配置され、前記シャドウマスクを
介して前記感光層に紫外線を照射する光源用ランプを内
蔵し移動可能に設置されたランプハウスと、 このランプハウスのシャドウマスク側に配置され、前記
光源用ランプの紫外線を通過させるスリットを有する遮
光板と、 この遮光板の前記スリットを介して放出される紫外線を
所定の軌道に補正するための補正レンズと、 前記遮光板を光源用ランプに対して選択的に移動させる
駆動装置とを具備し、 前記遮光板を前記光源用ランプに対して相対的に移動可
能に構成したことを特徴とするカラー受像管の蛍光面形
成用露光装置。
1. An exposure apparatus for forming a fluorescent screen on a face of a color picture tube for forming a phosphor screen on an inner face of a face panel of the color picture tube, wherein a photosensitive layer is formed on an inner surface, and a shadow mask is opposed to the photosensitive layer. A support base for supporting and positioning the mounted face panel; and a lamp movably installed with a built-in light source lamp that is disposed to face the support base and irradiates the photosensitive layer with ultraviolet light via the shadow mask. A house, a light-shielding plate disposed on the shadow mask side of the lamp house and having a slit through which ultraviolet light of the light source lamp passes, and correcting the ultraviolet light emitted through the slit of the light-shielding plate to a predetermined trajectory. And a driving device for selectively moving the light shielding plate with respect to the light source lamp, wherein the light shielding plate is provided to the light source lamp. An exposure apparatus for forming a fluorescent screen of a color picture tube, wherein the exposure apparatus is configured to be relatively movable with respect to the color picture tube.
【請求項2】 前記遮光板は、前記ランプハウスの移動
に連動して前記光源用ランプとの間隔を一定に保持しつ
つ移動可能とした請求項1記載のカラー受像管の蛍光面
形成用露光装置。
2. The exposure for forming a fluorescent screen of a color picture tube according to claim 1, wherein the light shielding plate is movable while maintaining a constant distance from the light source lamp in conjunction with the movement of the lamp house. apparatus.
【請求項3】 前記遮光板は、前記ランプハウスの移動
に連動して同方向に独立して移動可能とした請求項2記
載のカラー受像管の蛍光面形成用露光装置。
3. The exposure apparatus for forming a fluorescent screen of a color picture tube according to claim 2, wherein the light shielding plate is independently movable in the same direction in conjunction with the movement of the lamp house.
【請求項4】 シャドウマスクを有するカラー受像管の
フェースパネル内面に形成した感光層に対して、光源用
ランプからの紫外線を遮光板に形成したスリット及び紫
外線の軌道を補正する補正レンズを通して照射すること
により、感光層を露光するカラー受像管の蛍光面形成用
露光方法において、 前記光源用ランプの位置を前記感光層に対応して移動さ
せるとともに、この光源用ランプとは独立して遮光板を
相対的に移動させることによって、前記光源用ランプか
らの紫外線放射位置を実質的に変更して露光することを
特徴とするカラー受像管の蛍光面形成用露光方法。
4. A photosensitive layer formed on an inner surface of a face panel of a color picture tube having a shadow mask is irradiated with ultraviolet rays from a light source lamp through a slit formed in a light shielding plate and a correction lens for correcting the trajectory of the ultraviolet rays. Thereby, in the exposure method for forming a fluorescent screen of a color picture tube that exposes the photosensitive layer, the position of the light source lamp is moved corresponding to the photosensitive layer, and the light-shielding plate is independent of the light source lamp. An exposure method for forming a fluorescent screen of a color picture tube, wherein exposure is performed by substantially changing an ultraviolet radiation position from the light source lamp by relatively moving.
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