JP2001331981A

JP2001331981A - 情報記録媒体用ブランクマスター及びその作製方法、情報記録媒体用記録マスター及びその作製方法、情報記録媒体用スタンパーの製造方法

Info

Publication number: JP2001331981A
Application number: JP2000146089A
Authority: JP
Inventors: Tetsuya Kondo; 哲也近藤; Takashi Daiko; 高志大胡
Original assignee: Victor Company of Japan Ltd
Current assignee: Victor Company of Japan Ltd
Priority date: 2000-05-18
Filing date: 2000-05-18
Publication date: 2001-11-30

Abstract

(57)【要約】【課題】情報記録媒体用ブランクマスターとその作製
方法、情報記録媒体用記録マスターとその作製方法、情
報記録媒体用スタンパーの製造方法を提供する。【解決手段】ベース盤１上に第１エネルギー線感応層
２、超微視的不連続膜３、第２エネルギー線感応層４を
順次積層してブランクマスター５を作製し、異なるエネ
ルギー強度のビームを用いて露光現像を行って、第１エ
ネルギー線感応層２中に超微視的不連続膜３に達する第
１ピットパターン８Ａと、第１エネルギー線感応層２、
超微視的不連続膜３、第２エネルギー線感応層４を貫通
して、ベース盤１に達する第２ピットパターン８Ｂを形
成して記録マスター９を作製し、この記録マスター９上
に金属層１０を形成した後、記録マスター９から金属層
１０を剥離してスタンパー１１を作製する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、情報記録媒体用ブ
ランクマスター及びその作製方法、情報記録媒体用記録
マスター及びその作製方法、情報記録媒体用スタンパー
の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、相対運動をさせて情報を読み
出す情報記録媒体のシステムとして、ディスク状やカー
ド状、テープ状の情報記録媒体が用いられている。その
記録や再生は、光学的、磁気的、静電容量的、電気的な
方法によって行われる。このような情報記録媒体のう
ち、高密度情報の再生または記録・再生を担う情報記録
媒体には、微細パターンが刻まれていることが多い。

【０００３】この微細パターンは、いわゆるトラックに
代表される微細な溝（グルーブ）、微細なピット、記録
のガイド、主たる情報及び補助的な情報等を含んでい
る。このような微細パターンは、システムが複雑になる
に従って、高度なものとなり、複数種類の微細パターン
が組み合わされて、いわゆる物理フォーマットを構成し
ている。

【０００４】複数種類の微細パターンは、記録または再
生メカニズム上の理由により、異なる深さを有すること
が望ましい。例えば、光学的情報記録媒体の場合、この
深さに関して、トラックの追従を目的としたグルーブの
場合には、浅く、補助的な情報をあらかじめ埋め込んで
おくピットの場合には、深く設定される。このような事
情は光学的情報記録媒体に限らず、磁気的、静電容量
的、電気的情報記録媒体でも同様である。

【０００５】このような情報記録媒体の製造方法では、
最初の工程、すなわち微細パターンの形成工程（マスタ
リング工程）において複数種類の微細パターンを、それ
ぞれ異なる深さで刻む技術が必要とされる。この微細パ
ターンを形成する方法には、以下の公報に示す方法が開
示されている。例えば、特開昭６３−２５７９２１号公
報には、強度の異なるビームを用いてレジストに２つの
深さの微細パターンを形成する方法が開示されている。

【０００６】特開平４−２８６７３６号公報や、特許第
２５０７７７６号公報にはドライエッチングを用いる方
法が開示されている。特開昭５９−１８０８３９号公
報、特開昭６１−１６０８５０号公報や特開平２−２９
９５５号公報にはレジストを２層にして、２つの深さの
微細パターンを形成する方法が開示されている。

【０００７】ここで、２層レジスト法を用いた情報記録
媒体用スタンパーの製造方法について、以下に図４を用
いて具体的に説明する。図４は、情報記録媒体用スタン
パーの製造工程を示す図であり、（Ａ）は、情報記録媒
体用ブランクマスター作製工程を示し、（Ｂ）は、情報
記録媒体用記録マスター作製工程における露光する様子
を示し、（Ｃ）は、情報記録媒体用記録マスター作製工
程における微細パターン形成する様子を示し、（Ｄ）
は、金属層形成工程における金属層を示し、（Ｅ）は、
情報記録媒体用スタンパーを示す図である。

【０００８】情報記録媒体用スタンパーの製造方法は、
大略、情報記録媒体用ブランクマスター作製工程と、情
報記録媒体用記録マスター作製工程と、情報記録媒体用
スタンパー作製工程とからなる。（情報記録媒体用ブランクマスター作製工程）まず始め
に、図４（Ａ）に示すように、予め用意された平坦なガ
ラス盤１２上に第１フォトレジスト１３を塗布する。次
に、第１フォトレジスト１３上に第２フォトレジスト１
４を塗布して、情報記録媒体用ブランクマスター１５を
作製する。

【０００９】ここで、第１フォトレジスト１３は、大き
な露光量で感光する低感度タイプであり、第２フォトレ
ジスト１４は、小さい露光量で感光する高感度タイプで
ある。

【００１０】（情報記録媒体用記録マスター作製工程）
続いて、図４（Ｂ）に示すように、情報記録媒体用ブラ
ンクマスター１５の上方から強度の異なる２つのビーム
１６Ａ、１６Ｂを第２フォトレジスト１４に照射して、
露光する。ここで、相対的に強度の弱いビーム１６Ａ
は、第２フォトレジスト１４だけを露光し、第１フォト
レジスト１３を露光しない。一方、相対的に強度の強い
ビーム１６Ｂは、第１フォトレジスト１３及び第２フォ
トレジスト１４の両方を露光する。

【００１１】この結果、ビーム１６Ａによって露光され
た第２フォトレジスト１４の部分には、潜像１７Ａが形
成されるが、第１のフォトレジスト１３には形成されな
い。ビーム１６Ｂによって露光された第１及び第２フォ
トレジスト１３、１４の部分には、潜像１７Ｂが形成さ
れる。前記したように、２つのビーム１６Ａ、１６Ｂに
よる潜像形成の違いは、フォトレジストの感度の違いに
よる。

【００１２】この後、図４（Ｃ）に示すように、第１及
び第２フォトレジスト１３、１４の現像を行って、潜像
１７Ａ、１７Ｂを溶解して消失させ、２つの深さの異な
る微細パターン１８Ａ、１８Ｂを形成して、情報記録媒
体用記録マスター１９を作製する。

【００１３】このように、互いに感度の異なる２層のフ
ォトレジストを用いることにより、露光量が少々変動し
ても２つの異なる深さの微細パターン１８Ａ、１８Ｂを
安定して形成することができる。

【００１４】（情報記録媒体用スタンパー作製工程）更
に、図４（Ｄ）に示すように、第２フォトレジスト１４
側の情報記録媒体用記録マスター１９上に金属層２０を
形成する。次に、図４（Ｅ）に示すように、金属層２０
を情報記録媒体用記録マスター１９から剥離して、パタ
ーン２０Ａ及び２０Ｂを有した情報記録媒体用スタンパ
ー２１を作製する。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、２層レ
ジスト法により情報記録媒体用ブランクマスター、情報
記録媒体用記録マスター及び情報記録媒体用スタンパー
の製造方法には以下の問題を生じていた。（情報記録媒
体用ブランクマスター作製工程）において、第１フォト
レジスト１３上に第２フォトレジスト１４を塗布する
際、第２フォトレジスト１４に含まれる溶媒が第１フォ
トレジスト１３の感光物や樹脂等のフォトレジスト構成
成分をも溶解してしまうため、第２フォトレジスト１４
と混ざり合った状態を生じていた。

【００１６】特に、微細パターン１８Ａ、１８Ｂの深さ
が浅い情報記録媒体では、必然的にフォトレジストの溶
剤含有率が高く、２つのフォトレジストが同一比率で混
合されるどころか、第１フォトレジスト１３が完全に流
されて、第２フォトレジスト１４に置き換わってしまう
といった問題を生じていた。このため、（情報記録媒体
用記録マスター作製工程）において、所定の大小異なる
露光量で第１及び第２フォトレジスト１３、１４を露光
現像した場合、所望の異なる深さの微細パターン１８
Ａ、１８Ｂを形成することが極めて困難であった。

【００１７】この結果、（情報記録媒体用スタンパー作
製工程）において、所望形状のパターン２０Ａ及び２０
Ｂが得られず、設計通りの情報記録媒体用スタンパー２
１が得られなかった。

【００１８】そこで、本発明は上記問題に鑑みて成され
たものであり、複数のフォトレジストを積層して塗布し
た時、互いに混合させることなく塗布できる情報記録媒
体用ブランクマスターとその作製方法、情報記録媒体用
記録マスターとその作製方法及び情報記録媒体用スタン
パーの製造方法を提供することを目的とする。

【００１９】

【課題を解決するための手段】本発明における第１の発
明は、ベース盤と、このベース盤上に順次積層された第
１エネルギー線感応層と、超微視的不連続膜とからなる
ことを特徴とする情報記録媒体用ブランクマスターを提
供する。第２の発明は、前記超微視的不連続膜は、孤立
材料粒子と間隙から少なくともなり、前記孤立材料粒子
の平面サイズが０．００１〜０．１ミクロンの範囲にあ
り、且つ前記第１エネルギー線感応層表面からの孤立材
料粒子の最上面までの高さが０．１〜２０ｎｍの間であ
ることを特徴とする請求項１記載の情報記録媒体用ブラ
ンクマスターを提供する。第３の発明は、ベース盤上に
第１エネルギー線感応層、超微視的不連続膜を順次積層
したことを特徴とする情報記録媒体用ブランクマスター
の作製方法を提供する。第４の発明は、前記超微視的不
連続膜は、少なくとも孤立材料粒子と間隙とからなり、
前記孤立材料粒子の平面サイズが０．００１〜０．１ミ
クロンの範囲にあり、且つ前記第１エネルギー線感応層
表面からの孤立材料粒子の最上面までの高さが０．１〜
２０ｎｍの間であることを特徴とする請求項３記載の情
報記録媒体用ブランクマスターの作製方法を提供する。
第５の発明は、ベース盤と、このベース盤上に順次積層
され、第１エネルギー線感応層と、超微視的不連続膜
と、第２エネルギー線感応層とからなり、更に、前記第
１エネルギー線感応層中に形成され、前記第１エネルギ
ー線感応層表面から前記超微視的不連続膜に達する第１
ピットパターンと、前記第１エネルギー線感応層表面か
ら前記ベース盤に達する第２ピットパターンとを含むこ
とを特徴とする情報記録媒体用記録マスターを提供す
る。第６の発明は、前記超微視的不連続膜は、孤立材料
粒子と間隙から少なくともなり、前記孤立材料粒子の平
面サイズが０．００１〜０．１ミクロンの範囲にあり、
且つ前記第１エネルギー線感応層表面からの孤立材料粒
子の最上面までの高さが０．１〜２０ｎｍの間であるこ
とを特徴とする請求項５記載の情報記録媒体用記録マス
ターを提供する。第７の発明は、ベース盤上に第１エネ
ルギー線感応層、超微視的不連続膜、第２エネルギー線
感応層を順次積層して情報記録媒体用ブランクマスター
を作製する工程と、異なるエネルギー強度のビームを用
いて露光を行って潜像を形成した後、アルカリ現像液を
用いて、この潜像を現像して、前記第１エネルギー線感
応層中に前記超微視的不連続膜に達する第１ピットパタ
ーンと、前記第１エネルギー線感応層、前記超微視的不
連続膜、前記第２エネルギー線感応層を貫通して、前記
ベース盤に達する第２ピットパターンを形成する工程と
を少なくとも含むことを特徴とする情報記録媒体用記録
マスターの作製方法を提供する。第８の発明は、ベース
盤上に第１エネルギー線感応層、超微視的不連続膜、第
２エネルギー線感応層を順次積層して情報記録媒体用ブ
ランクマスターを作製する工程と、異なるエネルギー強
度のビームを用いて露光を行って潜像を形成した後、ア
ルカリ現像液を用いて、この潜像を現像し、前記第１エ
ネルギー線感応層中に前記超微視的不連続膜に達する第
１ピットパターンと、前記第１エネルギー線感応層、前
記超微視的不連続膜、前記第２エネルギー線感応層を貫
通して、前記ベース盤に達する第２ピットパターンを形
成して情報記録媒体用記録マスターを作製する工程と、
この情報記録媒体用記録マスターにおける前記第１及び
前記第２ピットパターン内、前記第１及び前記第２ピッ
トパターンから露出した第１エネルギー線感応層及び前
記第２エネルギー線感応層上に金属層を形成する工程
と、前記情報記録媒体用記録マスターから前記金属層を
剥離する工程とを少なくとも含むことを特徴する情報記
録媒体用スタンパーの製造方法を提供する。

【００２０】

【発明の実施の形態】本発明の実施形態の情報記録媒体
用ブランクマスターとその製造方法、情報記録媒体用記
録マスターとその作製方法及び情報記録媒体用スタンパ
ーの製造方法について図１乃至図３を用いて説明する。
従来例と同一構成には同一符号を付し、その説明を省略
する。図１は、情報記録媒体用スタンパーの製造工程を
示し、（Ａ）及び（Ｂ）は、情報記録媒体用ブランクマ
スター作製工程、（Ｃ）及び（Ｄ）は、情報記録媒体用
記録マスター作製工程、（Ｅ）及び（Ｆ）は、情報記録
媒体用スタンパー作製工程を示す図である。図２は、支
持体表面に形成された超微視的不連続膜のモフォロジー
を示す平面図である。図３は、図２における超微視的不
連続膜の近傍を示す断面図である。

【００２１】（情報記録媒体用ブランクマスター作製工
程）まず始めに、図１（Ａ）に示すように、光学研磨さ
れた平坦なベース盤１を用意し、このベース盤１上に第
１エネルギー線感応層２を形成し、更に第１エネルギー
線感応層２上に超微視的不連続膜３を形成する。引き続
いて、図１（Ｂ）に示すように、この超微視的不連続膜
３上に第２エネルギー線感応層４を形成して、情報記録
媒体用ブランクマスター５を作製する。

【００２２】ベース盤１の材料としては、金属、セラミ
ック、シリコン、ガラス（石英ガラス、ソーダライムガ
ラス、ソーダアルミノ珪酸ガラス等を含む）がある。こ
のベース盤１の厚さとしては、０．１ｍｍ〜０．３ｍｍ
であり、望ましくは０．６ｍｍ〜２０ｍｍ、更に望まし
くは、１ｍｍ〜１０ｍｍが良い。また、厚みのあるベー
ス盤１に金属、セラミックなどを堆積したものであって
もよい。具体的には、シリコン、タンタル、モリブデ
ン、金、白金、ニオブ、チタン、タングステンやこれら
の合金（酸化物、窒化物、炭化物の例を含む）などの薄
膜を積層したものである。

【００２３】第１エネルギー線感応層２の材料として
は、例えば波長１０ｎｍ〜１５００ｎｍの電磁波（γ
線、Ｘ線、極端紫外線、遠紫外線、紫外線、可視光、赤
外線など）に感応する有機材料や、粒子線（α線、β
線、陽子線、中性子線、電子線など）に感応する有機材
料から選ばれ、これらを有機溶剤に希釈して薄くしたも
のが用いられる。前者の有機材料の代表例としては、感
光性色素があり、特に、好適なものとして、紫外線、又
は遠紫外線感光型のフォトレジストがある。後者の有機
材料の代表例としては、電子線（ＥＢ）レジストなどが
ある。

【００２４】ここで、超微視的不連続膜３について詳細
に図２を用いて説明する。図２に示すように、超微視的
不連続膜３を透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）や原子間力顕微
鏡（ＡＦＭ）等で超微視的に観察すると、超微視的不連
続膜３は、モフォロジー（ｍｏｒｐｈｏｌｏｇｙ）を示
すものである。即ち、微視的に孤立分散した孤立材料粒
子３Ａの集合体であり、特にそれぞれの孤立材料粒子３
Ａが互いに分離した様相を呈している。

【００２５】この孤立分散した状態は、粒子状の集合体
であったり、楕円体の集合体であったり、アメーバー状
の不定形集合体であったりする。それぞれの孤立材料粒
子３Ａは、平均的には０．１μｍ以下の平面サイズ（平
均直径Ｄ）であり、材料や作製条件によってＤ＝０．０
０１〜０．１μｍとなる。この孤立材料粒子３Ａの間の
間隙３Ｂについては、空孔であるとも生成過程に混入し
た不純物ガスであるとも考えられるが、現段階では研究
が進んでいない。少なくとも、このような超微視的不連
続膜３は、いわゆるバルク（ｂｕｌｋ）とも連続薄膜
（ｔｈｉｎｆｉｌｍ）とも異なる屈折率と消衰係数を
示している。

【００２６】また、超微視的不連続膜３は、非常に薄い
膜状のものであるが、その膜厚は、孤立材料粒子３Ａが
孤立分散しているため、従来の膜厚の概念は適応できな
い。しかし、図３に示すように、第１エネルギー線感応
層２表面Ｓ₁からの孤立材料粒子３Ａの最上面Ｓ₀までの
高さを膜厚Ｈとして定義すれば、膜厚Ｈは、０．１〜２
０ｎｍの範囲とすることができる。間隙３Ｂを空孔と見
なせる場合には、面積平均化処理して得られる計算上の
膜厚Ｈは、略０．０１〜１５ｎｍの範囲となる。

【００２７】このような超微視的不連続膜３は、以下の
ようにして作製される。超微視的不連続膜３は、金属、
金属合金（酸化物、窒化物、炭化物、硫化物、フッ化物
の例を含む）、有機物のいずれかを原料として、この原
料を低圧下で分解し、ベース盤１上で再構成することに
よって作製できる。

【００２８】具体的には、水、水素、酸素、窒素、二酸
化炭素、一酸化炭素、ヘリウム、アルゴン、ネオン、キ
セノン、クリプトンから選ばれたガスを少なくとも１つ
含む低圧雰囲気中で、前記した原料を分解し、ベース盤
１表面に超微視的不連続膜３を生成する。低圧とは１０
^-9気圧から１０^-3気圧であり、望ましくは１０^-8気圧か
ら１０^-4気圧である。

【００２９】この際、超微視的不連続膜３の生成時間が
長くなると、生成した超微視的不連続膜３の上に別の超
微視的不連続膜３が被着し、結果的に連続薄膜となる可
能性がある。従って、膜厚Ｈが、前記した所定の範囲と
なるように生成時間を制限する必要がある。なお、前記
した原料の分解では、加熱とグロー放電の併用を行うよ
うにしても良い。

【００３０】ベース盤１の温度は、第１エネルギー線感
応層２の軟化点温度、例えば１４０℃以下が良く、望ま
しくは３０℃以下が良い。軟化点温度を越えると、第１
エネルギー線感応層２が変形し、同時に被着した超微視
的不連続膜３が変形して連続薄膜に変化するからであ
る。

【００３１】第２エネルギー線感応層４の材料として
は、第１エネルギー線感応層２と同一のものを用いるこ
とができる。更に、第１及び第２エネルギー線感応層
２、４は、等しい感度であっても良い。前記した情報記
録媒体用ブランクマスター５の作製においては、超微視
的不連続膜３が固有の化学的挙動を有しているので、第
１及び第２エネルギー線感応層２、４は、その化学的性
質が同じであるにもかかわらず、互いに混ざり合うこと
なく形成することができる。

【００３２】（情報記録媒体用記録マスター作製工程）
続いて、図１（Ｃ）に示すように、光強度の弱いビーム
６Ａと強いビーム６Ｂを用いて、情報記録媒体用ブラン
クマスター５の上方から第２エネルギー線感応層４を照
射して露光を行い、第２エネルギー線感応層４中に、ビ
ーム６Ａに対応した潜像７Ａ、第１及び第２エネルギー
線感応層２、４及び超微視的不連続膜３中に、ビーム６
Ｂに対応した潜像７Ａよりも深い潜像７Ｂを形成する。

【００３３】ここで、ビーム６Ａ、６Ｂによって深さの
異なる潜像７Ａ、７Ｂが形成される理由について詳細に
説明する。超微視的不連続膜３の透過率は、光強度が弱
いビーム６Ａと強いビーム６Ｂとでは異なり、ビーム６
Ａに対してはＴａ、ビーム６Ｂに対してはＴｂである。
光強度が弱いビーム６Ａが、超微視的不連続膜３に到達
すると、このビーム６Ａのエネルギーが超微視的不連続
膜３中で大幅に減衰する。このため、光強度が弱いビー
ム６Ａは、第１エネルギー線感応層２に到達して、更
に、光強度が弱められ、第１エネルギー線感応層２を露
光するだけのエネルギーを有しないため、ビーム６Ａに
よっては、第２エネルギー線感応層４のみに潜像７Ａが
形成され、第１エネルギー線感応層２には、潜像が形成
されないのである。

【００３４】一方、光強度の強いビーム６Ｂは、光強度
が強いので、第１エネルギー線感応層２を露光するのに
十分なエネルギーを有しているため、ビーム６Ｂによっ
て、第１エネルギー線感応層２、超微視的不連続膜３及
び第２エネルギー感応層４に渡って潜像７Ｂが形成され
るのである。

【００３５】この後、図１（Ｄ）に示すように、アルカ
リ現像液を用いて、潜像７Ａ、７Ｂを現像して、潜像７
Ａに対応したピットパターン８Ａ、潜像７Ｂに対応した
ピットパターン８Ｂを形成して情報記録媒体用記録マス
ター９を作製する。アルカリ現像液の種類や濃度は、エ
ネルギー線感応層２、３の化学的性質を考慮して選択さ
れる。このように、超微視的不連続膜３を介して第１エ
ネルギー線感応層２上に第２エネルギー線感応層４が形
成されているので、２つのビーム６Ａ、６Ｂにより深さ
の異なる潜像が形できるのである。更に、第１及び第２
エネルギー線感応層２、４、超微視的不連続膜３の厚さ
で決まる深さの第１及び第２ピットパターン８Ａ、８Ｂ
を精度良く形成するので、良好な精度の情報記録媒体用
記録マスター９を作製することができる。

【００３６】この時、第１エネルギー線感応層２に形成
されている潜像７Ｂの現像は、超微視的不連続膜３があ
るため、現像開始時間が０．１〜１０秒程度遅れるが、
全体から見れば順調に行われる。このような微小な現像
開始時間遅れは、第１及び第２エネルギー線感応層２、
４に感度差を与えるので、２つの記録ビーム６Ａ、６Ｂ
の露光量が変動しても、その影響は少なくなる。

【００３７】なお、前記したアルカリ現像液は、例え
ば、燐酸ナトリウム、燐酸水素ナトリウム、珪酸ナトリ
ウム、水酸化カリウム、水酸化ナトリウムなどの無機ア
ルカリ水溶液や、テトラアルキルアンモニウムヒドリド
（例えば、テトラメチルアンモニウムヒドリド）等の有
機アルカリ水溶液を単独または混合したものがある。こ
のアルカリ現像液の濃度としては、エネルギー線感応層
の表面荒れを考慮した０．０６〜０．６規定が適当であ
り、望ましくは０．０８〜０．４規定、さらに望ましく
は０．１〜０．３規定が良い。なお必要に応じて界面活
性剤を添加して、現像速度の調整をしても良い。

【００３８】超微視的不連続膜３を有した状態で、ピッ
トパターン８Ａ、８Ｂを得るためには、超微視的不連続
膜３の孤立材料粒子３Ａの平面サイズＤが十分小さいこ
とが必要である。情報記録媒体を作製する際には、ピッ
トパターン８Ａ、８Ｂによりグルーブ溝やピットを形成
することになるが、ピットパターン８Ａ、８Ｂの最小寸
法は、平面サイズＤが０．００１μｍの時、０．０１μ
ｍで、平面サイズＤが０．１μｍの時、微細パターンの
最小寸法は、０．２μｍである。

【００３９】（情報記録媒体用スタンパー作製工程）引
き続いて、図１（Ｅ）に示すように、情報記録媒体用記
録マスター９の第２エネルギー線感応層４、ピットパタ
ーン８Ａ、８Ｂ内、及びこれらのピットパターン８Ａ、
８Ｂから露出したベース盤１上に金属層１０を形成す
る。この後、図１（Ｆ）に示すように、情報記録媒体用
記録マスター９から金属層１０を剥離してパターン１０
Ａ、１０Ｂを有した情報記録媒体用スタンパー１１を作
製する。精度良く形成されたピットパターン８Ａ、８Ｂ
を有する情報記録媒体用記録マスター９を用いているの
で、良好な精度を有する情報記録媒体用スタンパー１１
を得ることができる。

【００４０】副次的な効果として、超微視的不連続膜３
が所定の透過率Ｔａ、Ｔｂを有することによって感度差
が発生するのであるが、超微視的不連続膜３の間隙３Ｂ
は空気であるので、この間隙３Ｂを通過するビーム６
Ａ、６Ｂの透過率は、１００％を有し、孤立材料粒子３
Ａを通過するビーム６Ａ、６Ｂの透過率は、所定の透過
率を有する。このため、これらの透過率差の分だけ、事
実上の感度差が発生する。このことによって前記した感
度差は強調される。

【００４１】ここでは、金属層１０は、単層としたが、
複層でも良い。例えば、ピットパターン８Ａ、８Ｂを有
する第２エネルギー線感応層４上にニッケル単体かこれ
を主とする合金（例えばパラジウム、バナジウムの例を
含むニッケル合金）からなる金属薄膜を成膜し、これを
電極としてニッケル単体かこれを主とする合金の電気メ
ッキを行うようにして形成できる。

【００４２】金属層１０の剥離は、ベース盤１と第１エ
ネルギー線感応層２との間であっても良い。この場合、
金属層１０に付着している第１エネルギー線感応層２、
超微視的不連続膜３、第２エネルギー線感応層４を酸、
アルカリ、有機溶剤などを用いて順番に、または同時に
剥離すればよい。

【００４３】上記したように、情報記録媒体用ブランク
マスター５の作製方法は、図１中の（Ａ）〜（Ｂ）に示
す工程、情報記録媒体用記録マスター９の製造方法は、
図１中の（Ａ）〜（Ｄ）に示す工程、情報記録媒体用ス
タンパー１１の製造方法は、図１中の（Ａ）〜（Ｆ）に
示す工程からなる。

【００４４】本発明の実施形態の変形例として、ベース
盤１と第１エネルギー線感応層２との間や、超微視的不
連続膜３と第２エネルギー線感応層４との間の密着性を
向上させるために、それらの間に極薄い密着剤膜、望ま
しくは単分子膜を介在させるようにしても良い。この密
着剤膜の材料としては、シランカップリング剤、チタネ
ート系カップリング剤、アルミネート系カップリング剤
がある。このシランカップリング剤としては、ヘキサメ
チルジシランザンやγ―２−アミノエチルーアミノプロ
ピルトリメトキシシランが効果的である。

【００４５】更に、超微視的不連続膜３の透過率は、Ｔ
ａ＝Ｔｂとしたが、ビーム６Ａ、６Ｂのパワーの増加と
共に、透過率が変化する膜であってもよく、特に高パワ
ーで透過率の高くなる、いわゆる三次非線形材料特性を
示す超微視的不連続膜３の透過率は、Ｔａ＜Ｔｂとな
り、２領域の感度差が更に拡大し、望ましい。また、第
１エネルギー線感応層２の単独での感度と、第２エネル
ギー線感応層４の単独での感度は、同じであるとして説
明したが、これに限定されない。第２のエネルギー線感
応層４が第１エネルギー線感応層２よりも高感度であれ
ば、２領域の感度差が更に拡大し、望ましい。

【００４６】（情報記録媒体用記録マスター作製工程）
においてもちいたアルカリ現像液に、超微視的不連続膜
３の溶解を促進するために、腐蝕液を添加しても良い。
或いは、アルカリ現像液と腐蝕液を交互に塗布し、効率
的な除去としても良い。情報記録媒体用スタンパー１１
は、そのまま或いは金型に合わせたトリミングを経て成
型に用いることができるが、この情報記録媒体用スタン
パー１１を母型とした電鋳法により複製型を作製するこ
とも可能である。この複製型を用いて、電鋳法により、
更に複製型を作製することができる。このようにすれ
ば、大量生産にも好適に対応することができる。

【００４７】

【発明の効果】本発明によれば、超微視的不連続膜を介
して第１エネルギー線感応層上に第２エネルギー線感応
層を形成するので、第１及び第２エネルギー線感応層が
混じり合うことがない情報記録媒体用ブランクマスター
を作製することができる。また、情報記録媒体用ブラン
クマスターの上方から強度の異なるビームによって、第
１及び第２エネルギー線感応層、超微視的不連続膜の厚
さで決まる深さの第１及び第２ピットパターンを精度良
く形成するので、良好な精度の情報記録媒体用記録マス
ターを作製することができる。更にまた、情報記録媒体
用スタンパーは、良好な精度を有する情報記録媒体用記
録マスターに金属層を形成した後、剥離して作製される
ので、良好な精度を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】情報記録媒体用スタンパーの製造工程を示し、
（Ａ）及び（Ｂ）は、情報記録媒体用ブランクマスター
作製工程、（Ｃ）及び（Ｄ）は、情報記録媒体用記録マ
スター作製工程、（Ｅ）及び（Ｆ）は、情報記録媒体用
スタンパー作製工程を示す図である。

【図２】支持体表面に形成された超微視的不連続膜のモ
フォロジーを示す平面図である。

【図３】図２における超微視的不連続膜の近傍を示す断
面図である。

【図４】情報記録媒体用スタンパーの製造工程を示す図
であり、（Ａ）は、情報記録媒体用ブランクマスター作
製工程を示し、（Ｂ）は、情報記録媒体用記録マスター
作製工程における露光する様子を示し、（Ｃ）は、情報
記録媒体用記録マスター作製工程における微細パターン
を形成する様子を示し、（Ｄ）は、金属層形成工程にお
ける金属層を示し、（Ｅ）は、情報記録媒体用スタンパ
ーを示す図である。

【符号の説明】

１…ベース盤、２…第１エネルギー線感応層、３…超微
視的不連続膜、３Ａ…孤立材料粒子、３Ｂ…間隙、４…
第２エネルギー線感応層、５…情報記録媒体用ブランク
マスター、６Ａ、６Ｂ…ビーム、７Ａ、７Ｂ…潜像、８
Ａ…ピットパターン（第１ピットパターン）、８Ｂ…ピ
ットパターン（第２ピットパターン）、９…情報記録媒
体用記録マスター、１０…金属層、１１…情報記録媒体
用スタンパー

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ベース盤と、このベース盤上に順次積層さ
れた第１エネルギー線感応層と、超微視的不連続膜とか
らなることを特徴とする情報記録媒体用ブランクマスタ
ー。
【請求項２】前記超微視的不連続膜は、孤立材料粒子と
間隙から少なくともなり、前記孤立材料粒子の平面サイ
ズが０．００１〜０．１ミクロンの範囲にあり、且つ前
記第１エネルギー線感応層表面からの孤立材料粒子の最
上面までの高さが０．１〜２０ｎｍの間であることを特
徴とする請求項１記載の情報記録媒体用ブランクマスタ
ー。
【請求項３】ベース盤上に第１エネルギー線感応層、超
微視的不連続膜を順次積層したことを特徴とする情報記
録媒体用ブランクマスターの作製方法。
【請求項４】前記超微視的不連続膜は、少なくとも孤立
材料粒子と間隙とからなり、前記孤立材料粒子の平面サ
イズが０．００１〜０．１ミクロンの範囲にあり、且つ
前記第１エネルギー線感応層表面からの孤立材料粒子の
最上面までの高さが０．１〜２０ｎｍの間であることを
特徴とする請求項３記載の情報記録媒体用ブランクマス
ターの作製方法。
【請求項５】ベース盤と、このベース盤上に順次積層さ
れ、第１エネルギー線感応層と、超微視的不連続膜と、
第２エネルギー線感応層とからなり、更に、前記第１エネルギー線感応層中に形成され、前記
第１エネルギー線感応層表面から前記超微視的不連続膜
に達する第１ピットパターンと、前記第１エネルギー線
感応層表面から前記ベース盤に達する第２ピットパター
ンとを含むことを特徴とする情報記録媒体用記録マスタ
ー。
【請求項６】前記超微視的不連続膜は、孤立材料粒子と
間隙から少なくともなり、前記孤立材料粒子の平面サイ
ズが０．００１〜０．１ミクロンの範囲にあり、且つ前
記第１エネルギー線感応層表面からの孤立材料粒子の最
上面までの高さが０．１〜２０ｎｍの間であることを特
徴とする請求項５記載の情報記録媒体用ブランクマスタ
ー。
【請求項７】ベース盤上に第１エネルギー線感応層、超
微視的不連続膜、第２エネルギー線感応層を順次積層し
て情報記録媒体用ブランクマスターを作製する工程と、異なるエネルギー強度のビームを用いて露光を行って潜
像を形成した後、アルカリ現像液を用いて、この潜像を
現像して、前記第１エネルギー線感応層中に前記超微視
的不連続膜に達する第１ピットパターンと、前記第１エ
ネルギー線感応層、前記超微視的不連続膜、前記第２エ
ネルギー線感応層を貫通して、前記ベース盤に達する第
２ピットパターンを形成する工程とを少なくとも含むこ
とを特徴とする情報記録媒体用ブランクマスターの作製
方法。
【請求項８】ベース盤上に第１エネルギー線感応層、超
微視的不連続膜、第２エネルギー線感応層を順次積層し
て情報記録媒体用ブランクマスターを作製する工程と、異なるエネルギー強度のビームを用いて露光を行って潜
像を形成した後、アルカリ現像液を用いて、この潜像を
現像し、前記第１エネルギー線感応層中に前記超微視的
不連続膜に達する第１ピットパターンと、前記第１エネ
ルギー線感応層、前記超微視的不連続膜、前記第２エネ
ルギー線感応層を貫通して、前記ベース盤に達する第２
ピットパターンを形成して情報記録媒体用記録マスター
を作製する工程と、この情報記録媒体用記録マスターにおける前記第１及び
前記第２ピットパターン内、前記第１及び前記第２ピッ
トパターンから露出した第１エネルギー線感応層及び前
記第２エネルギー線感応層上に金属層を形成する工程
と、前記情報記録媒体用記録マスターから前記金属層を剥離
する工程とを少なくとも含むことを特徴する情報記録媒
体用スタンパーの製造方法。