JP2001329985A - 真空ポンプにおける冷却構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ガス移送体を収容するハウジングとガス移送体
との間の所望のクリアランスの設定の容易性を向上す
る。 【解決手段】ギヤハウジング３３内に突出する回転軸１
９，２０の突出端部には歯車３４，３５が互いに噛合し
た状態で止着されている。回転軸１９，２０には冷却孔
５０，５１が形成されている。冷却孔５０，５１は、ギ
ヤ収容室３３１に突出する回転軸１９，２０の突出端部
１９２，２０２の端面から回転軸１９，２０の軸線１９
１，２０１に沿ってポンプ室４３に対応する回転軸１
９，２０の部位に達している。冷却孔５０，５１の開口
５０１，５１１は、回転軸１９，２０の突出端部１９
２，２０２の端面にある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、回転軸の回転に基
づいてガス移送体を動かし、前記ガス移送体の動作によ
ってガスを移送して吸引作用をもたらす真空ポンプにお
ける冷却構造に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】特開平５−１１８２９０号公報に開示さ
れる真空ポンプでは、隣合って２個で組をなすロータが
噛合した状態で回転される。噛合しながら回転する２個
のロータの回転動作は、ガスを移送する。このような真
空ポンプでは、排ガスを圧縮する行程で発生する熱を除
去するための冷却構造が用いられる。冷却構造は、ロー
タを内蔵するロータハウジングの表面を冷却するものが
一般的である。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ロータハウジングとロ
ータとの間のクリアランスの設定は、高圧側から低圧側
への排ガスの逆流を防止し、かつロータハウジングとロ
ータとの摺接による摩耗を回避するために厳密性を要求
される。ロータハウジングの表面を冷却する方式では、
ロータ、及びロータを回転させる回転軸の冷却が行えな
い。そのため、ロータ及び回転軸は、排ガスを圧縮する
行程で発生する熱によって膨張するが、冷却されるロー
タハウジングはあまり熱膨張しない。ロータ及び回転軸
と、ロータハウジングとの間の熱膨張のアンバランス
は、前記クリアランスを小さくするように大きく変化さ
せる。温度変化に伴うクリアランスの大きな変化は、ロ
ータハウジングとロータとの間のクリアランスの所望の
設定を困難にする。

【０００４】本発明は、ガス移送体を収容するハウジン
グとガス移送体との間の所望のクリアランスの設定の容
易性を向上することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】そのために本発明は、回
転軸の回転に基づいてガス移送体を動かし、前記ガス移
送体の動作によってガスを移送して吸引作用をもたらす
真空ポンプを対象とし、請求項１の発明では、熱を放散
するための放熱空間に隔壁を介して前記回転軸を突出さ
せ、前記放熱空間に突出する前記回転軸の突出端部に開
口を有するように前記回転軸内に冷却孔を設けた。

【０００６】放熱空間に通じる冷却孔の存在は、回転軸
及びガス移送体の冷却に有効である。ガス移送体を内蔵
するハウジングの冷却と、回転軸及びガス移送体の冷却
とを組み合わせれば、回転軸及びガス移送体の熱膨張
と、ガス移送体を収容するハウジングの熱膨張とのアン
バランスを抑制することができる。

【０００７】請求項２の発明では、請求項１において、
前記放熱空間は油存在領域とした。回転軸及びガス移送
体は、油を冷却孔に対して出入りさせることによって効
率よく冷却される。

【０００８】請求項３の発明では、請求項２において、
前記油存在領域は、前記回転軸を回転可能に支持するた
めの軸受けを収容する領域とした。回転軸及びガス移送
体は、軸受けを潤滑するための油を冷却孔に対して出入
りさせることによって効率よく冷却される。

【０００９】請求項４の発明では、請求項２及び請求項
３のいずれか１項において、前記真空ポンプは、複数の
前記回転軸を平行に配置すると共に、前記各回転軸上に
ロータを配置し、隣合う回転軸上のロータを互いに噛み
合わせ、互いに噛み合った状態の複数のロータを１組と
して収容する複数のポンプ室を前記回転軸の軸線方向へ
配列した多段真空ポンプであり、前記複数のポンプ室の
容積は、前記回転軸の軸線方向に沿って前記隔壁に近づ
く順に小さくなってゆき、前記ガスは、前記容積が小さ
くなってゆく順に前記複数のポンプ室を経由して移送さ
れ、前記油存在領域に隣接するポンプ室は最小容積のポ
ンプ室であり、前記冷却孔は、前記油存在領域に隣接す
る最小容積の前記ポンプ室に対応する前記回転軸の部位
に達しているようにした。

【００１０】最小容積のポンプ室は最も温度の高くなる
箇所である。少なくとも油存在領域に隣接する最小容積
のポンプ室に収容されたガス移送体の冷却が冷却孔を介
して行える。

【００１１】請求項５の発明では、請求項４において、
複数の前記回転軸は、歯車機構を用いて同期して回転さ
れ、前記油存在領域は、前記歯車機構を収容する領域と
し、前記油存在領域には前記歯車機構を潤滑するための
油が貯留されているようにした。

【００１２】回転軸及びガス移送体は、歯車機構を潤滑
するための油を冷却孔に対して出入りさせることによっ
て効率よく冷却される。請求項６の発明では、請求項１
乃至請求項５のいずれか１項において、前記放熱空間を
内包する放熱ハウジングの表面には冷却器が設置されて
おり、前記冷却器は前記放熱ハウジングの表面を冷却す
るようにした。

【００１３】放熱ハウジングの冷却は、冷却孔内を間接
的に冷却する。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明をルーツポンプに具
体化した第１の実施の形態を図１〜図５に基づいて説明
する。

【００１５】図１に示すように、多段ルーツポンプ１１
のロータハウジング１２の前端にはフロントハウジング
１３が接合されており、フロントハウジング１３には封
鎖体３６が接合されている。ロータハウジング１２の後
端にはリヤハウジング１４が接合されている。ロータハ
ウジング１２は、シリンダブロック１５と複数の室形成
壁１６とからなる。図２（ｂ）に示すように、シリンダ
ブロック１５は、一対のブロック片１７，１８からな
り、室形成壁１６は一対の壁片１６１，１６２からな
る。図１に示すように、フロントハウジング１３と室形
成壁１６との間の空間、隣合う室形成壁１６の間の空
間、及びリヤハウジング１４と室形成壁１６との間の空
間は、それぞれポンプ室３９，４０，４１，４２，４３
となっている。

【００１６】フロントハウジング１３とリヤハウジング
１４とには一対の回転軸１９，２０がラジアルベアリン
グ２１，３７，２２，３８を介して回転可能に支持され
ている。両回転軸１９，２０は互いに平行に配置されて
いる。回転軸１９，２０は室形成壁１６に通されてい
る。

【００１７】回転軸１９には複数のロータ２３，２４，
２５，２６，２７が一体形成されており、回転軸２０に
は同数のロータ２８，２９，３０，３１，３２が一体形
成されている。ロータ２３〜３２は、回転軸１９，２０
の軸線１９１，２０１の方向に見て同形同大の形状をし
ている。ロータ２３，２４，２５，２６，２７の厚みは
この順に小さくなってゆくようにしてあり、ロータ２
８，２９，３０，３１，３２の厚みはこの順に小さくな
ってゆくようにしてある。ロータ２３，２８は互いに噛
合した状態でポンプ室３９に収容されており、ロータ２
４，２９は互いに噛合した状態でポンプ室４０に収容さ
れている。ロータ２５，３０は互いに噛合した状態でポ
ンプ室４１に収容されており、ロータ２６，３１は互い
に噛合した状態でポンプ室４２に収容されている。ロー
タ２７，３２は互いに噛合した状態でポンプ室４３に収
容されている。

【００１８】リヤハウジング１４にはギヤハウジング３
３が組み付けられている。回転軸１９，２０は、リヤハ
ウジング１４を貫通してギヤハウジング３３内に突出し
ており、各回転軸１９，２０の突出端部には歯車３４，
３５が互いに噛合した状態で止着されている。ギヤハウ
ジング３３には電動モータＭが組み付けられている。回
転軸１９は、電動モータＭによって図２（ａ），
（ｂ），（ｃ）の矢印Ｒ１の方向に回転される。回転軸
２０は、歯車３４，３５を介して電動モータＭから駆動
力を得ており、回転軸２０は図２（ａ），（ｂ），
（ｃ）の矢印Ｒ２で示すように回転軸１９とは逆方向に
回転する。即ち、回転軸１９，２０は、歯車３４，３５
を用いて同期して回転される。

【００１９】図１に示すように、電動モータＭの出力軸
４４と回転軸１９とは直列関係にあり、出力軸４４と回
転軸１９との間には軸継ぎ手４５が介在されている。軸
継ぎ手４５は、電動モータＭの出力軸４４に止着された
筒形状の回転伝達体４６と、回転軸１９に止着された筒
形状の回転受承体４８と、回転伝達体４６と回転受承体
４８との間に介在されたリング形状の緩衝体４７とから
なる。

【００２０】図４に示すように、回転伝達体４６には複
数の係合突起４６１（本実施の形態では３つ）が形成さ
れている。係合突起４６１は、筒形状の回転伝達体４６
の軸線の周りに１２０°の角度間隔で配列されている。
回転受承体４８には複数の係合突起４８１（本実施の形
態では３つ）が形成されている。係合突起４８１は、回
転受承体４８の軸線の周りに１２０°の角度間隔で配列
されている。リング形状の緩衝体４７の外周面には複数
の緩衝突起４７１（本実施の形態では６つ）が形成され
ている。緩衝突起４７１は、緩衝体４７の軸線の周りに
６０°の角度間隔で配列されている。

【００２１】緩衝突起４７１は、回転伝達体４６側の係
合突起４６１と回転受承体４８側の係合突起４８１との
間にある。各係合突起４６１，４８１は、隣合う緩衝突
起４７１の間に嵌めこまれている。出力軸４４、回転軸
１９，２０、回転伝達体４６及び回転受承体４８は金属
製であり、緩衝体４７は合成樹脂製である。出力軸４４
の回転は、回転伝達体４６、緩衝体４７及び回転受承体
４８を介して回転軸１９に伝達される。合成樹脂製の緩
衝体４７は、電動モータＭの出力軸４４の回転を回転伝
達体４６から回転受承体４８へ緩衝しながら伝える。回
転軸１９は、回転駆動手段である電動モータＭの出力軸
４４から軸継ぎ手４５を介して駆動力を得ている。回転
軸２０は、電動モータＭの出力軸４４から軸継ぎ手４
５、回転軸１９及び歯車３４，３５からなる歯車機構を
介して駆動力を得る。

【００２２】図３に示すように、回転受承体４８には複
数の通路溝４８２が形成されている。通路溝４８２は、
回転受承体４８の筒内とギヤ収容室３３１とを連通す
る。歯車３４，３５からなる歯車機構を収容するギヤ収
容室３３１内には潤滑油Ｙが貯留されている。潤滑油Ｙ
は、歯車３４と一体的に回転する油かき上げ体４９の回
転動作によってかき上げられる。潤滑油Ｙは、歯車３
４，３５、ラジアルベアリング３７，３８を潤滑する。
又、潤滑油Ｙは、ラジアルベアリング３７，３８とロー
タ２７，３２との間にあるリップシール５６，５７を潤
滑する。リップシール５６，５７は、潤滑油Ｙが回転軸
１９，２０の周面に沿ってポンプ室４３側へ侵入するこ
とを防止する。

【００２３】図１及び図２（ｂ）に示すように、室形成
壁１６内には通路１６３が形成されている。図２（ｂ）
に示すように、室形成壁１６には通路１６３の入口１６
４及び出口１６５が形成されている。隣合うポンプ室３
９，４０，４１，４２，４３は、通路１６３を介して連
通している。

【００２４】図２（ａ）に示すように、ブロック片１８
には導入口１８１がポンプ室３９に連通するように形成
されている。図２（ｃ）に示すように、ブロック片１７
には排出口１７１がポンプ室４３に連通するように形成
されている。導入口１８１からポンプ室３９に導入され
たガスは、ロータ２３，２８の回転によって室形成壁１
６の入口１６４から通路１６３を経由して出口１６５か
ら隣のポンプ室４０へ移送される。以下、同様にガス
は、ポンプ室の容積が小さくなる順、即ちポンプ室４
０，４１，４２，４３の順に移送される。ポンプ室４３
へ移送されたガスは、排出口１７１から外部へ排出され
る。ロータ２３〜３２は、ガスを移送するガス移送体で
ある。

【００２５】図１及び図３に示すように、回転軸１９，
２０には冷却孔５０，５１が形成されている。冷却孔５
０，５１は、油存在領域であるギヤ収容室３３１に突出
する回転軸１９，２０の突出端部１９２，２０２の端面
から回転軸１９，２０の軸線１９１，２０１に沿ってポ
ンプ室４３に対応する回転軸１９，２０の部位に達して
いる。冷却孔５０，５１の開口５０１，５１１は、回転
軸１９，２０の突出端部１９２，２０２の端面にある。
冷却孔５１は、ギヤ収容室３３１に連通しており、冷却
孔５０は、通路溝４８２を介してギヤ収容室３３１に連
通している。

【００２６】図３に示すように、ギヤハウジング３３の
上面及び下面には冷却器５２，５３が設置されている。
冷却器５２，５３には供給管５２１，５３１及び排出管
５２２，５３２が接続されている。供給管５２１，５３
１は、図示しない冷却液供給源から冷却液を冷却器５
２，５３へ送り、排出管５２２，５３２は、冷却器５
２，５３を通過した冷却液を前記冷却液供給源へ還流す
る。冷却器５２，５３内を通過する冷却液は、ギヤハウ
ジング３３を冷却する。

【００２７】図２（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すよう
に、ロータハウジング１２の上面及び下面には冷却器５
４，５５が設置されている。冷却器５４，５５には供給
管５４１，５５１及び排出管５４２，５５２が接続され
ている。供給管５４１，５５１は、前記冷却液供給源か
ら冷却液を冷却器５４，５５へ送り、排出管５４２，５
５２は、冷却器５４，５５を通過した冷却液を前記冷却
液供給源へ還流する。冷却器５４，５５内を通過する冷
却液は、ロータハウジング１２を冷却する。

【００２８】第１の実施の形態では以下の効果が得られ
る。 （１-1）ギヤ収容室３３１内の雰囲気となる流体は、冷
却孔５１に対して出入りする。又、前記雰囲気の流体
は、通路溝４８２を介して冷却孔５０に対して出入りす
る。冷却孔５０，５１に対して出入りする前記雰囲気の
流体が冷却孔５０，５１の形成壁面を冷却する。従っ
て、回転軸１９，２０が内部から冷却され、ロータ２３
〜３２は根元から冷却される。

【００２９】図５の曲線Ｅは、冷却孔５０，５１が有る
場合の回転軸１９，２０の軸線１９１，２０１の方向に
沿った位置変化に対する回転軸１９，２０の温度分布を
表す。横軸は、回転軸１９，２０の開口５０１，５１１
から軸線１９１，２０１の方向への距離を表す。縦軸は
温度を表す。曲線Ｄは、冷却孔５０，５１が無い従来の
場合の回転軸１９，２０の軸線１９１，２０１の方向に
沿った位置変化に対する回転軸１９，２０の温度分布を
表す。曲線Ｈは、回転軸１９，２０の軸線１９１，２０
１の方向に沿った位置変化に対するロータハウジング１
２の上面及び下面の温度分布の一例を表す。冷却孔５
０，５１がある場合には、回転軸１９，２０の軸線１９
１，２０１の方向の任意の位置における回転軸１９，２
０とロータハウジング１２との温度差を少なくすること
ができ、かつ前記温度差の変化を少なくすることができ
る。即ち、ロータハウジング１２の冷却を行なう場合に
回転軸１９，２０及びロータ２３〜３２の冷却を組み合
わせれば、回転軸１９，２０及びロータ２３〜３２の熱
膨張と、ロータハウジング１２の熱膨張とのアンバラン
スを抑制することができる。その結果、ロータハウジン
グ１２とロータ２３〜３２との間のクリアランス変化が
少なくなり、ロータハウジング１２とロータ２３〜３２
との間の所望のクリアランスの設定の容易性が向上す
る。

【００３０】（１-2）冷却器５２，５３は、放熱ハウジ
ングとなるギヤハウジング３３を冷却し、放熱空間とな
るギヤ収容室３３１内の雰囲気となる流体が冷却器５
２，５３の冷却作用によって冷却される。即ち、冷却器
５２，５３は、冷却孔５０，５１内を間接的に冷却す
る。冷却器５２，５３は、回転軸１９，２０及びロータ
２３〜３２を効率よく冷却する上で有効である。

【００３１】（１-3）歯車機構を構成する歯車３４，３
５、ラジアルベアリング３７，３８及びリップシール５
６，５７を潤滑する潤滑油Ｙは、油かき上げ体４９によ
ってかき上げられており、放熱空間となるギヤ収容室３
３１内は油雰囲気となっている。潤滑油Ｙは冷媒として
優れている。回転軸１９，２０及びロータ２３〜３２
は、冷媒として優れた潤滑油Ｙを冷却孔５０，５１に対
して出入りさせることによって効率よく冷却される。

【００３２】（１-4）ポンプ室４３は、隔壁となるリヤ
ハウジング１４を介してギヤ収容室３３１に隣接する最
小容積のポンプ室である。最小容積のポンプ室４３は最
も温度の高くなる箇所である。ポンプ室４３に収容され
たロータ２７，３２と、冷却されるロータハウジング１
２との間の温度差は、最も大きくなり、ロータ２７，３
２とロータハウジング１２との間は、前記クリアランス
の変化が最も生じやすい箇所である。従って、ポンプ室
４３に収容されたロータ２７，３２は、最も冷却を要す
る箇所である。冷却孔５０，５１は、ポンプ室４３に対
応する回転軸１９，２０の部位に達しており、最小容積
のポンプ室４３に収容されたロータ２７，３２の冷却が
冷却孔５０，５１を介して効率よく行える。

【００３３】次に、図６の第２の実施の形態を説明す
る。第１の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が付し
てある。回転軸１９，２０の軸線１９１，２０１上には
大径孔５８１，５９１及び小径孔５８２，５９２からな
る冷却孔５８，５９が形成されている。大径孔５８１，
５９１は、ポンプ室４３に対応する回転軸１９，２０の
部位に達しており、小径孔５８２，５９２は、ポンプ室
４２に対応する回転軸１９，２０の部位に達している。
大径孔５８１，５９１の表面積は小径孔５８２，５９２
の表面積よりも大きいため、大径孔５８１，５９１の冷
却作用は小径孔５８２，５９２の冷却作用よりも強い。
このように冷却作用に違いを持たせた構成は、回転軸１
９，２０の軸方向における温度分布のきめ細かな制御を
可能にする。回転軸１９，２０の軸方向における温度分
布のきめ細かな制御は、回転軸１９，２０の軸線１９
１，２０１の方向の任意の位置における回転軸１９，２
０とロータハウジング１２との温度差及びこの温度差の
変化を少なくすることを可能にする。

【００３４】次に、図７の第３の実施の形態を説明す
る。第１の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が付し
てある。ラジアルベアリング３７，３８とリップシール
５６，５７との間の回転軸１９，２０の部位には通路１
９３，２０３が形成されている。通路１９３は、ラジア
ルベアリング３７とリップシール５６との間の空間と冷
却孔５０とを連通している。通路２０３は、ラジアルベ
アリング３８とリップシール５７との間の空間と冷却孔
５１とを連通している。通路１９３内の雰囲気の流体
は、回転軸１９の回転による遠心力によって回転軸１９
外へ放出され、通路２０３内の雰囲気の流体は、回転軸
２０の回転による遠心力によって回転軸２０外へ放出さ
れる。従って、冷却孔５０，５１内の雰囲気の流体が速
やかに入れ替わり、冷却孔５０，５１における冷却効率
が第１の実施の形態の場合よりも向上する。又、潤滑油
Ｙがリップシール５６，５７へ効率よく供給され、リッ
プシール５６，５７が十分に潤滑される。

【００３５】次に、図８の第４の実施の形態を説明す
る。第３の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が付し
てある。冷却孔５０，５１の内周面には螺旋溝５０２，
５１２が形成されている。螺旋溝５０２の螺旋の向き
は、回転軸１９の回転方向Ｒ１へ辿るにつれて冷却孔５
０の底部側から開口５０１側へ移行する向きである。螺
旋溝５１２の螺旋の向きは、回転軸２０の回転方向Ｒ２
へ辿るにつれて冷却孔５１の底部側から開口５１１側へ
移行する向きである。螺旋溝５０２，５１２は、ギヤ収
容室３３１内の雰囲気の流体を開口５０１，５１１から
冷却孔５０，５１内へ送り込む作用をもたらす。従っ
て、冷却孔５０，５１内の雰囲気の流体が速やかに入れ
替わり、冷却孔５０，５１における冷却効率が第３の実
施の形態の場合よりも向上する。

【００３６】次に、図９の第５の実施の形態を説明す
る。第１の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が付し
てある。冷却孔６０，６１は回転軸１９，２０を貫通し
ている。冷却孔６０に螺着された押さえねじ６２，６３
は、抜け止め体６４，６５を回転軸１９，２０の端面に
押接する。抜け止め体６４，６５は、回転軸１９，２０
からのラジアルベアリング２１，２２の抜けを防止す
る。押さえねじ６２，６３の頭部とフロントハウジング
１３との間にはシールリング６６，６７が介在されてい
る。シールリング６６，６７は、冷却孔６０，６１から
ラジアルベアリング２１，２２側への油洩れを防止す
る。ラジアルベアリング２１，２２は、封入されたグリ
ースによって潤滑されている。

【００３７】冷却孔６０，６１は、全てのポンプ室３９
〜４３内のロータ２３〜３２の冷却の制御に有効であ
る。本発明では以下のような実施の形態も可能である。 （１）回転軸１９，２０内の冷却孔を油の存在しない空
間に連通し、この空間から熱を放散させること。 （２）第５の実施の形態において、リヤハウジング１４
側からフロントハウジング１３側へ向かうにつれて冷却
孔６０，６１の径を段階的に小さくしてゆくこと。 （３）ルーツポンプ以外の真空ポンプに本発明を適用す
ること。

【００３８】

【発明の効果】以上詳述したように本発明では、熱を放
散するための放熱空間に隔壁を介して回転軸を突出さ
せ、前記放熱空間に突出する前記回転軸の突出端部に開
口を有するように前記回転軸内に冷却孔を設けたので、
ガス移送体を収容するハウジングとガス移送体との間の
所望のクリアランスの設定の容易性を向上し得るという
優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施の形態を示す多段ルーツポンプ１１
全体の平断面図。

【図２】（ａ）は図１のＡ−Ａ線断面図。（ｂ）は図１
のＢ−Ｂ線断面図。（ｃ）は図１のＣ−Ｃ線断面図。

【図３】図１のＤ−Ｄ線断面図。

【図４】要部分解斜視図。

【図５】温度分布を表すグラフ。

【図６】第２の実施の形態を示す要部平断面図。

【図７】第３の実施の形態を示す要部平断面図。

【図８】第４の実施の形態を示す要部平断面図。

【図９】第５の実施の形態を示す平断面図。

【符号の説明】

１１…真空ポンプである多段ルーツポンプ。１４…隔壁
となるリヤハウジング。１９，２０…回転軸。２３，２
４，２５，２６，２７，２８，２９，３０，３１，３２
…ガス移送体となるロータ。３３…放熱ハウジングとな
るギヤハウジング。３３１…油存在領域となるギヤ収容
室。３４，３５…歯車機構を構成する歯車。３７，３８
…軸受けであるラジアルベアリング。３９〜４３…ポン
プ室。５０，５１…冷却孔。５０１，５１１…開口。５
２，５３…冷却器。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3H003 AA05 AB06 AC01 BD09 BE07 CA01 CA02 CD01 3H029 AA06 AA09 AA16 AA21 AB06 BB01 BB12 CC08 CC09 CC16 CC17 CC48

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】回転軸の回転に基づいてガス移送体を動か
   し、前記ガス移送体の動作によってガスを移送して吸引
   作用をもたらす真空ポンプにおいて、 熱を放散するための放熱空間に隔壁を介して前記回転軸
   を突出させ、前記放熱空間に突出する前記回転軸の突出
   端部に開口を有するように前記回転軸内に冷却孔を設け
   た真空ポンプにおける冷却構造。
2. 【請求項２】前記放熱空間は油存在領域である請求項１
   に記載の真空ポンプにおける冷却構造。
3. 【請求項３】前記油存在領域は、前記回転軸を回転可能
   に支持するための軸受けを収容する領域である請求項２
   に記載の真空ポンプにおける冷却構造。
4. 【請求項４】前記真空ポンプは、複数の前記回転軸を平
   行に配置すると共に、前記各回転軸上にロータを配置
   し、隣合う回転軸上のロータを互いに噛み合わせ、互い
   に噛み合った状態の複数のロータを１組として収容する
   複数のポンプ室を前記回転軸の軸線方向へ配列した多段
   真空ポンプであり、前記複数のポンプ室の容積は、前記
   回転軸の軸線方向に沿って前記隔壁に近づく順に小さく
   なってゆき、前記ガスは、前記容積が小さくなってゆく
   順に前記複数のポンプ室を経由して移送され、前記油存
   在領域に隣接するポンプ室は最小容積のポンプ室であ
   り、前記冷却孔は、前記油存在領域に隣接する最小容積
   の前記ポンプ室に対応する前記回転軸の部位に達してい
   る請求項２及び請求項３のいずれか１項に記載の真空ポ
   ンプにおける冷却構造。
5. 【請求項５】複数の前記回転軸は、歯車機構を用いて同
   期して回転され、前記油存在領域は、前記歯車機構を収
   容する領域とし、前記油存在領域には前記歯車機構を潤
   滑するための油が貯留されている請求項４に記載の真空
   ポンプにおける冷却構造。
6. 【請求項６】前記放熱空間を内包する放熱ハウジングの
   表面には冷却器が設置されており、前記冷却器は前記放
   熱ハウジングの表面を冷却する請求項１乃至請求項５の
   いずれか１項に記載の真空ポンプにおける冷却構造。