JP2001328234A - スクリーンマスク、基板の製造方法、基板、フラットパネルディスプレイ及びフラットパネルディスプレイ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 繰り返し使用をしていくに連れてスクリーン
マスク上のアライメントマークと基板上のアライメント
マークとのずれが使用限界を越えた場合、スクリーンマ
スクは使用不可になる。 【解決手段】 基板４の表面上に第１及び第２基板側ア
ライメントマーク１，５を設け、スクリーンマスクの表
面上にスクリーンマスク側アライメントマーク２，６を
設ける。初期段階では、両アライメントマーク１，２の
中心が一致し、アライメントマーク６の中心がアライメ
ントマーク５の中心に対してオフセットとなる様に、各
アライメントマーク１，２，５，６を予め配置する。両
アライメントマーク１，２を用いたアライメント動作が
不可能となったときには、両アライメントマーク５，６
を用いて位置合わせを行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、スクリーン印刷
方法を用いて被印刷パターン部を基板上に設ける基板製
造方法に関するものであり、特にスクリーン印刷方法に
用いるスクリーンマスクないしはスクリーン版の構造に
関係している。尚、本発明の対象となる基板の具体例と
しては、これに限定されるものではないが、プラズマデ
ィスプレイパネル（以下、ＰＤＰという）用基板があ
り、そのときの被印刷パターン部としては、例えば、電
極・誘電体層・蛍光体層・バリアリブ・ブラックストラ
イプ・保護膜等がある。又、基板の他の例としては、フ
ィールドエミッションディスプレイパネル（ＦＥＤ）用
基板があり、本発明は、広くフラットパネルディスプレ
イ（ＦＰＤ）用基板の製造技術に適用可能である。勿
論、その他の基板の製造にも本発明を適用できる。

【０００２】

【従来の技術】図４は、従来のスクリーン印刷方法にお
ける基板とスクリーンマスクとの間のアライメントの方
法を概略的に示す平面図である。図４において、１は基
板４の表面上に設けられた位置合わせ用の基板側アライ
メントマークを示し、２はスクリーンマスク（図示せ
ず）の表面上に設けられたスクリーンマスク側アライメ
ントマークを示す。基板側アライメントマーク１とそれ
に対応するスクリーンマスク側アライメントマーク２と
は、それぞれ、アライメントの初期段階に各々の中心部
が互いに一致する様な基板４上及びスクリーンマスク上
の初期位置に予め設けられている。多くのスクリーン印
刷装置では、ある製造ロットの印刷開始時に、図４に該
当するアライメントマーク２を有するスクリーンマスク
を所定の位置に配置し、スクリーン印刷装置が有する撮
像装置（ＣＣＤカメラ等）の視野内に入ったスクリーン
マスク側アライメントマーク２の像の中心位置の座標デ
ータを画像処理を通じて記憶装置内に記憶しておき、記
憶したスクリーンマスク側アライメントマーク２の中心
位置に基板例アライメントマーク１の中心位置を合わせ
た上で、スクリーン印刷を行い、同一ロット内の以降の
スクリーン印刷の実行においては、次の基板の基板側ア
ライメントマーク１の位置座標データを記憶しているス
クリーンマスク側アライメントマーク２の位置座標デー
タに合わせるのみでスクリーン印刷を行っている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来のスクリーン印刷
装置は以上の様に構成されているため、次の様な問題点
が顕出している。

【０００４】（１）その第１は、スクリーンマスクを繰
り返し使用していると、スクリーンマスク上のスクリー
ンマスク側アライメントマーク２（図４）が使用困難に
なり得る場合があるという点にある。即ち、スクリーン
印刷の繰り返しによって、スクリーンマスク上のペース
トが当該アライメントマーク２に入り込んで当該アライ
メントマーク２が目付まりしてしまうと、ある製造ロッ
トの印刷開始時に撮像装置の視野内に目付まりしたアラ
イメントマークが入っても、その位置を映し出すことが
できず、画像処理が行えなくなるという問題点が生ず
る。加えて、スクリーンマスク２上の中央部分には被印
刷パターン部に対応したマスクパターンが形成されてい
るため、勢いスクリーンマスク側アライメントマーク２
はスクリーンマスク上の四隅近傍に配置されることにな
る（図４参照）。ところが、スクリーンマスクのコーナ
ー部近傍ないしは端部には中央部よりも比較的大きな張
力が印加されているため、端部付近に設けられたスクリ
ーンマスク側アライメントマーク２の形状が繰り返し使
用により変形しやすいという問題点がある。もし、その
様な変形が生ずると、ある製造ロットの印刷開始時に、
印刷装置の撮像装置の視野内からスクリーンマスク側ア
ライメントマーク２の像がはみ出してしまって画像処理
ができなくなったり、あるいは、印刷装置側がそもそも
画像処理できない形状にまで変形してしまう場合も生じ
て、アライメントが実行困難となってしまう。

【０００５】（２）第２の問題点は、スクリーンマスク
の伸縮が原因となってアライメントが行えなくなるとい
う点である。即ち、上記スクリーンマスクは、アルミニ
ウム等の枠材にステンレスや合成樹脂等の紗を張付けた
ものに乳剤を塗布した上で、当該乳剤に被印刷パターン
部の形状に応じた開口部パターンが形成されて成るもの
である。このため、特にＰＤＰ用基板の様に基板が大型
化してくると（例えば４０インチＰＤＰ）、スクリーン
マスクもそれに応じて大型化して、その面積が増大し、
スクリーンマスクに枠材から加わる張力も増大せざるを
得なくなる。このため、スクリーンマスクを繰り返し使
用をしていくに連れて、張力の変化によりスクリーンマ
スクに伸縮（変形）が発生する。加えて、ある製造ロッ
トが終了すると、使用後のスクリーンマスクは次のロッ
トまでの間は所定の保管場所に保管される。ところが、
スクリーン印刷の実行中、乳剤はペーストと接触して濡
れて湿った状態（ウエット状態）にあるため、このウエ
ット状態のままでスクリーンマスクが保管されるので、
保管中に乳剤が乾燥してしまう。このため、新たな製造
ロット開始時点では、乳剤から紗に加わる負荷ないしは
応力が先の製造ロット終了時点の状態とは異なった状態
にあることになり、この応力変化もまたスクリーンマス
クの伸縮原因の一つとなる。更に、スキージングの際に
スキージでスクリーンマスクをこすることになるため、
これにより、ステンレス等の紗が主として伸びる様に変
形してしまう（スキージングの向きによっては縮む変形
も生じ得る）。この変形もまた、スクリーンマスクの伸
縮の原因となり得る。この様なスクリーンマスクの伸縮
は例えば２０インチ基板用のスクリーンマスクについて
も問題点となり得るが、特に大型基板用のスクリーンマ
スクについて深刻な問題点となって顕出する。

【０００６】この様な伸縮が生ずると、スクリーンマス
ク上に形成されているアライメントマーク２の中心位置
もまた変動するので、ある製造ロットの印刷開始時にお
いて、基板上に設けられたアライメントマーク１の中心
位置とスクリーンマスク側アライメントマーク２の中心
位置とが一致しなくなってくる。そして、両アライメン
トマーク１，２の位置ずれ（撮像装置で映し出された一
方のマークの像に対する他方のマークの像の相対的な位
置ずれ）がスクリーン印刷装置での使用限界を越えた場
合、即ち、撮像装置の視野内で両アライメントマークの
位置ずれを画像処理によって算出してその位置ずれを最
小範囲に抑えることができる範囲を越えた場合には、そ
のスクリーンマスクは最早使用不可能と判定されて廃棄
処分となり、在庫の新しいスクリーンマスクと取り代え
る必要が生じると共に、廃棄した枚数分だけ新規にスク
リーンマスクを作成しなければならないという問題点が
生ずる。

【０００７】この様な問題点（１）及び（２）はＰＤＰ
基板用スクリーンマスクについてのみ生じ得るものでは
なく、スクリーン印刷法によって形成された被印刷パタ
ーン部を有する基板用スクリーンマスク一般について生
じるものである。

【０００８】本発明は以上のような問題点（１）及び
（２）を解決するためになされたものであり、スクリー
ンマスクをより多くの回数使用可能となる様にして、生
産性の向上、スクリーンマスク作成費用の削減及びスク
リーンマスクの管理費用の削減を図ることを目的とす
る。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
隣り合った第１及び第２基板側アライメントマークが設
けられた基板本体上方に設置されてスクリーン印刷を行
うために用いられるスクリーンマスクであって、前記第
１基板側アライメントマークに対応付けられるべき第１
スクリーンマスク側アライメントマークがその表面上に
設けられており、前記第１スクリーンマスク側アライメ
ントマークの隣側の表面上に、前記第２基板側アライメ
ントマークに対応付けられるべき第２スクリーンマスク
側アライメントマークが更に設けられていることを特徴
とする。

【００１０】請求項２に係る発明は、請求項１記載のス
クリーンマスクであって、前記第１スクリーンマスク側
アライメントマークの第１中心は、前記スクリーンマス
クと前記基板本体との位置合わせを初めて行う初期段階
では、前記第１スクリーンマスク側アライメントマーク
の前記第１中心が前記第１基板側アライメントマークの
第１中心と一致する様に、前記表面上の第１初期位置に
配設されており、他方、前記第２スクリーンマスク側ア
ライメントマークの第２中心は、前記初期段階では、前
記第２スクリーンマスク側アライメントマークの前記第
２中心が前記第２基板側アライメントマークの第２中心
に対してオフセットする様に、前記表面上の第２初期位
置に配設されていることを特徴とする。

【００１１】請求項３に係る発明は、隣り合った第１及
び第２基板側アライメントがその表面上に設けられた基
板本体を準備し、請求項１記載の前記スクリーンマスク
を前記基板本体の前記表面上方に所定の間隔を設けて配
置し、前記第１スクリーンマスク側アライメントマーク
が使用可能な場合には、前記第１スクリーンマスク側ア
ライメントマークと前記第１基板側アライメントマーク
とを用いて前記スクリーンマスクと前記基板本体との位
置合わせを行い、他方、前記第１スクリーンマスク側ア
ライメントマークが使用不可能な場合には、前記第２ス
クリーンマスク側アライメントマークと前記第２基板側
アライメントマークとを用いて前記スクリーンマスクと
前記基板本体との位置合わせを行い、前記スクリーンマ
スク上にペーストを設けて前記ペーストをスキージング
するスクリーン印刷方法を行うことによって、前記スク
リーンマスクの開口部のパターンに応じたパターン形状
を有する被印刷パターン部を前記基板本体の前記表面上
に形成することを特徴とする。

【００１２】請求項４に係る発明は、隣り合った第１及
び第２基板側アライメントがその表面上に設けられた基
板本体を準備し、請求項２記載の前記スクリーンマスク
を前記基板本体の前記表面上方に所定の間隔を設けて配
置し、前記第１スクリーンマスク側アライメントマーク
と前記第１基板側アライメントマークとの位置ずれがス
クリーン印刷装置での使用限界を越えたか否かを検出
し、前記使用限界を越えていない場合には、前記第１ス
クリーンマスク側アライメントマークと前記第１基板側
アライメントマークとを用いて前記スクリーンマスクと
前記基板本体との位置合わせを行い、前記使用限界を越
えている場合には、前記第２スクリーンマスク側アライ
メントマークと前記第２基板側アライメントマークとを
用いて前記スクリーンマスクと前記基板本体との位置合
わせを行い、位置合わせ後、前記スクリーンマスク上に
ペーストを設けて前記ペーストをスキージングするスク
リーン印刷方法を行うことによって、前記スクリーンマ
スクの開口部のパターンに応じたパターン形状を有する
被印刷パターン部を前記基板本体の前記表面上に形成す
ることを特徴とする。

【００１３】請求項５に係る発明は、請求項３又は４に
記載の前記基板の製造方法によって製造された前記被印
刷パターン部を前記基板本体の前記表面上に有すること
を特徴とする。

【００１４】請求項６に係る発明は、請求項５記載の基
板であって、前記基板はフラットパネルディスプレイ用
基板であることを特徴とする。

【００１５】請求項７に係る発明は、請求項６記載の前
記基板を有することを特徴とする。

【００１６】請求項８に係る発明は、請求項７記載の前
記フラットパネルディスプレイを有することを特徴とす
る。

【００１７】

【発明の実施の形態】本実施の形態に係わる基板製造方
法ないしはスクリーン印刷方法においては、基板本体上
およびスクリーンマスク上の位置合わせ用のアライメン
トマークを２組以上設けた点に特徴がある。これによ
り、基板本体上及びスクリーンマスク上の１組のアライ
メントマークの内でスクリーンマスク側アライメントマ
ークが使用不可能となっても、その隣の基板本体上及び
スクリーンマスク上の１組のアライメントマークを位置
合わせ用に用いることができ、スクリーンマスクを使用
不可能として廃棄してしまうことを回避して、スクリー
ンマスクの寿命を延ばすことができる。

【００１８】更に、本実施の形態の特徴点は、スクリー
ンマスク上の２組以上のアライメントマークの内で少な
くとも１組以上のものについて、それぞれの中心位置を
これに対応する基板上のアライメントマークの中心位置
に対してオフセットさせた点にある。この様に構成され
たスクリーンマスクおよび基板を使用したスクリーン印
刷においては、スクリーンマスクの伸縮がいまだ発生
していない使用開始時ないしは初期段階では、基板上と
スクリーンマスク上のアライメントマークの中心位置が
互いに一致しているアライメントマーク組を使用して位
置合わせを行ってスクリーン印刷を行い、その後も同様
の位置合わせと印刷とを行い、繰り返し使用等により
スクリーンマスクが伸縮した結果、ある製造ロットの印
刷開始時に、今まで使用していたアライメントマーク組
の位置ずれがスクリーン印刷装置の使用限界を越えて画
像処理ができなくなった場合には、今度は、あらかじめ
中心位置が互いにオフセットして設けられているアライ
メントマーク組を使用して位置合わせを行った上で印刷
を行うことが可能となり、スクリーンマスクの使用限界
を延長させることができる。

【００１９】ここで、本実施の形態では、基板本体と、
上記のスクリーンマスクを用いたスクリーン印刷によっ
て基板本体の表面上に形成された被印刷パターン部とか
ら成るものを、「基板」と称している。

【００２０】尚、スクリーン印刷装置の使用限界の範囲
は、使用しているスクリーン印刷装置に適用されている
ソフトウエアの条件（製造条件）に応じて定まる。例え
ば、スクリーン印刷装置が有する撮像装置の位置を基板
に対して固定したときには、スクリーンマスク側アライ
メントマークの像が相対的にずれていくことになり、撮
像装置の視野内からスクリーンマスク側アライメントマ
ークの像が一部でも欠けたときには、画像処理不可能と
なって、使用限界外と判定される条件のときもある。又
は、一部が欠けていても、ある範囲内ならば依然として
使用限界内と検出される条件もある。

【００２１】以下、本実施の形態のスクリーンマスク
と、同マスクを用いたスクリーン印刷法を用いる基板製
造方法とについて、図面に基づいて説明する。

【００２２】（実施の形態１）図１は、本実施の形態に
係る基板本体４とスクリーンマスクとを用いたスクリー
ン印刷方法において位置合わせ時に用いるアライメント
マークを示す平面図である。そして、図１は、基板本体
４の表面の上方に所定の間隔を設けて配置したスクリー
ンマスクを介して、被印刷パターン部３を基板本体４の
表面上に印刷形成した後の状態を示している。ここで、
スクリーンマスクと基板本体４との位置合わせを初めて
行う初期段階では、従って、スクリーンマスクが作成さ
れていまだ未使用の段階では、基板本体４の表面上に形
成されたアライメントマークと、スクリーンマスクの表
面上に形成されたアライメントマークとが次の様な相対
関係を満たす様に、各アライメントマークは形成されて
いる。即ち、基板本体４の表面上中、四隅付近（コーナ
ー部）のそれぞれの箇所には、例えば円形の第１基板側
アライメントマーク（従来のものに相当）１が形成され
ており（これらは第１基板側アライメントマーク群を構
成する）、各アライメントマーク１の内側隣の表面上位
置には、第２基板側アライメントマーク５が追加形成さ
れている（これらは、第２基板側アライメントマーク群
を構成する）。

【００２３】これに対して、図示しないスクリーンマス
クの表面上には、上記の初期段階では、その中心（第１
中心）がそれぞれに対応する第１基板側アライメントマ
ーク１の中心（第１中心）と一致し得る様に、例えば円
形の第１スクリーンマスク側アライメントマーク２が配
設されている。このアライメントマーク２の第１中心が
配設されているスクリーンマスクの表面上の位置を、こ
こでは「第１初期位置」と定義する。そして、スクリー
ンマスクの４つのコーナー部付近に形成された、これら
のアライメントマーク２は、第１スクリーンマスク側ア
ライメントマーク群を成している。更に、各第１スクリ
ーンマスク側アライメントマーク２の内側に隣接するス
クリーンマスク表面上の位置には、それぞれ、円形の第
２スクリーンマスク側アライメントマーク６が形成され
ており、各マーク６の中心位置に当たるスクリーンマス
ク表面上の位置を「第２初期位置」と定義すると共に、
これらのアライメントマーク６もまた第２スクリーンマ
スク側アライメントマーク群を成している。特に、各第
２スクリーンマスク側アライメントマーク６の中心（第
２中心）の第２初期位置は、上記の初期段階では、対応
する第２基板側アライメントマーク５の中心（第２中
心）位置に対してオフセットする様に設定されている。
ここでは、繰り返し使用によりスクリーンマスクが縮む
ものと考えて、これに対処すべく、第２スクリーンマス
ク側アライメントマーク６の第２中心の第２初期位置が
第２基板側アライメントマーク５の第２中心位置よりも
左側（外側）にオフセットしている。実際上は、このオ
フセット方向及びオフセット量は、経験的なデータに基
づいて予め設定可能である。例えば、経験的に、繰り返
し使用回数によってスクリーンマスクがある量だけ縮む
傾向にあることがわかっているならば、図２の様にオフ
セットの方向とその量とを設定すれば良いし、逆に経験
的に伸びる傾向とその量とが使用回数との関係でわかっ
ているならば、図２とは逆の方向に所定量のオフセット
を設定すれば良い。

【００２４】このように構成されたアライメントマーク
１，２，５，６を使用したスクリーン印刷方法を用いた
基板の製造方法について説明する。まず、図１の基板本
体４を準備し、次に図１に関して上記したスクリーンマ
スクを基板本体４の表面上方に所定の間隔を設けて配置
する。そして、第１スクリーンマスク側アライメントマ
ーク２と第１基板側アライメントマーク１との間の位置
ずれがスクリーン印刷装置の使用限界内にあるかを検出
する。もし、否の場合には、使用限界にあると判断され
る。これに対して、スクリーンマスクの変形ないしは伸
縮の少ない使用開始時には、第１スクリーンマスク側ア
ライメントマーク２と第１基板側アライメントマーク１
との間の位置ずれはスクリーン印刷装置の使用限界内に
あり、既述した画像処理を行うことが可能である。従っ
て、予め第１基板側アライメントマーク１の第１中心に
その第１中心を一致させている第１スクリーンマスク側
アライメントマーク２と上記アライメントマーク１とを
使用して、基板本体４と当該スクリーンマスクとの位置
合わせを行う。その後は、当該スクリーンマスク上にペ
ーストを設けてペーストをスキージでスキージングする
ことにより、スクリーン印刷を実施する。これにより、
スクリーンマスクの開口部パターンに応じたパターン形
状を有する被印刷パターン部３が、基板本体４の表面上
に形成される。以後、当該製造ロットが終了するまで
は、当該スクリーンマスクを用いて上記の両マーク１，
２を用いたアライメントを行った上で、順次に基板を製
造してゆく。

【００２５】その後、当該スクリーンマスクを用いた数
度の製造ロットが実行され、当該スクリーンマスクの繰
り返し使用等により、スクリーンマスクの伸縮ないしは
変形が生じることになる。そして、第１基板側アライメ
ントマーク１と第１スクリーンマスク側アライメントマ
ーク２との中心位置のずれが大きくなり、ある製造ロッ
トの印刷開始段階でアライメント動作が不可能と検出さ
れた場合、即ち、両アライメントマーク１，２自体の像
同士の相対的位置ずれがスクリーン印刷装置の使用限界
を越えて画像処理を実行できなくなった場合には、当初
より使用してきた両アライメントマーク１および７の組
を用いるのではなくて、図２に示す様に、予め伸縮を想
定して基板上のアライメントマークとスクリーンマスク
上のアライメントマークとの中心位置関係をオフセット
して設けておいた第２基板側アライメントマーク５及び
第２スクリーンマスク側アライメントマーク８から成る
組を使用して、同様に基板本体４とスクリーンマスクと
の位置合わせを行う。そして、既述した通りにスクリー
ン印刷を実施することで、基板本体４の表面上に被印刷
パターン部３を所定位置に形成することができる。

【００２６】（変形例） （１）スクリーンマスクの繰り返し使用によって第１ス
クリーンマスク側アライメントマーク２の中心位置が伸
縮いずれの方向に変化するかというデータが経験的に得
られていないときには、図３に示す様に、第２スクリー
ンマスク側アライメントマーク６と第２基板側アライメ
ントマーク５との１組に加えて、更に、第３スクリーン
マスク側アライメントマーク６Ａと第３基板側アライメ
ントマーク５Ａとの組を予め設けておけば良い。この場
合には、第３スクリーンマスク側アライメントマーク６
Ａのスクリーンマスク上の第３初期位置は、第３基板側
アライメントマーク５Ａの中心位置に対して右側（内
側）にオフセットしている。

【００２７】以上の通り、互いの中心位置が予めオフセ
ットし合った関係にあるスクリーンマスク側アライメン
トマークと基板側アライメントマークとの組の数は、少
なくとも１組であればよい。

【００２８】（２）各アライメントマーク１，２，５，
６の形状は円形である必要はなく、任意である。

【００２９】（３）図１に示した第２スクリーンマスク
側アライメントマーク６の第２中心の第２初期位置を、
オフセットさせないで、第２基板側アライメントマーク
５の第２中心位置と一致する様に、予め設定しても良
い。このときには、既述した問題点（１）が生じたとき
に、両アライメントマーク１，２に代えて、隣の両アラ
イメントマーク５，６よりなる１組を用いて位置合わせ
を行うことができ、今まで使用してきたスクリーンマス
クを以後も継続して使用できることになる。

【００３０】（付記）実施の形態１及び変形例で説明し
た基板製造方法によって製造された基板が例えばＦＰＤ
用基板の一方であるときには、それを用いてＦＰＤを構
成することができ、更にそのＦＰＤとその駆動装置等と
を筐体内に組み込むことで、カラービジョン等に代表さ
れるＦＰＤ装置を構成することができる。

【００３１】

【発明の効果】この発明は、以上説明したように構成さ
れているので、以下に示すような効果を奏する。

【００３２】請求項１，３，５，６，７，８に係る発明
によれば、第１スクリーンマスク側アライメントマーク
が使用不可能となった場合でも、これに代えて、第２ス
クリーンマスク側アライメントマークを位置合わせ用の
一方のアライメントマークに使用することができ、その
ままスクリーンマスクを続行して使用することが可能と
なり、基板製造時の生産性の向上化やコスト低減化を図
ることができる。

【００３３】請求項２，４，５，６，７，８に係る発明
によれば、スクリーンマスク上に予めオフセットした位
置に第２スクリーンマスク側アライメントマークを設け
ているので、スクリーンマスクが伸縮した場合でも、第
１スクリーンマスク側アライメントマークに代えて、第
２スクリーンマスク側アライメントマークと第２基板側
アライメントマークとの間で位置合わせを行うことがで
き、伸縮したスクリーンマスクであってもこれを継続し
て使用することができるようになる。その結果、本発明
により、スクリーンマスクの使用回数寿命を延ばすこと
ができ、基板製造時の生産性の向上、スクリーンマスク
作成費用の削減及び基板製造用器具たるスクリーンマス
クの管理費用の削減（在庫品の枚数を削減可等）という
改善効果を達成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 実施の形態１に係る基板側アライメントマー
クとスクリーンマスク側アライメントマークとを示す図
である（初期状態）。

【図２】 実施の形態１に係る基板側アライメントマー
クとスクリーンマスク側アライメントマークとを示す図
である（繰り返し使用後状態）。

【図３】 実施の形態１の変形例に係る基板側アライメ
ントマークとスクリーンマスク側アライメントマークと
を示す図である。

【図４】 従来方式のアライメントマーク構成を示す図
である。

【符号の説明】

１ 従来方式の基板側アライメントマーク（第１基板側
アライメントマーク）、２ 従来方式のスクリーンマス
ク側アライメントマーク（第１スクリーンマスク側アラ
イメントマーク）、３ 被印刷パターン部、４ 基板、
５ 追加された基板側アライメントマーク（第２基板側
アライメントマーク）、６ 追加されたスクリーンマス
ク側アライメントマーク（第２スクリーンマスク側アラ
イメントマーク）、７ 繰り返し使用後の従来方式の基
板上のアライメントマーク、８繰り返し使用後の追加さ
れたスクリーンマスク側アライメントマーク。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｊ 9/227 Ｈ０１Ｊ 9/227 Ｄ ５Ｅ３１９ 11/02 11/02 Ｂ Ｈ０５Ｋ 3/34 ５０５ Ｈ０５Ｋ 3/34 ５０５Ｄ Ｆターム(参考） 2C035 AA06 FB42 FD01 2H114 AB05 AB06 AB15 5C027 AA01 AA05 AA09 5C028 HH09 JJ07 5C040 GC19 GD09 GE09 GF19 GG09 JA12 MA25 5E319 CD29 GG15

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 隣り合った第１及び第２基板側アライメ
   ントマークが設けられた基板本体上方に設置されてスク
   リーン印刷を行うために用いられるスクリーンマスクで
   あって、 前記第１基板側アライメントマークに対応付けられるべ
   き第１スクリーンマスク側アライメントマークがその表
   面上に設けられており、 前記第１スクリーンマスク側アライメントマークの隣側
   の表面上に、前記第２基板側アライメントマークに対応
   付けられるべき第２スクリーンマスク側アライメントマ
   ークが更に設けられていることを特徴とする、スクリー
   ンマスク。
2. 【請求項２】 請求項１記載のスクリーンマスクであっ
   て、 前記第１スクリーンマスク側アライメントマークの第１
   中心は、前記スクリーンマスクと前記基板本体との位置
   合わせを初めて行う初期段階では、前記第１スクリーン
   マスク側アライメントマークの前記第１中心が前記第１
   基板側アライメントマークの第１中心と一致する様に、
   前記表面上の第１初期位置に配設されており、 他方、前記第２スクリーンマスク側アライメントマーク
   の第２中心は、前記初期段階では、前記第２スクリーン
   マスク側アライメントマークの前記第２中心が前記第２
   基板側アライメントマークの第２中心に対してオフセッ
   トする様に、前記表面上の第２初期位置に配設されてい
   ることを特徴とする、スクリーンマスク。
3. 【請求項３】 隣り合った第１及び第２基板側アライメ
   ントがその表面上に設けられた基板本体を準備し、 請求項１記載の前記スクリーンマスクを前記基板本体の
   前記表面上方に所定の間隔を設けて配置し、 前記第１スクリーンマスク側アライメントマークが使用
   可能な場合には、前記第１スクリーンマスク側アライメ
   ントマークと前記第１基板側アライメントマークとを用
   いて前記スクリーンマスクと前記基板本体との位置合わ
   せを行い、 他方、前記第１スクリーンマスク側アライメントマーク
   が使用不可能な場合には、前記第２スクリーンマスク側
   アライメントマークと前記第２基板側アライメントマー
   クとを用いて前記スクリーンマスクと前記基板本体との
   位置合わせを行い、 前記スクリーンマスク上にペーストを設けて前記ペース
   トをスキージングするスクリーン印刷方法を行うことに
   よって、前記スクリーンマスクの開口部のパターンに応
   じたパターン形状を有する被印刷パターン部を前記基板
   本体の前記表面上に形成することを特徴とする、基板の
   製造方法。
4. 【請求項４】 隣り合った第１及び第２基板側アライメ
   ントがその表面上に設けられた基板本体を準備し、 請求項２記載の前記スクリーンマスクを前記基板本体の
   前記表面上方に所定の間隔を設けて配置し、 前記第１スクリーンマスク側アライメントマークと前記
   第１基板側アライメントマークとの位置ずれがスクリー
   ン印刷装置での使用限界を越えたか否かを検出し、 前記使用限界を越えていない場合には、前記第１スクリ
   ーンマスク側アライメントマークと前記第１基板側アラ
   イメントマークとを用いて前記スクリーンマスクと前記
   基板本体との位置合わせを行い、 前記使用限界を越えている場合には、前記第２スクリー
   ンマスク側アライメントマークと前記第２基板側アライ
   メントマークとを用いて前記スクリーンマスクと前記基
   板本体との位置合わせを行い、 位置合わせ後、前記スクリーンマスク上にペーストを設
   けて前記ペーストをスキージングするスクリーン印刷方
   法を行うことによって、前記スクリーンマスクの開口部
   のパターンに応じたパターン形状を有する被印刷パター
   ン部を前記基板本体の前記表面上に形成することを特徴
   とする、基板の製造方法。
5. 【請求項５】 請求項３又は４に記載の前記基板の製造
   方法によって製造された前記被印刷パターン部を前記基
   板本体の前記表面上に有することを特徴とする、基板。
6. 【請求項６】 請求項５記載の基板であって、 前記基板はフラットパネルディスプレイ用基板であるこ
   とを特徴とする、基板。
7. 【請求項７】 請求項６記載の前記基板を有することを
   特徴とする、フラットパネルディスプレイ。
8. 【請求項８】 請求項７記載の前記フラットパネルディ
   スプレイを有することを特徴とする、フラットパネルデ
   ィスプレイ装置。