JP2001328071A - 汚れ除去部材およびその部材を用いた汚れ除去方法 - Google Patents
汚れ除去部材およびその部材を用いた汚れ除去方法Info
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 239000002689 soil Substances 0.000 title abstract 9
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 claims abstract description 19
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 6
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 claims abstract description 4
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 11
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 9
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 4
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims description 3
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 abstract description 4
- 238000006748 scratching Methods 0.000 abstract 1
- 230000002393 scratching effect Effects 0.000 abstract 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910001570 bauxite Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002351 wastewater Substances 0.000 description 2
- OBMBUODDCOAJQP-UHFFFAOYSA-N 2-chloro-4-phenylquinoline Chemical compound C=12C=CC=CC2=NC(Cl)=CC=1C1=CC=CC=C1 OBMBUODDCOAJQP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101100219325 Phaseolus vulgaris BA13 gene Proteins 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N Trioxochromium Chemical compound O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 1
- 239000010426 asphalt Substances 0.000 description 1
- 229910000423 chromium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000000571 coke Substances 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010431 corundum Substances 0.000 description 1
- 239000003599 detergent Substances 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- -1 hydrogen compound Chemical class 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 231100000989 no adverse effect Toxicity 0.000 description 1
- 239000005304 optical glass Substances 0.000 description 1
- 229920001228 polyisocyanate Polymers 0.000 description 1
- 239000005056 polyisocyanate Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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- Cleaning In General (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 窓ガラスや車体等に発生した汚れを、窓ガラ
スや車体等に傷を付けることなく簡単に除去することが
できると共に、排水が出ることなく環境問題に悪影響を
与えることのない汚れ除去部材およびその部材を用いた
汚れ除去方法を提供する。 【解決手段】 この発明の車体等の汚れ除去部材は、ガ
ラス材に近い硬度をもつ砥粒とゴムを主成分とし、その
デュロ硬度が5〜50の物性値をもつ配合固化物からな
るものとしている。そして、この発明の車体等の汚れ除
去方法は、前記汚れ除去部材を使用して、窓ガラスや車
体等を研磨することにより、窓ガラスや車体等に堅固に
付着している汚れを除去するようにしている。
スや車体等に傷を付けることなく簡単に除去することが
できると共に、排水が出ることなく環境問題に悪影響を
与えることのない汚れ除去部材およびその部材を用いた
汚れ除去方法を提供する。 【解決手段】 この発明の車体等の汚れ除去部材は、ガ
ラス材に近い硬度をもつ砥粒とゴムを主成分とし、その
デュロ硬度が5〜50の物性値をもつ配合固化物からな
るものとしている。そして、この発明の車体等の汚れ除
去方法は、前記汚れ除去部材を使用して、窓ガラスや車
体等を研磨することにより、窓ガラスや車体等に堅固に
付着している汚れを除去するようにしている。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、ビルやショール
ームの窓ガラス、乗用車、路線バス、鉄道車両の窓ガラ
ス、さらにこれら乗用車、路線バス、鉄道車両の車体等
に堅固に付着した汚れを効果的に除去する部材、および
その部材を用いた汚れ除去方法に関するものである。
ームの窓ガラス、乗用車、路線バス、鉄道車両の窓ガラ
ス、さらにこれら乗用車、路線バス、鉄道車両の車体等
に堅固に付着した汚れを効果的に除去する部材、および
その部材を用いた汚れ除去方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、ビルやショールームの窓ガラス
は、特に道路際にある場合には、車の排気ガス中に含ま
れる微粒子やアスファル等の粉塵が堅固に付着して、ひ
どい汚れが発生していた。
は、特に道路際にある場合には、車の排気ガス中に含ま
れる微粒子やアスファル等の粉塵が堅固に付着して、ひ
どい汚れが発生していた。
【0003】また、乗用車、路線バス、鉄道車両の窓ガ
ラスや車体等には、シリコン系シーリング剤が流出し、
これが堅固に付着して汚れが発生したり、水洗いした後
に残った水滴に次々と含まれていった空中の汚染物質
や、水中に含まれている懸濁物質が自然乾燥により付着
して汚れが発生していた。
ラスや車体等には、シリコン系シーリング剤が流出し、
これが堅固に付着して汚れが発生したり、水洗いした後
に残った水滴に次々と含まれていった空中の汚染物質
や、水中に含まれている懸濁物質が自然乾燥により付着
して汚れが発生していた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記したよう
な窓ガラスや車体等に発生した汚れは、堅固に付着した
ものとなっているので、酸性洗剤またはアルカリ性洗剤
などを混ぜ合わせた洗浄水で洗ってもなかなか取れない
という課題を有していた。
な窓ガラスや車体等に発生した汚れは、堅固に付着した
ものとなっているので、酸性洗剤またはアルカリ性洗剤
などを混ぜ合わせた洗浄水で洗ってもなかなか取れない
という課題を有していた。
【0005】また、このような洗浄水で洗った後の排水
は、そのまま下水道に流しているので環境問題に悪影響
を与えるという課題を有していた。
は、そのまま下水道に流しているので環境問題に悪影響
を与えるという課題を有していた。
【0006】そこで、この発明は、上記従来の課題を解
決するためになされたものであり、窓ガラスや車体等に
発生した汚れを、窓ガラスや車体等に傷を付けることな
く簡単に除去することができると共に、排水が出ること
なく環境問題に悪影響を与えることのない汚れ除去部材
およびその部材を用いた汚れ除去方法を提供することを
目的としてなされたものである。
決するためになされたものであり、窓ガラスや車体等に
発生した汚れを、窓ガラスや車体等に傷を付けることな
く簡単に除去することができると共に、排水が出ること
なく環境問題に悪影響を与えることのない汚れ除去部材
およびその部材を用いた汚れ除去方法を提供することを
目的としてなされたものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】そのため、この発明の汚
れ除去部材は、ガラス材に近い硬度をもつ砥粒とゴムを
主成分とし、そのデュロ硬度が5〜50の物性値をもつ
配合固化物からなるものとしている。
れ除去部材は、ガラス材に近い硬度をもつ砥粒とゴムを
主成分とし、そのデュロ硬度が5〜50の物性値をもつ
配合固化物からなるものとしている。
【0008】そして、この発明の汚れ除去方法は、ガラ
ス材に近い硬度をもつ砥粒とゴムを主成分とし、そのデ
ュロ硬度が5〜50の物性値をもつ配合固化物からなる
汚れ除去部材を使用して、窓ガラスや車体等を研磨する
ことにより、窓ガラスや車体等に堅固に付着している汚
れを除去するようにしている。
ス材に近い硬度をもつ砥粒とゴムを主成分とし、そのデ
ュロ硬度が5〜50の物性値をもつ配合固化物からなる
汚れ除去部材を使用して、窓ガラスや車体等を研磨する
ことにより、窓ガラスや車体等に堅固に付着している汚
れを除去するようにしている。
【0009】さらに、この発明の汚れ除去部材において
は、前記砥粒の粒度を20〜100μmとし、前記ゴム
をNCO基末端プレポリマーと活性水素基含有化合物と
を主成分としてなるものとすることができる。
は、前記砥粒の粒度を20〜100μmとし、前記ゴム
をNCO基末端プレポリマーと活性水素基含有化合物と
を主成分としてなるものとすることができる。
【0010】また、この発明の汚れ除去方法において
は、前記汚れ除去部材を回転研磨工具に装着して使用す
ることができる。
は、前記汚れ除去部材を回転研磨工具に装着して使用す
ることができる。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、この発明の汚れ除去部材お
よびその部材を用いた汚れ除去方法について詳細に説明
する。
よびその部材を用いた汚れ除去方法について詳細に説明
する。
【0012】この発明の汚れ除去部材は、ガラス材に近
い硬度をもつ砥粒とゴムを主成分とし、そのデュロ硬度
が5〜50の物性値をもつ配合固化物からなるものとし
ている。
い硬度をもつ砥粒とゴムを主成分とし、そのデュロ硬度
が5〜50の物性値をもつ配合固化物からなるものとし
ている。
【0013】前記砥粒は、ボーキサイトを電気炉で溶融
したアルミナの結晶、ボーキサイトを化学処理して得た
アルミナ粉末を電気炉で溶融したアルミナ結晶、ボーキ
サイトに酸化クロムなどを加え電気炉で溶融したコラン
ダム結晶、光学ガラス用純度の高い珪石と灰分の少ない
コークスを主原料として電気炉で溶融したもの、天然研
磨材などとすることができ、その粒度を20〜100μ
mとしている。
したアルミナの結晶、ボーキサイトを化学処理して得た
アルミナ粉末を電気炉で溶融したアルミナ結晶、ボーキ
サイトに酸化クロムなどを加え電気炉で溶融したコラン
ダム結晶、光学ガラス用純度の高い珪石と灰分の少ない
コークスを主原料として電気炉で溶融したもの、天然研
磨材などとすることができ、その粒度を20〜100μ
mとしている。
【0014】前記ゴムは、NCO基末端プレポリマーと
活性水素基含有化合物とを主成分としてなるものとして
いる。なお、NCO基末端プレポリマーは、有機ポリイ
ソシアネートと官能基数2〜8の活性水素化合物を反応
させることにより得る。
活性水素基含有化合物とを主成分としてなるものとして
いる。なお、NCO基末端プレポリマーは、有機ポリイ
ソシアネートと官能基数2〜8の活性水素化合物を反応
させることにより得る。
【0015】以上のような構成としたこの発明の汚れ除
去部材を製造するには、前記砥粒とNCO基末端プレポ
リマーと活性水素基含有化合物とを分散混合したプレポ
リマー配合物を容器に準備し、所定形状とした汚れ除去
部材のキャビティーをもつ金属成形型に準備したプレポ
リマー配合物を注入した後、この金属成形型を所定時
間、所定温度に加温してプレポリマー配合物を固化させ
れば、例えば図1に示すような固化物としての汚れ除去
部材1を得ることができる。この場合、前記キャビティ
ー内に金属棒状の軸体の一端を挿入しておけば、例えば
図2〜7に示すような支軸2を具備した汚れ除去部材1
を得ることができる。さらに、この場合、前記キャビテ
ィー内に円周と平行方向、直交方向もしくは斜行方向に
多数の帯状突起を形成しておけば、例えば図8に示すよ
うな支軸2を具備すると共に、前記帯状突起に対応する
多数の溝3が形成された汚れ除去部材1を得ることがで
きる。
去部材を製造するには、前記砥粒とNCO基末端プレポ
リマーと活性水素基含有化合物とを分散混合したプレポ
リマー配合物を容器に準備し、所定形状とした汚れ除去
部材のキャビティーをもつ金属成形型に準備したプレポ
リマー配合物を注入した後、この金属成形型を所定時
間、所定温度に加温してプレポリマー配合物を固化させ
れば、例えば図1に示すような固化物としての汚れ除去
部材1を得ることができる。この場合、前記キャビティ
ー内に金属棒状の軸体の一端を挿入しておけば、例えば
図2〜7に示すような支軸2を具備した汚れ除去部材1
を得ることができる。さらに、この場合、前記キャビテ
ィー内に円周と平行方向、直交方向もしくは斜行方向に
多数の帯状突起を形成しておけば、例えば図8に示すよ
うな支軸2を具備すると共に、前記帯状突起に対応する
多数の溝3が形成された汚れ除去部材1を得ることがで
きる。
【0016】さらに、この発明の汚れ除去部材は、図9
に示すようなベルトサンダータイプの汚れ除去部材1と
したり、図10に示すような支軸2の支持面2aに粘着
剤や面接着テープ(図示せず)などにより接着自在とし
た汚れ除去部材1とすることもできる。
に示すようなベルトサンダータイプの汚れ除去部材1と
したり、図10に示すような支軸2の支持面2aに粘着
剤や面接着テープ(図示せず)などにより接着自在とし
た汚れ除去部材1とすることもできる。
【0017】そして、この発明の汚れ除去方法は、前記
汚れ除去部材1を用いて窓ガラスや車体等を研磨する。
この研磨は、硬質弾性砥石をそのまま手に持って使用し
てもよいが、汚れ除去部材1を回転研磨工具(図示せ
ず)に装着して使用することができる。そのまま手に持
って使用する場合には、図1に示したように、前記汚れ
除去部材1を直方体形状など手に持ち易い形状とするこ
とができ、回転研磨工具に装着して使用する場合には、
図2〜10に示したように、汚れ除去部材1を回転研磨
工具に装着し易く、しかも窓ガラスや車体等の被研磨面
との接触面積が広くなるような形状とするのが好まし
い。すなわち、図2〜10に示した汚れ除去部材1は、
窓ガラスや車体等との接触面積の広い研磨面4を有する
と共に、回転研磨工具に装着するための支軸2を具備し
たものとしている。なお、図8に示した汚れ除去部材1
は、図7に示した汚れ除去部材1の研磨面4に多数の溝
3を設けたものとしているが、図1〜6、図10に示し
た汚れ除去部材1の研磨面4にも同じような溝3を設け
たものとすることができる。この溝3は、研磨により除
去された汚れかすの逃げ道となったり、摩擦により熱く
なった汚れ除去部材1の放熱に役立つものとなる。
汚れ除去部材1を用いて窓ガラスや車体等を研磨する。
この研磨は、硬質弾性砥石をそのまま手に持って使用し
てもよいが、汚れ除去部材1を回転研磨工具(図示せ
ず)に装着して使用することができる。そのまま手に持
って使用する場合には、図1に示したように、前記汚れ
除去部材1を直方体形状など手に持ち易い形状とするこ
とができ、回転研磨工具に装着して使用する場合には、
図2〜10に示したように、汚れ除去部材1を回転研磨
工具に装着し易く、しかも窓ガラスや車体等の被研磨面
との接触面積が広くなるような形状とするのが好まし
い。すなわち、図2〜10に示した汚れ除去部材1は、
窓ガラスや車体等との接触面積の広い研磨面4を有する
と共に、回転研磨工具に装着するための支軸2を具備し
たものとしている。なお、図8に示した汚れ除去部材1
は、図7に示した汚れ除去部材1の研磨面4に多数の溝
3を設けたものとしているが、図1〜6、図10に示し
た汚れ除去部材1の研磨面4にも同じような溝3を設け
たものとすることができる。この溝3は、研磨により除
去された汚れかすの逃げ道となったり、摩擦により熱く
なった汚れ除去部材1の放熱に役立つものとなる。
【0018】
【発明の効果】この発明の汚れ除去部材は、以上に述べ
たように構成されているので、窓ガラスや車体等に発生
した汚れを除去するのに非常に好ましいものなり、この
汚れ除去部材を用いた汚れ除去方法は、窓ガラスや車体
等に発生した汚れを、窓ガラスや車体等に傷を付けるこ
となく簡単に除去することができると共に、排水が出る
ことなく環境問題に悪影響を与えることないものとなっ
た。
たように構成されているので、窓ガラスや車体等に発生
した汚れを除去するのに非常に好ましいものなり、この
汚れ除去部材を用いた汚れ除去方法は、窓ガラスや車体
等に発生した汚れを、窓ガラスや車体等に傷を付けるこ
となく簡単に除去することができると共に、排水が出る
ことなく環境問題に悪影響を与えることないものとなっ
た。
【図1】この発明の汚れ除去部材の一例を示す斜視図で
ある。
ある。
【図2】この発明の汚れ除去部材の他の例を示す斜視図
である。
である。
【図3】この発明の汚れ除去部材のさらに他の例を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図4】この発明の汚れ除去部材のさらに他の例を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図5】この発明の汚れ除去部材のさらに他の例を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図6】この発明の汚れ除去部材のさらに他の例を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図7】この発明の汚れ除去部材のさらに他の例を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図8】この発明の汚れ除去部材のさらに他の例を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図9】この発明の汚れ除去部材のさらに他の例を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図10】この発明の汚れ除去部材のさらに他の例を示
す斜視図である。
す斜視図である。
1 汚れ除去部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) B24D 5/02 B24D 5/02 B 7/02 7/02 B Fターム(参考) 3B116 AA31 AB52 BA01 BA12 BA13 BA22 3C063 AA02 AB02 AB03 AB04 AB05 AB07 AB08 BA02 BB03 BB07 BC04 CC17 EE40 FF23
Claims (4)
- 【請求項1】 ガラス材に近い硬度をもつ砥粒とゴムを
主成分とし、そのデュロ硬度が5〜50の物性値をもつ
配合固化物からなることを特徴とする汚れ除去部材。 - 【請求項2】 ガラス材に近い硬度をもつ砥粒とゴムを
主成分とし、そのデュロ硬度が5〜50の物性値をもつ
配合固化物からなる汚れ除去部材を使用して、窓ガラス
や車体等を研磨することにより、窓ガラスや車体等に堅
固に付着している汚れを除去するようにしたことを特徴
とする汚れ除去方法。 - 【請求項3】 前記砥粒の粒度を20〜100μmと
し、前記ゴムをNCO基末端プレポリマーと活性水素基
含有化合物とを主成分としてなるものとしたことを特徴
とする請求項1記載の汚れ除去部材。 - 【請求項4】 前記汚れ除去部材を回転研磨工具に装着
して使用することを特徴とする請求項2記載の汚れ除去
方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000151597A JP2001328071A (ja) | 2000-05-23 | 2000-05-23 | 汚れ除去部材およびその部材を用いた汚れ除去方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000151597A JP2001328071A (ja) | 2000-05-23 | 2000-05-23 | 汚れ除去部材およびその部材を用いた汚れ除去方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001328071A true JP2001328071A (ja) | 2001-11-27 |
Family
ID=18657128
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000151597A Pending JP2001328071A (ja) | 2000-05-23 | 2000-05-23 | 汚れ除去部材およびその部材を用いた汚れ除去方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001328071A (ja) |
-
2000
- 2000-05-23 JP JP2000151597A patent/JP2001328071A/ja active Pending
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