JP2001323365A

JP2001323365A - 平行線型マスクおよびその製造方法

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Publication number: JP2001323365A
Application number: JP2000141575A
Authority: JP
Inventors: Morimitsu Wakabayashi; 守光若林; Nobuyuki Miyama; 信幸深山; Masaaki Koizumi; 公明小泉; Akihiro Nakagome; 章浩中込
Original assignee: Nbc Industries Co Ltd
Current assignee: Nbc Industries Co Ltd
Priority date: 2000-05-15
Filing date: 2000-05-15
Publication date: 2001-11-22
Anticipated expiration: 2020-05-15
Also published as: JP3741590B2

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明は、スプライト幅すなわちピッチのバラ
ツキが少なく平行ピッチが高精度に保持された単繊維か
らなる平行線型マスクを提供するものである。【解決手段】本発明の平行線型マスクは、（１）平行線
マスク部を形成する部分を経糸又は緯糸とし、経糸又は
緯糸の平行ピッチを保持する緯糸又は経糸を織り込んだ
マスク布をマスクフレーム又は平板状基体に固着し、緯
糸又は経糸を除去して平行線マスク部を形成する。また
（２）平行線マスク部を形成する経糸を、金筬又はピッ
チゲージ治具を用いて平行配置し、伸張状態でマスクフ
レーム又は平板状基体に固着し平行線マスク部を形成す
ることによって製造することができる。本発明の方法に
よれば，従来のフォトリソグラフィーによる方法に比べ
製造工程が著しく短縮されるとともに、平行ピッチが３
３０μｍのような極く微細な場合であっても、スプライ
ト幅すなわちピッチのバラツキが極めて少なく平行ピッ
チが高精度に保持された平行線型マスクとすることがで
きる。本発明の平行線型マスクは、例えば蒸着用マスク
などに好適に使用することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、微細なパターンを
有する発光体素子の透明電極等を薄膜形成する際の蒸着
マスク等に使用される平行線型マスク及びその製造方法
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、有機ＥＬ発光表示素子は、一般的
にはエッチングにより形成されたＩＴＯ等の透明導電膜
のストライプをＸ軸方向とし、この上に、例えばＮＰＢ
等のホール輸送性有機材料と、Ａｌｑ３等の電子輸送性
有機材料を全面的に付着した後、Ｘ軸と直交するＹ軸方
向にＡｌ−Ｌｉなどの背面電極ストライプを形成し、Ｉ
ＴＯをプラスとし、Ａｌ−Ｌｉをマイナスとして通電し
たとき、その交点において発光させるいわゆる単純マト
リックス構成によって発光させることが多く用いられて
いる。

【０００３】このような場合、一般にはマイナス側を走
査線とし、ＩＴＯ側を並列入力線としてマイナス側を一
線毎に順次発光させることにより画面を構成することが
行われている。このような方法において、人の目に不自
然に写らない程度の画面精度とするためには、ストライ
プの幅もしくはピッチは、１ｍｍ幅に3本以上となるよ
う３３０μｍ以下とすることが望ましい。ＩＴＯのよう
な導電膜については、フォトエッチングなどの手法によ
りこのような精度は比較的容易に実現することができる
が、Ａｌ−Ｌｉなどによる背面電極においては、有機発
光材料は反応性が高く、エッチングなどの手法が採用で
きない問題があった。

【０００４】そこで、エッチングによりＩＴＯ等の透明
導電膜ストライプを形成した後、フォトレジストにより
断面が逆三角形を有する隔壁を形成することにより、オ
ーバーハング部分に有機発光材料およびＡｌ−Ｌｉなど
の付着を防ぎ相互に絶縁して、Ａｌ−Ｌｉなどの背面電
極材料を全面に付着させて相互に離間されたストライプ
を形成させるいわゆる陰極隔壁法が採用されている。こ
の方法は、隔壁形成にフォトリソグラフィー技術が用い
られるために通常７工程以上の工程が必要であり、また
マスク合わせ、露光などに大きな設備が必要であるこ
と、さらには、隔壁形成後の洗浄に有機物を除去するＵ
Ｖオゾン洗浄やプラズマクリーニングなどを用いると、
有機物からなる隔壁に悪影響を及ぼすため完全に洗浄す
ることが困難で、ダークスポットなどの欠陥を生じ易い
という問題があった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明者らは、上記の
問題点を解決すべく、検討を重ね、平行に配列された合
成繊維糸をマスクとして用いて陰極をストライプ状に構
成する方法を採用することにより、フォトリソグラフィ
ー方法における多数の工程が不要となり、このための多
大な設備投資が不要であるのみならず、洗浄を完全に行
うことができダークスポットの発生を著しく減少させる
ことができた。

【０００６】上記の場合は、７０μｍ程度の単繊維の糸
を使用した５００μｍピッチの平行線マスクであった
が、さらに微細化されたピッチを有する平行線マスクに
ついて検討を行った結果、微細な単繊維の糸、例えば３
０μｍの有機材料からなる単繊維の糸を使用した３３０
μｍピッチの平行線マスクにより相互に絶縁されたスト
ライプの形成が可能であることを見出した。しかしなが
ら、ストライプの幅、すなわち、単繊維の糸の平行ピッ
チを高精度に保持することは困難で、２００μｍ〜４５
０μｍの範囲のバラツキが発生した。

【０００７】本発明は、単繊維の糸を使用した３３０μ
ｍまでの微細なピッチを有する平行線マスクにおいて、
ストライプの幅、すなわち、単繊維糸の平行ピッチのバ
ラツキが極めて少なく平行ピッチが高精度に保持された
平行線型マスク及びその製造方法を提供するものであ
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】すなわち、本発明の第1
の発明は、合成繊維又は天然繊維からなる単繊維の糸が
マスク形成開口部に一軸方向に平行配置されて平行線部
を形成してマスクフレーム又は開口部を有する平板状基
体に固着されていることを特徴とする平行線型マスク、
及び合成繊維又は天然繊維からなる単繊維の糸がマスク
形成開口部に一軸方向に平行配置されて平行線部を形成
し、マスクフレーム又は開口部を有する平板状基体固着
部及び／又は非開口部で平行線糸に緯糸又は経糸を密に
織り込んで織物を形成して固着されていることを特徴と
する平行線型マスクに関する。

【０００９】本発明の第２の発明は、上記平行線型マス
クの製造方法に関する。すなわち、（１）マスク部を形
成する平行線部を合成繊維あるいは天然繊維からなる単
繊維を経糸又は緯糸とし、これに直角に交叉する緯糸又
は経糸を織り込んで形成したマスク布を伸張してマスク
フレームに固着した後、マスク部を形成する部分の緯糸
又は経糸を除去して平行線マスク部を形成することを特
徴とする平行線型マスクの製造方法に関する。

【００１０】（２）平行線マスク部を形成する平行線部
を、合成繊維あるいは天然繊維からなる単繊維の経糸と
し、該経糸を金筬又はピッチゲージ治具を用いて所定の
ピッチに平行配置し伸張した状態でマスクフレームに配
設して平行線マスク部を形成することを特徴とする平行
線型マスクの製造方法に関する。

【００１１】また、（３）平行線マスク部を形成する平
行線部を、合成繊維あるいは天然繊維からなる単繊維の
経糸とし、該経糸を金筬又はピッチゲージ治具を用いて
所定のピッチに平行配置し伸張した状態で、固定材料又
は固定基体により平行ピッチを保持し所定領域に平行線
マスク部を形成しマスクフレームに配設することを特徴
とする平行線型マスクの製造方法に関する。

【００１２】上記（１）の方法において、マスク布は、
マスク部を形成する部分の経糸又は緯糸に交叉する緯糸
又は経糸の織り密度は疎とし、マスクフレーム固着部及
び／又は非開口部を形成する部分の緯糸又は経糸の織り
密度は密に形成されていることを特徴とする平行線型マ
スクの製造方法に関する。

【００１３】上記（２）または（３）の方法において、
ピッチゲージフレームを使用して経糸を平行配置し、平
行ピッチを保持した状態でマスクフレームに配設したの
ち、ピッチゲージフレームを取り除き平行線マスク部を
形成することを特徴とする平行線型マスクの製造方法に
関する。

【００１４】上記（３）の方法において、固定材料とし
て硬化性物質を使用し、平行ピッチを保持した状態で固
定し、マスク部形成の所定領域に開口部を設けて平行線
マスク部を形成することを特徴とする平行線型マスクの
製造方法に関する。

【００１５】上記（３）の方法において、固定基体とし
て開口部を有する金属板、プラスチック板、又はガラス
板を使用して、該固定基体に平行ピッチを保持した状態
で固定し、開口部に平行線マスク部を形成することを特
徴とする平行線型マスクの製造方法に関する。

【００１６】

【発明の実施の形態】本発明の平行線型マスクの製造方
法について、具体的に説明すると、平行線マスク部を
形成する部分を経糸又は緯糸とし、経糸又は緯糸の平行
ピッチを保持する緯糸又は経糸を織り込んだマスク布を
作製し、該マスク布を伸張してマスクフレームに固着し
た後、緯糸又は経糸を除去して、経糸又は緯糸、すなわ
ち平行糸を残すことによる方法（第１の態様）、および
平行線マスク部を形成する経糸を、金筬あるいはピッ
チゲージ治具などを用いて所定ピッチに平行配列し、伸
張した状態でマスクフレームに固着し、配設するか、所
定ピッチに平行配列し伸張した状態で、固定材料又は固
定基体に平行ピッチを保持して固定して所定領域に平行
線マスク部を形成しマスクフレームに配設する方法（第
２の態様）である。

【００１７】本発明の平行線型マスクを製造する第1の
態様は、マスク部を形成する平行線部を、合成繊維ある
いは天然繊維からなる単繊維を経糸又は緯糸とし、これ
に直角に交叉する緯糸又は経糸を織り込んだマスク布を
伸張してマスクフレームに固着した後、マスク部を形成
する部分の緯糸又は経糸を除去して平行線マスク部を形
成することを特徴とする平行線型マスクの製造方法であ
る。

【００１８】第２の態様は、（ａ）平行線マスク部を形
成する平行線部を、合成繊維あるいは天然繊維からなる
単繊維の経糸とし、該経糸を金筬又はピッチゲージ治具
を用いて所定のピッチに平行配置し伸張した状態でマス
クフレームに配設して平行線マスク部を形成するか、
（ｂ）平行線マスク部を形成する平行線部を、合成繊維
あるいは天然繊維からなる単繊維の経糸とし、該経糸を
金筬又はピッチゲージ治具を用いて所定のピッチに平行
配置し伸張した状態で、固定材料又は固定基体により平
行ピッチを保持し所定領域に平行線マスク部を形成し、
マスクフレームに配設固着することを特徴とする平行線
型マスクの製造方法である。

【００１９】本発明方法の実施態様についてさらに具体
的に説明すると、一般に、織物を形成する場合、たて糸
は「筬」と呼ばれる等間隔なスリットを有する治具に糸
（繊維）を通すことによりピッチが決められるが、筬の
スリットは使用される糸（繊維）の径よりもやや広く余
裕が設けられており、経糸には張力（テンション）がか
けられるが、この張力が均一でなければピッチは正確に
は一定にならない。また、緯糸を織り込むことにより経
糸のピッチが等しく保持される。したがって、通常、経
糸の等ピッチを確実に発現するためには、経糸の張力の
均一化を図るために緯糸を織り込むことが望まれる。

【００２０】上記第1の態様の方法について、マスク布
を形成するに際して、平行線マスクを形成する部分の経
糸又は緯糸は疎な織りとし、マスクフレームへの固着
部、あるいは保持部の緯糸又は経糸は密な織りとして織
り込むことにより、経糸又は緯糸の等ピッチが実現され
る。

【００２１】この際に、精密に作製されたピッチゲージ
を使用してゲージ溝にたて糸を合わせて伸張すればさら
に高精度に平行線ピッチが形成されたマスク部を得るこ
とができる。また、経糸又は緯糸の平行性を損なわない
ようにするには、緯糸又は経糸は、他方の糸に比較して
細くかつ柔軟性を有する糸を使用することが望ましい。
本発明における上記第1の態様の方法において、平行線
マスク部の形成は、マスク布の該当部分の緯糸又は経糸
を、抜き取る等の方法により除去することにより形成さ
れる。

【００２２】マスク布を形成する際、抜き取られる部分
の緯糸又は経糸は疎な織りとし、マスクフレームへの固
着部あるいは保持部の緯糸又は経糸は密な織りとして織
り込んだマスク布を作製し、疎に形成された緯糸又は経
糸を抜き取り、経糸又は緯糸のいずれか一方を残すこと
により平行線マスク部を形成する。

【００２３】本発明の上記第1の態様におけるマスク布
およびマスクフレームに固着した状態の説明図を図１
（１）、（２）に示す。（１）は経糸及び固着部を密に
織り込み、緯糸を疎に織り込んだマスク布の概略を示す
部分図を示す。（２）はマスク布をマスクフレームに固
着し疎に形成された緯糸を抜き取った状態を示す。図２
は開口部を有する平板状基体にマスク布を固着しマスク
フレームに配設する概略図を示す。図１、２においてＡ
はマスク布を示し、１は密に織られた経糸および緯糸部
分、２は疎に織られた緯糸部分を表す。３はマスクフレ
ーム、４は平板状基体、５は開口部、６はピッチゲー
ジ、７、７１は接着部をそれぞれ示す。

【００２４】また、マスク布を形成する経糸と緯糸とが
性質を異にする繊維を使用し、平行線マスク部を形成す
る部分の緯糸又は経糸を溶解又は化学的処理などの方法
により除去することもできる。例えば、経糸として合成
繊維を使用し、緯糸として温水又は水に対する溶解性
（例えばアルカリ性又は酸性水溶液）を有するセルロー
ス系の単繊維を使用してマスク布を形成し、平行線マス
ク部形成部分の緯糸を温水又水により溶解除去し所定の
マスク部を形成する。または分解性の異なる繊維を経糸
又は緯糸として使用してマスク布を形成し、一方の糸の
みを化学的に分解して除去し所定のマスク部を形成す
る。等が例示される。

【００２５】本発明においては上記した平行線マスク形
成部の緯糸又は経糸を抜き取りマスク部を形成する方法
が簡便な方法である。また他の方法に比べコスト的にも
有利であり、繊維にダメージを与えることがない。

【００２６】マスク布を形成するに際して、経糸又は緯
糸の適宜の本数毎に色違いの糸、例えば赤色に着色した
糸を配して織り込むことにより抜糸する箇所やフレーム
に対応する位置などの位置決めの目安となり作業上好ま
しい。この適宜の本数毎に例えば赤色に着色した糸を配
して織る手段は、マスク布を織るときに限らず、後述の
平行線マスクを形成する経糸を直接マスクフレームに固
着配設する際にも適用して、適宜の本数毎に例えば赤色
に着色した糸を配することにより糸の本数のカウントや
フレームに対応する位置決めなどを容易にすることがで
きる。

【００２７】次に、マスク布を使用せず平行線マスクを
直接形成する方法に係る本発明の第２の態様について説
明する。すなわち、（ａ）マスク部を形成する平行線部
を合成繊維あるいは天然繊維からなる単繊維を経糸と
し、該経糸を金筬又はピッチゲージ治具を用いて所定の
ピッチに平行配置し伸張してマスクフレームに直接配設
して平行線マスク部を形成するか、（ｂ）経糸を金筬又
はピッチゲージ治具を用いて所定のピッチに平行配置
し、固定材料又は固定基体により平行ピッチを保持して
固定し、マスク部を形成する所定領域に平行線マスク部
を形成し、マスクフレームに配設することからなる平行
線型マスクの製造方法である。

【００２８】上記第２の態様において、マスク部を形成
する平行線部を、合成繊維あるいは天然繊維からなる単
繊維の経糸を平行配置する場合、金筬又はピッチゲージ
治具を用いることにより所定のピッチに配置される。こ
の際、金筬はスリット内の糸の占有率が８０％以上１０
０％以下、又は２倍の筬密度の１／２通しとした精密な
スリット溝を有するように作製したものを用い、各経糸
に均一な荷重をかけて張力を均一にして張るか、精密な
ピッチ溝を有するピッチゲージ治具を用いて平行に配置
し各経糸に均一な荷重をかけて張力を均一にして伸張し
た状態でマスクフレームに配設される。

【００２９】本発明の第２の態様の方法における装置の
概略を図３に示す。図３（１）は平面図、（２）は側面
図を示す。図３において、１１は経糸ビーム（男巻）、
１２は経糸、１３は綜絖、１４は糸へのテンション賦与
部、１４１は荷重、１４２、１４３、１４４、および１
４５はそれぞれ送りロール、１４６はテンションロー
ル、１５は第１筬、１６は第２筬、１７は幅出し筬、１
８はマスクフレーム、１９は架台、２０はマスクフレー
ム供給治具をそれぞれ表す。

【００３０】上記の方法において、金筬またはピッチゲ
ージ治具を用いて経糸を平行に配置し伸張した状態で平
行ピッチを正確に保持してマスクフレームに配設し固着
することは細心の注意と熟練を必要とし、マスクフレー
ムに固着する際に不注意な取り扱いで少しでも糸の張力
にズレが生じるとピッチずれの原因となる。特に開口部
が広いマスクフレームの場合などに起こり易い。このた
め、マスクフレームの平面を平坦にすること及びその平
面が平行糸平面と平行な状態で接するようにすることが
重要である。そこで金筬またはピッチゲージ治具を用い
て平行に配置され伸張した状態で、固定材料又は固定基
体により平行ピッチを正確に保持して、所定領域に平行
線マスク部を形成し、マスクフレームに配設して平行線
型マスクを製造することができる。

【００３１】上記の方法、すなわち平行に配置され伸張
した状態で、固定材料又は固定基体により平行ピッチを
正確に保持して、所定領域に平行線マスク部を形成し、
マスクフレームに配設して平行線型マスクを製造する方
法として、１）硬化性物質を固定材料として使用し、平
行ピッチを保持した状態で硬化性物質を塗布して固定
し、マスク形成部の所定領域に開口部を設けて平行線マ
スク部を形成することによる方法。２）ピッチゲージフ
レームを使用して、平行ピッチを保持した状態で固定し
てマスクフレームに配設したのち、ゲージフレームを除
去して平行線マスク部を形成することによる方法。３）
固定基体として開口部を有する平板状基体を使用して、
該平板状基体に平行ピッチを保持した状態で固定し、開
口部に平行線マスク部を形成することによる方法。４）
固定基体として金属板を用い、該金属板に平行ピッチを
保持した状態で固定し、マスク形成部の所定領域をエッ
チング除去して開口部を形成して平行線マスク部を形成
することによる方法が挙げられる。

【００３２】上記、１）の方法において硬化性物質は，
例えば、熱硬化性樹脂、や光硬化性樹脂等を用いること
ができる。１）の方法による平行線マスク部はマスク部
形成所定領域部分の硬化性物質のみを、例えば溶解除去
して開口部を形成することにより所定の平行線マスク部
を形成することができる。また、この硬化性物質は２５
０℃以上の温度により接着力を失う等熱的に分解できる
ものか、又は溶剤等で除去できるものであってフレーム
を再使用できるようなものが望ましい。

【００３３】２）の方法において、ゲージフレームは、
マスクフレーム内に収まる大きさで、精密なゲージ溝を
有するゲージフレームを使用しゲージフレームにより平
行ピッチを保持した状態で固定してマスクフレームに配
設したのち、ゲージフレームを除去することにより平行
線マスク部を形成することができる。

【００３４】また平行線のピッチを変更するような場合
には、ピッチゲージを使用することにより、その度毎に
織物の準備工程を経る必要なく、単にピッチゲージを所
望のピッチのものに交換することにより、所望のピッチ
を有する平行線マスクを形成することができ便利であ
る。特に小型のマスクを製造する場合には好適で重宝で
ある。

【００３５】３）の方法においては、開口部を有する平
板状の固定基体に予め接着剤を塗布し、経糸を所定ピッ
チで平行配列して精密に平板面に合わせて押圧して接着
し開口部に平行線マスク部を形成し、固定基体をマスク
フレームに配設することができる。開口部を有する固定
基体としては、金属板、プラスチック板、又はガラス板
等の平面な板状体が例示される。

【００３６】また上記４）の方法は、開口部が大きくマ
スク部の平行ピッチの保持性が弱いか不安定であるよう
な場合に適用される。この場合、固定基体として金属板
を用い、該金属板に接着剤を塗布し、平行ピッチを保持
した状態で金属板に接着したのち、金属板のマスク形成
部分の所定領域をエッチング等により除去して平行線マ
スク部を形成する。

【００３７】また固定基体により平行ピッチを保持した
状態で固定する場合、上記のようなゲージフレームを使
用することなく、固定基体自体にピッチゲージ溝を設
け、このゲージ溝に正確に経糸ピッチを合わせて直接固
定基体に固定することもできる。

【００３８】所定の平行線マスク部が形成された基体
（平板状基体）をマスクフレームに配設する際しては、
例えばねじ止め、接着などにより配設される。また平行
線マスク部が形成された基体自体が十分強度を有する場
合、使用条件、使用箇所等によっては、マスクフレーム
に配設することなくそのままで使用することもできる。

【００３９】本発明の経糸及び／又は緯糸に用いられる
単繊維は、径が２０μｍ〜２００μｍの有機材料からな
る合成繊維、またはセルロース系、たんぱく質系の天然
繊維の単繊維が使用される。また強度は、１０ｇ／Ｄｔ
ｅｘ以上であるものが好適である。なお金属単繊維の使
用も考えられるが金属繊維は、引っかかったり、巻き癖
が残り平行線の精度が出し難く相当の張力も懸ける必要
がありマスクフレームの精度を損ねる虞がある。またフ
レームへの固着も合成繊維のように簡単ではない等の問
題がある。したがって、有機材料からなる合成繊維、セ
ルロース系、たんぱく質系の天然繊維の単繊維糸が好適
に使用される。有機材料からなる合成繊維は、例えば、
ポリエステル系、ポリアミド系、ポリアクリル系、ポリ
ウレタン系、ポリオレフィン系、ポリビニルアルコール
系、ポリ塩化ビニル系、ポリ尿素系等の単繊維が挙げら
れる。また天然繊維としては、セルロース系、たんぱく
質系の水溶解性の単繊維が挙げられる。

【００４０】本発明の方法により製造された平行線型マ
スクを蒸着用マスクとして使用する場合、特に平板状の
固定基体を用いた場合、使用される固定基体は被蒸着用
の基体と熱膨張率が近似しているか、等しいものを使用
することが位置ズレを生じないので好ましい。被蒸着用
の基体の熱膨張率が固定基体と異なる場合には被蒸着用
の基体を予め加温して蒸着することにより位置ズレを起
こすことなく皮膜を形成することができる。

【００４１】

【実施例】次に本発明の方法について実施の一例を挙げ
て具体的に説明する。

【００４２】実施例１３０μｍの径を有するポリアリレート単繊維（商品名：
ベックリー、（株）クラレ社製）を経糸として使用し
た。この経糸１０００本を３３０μｍのピッチで平行配
列し、３０本ごとに１本の赤色に染色した糸を配置し
た。一方、約１０μｍの太さのセルロース系繊維からな
る糸を緯糸として平織りしてマスク布を作製した。この
際、経糸には一定の張力を加えるものの、緯糸には特に
張力を加えずルーズな状態にした。これにより経糸の蛇
行が抑制され経糸の平行度が維持された。このようにし
て幅５０ｍｍは密に織り、幅３００ｍｍは５ｍｍ毎に１
本の緯糸を疎に織り込む形式で約５ｍの長さの布を作製
した。

【００４３】これをマスク布として使用し、縦方向に、
密織りの部分をマスクフレームに接着する保持部とする
ように伸張し約２％のテンションを与えた状態で、開口
部が３００ｍｍ角、フレーム幅が２０ｍｍのマスクフレ
ームに接着剤により固着し配設した。この際平行ピッチ
精度を保持するために、ピッチゲージをフレームの内側
部に配置し平行ピッチを保持した状態でマスクフレーム
に配設した。次いで、マスク部形成開口部の緯糸を抜き
取り、平行線型マスクを製造した。

【００４４】実施例２経糸として実施例１に使用したと同様のポリアリレート
単繊維を使用し、緯糸としてセルロース系の水溶解性繊
維（商品名：ソロブロン、（株）ニチビ社製）を使用し
た以外は実施例１と同様にしてマスク布を作製し、実施
例１と同様にマスクフレームに接着，固着した。次い
で、マスク部形成開口部の緯糸を温水で溶解除去して高
精度の平行ピッチを有する平行線型マスクを製造した。

【００４５】実施例３径が３０μｍの実施例１に使用したと同様のポリアリレ
ート単繊維を経糸として使用し、精密に製作されたピッ
チ３３０μｍ、占有率９５％の金筬を使用して、図３に
示した装置により、先ず２枚の筬（第１筬（糸ビーム
側）と第２筬）の間に開口部が３００ｍｍ角、フレーム
幅が２０ｍｍのマスクフレームを配置し、１０００本の
経糸を平行配置し、全糸に同重量の荷重を懸けて均一に
テンションを懸けてマスクフレームに配置し固着した。
次いで経糸が平行配置され固着されたマスクフレームを
第２の筬の位置まで平行移動し、第２筬を取り除き第１
の筬のみとし、１枚目のマスクフレームと第１筬との間
に２枚目のマスクフレームを配置し経糸を平行配置して
固着し、１枚目のフレームと２枚目のフレームとの間の
糸を切断して目的とする平行線型マスクを製造した。以
後同様にして連続的に平行線型マスクを製造した。

【００４６】実施例４精密なゲージ溝を有する製作されたゲージフレームを用
い、ゲージ溝に経糸を配置し、伸張してテンションを懸
けた状態で、ゲージフレームに経糸を平行配置した。一
方所定（３２ｍｍ×８８ｍｍ）の開口部を設けた金属板
（固定基体）の全面に接着剤を塗布した後、経糸と金属
板平面とが全面で接着するようにしてゲージフレームを
金属板に押圧し接着した後、ゲージフレームを取り除き
金属板の開口部に平行線マスクを形成した。これをマス
クフレームに配設して目的の平行線型マスクを得た。

【００４７】実施例５精密なゲージ溝を有する製作されたゲージフレームを用
い、ゲージ溝に経糸を配置し、伸張してテンションを懸
けた状態で、ゲージフレームに経糸を平行配置した。一
方開口部を有しない金属板（固定基体）の全面に接着剤
を塗布した後、経糸と金属板平面とが全面で接着するよ
うにしてゲージフレームを金属板に押圧し接着した後、
ゲージフレームを取り除き、平行線マスク形成部をエッ
チングにより開口部を設け平行線マスクを形成した。こ
れをマスクフレームに配設して目的の平行線型マスクを
得た。

【００４８】

【発明の効果】本発明に係る平行線型マスクは、微細な
ストライプ幅を有し、バラツキが極めて少なくストライ
プ幅が所定ピッチで高精度に保持された平行線型マスク
であり、従来のマスクに見られるようなダークスポット
の発生が抑制され微細なパターンの発光素子の透明電極
を薄膜形成する際の蒸着マスクとして使用するのに好適
なものである。本発明の平行線型マスクは、（１）平行
線マスク部を形成する部分を経糸又は緯糸とし、経糸又
は緯糸の平行ピッチを保持する緯糸又は経糸を織り込ん
だマスク布を作製し、該マスク布を伸張してマスクフレ
ームに固着した後、緯糸又は経糸を除去して平行糸を残
すことによる方法。または（２）平行線マスク部を形成
する経糸を、金筬あるいはピッチゲージ治具などを用い
て所定ピッチに平行配列し、伸張した状態でマスクフレ
ームに固着し、配設するか、所定ピッチに平行配列し伸
張した状態で、固定材料又は固定基体に平行ピッチを保
持して固定して所定領域に平行線マスク部を形成しマス
クフレームに配設する方法により製造することができ
る。本発明の方法はリソグラフィーによる方法に比べ隔
壁形成などの工程を必要としないため、製造工程が著し
く短縮できコスト的にも有利なものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に使用されるマスク布、及び該マスク布
をマスクフレームに固着した状態を示す説明図である。
図１（１）はマスク布の部分図、図１（２）はマスクフ
レームに固着した状態図を示す。

【図２】開口部を有する平板状基体にマスク布を固着し
マスクフレームに配設する概略図を示す。

【図３】本発明における第２の態様の方法に係る製造工
程の概略を示す。図３（１）は平面図、図３（２）は側
面図を示す。

【符号の説明】

Ａ………マスク布１………密に織られた経糸および緯糸部分２………疎に織られた緯糸部分３、１８………マスクフレーム４………平板状基体５………開口部６………ピッチゲージ７，７１……接着部１１………経糸ビーム（男巻）１２………経糸１３………綜絖１４………テンション賦与部１４１……荷重１４２、１４３、１４４、１４５……送りロール１４６……テンションロール１５、１６、１７………筬１９………架台２０………マスクフレーム供給具

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 4K029 CA01 HA02 HA03 4L048 AA06 AA07 AA19 AB10 BC04 CA15

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】合成繊維又は天然繊維からなる単繊維の糸
がマスク形成開口部に一軸方向に平行配置されて平行線
部を形成してマスクフレーム又は開口部を有する平板状
基体に固着されていることを特徴とする平行線型マス
ク。
【請求項２】合成繊維又は天然繊維からなる単繊維の糸
がマスク形成開口部に一軸方向に平行配置されて平行線
部を形成し、マスクフレーム又は開口部を有する平板状
基体固着部及び／又は非開口部で平行線糸に緯糸又は経
糸を密に織り込んで織物を形成して固着されていること
を特徴とする平行線型マスク。
【請求項３】マスク部を形成する平行線部を合成繊維あ
るいは天然繊維からなる単繊維を経糸又は緯糸とし、こ
れに直角に交叉する緯糸又は経糸を織り込んで形成した
マスク布を伸張してマスクフレームに固着した後、マス
ク部を形成する部分の緯糸又は経糸を除去して平行線マ
スク部を形成することを特徴とする平行線型マスクの製
造方法。
【請求項４】前記マスク布は、マスク部を形成する部分
の経糸又は緯糸に交叉する緯糸又は経糸の織り密度は疎
とし、マスクフレーム固着部及び／又は非開口部を形成
する部分の緯糸又は経糸の織り密度は密に形成されてい
ることを特徴とする請求項３記載の平行線型マスクの製
造方法。
【請求項５】平行線マスク部を形成する平行線部を、合
成繊維あるいは天然繊維からなる単繊維の経糸とし、該
経糸を金筬又はピッチゲージ治具を用いて所定のピッチ
に平行配置し伸張した状態でマスクフレームに配設して
平行線マスク部を形成することを特徴とする平行線型マ
スクの製造方法。
【請求項６】平行線マスク部を形成する平行線部を、合
成繊維あるいは天然繊維からなる単繊維の経糸とし、該
経糸を金筬又はピッチゲージ治具を用いて所定のピッチ
に平行配置し伸張した状態で、固定材料又は固定基体に
より平行ピッチを保持し所定領域に平行線マスク部を形
成しマスクフレームに配設することを特徴とする平行線
型マスクの製造方法。
【請求項７】ピッチゲージフレームを使用して経糸を平
行配置し、平行ピッチを保持した状態でマスクフレーム
に配設したのち、ピッチゲージフレームを取り除き平行
線マスク部を形成することを特徴とする請求項５または
請求項６記載の平行線型マスクの製造方法。
【請求項８】固定材料として硬化性物質を使用し、平行
ピッチを保持した状態で固定し、マスク部形成の所定領
域に開口部を設けて平行線マスク部を形成することを特
徴とする請求項６記載の平行線型マスクの製造方法。
【請求項９】固定基体として開口部を有する金属板、プ
ラスチック板、又はガラス板を使用して、該固定基体に
平行ピッチを保持した状態で固定し、開口部に平行線マ
スク部を形成することを特徴とする請求項６記載の平行
線型マスクの製造方法。