JP2001322282A - インクジェットヘッドのノズル孔加工方法 - Google Patents
インクジェットヘッドのノズル孔加工方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】洗浄が不要で加工コストの削減が可能で、かつ
ノズル孔にススが詰まる不良品の発生を防止することを
課題としている。また、ノズル孔の奥側端部の加工精度
を向上させることを課題としている。 【解決手段】ノズルプレート１と保護シート２を重ね、
所定以上の酸素ガス３の雰囲気下で、ノズルプレート１
側からレーザ光４を照射して、ノズルプレート１にノズ
ル孔５を加工する。また、ノズルプレート１と保護シー
ト２とを接着剤１０を介在して重ね、ノズルプレート１
側からレーザ光４を照射して、ノズルプレート１にノズ
ル孔５を加工する。また、ノズルプレート１と保護シー
ト２とを接着剤１０を介在して重ね、所定以上の酸素ガ
ス３の雰囲気下で、ノズルプレート１側からレーザ光４
を照射して、ノズルプレート１にノズル孔５を加工す
る。
ノズル孔にススが詰まる不良品の発生を防止することを
課題としている。また、ノズル孔の奥側端部の加工精度
を向上させることを課題としている。 【解決手段】ノズルプレート１と保護シート２を重ね、
所定以上の酸素ガス３の雰囲気下で、ノズルプレート１
側からレーザ光４を照射して、ノズルプレート１にノズ
ル孔５を加工する。また、ノズルプレート１と保護シー
ト２とを接着剤１０を介在して重ね、ノズルプレート１
側からレーザ光４を照射して、ノズルプレート１にノズ
ル孔５を加工する。また、ノズルプレート１と保護シー
ト２とを接着剤１０を介在して重ね、所定以上の酸素ガ
ス３の雰囲気下で、ノズルプレート１側からレーザ光４
を照射して、ノズルプレート１にノズル孔５を加工す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットヘ
ッドのノズル孔加工方法に関する。
ッドのノズル孔加工方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】インクジェットヘッドのノズル孔加工と
して、例えばポリイミドのノズルプレートにレーザ光を
照射して加工するものがある。
して、例えばポリイミドのノズルプレートにレーザ光を
照射して加工するものがある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このようにレーザ光を
照射してノズル孔を加工する時にススが発生するため、
このススを洗浄して除去する必要があり、加工コストが
嵩む。また、ススを洗浄する際に、加工したノズル孔に
ススが詰まり、不良品となることがある。
照射してノズル孔を加工する時にススが発生するため、
このススを洗浄して除去する必要があり、加工コストが
嵩む。また、ススを洗浄する際に、加工したノズル孔に
ススが詰まり、不良品となることがある。
【０００４】また、ノズル孔の奥側端部側の加工精度が
低下する等の問題がある。
低下する等の問題がある。
【０００５】本発明は、これら問題を解決するもので、
洗浄が不要で加工コストの削減が可能で、かつノズル孔
にススが詰まる不良品の発生を防止することを課題とし
ている。また、本発明は、ノズル孔の奥側端部の加工精
度を向上させることを課題としている。
洗浄が不要で加工コストの削減が可能で、かつノズル孔
にススが詰まる不良品の発生を防止することを課題とし
ている。また、本発明は、ノズル孔の奥側端部の加工精
度を向上させることを課題としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、この発明は、以下のように構成した。
に、この発明は、以下のように構成した。
【０００７】請求項１に記載の発明は、『ノズルプレー
トと保護シートを重ね、所定以上の酸素ガスの雰囲気下
で、前記ノズルプレート側からレーザ光を照射して、前
記ノズルプレートにノズル孔を加工することを特徴とす
るインクジェットヘッドのノズル孔加工方法。』であ
る。
トと保護シートを重ね、所定以上の酸素ガスの雰囲気下
で、前記ノズルプレート側からレーザ光を照射して、前
記ノズルプレートにノズル孔を加工することを特徴とす
るインクジェットヘッドのノズル孔加工方法。』であ
る。
【０００８】請求項１に記載の発明によれば、レーザ光
を照射してノズル孔がノズルプレートを貫通して加工さ
れるが、この加工する時に発生するススが、所定以上の
酸素ガスの雰囲気下で燃焼して除去され、加工後にノズ
ルプレートを洗浄することが不要になり、その分加工コ
ストを削減することができる。また、ノズル孔にススが
詰まることがなくなり、ノズル孔加工の品質精度が向上
する。
を照射してノズル孔がノズルプレートを貫通して加工さ
れるが、この加工する時に発生するススが、所定以上の
酸素ガスの雰囲気下で燃焼して除去され、加工後にノズ
ルプレートを洗浄することが不要になり、その分加工コ
ストを削減することができる。また、ノズル孔にススが
詰まることがなくなり、ノズル孔加工の品質精度が向上
する。
【０００９】請求項２に記載の発明は、『ノズルプレー
トと保護シートとを接着剤を介在して重ね、前記ノズル
プレート側からレーザ光を照射して、前記ノズルプレー
トにノズル孔を加工することを特徴とするインクジェッ
トヘッドのノズル孔加工方法。』である。
トと保護シートとを接着剤を介在して重ね、前記ノズル
プレート側からレーザ光を照射して、前記ノズルプレー
トにノズル孔を加工することを特徴とするインクジェッ
トヘッドのノズル孔加工方法。』である。
【００１０】請求項２に記載の発明によれば、レーザ光
を照射してノズル孔がノズルプレートを貫通して加工さ
れるが、ノズル孔の奥側端部を接着剤により保持した状
態で加工することで、奥側端部が確実に切断された状態
になり、ノズル孔を高精度に加工することが可能であ
る。
を照射してノズル孔がノズルプレートを貫通して加工さ
れるが、ノズル孔の奥側端部を接着剤により保持した状
態で加工することで、奥側端部が確実に切断された状態
になり、ノズル孔を高精度に加工することが可能であ
る。
【００１１】請求項３に記載の発明は、『ノズルプレー
トと保護シートとを接着剤を介在して重ね、所定以上の
酸素ガスの雰囲気下で、前記ノズルプレート側からレー
ザ光を照射して、前記ノズルプレートにノズル孔を加工
することを特徴とするインクジェットヘッドのノズル孔
加工方法。』である。
トと保護シートとを接着剤を介在して重ね、所定以上の
酸素ガスの雰囲気下で、前記ノズルプレート側からレー
ザ光を照射して、前記ノズルプレートにノズル孔を加工
することを特徴とするインクジェットヘッドのノズル孔
加工方法。』である。
【００１２】請求項３に記載の発明によれば、レーザ光
を照射してノズル孔がノズルプレートを貫通して加工さ
れるが、ノズル孔の奥側端部を接着剤により保持した状
態で加工することで、奥側端部が確実に切断された状態
になり、ノズル孔を高精度に加工することが可能であ
る。
を照射してノズル孔がノズルプレートを貫通して加工さ
れるが、ノズル孔の奥側端部を接着剤により保持した状
態で加工することで、奥側端部が確実に切断された状態
になり、ノズル孔を高精度に加工することが可能であ
る。
【００１３】また、加工する時に発生するススが、所定
以上の酸素ガスの雰囲気下で燃焼して除去され、加工後
にノズルプレートを洗浄することが不要になり、その分
加工コストを削減することができる。また、ノズル孔に
ススが詰まることがなくなり、ノズル孔加工の品質精度
が向上する。
以上の酸素ガスの雰囲気下で燃焼して除去され、加工後
にノズルプレートを洗浄することが不要になり、その分
加工コストを削減することができる。また、ノズル孔に
ススが詰まることがなくなり、ノズル孔加工の品質精度
が向上する。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明のインクジェットヘ
ッドのノズル孔加工方法を、実施の形態を挙げて説明す
るが、この発明の態様はこれに限定されない。
ッドのノズル孔加工方法を、実施の形態を挙げて説明す
るが、この発明の態様はこれに限定されない。
【００１５】本発明の第１の実施の形態のインクジェッ
トヘッドのノズル孔加工方法を図１を用いて説明する。
トヘッドのノズル孔加工方法を図１を用いて説明する。
【００１６】ノズルプレート１と保護シート２を重ね、
所定以上の酸素ガス３の雰囲気下で、ノズルプレート１
側からレーザ光４を照射し（図１（ａ））、ノズルプレ
ート１にノズル孔５を貫通して保護シート２にまで加工
する（図１（ｂ），（ｃ））。
所定以上の酸素ガス３の雰囲気下で、ノズルプレート１
側からレーザ光４を照射し（図１（ａ））、ノズルプレ
ート１にノズル孔５を貫通して保護シート２にまで加工
する（図１（ｂ），（ｃ））。
【００１７】ノズルプレート１としては、例えばポリイ
ミドが用いられ、厚さは例えば５０〜１３０μｍが好ま
しいがこれに限定されない。保護シート２としては、ポ
リエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）が用いられ、厚さ
は例えば２０〜８０μｍが好ましいがこれに限定されな
い。
ミドが用いられ、厚さは例えば５０〜１３０μｍが好ま
しいがこれに限定されない。保護シート２としては、ポ
リエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）が用いられ、厚さ
は例えば２０〜８０μｍが好ましいがこれに限定されな
い。
【００１８】酸素ガス３は、加工面１ｃｍ2あたり０，
１１／ｍｉｎ（２０℃）以上吹き付かけながらレーザ光
４を照射して加工することが好ましい。ススが酸化して
できたガスを取り除き、レーザ光４を照射して発生する
飛散物の吹き出し部分に、常に消費される以上の酸素ガ
スを供給することが重要である。また、レーザ光４とし
ては、エキシマレーザ光を用いるが、これに限定されな
い。
１１／ｍｉｎ（２０℃）以上吹き付かけながらレーザ光
４を照射して加工することが好ましい。ススが酸化して
できたガスを取り除き、レーザ光４を照射して発生する
飛散物の吹き出し部分に、常に消費される以上の酸素ガ
スを供給することが重要である。また、レーザ光４とし
ては、エキシマレーザ光を用いるが、これに限定されな
い。
【００１９】このように、レーザ光４を照射して、ノズ
ル孔５がノズルプレート１を貫通して保護シート２にま
で加工され、ノズル孔５を高精度に加工することができ
る。
ル孔５がノズルプレート１を貫通して保護シート２にま
で加工され、ノズル孔５を高精度に加工することができ
る。
【００２０】また、レーザ光４を照射してノズル孔５を
加工する時に発生するスス１１が、所定以上の酸素ガス
３の雰囲気下で燃焼して除去され（図１（ｂ））、加工
後にノズルプレート１を洗浄することが不要になり（図
１（ｃ））、その分加工コストを削減することができ
る。また、ノズル孔５にススが詰まることがなくなり、
ノズル孔加工の品質精度が向上する。
加工する時に発生するスス１１が、所定以上の酸素ガス
３の雰囲気下で燃焼して除去され（図１（ｂ））、加工
後にノズルプレート１を洗浄することが不要になり（図
１（ｃ））、その分加工コストを削減することができ
る。また、ノズル孔５にススが詰まることがなくなり、
ノズル孔加工の品質精度が向上する。
【００２１】本発明の第２の実施の形態のインクジェッ
トヘッドのノズル孔加工方法を図２を用いて説明する。
トヘッドのノズル孔加工方法を図２を用いて説明する。
【００２２】ノズルプレート１と保護シート２とを接着
剤１０を介在して重ね、ノズルプレート１側からレーザ
光４を照射し（図２（ａ））、ノズルプレート１にノズ
ル孔５を貫通して、接着剤１０、保護シート２にまで加
工する（図２（ｂ），（ｃ），（ｄ））。
剤１０を介在して重ね、ノズルプレート１側からレーザ
光４を照射し（図２（ａ））、ノズルプレート１にノズ
ル孔５を貫通して、接着剤１０、保護シート２にまで加
工する（図２（ｂ），（ｃ），（ｄ））。
【００２３】ノズルプレート１としては、例えばポリイ
ミドが用いられ、厚さは例えば５０〜１３０μｍが好ま
しいがこれに限定されない。接着剤１０としては、ゴム
系接着剤が好ましく用いられ、厚さは例えば１０μｍ程
度が好ましいがこれに限定されない。保護シート２とし
ては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）が用いら
れ、厚さは例えば２０〜８０μｍが好ましいがこれに限
定されない。また、レーザ光４としては、エキシマレー
ザ光を用いるが、これに限定されない。
ミドが用いられ、厚さは例えば５０〜１３０μｍが好ま
しいがこれに限定されない。接着剤１０としては、ゴム
系接着剤が好ましく用いられ、厚さは例えば１０μｍ程
度が好ましいがこれに限定されない。保護シート２とし
ては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）が用いら
れ、厚さは例えば２０〜８０μｍが好ましいがこれに限
定されない。また、レーザ光４としては、エキシマレー
ザ光を用いるが、これに限定されない。
【００２４】このように、レーザ光４を照射して、ノズ
ル孔５がノズルプレート１、接着剤１０を貫通して保護
シート２にまで加工されるが、ノズル孔５の奥側端部５
ａを接着剤１０により保持した状態で加工することで
（図２（ｂ），（ｃ））、奥側端部５ａが確実に切断さ
れた状態になり（図２（ｄ））、ノズル孔５を高精度に
加工することが可能である。
ル孔５がノズルプレート１、接着剤１０を貫通して保護
シート２にまで加工されるが、ノズル孔５の奥側端部５
ａを接着剤１０により保持した状態で加工することで
（図２（ｂ），（ｃ））、奥側端部５ａが確実に切断さ
れた状態になり（図２（ｄ））、ノズル孔５を高精度に
加工することが可能である。
【００２５】本発明の第３の実施の形態のインクジェッ
トヘッドのノズル孔加工方法を図３を用いて説明する。
トヘッドのノズル孔加工方法を図３を用いて説明する。
【００２６】ノズルプレート１と保護シート２とを接着
剤１０を介在して重ね、所定以上の酸素ガス３の雰囲気
下で、ノズルプレート１側からレーザ光４を照射し（図
３（ａ））、ノズルプレート１にノズル孔５を貫通し
て、接着剤１０、保護シート２にまで加工する（図３
（ｂ），（ｃ），（ｄ））。
剤１０を介在して重ね、所定以上の酸素ガス３の雰囲気
下で、ノズルプレート１側からレーザ光４を照射し（図
３（ａ））、ノズルプレート１にノズル孔５を貫通し
て、接着剤１０、保護シート２にまで加工する（図３
（ｂ），（ｃ），（ｄ））。
【００２７】ノズルプレート１、保護シート２は、第１
及び第２の実施の形態と同様に構成され、接着剤１０
は、第２の実施の形態と同様に構成され、またレーザ光
４としては、エキシマレーザ光を用いるが、これに限定
されない。また、酸素ガス３は、第１の実施の形態と同
様に加工面１ｃｍ2あたり０．１１／ｍｉｎ（２０℃）
以上で吹きかけ付かけながらレーザ光４を照射して加工
することが好ましい。
及び第２の実施の形態と同様に構成され、接着剤１０
は、第２の実施の形態と同様に構成され、またレーザ光
４としては、エキシマレーザ光を用いるが、これに限定
されない。また、酸素ガス３は、第１の実施の形態と同
様に加工面１ｃｍ2あたり０．１１／ｍｉｎ（２０℃）
以上で吹きかけ付かけながらレーザ光４を照射して加工
することが好ましい。
【００２８】このように、レーザ光４を照射して、ノズ
ル孔５がノズルプレート１、接着剤１０を貫通して保護
シート２にまで加工されるが、ノズル孔５の奥側端部５
ａを接着剤１０により保持した状態で加工することで
（図３（ｂ），（ｃ））、奥側端部５ａが確実に切断さ
れた状態になり（図３（ｄ））、ノズル孔５を高精度に
加工することが可能である。
ル孔５がノズルプレート１、接着剤１０を貫通して保護
シート２にまで加工されるが、ノズル孔５の奥側端部５
ａを接着剤１０により保持した状態で加工することで
（図３（ｂ），（ｃ））、奥側端部５ａが確実に切断さ
れた状態になり（図３（ｄ））、ノズル孔５を高精度に
加工することが可能である。
【００２９】また、レーザ光４を照射してノズル孔５を
加工する時に発生するスス１１が、所定以上の酸素ガス
３の雰囲気下で燃焼して除去され（図３（ｂ），
（ｃ））、加工後にノズルプレート１を洗浄することが
不要になり（図３（ｄ））、その分加工コストを削減す
ることができる。また、ノズル孔５にススが詰まること
がなくなり、ノズル孔加工の品質精度が向上する。
加工する時に発生するスス１１が、所定以上の酸素ガス
３の雰囲気下で燃焼して除去され（図３（ｂ），
（ｃ））、加工後にノズルプレート１を洗浄することが
不要になり（図３（ｄ））、その分加工コストを削減す
ることができる。また、ノズル孔５にススが詰まること
がなくなり、ノズル孔加工の品質精度が向上する。
【００３０】
【発明の効果】前記したように、請求項１に記載の発明
では、レーザ光を照射してノズル孔がノズルプレートを
貫通して加工されるが、この加工する時に発生するスス
が、所定以上の酸素ガスの雰囲気下で燃焼して除去さ
れ、加工後にノズルプレートを洗浄することが不要にな
り、その分加工コストを削減することができる。また、
ノズル孔にススが詰まることがなくなり、ノズル孔加工
の品質精度が向上する。
では、レーザ光を照射してノズル孔がノズルプレートを
貫通して加工されるが、この加工する時に発生するスス
が、所定以上の酸素ガスの雰囲気下で燃焼して除去さ
れ、加工後にノズルプレートを洗浄することが不要にな
り、その分加工コストを削減することができる。また、
ノズル孔にススが詰まることがなくなり、ノズル孔加工
の品質精度が向上する。
【００３１】請求項２に記載の発明では、レーザ光を照
射してノズル孔がノズルプレートを貫通して加工される
が、ノズル孔の奥側端部を接着剤により保持した状態で
加工することで、奥側端部が確実に切断された状態にな
り、ノズル孔を高精度に加工することが可能である。
射してノズル孔がノズルプレートを貫通して加工される
が、ノズル孔の奥側端部を接着剤により保持した状態で
加工することで、奥側端部が確実に切断された状態にな
り、ノズル孔を高精度に加工することが可能である。
【００３２】請求項３に記載の発明では、レーザ光を照
射してノズル孔がノズルプレートを貫通して加工される
が、ノズル孔の奥側端部を接着剤により保持した状態で
加工することで、奥側端部が確実に切断された状態にな
り、ノズル孔を高精度に加工することが可能である。
射してノズル孔がノズルプレートを貫通して加工される
が、ノズル孔の奥側端部を接着剤により保持した状態で
加工することで、奥側端部が確実に切断された状態にな
り、ノズル孔を高精度に加工することが可能である。
【００３３】また、加工する時に発生するススが、所定
以上の酸素ガスの雰囲気下で燃焼して除去され、加工後
にノズルプレートを洗浄することが不要になり、その分
加工コストを削減することができる。また、ノズル孔に
ススが詰まることがなくなり、ノズル孔加工の品質精度
が向上する。
以上の酸素ガスの雰囲気下で燃焼して除去され、加工後
にノズルプレートを洗浄することが不要になり、その分
加工コストを削減することができる。また、ノズル孔に
ススが詰まることがなくなり、ノズル孔加工の品質精度
が向上する。
【図１】本発明の第１の実施の形態のインクジェットヘ
ッドのノズル孔加工方法を説明する図である。
ッドのノズル孔加工方法を説明する図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態のインクジェットヘ
ッドのノズル孔加工方法を説明する図である。
ッドのノズル孔加工方法を説明する図である。
【図３】本発明の第３の実施の形態のインクジェットヘ
ッドのノズル孔加工方法を説明する図である。
ッドのノズル孔加工方法を説明する図である。
１ ノズルプレート ２ 保護シート ３ 酸素ガス ４ レーザ光 ５ ノズル孔 １０ 接着剤
Claims (3)
- 【請求項１】ノズルプレートと保護シートを重ね、所定
以上の酸素ガスの雰囲気下で、前記ノズルプレート側か
らレーザ光を照射して、前記ノズルプレートにノズル孔
を加工することを特徴とするインクジェットヘッドのノ
ズル孔加工方法。 - 【請求項２】ノズルプレートと保護シートとを接着剤を
介在して重ね、前記ノズルプレート側からレーザ光を照
射して、前記ノズルプレートにノズル孔を加工すること
を特徴とするインクジェットヘッドのノズル孔加工方
法。 - 【請求項３】ノズルプレートと保護シートとを接着剤を
介在して重ね、所定以上の酸素ガスの雰囲気下で、前記
ノズルプレート側からレーザ光を照射して、前記ノズル
プレートにノズル孔を加工することを特徴とするインク
ジェットヘッドのノズル孔加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000144216A JP2001322282A (ja) | 2000-05-17 | 2000-05-17 | インクジェットヘッドのノズル孔加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000144216A JP2001322282A (ja) | 2000-05-17 | 2000-05-17 | インクジェットヘッドのノズル孔加工方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001322282A true JP2001322282A (ja) | 2001-11-20 |
Family
ID=18650906
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000144216A Pending JP2001322282A (ja) | 2000-05-17 | 2000-05-17 | インクジェットヘッドのノズル孔加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001322282A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007130816A (ja) * | 2005-11-08 | 2007-05-31 | Ricoh Co Ltd | 液滴吐出ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット記録装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0687216A (ja) * | 1992-06-24 | 1994-03-29 | Seiko Epson Corp | インクジェット記録ヘッドのノズル形成方法 |
| JPH08187586A (ja) * | 1994-12-28 | 1996-07-23 | Sharp Corp | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法及びその製造装置 |
| JPH1199650A (ja) * | 1997-09-25 | 1999-04-13 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッドおよび該記録ヘッドの製造方法と該記録ヘッドの使用方法 |
-
2000
- 2000-05-17 JP JP2000144216A patent/JP2001322282A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0687216A (ja) * | 1992-06-24 | 1994-03-29 | Seiko Epson Corp | インクジェット記録ヘッドのノズル形成方法 |
| JPH08187586A (ja) * | 1994-12-28 | 1996-07-23 | Sharp Corp | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法及びその製造装置 |
| JPH1199650A (ja) * | 1997-09-25 | 1999-04-13 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッドおよび該記録ヘッドの製造方法と該記録ヘッドの使用方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007130816A (ja) * | 2005-11-08 | 2007-05-31 | Ricoh Co Ltd | 液滴吐出ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット記録装置 |
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