JP2001320111A - レーザー加工機用のレーザー発振器構造 - Google Patents
レーザー加工機用のレーザー発振器構造Info
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- JP2001320111A JP2001320111A JP2000133342A JP2000133342A JP2001320111A JP 2001320111 A JP2001320111 A JP 2001320111A JP 2000133342 A JP2000133342 A JP 2000133342A JP 2000133342 A JP2000133342 A JP 2000133342A JP 2001320111 A JP2001320111 A JP 2001320111A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 レーザー加工機の電源部９と、共振器部３、
光路部とが同一筐体キャビネット２内に収納された構成
のレーザー発振器１において、配線の被覆や基板等の有
機物部品の温度上昇により発生するガス等により、レー
ザー光の伝播光路内のレーザー光が発散して、レーザー
加工時の焦点位置、ビームスポット径等が変化し、レー
ザー加工品質が安定しなくなる問題点を解消する。 【解決手段】 このため、前記筐体２の共振器部３と強
電・弱電部９との内部空間を筐体分離板１３により互に
分離独立させると共に、レーザー光路のメカニカルシャ
ッタ８には密閉シャッタボックス１４を、またレーザー
光路（伝播路）には光軸パイプ１５を取付け、さらに光
軸パイプ１５、シャッタボックス１４及び共振器部３の
上部筐体内にはＣＯ2 ガスを除去するためのエアー供給
口１６を、また下部筐体には強電・弱電部９で発生した
内部ガス用の外部排気ファン１７を設けた。
光路部とが同一筐体キャビネット２内に収納された構成
のレーザー発振器１において、配線の被覆や基板等の有
機物部品の温度上昇により発生するガス等により、レー
ザー光の伝播光路内のレーザー光が発散して、レーザー
加工時の焦点位置、ビームスポット径等が変化し、レー
ザー加工品質が安定しなくなる問題点を解消する。 【解決手段】 このため、前記筐体２の共振器部３と強
電・弱電部９との内部空間を筐体分離板１３により互に
分離独立させると共に、レーザー光路のメカニカルシャ
ッタ８には密閉シャッタボックス１４を、またレーザー
光路（伝播路）には光軸パイプ１５を取付け、さらに光
軸パイプ１５、シャッタボックス１４及び共振器部３の
上部筐体内にはＣＯ2 ガスを除去するためのエアー供給
口１６を、また下部筐体には強電・弱電部９で発生した
内部ガス用の外部排気ファン１７を設けた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、レーザー加工機
用のレーザー発振器構造に、また特に、電源部と共振部
とが同一の筐体に収容されたレーザー発振器構造に関す
る。
用のレーザー発振器構造に、また特に、電源部と共振部
とが同一の筐体に収容されたレーザー発振器構造に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】エネルギー密度が高く、指向性、集光性
が良好なため、高精度加工に適する例えばＣＯ2 レーザ
ー加工機等において、その共振器部と電源部とが従来例
（図示は省略する）のように同一筐体のキャビネットに
収容された構造型式のレーザー（ビーム）発振器におい
ては、そのレーザー加工中、次に示すような問題点があ
った。
が良好なため、高精度加工に適する例えばＣＯ2 レーザ
ー加工機等において、その共振器部と電源部とが従来例
（図示は省略する）のように同一筐体のキャビネットに
収容された構造型式のレーザー（ビーム）発振器におい
ては、そのレーザー加工中、次に示すような問題点があ
った。
【０００３】すなわち、前記筐体内の例えば電気配線の
絶縁被覆や基板等の有機物部品の温度上昇により、諸成
分ガスが発生し、これらの発生ガスが加工用のレーザー
光ビームの伝播光路内に混入すると、その分レーザー光
が散乱することになり、このため、加工対象ワークに対
する加工時の焦点位置、ビームスポット径等の状態が微
少に変化して、その分レーザー加工の安定性を損う現象
を生ずることがあった。
絶縁被覆や基板等の有機物部品の温度上昇により、諸成
分ガスが発生し、これらの発生ガスが加工用のレーザー
光ビームの伝播光路内に混入すると、その分レーザー光
が散乱することになり、このため、加工対象ワークに対
する加工時の焦点位置、ビームスポット径等の状態が微
少に変化して、その分レーザー加工の安定性を損う現象
を生ずることがあった。
【０００４】従来例のように、前記電源部と、レーザー
ビーム伝播路とが同一筐体内にあり、高温化した電源部
から発生した前記微少ガスがレーザー光を散乱させ、時
間経過に伴い、ワーク加工条件がその分変化してしまう
という問題点があった。
ビーム伝播路とが同一筐体内にあり、高温化した電源部
から発生した前記微少ガスがレーザー光を散乱させ、時
間経過に伴い、ワーク加工条件がその分変化してしまう
という問題点があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、以上のよう
な局面に鑑みてなされたもので、前記のような問題点を
解消して、所定の加工条件に変化を与えないようにする
ために、レーザー発振器筐体内の前記有機物材料部品の
温度上昇に伴い発生する有機物ガスが、レーザー光伝播
路内に侵入することを防止する手段の提供を目的として
いる。
な局面に鑑みてなされたもので、前記のような問題点を
解消して、所定の加工条件に変化を与えないようにする
ために、レーザー発振器筐体内の前記有機物材料部品の
温度上昇に伴い発生する有機物ガスが、レーザー光伝播
路内に侵入することを防止する手段の提供を目的として
いる。
【０００６】
【課題を解決するための手段】このため、本発明におい
ては、以下に示すレーザー加工機用のレーザー発振器構
造の提供により、前記目的を達成しようとするものであ
る。
ては、以下に示すレーザー加工機用のレーザー発振器構
造の提供により、前記目的を達成しようとするものであ
る。
【０００７】レーザー加工機用の、レーザー光共振器
部、光路部及び電源部一体型筐体構造のレーザー発振器
において、前記筐体内の前記光路部を含むレーザー光共
振器部と、前記電源部との両空間部を互に独立に隔離す
る手段を備え、前記光路部のシャッタ部をボックス的に
密閉して前記光路部以外と分離し、さらに前記空間的に
分離した前記共振器部筐体内には、ＣＯ2 ガス除去用エ
アー供給手段を、一方、前記電源部筐体内には、その内
部発生ガスの外部排出手段をそれぞれ備えたことを特徴
とするレーザー加工機のレーザー発振器構造。
部、光路部及び電源部一体型筐体構造のレーザー発振器
において、前記筐体内の前記光路部を含むレーザー光共
振器部と、前記電源部との両空間部を互に独立に隔離す
る手段を備え、前記光路部のシャッタ部をボックス的に
密閉して前記光路部以外と分離し、さらに前記空間的に
分離した前記共振器部筐体内には、ＣＯ2 ガス除去用エ
アー供給手段を、一方、前記電源部筐体内には、その内
部発生ガスの外部排出手段をそれぞれ備えたことを特徴
とするレーザー加工機のレーザー発振器構造。
【０００８】
【作用】以上のような本発明構成により、レーザー光路
部、共振器部と強電弱電部とが同一筐体内で互に空間的
に隔離されており、またレーザー光路部、共振部にはＣ
Ｏ2 ガス除去用エアーを供給し、強電弱電部には有害ガ
ス排気ファン等を配設して、悪影響ガスを筐体外に排出
するよう構成したため、光路内の雰囲気が常に一定とな
り、発振器が生成された有害ガスの影響を受けることが
なくなる。
部、共振器部と強電弱電部とが同一筐体内で互に空間的
に隔離されており、またレーザー光路部、共振部にはＣ
Ｏ2 ガス除去用エアーを供給し、強電弱電部には有害ガ
ス排気ファン等を配設して、悪影響ガスを筐体外に排出
するよう構成したため、光路内の雰囲気が常に一定とな
り、発振器が生成された有害ガスの影響を受けることが
なくなる。
【０００９】このため、レーザー加工時のレーザー光の
集中角度が一定して、安定した加工条件を持続すること
ができる。
集中角度が一定して、安定した加工条件を持続すること
ができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を、一
実施例に基づき図面を参照して詳細に説明する。
実施例に基づき図面を参照して詳細に説明する。
【００１１】
【実施例】（構成）図１に、本発明に係る一実施例のレ
ーザー加工機用のレーザー発振器の筐体内構成の概要説
明図を示す。
ーザー加工機用のレーザー発振器の筐体内構成の概要説
明図を示す。
【００１２】図１において、１はレーザー発振器、２は
その筐体を示す。３は共振器部で、４は放電管、５，６
はそれぞれ出力ミラー及びリアミラーであり、７はレー
ザー光（ビーム）出口、８はそのメカニカルシャッタ部
を示す。
その筐体を示す。３は共振器部で、４は放電管、５，６
はそれぞれ出力ミラー及びリアミラーであり、７はレー
ザー光（ビーム）出口、８はそのメカニカルシャッタ部
を示す。
【００１３】一方、９は強電・弱電部であり、それぞれ
の電源１０、端子台１１及び各基板１２等を含む。
の電源１０、端子台１１及び各基板１２等を含む。
【００１４】（特徴）以上のような従来例と同様の構成
に対して、本発明実施例は、以下に示す諸特徴１）〜
５）が付加されている。
に対して、本発明実施例は、以下に示す諸特徴１）〜
５）が付加されている。
【００１５】１）本発明実施例構成の第１の特徴は、従
来の筐体内空間を上、下に２分割する筐体分離板１３を
設けて、共振器部３と強電・弱電部９とを空間的に隔離
独立させたことにある。
来の筐体内空間を上、下に２分割する筐体分離板１３を
設けて、共振器部３と強電・弱電部９とを空間的に隔離
独立させたことにある。
【００１６】２）第２の特徴は、前記レーザー光出口７
に至るレーザー光路のメカニカルシャッタ組立体８の外
側を密閉するシャッタボックス１４を設けると共に、 ３）さらに、前記レーザー光路（伝播路）を囲む各光軸
パイプ１５を、前記出力ミラー５とシャッタボックス１
４とレーザー光出口７との間にそれぞれ取り付けた。
に至るレーザー光路のメカニカルシャッタ組立体８の外
側を密閉するシャッタボックス１４を設けると共に、 ３）さらに、前記レーザー光路（伝播路）を囲む各光軸
パイプ１５を、前記出力ミラー５とシャッタボックス１
４とレーザー光出口７との間にそれぞれ取り付けた。
【００１７】４）さらに上記各光伝播路の光軸パイプ１
５、シャッタボックス１４及び共振器部３の上部筐体内
に、有害なＣＯ2 ガスを除去したエアーの供給口１６を
設けると共に、 ５）さらに、下部筐体内には、強電・弱電部９で発生し
た前記内部ガスを外部に排出するための排気ファン１７
を設けた。
５、シャッタボックス１４及び共振器部３の上部筐体内
に、有害なＣＯ2 ガスを除去したエアーの供給口１６を
設けると共に、 ５）さらに、下部筐体内には、強電・弱電部９で発生し
た前記内部ガスを外部に排出するための排気ファン１７
を設けた。
【００１８】（作用）以上のような本発明実施例の各構
成により、それぞれ以下のような各構成１）〜５）対応
作用を期待し得る。
成により、それぞれ以下のような各構成１）〜５）対応
作用を期待し得る。
【００１９】１）筐体分離板１３の新設により、強電・
弱電部９と共振器部３とが空間的に隔離されているた
め、強電・弱電部９にて発生した前記有機物諸成分ガス
が、共振器部３、光路部（光軸パイプ）１５等へ侵入し
て、加工品質に影響を与える怖れがなくなる。
弱電部９と共振器部３とが空間的に隔離されているた
め、強電・弱電部９にて発生した前記有機物諸成分ガス
が、共振器部３、光路部（光軸パイプ）１５等へ侵入し
て、加工品質に影響を与える怖れがなくなる。
【００２０】２）シャッタボックス１４の存在により、
光伝播路が密閉されて、不要ガスの侵入が防止される。
光伝播路が密閉されて、不要ガスの侵入が防止される。
【００２１】３）光軸パイプ１５により、２）項同様の
効果が得られる。
効果が得られる。
【００２２】４）ＣＯ2 除去エアー供給口１６により、
光伝播路内ＣＯ2 濃度を低下させ、レーザー光の発散を
抑制すると共に、雰囲気の変化によるレーザービームの
変化を抑制する。
光伝播路内ＣＯ2 濃度を低下させ、レーザー光の発散を
抑制すると共に、雰囲気の変化によるレーザービームの
変化を抑制する。
【００２３】５）強電・弱電部９筐体内の排気ファン１
７により、発生した有機物成分ガスを外部に排出するこ
とにより、筐体内に排出流れが創られ、例え、筐体分離
板１３部等に多少の隙間等があっても、上部の共振器部
３に悪影響及ぼすガスが侵入することを実質的に防止し
得る。
７により、発生した有機物成分ガスを外部に排出するこ
とにより、筐体内に排出流れが創られ、例え、筐体分離
板１３部等に多少の隙間等があっても、上部の共振器部
３に悪影響及ぼすガスが侵入することを実質的に防止し
得る。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
レーザー加工機のレーザー発振器のレーザー光路部、共
振器部と電源部が同一筐体内で互に空間分離されてお
り、またレーザー光路部、共振器部には有害ガス除去エ
アーを供給し、電源部筐体内には有害ガス排気ファンを
配設して、悪影響ガスを筐体外へ排出するよう構成した
ため、レーザー光路内の雰囲気が常に一定となり、発振
器が生成する悪影響ガスの影響を受けることが定常的に
なくなる。
レーザー加工機のレーザー発振器のレーザー光路部、共
振器部と電源部が同一筐体内で互に空間分離されてお
り、またレーザー光路部、共振器部には有害ガス除去エ
アーを供給し、電源部筐体内には有害ガス排気ファンを
配設して、悪影響ガスを筐体外へ排出するよう構成した
ため、レーザー光路内の雰囲気が常に一定となり、発振
器が生成する悪影響ガスの影響を受けることが定常的に
なくなる。
【００２５】このため、加工工程時のレーザー光の発散
角度等が定常化して、加工条件が安定し、従来のような
加工トラブルの発生を解消し得る。
角度等が定常化して、加工条件が安定し、従来のような
加工トラブルの発生を解消し得る。
【図１】 実施例のレーザー発振器の筐体内構成概要説
明図
明図
１ レーザー発振器 ２ 筐体 ３ 共振器部 ４ 放電管 ５ 出力ミラー ６ リアミラー ７ レーザー光出口 ８ メカニカルシャッタ ９ 強電・弱電部（電源部） １０ 電源 １１ 端子台 １２ 制御基板 １３ 筐体分離板 １４ シャッタボックス １５ 光軸パイプ １６ ＣＯ2 除去エアー供給口 １７ 排気ファン
Claims (1)
- 【請求項１】 レーザー加工機用の、レーザー光共振器
部、光路部及び電源部一体型筐体構造のレーザー発振器
において、 前記筐体内の前記光路部を含むレーザー光共振器部と、
前記電源部との両空間部を互に独立に隔離する手段を備
え、 前記光路部のシャッタ部をボックス的に密閉して前記光
路部以外と分離し、 さらに前記空間的に分離した前記共振器部筐体内には、
ＣＯ2 ガス除去用エアー供給手段を、 一方、前記電源部筐体内には、その内部発生ガスの外部
排出手段をそれぞれ備えたことを特徴とするレーザー加
工機のレーザー発振器構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000133342A JP2001320111A (ja) | 2000-05-02 | 2000-05-02 | レーザー加工機用のレーザー発振器構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000133342A JP2001320111A (ja) | 2000-05-02 | 2000-05-02 | レーザー加工機用のレーザー発振器構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001320111A true JP2001320111A (ja) | 2001-11-16 |
Family
ID=18641854
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000133342A Pending JP2001320111A (ja) | 2000-05-02 | 2000-05-02 | レーザー加工機用のレーザー発振器構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001320111A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006227176A (ja) * | 2005-02-16 | 2006-08-31 | Nikon Corp | 光源装置及び光源装置のパージ方法 |
| CN107900536A (zh) * | 2017-12-26 | 2018-04-13 | 宁夏小牛自动化设备有限公司 | 防尘激光器及串焊机及激光器的防尘方法 |
| CN108376900A (zh) * | 2017-02-01 | 2018-08-07 | 发那科株式会社 | 激光装置 |
-
2000
- 2000-05-02 JP JP2000133342A patent/JP2001320111A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006227176A (ja) * | 2005-02-16 | 2006-08-31 | Nikon Corp | 光源装置及び光源装置のパージ方法 |
| CN108376900A (zh) * | 2017-02-01 | 2018-08-07 | 发那科株式会社 | 激光装置 |
| JP2018125419A (ja) * | 2017-02-01 | 2018-08-09 | ファナック株式会社 | レーザ装置 |
| US10326255B2 (en) | 2017-02-01 | 2019-06-18 | Fanuc Corporation | Laser device |
| CN107900536A (zh) * | 2017-12-26 | 2018-04-13 | 宁夏小牛自动化设备有限公司 | 防尘激光器及串焊机及激光器的防尘方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070416 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090324 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090430 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090526 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20091006 |