JP2001319960A - 搬送装置、基板搬送方法、および電気光学装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板等の被搬送物に撓みが生じた場合でも被
搬送物を確実に吸引把持することができる搬送装置およ
び搬送装置等を提供する。 【解決手段】 基板１２０を搬送する搬送装置１００に
おいて、基板１２０を吸引把持したときに基板１２０の
面に略平行となる面を有するアーム部１０１と、アーム
部１０１の上面１０１ａから突出して設けられ、基板１
２０の面に接触して基板１２０の中央近辺を吸引する吸
引部１０２と、を具備し、アーム部１０１には真空装置
１１３が接続される吸引管１０１ｂが、吸引部１０２に
は基板１２０の面を吸着するための開口１０２ｃが、そ
れぞれ形成されるとともに、吸引部１０２の開口１０２
ｃがアーム部１０１の吸引管１０１ｂに連通されてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板等の被搬送物
を確実に吸引把持することができる搬送装置および搬送
方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶パネルの製造工程では、液晶パネル
を構成する基板を搬送するための搬送ロボットが用いら
れる。搬送ロボットにより、基板をラックから取出し、
ラックへ収納し、あるいは製造時における工程間の基板
の受け渡しを行っている。搬送ロボットにおける基板の
把持方法として各種の方法が用いられるが、その一つと
して基板を吸引して搬送する方法が採用されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、基板を吸引す
る方法において、基板が撓んだ場合に、基板と接触する
吸引部と基板との間に隙間が生じ、基板を充分な力で吸
引できなくなるおそれがあるという問題があった。

【０００４】本発明は、基板等の被搬送物に撓みが生じ
た場合でも被搬送物を確実に吸引把持することができる
搬送装置および搬送装置等を提供することを目的とす
る。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の搬送装置は、板
状の被搬送物を搬送する搬送装置において、前記被搬送
物の中央近辺を吸引把持する把持装置と、前記把持装置
を駆動する駆動装置と、を備え、前記把持装置は、前記
被搬送物を吸引把持したときに前記被搬送物の面に略平
行となる面を有するアーム部と、前記アーム部の面から
突出して設けられ、前記被搬送物の面に接触して前記被
搬送物の中央近辺を吸引する吸引部と、を具備し、前記
アーム部には真空装置が接続される吸引管が、前記吸引
部には前記被搬送物の前記面を吸着するための開口が、
それぞれ形成されるとともに、前記吸引部の開口が前記
アーム部の吸引管に連通されていることを特徴とする。

【０００６】この搬送装置によれば、被搬送物が撓んで
も被搬送物がアーム部に接触しなくなるため、被搬送物
が吸引部から引き離されることがなくなり被搬送物を確
実に吸引把持することができる。また、吸引部によって
被搬送物の中央近辺を吸引するので、被搬送物の撓みが
大きくなった場合であっても、吸引部により吸引される
部位における被搬送物の面が大きく傾かないので、被搬
送物と吸引部との間に隙間が生じにくく、したがって、
被搬送物を確実に吸引把持することができる。

【０００７】前記吸引部は、前記アーム部とは別の部材
を用いて構成されていてもよい。

【０００８】この場合には、吸引部として適した材料を
用いることができる。例えば、吸引部として柔軟性ある
いは弾力性を有する材料を使用した場合には、基板の傾
きに対して吸引部を追従させることができ、したがっ
て、被搬送物と吸引部との間の隙間の発生をより確実に
防止できる。

【０００９】前記部材は前記開口の周囲を取り囲むよう
に前記アーム部の面に取り付けられるリング状部材であ
ってもよい。

【００１０】前記リング状部材は柔軟性を有する部材を
介して前記アーム部の面に取り付けられていてもよい。

【００１１】この場合には、被搬送物の傾きに応じて柔
軟性を有する部材が変形するため、基板の傾きに対して
リング状部材を追従させることができ、したがって、被
搬送物と吸引部との間の隙間の発生をより確実に防止で
きる。

【００１２】前記柔軟性を有する部材は前記リング状部
材を前記アーム部の面に対し接着する接着層として機能
するものであってもよい。

【００１３】この場合には、柔軟性を有する部材をリン
グ状部材を接着するための接着層として兼ねることがで
きるため、構造を単純化することができる。接着層とし
て、例えば、両面テープを用いることができる。

【００１４】本発明の搬送装置は、板状の被搬送物を搬
送する搬送装置において、前記被搬送物の中央近辺を吸
引把持する把持装置と、前記把持装置を駆動する駆動装
置と、を備え、前記把持装置は、前記被搬送物の面に接
触するリング状部材と、前記リング状部材の傾きを許容
するように前記リング状部材を支持する柔軟性を有する
部材と、を具備することを特徴とする。

【００１５】この搬送装置によれば、被搬送物が撓んで
も被搬送物がアーム部に接触しなくなるため、被搬送物
が吸引部から引き離されることがなくなり被搬送物を確
実に吸引把持することができる。

【００１６】また、この搬送装置によれば、被搬送物の
中央近辺を吸引把持するので、被搬送物の撓みが大きく
なった場合であっても、吸引部により吸引される部位に
おける被搬送物の面が大きく傾かないので、被搬送物と
吸引部との間に隙間が生じにくい。また、リング状部材
の傾きを許容するようにリング状部材を支持する柔軟性
を有する部材を備えるので、被搬送物の傾きに応じて柔
軟性を有する部材が変形するため、基板の傾きに対して
リング状部材を追従させることができ、被搬送物と吸引
部との間の隙間の発生をより確実に防止できる。したが
って、被搬送物を確実に吸引把持することができる。

【００１７】本発明の搬送方法は、板状の被搬送物を搬
送する搬送方法において、前記被搬送物の中央近辺を吸
引把持する把持装置と、前記被搬送物を吸引把持した前
記把持装置を駆動することにより前記被搬送物を搬送す
る駆動装置と、を用い、前記把持装置は、前記被搬送物
を吸引把持したときに前記被搬送物の面に略平行な面を
有するアーム部と、前記アーム部の面から突出して設け
られ、前記被搬送物の面に接触する吸引部と、を具備
し、前記アーム部には真空装置が接続される吸引管が、
前記吸引部には前記被搬送物の前記面を吸着するための
開口が、それぞれ形成されるとともに、前記吸引部の開
口が前記アーム部の吸引管に連通されていることを特徴
とする。

【００１８】この搬送方法によれば、被搬送物が撓んで
も被搬送物がアーム部に接触しなくなるため、被搬送物
が吸引部から引き離されることがなくなり被搬送物を確
実に吸引把持することができる。

【００１９】また、この搬送方法によれば、吸引部によ
って被搬送物の中央近辺を吸引するので、被搬送物の撓
みが大きくなった場合であっても、吸引部により吸引さ
れる部位における被搬送物の面が大きく傾かないので、
被搬送物と吸引部との間に隙間が生じにくく、したがっ
て、被搬送物を確実に吸引把持することができる。

【００２０】前記吸引部は、前記アーム部とは別の部材
を用いて構成されていてもよい。

【００２１】この場合には、吸引部として適した材料を
用いることができる。例えば、吸引部として柔軟性ある
いは弾力性を有する材料を使用した場合には、基板の傾
きに対して吸引部を追従させることができ、したがっ
て、被搬送物と吸引部との間の隙間の発生をより確実に
防止できる。

【００２２】前記部材は前記開口の周囲を取り囲むよう
に前記アーム部の面に取り付けられるリング状部材であ
ってもよい。

【００２３】前記リング状部材は柔軟性を有する部材を
介して前記アーム部の面に取り付けられていてもよい。

【００２４】この場合には、被搬送物の傾きに応じて柔
軟性を有する部材が変形するため、基板の傾きに対して
リング状部材を追従させることができ、したがって、被
搬送物と吸引部との間の隙間の発生をより確実に防止で
きる。

【００２５】前記柔軟性を有する部材は前記リング状部
材を前記アーム部の面に対し接着する接着層として機能
するものであってもよい。

【００２６】この場合には、柔軟性を有する部材をリン
グ状部材を接着するための接着層として兼ねることがで
きるため、構造を単純化することができる。接着層とし
て、例えば、両面テープを用いることができる。

【００２７】本発明の搬送方法は、板状の被搬送物を搬
送する搬送方法において、前記被搬送物の中央近辺を吸
引把持する把持装置と、前記把持装置を駆動する駆動装
置と、を用い、前記把持装置は、前記被搬送物の面に接
触するリング状部材と、前記リング状部材の傾きを許容
するように前記リング状部材を支持する柔軟性を有する
部材と、を具備することを特徴とする。

【００２８】この搬送方法によれば、被搬送物の中央近
辺を吸引把持するので、被搬送物の撓みが大きくなった
場合であっても、吸引部により吸引される部位における
被搬送物の面が大きく傾かないので、被搬送物と吸引部
との間に隙間が生じにくい。また、リング状部材の傾き
を許容するようにリング状部材を支持する柔軟性を有す
る部材を備えるので、被搬送物の傾きに応じて柔軟性を
有する部材が変形するため、基板の傾きに対してリング
状部材を追従させることができ、被搬送物と吸引部との
間の隙間の発生をより確実に防止できる。したがって、
被搬送物を確実に吸引把持することができる。

【００２９】本発明の電気光学装置の製造方法は、請求
項７〜１２のいずれかに記載の搬送方法を用いて前記被
搬送物としての電気光学パネル基板を搬送する工程を含
むことを特徴とする。

【００３０】この電気光学装置の製造方法によれば、被
搬送物と吸引部との間の隙間の発生を防止することによ
り、被搬送物を確実に吸引把持することができる。

【００３１】

【発明の実施の形態】（搬送装置の実施形態）以下、図
１〜図５を参照して、本発明による搬送装置の一実施形
態について説明する。図１は本実施形態の搬送装置を示
す平面図、図２は図１のII−II線方向から見た側面図、
図３（ａ）は図１の一部拡大図、図３（ｂ）は図３
（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。本実施形態の搬送装置
１００は、液晶パネルを構成する基板を搬送するための
基板搬送装置であり、ラックからの基板の取出し、ラッ
クへの基板の収納、製造工程間における基板の受け渡し
等に用いられる。

【００３２】図１〜図３に示すように、基板搬送装置１
００は、先端が二股に分かれたＴ字状のアーム部１０１
を備える。アーム部１０１は回転軸１０１ｄ（図１）を
中心として回転可能とされている。また、図１において
上下方向（水平方向）および図２において上下方向（鉛
直方向）に平行移動可能とされている。アーム部１０１
の内部には真空ポンプ１１３（図４）が接続された吸引
管１０１ｂが形成されている。

【００３３】図２において上面に相当するアーム部１０
１の上面１０１ａは平面状に形成されるとともに、一列
に並んだ３つの吸引部１０２が上面１０１ａから上方向
に突出して設けられている。また、アーム部１０１の上
面１０１ａにはそれぞれの吸引部１０２ごとに開口１０
２ｃが形成されており、それぞれの開口１０２ｃは吸引
管１０１ｂに連通されている。さらに、吸引部１０２
は、各開口１０２ｃの周りを取り囲むように配置された
ステンレス製のリング状部材１０２ａと、リング状部材
１０２ａをアーム部１０１の上面１０１ａに対して接着
する両面テープ１０２ｂとを備える。両面テープ１０２
ｂはリング状部材１０２ａとアーム部１０１の上面１０
１ａとの間の気密性を維持しつつ、リング状部材１０２
ａをアーム部１０１の上面１０１ａに対して取り付けて
いる。基板１２０はリング状部材１０２ａに接触した状
態で吸引把持される。また、両面テープ１０２ｂはある
程度の柔軟性および弾性を有しており、リング状部材１
０２ａとアーム部１０１の上面１０１ａとの間の気密性
を維持したままリング状部材１０２ａの動きに合せて変
形可能とされている。

【００３４】なお、図２に示すように、製造工程におい
て、搬送装置１００により搬送された基板１２０は、例
えば、載置台１２１に設けられた当て部材１２１ａによ
り位置決めされて、載置台１２１に受け渡される。図２
の矢印Ｐに示すように、載置台１２１は基板１２０の受
け渡しに対応した所定のタイミングで鉛直方向に駆動さ
れる。

【００３５】図４は搬送装置１００の制御系を示す制御
ブロック図である。図４に示すように、搬送装置１００
は搬送装置１００全体の動作を制御する制御装置１１１
と、制御装置１１１に接続されてアーム部１０１の運動
を制御するアーム部駆動制御装置１１２と、制御装置１
１１に接続されて基板の吸着／非吸着を制御する真空ポ
ンプ１１３および真空系の各所に設けられた複数の電磁
弁１１４ａ，１１４ｂ…を備える。また、アーム部駆動
制御装置１１２には、アーム部１０１を図１において上
下方向（水平方向）に、あるいは図２において上下方向
（鉛直方向）に、それぞれ駆動するためのアーム部直線
駆動機構１１６ａ，１１６ｂと、アーム部１０１を回転
軸１０１ｄ周りに回転駆動するためのアーム部回転駆動
機構１１７とが接続されている。

【００３６】図５（ａ）および図５（ｂ）は、基板１２
０が吸引部１０２に吸引された状態を示しており、図５
（ａ）は基板１２０に撓みがない場合を、図５（ｂ）は
基板１２０に撓みがある場合を、図５（ｃ）は基板１２
０に図５（ｂ）と逆方向の撓みがある場合を、それぞれ
示している。なお、図５（ｂ）および図５（ｃ）では、
基板１２０の撓みを実際よりも大きく図示している。

【００３７】本実施形態の搬送装置１００では、吸引部
１０２がアーム部１０１の上面１０１ａから突出して設
けられているので、図５（ｃ）に示すように基板１２０
がその両端が下がる方向に撓んだ場合であっても、基板
１２０がアーム部１０１に接触せず、基板１２０を確実
に吸着することができる。

【００３８】また、本実施形態の搬送装置１００では、
基板１２０が接触するステンレス製のリング状部材１０
２ａを、柔軟性を有する部材および接着層としての両面
テープ１０２ｂを介して取り付けているので、基板１２
０の撓みに対応してリング状部材１０２ａの向きが変化
するため、リング状部材１０２ａと基板との間に隙間が
生じることなく基板を確実に吸引把持できる。また、搬
送装置１００では、図５（ａ）〜（ｃ）に示すように吸
引部１０２によって基板の中央近辺を吸引することによ
り基板を把持するので、基板１２０が大きく撓んだとき
であっても、リング状部材１０２ａに接触する領域にお
ける基板表面の傾きはそれほど大きくならず、アーム部
１０１の上面１０１ａと基板表面とがほぼ平行に保たれ
るため、リング状部材１０２ａと基板１２０との間に隙
間が生じにくい。したがって、基板１２０の端部を吸引
する場合と比較して、より確実に基板を把持することが
できる。

【００３９】（比較例）図５（ｄ）は搬送装置に吸引部
１０２を設けない場合（比較例）を示している。この場
合には、基板１２０がその両端が下がる方向に撓んだと
きに、基板１２０がアーム部１０１に接触して基板１２
０の中央部が浮き上がり、基板１２０が吸着できなかっ
た。これに対して、上記のように本実施形態では吸引部
１０２がアーム部１０１の上面１０１ａから突出してい
るため、基板１２０を確実に吸着できる（図５（ｃ）参
照）。

【００４０】（電気光学装置の例）以下、図６および図
７を参照して、製造工程において搬送装置１００により
搬送されて製造される電気光学装置として、液晶装置を
例に挙げて説明する。

【００４１】図６は、液晶装置を分解して示す斜視図、
図７はこの液晶装置の部分断面図である。図６および図
７に示すように、この液晶装置１は、液晶パネル２と、
液晶パネル２に接続された実装構造体３とを備える。ま
た、必要に応じて、バックライト等の照明装置、その他
の付帯機器が液晶パネル２に付設される。

【００４２】液晶パネル２は、シール材４によって接着
された一対の基板６ａおよび基板６ｂを有し、それらの
基板間に形成される間隙、いわゆるセルギャップに液晶
が封入される。基板６ａおよび基板６ｂは、一般には透
光性材料、例えばガラス、合成樹脂等によって形成され
る。液晶パネル２の製造工程において、これらの基板６
ａおよび基板６ｂは搬送装置１００によって搬送され
る。

【００４３】一方の基板６ａの内側表面には電極７ａが
形成され、他方の基板６ｂの内側表面には電極７ｂが形
成される。これらの電極７ａあるいは電極７ｂはストラ
イプ状または文字、数字、その他の適宜のパターン状に
形成される。また、これらの電極は、例えばＩＴＯ（In
dium Tin Oxide：インジウムスズ酸化物）等の透光性材
料によって形成される。

【００４４】基板６ａおよび基板６ｂの外側表面には、
それぞれ偏光板８ａおよび偏光板８ｂが貼り付けられ
る。

【００４５】基板６ａは基板６ｂから張り出す張り出し
部を有し、その張り出し部に複数の端子９が形成され
る。これらの端子９は、基板６ａ上に電極７ａを形成す
るときにそれと同時に形成され、したがって、例えばＩ
ＴＯによって形成される。これらの端子９には、電極７
ａから一体に延びるもの、および導電材（不図示）を介
して電極７ｂに接続されるものが含まれる。

【００４６】なお、電極７ａ，７ｂおよび端子９は、実
際には極めて狭い間隔で多数本が基板６ａおよび６ｂ上
に形成されるが、図６では、構造を分かり易く示すため
にそれらの間隔を拡大して模式的に示し、さらにそれら
のうちの数本を図示することにして他の部分を省略して
ある。また、端子９と電極７ａとの接続状態および端子
９と電極７ｂとの接続状態も図６では省略してある。

【００４７】実装構造体３は、ベース基板である配線基
板１１上の所定位置に液晶駆動用ＩＣ１２を実装し、さ
らに配線基板１１上の他の所定位置にチップ部品１３を
実装することによって形成される。配線基板１１は、例
えばポリイミド等の可撓性のベース基板１１ａの上にＣ
ｕ等によって配線パターン１１ｂを形成することによっ
て作製される。この配線パターン１１ｂは、接着剤層を
介してベース基板１１ａの上に固着してもよいし、スパ
ッタリング法、ロールコート法等の成膜法を用いてベー
ス基板１１ａの上に直接固着してもよい。配線基板１１
は、エポキシ基板のように比較的硬質で厚みのある基板
の上にＣｕ等によって配線パターンを形成することによ
っても作製できる。

【００４８】図６および図７に示すように、配線パター
ン１１ｂには、実装構造体３の一側辺部に形成される出
力用端子１１ｃ、それに対向する側辺部に形成される入
力用端子１１ｄ、および液晶駆動用ＩＣ１２のバンプ１
２ａに接続される接続端子１１ｅが含まれる。

【００４９】なお、図７に示すように、液晶駆動用ＩＣ
１２は後述するＡＣＦ２０と同様に構成されたＡＣＦ１
２ｂを介して配線基板１１に固着され、液晶駆動用ＩＣ
１２のバンプ１２ａは、ＡＣＦ１２ｂに含まれる導電粒
子を介して接続端子１１ｅに電気的に接続される。

【００５０】なお、配線基板１１として可撓性基板を用
いてその上に実装部品を実装すればＣＯＦ（Chip On Fi
lm）方式の実装構造体が構成され、他方、配線基板１１
として硬質の基板を用いてその上に実装部品を実装すれ
ばＣＯＢ（Chip On Board）方式の実装構造体が構成さ
れる。

【００５１】図６および図７に示すように、実装構造体
３はＡＣＦ２０（Anisotropic Conductive Film：異方
性導電膜）を介して基板６ａに固定される。このとき、
実装構造体３の出力用端子１６ａはＡＣＦ２０を介して
基板６ａの端子９と接続される。このＡＣＦ２０は、周
知の通り一対の端子間を異方性を持たせて電気的に一括
接続するために用いられる導電性のある高分子フィルム
であって、図７に示すように、例えば、熱可塑性または
熱硬化性の接着用樹脂２１の中に多数の導電粒子２２を
分散させることによって形成される。

【００５２】（電子機器の実施形態）図８は、本発明に
よる電子機器の一実施形態である携帯電話機を示してい
る。ここに示す携帯電話機３０は、アンテナ３１、スピ
ーカ３２、液晶装置１、キースイッチ３３、マイクロホ
ン３４等の各種構成要素を、外装ケース３６に格納する
ことによって構成される。また、外装ケース３６の内部
には、上記の各構成要素の動作を制御するための制御回
路を搭載した制御回路基板３７が設けられる。液晶装置
１は図６に示す液晶装置等により構成される。なお、液
晶装置１に代えて、本発明の搬送装置を用いて製造され
た他の液晶装置、あるいは液晶装置以外の電気光学装置
を用いることができる。

【００５３】この携帯電話３０では、キースイッチ３３
およびマイクロホン３４を通して入力される信号や、ア
ンテナ３１によって受信した受信データ等が制御回路基
板３７上の制御回路へ入力される。そしてその制御回路
は、入力された各種データに基づいて液晶装置１の表示
面内に数字、文字、絵柄等の画像を表示し、さらにアン
テナ３１を介して送信データを送信する。

【００５４】（その他の実施形態）以上、好ましい実施
形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はその実施形
態に限定されるものでなく、請求の範囲に記載した発明
の範囲内で種々に改変できる。

【００５５】図６および図７に示した液晶装置は説明の
ための単なる一例であり、本発明はその他種々の構造の
液晶装置の製造工程に対しても適用できる。また、本発
明の搬送装置および搬送方法は、液晶装置以外の電気光
学装置装置、例えば、エレクトロルミネッセンスパネル
やプラズマディスプレイパネルを用いた電気光学装置の
製造工程にも適用できる。さらに、本発明の搬送装置お
よび搬送方法は電気光学装置以外の各種基板や他の被搬
送物の搬送に対して適用することもできる。

【００５６】また、図６では、電子機器としての携帯電
話機に本発明を適用する場合を例示したが、本発明はそ
れ以外の電子機器、例えば、携帯電子端末機、電子手
帳、ビデオカメラのファインダー等に対しても適用でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による搬送装置の一実施形態を示す平面
図。

【図２】図１のII−II線方向から見た側面図。

【図３】吸引部を示す図であり、（ａ）は図１の一部拡
大図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線断面図。

【図４】搬送装置の制御系を示す制御ブロック図。

【図５】基板が吸引部に吸引された状態を示す図であ
り、（ａ）は基板に撓みがない場合を示す図、（ｂ）は
その両端がアーム部から離れる方向に基板が撓んだ場合
を示す図、（ｃ）はその両端がアーム部に近づく方向に
基板が撓んだ場合を示す図。

【図６】液晶装置を分解して示す斜視図。

【図７】図６の液晶装置の部分断面図。

【符号の説明】

１ 液晶装置 １００ 搬送装置 １０１ アーム部（把持装置） １０１ａ 上面（アーム部の面） １０１ｂ 吸引管 １０２ｃ 開口 １０２ 吸引部（把持装置） １０２ａ リング状部材 １０２ｂ 両面テープ（柔軟性を有する部材、接着層） １１３ 真空ポンプ（真空装置） １２０ 基板（被搬送物） １１６ａ，１１６ｂ アーム部直線駆動機構（駆動装
置） １１７ アーム部回転駆動機構（駆動装置）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H088 FA17 FA30 HA01 HA18 HA28 MA20 3F061 AA01 CA01 CB02 CB12 CC01 DB04 DC03 5F031 CA05 FA02 FA11 GA24 GA26

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 板状の被搬送物を搬送する搬送装置にお
   いて、 前記被搬送物の中央近辺を吸引把持する把持装置と、 前記把持装置を駆動する駆動装置と、を備え、 前記把持装置は、前記被搬送物を吸引把持したときに前
   記被搬送物の面に略平行となる面を有するアーム部と、
   前記アーム部の面から突出して設けられ、前記被搬送物
   の面に接触して前記被搬送物の中央近辺を吸引する吸引
   部と、を具備し、 前記アーム部には真空装置が接続される吸引管が、前記
   吸引部には前記被搬送物の前記面を吸着するための開口
   が、それぞれ形成されるとともに、前記吸引部の開口が
   前記アーム部の吸引管に連通されていることを特徴とす
   る搬送装置。
2. 【請求項２】 前記吸引部は、前記アーム部とは別の部
   材を用いて構成されていることを特徴とする請求項１に
   記載の搬送装置。
3. 【請求項３】 前記部材は前記開口の周囲を取り囲むよ
   うに前記アーム部の面に取り付けられるリング状部材で
   あることを特徴とする請求項２に記載の搬送装置。
4. 【請求項４】 前記リング状部材は柔軟性を有する部材
   を介して前記アーム部の面に取り付けられていることを
   特徴とする請求項３に記載の搬送装置。
5. 【請求項５】 前記柔軟性を有する部材は前記リング状
   部材を前記アーム部の面に対し接着する接着層として機
   能することを特徴とする請求項４に記載の搬送装置。
6. 【請求項６】 板状の被搬送物を搬送する搬送装置にお
   いて、 前記被搬送物の中央近辺を吸引把持する把持装置と、 前記把持装置を駆動する駆動装置と、を備え、 前記把持装置は、前記被搬送物の面に接触するリング状
   部材と、 前記リング状部材の傾きを許容するように前記リング状
   部材を支持する柔軟性を有する部材と、を具備すること
   を特徴とする搬送装置。
7. 【請求項７】 板状の被搬送物を搬送する搬送方法にお
   いて、 前記被搬送物の中央近辺を吸引把持する把持装置と、 前記被搬送物を吸引把持した前記把持装置を駆動するこ
   とにより前記被搬送物を搬送する駆動装置と、を用い、 前記把持装置は、前記被搬送物を吸引把持したときに前
   記被搬送物の面に略平行な面を有するアーム部と、前記
   アーム部の面から突出して設けられ、前記被搬送物の面
   に接触する吸引部と、を具備し、 前記アーム部には真空装置が接続される吸引管が、前記
   吸引部には前記被搬送物の前記面を吸着するための開口
   が、それぞれ形成されるとともに、前記吸引部の開口が
   前記アーム部の吸引管に連通されていることを特徴とす
   る搬送方法。
8. 【請求項８】 前記吸引部は、前記アーム部とは別の部
   材を用いて構成されていることを特徴とする請求項７に
   記載の搬送方法。
9. 【請求項９】 前記部材は前記開口の周囲を取り囲むよ
   うに前記アーム部の面に取り付けられるリング状部材で
   あることを特徴とする請求項８に記載の搬送方法。
10. 【請求項１０】 前記リング状部材は柔軟性を有する部
    材を介して前記アーム部の面に取り付けられていること
    を特徴とする請求項９に記載の搬送方法。
11. 【請求項１１】 前記柔軟性を有する部材は前記リング
    状部材を前記アーム部の面に対し接着する接着層として
    機能することを特徴とする請求項１０に記載の搬送方
    法。
12. 【請求項１２】 板状の被搬送物を搬送する搬送方法に
    おいて、 前記被搬送物の中央近辺を吸引把持する把持装置と、 前記把持装置を駆動する駆動装置と、を用い、 前記把持装置は、前記被搬送物の面に接触するリング状
    部材と、 前記リング状部材の傾きを許容するように前記リング状
    部材を支持する柔軟性を有する部材と、を具備すること
    を特徴とする搬送方法。
13. 【請求項１３】 請求項７〜１２のいずれかに記載の搬
    送方法を用いて前記被搬送物としての電気光学パネル基
    板を搬送する工程を含むことを特徴とする電気光学装置
    の製造方法。