JP2001311744A - 極細コンタクトプローブ - Google Patents
極細コンタクトプローブInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】従来のプローブよりも著しく細くすることがで
き、ピッチ間隔の狭いプリント基板の検査を支障なく実
施することができる極細コンタクトプローブを提供す
る。 【解決手段】先端にニードル部を有する極細線状体にバ
ネ性を有する薄板を一体として連設し、該極細線状体に
極細筒体を密嵌させてコンタクトプローブを形成し、前
記薄板の幅は前記極細筒体の径より寸法を狭くし、薄板
の弾性力によって、前記ニードル部を前後方向に弾性移
動し得るように構成した。
き、ピッチ間隔の狭いプリント基板の検査を支障なく実
施することができる極細コンタクトプローブを提供す
る。 【解決手段】先端にニードル部を有する極細線状体にバ
ネ性を有する薄板を一体として連設し、該極細線状体に
極細筒体を密嵌させてコンタクトプローブを形成し、前
記薄板の幅は前記極細筒体の径より寸法を狭くし、薄板
の弾性力によって、前記ニードル部を前後方向に弾性移
動し得るように構成した。
Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】この発明は、微小なピッチ間
隔の半導体、電子デバイス、液晶等の基板電極若しくは
パターン等の断線、ショート等を精密にトライ検査する
ことができる極細コンタクトプローブに関する。
隔の半導体、電子デバイス、液晶等の基板電極若しくは
パターン等の断線、ショート等を精密にトライ検査する
ことができる極細コンタクトプローブに関する。
【０００２】
【従来の技術】プリント配線基板の電気回路の断線、シ
ョート等を点検するため、従来から一体型コンタクトプ
ローブが使用されている。
ョート等を点検するため、従来から一体型コンタクトプ
ローブが使用されている。
【０００３】従来の一体型コンタクトプローブは、図１
に示すように、筒状スリーブ１内に中心導体２を嵌合さ
せ、スリーブ１の後端に形成した突起部４と中心導体２
の後端との間に、小球５を介してコイルスプリング３を
固定し、中心導体２の先端部がプリント基板の被測定面
に押し当てられたときに、中心導体２がスリーブ１に対
して相対移動可能に構成されている。
に示すように、筒状スリーブ１内に中心導体２を嵌合さ
せ、スリーブ１の後端に形成した突起部４と中心導体２
の後端との間に、小球５を介してコイルスプリング３を
固定し、中心導体２の先端部がプリント基板の被測定面
に押し当てられたときに、中心導体２がスリーブ１に対
して相対移動可能に構成されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかして、最近検査す
るプリント基板のピッチ間隔が非常に狭くなってきてい
るので、更なる細く且つ信頼性、高寿命のプローブ開発
が求められているので、ニードル部の先端が振れないコ
ンタクトプローブが強く求められている。
るプリント基板のピッチ間隔が非常に狭くなってきてい
るので、更なる細く且つ信頼性、高寿命のプローブ開発
が求められているので、ニードル部の先端が振れないコ
ンタクトプローブが強く求められている。
【０００５】ニードル部の先端が若干でも移動すると、
ニードル部の先端が目的としない被測定面に当たる恐れ
が生じるからである。ニードル部を極細に形成すること
によって、それに比例してスリーブ側とのクリアランス
が縮小されるので、スリーブとの間隙を小さくすること
ができるから、ニードル部の先端の振れが改善される。
ニードル部の先端が目的としない被測定面に当たる恐れ
が生じるからである。ニードル部を極細に形成すること
によって、それに比例してスリーブ側とのクリアランス
が縮小されるので、スリーブとの間隙を小さくすること
ができるから、ニードル部の先端の振れが改善される。
【０００６】従来の図１に示すコンタクトプローブで
は、コイルスプリング３が必要であるので、コンタクト
プローブの径を細くするには、自ずから限界があった。
は、コイルスプリング３が必要であるので、コンタクト
プローブの径を細くするには、自ずから限界があった。
【０００７】この発明のうち請求項１に記載の発明は、
従来のプローブよりも著しく細くすることができ、ピッ
チ間隔の狭いプリント基板の検査を支障なく実施するこ
とができる極細コンタクトプローブを提供することを目
的とする。
従来のプローブよりも著しく細くすることができ、ピッ
チ間隔の狭いプリント基板の検査を支障なく実施するこ
とができる極細コンタクトプローブを提供することを目
的とする。
【０００８】また、請求項８に記載の発明は、上記極細
コンタクトプローブを製造するための極細筒体の製法を
提供することを目的とする。
コンタクトプローブを製造するための極細筒体の製法を
提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明者は鋭意研究の結果、コイルスプリングを使
用せずに、極細線状体からなるコンタクトプローブを弾
性材料から形成し、該線状体の中央部を薄板に形成し
て、該薄板にコイルスプリングの役割を付与させること
を想到し、本発明に到達した。
め、本発明者は鋭意研究の結果、コイルスプリングを使
用せずに、極細線状体からなるコンタクトプローブを弾
性材料から形成し、該線状体の中央部を薄板に形成し
て、該薄板にコイルスプリングの役割を付与させること
を想到し、本発明に到達した。
【００１０】即ち本発明のうち請求項１に記載の発明
は、先端にニードル部を有する極細線状体にバネ性を有
する薄板を一体として連設し、該極細線状体に極細筒体
を密嵌させてコンタクトプローブを形成し、前記薄板の
幅は前記極細筒体の径より小さくし、プローブの不具合
の発生した時には自由に脱着容易とし、更に薄板の弾性
力によって、前記ニードル部を前後方向に弾性移動し得
るように構成したことを特徴とする。
は、先端にニードル部を有する極細線状体にバネ性を有
する薄板を一体として連設し、該極細線状体に極細筒体
を密嵌させてコンタクトプローブを形成し、前記薄板の
幅は前記極細筒体の径より小さくし、プローブの不具合
の発生した時には自由に脱着容易とし、更に薄板の弾性
力によって、前記ニードル部を前後方向に弾性移動し得
るように構成したことを特徴とする。
【００１１】本出願人は、線状体に薄板を連設したコン
タクトプローブを開発し、先に特許出願したが、このも
のは、上記請求項１に記載の発明の目的は達成するが、
スェージング加工法を使用して製造するので、製造が容
易でない点で十分満足すべきものではなかった。
タクトプローブを開発し、先に特許出願したが、このも
のは、上記請求項１に記載の発明の目的は達成するが、
スェージング加工法を使用して製造するので、製造が容
易でない点で十分満足すべきものではなかった。
【００１２】本発明は、先端ニードル部に極細筒体を密
嵌させることによって、スェージング加工法を使用せず
に単にプレスするだけで前記薄板の幅は前記極細筒体の
径より小さくできるので、このコンタクトプローブを容
易に製造可能としたことを要旨とするものである。
嵌させることによって、スェージング加工法を使用せず
に単にプレスするだけで前記薄板の幅は前記極細筒体の
径より小さくできるので、このコンタクトプローブを容
易に製造可能としたことを要旨とするものである。
【００１３】本発明に使用する極細筒体は、請求項８に
記載のように、金若しくは金合金からなる極細筒体に、
極細線状体の芯金を挿通させてダイスを通過させた後、
該極細筒体より径の大きい半円状の溝を、平坦な該極細
筒体挟持部に形成した治具で上下に挟んで叩いた後、ダ
イスに装着して、前記極細線状体芯金を引っ張って抜く
ことにより製造することが出来る。
記載のように、金若しくは金合金からなる極細筒体に、
極細線状体の芯金を挿通させてダイスを通過させた後、
該極細筒体より径の大きい半円状の溝を、平坦な該極細
筒体挟持部に形成した治具で上下に挟んで叩いた後、ダ
イスに装着して、前記極細線状体芯金を引っ張って抜く
ことにより製造することが出来る。
【００１４】このように半円状の溝を形成した板体で挟
んで叩くことによって、金若しくは金合金は伸び、極細
筒体の内部の径は大きくなり、その結果挿通させた極細
線状体（芯金）ダイスに装着して抜くことが出来る。
んで叩くことによって、金若しくは金合金は伸び、極細
筒体の内部の径は大きくなり、その結果挿通させた極細
線状体（芯金）ダイスに装着して抜くことが出来る。
【００１５】次に、本発明の実施の形態を図面に基づい
て説明する。
て説明する。
【００１６】
【発明の実施の形態】図２及び図３は、本発明コンタク
トプローブの実施例を示すものであり、極細線状体６に
極細筒体７を密嵌させ、同極細線状体６に薄板８を連設
し、同薄板８の弾性力によって、極細筒体７部分をスリ
ーブ（図示省略）に対し相対移動可能に構成した例を示
す。尚、薄板８の幅は、極細筒体７の径より若干（３〜
５μ）小さく形成している。
トプローブの実施例を示すものであり、極細線状体６に
極細筒体７を密嵌させ、同極細線状体６に薄板８を連設
し、同薄板８の弾性力によって、極細筒体７部分をスリ
ーブ（図示省略）に対し相対移動可能に構成した例を示
す。尚、薄板８の幅は、極細筒体７の径より若干（３〜
５μ）小さく形成している。
【００１７】コンタクトプローブ９の薄板８に、コイル
スプリングと同様の弾性力を付与させるため、極細線状
体６を、鋼、銅合金、バネ性を有する金合金若しくはタ
ングステンのようなバネ性を有する材料から形成する。
スプリングと同様の弾性力を付与させるため、極細線状
体６を、鋼、銅合金、バネ性を有する金合金若しくはタ
ングステンのようなバネ性を有する材料から形成する。
【００１８】薄板８を線状体としないで薄板としたの
は、線状体であると極細筒体７の径を越えて横方向に突
出し、コンタクトプローブ９を嵌合させるスリーブに強
く当たって極細筒体７部分が動かなくなるからである。
は、線状体であると極細筒体７の径を越えて横方向に突
出し、コンタクトプローブ９を嵌合させるスリーブに強
く当たって極細筒体７部分が動かなくなるからである。
【００１９】コンタクトプローブ９の後端部１１は、リ
ード線に接続することも、或いは同様に極細筒体７を密
嵌させて両端摺動型コンタクトプローブとして、被測定
物に当接するようにしても良い。
ード線に接続することも、或いは同様に極細筒体７を密
嵌させて両端摺動型コンタクトプローブとして、被測定
物に当接するようにしても良い。
【００２０】図１に示すコンタクトプローブでは、中心
導体２の外径は、０．１１以下で外径、内径共均一な超
精密管への加工は困難とされていたが、本発明によれ
ば、極細筒体（中心導体と同じ）の外径を０．０５〜
０．１ｍｍ好ましくは０．０４〜０．０８ｍｍに自在に
形成することができる。
導体２の外径は、０．１１以下で外径、内径共均一な超
精密管への加工は困難とされていたが、本発明によれ
ば、極細筒体（中心導体と同じ）の外径を０．０５〜
０．１ｍｍ好ましくは０．０４〜０．０８ｍｍに自在に
形成することができる。
【００２１】本発明の薄板８は、プローブの太さが太く
なれば長くなり、細くなれば短くなり、その太さに応じ
て長さが異なるが、長さ２〜６ｍｍ、厚さはプローブ外
径等に比例して、０．０２〜０．０４ｍｍ程度とするの
が良い。
なれば長くなり、細くなれば短くなり、その太さに応じ
て長さが異なるが、長さ２〜６ｍｍ、厚さはプローブ外
径等に比例して、０．０２〜０．０４ｍｍ程度とするの
が良い。
【００２２】本発明の薄板８に、バネ機能を十分付与さ
せるために、凹凸部１０を形成するのが好ましい。凹凸
部１０は、３ヶ所以上形成するのが特に好ましい。
せるために、凹凸部１０を形成するのが好ましい。凹凸
部１０は、３ヶ所以上形成するのが特に好ましい。
【００２３】本発明のコンタクトプローブ９は、図４に
示すように、スリーブを使用しないで、プラスチック製
プローブ取付基台１２に被検査デバイスのパット数に合
わせて摺動自在に嵌合させて使用することもできる。
示すように、スリーブを使用しないで、プラスチック製
プローブ取付基台１２に被検査デバイスのパット数に合
わせて摺動自在に嵌合させて使用することもできる。
【００２４】プローブ取付基台１２には貫通孔が形成さ
れ、同貫通孔に極細筒体部分が摺動自在に嵌合され、プ
ランジャー受けパイプ１３が圧入嵌合された後部貫通孔
に、コンタクトプローブの後端部１１が接触している。
プランジャー受けパイプ１３先端は、漏斗状のガイドに
形成されているので、コンタクトプローブの後端部１１
を容易にプランジャー受けパイプ１３に密接させること
が出来る。
れ、同貫通孔に極細筒体部分が摺動自在に嵌合され、プ
ランジャー受けパイプ１３が圧入嵌合された後部貫通孔
に、コンタクトプローブの後端部１１が接触している。
プランジャー受けパイプ１３先端は、漏斗状のガイドに
形成されているので、コンタクトプローブの後端部１１
を容易にプランジャー受けパイプ１３に密接させること
が出来る。
【００２５】プランジャー受けパイプ１３には、リード
線を接続したり、或いはインターフェイス（電源等の接
続）等を可能とすることが出来る。
線を接続したり、或いはインターフェイス（電源等の接
続）等を可能とすることが出来る。
【００２６】薄板８には、隣接するコンタクトプローブ
薄板８同士の接触防止のため、絶縁体被覆が施されてい
る。
薄板８同士の接触防止のため、絶縁体被覆が施されてい
る。
【００２７】図4に示すように、先端ニードル部１４が
被測定物１５に接触して押圧されると、押圧により略均
一に伸縮した波型（ストローク）が生じる。ストローク
量は、凹凸部１０の数に比例する。
被測定物１５に接触して押圧されると、押圧により略均
一に伸縮した波型（ストローク）が生じる。ストローク
量は、凹凸部１０の数に比例する。
【００２８】コンタクト時の押圧ストロークは、押圧に
より極細筒体７の外径一杯にゆるいＳ字形に曲げられ、
曲げられた分だけ全長が短くなる。即ち、Ｓ字形状に変
形する分だけプローブに必要なストロークが得られる。
より極細筒体７の外径一杯にゆるいＳ字形に曲げられ、
曲げられた分だけ全長が短くなる。即ち、Ｓ字形状に変
形する分だけプローブに必要なストロークが得られる。
【００２９】本発明のコンタクトプローブ９のストロー
クは、極細筒体７の長さに比例するので、極細筒体７の
長さによって調整コントロールすることができる。
クは、極細筒体７の長さに比例するので、極細筒体７の
長さによって調整コントロールすることができる。
【００３０】本発明のコンタクトプローブ９は、外周を
絶縁体被膜で被覆し、これらコンタクトプローブを複数
本外部筒体に内装することもできる。このように単一の
スリーブに複数のコンタクトプローブを内装すると、電
流と電圧とを同時に掛けることができるから、より精密
な検査をすることができる
絶縁体被膜で被覆し、これらコンタクトプローブを複数
本外部筒体に内装することもできる。このように単一の
スリーブに複数のコンタクトプローブを内装すると、電
流と電圧とを同時に掛けることができるから、より精密
な検査をすることができる
【００３１】次に、本発明のコンタクトプローブの製造
方法を説明する。
方法を説明する。
【００３２】まず、鋼、銅合金若しくはタングステンの
ようなバネ性を有する弾性材料から、直径約０．１ｍｍ
の極細線状体６を形成し、同極細線状体６先端に極細筒
体７を嵌合させる。線状体６の嵌合部は若干変形してい
るので、嵌合後は、抜けないようになっている。
ようなバネ性を有する弾性材料から、直径約０．１ｍｍ
の極細線状体６を形成し、同極細線状体６先端に極細筒
体７を嵌合させる。線状体６の嵌合部は若干変形してい
るので、嵌合後は、抜けないようになっている。
【００３３】筒体７に線状体６を嵌合させるには、筒体
７を治具で保持し、線状体６を掴持した移動部材を同線
状体６が筒体７に嵌合するように移動させれば良い。
７を治具で保持し、線状体６を掴持した移動部材を同線
状体６が筒体７に嵌合するように移動させれば良い。
【００３４】同様にして、直径約０．０７ｍｍの極細線
状体６に内径０．１ｍｍの極細筒体７を密嵌させ、ま
た、直径約０．０５ｍｍの極細線状体６に内径０．０８
ｍｍの極細筒体７を密嵌させた。
状体６に内径０．１ｍｍの極細筒体７を密嵌させ、ま
た、直径約０．０５ｍｍの極細線状体６に内径０．０８
ｍｍの極細筒体７を密嵌させた。
【００３５】次いで、極細筒体に連設した中央部の極細
線状体を、プレス加工して極細筒体７の外径以下の厚
さ、好ましくは厚さ約０．０３〜０．０８ｍｍのリボン
バネ状薄板８に加工する。
線状体を、プレス加工して極細筒体７の外径以下の厚
さ、好ましくは厚さ約０．０３〜０．０８ｍｍのリボン
バネ状薄板８に加工する。
【００３６】この時薄板８の幅は、極細筒体の外径より
若干マイナスとする。例えば、極細筒体の外径を１００
とした場合に、薄板の幅は８０〜９５程度とするのが好
ましい。
若干マイナスとする。例えば、極細筒体の外径を１００
とした場合に、薄板の幅は８０〜９５程度とするのが好
ましい。
【００３７】次いで、バネ機能を効果的に付与させるた
めに、凹凸部１０を形成し図２及び図３に示す本発明の
コンタクトプローブとする。
めに、凹凸部１０を形成し図２及び図３に示す本発明の
コンタクトプローブとする。
【００３８】上記本発明に使用する極細筒体７は、金若
しくは金合金から製造する。これは、金若しくは金合金
は、導電性が優れ、しかも叩くと軟らかくなって薄く伸
びるから、薄い肉厚の極細筒体が形成できるからであ
る。
しくは金合金から製造する。これは、金若しくは金合金
は、導電性が優れ、しかも叩くと軟らかくなって薄く伸
びるから、薄い肉厚の極細筒体が形成できるからであ
る。
【００３９】パイプに芯金を入れて引き抜く手法では、
内径０．５ｍｍの筒体７を形成するのが限度であった。
内径０．５ｍｍの筒体７を形成するのが限度であった。
【００４０】内径０．５ｍｍ、外径０．６〜０．７ｍｍ
の筒体を、芯の線状体を入れずに、複数回公知の引き抜
きダイスを通過させると、内径０．２ｍｍ、外径０．３
ｍｍの極細筒体７を形成することが出来る。
の筒体を、芯の線状体を入れずに、複数回公知の引き抜
きダイスを通過させると、内径０．２ｍｍ、外径０．３
ｍｍの極細筒体７を形成することが出来る。
【００４１】内径０．５ｍｍの筒体から複数回ダイスを
通過させることによって細くできるのは、この程度が限
度である。これより細くしようとすると、中心の穴が不
均衡になり精密な筒体７が得られない。
通過させることによって細くできるのは、この程度が限
度である。これより細くしようとすると、中心の穴が不
均衡になり精密な筒体７が得られない。
【００４２】このように形成した極細筒体７に、芯金と
して直径０．１ｍｍの線状体を入れて、ダイスを通過さ
せて筒体７を心に密着させると、更に肉厚を薄くするこ
とができる。筒体７に線状体を入れるのは、前記と同様
に筒体７を治具で保持し、線状体を掴持した移動部材を
移動させて嵌合させれば良い。
して直径０．１ｍｍの線状体を入れて、ダイスを通過さ
せて筒体７を心に密着させると、更に肉厚を薄くするこ
とができる。筒体７に線状体を入れるのは、前記と同様
に筒体７を治具で保持し、線状体を掴持した移動部材を
移動させて嵌合させれば良い。
【００４３】上記の様に薄くした極細筒体７を心の線状
体から抜くことは、従来法では不可能であった。
体から抜くことは、従来法では不可能であった。
【００４４】本発明によれば、極細筒体より径の大きい
半円状の溝を形成した板体の間に心を挿入した極細筒体
７を挟んで叩いた後、極細筒体７の内径より若干大き
く、外径より若干小さい穴を形成する治具で挟持して、
極細筒体７を引っ張れば、内径０．１ｍｍ、外径０．１
３ｍｍの必要な役割を有する極細筒体７として抜くこと
が出来る。
半円状の溝を形成した板体の間に心を挿入した極細筒体
７を挟んで叩いた後、極細筒体７の内径より若干大き
く、外径より若干小さい穴を形成する治具で挟持して、
極細筒体７を引っ張れば、内径０．１ｍｍ、外径０．１
３ｍｍの必要な役割を有する極細筒体７として抜くこと
が出来る。
【００４５】これを更に引き抜きダイスで抜くと、内径
０．０７ｍｍ、外径０．１ｍｍの極細筒体７を形成する
ことが出来る。
０．０７ｍｍ、外径０．１ｍｍの極細筒体７を形成する
ことが出来る。
【００４６】更にこれを引き抜きダイスで抜くと、内径
０．０５ｍｍ、外径０．０８ｍｍの順に精密の極細筒体
７を形成することが出来る。
０．０５ｍｍ、外径０．０８ｍｍの順に精密の極細筒体
７を形成することが出来る。
【００４７】本発明によれば、バネ性を有する薄板部を
形成することによって、コイルスプリングと同等のスト
ロークの役割を付与させたので、コンタクトプローブを
従来よりも著しく細く形成することができる。
形成することによって、コイルスプリングと同等のスト
ロークの役割を付与させたので、コンタクトプローブを
従来よりも著しく細く形成することができる。
【００４８】コンタクトプローブを細くしたいというこ
とは誰でも考えたことであるが、現実に本発明のような
超極細の超精密な製品を得ることは、従来は全く不可能
であった。
とは誰でも考えたことであるが、現実に本発明のような
超極細の超精密な製品を得ることは、従来は全く不可能
であった。
【００４９】また、本発明によれば、極細線状体の先端
に極細筒体を嵌合させることによって、中央部の線状体
をプレスするだけで、筒体の外径以下の幅の薄板を形成
することができるので、本発明のコンタクトプローブを
極めて容易に形成することができる。
に極細筒体を嵌合させることによって、中央部の線状体
をプレスするだけで、筒体の外径以下の幅の薄板を形成
することができるので、本発明のコンタクトプローブを
極めて容易に形成することができる。
【００５０】
【発明の効果】以上述べた如く、本発明のうち請求項１
に記載の発明によれば、コンタクトプローブを従来の半
分程度の極細とすることができるので、ピッチ間隔の狭
いプリント基板等の検査を支障なく行うことができると
共に、先端ニードル部が中心から移動し難くなるので、
先端が目的としない被測定物に当たる恐れを効果的に回
避できるというこの種従来のコンタクトプローブには、
全く見られない絶大な効果を奏する。
に記載の発明によれば、コンタクトプローブを従来の半
分程度の極細とすることができるので、ピッチ間隔の狭
いプリント基板等の検査を支障なく行うことができると
共に、先端ニードル部が中心から移動し難くなるので、
先端が目的としない被測定物に当たる恐れを効果的に回
避できるというこの種従来のコンタクトプローブには、
全く見られない絶大な効果を奏する。
【００５１】また、請求項８に記載の発明によれば、従
来製造し得なかった極細筒体を容易に製造することが出
来る。この極細筒体を使用することによって、本発明の
コンタクトプローブを極めて容易に形成することができ
る。
来製造し得なかった極細筒体を容易に製造することが出
来る。この極細筒体を使用することによって、本発明の
コンタクトプローブを極めて容易に形成することができ
る。
【図１】従来の一体型コンタクトプローブを示す断面図
である。
である。
【図２】本発明のコンタクトプローブを示す横断面図で
ある。
ある。
【図３】本発明コンタクトプローブの他の例を示す縦断
面図である。
面図である。
【図４】本発明コンタクトプローブを取付基台に装着さ
せた状態を示す断面図である。
せた状態を示す断面図である。
６・・………極細線状体 ７・・………極細筒体 ８・・………薄板 ９・・………コンタクトプローブ １０・・………コンタクトプローブに形成した凹凸部 １１・・………コンタクトプローブの後部
Claims (10)
- 【請求項１】先端にニードル部を有する極細線状体にバ
ネ性を有する薄板を一体として連設し、該極細線状体に
極細筒体を密嵌させてコンタクトプローブを形成し、前
記薄板の幅は前記極細筒体の径より寸法を狭くし、薄板
の弾性力によって、前記ニードル部を前後方向に弾性移
動し得るように構成したことを特徴とする極細コンタク
トプローブ。 - 【請求項２】前記極細線状体の直径が、０．０５〜０．
１ｍｍである請求項１に記載のコンタクトプローブ。 - 【請求項３】前記極細線状体を、鋼、銅合金、バネ性を
有する金合金若しくはタングステンから形成してなる請
求項１又は２に記載のコンタクトプローブ。 - 【請求項４】前記極細筒体を、金若しくは金合金から形
成してなる請求項１〜３のいずれか１項に記載のコンタ
クトプローブ。 - 【請求項５】前記コンタクトプローブの前記薄板を絶縁
体被膜で被覆し、これらコンタクトプローブを複数個ス
リーブに内装してなる請求項１〜４のいずれか１項に記
載のコンタクトプローブ。 - 【請求項６】前記薄板に、凹凸部を交互に形成する請求
項５に記載のコンタクトプローブ。 - 【請求項７】バネ性を有する材料からなる極細線状体の
先端に極細筒体を密嵌させ、該極細筒体密嵌部に連設し
た極細線状体をプレスして前記薄板に形成することを特
徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブの製造
法。 - 【請求項８】金若しくは金合金からなる極細筒体に、極
細線状体の芯金を挿通させてダイスを通過させた後、該
極細筒体より径の大きい半円状の溝を、平坦な該極細筒
体挟持部に形成した治具で上下に挟んで叩いた後、ダイ
スに装着して、前記極細線状体を引っ張って抜くことを
特徴とする極細筒体の製造法。 - 【請求項９】前記製造した極細筒体を、更に引き抜きダ
イスを通過させることによって、更に径を細くした筒体
に形成させる請求項８に記載の製造方法。 - 【請求項１０】前記製造する極細筒体の内径が、０．０
５〜０．１ｍｍであり、外径が０．０８〜０．１３ｍｍ
である請求項８又は９に記載の製造方法。
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| JP2000132112A JP3680295B2 (ja) | 2000-05-01 | 2000-05-01 | 極細コンタクトプローブ |
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| JP2005041786A Division JP2005140799A (ja) | 2005-02-18 | 2005-02-18 | 極細筒体の製造法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005098895A (ja) * | 2003-09-26 | 2005-04-14 | Kiyota Seisakusho:Kk | プローブ針 |
-
2000
- 2000-05-01 JP JP2000132112A patent/JP3680295B2/ja not_active Expired - Fee Related
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