JP2001293651A - 板状体の研磨装置 - Google Patents
板状体の研磨装置Info
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】研磨パッドの端部に発生する圧力集中を緩和し
て板状体の研磨面に発生する研磨むらを抑えることがで
きる板状体の研磨装置を提供する。 【解決手段】研磨定盤１４の端部と研磨パッド１６の端
部との間に膨縮自在なエアーバッグ１８を設け、このエ
アーバッグ１８を研磨パッド１６のツルーイング時に膨
張させる。
て板状体の研磨面に発生する研磨むらを抑えることがで
きる板状体の研磨装置を提供する。 【解決手段】研磨定盤１４の端部と研磨パッド１６の端
部との間に膨縮自在なエアーバッグ１８を設け、このエ
アーバッグ１８を研磨パッド１６のツルーイング時に膨
張させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、板状体の研磨装置
に係り、特に液晶ディスプレイ用ガラス基板を製造する
ための研磨装置に関する。
に係り、特に液晶ディスプレイ用ガラス基板を製造する
ための研磨装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図６、図７は、液晶ディスプレイ用ガラ
ス基板を製造する連続式研磨装置の概略構成図である。
図６は円形の研磨パッドを設けた定盤を回転させてガラ
ス板を研磨する装置、図７は矩形の研磨パッドを設けた
定盤を揺動させてガラス板を研磨する装置を示してい
る。
ス基板を製造する連続式研磨装置の概略構成図である。
図６は円形の研磨パッドを設けた定盤を回転させてガラ
ス板を研磨する装置、図７は矩形の研磨パッドを設けた
定盤を揺動させてガラス板を研磨する装置を示してい
る。
【０００３】図６、図７において研磨装置１、１´は、
ガラス基板となるガラス板２を、ワーク定盤３上に設け
た発泡ウレタン製のテーブルパッド４で固定し、これを
搬送手段５で搬送しながら、その搬送ラインに設置され
ている複数台の研磨装置１、１´によってガラス板２を
少量ずつ研磨して所定厚さのガラス基板を製造する。
ガラス基板となるガラス板２を、ワーク定盤３上に設け
た発泡ウレタン製のテーブルパッド４で固定し、これを
搬送手段５で搬送しながら、その搬送ラインに設置され
ている複数台の研磨装置１、１´によってガラス板２を
少量ずつ研磨して所定厚さのガラス基板を製造する。
【０００４】研磨装置１は、図８に示すように研磨パッ
ド６が支持されたアルミプレート７を研磨定盤８に固定
することにより構成されている。この研磨装置１の下方
に、ワーク定盤３（図６参照）上のテーブルパッド４
（図８参照）に固定されたガラス板２が搬送され、ガラ
ス板２が研磨装置１を通過する際に研磨パッド６により
研磨される。
ド６が支持されたアルミプレート７を研磨定盤８に固定
することにより構成されている。この研磨装置１の下方
に、ワーク定盤３（図６参照）上のテーブルパッド４
（図８参照）に固定されたガラス板２が搬送され、ガラ
ス板２が研磨装置１を通過する際に研磨パッド６により
研磨される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、連続式
研磨装置１は、研磨パッド６の外側からガラス板２が入
り込む装置であり、研磨パッド６の端部６Ａに圧力が集
中するという特性があるため、研磨パッド６を通過した
ガラス板２の研磨面に研磨むらが発生するという問題が
あった。
研磨装置１は、研磨パッド６の外側からガラス板２が入
り込む装置であり、研磨パッド６の端部６Ａに圧力が集
中するという特性があるため、研磨パッド６を通過した
ガラス板２の研磨面に研磨むらが発生するという問題が
あった。
【０００６】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、研磨パッドの端部に発生する圧力集中を緩和し
て板状体の研磨面に発生する研磨むらを抑えることがで
きる板状体の研磨装置を提供することを目的とする。
もので、研磨パッドの端部に発生する圧力集中を緩和し
て板状体の研磨面に発生する研磨むらを抑えることがで
きる板状体の研磨装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、研磨定盤に研磨パッドを設け、該研磨パ
ッドを板状体に押し付けるとともに、研磨パッドと板状
体とを相対的に移動させて板状体を研磨する研磨装置に
おいて、前記研磨定盤の端部と前記研磨パッドの端部と
の間に、該研磨パッドの端部が逃げ込む空間部を形成し
たことを特徴とする。
成するために、研磨定盤に研磨パッドを設け、該研磨パ
ッドを板状体に押し付けるとともに、研磨パッドと板状
体とを相対的に移動させて板状体を研磨する研磨装置に
おいて、前記研磨定盤の端部と前記研磨パッドの端部と
の間に、該研磨パッドの端部が逃げ込む空間部を形成し
たことを特徴とする。
【０００８】本発明は、前記目的を達成するために、研
磨定盤に研磨パッドを設け、該研磨パッドを板状体に押
し付けるとともに、研磨パッドと板状体とを相対的に移
動させて板状体を研磨する研磨装置において、前記研磨
定盤の端部と前記研磨パッドとの間に膨縮自在な膨縮手
段を設け、該膨縮手段を膨縮させることにより、研磨パ
ッドの端部の加圧を制御可能にしたことを特徴とする。
磨定盤に研磨パッドを設け、該研磨パッドを板状体に押
し付けるとともに、研磨パッドと板状体とを相対的に移
動させて板状体を研磨する研磨装置において、前記研磨
定盤の端部と前記研磨パッドとの間に膨縮自在な膨縮手
段を設け、該膨縮手段を膨縮させることにより、研磨パ
ッドの端部の加圧を制御可能にしたことを特徴とする。
【０００９】請求項１に記載の発明によれば、板状体の
研磨時において、研磨定盤の端部と研磨パッドの端部と
の間に形成された空間部に、研磨パッドの端部が空間部
に逃げ込むので、圧力集中が緩和され、研磨むらを抑え
ることができる。
研磨時において、研磨定盤の端部と研磨パッドの端部と
の間に形成された空間部に、研磨パッドの端部が空間部
に逃げ込むので、圧力集中が緩和され、研磨むらを抑え
ることができる。
【００１０】請求項２に記載の発明によれば、研磨パッ
ドを板状体に押し付けると、膨縮手段が研磨パッドの端
部において押圧されて収縮するので、研磨パッドの端部
が板状体から逃げる。これにより、研磨パッドの端部に
発生する圧力集中が緩和されるので、板状体に発生する
研磨むらを抑えることができる。
ドを板状体に押し付けると、膨縮手段が研磨パッドの端
部において押圧されて収縮するので、研磨パッドの端部
が板状体から逃げる。これにより、研磨パッドの端部に
発生する圧力集中が緩和されるので、板状体に発生する
研磨むらを抑えることができる。
【００１１】請求項３に記載の発明は、前記膨縮手段と
してエアーバッグを適用したものであり、エアーバッグ
は、エアを供給するだけで膨張するので、簡易な構造で
膨縮手段を構成することができる。
してエアーバッグを適用したものであり、エアーバッグ
は、エアを供給するだけで膨張するので、簡易な構造で
膨縮手段を構成することができる。
【００１２】請求項４に記載の発明によれば、研磨パッ
ドをツルーイング用砥石で面出しする時に、膨縮手段を
膨張させて研磨パッドの端部を加圧し、該端部をツルー
イング用砥石に押し付けて研削する。これにより、面出
しされた研磨パッドには、従来のような突起が発生せ
ず、良好に面出しされる。よって、板状体の研磨精度を
向上させることができる。
ドをツルーイング用砥石で面出しする時に、膨縮手段を
膨張させて研磨パッドの端部を加圧し、該端部をツルー
イング用砥石に押し付けて研削する。これにより、面出
しされた研磨パッドには、従来のような突起が発生せ
ず、良好に面出しされる。よって、板状体の研磨精度を
向上させることができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
る板状体の研磨装置の好ましい実施の形態を詳説する。
る板状体の研磨装置の好ましい実施の形態を詳説する。
【００１４】第１の実施の形態の研磨装置は、図１の如
く研磨パッド６の端部６Ａの位置に対応する研磨定盤８
の端部を切除している。かかる研磨装置によれば、研磨
定盤８の端部を切除して形成された空間部９に、アルミ
プレート７の弾性変形により研磨パッド６の端部６Ａが
逃げ込むので、圧力集中が緩和され、研磨むらを抑える
ことができる。
く研磨パッド６の端部６Ａの位置に対応する研磨定盤８
の端部を切除している。かかる研磨装置によれば、研磨
定盤８の端部を切除して形成された空間部９に、アルミ
プレート７の弾性変形により研磨パッド６の端部６Ａが
逃げ込むので、圧力集中が緩和され、研磨むらを抑える
ことができる。
【００１５】しかしながら、図１の研磨装置は、研磨パ
ッド６をツルーイング用砥石に押し付けて面出しする時
に、研磨パッド６の端部６Ａがツルーイング用砥石から
逃げてしまうので、その端部６Ａが面出しされず、ツル
ーイング後に前記逃げが戻り、図２の如く突起のような
形状として残存するという問題があった。
ッド６をツルーイング用砥石に押し付けて面出しする時
に、研磨パッド６の端部６Ａがツルーイング用砥石から
逃げてしまうので、その端部６Ａが面出しされず、ツル
ーイング後に前記逃げが戻り、図２の如く突起のような
形状として残存するという問題があった。
【００１６】図３は、第２の実施の形態の研磨装置１０
の構成を示す断面図である。この研磨装置１０は、液晶
ディスプレイ用ガラス基板の連続式研磨装置に適用され
る装置であり、不図示のガラス板搬送ラインに沿って複
数台設置されている。
の構成を示す断面図である。この研磨装置１０は、液晶
ディスプレイ用ガラス基板の連続式研磨装置に適用され
る装置であり、不図示のガラス板搬送ラインに沿って複
数台設置されている。
【００１７】研磨装置１０は、主として支持定盤１２、
研磨定盤１４、研磨パッド１６、アルミプレート１７及
びエアーバッグ（膨縮手段）１８等から構成される。こ
の支持定盤１２の上端軸部１２Ａが、不図示のモータの
駆動軸に連結され、このモータからの回転駆動力によっ
て所定の回転数で回転される。なお、支持定盤１２、研
磨定盤１４及びアルミプレート１７には、研磨パッド１
６に研磨液（スラリ）を供給するためのスラリ供給路１
３が設けられている。
研磨定盤１４、研磨パッド１６、アルミプレート１７及
びエアーバッグ（膨縮手段）１８等から構成される。こ
の支持定盤１２の上端軸部１２Ａが、不図示のモータの
駆動軸に連結され、このモータからの回転駆動力によっ
て所定の回転数で回転される。なお、支持定盤１２、研
磨定盤１４及びアルミプレート１７には、研磨パッド１
６に研磨液（スラリ）を供給するためのスラリ供給路１
３が設けられている。
【００１８】研磨定盤１４は、鋳鉄製の高剛性構造であ
り、その表面形状は円形、若しくは矩形状に形成されて
いる。なお、本実施の形態では、円形形状として研磨定
盤１４を説明する。
り、その表面形状は円形、若しくは矩形状に形成されて
いる。なお、本実施の形態では、円形形状として研磨定
盤１４を説明する。
【００１９】支持定盤１２と研磨定盤１４との間には、
複数の空気ばね２０、２０…が配設されている。この空
気ばね２０は、支持定盤１２に形成されたエア通路２
２、圧力調整装置及び不図示のロータリージョイントを
介してエアポンプに接続されている。また、支持定盤１
２と研磨定盤１４とは、複数の積層ゴム２４、２４…を
介して連結されている。
複数の空気ばね２０、２０…が配設されている。この空
気ばね２０は、支持定盤１２に形成されたエア通路２
２、圧力調整装置及び不図示のロータリージョイントを
介してエアポンプに接続されている。また、支持定盤１
２と研磨定盤１４とは、複数の積層ゴム２４、２４…を
介して連結されている。
【００２０】一方、エアーバッグ１８は、研磨定盤１４
の下面の端部外周に形成された凹条溝２６に配設されて
いる。このエアーバッグ１８は、略リング状に形成され
た１枚のゴムシートで形成されている。また、図４に示
すようにエアーバッグ１８の外周部１８Ａ及び内周部１
８Ｂが、研磨定盤１４にボルト２８、３０で固定された
リング状パッキン３２、３４によってシールされてい
る。
の下面の端部外周に形成された凹条溝２６に配設されて
いる。このエアーバッグ１８は、略リング状に形成され
た１枚のゴムシートで形成されている。また、図４に示
すようにエアーバッグ１８の外周部１８Ａ及び内周部１
８Ｂが、研磨定盤１４にボルト２８、３０で固定された
リング状パッキン３２、３４によってシールされてい
る。
【００２１】更に、エアーバッグ１８と凹条溝２６との
空間部１９に連通するように、研磨定盤１４の外周部に
はエア通路３６が形成される。このエア通路３６は、図
３の如くバルブ３８及び圧力調整装置を介してエア通路
２２と連結されている。したがって、バルブ３８が開放
されると、エアポンプからの圧縮エアがロータリージョ
イント及びエア通路３６を介して図４の空間部１９に供
給される。これにより、エアーバッグ１８が膨張するの
で、アルミプレート１７に支持された研磨パッド１６の
端部が下方に向けて押圧され、下方に弾性変形される。
空間部１９に連通するように、研磨定盤１４の外周部に
はエア通路３６が形成される。このエア通路３６は、図
３の如くバルブ３８及び圧力調整装置を介してエア通路
２２と連結されている。したがって、バルブ３８が開放
されると、エアポンプからの圧縮エアがロータリージョ
イント及びエア通路３６を介して図４の空間部１９に供
給される。これにより、エアーバッグ１８が膨張するの
で、アルミプレート１７に支持された研磨パッド１６の
端部が下方に向けて押圧され、下方に弾性変形される。
【００２２】次に、前記の如く構成された研磨装置１０
の作用について説明する。
の作用について説明する。
【００２３】まず、ガラス板の研磨時には、圧縮エアが
エアーバッグ１８に供給されないようにバルブ３８を閉
じておくか、又は、バルブ３８を開けたままで圧縮エア
ー圧をツルーイング用砥石で面出しする時よりも低い適
当に選択された圧力に保っておく。この状態で研磨パッ
ド１６をガラス板に押し付けると、エアーバッグ１８が
研磨パッド１６の端部に押圧されて収縮するので、研磨
パッド１６の端部がガラス板から逃げる。これにより、
研磨パッド１６の端部に発生する圧力集中が緩和される
ので、ガラス板に発生する研磨むらを抑えることができ
る。
エアーバッグ１８に供給されないようにバルブ３８を閉
じておくか、又は、バルブ３８を開けたままで圧縮エア
ー圧をツルーイング用砥石で面出しする時よりも低い適
当に選択された圧力に保っておく。この状態で研磨パッ
ド１６をガラス板に押し付けると、エアーバッグ１８が
研磨パッド１６の端部に押圧されて収縮するので、研磨
パッド１６の端部がガラス板から逃げる。これにより、
研磨パッド１６の端部に発生する圧力集中が緩和される
ので、ガラス板に発生する研磨むらを抑えることができ
る。
【００２４】次に、研磨パッド１６をツルーイング用砥
石で面出しする時には、バルブ３８を開放し、エアーバ
ッグ１８を図５（Ａ）の如く膨張させるか、又は、前述
の様に研磨中にバルブ３８を開けたままにする時には、
前記で選択された圧力よりも高い適当に選択された圧力
に保っておく。これにより、エアーバッグ１８によって
研磨パッド１６の端部１６Ａがアルミプレート１７ごと
加圧され、この端部１６Ａが図５（Ｂ）のツルーイング
用砥石４０に押し付けられて研削される。したがって、
面出しされた研磨パッド１６の端部１６Ａには、従来の
ような突起が発生せず、図５（Ｃ）に示すようなＲ面１
６Ｂが形成され、良好に面出しされる。
石で面出しする時には、バルブ３８を開放し、エアーバ
ッグ１８を図５（Ａ）の如く膨張させるか、又は、前述
の様に研磨中にバルブ３８を開けたままにする時には、
前記で選択された圧力よりも高い適当に選択された圧力
に保っておく。これにより、エアーバッグ１８によって
研磨パッド１６の端部１６Ａがアルミプレート１７ごと
加圧され、この端部１６Ａが図５（Ｂ）のツルーイング
用砥石４０に押し付けられて研削される。したがって、
面出しされた研磨パッド１６の端部１６Ａには、従来の
ような突起が発生せず、図５（Ｃ）に示すようなＲ面１
６Ｂが形成され、良好に面出しされる。
【００２５】このように面出しされた研磨パッド１６
で、ガラス板の研磨を継続して実施すると、研磨パッド
１６の端部１６ＡはＲ面１６Ｂが形成されているので、
エアーバッグ１８が収縮するまでもなく、端部１６Ａに
発生する圧力集中が緩和される。よって、ガラス板の研
磨精度が向上する。
で、ガラス板の研磨を継続して実施すると、研磨パッド
１６の端部１６ＡはＲ面１６Ｂが形成されているので、
エアーバッグ１８が収縮するまでもなく、端部１６Ａに
発生する圧力集中が緩和される。よって、ガラス板の研
磨精度が向上する。
【００２６】本実施の形態では、膨縮手段として、エア
を供給するだけで膨張するエアーバッグ１８を適用した
ので、簡易な構造で膨縮手段を構成することができる。
を供給するだけで膨張するエアーバッグ１８を適用した
ので、簡易な構造で膨縮手段を構成することができる。
【００２７】なお、本実施の形態では、膨縮手段として
エアーバッグ１８を適用したが、エアーバッグ１８に代
えて、圧電素子等の膨縮可能な膨縮手段を適用し、研磨
パッド１６のツルーイング時に膨張動作させるようにし
てもよい。
エアーバッグ１８を適用したが、エアーバッグ１８に代
えて、圧電素子等の膨縮可能な膨縮手段を適用し、研磨
パッド１６のツルーイング時に膨張動作させるようにし
てもよい。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る板状体
の研磨装置によれば、研磨定盤の端部と研磨パッドの端
部との間に、研磨パッドの端部が逃げ込む空間部を形成
し、板状体の研磨時において、前記空間部に研磨パッド
の端部が逃げ込むので、圧力集中が緩和され、研磨むら
を抑えることができる。
の研磨装置によれば、研磨定盤の端部と研磨パッドの端
部との間に、研磨パッドの端部が逃げ込む空間部を形成
し、板状体の研磨時において、前記空間部に研磨パッド
の端部が逃げ込むので、圧力集中が緩和され、研磨むら
を抑えることができる。
【００２９】また、本発明によれば、支持定盤の端部と
研磨パッドとの間に膨縮自在な膨縮手段を設け、膨縮手
段を膨張させることにより、研磨パッドの端部を加圧可
能に構成したので、膨縮手段の収縮作用によって研磨パ
ッドの端部に発生する圧力集中を緩和でき、また、膨縮
手段を膨張させて研磨パッドの端部をツルーイング用砥
石で研削させることにより、研磨パッドを良好に面出し
することができる。
研磨パッドとの間に膨縮自在な膨縮手段を設け、膨縮手
段を膨張させることにより、研磨パッドの端部を加圧可
能に構成したので、膨縮手段の収縮作用によって研磨パ
ッドの端部に発生する圧力集中を緩和でき、また、膨縮
手段を膨張させて研磨パッドの端部をツルーイング用砥
石で研削させることにより、研磨パッドを良好に面出し
することができる。
【００３０】また、本発明は、前記膨縮手段としてエア
ーバッグを適用したので、簡易な構造で膨縮手段を構成
することができる。
ーバッグを適用したので、簡易な構造で膨縮手段を構成
することができる。
【図１】支持定盤の端部の剛性を低くして圧力集中を防
止した説明図
止した説明図
【図２】ツルーイング終了した研磨パッドの要部拡大断
面図
面図
【図３】実施の形態の研磨装置の構造を示す断面図
【図４】図３の研磨装置に設けられたエアーバッグの要
部拡大断面図
部拡大断面図
【図５】エアーバッグによる研磨パッドのツルーイング
方法を示す遷移図
方法を示す遷移図
【図６】円形の研磨パッドを使用した連続式研磨装置の
概略図
概略図
【図７】矩形の研磨パッドを使用した連続式研磨装置の
概略図
概略図
【図８】従来の研磨装置によるガラス板研磨状況を示す
説明図
説明図
６、１６…研磨パッド、８、１４…研磨定盤、９…空間
部、１０…研磨装置、１２…支持定盤、１８…エアーバ
ッグ（膨縮手段）、２０…空気ばね、４０…ツルーイン
グ用砥石
部、１０…研磨装置、１２…支持定盤、１８…エアーバ
ッグ（膨縮手段）、２０…空気ばね、４０…ツルーイン
グ用砥石
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 福田 真 山形県米沢市八幡原４丁目2837番地11 株 式会社旭硝子ファインテクノ内 Ｆターム(参考） 3C047 AA05 AA34 3C058 AA14 AA19 CA01 CB01
Claims (4)
- 【請求項１】 研磨定盤に研磨パッドを設け、該研磨パ
ッドを板状体に押し付けるとともに、研磨パッドと板状
体とを相対的に移動させて板状体を研磨する研磨装置に
おいて、 前記研磨定盤の端部と前記研磨パッドの端部との間に、
該研磨パッドの端部が逃げ込む空間部を形成したことを
特徴とする板状体の研磨装置。 - 【請求項２】 研磨定盤に研磨パッドを設け、該研磨パ
ッドを板状体に押し付けるとともに、研磨パッドと板状
体とを相対的に移動させて板状体を研磨する研磨装置に
おいて、 前記研磨定盤の端部と前記研磨パッドとの間に膨縮自在
な膨縮手段を設け、該膨縮手段を膨縮させることによ
り、研磨パッドの端部の加圧を制御可能にしたことを特
徴とする板状体の研磨装置。 - 【請求項３】 前記膨縮手段は、エアーバッグであるこ
とを特徴とする請求項２に記載の板状体の研磨装置。 - 【請求項４】 前記膨縮手段は、前記研磨パッドをツル
ーイング用砥石で面出しする際に膨張され、研磨パッド
の端部がツルーイング砥石で研削されることを特徴とす
る請求項２又は３に記載の板状体の研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000115185A JP4239129B2 (ja) | 2000-04-17 | 2000-04-17 | 板状体の研磨装置及び研磨パッドのツルーイング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000115185A JP4239129B2 (ja) | 2000-04-17 | 2000-04-17 | 板状体の研磨装置及び研磨パッドのツルーイング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001293651A true JP2001293651A (ja) | 2001-10-23 |
| JP4239129B2 JP4239129B2 (ja) | 2009-03-18 |
Family
ID=18626879
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000115185A Expired - Fee Related JP4239129B2 (ja) | 2000-04-17 | 2000-04-17 | 板状体の研磨装置及び研磨パッドのツルーイング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4239129B2 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007043263A1 (ja) * | 2005-10-14 | 2007-04-19 | Asahi Glass Company, Limited | 研磨パッド用ツルーイング部材及び研磨パッドのツルーイング方法 |
| CN1326662C (zh) * | 2005-03-10 | 2007-07-18 | 浙江工业大学 | 磁控式气囊柔性抛光工具 |
| CN1326661C (zh) * | 2005-03-10 | 2007-07-18 | 浙江工业大学 | 磁流变式气囊柔性抛光工具 |
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