JP2001292047A - 表面実装型水晶振動子の製造方法 - Google Patents

表面実装型水晶振動子の製造方法

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JP2001292047A
JP2001292047A JP2000102879A JP2000102879A JP2001292047A JP 2001292047 A JP2001292047 A JP 2001292047A JP 2000102879 A JP2000102879 A JP 2000102879A JP 2000102879 A JP2000102879 A JP 2000102879A JP 2001292047 A JP2001292047 A JP 2001292047A
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sheet
insulating substrate
sealing
collective insulating
resin
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JP2000102879A
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Kazumasa Fukazawa
和真 深澤
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Citizen Electronics Co Ltd
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Citizen Electronics Co Ltd
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  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 封止管収納部(貫通孔)加工工数の低減が課
題。 【解決手段】 集合絶縁基板1Bの平面上に各行毎のカ
ットライン12(X方向)を挟んで1つの収納部に2つ
の水晶振動子2の封止管を向き合わせて収納する複数個
の封止管収納部(貫通孔3A)と、各列毎のカットライ
ン13(Y方向)上に上下面導電パターン接続用の複数
個のスルーホール4を形成し、電極パターン形成後、水
晶振動子2、ICチップ5、チップコンデンサ6等の電
子部品を実装する。シート部材を集合絶縁基板1Bの下
面と、上面側の封止管に貼付し、上下シート部材の間へ
封止樹脂で封止する。硬化後にシート部材を剥離する。
集合絶縁基板1Bの直交するX、Y方向のカットライン
12、13に沿って切断・分離して単個の表面実装型水
晶振動子を製造する。超薄型のパッケージが可能で、集
合基板の貫通孔の数は半減し、加工コストが低減する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、携帯電話、ページ
ャー、コードレス電話、AV機器、OA機器等の制御用
の基準信号を得るための水晶振動子を搭載した表面実装
型水晶振動子及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より多く使用されているシリンダー
型水晶振動子は、高品質、高信頼性、低コストが特徴で
あり、近年、携帯機器の普及に伴い、携帯用機器等に使
用される電子部品には、小型、薄型、面実装型であるこ
とが強く要望されている。水晶振動子にも面実装型で、
しかも小型、薄型であることが求められている。そこ
で、信頼性の高いシリンダー型水晶振動子をベースとし
た表面実装型水晶振動子が開発されている。
【0003】多数個取りする従来の表面実装型水晶振動
子の製造方法として、例えば、特開平11−27087
号公報にその技術が開示されている。その概要について
説明する。図1は、本発明と従来技術と共通な表面実装
型水晶振動子の斜視図、図5は、集合絶縁基板にシリン
ダー型水晶振動子の封止管収納部の貫通孔及びスルーホ
ール加工工程を示す平面図、図6は、シリンダー型水晶
振動子、ICチップ、チップコンデンサ等の電子部品を
実装する実装工程を示す平面図である。
【0004】図1に示す様に、10は、表面実装型水晶
振動子であり、1はガラスエポキシ樹脂等よりなる平面
が略長方形形状の絶縁基板で、平面上にシリンダー型水
晶振動子2の封止管を収納する貫通穴3とスルーホール
4が形成されている。絶縁基板1の貫通穴3にシリンダ
ー型水晶振動子2の封止管を沈み込ませ、ICチップ
5、チップコンデンサ6等の電子部品を搭載する。絶縁
基板1の上面及び下面に形成した導電パターンを、前記
スルーホール4に形成された半円形状をしたスルーホー
ル電極4aを介して電気的に接続すると共に、前記導電
パターンに、貫通穴3に収納されたシリンダー型水晶振
動子2の端子2aを半田付け等で接続する。前記シリン
ダー型水晶振動子2及びICチップ5、チップコンデン
サ6等の電子部品は、エボキシ樹脂等の封止樹脂7で樹
脂封止される。シリンダー型水晶振動子2の封止管の上
面及び下面の一部、または上面及び下面のどちらかの一
部に、封止樹脂7より露出する露出部2bが形成され
る。シリンダー型水晶振動子2の封止管の露出部2b
は、上面側で封止樹脂面7aと、下面側で絶縁基板1の
下面1aと、略同一面になるように樹脂封止される。従
って、表面実装型水晶振動子10の総厚は、シリンダー
型水晶振動子2の封止管の直径と略一致して、超薄型の
パッケージが可能となる。
【0005】従来のシリンダー型水晶振動子の製造方法
について、図5、図6に基づいてその概要を説明する。
図5において、貫通孔及びスルーホールの加工工程は、
ガラスエポキシ樹脂等よりなる多数個取りする集合絶縁
基板1Aの各列毎に、所定の位置に複数個のシリンダー
型水晶振動子2の封止管収納用の貫通穴3と、上下面導
電パターン接続用のスルーホール4とを、切削又はプレ
ス等の加工手段により形成する。スルーホール4はY方
向のカットライン13の直線上に複数個(例えば、3個
づつ)形成される。
【0006】次に、メッキ工程及びエッチング工程を経
て、前記集合絶縁基板1Aの上面及び下面に導電パター
ンを形成し、前記スルーホール4の壁面に、上下の導電
パターンを接続するスルーホール電極4aを形成して、
集合絶縁基板1Aが完成がされる。
【0007】図6において、実装工程は、先ず、上記導
電パターンが形成された集合絶縁基板1Aの導電パター
ンの電子部品を搭載する所定位置に、銀ペースト等の導
電性接着剤、または半田ペースト等をスクリーン印刷等
の手段で塗布する。
【0008】次に、前記集合絶縁基板1Aの所定位置
に、シリンダー型水晶振動子2及びICチップ5、チッ
プコンデンサ6等の電子部品を搭載する。
【0009】各電子部品が搭載された集合絶縁基板1A
をリフロー炉等でリフローすることにより、銀ペースト
等の導電性接着剤、または半田ペースト等を固着させ
て、各シリンダー型水晶振動子2の端子2a及びICチ
ップ5、チップコンデンサ6等の電子部品を導電パター
ンに電気的に接続する。
【0010】次に、図示しないが、前記集合絶縁基板1
Aの下面側に、シート又は粘着シートよりなるシート部
材を貼付、または押し当てる。更に、前記集合絶縁基板
1Aの上面側のシリンダー型水晶振動子2の封止管に、
上記と同様なシート又は粘着シートよりなるシート部材
を貼付、または押し当てる。
【0011】次に、上下のシート部材の間にエボキシ樹
脂等の封止樹脂7を封入、キュアする。シリンダー型水
晶振動子2の固定と他のICチップ5及びチップコンデ
ンサ6等の電子部品が保護される。
【0012】上記した封止樹脂7が硬化した後で、上下
のシート部材を剥がすことにより、シリンダー型水晶振
動子2の上面及び下面の一部、または上面及び下面のど
ちらかの一部が露出され、露出部2b(図1)が現れ
る。表面実装型水晶振動子10の総厚、シリンダー型水
晶振動子2の封止管の直径と略一致することになる。
【0013】次に、前記表面実装型水晶振動子集合体
を、直交するX、Y方向のカットライン12、13に沿
って、ダイシングマシン又はスライシングマシン等で切
断して単体の表面実装型水晶振動子10に分割する。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た表面実装型水晶振動子の構造には次のような問題点が
ある。即ち、集合絶縁基板加工工程において、製品1個
に対してシリンダー型水晶振動子の封止管を収納する収
納部である貫通孔を1個づつ孔明けしていた。そのため
集合基板の加工コストが高くなっている。集合基板の加
工コストを低減することが課題になる。
【0015】本発明は上記従来の課題に鑑みなされたも
のであり、その目的は、集合基板に形成する収納部(貫
通孔)の加工工数を低減して、多数個取り生産を行い、
超薄型で安価な表面実装型水晶振動子の製造方法を提供
するものである。
【0016】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明における表面実装型水晶振動子の構造は、多
数個取りする集合絶縁基板の平面上に各行毎のカットラ
インを挟んで1つの収納部に2つの水晶振動子の封止管
を向き合わせて収納する複数個の封止管収納部と、各列
毎のカットライン上に上下面導電パターン接続用の複数
個のスルーホールを形成する集合絶縁基板加工工程と、
メッキ処理により前記スルーホールの内面を含む集合絶
縁基板の全表面にメッキ層を形成するメッキ工程と、メ
ッキレジストを付加し、パターンマスクにより露光現像
をし、パターンエッチングを行い、前記集合絶縁基板の
上面及び下面に導電パターンと、前記スルーホールにス
ルーホール電極を形成するエッチング工程と、電子部品
搭載部の各パターンに、銀ペースト、または半田ペース
ト等の導電性接着剤を塗布し、シリンダー型水晶振動
子、ICチップ、チップコンデンサ等の電子部品を搭載
し、更に、半田ペーストまたは導電性接着剤をリフロー
等で、固着する実装工程と、前記集合絶縁基板の下面側
にシートまたは粘着シート等のシート部材を貼付または
押し当てる第1のシート部材取着工程と、前記基板の上
面側でシリンダー型水晶振動子の封止管上部に、シート
または粘着シート等のシート部材を貼付または押し当て
る第2のシート部材取着工程と、前記シート部材の間へ
封止樹脂を充填する樹脂封止工程と、充填封止樹脂をキ
ュアして硬化する樹脂硬化工程と、封止樹脂硬化後に、
前記上下のシート部材を剥がすシート剥離工程と、ダイ
シングマシン又はスライシングマシンで集合絶縁基板を
直交する2つのカットラインに沿って切断して単体の表
面実装型水晶振動子に分割する切断工程と、からなるこ
とを特徴とするものである。
【0017】また、多数個取りする集合絶縁基板の平面
上に各行毎のカットラインを挟んで1つの収納部に2つ
の水晶振動子の封止管を向き合わせて収納する複数個の
封止管収納部と、各列毎のカットライン上に上下面導電
パターン接続用の複数個のスルーホールを形成する集合
絶縁基板加工工程と、メッキ処理により前記スルーホー
ルの内面を含む集合絶縁基板の全表面にメッキ層を形成
するメッキ工程と、メッキレジストを付加し、パターン
マスクにより露光現像をし、パターンエッチングを行
い、前記集合絶縁基板の上面及び下面に導電パターン
と、前記スルーホールにスルーホール電極を形成するエ
ッチング工程と、電子部品搭載部の各パターンに、銀ペ
ースト、または半田ペースト等の導電性接着剤を塗布
し、シリンダー型水晶振動子、ICチップ、チップコン
デンサ等の電子部品を搭載し、更に、半田ペーストまた
は導電接着剤をリフロー等で、固着する実装工程と、前
記集合絶縁基板の下面側にシート又は粘着シート等のシ
ート部材を貼付または押し当てる第1のシート部材取着
工程と、前記集合絶縁基板上に実装したシリンダー型水
晶振動子、ICチップ、チップコンデンサ等の電子部品
間及びシート部材までを封止樹脂で充填する樹脂封止工
程と、前記基板の上面側でシリンダー型水晶振動子の封
止管上部に、シート又は粘着シート等のシート部材を貼
付または押し当てる第2のシート部材取着工程と、充填
封止樹脂をキュアして硬化する樹脂硬化工程と、封止樹
脂硬化後に、前記上下のシート部材を剥がすシート剥離
工程と、ダイシングマシン又はスライシングマシンで集
合絶縁基板を直交する2つのカットラインに沿って切断
して単体の表面実装型水晶振動子に分割する切断工程
と、からなることを特徴とするものである。
【0018】また、前記多数個取りする集合絶縁基板の
平面上に各行毎のカットラインを挟んで1つの収納部に
2つの水晶振動子の封止管を向き合わせて収納する複数
個の封止管収納部は、それぞれ貫通穴であることを特徴
とするものである。
【0019】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明にお
ける表面実装型水晶振動子及びその製造方法について説
明する。図1〜図4は、本発明の実施の形態である表面
実装型水晶振動子及びその製造方法に係わり、図2は、
集合絶縁基板にシリンダー型水晶振動子の封止管収納用
の貫通孔及びスルーホール加工工程を示す平面図。図3
は、集合絶縁基板にシリンダー型水晶振動子、ICチッ
プ、チップコンデンサ等の電子部品を実装する実装工程
を示す平面図。図4は、図3のA−A線断面図である。
図4(a)は、第1のシート部材取着工程、図4(b)
は、第2のシート部材取着工程、図4(c)は、樹脂封
止工程、図4(d)は、上下のシート部材を剥がす剥離
工程を示す各断面図である。図において、従来技術と同
一部材は同一符号で示す。
【0020】図2〜図4に基づいて、 前述した図1の
構成からなる表面実装型水晶振動子の製造方法について
説明する。
【0021】図2に示す様に、貫通穴及びスルーホール
の加工工程は、ガラスエポキシ樹脂等よりなる多数個取
りする多数個取りする集合絶縁基板1Bの平面上に各行
毎(X方向)のカットライン12を挟んで1つの収納部
に2つの水晶振動子の封止管を向き合わせて設けた複数
個の封止管収納部である貫通孔3Aと、上下面導電パタ
ーン接続用のスルーホール4とを、切削又はプレス等の
加工手段により形成する。スルーホール4はY方向のカ
ットライン13の直線上に複数個(例えば、3個づつ)
形成される。
【0022】次に、メッキ工程において、従来と同様
に、集合絶縁基板1Bの全表面を洗浄した後、前記集合
絶縁基板1Bの全表面を無電解メッキにより銅メッキ層
を形成し、その上に電解メッキによりニッケルメッキ層
を形成し、更に、その上に電解メッキにより金メッキ層
を形成する。
【0023】更に、エッチング工程において、メッキレ
ジストを付加し、パターンマスクにより露光現像し、前
記集合絶縁基板1Bの上面及び下面に導電パターンを形
成し、前記スルーホール4の壁面に、上下の導電パター
ンを接続するスルーホール電極4aを形成して、集合絶
縁基板1Bが完成がされる。
【0024】図3において、実装工程は、先ず、上記導
電パターンが形成された集合絶縁基板1Bの導電パター
ンの電子部品を搭載する所定位置に、銀ペースト等の導
電性接着剤、または半田ペースト等をスクリーン印刷等
の手段で塗布する。
【0025】次に、前記集合絶縁基板1Bの所定位置
に、シリンダー型水晶振動子2及びICチップ5、チッ
プコンデンサ6等の電子部品を搭載する。
【0026】各電子部品が搭載された集合絶縁基板1B
をリフロー炉等でリフローすることにより、銀ペースト
等の導電性接着剤、または半田ペースト等を固着させ
て、各シリンダー型水晶振動子2の端子2a及びICチ
ップ5、チップコンデンサ6等の電子部品を導電パター
ンに電気的に接続する。
【0027】図4において、図4(a)は、第1のシー
ト部材取着工程である。前記集合絶縁基板1Bの下面側
に、シート又は粘着シートよりなるシート部材14(例
えば、シリコン、ポリイミド等の弾性及び耐熱性シート
材)を貼付、または押し当てる。図4(b)は、第2の
シート部材取着工程である。前記集合絶縁基板1Bの上
面側のシリンダー型水晶振動子2の封止管に、上記と同
様なシート又は粘着シートよりなるシート部材15を貼
付、または押し当てる。後述する封止樹脂成形時に金型
等の硬い金属でなく、弾性材でシリンダー型水晶振動子
2の封止管を挟むため、水晶振動子に悪影響を与えな
い。
【0028】図4(c)は、樹脂封止工程である。上記
の上下のシート部材の間にエボキシ樹脂等の封止樹脂7
を封入・キュアする。シリンダー型水晶振動子2の固定
と他のICチップ5及びチップコンデンサ6等の電子部
品が保護される。封止樹脂7は、2枚のシート部材から
はみ出すことがない。従って、シリンダー型水晶振動子
2の封止管表面を覆うことはない。
【0029】図4(c)は上下のシート部材を剥がす剥
離工程である。上記した封止樹脂7が硬化した後で、上
下のシート部材14、15を剥がすことにより、シリン
ダー型水晶振動子2の上面及び下面の一部、または上面
及び下面のどちらかの一部が露出され、露出部2bが現
れる。表面実装型水晶振動子10の総厚、シリンダー型
水晶振動子2の封止管の直径と略一致することになる。
【0030】次に、切断工程において、前記表面実装型
水晶振動子集合体を、直交するX、Y方向のカットライ
ン12、13に沿って、ダイシングマシン又はスライシ
ングマシン等で切断して単体の表面実装型水晶振動子1
0に分割する。図6に示すように、Y方向のカットライ
ン13の列上には、複数個のスルーホール4が形成され
ており、スルーホール4上を切断することにより、単体
の表面実装型水晶振動子10では半円形状のスルーホー
ル電極4aとなる。
【0031】上述した製造方法において、前記第1のシ
ート部材取着工程と第2のシート部材取着工程との間
に、樹脂封止工程を入れても良い。即ち、図4(a)で
示す、第1のシート部材取着工程の後に、前記集合絶縁
基板1B上に実装したシリンダー型水晶振動子2、IC
チップ5、チップコンデンサ6等の電子部品間及びシー
ト部材14までを封止樹脂4で充填する樹脂封止工程を
行い、前記基板の上面側でシリンダー型水晶振動子の封
止管上部及び封止樹脂7の面に、シートまたは粘着シー
ト等のシート部材15を貼付または押し当てる第2のシ
ート部材取着工程を行い、充填封止樹脂をキュアして硬
化する樹脂硬化工程を行い、封止樹脂硬化後に、上述と
同様に、シート剥離工程と、単体の表面実装型水晶振動
子10に分割する切断工程とを行う。
【0032】また、上述した製造方法において、前記集
合絶縁基板1Bの下面側に第1のシート部材取着工程の
後に、集合絶縁基板1B上にシリンダー型水晶振動子
2、ICチップ5、チップコンデンサ6等の電子部品を
実装する実装工程を行っても良い。
【0033】上述した製造方法において、シリンダー型
水晶振動子の封止管収納用の貫通孔3Aが形成された集
合絶縁基板1Bを用いたが、貫通孔3Aの代わりに薄肉
の凹部(収納部)を形成した集合絶縁基板を使用しても
良い。
【0034】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明によれば、集
合絶縁基板の各行毎のカットラインを挟んで設けた1個
の封止管収納部である貫通孔に、2個の水晶振動子の封
止管を向き合わせる様にして収納する。従来の製造方法
に比較して、貫通孔の個数を半分にすることができる。
集合絶縁基板の貫通孔加工コストを低減することが可能
である。
【0035】シリンダー型水晶振動子の上下面の少なく
ともいずれか一方の一部が封止樹脂より露出されている
構造のため、表面実装型水晶振動子の総厚は、略シリン
ダー型水晶振動子の封止管の直径と等しくなる。超薄型
で安価な表面実装型水晶振動子の製造方法を提供するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明1従来技術と共通な表面実装型水晶振動
子の斜視図である。
【図2】本発明の実施の形態に係わる集合絶縁基板にシ
リンダー型水晶振動子の封止管収納用の貫通穴及びスル
ーホール加工工程を示す平面図である。
【図3】本発明の実施の形態に係わる集合絶縁基板にシ
リンダー型水晶振動子、ICチップ及びチップコンデン
サ等の電子部品を実装する実装工程を示す平面図であ
る。
【図4】図3のA−A線断面図であり、図4(a)は、
第1のシート部材取着工程、図4(b)は、第2のシー
ト部材取着工程、図4(c)は、樹脂封止工程、図4
(d)は、上下のシート部材を剥がす剥離工程を示す各
断面図である。
【図5】従来の集合絶縁基板にシリンダー型水晶振動子
の封止管収納用の貫通穴及びスルーホール加工工程を示
す平面図である。
【図6】集合絶縁基板にシリンダー型水晶振動子、IC
チップ及びチップコンデンサ等の電子部品を実装する実
装工程を示す平面図である。
【符号の説明】
1 絶縁基板 1B 集合絶縁基板 2 シリンダー型水晶振動子 2a 端子 2b 露出部 3、3A 貫通孔 4 スルーホール 4a スルーホール電極 5 ICチップ 6 チップコンデンサ 7 封止樹脂 10 表面実装型水晶振動子 12 X方向のカットライン 13 Y方向のカットライン 14、15 シート部材

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 多数個取りする集合絶縁基板の平面上に
    各行毎のカットラインを挟んで1つの収納部に2つの水
    晶振動子の封止管を向き合わせて収納する複数個の封止
    管収納部と、各列毎のカットライン上に上下面導電パタ
    ーン接続用の複数個のスルーホールを形成する集合絶縁
    基板加工工程と、メッキ処理により前記スルーホールの
    内面を含む集合絶縁基板の全表面にメッキ層を形成する
    メッキ工程と、メッキレジストを付加し、パターンマス
    クにより露光現像をし、パターンエッチングを行い、前
    記集合絶縁基板の上面及び下面に導電パターンと、前記
    スルーホールにスルーホール電極を形成するエッチング
    工程と、電子部品搭載部の各パターンに、銀ペースト、
    または半田ペースト等の導電性接着剤を塗布し、シリン
    ダー型水晶振動子、ICチップ、チップコンデンサ等の
    電子部品を搭載し、更に、半田ペーストまたは導電性接
    着剤をリフロー等で固着する実装工程と、前記集合絶縁
    基板の下面側にシートまたは粘着シート等のシート部材
    を貼付または押し当てる第1のシート部材取着工程と、
    前記基板の上面側でシリンダー型水晶振動子の封止管上
    部に、シートまたは粘着シート等のシート部材を貼付ま
    たは押し当てる第2のシート部材取着工程と、前記シー
    ト部材の間へ封止樹脂を充填する樹脂封止工程と、充填
    封止樹脂をキュアして硬化する樹脂硬化工程と、封止樹
    脂硬化後に、前記上下のシート部材を剥がすシート剥離
    工程と、ダイシングマシン又はスライシングマシンで集
    合絶縁基板を直交する2つのカットラインに沿って切断
    して単体の表面実装型水晶振動子に分割する切断工程
    と、からなることを特徴とする表面実装型水晶振動子の
    製造方法。
  2. 【請求項2】 多数個取りする集合絶縁基板の平面上に
    各行毎のカットラインを挟んで1つの収納部に2つの水
    晶振動子の封止管を向き合わせて収納する複数個の封止
    管収納部と、各列毎のカットライン上に上下面導電パタ
    ーン接続用の複数個のスルーホールを形成する集合絶縁
    基板加工工程と、メッキ処理により前記スルーホールの
    内面を含む集合絶縁基板の全表面にメッキ層を形成する
    メッキ工程と、メッキレジストを付加し、パターンマス
    クにより露光現像をし、パターンエッチングを行い、前
    記集合絶縁基板の上面及び下面に導電パターンと、前記
    スルーホールにスルーホール電極を形成するエッチング
    工程と、電子部品搭載部の各パターンに、銀ペースト、
    または半田ペースト等の導電性接着剤を塗布し、シリン
    ダー型水晶振動子、ICチップ、チップコンデンサ等の
    電子部品を搭載し、更に、半田ペーストまたは導電接着
    剤をリフロー等で、固着する実装工程と、前記集合絶縁
    基板の下面側にシート又は粘着シート等のシート部材を
    貼付または押し当てる第1のシート部材取着工程と、前
    記集合絶縁基板上に実装したシリンダー型水晶振動子、
    ICチップ、チップコンデンサ等の電子部品間及びシー
    ト部材までを封止樹脂で充填する樹脂封止工程と、前記
    基板の上面側でシリンダー型水晶振動子の封止管上部
    に、シート又は粘着シート等のシート部材を貼付または
    押し当てる第2のシート部材取着工程と、充填封止樹脂
    をキュアして硬化する樹脂硬化工程と、封止樹脂硬化後
    に、前記上下のシート部材を剥がすシート剥離工程と、
    ダイシングマシン又はスライシングマシンで集合絶縁基
    板を直交する2つのカットラインに沿って切断して単体
    の表面実装型水晶振動子に分割する切断工程と、からな
    ることを特徴とする表面実装型水晶振動子の製造方法。
  3. 【請求項3】 前記多数個取りする集合絶縁基板の平面
    上に各行毎のカットラインを挟んで1つの収納部に2つ
    の水晶振動子の封止管を向き合わせて収納する複数個の
    封止管収納部は、それぞれ貫通穴であることを特徴とす
    る請求項1又は2記載の表面実装型水晶振動子の製造方
    法。
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