JP2001281342A - X線検出器 - Google Patents

X線検出器

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JP2001281342A
JP2001281342A JP2000089348A JP2000089348A JP2001281342A JP 2001281342 A JP2001281342 A JP 2001281342A JP 2000089348 A JP2000089348 A JP 2000089348A JP 2000089348 A JP2000089348 A JP 2000089348A JP 2001281342 A JP2001281342 A JP 2001281342A
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JP
Japan
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case
window
core wire
rays
ray detector
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Pending
Application number
JP2000089348A
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English (en)
Inventor
Junji Fujimori
淳二 藤森
Yukio Sako
幸雄 迫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rigaku Corp
Original Assignee
Rigaku Industrial Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 十分な分解能でエネルギーの高いX線を検出
できるX線検出器を提供する。 【解決手段】 X線1 を入射させる窓2 が設けられ陰極
を形成するケース3 に、前記窓2 の表面と平行な方向A
に延びて陽極を形成する芯線4 を収納した密封型比例計
数管において、前記芯線4 の両端部が接続され前記ケー
ス3 に固定される端子6 が、ポリふっ化エチレンを被覆
したセラミックからなる絶縁部6aを有し、その絶縁部6a
によって前記ケース3 と芯線4 とを絶縁し、前記ケース
3 にキセノンを主成分とするガスを 500hPa 以上1200
hPa 以下の圧力で封入する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、X線検出のための
密封型比例計数管に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来より、密封型比例計数管において、
エネルギーの高い(波長の短い)X線を検出するため
に、窓から入射したX線を、窓の表面と垂直な方向に延
びる芯線に沿って進行させて検出効率を高くしたエンド
ウインドウ型のものがある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このようなエ
ンドウインドウ型の密封型比例計数管では、窓の近傍に
芯線の一端があり電場が乱れているので、分解能が十分
でない。
【0004】本発明は前記従来の問題に鑑みてなされた
もので、十分な分解能でエネルギーの高いX線を検出で
きるX線検出器を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、請求項1のX線検出器は、まず、X線を入射させる
窓が設けられ陰極を形成するケースに、前記窓の表面と
平行な方向に延びて陽極を形成する芯線を収納したX線
検出のための密封型比例計数管である。そして、前記芯
線の両端部が接続され前記ケースに固定される端子が、
ポリふっ化エチレンを被覆したセラミックからなる絶縁
部を有し、その絶縁部によって前記ケースと芯線とを絶
縁している。さらに、前記ケースにキセノンを主成分と
するガスを500hPa 以上1200hPa 以下の圧力
で封入している。
【0006】請求項1のX線検出器によれば、まず、芯
線が窓の表面と平行な方向に延びるサイドウインドウ型
の密封型比例計数管であり、窓から入射したX線が芯線
の両端部近傍に照射されないよう、芯線の両端部を窓か
ら退避させて配置できるので、分解能が十分である。一
方、エネルギーの高いX線を前記エンドウインドウ型に
比べ劣らぬ効率で検出するには、X線の通路長が短くな
った分、封入するガスの圧力を高めるとともに芯線に印
加するバイアス電圧を高くする必要がある。そこで、請
求項1のX線検出器では、封入するガスの圧力をガスを
500hPa 以上1200hPa 以下に高めるととも
に、従来よりも高いバイアス電圧を印加されてもケース
と芯線とを十分絶縁でき、かつ、高い圧力で封入された
ガスが漏洩しないよう、端子の絶縁部がポリふっ化エチ
レンを被覆したセラミックからなり、高い気密性と絶縁
性を併せもっている。したがって、請求項1のX線検出
器によれば、十分な分解能でエネルギーの高いX線を検
出でき、漏電やガス漏れの問題もない。
【0007】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態のX線
検出器を図面にしたがって説明する。まず、このX線検
出器の構成について説明する。このX線検出器は、図1
の平面断面図に示すように、X線1を入射させる窓2が
設けられ陰極を形成するケース3に、窓2の表面と平行
な方向Aに延びて陽極を形成する芯線4を収納したX線
検出のためのサイドウインドウ型の密封型比例計数管で
ある。
【0008】すなわち、ここで検出すべきX線1は、窓
2の前に設けられるソーラスリット7を通過したもの
で、紙面上下方向Aに幅をもち紙面垂直方向にわずかに
厚みをもつ帯状のものであり、紙面左方向へ進行する。
それに対応して、検出器の窓2も、紙面上下方向Aに長
く紙面垂直方向に短く形成された細長い矩形である。た
だし、本発明では、検出すべきX線に応じて、窓は例え
ば正方形でもよい。窓2は、例えば厚さ150μmのベ
リリウム膜を、ケース3に形成した孔に気密に取り付け
たものである。ケース3は、SUS等のステンレス鋼か
らなり、窓2の長手方向(紙面上下方向)Aを軸とする
四角柱状の密閉された空間Sを有し、そこに、白金等か
らなり窓2の長手方向Aに延びる芯線4を収納してい
る。
【0009】芯線4の両端部は2つの端子6の電極部6
bにそれぞれ接続され、各端子6の固定部6dはケース
3に形成された孔に接着により気密に固定される。より
具体的には、端子6は、図2の拡大断面図に示すよう
に、棒状の電極部6b、電極部6bが挿入されてそのつ
ばとなる円板状のフランジ部6c、電極部6bが挿入さ
れるとともにフランジ部6cが当接する底付き円筒状の
絶縁部6a、および、電極部6bと絶縁部6aが挿入さ
れる円筒状の固定部6dからなり、絶縁部6aはポリふ
っ化エチレン(テフロン(登録商標))を被覆(コーテ
ィング)したセラミックからなり、その他の部分6b,
6c,6dはSUS等のステンレス鋼からなる。
【0010】電極部6bとフランジ部6c、フランジ部
6cと絶縁部6a、絶縁部6aと固定部6dが、それぞ
れ図中黒く塗り潰したようにろう付けされることによ
り、端子6が組み立てられている。ろう付けを確実にす
るため、絶縁部6aへのポリふっ化エチレンの被覆は、
端子6を組み立てた後に行う。ケース3は端子6の固定
部6dと導通し、芯線4は端子6の電極部6bひいては
フランジ部6cと導通するが、固定部6dとフランジ部
6cとの間に絶縁部6aがあることによってケース3と
芯線4とが絶縁されている。
【0011】さらに、この検出器では、図1のケース3
の前記空間Sに、キセノンを主成分とし、二酸化炭素を
3%含むガスを、500hPa 以上1200hPa 以下
の圧力、例えば1013hPa の圧力で封入している。
芯線4には、端子6の電極部6bを介して、1700V
以上2500V以下、例えば2000Vのバイアス電圧
が印加されて陽極となり、ケース3はアースされて陰極
となる。X線1が窓2を透過して封入ガスが密封された
空間Sに入射することにより芯線4に発生するパルス
(信号)は、端子6の電極部6bのケース3外に突出し
た部分から取り出され、プリアンプ8で増幅されて、波
高分析器へ送られる。端子6でケース3外に突出した部
分、および、プリアンプ8は、プリアンプカバー9で覆
われる。
【0012】次に、このX線検出器の動作、作用につい
て説明する。X線1が窓2を透過して封入ガスが密封さ
れたケース3内の空間Sに入射すると、X線1のエネル
ギーに応じた電圧(波高値)のパルスが強度に応じた数
だけ単位時間あたりに発生し、プリアンプ8で増幅され
て、波高分析器へ送られる。ここで、この実施形態のX
線検出器によれば、まず、芯線4が窓2の表面と平行な
方向(この実施形態ではさらに窓2の長手方向である)
Aに延びるサイドウインドウ型の密封型比例計数管であ
り、窓2から入射したX線2が芯線4の両端部近傍に照
射されないよう、芯線4の両端部を窓2から長手方向A
に退避させて配置できるので、分解能が十分である。
【0013】一方、エネルギーの高いX線1を、X線の
通路長が長大な従来のエンドウインドウ型に比べ劣らぬ
効率で検出するには、密封型比例計数管の特性から、X
線の通路長Lが短くなった分、封入するガスの圧力を高
めるとともに芯線4に印加するバイアス電圧を高くする
必要がある。そこで、この実施形態のX線検出器では、
従来300hPa 程度であった封入ガスの圧力を101
3hPa に高めるとともに、従来1700V未満であっ
たバイアス電圧をより高く2000Vで印加されてもケ
ース3と芯線4とを十分絶縁でき、かつ、高い圧力で封
入されたガスが漏洩しないよう、端子6の絶縁部6aが
ポリふっ化エチレンを被覆したセラミックからなり、高
い気密性と絶縁性を併せもっている。
【0014】すなわち、端子6のフランジ部6c、固定
部6dを構成する金属(ステンレス鋼)となじみのよい
セラミックで絶縁部6aを構成し、相互にろう付けする
ことにより、高い気密性が得られ、ケース3内の従来よ
りも高圧の封入ガスが、プリアンプ8側等のケース3外
へ漏洩することがない。また、絶縁部6aをセラミック
で構成するのみでは、従来よりも高い2000Vのバイ
アス電圧を印加されると、端子6の電極部6bおよびフ
ランジ部6cから絶縁部6aの表面を通って固定部6d
へ漏電し、芯線4とケース3が導通するおそれがある
が、この実施形態のX線検出器では、固定部6dとフラ
ンジ部6cとの間の絶縁部6aが絶縁性の高いポリふっ
化エチレンで被覆されていることによって、そのような
漏電、導通が起こらず、ケース3と芯線4とが十分に絶
縁されている。
【0015】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明のX
線検出器によれば、十分な分解能でエネルギーの高いX
線を検出でき、漏電やガス漏れの問題もない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態であるX線検出器の平面断
面図である。
【図2】同検出器の端子の拡大断面図である。
【符号の説明】
1…X線、2…窓、3…ケース、4…芯線、6…端子、
6a…端子の絶縁部、A…窓の表面と平行な方向。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 X線を入射させる窓が設けられ陰極を形
    成するケースに、前記窓の表面と平行な方向に延びて陽
    極を形成する芯線を収納したX線検出のための密封型比
    例計数管において、 前記芯線の両端部が接続され前記ケースに固定される端
    子が、ポリふっ化エチレンを被覆したセラミックからな
    る絶縁部を有し、その絶縁部によって前記ケースと芯線
    とを絶縁し、 前記ケースにキセノンを主成分とするガスを500hP
    a 以上1200hPa以下の圧力で封入したことを特徴
    とするX線検出器。
JP2000089348A 2000-03-28 2000-03-28 X線検出器 Pending JP2001281342A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104360372A (zh) * 2014-11-05 2015-02-18 中国船舶重工集团公司第七一九研究所 一种双连接器输出的计数管及其工作方法
JP2015203633A (ja) * 2014-04-15 2015-11-16 株式会社島津製作所 比例計数管及びその製造方法

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