JP2001276552A - 回転型吸着機用ロータ - Google Patents
回転型吸着機用ロータInfo
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- JP2001276552A JP2001276552A JP2000098392A JP2000098392A JP2001276552A JP 2001276552 A JP2001276552 A JP 2001276552A JP 2000098392 A JP2000098392 A JP 2000098392A JP 2000098392 A JP2000098392 A JP 2000098392A JP 2001276552 A JP2001276552 A JP 2001276552A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】吸着素子の円弧状セクタとスポーク或いは円筒
形リムとの間の接合部におけるコーキング材を２００℃
を越える高い温度のガス流に対しても十分耐えられる遮
熱シールを備えた回転型吸着機用ロータを提供する。 【解決手段】 放射状に延びるスポーク３により断面円
弧状に仕切られた多数の小透孔を有するハニカム構造の
ガス吸着素子４からなる円弧状セクタ２をロータを画成
する円筒形のリム７内に各々配置し、これら各セクタ２
とスポーク３及びリム７との接合面間にシリコーン等の
コーキング材８を介して一体化し、スポークの軸方向端
面に、該端面及び該端面の両側に接触する２つの前記円
弧状セクタの接合部を覆う不燃材料製の板から成る遮熱
シール１０を備えている。
形リムとの間の接合部におけるコーキング材を２００℃
を越える高い温度のガス流に対しても十分耐えられる遮
熱シールを備えた回転型吸着機用ロータを提供する。 【解決手段】 放射状に延びるスポーク３により断面円
弧状に仕切られた多数の小透孔を有するハニカム構造の
ガス吸着素子４からなる円弧状セクタ２をロータを画成
する円筒形のリム７内に各々配置し、これら各セクタ２
とスポーク３及びリム７との接合面間にシリコーン等の
コーキング材８を介して一体化し、スポークの軸方向端
面に、該端面及び該端面の両側に接触する２つの前記円
弧状セクタの接合部を覆う不燃材料製の板から成る遮熱
シール１０を備えている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ケースに取り付け
られた仕切り板が、回転可能に保持されたロータの端面
を少なくとも吸着ゾーン、再生ゾーン及び冷却ゾーンを
画成している形式の回転型吸着機のためのロータに関
し、より詳しくは、内部を放射状に延びるスポークによ
り断面円弧状に仕切られた円筒形のリム内に多数の小透
孔を有するハニカム構造のガス吸着素子からなる円弧状
セクタを各々配置し、これら各セクタとスポーク及びリ
ムとの接合面間にコーキング材を介在させた回転型吸着
機用ロータに関する。
られた仕切り板が、回転可能に保持されたロータの端面
を少なくとも吸着ゾーン、再生ゾーン及び冷却ゾーンを
画成している形式の回転型吸着機のためのロータに関
し、より詳しくは、内部を放射状に延びるスポークによ
り断面円弧状に仕切られた円筒形のリム内に多数の小透
孔を有するハニカム構造のガス吸着素子からなる円弧状
セクタを各々配置し、これら各セクタとスポーク及びリ
ムとの接合面間にコーキング材を介在させた回転型吸着
機用ロータに関する。
【０００２】
【従来技術】以下、従来の回転型吸着機用ロータの構造
を図８〜１０を参照して説明する。図７は、ロータを回
転可能に保持した回転型吸着機の主要部分を示す斜視図
であり、図８は、ロータの斜視図であり、図９は、各円
弧状セクタとスポークとのシール兼接合部を示す図８の
Ａ−Ａ断面矢視図であり、図１０は、外周リム１０７を
含むロータの全体構造を示す部分々解斜視図である。
を図８〜１０を参照して説明する。図７は、ロータを回
転可能に保持した回転型吸着機の主要部分を示す斜視図
であり、図８は、ロータの斜視図であり、図９は、各円
弧状セクタとスポークとのシール兼接合部を示す図８の
Ａ−Ａ断面矢視図であり、図１０は、外周リム１０７を
含むロータの全体構造を示す部分々解斜視図である。
【０００３】従来の吸着素子１０４を備えた特に有機溶
剤用の回転型吸着機１００は、吸着ゾーンＳ、冷却ゾー
ンＴ及び再生ゾーンＵに各々区分する保持ケース１１０
の中でロータ１０１を回転させ、それにより、ローター
の一方の端面に吸着ゾーンおよび再生ゾーンを一時的に
設定し、ロータ表面が吸着ゾーンＳを通過することによ
り、有機溶剤を含んだガスをローター１０１に担持させ
た吸着素子１０４により、有機溶剤を吸着させ、再生ゾ
ーンＵに有機溶剤の沸点の温度である１８０℃〜２００
℃を上回る温度に加熱された再生用空気を前記した端面
とは反対側の他方の端面から吸着素子１０４内を通過さ
せることにより吸着した有機溶剤を除去していた。
剤用の回転型吸着機１００は、吸着ゾーンＳ、冷却ゾー
ンＴ及び再生ゾーンＵに各々区分する保持ケース１１０
の中でロータ１０１を回転させ、それにより、ローター
の一方の端面に吸着ゾーンおよび再生ゾーンを一時的に
設定し、ロータ表面が吸着ゾーンＳを通過することによ
り、有機溶剤を含んだガスをローター１０１に担持させ
た吸着素子１０４により、有機溶剤を吸着させ、再生ゾ
ーンＵに有機溶剤の沸点の温度である１８０℃〜２００
℃を上回る温度に加熱された再生用空気を前記した端面
とは反対側の他方の端面から吸着素子１０４内を通過さ
せることにより吸着した有機溶剤を除去していた。
【０００４】有機溶剤を含んだガスのうち、例えば半導
体部品製造工程等で発生するガスは、例えばＤＭＳＯ
（ジメチルスルホキシド）、ＭＥＡ（モノエタノールア
ミン）、ＨＭＤＳ（ヘキサメチレンジシラザン）等の有
機化合物を含んでいる。これらの有機化合物は１８０〜
２００℃という再生温度では十分に除去できない。この
ためこのような有機化合物はローターに蓄積されていく
ばかりであり、性能劣化やロータ焼失を引き起こす原因
となる。このような有機化合物を除去するためには、２
００〜３５０℃に加熱された高い温度の空気を再生ゾー
ンＵにおいてロータ１０１に送らなければならない。
体部品製造工程等で発生するガスは、例えばＤＭＳＯ
（ジメチルスルホキシド）、ＭＥＡ（モノエタノールア
ミン）、ＨＭＤＳ（ヘキサメチレンジシラザン）等の有
機化合物を含んでいる。これらの有機化合物は１８０〜
２００℃という再生温度では十分に除去できない。この
ためこのような有機化合物はローターに蓄積されていく
ばかりであり、性能劣化やロータ焼失を引き起こす原因
となる。このような有機化合物を除去するためには、２
００〜３５０℃に加熱された高い温度の空気を再生ゾー
ンＵにおいてロータ１０１に送らなければならない。
【０００５】複数個の円弧状セクタ１０２を組み合わせ
て円柱状に一体化されたハニカム構造のロータ１０１
は、内部にシャフト１０６が貫通する金属製の軸方向に
伸びるハブ１０５から半径方向外方に伸びる複数本の金
属スポーク１０３で補強されている。そして、金属スポ
ークとハニカム構造の各セクタ１０２は、例えばシリコ
ーンのような耐熱性のコーキング材１０８を使用して接
合或いは接着されている。加えてローター１０１の外周
を保護する金属製の外周リム１０７とハニカム構造体１
０４自体も同様にシリコーン製のコーキング材１０８を
介して接着されている。
て円柱状に一体化されたハニカム構造のロータ１０１
は、内部にシャフト１０６が貫通する金属製の軸方向に
伸びるハブ１０５から半径方向外方に伸びる複数本の金
属スポーク１０３で補強されている。そして、金属スポ
ークとハニカム構造の各セクタ１０２は、例えばシリコ
ーンのような耐熱性のコーキング材１０８を使用して接
合或いは接着されている。加えてローター１０１の外周
を保護する金属製の外周リム１０７とハニカム構造体１
０４自体も同様にシリコーン製のコーキング材１０８を
介して接着されている。
【０００６】上記したように、ロータ１０１は、保持ケ
ース１１０に回転可能に取り付けられており、吸着ゾー
ンＳや或いは再生ゾーンＵ、冷却ゾーンＴを仕切る仕切
り板１１１にはシリコンゴムにＰＴＦＥ膜を張りつけた
シール（不図示）をロータ１０１の端面に摺動可能に押
圧して設けて各通過気体の漏洩および混合を防止してい
る。
ース１１０に回転可能に取り付けられており、吸着ゾー
ンＳや或いは再生ゾーンＵ、冷却ゾーンＴを仕切る仕切
り板１１１にはシリコンゴムにＰＴＦＥ膜を張りつけた
シール（不図示）をロータ１０１の端面に摺動可能に押
圧して設けて各通過気体の漏洩および混合を防止してい
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】このような構成のロー
タに前記したような２００℃を越える高温の空気をロー
タに送り再生しようとすると、前記したシリコーン製或
いはゴム製のコーキング材がそのような高温に耐えられ
ないために、シリコーン或いはゴムが劣化して、その結
果スポークとロータとの間の接合性或いは接着性の低下
を来たし、ローターを構成する円弧状のセクタが脱落し
てロータ自体使用不能に陥ってしまう。
タに前記したような２００℃を越える高温の空気をロー
タに送り再生しようとすると、前記したシリコーン製或
いはゴム製のコーキング材がそのような高温に耐えられ
ないために、シリコーン或いはゴムが劣化して、その結
果スポークとロータとの間の接合性或いは接着性の低下
を来たし、ローターを構成する円弧状のセクタが脱落し
てロータ自体使用不能に陥ってしまう。
【０００８】従って、通過させる空気の温度に制限があ
り、蓄積された高沸点有機溶剤や重合物を十分に除去す
ることができず、その結果浄化性能が低下したり、また
蓄積されたロータ内部で重合の可能性がある溶剤の場合
には、再生できず重合物がゼオライトの如き吸着素子の
細孔を潰してしまい、吸着素子としての浄化性能を低下
させていた。
り、蓄積された高沸点有機溶剤や重合物を十分に除去す
ることができず、その結果浄化性能が低下したり、また
蓄積されたロータ内部で重合の可能性がある溶剤の場合
には、再生できず重合物がゼオライトの如き吸着素子の
細孔を潰してしまい、吸着素子としての浄化性能を低下
させていた。
【０００９】しかして、本発明は２００℃を越える高い
温度に対しても十分耐えられる接合部におけるコーキン
グ材を保護するための遮熱シールを備えた回転型吸着機
用ロータを提供することを目的するものである。
温度に対しても十分耐えられる接合部におけるコーキン
グ材を保護するための遮熱シールを備えた回転型吸着機
用ロータを提供することを目的するものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記した課題は、本発明
によれば、前記スポークの端面に、該端面及び該端面の
両側に接触する２つの前記円弧状セクタの接合部を覆う
不燃材料製の板である遮熱シールを該端面と平行に取着
したことにより達成される。この構成により、加熱され
た高温の再生用空気が各セクタとスポークとの接合部に
直接吹き付けられることは回避され、コーキング材に加
わる温度上昇も避けられるので、コーキング材の劣化に
よる密封性或いは接着力の低下が避けられる。これと同
時に、高温の熱風が前記遮熱シール部分以外の吸着素子
に吹き付けられることとなり、吸着素子に付着した 沸
点有機溶剤や重合物が脱離して吹き飛ばされ、その結
果、吸着素子自体の再使用時における吸着性能の低下も
回避される。
によれば、前記スポークの端面に、該端面及び該端面の
両側に接触する２つの前記円弧状セクタの接合部を覆う
不燃材料製の板である遮熱シールを該端面と平行に取着
したことにより達成される。この構成により、加熱され
た高温の再生用空気が各セクタとスポークとの接合部に
直接吹き付けられることは回避され、コーキング材に加
わる温度上昇も避けられるので、コーキング材の劣化に
よる密封性或いは接着力の低下が避けられる。これと同
時に、高温の熱風が前記遮熱シール部分以外の吸着素子
に吹き付けられることとなり、吸着素子に付着した 沸
点有機溶剤や重合物が脱離して吹き飛ばされ、その結
果、吸着素子自体の再使用時における吸着性能の低下も
回避される。
【００１１】本発明による回転型吸着機用ロータの１つ
の好ましい実施の形態によれば、前記遮熱シールが、前
記スポークの端面に溶接された取付板を介して取着され
ている。このような構成によって、遮熱シール板をスポ
ークに直接取り付けるための複雑な成形加工が避けら
れ、またその交換も容易になる。
の好ましい実施の形態によれば、前記遮熱シールが、前
記スポークの端面に溶接された取付板を介して取着され
ている。このような構成によって、遮熱シール板をスポ
ークに直接取り付けるための複雑な成形加工が避けら
れ、またその交換も容易になる。
【００１２】本発明による回転型吸着機用ロータのもう
１つの好ましい実施の形態によれば、前記遮熱シール
が、前記取付板にネジ止めされている。この構成によっ
て、遮熱シールの交換が極めて容易になる。
１つの好ましい実施の形態によれば、前記遮熱シール
が、前記取付板にネジ止めされている。この構成によっ
て、遮熱シールの交換が極めて容易になる。
【００１３】本発明による回転型吸着機用ロータの好ま
しい１つの実施の形態によれば、前記遮熱シールが、前
記リムの周縁から前記ロータの端面上に伸びている。こ
の構成により、一般的に金属製のリムと円弧状セクタの
外周面との間のコーキング材に高温の空気流が直接吹き
付けられることは回避され、コーキング材の劣化は避け
られる。
しい１つの実施の形態によれば、前記遮熱シールが、前
記リムの周縁から前記ロータの端面上に伸びている。こ
の構成により、一般的に金属製のリムと円弧状セクタの
外周面との間のコーキング材に高温の空気流が直接吹き
付けられることは回避され、コーキング材の劣化は避け
られる。
【００１４】本発明による回転型吸着機用ロータのもう
１つの好ましい実施の形態によれば、前記遮熱シール
が、窒化珪素板である。かかる構成により、良好な遮熱
効果が得られると同時に不燃性材料の板自体の耐久性が
得られ、長時間の使用においてもその機能を損うような
事はなく優れた遮熱効果が得られる。
１つの好ましい実施の形態によれば、前記遮熱シール
が、窒化珪素板である。かかる構成により、良好な遮熱
効果が得られると同時に不燃性材料の板自体の耐久性が
得られ、長時間の使用においてもその機能を損うような
事はなく優れた遮熱効果が得られる。
【００１５】本発明による回転型吸着機用ロータのもう
１つの好ましい実施の形態によれば、前記遮熱シール
が、膨張黒鉛シート上に金属板を重ねた積層体である。
この構成により、黒鉛シート自体は優れた耐熱性を有し
ており、また同時に金属板を重ねてあるので、それ自体
破損し易い膨張黒鉛シートを保護して高い堅牢性並びに
耐久性を持たせており、長期間に亘り優れた遮熱効果が
維持される。
１つの好ましい実施の形態によれば、前記遮熱シール
が、膨張黒鉛シート上に金属板を重ねた積層体である。
この構成により、黒鉛シート自体は優れた耐熱性を有し
ており、また同時に金属板を重ねてあるので、それ自体
破損し易い膨張黒鉛シートを保護して高い堅牢性並びに
耐久性を持たせており、長期間に亘り優れた遮熱効果が
維持される。
【００１６】更に、本発明による回転型吸着機用ロータ
のもう１つの好ましい実施の形態によれば、前記取付板
と前記遮熱シールとの間に断熱材が介装されている。こ
の構成により、高温の熱風に晒されるスポークを通って
接合面に伝達される熱は断熱材を設けることによってあ
る程度緩和され、コーキング材はさらに高熱から保護さ
れる。
のもう１つの好ましい実施の形態によれば、前記取付板
と前記遮熱シールとの間に断熱材が介装されている。こ
の構成により、高温の熱風に晒されるスポークを通って
接合面に伝達される熱は断熱材を設けることによってあ
る程度緩和され、コーキング材はさらに高熱から保護さ
れる。
【００１７】本発明による回転型吸着機用ロータの更に
もう１つの好ましい実施の形態によれば、前記断熱材
が、珪酸カルシウム板である。この構成によって、加熱
された不燃性材料の板とスポークに取り付けられた取付
板との間の優れた断熱効果が得られるので、コーキング
材はより確実に熱から保護される。上記した本発明によ
る回転型吸着機用ロータの構成において、コーキング材
として、接着性を有するシリコーン樹脂或いはフッ素系
のゴム等を使用することが好ましい。
もう１つの好ましい実施の形態によれば、前記断熱材
が、珪酸カルシウム板である。この構成によって、加熱
された不燃性材料の板とスポークに取り付けられた取付
板との間の優れた断熱効果が得られるので、コーキング
材はより確実に熱から保護される。上記した本発明によ
る回転型吸着機用ロータの構成において、コーキング材
として、接着性を有するシリコーン樹脂或いはフッ素系
のゴム等を使用することが好ましい。
【００１８】以下、本発明による回転型吸着機用ロータ
に係わるいくつかの実施の形態を以下図面に基づいて説
明する。
に係わるいくつかの実施の形態を以下図面に基づいて説
明する。
【００１９】
【実施例】図１は、本発明による回転型吸着機用ロータ
自体の斜視図であり、図２は、本発明による回転型吸着
機用ロータの実施の形態を示す図１におけるＸ−Ｘ断面
部分矢視図であり、図３は、本発明による回転型吸着機
用ロータのもう１つの実施の形態を示す図２と同様な矢
視図であり、図４は、本発明による回転型吸着機用ロー
タの更にもう１つの実施の形態を示す図３と同様な矢視
図であり、図５は、遮熱シールを備えた外周リムを含む
本発明による回転型吸着機用ロータの全体構造を示す部
分々解斜視図であり、図６は遮熱シールを備えた外周リ
ムを含む本発明による回転型吸着機用ロータの図１にお
けるＹ−Ｙ断面部分矢視図である。
自体の斜視図であり、図２は、本発明による回転型吸着
機用ロータの実施の形態を示す図１におけるＸ−Ｘ断面
部分矢視図であり、図３は、本発明による回転型吸着機
用ロータのもう１つの実施の形態を示す図２と同様な矢
視図であり、図４は、本発明による回転型吸着機用ロー
タの更にもう１つの実施の形態を示す図３と同様な矢視
図であり、図５は、遮熱シールを備えた外周リムを含む
本発明による回転型吸着機用ロータの全体構造を示す部
分々解斜視図であり、図６は遮熱シールを備えた外周リ
ムを含む本発明による回転型吸着機用ロータの図１にお
けるＹ−Ｙ断面部分矢視図である。
【００２０】図１〜６において、本発明による回転型吸
着機用ロータ１の遮熱シール９及び１１は、内部を放射
状に延びるスポーク３により断面円弧状に仕切られた円
筒形のリム７内に多数の小透孔を有するセラミック繊維
紙製ハニカム構造のガス吸着素子４からなる８つの円弧
状セクタ２を各々配置している。これらのセクタのうち
互いに隣接する２つのセクタ２とスポーク３並びにリム
７との接触面をシリコーンが好ましいコーキング材８に
より接合して一体化されている。なお、一般にハニカム
構造のカス吸着素子４から成るロータは、多数の小透孔
が両端面に透通した構造をしており、特に、半導体製造
工程で生じる揮発性有機化合物含有ガスの浄化処理に使
用される場合、このガスが前記小透孔内を通過されるこ
とにより、前記小透孔内の表面で、前記ガスに含まれる
有害な揮発性有機化合物が吸着されるようになってい
る。
着機用ロータ１の遮熱シール９及び１１は、内部を放射
状に延びるスポーク３により断面円弧状に仕切られた円
筒形のリム７内に多数の小透孔を有するセラミック繊維
紙製ハニカム構造のガス吸着素子４からなる８つの円弧
状セクタ２を各々配置している。これらのセクタのうち
互いに隣接する２つのセクタ２とスポーク３並びにリム
７との接触面をシリコーンが好ましいコーキング材８に
より接合して一体化されている。なお、一般にハニカム
構造のカス吸着素子４から成るロータは、多数の小透孔
が両端面に透通した構造をしており、特に、半導体製造
工程で生じる揮発性有機化合物含有ガスの浄化処理に使
用される場合、このガスが前記小透孔内を通過されるこ
とにより、前記小透孔内の表面で、前記ガスに含まれる
有害な揮発性有機化合物が吸着されるようになってい
る。
【００２１】本発明におけるロータのガス吸着素子４で
使用可能な不燃材料は、耐熱性、断熱性、耐磨耗性、耐
溶剤性という性質が備わったものである必要がある。す
なわち、ロータが高温になるとロータを支えているスポ
ークとハニカム構造体との間が高熱で変形を起こし、そ
れを防止するために不燃材料を使用せざるを得ないから
である。耐熱性は２００〜３５０℃の高温の空気に材料
が耐えねばならないからであり、断熱性は２００〜３５
０℃の高温の空気からロータを保護する必要があるから
である。また耐磨耗性は後に記載するシール材との間で
摩擦が生じるために要求されるものであり、加えて耐溶
剤性は有機溶剤を吸着するというロータの性質から要求
されるものである。
使用可能な不燃材料は、耐熱性、断熱性、耐磨耗性、耐
溶剤性という性質が備わったものである必要がある。す
なわち、ロータが高温になるとロータを支えているスポ
ークとハニカム構造体との間が高熱で変形を起こし、そ
れを防止するために不燃材料を使用せざるを得ないから
である。耐熱性は２００〜３５０℃の高温の空気に材料
が耐えねばならないからであり、断熱性は２００〜３５
０℃の高温の空気からロータを保護する必要があるから
である。また耐磨耗性は後に記載するシール材との間で
摩擦が生じるために要求されるものであり、加えて耐溶
剤性は有機溶剤を吸着するというロータの性質から要求
されるものである。
【００２２】これらの性質を満たす不燃材料として窒化
珪素、グラファイト、セラミックペーパー、フエルト等
の無機材料からなるものが使用可能である。
珪素、グラファイト、セラミックペーパー、フエルト等
の無機材料からなるものが使用可能である。
【００２３】図１及び図５には、本発明による回転型吸
着機用ロータ１の不燃材料製の板で作られた遮熱シール
１０，１１が、このロータのスポーク３及び外周リム７
の一方の端面部分に平行に取着された状態が示されてお
り、本発明による実施の形態によれば、これらの遮熱シ
ールは、不燃材料として窒化珪素板から形成されてい
る。特に、このような回転型吸着機用ロータを半導体製
造工場で使用した場合、その製造工程で生じる有機化合
物含有ガスによる化学的な影響を常時受けることによ
り、有機溶剤に対し強い耐性を有する材料を使用するこ
とが不可欠であり、その具体的な素材として窒化珪素は
好適な材料である。以下、図２〜６に示した実施の形態
に関わる説明から本発明による構成は容易に理解されよ
う。
着機用ロータ１の不燃材料製の板で作られた遮熱シール
１０，１１が、このロータのスポーク３及び外周リム７
の一方の端面部分に平行に取着された状態が示されてお
り、本発明による実施の形態によれば、これらの遮熱シ
ールは、不燃材料として窒化珪素板から形成されてい
る。特に、このような回転型吸着機用ロータを半導体製
造工場で使用した場合、その製造工程で生じる有機化合
物含有ガスによる化学的な影響を常時受けることによ
り、有機溶剤に対し強い耐性を有する材料を使用するこ
とが不可欠であり、その具体的な素材として窒化珪素は
好適な材料である。以下、図２〜６に示した実施の形態
に関わる説明から本発明による構成は容易に理解されよ
う。
【００２４】図２は、本発明による回転型吸着機用ロー
タ１の１つの実施の形態を示しており、ロータ１のスポ
ーク３と遮熱シールである窒化珪素板１０との関係を示
す図である。金属製スポーク３は、ロータ１を構成する
６個の円弧状のセクタのうち、互いに隣接する２つのセ
クタ２ａ，２ｂとコーキング材８により接合若しくは接
着されている。スポーク３には金属製の取付板９が直角
に、即ち、ロータ１の端面と平行に位置付けられるよう
に溶接してあり、窒化珪素板１０は、取付板９の上にネ
ジ１３で固定されている。
タ１の１つの実施の形態を示しており、ロータ１のスポ
ーク３と遮熱シールである窒化珪素板１０との関係を示
す図である。金属製スポーク３は、ロータ１を構成する
６個の円弧状のセクタのうち、互いに隣接する２つのセ
クタ２ａ，２ｂとコーキング材８により接合若しくは接
着されている。スポーク３には金属製の取付板９が直角
に、即ち、ロータ１の端面と平行に位置付けられるよう
に溶接してあり、窒化珪素板１０は、取付板９の上にネ
ジ１３で固定されている。
【００２５】窒化珪素板１０はその幅をロータ端面に表
れる取付板９の幅より広くしてあり、スポーク３を挟ん
で隣接する２つのセクタ２a 、２ｂの接合部分に穿設さ
れた軸方向に伸びる矩形断面凹所１４内に嵌合するよう
な横幅を備えている。この事により、ロータの端面から
遮熱シールが突出しなくなり、使用に際して、保持ケー
ス１１０の仕切り板１１１に設けられ得るロータ押さえ
部材との衝突が回避されると言った好ましい効果が得ら
れる。
れる取付板９の幅より広くしてあり、スポーク３を挟ん
で隣接する２つのセクタ２a 、２ｂの接合部分に穿設さ
れた軸方向に伸びる矩形断面凹所１４内に嵌合するよう
な横幅を備えている。この事により、ロータの端面から
遮熱シールが突出しなくなり、使用に際して、保持ケー
ス１１０の仕切り板１１１に設けられ得るロータ押さえ
部材との衝突が回避されると言った好ましい効果が得ら
れる。
【００２６】また窒化珪素板の代わりに図３に示すよう
に、膨張黒鉛シート１５でスポーク３及びその隣接した
セクタ間のコーキング材の劣化を保護することが提案さ
れるが、膨張黒鉛１５シート上に金属板１６を重ねて設
ける構造としてもよい。この積層構造は、リム７の半径
方向端面に設けられる遮熱シール１１に対しても実施可
能である。
に、膨張黒鉛シート１５でスポーク３及びその隣接した
セクタ間のコーキング材の劣化を保護することが提案さ
れるが、膨張黒鉛１５シート上に金属板１６を重ねて設
ける構造としてもよい。この積層構造は、リム７の半径
方向端面に設けられる遮熱シール１１に対しても実施可
能である。
【００２７】図４に示されたように、スポーク３の取付
板９と窒化珪素板１０との間に珪酸カルシウム板等の断
熱材１７を配置すると断熱性を一層向上させることが可
能である。
板９と窒化珪素板１０との間に珪酸カルシウム板等の断
熱材１７を配置すると断熱性を一層向上させることが可
能である。
【００２８】図５及び図６において、ロータの端面部分
が断面図で示されており、金属製の外周リム７が円弧状
セクタ２の端面に表れる周縁部分に窒化珪素板１１を取
り付けた例である。このような構造にすることで、図面
上方から加熱空気がロータに導入されても、コーキング
材８が窒化珪素板１１により保護されることで接合部分
は熱から保護される。図６においては、窒化珪素板１１
の下に金属製のアングル部材１２をセクタの外周縁部に
埋設する形で設けることは好ましいが、窒化珪素板１１
のみでもよい。
が断面図で示されており、金属製の外周リム７が円弧状
セクタ２の端面に表れる周縁部分に窒化珪素板１１を取
り付けた例である。このような構造にすることで、図面
上方から加熱空気がロータに導入されても、コーキング
材８が窒化珪素板１１により保護されることで接合部分
は熱から保護される。図６においては、窒化珪素板１１
の下に金属製のアングル部材１２をセクタの外周縁部に
埋設する形で設けることは好ましいが、窒化珪素板１１
のみでもよい。
【００２９】実際の使用に際しては、図７を参照して説
明すると、ロータ１０１をケース１１０内に入れて使用
する。ケース１１０はロータ１０１を回転可能に納める
ことができるもので、ロータ端面を吸着ゾーンＳと再生
ゾーンＵとに分けている。吸着ゾーンＳと冷却ゾーンＴ
を挟んた再生ゾーンＵとはそれぞれのゾーンを区画する
仕切板１１１により分けられており、仕切板１１１には
シール材が回転するロータ端面に接触可能なように取り
付けられており、それぞれのゾーン間での気体の漏洩を
防止している。
明すると、ロータ１０１をケース１１０内に入れて使用
する。ケース１１０はロータ１０１を回転可能に納める
ことができるもので、ロータ端面を吸着ゾーンＳと再生
ゾーンＵとに分けている。吸着ゾーンＳと冷却ゾーンＴ
を挟んた再生ゾーンＵとはそれぞれのゾーンを区画する
仕切板１１１により分けられており、仕切板１１１には
シール材が回転するロータ端面に接触可能なように取り
付けられており、それぞれのゾーン間での気体の漏洩を
防止している。
【００３０】
【発明の効果】上記した如く、本発明による回転型吸着
機用ロータは、内部を放射状に延びるスポークにより断
面円弧状に仕切られた円筒形のリム内に多数の小透孔を
有するハニカム構造のガス吸着素子からなる円弧状セク
タを各々配置し、これら各セクタとスポーク及びリムと
の間にコーキング材を介在させ、前記スポークの端面
に、該端面及び該端面の両側に接触する２つの前記円弧
状セクタの接合面を覆う不燃材料製の板である遮熱シー
ルを該端面と平行に取着した構成と成したので、従来処
理が不可能であった２００度を越える高沸点有機溶剤や
重合の可能性のある溶剤が吸着素子に付着した場合で
も、再生ゾーンにおいて２００℃以上の高温空気をロー
タ内部にシリコーン等のコーキング材を劣化させる事無
く常時連続的に流すことが可能である。
機用ロータは、内部を放射状に延びるスポークにより断
面円弧状に仕切られた円筒形のリム内に多数の小透孔を
有するハニカム構造のガス吸着素子からなる円弧状セク
タを各々配置し、これら各セクタとスポーク及びリムと
の間にコーキング材を介在させ、前記スポークの端面
に、該端面及び該端面の両側に接触する２つの前記円弧
状セクタの接合面を覆う不燃材料製の板である遮熱シー
ルを該端面と平行に取着した構成と成したので、従来処
理が不可能であった２００度を越える高沸点有機溶剤や
重合の可能性のある溶剤が吸着素子に付着した場合で
も、再生ゾーンにおいて２００℃以上の高温空気をロー
タ内部にシリコーン等のコーキング材を劣化させる事無
く常時連続的に流すことが可能である。
【００３１】本発明による回転型吸着機用ロータは、こ
のような従来清浄不能であった有機溶剤の吸着素子への
付着のみを解除可能としたものであって、ロータ内の吸
着素子の性能及びロータ自体の機械的強度を低下させる
ことなく連続的な反復使用を可能とし、従って、迅速か
つ円滑な廃ガス処理作業が連続的に遂行可能となり、廃
ガス処理効率の低下を防ぎ、ロータの寿命を延ばすこと
に大きく貢献すると言った効果が得られる。
のような従来清浄不能であった有機溶剤の吸着素子への
付着のみを解除可能としたものであって、ロータ内の吸
着素子の性能及びロータ自体の機械的強度を低下させる
ことなく連続的な反復使用を可能とし、従って、迅速か
つ円滑な廃ガス処理作業が連続的に遂行可能となり、廃
ガス処理効率の低下を防ぎ、ロータの寿命を延ばすこと
に大きく貢献すると言った効果が得られる。
【図１】本発明による回転型吸着機用ロータの斜視図、
【図２】本発明による回転型吸着機用ロータの実施を示
す図１におけるＸ−Ｘ断面部分矢視図、
す図１におけるＸ−Ｘ断面部分矢視図、
【図３】本発明による回転型吸着機用ロータのもう１つ
の実施の形態を示す図２と同様な矢視図、
の実施の形態を示す図２と同様な矢視図、
【図４】本発明による回転型吸着機用ロータの更にもう
１つの実施の形態を示す図３と同様な矢視図、
１つの実施の形態を示す図３と同様な矢視図、
【図５】遮熱シールを備えた外周リムを含む本発明によ
る回転型吸着機用ロータの全体構造を示す部分々解斜視
図、
る回転型吸着機用ロータの全体構造を示す部分々解斜視
図、
【図６】遮熱シールを備えた外周リムを含む本発明によ
る回転型吸着機用ロータの図１におけるＹ−Ｙ断面部分
矢視図、
る回転型吸着機用ロータの図１におけるＹ−Ｙ断面部分
矢視図、
【図７】従来技術におけるロータを回転可能に保持した
回転型吸着機の主要部分を示す斜視図、
回転型吸着機の主要部分を示す斜視図、
【図８】従来技術におけるロータの斜視図、
【図９】従来技術における各円弧状セクタとスポークと
のシール兼接着部を示す図８のＡ−Ａ断面矢視図、
のシール兼接着部を示す図８のＡ−Ａ断面矢視図、
【図１０】従来技術における外周リムを含むロータの全
体構造を示す部分々解斜視図である。
体構造を示す部分々解斜視図である。
１ ロータ、 ２ 円弧状セクタ、 ３ スポーク、 ４ ガス吸着素子、 ５ ハブ、 ６ ロータシャフト、 ７ リム、 ８ コーキング材、 ９ 取付板、 １０ 遮熱シール（窒化珪素板）、 １１ 遮熱シール（窒化珪素板）、 １２ アングル部材、 １３ ネジ、 １４ 矩形断面凹所、 １５ 遮熱シール（黒鉛シート）、 １６ 金属板、 １７ 断熱材（珪酸カルシウム板）。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山下 勝宏 東京都港区芝大門１−１−26 ニチアス株 式会社内 (72)発明者 田中 康弘 東京都港区芝大門１−１−26 ニチアス株 式会社内 (72)発明者 朝比奈修作 静岡県引佐郡細江町中川2952−６ Ｆターム(参考） 4D002 AA26 AB03 BA04 BA12 BA13 CA05 DA45 EA08 HA03 HA10 4D012 CA11 CC04 CC05 CD01 CK05 CK08
Claims (9)
- 【請求項１】 内部を放射状に延びるスポークにより断
面円弧状に仕切られた円筒形のリム内に多数の小透孔を
有するハニカム構造のガス吸着素子からなる円弧状セク
タを各々配置し、これら各セクタとスポーク及びリムと
の接合面間にコーキング材を介在させ、前記スポークの
端面に、該端面及び該端面の両側に接触する２つの前記
円弧状セクタの接合部を覆う不燃材料製の板である遮熱
シールを該端面と平行に取着したことを特徴とする回転
型吸着機用ロータ。 - 【請求項２】 前記遮熱シールが、前記スポークの端面
に溶接された取付板を介して取着されていることを特徴
とする請求項１に記載の回転型吸着機用ロータ。 - 【請求項３】 前記遮熱シールが、前記取付板にネジ止
めされていることを特徴とする請求項２に記載の回転型
吸着機用ロータ。 - 【請求項４】 前記遮熱シールが、前記リムの周縁から
前記ロータの端面上に伸びていることを特徴とする請求
項１に記載の回転型吸着機用ロータ。 - 【請求項５】 前記遮熱シールが、窒化珪素板であるこ
とを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載の回転
型吸着機用ロータ。 - 【請求項６】 前記遮熱シールが、膨張黒鉛シートであ
ることを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載の
回転型吸着機用ロータ。 - 【請求項７】 前記遮熱シールが、膨張黒鉛シート上に
金属板を重ねた積層体であることを特徴とする請求項１
〜４の何れか１項に記載の回転型吸着機用ロータ。 - 【請求項８】 前記取付板と前記遮熱シールとの間に断
熱材が介装されていることを特徴とする請求項２〜７の
何れか１項に記載の回転型吸着機用ロータ。 - 【請求項９】 前記断熱材が、珪酸カルシウム板である
ことを特徴とする請求項８に記載の回転型吸着機用ロー
タ。
Priority Applications (9)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000098392A JP3570622B2 (ja) | 2000-03-31 | 2000-03-31 | 回転型吸着機用ロータ |
| EP03017766A EP1369627B1 (en) | 2000-03-30 | 2001-03-13 | Sealing device for rotary adsorber |
| KR10-2001-0012955A KR100409253B1 (ko) | 2000-03-30 | 2001-03-13 | 회전형흡착기용 로터 및 시일장치 |
| EP10011737A EP2302267A1 (en) | 2000-03-30 | 2001-03-13 | Sealing device for rotary adsorber |
| EP05004118A EP1547666B1 (en) | 2000-03-30 | 2001-03-13 | A rotor for a rotary adsorber |
| TW090105849A TW536422B (en) | 2000-03-30 | 2001-03-13 | Rotor and sealing device for rotary adsorber |
| US09/804,301 US6527837B2 (en) | 2000-03-30 | 2001-03-13 | Rotor and sealing device for rotary adsorber |
| EP01106131A EP1138368B1 (en) | 2000-03-30 | 2001-03-13 | Rotor for rotary adsorber |
| DE60111296T DE60111296T2 (de) | 2000-03-30 | 2001-03-13 | Rotor für Rotationsadsorber |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000098392A JP3570622B2 (ja) | 2000-03-31 | 2000-03-31 | 回転型吸着機用ロータ |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004129809A Division JP3653091B2 (ja) | 2004-04-26 | 2004-04-26 | 回転型吸着機用ロータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001276552A true JP2001276552A (ja) | 2001-10-09 |
| JP3570622B2 JP3570622B2 (ja) | 2004-09-29 |
Family
ID=18612877
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000098392A Expired - Lifetime JP3570622B2 (ja) | 2000-03-30 | 2000-03-31 | 回転型吸着機用ロータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3570622B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1508359A1 (en) * | 2002-05-30 | 2005-02-23 | Tokyo Electron Limited | Dehumidification system and dehumidification method |
| JP2009202083A (ja) * | 2008-02-27 | 2009-09-10 | Nichias Corp | ロータ素子構造体および乾燥空気供給装置 |
| JP2012020226A (ja) * | 2010-07-14 | 2012-02-02 | Toyobo Co Ltd | 有機溶剤含有ガス処理装置 |
| KR101192895B1 (ko) | 2011-01-04 | 2012-10-18 | 조기환 | 회전판 고형물 합체 분리기용 회전 로터 |
| JP5772950B2 (ja) * | 2011-04-21 | 2015-09-02 | 三菱電機株式会社 | 空気清浄機 |
| WO2016163160A1 (ja) * | 2015-04-08 | 2016-10-13 | シャープ株式会社 | 調湿装置 |
| CN109847484A (zh) * | 2019-04-10 | 2019-06-07 | 温州商学院 | 一种家具生产用除尘装置 |
-
2000
- 2000-03-31 JP JP2000098392A patent/JP3570622B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1508359A1 (en) * | 2002-05-30 | 2005-02-23 | Tokyo Electron Limited | Dehumidification system and dehumidification method |
| EP1508359A4 (en) * | 2002-05-30 | 2006-10-04 | Tokyo Electron Ltd | DEHUMIDIFICATION SYSTEM AND DEHUMIDIFICATION PROCESS |
| US7217313B2 (en) | 2002-05-30 | 2007-05-15 | Tokyo Electron Limited | Dehumidification system and dehumidification method |
| JP2009202083A (ja) * | 2008-02-27 | 2009-09-10 | Nichias Corp | ロータ素子構造体および乾燥空気供給装置 |
| JP2012020226A (ja) * | 2010-07-14 | 2012-02-02 | Toyobo Co Ltd | 有機溶剤含有ガス処理装置 |
| KR101192895B1 (ko) | 2011-01-04 | 2012-10-18 | 조기환 | 회전판 고형물 합체 분리기용 회전 로터 |
| JP5772950B2 (ja) * | 2011-04-21 | 2015-09-02 | 三菱電機株式会社 | 空気清浄機 |
| WO2016163160A1 (ja) * | 2015-04-08 | 2016-10-13 | シャープ株式会社 | 調湿装置 |
| JP2016198706A (ja) * | 2015-04-08 | 2016-12-01 | シャープ株式会社 | 調湿装置 |
| CN109847484A (zh) * | 2019-04-10 | 2019-06-07 | 温州商学院 | 一种家具生产用除尘装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3570622B2 (ja) | 2004-09-29 |
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