JP2001255665A - 画像露光装置 - Google Patents
画像露光装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】二次元空間変調素子と感光材料を保持するドラ
ムとを用いた画像露光によって、高い光の利用効率で、
しかも、ピントボケもない高精度な画像露光を行うこと
ができる画像露光装置を提供する。 【解決手段】光源部と、光源部から射出された光を変調
する二次元空間変調素子と、感光材料を保持するドラム
と、二次元空間変調素子に変調された光を感光材料に結
像する結像光学系と、ドラムの軸線方向および周方向
に、二次元空間変調素子およびドラムを相対的に走査す
る走査手段と、感光材料に結像される光が結像光学系の
焦点深度以内となるように、感光材料に結像される光の
ドラム周方向の長さを規制する規制手段とを有すること
により、前記課題を解決する。
ムとを用いた画像露光によって、高い光の利用効率で、
しかも、ピントボケもない高精度な画像露光を行うこと
ができる画像露光装置を提供する。 【解決手段】光源部と、光源部から射出された光を変調
する二次元空間変調素子と、感光材料を保持するドラム
と、二次元空間変調素子に変調された光を感光材料に結
像する結像光学系と、ドラムの軸線方向および周方向
に、二次元空間変調素子およびドラムを相対的に走査す
る走査手段と、感光材料に結像される光が結像光学系の
焦点深度以内となるように、感光材料に結像される光の
ドラム周方向の長さを規制する規制手段とを有すること
により、前記課題を解決する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、デジタルマイクロ
ミラーデバイス等の二次元空間変調素子とドラムを用い
た画像露光の技術分野に属し、詳しくは、光の利用効率
が高く、しかも、画像ボケのない高精度な画像露光を行
うことができる画像露光方法に関する。
ミラーデバイス等の二次元空間変調素子とドラムを用い
た画像露光の技術分野に属し、詳しくは、光の利用効率
が高く、しかも、画像ボケのない高精度な画像露光を行
うことができる画像露光方法に関する。
【0002】
【従来の技術】各種のプリンタ等で利用されているデジ
タルの(画像)露光系においては、レーザビームを主走
査方向に偏向すると共に、感光材料と光学系とを主走査
方向と直交する副走査方向に相対的に移動することによ
り、記録画像に応じて変調したレーザビームで感光材料
を二次元的に露光する、いわゆるレーザビーム走査露光
(ラスタースキャン)が主流である。
タルの(画像)露光系においては、レーザビームを主走
査方向に偏向すると共に、感光材料と光学系とを主走査
方向と直交する副走査方向に相対的に移動することによ
り、記録画像に応じて変調したレーザビームで感光材料
を二次元的に露光する、いわゆるレーザビーム走査露光
(ラスタースキャン)が主流である。
【0003】これに対し、近年、ディスプレイやモニタ
における表示手段として利用されている液晶ディスプレ
イ(以下、LCDとする)やデジタルマイクロミラーデ
バイス(以下、DMDとする)等の二次元の空間変調素
子を用いるデジタルの画像露光系が、各種提案されてい
る。この露光系においては、基本的に、二次元空間変調
素子(以下、空間変調素子とする)による表示画像を、
感光材料に結像することにより、感光材料を露光する。
特に、DMDはLCDに比して、変調速度(応答速度)
が早く、しかも光の利用効率も高いので、高速での露光
に有利である。
における表示手段として利用されている液晶ディスプレ
イ(以下、LCDとする)やデジタルマイクロミラーデ
バイス(以下、DMDとする)等の二次元の空間変調素
子を用いるデジタルの画像露光系が、各種提案されてい
る。この露光系においては、基本的に、二次元空間変調
素子(以下、空間変調素子とする)による表示画像を、
感光材料に結像することにより、感光材料を露光する。
特に、DMDはLCDに比して、変調速度(応答速度)
が早く、しかも光の利用効率も高いので、高速での露光
に有利である。
【0004】このような空間変調素子を用いたデジタル
露光系が、例えば、特開2000−19662号公報に
開示されている。この公報に開示される露光系は、R
(赤)、G(緑)およびB(青)の三原色の光と、空間
変調素子(主にDMDを例示)とを用いて、フルカラー
画像を作成するものである。この露光系においては、空
間変調素子(光学系)と感光材料とを、DMDの画素配
列の一方向に相対的に走査しつつ、空間変調素子による
画像も同期して対応方向に走査することにより、感光材
料を多重露光する。これにより、階調性および光の利用
効率を向上して、写真品質の画像出力を可能にしてい
る。
露光系が、例えば、特開2000−19662号公報に
開示されている。この公報に開示される露光系は、R
(赤)、G(緑)およびB(青)の三原色の光と、空間
変調素子(主にDMDを例示)とを用いて、フルカラー
画像を作成するものである。この露光系においては、空
間変調素子(光学系)と感光材料とを、DMDの画素配
列の一方向に相対的に走査しつつ、空間変調素子による
画像も同期して対応方向に走査することにより、感光材
料を多重露光する。これにより、階調性および光の利用
効率を向上して、写真品質の画像出力を可能にしてい
る。
【0005】一方で、印刷製版の分野においてもデジタ
ル化が検討されており、パーソナルコンピュータ(P
C)などを用いて編集作業等を行い、作成した各ページ
の(デジタル)画像データを生成して、この画像データ
に応じて変調した記録光でPS版を露光することによ
り、PC等からPS板に、直接、製版を行う、いわゆる
CTP(Computer to Plate)が提案されている。
ル化が検討されており、パーソナルコンピュータ(P
C)などを用いて編集作業等を行い、作成した各ページ
の(デジタル)画像データを生成して、この画像データ
に応じて変調した記録光でPS版を露光することによ
り、PC等からPS板に、直接、製版を行う、いわゆる
CTP(Computer to Plate)が提案されている。
【0006】現在、このようなCTPを実現するために
は、レーザビームによる露光が可能な、特殊なPS板が
必要である。しかしながら、このPS版は、紫外線によ
って露光される通常に用いられているPS版(以下、コ
ンベPS版とする)に比して、高価である上に、現像安
定性が低い。さらに、印刷適正も異なり、印刷物によっ
ては十分な品質の製品を得られない場合もある。また、
これらのPS版の露光には、光源として、可視光レーザ
や高出力の赤外線レーザ等の高価な光源が必要である。
は、レーザビームによる露光が可能な、特殊なPS板が
必要である。しかしながら、このPS版は、紫外線によ
って露光される通常に用いられているPS版(以下、コ
ンベPS版とする)に比して、高価である上に、現像安
定性が低い。さらに、印刷適正も異なり、印刷物によっ
ては十分な品質の製品を得られない場合もある。また、
これらのPS版の露光には、光源として、可視光レーザ
や高出力の赤外線レーザ等の高価な光源が必要である。
【0007】一方で、前述の空間変調素子を用いること
により、コンベPS版に露光が可能なCTP装置も提案
されている。この装置は、紫外線ランプを光源として、
空間変調素子の表示画像を結像、露光することにより、
コンベPS版を製版することを実現しており、静止状態
でコンベPS版の一部にDMDによる画像を所定時間結
像して露光した後、光学系を移動して、隣接する他の領
域の露光を行うことを繰り返す。
により、コンベPS版に露光が可能なCTP装置も提案
されている。この装置は、紫外線ランプを光源として、
空間変調素子の表示画像を結像、露光することにより、
コンベPS版を製版することを実現しており、静止状態
でコンベPS版の一部にDMDによる画像を所定時間結
像して露光した後、光学系を移動して、隣接する他の領
域の露光を行うことを繰り返す。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】ところで、印刷製版の
分野においては、画像の露光は、ドラムの外周面に感光
材料を保持して回転し、例えば、光学系をドラムの軸線
方向に移動することにより、画像に応じて変調された光
で感光材料を二次元的に走査露光する、いわゆるドラム
スキャナが多用されている。
分野においては、画像の露光は、ドラムの外周面に感光
材料を保持して回転し、例えば、光学系をドラムの軸線
方向に移動することにより、画像に応じて変調された光
で感光材料を二次元的に走査露光する、いわゆるドラム
スキャナが多用されている。
【0009】ここで、光の結像面は、通常は、ほぼ平面
である。そのため、このようなドラムスキャナにおい
て、前述のDMDのような二次元空間変調素子で変調さ
れた光を結像すると、光は二次元的な平面状の結像面を
有するので、曲率を有するドラム表面に保持された感光
材料面上とは、焦点位置ズレ、いわゆるピントボケを生
じてしまう。特に、印刷製版の分野では、例えば、24
00dpi等、非常に高精細で高画質な画像が要求され
る。そのため、僅かに像がボケただけでも大きな問題に
なってしまうことがある。
である。そのため、このようなドラムスキャナにおい
て、前述のDMDのような二次元空間変調素子で変調さ
れた光を結像すると、光は二次元的な平面状の結像面を
有するので、曲率を有するドラム表面に保持された感光
材料面上とは、焦点位置ズレ、いわゆるピントボケを生
じてしまう。特に、印刷製版の分野では、例えば、24
00dpi等、非常に高精細で高画質な画像が要求され
る。そのため、僅かに像がボケただけでも大きな問題に
なってしまうことがある。
【0010】本発明の目的は、前記従来技術の問題点を
解決することにあり、二次元空間変調素子と感光材料を
保持するドラムとを用いた画像露光によって、高い光の
利用効率で、しかも、ピントボケもない高精度な画像露
光を行うことができ、コンベPS版を用いたCTP装置
等に特に好適に利用できる画像露光装置を提供すること
にある。
解決することにあり、二次元空間変調素子と感光材料を
保持するドラムとを用いた画像露光によって、高い光の
利用効率で、しかも、ピントボケもない高精度な画像露
光を行うことができ、コンベPS版を用いたCTP装置
等に特に好適に利用できる画像露光装置を提供すること
にある。
【0011】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明は、感光材料の分光感度に応じた光を射出す
る光源部と、前記光源部から射出された光を記録画像に
応じて変調する二次元空間変調素子と、感光材料を保持
するドラムと、前記二次元空間変調素子によって変調さ
れた光をドラムに保持された感光材料に結像する結像光
学系と、前記ドラムの軸線方向および周方向に、前記二
次元空間変調素子およびドラムを相対的に走査する走査
手段と、前記結像光学系によって感光材料に結像される
光が、この結像光学系の焦点深度以内となるように、前
記感光材料に結像される光のドラム周方向の長さを規制
する規制手段とを有することを特徴とする画像露光装置
を提供する。
に、本発明は、感光材料の分光感度に応じた光を射出す
る光源部と、前記光源部から射出された光を記録画像に
応じて変調する二次元空間変調素子と、感光材料を保持
するドラムと、前記二次元空間変調素子によって変調さ
れた光をドラムに保持された感光材料に結像する結像光
学系と、前記ドラムの軸線方向および周方向に、前記二
次元空間変調素子およびドラムを相対的に走査する走査
手段と、前記結像光学系によって感光材料に結像される
光が、この結像光学系の焦点深度以内となるように、前
記感光材料に結像される光のドラム周方向の長さを規制
する規制手段とを有することを特徴とする画像露光装置
を提供する。
【0012】また、前記規制手段が、前記二次元空間変
調素子に入射する光に作用して、前記感光材料に結像さ
れる光のドラム周方向の長さを規制するものであるのが
好ましく、さらに、フライアイレンズを用いて前記光源
部から射出された光を二次元空間変調素子の受光面方向
で均一化する均一照射光学系を有し、このフライアイレ
ンズが、前記規制手段を兼ねる、もしくは、前記規制手
段が、前記光源部から感光材料に至る光路中に配置され
るスリット板であるのが、好ましい。
調素子に入射する光に作用して、前記感光材料に結像さ
れる光のドラム周方向の長さを規制するものであるのが
好ましく、さらに、フライアイレンズを用いて前記光源
部から射出された光を二次元空間変調素子の受光面方向
で均一化する均一照射光学系を有し、このフライアイレ
ンズが、前記規制手段を兼ねる、もしくは、前記規制手
段が、前記光源部から感光材料に至る光路中に配置され
るスリット板であるのが、好ましい。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明の画像露光装置につ
いて、添付の図面に示される好適実施例を基に、詳細に
説明する。
いて、添付の図面に示される好適実施例を基に、詳細に
説明する。
【0014】図1に、本発明の画像露光装置の一例を、
概念的に示す。図示例の画像露光装置10(以下、露光
装置10とする)は、二次元空間変調素子であるDMD
(デジタルマイクロミラーデバイス)と、エクスターナ
ルドラム(外面ドラム)を用いて感光材料を2次元的に
走査露光する、いわゆるドラムスキャナで、基本的に、
光源部12と、均一照射光学系14と、コリメートレン
ズ(光コリメータ)16と、反射ミラー18と、DMD
20と、結像光学系22と、エクスターナルドラム24
(以下、ドラム24とする)と、副走査駆動系(図示省
略)とを有する。
概念的に示す。図示例の画像露光装置10(以下、露光
装置10とする)は、二次元空間変調素子であるDMD
(デジタルマイクロミラーデバイス)と、エクスターナ
ルドラム(外面ドラム)を用いて感光材料を2次元的に
走査露光する、いわゆるドラムスキャナで、基本的に、
光源部12と、均一照射光学系14と、コリメートレン
ズ(光コリメータ)16と、反射ミラー18と、DMD
20と、結像光学系22と、エクスターナルドラム24
(以下、ドラム24とする)と、副走査駆動系(図示省
略)とを有する。
【0015】光源部12は、感光材料を露光する光を射
出するもので、光源26とリフレクタ28とを有して構
成される。光源26としては、十分な光量の光を射出で
きる物であれば、対象となる感光材料の分光感度に応じ
た各種の光源が利用可能である。例えば、感光材料が、
紫外線による露光が可能な通常に用いられるPS版(コ
ンベPS版)であれば、超高圧水銀灯やメタルハライド
ランプ等の紫外線ランプを用いればよい。リフレクタ2
8は、光源26を内包し、内面が光反射層となっている
回転楕円体で、光源26から射出された光を反射して、
その焦点位置に集光する。
出するもので、光源26とリフレクタ28とを有して構
成される。光源26としては、十分な光量の光を射出で
きる物であれば、対象となる感光材料の分光感度に応じ
た各種の光源が利用可能である。例えば、感光材料が、
紫外線による露光が可能な通常に用いられるPS版(コ
ンベPS版)であれば、超高圧水銀灯やメタルハライド
ランプ等の紫外線ランプを用いればよい。リフレクタ2
8は、光源26を内包し、内面が光反射層となっている
回転楕円体で、光源26から射出された光を反射して、
その焦点位置に集光する。
【0016】光源部12から射出された光は、次いで、
均一照射光学系14に入射する。均一照射光学系14
は、DMD20に入射する光(光量分布)を、DMD2
0の光変調面方向(二次元的な画素配列方向)で均一に
するもので、図示例においては、コリメートレンズ30
とフライアイレンズ32を有して構成され、リフレクタ
28による集光位置のすぐ下流(光の進行方向の下流)
に配置される。
均一照射光学系14に入射する。均一照射光学系14
は、DMD20に入射する光(光量分布)を、DMD2
0の光変調面方向(二次元的な画素配列方向)で均一に
するもので、図示例においては、コリメートレンズ30
とフライアイレンズ32を有して構成され、リフレクタ
28による集光位置のすぐ下流(光の進行方向の下流)
に配置される。
【0017】フライアイレンズ32とは、微小な同じレ
ンズが、多数、二次元的に配置されたレンズである。図
示例においては、好ましい態様として、このフライアイ
レンズ32が、後述するドラム24に入射する光の主走
査方向を規制する規制手段となっている。
ンズが、多数、二次元的に配置されたレンズである。図
示例においては、好ましい態様として、このフライアイ
レンズ32が、後述するドラム24に入射する光の主走
査方向を規制する規制手段となっている。
【0018】コリメートレンズ30でコリメート(平
行)光とされた光は、フライアイレンズ32に入射す
る。図2に模式的に示すように、フライアイレンズ32
に入射したコリメート光は、フライアイレンズ32を構
成する各レンズ素子32aで集光・拡散されることによ
って重畳され、光量分布が均一化される。なお、図2中
点線で示されるのは、各レンズ素子32aの焦点位置で
ある。また、フライアイレンズ32においては、此処の
レンズ素子32aで集光・拡散された光は、遠視野にお
いて、レンズ素子32aと同形状(光軸と直交方向の形
状)の光となる。DMD20によって変調を行う本例に
おいては、図3に模式的に示されるように、微小な矩形
のレンズ素子32aを多数、二次元的に配列してなるも
のである。
行)光とされた光は、フライアイレンズ32に入射す
る。図2に模式的に示すように、フライアイレンズ32
に入射したコリメート光は、フライアイレンズ32を構
成する各レンズ素子32aで集光・拡散されることによ
って重畳され、光量分布が均一化される。なお、図2中
点線で示されるのは、各レンズ素子32aの焦点位置で
ある。また、フライアイレンズ32においては、此処の
レンズ素子32aで集光・拡散された光は、遠視野にお
いて、レンズ素子32aと同形状(光軸と直交方向の形
状)の光となる。DMD20によって変調を行う本例に
おいては、図3に模式的に示されるように、微小な矩形
のレンズ素子32aを多数、二次元的に配列してなるも
のである。
【0019】均一照射光学系14で拡散された光は、コ
リメータレンズ16によって平行光とされた後、ミラー
18に所定方向に反射され、DMD20に入射する。ミ
ラー18は、DMD20におけるマイクロミラーの回転
角を±θとした際に、DMD20(水平位置のマイクロ
ミラー)への入射角が2θとなるように、前記平行光を
反射する。例えば、マイクロミラーの回転角が±10°
であれば、平行光のDMD20への入射角は20°とな
る。
リメータレンズ16によって平行光とされた後、ミラー
18に所定方向に反射され、DMD20に入射する。ミ
ラー18は、DMD20におけるマイクロミラーの回転
角を±θとした際に、DMD20(水平位置のマイクロ
ミラー)への入射角が2θとなるように、前記平行光を
反射する。例えば、マイクロミラーの回転角が±10°
であれば、平行光のDMD20への入射角は20°とな
る。
【0020】周知のように、DMD20は、所定の回転
軸を中心に所定角度回転(揺動)可能な矩形のマイクロ
ミラーを、二次元的に配列してなる二次元空間変調素子
で、静電的にマイクロミラーを回転することにより、各
マイクロミラー(=画素)毎に露光をon/offし
て、光を変調する。このようなDMD20は、半導体装
置の製造プロセスを応用したマイクロマシン技術によっ
てシリコンチップ上に作成される。例えば、前述のよう
に、マイクロミラーの回転角が±10°の際に、入射角
20°で入射した光は、露光onであれば、DMD20
(水平位置のマイクロミラー)の法線方向に反射され
て、画像を担持する光として結像光学系22を経てドラ
ム24に入射、結像する。逆に、露光offでは、入射
した光は、法線に対して40°の角度で反射され(図1
中点線)、結像光学系22には入射しない。
軸を中心に所定角度回転(揺動)可能な矩形のマイクロ
ミラーを、二次元的に配列してなる二次元空間変調素子
で、静電的にマイクロミラーを回転することにより、各
マイクロミラー(=画素)毎に露光をon/offし
て、光を変調する。このようなDMD20は、半導体装
置の製造プロセスを応用したマイクロマシン技術によっ
てシリコンチップ上に作成される。例えば、前述のよう
に、マイクロミラーの回転角が±10°の際に、入射角
20°で入射した光は、露光onであれば、DMD20
(水平位置のマイクロミラー)の法線方向に反射され
て、画像を担持する光として結像光学系22を経てドラ
ム24に入射、結像する。逆に、露光offでは、入射
した光は、法線に対して40°の角度で反射され(図1
中点線)、結像光学系22には入射しない。
【0021】図示例の露光装置10においては、一例と
して、画素間隔が17μmで、1280画素×1024
画素のDMD20を用いている。従って、DMD20
(その光変調(反射)面の合計)は、21.75mm×
17.4mmである。また、後述するドラム24の回転
方向とDMD20の1024画素の画素列方向とが光学
的に一致し(以下、この方向を主走査方向とする)、か
つ、ドラム24の軸線方向と同1280画素の画素列方
向とが光学的に一致(同、副走査方向とする)するよう
に、各部材が配置される。
して、画素間隔が17μmで、1280画素×1024
画素のDMD20を用いている。従って、DMD20
(その光変調(反射)面の合計)は、21.75mm×
17.4mmである。また、後述するドラム24の回転
方向とDMD20の1024画素の画素列方向とが光学
的に一致し(以下、この方向を主走査方向とする)、か
つ、ドラム24の軸線方向と同1280画素の画素列方
向とが光学的に一致(同、副走査方向とする)するよう
に、各部材が配置される。
【0022】なお、本発明においては、二次元空間素子
は図示例のようなDMD20には限定されず、液晶表示
装置(LCD)、強誘電性液晶による空間変調素子等、
公知の各種の二次元空間変調素子が各種利用可能であ
る。中でも、変調速度や光に利用効率等の点で、DMD
が最も好ましい。
は図示例のようなDMD20には限定されず、液晶表示
装置(LCD)、強誘電性液晶による空間変調素子等、
公知の各種の二次元空間変調素子が各種利用可能であ
る。中でも、変調速度や光に利用効率等の点で、DMD
が最も好ましい。
【0023】ここで、コリメートレンズ16に入射した
平行光は、コリメートレンズ16のレンズの焦点で交わ
るのは、周知のとおりである。すなわち、図4に模式的
に示すように、この焦点位置では、フライアイレンズ3
2の各レンズ素子32aで集光・拡散され、コリメート
レンズ16を通過した光は、ほぼ重なる。DMD20
は、この焦点位置に配置される(図4においては、ミラ
ー18は省略)。また、前述のように、フライアイレン
ズ32の各レンズ素子32aで集光・拡散された光は、
遠視野位置、すなわちコリメートレンズ16の下流の焦
点位置で、レンズ素子32aと同形状となる。従って、
露光装置10においては、DMD20に入射する光は
(後述する、スリット板等が無い場合)、基本的に、フ
ライアイレンズ32のレンズ素子32aと同形状の光と
なる。
平行光は、コリメートレンズ16のレンズの焦点で交わ
るのは、周知のとおりである。すなわち、図4に模式的
に示すように、この焦点位置では、フライアイレンズ3
2の各レンズ素子32aで集光・拡散され、コリメート
レンズ16を通過した光は、ほぼ重なる。DMD20
は、この焦点位置に配置される(図4においては、ミラ
ー18は省略)。また、前述のように、フライアイレン
ズ32の各レンズ素子32aで集光・拡散された光は、
遠視野位置、すなわちコリメートレンズ16の下流の焦
点位置で、レンズ素子32aと同形状となる。従って、
露光装置10においては、DMD20に入射する光は
(後述する、スリット板等が無い場合)、基本的に、フ
ライアイレンズ32のレンズ素子32aと同形状の光と
なる。
【0024】DMD20によって法線方向に反射され
た、画像を担持する光(すなわち、DMD20が形成す
る画像)は、結像光学系22によって、ドラム24の表
面(そこに保持された感光材料の表面 以下、単にド
ラム表面とする)に結像する。DMD20の中心画素は
結像光学系22の光軸に一致しており、また、この光軸
は、ドラム24の接線に直交するように、各部位が配置
される。図示例の露光装置10は、一例として、240
0dpiの画像を露光する。従って、露光面上における
画素間隔は10.58μmであるので、結像光学系22
は、0.623倍の倍率でDMD20によって変調・反
射された画像を担持する光をドラム24の表面に結像す
る。すなわち、ドラム表面(露光面上)における露光エ
リアは、最大で、13.5mm×10.8mmとなる。
た、画像を担持する光(すなわち、DMD20が形成す
る画像)は、結像光学系22によって、ドラム24の表
面(そこに保持された感光材料の表面 以下、単にド
ラム表面とする)に結像する。DMD20の中心画素は
結像光学系22の光軸に一致しており、また、この光軸
は、ドラム24の接線に直交するように、各部位が配置
される。図示例の露光装置10は、一例として、240
0dpiの画像を露光する。従って、露光面上における
画素間隔は10.58μmであるので、結像光学系22
は、0.623倍の倍率でDMD20によって変調・反
射された画像を担持する光をドラム24の表面に結像す
る。すなわち、ドラム表面(露光面上)における露光エ
リアは、最大で、13.5mm×10.8mmとなる。
【0025】(エクスターナル)ドラム24は、外側面
に感光材料を保持して、軸線を中心に回転する円筒であ
る。露光装置10においては、光源部12から結像光学
系22に至る光学系は、点線で示されるように一体的に
ユニット化(以下、光学系ユニット26とする)されて
おり、公知の方法で、副走査方向に所定速度で移動す
る。露光装置10は、感光材料の露光時には、記録する
画像に応じて変調した光をドラム24(感光材料)に入
射して、ドラム24を回転(主走査)しながら、副走査
方向に光学系ユニット26を移動する。これにより、画
像を担持する光によって感光材料を二次元的に走査露光
して、画像を記録し、例えば、コンベPS版が製版され
る。
に感光材料を保持して、軸線を中心に回転する円筒であ
る。露光装置10においては、光源部12から結像光学
系22に至る光学系は、点線で示されるように一体的に
ユニット化(以下、光学系ユニット26とする)されて
おり、公知の方法で、副走査方向に所定速度で移動す
る。露光装置10は、感光材料の露光時には、記録する
画像に応じて変調した光をドラム24(感光材料)に入
射して、ドラム24を回転(主走査)しながら、副走査
方向に光学系ユニット26を移動する。これにより、画
像を担持する光によって感光材料を二次元的に走査露光
して、画像を記録し、例えば、コンベPS版が製版され
る。
【0026】前述のように、この露光装置10において
は、ドラム表面における副走査方向の露光エリアは最大
で13.5mmであるので、例えば、ドラム24が一回
転すると光学系ユニット26が13.5mmだけ副走査
方向に移動する。また、DMD20は、副走査方向に1
280画素を有するので、露光装置10においては、1
280画素のマルチ露光が可能である。
は、ドラム表面における副走査方向の露光エリアは最大
で13.5mmであるので、例えば、ドラム24が一回
転すると光学系ユニット26が13.5mmだけ副走査
方向に移動する。また、DMD20は、副走査方向に1
280画素を有するので、露光装置10においては、1
280画素のマルチ露光が可能である。
【0027】ここで、図示例の露光装置10において
は、このような露光時に、ドラム24の回転(主走査)
に同期して、DMD20が形成する画像(DMD20に
おける変調)も主走査方向に走査(移動)することによ
り、多重露光を行う。すなわち、ドラムが1画素(1
0.58μm分)回転したら、DMD20による形成画
像も、1画素、主走査方向に移動する。従って、図示例
であれば、最大で、1024回の多重露光が行われる。
は、このような露光時に、ドラム24の回転(主走査)
に同期して、DMD20が形成する画像(DMD20に
おける変調)も主走査方向に走査(移動)することによ
り、多重露光を行う。すなわち、ドラムが1画素(1
0.58μm分)回転したら、DMD20による形成画
像も、1画素、主走査方向に移動する。従って、図示例
であれば、最大で、1024回の多重露光が行われる。
【0028】このような多重露光を行うことにより、光
の利用効率を高くして、十分な光量で感光材料を露光す
ることができ、例えば、超高圧水銀灯等の一般的な紫外
線ランプを用いてコンベPS版を露光して製版を行うこ
とが可能になり、あるいは、階調画像を記録する場合で
あれば、主走査方向の画素数を利用して好適に階調画像
を記録できる。特に、図示例のようなDMD20は、L
CD等に比べて光の利用効率が高いので、より好適な画
像露光が可能である。
の利用効率を高くして、十分な光量で感光材料を露光す
ることができ、例えば、超高圧水銀灯等の一般的な紫外
線ランプを用いてコンベPS版を露光して製版を行うこ
とが可能になり、あるいは、階調画像を記録する場合で
あれば、主走査方向の画素数を利用して好適に階調画像
を記録できる。特に、図示例のようなDMD20は、L
CD等に比べて光の利用効率が高いので、より好適な画
像露光が可能である。
【0029】前述のように、図示例の露光装置10にお
いては、ドラム表面における露光エリアは、最大で1
3.5mm×10.8mm(副走査×主走査)となる。
ここで、結像光学系22による結像面は、図5に点線で
示されるように、平面であるのが通常である。これに対
し、ドラム表面は(ドラム24に保持される感光材料)
は、曲率を有している。従って、DMD20等の二次元
空間変調素子を用いるドラムスキャナである本発明の露
光装置10においては、ドラム24の径と、ドラム表面
に入射する光の主走査方向の長さb(以下、光の主走査
方向の長さbとする)とに応じて、矢印aで示される距
離だけ焦点位置ズレ、すなわちピントボケが生じてしま
い、画像がボケてしまう。
いては、ドラム表面における露光エリアは、最大で1
3.5mm×10.8mm(副走査×主走査)となる。
ここで、結像光学系22による結像面は、図5に点線で
示されるように、平面であるのが通常である。これに対
し、ドラム表面は(ドラム24に保持される感光材料)
は、曲率を有している。従って、DMD20等の二次元
空間変調素子を用いるドラムスキャナである本発明の露
光装置10においては、ドラム24の径と、ドラム表面
に入射する光の主走査方向の長さb(以下、光の主走査
方向の長さbとする)とに応じて、矢印aで示される距
離だけ焦点位置ズレ、すなわちピントボケが生じてしま
い、画像がボケてしまう。
【0030】図6に、光の主走査方向の長さbと焦点位
置ズレaとの関係の一例を示す。なお、図6において、
rはドラム24の半径で、実線で示されるr=178m
mのドラムはB1サイズの感光材料に、点線で示される
r=127mmのドラムはB2サイズの感光材料に、そ
れぞれ対応する。また、参考として、中間サイズのr=
150mm(一点鎖線)のドラムの例も併記する。ま
た、図中縦方向の点線は、2400dpiの画像露光に
おける、画素数と光の主走査方向の長さbとの関係を示
すものである。
置ズレaとの関係の一例を示す。なお、図6において、
rはドラム24の半径で、実線で示されるr=178m
mのドラムはB1サイズの感光材料に、点線で示される
r=127mmのドラムはB2サイズの感光材料に、そ
れぞれ対応する。また、参考として、中間サイズのr=
150mm(一点鎖線)のドラムの例も併記する。ま
た、図中縦方向の点線は、2400dpiの画像露光に
おける、画素数と光の主走査方向の長さbとの関係を示
すものである。
【0031】図6に示されるように、例えば、2400
dpiで1024画素の露光を行う場合、光の主走査方
向の長さbは、前述のように10.8mmであり、ドラ
ム24の半径が178mmの場合であれば、約80μm
の焦点位置ズレを生じてしまう。また、当然のことであ
るが、焦点位置ズレは、画素数が多い程すなわち光が主
走査方向に長い程、また、ドラム24の径が小さい程、
大きい。
dpiで1024画素の露光を行う場合、光の主走査方
向の長さbは、前述のように10.8mmであり、ドラ
ム24の半径が178mmの場合であれば、約80μm
の焦点位置ズレを生じてしまう。また、当然のことであ
るが、焦点位置ズレは、画素数が多い程すなわち光が主
走査方向に長い程、また、ドラム24の径が小さい程、
大きい。
【0032】一般的に、DMD20は、マイクロミラー
の回転角が±10°の場合には、1画素(一枚のマイク
ロミラー)から射出される光が、F数(Fナンバー)で
3.0程度であるのが最適と言われている。この際にお
いて、図示例であれあば、結像光学系22は0.623
倍で光をドラム表面に結像するので、F数は、約1.9
程度に相当する。F数が1.9程度の光学系において
は、80μmの焦点位置ズレは非常に大きく、すなわち
画像ボケとなる。特に、前述のようなCTPでは、高精
細で高画質な画像が要求されるため、このような画像ボ
ケは、大きな問題となる。
の回転角が±10°の場合には、1画素(一枚のマイク
ロミラー)から射出される光が、F数(Fナンバー)で
3.0程度であるのが最適と言われている。この際にお
いて、図示例であれあば、結像光学系22は0.623
倍で光をドラム表面に結像するので、F数は、約1.9
程度に相当する。F数が1.9程度の光学系において
は、80μmの焦点位置ズレは非常に大きく、すなわち
画像ボケとなる。特に、前述のようなCTPでは、高精
細で高画質な画像が要求されるため、このような画像ボ
ケは、大きな問題となる。
【0033】ここで、前述のように、この露光装置10
では、光の主走査方向の長さbが短くなれば、この焦点
位置ズレは小さくなる。例えば、前述の例であれば、5
12画素に相当する5.4mmであれば、焦点位置ズレ
は約20μm、さらに、256画素に相当する2.7m
mであれば、焦点位置ズレは約5μmとなる。1.9相
当のF数を有する光学系であっても、焦点位置ズレが2
0μm程度であれば、通常は結像光学系22の焦点深度
内であり、CTP等の印刷製版用途でも画質の劣化は大
きな問題とはならない。
では、光の主走査方向の長さbが短くなれば、この焦点
位置ズレは小さくなる。例えば、前述の例であれば、5
12画素に相当する5.4mmであれば、焦点位置ズレ
は約20μm、さらに、256画素に相当する2.7m
mであれば、焦点位置ズレは約5μmとなる。1.9相
当のF数を有する光学系であっても、焦点位置ズレが2
0μm程度であれば、通常は結像光学系22の焦点深度
内であり、CTP等の印刷製版用途でも画質の劣化は大
きな問題とはならない。
【0034】本発明は、これを利用したものであって、
結像光学系22によってドラム表面(感光材料)に結像
される光が、この結像光学系22の焦点深度以内となる
ように、光の主走査方向(ドラム周方向)の長さbを規
制する規制手段を有する。これにより、DMD20等の
空間変調素子で変調された、画像を担持する光を、主走
査方向全域にわたってドラム表面に適正に結像すること
ができ、すなわち、高精度な露光を行うことができる。
従って、本発明によれば、二次元空間変調素子を用い
て、良好な光利用効率で、かつ、画像を担持する光を適
正に感光材料に結像して、高精度な露光を行うことがで
き、例えば、印刷分野におけるCTPに利用することに
より、超高圧水銀灯のような一般的な光源を用いて、コ
ンベPS版を高精度にムラなく露光することが可能とな
り、感光材料コストの低減、現像安定性の確保、印刷適
正の共通化等を図ることができる。
結像光学系22によってドラム表面(感光材料)に結像
される光が、この結像光学系22の焦点深度以内となる
ように、光の主走査方向(ドラム周方向)の長さbを規
制する規制手段を有する。これにより、DMD20等の
空間変調素子で変調された、画像を担持する光を、主走
査方向全域にわたってドラム表面に適正に結像すること
ができ、すなわち、高精度な露光を行うことができる。
従って、本発明によれば、二次元空間変調素子を用い
て、良好な光利用効率で、かつ、画像を担持する光を適
正に感光材料に結像して、高精度な露光を行うことがで
き、例えば、印刷分野におけるCTPに利用することに
より、超高圧水銀灯のような一般的な光源を用いて、コ
ンベPS版を高精度にムラなく露光することが可能とな
り、感光材料コストの低減、現像安定性の確保、印刷適
正の共通化等を図ることができる。
【0035】なお、上記構成を有する本発明の露光装置
においては、主走査方向の画素数が少なくなってしま
う。しかしながら、CTPなどの印刷製版分野であれ
ば、画像記録は2値で行われるので、画像データに応じ
て、主走査方向(画素列)の全画素がonかoffにな
る。従って、前述のような多重露光を利用することによ
り、画素数が減少しても、十分に適正な露光を行うこと
ができる。
においては、主走査方向の画素数が少なくなってしま
う。しかしながら、CTPなどの印刷製版分野であれ
ば、画像記録は2値で行われるので、画像データに応じ
て、主走査方向(画素列)の全画素がonかoffにな
る。従って、前述のような多重露光を利用することによ
り、画素数が減少しても、十分に適正な露光を行うこと
ができる。
【0036】本発明において、光の主走査方向の長さb
を規制する規制手段としては、各種の方法が利用可能で
ある。
を規制する規制手段としては、各種の方法が利用可能で
ある。
【0037】例えば、光源部12からドラム24に至る
光路中に、主走査方向の光を規制するスリットが形成さ
れたスリット板を配置する方法が例示される。例えば、
図示例において、ドラム24の半径が178mmであれ
ば、DMD20のすぐ上流に、主走査方向の幅が8.7
mmのスリットを有するスリット板を配置することによ
り、ドラム表面に入射する光の主走査方向の長さbを約
5.4mm(8.7mm×0.623)とし、焦点位置
ズレを最大で約20μmにできる。この方法において
は、ドラム24の前にスリット板を配置してもよいが、
走査の容易性、設計の容易性、装置構成を簡易にできる
等の点で、スリット板は、DMD20(二次元空間変調
素子)よりも上流側に配置し、DMD20に入射する光
を主走査方向に規制するのが好ましい。
光路中に、主走査方向の光を規制するスリットが形成さ
れたスリット板を配置する方法が例示される。例えば、
図示例において、ドラム24の半径が178mmであれ
ば、DMD20のすぐ上流に、主走査方向の幅が8.7
mmのスリットを有するスリット板を配置することによ
り、ドラム表面に入射する光の主走査方向の長さbを約
5.4mm(8.7mm×0.623)とし、焦点位置
ズレを最大で約20μmにできる。この方法において
は、ドラム24の前にスリット板を配置してもよいが、
走査の容易性、設計の容易性、装置構成を簡易にできる
等の点で、スリット板は、DMD20(二次元空間変調
素子)よりも上流側に配置し、DMD20に入射する光
を主走査方向に規制するのが好ましい。
【0038】あるいは、スリットを用いずに、DMD2
0(二次元空間変調素子)そのものを規制手段として、
DMD20の主走査方向の中心8.7mmに位置する画
素以外を、常にoffにすることにより、ドラム表面に
入射する光の主走査方向の長さbを約5.4mmとし、
焦点位置ズレを最大で約20μmにする方法も利用可能
である。
0(二次元空間変調素子)そのものを規制手段として、
DMD20の主走査方向の中心8.7mmに位置する画
素以外を、常にoffにすることにより、ドラム表面に
入射する光の主走査方向の長さbを約5.4mmとし、
焦点位置ズレを最大で約20μmにする方法も利用可能
である。
【0039】なお、これらの方法は、光源部12から射
出された光を遮光するので、光の利用効率の点では不利
であり、例えば、光源26の光量や使用する感光材料の
感度によっては、光量が不十分になってしまう場合もあ
るので、注意を要する。
出された光を遮光するので、光の利用効率の点では不利
であり、例えば、光源26の光量や使用する感光材料の
感度によっては、光量が不十分になってしまう場合もあ
るので、注意を要する。
【0040】また、DMD20そのものを規制手段とす
る別の方法として、記録画像の解像度に応じて、主査方
向の画素数が前記焦点深度内に入るような物を使用する
方法が例示される。図示例において、ドラム24がr=
178m場合であれば、主走査方向の画素数が512画
素のDMD20を用いれば、同様に、光の主走査方向の
長さbを5.4mmにできる。なお、この方法では、こ
の露光装置10専用のDMD20が必要となるため、従
来よりディスプレイ等に使用されている既製品のDMD
20を使用する場合に比して、コスト的には不利とな
る。
る別の方法として、記録画像の解像度に応じて、主査方
向の画素数が前記焦点深度内に入るような物を使用する
方法が例示される。図示例において、ドラム24がr=
178m場合であれば、主走査方向の画素数が512画
素のDMD20を用いれば、同様に、光の主走査方向の
長さbを5.4mmにできる。なお、この方法では、こ
の露光装置10専用のDMD20が必要となるため、従
来よりディスプレイ等に使用されている既製品のDMD
20を使用する場合に比して、コスト的には不利とな
る。
【0041】最も好ましい規制手段の一つとして、図示
例の露光装置10のように、均一拡散光学系14にフラ
イアイレンズ32を用い、このフライアイレンズ32を
規制手段とする方法が例示される。この方法によれば、
既製品のDMD20(二次元空間変調素子)を用い、か
つ、光源部12から射出された光を無駄にすることなく
最大限に利用して、光の主走査方向の長さbを、目的の
長さにできる。
例の露光装置10のように、均一拡散光学系14にフラ
イアイレンズ32を用い、このフライアイレンズ32を
規制手段とする方法が例示される。この方法によれば、
既製品のDMD20(二次元空間変調素子)を用い、か
つ、光源部12から射出された光を無駄にすることなく
最大限に利用して、光の主走査方向の長さbを、目的の
長さにできる。
【0042】図2に示されるように、フライアイレンズ
32を通過して拡散された光の或る位置における照射幅
は、フライアイレンズ32の各レンズ素子32aの焦点
距離が同一であれば、レンズ素子32aのサイズによっ
て決定される。例えば、図2に示されるように、フライ
アイレンズ32のレンズ素子32aのサイズが、図2
(A)ではd/m、図2(B)ではdであれば、ある位
置における照射幅は、図2(A)ではD/m、図2
(B)ではDとなる。
32を通過して拡散された光の或る位置における照射幅
は、フライアイレンズ32の各レンズ素子32aの焦点
距離が同一であれば、レンズ素子32aのサイズによっ
て決定される。例えば、図2に示されるように、フライ
アイレンズ32のレンズ素子32aのサイズが、図2
(A)ではd/m、図2(B)ではdであれば、ある位
置における照射幅は、図2(A)ではD/m、図2
(B)ではDとなる。
【0043】また、前述のように、フライアイレンズ3
2を通過した光は、レンズ素子32aと同様の形状を有
し、かつ、フライアイレンズ32を通過した光が、コリ
メートレンズ16に入射すると、前述の焦点位置におい
て光は収束する。すなわち、図示例においては、DMD
20に入射する光は、フライアイレンズ32のレンズ素
子32aを拡大した形状となる。
2を通過した光は、レンズ素子32aと同様の形状を有
し、かつ、フライアイレンズ32を通過した光が、コリ
メートレンズ16に入射すると、前述の焦点位置におい
て光は収束する。すなわち、図示例においては、DMD
20に入射する光は、フライアイレンズ32のレンズ素
子32aを拡大した形状となる。
【0044】従って、フライアイレンズ32のレンズ素
子32aの形状を適正に設定することにより、光源部1
2から射出された光を無駄にすることなく、光の主走査
方向の長さbを規制して、結像光学系22によってドラ
ム24に結像される光を、この結像光学系22の焦点深
度以内にできる。
子32aの形状を適正に設定することにより、光源部1
2から射出された光を無駄にすることなく、光の主走査
方向の長さbを規制して、結像光学系22によってドラ
ム24に結像される光を、この結像光学系22の焦点深
度以内にできる。
【0045】例えば、図示例において、ドラム24の半
径が前述の178mmであれば、フライアイレンズ32
のレンズ素子32aの形状を、副走査方向のサイズを
d、主走査方向のサイズをd/2.5の矩形とすれば、
光の主走査方向の長さbを5.4mmとして、焦点位置
ズレを20μm程度の焦点深度内にできる。
径が前述の178mmであれば、フライアイレンズ32
のレンズ素子32aの形状を、副走査方向のサイズを
d、主走査方向のサイズをd/2.5の矩形とすれば、
光の主走査方向の長さbを5.4mmとして、焦点位置
ズレを20μm程度の焦点深度内にできる。
【0046】すなわち、図3に示されるように、光源部
12から射出され、フライアイレンズ32に入射した光
は、この面上では円形(リフレクタ28が穴あきの回転
楕円鏡であればドーナツ型)であるが、各レンズ素子3
2aによって集光・拡散され、重畳されて、DMD20
面上では、均一な光量分布を有する矩形となる。ここ
で、レンズ素子32aの副走査方向のサイズdに応じて
光学系を設定し、DMD20の変調面上における副走査
方向の光の長さを、DMD20と同様の21.75mm
とすれば、同主走査方向の光の長さはd/2.5で8.
7mmとなる。従って、結像光学系22の倍率が、0.
623倍であるので、DMD20によって変調、反射さ
れた光のドラム表面における大きさは、主走査方向5.
4mm、副走査方向13.5mmとなる。すなわち、光
を無駄にすることなく主走査方向の全域の焦点位置ズレ
を20μm程度の焦点深度内として、512回の多重露
光による1280画素のマルチ露光を行い、良好な光の
利用効率で、画像ボケのない高画質な、露光を行うこと
ができる。
12から射出され、フライアイレンズ32に入射した光
は、この面上では円形(リフレクタ28が穴あきの回転
楕円鏡であればドーナツ型)であるが、各レンズ素子3
2aによって集光・拡散され、重畳されて、DMD20
面上では、均一な光量分布を有する矩形となる。ここ
で、レンズ素子32aの副走査方向のサイズdに応じて
光学系を設定し、DMD20の変調面上における副走査
方向の光の長さを、DMD20と同様の21.75mm
とすれば、同主走査方向の光の長さはd/2.5で8.
7mmとなる。従って、結像光学系22の倍率が、0.
623倍であるので、DMD20によって変調、反射さ
れた光のドラム表面における大きさは、主走査方向5.
4mm、副走査方向13.5mmとなる。すなわち、光
を無駄にすることなく主走査方向の全域の焦点位置ズレ
を20μm程度の焦点深度内として、512回の多重露
光による1280画素のマルチ露光を行い、良好な光の
利用効率で、画像ボケのない高画質な、露光を行うこと
ができる。
【0047】以上、本発明の画像露光装置について詳細
に説明したが、本発明は上記実施例に限定はされず、本
発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変
更を行ってもよいのは、もちろんである。例えば、図示
例の露光装置10は、エクスターナルドラムを用いたド
ラムスキャナであったが、本発明はこれに限定はされ
ず、インターナルドラムを用いたドラムスキャナであっ
てもよい。
に説明したが、本発明は上記実施例に限定はされず、本
発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変
更を行ってもよいのは、もちろんである。例えば、図示
例の露光装置10は、エクスターナルドラムを用いたド
ラムスキャナであったが、本発明はこれに限定はされ
ず、インターナルドラムを用いたドラムスキャナであっ
てもよい。
【0048】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、二次元空間変調素子とドラムとを用いて、良好
な光利用効率で、光を適正に結像して、高精度な画像露
光を行うことができ、例えば、印刷分野におけるCTP
に利用することにより、一般的な光源を用いて、コンベ
PS版を高精度に露光することができる。
よれば、二次元空間変調素子とドラムとを用いて、良好
な光利用効率で、光を適正に結像して、高精度な画像露
光を行うことができ、例えば、印刷分野におけるCTP
に利用することにより、一般的な光源を用いて、コンベ
PS版を高精度に露光することができる。
【図1】 本発明の画像露光装置の一例の概念図であ
る。
る。
【図2】 (A)および(B)は、フライアイレンズの
作用を説明するための概念図である。
作用を説明するための概念図である。
【図3】 本発明において、ドラムに入射する光の主走
査方向の長さを規制する手段の好ましい例を説明するた
めの模式図である。
査方向の長さを規制する手段の好ましい例を説明するた
めの模式図である。
【図4】 フライアイレンズおよびコリメータレンズの
作用を説明するための概念図である。
作用を説明するための概念図である。
【図5】 ドラムスキャナの焦点位置ズレを説明するた
めの概念図である。
めの概念図である。
【図6】 ドラムスキャナの焦点位置ズレの一例を示す
グラフである。
グラフである。
10 (画像)露光装置 12 光源部 14 均一照射光学系 16,30 コリメータレンズ 18 ミラー 20 DMD(デジタルマイクロミラーデバイス) 22 結像光学系 24 (エクスターナル)ドラム 26 光学ユニット 32 フライアイレンズ 32a レンズ素子
Claims (4)
- 【請求項1】感光材料の分光感度に応じた光を射出する
光源部と、前記光源部から射出された光を記録画像に応
じて変調する二次元空間変調素子と、感光材料を保持す
るドラムと、前記二次元空間変調素子によって変調され
た光をドラムに保持された感光材料に結像する結像光学
系と、前記ドラムの軸線方向および周方向に、前記二次
元空間変調素子およびドラムを相対的に走査する走査手
段と、前記結像光学系によって感光材料に結像される光
が、この結像光学系の焦点深度以内となるように、前記
感光材料に結像される光のドラム周方向の長さを規制す
る規制手段とを有することを特徴とする画像露光装置。 - 【請求項2】前記規制手段が、前記二次元空間変調素子
に入射する光に作用して、前記感光材料に結像される光
のドラム周方向の長さを規制するものである請求項1に
記載の画像露光装置。 - 【請求項3】フライアイレンズを用いて前記光源部から
射出された光を二次元空間変調素子の受光面方向で均一
化する均一照射光学系を有し、このフライアイレンズ
が、前記規制手段を兼ねる請求項1または2に記載の画
像露光装置。 - 【請求項4】前記規制手段が、前記光源部から感光材料
に至る光路中に配置されるスリット板である請求項1ま
たは2に記載の画像露光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000069872A JP2001255665A (ja) | 2000-03-14 | 2000-03-14 | 画像露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000069872A JP2001255665A (ja) | 2000-03-14 | 2000-03-14 | 画像露光装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001255665A true JP2001255665A (ja) | 2001-09-21 |
Family
ID=18588678
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000069872A Withdrawn JP2001255665A (ja) | 2000-03-14 | 2000-03-14 | 画像露光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001255665A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004046146A (ja) * | 2002-05-23 | 2004-02-12 | Fuji Photo Film Co Ltd | 露光ヘッド |
JP2004157219A (ja) * | 2002-11-05 | 2004-06-03 | Fuji Photo Film Co Ltd | 露光ヘッドおよび露光装置 |
JP2008089935A (ja) * | 2006-09-30 | 2008-04-17 | Hitachi Via Mechanics Ltd | 基板露光装置および照明装置 |
-
2000
- 2000-03-14 JP JP2000069872A patent/JP2001255665A/ja not_active Withdrawn
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JP4511502B2 (ja) * | 2006-09-30 | 2010-07-28 | 日立ビアメカニクス株式会社 | 基板露光装置 |
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Legal Events
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