JP2001249048A - マイケルソン干渉計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 マイケルソン干渉計のうち、間にビームスプ
リッタが形成された二つのプリズムと、二つの鏡を形成
したプリズムをそれぞれ接触させ、境界に屈折率整合液
体層を形成して光を通過させる干渉計において、高分解
能で無損失且つ損失の変動がない正確なフーリエ変換分
光器を可能とすることにある。 【解決手段】 第１プリズム柱体１１と、第２プリズム
柱体１２と、第３プリズム柱体１３と、光線を反射光と
透過光に分割するビームスプリッタ１４と、屈折率を整
合する屈折率整合手段１５と、光線入射手段と光検出手
段とを備え、第１プリズム柱体１１及び第２プリズム柱
体１２と、第３プリズム柱体１３は、第２平面１９及び
第４平面１１１と、第５平面１１４に沿って、光線の光
路長変更方向に相対的に移動自在としたことを特徴とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光スペクトルの測
定を行うことで被測定物の精密測定を行う分光器に使用
され、試料の分光分析や光通信の波長モニタリングに適
したフーリエ変換分光用干渉計として用いられるマイケ
ルソン干渉計に関する。特に、光路差の変化に伴って生
じる干渉強度の変化からフーリエ変換分光法により光ス
ペクトルを求めるために用いるマイケルソン干渉計に関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来、光のスペクトルを得るためにマイ
ケルソン干渉計を用いたフーリエ変換分光器は、検出結
果より試料分析等を行っている。従来のフーリエ変換分
光器は、光源からの光をマイケルソン干渉計等に入射
し、ビームスプリッタ等によって可変光路と参照光路に
分岐された光路間の光路長差によって生じるインターフ
ェログラムを得て、このインターフェログラムをフーリ
エ変換することにより、前記光源のスペクトルを得るも
のである。この手法においてマイケルソン干渉計は最重
要部分であり、特に、野外で使用するフーリエ変換赤外
分光器は軽量、小型、耐環境性、堅牢さが求められる。
また、リモートモニタリングにおいては試料からの光を
光ファイバケーブルで受けることが必要となる。

【０００３】このような従来のマイケルソン干渉計の一
例を図１１（ａ），（ｂ）に示す。これはアメリカ合衆
国特許５１７３７４４「屈折率走査干渉計（Refractive
lyscanned interferometer ）」Jens R.Dybwad,(Dec.2
2,1992）に掲載されているマイケルソン干渉計の構成概
要図面である。図１１（ａ），（ｂ）においてＲ１は入
射平行光、Ｒ２は出射平行光、ＢＳはビームスプリッタ
面、Ｔは透過面、Ｌ１は可変光路、Ｌ２は参照光路、Ｐ
１は可動プリズム、Ｐ２は固定プリズム、Ｍ１は可変光
路用平面鏡、Ｍ２は参照光路用平面鏡である。ここで図
１１に示す従来例の動作を説明する。

【０００４】入射平行光Ｒ１は可動プリズムＰ２に入
り、ビームスプリッタ面ＢＳに入射される。ビームスプ
リッタ面ＢＳで反射された光は可変光路Ｌ１上を進み、
平面鏡Ｍ１で反射され、再び可変光路Ｌ１上を進んでビ
ームスプリッタ面ＢＳに入射して透過し、固定プリズム
Ｐ２へ入る。一方、ビームスプリッタ面ＢＳを透過した
入射平行光Ｒ１はプリズムＰ２に入り、参照光路Ｌ２上
を進み、参照光路用平面鏡Ｍ２で反射され、再び参照光
路Ｌ２を進んだ後に透過面下で反射される。このとき、
可変光路Ｌ１と参照光路Ｌ２の２つの径路をたどった光
が同じ光軸上にあってお互いに干渉するため、マイケル
ソン干渉計を構成することができる。光路長を変化させ
るためには図１１（ｂ）で示すように、可動プリズムＰ
１と固定プリズムＰ２を相対的に移動させている。

【０００５】このとき、移動距離をｄ、プリズム材料の
屈折率をｎとすると、図１１（ｂ）に示すように、Ｍ２
の位置はｄｓｉｎθだけ変化し、光路長差は２ｎ・ｄ・
ｓｉｎθとなる。従って、この干渉計の入射用光ファイ
バ束（図示せず）に光源（図示せず）を設置し、出射用
光ファイバ束（図示せず）に光検出器（図示せず）を設
置すれば、相対移動距離に対する光強度の変化であるイ
ンターフェログラムを測定でき、このインターフェログ
ラムに対してフーリエ変換を行うことによって光源のス
ペクトルを得ることができる。この場合、最大移動距離
をｄ_MAXとするとの波数分解能は１／（２ｎｄ_MAXｓｉｎ
θ）で表される。ここで例えば具体的な値を用いると、
プリズムの材料の屈折率ｎ＝１．５、最大移動距離ｄ＝
０．１ｃｍ、θ＝４５度の場合、最大光路長差ｄ_MAXは
０．２ｃｍであり、フーリエ変換分光器としての波数分
解能は、４．７ｃｍ^-1となる。例えば、波長１５５０ｎ
ｍの近赤外線を用いた場合には、波長分解能は１．１ｎ
ｍとなる。

【０００６】しかし、図１１の従来技術においては、プ
リズム内部で光線光軸が移動するため、入射平行光の照
射手段又は出射平行光の検出手段と干渉計本体を一体化
することができなかった。このため光軸調整を必要と
し、また、光路が外気を通過しているため、外部環境変
化（湿度の変化等）の影響を受けやすいという欠点があ
った。この欠点を克服するために、同特許において実施
例として示されている従来技術を図１２（ａ）（ｂ）に
示す。図１２（ａ）においてＦ１は入射用光ファイバ
束、Ｆ２は出射用光ファイバ束、ＰＭ１，ＰＭ２２は平
面鏡、ＣＭ１，ＣＭ２は曲面鏡、ＢＳはビームスプリッ
タ面、Ｔは透過面、Ｐ１は平面鏡ＰＭ１と曲面鏡ＣＭ１
とビームスプリッタ面ＢＳをその構成面としているプリ
ズム、Ｐ２は平面鏡ＰＭ２と、曲面鏡ＣＭ２と、透過面
下で構成されているプリズムである。これらのプリズム
には各光ファイバ束Ｆ１，Ｆ２を導入し設置するための
細孔Ｂ１，Ｂ２と、プリズムが近接して並べられた面に
設けられ、且つ曲面鏡ＣＭ１，ＣＭ２の焦点付近にある
微小鏡スポットＳ１とＳ２であり、ｄはプリズムの相対
移動距離であり、θはプリズムＰ２における透過面下と
平面鏡ＰＭ２間の傾き角度である。

【０００７】ここで図１２（ｂ）に示す従来例の動作を
説明する。細孔Ｂ１を経由している入射用光ファイバ束
Ｆ１からの光は発散しながら微小鏡Ｓ１で反射された
後、曲面鏡ＣＭ１でコリメートされて平行光となり、ビ
ームスプリッタ面ＢＳに入射される。ビームスプリッタ
面ＢＳで反射された平行光は平面鏡ＰＭ１で反射され、
再びビームスプリッタ面に入射して透過し、プリズムＰ
２へ入る。平行光は曲面鏡ＣＭ２において収束光に変換
され、微小鏡Ｓ２に反射され、出射光用ファイバ束Ｆ２
の端面に集光され、外部に取り出される。一方、ビーム
スプリッタ面ＢＳを透過した平行光はプリズムＰ２に入
り、平面鏡ＰＭ２で反射された後に透過面下で反射され
て曲面鏡ＣＭ２に入射し、収束光に変換されて微小鏡Ｓ
２で反射され、出射光用ファイバ束Ｆ２の端面に集光さ
れ、外部に取り出される。

【０００８】このように、入射用光ファイバ束Ｆ１から
出て２つの径路をたどった光が出射用光ファイバＦ２に
到達し干渉するため、マイケルソン干渉計を構成するこ
とができる。光路長を変化させるためにはプリズムＰ１
とプリズムＰ２の相対的に移動させる。このとき、移動
距離をｄ、プリズム材料の屈折率をｎとすると、図１２
に示すように、Ｍ２の位置はｄ・ｓｉｎθだけ変化し、
光路長差は２ｎ・ｄ・ｓｉｎθとなる。従って、この干
渉計の入射用光ファイバ束に光源を設置し、出射用光フ
ァイバ束に光検出器を設置すれば、相対移動距離に対す
る光強度の変化であるインターフェログラムを測定で
き、このインターフェログラムに対してフーリエ変換を
行うことによって光源のスペクトルを得ることができ
る。この場合、最大移動距離をｄ_MAXとすると、波数分
解能は１／（２ｎ・ｄ_MAX・ｓｉｎθ）で表される。こ
こで例えば具体的な値を用いると、プリズムの材料の屈
折率ｎ＝１．５、最大移動距離ｄ＝０．１ｃｍ、θ＝４
５度の場合、最大光路長差ｄ_MAXは０．２ｃｍであり、
フーリエ変換分光器としての波数分解能は、４．７ｃｍ
^-1となる。例えば、波長１５５０ｎｍの近赤外線を用い
た場合には、波長分解能は１．１ｎｍとなる。この発明
においては入射光と出射光をファイバでやり取りし、外
部環境変化の影響を受けにくく、遠隔測定が可能である
構成としている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のマイケ
ルソン干渉計では、つぎのような問題点が発生した。図
１１におけるマイケルソン干渉計においては、最大移動
距離ｄ_MAXに対して光路長差は２ｎ・ｄ_MAX・ｓｉｎθを
走査することができるが、波数分解能は光路長差が大き
いほど高くなる。そのため、高分解能を達成するために
は長距離を移動できるプリズム移動手段が必要である
が、従来のマイケルソン干渉計では大型且つ高価となっ
ていた。また、図１２のようなマイケルソン干渉計につ
いては、図１１の従来技術において、平行光線の照射手
段又は出射平行光の検出手段と干渉計を一体化できなか
った欠点を克服し、入射光と出射光をファイバでやり取
りし、外部環境変化の影響を受けにくく、遠隔測定を可
能にしているが、プリズム内部に微小反射鏡や、光ファ
イバ導入用細孔等があり、光路を一部遮っているため
に、１０％程度の損失が避けられなかった。また、プリ
ズムの相対移動によって光路を遮蔽している微小鏡の重
なりが変化するために損失の変動が大きく、正確なイン
ターフェログラムを得るのが困難であった。

【００１０】更に、図１２の構成ではプリズムの移動に
対して光軸が変化することに起因して、移動距離が大き
い場合には集光位置の変化が無視できなくなり、検出効
率が低下するため、プリズムの移動距離には制限があ
り、結果的に波数分解能に上限があった。更に、図１２
の構成ではプリズムをほとんど貫通する深い細孔と、微
小鏡を形成するための作業が必要であり、製作コストを
高めていた。更に、深い細孔と微小鏡を光路内部に設置
しているため作製する薄さには限界があり、また、微小
鏡や細孔による遮蔽の比率を低く抑えるためにはビーム
の垂直方向の径を広げざるを得ず、プリズムの厚みを減
らすことには限界があった。更に、図１１における従来
技術と同様に、図１２の干渉計においても最大移動距離
ｄ_MAXに対して光路長差は２ｎ・ｄ_MAX・ｓｉｎθを走査
することができるが、波数分解能は光路長差が大きいほ
ど高くなるため、高分解能を達成するためには長距離を
移動できるプリズム移動手段が必要であり、大型且つ高
価となっていた。

【００１１】更に、図１１における従来技術と同様に、
図１２の干渉計においても、プリズムの移動時において
揺動した場合、参照光路と可変光路の反射鏡Ｍ１とＭ２
のアライメントがずれるため、検出できる干渉光強度が
影響を受けてしまい、正確なインターフェログラムを得
るのが困難になるという欠点があった。本発明の日的
は、このような点に鑑みて創作されたもので、出力され
る光線の位置を一定とすることで一体型のマイケルソン
干渉計を構成でき、更に、プリズムの移動距離ｄに対す
る光路長変化の長距離化により高波数分解能を達成し、
小型且つ安価な屈折率走査型マイケルソン干渉計を提供
することにある。また微小鏡と細孔の作製を不要にし
て、微小鏡と細孔が光路を遮蔽することによる損失と、
プリズムの相対移動に伴う遮蔽比率の変化をなくし、プ
リズム揺動によるアライメントのずれを防ぎ、プリズム
の相対移動距離に対する光路長変化の長距離化により高
波数分解能を達成し、無損失で正確、安価、薄くて軽量
な屈折率走査型マイケルソン干渉計を提供することにあ
る。

【００１２】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決する本発
明の請求項１に係るマイケルソン干渉計は、第１プリズ
ム柱体と、第２プリズム柱体と、第３プリズム柱体と、
光線を反射光と透過光に分割するビームスプリッタと、
屈折率を整合する屈折率整合手段と、光線入射手段と光
検出手段とを備え、前記第１プリズム柱体は、前記光線
入射手段を設置する位置に配置される光線入射面と、前
記ビームスプリッタに隣接し、この光線入射面から入射
した光線の光路上に配置される第１平面と、前記ビーム
スプリッタから反射される光線の光路上に配置される第
２平面とを有し、前記第２プリズム柱体は、前記第１平
面に沿って前記ビームスプリッタに対面する位置に配置
される第３平面と、前記ビームスプリッタを透過する光
線の光路上で且つ前記第２平面の延長上に配置される第
４平面と、光検出手段を設置する位置に配置される光線
出射面とを有し、前記第３プリズム柱体は、前記第１プ
リズム柱体の前記第２平面及び前記第２プリズム柱体の
前記第４平面と対面する位置に配置される第５平面と、
前記第１平面から前記第２平面及び前記第５平面を介し
て送られて来る光線をその光路と平行且つ反対の方向に
反射するように配置され、且つお互いに垂直である第６
平面及び第７平面と、前記第３平面から前記第４平面及
び前記第５平面を介して送られて来る光線をその光路と
平行且つ反対の方向に反射するように配置され、且つお
互いに垂直である第８平面及び第９平面とを有し、前記
屈折率整合手段は、前記第２平面及び前記第４平面と、
前記第５平面の間に介在され、前記第１プリズム柱体及
び前記第２プリズム柱体と、前記第３プリズム柱体は、
前記第２平面及び前記第４平面と、前記第５平面に沿っ
て、光線の光路長変更方向に相対的に移動自在としてい
る。このような構成にすることで、光線入射手段から第
１プリズム柱体及びビームスプリッタを介して第２プリ
ズム柱体を経由する光線が、両プリズムの相対的な移動
により参照光路及び可変光路を光を損失されることなく
変動もなく検出手段に到達することができる。また、光
線の出力側では、常に一定の位置に平行光を収束させた
光線を反射することができる。なお、前記光線入射手段
に設ける変換手段は、変換レンズであっても良い。

【００１３】また、前記課題を解決する本発明の請求項
２に係るマイケルソン干渉計は、第１スラブ型導波路板
と、第２スラブ型導波路板と、第３スラブ型導波路板
と、光線を反射光と透過光に分割するビームスプリッタ
と、屈折率を整合する屈折率整合手段と、光線入射手段
と光検出手段とを備え、前記第１スラブ型導波路板は、
前記光線入射手段を設置する位置に配置される光線入射
面と、前記ビームスプリッタに隣接し、この光線入射面
から入射した光線の光路上に配置される第１平面と、前
記ビームスプリッタから反射される光線の光路上に配置
される第２平面とを有し、前記第２スラブ型導波路板
は、前記第１平面に沿って前記ビームスプリッタに対面
する位置に配置される第３平面と、前記ビームスプリッ
タを透過する光線の光路上で且つ前記第２平面の延長上
に配置される第４平面と、光検出手段を設置する位置に
配置される光線出射面とを有し、前記第３スラブ型導波
路板は、前記第１スラブ型導波路板の前記第２平面及び
前記第２スラブ型導波路板の前記第４平面と対面する位
置に配置される第５平面と、前記第１平面から前記第２
平面及び前記第５平面を介して送られて来る光線をその
光路と平行且つ反対の方向に反射するように配置され、
且つお互いに垂直である第６平面及び第７平面と、前記
第３平面から前記第４平面及び前記第５平面を介して送
られて来る光線をその光路と平行且つ反対の方向に反射
するように配置され、且つお互いに垂直である第８平面
及び第９平面とを有し、前記屈折率整合手段は、前記第
２平面及び前記第４平面と、前記第５平面の間に介在さ
れ、前記第１スラブ型導波路板及び前記第２スラブ型導
波路板と、前記第３スラブ型導波路板は、前記第２平面
及び前記第４平面と、前記第５平面に沿って、光線の光
路長変更方向に相対的に移動自在としている。このよう
な構成にすることで、光線入射手段から第１スラブ型導
波路板及びビームスプリッタを介して第２スラブ型導波
路板を経由する光線が、両スラブ型導波路板の相対的な
移動により参照光路及び可変光路を光を損失されること
なく変動もなく検出手段に到達することができる。ま
た、光線の出力側では、常に一定の位置に平行光を収束
させた光線を反射することができる。なお、前記光線入
射手段に設ける変換手段は、変換レンズであっても良
い。

【００１４】更に、前記課題を解決する本発明の請求項
３に係るマイケルソン干渉計は、第１プリズム柱体と、
第２プリズム柱体と、第３プリズム柱体と、第１コーナ
ーキューブと、第２コーナーキューブと、光線を反射光
と透過光に分割するビームスプリッタと、屈折率を整合
する屈折率整合手段と、光線入射手段と光検出手段とを
備え、前記第１プリズム柱体は、前記光線入射手段を設
置する位置に配置される光線入射面と、前記ビームスプ
リッタに隣接し、この光線入射面から入射した光線の光
路上に配置される第１平面と、前記ビームスプリッタか
ら反射される光線の光路上に配置される第２平面とを有
し、前記第２プリズム柱体は、前記第１平面に沿って前
記ビームスプリッタに対面する位置に配置される第３平
面と、前記ビームスプリッタを透過する光線の光路上で
且つ前記第２平面の延長上に配置される第４平面と、光
検出手段を設置する位置に配置される光線出射面とを有
し、前記第３プリズム柱体は、前記第１プリズム柱体の
前記第２平面及び前記第２プリズム柱体の前記第４平面
と対面する位置に配置される第５平面と、前記第１平面
から前記第２平面及び前記第５平面を介して送られて来
る光線上に配置された第１０平面と、前記第３平面から
前記第４平面及び前記第５平面を介して送られて来る光
線上に配置された第１１平面とを有し、前記第１コーナ
ーキューブは前記第１０平面に沿って対面する位置に配
置される第１２平面と、三つの相互に垂直な平面で構成
され、入射してきた光線を、平行且つ反対方向に進行す
る光線に変換する光線反射部と、周側部とを有し、前記
第２コーナーキューブは前記第７平面に沿って対面する
位置に配置される第１３平面と、三つの相互に垂直な平
面で構成され、入射してきた光線を、平行且つ反対方向
に進行する光線に変換する光線反射部と、周側部とを有
し、前記屈折率整合手段は、前記第２平面及び前記第４
平面と、前記第５平面の間に介在され、前記第１プリズ
ム柱体及び前記第２プリズム柱体と、前記第３プリズム
柱体及び第１コーナーキューブ及び第２コーナーキュー
ブは、前記第２平面及び前記第４平面と、前記第５平面
に沿って、光線の光路長変更方向に相対的に移動自在と
している。このような構成にすることで、光線入射手段
から第１プリズム柱体及びビームスプリッタを介して第
２プリズム柱体を経由する光線が、両プリズムの相対的
な移動により参照光路及び可変光路を光を損失されるこ
となく変動もなく検出手段に到達することができる。ま
た、光線の出力側では、常に一定の位置に平行光を収束
させた光線を反射することができる。なお、前記光線入
射手段に設ける変換手段は、変換レンズであっても良
い。

【００１５】また、前記課題を解決する本発明の請求項
４に係るマイケルソン干渉計は、第１プリズム柱体と、
第２プリズム柱体と、多面体プリズムと、第３プリズム
柱体と、光線を反射光と透過光に分割するビームスプリ
ッタと、屈折率を整合する屈折率整合手段と、光線入射
手段と光検出手段とを備え、前記第１プリズム柱体は、
前記光線入射手段を設置する位置に配置される光線入射
面と、前記ビームスプリッタに隣接し、この光線入射面
から入射した光線の光路上に配置される第１平面と、前
記ビームスプリッタから反射される光線の光路上に配置
される第２平面と、前記光線入射面と第１平面と第２平
面に垂直な上面を有し、前記第２プリズム柱体は、前記
第１平面に沿って前記ビームスプリッタに対面する位置
に配置される第３平面と、前記ビームスプリッタを透過
する光線の光路上で且つ前記第２平面の延長上に配置さ
れる第４平面と、光検出手段を設置する位置に配置され
る光線出射面と、前記光線出射面と第３平面と第４平面
に垂直な上面を有し、前記多面体プリズムは、前記第１
プリズム柱体の前記第２平面及び前記第２プリズム柱体
の前記第４平面と対面する位置に配置される第５平面
と、前記第１平面から前記第２平面及び前記第５平面を
介して送られて来る光線を上方に偏向し、下方からの光
線を水平面内に進行するように偏向し、前記第１平面か
ら前記第２平面及び前記第５平面を介して送られて来る
光線と平行且つ反対方向且つ水平面内を進行するように
配置され、且つお互いに垂直である第６平面及び第７平
面と、前記第３平面から前記第４平面及び前記第５平面
を介して送られて来る光線を上方に偏向し、下方からの
光線を水平面内に進行するように偏向し、前記第３平面
から前記第４平面及び前記第５平面を介して送られて来
る光線と平行且つ反対方向且つ水平面内を進行するよう
に配置され、且つお互いに垂直である第８平面及び第９
平面とを有し、前記第３プリズム柱体は、第５平面に対
面する位置で且つ第２及び第４平面と同一平面上に配置
される第１０平面と、前記第９平面からの光線に対して
垂直で且つ光線入射面に対して平行又は同一平面上にあ
り鏡面となっている第１１平面と、前記第７平面からの
光線に対して垂直で且つ光線出射面に対して平行又は同
一平面上にあり鏡面となっている第１２平面と、前記第
１プリズム柱体と前記第２プリズム柱体の上面に接する
位置に配置される下面と、前記第１０平面と第１１平面
と第１２平面が下面に対してそれぞれ垂直であり、更に
下面と第１プリズム柱体及び第２プリズム柱体が接着さ
れており、前記屈折率整合手段は、前記第２平面及び前
記第４平面及び前記第１０平面と、前記第５平面の間に
介在され、前記第１プリズム柱体及び前記第２プリズム
柱体と、前記第３プリズム柱体は、前記第２平面及び前
記第４平面及び前記第１０平面と、前記第５平面に沿っ
て、光線の光路長変更方向に相対的に移動自在としたこ
とを特徴とする。

【００１６】また、前記課題を解決する本発明の請求項
５に係るマイケルソン干渉計は、第１プリズム柱体と、
第２プリズム柱体と、第３プリズム柱体と、第４プリズ
ム柱体と、第５プリズム柱体と、第６プリズム柱体と、
光線を反射光と透過光に分割するビームスプリッタと、
屈折率を整合する屈折率整合手段と、光線入射手段と光
検出手段とを備え、前記第１プリズム柱体は、前記光線
入射手段を設置する位置に配置される光線入射面と、前
記ビームスプリッタに隣接し、この光線入射面から入射
した光線の光路上に配置される第１平面と、前記ビーム
スプリッタから反射される光線の光路上に配置される第
２平面と、前記光線入射面と第１平面と第２平面に垂直
な上面を有し、前記第２プリズム柱体は、前記第１平面
に沿って前記ビームスプリッタに対面する位置に配置さ
れる第３平面と、前記ビームスプリッタを透過する光線
の光路上で且つ前記第２平面の延長上に配置される第４
平面と、光検出手段を設置する位置に配置される光線出
射面と前記光線出射面と第３平面と第４平面に垂直な上
面を有し、前記第３プリズム柱体は、前記第１プリズム
柱体の前記第２平面及び前記第２プリズム柱体の前記第
４平面と対面する位置に配置される第５平面と、前記第
１平面から前記第２平面及び前記第５平面を介して送ら
れて来る光線を前記第４プリズム柱体に透過する位置に
配置される第６平面と、前記第１平面から前記第２平面
及び前記第５平面を介して送られて来る光線を前記第４
プリズム柱体に透過する位置に配置される第６平面とを
有し、前記第４プリズム柱体は、前記第３プリズム柱体
の前記第６平面と対面する位置に接着される第８平面
と、前記第１平面から前記第２平面及び前記第５平面及
び前記第６平面及び前記第８平面を介して送られて来る
光線を上方に偏向し、偏向された下方からの光線を水平
面内に進行するように偏向し、前記第１平面から前記第
２平面及び前記第５平面及び前記第６平面を介して送ら
れて来る光線と平行且つ反対方向且つ水平面内を進行す
るように配置され、且つお互いに垂直である第９平面及
び第１０平面とを有し、前記第５プリズム柱体は、前記
第３プリズム柱体の前記第７平面と対面する位置に接着
される第１１平面と、前記第３平面から前記第４平面及
び前記第５平面及び前記第７平面及び前記第１１平面を
介して送られて来る光線を上方に偏向し、偏向された下
方からの光線を水平面内に進行するように偏向し、前記
第３平面から前記第４平面及び前記第５平面及び前記第
７平面を介して送られて来る光線と平行且つ反対方向且
つ水平面内を進行するように配置され、且つお互いに垂
直である第１２平面及び第１３平面とを有し、前記第６
プリズム柱体は、第５平面に対面する位置で且つ第２及
び第４平面と同一平面上に配置される第１４平面と、前
記第１３平面からの光線に対して垂直で且つ光線入射面
に対して平行又は同一平面上にあり鏡面となっている第
１５平面と、前記第１０平面からの光線に対して垂直で
且つ光線出射面に対して平行又は同一平面上にあり鏡面
となっている第１６平面と、前記第１プリズム柱体と前
記第２プリズム柱体の上面に接する位置に配置される下
面と、前記第１４平面と第１５平面と第１６平面が下面
に対してそれぞれ垂直であり、更に下面と第１プリズム
柱体及び第２プリズム柱体が接着されており、前記屈折
率整合手段は、前記第２平面及び前記第４平面及び前記
第１０平面と、前記第５平面の間に介在され、前記第１
プリズム柱体及び前記第２プリズム柱体と、前記第３プ
リズム柱体は、前記第２平面及び前記第４平面及び前記
第１０平面と、前記第５平面に沿って、光線の光路長変
更方向に相対的に移動自在としたことを特徴とする。

【００１７】更に、前記課題を解決する本発明の請求項
６に係るマイケルソン干渉計は、第１プリズム柱体と、
第２プリズム柱体と、第３プリズム柱体と、第１コーナ
ーキューブと、第２コーナーキューブと、第４プリズム
柱体と、光線を反射光と透過光に分割するビームスプリ
ッタと、屈折率を整合する屈折率整合手段と、光線入射
手段と光検出手段とを備え、前記第１プリズム柱体は、
前記光線入射手段を設置する位置に配置される光線入射
面と、前記ビームスプリッタに隣接し、この光線入射面
から入射した光線の光路上に配置される第１平面と、前
記ビームスプリッタから反射される光線の光路上に配置
される第２平面とを有し、前記第２プリズム柱体は、前
記第１平面に沿って前記ビームスプリッタに対面する位
置に配置される第３平面と、前記ビームスプリッタを透
過する光線の光路上で且つ前記第２平面の延長上に配置
される第４平面と、光検出手段を設置する位置に配置さ
れる光線出射面とを有し、前記第３プリズム柱体は、前
記第１プリズム柱体の前記第２平面及び前記第２プリズ
ム柱体の前記第４平面と対面する位置に配置される第５
平面と、前記第１平面から前記第２平面及び前記第５平
面を介して送られて来る光線上に配置された第６平面
と、前記第３平面から前記第４平面及び前記第５平面を
介して送られて来る光線上に配置された第７平面とを有
し、前記第１コーナーキューブは前記第６平面に沿って
対面する位置に配置される第８平面と、三つの相互に垂
直な平面で構成され、入射してきた光線を、平行且つ反
対方向に進行する光線に変換する第１光線反射部と、周
側部とを有し、前記第２コーナーキューブは前記第７平
面に沿って対面する位置に配置される第９平面と、三つ
の相互に垂直な平面で構成され、入射してきた光線を、
平行且つ反対方向に進行する光線に変換する第２光線反
射部と、周側部とを有し、前記第４プリズム柱体は、第
５平面に対面する位置で且つ第２及び第４平面と同一平
面上に配置される第１０平面と、前記第１光線反射部か
らの光線に対して垂直で且つ光線出射面に対して平行又
は同一平面上にあり鏡面となっている第１１平面と、前
記第２光線反射部からの光線に対して垂直で且つ光線入
射面に対して平行又は同一平面上にあり鏡面となってい
る第１２平面と、前記第１プリズム柱体と前記第２プリ
ズム柱体の上面に接する位置に配置される下面と、前記
第１０平面と第１１平面と第１２平面が下面に対してそ
れぞれ垂直であり、更に下面と第１プリズム柱体及び第
２プリズム柱体が接着されており、前記屈折率整合手段
は、前記第２平面及び前記第４平面及び前記第１０平面
と、前記第５平面の間に介在され、前記第１プリズム柱
体及び前記第２プリズム柱体と、前記第３プリズム柱体
及び第１コーナーキューブ及び第２コーナーキューブ
は、前記第２平面及び前記第４平面及び前記第１０平面
と、前記第５平面に沿って、光線の光路長変更方向に相
対的に移動自在としたことを特徴とする。

【００１８】

【発明の実施の形態】

【実施例１】図１は本発明の第１の実施形態を示すマイ
ケルソン干渉計１の各プリズム柱体の配置を示す平面図
及び側面図、図２は第１の実施形態を示すマイケルソン
干渉計の作動状態を示す平面図である。図１及び図２で
示すように、マイケルソン干渉計は、第１プリズム柱体
１１と、第２プリズム柱体１２と、第３プリズム柱体１
３と、光線を反射光と透過光に分割するビームスプリッ
タ１４と、屈折率を整合する屈折率整合手段としての屈
折率整合液体層１５とを備えている。図１及び図２で示
すように、第１プリズム柱体１１は上面及び下面ならび
に周側面で構成されている。

【００１９】そして、第１プリズム柱体１１は、その周
側面に配置され、光源からの平行光が入射される光線入
射面１６と、光線入射面と同一平面上にあり、垂直に反
射するために鏡面となっている垂直反射面１７と、この
光線入射面からの光線の光路上に形成され、ビームスプ
リッタが隣接する第１平面１８と、ビームスプリッタか
らの反射光の光路上に形成される第２平面１９とを有し
ている。なお、ここでは第１プリズム柱体１１の形状
は、光線入射面１６と、第１平面１８と、第２平面１９
とからなる三角柱体に形成されており、また、上面及び
下面の形状については、図面では平行平面として記載し
ているが、特に限定されるものではない。

【００２０】図１及び図２で示すように、第２プリズム
柱体１２は、上面及び下面ならびに周側面で構成されて
いる。そして、第２プリズム柱体１２はその周側面に配
置され、前記第１平面１８に添ってビームスプリッタ１
４に対面する位置に形成される第３平面１１０とビーム
スプリッタ１４からの透過光の光路上で、且つ、前記第
２平面１９の延長上に形成される第４平面１１１と、ビ
ームスプリッタ１４及び第３平面１１０から送られてく
る光線の光路上に形成される光線出射面１１２と、光線
出射面１１２と同一平面上にあり、垂直に反射するため
に鏡面となっている垂直反射面１１３とを有している。
なお、ここでは第２プリズム柱体１２の形状は、光線出
射面１１２と、第３平面１１０と、第４平面１１１とか
らなる三角柱体に形成されており、また、上面及び下面
の形状について、図面では平行平面として記載している
が、特に限定されるものではない。

【００２１】図１及び図２で示すように、第３プリズム
柱体１３は、上面及び下面ならびに周側面で構成されて
いる。そして、第３プリズム柱体１３はその周側面に配
置され、前記両プリズム柱体１１，１２の第２平面１９
及び第４平面１１１とに対面する位置に形成される第５
平面１１４と、前記ビームスプリッタ１４から反射され
第２平面１９及び第５平面１１４を透過してくる光線を
偏向して反射する第６平面１１５と、第６平面と垂直に
交わり、且つ第５平面１１４と第６平面１１５を経由し
てきた光を更に偏向する第７平面１１６と、前記ビーム
スプリッタ１４を透過して第４平面１１１及び第５平面
１１４を透過して来る光線を偏向して反射する第８平面
１１７と、第８平面と垂直に交わり且つ第５平面１１４
と第８平面１１７を経由してきた光を更に偏向して反射
する第９平面１１８とを有している。なお、前記第６平
面１１５、第７平面１１６、第８平面１１７、第９平面
１１８は光線を反射する鏡面状に形成されている。そし
て、第３プリズム柱体１３は図面では第５平面１１４、
第６平面１１５、第７平面１１６、第８平面１１７、第
９平面１１８からなる多角形柱体に形成されており、ま
た、上面及び下面の形状については平行平面としている
が、その形状及び上面と下面の形状については特に限定
されるものではない。

【００２２】図１及び図２で示すように、屈折率整合手
段としての屈折率整合液体層１５は、第１プリズム柱体
１１の第２平面１９及び第２プリズム柱体１２の第４平
面１１１と、第３プリズム柱体１３の第５平面１１４の
間に設けられている。そして、屈折率整合手段１５は、
各プリズム柱体１１，１２，１３を形成している部材と
屈折率が近いものであればよく、その一例として各プリ
ズム柱体１１，１２，１３を石英で形成した場合に、こ
こではシリコーンオイルを使用しており、第３プリズム
柱体１３と、第１及び第２プリズム柱体１１，１２と
が、毛細管現象により保持されるように構成されてい
る。図１及び図２で示すように、ビームスプリッタは、
第１プリズム柱体１１の第１平面１８と、第２プリズム
柱体１２の第３平面１１０との間に接着剤等により固定
されており、各プリズム柱体１１，１２，１３の材質
や、送られてくる光線の角度により透過率及び反射率を
所定の割合になるように形成されている。ビームスプリ
ッタの一例としては、金属や誘電体又はその両方の薄膜
を介在させることや、また、透過部材（各プリズム柱体
と同質）に蒸着するようにして形成されている。

【００２３】なお、第１平面１８あるいは第３平面１１
０に金属や誘電体又はその両方などの薄膜を蒸着して形
成しても良い。次に光線の経路について説明する。図１
及び図２で示すように、光源から平行光の光線１１９
を、ビームスプリッタ１４に入射する。そして、ビーム
スプリッタ１４により分割され反射した光線１２０は、
屈折率整合液体層１５を通過して第５平面１１４に入射
後、第６平面１１５と、第７平面１１６で偏向反射され
光線１２１となる。このとき、光線１２０と光線１２１
はお互いに逆向きで平行である。光線１２１は第５平面
１１４に入射して屈折率整合液体層１５と第４平面１１
１を通過してプリズム柱体１２に入り、垂直反射面１１
３で反射され再び同一光路に沿って再び第４平面１１
１、屈折率整合液体層１５、第５平面１１４を透過して
第７平面１１６及び第６平面１１５を経由して第５平面
１１４と屈折率整合液体層１５及び第２平面１９を透過
してビームスプリッタ１４へ向かう。

【００２４】一方、ビームスプリッタ１４により分割さ
れ透過した光線１２２は、屈折率整合液体層１５を通過
して第５平面１１４に入射後、第８平面１１７と第９平
面１１８で偏向反射され光線１２３となる。このとき、
光線１２２と光線１２３はお互いに逆向きで平行であ
る。光線１２３は第５平面１１４に入射して屈折率整合
液体層１５と第２平面１９を通過してプリズム柱体１１
に入り、垂直反射面１７で反射され再び同一光路に沿っ
て再び第２平面１９、屈折率整合液体層１５、第５平面
１１４を透過して第９平面１１８及び第８平面１１７を
経由して第５平面１１４と屈折率整合液体層１５及び第
４平面１１１を透過してビームスプリッタ１４へ向か
う。そして、ビームスプリッタ側に送られてきた光線１
２０，１２２は、それぞれ合わされて干渉し、出射する
平行光線１２４として光検出器へ向かうことになる。更
に、前記第６平面１１５、第７平面１１６間、第８平面
１１７、第９平面１１８間の垂直度は非常に高いため、
前記光線１２０と光線１２１間の平行度と、前記光線１
２２と光線１２３間の平行性は常に保たれており、その
典型的な値は２秒である。

【００２５】次に本発明の動作について図２を用いて説
明する。なお、第１及び第２プリズム柱体１１，１２及
び第３プリズム柱体１３を相対的に移動させる場合、こ
こでは第３プリズム柱体１３を移動させており、その移
動機構は、リニアガイドや精密送り機構などを使用する
公知の手段により行われる。第３プリズム柱体１３を光
路長変更方向に距離ｄだけ直線移動させた場合を考え
る。このとき、屈折率整合液体層１５は第１及び第２プ
リズム柱体１１，１２と第３プリズム柱体１３の間の狭
い間隙に挟まれ、毛細管現象により保持されている。ビ
ームスプリッタを反射した光線１２０，１２１が垂直反
射面１１３で反射されるまでに進む距離は２ｄｓｉｎθ
だけ増加するため、垂直反射面１１３で反射後に１２
１，１２０を経由して戻ってくるまでに進む距離は４ｄ
ｓｉｎθだけ増加する。

【００２６】また、ビームスプリッタを透過した光線１
２２，１２３が垂直反射面１７で反射されるまでに進む
距離は２ｄｓｉｎθだけ減少するため、垂直反射面で反
射後に１２３，１２２を経由して戻ってくるまでに進む
距離は４ｄｓｉｎθだけ減少する。よって光が進む距離
の変化はそれぞれ４ｄｓｉｎθの増加と４ｄｓｉｎθの
減少となり、第３プリズム柱体１３の屈折率をｎとし
て、最大移動距離をｄ_MAXとすると、この光路における
最大光路長差は８ｎｄｓｉｎθとなる。これは従来技術
に比較して波数分解能が約４倍に向上したことに相当す
る。ここで例えば具体的な値を用いると、プリズムの材
料の屈折率ｎ＝１．５、最大移動距離ｄ＝０．１ｃｍ、
θ＝４５度の場合、最大光路長差ｄ_MAXは０．８５ｃｍ
であり、フーリエ変換分光器としての波数分解能は、
１．１ｃｍ^-1となる。例えば、波長１５５０ｎｍの近赤
外線を用いた場合には、波長分解能は０．２６ｎｍとな
る。なお、もしプリズムの移動方向が移動面内で揺動し
たとしても、前記光線１２０と光線１２１間の平行度
と、前記光線１２２と光線１２３間の平行性は常に保た
れているため、垂直反射面１１３に入射する光線及び垂
直反射面１７に入射する光線の垂直度は影響を受けな
い。

【００２７】そのため、ビームスプリッタヘ戻る光路も
不変であり、干渉光強度は影響を受けず、正確なインタ
ーフェログラムが測定できる。なお、図１乃至図２で使
用される光線の入射平行光の形成方法は、レンズ系や、
ミラー系など特に手段を間ねないが、例えば、マイケル
ソン干渉計に対して気密にされたレンズ付き光ファイバ
で入出力を行った場合は、干渉計中で光路が自由空間を
全く経由しないため外部環境変化（湿度変化等）の影響
を全く受けない。また、従来技術の欠点であった、光学
部品による光路の遮断が生じないため正確な測定値を得
ることができる。更に、この実施例ではビームスプリッ
タをもつプリズムを固定し、鏡面プリズムを可動にして
いるが、これは一例であって、プリズム同士の相対位置
が変化すればよいので、鏡面プリズムを固定し、ビーム
スプリッタをもつプリズム１１，１２を可動としてもよ
いし、両方のプリズムを可動としても全く同様に動作す
る。

【００２８】

【実施例２】図３は本発明の第２の実施形態を示すマイ
ケルソン干渉計の各スラブ型導波路板の配置を示す平面
図及び側面図である。図３で示すように、マイケルソン
干渉計２は、第１スラブ型導波路板２１と、第２スラブ
型導波路板２２と、第３スラブ型導波路板２３と、光線
を反射光と透過光に分割するビームスプリッタ２４と、
屈折率を整合する屈折率整合手段としての屈折率整合液
体層２５とを備えている。図３で示すように、第１及び
第２スラブ型導波路板２１，２２は、コア層２２６と、
このコア層２２６の上面及び下面に設けた上部クラッド
層２２５及び下部クラッド層２２７とから構成されてい
る。

【００２９】図３で示すように、第１スラブ型導波路板
２１は上面及び下面ならびに周側面で構成されている。
そして、第１スラブ型導波路板２１は、その周側面に配
置され、光源からの平行光が入射される光線入射面２６
と、光線入射面２６と同一平面上にあり、垂直に反射す
るために鏡面となっている垂直反射面２７と、この光線
入射面２６からの光線の光路上に形成され、ビームスプ
リッタ２４が隣接する第１平面２８と、ビームスプリッ
タ２４からの反射光の光路上に形成される第２平面２９
とを有している。なお、ここでは第１スラブ型導波路板
２１の形状は、光線入射面２６と、第１平面２８と、第
２平面２９とからなる三角柱体に形成されており、ま
た、上面及び下面の形状については、図面では平行平面
として記載しているが、特に限定されるものではない。

【００３０】図３で示すように、第２スラブ型導波路板
２２は、上面及び下面ならびに周側面で構成されてい
る。そして、第２スラブ型導波路板２２はその周側面に
配置され、前記第１平面２８に添ってビームスプリッタ
２４に対面する位置に形成される第３平面２１０とビー
ムスプリッタ２４からの透過光の光路上で、且つ、前記
第２平面２９の延長上に形成される第４平面２１１と、
ビームスプリッタ２４及び第３平面２１０から送られて
くる光線の光路上に形成される光線出射面２１２と、光
線出射面２１２と同一平面上にあり、垂直に反射するた
めに鏡面となっている垂直反射面２１３とを有してい
る。なお、ここでは第２スラブ型導波路板２２の形状
は、光線出射面２１２と、第３平面２１０と、第４平面
２１１とからなる三角柱体に形成されており、また、上
面及び下面の形状について、図面では平行平面として記
載しているが、特に限定されるものではない。

【００３１】図３で示すように、第３スラブ型導波路板
２３は、上面及び下面ならびに周側面で構成されてい
る。そして、第３スラブ型導波路板２３はその周側面に
配置され、前記両スラブ型導波路板２１，２２の第２平
面２９及び第４平面２１１とに対面する位置に形成され
る第５平面２１４と、前記ビームスプリッタ２４から反
射され第２平面２９及び第５平面２１４を透過してくる
光線を偏向して反射する第６平面２１５と、第６平面２
１５と垂直に交わり、且つ第５平面２１４と第６平面２
１５を経由してきた光を更に偏向する第７平面２１６
と、前記ビームスプリッタ２４を透過して第４平面２１
１及び第５平面２１４を透過して来る光線を偏向して反
射する第８平面２１７と第８平面２１７と垂直に交わり
且つ第５平面２１４と第８平面２１７を経由してきた光
を更に偏向して反射する第９平面２１８とを有してい
る。なお、前記第６平面２１５、第７平面２１６、第８
平面２１７、第９平面２１８は光線を反射する鏡面状に
形成されている。そして、第３スラブ型導波路板２３は
図面では第５平面２１４、第６平面２１５、第７平面２
１６、第８平面２１７、第９平面２１８からなる多角形
柱体に形成されており、また、上面及び下面の形状につ
いては平行平面としているが、その形状及び上面と下面
の形状については特に限定されるものではない。

【００３２】図３で示すように、屈折率整合手段として
の屈折率整合液体層２５は、第１スラブ型導波路板２１
の第２平面２９及び第２スラブ型導波路板２２の第４平
面２１１と、第３スラブ型導波路板２３の第５平面２１
４の間に設けられている。そして、屈折率整合手段は、
各スラブ型導波路板２１，２２，２３を形成している部
材と屈折率が近いものであればよく、その一例として各
スラブ型導波路板２１，２２，２３を石英で形成した場
合に、ここではシリコーンオイルを使用しており、第３
スラブ型導波路板２３と、第１及び第２スラブ型導波路
板２１，２２とが毛細管現象により保持するように構成
されている。図３で示すように、ビームスプリッタ２４
は、第１スラブ型導波路板２１の第１平面２８と、第２
スラブ型導波路板２２の第３平面２１０との間に接着剤
等により固定されており、各スラブ型導波路板２１，２
２，２３の材質や、送られてくる光線の角度により透過
率及び反射率を所定の割合になるように形成されてい
る。ビームスプリッタの一例としては、金属や誘電体又
はその両方の薄膜を介在させることや、また、透過部材
（各スラブ型導波路板と同質）に蒸着するようにして形
成されている。なお、第１平面２８あるいは第３平面２
１０に金属や誘電体又はその両方などの薄膜を蒸着して
形成しても良い。

【００３３】次に光線の経路について説明する。図３で
示すように、光ファイバから平行光の光線２１９を、ビ
ームスプリッタ２４に入射する。そして、ビームスプリ
ッタ２４により分割され反射した光線２２０は、屈折率
整合液体層２５を通過して第５平面２１４に入射後、第
６平面２１５と第７平面２１６で偏向反射され光線２２
１となる。このとき、光線２２０と光線２２１は平行で
ある。光線２２１は第５平面２１４に入射して屈折率整
合液体層２５と第４平面２１１を通過してスラブ型導波
路板２２に入り、垂直反射面２１３で反射され再び同一
光路に沿って再び第４平面２１１、屈折率整合液体層２
５、第５平面２１４を透過して第７平面２１６及び第６
平面２１５を経由して第５平面２１４と屈折率整合液体
層２５及び第２平面２９を透過してビームスプリッタ２
４へ向かう。

【００３４】一方、ビームスプリッタ２４により分割さ
れ透過した光線２２２は、屈折率整合液体層２５を通過
して第５平面２１４に入射後、第８平面２１７と第９平
面２１８で偏向反射され光線２２３となる。このとき、
光線２２２と光線２２３は平行である。光線２２３は第
５平面２１４に入射して屈折率整合液体層２５と第２平
面２９を通過してスラブ型導波路板２１に入り、垂直反
射面２７で反射され再び同一光路に沿って再び第２平面
２９、屈折率整合液体層２５、第５平面２１４を透過し
て第９平面２１８及び第８平面２１７を経由して第５平
面２１４と屈折率整合液体層２５及び第４平面２１１を
透過してビームスプリッタ２４へ向かう。そして、ビー
ムスプリッタ２４側に送られてきた光線２２０，２２２
は、それぞれ合わされて干渉し、出射する平行光線２２
４として光検出器へ向かうことになる。

【００３５】更に、前記第６平面２１５、第７平面２１
６間、第８平面２１７、第９平面２１８間の垂直度は非
常に高いため、前記光線２２０と光線２２１間の平行度
と、前記光線２２２と光線２２３間の平行性は常に保た
れており、その典型的な値は２秒である。次に本発明の
動作については、図２を参照して説明する。なお、第１
及び第２スラブ型導波路板２１，２１及び第３スラブ型
導波路板２３を相対的に移動させる場合、ここでは第３
スラブ型導波路板２３を移動させており、その移動機構
は、リニアガイドや精密送り機構などを使用する公知の
手段により行われる。図２を参照して第３スラブ型導波
路板２３を干渉検出方向に距離ｄだけ直線移動させた場
合を考える。

【００３６】このとき、屈折率整合液体層２５は第１及
び第２スラブ型導波路板２１，２２と第３スラブ型導波
路板２３の間の狭い間隙に挟まれ、毛細管現象により保
持されている。ビームスプリッタを透過した光線２２２
及び２２３が垂直反射面２７で反射されるまでに進む距
離は２ｄｓｉｎθだけ増加し、また、ビームスプリッタ
２４に反射された光線２２０及び２２１が垂直反射面２
１３で反射されるまでに進む距離は２ｄｓｉｎθだけ減
少する。よって光が進む距離の変化はそれぞれ往復で４
ｄｓｉｎθの増加と４ｄｓｉｎθの減少となり、第３ス
ラブ型導波路板の屈折率をｎとして、最大移動距離をｄ
_MAXとすると、この光路における最大光路長差は８ｎ・
ｄ_MAXｓｉｎθとなる。これは従来技術に比較して波数
分解能が４倍に向上したことに相当する。ここで例えば
具体的な値を用いると、導波路材料の屈折率ｎ＝１．
５、最大移動距離ｄ＝０．１ｃｍ、０＝４５度の場合、
最大光路長差ｄ_MAXは０．８５ｃｍであり、フーリエ変
換分光器としての波数分解能は、１．１ｃｍ^-1となる。
例えば、波長１５５０ｎｍの近赤外線を用いた場合に
は、波長分解能は０．２６ｎｍとなる。

【００３７】なお、もしプリズムの移動方向が移動面内
で揺動したとしても、前記光線２２０と光線２２１間の
平行度と、前記光線２２２と光線２２３間の平行性は常
に保たれているため、垂直反射面２１３に入射する光線
及び垂直反射面２７に入射する光線の垂直度は影響を受
けない。そのため、ビームスプリッタヘ戻る光路も不変
であり、干渉光強度は影響を受けず、正確なインターフ
ェログラムが測定できる。また、スラブ型導波路の具体
的な構造は、入射光の波長を近赤外線（その一例として
１５５０ｎｍなど）で、石英材料を用いた場合では、コ
ア層２２６を８μｍ、上部クラッド層２２５を１５μ
ｍ、下部クラッド層２２７を２０μｍとし、合わせた厚
みは５０μｍ以下となるように構成している。したがっ
て、プリズム型に比べて大幅な薄型化、軽量化が可能と
なると共に、スラブ型導波路はリソグラフィー技術によ
り作成することが可能であるため、大量生産で且つ安価
に干渉計を製造することができる。

【００３８】

【実施例３】図４は本発明の第３の実施形態を示すマイ
ケルソン干渉計の各プリズム柱体の配置を示す平面図及
び側面図である。図４で示すように、マイケルソン干渉
計３は、第１プリズム柱体３１と、第２プリズム柱体３
２と、第３プリズム柱体３３と、第１コーナーキューブ
３２８と、第２コーナーキューブ３２９と、光線を反射
光と透過光に分割するビームスプリッタ３４と、屈折率
を整合する屈折率整合手段としての屈折率整合液体層３
５とを備えている。

【００３９】図４で示すように、第１プリズム柱体３１
は上面及び下面ならびに周側面で構成されている。そし
て、第１プリズム柱体３１は、その周側面に配置され、
光源からの平行光が入射される光線入射面３６と、光線
入射面３６と同一平面上にあり、垂直に反射するために
鏡面となっている垂直反射面３７と、この光線入射面３
６からの光線の光路上に形成され、ビームスプリッタが
隣接する第１平面３８と、ビームスプリッタ３４からの
反射光の光路上に形成される第２平面３９とを有してい
る。なお、ここでは第１プリズム柱体３１の形状は、光
線入射面３６と、第１平面３８と、第２平面３９とから
なる三角柱体に形成されており、また、上面及び下面の
形状については、図面では平行平面として記載している
が、特に限定されるものではない。

【００４０】図３で示すように、第２プリズム柱体３２
は、上面及び下面ならびに周側面で構成されている。そ
して、第２プリズム柱体３２はその周側面に配置され、
前記第１平面３８に添ってビームスプリッタ３４に対面
する位置に形成される第３平面３１０とビームスプリッ
タ３４からの透過光の光路上で、且つ、前記第２平面３
９の延長上に形成される第４平面３１１と、ビームスプ
リッタ３４及び第３平面３１０から送られてくる光線の
光路上に形成される光線出射面３１２と、光線出射面３
１２と同一平面上にあり、垂直に反射するために鏡面と
なっている垂直反射面３１３とを有している。なお、こ
こでは第２プリズム柱体３２の形状は、光線出射面３１
２と、第３平面１０と、第４平面３１１とからなる三角
柱体に形成されており、また、上面及び下面の形状につ
いて、図面では平行平面として記載しているが、特に限
定されるものではない。

【００４１】図４で示すように、第３プリズム柱体３３
は、上面及び下面ならびに周側面で構成されている。そ
して、第３プリズム柱体３３はその周側面に配置され、
前記両プリズム柱体３１，３２の第２平面３９及び第４
平面３１１とに対面する位置に形成される第５平面３１
４と、前記ビームスプリッタ３４から反射され第２平面
３９及び第５平面３１４を透過してくる光線を第１コー
ナーキューブ３２８へ通過させ且つ第１コーナーキュー
ブ３２８からの光線を取り入れる第１０平面３３０と、
前記ビームスプリッタ３４を透過し第４平面３１１及び
第５平面３１４を透過してくる光線を第２コーナーキュ
ーブ３２９へ通過させ且つ第２コーナーキューブ３２９
からの光線を取り入れる第１１平面３３１とを有してい
る。そして、第３プリズム柱体３３は図面では第５平面
３１４、第１０平面３３０、第１１平面３３１からなる
三角柱体に形成されており、また、上面及び下面の形状
については平行平面としているが、その形状及び上面と
下面の形状については特に限定されるものではない。

【００４２】図４で示すように、第１コーナーキューブ
３２８は、光線入出射面である第１２平面３３２と３つ
の光線偏向反射面で構成される光線反射部３３４とその
周側面で構成されている。３つの光線偏向反射面はお互
いに９０度で交わる平面であり、第１コーナーキューブ
３２８の光線入出射面である第１２平面３３２に入射し
た光線３２０は３つの光線偏向反射面により、入射光と
平行且つ逆向きの光線３２１となって光線入出射面３３
２から出射されるという特性をもつ。また、周側面につ
いては円筒面としているが、その周側面の形状について
は特に限定されるものではない。図４で示すように、第
２コーナーキューブ３２９は、光線入出射面である第１
３平面３３３と３つの光線偏向反射面で構成される光線
反射部３３５とその周側面で構成されている。３つの光
線偏向反射面はお互いに垂直に交わる平面であり、第２
コーナーキューブ３２９の光線入出射面３３３に入射し
た光線３２２は３つの光線偏向反射面により、入射光と
平行且つ逆向きの光線３２３となって光線入出射面３３
３から出射されるという特性をもつ。また、周側面につ
いては円筒面としているが、その周側面の形状について
は特に限定されるものではない。

【００４３】図４で示すように、屈折率整合手段として
の屈折率整合液体層３５は、第１プリズム柱体３１の第
２平面３９及び第２プリズム柱体３２の第４平面３１１
と、第３プリズム柱体３３の第５平面３１４の間に設け
られている。そして、屈折率整合手段は、各プリズム柱
体、３１，３２，３３及び各コーナーキューブ３２８，
３２９を形成している部材と屈折率が近いものであれば
よく、その一例として各プリズム柱体３１，３２，３３
及び各コーナーキューブ３２８，３２９を石英で形成し
た場合に、ここではシリコーンオイルを使用しており、
第３プリズム柱体３３と、第１及び第２プリズム柱体３
１，３２とが、毛細管現象により保持するように構成さ
れている。図４で示すように、ビームスプリッタ３４
は、第１プリズム柱体３１の第１平面３８と、第２プリ
ズム柱体３２の第３平面３１０との間に接着剤等により
固定されており、各プリズム柱体３１，３２，３３の材
質や、送られてくる光線の角度により透過率及び反射率
を所定の割合になるように形成されている。

【００４４】図４で示すように、第１コーナーキューブ
３２８の光線入出射面である第１２平面３３２とプリズ
ム柱体３３の第１０平面３３０、また第２コーナーキュ
ーブ３２９の光線入出射面である第１３平面３３３とプ
リズム柱体３３の第１１平面３３１は光を透過する接着
剤等によりそれぞれ固定されている。ビームスプリッタ
の一例としては、金属や誘電体又はその両方の薄膜を介
在させることや、また、透過部材（各プリズム柱体と同
質）に蒸着するようにして形成されている。なお、第１
平面３８あるいは第３平面３１０に金属や誘電体又はそ
の両方などの薄膜を蒸着して形成しても良い。

【００４５】次に光線の経路について説明する。図４で
示すように、光ファイバから平行光の光線３１９を、ビ
ームスプリッタ３４に入射する。そして、ビームスプリ
ッタ３４により分割され反射した光線３２０は、屈折率
整合液体層３５を通過して第５平面３１４に入射後、第
１０平面３３０を透過し、光線入出射面である第１２平
面３３２に入射し、光線反射部３３４で逆方向且つ平行
の光線３２１となり、その後再び光線入出射面である第
１２平面３３２と第１０平面３３０を経由してプリズム
柱体３３に入り、第５平面３１４と屈折率整合液体層３
５及び第４平面３１１を透過してプリズム柱体３２に入
り、垂直反射面３２で反射され再び同一光路３２１を逆
方向へ進み、第４平面３１１と屈折率整合液体層３５及
び第５平面３１４を透過してプリズム柱体３３へ入り、
第１０平面３３０及び第１２平面３３２を通過して光線
反射部３３４において逆方向且つ平行の光線３２０とな
り、第１２平面３３２及び第１０平面３３０を通過して
プリズム柱体３３に入り、第５平面３１４、屈折率整合
液体層３５及び第２平面３９を通過してプリズム柱体３
１に入り、ビームスプリッタ３４へ向かう。

【００４６】一方、ビームスプリッタ３４により分割さ
れ透過した光線３２２は、第４平面３１１、屈折率整合
液体層３５を通過して第５平面３１４に入射後、第１１
平面３３１を透過し、光線入出射面である第１３平面３
３３に入射し、光線反射部３３５で逆方向且つ平行の光
線３２３となり、その後再び光線入出射面である第１３
平面３３３と第１１平面３３１を経由してプリズム柱体
３３に入り、第５平面３１４と屈折率整合液体層３５及
び第２平面３９を透過してプリズム柱体３１に入り、垂
直反射面３７で反射され再び同一光路を逆方向へ進み、
第２平面３９と屈折率整合液体層３５及び第５平面３１
４を透過してプリズム柱体３３へ入り、第１１平面３３
１及び第１３平面３３３を通過して光線反射部３３５に
おいて逆方向且つ平行の光線３２２となり、第１３平面
３３３及び第１１平面３３１を通過してプリズム柱体３
３に入り、第５平面３１４、屈折率整合液体層３５及び
第４平面３１１を通過してプリズム柱体３２に入り、ビ
ームスプリッタ３４へ向かう。そして、ビームスプリッ
タ側に送られてきた光線３２０，３２２は、それぞれ合
わされて干渉し、出射する平行光線３２４として光検出
器へ向かうことになる。更に、前記光線反射部３３４と
３３５において３平面間の垂直度は非常に高いため、前
記光線３２０と光線３２１間の平行度と、前記光線３２
２と光線３２３間の平行性は常に保たれており、その典
型的な値は２秒である。

【００４７】次に本発明の動作について図５を用いて説
明する。なお、第１及び第２プリズム柱体３１，３２
と、を相対的に移動させる場合、ここでは第３プリズム
柱体３３及び第１及び第２コーナーキューブ３２８，３
２９を移動させており、その移動機構は、リニアガイド
や精密送り機構などを使用する公知の手段により行われ
る。第３プリズム柱体３３及び第１及び第２コーナーキ
ューブ３２８，３２９を光路長変更方向に距離ｄだけ直
線移動させた場合を考える。このとき、屈折率整合液体
層は第１及び第２プリズム柱体３１，３２と第３プリズ
ム柱体３３の間の狭い間隙に挟まれ、毛細管現象により
保持されている。ビームスプリッタを反射した光線３２
０，３２１が垂直反射面３１３で反射されるまでに進む
距離は２ｄｓｉｎθだけ増加するため、垂直反射面３１
３で反射後に３２１，３２０を経由して戻ってくるまで
に進む距離は４ｄｓｉｎθだけ増加する。また、ビーム
スプリッタ３５を透過した光線３２２，３２３が垂直反
射面３７で反射されるまでに進む距離は２ｄｓｉｎθだ
け減少するため、垂直反射面３７で反射後に３２３，３
２２を経由して戻ってくるまでに進む距離は４ｄｓｉｎ
θだけ減少する。

【００４８】よって光が進む距雛の変化はそれぞれ４ｄ
ｓｉｎθの増加と４ｄｓｉｎθの減少となり、第３プリ
ズム柱体３３の屈折率をｎとして、最大移動距離をｄ
_MAXとすると、この光路における最大光路長差は８ｎｄ
_MAXｓｉｎθとなる。これは従来技術に比較して波数分
解能が４倍に向上したことに相当する。ここで例えば具
体的な値を用いると、プリズム材料の屈折率ｎ＝１．
５、最大移動距離ｄ＝０．１ｃｍ、θ＝４５度の場合、
最大光路長差ｄ_MAXは０．８５ｃｍであり、フーリエ変
換分光器としての波数分解能は、１．１ｃｍ^-1となる。
例えば、波長１５５０ｎｍの近赤外線を用いた場合に
は、波長分解能は０．２６ｎｍとなる。

【００４９】なお、もし前記プリズム柱体３３と前記第
１コーナーキューブ３２８及び前記第２コーナーキュー
ブ３２９の移動方向が全ての方向に揺動したとしても、
前記光線３２０と光線３２１間の平行度と、前記光線３
２２と光線３２３間の平行性は常に保たれているため、
垂直反射面３１３に入射する光線及び垂直反射面３７に
入射する光線の垂直度は影響を受けない。そのため、ビ
ームスプリッタヘ戻る光路も不変であり、干渉光強度は
影響を受けず、正確なインターフェログラムが測定でき
る。なお、図４で使用される光線の入射平行光の形成方
法は、レンズ系や、ミラー系など特に手段を問わない
が、例えば、マイケルソン干渉計に対して気密にされた
レンズ付き光ファイバで入出力を行った場合は、干渉計
中で光路が自由空間を全く経由しないため外部環境変化
（湿度変化等）の影響を全く受けない。また、従来技術
の欠点であった、光学部品による光路の遮断が生じない
ため正確な測定値を得ることができる。更に、この実施
例ではビームスプリッタをもつプリズムを固定し、鏡面
プリズムを可動にしているが、これは一例であって、プ
リズム同士の相対位置が変化すればよいので、鏡面プリ
ズムを固定し、ビームスプリッタをもつプリズム２，３
を可動としてもよいし、両方のプリズムを可動としても
全く同様に動作する。

【００５０】

【実施例４】図６は本発明の第４の実施形態を示すマイ
ケルソン干渉計４の各プリズム柱体の配置を示す平面図
及び側面図、図７は第１の実施形態を示すマイケルソン
干渉計の作動状態を示す平面図である。図６及び図７で
示すように、マイケルソン干渉計は、第１プリズム柱体
４１と、第２プリズム柱体４２と、多面体プリズム４３
と、第３プリズム柱体４４と、光線を反射光と透過光に
分割するビームスプリッタ４５と、屈折率を整合する屈
折率整合手段としての屈折率整合液体層４６とを備えて
いる。

【００５１】図６及び図７で示すように、第１プリズム
柱体４１は上面及び下面ならびに周側面で構成されてい
る。そして、第１プリズム柱体４１は、その周側面に配
置され、光源からの平行光が入射される光線入射面４７
と、この光線入射面からの光線の光路上に形成され、ビ
ームスプリッタが隣接する第１平面４８と、ビームスプ
リッタからの反射光の光路上に形成される第２平面４９
とを有している。なお、ここでは第１プリズム柱体４１
の形状は、光線入射面４７と、第１平面４８と、第２平
面４９とからなる三角柱体に形成されており、上面の形
状は、光線入射面４７、第１平面４８、第２平面４９に
それぞれ垂直となっているが、下面の形状については、
図面では上面と平行平面として記載しているが、特に限
定されるものではない。

【００５２】図６及び図７で示すように、第２プリズム
柱体４２は、上面及び下面ならびに周側面で構成されて
いる。そして、第２プリズム柱体４２はその周側面に配
置され、前記第１平面４８に添ってビームスプリッタ４
５に対面する位置に形成される第３平面４１０とビーム
スプリッタ４５からの透過光の光路上で、且つ、前記第
２平面４９の延長上に形成される第４平面４１１と、ビ
ームスプリッタ４５及び第３平面４１０から送られてく
る光線の光路上に形成される光線出射面４１２とを有し
ている。なお、ここでは第２プリズム柱体４２の形状
は、光線出射面４１２と、第３平面４１０と、第４平面
４１１とからなる三角柱体に形成されており、上面の形
状は、光線出射面４１２、第３平面４１０、第４平面４
１１にそれぞれ垂直となっているが、下面の形状につい
ては、図面では上面と平行平面として記載しているが、
特に限定されるものではない。

【００５３】図６及び図７で示すように、多面体プリズ
ム４３は、上面及び下面ならびに周側面で構成されてい
る。そして、多面体プリズム４３はその周側面に配置さ
れ、前記両プリズム柱体４１，４２の第２平面４９及び
第４平面４１１とに対面する位置に形成される第５平面
４１３と、前記ビームスプリッタ４５から反射され第２
平面４９及び第５平面４１３を透過してくる光線を偏向
して上方に反射する第６平面４１４と、第６平面と垂直
に交わり、且つ第５平面４１３と第６平面４１４を経由
してきた光を更に水平方向に偏向する第７平面４１５
と、前記ビームスプリッタ４５を透過して第４平面４１
１及び第５平面４１３を透過して来る光線を偏向して上
方へ反射する第８平面４１６と、第８平面と垂直に交わ
り且つ第５平面４１３と第８平面４１６を経由してきた
光を更に偏向して反射する第９平面４１７とを有してい
る。なお、前記第６平面４１４、第７平面４１５、第８
平面４１６、第９平面４１７は光線を反射する鏡面状に
形成されている。そして、多面体プリズム４３は図面で
は第５平面４１３、第６平面４１４、第７平面４１５、
第８平面４１６、第９平面４１７からなる多角形柱体に
形成されており、また、上面及び下面の形状については
平行平面としているが、その形状及び上面と下面の形状
については特に限定されるものではない。

【００５４】図６及び図７で示すように、第３プリズム
柱体４４は、上面及び下面ならびに周側面で構成されて
いる。そして、第３プリズム柱体４４はその周側面に配
置され、前記第２平面４９及び第４平面４１１の延長上
の平面に配置される第１０平面４１８と、前記光線入射
面４７の延長上の平面に配置され、光線を垂直に反射で
きるように鏡面となっている第１１平面４１９と、前記
光線出射面４１２の延長上の平面に配置され、光線を垂
直に反射できるように鏡面となっている第１２平面４２
０とを有している。なお、ここでは第３プリズム柱体４
４の形状は、第１０平面４１８と、第１１平面４１９
と、第１２平面４２０とからなる三角柱体に形成されて
おり、下面の形状は、第１０平面４１８と、第１１平面
４１９と、第１２平面４２０にそれぞれ垂直となってい
るが、上面の形状については、図面では下面と平行平面
として記載しているが、特に限定されるものではない。

【００５５】図６及び図７で示すように、屈折率整合手
段としての屈折率整合液体層４６は、第１プリズム柱体
４１の第２平面４９及び第２プリズム柱体４２の第４平
面４１１と、多面体プリズム４３の第５平面４１３と、
第３プリズム柱体の第１０平面４１８の間に設けられて
いる。そして、屈折率整合手段４６は、各プリズム柱体
４１，４２，４３，４４を形成している部材と屈折率が
近いものであればよく、その一例として各プリズム柱体
４１，４２，４３，４４を石英で形成した場合に、ここ
ではシリコーンオイルを使用しており、多面体プリズム
４３と、第１及び第２及び第３プリズム柱体４１，４
２，４４とで毛細管現象により液体を保持するように構
成されている。図６及び図７で示すように、ビームスプ
リッタ４５は、第１プリズム柱体４１の第１平面４８
と、第２プリズム柱体４２の第３平面４１０との間に接
着剤等により固定されており、各プリズム柱体４１，４
２，４３，４４の材質や、送られてくる光線の角度によ
り透過率及び反射率を所定の割合になるように形成され
ている。ビームスプリッタの一例としては、金属や誘電
体又はその両方の薄膜を介在させることや、また、透過
部材（各プリズム柱体と同質）に蒸着するようにして形
成されている。なお、第１平面４８あるいは第３平面４
１０に金属や誘電体又はその両方などの薄膜を蒸着して
形成しても良い。

【００５６】次に光線の経路について説明する。図６及
び図７で示すように、光源から平行光の光線４２１を、
ビームスプリッタ４５に入射する。そして、ビームスプ
リッタ４５により分割され反射した光線４２２は、屈折
率整合液体層４６を通過して第５平面４１３に入射後、
第６平面４１４と、第７平面４１５で偏向反射され光線
４２３となる。このとき、光線４２２と光線４２３はお
互いに反平行である。

【００５７】光線４２３は第５平面４１３、屈折率整合
液体層４６及び第１０平面４１８を経由して第３プリズ
ム柱体４４に入り、第１２平面４２０に垂直入射且つ垂
直反射される、再び同じ経路を逆方向へ進んでビームス
プリッタ４５へ向かう。一方、ビームスプリッタ４５に
より分割され透過した光線４２４は、屈折率整合液体層
４６を通過して第５平面４１３に入射後、第８平面４１
６と第９平面４１７で偏向反射され光線４２５となる。
このとき、光線４２４と光線４２５はお互いに逆向きで
平行である。光線４２５は第５平面４１３に入射して屈
折率整合液体層４６と第１０平面４１８を通過して第３
プリズム柱体４４に入り、第１１平面４１９に垂直入射
且つ垂直反射された後、再び同じ経路を逆方向へ進んで
ビームスプリッタ４５へ向かう。そして、ビームスプリ
ッタ側に送られてきた光線４２２，４２４は、それぞれ
合わされて干渉し、出射する平行光線４２６として光検
出器へ向かうことになる。更に、前記第６平面４１４、
第７平面４１５間、第８平面４１６、第９平面４１７間
の垂直度は非常に高いため、前記光線４２２と光線４２
３間の平行度と、前記光線４２４と光線４２５間の平行
性は常に保たれており、その典型的な値は２秒である。

【００５８】次に本発明の動作について図７を用いて説
明する。なお、第１及び第２及び第３プリズム柱体４
１，４２，４４及び多面体プリズム４３を相対的に移動
させる場合、ここでは多面体プリズム４３を移動させて
おり、その移動機構は、リニアガイドや精密送り機構な
どを使用する公知の手段により行われる。多面体プリズ
ム４３を光路長変更方向に距離ｄだけ直線移動させた場
合を考える。このとき、屈折率整合液体層４６は第１及
び第２及び第３プリズム柱体４１，４２，４４と多面体
プリズム４３の間の狭い間隙に挟まれ、毛細管現象によ
り保持されている。ビームスプリッタ４５を反射した光
線４２２，４２３が第１２平面４２０で反射されるまで
に進む距離は２ｄｓｉｎθだけ増加するため、第１２平
面４２０で反射後に４２３，４２２を経由して戻ってく
るまでに進む距離は４ｄｓｉｎθだけ増加する。

【００５９】また、ビームスプリッタを透過した光線４
２４，４２５が第１１平面４１９で反射されるまでに進
む距離は２ｄｓｉｎθだけ減少するため、垂直反射面で
反射後に４２４，４２５を経由して戻ってくるまでに進
む距離は４ｄｓｉｎθだけ減少する。よって光が進む距
離の変化はそれぞれ４ｄｓｉｎθの増加と４ｄｓｉｎθ
の減少となり、多面体プリズム４３の屈折率をｎとし
て、最大移動距離をｄ_MAXとすると、この光路における
最大光路長差は８ｎｄ_MAXｓｉｎθとなる。これは従来
技術に比較して波数分解能が約４倍に向上したことに相
当する。ここで例えば具体的な値を用いると、プリズム
の材料の屈折率ｎ＝１．５、最大移動距離ｄ＝０．１ｃ
ｍ、θ＝４５度の場合、最大光路長差ｄ_MAXは０．８５
ｃｍであり、フーリエ変換分光器としての波数分解能
は、１．１ｃｍ^-1となる。例えば、波長１５５０ｎｍの
近赤外線を用いた場合には、波長分解能は０．２６ｎｍ
となる。なお、もし移動に際してプリズムの方向が方向
ψ又は方向Φに揺動したとしても、前記光線４２２と光
線４２３間の平行度と、前記光線４２４と光線４２５間
の平行性は常に保たれているため、第１２平面４２０及
び第１１平面４１９に入射する光線４２３及び光線４２
５の垂直度は影響を受けない。

【００６０】そのため、ビームスプリッタヘ戻る光路も
不変であり、干渉光強度は影響を受けず、正確なインタ
ーフェログラムが測定できる。なお、図６乃至図７で使
用される光線の入射平行光の形成方法は、レンズ系や、
ミラー系など特に手段を問わないが、例えば、マイケル
ソン干渉計に対して気密にされたレンズ付き光ファイバ
で入出力を行った場合は、干渉計中で光路が自由空間を
全く経由しないため外部環境変化（湿度変化等）の影響
を全く受けない。また、従来技術の欠点であった、光学
部品による光路の遮断が生じないため正確な測定値を得
ることができる。更に、この実施例ではビームスプリッ
タ及び垂直反射鏡面をもつプリズム４１，４２，４４を
固定し、走査プリズム４３を可動にしているが、これは
一例であって、プリズム同士の相対位置が変化すればよ
いので、走査プリズム４３を固定し、ビームスプリッタ
及び垂直反射鏡面をもつプリズム４１，４２，４４を可
動としてもよいし、両方のプリズムを可動としても全く
同様に動作する。

【００６１】

【実施例５】実施例４においては、多面体プリズムの内
部において光線を反射させて使用したが、多面体プリズ
ムの形状は複雑であり、作製に手間がかかる。ここで実
施例４における多面体プリズムと同等な構造を単純な形
状のプリズムの組み合わせで構成することができれば、
作製コストを下げることができる。実施例５ではその一
例を示す。なお、光路や、動作原理は実施例４と全く同
じであるのでここでは構造のみを示す。図８は本発明の
第５の実施形態を示すマイケルソン干渉計５の各プリズ
ム柱体の配置を示す平面図及び側面図である。図８で示
すように、マイケルソン干渉計は、第１プリズム柱体５
１と、第２プリズム柱体５２と、第３プリズム柱体５３
と、第４プリズム柱体５４と、第５プリズム柱体５５
と、第６プリズム柱体５６と、光線を反射光と透過光に
分割するビームスプリッタ５７と、屈折率を整合する屈
折率整合手段としての屈折率整合液体層５８とを備えて
いる。

【００６２】図８で示すように、第１プリズム柱体５１
は上面及び下面ならびに周側面で構成されている。そし
て、第１プリズム柱体５１は、その周側面に配置され、
光源からの平行光が入射される光線入射面５９と、この
光線入射面からの光線の光路上に形成され、ビームスプ
リッタ５７が隣接する第１平面５１０と、ビームスプリ
ッタ５７からの反射光の光路上に形成される第２平面５
１１とを有している。なお、ここでは第１プリズム柱体
５１の形状は、光線入射面５９と、第１平面５１０と、
第２平面５１１とからなる三角柱体に形成されており、
上面の形状は、光線入射面５９、第１平面５１０、第２
平面５１１にそれぞれ垂直となっているが、下面の形状
については、図面では上面と平行平面として記載してい
るが、特に限定されるものではない。

【００６３】図８で示すように、第２プリズム柱体５２
は、上面及び下面ならびに周側面で構成されている。そ
して、第２プリズム柱体５２はその周側面に配置され、
前記第１平面５１０に添ってビームスプリッタ５７に対
面する位置に形成される第３平面５１２とビームスプリ
ッタ５７からの透過光の光路上で、且つ、前記第２平面
５１１の延長上に形成される第４平面５１３と、ビーム
スプリッタ５７及び第３平面５１２から送られてくる光
線の光路上に形成される光線出射面５１４とを有してい
る。なお、ここでは第２プリズム柱体５２の形状は、光
線出射面５１４と、第３平面５１２と、第４平面５１３
とからなる三角柱体に形成されており、上面の形状は、
光線出射面５１４、第３平面５１２、第４平面５１３に
それぞれ垂直となっているが、下面の形状については、
図面では上面と平行平面として記載しているが、特に限
定されるものではない。

【００６４】図８で示すように、第３プリズム柱体５３
は、上面及び下面ならびに周側面で構成されている。そ
して、第３プリズム柱体５３はその周側面に配置され、
前記両プリズム柱体５１，５２の第２平面５１１及び第
４平面５１３とに対面する位置に形成される第５平面５
１５と、前記ビームスプリッタ５７から反射され第２平
面５１１及び第５平面５１５を透過してくる光線を透過
して前記第４プリズム柱体５４へ送る第６平面５１６
と、前記ビームスプリッタ５７を透過して第４平面５１
３及び第５平面５１５を透過して来る光線を前記第５プ
リズム柱体５５へ送る第７平面５１７とを有している。
また、上面及び下面の形状については平行平面としてい
るが、その形状及び上面と下面の形状については特に限
定されるものではない。

【００６５】図８で示すように、第４プリズム柱体５４
は、上斜面及び下斜面及び前平面ならびに左右側面で構
成されている。そして、第４プリズム柱体５４は、第３
プリズム柱体の第６平面５１６に接着して配置され、前
記第６平面５１５に対面する位置に配置される第８平面
５１８と、第８平面から水平方向に入射する光線を上方
に偏向させるように配置された第９平面５１９と、第８
平面からの光線の進行方向を水平面内に偏向させるよう
に配置された第１０平面５２０とを有している。なお、
第９平面５１９と第１０平面５２０の垂直度は非常に高
く、第９平面５１９に入射した光線と第９平面５１９及
び第１０平面５２０に入射した光線は反平行となってい
る。

【００６６】ここでは第４プリズム柱体５５の形状は、
第８平面５２１と、第９平面５２２と、第１０平面５２
０とからなる三角柱体に形成されており、左右側面の形
状は、図面では平行平面として記載しているが、特に限
定されるものではない。図８で示すように、第５プリズ
ム柱体５５は、上斜面及び下斜面及び前平面ならびに左
右側面で構成されている。そして、第５プリズム柱体５
５は、第３プリズム柱体の第７平面５１７に接着して配
置され、前記第７平面５１７に対面する位置に配置され
る第１１平面５２１と、第１１平面５２１から水平方向
に入射する光線を上方に偏向させるように配置された第
１２平面５２２と、第１１平面５２１からの光線の進行
方向を水平面内に偏向させるように配置された第１３平
面５２３とを有している。なお、第１２平面５２２と第
１３平面５２３の垂直度は非常に高く、第１２平面５２
２に入射した光線と第１２平面５２２及び第１３平面５
２３に入射した光線は反平行となっている。

【００６７】ここでは第５プリズム柱体５５の形状は、
第１１平面５２１、第１２平面５２２と、第１３平面５
２３とからなる三角柱体に形成されており、左有側面の
形状は、図面では平行平面として記載しているが、特に
限定されるものではない。図８で示すように、第６プリ
ズム柱体５６は、上面及び下面ならびに周側面で構成さ
れている。そして、第６プリズム柱体５６はその周側面
に配置され、前記第２平面５１１及び第４平面５１３の
延長上の平面に配置される第１４平面５２４と、前記光
線入射面５７の延長上の平面に配置され、光線を垂直に
反射できるように鏡面となっている第１５平面５２５
と、前記光線出射面５１４の延長上の平面に配置され、
光線を垂直に反射できるように鏡面となっている第１６
平面５２６とを有している。なお、ここでは第４プリズ
ム柱体５４の形状は、第１４平面５２４と、第１５平面
５２５と、第１６平面５２６とからなる三角柱体に形成
されており、下面の形状は、第１４平面５２４と、第１
５平面５２５と、第１６平面５２６にそれぞれ垂直とな
っているが、上面の形状については、図面では下面と平
行平面として記載しているが、特に限定されるものでは
ない。

【００６８】図８で示すように、屈折率整合手段として
の屈折率整合液体層５８は、第１プリズム柱体５１の第
２平面５１１及び第２プリズム柱体５２の第４平面５１
３と、第３プリズム柱体５３の第５平面５１４と、第６
プリズム柱体の第１４平面５２４の間に設けられてい
る。そして、屈折率整合手段５８は、各プリズム柱体５
１，５２，５３，５４，５５，５６を形成している部材
と屈折率が近いものであればよく、その一例として各プ
リズム柱体５１，５２，５３，５４，５５，５６を石英
で形成した場合に、ここではシリコーンオイルを使用し
ており、第３プリズム柱体５３と、第１及び第２及び第
６プリズム柱体５１，５２，５６とで毛細管現象により
液体を保持するように構成されている。図８で示すよう
に、ビームスプリッタ５７は、第１プリズム柱体５１の
第１平面５１０と、第２プリズム柱体５２の第３平面５
１２との間に接着剤等により固定されており、各プリズ
ム柱体５１，５２，５３，５４の材質や、送られてくる
光線の角度により透過率及び反射率を所定の割合になる
ように形成されている。ビームスプリッタの一例として
は、金属や誘電体又はその両方の薄膜を介在させること
や、また、透過部材（各プリズム柱体と同質）に蒸着す
るようにして形成されている。なお、第１平面５１０あ
るいは第３平面５１２に金属や誘電体又はその両方など
の薄膜を蒸着して形成しても良い。

【００６９】

【実施例６】図９は本発明の第６の実施形態を示すマイ
ケルソン干渉計の各プリズム柱体の配置を示す平面図及
び側面図である。図９で示すように、マイケルソン干渉
計６は、第１プリズム柱体６１と、第２プリズム柱体６
２と、第３プリズム柱体６３と、第１コーナーキューブ
６４と、第２コーナーキューブ６５と、第４プリズム柱
体６６と、光線を反射光と透過光に分割するビームスプ
リッタ６７と、屈折率を整合する屈折率整合手段として
の屈折率整合液体層６８とを備えている。図９で示すよ
うに、第１プリズム柱体６１は上面及び下面ならびに周
側面で構成されている。

【００７０】そして、第１プリズム柱体６１は、その周
側面に配置され、光源からの平行光が入射される光線入
射面６９と、この光線入射面６９からの光線の光路上に
形成され、ビームスプリッタ６７が隣接する第１平面６
１０と、ビームスプリッタ６７からの反射光の光路上に
形成される第２平面６１１とを有している。なお、ここ
では第１プリズム柱体６１の形状は、光線入射面６９
と、第１平面６１０と、第２平面６１１とからなる三角
柱体に形成されており、また、上面の形状は、光線入射
面６９、第１平面６１０、第２平面６１１にそれぞれ垂
直となっているが、下面の形状については、図面では上
面と平行平面として記載しているが、特に限定されるも
のではない。図９で示すように、第２プリズム柱体６２
は、上面及び下面ならびに周側面で構成されている。

【００７１】そして、第２プリズム柱体６２はその周側
面に配置され、前記第１平面６１０に添ってビームスプ
リッタ６７に対面する位置に形成される第３平面６１２
とビームスプリッタ６７からの透過光の光路上で、且
つ、前記第２平面６１１の延長上に形成される第４平面
６１３と、ビームスプリッタ６７及び第３平面６１２か
ら送られてくる光線の光路上に形成される光線出射面６
１４とを有している。なお、ここでは第２プリズム柱体
６２の形状は、光線出射面６１４と、第３平面６１２
と、第４平面６１３とからなる三角柱体に形成されてお
り、上面の形状は、光線出射面６１４、第３平面６１
２、第４平面６１３にそれぞれ垂直となっているが、下
面の形状については、図面では上面と平行平面として記
載しているが、特に限定されるものではない。

【００７２】図９で示すように、第３プリズム柱体６３
は、上面及び下面ならびに周側面で構成されている。そ
して、第３プリズム柱体６３はその周側面に配置され、
前記両プリズム柱体６１，６２の第２平面６１１及び第
４平面６１３とに対面する位置に形成される第５平面６
１５と、前記ビームスプリッタ６７から反射され第２平
面６１１及び屈折率整合液体層６８及び第５平面６１５
を透過してくる光線を第１コーナーキューブ６４へ通過
させ且つ第１コーナーキューブ６４からの光線を取り入
れる第６平面６１６と、前記ビームスプリッタ６７を透
過し第４平面６１３及び第５平面６１５を透過してくる
光線を第２コーナーキューブ６５へ通過させ且つ第２コ
ーナーキューブ６５からの光線を取り入れる第７平面６
１７とを有している。そして、第３プリズム柱体６３は
図面では第５平面６１５、第６平面６１６、第７平面６
１７からなる三角柱体に形成されており、また、上面及
び下面の形状については平行平面としているが、その形
状及び上面と下面の形状については特に限定されるもの
ではない。

【００７３】図９で示すように、第１コーナーキューブ
６４は、光線入出射面である第８平面６１８と３つの光
線偏向反射面で構成される光線反射部６１９とその周側
面で構成されている。そして、第１コーナーキューブ６
４は、第３プリズム柱体の第６平面６１６に接着して配
置され、前記第６平面６１６と第８平面６１８は対面す
る位置に配置されている。光線反射部６１９を構成する
３つの光線偏向反射面はお互いに垂直に交わる平面であ
り、第１コーナーキューブ６４の光線入出射面である第
８平面６１８に入射した光線６２０は３つの光線偏向反
射面により、入射光と平行且つ逆向きの光線６２１とな
って光線入出射面である第８平面６１８から出射される
という特性をもつ。また、周側面については円筒面とし
ているが、その周側面の形状については特に限定される
ものではない。

【００７４】図９で示すように、第２コーナーキューブ
６５は、光線入出射面である第９平面６２２と３つの光
線偏向反射面で構成される光線反射部６２３とその周側
面で構成されている。そして、第２コーナーキューブ６
５は、第３プリズム柱体の第７平面６１７に接着して配
置され、前記第７平面６１７と第９平面６２２は対面す
る位置に配置されている。光線反射部６２３を構成する
３つの光線偏向反射面はお互いに垂直に交わる平面であ
り、第２コーナーキューブ６５の光線入出射面である第
９平面６２２に入射した光線６２４は３つの光線偏向反
射面により、入射光と平行且つ逆向きの光線６２５とな
って光線入出射面である第９平面６２２から出射される
という特性をもつ。また、周側面については円筒面とし
ているが、その周側面の形状については特に限定される
ものではない。

【００７５】図９で示すように、第４プリズム柱体６６
は、上面及び下面ならびに周側面で構成されている。そ
して、第４プリズム柱体６６はその周側面に配置され、
前記第２平面６１１及び第４平面６１３の延長上の平面
に配置される第１０平面６２６と、前記光線入射面６９
の延長上の平面に配置され、光線を垂直に反射できるよ
うに鏡面となっている第１１平面６２７と、前記光線出
射面６１４の延長上の平面に配置され、光線を垂直に反
射できるように鏡面となっている第１２平面６２８とを
有している。なお、ここでは第４プリズム柱体６６の形
状は、第１０平面６２６と、第１１平面６２７と、第１
２平面６２８とからなる三角柱体に形成されており、下
面の形状は、第１０平面６２６と、第１１平面６２７
と、第１２平面６２８にそれぞれ垂直となっているが、
上面の形状については、図面では下面と平行平面として
記載しているが、特に限定されるものではない。

【００７６】図９で示すように、屈折率整合手段として
の屈折率整合液体層６８は、第１プリズム柱体６１の第
２平面６１１及び第２プリズム柱体６２の第４平面６１
３と、第３プリズム柱体６３の第５平面６１５と第４プ
リズム柱体６６の第１０平面６２６の間に設けられてい
る。そして、屈折率整合手段６８は、各プリズム柱体、
６１，６２，６３，６６及び各コーナーキューブ６４，
６５を形成している部材の屈折率が近いものであればよ
く、その一例として各プリズム柱体６１，６２，６３，
６６及び各コーナーキューブ６４，６５を石英で形成し
た場合に、ここではシリコーンオイルを使用しており、
第３プリズム柱体６３と、第１及び第２及び第４プリズ
ム柱体６１，６２，６６とが、毛細管現象によりシリコ
ンオイルを保持するように構成されている。

【００７７】図９で示すように、ビームスプリッタ６７
は、第１プリズム柱体６１の第１平面６１０と、第２プ
リズム柱体６２の第３平面６１２との間に接着剤等によ
り固定されており、各プリズム柱体６１，６２，６３の
材質や、送られてくる光線の角度により透過率及び反射
率を所定の割合になるように形成されている。図９で示
すように、第１コーナーキューブ６４の光線入出射面で
ある第８平面６１８と第３プリズム柱体６３の第６平面
６１６、また第２コーナーキューブ６５の光線入出射面
である第９平面６２２と第３プリズム柱体６３の第７平
面６１７は光を透過する接着剤等によりそれぞれ固定さ
れている。ビームスプリッタの一例としては、金属や誘
電体又はその両方の薄膜を介在させることや、また、透
過部材（各プリズム柱体と同質）に蒸着するようにして
形成されている。なお、第１平面６１０あるいは第３平
面６１２に金属や誘電体又はその両方などの薄膜を蒸着
して形成しても良い。

【００７８】次に光線の経路について説明する。図９で
示すように、光ファイバから平行光の光線６２９を、ビ
ームスプリッタ６７に入射する。そして、ビームスプリ
ッタ６７により分割され反射した光線６２０は、屈折率
整合液体層６８を通過して第５平面６１５に入射後、第
６平面６１６を透過し、光線入出射面である第８平面６
１８に入射し、光線反射部６１９で逆方向且つ平行の光
線６２１となり、その後再び光線入出射面である第８平
面６１８と第６平面６１６を経由してプリズム柱体６３
に入り、第５平面６１５と屈折率整合液体層６８及び第
１０平面６２６を透過してプリズム柱体６６に入り、垂
直反射面である第１２平面６２８で反射され再び同一光
路６２１，６２０を逆方向へ進み、ビームスプリッタ６
７へ向かう。

【００７９】一方、ビームスプリッタ６７により分割さ
れ透過した光線６２４は、第４平面６１３、屈折率整合
液体層６８を通過して第５平面６１５に入射後、第７平
面６１７を透過し、光線入出射面である第９平面６２２
に入射し、光線反射部６２３で逆方向且つ平行の光線６
２５となり、その後再び光線入出射面である第９平面６
２２と第７平面６１７を経由してプリズム柱体６３に入
り、第５平面６１５と屈折率整合液体層６８及び第１０
平面６２６を透過してプリズム柱体６６に入り、垂直反
射面である第１１平面６２７で反射され再び同一光路を
逆方向へ進み、ビームスプリッタ６７へ向かう。そし
て、ビームスプリッタ側に送られてきた光線６２０，６
２４は、それぞれ合わされて干渉し、出射する平行光線
６３０として光検出器へ向かうことになる。更に、前記
光線反射部６１９と６２３において３平面間の垂直度は
非常に高いため、前記光線６２０と光線６２１間の平行
度と、前記光線６２４と光線６２５間の平行性は常に保
たれており、その典型的な値は２秒である。

【００８０】次に本発明の動作について図１０を用いて
説明する。なお、第１及び第２及び第４プリズム柱体６
１，６２，６６と、第３プリズム柱体６３、第１及び第
２コーナーキューブ６４，６５を相対的に移動させる場
合、ここでは第３プリズム柱体６３及び第１及び第２コ
ーナーキューブ６４，６５を移動させており、その移動
機構は、リニアガイドや精密送り機構などを使用する公
知の手段により行われる。第３プリズム柱体６３及び第
１及び第２コーナーキューブ６４，６５を光路長変更方
向に距離ｄだけ直線移動させた場合を考える。このと
き、屈折率整合液体層６８は第１及び第２プリズム柱体
６１，６２と第３及び第４プリズム柱体６３，６６の間
の狭い間隙に挟まれ、毛細管現象により保持されてい
る。

【００８１】ビームスプリッタを反射した光線６２０，
６２１が垂直反射面６２８で反射されるまでに進む距離
は２ｄｓｉｎθだけ増加するため、垂直反射面６２８で
反射後に６２１，６２０を経由して戻ってくるまでに進
む距離は４ｄｓｉｎθだけ増加する。また、ビームスプ
リッタ６７を透過した光線６２４，６２５が垂直反射面
６２７で反射されるまでに進む距離は２ｄｓｉｎθだけ
減少するため、垂直反射面６２７で反射後に６２５，６
２４を経由して戻ってくるまでに進む距離は４ｄｓｉｎ
θだけ減少する。よって光が進む距離の変化はそれぞれ
４ｄｓｉｎθの増加と４ｄｓｉｎθの減少となり、第３
プリズム柱体６３の屈折率をｎとして、最大移動距離を
ｄ_MAXとすると、この光路における最大光路長差は８ｎ
ｄ_MAXｓｉｎθとなる。

【００８２】これは従来技術に比較して波数分解能が４
倍に向上したことに相当する。ここで例えば具体的な値
を用いると、プリズム材料の屈折率ｎ＝１．５、最大移
動距離ｄ＝０．１ｃｍ、θ＝４５度の場合、最大光路長
差ｄ_MAXは０．８５ｃｍであり、フーリエ変換分光器と
しての波数分解能は、１．１ｃｍ^-1となる。例えば、波
長１５５０ｎｍの近赤外線を用いた場合には、波長分解
能は０．２６ｎｍとなる。なお、もし前記プリズム柱体
６３及び前記第１コーナーキューブ６４及び前記第２コ
ーナーキューブ６５の方向が任意に揺動したとしても、
前記光線６２０と光線６２１間の平行度と、前記光線６
２４と光線６２５間の平行性は常に保たれているため、
垂直反射面６２８に入射する光線及び垂直反射面６２７
に入射する光線の垂直度は影響を受けない。そのため、
ビームスプリッタヘ戻る光路も不変であり、干渉光強度
は影響を受けず、正確なインターフェログラムが測定で
きる。

【００８３】なお、図９で使用される光線の入射平行光
の形成方法は、レンズ系や、ミラー系など特に手段を問
わないが、例えば、マイケルソン干渉計に対して気密に
されたレンズ付き光ファイバで入出力を行った場合は、
干渉計中で光路が自由空間を全く経由しないため外部環
境変化（湿度変化等）の影響を全く受けない。また、従
来技術の欠点であった、光学部品による光路の遮断が生
じないため正確な測定値を得ることができる。更に、こ
の実施例では第１及び第２及び第４プリズム柱体側を固
定し、第３プリズム柱体及び第１及び第２コーナーキュ
ーブを可動にしているが、これは一例であって、プリズ
ム同士の相対位置が変化すればよいので、第３プリズム
柱体及び第１及び第２コーナーキューブ側を固定し、第
１及び第２及び第４プリズム柱体を可動としてもよい
し、両方のプリズムを可動としても全く同様に動作す
る。

【００８４】なお、上述の各実施例において、プリズム
柱体、スラブ型導波路、多面体プリズム、コーナーキュ
ーブ等の光線の通路を有する構成要素の材料は、石英を
はじめとし、一般のガラス材料や、シリコンやゲルマニ
ウムやセレン化亜鉛等の半導体や、弗化カルジウムや臭
化カリウムやニオブ酸リチウム等のイオン性結晶や、ポ
リイミドやポリメチルメタクリレートなどのポリマー
や、プラスチック等の光を透過する材料であれば種類を
問わない。特にプラスチックを材料として金型を用いて
成形する場合はプリズムの低価格化が可能である。ま
た、屈折率整合液体は本実施例ではシリコーンオイルを
用いたが、これはプリズム材料と屈折率が近い液体であ
ればなんでもよい。

【００８５】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、マ
イケルソン干渉計のうち、間にビームスプリッタが形成
された二つのプリズムと、二つの鏡を形成したプリズム
をそれぞれ接触させ、境界に屈折率整合液体層を形成し
て光を通過させる干渉計において、高分解能で無損失且
つ損失の変動がない正確なフーリエ変換分光器を可能に
した。また、導波路構造を用いることにより薄型化且つ
大量生産を可能とし、小型且つ安価なマイケルソン干渉
計を実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例に係るマイケルソン干渉
計を示す構成図であり、同図（ａ）は上面図、同図
（ｂ）は同図（ａ）中のＡ−Ａ’線矢視側面図である。

【図２】本発明の第１の実施例に係るマイケルソン干渉
計の動作を示す説明図である。

【図３】本発明の第２の実施例に係るマイケルソン干渉
計を示す構成図であり、同図（ａ）は上面図、同図
（ｂ）は同図（ａ）中のＢ−Ｂ’線矢視側面図である。

【図４】本発明の第３の実施例に係るマイケルソン干渉
計を示す構成図であり、同図（ａ）は上面図、同図
（ｂ）は同図（ａ）中のＣ−Ｃ’線矢視側面図である。

【図５】本発明の第３の実施例に係るマイケルソン干渉
計の動作を示す説明図である。

【図６】本発明の第４の実施例に係るマイケルソン干渉
計を示す構成図であり、同図（ａ）は上面図、同図
（ｂ）は同図（ａ）中のＤ−Ｄ’線矢視側面図、同図
（ｃ）は、同図（ａ）中のＥ−Ｅ’線矢視側面図であ
る。

【図７】本発明の第４の実施例に係るマイケルソン干渉
計の動作を示す説明図であり、同図（ａ）は上面図、同
図（ｂ）は同図（ａ）中のＦ−Ｆ’線矢視側面図であ
る。

【図８】本発明の第５の実施例に係るマイケルソン干渉
計を示す構成図であり、同図（ａ）は上面図、同図
（ｂ）は同図（ａ）中のＧ−Ｇ’線矢視側面図、同図
（ｃ）は、同図（ａ）中のＨ−Ｈ’線矢視側面図であ
る。

【図９】本発明の第６の実施例に係るマイケルソン干渉
計を示す構成図であり、同図（ａ）は上面図、同図
（ｂ）は同図（ａ）中のＩ−Ｉ’線矢視側面図、同図
（ｃ）は、同図（ａ）中のＪ−Ｊ’線矢視側面図であ
る。

【図１０】本発明の第６の実施例に係るマイケルソン干
渉計の動作を示す説明図であり、同図（ａ）は上面図、
同図（ｂ）は同図（ａ）中のＫ−Ｋ’線矢視側面図であ
る。

【図１１】従来のフーリエ変換分光用マイケルソン干渉
計の例を示す上面図である。

【図１２】従来のフーリエ変換分光用マイケルソン干渉
計の例を示す上面図である。

【符号の説明】

１，２，３ マイケルソン干渉計 １１，３１ 第１プリズム柱体 ２１ 第１スラブ型導波路板 １２，３２ 第２プリズム柱体 ２２ 第２スラブ型導波路板 １３，３３ 第３プリズム柱体 ２３ 第３スラブ型導波路板 １４，２４，３４ ビームスプリッタ １５，２５，３５ 屈折率整合手段 １６，２６，３６ 光線入射面 １７，２７，３７ 垂直反射面 １８，２８，３８ 第１平面 １９，２９，３９ 第２平面 １１０，２１０，３１０ 第３平面 １１１，２１１，３１１ 第４平面 １１２，２１２，３１２ 光線出射面 １１３，２１３，３１３ 垂直反射面 １１４，２１４，３１４ 第５平面 １１５，２１５，３１５ 第６平面 １１６，２１６，３１６ 第７平面 １１７，２１７，３１７ 第８平面 １１８，２１８，３１８ 第９平面 １１９，２１９，３１９ 入射平行光線 １２０，２２０，３２０ ビームスプリッタにより反射
された光線 １２１，２２１，３２１ ビームスプリッタにより反射
された光線と反平行な光線 １２２，２２２，３２２ ビームスプリッタを透過した
光線 １２３，２２３，３２３ ビームスプリッタを透過した
光線と反平行な光線 １２４，２２４，３２４ 出射平行光線 ２２５ 上部クラッド層 ２２６ コア層 ２２７ 下部クラッド層 ３２８ 第１コーナーキューブ ３２９ 第２コーナーキューブ ３３０ 第１０平面 ３３１ 第１１平面 ３３２ 第１２平面 ３３３ 第１３平面 ３３４ 光線反射部 ３３５ 光線反射部 ４，５，６ マイケルソン干渉計 ４１ 第１プリズム柱体 ４２ 第２プリズム柱体 ４３ 多面体プリズム ４４ 第３プリズム柱体 ４５ ビームスプリッタ ４６ 屈折率整合液体層 ４７ 光線入射面 ４８ 第１平面 ４９ 第２平面 ４１０ 第３平面 ４１１ 第４平面 ４１２ 光線出射面 ４１３ 第５平面 ４１４ 第６平面 ４１５ 第７平面 ４１６ 第８平面 ４１７ 第９平面 ４１８ 第１０平面 ４１９ 第１１平面 ４２０ 第１２平面 ４２１ 入射平行光線 ４２２ ビームスプリッタにより反射された光線 ４２３ ビームスプリッタにより反射された光線と反平
行な光線 ４２４ ビームスプリッタを透過した光線 ４２５ ビームスプリッタを透過した光線と反平行な光
線 ４２６ 出射平行光線 ５１ 第１プリズム柱体 ５２ 第２プリズム柱体 ５３ 第３プリズム柱体 ５４ 第４プリズム柱体 ５５ 第５プリズム柱体 ５６ 第６プリズム柱体 ５７ ビームスプリッタ ５８ 屈折率整合液体層 ５９ 光線入射面 ５１０ 第１平面 ５１１ 第２平面 ５１２ 第３平面 ５１３ 第４平面 ５１４ 光線出射面 ５１５ 第５平面 ５１６ 第６平面 ５１７ 第７平面 ５１８ 第８平面 ５１９ 第９平面 ５２０ 第１０平面 ５２１ 第１１平面 ５２２ 第１２平面 ５２３ 第１３平面 ５２４ 第１４平面 ５２５ 第１５平面 ５２６ 第１６平面 ５２７ 入射平行光線 ５２８ ビームスプリッタにより反射された光線 ５２９ ビームスプリッタにより反射された光線と反平
行な光線 ５３０ ビームスプリッタを透過した光線 ５３１ ビームスプリッタを透過した光線と反平行な光
線 ５３２ 出射平行光線 ６１ 第１プリズム柱体 ６２ 第２プリズム柱体 ６３ 第３プリズム柱体 ６４ 第１コーナーキューブ ６５ 第２コーナーキューブ ６６ 第４プリズム柱体 ６７ ビームスプリッタ ６８ 屈折率整合液体層 ６９ 光線入射面 ６１０ 第１平面 ６１１ 第２平面 ６１２ 第３平面 ６１３ 第４平面 ６１４ 光線出射面 ６１５ 第５平面 ６１６ 第６平面 ６１７ 第７平面 ６１８ 第８平面 ６１９ 第１光線反射部 ６２０ ビームスプリッタにより反射された光線 ６２１ ビームスプリッタにより反射された光線と反平
行な光線 ６２２ 第９平面 ６２３ 第２光線反射部 ６２４ ビームスプリッタを透過した光線 ６２５ ビームスプリッタを透過した光線と反平行な光
線 ６２６ 第９平面 ６２７ 第１０平面 ６２８ 第１１平面 ６２９ 入射平行光線 ６３０ 出射平行光線 Ｒ１ 入射平行光 Ｒ２ 出射平行光 Ｐ１ 平面鏡Ｍ１と透過面Ｔをその構成面としているプ
リズム Ｐ２ 平面鏡Ｍ２とビームスプリッタ面ＢＳをその構成
面としているプリズム Ｌ１ 参照光路 Ｌ２ 可変光路 Ｍ１ 平面鏡 Ｍ２ 平面鏡 ＢＳ ビームスプリッタ面 Ｔ 透過面 ｄ プリズムの相対移動距離 θ プリズムＰ２におけるビームスプリッタ面ＢＳと平
面鏡Ｍ２間の傾き角度 Ｆ１ 入射用光ファイバ束 Ｆ２ 出射用光ファイバ束 ＰＭ１ 平面鏡 ＰＭ２ 平面鏡 ＣＭ１ 曲面鏡 ＣＭ２ 曲面鏡 ＢＳ ビームスプリッタ面 Ｔ 透過面 Ｐ１ 平面鏡ＰＭ１と曲面鏡ＣＭ１とビームスプリッタ
面ＢＳをその構成面としているプリズム Ｐ２ 平面鏡ＰＭ２と、曲面鏡ＣＭ２と、透過面Ｔで構
成されているプリズム Ｂ１ 細孔 Ｂ２ 細孔 Ｓ１ 微小鏡スポット Ｓ２ 微小鏡スポット ｄ プリズムの相対移動距離 θ プリズムＰ２における透過面下と平面鏡ＰＭ２間の
傾き角度

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F064 AA15 CC04 EE01 GG00 GG02 GG06 GG12 GG16 GG22 GG44 HH00 2G020 AA03 CA12 CB05 CB21 CB42 CC22 CC47 CD01 CD16 CD35 CD57

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１プリズム柱体（１１）と、第２プリ
   ズム柱体（１２）と、第３プリズム柱体（１３）と、光
   線を反射光と透過光に分割するビームスプリッタ（１
   ４）と、屈折率を整合する屈折率整合手段（１５）と、
   光線入射手段と光検出手段とを備え、 前記第１プリズム柱体（１１）は、前記光線入射手段を
   設置する位置に配置される光線入射面（１６）と、前記
   ビームスプリッタ（１４）に隣接し、この光線入射面
   （１６）から入射した光線の光路上に配置される第１平
   面（１８）と、前記ビームスプリッタ（１４）から反射
   される光線の光路上に配置される第２平面（１９）とを
   有し、 前記第２プリズム柱体（１２）は、前記第１平面（１
   ８）に沿って前記ビームスプリッタ（１４）に対面する
   位置に配置される第３平面（１１０）と、前記ビームス
   プリッタ（１４）を透過する光線の光路上で且つ前記第
   ２平面（１９）の延長上に配置される第４平面（１１
   １）と、光検出手段を設置する位置に配置される光線出
   射面（１１２）とを有し、 前記第３プリズム柱体（１３）は、前記第１プリズム柱
   体（１１）の前記第２平面（１９）及び前記第２プリズ
   ム柱体（１２）の前記第４平面（１１１）と対面する位
   置に配置される第５平面（１１４）と、前記第１平面
   （１８）から前記第２平面（１９）及び前記第５平面
   （１１４）を介して送られて来る光線をその光路と平行
   且つ反対の方向に反射するように配置され、且つお互い
   に垂直である第６平面（１１５）及び第７平面（１１
   ６）と、前記第３平面（１１０）から前記第４平面（１
   １１）及び前記第５平面（１１４）を介して送られて来
   る光線をその光路と平行且つ反対の方向に反射するよう
   に配置され、且つお互いに垂直である第８平面（１１
   ７）及び第９平面（１１８）とを有し、 前記屈折率整合手段（１５）は、前記第２平面（１９）
   及び前記第４平面（１１１）と、前記第５平面（１１
   ４）の間に介在され、 前記第１プリズム柱体（１１）及び前記第２プリズム柱
   体（１２）と、前記第３プリズム柱体（１３）は、前記
   第２平面（１９）及び前記第４平面（１１１）と、前記
   第５平面（１１４）に沿って、光線の光路長変更方向に
   相対的に移動自在としたことを特徴とするマイケルソン
   干渉計。
2. 【請求項２】 第１スラブ型導波路板（２１）と、第２
   スラブ型導波路板（２２）と、第３スラブ型導波路板
   （２３）と、光線を反射光と透過光に分割するビームス
   プリッタ（２４）と、屈折率を整合する屈折率整合手段
   （２５）と、光線入射手段と光検出手段とを備え、 前記第１スラブ型導波路板（２１）は、前記光線入射手
   段を設置する位置に配置される光線入射面（２６）と、
   前記ビームスプリッタ（２４）に隣接し、この光線入射
   面（２６）から入射した光線の光路上に配置される第１
   平面（２８）と、前記ビームスプリッタ（２４）から反
   射される光線の光路上に配置される第２平面（２９）と
   を有し、 前記第２スラブ型導波路板（２２）は、前記第１平面
   （２８）に沿って前記ビームスプリッタ（２４）に対面
   する位置に配置される第３平面（２１０）と、前記ビー
   ムスプリッタ（２４）を透過する光線の光路上で且つ前
   記第２平面（２９）の延長上に配置される第４平面（２
   １１）と、光検出手段を設置する位置に配置される光線
   出射面（２１２）とを有し、 前記第３スラブ型導波路板（２３）は、前記第１スラブ
   型導波路板（２１）の前記第２平面（２９）及び前記第
   ２スラブ型導波路板（２２）の前記第４平面（２１１）
   と対面する位置に配置される第５平面（２１４）と、前
   記第１平面（２８）から前記第２平面（２９）及び前記
   第５平面（２１４）を介して送られて来る光線をその光
   路と平行且つ反対の方向に反射するように配置され、且
   つお互いに垂直である第６平面（２１５）及び第７平面
   （２１６）と、前記第３平面（２１０）から前記第４平
   面（２１１）及び前記第５平面（２１４）を介して送ら
   れて来る光線をその光路と平行且つ反対の方向に反射す
   るように配置され、且つお互いに垂直である第８平面
   （２１７）及び第９平面（２１８）とを有し、 前記屈折率整合手段（２５）は、前記第２平面（２９）
   及び前記第４平面（２１１）と、前記第５平面（２１
   ４）の間に介在され、 前記第１スラブ型導波路板（２１）及び前記第２スラブ
   型導波路板（２２）と、前記第３スラブ型導波路板（２
   ３）は、前記第２平面（２９）及び前記第４平面（２１
   １）と、前記第５平面（２１４）に沿って、光線の光路
   長変更方向に相対的に移動自在としたことを特徴とする
   マイケルソン干渉計。
3. 【請求項３】 第１プリズム柱体（３１）と、第２プリ
   ズム柱体（３２）と、第３プリズム柱体（３３）と、第
   １コーナーキューブ（３２８）と、第２コーナーキュー
   ブ（３２９）と、光線を反射光と透過光に分割するビー
   ムスプリッタ（３４）と、屈折率を整合する屈折率整合
   手段（３５）と、光線入射手段と光検出手段とを備え、 前記第１プリズム柱体（３１）は、前記光線入射手段を
   設置する位置に配置される光線入射面（３６）と、前記
   ビームスプリッタ（３４）に隣接し、この光線入射面
   （３６）から入射した光線の光路上に配置される第１平
   面（３８）と、前記ビームスプリッタ（３４）から反射
   される光線の光路上に配置される第２平面（３９）とを
   有し、 前記第２プリズム柱体（３２）は、前記第１平面（３
   ８）に沿って前記ビームスプリッタ（３４）に対面する
   位置に配置される第３平面（３１０）と、前記ビームス
   プリッタ（３４）を透過する光線の光路上で且つ前記第
   ２平面（３９）の延長上に配置される第４平面（３１
   １）と、光検出手段を設置する位置に配置される光線出
   射面（３１２）とを有し、 前記第３プリズム柱体（３３）は、前記第１プリズム柱
   体（３１）の前記第２平面（３９）及び前記第２プリズ
   ム柱体（３２）の前記第４平面（３１１）と対面する位
   置に配置される第５平面（３１４）と、前記第１平面
   （３８）から前記第２平面（３９）及び前記第５平面
   （３１４）を介して送られて来る光線上に配置された第
   １０平面（３３０）と、前記第３平面（３１０）から前
   記第４平面（３１１）及び前記第５平面（３１４）を介
   して送られて来る光線上に配置された第１１平面（３３
   １）とを有し、 前記第１コーナーキューブ（３２８）は前記第１０平面
   （３３０）に沿って対面する位置に配置される第１２平
   面（３３２）と、三つの相互に垂直な平面で構成され、
   入射してきた光線を、平行且つ反対方向に進行する光線
   に変換する光線反射部（３３４）と、周側部とを有し、 前記第２コーナーキューブ（３２９）は前記第７平面
   （３１６）に沿って対面する位置に配置される第１３平
   面（３３３）と、三つの相互に垂直な平面で構成され、
   入射してきた光線を、平行且つ反対方向に進行する光線
   に変換する光線反射部（３３５）と、周側部とを有し、 前記屈折率整合手段（３５）は、前記第２平面（３９）
   及び前記第４平面（３１１）と、前記第５平面（３１
   ４）の間に介在され、 前記第１プリズム柱体（３１）及び前記第２プリズム柱
   体（３２）と、前記第３プリズム柱体（３３）及び第１
   コーナーキューブ（３２８）及び第２コーナーキューブ
   （３２９）は、前記第２平面（３９）及び前記第４平面
   （３１１）と、前記第５平面（３１４）に沿って、光線
   の光路長変更方向に相対的に移動自在としたことを特徴
   とするマイケルソン干渉計。
4. 【請求項４】 第１プリズム柱体（４１）と、第２プリ
   ズム柱体（４２）と、多面体プリズム（４３）と、第３
   プリズム柱体（４４）と、光線を反射光と透過光に分割
   するビームスプリッタ（４５）と、屈折率を整合する屈
   折率整合手段（４６）と、光線入射手段と光検出手段と
   を備え、 前記第１プリズム柱体（４１）は、前記光線入射手段を
   設置する位置に配置される光線入射面（４７）と、前記
   ビームスプリッタ（４５）に隣接し、この光線入射面
   （４７）から入射した光線の光路上に配置される第１平
   面（４８）と、前記ビームスプリッタ（４５）から反射
   される光線の光路上に配置される第２平面（４９）と、
   前記光線入射面（４７）と第１平面（４８）と第２平面
   （４９）に垂直な上面を有し、 前記第２プリズム柱体（４２）は、前記第１平面（４
   ８）に沿って前記ビームスプリッタ（４５）に対面する
   位置に配置される第３平面（４１０）と、前記ビームス
   プリッタ（４５）を透過する光線の光路上で且つ前記第
   ２平面（４９）の延長上に配置される第４平面（４１
   １）と、光検出手段を設置する位置に配置される光線出
   射面（４１２）と、前記光線出射面（４１２）と第３平
   面（４１０）と第４平面（４１１）に垂直な上面を有
   し、 前記多面体プリズム（４３）は、前記第１プリズム柱体
   （４１）の前記第２平面（４９）及び前記第２プリズム
   柱体（４２）の前記第４平面（４１１）と対面する位置
   に配置される第５平面（４１３）と、前記第１平面（４
   ８）から前記第２平面（４９）及び前記第５平面（４１
   ３）を介して送られて来る光線を上方に偏向し、下方か
   らの光線を水平面内に進行するように偏向し、前記第１
   平面（４８）から前記第２平面（４９）及び前記第５平
   面（４１３）を介して送られて来る光線と平行且つ反対
   方向且つ水平面内を進行するように配置され、且つお互
   いに垂直である第６平面（４１４）及び第７平面（４１
   ５）と、前記第３平面（４１０）から前記第４平面（４
   １１）及び前記第５平面（４１３）を介して送られて来
   る光線を上方に偏向し、下方からの光線を水平面内に進
   行するように偏向し、前記第３平面（４１０）から前記
   第４平面（４１１）及び前記第５平面（４１３）を介し
   て送られて来る光線と平行且つ反対方向且つ水平面内を
   進行するように配置され、且つお互いに垂直である第８
   平面（４１６）及び第９平面（４１７）とを有し、 前記第３プリズム柱体（４４）は、第５平面（４１３）
   に対面する位置で且つ第２平面（４９）及び第４平面
   （４１１）同一平面上に配置される第１０平面（４１
   ８）と、前記第９平面（４１７）からの光線に対して垂
   直で且つ光線入射面（４７）に対して平行又は同一平面
   上にあり鏡面となっている第１１平面（４１９）と、前
   記第７平面（４１５）からの光線に対して垂直で且つ光
   線出射面（４１２）に対して平行又は同一平面上にあり
   鏡面となっている第１２平面（４２０）と、前記第１プ
   リズム柱体（４１）と前記第２プリズム柱体（４２）の
   上面に接する位置に配置される下面と、前記第１０平面
   （４１８）と第１１平面（４１９）と第１２平面（４２
   ０）が下面に対してそれぞれ垂直であり、更に下面と前
   記第１プリズム柱体（４１）及び前記第２プリズム柱体
   （４２）が接着されており、 前記屈折率整合手段（４６）は、前記第２平面（４９）
   及び前記第４平面（４１１）及び前記第１０平面（４１
   ８）と、前記第５平面（４１３）の間に介在され、 前記第１プリズム柱体（４１）及び前記第２プリズム柱
   体（４２）と、前記第３プリズム柱体（４４）は、前記
   第２平面（４９）及び前記第４平面（４１１）及び前記
   第１０平面（４１８）と、前記第５平面（４１３）に沿
   って、光線の光路長変更方向に相対的に移動自在とした
   ことを特徴とするマイケルソン干渉計。
5. 【請求項５】 第１プリズム柱体（５１）と、第２プリ
   ズム柱体（５２）と、第３プリズム柱体（５３）と、第
   ４プリズム柱体（５４）と、第５プリズム柱体（５５）
   と、第６プリズム柱体（５６）と、光線を反射光と透過
   光に分割するビームスプリッタ（５７）と、屈折率を整
   合する屈折率整合手段（５８）と、光線入射手段と光検
   出手段とを備え、 前記第１プリズム柱体（５１）は、前記光線入射手段を
   設置する位置に配置される光線入射面（５９）と、前記
   ビームスプリッタ（５７）に隣接し、この光線入射面
   （５９）から入射した光線の光路上に配置される第１平
   面（５１０）と、前記ビームスプリッタ（５７）から反
   射される光線の光路上に配置される第２平面（５１１）
   と、前記光線入射面（５９）と第１平面（５１０）と第
   ２平面（５１１）に垂直な上面を有し、 前記第２プリズム柱体（５２）は、前記第１平面（５１
   ０）に沿って前記ビームスプリッタ（５７）に対面する
   位置に配置される第３平面（５１２）と、前記ビームス
   プリッタ（５７）を透過する光線の光路上で且つ前記第
   ２平面（５１１）の延長上に配置される第４平面（５１
   ３）と、光検出手段を設置する位置に配置される光線出
   射面（５１４）と第３平面（５１２）と第４平面（５１
   ３）に垂直な上面を有し、 前記第３プリズム柱体（５３）は、前記第１プリズム柱
   体（５１）の前記第２平面（５１１）及び前記第２プリ
   ズム柱体（５２）の前記第４平面（５１３）と対面する
   位置に配置される第５平面（５１５）と、前記第１平面
   （５１０）から前記第２平面（５１１）及び前記第５平
   面（５１５）を介して送られて来る光線を前記第４プリ
   ズム柱体（５４）に透過する位置に配置される第６平面
   （５１６）と、前記第１平面（５１０）から前記第２平
   面（５１１）及び前記第５平面（５１５）を介して送ら
   れて来る光線を前記第４プリズム柱体（５４）に透過す
   る位置に配置される第６平面（５１６）とを有し、 前記第４プリズム柱体（５４）は、前記第３プリズム柱
   体（５３）の前記第６平面（５１６）と対面する位置に
   接着される第８平面（５１８）と、前記第１平面（５１
   ０）から前記第２平面（５１１）及び前記第５平面（５
   １５）及び前記第６平面（５１６）及び前記第８平面
   （５１８）を介して送られて来る光線を上方に偏向し、
   偏向された下方からの光線を水平面内に進行するように
   偏向し、前記第１平面（５１０）から前記第２平面（５
   １１）及び前記第５平面（５１５）及び前記第６平面
   （５１６）を介して送られて来る光線と平行且つ反対方
   向且つ水平面内を進行するように配置され、且つお互い
   に垂直である第９平面（５１９）及び第１０平面（５２
   ０）とを有し、 前記第５プリズム柱体（５５）は、前記第３プリズム柱
   体（５３）の前記第７平面（５１７）と対面する位置に
   接着される第１１平面（５２１）と、前記第３平面（５
   １２）から前記第４平面（５１３）及び前記第５平面
   （５１５）及び前記第７平面（５１７）及び前記第１１
   平面（５２１）を介して送られて来る光線を上方に偏向
   し、偏向された下方からの光線を水平面内に進行するよ
   うに偏向し、前記第３平面（５１２）から前記第４平面
   （５１３）及び前記第５平面（５１５）及び前記第７平
   面（５１７）を介して送られて来る光線と平行且つ反対
   方向且つ水平面内を進行するように配置され、且つお互
   いに垂直である第１２平面（５２２）及び第１３平面
   （５２３）とを有し、 前記第６プリズム柱体（５６）は、第５平面（５１５）
   に対面する位置で且つ第２及び第４平面（５１３）と同
   一平面上に配置される第１４平面（５２４）と、前記第
   １３平面（５２３）からの光線に対して垂直で且つ光線
   入射面（５９）に対して平行又は同一平面上にあり鏡面
   となっている第１５平面（５２５）と、前記第１０平面
   （５１０）からの光線に対して垂直で且つ光線出射面
   （５１４）に対して平行又は同一平面上にあり鏡面とな
   っている第１６平面（５２６）と、前記第１プリズム柱
   体（５１）と前記第２プリズム柱体（５２）の上面に接
   する位置に配置される下面と、前記第１４平面（５２
   ４）と第１５平面（５２５）と第１６平面（５２６）が
   下面に対してそれぞれ垂直であり、更に下面と第１プリ
   ズム柱体（５１）及び第２プリズム柱体（５２）が接着
   されており、 前記屈折率整合手段（５８）は、前記第２平面（５１
   １）及び前記第４平面（５１３）及び前記第１０平面
   （５１０）と、前記第５平面（５１５）の間に介在さ
   れ、 前記第１プリズム柱体（５１）及び前記第２プリズム柱
   体（５２）と、前記第３プリズム柱体（５３）は、前記
   第２平面（５１１）及び前記第４平面（５１３）及び前
   記第１０平面（５１０）と、前記第５平面（５１５）に
   沿って、光線の光路長変更方向に相対的に移動自在とし
   たことを特徴とするマイケルソン干渉計。
6. 【請求項６】 第１プリズム柱体（６１）と、第２プリ
   ズム柱体（６２）と、第３プリズム柱体（６３）と、第
   １コーナーキューブ（６４）と、第２コーナーキューブ
   （６５）と、第４プリズム柱体（６６）と、光線を反射
   光と透過光に分割するビームスプリッタ（６７）と、屈
   折率を整合する屈折率整合手段（６８）と、光線入射手
   段と光検出手段とを備え、 前記第１プリズム柱体（６１）は、前記光線入射手段を
   設置する位置に配置される光線入射面（６９）と、前記
   ビームスプリッタ（６７）に隣接し、この光線入射面
   （６９）から入射した光線の光路上に配置される第１平
   面（６１０）と、前記ビームスプリッタ（６７）から反
   射される光線の光路上に配置される第２平面（６１１）
   とを有し、 前記第２プリズム柱体（６２）は、前記第１平面（６１
   ０）に沿って前記ビームスプリッタ（６７）に対面する
   位置に配置される第３平面（６１２）と、前記ビームス
   プリッタ（６７）を透過する光線の光路上で且つ前記第
   ２平面（６１１）の延長上に配置される第４平面（６１
   ３）と、光検出手段を設置する位置に配置される光線出
   射面（６１４）とを有し、 前記第３プリズム柱体（６３）は、前記第１プリズム柱
   体（６１）の前記第２平面（６１１）及び前記第２プリ
   ズム柱体（６２）の前記第４平面（６１３）と対面する
   位置に配置される第５平面（６１５）と、前記第１平面
   （６１０）から前記第２平面（６１１）及び前記第５平
   面（６１５）を介して送られて来る光線上に配置された
   第６平面（６１６）と、前記第３平面（６１２）から前
   記第４平面（６１３）及び前記第５平面（６１５）を介
   して送られて来る光線上に配置された第７平面（６１
   ７）とを有し、 前記第１コーナーキューブ（６４）は前記第６平面（６
   １６）に沿って対面する位置に配置される第８平面（６
   １８）と、三つの相互に垂直な平面で構成され、入射し
   てきた光線を、平行且つ反対方向に進行する光線に変換
   する第１光線反射部（６１９）と、周側部とを有し、 前記第２コーナーキューブ（６５）は前記第７平面（６
   １７）に沿って対面する位置に配置される第９平面（６
   ２２）と、三つの相互に垂直な平面で構成され、入射し
   てきた光線を、平行且つ反対方向に進行する光線に変換
   する第２光線反射部（６２３）と、周側部とを有し、 前記第４プリズム柱体（６６）は、第５平面（６１５）
   に対面する位置で且つ第２及び第４平面（６１３）と同
   一平面上に配置される第１０平面（６２６）と、前記第
   １光線反射部（６１９）からの光線に対して垂直で且つ
   光線出射面（６１４）に対して平行又は同一平面上にあ
   り鏡面となっている第１１平面（６２７）と、前記第２
   光線反射部（６２３）からの光線に対して垂直で且つ光
   線入射面（６９）に対して平行又は同一平面上にあり鏡
   面となっている第１２平面（６２８）と、前記第１プリ
   ズム柱体（６１）と前記第２プリズム柱体（６２）の上
   面に接する位置に配置される下面と、前記第１０平面
   （６２６）と第１１平面（６２７）と第１２平面（６２
   ８）が下面に対してそれぞれ垂直であり、更に下面と第
   １プリズム柱体（６１）及び第２プリズム柱体（６２）
   が接着されており、 前記屈折率整合手段（６８）は、前記第２平面（６１
   １）及び前記第４平面（６１３）及び前記第１０平面
   （６２６）と、前記第５平面（６１５）の間に介在さ
   れ、 前記第１プリズム柱体（６１）及び前記第２プリズム柱
   体（６２）と、前記第３プリズム柱体（６３）及び第１
   コーナーキューブ（６４）及び第２コーナーキューブ
   （６５）は、前記第２平面（６１１）及び前記第４平面
   （６１３）及び前記第１０平面（６２６）と、前記第５
   平面（６１５）に沿って、光線の光路長変更方向に相対
   的に移動自在としたことを特徴とするマイケルソン干渉
   計。