JP3547048B2 - マイケルソン干渉計 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光スペクトルの測定を行うことで被測定物の精密測定を行う分光器に使用され、試料の分光分析や光通信の波長モニタリングに適したフーリエ変換分光用干渉計として用いられるマイケルソン干渉計に関する。特に、光路差の変化に伴って生じる干渉強度の変化からフーリエ変換分光法により光スペクトルを求めるために用いるマイケルソン干渉計に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、光のスペクトルを得るためにマイケルソン干渉計を用いたフーリエ変換分光器は、検出結果より試料分析等を行っている。
従来のフーリエ変換分光器は、光源からの光をマイケルソン干渉計等に入射し、ビームスプリッタ等によって可変光路と参照光路に分岐された光路間の光路長差によって生じるインターフェログラムを得て、このインターフェログラムをフーリエ変換することにより、前記光源のスペクトルを得るものである。
この手法においてマイケルソン干渉計は最重要部分であり、特に、野外で使用するフーリエ変換赤外分光器は軽量、小型、耐環境性、堅牢さが求められる。
また、リモートモニタリングにおいては試料からの光を光ファイバケーブルで受けることが必要となる。
【０００３】
このような従来のマイケルソン干渉計の一例を図１１（ａ），（ｂ）に示す。これはアメリカ合衆国特許５１７３７４４「屈折率走査干渉計（Ｒｅｆｒａｃｔｉｖｅｌｙｓｃａｎｎｅｄ ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒ ）」Ｊｅｎｓ Ｒ．Ｄｙｂｗａｄ，（Ｄｅｃ．２２，１９９２）に掲載されているマイケルソン干渉計の構成概要図面である。
図１１（ａ），（ｂ）においてＲ１は入射平行光、Ｒ２は出射平行光、ＢＳはビームスプリッタ面、Ｔは透過面、Ｌ１は可変光路、Ｌ２は参照光路、Ｐ１は可動プリズム、Ｐ２は固定プリズム、Ｍ１は可変光路用平面鏡、Ｍ２は参照光路用平面鏡である。
ここで図１１に示す従来例の動作を説明する。
【０００４】
入射平行光Ｒ１は可動プリズムＰ２に入り、ビームスプリッタ面ＢＳに入射される。
ビームスプリッタ面ＢＳで反射された光は可変光路Ｌ１上を進み、平面鏡Ｍ１で反射され、再び可変光路Ｌ１上を進んでビームスプリッタ面ＢＳに入射して透過し、固定プリズムＰ２へ入る。
一方、ビームスプリッタ面ＢＳを透過した入射平行光Ｒ１はプリズムＰ２に入り、参照光路Ｌ２上を進み、参照光路用平面鏡Ｍ２で反射され、再び参照光路Ｌ２を進んだ後に透過面下で反射される。
このとき、可変光路Ｌ１と参照光路Ｌ２の２つの径路をたどった光が同じ光軸上にあってお互いに干渉するため、マイケルソン干渉計を構成することができる。
光路長を変化させるためには図１１（ｂ）で示すように、可動プリズムＰ１と固定プリズムＰ２を相対的に移動させている。
【０００５】
このとき、移動距離をｄ、プリズム材料の屈折率をｎとすると、図１１（ｂ）に示すように、Ｍ２の位置はｄｓｉｎθだけ変化し、光路長差は２ｎ・ｄ・ｓｉｎθとなる。
従って、この干渉計の入射用光ファイバ束（図示せず）に光源（図示せず）を設置し、出射用光ファイバ束（図示せず）に光検出器（図示せず）を設置すれば、相対移動距離に対する光強度の変化であるインターフェログラムを測定でき、このインターフェログラムに対してフーリエ変換を行うことによって光源のスペクトルを得ることができる。
この場合、最大移動距離をｄ_ＭＡＸとするとの波数分解能は１／（２ｎｄ_ＭＡＸｓｉｎθ）で表される。
ここで例えば具体的な値を用いると、プリズムの材料の屈折率ｎ＝１．５、最大移動距離ｄ＝０．１ｃｍ、θ＝４５度の場合、最大光路長差ｄ_ＭＡＸは０．２ｃｍであり、フーリエ変換分光器としての波数分解能は、４．７ｃｍ^−１となる。
例えば、波長１５５０ｎｍの近赤外線を用いた場合には、波長分解能は１．１ｎｍとなる。
【０００６】
しかし、図１１の従来技術においては、プリズム内部で光線光軸が移動するため、入射平行光の照射手段又は出射平行光の検出手段と干渉計本体を一体化することができなかった。
このため光軸調整を必要とし、また、光路が外気を通過しているため、外部環境変化（湿度の変化等）の影響を受けやすいという欠点があった。
この欠点を克服するために、同特許において実施例として示されている従来技術を図１２（ａ）（ｂ）に示す。
図１２（ａ）においてＦ１は入射用光ファイバ束、Ｆ２は出射用光ファイバ束、ＰＭ１，ＰＭ２２は平面鏡、ＣＭ１，ＣＭ２は曲面鏡、ＢＳはビームスプリッタ面、Ｔは透過面、Ｐ１は平面鏡ＰＭ１と曲面鏡ＣＭ１とビームスプリッタ面ＢＳをその構成面としているプリズム、Ｐ２は平面鏡ＰＭ２と、曲面鏡ＣＭ２と、透過面下で構成されているプリズムである。
これらのプリズムには各光ファイバ束Ｆ１，Ｆ２を導入し設置するための細孔Ｂ１，Ｂ２と、プリズムが近接して並べられた面に設けられ、且つ曲面鏡ＣＭ１，ＣＭ２の焦点付近にある微小鏡スポットＳ１とＳ２であり、ｄはプリズムの相対移動距離であり、θはプリズムＰ２における透過面下と平面鏡ＰＭ２間の傾き角度である。
【０００７】
ここで図１２（ｂ）に示す従来例の動作を説明する。
細孔Ｂ１を経由している入射用光ファイバ束Ｆ１からの光は発散しながら微小鏡Ｓ１で反射された後、曲面鏡ＣＭ１でコリメートされて平行光となり、ビームスプリッタ面ＢＳに入射される。
ビームスプリッタ面ＢＳで反射された平行光は平面鏡ＰＭ１で反射され、再びビームスプリッタ面に入射して透過し、プリズムＰ２へ入る。
平行光は曲面鏡ＣＭ２において収束光に変換され、微小鏡Ｓ２に反射され、出射光用ファイバ束Ｆ２の端面に集光され、外部に取り出される。
一方、ビームスプリッタ面ＢＳを透過した平行光はプリズムＰ２に入り、平面鏡ＰＭ２で反射された後に透過面下で反射されて曲面鏡ＣＭ２に入射し、収束光に変換されて微小鏡Ｓ２で反射され、出射光用ファイバ束Ｆ２の端面に集光され、外部に取り出される。
【０００８】
このように、入射用光ファイバ束Ｆ１から出て２つの径路をたどった光が出射用光ファイバＦ２に到達し干渉するため、マイケルソン干渉計を構成することができる。
光路長を変化させるためにはプリズムＰ１とプリズムＰ２の相対的に移動させる。
このとき、移動距離をｄ、プリズム材料の屈折率をｎとすると、図１２に示すように、Ｍ２の位置はｄ・ｓｉｎθだけ変化し、光路長差は２ｎ・ｄ・ｓｉｎθとなる。
従って、この干渉計の入射用光ファイバ束に光源を設置し、出射用光ファイバ束に光検出器を設置すれば、相対移動距離に対する光強度の変化であるインターフェログラムを測定でき、このインターフェログラムに対してフーリエ変換を行うことによって光源のスペクトルを得ることができる。
この場合、最大移動距離をｄ_ＭＡＸとすると、波数分解能は１／（２ｎ・ｄ_ＭＡＸ・ｓｉｎθ）で表される。
ここで例えば具体的な値を用いると、プリズムの材料の屈折率ｎ＝１．５、最大移動距離ｄ＝０．１ｃｍ、θ＝４５度の場合、最大光路長差ｄ_ＭＡＸは０．２ｃｍであり、フーリエ変換分光器としての波数分解能は、４．７ｃｍ^−１となる。
例えば、波長１５５０ｎｍの近赤外線を用いた場合には、波長分解能は１．１ｎｍとなる。
この発明においては入射光と出射光をファイバでやり取りし、外部環境変化の影響を受けにくく、遠隔測定が可能である構成としている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来のマイケルソン干渉計では、つぎのような問題点が発生した。
図１１におけるマイケルソン干渉計においては、最大移動距離ｄ_ＭＡＸに対して光路長差は２ｎ・ｄ_ＭＡＸ・ｓｉｎθを走査することができるが、波数分解能は光路長差が大きいほど高くなる。
そのため、高分解能を達成するためには長距離を移動できるプリズム移動手段が必要であるが、従来のマイケルソン干渉計では大型且つ高価となっていた。
また、図１２のようなマイケルソン干渉計については、図１１の従来技術において、平行光線の照射手段又は出射平行光の検出手段と干渉計を一体化できなかった欠点を克服し、入射光と出射光をファイバでやり取りし、外部環境変化の影響を受けにくく、遠隔測定を可能にしているが、プリズム内部に微小反射鏡や、光ファイバ導入用細孔等があり、光路を一部遮っているために、１０％程度の損失が避けられなかった。
また、プリズムの相対移動によって光路を遮蔽している微小鏡の重なりが変化するために損失の変動が大きく、正確なインターフェログラムを得るのが困難であった。
【００１０】
更に、図１２の構成ではプリズムの移動に対して光軸が変化することに起因して、移動距離が大きい場合には集光位置の変化が無視できなくなり、検出効率が低下するため、プリズムの移動距離には制限があり、結果的に波数分解能に上限があった。
更に、図１２の構成ではプリズムをほとんど貫通する深い細孔と、微小鏡を形成するための作業が必要であり、製作コストを高めていた。
更に、深い細孔と微小鏡を光路内部に設置しているため作製する薄さには限界があり、また、微小鏡や細孔による遮蔽の比率を低く抑えるためにはビームの垂直方向の径を広げざるを得ず、プリズムの厚みを減らすことには限界があった。
更に、図１１における従来技術と同様に、図１２の干渉計においても最大移動距離ｄ_ＭＡＸに対して光路長差は２ｎ・ｄ_ＭＡＸ・ｓｉｎθを走査することができるが、波数分解能は光路長差が大きいほど高くなるため、高分解能を達成するためには長距離を移動できるプリズム移動手段が必要であり、大型且つ高価となっていた。
【００１１】
更に、図１１における従来技術と同様に、図１２の干渉計においても、プリズムの移動時において揺動した場合、参照光路と可変光路の反射鏡Ｍ１とＭ２のアライメントがずれるため、検出できる干渉光強度が影響を受けてしまい、正確なインターフェログラムを得るのが困難になるという欠点があった。
本発明の日的は、このような点に鑑みて創作されたもので、出力される光線の位置を一定とすることで一体型のマイケルソン干渉計を構成でき、更に、プリズムの移動距離ｄに対する光路長変化の長距離化により高波数分解能を達成し、小型且つ安価な屈折率走査型マイケルソン干渉計を提供することにある。
また微小鏡と細孔の作製を不要にして、微小鏡と細孔が光路を遮蔽することによる損失と、プリズムの相対移動に伴う遮蔽比率の変化をなくし、プリズム揺動によるアライメントのずれを防ぎ、プリズムの相対移動距離に対する光路長変化の長距離化により高波数分解能を達成し、無損失で正確、安価、薄くて軽量な屈折率走査型マイケルソン干渉計を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決する本発明の請求項１に係るマイケルソン干渉計は、第１プリズム柱体と、第２プリズム柱体と、第３プリズム柱体と、光線を反射光と透過光に分割するビームスプリッタと、前記第３プリズム柱体と前記第１及び第２プリズム柱体との屈折率を整合する屈折率整合手段と、光線入射手段と光検出手段とを備え、前記第１プリズム柱体は、前記光線入射手段からの平行光が入射される光線入射面と、この光線入射面と同一平面上の第１垂直反射面と、前記ビームスプリッタに隣接し、この光線入射面から入射した光線の光路上に配置される第１平面と、前記ビームスプリッタから反射される光線の光路上に配置される第２平面とを有し、前記第２プリズム柱体は、前記第１平面に沿って前記ビームスプリッタに対面する位置に配置される第３平面と、前記ビームスプリッタを透過する光線の光路上で且つ前記第２平面の延長上に配置される第４平面と、光検出手段を設置する位置に配置される光線出射面と、この光線出射面と同一平面上の第２垂直反射面とを有し、前記第３プリズム柱体は、前記第１プリズム柱体の前記第２平面及び前記第２プリズム柱体の前記第４平面と対面する位置に配置される第５平面と、前記第１平面から前記第２平面及び前記第５平面を介して送られて来る光線をその光路と平行且つ反対の方向に反射するように配置され、且つお互いに垂直である第６平面及び第７平面と、前記第３平面から前記第４平面及び前記第５平面を介して送られて来る光線をその光路と平行且つ反対の方向に反射するように配置され、且つお互いに垂直である第８平面及び第９平面とを有し、前記屈折率整合手段は、前記第２平面及び前記第４平面と、前記第５平面の間に介在され、前記光線入射手段から前記光線入射面を透過して前記第１プリズム柱体に入射する入射光線のうち、前記ビームスプリッタで分割され反射された第１の光線が、前記第２平面と前記屈折率整合手段と前記第５平面を透過して前記第３プリズム柱体に入り、前記第６平面と前記第７平面で反射され、前記第１の光線と平行で逆向きの光線となって、前記第５平面と前記屈折率整合手段と前記第４平面を透過して前記第２プリズム柱体に入り、前記第２垂直反射面で反射され、再び前記光線と同一の光路に沿って前記第４平面と前記屈折率整合手段と前記第５平面を透過して前記第３プリズム柱体に入り、前記第７平面と前記第６平面で反射され、前記第５平面と前記屈折率整合手段と前記第２平面を透過して前記第１プリズム柱体に入り、前記ビームスプリッタへ向かい、前記入射光線のうち、前記ビームスプリッタで分割され透過された第２の光線が、前記第４平面と前記屈折率整合手段と前記第５平面を透過して前記第３プリズム柱体に入り、前記第８平面と前記第９平面で反射され、前記第２の光線と平行で逆向きの光線となって、前記第５平面と前記屈折率整合手段と前記第２平面を透過して前記第１プリズム柱体に入り、前記第１垂直反射面で反射され、再び前記光線と同一の光路に沿って前記第２平面と前記屈折率整合手段と前記第５平面を透過して前記第３プリズム柱体に入り、前記第９平面と前記第８平面で反射され、前記第５平面と前記屈折率整合手段と前記第４平面を透過して前記第２プリズム柱体に入り、前記ビームスプリッタへ向かい、前記ビームスプリッタへ戻ってきた両方の前記第１の光線及び前記第２の光線が合わされて干渉し、平行光線として前記光線出射面を透過して前記光検出手段へ出射するように光路が構成され、前記第１プリズム柱体及び前記第２プリズム柱体と、前記第３プリズム柱体は、前記第２平面及び前記第４平面と、前記第５平面に沿って、光線の光路長変更方向に相対的に移動自在とした。
このような構成にすることで、光線入射手段から第１プリズム柱体及びビームスプリッタを介して第２プリズム柱体を経由する光線が、両プリズムの相対的な移動により参照光路及び可変光路を光を損失されることなく変動もなく検出手段に到達することができる。
また、光線の出力側では、常に一定の位置に平行光を収束させた光線を反射することができる。
なお、前記光線入射手段に設ける変換手段は、変換レンズであっても良い。
【００１３】
また、前記課題を解決する本発明の請求項２に係るマイケルソン干渉計は、第１スラブ型導波路板と、第２スラブ型導波路板と、第３スラブ型導波路板と、光線を反射光と透過光に分割するビームスプリッタと、前記第３スラブ型導波路板と前記第１及び第２スラブ型導波路板との屈折率を整合する屈折率整合手段と、光線入射手段と光検出手段とを備え、 前記第１スラブ型導波路板は、前記光線入射手段からの平行光が入射される光線入射面と、この光線入射面と同一平面上の第１垂直反射面と、前記ビームスプリッタに隣接し、この光線入射面から入射した光線の光路上に配置される第１平面と、前記ビームスプリッタから反射される光線の光路上に配置される第２平面とを有し、前記第２スラブ型導波路板は、前記第１平面に沿って前記ビームスプリッタに対面する位置に配置される第３平面と、前記ビームスプリッタを透過する光線の光路上で且つ前記第２平面の延長上に配置される第４平面と、光検出手段を設置する位置に配置される光線出射面と、この光線出射面と同一平面上の第２垂直反射面とを有し、前記第３スラブ型導波路板は、前記第１スラブ型導波路板の前記第２平面及び前記第２スラブ型導波路板の前記第４平面と対面する位置に配置される第５平面と、前記第１平面から前記第２平面及び前記第５平面を介して送られて来る光線をその光路と平行且つ反対の方向に反射するように配置され、且つお互いに垂直である第６平面及び第７平面と、前記第３平面から前記第４平面及び前記第５平面を介して送られて来る光線をその光路と平行且つ反対の方向に反射するように配置され、且つお互いに垂直である第８平面及び第９平面とを有し、前記屈折率整合手段は、前記第２平面及び前記第４平面と、前記第５平面の間に介在され、前記光線入射手段から前記光線入射面を透過して前記第１スラブ型導波路板に入射する入射光線のうち、前記ビームスプリッタで分割され反射された第１の光線が、前記第２平面と前記屈折率整合手段と前記第５平面を透過して前記第３スラブ型導波路板に入り、前記第６平面と前記第７平面で反射され、前記第１の光線と平行で逆向きの光線となって、前記第５平面と前記屈折率整合手段と前記第４平面を透過して前記第２スラブ型導波路板に入り、前記第２垂直反射面で反射され、再び前記光線と同一の光路に沿って前記第４平面と前記屈折率整合手段と前記第５平面を透過して前記第３スラブ型導波路板に入り、前記第７平面と前記第６平面で反射され、前記第５平面と前記屈折率整合手段と前記第２平面を透過して前記第１スラブ型導波路板に入り、前記ビームスプリッタへ向かい、前記入射光線のうち、前記ビームスプリッタで分割され透過された第２の光線が、前記第４平面と前記屈折率整合手段と前記第５平面を透過して前記第３スラブ型導波路板に入り、前記第８平面と前記第９平面で反射され、前記第２の光線と平行で逆向きの光線となって、前記第５平面と前記屈折率整合手段と前記第２平面を透過して前記第１スラブ型導波路板に入り、前記第１垂直反射面で反射され、再び前記光線と同一の光路に沿って前記第２平面と前記屈折率整合手段と前記第５平面を透過して前記第３スラブ型導波路板に入り、前記第９平面及び前記第８平面で反射され、前記第５平面と前記屈折率整合手段と前記第４平面を透過して前記第２スラブ型導波路板に入り、前記ビームスプリッタへ向かい、前記ビームスプリッタへ戻ってきた両方の前記第１の光線及び前記第２の光線が合わされて干渉し、平行光線として前記光線出射面を透過して前記光検出手段へ出射するように光路が構成され、前記第１スラブ型導波路板及び前記第２スラブ型導波路板と、前記第３スラブ型導波路板は、前記第２平面及び前記第４平面と、前記第５平面に沿って、光線の光路長変更方向に相対的に移動自在とした。
このような構成にすることで、光線入射手段から第１スラブ型導波路板及びビームスプリッタを介して第２スラブ型導波路板を経由する光線が、両スラブ型導波路板の相対的な移動により参照光路及び可変光路を光を損失されることなく変動もなく検出手段に到達することができる。
また、光線の出力側では、常に一定の位置に平行光を収束させた光線を反射することができる。なお、前記光線入射手段に設ける変換手段は、変換レンズであっても良い。
【００１４】
更に、前記課題を解決する本発明の請求項３に係るマイケルソン干渉計は、第１プリズム柱体と、第２プリズム柱体と、第３プリズム柱体と、第１コーナーキューブ２と、第２コーナーキューブ２と、光線を反射光と透過光に分割するビームスプリッタと、前記第３プリズム柱体と前記第１及び第２プリズム柱体との屈折率を整合する屈折率整合手段と、光線入射手段と光検出手段とを備え、前記第１プリズム柱体は、前記光線入射手段からの平行光が入射される光線入射面と、この光線入射面と同一平面上の第１垂直反射面と、前記ビームスプリッタに隣接し、この光線入射面から入射した光線の光路上に配置される第１平面と、前記ビームスプリッタから反射される光線の光路上に配置される第２平面とを有し、前記第２プリズム柱体は、前記第１平面に沿って前記ビームスプリッタに対面する位置に配置される第３平面と、前記ビームスプリッタを透過する光線の光路上で且つ前記第２平面の延長上に配置される第４平面と、光検出手段を設置する位置に配置される光線出射面と、この光線出射面と同一平面上の第２垂直反射面とを有し、前記第３プリズム柱体は、前記第１プリズム柱体の前記第２平面及び前記第２プリズム柱体の前記第４平面と対面する位置に配置される第５平面と、前記第１平面から前記第２平面及び前記第５平面を介して送られて来る光線上に配置された第１０平面と、前記第３平面から前記第４平面及び前記第５平面を介して送られて来る光線上に配置された第１１平面とを有し、前記第１コーナーキューブ２は前記第１０平面に沿って対面する位置に配置される第１２平面と、三つの相互に垂直な平面で構成され、入射してきた光線を、平行且つ反対方向に進行する光線に変換する第１光線反射部と、周側部とを有し、前記第２コーナーキューブ２は前記第１１平面に沿って対面する位置に配置される第１３平面と、三つの相互に垂直な平面で構成され、入射してきた光線を、平行且つ反対方向に進行する光線に変換する第２光線反射部と、周側部とを有し、前記屈折率整合手段は、前記第２平面及び前記第４平面と、前記第５平面の間に介在され、前記光線入射手段から前記光線入射面を透過して前記第１プリズム柱体に入射する入射光線のうち、前記ビームスプリッタで分割され反射された第１の光線が、前記第２平面と前記屈折率整合手段と前記第５平面を透過して前記第３プリズム柱体に入り、前記第１０平面と前記第１２平面を透過して前記第１コーナーキューブ２に入り、前記第１光線反射部で反射され、前記第１の光線と平行で逆向きの光線となって、前記第１２平面と前記第１０平面を透過して前記第３プリズム柱体に入り、前記第５平面と前記屈折率整合手段と前記第４平面を透過して前記第２プリズム柱体に入り、前記第２垂直反射面で反射され、再び前記光線と同一の光路に沿って前記第４平面と前記屈折率整合手段と前記第５平面を透過して前記第３プリズム柱体に入り、前記第１０平面と前記第１２平面を透過して前記第１コーナーキューブ２に入り、前記第１光線反射部で反射され、前記第１２平面と前記第１０平面を透過して前記第３プリズム柱体に入り、前記第５平面と前記屈折率整合手段と前記第２平面を透過して前記第１プリズム柱体に入り、前記ビームスプリッタへ向かい、前記入射光線のうち、前記ビームスプリッタで分割され透過された第２の光線が、前記第４平面と前記屈折率整合手段と前記第５平面を透過して前記第３プリズム柱体に入り、前記第１１平面と前記第１３平面を透過して前記第２コーナーキューブ２に入り、前記第２光線反射部で反射され、前記第２の光線と平行で逆向きの光線となって、前記第１３平面と前記第１１平面を透過して前記第３プリズム柱体に入り、前記第５平面と前記屈折率整合手段と前記第２平面を透過して前記第１プリズム柱体に入り、前記第１垂直反射面で反射され、再び前記光線と同一の光路に沿って前記第２平面と前記屈折率整合手段と前記第５平面を透過して前記第３プリズム柱体に入り、前記第１１平面と前記第１３平面を透過して前記第２コーナーキューブ２に入り、前記第２光線反射部で反射され、前記第１３平面と前記第１１平面を透過して前記第３プリズム柱体に入り、前記第５平面と前記屈折率整合手段と前記第４平面を透過して前記第２プリズム柱体に入り、前記ビームスプリッタへ向かい、前記ビームスプリッタへ戻ってきた両方の前記第１の光線及び前記第２の光線が合わされて干渉し、平行光線として前記光線出射面を透過して前記光検出手段へ出射するように光路が構成され、前記第１プリズム柱体及び前記第２プリズム柱体と、前記第３プリズム柱体及び第１コーナーキューブ２及び第２コーナーキューブ２は、前記第２平面及び前記第４平面と、前記第５平面に沿って、光線の光路長変更方向に相対的に移動自在としたことを特徴とする。
このような構成にすることで、光線入射手段から第１プリズム柱体及びビームスプリッタを介して第２プリズム柱体を経由する光線が、両プリズムの相対的な移動により参照光路及び可変光路を光を損失されることなく変動もなく検出手段に到達することができる。
また、光線の出力側では、常に一定の位置に平行光を収束させた光線を反射することができる。なお、前記光線入射手段に設ける変換手段は、変換レンズであっても良い。
【００１５】
また、前記課題を解決する本発明の請求項４に係るマイケルソン干渉計は、第１プリズム柱体と、第２プリズム柱体と、多面体プリズムと、第３プリズム柱体と、光線を反射光と透過光に分割するビームスプリッタと、前記多面体プリズム柱体と前記第１，第２及び第３プリズム柱体との屈折率を整合する屈折率整合手段と、光線入射手段と光検出手段とを備え、前記第１プリズム柱体は、前記光線入射手段からの平行光が入射される光線入射面と、前記ビームスプリッタに隣接し、この光線入射面から入射した光線の光路上に配置される第１平面と、前記ビームスプリッタから反射される光線の光路上に配置される第２平面と、前記光線入射面と前記第１平面と前記第２平面に垂直な上面を有し、前記第２プリズム柱体は、前記第１平面に沿って前記ビームスプリッタに対面する位置に配置される第３平面と、前記ビームスプリッタを透過する光線の光路上で且つ前記第２平面の延長上に配置される第４平面と、光検出手段を設置する位置に配置される光線出射面と、前記光線出射面と第３平面と第４平面に垂直な上面を有し、前記多面体プリズムは、前記第１プリズム柱体の前記第２平面及び前記第２プリズム柱体の前記第４平面と対面する位置に配置される第５平面と、前記第１平面から前記第２平面及び前記第５平面を介して送られて来る光線を上方に偏向し、偏向された下方からの光線を水平面内に進行するように偏向し、前記第１平面から前記第２平面及び前記第５平面を介して送られて来る光線と平行且つ反対方向且つ水平面内を進行するように配置され、且つお互いに垂直である第６平面及び第７平面と、前記第３平面から前記第４平面及び前記第５平面を介して送られて来る光線を上方に偏向し、偏向された下方からの光線を水平面内に進行するように偏向し、前記第３平面から前記第４平面及び前記第５平面を介して送られて来る光線と平行且つ反対方向且つ水平面内を進行するように配置され、且つお互いに垂直である第８平面及び第９平面とを有し、前記第３プリズム柱体は、前記第５平面に対面する位置で且つ前記第２平面及び前記第４平面同一平面上に配置される第１０平面と、前記第９平面からの光線に対して垂直で且つ前記光線入射面に対して平行又は同一平面上にあり鏡面となっている第１１平面と、前記第７平面からの光線に対して垂直で且つ前記光線出射面に対して平行又は同一平面上にあり鏡面となっている第１２平面と、前記第１プリズム柱体と前記第２プリズム柱体の上面に接する位置に配置される下面と、前記第１０平面と前記第１１平面と前記第１２平面が下面に対してそれぞれ垂直であり、更に下面と前記第１プリズム柱体及び前記第２プリズム柱体が接着されており、前記屈折率整合手段は、前記第２平面及び前記第４平面及び前記第１０平面と、前記第５平面の間に介在され、前記光線入射手段から前記光線入射面を透過して前記第１プリズム柱体に入射する入射光線のうち、前記ビームスプリッタで分割され反射された第１の光線が、前記第２平面と前記屈折率整合手段と前記第５平面を透過して前記多面体プリズムに入り、前記第６平面と前記第７平面で反射され、前記第１の光線と平行で逆向きの光線となって、前記第５平面と前記屈折率整合手段と前記第１０平面を透過して前記第３プリズム柱体に入り、前記第１２平面で反射され、再び前記光線と同一の光路に沿って前記第１０平面と前記屈折率整合手段と前記第５平面を透過して前記多面体プリズムに入り、前記第７平面と前記第６平面で反射され、前記第５平面と前記屈折率整合手段と前記第２平面を透過して前記第１プリズム柱体に入り、前記ビームスプリッタへ向かい、前記入射光線のうち、前記ビームスプリッタで分割され透過された第２の光線が、前記第４平面と前記屈折率整合手段と前記第５平面を透過して前記多面体プリズムに入り、前記第８平面と前記第９平面で反射され、前記第２の光線と平行で逆向きの光線となって、前記第５平面と前記屈折率整合手段と前記第１０平面を透過して前記第３プリズム柱体に入り、前記第１１平面で反射され、再び前記光線と同一の光路に沿って前記第１０平面と前記屈折率整合手段と前記第５平面を透過して前記多面体プリズムに入り、前記第９平面と前記第８平面で反射され、前記第５平面と前記屈折率整合手段と前記第４平面を透過して前記第２プリズム柱体に入り、前記ビームスプリッタへ向かい、前記ビームスプリッタへ戻ってきた両方の前記第１の光線及び前記第２の光線が合わされて干渉し、平行光線として前記光線出射面を透過して前記光検出手段へ出射するように光路が構成され、前記第１プリズム柱体及び前記第２プリズム柱体と、前記第３プリズム柱体は、前記第２平面及び前記第４平面及び前記第１０平面と、前記第５平面に沿って、光線の光路長変更方向に相対的に移動自在としたことを特徴とする。
【００１６】
また、前記課題を解決する本発明の請求項５に係るマイケルソン干渉計は、第１プリズム柱体と、第２プリズム柱体と、第３プリズム柱体と、第１コーナーキューブと、第２コーナーキューブと、第４プリズム柱体と、光線を反射光と透過光に分割するビームスプリッタと、前記第３プリズム柱体と前記第１，第２及び第４プリズム柱体との屈折率を整合する屈折率整合手段と、光線入射手段と光検出手段とを備え、前記第１プリズム柱体は、前記光線入射手段からの平行光が入射される光線入射面と、前記ビームスプリッタに隣接し、この光線入射面から入射した光線の光路上に配置される第１平面と、前記ビームスプリッタから反射される光線の光路上に配置される第２平面とを有し、前記第２プリズム柱体は、前記第１平面に沿って前記ビームスプリッタに対面する位置に配置される第３平面と、前記ビームスプリッタを透過する光線の光路上で且つ前記第２平面の延長上に配置される第４平面と、光検出手段を設置する位置に配置される光線出射面とを有し、前記第３プリズム柱体は、前記第１プリズム柱体の前記第２平面及び前記第２プリズム柱体の前記第４平面と対面する位置に配置される第５平面と、前記第１平面から前記第２平面及び前記第５平面を介して送られて来る光線上に配置された第６平面と、前記第３平面から前記第４平面及び前記第５平面を介して送られて来る光線上に配置された第７平面とを有し、 前記第１コーナーキューブは前記第６平面に沿って対面する位置に配置される第８平面と、三つの相互に垂直な平面で構成され、入射してきた光線を、平行且つ反対方向に進行する光線に変換する第１光線反射部と、周側部とを有し、前記第２コーナーキューブは前記第７平面に沿って対面する位置に配置される第９平面と、三つの相互に垂直な平面で構成され、入射してきた光線を、平行且つ反対方向に進行する光線に変換する第２光線反射部と、周側部とを有し、前記第４プリズム柱体は、前記第５平面に対面する位置で且つ前記第２平面及び前記第４平面と同一平面上に配置される第１０平面と、前記第１光線反射部からの光線に対して垂直で且つ前記光線出射面に対して平行又は同一平面上にあり鏡面となっている第１２平面と、前記第２光線反射部からの光線に対して垂直で且つ前記光線入射面に対して平行又は同一平面上にあり鏡面となっている第１１平面と、前記第１プリズム柱体と前記第２プリズム柱体の上面に接する位置に配置される下面と、前記第１０平面と前記第１１平面と前記第１２平面が下面に対してそれぞれ垂直であり、更に下面と前記第１プリズム柱体及び前記第２プリズム柱体が接着されており、前記屈折率整合手段は、前記第２平面及び前記第４平面及び前記第１０平面と、前記第５平面の間に介在され、前記光線入射手段から前記光線入射面を透過して前記第１プリズム柱体に入射する入射光線のうち、前記ビームスプリッタで分割され反射された第１の光線が、前記第２平面と前記屈折率整合手段と前記第５平面を透過して前記第３プリズム柱体に入り、前記第６平面と前記第８平面を透過して前記第１コーナーキューブに入り、前記第１光線反射部で反射され、前記第１の光線と平行で逆向きの光線となって、前記第８平面と前記第６平面を透過して前記第３プリズム柱体に入り、前記第５平面と前記屈折率整合手段と前記第１０平面を透過して前記第４プリズム柱体に入り、鏡面となっている前記第１２平面で反射され、再び前記光線と同一の光路に沿って前記第１０平面と前記屈折率整合手段と前記第５平面を透過して前記第３プリズム柱体に入り、前記第６平面と前記第８平面を透過して前記第１コーナーキューブに入り、前記第１光線反射部で反射され、前記第８平面と前記第６平面を透過して前記第３プリズム柱体に入り、前記第５平面と前記屈折率整合手段と前記第２平面を透過して前記第１プリズム柱体に入り、前記ビームスプリッタへ向かい、前記入射光線のうち、前記ビームスプリッタで分割され透過された第２の光線が、前記第４平面と前記屈折率整合手段と前記第５平面を透過して前記第３プリズム柱体に入り、前記第７平面と前記第９平面を透過して前記第２コーナーキューブに入り、前記第２光線反射部で反射され、前記第２の光線と平行で逆向きの光線となって、前記第９平面と前記第７平面を透過して前記第３プリズム柱体に入り、前記第５平面と前記屈折率整合手段と前記第１０平面を透過して前記第４プリズム柱体に入り、鏡面となっている前記第１１平面で反射され、再び前記光線と同一の光路に沿って前記第１０平面と前記屈折率整合手段と前記第５平面を透過して前記第３プリズム柱体に入り、前記第７平面と前記第９平面を透過して前記第２コーナーキューブに入り、前記第２光線反射部で反射され、前記第９平面と前記第７平面を透過して前記第３プリズム柱体に入り、前記第５平面と前記屈折率整合手段と前記第４平面を透過して前記第２プリズム柱体に入り、前記ビームスプリッタへ向かい、前記ビームスプリッタへ戻ってきた両方の前記第１の光線及び前記第２の光線が合わされて干渉し、平行光線として前記光線出射面を透過して前記光検出手段へ出射するように光路が構成され、前記第１プリズム柱体及び前記第２プリズム柱体と、前記第３プリズム柱体及び第１コーナーキューブ及び第２コーナーキューブは、前記第２平面及び前記第４平面及び前記第１０平面と、前記第５平面に沿って、光線の光路長変更方向に相対的に移動自在としたことを特徴とする。
【００１７】
更に、前記課題を解決する本発明の請求項６に係るマイケルソン干渉計は、第１プリズム柱体と、第２プリズム柱体と、第３プリズム柱体と、第１コーナーキューブと、第２コーナーキューブと、第４プリズム柱体と、光線を反射光と透過光に分割するビームスプリッタと、前記第３プリズム柱体と前記第１，第２及び第４プリズム柱体との屈折率を整合する屈折率整合手段と、光線入射手段と光検出手段とを備え、前記第１プリズム柱体は、前記光線入射手段からの平行光が入射される光線入射面と、前記ビームスプリッタに隣接し、この光線入射面から入射した光線の光路上に配置される第１平面と、前記ビームスプリッタから反射される光線の光路上に配置される第２平面とを有し、前記第２プリズム柱体は、前記第１平面に沿って前記ビームスプリッタに対面する位置に配置される第３平面と、前記ビームスプリッタを透過する光線の光路上で且つ前記第２平面の延長上に配置される第４平面と、光検出手段を設置する位置に配置される光線出射面とを有し、前記第３プリズム柱体は、前記第１プリズム柱体の前記第２平面及び前記第２プリズム柱体の前記第４平面と対面する位置に配置される第５平面と、前記第１平面から前記第２平面及び前記第５平面を介して送られて来る光線上に配置された第６平面と、前記第３平面から前記第４平面及び前記第５平面を介して送られて来る光線上に配置された第７平面とを有し、
前記第１コーナーキューブは前記第６平面に沿って対面する位置に配置される第８平面と、三つの相互に垂直な平面で構成され、入射してきた光線を、平行且つ反対方向に進行する光線に変換する第１光線反射部と、周側部とを有し、前記第２コーナーキューブは前記第７平面に沿って対面する位置に配置される第９平面と、三つの相互に垂直な平面で構成され、入射してきた光線を、平行且つ反対方向に進行する光線に変換する第２光線反射部と、周側部とを有し、前記第４プリズム柱体は、前記第５平面に対面する位置で且つ前記第２平面及び前記第４平面と同一平面上に配置される第１０平面と、前記第１光線反射部からの光線に対して垂直で且つ前記光線出射面に対して平行又は同一平面上にあり鏡面となっている第１２平面と、前記第２光線反射部からの光線に対して垂直で且つ前記光線入射面に対して平行又は同一平面上にあり鏡面となっている第１１平面と、前記第１プリズム柱体と前記第２プリズム柱体の上面に接する位置に配置される下面と、前記第１０平面と前記第１１平面と前記第１２平面が下面に対してそれぞれ垂直であり、更に下面と前記第１プリズム柱体及び前記第２プリズム柱体が接着されており、前記屈折率整合手段は、前記第２平面及び前記第４平面及び前記第１０平面と、前記第５平面の間に介在され、前記光線入射手段から前記光線入射面を透過して前記第１プリズム柱体に入射する入射光線のうち、前記ビームスプリッタで分割され反射された第１の光線が、前記第２平面と前記屈折率整合手段と前記第５平面を透過して前記第３プリズム柱体に入り、前記第６平面と前記第８平面を透過して前記第１コーナーキューブに入り、前記第１光線反射部で反射され、前記第１の光線と平行で逆向きの光線となって、前記第８平面と前記第６平面を透過して前記第３プリズム柱体に入り、前記第５平面と前記屈折率整合手段と前記第１０平面を透過して前記第４プリズム柱体に入り、鏡面となっている前記第１２平面で反射され、再び前記光線と同一の光路に沿って前記第１０平面と前記屈折率整合手段と前記第５平面を透過して前記第３プリズム柱体に入り、前記第６平面と前記第８平面を透過して前記第１コーナーキューブに入り、前記第１光線反射部で反射され、前記第８平面と前記第６平面を透過して前記第３プリズム柱体に入り、前記第５平面と前記屈折率整合手段と前記第２平面を透過して前記第１プリズム柱体に入り、前記ビームスプリッタへ向かい、前記入射光線のうち、前記ビームスプリッタで分割され透過された第２の光線が、前記第４平面と前記屈折率整合手段と前記第５平面を透過して前記第３プリズム柱体に入り、前記第７平面と前記第９平面を透過して前記第２コーナーキューブに入り、前記第２光線反射部で反射され、前記第２の光線と平行で逆向きの光線となって、前記第９平面と前記第７平面を透過して前記第３プリズム柱体に入り、前記第５平面と前記屈折率整合手段と前記第１０平面を透過して前記第４プリズム柱体に入り、鏡面となっている前記第１１平面で反射され、再び前記光線と同一の光路に沿って前記第１０平面と前記屈折率整合手段と前記第５平面を透過して前記第３プリズム柱体に入り、前記第７平面と前記第９平面を透過して前記第２コーナーキューブに入り、前記第２光線反射部で反射され、前記第９平面と前記第７平面を透過して前記第３プリズム柱体に入り、前記第５平面と前記屈折率整合手段と前記第４平面を透過して前記第２プリズム柱体に入り、前記ビームスプリッタへ向かい、 前記ビームスプリッタへ戻ってきた両方の前記第１の光線及び前記第２の光線が合わされて干渉し、平行光線として前記光線出射面を透過して前記光検出手段へ出射するように光路が構成され、前記第１プリズム柱体及び前記第２プリズム柱体と、前記第３プリズム柱体及び第１コーナーキューブ及び第２コーナーキューブは、前記第２平面及び前記第４平面及び前記第１０平面と、前記第５平面に沿って、光線の光路長変更方向に相対的に移動自在としたことを特徴とする。
【００１８】
【発明の実施の形態】
【実施例１】
図１は本発明の第１の実施形態を示すマイケルソン干渉計１の各プリズム柱体の配置を示す平面図及び側面図、図２は第１の実施形態を示すマイケルソン干渉計の作動状態を示す平面図である。
図１及び図２で示すように、マイケルソン干渉計は、第１プリズム柱体１１と、第２プリズム柱体１２と、第３プリズム柱体１３と、光線を反射光と透過光に分割するビームスプリッタ１４と、屈折率を整合する屈折率整合手段としての屈折率整合液体層１５とを備えている。
図１及び図２で示すように、第１プリズム柱体１１は上面及び下面ならびに周側面で構成されている。
【００１９】
そして、第１プリズム柱体１１は、その周側面に配置され、光源からの平行光が入射される光線入射面１６と、光線入射面と同一平面上にあり、垂直に反射するために鏡面となっている垂直反射面１７と、この光線入射面からの光線の光路上に形成され、ビームスプリッタが隣接する第１平面１８と、ビームスプリッタからの反射光の光路上に形成される第２平面１９とを有している。
なお、ここでは第１プリズム柱体１１の形状は、光線入射面１６と、第１平面１８と、第２平面１９とからなる三角柱体に形成されており、また、上面及び下面の形状については、図面では平行平面として記載しているが、特に限定されるものではない。
【００２０】
図１及び図２で示すように、第２プリズム柱体１２は、上面及び下面ならびに周側面で構成されている。
そして、第２プリズム柱体１２はその周側面に配置され、前記第１平面１８に添ってビームスプリッタ１４に対面する位置に形成される第３平面１１０とビームスプリッタ１４からの透過光の光路上で、且つ、前記第２平面１９の延長上に形成される第４平面１１１と、ビームスプリッタ１４及び第３平面１１０から送られてくる光線の光路上に形成される光線出射面１１２と、光線出射面１１２と同一平面上にあり、垂直に反射するために鏡面となっている垂直反射面１１３とを有している。
なお、ここでは第２プリズム柱体１２の形状は、光線出射面１１２と、第３平面１１０と、第４平面１１１とからなる三角柱体に形成されており、また、上面及び下面の形状について、図面では平行平面として記載しているが、特に限定されるものではない。
【００２１】
図１及び図２で示すように、第３プリズム柱体１３は、上面及び下面ならびに周側面で構成されている。
そして、第３プリズム柱体１３はその周側面に配置され、前記両プリズム柱体１１，１２の第２平面１９及び第４平面１１１とに対面する位置に形成される第５平面１１４と、前記ビームスプリッタ１４から反射され第２平面１９及び第５平面１１４を透過してくる光線を偏向して反射する第６平面１１５と、第６平面と垂直に交わり、且つ第５平面１１４と第６平面１１５を経由してきた光を更に偏向する第７平面１１６と、前記ビームスプリッタ１４を透過して第４平面１１１及び第５平面１１４を透過して来る光線を偏向して反射する第８平面１１７と、第８平面と垂直に交わり且つ第５平面１１４と第８平面１１７を経由してきた光を更に偏向して反射する第９平面１１８とを有している。
なお、前記第６平面１１５、第７平面１１６、第８平面１１７、第９平面１１８は光線を反射する鏡面状に形成されている。
そして、第３プリズム柱体１３は図面では第５平面１１４、第６平面１１５、第７平面１１６、第８平面１１７、第９平面１１８からなる多角形柱体に形成されており、また、上面及び下面の形状については平行平面としているが、その形状及び上面と下面の形状については特に限定されるものではない。
【００２２】
図１及び図２で示すように、屈折率整合手段としての屈折率整合液体層１５は、第１プリズム柱体１１の第２平面１９及び第２プリズム柱体１２の第４平面１１１と、第３プリズム柱体１３の第５平面１１４の間に設けられている。
そして、屈折率整合手段１５は、各プリズム柱体１１，１２，１３を形成している部材と屈折率が近いものであればよく、その一例として各プリズム柱体１１，１２，１３を石英で形成した場合に、ここではシリコーンオイルを使用しており、第３プリズム柱体１３と、第１及び第２プリズム柱体１１，１２とが、毛細管現象により保持されるように構成されている。
図１及び図２で示すように、ビームスプリッタは、第１プリズム柱体１１の第１平面１８と、第２プリズム柱体１２の第３平面１１０との間に接着剤等により固定されており、各プリズム柱体１１，１２，１３の材質や、送られてくる光線の角度により透過率及び反射率を所定の割合になるように形成されている。
ビームスプリッタの一例としては、金属や誘電体又はその両方の薄膜を介在させることや、また、透過部材（各プリズム柱体と同質）に蒸着するようにして形成されている。
【００２３】
なお、第１平面１８あるいは第３平面１１０に金属や誘電体又はその両方などの薄膜を蒸着して形成しても良い。
次に光線の経路について説明する。
図１及び図２で示すように、光源から平行光の光線１１９を、ビームスプリッタ１４に入射する。
そして、ビームスプリッタ１４により分割され反射した光線１２０は、屈折率整合液体層１５を通過して第５平面１１４に入射後、第６平面１１５と、第７平面１１６で偏向反射され光線１２１となる。
このとき、光線１２０と光線１２１はお互いに逆向きで平行である。
光線１２１は第５平面１１４に入射して屈折率整合液体層１５と第４平面１１１を通過してプリズム柱体１２に入り、垂直反射面１１３で反射され再び同一光路に沿って再び第４平面１１１、屈折率整合液体層１５、第５平面１１４を透過して第７平面１１６及び第６平面１１５を経由して第５平面１１４と屈折率整合液体層１５及び第２平面１９を透過してビームスプリッタ１４へ向かう。
【００２４】
一方、ビームスプリッタ１４により分割され透過した光線１２２は、屈折率整合液体層１５を通過して第５平面１１４に入射後、第８平面１１７と第９平面１１８で偏向反射され光線１２３となる。
このとき、光線１２２と光線１２３はお互いに逆向きで平行である。
光線１２３は第５平面１１４に入射して屈折率整合液体層１５と第２平面１９を通過してプリズム柱体１１に入り、垂直反射面１７で反射され再び同一光路に沿って再び第２平面１９、屈折率整合液体層１５、第５平面１１４を透過して第９平面１１８及び第８平面１１７を経由して第５平面１１４と屈折率整合液体層１５及び第４平面１１１を透過してビームスプリッタ１４へ向かう。
そして、ビームスプリッタ側に送られてきた光線１２０，１２２は、それぞれ合わされて干渉し、出射する平行光線１２４として光検出器へ向かうことになる。
更に、前記第６平面１１５、第７平面１１６間、第８平面１１７、第９平面１１８間の垂直度は非常に高いため、前記光線１２０と光線１２１間の平行度と、前記光線１２２と光線１２３間の平行性は常に保たれており、その典型的な値は２秒である。
【００２５】
次に本発明の動作について図２を用いて説明する。
なお、第１及び第２プリズム柱体１１，１２及び第３プリズム柱体１３を相対的に移動させる場合、ここでは第３プリズム柱体１３を移動させており、その移動機構は、リニアガイドや精密送り機構などを使用する公知の手段により行われる。
第３プリズム柱体１３を光路長変更方向に距離ｄだけ直線移動させた場合を考える。
このとき、屈折率整合液体層１５は第１及び第２プリズム柱体１１，１２と第３プリズム柱体１３の間の狭い間隙に挟まれ、毛細管現象により保持されている。
ビームスプリッタを反射した光線１２０，１２１が垂直反射面１１３で反射されるまでに進む距離は２ｄｓｉｎθだけ増加するため、垂直反射面１１３で反射後に１２１，１２０を経由して戻ってくるまでに進む距離は４ｄｓｉｎθだけ増加する。
【００２６】
また、ビームスプリッタを透過した光線１２２，１２３が垂直反射面１７で反射されるまでに進む距離は２ｄｓｉｎθだけ減少するため、垂直反射面で反射後に１２３，１２２を経由して戻ってくるまでに進む距離は４ｄｓｉｎθだけ減少する。
よって光が進む距離の変化はそれぞれ４ｄｓｉｎθの増加と４ｄｓｉｎθの減少となり、第３プリズム柱体１３の屈折率をｎとして、最大移動距離をｄ_ＭＡＸとすると、この光路における最大光路長差は８ｎｄｓｉｎθとなる。
これは従来技術に比較して波数分解能が約４倍に向上したことに相当する。
ここで例えば具体的な値を用いると、プリズムの材料の屈折率ｎ＝１．５、最大移動距離ｄ＝０．１ｃｍ、θ＝４５度の場合、最大光路長差ｄ_ＭＡＸは０．８５ｃｍであり、フーリエ変換分光器としての波数分解能は、１．１ｃｍ^−１となる。
例えば、波長１５５０ｎｍの近赤外線を用いた場合には、波長分解能は０．２６ｎｍとなる。
なお、もしプリズムの移動方向が移動面内で揺動したとしても、前記光線１２０と光線１２１間の平行度と、前記光線１２２と光線１２３間の平行性は常に保たれているため、垂直反射面１１３に入射する光線及び垂直反射面１７に入射する光線の垂直度は影響を受けない。
【００２７】
そのため、ビームスプリッタヘ戻る光路も不変であり、干渉光強度は影響を受けず、正確なインターフェログラムが測定できる。
なお、図１乃至図２で使用される光線の入射平行光の形成方法は、レンズ系や、ミラー系など特に手段を問わないが、例えば、マイケルソン干渉計に対して気密にされたレンズ付き光ファイバで入出力を行った場合は、干渉計中で光路が自由空間を全く経由しないため外部環境変化（湿度変化等）の影響を全く受けない。
また、従来技術の欠点であった、光学部品による光路の遮断が生じないため正確な測定値を得ることができる。
更に、この実施例ではビームスプリッタをもつプリズムを固定し、鏡面プリズムを可動にしているが、これは一例であって、プリズム同士の相対位置が変化すればよいので、鏡面プリズムを固定し、ビームスプリッタをもつプリズム１１，１２を可動としてもよいし、両方のプリズムを可動としても全く同様に動作する。
【００２８】
【実施例２】
図３は本発明の第２の実施形態を示すマイケルソン干渉計の各スラブ型導波路板の配置を示す平面図及び側面図である。
図３で示すように、マイケルソン干渉計２は、第１スラブ型導波路板２１と、第２スラブ型導波路板２２と、第３スラブ型導波路板２３と、光線を反射光と透過光に分割するビームスプリッタ２４と、屈折率を整合する屈折率整合手段としての屈折率整合液体層２５とを備えている。
図３で示すように、第１及び第２スラブ型導波路板２１，２２は、コア層２２６と、このコア層２２６の上面及び下面に設けた上部クラッド層２２５及び下部クラッド層２２７とから構成されている。
【００２９】
図３で示すように、第１スラブ型導波路板２１は上面及び下面ならびに周側面で構成されている。
そして、第１スラブ型導波路板２１は、その周側面に配置され、光源からの平行光が入射される光線入射面２６と、光線入射面２６と同一平面上にあり、垂直に反射するために鏡面となっている垂直反射面２７と、この光線入射面２６からの光線の光路上に形成され、ビームスプリッタ２４が隣接する第１平面２８と、ビームスプリッタ２４からの反射光の光路上に形成される第２平面２９とを有している。
なお、ここでは第１スラブ型導波路板２１の形状は、光線入射面２６と、第１平面２８と、第２平面２９とからなる三角柱体に形成されており、また、上面及び下面の形状については、図面では平行平面として記載しているが、特に限定されるものではない。
【００３０】
図３で示すように、第２スラブ型導波路板２２は、上面及び下面ならびに周側面で構成されている。
そして、第２スラブ型導波路板２２はその周側面に配置され、前記第１平面２８に添ってビームスプリッタ２４に対面する位置に形成される第３平面２１０とビームスプリッタ２４からの透過光の光路上で、且つ、前記第２平面２９の延長上に形成される第４平面２１１と、ビームスプリッタ２４及び第３平面２１０から送られてくる光線の光路上に形成される光線出射面２１２と、光線出射面２１２と同一平面上にあり、垂直に反射するために鏡面となっている垂直反射面２１３とを有している。
なお、ここでは第２スラブ型導波路板２２の形状は、光線出射面２１２と、第３平面２１０と、第４平面２１１とからなる三角柱体に形成されており、また、上面及び下面の形状について、図面では平行平面として記載しているが、特に限定されるものではない。
【００３１】
図３で示すように、第３スラブ型導波路板２３は、上面及び下面ならびに周側面で構成されている。
そして、第３スラブ型導波路板２３はその周側面に配置され、前記両スラブ型導波路板２１，２２の第２平面２９及び第４平面２１１とに対面する位置に形成される第５平面２１４と、前記ビームスプリッタ２４から反射され第２平面２９及び第５平面２１４を透過してくる光線を偏向して反射する第６平面２１５と、第６平面２１５と垂直に交わり、且つ第５平面２１４と第６平面２１５を経由してきた光を更に偏向する第７平面２１６と、前記ビームスプリッタ２４を透過して第４平面２１１及び第５平面２１４を透過して来る光線を偏向して反射する第８平面２１７と第８平面２１７と垂直に交わり且つ第５平面２１４と第８平面２１７を経由してきた光を更に偏向して反射する第９平面２１８とを有している。
なお、前記第６平面２１５、第７平面２１６、第８平面２１７、第９平面２１８は光線を反射する鏡面状に形成されている。
そして、第３スラブ型導波路板２３は図面では第５平面２１４、第６平面２１５、第７平面２１６、第８平面２１７、第９平面２１８からなる多角形柱体に形成されており、また、上面及び下面の形状については平行平面としているが、その形状及び上面と下面の形状については特に限定されるものではない。
【００３２】
図３で示すように、屈折率整合手段としての屈折率整合液体層２５は、第１スラブ型導波路板２１の第２平面２９及び第２スラブ型導波路板２２の第４平面２１１と、第３スラブ型導波路板２３の第５平面２１４の間に設けられている。
そして、屈折率整合手段は、各スラブ型導波路板２１，２２，２３を形成している部材と屈折率が近いものであればよく、その一例として各スラブ型導波路板２１，２２，２３を石英で形成した場合に、ここではシリコーンオイルを使用しており、第３スラブ型導波路板２３と、第１及び第２スラブ型導波路板２１，２２とが毛細管現象により保持するように構成されている。
図３で示すように、ビームスプリッタ２４は、第１スラブ型導波路板２１の第１平面２８と、第２スラブ型導波路板２２の第３平面２１０との間に接着剤等により固定されており、各スラブ型導波路板２１，２２，２３の材質や、送られてくる光線の角度により透過率及び反射率を所定の割合になるように形成されている。
ビームスプリッタの一例としては、金属や誘電体又はその両方の薄膜を介在させることや、また、透過部材（各スラブ型導波路板と同質）に蒸着するようにして形成されている。
なお、第１平面２８あるいは第３平面２１０に金属や誘電体又はその両方などの薄膜を蒸着して形成しても良い。
【００３３】
次に光線の経路について説明する。
図３で示すように、光ファイバから平行光の光線２１９を、ビームスプリッタ２４に入射する。
そして、ビームスプリッタ２４により分割され反射した光線２２０は、屈折率整合液体層２５を通過して第５平面２１４に入射後、第６平面２１５と第７平面２１６で偏向反射され光線２２１となる。
このとき、光線２２０と光線２２１は平行である。
光線２２１は第５平面２１４に入射して屈折率整合液体層２５と第４平面２１１を通過してスラブ型導波路板２２に入り、垂直反射面２１３で反射され再び同一光路に沿って再び第４平面２１１、屈折率整合液体層２５、第５平面２１４を透過して第７平面２１６及び第６平面２１５を経由して第５平面２１４と屈折率整合液体層２５及び第２平面２９を透過してビームスプリッタ２４へ向かう。
【００３４】
一方、ビームスプリッタ２４により分割され透過した光線２２２は、屈折率整合液体層２５を通過して第５平面２１４に入射後、第８平面２１７と第９平面２１８で偏向反射され光線２２３となる。
このとき、光線２２２と光線２２３は平行である。
光線２２３は第５平面２１４に入射して屈折率整合液体層２５と第２平面２９を通過してスラブ型導波路板２１に入り、垂直反射面２７で反射され再び同一光路に沿って再び第２平面２９、屈折率整合液体層２５、第５平面２１４を透過して第９平面２１８及び第８平面２１７を経由して第５平面２１４と屈折率整合液体層２５及び第４平面２１１を透過してビームスプリッタ２４へ向かう。
そして、ビームスプリッタ２４側に送られてきた光線２２０，２２２は、それぞれ合わされて干渉し、出射する平行光線２２４として光検出器へ向かうことになる。
【００３５】
更に、前記第６平面２１５、第７平面２１６間、第８平面２１７、第９平面２１８間の垂直度は非常に高いため、前記光線２２０と光線２２１間の平行度と、前記光線２２２と光線２２３間の平行性は常に保たれており、その典型的な値は２秒である。
次に本発明の動作については、図２を参照して説明する。
なお、第１及び第２スラブ型導波路板２１，２１及び第３スラブ型導波路板２３を相対的に移動させる場合、ここでは第３スラブ型導波路板２３を移動させており、その移動機構は、リニアガイドや精密送り機構などを使用する公知の手段により行われる。
図２を参照して第３スラブ型導波路板２３を干渉検出方向に距離ｄだけ直線移動させた場合を考える。
【００３６】
このとき、屈折率整合液体層２５は第１及び第２スラブ型導波路板２１，２２と第３スラブ型導波路板２３の間の狭い間隙に挟まれ、毛細管現象により保持されている。
ビームスプリッタを透過した光線２２２及び２２３が垂直反射面２７で反射されるまでに進む距離は２ｄｓｉｎθだけ増加し、また、ビームスプリッタ２４に反射された光線２２０及び２２１が垂直反射面２１３で反射されるまでに進む距離は２ｄｓｉｎθだけ減少する。
よって光が進む距離の変化はそれぞれ往復で４ｄｓｉｎθの増加と４ｄｓｉｎθの減少となり、第３スラブ型導波路板の屈折率をｎとして、最大移動距離をｄ_ＭＡＸとすると、この光路における最大光路長差は８ｎ・ｄ_ＭＡＸｓｉｎθとなる。
これは従来技術に比較して波数分解能が４倍に向上したことに相当する。
ここで例えば具体的な値を用いると、導波路材料の屈折率ｎ＝１．５、最大移動距離ｄ＝０．１ｃｍ、０＝４５度の場合、最大光路長差ｄ_ＭＡＸは０．８５ｃｍであり、フーリエ変換分光器としての波数分解能は、１．１ｃｍ^−１となる。
例えば、波長１５５０ｎｍの近赤外線を用いた場合には、波長分解能は０．２６ｎｍとなる。
【００３７】
なお、もしプリズムの移動方向が移動面内で揺動したとしても、前記光線２２０と光線２２１間の平行度と、前記光線２２２と光線２２３間の平行性は常に保たれているため、垂直反射面２１３に入射する光線及び垂直反射面２７に入射する光線の垂直度は影響を受けない。
そのため、ビームスプリッタヘ戻る光路も不変であり、干渉光強度は影響を受けず、正確なインターフェログラムが測定できる。
また、スラブ型導波路の具体的な構造は、入射光の波長を近赤外線（その一例として１５５０ｎｍなど）で、石英材料を用いた場合では、コア層２２６を８μｍ、上部クラッド層２２５を１５μｍ、下部クラッド層２２７を２０μｍとし、合わせた厚みは５０μｍ以下となるように構成している。
したがって、プリズム型に比べて大幅な薄型化、軽量化が可能となると共に、スラブ型導波路はリソグラフィー技術により作成することが可能であるため、大量生産で且つ安価に干渉計を製造することができる。
【００３８】
【実施例３】
図４は本発明の第３の実施形態を示すマイケルソン干渉計の各プリズム柱体の配置を示す平面図及び側面図である。
図４で示すように、マイケルソン干渉計３は、第１プリズム柱体３１と、第２プリズム柱体３２と、第３プリズム柱体３３と、第１コーナーキューブ３２８と、第２コーナーキューブ３２９と、光線を反射光と透過光に分割するビームスプリッタ３４と、屈折率を整合する屈折率整合手段としての屈折率整合液体層３５とを備えている。
【００３９】
図４で示すように、第１プリズム柱体３１は上面及び下面ならびに周側面で構成されている。
そして、第１プリズム柱体３１は、その周側面に配置され、光源からの平行光が入射される光線入射面３６と、光線入射面３６と同一平面上にあり、垂直に反射するために鏡面となっている垂直反射面３７と、この光線入射面３６からの光線の光路上に形成され、ビームスプリッタが隣接する第１平面３８と、ビームスプリッタ３４からの反射光の光路上に形成される第２平面３９とを有している。なお、ここでは第１プリズム柱体３１の形状は、光線入射面３６と、第１平面３８と、第２平面３９とからなる三角柱体に形成されており、また、上面及び下面の形状については、図面では平行平面として記載しているが、特に限定されるものではない。
【００４０】
図３で示すように、第２プリズム柱体３２は、上面及び下面ならびに周側面で構成されている。
そして、第２プリズム柱体３２はその周側面に配置され、前記第１平面３８に添ってビームスプリッタ３４に対面する位置に形成される第３平面３１０とビームスプリッタ３４からの透過光の光路上で、且つ、前記第２平面３９の延長上に形成される第４平面３１１と、ビームスプリッタ３４及び第３平面３１０から送られてくる光線の光路上に形成される光線出射面３１２と、光線出射面３１２と同一平面上にあり、垂直に反射するために鏡面となっている垂直反射面３１３とを有している。
なお、ここでは第２プリズム柱体３２の形状は、光線出射面３１２と、第３平面１０と、第４平面３１１とからなる三角柱体に形成されており、また、上面及び下面の形状について、図面では平行平面として記載しているが、特に限定されるものではない。
【００４１】
図４で示すように、第３プリズム柱体３３は、上面及び下面ならびに周側面で構成されている。
そして、第３プリズム柱体３３はその周側面に配置され、前記両プリズム柱体３１，３２の第２平面３９及び第４平面３１１とに対面する位置に形成される第５平面３１４と、前記ビームスプリッタ３４から反射され第２平面３９及び第５平面３１４を透過してくる光線を第１コーナーキューブ３２８へ通過させ且つ第１コーナーキューブ３２８からの光線を取り入れる第１０平面３３０と、前記ビームスプリッタ３４を透過し第４平面３１１及び第５平面３１４を透過してくる光線を第２コーナーキューブ３２９へ通過させ且つ第２コーナーキューブ３２９からの光線を取り入れる第１１平面３３１とを有している。
そして、第３プリズム柱体３３は図面では第５平面３１４、第１０平面３３０、第１１平面３３１からなる三角柱体に形成されており、また、上面及び下面の形状については平行平面としているが、その形状及び上面と下面の形状については特に限定されるものではない。
【００４２】
図４で示すように、第１コーナーキューブ３２８は、光線入出射面である第１２平面３３２と３つの光線偏向反射面で構成される光線反射部３３４とその周側面で構成されている。
３つの光線偏向反射面はお互いに９０度で交わる平面であり、第１コーナーキューブ３２８の光線入出射面である第１２平面３３２に入射した光線３２０は３つの光線偏向反射面により、入射光と平行且つ逆向きの光線３２１となって光線入出射面３３２から出射されるという特性をもつ。
また、周側面については円筒面としているが、その周側面の形状については特に限定されるものではない。
図４で示すように、第２コーナーキューブ３２９は、光線入出射面である第１３平面３３３と３つの光線偏向反射面で構成される光線反射部３３５とその周側面で構成されている。
３つの光線偏向反射面はお互いに垂直に交わる平面であり、第２コーナーキューブ３２９の光線入出射面３３３に入射した光線３２２は３つの光線偏向反射面により、入射光と平行且つ逆向きの光線３２３となって光線入出射面３３３から出射されるという特性をもつ。
また、周側面については円筒面としているが、その周側面の形状については特に限定されるものではない。
【００４３】
図４で示すように、屈折率整合手段としての屈折率整合液体層３５は、第１プリズム柱体３１の第２平面３９及び第２プリズム柱体３２の第４平面３１１と、第３プリズム柱体３３の第５平面３１４の間に設けられている。
そして、屈折率整合手段は、各プリズム柱体、３１，３２，３３及び各コーナーキューブ３２８，３２９を形成している部材と屈折率が近いものであればよく、その一例として各プリズム柱体３１，３２，３３及び各コーナーキューブ３２８，３２９を石英で形成した場合に、ここではシリコーンオイルを使用しており、第３プリズム柱体３３と、第１及び第２プリズム柱体３１，３２とが、毛細管現象により保持するように構成されている。
図４で示すように、ビームスプリッタ３４は、第１プリズム柱体３１の第１平面３８と、第２プリズム柱体３２の第３平面３１０との間に接着剤等により固定されており、各プリズム柱体３１，３２，３３の材質や、送られてくる光線の角度により透過率及び反射率を所定の割合になるように形成されている。
【００４４】
図４で示すように、第１コーナーキューブ３２８の光線入出射面である第１２平面３３２とプリズム柱体３３の第１０平面３３０、また第２コーナーキューブ３２９の光線入出射面である第１３平面３３３とプリズム柱体３３の第１１平面３３１は光を透過する接着剤等によりそれぞれ固定されている。
ビームスプリッタの一例としては、金属や誘電体又はその両方の薄膜を介在させることや、また、透過部材（各プリズム柱体と同質）に蒸着するようにして形成されている。
なお、第１平面３８あるいは第３平面３１０に金属や誘電体又はその両方などの薄膜を蒸着して形成しても良い。
【００４５】
次に光線の経路について説明する。
図４で示すように、光ファイバから平行光の光線３１９を、ビームスプリッタ３４に入射する。そして、ビームスプリッタ３４により分割され反射した光線３２０は、屈折率整合液体層３５を通過して第５平面３１４に入射後、第１０平面３３０を透過し、光線入出射面である第１２平面３３２に入射し、光線反射部３３４で逆方向且つ平行の光線３２１となり、その後再び光線入出射面である第１２平面３３２と第１０平面３３０を経由してプリズム柱体３３に入り、第５平面３１４と屈折率整合液体層３５及び第４平面３１１を透過してプリズム柱体３２に入り、垂直反射面３１３で反射され再び同一光路３２１を逆方向へ進み、第４平面３１１と屈折率整合液体層３５及び第５平面３１４を透過してプリズム柱体３３へ入り、第１０平面３３０及び第１２平面３３２を通過して光線反射部３３４において逆方向且つ平行の光線３２０となり、第１２平面３３２及び第１０平面３３０を通過してプリズム柱体３３に入り、第５平面３１４、屈折率整合液体層３５及び第２平面３９を通過してプリズム柱体３１に入り、ビームスプリッタ３４へ向かう。
【００４６】
一方、ビームスプリッタ３４により分割され透過した光線３２２は、第４平面３１１、屈折率整合液体層３５を通過して第５平面３１４に入射後、第１１平面３３１を透過し、光線入出射面である第１３平面３３３に入射し、光線反射部３３５で逆方向且つ平行の光線３２３となり、その後再び光線入出射面である第１３平面３３３と第１１平面３３１を経由してプリズム柱体３３に入り、第５平面３１４と屈折率整合液体層３５及び第２平面３９を透過してプリズム柱体３１に入り、垂直反射面３７で反射され再び同一光路を逆方向へ進み、第２平面３９と屈折率整合液体層３５及び第５平面３１４を透過してプリズム柱体３３へ入り、第１１平面３３１及び第１３平面３３３を通過して光線反射部３３５において逆方向且つ平行の光線３２２となり、第１３平面３３３及び第１１平面３３１を通過してプリズム柱体３３に入り、第５平面３１４、屈折率整合液体層３５及び第４平面３１１を通過してプリズム柱体３２に入り、ビームスプリッタ３４へ向かう。
そして、ビームスプリッタ側に送られてきた光線３２０，３２２は、それぞれ合わされて干渉し、出射する平行光線３２４として光検出器へ向かうことになる。
更に、前記光線反射部３３４と３３５において３平面間の垂直度は非常に高いため、前記光線３２０と光線３２１間の平行度と、前記光線３２２と光線３２３間の平行性は常に保たれており、その典型的な値は２秒である。
【００４７】
次に本発明の動作について図５を用いて説明する。
なお、第１及び第２プリズム柱体３１，３２と、を相対的に移動させる場合、ここでは第３プリズム柱体３３及び第１及び第２コーナーキューブ３２８，３２９を移動させており、その移動機構は、リニアガイドや精密送り機構などを使用する公知の手段により行われる。
第３プリズム柱体３３及び第１及び第２コーナーキューブ３２８，３２９を光路長変更方向に距離ｄだけ直線移動させた場合を考える。
このとき、屈折率整合液体層は第１及び第２プリズム柱体３１，３２と第３プリズム柱体３３の間の狭い間隙に挟まれ、毛細管現象により保持されている。
ビームスプリッタを反射した光線３２０，３２１が垂直反射面３１３で反射されるまでに進む距離は２ｄｓｉｎθだけ増加するため、垂直反射面３１３で反射後に３２１，３２０を経由して戻ってくるまでに進む距離は４ｄｓｉｎθだけ増加する。
また、ビームスプリッタ３５を透過した光線３２２，３２３が垂直反射面３７で反射されるまでに進む距離は２ｄｓｉｎθだけ減少するため、垂直反射面３７で反射後に３２３，３２２を経由して戻ってくるまでに進む距離は４ｄｓｉｎθだけ減少する。
【００４８】
よって光が進む距雛の変化はそれぞれ４ｄｓｉｎθの増加と４ｄｓｉｎθの減少となり、第３プリズム柱体３３の屈折率をｎとして、最大移動距離をｄ_ＭＡＸとすると、この光路における最大光路長差は８ｎｄ_ＭＡＸｓｉｎθとなる。
これは従来技術に比較して波数分解能が４倍に向上したことに相当する。
ここで例えば具体的な値を用いると、プリズム材料の屈折率ｎ＝１．５、最大移動距離ｄ＝０．１ｃｍ、θ＝４５度の場合、最大光路長差ｄ_ＭＡＸは０．８５ｃｍであり、フーリエ変換分光器としての波数分解能は、１．１ｃｍ^−１となる。
例えば、波長１５５０ｎｍの近赤外線を用いた場合には、波長分解能は０．２６ｎｍとなる。
【００４９】
なお、もし前記プリズム柱体３３と前記第１コーナーキューブ３２８及び前記第２コーナーキューブ３２９の移動方向が全ての方向に揺動したとしても、前記光線３２０と光線３２１間の平行度と、前記光線３２２と光線３２３間の平行性は常に保たれているため、垂直反射面３１３に入射する光線及び垂直反射面３７に入射する光線の垂直度は影響を受けない。
そのため、ビームスプリッタヘ戻る光路も不変であり、干渉光強度は影響を受けず、正確なインターフェログラムが測定できる。
なお、図４で使用される光線の入射平行光の形成方法は、レンズ系や、ミラー系など特に手段を問わないが、例えば、マイケルソン干渉計に対して気密にされたレンズ付き光ファイバで入出力を行った場合は、干渉計中で光路が自由空間を全く経由しないため外部環境変化（湿度変化等）の影響を全く受けない。
また、従来技術の欠点であった、光学部品による光路の遮断が生じないため正確な測定値を得ることができる。
更に、この実施例ではビームスプリッタをもつプリズムを固定し、鏡面プリズムを可動にしているが、これは一例であって、プリズム同士の相対位置が変化すればよいので、鏡面プリズムを固定し、ビームスプリッタをもつプリズム２，３を可動としてもよいし、両方のプリズムを可動としても全く同様に動作する。
【００５０】
【実施例４】
図６は本発明の第４の実施形態を示すマイケルソン干渉計４の各プリズム柱体の配置を示す平面図及び側面図、図７は第１の実施形態を示すマイケルソン干渉計の作動状態を示す平面図である。
図６及び図７で示すように、マイケルソン干渉計は、第１プリズム柱体４１と、第２プリズム柱体４２と、多面体プリズム４３と、第３プリズム柱体４４と、光線を反射光と透過光に分割するビームスプリッタ４５と、屈折率を整合する屈折率整合手段としての屈折率整合液体層４６とを備えている。
【００５１】
図６及び図７で示すように、第１プリズム柱体４１は上面及び下面ならびに周側面で構成されている。
そして、第１プリズム柱体４１は、その周側面に配置され、光源からの平行光が入射される光線入射面４７と、この光線入射面からの光線の光路上に形成され、ビームスプリッタが隣接する第１平面４８と、ビームスプリッタからの反射光の光路上に形成される第２平面４９とを有している。
なお、ここでは第１プリズム柱体４１の形状は、光線入射面４７と、第１平面４８と、第２平面４９とからなる三角柱体に形成されており、上面の形状は、光線入射面４７、第１平面４８、第２平面４９にそれぞれ垂直となっているが、下面の形状については、図面では上面と平行平面として記載しているが、特に限定されるものではない。
【００５２】
図６及び図７で示すように、第２プリズム柱体４２は、上面及び下面ならびに周側面で構成されている。
そして、第２プリズム柱体４２はその周側面に配置され、前記第１平面４８に添ってビームスプリッタ４５に対面する位置に形成される第３平面４１０とビームスプリッタ４５からの透過光の光路上で、且つ、前記第２平面４９の延長上に形成される第４平面４１１と、ビームスプリッタ４５及び第３平面４１０から送られてくる光線の光路上に形成される光線出射面４１２とを有している。
なお、ここでは第２プリズム柱体４２の形状は、光線出射面４１２と、第３平面４１０と、第４平面４１１とからなる三角柱体に形成されており、上面の形状は、光線出射面４１２、第３平面４１０、第４平面４１１にそれぞれ垂直となっているが、下面の形状については、図面では上面と平行平面として記載しているが、特に限定されるものではない。
【００５３】
図６及び図７で示すように、多面体プリズム４３は、上面及び下面ならびに周側面で構成されている。
そして、多面体プリズム４３はその周側面に配置され、前記両プリズム柱体４１，４２の第２平面４９及び第４平面４１１とに対面する位置に形成される第５平面４１３と、前記ビームスプリッタ４５から反射され第２平面４９及び第５平面４１３を透過してくる光線を偏向して上方に反射する第６平面４１４と、第６平面と垂直に交わり、且つ第５平面４１３と第６平面４１４を経由してきた光を更に水平方向に偏向する第７平面４１５と、前記ビームスプリッタ４５を透過して第４平面４１１及び第５平面４１３を透過して来る光線を偏向して上方へ反射する第８平面４１６と、第８平面と垂直に交わり且つ第５平面４１３と第８平面４１６を経由してきた光を更に偏向して反射する第９平面４１７とを有している。
なお、前記第６平面４１４、第７平面４１５、第８平面４１６、第９平面４１７は光線を反射する鏡面状に形成されている。
そして、多面体プリズム４３は図面では第５平面４１３、第６平面４１４、第７平面４１５、第８平面４１６、第９平面４１７からなる多角形柱体に形成されており、また、上面及び下面の形状については平行平面としているが、その形状及び上面と下面の形状については特に限定されるものではない。
【００５４】
図６及び図７で示すように、第３プリズム柱体４４は、上面及び下面ならびに周側面で構成されている。
そして、第３プリズム柱体４４はその周側面に配置され、前記第２平面４９及び第４平面４１１の延長上の平面に配置される第１０平面４１８と、前記光線入射面４７の延長上の平面に配置され、光線を垂直に反射できるように鏡面となっている第１１平面４１９と、前記光線出射面４１２の延長上の平面に配置され、光線を垂直に反射できるように鏡面となっている第１２平面４２０とを有している。
なお、ここでは第３プリズム柱体４４の形状は、第１０平面４１８と、第１１平面４１９と、第１２平面４２０とからなる三角柱体に形成されており、下面の形状は、第１０平面４１８と、第１１平面４１９と、第１２平面４２０にそれぞれ垂直となっているが、上面の形状については、図面では下面と平行平面として記載しているが、特に限定されるものではない。
【００５５】
図６及び図７で示すように、屈折率整合手段としての屈折率整合液体層４６は、第１プリズム柱体４１の第２平面４９及び第２プリズム柱体４２の第４平面４１１と、多面体プリズム４３の第５平面４１３と、第３プリズム柱体の第１０平面４１８の間に設けられている。
そして、屈折率整合手段４６は、各プリズム柱体４１，４２，４３，４４を形成している部材と屈折率が近いものであればよく、その一例として各プリズム柱体４１，４２，４３，４４を石英で形成した場合に、ここではシリコーンオイルを使用しており、多面体プリズム４３と、第１及び第２及び第３プリズム柱体４１，４２，４４とで毛細管現象により液体を保持するように構成されている。
図６及び図７で示すように、ビームスプリッタ４５は、第１プリズム柱体４１の第１平面４８と、第２プリズム柱体４２の第３平面４１０との間に接着剤等により固定されており、各プリズム柱体４１，４２，４３，４４の材質や、送られてくる光線の角度により透過率及び反射率を所定の割合になるように形成されている。
ビームスプリッタの一例としては、金属や誘電体又はその両方の薄膜を介在させることや、また、透過部材（各プリズム柱体と同質）に蒸着するようにして形成されている。
なお、第１平面４８あるいは第３平面４１０に金属や誘電体又はその両方などの薄膜を蒸着して形成しても良い。
【００５６】
次に光線の経路について説明する。
図６及び図７で示すように、光源から平行光の光線４２１を、ビームスプリッタ４５に入射する。
そして、ビームスプリッタ４５により分割され反射した光線４２２は、屈折率整合液体層４６を通過して第５平面４１３に入射後、第６平面４１４と、第７平面４１５で偏向反射され光線４２３となる。
このとき、光線４２２と光線４２３はお互いに反平行である。
【００５７】
光線４２３は第５平面４１３、屈折率整合液体層４６及び第１０平面４１８を経由して第３プリズム柱体４４に入り、第１２平面４２０に垂直入射且つ垂直反射される、再び同じ経路を逆方向へ進んでビームスプリッタ４５へ向かう。
一方、ビームスプリッタ４５により分割され透過した光線４２４は、屈折率整合液体層４６を通過して第５平面４１３に入射後、第８平面４１６と第９平面４１７で偏向反射され光線４２５となる。
このとき、光線４２４と光線４２５はお互いに逆向きで平行である。
光線４２５は第５平面４１３に入射して屈折率整合液体層４６と第１０平面４１８を通過して第３プリズム柱体４４に入り、第１１平面４１９に垂直入射且つ垂直反射された後、再び同じ経路を逆方向へ進んでビームスプリッタ４５へ向かう。
そして、ビームスプリッタ側に送られてきた光線４２２，４２４は、それぞれ合わされて干渉し、出射する平行光線４２６として光検出器へ向かうことになる。
更に、前記第６平面４１４、第７平面４１５間、第８平面４１６、第９平面４１７間の垂直度は非常に高いため、前記光線４２２と光線４２３間の平行度と、前記光線４２４と光線４２５間の平行性は常に保たれており、その典型的な値は２秒である。
【００５８】
次に本発明の動作について図７を用いて説明する。
なお、第１及び第２及び第３プリズム柱体４１，４２，４４及び多面体プリズム４３を相対的に移動させる場合、ここでは多面体プリズム４３を移動させており、その移動機構は、リニアガイドや精密送り機構などを使用する公知の手段により行われる。
多面体プリズム４３を光路長変更方向に距離ｄだけ直線移動させた場合を考える。
このとき、屈折率整合液体層４６は第１及び第２及び第３プリズム柱体４１，４２，４４と多面体プリズム４３の間の狭い間隙に挟まれ、毛細管現象により保持されている。
ビームスプリッタ４５を反射した光線４２２，４２３が第１２平面４２０で反射されるまでに進む距離は２ｄｓｉｎθだけ増加するため、第１２平面４２０で反射後に４２３，４２２を経由して戻ってくるまでに進む距離は４ｄｓｉｎθだけ増加する。
【００５９】
また、ビームスプリッタを透過した光線４２４，４２５が第１１平面４１９で反射されるまでに進む距離は２ｄｓｉｎθだけ減少するため、垂直反射面で反射後に４２４，４２５を経由して戻ってくるまでに進む距離は４ｄｓｉｎθだけ減少する。
よって光が進む距離の変化はそれぞれ４ｄｓｉｎθの増加と４ｄｓｉｎθの減少となり、多面体プリズム４３の屈折率をｎとして、最大移動距離をｄ_ＭＡＸとすると、この光路における最大光路長差は８ｎｄ_ＭＡＸｓｉｎθとなる。
これは従来技術に比較して波数分解能が約４倍に向上したことに相当する。
ここで例えば具体的な値を用いると、プリズムの材料の屈折率ｎ＝１．５、最大移動距離ｄ＝０．１ｃｍ、θ＝４５度の場合、最大光路長差ｄ_ＭＡＸは０．８５ｃｍであり、フーリエ変換分光器としての波数分解能は、１．１ｃｍ^−１となる。
例えば、波長１５５０ｎｍの近赤外線を用いた場合には、波長分解能は０．２６ｎｍとなる。
なお、もし移動に際してプリズムの方向が方向ψ又は方向Φに揺動したとしても、前記光線４２２と光線４２３間の平行度と、前記光線４２４と光線４２５間の平行性は常に保たれているため、第１２平面４２０及び第１１平面４１９に入射する光線４２３及び光線４２５の垂直度は影響を受けない。
【００６０】
そのため、ビームスプリッタヘ戻る光路も不変であり、干渉光強度は影響を受けず、正確なインターフェログラムが測定できる。
なお、図６乃至図７で使用される光線の入射平行光の形成方法は、レンズ系や、ミラー系など特に手段を問わないが、例えば、マイケルソン干渉計に対して気密にされたレンズ付き光ファイバで入出力を行った場合は、干渉計中で光路が自由空間を全く経由しないため外部環境変化（湿度変化等）の影響を全く受けない。
また、従来技術の欠点であった、光学部品による光路の遮断が生じないため正確な測定値を得ることができる。
更に、この実施例ではビームスプリッタ及び垂直反射鏡面をもつプリズム４１，４２，４４を固定し、走査プリズム４３を可動にしているが、これは一例であって、プリズム同士の相対位置が変化すればよいので、走査プリズム４３を固定し、ビームスプリッタ及び垂直反射鏡面をもつプリズム４１，４２，４４を可動としてもよいし、両方のプリズムを可動としても全く同様に動作する。
【００６１】
【実施例５】
実施例４においては、多面体プリズムの内部において光線を反射させて使用したが、多面体プリズムの形状は複雑であり、作製に手間がかかる。
ここで実施例４における多面体プリズムと同等な構造を単純な形状のプリズムの組み合わせで構成することができれば、作製コストを下げることができる。
実施例５ではその一例を示す。
なお、光路や、動作原理は実施例４と全く同じであるのでここでは構造のみを示す。
図８は本発明の第５の実施形態を示すマイケルソン干渉計５の各プリズム柱体の配置を示す平面図及び側面図である。
図８で示すように、マイケルソン干渉計は、第１プリズム柱体５１と、第２プリズム柱体５２と、第３プリズム柱体５３と、第４プリズム柱体５４と、第５プリズム柱体５５と、第６プリズム柱体５６と、光線を反射光と透過光に分割するビームスプリッタ５７と、屈折率を整合する屈折率整合手段としての屈折率整合液体層５８とを備えている。
【００６２】
図８で示すように、第１プリズム柱体５１は上面及び下面ならびに周側面で構成されている。
そして、第１プリズム柱体５１は、その周側面に配置され、光源からの平行光が入射される光線入射面５９と、この光線入射面からの光線の光路上に形成され、ビームスプリッタ５７が隣接する第１平面５１０と、ビームスプリッタ５７からの反射光の光路上に形成される第２平面５１１とを有している。
なお、ここでは第１プリズム柱体５１の形状は、光線入射面５９と、第１平面５１０と、第２平面５１１とからなる三角柱体に形成されており、上面の形状は、光線入射面５９、第１平面５１０、第２平面５１１にそれぞれ垂直となっているが、下面の形状については、図面では上面と平行平面として記載しているが、特に限定されるものではない。
【００６３】
図８で示すように、第２プリズム柱体５２は、上面及び下面ならびに周側面で構成されている。
そして、第２プリズム柱体５２はその周側面に配置され、前記第１平面５１０に添ってビームスプリッタ５７に対面する位置に形成される第３平面５１２とビームスプリッタ５７からの透過光の光路上で、且つ、前記第２平面５１１の延長上に形成される第４平面５１３と、ビームスプリッタ５７及び第３平面５１２から送られてくる光線の光路上に形成される光線出射面５１４とを有している。
なお、ここでは第２プリズム柱体５２の形状は、光線出射面５１４と、第３平面５１２と、第４平面５１３とからなる三角柱体に形成されており、上面の形状は、光線出射面５１４、第３平面５１２、第４平面５１３にそれぞれ垂直となっているが、下面の形状については、図面では上面と平行平面として記載しているが、特に限定されるものではない。
【００６４】
図８で示すように、第３プリズム柱体５３は、上面及び下面ならびに周側面で構成されている。
そして、第３プリズム柱体５３はその周側面に配置され、前記両プリズム柱体５１，５２の第２平面５１１及び第４平面５１３とに対面する位置に形成される第５平面５１５と、前記ビームスプリッタ５７から反射され第２平面５１１及び第５平面５１５を透過してくる光線を透過して前記第４プリズム柱体５４へ送る第６平面５１６と、前記ビームスプリッタ５７を透過して第４平面５１３及び第５平面５１５を透過して来る光線を前記第５プリズム柱体５５へ送る第７平面５１７とを有している。
また、上面及び下面の形状については平行平面としているが、その形状及び上面と下面の形状については特に限定されるものではない。
【００６５】
図８で示すように、第４プリズム柱体５４は、上斜面及び下斜面及び前平面ならびに左右側面で構成されている。
そして、第４プリズム柱体５４は、第３プリズム柱体の第６平面５１６に接着して配置され、前記第６平面５１５に対面する位置に配置される第８平面５１８と、第８平面から水平方向に入射する光線を上方に偏向させるように配置された第９平面５１９と、第８平面からの光線の進行方向を水平面内に偏向させるように配置された第１０平面５２０とを有している。
なお、第９平面５１９と第１０平面５２０の垂直度は非常に高く、第９平面５１９に入射した光線と第９平面５１９及び第１０平面５２０に入射した光線は反平行となっている。
【００６６】
ここでは第４プリズム柱体５５の形状は、第８平面５２１と、第９平面５２２と、第１０平面５２０とからなる三角柱体に形成されており、左右側面の形状は、図面では平行平面として記載しているが、特に限定されるものではない。
図８で示すように、第５プリズム柱体５５は、上斜面及び下斜面及び前平面ならびに左右側面で構成されている。
そして、第５プリズム柱体５５は、第３プリズム柱体の第７平面５１７に接着して配置され、前記第７平面５１７に対面する位置に配置される第１１平面５２１と、第１１平面５２１から水平方向に入射する光線を上方に偏向させるように配置された第１２平面５２２と、第１１平面５２１からの光線の進行方向を水平面内に偏向させるように配置された第１３平面５２３とを有している。
なお、第１２平面５２２と第１３平面５２３の垂直度は非常に高く、第１２平面５２２に入射した光線と第１２平面５２２及び第１３平面５２３に入射した光線は反平行となっている。
【００６７】
ここでは第５プリズム柱体５５の形状は、第１１平面５２１、第１２平面５２２と、第１３平面５２３とからなる三角柱体に形成されており、左有側面の形状は、図面では平行平面として記載しているが、特に限定されるものではない。
図８で示すように、第６プリズム柱体５６は、上面及び下面ならびに周側面で構成されている。
そして、第６プリズム柱体５６はその周側面に配置され、前記第２平面５１１及び第４平面５１３の延長上の平面に配置される第１４平面５２４と、前記光線入射面５７の延長上の平面に配置され、光線を垂直に反射できるように鏡面となっている第１５平面５２５と、前記光線出射面５１４の延長上の平面に配置され、光線を垂直に反射できるように鏡面となっている第１６平面５２６とを有している。
なお、ここでは第４プリズム柱体５４の形状は、第１４平面５２４と、第１５平面５２５と、第１６平面５２６とからなる三角柱体に形成されており、下面の形状は、第１４平面５２４と、第１５平面５２５と、第１６平面５２６にそれぞれ垂直となっているが、上面の形状については、図面では下面と平行平面として記載しているが、特に限定されるものではない。
【００６８】
図８で示すように、屈折率整合手段としての屈折率整合液体層５８は、第１プリズム柱体５１の第２平面５１１及び第２プリズム柱体５２の第４平面５１３と、第３プリズム柱体５３の第５平面５１４と、第６プリズム柱体の第１４平面５２４の間に設けられている。
そして、屈折率整合手段５８は、各プリズム柱体５１，５２，５３，５４，５５，５６を形成している部材と屈折率が近いものであればよく、その一例として各プリズム柱体５１，５２，５３，５４，５５，５６を石英で形成した場合に、ここではシリコーンオイルを使用しており、第３プリズム柱体５３と、第１及び第２及び第６プリズム柱体５１，５２，５６とで毛細管現象により液体を保持するように構成されている。
図８で示すように、ビームスプリッタ５７は、第１プリズム柱体５１の第１平面５１０と、第２プリズム柱体５２の第３平面５１２との間に接着剤等により固定されており、各プリズム柱体５１，５２，５３，５４の材質や、送られてくる光線の角度により透過率及び反射率を所定の割合になるように形成されている。
ビームスプリッタの一例としては、金属や誘電体又はその両方の薄膜を介在させることや、また、透過部材（各プリズム柱体と同質）に蒸着するようにして形成されている。
なお、第１平面５１０あるいは第３平面５１２に金属や誘電体又はその両方などの薄膜を蒸着して形成しても良い。
【００６９】
【実施例６】
図９は本発明の第６の実施形態を示すマイケルソン干渉計の各プリズム柱体の配置を示す平面図及び側面図である。
図９で示すように、マイケルソン干渉計６は、第１プリズム柱体６１と、第２プリズム柱体６２と、第３プリズム柱体６３と、第１コーナーキューブ６４と、第２コーナーキューブ６５と、第４プリズム柱体６６と、光線を反射光と透過光に分割するビームスプリッタ６７と、屈折率を整合する屈折率整合手段としての屈折率整合液体層６８とを備えている。
図９で示すように、第１プリズム柱体６１は上面及び下面ならびに周側面で構成されている。
【００７０】
そして、第１プリズム柱体６１は、その周側面に配置され、光源からの平行光が入射される光線入射面６９と、この光線入射面６９からの光線の光路上に形成され、ビームスプリッタ６７が隣接する第１平面６１０と、ビームスプリッタ６７からの反射光の光路上に形成される第２平面６１１とを有している。
なお、ここでは第１プリズム柱体６１の形状は、光線入射面６９と、第１平面６１０と、第２平面６１１とからなる三角柱体に形成されており、また、上面の形状は、光線入射面６９、第１平面６１０、第２平面６１１にそれぞれ垂直となっているが、下面の形状については、図面では上面と平行平面として記載しているが、特に限定されるものではない。
図９で示すように、第２プリズム柱体６２は、上面及び下面ならびに周側面で構成されている。
【００７１】
そして、第２プリズム柱体６２はその周側面に配置され、前記第１平面６１０に添ってビームスプリッタ６７に対面する位置に形成される第３平面６１２とビームスプリッタ６７からの透過光の光路上で、且つ、前記第２平面６１１の延長上に形成される第４平面６１３と、ビームスプリッタ６７及び第３平面６１２から送られてくる光線の光路上に形成される光線出射面６１４とを有している。
なお、ここでは第２プリズム柱体６２の形状は、光線出射面６１４と、第３平面６１２と、第４平面６１３とからなる三角柱体に形成されており、上面の形状は、光線出射面６１４、第３平面６１２、第４平面６１３にそれぞれ垂直となっているが、下面の形状については、図面では上面と平行平面として記載しているが、特に限定されるものではない。
【００７２】
図９で示すように、第３プリズム柱体６３は、上面及び下面ならびに周側面で構成されている。
そして、第３プリズム柱体６３はその周側面に配置され、前記両プリズム柱体６１，６２の第２平面６１１及び第４平面６１３とに対面する位置に形成される第５平面６１５と、前記ビームスプリッタ６７から反射され第２平面６１１及び屈折率整合液体層６８及び第５平面６１５を透過してくる光線を第１コーナーキューブ６４へ通過させ且つ第１コーナーキューブ６４からの光線を取り入れる第６平面６１６と、前記ビームスプリッタ６７を透過し第４平面６１３及び第５平面６１５を透過してくる光線を第２コーナーキューブ６５へ通過させ且つ第２コーナーキューブ６５からの光線を取り入れる第７平面６１７とを有している。
そして、第３プリズム柱体６３は図面では第５平面６１５、第６平面６１６、第７平面６１７からなる三角柱体に形成されており、また、上面及び下面の形状については平行平面としているが、その形状及び上面と下面の形状については特に限定されるものではない。
【００７３】
図９で示すように、第１コーナーキューブ６４は、光線入出射面である第８平面６１８と３つの光線偏向反射面で構成される光線反射部６１９とその周側面で構成されている。
そして、第１コーナーキューブ６４は、第３プリズム柱体の第６平面６１６に接着して配置され、前記第６平面６１６と第８平面６１８は対面する位置に配置されている。
光線反射部６１９を構成する３つの光線偏向反射面はお互いに垂直に交わる平面であり、第１コーナーキューブ６４の光線入出射面である第８平面６１８に入射した光線６２０は３つの光線偏向反射面により、入射光と平行且つ逆向きの光線６２１となって光線入出射面である第８平面６１８から出射されるという特性をもつ。
また、周側面については円筒面としているが、その周側面の形状については特に限定されるものではない。
【００７４】
図９で示すように、第２コーナーキューブ６５は、光線入出射面である第９平面６２２と３つの光線偏向反射面で構成される光線反射部６２３とその周側面で構成されている。
そして、第２コーナーキューブ６５は、第３プリズム柱体の第７平面６１７に接着して配置され、前記第７平面６１７と第９平面６２２は対面する位置に配置されている。
光線反射部６２３を構成する３つの光線偏向反射面はお互いに垂直に交わる平面であり、第２コーナーキューブ６５の光線入出射面である第９平面６２２に入射した光線６２４は３つの光線偏向反射面により、入射光と平行且つ逆向きの光線６２５となって光線入出射面である第９平面６２２から出射されるという特性をもつ。
また、周側面については円筒面としているが、その周側面の形状については特に限定されるものではない。
【００７５】
図９で示すように、第４プリズム柱体６６は、上面及び下面ならびに周側面で構成されている。
そして、第４プリズム柱体６６はその周側面に配置され、前記第２平面６１１及び第４平面６１３の延長上の平面に配置される第１０平面６２６と、前記光線入射面６９の延長上の平面に配置され、光線を垂直に反射できるように鏡面となっている第１１平面６２７と、前記光線出射面６１４の延長上の平面に配置され、光線を垂直に反射できるように鏡面となっている第１２平面６２８とを有している。
なお、ここでは第４プリズム柱体６６の形状は、第１０平面６２６と、第１１平面６２７と、第１２平面６２８とからなる三角柱体に形成されており、下面の形状は、第１０平面６２６と、第１１平面６２７と、第１２平面６２８にそれぞれ垂直となっているが、上面の形状については、図面では下面と平行平面として記載しているが、特に限定されるものではない。
【００７６】
図９で示すように、屈折率整合手段としての屈折率整合液体層６８は、第１プリズム柱体６１の第２平面６１１及び第２プリズム柱体６２の第４平面６１３と、第３プリズム柱体６３の第５平面６１５と第４プリズム柱体６６の第１０平面６２６の間に設けられている。
そして、屈折率整合手段６８は、各プリズム柱体、６１，６２，６３，６６及び各コーナーキューブ６４，６５を形成している部材の屈折率が近いものであればよく、その一例として各プリズム柱体６１，６２，６３，６６及び各コーナーキューブ６４，６５を石英で形成した場合に、ここではシリコーンオイルを使用しており、第３プリズム柱体６３と、第１及び第２及び第４プリズム柱体６１，６２，６６とが、毛細管現象によりシリコンオイルを保持するように構成されている。
【００７７】
図９で示すように、ビームスプリッタ６７は、第１プリズム柱体６１の第１平面６１０と、第２プリズム柱体６２の第３平面６１２との間に接着剤等により固定されており、各プリズム柱体６１，６２，６３の材質や、送られてくる光線の角度により透過率及び反射率を所定の割合になるように形成されている。
図９で示すように、第１コーナーキューブ６４の光線入出射面である第８平面６１８と第３プリズム柱体６３の第６平面６１６、また第２コーナーキューブ６５の光線入出射面である第９平面６２２と第３プリズム柱体６３の第７平面６１７は光を透過する接着剤等によりそれぞれ固定されている。
ビームスプリッタの一例としては、金属や誘電体又はその両方の薄膜を介在させることや、また、透過部材（各プリズム柱体と同質）に蒸着するようにして形成されている。
なお、第１平面６１０あるいは第３平面６１２に金属や誘電体又はその両方などの薄膜を蒸着して形成しても良い。
【００７８】
次に光線の経路について説明する。
図９で示すように、光ファイバから平行光の光線６２９を、ビームスプリッタ６７に入射する。
そして、ビームスプリッタ６７により分割され反射した光線６２０は、屈折率整合液体層６８を通過して第５平面６１５に入射後、第６平面６１６を透過し、光線入出射面である第８平面６１８に入射し、光線反射部６１９で逆方向且つ平行の光線６２１となり、その後再び光線入出射面である第８平面６１８と第６平面６１６を経由してプリズム柱体６３に入り、第５平面６１５と屈折率整合液体層６８及び第１０平面６２６を透過してプリズム柱体６６に入り、垂直反射面である第１２平面６２８で反射され再び同一光路６２１，６２０を逆方向へ進み、ビームスプリッタ６７へ向かう。
【００７９】
一方、ビームスプリッタ６７により分割され透過した光線６２４は、第４平面６１３、屈折率整合液体層６８を通過して第５平面６１５に入射後、第７平面６１７を透過し、光線入出射面である第９平面６２２に入射し、光線反射部６２３で逆方向且つ平行の光線６２５となり、その後再び光線入出射面である第９平面６２２と第７平面６１７を経由してプリズム柱体６３に入り、第５平面６１５と屈折率整合液体層６８及び第１０平面６２６を透過してプリズム柱体６６に入り、垂直反射面である第１１平面６２７で反射され再び同一光路を逆方向へ進み、ビームスプリッタ６７へ向かう。
そして、ビームスプリッタ側に送られてきた光線６２０，６２４は、それぞれ合わされて干渉し、出射する平行光線６３０として光検出器へ向かうことになる。
更に、前記光線反射部６１９と６２３において３平面間の垂直度は非常に高いため、前記光線６２０と光線６２１間の平行度と、前記光線６２４と光線６２５間の平行性は常に保たれており、その典型的な値は２秒である。
【００８０】
次に本発明の動作について図１０を用いて説明する。
なお、第１及び第２及び第４プリズム柱体６１，６２，６６と、第３プリズム柱体６３、第１及び第２コーナーキューブ６４，６５を相対的に移動させる場合、ここでは第３プリズム柱体６３及び第１及び第２コーナーキューブ６４，６５を移動させており、その移動機構は、リニアガイドや精密送り機構などを使用する公知の手段により行われる。
第３プリズム柱体６３及び第１及び第２コーナーキューブ６４，６５を光路長変更方向に距離ｄだけ直線移動させた場合を考える。
このとき、屈折率整合液体層６８は第１及び第２プリズム柱体６１，６２と第３及び第４プリズム柱体６３，６６の間の狭い間隙に挟まれ、毛細管現象により保持されている。
【００８１】
ビームスプリッタを反射した光線６２０，６２１が第１２平面６２８で反射されるまでに進む距離は２ｄｓｉｎθだけ増加するため、第１２平面６２８で反射後に６２１，６２０を経由して戻ってくるまでに進む距離は４ｄｓｉｎθだけ増加する。
また、ビームスプリッタ６７を透過した光線６２４，６２５が第１１平面６２７で反射されるまでに進む距離は２ｄｓｉｎθだけ減少するため、第１１平面６２７で反射後に６２５，６２４を経由して戻ってくるまでに進む距離は４ｄｓｉｎθだけ減少する。
よって光が進む距離の変化はそれぞれ４ｄｓｉｎθの増加と４ｄｓｉｎθの減少となり、第３プリズム柱体６３の屈折率をｎとして、最大移動距離をｄ_MAXとすると、この光路における最大光路長差は８ｎｄ_MAXｓｉｎθとなる。
【００８２】
これは従来技術に比較して波数分解能が４倍に向上したことに相当する。
ここで例えば具体的な値を用いると、プリズム材料の屈折率ｎ＝１．５、最大移動距離ｄ＝０．１ｃｍ、θ＝４５度の場合、最大光路長差ｄ_MAXは０．８５ｃｍであり、フーリエ変換分光器としての波数分解能は、１．１ｃｍ^-1となる。
例えば、波長１５５０ｎｍの近赤外線を用いた場合には、波長分解能は０．２６ｎｍとなる。
なお、もし前記プリズム柱体６３及び前記第１コーナーキューブ６４及び前記第２コーナーキューブ６５の方向が任意に揺動したとしても、前記光線６２０と光線６２１間の平行度と、前記光線６２４と光線６２５間の平行性は常に保たれているため、第１２平面６２８に入射する光線及び第１１平面６２７に入射する光線の垂直度は影響を受けない。
そのため、ビームスプリッタヘ戻る光路も不変であり、干渉光強度は影響を受けず、正確なインターフェログラムが測定できる。
【００８３】
なお、図９で使用される光線の入射平行光の形成方法は、レンズ系や、ミラー系など特に手段を問わないが、例えば、マイケルソン干渉計に対して気密にされたレンズ付き光ファイバで入出力を行った場合は、干渉計中で光路が自由空間を全く経由しないため外部環境変化（湿度変化等）の影響を全く受けない。
また、従来技術の欠点であった、光学部品による光路の遮断が生じないため正確な測定値を得ることができる。
更に、この実施例では第１及び第２及び第４プリズム柱体側を固定し、第３プリズム柱体及び第１及び第２コーナーキューブを可動にしているが、これは一例であって、プリズム同士の相対位置が変化すればよいので、第３プリズム柱体及び第１及び第２コーナーキューブ側を固定し、第１及び第２及び第４プリズム柱体を可動としてもよいし、両方のプリズムを可動としても全く同様に動作する。
【００８４】
なお、上述の各実施例において、プリズム柱体、スラブ型導波路、多面体プリズム、コーナーキューブ等の光線の通路を有する構成要素の材料は、石英をはじめとし、一般のガラス材料や、シリコンやゲルマニウムやセレン化亜鉛等の半導体や、弗化カルジウムや臭化カリウムやニオブ酸リチウム等のイオン性結晶や、ポリイミドやポリメチルメタクリレートなどのポリマーや、プラスチック等の光を透過する材料であれば種類を問わない。
特にプラスチックを材料として金型を用いて成形する場合はプリズムの低価格化が可能である。また、屈折率整合液体は本実施例ではシリコーンオイルを用いたが、これはプリズム材料と屈折率が近い液体であればなんでもよい。
【００８５】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、マイケルソン干渉計のうち、間にビームスプリッタが形成された二つのプリズムと、二つの鏡を形成したプリズムをそれぞれ接触させ、境界に屈折率整合液体層を形成して光を通過させる干渉計において、高分解能で無損失且つ損失の変動がない正確なフーリエ変換分光器を可能にした。また、導波路構造を用いることにより薄型化且つ大量生産を可能とし、小型且つ安価なマイケルソン干渉計を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例に係るマイケルソン干渉計を示す構成図であり、同図（ａ）は上面図、同図（ｂ）は同図（ａ）中のＡ−Ａ’線矢視側面図である。
【図２】本発明の第１の実施例に係るマイケルソン干渉計の動作を示す説明図である。
【図３】本発明の第２の実施例に係るマイケルソン干渉計を示す構成図であり、同図（ａ）は上面図、同図（ｂ）は同図（ａ）中のＢ−Ｂ’線矢視側面図である。
【図４】本発明の第３の実施例に係るマイケルソン干渉計を示す構成図であり、同図（ａ）は上面図、同図（ｂ）は同図（ａ）中のＣ−Ｃ’線矢視側面図である。
【図５】本発明の第３の実施例に係るマイケルソン干渉計の動作を示す説明図である。
【図６】本発明の第４の実施例に係るマイケルソン干渉計を示す構成図であり、同図（ａ）は上面図、同図（ｂ）は同図（ａ）中のＤ−Ｄ’線矢視側面図、同図（ｃ）は、同図（ａ）中のＥ−Ｅ’線矢視側面図である。
【図７】本発明の第４の実施例に係るマイケルソン干渉計の動作を示す説明図であり、同図（ａ）は上面図、同図（ｂ）は同図（ａ）中のＦ−Ｆ’線矢視側面図である。
【図８】本発明の第５の実施例に係るマイケルソン干渉計を示す構成図であり、同図（ａ）は上面図、同図（ｂ）は同図（ａ）中のＧ−Ｇ’線矢視側面図、同図（ｃ）は、同図（ａ）中のＨ−Ｈ’線矢視側面図である。
【図９】本発明の第６の実施例に係るマイケルソン干渉計を示す構成図であり、同図（ａ）は上面図、同図（ｂ）は同図（ａ）中のＩ−Ｉ’線矢視側面図、同図（ｃ）は、同図（ａ）中のＪ−Ｊ’線矢視側面図である。
【図１０】本発明の第６の実施例に係るマイケルソン干渉計の動作を示す説明図であり、同図（ａ）は上面図、同図（ｂ）は同図（ａ）中のＫ−Ｋ’線矢視側面図である。
【図１１】従来のフーリエ変換分光用マイケルソン干渉計の例を示す上面図である。
【図１２】従来のフーリエ変換分光用マイケルソン干渉計の例を示す上面図である。
【符号の説明】
１，２，３ マイケルソン干渉計
１１，３１ 第１プリズム柱体
２１ 第１スラブ型導波路板
１２，３２ 第２プリズム柱体
２２ 第２スラブ型導波路板
１３，３３ 第３プリズム柱体
２３ 第３スラブ型導波路板
１４，２４，３４ ビームスプリッタ
１５，２５，３５ 屈折率整合手段
１６，２６，３６ 光線入射面
１７，２７，３７ 垂直反射面
１８，２８，３８ 第１平面
１９，２９，３９ 第２平面
１１０，２１０，３１０ 第３平面
１１１，２１１，３１１ 第４平面
１１２，２１２，３１２ 光線出射面
１１３，２１３，３１３ 垂直反射面
１１４，２１４，３１４ 第５平面
１１５，２１５，３１５ 第６平面
１１６，２１６，３１６ 第７平面
１１７，２１７ 第８平面
１１８，２１８，３１８ 第９平面
１１９，２１９，３１９ 入射平行光線
１２０，２２０，３２０ ビームスプリッタにより反射された光線
１２１，２２１，３２１ ビームスプリッタにより反射された光線と反平行な光線
１２２，２２２，３２２ ビームスプリッタを透過した光線
１２３，２２３，３２３ ビームスプリッタを透過した光線と反平行な光線
１２４，２２４，３２４ 出射平行光線
２２５ 上部クラッド層
２２６ コア層
２２７ 下部クラッド層
３２８ 第１コーナーキューブ
３２９ 第２コーナーキューブ
３３０ 第１０平面
３３１ 第１１平面
３３２ 第１２平面
３３３ 第１３平面
３３４ 光線反射部
３３５ 光線反射部
４，５，６ マイケルソン干渉計
４１ 第１プリズム柱体
４２ 第２プリズム柱体
４３ 多面体プリズム
４４ 第３プリズム柱体
４５ ビームスプリッタ
４６ 屈折率整合液体層
４７ 光線入射面
４８ 第１平面
４９ 第２平面
４１０ 第３平面
４１１ 第４平面
４１２ 光線出射面
４１３ 第５平面
４１４ 第６平面
４１５ 第７平面
４１６ 第８平面
４１７ 第９平面
４１８ 第１０平面
４１９ 第１１平面
４２０ 第１２平面
４２１ 入射平行光線
４２２ ビームスプリッタにより反射された光線
４２３ ビームスプリッタにより反射された光線と反平行な光線
４２４ ビームスプリッタを透過した光線
４２５ ビームスプリッタを透過した光線と反平行な光線
４２６ 出射平行光線
５１ 第１プリズム柱体
５２ 第２プリズム柱体
５３ 第３プリズム柱体
５４ 第４プリズム柱体
５５ 第５プリズム柱体
５６ 第６プリズム柱体
５７ ビームスプリッタ
５８ 屈折率整合液体層
５９ 光線入射面
５１０ 第１平面
５１１ 第２平面
５１２ 第３平面
５１３ 第４平面
５１４ 光線出射面
５１５ 第５平面
５１６ 第６平面
５１７ 第７平面
５１８ 第８平面
５１９ 第９平面
５２０ 第１０平面
５２１ 第１１平面
５２２ 第１２平面
５２３ 第１３平面
５２４ 第１４平面
５２５ 第１５平面
５２６ 第１６平面
５２７ 入射平行光線
５２８ ビームスプリッタにより反射された光線
５２９ ビームスプリッタにより反射された光線と反平行な光線
５３０ ビームスプリッタを透過した光線
５３１ ビームスプリッタを透過した光線と反平行な光線
５３２ 出射平行光線
６１ 第１プリズム柱体
６２ 第２プリズム柱体
６３ 第３プリズム柱体
６４ 第１コーナーキューブ
６５ 第２コーナーキューブ
６６ 第４プリズム柱体
６７ ビームスプリッタ
６８ 屈折率整合液体層
６９ 光線入射面
６１０ 第１平面
６１１ 第２平面
６１２ 第３平面
６１３ 第４平面
６１４ 光線出射面
６１５ 第５平面
６１６ 第６平面
６１７ 第７平面
６１８ 第８平面
６１９ 第１光線反射部
６２０ ビームスプリッタにより反射された光線
６２１ ビームスプリッタにより反射された光線と反平行な光線
６２２ 第９平面
６２３ 第２光線反射部
６２４ ビームスプリッタを透過した光線
６２５ ビームスプリッタを透過した光線と反平行な光線
６２６ 第１０平面
６２７ 第１１平面
６２８ 第１２平面
６２９ 入射平行光線
６３０ 出射平行光線
Ｒ１ 入射平行光
Ｒ２ 出射平行光
Ｐ１ 平面鏡Ｍ１と透過面Ｔをその構成面としているプリズム
Ｐ２ 平面鏡Ｍ２とビームスプリッタ面ＢＳをその構成面としているプリズム
Ｌ１ 参照光路
Ｌ２ 可変光路
Ｍ１ 平面鏡
Ｍ２ 平面鏡
ＢＳ ビームスプリッタ面
Ｔ 透過面
ｄ プリズムの相対移動距離
θ プリズムＰ２におけるビームスプリッタ面ＢＳと平面鏡Ｍ２間の傾き角度
Ｆ１ 入射用光ファイバ束
Ｆ２ 出射用光ファイバ束
ＰＭ１ 平面鏡
ＰＭ２ 平面鏡
ＣＭ１ 曲面鏡
ＣＭ２ 曲面鏡
ＢＳ ビームスプリッタ面
Ｔ 透過面
Ｐ１ 平面鏡ＰＭ１と曲面鏡ＣＭ１とビームスプリッタ面ＢＳをその構成面としているプリズム
Ｐ２ 平面鏡ＰＭ２と、曲面鏡ＣＭ２と、透過面Ｔで構成されているプリズム
Ｂ１ 細孔
Ｂ２ 細孔
Ｓ１ 微小鏡スポット
Ｓ２ 微小鏡スポット
ｄ プリズムの相対移動距離
θ プリズムＰ２における透過面下と平面鏡ＰＭ２間の傾き角度

Claims (6)

1. 第１プリズム柱体（１１）と、第２プリズム柱体（１２）と、第３プリズム柱体（１３）と、光線を反射光と透過光に分割するビームスプリッタ（１４）と、前記第３プリズム柱体（１３）と前記第１及び第２プリズム柱体（１１，１２）との屈折率を整合する屈折率整合手段（１５）と、光線入射手段と光検出手段とを備え、
   前記第１プリズム柱体（１１）は、前記光線入射手段からの平行光が入射される光線入射面（１６）と、この光線入射面（１６）と同一平面上の第１垂直反射面（１７）と、前記ビームスプリッタ（１４）に隣接し、この光線入射面（１６）から入射した光線の光路上に配置される第１平面（１８）と、前記ビームスプリッタ（１４）から反射される光線の光路上に配置される第２平面（１９）とを有し、
   前記第２プリズム柱体（１２）は、前記第１平面（１８）に沿って前記ビームスプリッタ（１４）に対面する位置に配置される第３平面（１１０）と、前記ビームスプリッタ（１４）を透過する光線の光路上で且つ前記第２平面（１９）の延長上に配置される第４平面（１１１）と、光検出手段を設置する位置に配置される光線出射面（１１２）と、この光線出射面（１１２）と同一平面上の第２垂直反射面（１１３）とを有し、
   前記第３プリズム柱体（１３）は、前記第１プリズム柱体（１１）の前記第２平面（１９）及び前記第２プリズム柱体（１２）の前記第４平面（１１１）と対面する位置に配置される第５平面（１１４）と、前記第１平面（１８）から前記第２平面（１９）及び前記第５平面（１１４）を介して送られて来る光線をその光路と平行且つ反対の方向に反射するように配置され、且つお互いに垂直である第６平面（１１５）及び第７平面（１１６）と、前記第３平面（１１０）から前記第４平面（１１１）及び前記第５平面（１１４）を介して送られて来る光線をその光路と平行且つ反対の方向に反射するように配置され、且つお互いに垂直である第８平面（１１７）及び第９平面（１１８）とを有し、
   前記屈折率整合手段（１５）は、前記第２平面（１９）及び前記第４平面（１１１）と、前記第５平面（１１４）の間に介在され、
   前記光線入射手段から前記光線入射面（１６）を透過して前記第１プリズム柱体（１１）に入射する入射光線（１１９）のうち、前記ビームスプリッタ（１４）で分割され反射された第１の光線（１２０）が、前記第２平面（１９）と前記屈折率整合手段（１５）と前記第５平面（１１４）を透過して前記第３プリズム柱体（１３）に入り、前記第６平面（１１５）と前記第７平面（１１６）で反射され、前記第１の光線（１２０）と平行で逆向きの光線（１２１）となって、前記第５平面（１１４）と前記屈折率整合手段（１５）と前記第４平面（１１１）を透過して前記第２プリズム柱体（１２）に入り、前記第２垂直反射面（１１３）で反射され、再び前記光線（１２１）と同一の光路に沿って前記第４平面（１１１）と前記屈折率整合手段（１５）と前記第５平面（１１４）を透過して前記第３プリズム柱体（１３）に入り、前記第７平面（１１６）と前記第６平面（１１５）で反射され、前記第５平面（１１４）と前記屈折率整合手段（１５）と前記第２平面（１９）を透過して前記第１プリズム柱体（１１）に入り、前記ビームスプリッタ（１４）へ向かい、
   前記入射光線（１１９）のうち、前記ビームスプリッタ（１４）で分割され透過された第２の光線（１２２）が、前記第４平面（１１１）と前記屈折率整合手段（１５）と前記第５平面（１１４）を透過して前記第３プリズム柱体（１３）に入り、前記第８平面（１１７）と前記第９平面（１１８）で反射され、前記第２の光線（１２２）と平行で逆向きの光線（１２３）となって、前記第５平面（１１４）と前記屈折率整合手段（１５）と前記第２平面（１９）を透過して前記第１プリズム柱体（１１）に入り、前記第１垂直反射面（１７）で反射され、再び前記光線（１２３）と同一の光路に沿って前記第２平面（１９）と前記屈折率整合手段（１５）と前記第５平面（１１４）を透過して前記第３プリズム柱体（１３）に入り、前記第９平面（１１８）と前記第８平面（１１７）で反射され、前記第５平面（１１４）と前記屈折率整合手段（１５）と前記第４平面（１１１）を透過して前記第２プリズム柱体（１２）に入り、前記ビームスプリッタ（１４）へ向かい、
   前記ビームスプリッタ（１４）へ戻ってきた両方の前記第１の光線（１２０）及び前記第２の光線（１２２）が合わされて干渉し、平行光線（１２４）として前記光線出射面（１１２）を透過して前記光検出手段へ出射するように光路が構成され、
   前記第１プリズム柱体（１１）及び前記第２プリズム柱体（１２）と、前記第３プリズム柱体（１３）は、前記第２平面（１９）及び前記第４平面（１１１）と、前記第５平面（１１４）に沿って、光線の光路長変更方向に相対的に移動自在としたことを特徴とするマイケルソン干渉計。
2. 第１スラブ型導波路板（２１）と、第２スラブ型導波路板（２２）と、第３スラブ型導波路板（２３）と、光線を反射光と透過光に分割するビームスプリッタ（２４）と、前記第３スラブ型導波路板（２３）と前記第１及び第２スラブ型導波路板（２１，２２）との屈折率を整合する屈折率整合手段（２５）と、光線入射手段と光検出手段とを備え、
   前記第１スラブ型導波路板（２１）は、前記光線入射手段からの平行光が入射される光線入射面（２６）と、この光線入射面（２６）と同一平面上の第１垂直反射面（２７）と、前記ビームスプリッタ（２４）に隣接し、この光線入射面（２６）から入射した光線の光路上に配置される第１平面（２８）と、前記ビームスプリッタ（２４）から反射される光線の光路上に配置される第２平面（２９）とを有し、
   前記第２スラブ型導波路板（２２）は、前記第１平面（２８）に沿って前記ビームスプリッタ（２４）に対面する位置に配置される第３平面（２１０）と、前記ビームスプリッタ（２４）を透過する光線の光路上で且つ前記第２平面（２９）の延長上に配置される第４平面（２１１）と、光検出手段を設置する位置に配置される光線出射面（２１２）と、この光線出射面（２１２）と同一平面上の第２垂直反射面（２１３）とを有し、
   前記第３スラブ型導波路板（２３）は、前記第１スラブ型導波路板（２１）の前記第２平面（２９）及び前記第２スラブ型導波路板（２２）の前記第４平面（２１１）と対面する位置に配置される第５平面（２１４）と、前記第１平面（２８）から前記第２平面（２９）及び前記第５平面（２１４）を介して送られて来る光線をその光路と平行且つ反対の方向に反射するように配置され、且つお互いに垂直である第６平面（２１５）及び第７平面（２１６）と、前記第３平面（２１０）から前記第４平面（２１１）及び前記第５平面（２１４）を介して送られて来る光線をその光路と平行且つ反対の方向に反射するように配置され、且つお互いに垂直である第８平面（２１７）及び第９平面（２１８）とを有し、
   前記屈折率整合手段（２５）は、前記第２平面（２９）及び前記第４平面（２１１）と、前記第５平面（２１４）の間に介在され、
   前記光線入射手段から前記光線入射面（２６）を透過して前記第１スラブ型導波路板（２１）に入射する入射光線（２１９）のうち、前記ビームスプリッタ（２４）で分割され反射された第１の光線（２２０）が、前記第２平面（２９）と前記屈折率整合手段（２５）と前記第５平面（２１４）を透過して前記第３スラブ型導波路板（２３）に入り、前記第６平面（２１５）と前記第７平面（２１６）で反射され、前記第１の光線（２２０）と平行で逆向きの光線（２２１）となって、前記第５平面（２１４）と前記屈折率整合手段（２５）と前記第４平面（２１１）を透過して前記第２スラブ型導波路板（２２）に入り、前記第２垂直反射面（２１３）で反射され、再び前記光線（２２１）と同一の光路に沿って前記第４平面（２１１）と前記屈折率整合手段（２５）と前記第５平面（２１４）を透過して前記第３スラブ型導波路板（２３）に入り、前記第７平面（２１６）と前記第６平面（２１５）で反射され、前記第５平面（２１４）と前記屈折率整合手段（２５）と前記第２平面（２９）を透過して前記第１スラブ型導波路板（２１）に入り、前記ビームスプリッタ（２４）へ向かい、
   前記入射光線（２１９）のうち、前記ビームスプリッタ（２４）で分割され透過された第２の光線（２２２）が、前記第４平面（２１１）と前記屈折率整合手段（２５）と前記第５平面（２１４）を透過して前記第３スラブ型導波路板（２３）に入り、前記第８平面（２１７）と前記第９平面（２１８）で反射され、前記第２の光線（２２２）と平行で逆向きの光線（２２３）となって、前記第５平面（２１４）と前記屈折率整合手段（２５）と前記第２平面（２９）を透過して前記第１スラブ型導波路板（２１）に入り、前記第１垂直反射面（２７）で反射され、再び前記光線（２２３）と同一の光路に沿って前記第２平面（２９）と前記屈折率整合手段（２５）と前記第５平面（２１４）を透過して前記第３スラブ型導波路板（２３）に入り、前記第９平面（２１８）及び前記第８平面（２１７）で反射され、前記第５平面（２１４）と前記屈折率整合手段（２５）と前記第４平面（２１１）を透過して前記第２スラブ型導波路板（２２）に入り、前記ビームスプリッタ（２４）へ向かい、
   前記ビームスプリッタ（２４）へ戻ってきた両方の前記第１の光線（２２０）及び前記第２の光線（２２２）が合わされて干渉し、平行光線（２２４）として前記光線出射面（２１２）を透過して前記光検出手段へ出射するように光路が構成され、
   前記第１スラブ型導波路板（２１）及び前記第２スラブ型導波路板（２２）と、前記第３スラブ型導波路板（２３）は、前記第２平面（２９）及び前記第４平面（２１１）と、前記第５平面（２１４）に沿って、光線の光路長変更方向に相対的に移動自在としたことを特徴とするマイケルソン干渉計。
3. 第１プリズム柱体（３１）と、第２プリズム柱体（３２）と、第３プリズム柱体（３３）と、第１コーナーキューブ（３２８）と、第２コーナーキューブ（３２９）と、光線を反射光と透過光に分割するビームスプリッタ（３４）と、前記第３プリズム柱体（３３）と前記第１及び第２プリズム柱体（３１，３２）との屈折率を整合する屈折率整合手段（３５）と、光線入射手段と光検出手段とを備え、
   前記第１プリズム柱体（３１）は、前記光線入射手段からの平行光が入射される光線入射面（３６）と、この光線入射面（３６）と同一平面上の第１垂直反射面（３７）と、前記ビームスプリッタ（３４）に隣接し、この光線入射面（３６）から入射した光線の光路上に配置される第１平面（３８）と、前記ビームスプリッタ（３４）から反射される光線の光路上に配置される第２平面（３９）とを有し、
   前記第２プリズム柱体（３２）は、前記第１平面（３８）に沿って前記ビームスプリッタ（３４）に対面する位置に配置される第３平面（３１０）と、前記ビームスプリッタ（３４）を透過する光線の光路上で且つ前記第２平面（３９）の延長上に配置される第４平面（３１１）と、光検出手段を設置する位置に配置される光線出射面（３１２）と、この光線出射面（３１２）と同一平面上の第２垂直反射面（３１３）とを有し、
   前記第３プリズム柱体（３３）は、前記第１プリズム柱体（３１）の前記第２平面（３９）及び前記第２プリズム柱体（３２）の前記第４平面（３１１）と対面する位置に配置される第５平面（３１４）と、前記第１平面（３８）から前記第２平面（３９）及び前記第５平面（３１４）を介して送られて来る光線上に配置された第１０平面（３３０）と、前記第３平面（３１０）から前記第４平面（３１１）及び前記第５平面（３１４）を介して送られて来る光線上に配置された第１１平面（３３１）とを有し、
   前記第１コーナーキューブ（３２８）は前記第１０平面（３３０）に沿って対面する位置に配置される第１２平面（３３２）と、三つの相互に垂直な平面で構成され、入射してきた光線を、平行且つ反対方向に進行する光線に変換する第１光線反射部（３３４）と、周側部とを有し、
   前記第２コーナーキューブ（３２９）は前記第１１平面（３３１）に沿って対面する位置に配置される第１３平面（３３３）と、三つの相互に垂直な平面で構成され、入射してきた光線を、平行且つ反対方向に進行する光線に変換する第２光線反射部（３３５）と、周側部とを有し、
   前記屈折率整合手段（３５）は、前記第２平面（３９）及び前記第４平面（３１１）と、前記第５平面（３１４）の間に介在され、
   前記光線入射手段から前記光線入射面（３６）を透過して前記第１プリズム柱体（３１）に入射する入射光線（３１９）のうち、前記ビームスプリッタ（３４）で分割され反射された第１の光線（３２０）が、前記第２平面（３９）と前記屈折率整合手段（３５）と前記第５平面（３１４）を透過して前記第３プリズム柱体（３３）に入り、前記第１０平面（３３０）と前記第１２平面（３３２）を透過して前記第１コーナーキューブ（３２８）に入り、前記第１光線反射部（３３４）で反射され、前記第１の光線（３２０）と平行で逆向きの光線（３２１）となって、前記第１２平面（３３２）と前記第１０平面（３３０）を透過して前記第３プリズム柱体（３３）に入り、前記第５平面（３１４）と前記屈折率整合手段（３５）と前記第４平面（３１１）を透過して前記第２プリズム柱体（３２）に入り、前記第２垂直反射面（３１３）で反射され、再び前記光線（３２１）と同一の光路に沿って前記第４平面（３１１）と前記屈折率整合手段（３５）と前記第５平面（３１４）を透過して前記第３プリズム柱体（３３）に入り、前記第１０平面（３３０）と前記第１２平面（３３２）を透過して前記第１コーナーキューブ（３２８）に入り、前記第１光線反射部（３３４）で反射され、前記第１２平面（３３２）と前記第１０平面（３３０）を透過して前記第３プリズム柱体（３３）に入り、前記第５平面（３１４）と前記屈折率整合手段（３５）と前記第２平面（３９）を透過して前記第１プリズム柱体（３１）に入り、前記ビームスプリッタ（３４）へ向かい、
   前記入射光線（３１９）のうち、前記ビームスプリッタ（３４）で分割され透過された第２の光線（３２２）が、前記第４平面（３１１）と前記屈折率整合手段（３５）と前記第５平面（３１４）を透過して前記第３プリズム柱体（３３）に入り、前記第１１平面（３３１）と前記第１３平面（３３３）を透過して前記第２コーナーキューブ（３２９）に入り、前記第２光線反射部（３３５）で反射され、前記第２の光線（３２２）と平行で逆向きの光線（３２３）となって、前記第１３平面（３３３）と前記第１１平面（３３１）を透過して前記第３プリズム柱体（３３）に入り、前記第５平面（３１４）と前記屈折率整合手段（３５）と前記第２平面（３９）を透過して前記第１プリズム柱体（３１）に入り、前記第１垂直反射面（３７）で反射され、再び前記光線（３２３）と同一の光路に沿って前記第２平面（３９）と前記屈折率整合手段（３５）と前記第５平面（３１４）を透過して前記第３プリズム柱体（３３）に入り、前記第１１平面（３３１）と前記第１３平面（３３３）を透過して前記第２コーナーキューブ（３２９）に入り、前記第２光線反射部（３３５）で反射され、前記第１３平面（３３３）と前記第１１平面（３３１）を透過して前記第３プリズム柱体（３３）に入り、前記第５平面（３１４）と前記屈折率整合手段（３５）と前記第４平面（３１１）を透過して前記第２プリズム柱体（３２）に入り、前記ビームスプリッタ（３４）へ向かい、
   前記ビームスプリッタ（３４）へ戻ってきた両方の前記第１の光線（３２０）及び前記第２の光線（３２２）が合わされて干渉し、平行光線（３２４）として前記光線出射面（３１２）を透過して前記光検出手段へ出射するように光路が構成され、
   前記第１プリズム柱体（３１）及び前記第２プリズム柱体（３２）と、前記第３プリズム柱体（３３）及び第１コーナーキューブ（３２８）及び第２コーナーキューブ（３２９）は、前記第２平面（３９）及び前記第４平面（３１１）と、前記第５平面（３１４）に沿って、光線の光路長変更方向に相対的に移動自在としたことを特徴とするマイケルソン干渉計。
4. 第１プリズム柱体（４１）と、第２プリズム柱体（４２）と、多面体プリズム（４３）と、第３プリズム柱体（４４）と、光線を反射光と透過光に分割するビームスプリッタ（４５）と、前記多面体プリズム柱体（４３）と前記第１，第２及び第３プリズム柱体（４１，４２，４４）との屈折率を整合する屈折率整合手段（４６）と、光線入射手段と光検出手段とを備え、
   前記第１プリズム柱体（４１）は、前記光線入射手段からの平行光が入射される光線入射面（４７）と、前記ビームスプリッタ（４５）に隣接し、この光線入射面（４７）から入射した光線の光路上に配置される第１平面（４８）と、前記ビームスプリッタ（４５）から反射される光線の光路上に配置される第２平面（４９）と、前記光線入射面（４７）と前記第１平面（４８）と前記第２平面（４９）に垂直な上面を有し、
   前記第２プリズム柱体（４２）は、前記第１平面（４８）に沿って前記ビームスプリッタ（４５）に対面する位置に配置される第３平面（４１０）と、前記ビームスプリッタ（４５）を透過する光線の光路上で且つ前記第２平面（４９）の延長上に配置される第４平面（４１１）と、光検出手段を設置する位置に配置される光線出射面（４１２）と、前記光線出射面（４１２）と第３平面（４１０）と第４平面（４１１）に垂直な上面を有し、
   前記多面体プリズム（４３）は、前記第１プリズム柱体（４１）の前記第２平面（４９）及び前記第２プリズム柱体（４２）の前記第４平面（４１１）と対面する位置に配置される第５平面（４１３）と、前記第１平面（４８）から前記第２平面（４９）及び前記第５平面（４１３）を介して送られて来る光線を上方に偏向し、偏向された下方からの光線を水平面内に進行するように偏向し、前記第１平面（４８）から前記第２平面（４９）及び前記第５平面（４１３）を介して送られて来る光線と平行且つ反対方向且つ水平面内を進行するように配置され、且つお互いに垂直である第６平面（４１４）及び第７平面（４１５）と、前記第３平面（４１０）から前記第４平面（４１１）及び前記第５平面（４１３）を介して送られて来る光線を上方に偏向し、偏向された下方からの光線を水平面内に進行するように偏向し、前記第３平面（４１０）から前記第４平面（４１１）及び前記第５平面（４１３）を介して送られて来る光線と平行且つ反対方向且つ水平面内を進行するように配置され、且つお互いに垂直である第８平面（４１６）及び第９平面（４１７）とを有し、
   前記第３プリズム柱体（４４）は、前記第５平面（４１３）に対面する位置で且つ前記第２平面（４９）及び前記第４平面（４１１）同一平面上に配置される第１０平面（４１８）と、前記第９平面（４１７）からの光線に対して垂直で且つ前記光線入射面（４７）に対して平行又は同一平面上にあり鏡面となっている第１１平面（４１９）と、前記第７平面（４１５）からの光線に対して垂直で且つ前記光線出射面（４１２）に対して平行又は同一平面上にあり鏡面となっている第１２平面（４２０）と、前記第１プリズム柱体（４１）と前記第２プリズム柱体（４２）の上面に接する位置に配置される下面と、前記第１０平面（４１８）と前記第１１平面（４１９）と前記第１２平面（４２０）が下面に対してそれぞれ垂直であり、更に下面と前記第１プリズム柱体（４１）及び前記第２プリズム柱体（４２）が接着されており、
   前記屈折率整合手段（４６）は、前記第２平面（４９）及び前記第４平面（４１１）及び前記第１０平面（４１８）と、前記第５平面（４１３）の間に介在され、
   前記光線入射手段から前記光線入射面（４７）を透過して前記第１プリズム柱体（４１）に入射する入射光線（４２１）のうち、前記ビームスプリッタ（４５）で分割され反射された第１の光線（４２２）が、前記第２平面（４９）と前記屈折率整合手段（４６）と前記第５平面（４１３）を透過して前記多面体プリズム（４３）に入り、前記第６平面（４１４）と前記第７平面（４１５）で反射され、前記第１の光線（４２２）と平行で逆向きの光線（４２３）となって、前記第５平面（４１３）と前記屈折率整合手段（４６）と前記第１０平面（４１８）を透過して前記第３プリズム柱体（４４）に入り、前記第１２平面（４２０）で反射され、再び前記光線（４２３）と同一の光路に沿って前記第１０平面（４１８）と前記屈折率整合手段（４６）と前記第５平面（４１３）を透過して前記多面体プリズム（４３）に入り、前記第７平面（４１５）と前記第６平面（４１４）で反射され、前記第５平面（４１３）と前記屈折率整合手段（４６）と前記第２平面（４９）を透過して前記第１プリズム柱体（４１）に入り、前記ビームスプリッタ（４５）へ向かい、
   前記入射光線（４２１）のうち、前記ビームスプリッタ（４５）で分割され透過された第２の光線（４２４）が、前記第４平面（４１１）と前記屈折率整合手段（４６）と前記第５平面（４１３）を透過して前記多面体プリズム（４３）に入り、前記第８平面（４１６）と前記第９平面（４１７）で反射され、前記第２の光線（４２４）と平行で逆向きの光線（４２５）となって、前記第５平面（４１３）と前記屈折率整合手段（４６）と前記第１０平面（４１９）を透過して前記第３プリズム柱体（４４）に入り、前記第１１平面（４１９）で反射され、再び前記光線（４２５）と同一の光路に沿って前記第１０平面（４１９）と前記屈折率整合手段（４６）と前記第５平面（４１３）を透過して前記多面体プリズム（４３）に入り、前記第９平面（４１７）と前記第８平面（４１６）で反射され、前記第５平面（４１３）と前記屈折率整合手段（４６）と前記第４平面（４１１）を透過して前記第２プリズム柱体（４２）に入り、前記ビームスプリッタ（４５）へ向かい、
   前記ビームスプリッタ（４５）へ戻ってきた両方の前記第１の光線（４２２）及び前記第２の光線（４２４）が合わされて干渉し、平行光線（４２６）として前記光線出射面（４１２）を透過して前記光検出手段へ出射するように光路が構成され、
   前記第１プリズム柱体（４１）及び前記第２プリズム柱体（４２）と、前記第３プリズム柱体（４４）は、前記第２平面（４９）及び前記第４平面（４１１）及び前記第１０平面（４１８）と、前記第５平面（４１３）に沿って、光線の光路長変更方向に相対的に移動自在としたことを特徴とするマイケルソン干渉計。
5. 第１プリズム柱体（５１）と、第２プリズム柱体（５２）と、第３プリズム柱体（５３）と、第４プリズム柱体（５４）と、第５プリズム柱体（５５）と、第６プリズム柱体（５６）と、光線を反射光と透過光に分割するビームスプリッタ（５７）と、前記第３プリズム柱体（５３）と前記第１，第２及び第６プリズム柱体（５１，５２，５６）との屈折率を整合する屈折率整合手段（５８）と、光線入射手段と光検出手段とを備え、
   前記第１プリズム柱体（５１）は、前記光線入射手段からの平行光が入射される光線入射面（５９）と、前記ビームスプリッタ（５７）に隣接し、この光線入射面（５９）から入射した光線の光路上に配置される第１平面（５１０）と、前記ビームスプリッタ（５７）から反射される光線の光路上に配置される第２平面（５１１）と、前記光線入射面（５９）と前記第１平面（５１０）と前記第２平面（５１１）に垂直な上面を有し、
   前記第２プリズム柱体（５２）は、前記第１平面（５１０）に沿って前記ビームスプリッタ（５７）に対面する位置に配置される第３平面（５１２）と、前記ビームスプリッタ（５７）を透過する光線の光路上で且つ前記第２平面（５１１）の延長上に配置される第４平面（５１３）と、光検出手段を設置する位置に配置される光線出射面（５１４）と、前記光線出射面（５１４）と第３平面（５１２）と第４平面（５１３）に垂直な上面を有し、
   前記第３プリズム柱体（５３）は、前記第１プリズム柱体（５１）の前記第２平面（５１１）及び前記第２プリズム柱体（５２）の前記第４平面（５１３）と対面する位置に配置される第５平面（５１５）と、前記第１平面（５１０）から前記第２平面（５１１）及び前記第５平面（５１５）を介して送られて来る光線を前記第４プリズム柱体（５４）に透過する位置に配置される第６平面（５１６）と、前記第１平面（５１０）から前記第４平面（５１３）及び前記第５平面（５１５）を介して送られて来る光線を前記第５プリズム柱体（５５）に透過する位置に配置される第７平面（５１７）とを有し、
   前記第４プリズム柱体（５４）は、前記第３プリズム柱体（５３）の前記第６平面（５１６）と対面する位置に接着される第８平面（５１８）と、前記第１平面（５１０）から前記第２平面（５１１）及び前記第５平面（５１５）及び前記第６平面（５１６）及び前記第８平面（５１８）を介して送られて来る光線を上方に偏向し、偏向された下方からの光線を水平面内に進行するように偏向し、前記第１平面（５１０）から前記第２平面（５１１）及び前記第５平面（５１５）及び前記第６平面（５１６）を介して送られて来る光線と平行且つ反対方向且つ水平面内を進行するように配置され、且つお互いに垂直である第９平面（５１９）及び第１０平面（５２０）とを有し、
   前記第５プリズム柱体（５５）は、前記第３プリズム柱体（５３）の前記第７平面（５１７）と対面する位置に接着される第１１平面（５２１）と、前記第３平面（５１２）から前記第４平面（５１３）及び前記第５平面（５１５）及び前記第７平面（５１７）及び前記第１１平面（５２１）を介して送られて来る光線を上方に偏向し、偏向された下方からの光線を水平面内に進行するように偏向し、前記第３平面（５１２）から前記第４平面（５１３）及び前記第５平面（５１５）及び前記第７平面（５１７）を介して送られて来る光線と平行且つ反対方向且つ水平面内を進行するように配置され、且つお互いに垂直である第１２平面（５２２）及び第１３平面（５２３）とを有し、
   前記第６プリズム柱体（５６）は、前記第５平面（５１５）に対面する位置で且つ前記第２平面（５１１）及び前記第４平面（５１３）と同一平面上に配置される第１４平面（５２４）と、前記第１３平面（５２３）からの光線に対して垂直で且つ前記光線入射面（５９）に対して平行又は同一平面上にあり鏡面となっている第１５平面（５２５）と、前記第１０平面（５１０）からの光線に対して垂直で且つ前記光線出射面（５１４）に対して平行又は同一平面上にあり鏡面となっている第１６平面（５２６）と、前記第１プリズム柱体（５１）と前記第２プリズム柱体（５２）の上面に接する位置に配置される下面と、前記第１４平面（５２４）と前記第１５平面（５２５）と前記第１６平面（５２６）が下面に対してそれぞれ垂直であり、更に下面と前記第１プリズム柱体（５１）及び前記第２プリズム柱体（５２）が接着されており、
   前記屈折率整合手段（５８）は、前記第２平面（５１１）及び前記第４平面（５１３）及び前記第１０平面（５１０）と、前記第５平面（５１５）の間に介在され、
   前記光線入射手段から前記光線入射面（５９）を透過して前記第１プリズム柱体（５１）に入射する入射光線（５２７）のうち、前記ビームスプリッタ（５７）で分割され反射された第１の光線（５２８）が、前記第２平面（５１１）と前記屈折率整合手段（５８）と前記第５平面（５１５）を透過して前記第３プリズム柱体（５３）に入り、前記第６平面（５１６）と前記第８平面（５１８）を透過して前記第４プリズム柱体（５４）に入り、前記第９平面（５１９）と前記第１０平面（５２０）で反射され、前記第１の光線（５２８）と平行で逆向きの光線（５２９）となって、前記第８平面（５１８）と前記第６平面（５１６）を透過して前記第３プリズム柱体（５３）に入り、前記第５平面（５１５）と前記屈折率整合手段（５８）と前記第１４平面（５２４）を透過して前記第６プリズム柱体（５６）に入り、前記第１６平面（５２６）で反射され、再び前記光線（５２９）と同一の光路に沿って前記第１４平面（５２４）と前記屈折率整合手段（５８）と前記第５平面（５１５）を透過して前記第３プリズム柱体（５３）に入り、前記第６平面（５１６）と前記第８平面（５１８）を透過して前記第４プリズム柱体（５４）に入り、前記第１０平面（５２０）と前記第９平面（５１９）で反射され、前記第８平面（５１８）と前記第６平面（５１６）を透過して前記第３プリズム柱体（５３）に入り、前記第５平面（５１５）と前記屈折率整合手段（５８）と前記第２平面（５１１）を透過して前記第１プリズム柱体（５１）に入り、前記ビームスプリッタ（５７）へ向かい、
   前記入射光線（５２７）のうち、前記ビームスプリッタ（５７）で分割され透過された第２の光線（５３０）が、前記第４平面（５１３）と前記屈折率整合手段（５８）と前記第５平面（５１５）を透過して前記第３プリズム柱体（５３）に入り、前記第７平面（５１７）と前記第１１平面（５２１）を透過して前記第５プリズム柱体（５５）に入り、前記第１２平面（５２２）と前記第１３平面（５２３）で反射され、前記第２の光線（５３０）と平行で逆向きの光線（５３１）となって、前記第１１平面（５２１）と前記第７平面（５１７）を透過して前記第３プリズム柱体（５３）に入り、前記第５平面（５１５）と前記屈折率整合手段（５８）と前記第１４平面（５２４）を透過して前記第６プリズム柱体（５６）に入り、前記第１５平面（５２５）で反射され、再び前記光線（５３１）と同一の光路に沿って前記第１４平面（５２４）と前記屈折率整合手段（５８）と前記第５平面（５１５）を透過して前記第３プリズム柱体（５３）に入り、前記第７平面（５１７）と前記第１１平面（５２１）を透過して前記第５プリズム柱体（５５）に入り、前記第１３平面（５２３）と前記第１２平面（５２２）で反射され、前記第１１平面（５２１）と前記第７平面（５１７）を透過して前記第３プリズム柱体（５３）に入り、前記第５平面（５１５）と前記屈折率整合手段（５８）と前記第４平面（５１３）を透過して前記第２プリズム柱体（５２）に入り、前記ビームスプリッタ（５７）へ向かい、
   前記ビームスプリッタ（５７）へ戻ってきた両方の前記第１の光線（５２８）及び前記第２の光線（５３０）が合わされて干渉し、平行光線（５３２）として前記光線出射面（５１４）を透過して前記光検出手段へ出射するように光路が構成され、
   前記第１プリズム柱体（５１）及び前記第２プリズム柱体（５２）と、前記第３プリズム柱体（５３）は、前記第２平面（５１１）及び前記第４平面（５１３）及び前記第１０平面（５１０）と、前記第５平面（５１５）に沿って、光線の光路長変更方向に相対的に移動自在としたことを特徴とするマイケルソン干渉計。
6. 第１プリズム柱体（６１）と、第２プリズム柱体（６２）と、第３プリズム柱体（６３）と、第１コーナーキューブ（６４）と、第２コーナーキューブ（６５）と、第４プリズム柱体（６６）と、光線を反射光と透過光に分割するビームスプリッタ（６７）と、前記第３プリズム柱体（６３）と前記第１，第２及び第４プリズム柱体（６１，６２，６６）との屈折率を整合する屈折率整合手段（６８）と、光線入射手段と光検出手段とを備え、
   前記第１プリズム柱体（６１）は、前記光線入射手段からの平行光が入射される光線入射面（６９）と、前記ビームスプリッタ（６７）に隣接し、この光線入射面（６９）から入射した光線の光路上に配置される第１平面（６１０）と、前記ビームスプリッタ（６７）から反射される光線の光路上に配置される第２平面（６１１）とを有し、
   前記第２プリズム柱体（６２）は、前記第１平面（６１０）に沿って前記ビームスプリッタ（６７）に対面する位置に配置される第３平面（６１２）と、前記ビームスプリッタ（６７）を透過する光線の光路上で且つ前記第２平面（６１１）の延長上に配置される第４平面（６１３）と、光検出手段を設置する位置に配置される光線出射面（６１４）とを有し、
   前記第３プリズム柱体（６３）は、前記第１プリズム柱体（６１）の前記第２平面（６１１）及び前記第２プリズム柱体（６２）の前記第４平面（６１３）と対面する位置に配置される第５平面（６１５）と、前記第１平面（６１０）から前記第２平面（６１１）及び前記第５平面（６１５）を介して送られて来る光線上に配置された第６平面（６１６）と、前記第３平面（６１２）から前記第４平面（６１３）及び前記第５平面（６１５）を介して送られて来る光線上に配置された第７平面（６１７）とを有し、
   前記第１コーナーキューブ（６４）は前記第６平面（６１６）に沿って対面する位置に配置される第８平面（６１８）と、三つの相互に垂直な平面で構成され、入射してきた光線を、平行且つ反対方向に進行する光線に変換する第１光線反射部（６１９）と、周側部とを有し、
   前記第２コーナーキューブ（６５）は前記第７平面（６１７）に沿って対面する位置に配置される第９平面（６２２）と、三つの相互に垂直な平面で構成され、入射してきた光線を、平行且つ反対方向に進行する光線に変換する第２光線反射部（６２３）と、周側部とを有し、
   前記第４プリズム柱体（６６）は、前記第５平面（６１５）に対面する位置で且つ前記第２平面（６１１）及び前記第４平面（６１３）と同一平面上に配置される第１０平面（６２６）と、前記第１光線反射部（６１９）からの光線に対して垂直で且つ前記光線出射面（６１４）に対して平行又は同一平面上にあり鏡面となっている第１２平面（６２８）と、前記第２光線反射部（６２３）からの光線に対して垂直で且つ前記光線入射面（６９）に対して平行又は同一平面上にあり鏡面となっている第１１平面（６２７）と、前記第１プリズム柱体（６１）と前記第２プリズム柱体（６２）の上面に接する位置に配置される下面と、前記第１０平面（６２６）と前記第１１平面（６２７）と前記第１２平面（６２８）が下面に対してそれぞれ垂直であり、更に下面と前記第１プリズム柱体（６１）及び前記第２プリズム柱体（６２）が接着されており、
   前記屈折率整合手段（６８）は、前記第２平面（６１１）及び前記第４平面（６１３）及び前記第１０平面（６２６）と、前記第５平面（６１５）の間に介在され、
   前記光線入射手段から前記光線入射面（６９）を透過して前記第１プリズム柱体（６１）に入射する入射光線（６２９）のうち、前記ビームスプリッタ（６７）で分割され反射された第１の光線（６２０）が、前記第２平面（６１１）と前記屈折率整合手段（６８）と前記第５平面（６１５）を透過して前記第３プリズム柱体（６３）に入り、前記第６平面（６１６）と前記第８平面（６１８）を透過して前記第１コーナーキューブ（６４）に入り、前記第１光線反射部（６１９）で反射され、前記第１の光線（６２０）と平行で逆向きの光線（６２１）となって、前記第８平面（６１８）と前記第６平面（６１６）を透過して前記第３プリズム柱体（６３）に入り、前記第５平面（６１５）と前記屈折率整合手段（６８）と前記第１０平面（６２６）を透過して前記第４プリズム柱体（６６）に入り、鏡面となっている前記第１２平面（６２８）で反射され、再び前記光線（６２１）と 同一の光路に沿って前記第１０平面（６２６）と前記屈折率整合手段（６８）と前記第５平面（６１５）を透過して前記第３プリズム柱体（６３）に入り、前記第６平面（６１６）と前記第８平面（６１８）を透過して前記第１コーナーキューブ（６４）に入り、前記第１光線反射部（６１９）で反射され、前記第８平面（６１８）と前記第６平面（６１６）を透過して前記第３プリズム柱体（６３）に入り、前記第５平面（６１５）と前記屈折率整合手段（６８）と前記第２平面（６１１）を透過して前記第１プリズム柱体（６１）に入り、前記ビームスプリッタ（６７）へ向かい、
   前記入射光線（６２９）のうち、前記ビームスプリッタ（６７）で分割され透過された第２の光線（６２４）が、前記第４平面（６１３）と前記屈折率整合手段（６８）と前記第５平面（６１５）を透過して前記第３プリズム柱体（６３）に入り、前記第７平面（６１７）と前記第９平面（６２２）を透過して前記第２コーナーキューブ（６５）に入り、前記第２光線反射部（６２３）で反射され、前記第２の光線（６２４）と平行で逆向きの光線（６２５）となって、前記第９平面（６２２）と前記第７平面（６１７）を透過して前記第３プリズム柱体（６３）に入り、前記第５平面（６１５）と前記屈折率整合手段（６８）と前記第１０平面（６２６）を透過して前記第４プリズム柱体（６６）に入り、鏡面となっている前記第１１平面（６２７）で反射され、再び前記光線（６２５）と同一の光路に沿って前記第１０平面（６２６）と前記屈折率整合手段（６８）と前記第５平面（６１５）を透過して前記第３プリズム柱体（６３）に入り、前記第７平面（６１７）と前記第９平面（６２２）を透過して前記第２コーナーキューブ（６５）に入り、前記第２光線反射部（６２３）で反射され、前記第９平面（６２２）と前記第７平面（６１７）を透過して前記第３プリズム柱体（６３）に入り、前記第５平面（６１５）と前記屈折率整合手段（６８）と前記第４平面（６１３）を透過して前記第２プリズム柱体（６２）に入り、前記ビームスプリッタ（６７）へ向かい、
   前記ビームスプリッタ（６７）へ戻ってきた両方の前記第１の光線（６２０）及び前記第２の光線（６２４）が合わされて干渉し、平行光線（６３０）として前記光線出射面（６１４）を透過して前記光検出手段へ出射するように光路が構成され、
   前記第１プリズム柱体（６１）及び前記第２プリズム柱体（６２）と、前記第３プリズム柱体（６３）及び第１コーナーキューブ（６４）及び第２コーナーキューブ（６５）は、前記第２平面（６１１）及び前記第４平面（６１３）及び前記第１０平面（６２６）と、前記第５平面（６１５）に沿って、光線の光路長変更方向に相対的に移動自在としたことを特徴とするマイケルソン干渉計。

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