JP2001244530A - 超短パルスレーザー発振装置 - Google Patents

超短パルスレーザー発振装置

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JP2001244530A
JP2001244530A JP2000051650A JP2000051650A JP2001244530A JP 2001244530 A JP2001244530 A JP 2001244530A JP 2000051650 A JP2000051650 A JP 2000051650A JP 2000051650 A JP2000051650 A JP 2000051650A JP 2001244530 A JP2001244530 A JP 2001244530A
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light
voltage
resonator
piezoelectric element
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Norihiro Ko
紀宏 耿
Tomoyuki Wada
智之 和田
Hideo Tashiro
英夫 田代
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RIKEN
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Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】回転機構などのような機械的作動部分を設ける
必要をなくして、安定した超短パルスレーザー発振を実
現する。 【解決手段】出射側ミラー１０と全反射１２ミラーとに
より構成されるレーザー共振器と、励起レーザー光Ａを
入射する連続発振レーザー３２と、レーザー発振可能な
波長可変レーザー媒質１８と、波長長可変レーザー媒質
からの出射光Ｂが入射され波長選択用の結晶としての複
屈折性の光音響光学結晶２０と、電圧の印加による歪み
に応じた周波数の音響波を光音響光学結晶に入力する圧
電素子と、電圧を印加する電源２４と、電源が圧電素子
に印加する電圧の周波数を制御する制御手段とを有し、
制御手段により電圧の周波数を制御して、電源により出
射側ミラーと全反射ミラーとの間の距離と一致する周波
数の電圧を圧電素子に印加するとともに、出射側ミラー
１０から出射されるレーザー光をレーザー共振器からの
出射レーザー光Ｃとするようにしたものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、超短パルスレーザ
ー発振装置に関し、さらに詳細には、波長可変な超短パ
ルスレーザー発振装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、レーザー媒質をレーザー共振
器内に配設してモード同期により超短パルスレーザーを
発振する方法が知られている。
【０００３】こうしたレーザー媒質をレーザー共振器内
に配設してモード同期により超短パルスレーザーを発振
する方法を実現する超短パルスレーザー発振装置として
は、例えば、レーザー媒体を収容したレーザー共振器内
に複屈折板などを配設し、この複屈折板などを機械的に
回転することにより、レーザー媒体から出射される出射
光をレーザー媒体に対して反射させて増幅してレーザー
発振を生ぜしめ、レーザー共振器から超短パルスレーザ
ーを出射させるようにした超短パルスレーザー発振装置
が知られている。
【０００４】上記したような従来の超短パルスレーザー
発振装置においては、最初に一度きっかけとなるモード
同期状態を生起させると、その後は、レーザー共振器内
に配設されたレーザー媒質の非線形効果により当該モー
ド同期状態が継続する、所謂、カーレンズモード同期
（自己モード同期）によって超短パルスレーザーの発振
が維持されるものである。
【０００５】しかしながら、上記したような従来の超短
パルスレーザー発振装置を用いた場合においては、機械
的に複屈折板などを回転させるため、レーザー共振器内
にこれらの回転機構を構成する必要があり、装置全体が
大型化せざるを得ないとともに、回転機構にがたつきが
生じた場合には、超短パルスレーザーの発振が行なわれ
ない恐れがあるという問題点があった。
【０００６】また、従来の超短パルスレーザー発振装置
においては、当該超短パルスレーザー発振装置が配設さ
れている室温が数度変化し、当該数度の温度変化に応じ
てレーザー共振器長が数ミクロン変化するとモード同期
状態が維持されなくなるので、安定して超短パルスレー
ザーを発振することができないという問題点があった。
【０００７】一方、従来の波長可変レーザー発振装置、
例えば、光音響光学結晶を用いた波長選択可能なレーザ
ー発振装置において、当該光音響光学結晶に印加される
周波数と共振器の長さとを正確に対応させて、超短パル
スレーザーたるピコ秒モード同期レーザーを発振させる
方法が知られている。
【０００８】しかしながら、上記したような従来の波長
可変レーザー発振装置においては、レーザー発振の際の
波長同調に伴って光音響光学結晶に印加される周波数を
変更しなければならないので、当該光音響光学結晶に印
加される周波数の変更に応じて共振器の長さを変更する
必要が生じ、当該共振器の長さを変更するための機械的
作動部分がレーザー共振器内に構成されることとなって
いた。
【０００９】このため、当該共振器の長さを変更するた
めの機械的作動部分にがたつきが生じた場合には、超短
パルスレーザーたるピコ秒モード同期レーザーの発振が
行なわれない恐れがあるという問題点があった。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記したよ
うな従来の技術の有する問題点に鑑みてなされたもので
あり、その目的とするところは、回転機構などのような
機械的作動部分を設ける必要をなくして、安定した超短
パルスレーザー発振を実現することができるようにした
超短パルスレーザー発振装置を提供しようとするもので
ある。
【００１１】また、本発明の目的とするところは、温度
変化によってレーザー共振器長が数ミリ程度変化して
も、モード同期状態を維持することができるようにした
超短パルスレーザー発振装置を提供しようとするもので
ある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のうち請求項１に記載の発明は、対向して配
置された所定の透過率を有する出射側ミラーと光を透過
させずに反射する全反射ミラーとにより構成されるレー
ザー共振器と、上記レーザー共振器内に励起レーザー光
を入射する連続発振レーザーと、上記レーザー共振器内
に配設された所定範囲の波長域においてレーザー発振可
能な波長可変レーザー媒質と、上記レーザー共振器内に
配設され、上記波長可変レーザー媒質からの出射光が入
射され、波長選択用の結晶としての複屈折の性質を有す
る光音響光学結晶と、上記光音響光学結晶に装着され、
電圧が印加されると当該印加された電圧の周波数に応じ
て歪み、当該歪みに応じた周波数の音響波を上記光音響
光学結晶に入力する圧電素子と、上記圧電素子に電圧を
印加する電源と、上記電源が上記圧電素子に印加する電
圧の周波数を制御する制御手段とを有し、上記制御手段
により上記電源が上記圧電素子に印加する電圧の周波数
を制御して、上記電源により上記出射側ミラーと上記全
反射ミラーとの間の距離と一致する周波数の電圧を上記
圧電素子に印加するとともに、上記出射側ミラーから出
射されるレーザー光を上記レーザー共振器からの出射レ
ーザー光とするようにしたものである。
【００１３】従って、本発明のうち請求項１に記載の発
明によれば、電源により出射側ミラーと全反射ミラーと
の間の距離と一致する周波数の電圧が圧電素子に印加さ
れると、モード同期状態と同様のフェイズ同期状態が生
起され、上記レーザー共振器からの出射レーザー光は、
上記電源の出射側ミラーと全反射ミラーとの間の距離と
一致する周波数に応じた波長の超短パルスレーザー光と
なる。
【００１４】本発明のうち請求項２に記載の発明は、対
向して配置された所定の透過率を有する出射側ミラーと
光を透過させずに反射する全反射ミラーとにより構成さ
れるレーザー共振器と、上記レーザー共振器内に励起レ
ーザー光を入射する連続発振レーザーと、上記レーザー
共振器内に配設された所定範囲の波長域においてレーザ
ー発振可能な波長可変レーザー媒質と、上記レーザー共
振器内に配設され、上記波長可変レーザー媒質からの出
射光が入射され、波長選択用の結晶としての複屈折の性
質を有する光音響光学結晶と、上記光音響光学結晶に装
着され、電圧が印加されると当該印加された電圧の周波
数に応じて歪み、当該歪みに応じた周波数の音響波を上
記光音響光学結晶に入力する圧電素子と、上記圧電素子
に電圧を印加する電源と、上記電源が上記圧電素子に印
加する電圧の周波数を制御する制御手段とを有し、上記
制御手段により上記電源が上記圧電素子に印加する電圧
の周波数を制御し、上記電源が上記出射側ミラーと上記
全反射ミラーとの間の距離と一致する周波数の電圧を上
記圧電素子に印加すると、上記圧電素子が当該印加され
た電圧の周波数に応じて歪み、当該歪みに応じた周波数
の音響波が上記光音響光学結晶に入力され、上記光音響
光学結晶は、入射された上記波長可変レーザー媒質から
の出射光の中で、上記電源の上記出射側ミラーと上記全
反射ミラーとの間の距離と一致する周波数に応じた波長
の出射光に関しては、所定の方向に回折した回折光とし
て出射し、当該回折光を上記出射側ミラーから出射レー
ザー光として出射するようにしたものである。
【００１５】従って、本発明のうち請求項２に記載の発
明によれば、電源により出射側ミラーと全反射ミラーと
の間の距離と一致する周波数の電圧が圧電素子に印加さ
れると、モード同期状態と同様のフェイズ同期状態が生
起され、光音響光学結晶が所定の方向に回折した回折光
たる上記レーザー共振器からの出射レーザー光は、上記
電源の出射側ミラーと全反射ミラーとの間の距離と一致
する周波数に応じた波長の超短パルスレーザー光とな
る。
【００１６】また、本発明のうち請求項３に記載の発明
のように、請求項１または請求項２のいずれか１項に記
載の発明において、上記レーザー共振器内に配設され、
上記光音響光学結晶から出射される回折光の分散を補正
する光学素子を有するようにしてもよい。
【００１７】ここで、上記連続発振レーザーは、連続発
振固体レーザー、連続発振半導体レーザーあるいは連続
発振Ａｒイオン・レーザー、連続発振Ｎｄ固体レーザー
の第２高調波などにより構成することができる。
【００１８】また、上記レーザー共振器は、Ｚホールド
型のレーザー共振器やＸホールド型のレーザー共振器と
して構成することができる。
【００１９】また、上記波長可変レーザー媒質は、その
入射端面がブルースターカットされ、上記レーザー共振
器内の光路に対して上記入射端面がブルースターアング
ルにより配置されるようにしてもよい。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、添付の図面に基づいて、本
発明による超短パルスレーザー発振装置の実施の形態の
一例を詳細に説明するものとする。
【００２１】図１には、本発明の第１の実施の形態によ
る超短パルスレーザー発振装置の概略構成説明図が示さ
れている。
【００２２】この超短パルスレーザー発振装置は、レー
ザー共振器内を往復する光の光路がアルファベットの
「Ｚ」字形状になる、所謂、Ｚホールド型のレーザー共
振器を用いており、このＺホールド型のレーザー共振器
は、所定の透過性（例えば、入射された光の９８％反射
し、２％透過する。）を有する出射側ミラー１０と入射
された光を全反射（１００％反射）する全反射ミラー１
２とを有して構成されている。
【００２３】さらに、Ｚホールド型のレーザー共振器
は、励起レーザー光Ａを入射するとともに出射側ミラー
１０と全反射ミラー１２との間を往復する光Ｂを全反射
する第１中間ミラー１４と、出射側ミラー１０と全反射
ミラー１２との間を往復する光Ｂを全反射する第２中間
ミラー１６とを備えて構成されており、レーザー共振器
内を往復する光Ｂの光路がアルファベットの「Ｚ」字形
状になるように配置されている。
【００２４】なお、出射側ミラー１０と全反射ミラー１
２との間の距離たるレーザー共振器長Ｌは、後述するＲ
Ｆ電源２４の所定の周波数と一致するように設定されて
いる。
【００２５】そして、レーザー共振器の光路上の第１中
間ミラー１４と第２中間ミラー１６との間には、波長可
変レーザー媒質として入射光の入射端面がブルースター
カットされたＴｉ：Ａｌ２Ｏ３レーザー結晶１８が、そ
の入射端面が入射光の反射が０となるブルースターアン
グルにより配置されており、励起レーザー光Ａにより縦
方向同軸励起によりレーザー発振が生じるように構成さ
れている。
【００２６】この図１の超短パルスレーザー発振装置に
示すＺホールド型のレーザー共振器においては、Ｔｉ：
Ａｌ２Ｏ３レーザー結晶１８でレーザー共振器モードは
数十ミクロンまで絞られ、集光ミラー３６によりこの領
域に励起レーザーＡを集光することによって、励起効率
の向上が図られるものである。
【００２７】また、レーザー共振器の光路上の第２中間
ミラー１６と全反射ミラー１２との間には、波長選択用
の結晶としての複屈折の性質を有する光音響光学結晶２
０が配設されている。
【００２８】この光音響光学結晶２０には、音響波入力
手段として、パーソナル・コンピューター２２により周
波数を制御されたＲＦ電源２４により駆動される圧電素
子２６が添着されている。
【００２９】従って、パーソナル・コンピューター２２
の制御により任意の周波数に設定されたＲＦ電源２４に
より圧電素子２６を駆動して、圧電素子２６に歪みを生
じさせると、この圧電素子２６の歪みに基づいて、当該
歪みに応じた周波数の音響波が光音響光学結晶２０に入
力されることになる。そして、光音響光学結晶２０は入
力された音響波に応じた光Ｄのみを回折することにな
る。
【００３０】つまり、圧電素子２６は、出射側ミラー１
０から出射させたい出射レーザー光Ｃの波長を備えた光
Ｂのみを、光音響光学結晶２０が所定の方向に回折した
回折光Ｄとして出射し、レーザー発振することができる
ように、パーソナル・コンピューター２２により光音響
光学結晶２０への音響波の入力が制御されることにな
る。
【００３１】さらに、光音響光学結晶２０と全反射ミラ
ー１２との間には、回折光Ｄの分散を補正するための分
散補正用プリズム２８が配設されている。この分散補正
用プリズム２８を用いることにより、回折光Ｄを全反射
ミラー１２に常時垂直に入射させることができるように
なり、出射レーザー光Ｃの方向性を一定にすることがで
きる。
【００３２】そして、この超短パルスレーザー発振装置
においては、レーザー共振器内へ励起レーザー光Ａを入
射するためのレーザーとして、連続発振Ａｒイオン・レ
ーザー（ＣＷ−Ａｒイオン・レーザー）３２を用いてい
る。
【００３３】なお、ＣＷ−Ａｒイオン・レーザー３２に
代わって、例えば、連続発振レーザー（ＣＷ−レーザ
ー）である連続発振固体レーザーあるいは連続発振半導
体レーザーなどを用いることもできる。
【００３４】即ち、波長可変レーザー媒質として、Ｔ
ｉ：Ａｌ２Ｏ３レーザー結晶１８の代わりに、ＬｉＳＡ
Ｆレーザー結晶、ＬｉＣＡＦレーザー結晶などを用いた
場合には、Ｎｄ：ＹＡＧレーザー、Ｎｄ：ＹＬＦレーザ
ー、Ｎｄ：ＹＵＯ４レーザーなどのＮｄ固体レーザーの
ような固体レーザーの第２高調波を、ＣＷ−Ａｒイオン
・レーザー３２に代わって用いることができる。
【００３５】ＣＷ−Ａｒイオン・レーザー３２によって
発生された励起レーザー光Ａは、全反射ミラー３４によ
り反射されて集光ミラー３６に入射され、集光ミラー３
６により集光されて第１中間ミラー１４を介してＴｉ：
Ａｌ２Ｏ３レーザー結晶１８を縦方向同軸励起するよう
に入射される。
【００３６】ここで、励起レーザー光Ａとしてレーザー
共振器内に入射される、ＣＷ−Ａｒイオン・レーザー３
２のパワーの低い連続発振レーザー光によってレーザー
発振を生じさせるために、光音響光学結晶２０として
は、出射される回折光Ｄの回折効率のできるだけ高い光
音響光学結晶２０を用いる必要がある。
【００３７】以上の構成において、超短パルスレーザー
光を得るには、まず、ＣＷ−Ａｒイオン・レーザー３２
により入射された励起レーザー光Ａを用いてＴｉ：Ａｌ
２Ｏ ３レーザー結晶１８を励起する。
【００３８】一方、パーソナル・コンピューター２２に
よりＲＦ電源２４の周波数を制御し、ＲＦ電源２４によ
り上記したレーザー共振器長Ｌと一致する所定の周波数
の電圧を圧電素子２６に印加して圧電素子２６を振動す
る。
【００３９】この結果、光音響光学結晶２０に入射され
たＴｉ：Ａｌ２Ｏ３レーザー結晶１８から出射された広
範囲の波長帯域の出射光の中で、ＲＦ電源２４の上記レ
ーザー共振器長Ｌと一致する所定の周波数に応じた波長
の出射光に関しては、所定の方向に回折されて回折光Ｄ
として光音響光学結晶２０から出射されることになる。
【００４０】さらに、光音響光学結晶２０から所定の方
向に回折されて出射された回折光Ｄは、分散補正用プリ
ズム２８を介して全反射ミラー１２に入射され、この全
反射ミラー１２によって反射されて、「Ｚ」字形状の光
路によりレーザー共振器内を往復することになる。
【００４１】この際、ＲＦ電源２４が圧電素子２６に印
加した電圧の周波数はレーザー共振器長Ｌと一致する所
定の周波数であるので、光音響光学結晶２０から出射さ
れた回折光Ｄが「Ｚ」字形状の光路によりレーザー共振
器内を往復する時間、即ち、光音響光学結晶２０から出
射された回折光Ｄが全反射ミラー１２によって反射され
て出射側ミラー１０に入射し、そして、出射側ミラー１
０によって反射されて全反射ミラー１２に入射し、再
び、全反射ミラー１２によって反射されて光音響光学結
晶２０に至るタイミングと、Ｔｉ：Ａｌ２Ｏ３レーザー
結晶１８からの出射光が光音響光学結晶２０において所
定の方向に回折されるタイミングとが一致する。
【００４２】従って、ＲＦ電源２４の上記レーザー共振
器長Ｌと一致する所定の周波数に応じた波長の光のみが
増幅されてレーザー発振を生ぜしめ、この超短パルスレ
ーザー発振装置から出射される出射レーザー光Ｃの波長
は、上記レーザー共振器長Ｌと一致する所定の周波数に
応じた波長となる。
【００４３】さらに、当該出射レーザー光Ｃには、モー
ドが存在していないものであるが、出射レーザー光Ｃは
電磁波なので、当該出射レーザー光Ｃを構成する波長そ
れぞれの位相が同期してモード同期状態と同様の状態が
生起されており、出射レーザー光Ｃは超短パルスレーザ
ー光となる（なお、本明細書においては、「モードが存
在していない出射レーザー光Ｃを構成する波長それぞれ
の位相が同期して生起されるモード同期状態と同様の状
態」を「フェイズ同期状態」と適宜称することとす
る。）つまり、上記したようにしてＲＦ電源２４が上記
レーザー共振器長Ｌと一致する所定の周波数を圧電素子
２６に印加することによりフェイズ同期状態が生起さ
れ、ＲＦ電源２４の上記レーザー共振器長Ｌと一致する
所定の周波数に応じた波長の超短パルスレーザー光が出
射される。
【００４４】さらに、ＲＦ電源２４の上記レーザー共振
器長Ｌと一致する所定の周波数が圧電素子２６に印加さ
れることによって生起されたフェイズ同期状態は、モー
ド同期と同様に、最初のきっかけとなるフェイズ同期状
態となり、この後は、この超短パルスレーザー発振装置
のレーザー共振器内に配設されたＴｉ：Ａｌ２Ｏ３レー
ザー結晶１８の非線形効果によって当該フェイズ同期状
態が継続する。
【００４５】つまり、一度フェイズ同期状態が生起され
た後は、ＲＦ電源２４が上記レーザー共振器長Ｌと一致
する所定の周波数を圧電素子２６に印加しなくても、フ
ェイズ同期状態が継続されるものであって、超短パルス
レーザー発振装置からの超短パルスレーザー光の発振が
維持される。
【００４６】従って、出射側ミラー１０から出射させた
い出射レーザー光Ｃの波長、即ち、超短パルスレーザー
光の所望の波長に応じて、ＲＦ電源２４の周波数を変更
すると、この超短パルスレーザー発振装置から出射され
る超短パルスレーザー光の波長が光音響光学結晶２０に
よって変更され、所望の波長の超短パルスレーザー光を
出射させることができる。
【００４７】このため、本発明による超短パルスレーザ
ー発振装置の第１の実施の形態においては、以下に示す
（１）乃至（７）に説明するような効果を奏するもので
ある。
【００４８】（１）本発明による超短パルスレーザー発
振装置の第１の実施の形態においては、パーソナル・コ
ンピュータ２２の制御により、ＲＦ電源２４が上記レー
ザー共振器長Ｌと一致する所定の周波数を圧電素子２６
に印加するような電気的調整によって超短パルスレーザ
ーが発振されることになるので、回転機構などのような
機械的作動部分を設ける必要はなくなり、装置全体の大
型化や、回転機構にがたつきが生じた場合に超短パルス
レーザーの発振が行なわれない恐れなどを排除すること
ができ、安定した超短パルスレーザー発振を実現するこ
とができる。
【００４９】（２）本発明による超短パルスレーザー発
振装置の第１の実施の形態においては、ＲＦ電源２４が
上記レーザー共振器長Ｌと一致する所定の周波数を圧電
素子２６に印加した場合に光音響光学結晶２０によって
フェイズ同期状態が生起されるので、能動モード同期の
ように、安定した超短パルスレーザー発振を実現するこ
とができる。
【００５０】（３）本発明による超短パルスレーザー発
振装置の第１の実施の形態においては、当該超短パルス
レーザー発振装置が配設されている室温が数度変化し、
当該室温の数度の変化に応じてレーザー共振器長Ｌが数
ミクロン変化した場合においても、フェイズ同期状態は
維持されるので、安定して超短パルスレーザーを発振す
ることができる。
【００５１】具体的には、図１に示す超短パルスレーザ
ー発振装置を用いた実験結果では、レーザー共振器長Ｌ
が数ミリの範囲で変化した場合においてもフェイズ同期
状態が維持されて、超短パルスレーザーの発振が継続し
て行われる。
【００５２】（４）本発明による超短パルスレーザー発
振装置の第１の実施の形態においては、超短パルスレー
ザー光たる出射レーザー光Ｃの波長選択を、パーソナル
・コンピューター２２の制御によりＲＦ電源２４の電圧
の周波数を選択して、ＲＦ電源２４により圧電素子２６
を振動させることで実現できるようにしたので、レーザ
ー発振の際の波長同調を高速に行うことができるように
なって、超短パルスレーザー光の高速かつランダムな波
長選択が可能となり、結果として、超短パルスレーザー
光の波長可変速度を高速化することができる。
【００５３】（５）本発明による超短パルスレーザー発
振装置の第１の実施の形態においては、分散補正用プリ
ズム２８が設けられているため、回折光Ｄの回折角度の
分散が補正されることになる。回折光Ｄの回折角度の分
散があるとレーザー共振器内で光の光路が変わることに
なり、波長可変域に制限を受けることになるが、分散補
正用プリズム２８を設けることにより、こうした問題点
を解消することができる。さらに、それと同時に、波長
同調時に起きる超短パルスレーザー光たる出射レーザー
光Ｃの出射方向の変動も補正することができる。
【００５４】（６）本発明による超短パルスレーザー発
振装置の第１の実施の形態においては、レーザー共振器
の構成をＺホールド型に構成して、励起レーザー光Ａを
集光ミラー３６により集光してＴｉ：Ａｌ２Ｏ３レーザ
ー結晶１８へ入射するようにしたので、パワーの低いＣ
Ｗ−Ａｒイオン・レーザー３２による励起レーザー光Ａ
によっても、十分にレーザー発振を生じさせることがで
きる。
【００５５】（７）本発明による超短パルスレーザー発
振装置の第１の実施の形態においては、ＲＦ電源２４が
上記レーザー共振器長Ｌと一致する所定の周波数を圧電
素子２６に印加した場合には、光音響光学結晶２０はモ
ード同期状態と同様のフェイズ同期状態を生起するモー
ドロッカーとしての作用を奏し、また、ＲＦ電源２４が
出射側ミラー１０から出射させたい超短パルスレーザー
光の所望の波長に応じた周波数を圧電素子２６に印加し
た場合には、光音響光学結晶２０は波長可変選択のデバ
イスとしての作用を奏するものである。
【００５６】従って、光音響光学結晶２０ひとつのデバ
イスで、モードロッカーと波長可変選択のデバイスとの
２つのデバイスを兼ねることができ、本発明による超短
パルスレーザー発振装置は波長選択可能なレーザー発振
装置としても用いることができる。
【００５７】このため、超短パルスレーザー発振装置か
ら発振される超短パルスレーザー光の波長を変更するこ
とが可能なことは勿論、超短パルスレーザー発振装置か
ら発振される超短パルスレーザーの波長を変更するのに
際して、光音響光学結晶２０が波長可変選択のデバイス
とての作用を奏するので、当該共振器の長さを変更する
ための機械的作動部分を設ける必要がないとともに、超
短パルスレーザーの波長の変更に応じてレーザー共振器
の再構成を行う必要がない。
【００５８】次に、図１に示す超短パルスレーザー発振
装置を用いて、以下の実験条件により実験した結果につ
いて説明する。
【００５９】（実験条件） 励起レーザー光Ａ：波長５１４．４８８ｎｍ、最大出力
４．３Ｗの連続発振レーザー光 出射側ミラー１０：シグナル光の波長において９８％反
射（即ち、透過率２％） 全反射ミラー１２：シグナル光の波長において９９．８
％反射 図２は、上記した実験条件において図１に示す超短パル
スレーザー発振装置から発振されたパルストレイン（ｐ
ｕｌｓｅ ｔｒａｉｎ）を示すグラフであり、図３は、
図２に示すパルストレインのオートコリレーションによ
るオートコリレーションカーブを示すグラフであり、図
４は、出射レーザー光のエネルギーと波長との関係を示
すグラフであり、図５は、出射レーザー光のパルス幅と
波長との関係を示すグラフである。
【００６０】これら図２乃至図５に示されるように、図
１に示す超短パルスレーザー発振放置を用いると、波長
約７００ｎｍ乃至１０００ｎｍでパルス幅１６×１０
−１２秒の超短パルスレーザー光を発振することができ
る。
【００６１】また、当該超短パルスレーザー光のエネル
ギーは当該超短パルスレーザー光の波長に依存するもの
であり、波長約８２０ｎｍにおいて当該超短パルスレー
ザーは約１３０ｍＷのエネルギーを有する。
【００６２】一方、当該超短パルスレーザー光のパルス
幅は波長に依存しないものであり、当該超短パルスレー
ザーのパルス幅は約１２ｐｓである。
【００６３】図６には、本発明の第２の実施の形態によ
る超短パルスレーザー発振装置の概略構成説明図が示さ
れているが、図１に示す本発明の第１の実施の形態によ
る超短パルスレーザー発振装置の構成と同一あるいは相
当する構成には、図１と同一の符号を付して示すことに
より、その詳細な説明は省略する。
【００６４】この第２の実施の形態に示す超短パルスレ
ーザー発振装置は、レーザー共振器の構成が、所謂、Ｘ
ホールド型とされている点において、第１の実施の形態
に示す超短パルスレーザー発振装置と相違する。
【００６５】また、光音響光学結晶２０と出射側ミラー
１２との間の構成Ｐとしては、分散補正用プリズム２８
に加えてプリズム４０、４２ならびに波長板４４とが配
設されている。これにより、回折光Ｄの全反射ミラー１
２への入射方向を制限することができるようになり、出
射レーザー光Ｃの方向性を一定にすることができる。
【００６６】この第２の実施の形態に示す超短パルスレ
ーザー発振装置に用いたＸホールド型のレーザー共振器
においても、励起レーザー光Ａは、集光ミラー３６によ
り集光されてＴｉ：Ａｌ２Ｏ３レーザー結晶１８へ入射
されるので、パワーの低いＣＷ−Ａｒイオン・レーザー
３２による励起レーザー光Ａによっても、十分にレーザ
ー発振を生じさせることができ、しかも、このＸホール
ド型のレーザー共振器によれば、Ｚホールド型のレーザ
ー共振器に比べて、レーザー共振器の構成をコンパクト
にすることができる。
【００６７】勿論、この第２の実施の形態による超短パ
ルスレーザー発振装置においても、第１の実施の形態に
おいて説明した上記（１）乃至（７）の効果を奏するも
のである。
【００６８】また、上記した第１の実施の形態の超短パ
ルスレーザー発振装置と同様の実験条件により同様の実
験結果（図２乃至図５参照）を得ることができる。
【００６９】なお、上記した実施の形態は、以下の
（イ）乃至（ハ）に説明するように適宜に変形してもよ
い。
【００７０】（イ）図７に示すように、図１における全
反射ミラー１２を出射側ミラー１０により置換するとと
もに、図１における出射側ミラー１０および第１中間ミ
ラー１４を排除し、その代わりに励起レーザー光Ａが入
射される側のＴｉ：Ａｌ２Ｏ ３レーザー結晶１８の端面
に、励起レーザー光Ａを入射するとともにＴｉ：Ａｌ ２
Ｏ３レーザー結晶１８から出射される光を反射する鏡面
コーティング５０を施すようにしてもよい。
【００７１】このようにすると、鏡面コーティング５０
と出射側ミラー１０とによりレーザー共振器が構成され
ることになり、このため、構成部品点数を削減すること
ができ、装置全体を小型化することができるとともに、
コスト低減を図ることができる。
【００７２】（ロ）図８に示すように、Ｔｉ：Ａｌ２Ｏ
３レーザー結晶１８の入射光の入射端面をブルースター
カットしてブルースターアングルで配置するのではな
く、Ｔｉ：Ａｌ２Ｏ３レーザー結晶１８を垂直入射カッ
トするとともに無反射コーティング５２を施し、励起レ
ーザー光Ａが垂直に入射されるように配置してもよい。
【００７３】このように、Ｔｉ：Ａｌ２Ｏ３レーザー結
晶１８を励起レーザー光Ａが垂直に入射されるように配
置する場合には、ブルースターアングルに配置する場合
に比べてセッティングが容易であり、角度の分散も小さ
く広い波長領域を得ることができる。
【００７４】（ハ）図９に示すように、図１における出
射側ミラー１０を１００％反射の全反射ミラー５４によ
り置換し、非回折光Ｅを出射レーザー光Ｃとして出射す
るようにしてもよい。
【００７５】このようにすると、透過性の出射側ミラー
１０を用いることがないでので、第１の実施の形態に示
す超短パルスレーザー発振装置と比べて、レーザー共振
器による光の損失を低減させることができ、光音響光学
結晶２０から出射される回折光Ｄと非回折光Ｅとの割合
は、例えば、回折光Ｄが９８％であり、非回折光Ｅが２
％であるように設定することができるようになり、第１
の実施の形態に示す超短パルスレーザー発振装置より
も、回折光Ｄの割合を小さくすることができる。
【００７６】従って、第１の実施の形態に示す超短パル
スレーザー発振装置よりも、光音響光学結晶２０や分散
補正用プリズム２８のセッティング、パーソナル・コン
ピューター２２を用いたＲＦ電源２４による圧電素子２
６の制御などの余裕度を向上することができる。
【００７７】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、回転機構などのような機械的作動部分を設
ける必要をなくして、安定した超短パルスレーザー発振
を実現することができるという優れた効果を奏する。
【００７８】また、温度変化によってレーザー共振器長
が数ミリ程度変化しても、モード同期状態を維持するこ
とができるという優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態による超短パルスレ
ーザー発振装置の概略構成説明図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態による超短パルスレ
ーザー発振装置を用いた実験における、パルストレイン
（ｐｕｌｓｅ ｔｒａｉｎ）を示すグラフである。
【図３】図２に示すパルストレインのオートコリレーシ
ョンによるオートコリレーションカーブを示すグラフで
ある。
【図４】本発明の第１の実施の形態による超短パルスレ
ーザー発振装置を用いた実験における、出射レーザー光
のエネルギーと波長との関係を示すグラフである。
【図５】本発明の第１の実施の形態による超短パルスレ
ーザー発振装置を用いた実験における、出射レーザー光
のパルス幅と波長との関係を示すグラフである。
【図６】本発明の第２の実施の形態による超短パルスレ
ーザー発振装置の概略構成説明図である。
【図７】本発明による超短パルスレーザー発振装置の他
の実施の形態を示す概略構成説明図である。
【図８】本発明による超短パルスレーザー発振装置の他
の実施の形態を示す概略構成説明図である。
【図９】本発明による超短パルスレーザー発振装置の他
の実施の形態を示す概略構成説明図である。
【符号の説明】
１０ 出射側ミラー １２ 全反射ミラー １４ 第１中間ミラー １６ 第２中間ミラー １８ Ｔｉ：Ａｌ２Ｏ３レーザー結晶 ２０ 光音響光学結晶 ２２ パーソナル・コンピューター ２４ ＲＦ電源 ２６ 圧電素子 ２８ 分散補正用プリズム ３２ ＣＷ−Ａｒイオン・レーザー ３４ 全反射ミラー ３６ 集光ミラー ４０、４２ プリズム ４４ 波長板 ５０ 鏡面コーティング ５２ 無反射コーティング ５４ 全反射ミラー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 500088047 田代 英夫 東京都文京区西片１−７−21 (72)発明者 耿 紀宏 埼玉県和光市本町20−25−407 (72)発明者 和田 智之 埼玉県志木市柏町１−６−14 (72)発明者 田代 英夫 東京都文京区西片１−７−21 Ｆターム(参考） 5F072 AB20 KK30 PP10 RR01 SS08

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 対向して配置された所定の透過率を有す
    る出射側ミラーと光を透過させずに反射する全反射ミラ
    ーとにより構成されるレーザー共振器と、 前記レーザー共振器内に励起レーザー光を入射する連続
    発振レーザーと、 前記レーザー共振器内に配設された所定範囲の波長域に
    おいてレーザー発振可能な波長可変レーザー媒質と、 前記レーザー共振器内に配設され、前記波長可変レーザ
    ー媒質からの出射光が入射され、波長選択用の結晶とし
    ての複屈折の性質を有する光音響光学結晶と、 前記光音響光学結晶に装着され、電圧が印加されると該
    印加された電圧の周波数に応じて歪み、該歪みに応じた
    周波数の音響波を前記光音響光学結晶に入力する圧電素
    子と、 前記圧電素子に電圧を印加する電源と、 前記電源が前記圧電素子に印加する電圧の周波数を制御
    する制御手段とを有し、 前記制御手段により前記電源が前記圧電素子に印加する
    電圧の周波数を制御して、前記電源により前記出射側ミ
    ラーと前記全反射ミラーとの間の距離と一致する周波数
    の電圧を前記圧電素子に印加するとともに、前記出射側
    ミラーから出射されるレーザー光を前記レーザー共振器
    からの出射レーザー光とすることを特徴とする超短パル
    スレーザー発振装置。
  2. 【請求項２】 対向して配置された所定の透過率を有す
    る出射側ミラーと光を透過させずに反射する全反射ミラ
    ーとにより構成されるレーザー共振器と、 前記レーザー共振器内に励起レーザー光を入射する連続
    発振レーザーと、 前記レーザー共振器内に配設された所定範囲の波長域に
    おいてレーザー発振可能な波長可変レーザー媒質と、 前記レーザー共振器内に配設され、前記波長可変レーザ
    ー媒質からの出射光が入射され、波長選択用の結晶とし
    ての複屈折の性質を有する光音響光学結晶と、 前記光音響光学結晶に装着され、電圧が印加されると該
    印加された電圧の周波数に応じて歪み、該歪みに応じた
    周波数の音響波を前記光音響光学結晶に入力する圧電素
    子と、 前記圧電素子に電圧を印加する電源と、 前記電源が前記圧電素子に印加する電圧の周波数を制御
    する制御手段とを有し、 前記制御手段により前記電源が前記圧電素子に印加する
    電圧の周波数を制御し、前記電源が前記出射側ミラーと
    前記全反射ミラーとの間の距離と一致する周波数の電圧
    を前記圧電素子に印加すると、前記圧電素子が該印加さ
    れた電圧の周波数に応じて歪み、該歪みに応じた周波数
    の音響波が前記光音響光学結晶に入力され、前記光音響
    光学結晶は、入射された前記波長可変レーザー媒質から
    の出射光の中で、前記電源の前記出射側ミラーと前記全
    反射ミラーとの間の距離と一致する周波数に応じた波長
    の出射光に関しては、所定の方向に回折した回折光とし
    て出射し、該回折光を前記出射側ミラーから出射レーザ
    ー光として出射することを特徴とする超短パルスレーザ
    ー発振装置。
  3. 【請求項３】 請求項１または請求項２のいずれか１項
    に記載の超短パルスレーザー発振装置において、 前記レーザー共振器内に配設され、前記光音響光学結晶
    から出射される回折光の分散を補正する光学素子を有す
    ることを特徴とする超短パルスレーザー発振装置。
  4. 【請求項４】 請求項１、請求項２または請求項３のい
    ずれか１項に記載の超短パルスレーザー発振装置におい
    て、 前記連続発振レーザーが、連続発振固体レーザーである
    ことを特徴とする超短パルスレーザー発振装置。
  5. 【請求項５】 請求項１、請求項２または請求項３のい
    ずれか１項に記載の超短パルスレーザー発振装置におい
    て、 前記連続発振レーザーが、連続発振半導体レーザーであ
    ることを特徴とする超短パルスレーザー発振装置。
  6. 【請求項６】 請求項１、請求項２または請求項３のい
    ずれか１項に記載の超短パルスレーザー発振装置におい
    て、 前記連続発振レーザーが、連続発振Ａｒイオン・レーザ
    ーであることを特徴とする超短パルスレーザー発振装
    置。
  7. 【請求項７】 請求項１、請求項２または請求項３のい
    ずれか１項に記載の超短パルスレーザー発振装置におい
    て、 前記連続発振レーザーが、連続発振Ｎｄ固体レーザーの
    第２高調波であることを特徴とする超短パルスレーザー
    発振装置。
  8. 【請求項８】 請求項１、請求項２、請求項３、請求項
    ４、請求項５、請求項６または請求項７のいずれか１項
    に記載の超短パルスレーザー発振装置において、 前記レーザー共振器は、Ｚホールド型のレーザー共振器
    であることを特徴とする超短パルスレーザー発振装置。
  9. 【請求項９】 請求項１、請求項２、請求項３、請求項
    ４、請求項５、請求項６または請求項７のいずれか１項
    に記載の超短パルスレーザー発振装置において、 前記レーザー共振器は、Ｘホールド型のレーザー共振器
    であることを特徴とする超短パルスレーザー発振装置。
  10. 【請求項１０】 請求項１、請求項２、請求項３、請求
    項４、請求項５、請求項６、請求項７、請求項８または
    請求項９のいずれか１項に記載の超短パルスレーザー発
    振装置において、 前記波長可変レーザー媒質は入射端面をブルースターカ
    ットされ、前記レーザー共振器内の光路に対して前記入
    射端面がブルースターアングルにより配置されたことを
    特徴とする超短パルスレーザー発振装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010067698A (ja) * 2008-09-09 2010-03-25 Megaopto Co Ltd ファイバーレーザー共振器およびファイバーレーザー共振器を用いたレーザー発振方法
JP2013502725A (ja) * 2009-08-20 2013-01-24 ニューポート・コーポレイション レーザシステムのための角度ビーム調整システムおよび方法
JP2017510081A (ja) * 2014-04-01 2017-04-06 アイピージー フォトニクス コーポレーション 垂直入射取付けの多結晶ｔｍ：ｉｉ−ｖｉ材料を有する中赤外線カーレンズモードロックレーザー及び、多結晶ｔｍ：ｉｉ−ｖｉカーレンズモードロックレーザーのパラメータを制御するための方法

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19911103B4 (de) * 1999-03-12 2005-06-16 MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. Erzeugung stabilisierter, ultrakurzer Lichtpulse und deren Anwendung zur Synthese optischer Frequenzen
JP2003037318A (ja) * 2001-07-24 2003-02-07 Sony Corp 光通信装置、光通信情報解読方法、光交換システム、光交換システムの駆動方法
JP2006171624A (ja) * 2004-12-20 2006-06-29 Institute Of Physical & Chemical Research テラヘルツ波発生システム
RU2453856C1 (ru) * 2011-02-22 2012-06-20 Открытое акционерное общество "Обнинское научно-производственное предприятие "Технология" (ОАО "ОНПП "Технология") Устройство для определения диэлектрической проницаемости образца материала при воздействии внешних факторов
CN110994339A (zh) * 2019-12-06 2020-04-10 山东省科学院激光研究所 一种宽调谐的窄线宽全固态拉曼激光器
CN112260051B (zh) * 2020-10-31 2023-06-09 罗根激光科技（武汉）有限公司 一种1342nm红外固体激光器
US20230223732A1 (en) * 2022-01-12 2023-07-13 Electronics And Telecommunications Research Institute Laser device and optical apparatus including the same

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4269509A (en) * 1978-05-26 1981-05-26 Allied Chemical Corporation Photoacoustic Raman spectroscopy
US4255971A (en) * 1978-11-01 1981-03-17 Allan Rosencwaig Thermoacoustic microscopy
US4543486A (en) * 1983-05-20 1985-09-24 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Method and apparatus for using a photoacoustic effect for controlling various processes utilizing laser and ion beams, and the like
JPH034579A (ja) 1989-06-01 1991-01-10 Hamamatsu Photonics Kk 波長可変レーザ用モードロック装置
US5706094A (en) * 1995-08-25 1998-01-06 Brown University Research Foundation Ultrafast optical technique for the characterization of altered materials
JP3421184B2 (ja) * 1995-12-19 2003-06-30 理化学研究所 波長可変レーザーにおける波長選択方法および波長可変レーザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置
JP3421193B2 (ja) 1996-04-30 2003-06-30 理化学研究所 波長可変レーザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置
JP3421194B2 (ja) * 1996-04-30 2003-06-30 理化学研究所 波長可変レーザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置
JP3567234B2 (ja) 1996-11-19 2004-09-22 独立行政法人理化学研究所 分光測定方法及び分光測定装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010067698A (ja) * 2008-09-09 2010-03-25 Megaopto Co Ltd ファイバーレーザー共振器およびファイバーレーザー共振器を用いたレーザー発振方法
JP2013502725A (ja) * 2009-08-20 2013-01-24 ニューポート・コーポレイション レーザシステムのための角度ビーム調整システムおよび方法
US8942266B2 (en) 2009-08-20 2015-01-27 Newport Corporation Angular beam adjustment systems and methods for laser systems
US9627841B2 (en) 2009-08-20 2017-04-18 Newport Corporation Angular beam adjustment systems and methods for laser systems
JP2017510081A (ja) * 2014-04-01 2017-04-06 アイピージー フォトニクス コーポレーション 垂直入射取付けの多結晶ｔｍ：ｉｉ−ｖｉ材料を有する中赤外線カーレンズモードロックレーザー及び、多結晶ｔｍ：ｉｉ−ｖｉカーレンズモードロックレーザーのパラメータを制御するための方法

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