JP2001243878A - Method of producing barrier rib for plasma display panel - Google Patents

Method of producing barrier rib for plasma display panel

Info

Publication number
JP2001243878A
JP2001243878A JP2000055931A JP2000055931A JP2001243878A JP 2001243878 A JP2001243878 A JP 2001243878A JP 2000055931 A JP2000055931 A JP 2000055931A JP 2000055931 A JP2000055931 A JP 2000055931A JP 2001243878 A JP2001243878 A JP 2001243878A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin
barrier
pattern
display panel
plasma display
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000055931A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroyuki Tanaka
裕之 田仲
Ikuo Mukai
郁夫 向
Yoshiyuki Horibe
芳幸 堀部
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Showa Denko Materials Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Chemical Co Ltd filed Critical Hitachi Chemical Co Ltd
Priority to JP2000055931A priority Critical patent/JP2001243878A/en
Publication of JP2001243878A publication Critical patent/JP2001243878A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a simple method for producing highly strong barrier rib for a plasma display panel. SOLUTION: A photosensitive resin composition layer is formed on a substrate, exposure is applied thereto via a predetermined pattern mask and non- exposed portions are removed by development to form a resin pattern. A barrier rib material powder having a surface layer coated with a thermosetting resin is filled between the resin patterns. The barrier rib material powder coated with the thermosetting resin is heated to be fused and hardened, and then calcinated, after the resin patterns are removed, to produce the barrier rib for the plasma display panel.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、コンピューター端
末や壁掛けテレビ、券売機において文字情報や映像情報
の表示装置として使用されるプラズマディスプレイパネ
ル(以下、PDPと略す)の障壁(バリアーリブ)の製
造法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a barrier rib of a plasma display panel (hereinafter abbreviated as PDP) used as a display device for character information and video information in a computer terminal, a wall-mounted television, and a ticket vending machine. About.

【0002】[0002]

【従来の技術】PDPは、透明電極が形成される前面板
と、データ電極と絶縁膜が形成される背面板の二枚の絶
縁板(以下ガラス板と略す)の内側に障壁、蛍光体が形
成された構造よりなる。該障壁は直行する透明電極群と
データ電極群との間に一定空間を保持したセル構造を形
成し、さらにNe、Xe等の稀ガスが封入され、該透明
電極とデータ電極の交差部が印加電圧により放電、蛍光
体が発光する画素が形成され画像を表示する。上記の障
壁は、その高さ、幅、パターンギャップによってセル間
での誤放電を防止し一定の放電区間を得るための機能を
有している。上記の障壁の製造方法として、IC回路基
板等の形成に広く利用されている感光性材料を使用した
フォトリソグラフ法が大型化、微細化したパネルの障壁
を高い精度で形成できることから精力的に検討されてい
る。
2. Description of the Related Art A PDP has a barrier and a fluorescent material inside two insulating plates (hereinafter abbreviated as a glass plate) of a front plate on which a transparent electrode is formed and a rear plate on which a data electrode and an insulating film are formed. Consists of a formed structure. The barrier forms a cell structure that maintains a certain space between the transparent electrode group and the data electrode group that are orthogonal to each other, and is filled with a rare gas such as Ne or Xe, and the intersection of the transparent electrode and the data electrode is applied. Pixels that discharge and emit light from the phosphor by the voltage are formed to display an image. The barrier has a function of preventing erroneous discharge between cells and obtaining a constant discharge section by its height, width, and pattern gap. As a method of manufacturing the above-mentioned barrier, a photolithographic method using a photosensitive material widely used for forming an IC circuit board and the like is vigorously studied because a large-sized, fine-walled panel barrier can be formed with high precision. Have been.

【0003】例えば、特開平05−234514号公報
では、感光性樹脂組成物フィルムを基板上に積層し所定
のパターンマスクを介して露光し、その後非露光部を現
像により除去することで樹脂パターンを形成し、該樹脂
パターンと樹脂パターンの間に障壁材料をスクリーン印
刷法により埋込み、乾燥後に該樹脂パターンをアルカリ
剥離液により剥離除去して障壁を形成する方法が提案さ
れ、この方法をアディティブ法と記載している。
[0003] For example, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 05-234514, a photosensitive resin composition film is laminated on a substrate, exposed through a predetermined pattern mask, and then a non-exposed portion is removed by development to remove the resin pattern. A method of forming a barrier material between the resin pattern and the resin pattern by a screen printing method, and after drying, forming a barrier by peeling and removing the resin pattern with an alkaline peeling solution, is proposed. It has been described.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、アディティブ
法は樹脂パターン間に障壁材料を埋め込んだ際パターン
上部に障壁材料が付着して、はく離の前工程としてパタ
ーン上部の障壁材料を研磨除去する必要があり、本発明
は、この問題に鑑みなされたものである。
However, in the additive method, when a barrier material is buried between resin patterns, the barrier material adheres to the upper portion of the pattern, and it is necessary to polish and remove the barrier material on the upper portion of the pattern as a pre-step of peeling. Thus, the present invention has been made in view of this problem.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明は、感光性樹脂組
成物層を基板上に形成し所定のパターンマスクを介して
露光し、非露光部を現像により除去して樹脂パターンを
形成し、該樹脂パターンと樹脂パターンの間に表層を熱
硬化性樹脂でコーティングして障壁材料粉を充填し、つ
いで、加熱して熱硬化性樹脂でコーティングした障壁材
料粉を融着、硬化させた後、該樹脂パターンを除去し、
焼成するプラズマディスプレイパネルの障壁の製造法
(以下、第1の発明とする)に関する。また、本発明
は、第1の発明において熱硬化性樹脂をフェノール系樹
脂としたプラズマディスプレイパネルの障壁の製造法
(以下、第2の発明とする)に関する。また、本発明
は、第1の発明において熱硬化性樹脂をエポキシ系樹脂
としたプラズマディスプレイパネルの障壁の製造法(以
下、第3の発明とする)に関する。第1の発明は、プラ
ズマディスプレイパネルの障壁の簡便な製造法を提供す
るものである。第2および第3の発明は、プラズマディ
スプレイパネルの障壁の簡便かつ形状良く製造する方法
を提供するものである。
According to the present invention, a resin pattern is formed by forming a photosensitive resin composition layer on a substrate, exposing it through a predetermined pattern mask, and removing an unexposed portion by development. The surface layer between the resin pattern and the resin pattern is coated with a thermosetting resin to fill the barrier material powder, and then heated to fuse and cure the barrier material powder coated with the thermosetting resin, and then cured. Removing the resin pattern,
The present invention relates to a method for manufacturing a barrier of a plasma display panel to be fired (hereinafter, referred to as a first invention). Further, the present invention relates to a method for manufacturing a barrier of a plasma display panel in which the thermosetting resin is a phenolic resin in the first invention (hereinafter referred to as a second invention). The present invention also relates to a method for manufacturing a barrier of a plasma display panel using a thermosetting resin as an epoxy resin in the first invention (hereinafter referred to as a third invention). The first invention is to provide a simple method for manufacturing a barrier of a plasma display panel. The second and third inventions provide a method for manufacturing a barrier of a plasma display panel simply and with good shape.

【0006】[0006]

【発明の実施の形態】本発明の障壁の製造法は、感光性
樹脂組成物層を基板上に形成し所定のパターンマスクを
介して露光し、その後非露光部を現像により除去するこ
とで樹脂パターンを形成し、該樹脂パターンと樹脂パタ
ーンの間に表層を熱硬化性樹脂でコーティングした障壁
材料粉を充填させ次いで、加熱し焼成される。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The barrier manufacturing method of the present invention comprises forming a photosensitive resin composition layer on a substrate, exposing the same through a predetermined pattern mask, and then removing the unexposed portion by developing. A pattern is formed, a barrier material powder having a surface layer coated with a thermosetting resin is filled between the resin patterns, and then heated and fired.

【0007】本発明で使用される基板は、特に制限はな
く例えば、セラミック板、プラスチック板、ガラス板等
が挙げられる。この基板上には、絶縁層、電極、保護層
等が設けられてもよい。基板上に感光性樹脂組成物層を
形成する方法としては、感光性樹脂組成物を基板上に直
接塗布し、必要に応じて乾燥する方法、感光性フィルム
を用いラミネータにより感光性フィルムの感光性樹脂層
を基板上に転写することにより設ける方法等があるが、
環境衛生の点、樹脂パターンの膜厚(高さ)を大きくで
きる点等から、後者の感光性フィルムを用いる方法が好
ましい。感光性樹脂組成物の塗布法としてはスピンコー
ト法、マイヤーバーコート法、スプレーコート法、ナイ
フコート法、ロールコート法等があげられる。
[0007] The substrate used in the present invention is not particularly limited, and examples thereof include a ceramic plate, a plastic plate, and a glass plate. On this substrate, an insulating layer, an electrode, a protective layer and the like may be provided. As a method of forming the photosensitive resin composition layer on the substrate, a method in which the photosensitive resin composition is directly applied on the substrate and dried if necessary, and the photosensitive film is formed by a laminator using a photosensitive film. There is a method of providing a resin layer by transferring it on a substrate, and the like.
From the viewpoint of environmental hygiene and the ability to increase the thickness (height) of the resin pattern, the latter method using a photosensitive film is preferred. Examples of the method for applying the photosensitive resin composition include a spin coating method, a Meyer bar coating method, a spray coating method, a knife coating method, and a roll coating method.

【0008】感光性フィルムは、支持フィルムおよび感
光性樹脂層を有するもので、例えば、ポリエチレンテレ
フタレートフィルム等の支持フィルム上に感光性樹脂組
成物を塗布し、必要に応じて乾燥して感光性樹脂組成物
層を形成することにより製造される。通常、感光性樹脂
組成物層は未硬化であり、柔軟で粘着性を有するため、
この層の上にポリエチレンフィルム等の保護フィルムを
貼りあわせて、外部からの損傷、異物の付着を防止して
いる。感光性樹脂組成物層の厚さは、特に制限ないが、
形成しようとする樹脂パターンを容易に厚膜化できる観
点から15μm以上とすることが好ましく、上限は通常
250μmとされる。
The photosensitive film has a support film and a photosensitive resin layer. For example, a photosensitive resin composition is coated on a support film such as a polyethylene terephthalate film and dried if necessary to form a photosensitive resin. It is manufactured by forming a composition layer. Usually, since the photosensitive resin composition layer is uncured, flexible and tacky,
A protective film such as a polyethylene film is stuck on this layer to prevent external damage and adhesion of foreign matter. The thickness of the photosensitive resin composition layer is not particularly limited,
The thickness is preferably 15 μm or more from the viewpoint of easily increasing the thickness of the resin pattern to be formed, and the upper limit is usually 250 μm.

【0009】感光性樹脂組成物としては、特に制限がな
く公知のものを使用でき、ネガ型感光性樹脂組成物、ポ
ジ型感光性樹脂組成物等を使用することができ、ネガ型
感光性樹脂組成物を用いることが取り扱いのし易さなど
の点でより好ましい。ネガ型感光性樹脂組成物として
は、例えば、(a)エチレン性不飽和化合物、(b)カ
ルボキシル基含有フィルム性付与ポリマおよび(c)光
重合開始剤を必須成分として含有し、必要に応じて、
(d)染料または顔料、(e)その他添加物、(f)有
機溶剤を含む光重合型の組成物が挙げられる。
The photosensitive resin composition is not particularly limited and known ones can be used. Negative photosensitive resin compositions, positive photosensitive resin compositions and the like can be used. It is more preferable to use the composition in terms of easy handling. As the negative photosensitive resin composition, for example, (a) an ethylenically unsaturated compound, (b) a carboxyl group-containing film-imparting polymer and (c) a photopolymerization initiator are contained as essential components. ,
Photopolymerizable compositions containing (d) a dye or pigment, (e) other additives, and (f) an organic solvent.

【0010】以上のような感光性樹脂組成物を用いて基
板上に形成された感光性樹脂組成物層は、所定パターン
のネガマスクを通して活性光線を照射する等によりパタ
ーン状に露光され、必要に応じて加熱された後、現像に
より感光性樹脂組成物層が選択的に除去されて基板上に
複数の樹脂パターンが形成される。
The photosensitive resin composition layer formed on the substrate using the above-described photosensitive resin composition is exposed in a pattern by, for example, irradiating active light through a negative mask having a predetermined pattern. After heating, the photosensitive resin composition layer is selectively removed by development to form a plurality of resin patterns on the substrate.

【0011】現像方法には、特に制限はなく、ウエット
現像、ドライ現像等が挙げられる。ウエット現像の場合
は、感光性樹脂組成物に対応した現像液を用いる。現像
液としては、例えば、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム等
の弱アルカリ性の希薄水溶液が挙げられ、現像方式は、
浸漬方式、スプレイ方式等が挙げられる。また、現像後
に基板上に形成された樹脂パターンを、強度、耐溶剤性
等の向上の目的で加熱および/または露光してもよい。
The developing method is not particularly limited, and includes wet development, dry development and the like. In the case of wet development, a developer corresponding to the photosensitive resin composition is used. Examples of the developer include a weakly alkaline diluted aqueous solution such as sodium carbonate and potassium carbonate.
Examples include an immersion method and a spray method. Further, the resin pattern formed on the substrate after the development may be heated and / or exposed for the purpose of improving strength, solvent resistance and the like.

【0012】次に、熱硬化性樹脂でコーティングした障
壁材料粉について説明する。障壁材料粉は無機粉と熱硬
化性樹脂で構成されている。無機粉としては、低融点ガ
ラスのPbO・B2 3 、PbO・B2 3 ・Si
2 、ZnO・B2 3 ・SiO2 等、およびアルミ
ナ、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化バリウム、酸化カリウ
ム、酸化カルシウム、酸化アルミニウム、酸化ジルコニ
ウム、酸化カドミウム、酸化クロム、酸化マンガン、酸
化銅、酸化ビスマス等の金属酸化物を用いることができ
る。また、熱硬化性樹脂としては、アクリル系樹脂、ポ
リエステル系樹脂、エポキシ系樹脂、フェノール系樹脂
等が用いられるが、エポキシ系樹脂およびフェノール系
樹脂が特に好ましい。
Next, the barrier material powder coated with the thermosetting resin will be described. The barrier material powder is composed of an inorganic powder and a thermosetting resin. As the inorganic powder, the low melting point glass PbO · B 2 O 3, PbO · B 2 O 3 · Si
O 2 , ZnO · B 2 O 3 · SiO 2, etc., and alumina, titanium oxide, zinc oxide, barium oxide, potassium oxide, calcium oxide, aluminum oxide, zirconium oxide, cadmium oxide, chromium oxide, manganese oxide, copper oxide, A metal oxide such as bismuth oxide can be used. In addition, as the thermosetting resin, an acrylic resin, a polyester resin, an epoxy resin, a phenol resin, or the like is used, and an epoxy resin and a phenol resin are particularly preferable.

【0013】次に、無機粉を熱硬化性樹脂でコーティン
グする方法について説明する。コーティングする方法と
しては公知の方法を用いることができるが、たとえば、
熱硬化性樹脂と反応しない溶剤に熱硬化性樹脂を溶解し
無機粉を混合して乾燥させ噴霧して乾燥させる方法、熱
硬化性樹脂と反応しない溶剤に熱硬化性樹脂を溶解し無
機粉を混合して乾燥させ粉砕する方法などが挙げられ
る。
Next, a method of coating the inorganic powder with a thermosetting resin will be described. Known methods can be used for coating, for example,
A method in which a thermosetting resin is dissolved in a solvent that does not react with the thermosetting resin, the inorganic powder is mixed, dried, sprayed, and dried, and the inorganic powder is dissolved in a solvent that does not react with the thermosetting resin. A method of mixing, drying and pulverizing may be used.

【0014】障壁材料粉の製造に使用される有機溶剤と
しては、例えばトルエン、アセトン、メチルエチルケト
ン、メチルイソブチルケトン、メチルセロソルブ、エチ
ルセロソルブ、γ−ブチルラクトン、N−メチルピロリ
ドン、ジメチルホルムアミド、テトラメチルスルホン、
ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレング
リコールモノブチルエーテル、クロロホルム、塩化メチ
レン、メチルアルコール、エチルアルコール、テトラリ
ン、n−ブチルベンゼン、p−シメン、メチルナフタレ
ン、シクロヘキシルベンゼン、ジエチルベンゼン、ペン
チルベンゼン、ジペンチルベンゼン、p−メタン、ビシ
クロヘキシル、ジペンテン、デカリン、ソルベッソ、テ
レピン油等が挙げられる。これらは、単独でまたは2種
以上を組み合わせて使用される。これらの有機溶剤のう
ちでも高沸点(170〜280℃)で非極性のものが、
塗膜のレベリング性が良好でアディティブ法で使用され
る樹脂パターン中に浸食せず良好である。その他、障壁
材料粉には必要に応じて、可塑剤、分散剤等を添加して
もよい。無機粉は単独で熱硬化性樹脂にコーティングさ
れていても良く、また、数個の粒子がまとまって一つの
粒子を形成していてもよい。
Examples of the organic solvent used for producing the barrier material powder include toluene, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, γ-butyl lactone, N-methyl pyrrolidone, dimethyl formamide, and tetramethyl sulfone. ,
Diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, chloroform, methylene chloride, methyl alcohol, ethyl alcohol, tetralin, n-butylbenzene, p-cymene, methylnaphthalene, cyclohexylbenzene, diethylbenzene, pentylbenzene, dipentylbenzene, p-methane, bicyclohexyl, Dipentene, decalin, solvesso, turpentine oil and the like. These are used alone or in combination of two or more. Among these organic solvents, those having a high boiling point (170 to 280 ° C.) and non-polar ones are
The coating has good leveling properties and does not erode into the resin pattern used in the additive method. In addition, a plasticizer, a dispersant, and the like may be added to the barrier material powder as needed. The inorganic powder may be coated alone on the thermosetting resin, or several particles may be combined to form one particle.

【0015】該樹脂パターンと樹脂パターンの間に障壁
材料粉を充填させる方法としては、基板上に障壁材料粉
を均一に堆積させ微震動を基板に加え、樹脂パターン上
の障壁材料粉をすり切って除去する方法が挙げられる。
As a method of filling the barrier material powder between the resin patterns, the barrier material powder is uniformly deposited on the substrate, micro-vibration is applied to the substrate, and the barrier material powder on the resin pattern is cut off. Removal method.

【0016】樹脂パターンの除去方法について説明す
る。樹脂パターンは種々の方法で除去できるが、例え
ば、樹脂パターンの除去を剥離液を用いて行う場合、使
用する剥離液としては、水酸化ナトリウムまたは水酸化
カリウムの1〜10重量%水溶液が挙げられる。この濃
度が1重量%未満の場合は剥離の効果が小さいために剥
離時間がかかりすぎる傾向があり、また、10重量%を
超える場合には、障壁材料を侵す傾向がある。剥離液の
温度については特に限定されず、樹脂パターンの剥離を
好適に行う条件を適宜設定すればよく、剥離方式として
は、浸漬方式、スプレイ方式のいずれも好適であり、ま
た2方式を併用してもよい。
A method for removing the resin pattern will be described. The resin pattern can be removed by various methods. For example, when the removal of the resin pattern is performed using a stripping solution, the stripping solution to be used includes a 1 to 10% by weight aqueous solution of sodium hydroxide or potassium hydroxide. . When the concentration is less than 1% by weight, the effect of peeling is small, so that the peeling time tends to take too long. When the concentration exceeds 10% by weight, the barrier material tends to be attacked. The temperature of the stripping solution is not particularly limited, and conditions for suitably stripping the resin pattern may be appropriately set. As the stripping method, any of the immersion method and the spray method is suitable, and the two methods are used in combination. You may.

【0017】樹脂パターンの除去後、基板上に残った障
壁材料から有機物を除去し、強度、ガス不透過性等を向
上する目的で障壁材料を焼成する。この焼成の温度と時
間は通常、350〜580℃、1〜20時間とされる。
このようにして製造された基板上の障壁の厚さ(高さ)
は、通常、50〜250μmであり、ストライプ型また
は格子型の障壁であれば、その幅は20〜150μmで
ある。
After the removal of the resin pattern, organic materials are removed from the barrier material remaining on the substrate, and the barrier material is fired for the purpose of improving strength, gas impermeability and the like. The firing temperature and time are usually 350 to 580 ° C. for 1 to 20 hours.
The thickness (height) of the barrier on the substrate thus manufactured
Is usually 50 to 250 μm, and the width is 20 to 150 μm for a stripe type or lattice type barrier.

【0018】[0018]

【実施例】以下、実施例を示して本発明について具体的
に説明する。 実施例1 メタクリル酸メチル/アクリル酸エチル/メタクリル酸
共重合体(重量比53/30/17、重量平均分子量1
0万)の41重量%のメチルセロソルブ/トルエン(重
量比8:2)溶液137g(固形分55g)、ビスフェ
ノールAポリオキシエチレンジメタクリレート34g、
γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β−メタクリロ
イルオキシエチル−o−フタレート11g、安定剤(A
W−500、川口化学株式会社製)0.1g、トリブロ
モメチルフェニルスルフォン1.2g、シリコーンレベ
リング剤(SH−193、トーレシリコン株式会社製)
0.04g、1,7−ビス(9−アクリジニル)ヘプタ
ン0.2g、ベンジルメチルケタール3g、ロイコクリ
スタルバイオレット1.0g、マラカイトグリーン0.
05g、トルエン7g、メチルエチルケトン13g、メ
タノール3gを配合した感光性樹脂組成物溶液を20μ
m厚のポリエチレンテレフタレートフィルム上に均一に
塗布し、110℃の熱風対流式乾燥機で約10分間乾燥
して感光性フィルムを得た。乾燥後の感光性樹脂層の膜
厚は50μmであった。
The present invention will be specifically described below with reference to examples. Example 1 Methyl methacrylate / ethyl acrylate / methacrylic acid copolymer (weight ratio 53/30/17, weight average molecular weight 1)
137 g (55 g solid content) of 41% by weight of methylcellosolve / toluene (weight ratio of 8: 2) of 40,000), 34 g of bisphenol A polyoxyethylene dimethacrylate,
11 g of γ-chloro-β-hydroxypropyl-β-methacryloyloxyethyl-o-phthalate, a stabilizer (A
W-500, manufactured by Kawaguchi Chemical Co., Ltd.) 0.1 g, tribromomethylphenylsulfone 1.2 g, silicone leveling agent (SH-193, manufactured by Toray Silicon Co., Ltd.)
0.04 g, 1,7-bis (9-acridinyl) heptane 0.2 g, benzyl methyl ketal 3 g, leuco crystal violet 1.0 g, malachite green 0.1 g
A photosensitive resin composition solution containing 0.05 g, toluene 7 g, methyl ethyl ketone 13 g, and methanol 3 g was mixed with 20 μm.
It was uniformly coated on a m-thick polyethylene terephthalate film and dried with a hot air convection dryer at 110 ° C. for about 10 minutes to obtain a photosensitive film. The thickness of the photosensitive resin layer after drying was 50 μm.

【0019】次いで、得られた感光性フィルムをあらか
じめ100℃に熱したガラス板上にラミネータを使用し
130℃で貼り付け、ポリエチレンテレフタレートフィ
ルムを剥離し、感光性樹脂組成物層を露出させた。この
露出した感光性樹脂組成物層上に前記感光性フィルムを
同様に貼り付け、ポリエチレンテレフタレートフィルム
を剥離し、感光性樹脂組成物層を露出させた。さらに、
もう一度同様な操作を施して、ガラス板上に150μm
厚の感光性樹脂組成物層を形成した。
Next, the obtained photosensitive film was stuck on a glass plate previously heated to 100 ° C. at 130 ° C. using a laminator, and the polyethylene terephthalate film was peeled off to expose the photosensitive resin composition layer. The photosensitive film was similarly stuck on the exposed photosensitive resin composition layer, and the polyethylene terephthalate film was peeled off to expose the photosensitive resin composition layer. further,
The same operation was performed once again, and 150 μm
A thick photosensitive resin composition layer was formed.

【0020】その後、ポリエチレンテレフタレートフィ
ルム上に所定のネガマスク(ライン/スペース=300
μm/100μm)を載置し、ネガマスクの上から平行
光線型露光機を用いて露光量70mJ/cm2 (紫外線
主波長:365nm)で感光性樹脂組成物層を露光し
た。さらに、感光性樹脂組成物層の非露光部を、現像機
を用いて1重量%炭酸ナトリウム水溶液で現像し、ガラ
ス板上に樹脂パターンを得た。次いで、樹脂パターンを
紫外線照射機により3000mJ/cm2 の照射を行
い、その後乾燥機で160℃で60分間加熱処理を行っ
た。次いで、表1に示す材料を日陶科学株式会社製自動
乳鉢ANM1000型に投入し15分間混練して粉末状
の障壁材料粉を得た。
Thereafter, a predetermined negative mask (line / space = 300) is formed on the polyethylene terephthalate film.
[mu] m / 100 [mu] m) was placed on, using a collimated beam exposure apparatus exposure 70 mJ / cm 2 (ultraviolet dominant wavelength from the top of the negative mask: and exposing the photosensitive resin composition layer at 365 nm). Further, the unexposed portion of the photosensitive resin composition layer was developed with a 1% by weight aqueous solution of sodium carbonate using a developing machine to obtain a resin pattern on a glass plate. Next, the resin pattern was irradiated with 3000 mJ / cm 2 using an ultraviolet irradiator, and then heat-treated at 160 ° C. for 60 minutes using a dryer. Next, the materials shown in Table 1 were put into an automatic mortar ANM1000 manufactured by Nitto Kagaku Corporation and kneaded for 15 minutes to obtain a powdery barrier material powder.

【0021】[0021]

【表1】 [Table 1]

【0022】上記障壁材料粉を樹脂パターンを形成した
基板上に500メッシュの篩をもちいて樹脂パターン間
に積もらせた。次いで、樹脂パターン上の障壁材料をゴ
ムスキージを用いて除去した。その後、乾燥機で160
℃で30分間加熱した。
The above-mentioned barrier material powder was accumulated between the resin patterns on a substrate having the resin patterns formed thereon using a 500-mesh sieve. Next, the barrier material on the resin pattern was removed using a rubber squeegee. After that, 160
Heated at ° C for 30 minutes.

【0023】さらに、45℃に保持した5重量%の水酸
化ナトリウム水溶液中に約10分間浸漬し、すぐに45
℃に保持した温水に浸漬して樹脂パターンを剥離した。
その後、水洗し、80℃で30分間乾燥して焼成前の障
壁を得た。焼成前の障壁の寸法は、上部の幅が80μ
m、底面の幅が115μm、高さが150μmであっ
た。最後に、マッフル炉を使用し空気中で焼成して障壁
を得た。焼成は、室温から380℃まで昇温速度を3℃
/分として昇温し、380℃で30分間保持し、さらに
550℃まで昇温速度を5℃/分として昇温し、550
℃で30分間保持後、室温まで自然冷却した。焼成後の
障壁は上記の焼成前の形状を維持し良好で、寸法は、樹
脂の分解除去により収縮したものであった。焼成後の障
壁寸法は、上部の幅が65μm、底面の幅が110μ
m、高さが120μmあった。
Further, it was immersed in a 5% by weight aqueous solution of sodium hydroxide maintained at 45 ° C. for about 10 minutes, and immediately
The resin pattern was peeled off by immersion in warm water maintained at a temperature of ° C.
Then, it was washed with water and dried at 80 ° C. for 30 minutes to obtain a barrier before firing. The dimensions of the barrier before firing are as follows:
m, the width of the bottom surface was 115 μm, and the height was 150 μm. Finally, it was fired in air using a muffle furnace to obtain a barrier. The firing rate is 3 ° C from room temperature to 380 ° C.
/ Minute, and maintained at 380 ° C. for 30 minutes, and further increased to 550 ° C. at a rate of 5 ° C./minute.
After holding at 30 ° C. for 30 minutes, the mixture was naturally cooled to room temperature. The barrier after firing was good, maintaining the above shape before firing, and the dimensions shrank due to decomposition and removal of the resin. The barrier dimensions after firing were such that the top width was 65 μm and the bottom width was 110 μm.
m and height were 120 μm.

【0024】[0024]

【発明の効果】本発明のプラズマディスプレイパネルの
障壁の製造法により、簡便に高強度の障壁を得ることが
できる。
According to the method of manufacturing a barrier for a plasma display panel of the present invention, a high-strength barrier can be easily obtained.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 堀部 芳幸 茨城県日立市東町四丁目13番1号 日立化 成工業株式会社山崎事業所内 Fターム(参考) 5C027 AA09 5C040 FA01 FA04 GB03 GB14 GF02 GF18 GF19 JA15 JA20 KA15 KA16 KB11 MA23  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Yoshiyuki Horibe 4-3-1, Higashicho, Hitachi City, Ibaraki Prefecture F-term in Hitachi Chemical Co., Ltd. Yamazaki Office (reference) JA20 KA15 KA16 KB11 MA23

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 感光性樹脂組成物層を基板上に形成し所
定のパターンマスクを介して露光し、非露光部を現像に
より除去して樹脂パターンを形成し、該樹脂パターンと
樹脂パターンの間に表層を熱硬化性樹脂でコーティング
した障壁材料粉を充填し、ついで、加熱して熱硬化性樹
脂でコーティングした障壁材料粉を融着、硬化させた
後、該樹脂パターンを除去し、焼成することを特徴とす
るプラズマディスプレイパネルの障壁の製造法。
1. A photosensitive resin composition layer is formed on a substrate, exposed through a predetermined pattern mask, and unexposed portions are removed by development to form a resin pattern. Is filled with a barrier material powder having a surface layer coated with a thermosetting resin, and then heated to fuse and cure the barrier material powder coated with the thermosetting resin. Then, the resin pattern is removed and baked. A method for manufacturing a barrier for a plasma display panel, comprising:
【請求項2】 熱硬化性樹脂がフェノール系樹脂である
請求項1記載のプラズマディスプレイパネルの障壁の製
造法。
2. The method according to claim 1, wherein the thermosetting resin is a phenolic resin.
【請求項3】 熱硬化性樹脂がエポキシ系樹脂である請
求項1記載のプラズマディスプレイパネルの障壁の製造
法。
3. The method according to claim 1, wherein the thermosetting resin is an epoxy resin.
JP2000055931A 2000-02-28 2000-02-28 Method of producing barrier rib for plasma display panel Pending JP2001243878A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000055931A JP2001243878A (en) 2000-02-28 2000-02-28 Method of producing barrier rib for plasma display panel

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000055931A JP2001243878A (en) 2000-02-28 2000-02-28 Method of producing barrier rib for plasma display panel

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001243878A true JP2001243878A (en) 2001-09-07

Family

ID=18576969

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000055931A Pending JP2001243878A (en) 2000-02-28 2000-02-28 Method of producing barrier rib for plasma display panel

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2001243878A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0903636B1 (en) Thermal assisted photosensitive composition and process for formation of fine conductor lines utilizing such composition
KR100513180B1 (en) Method for Forming Pattern on Substrate and Transfer Film
JP2000215731A (en) Photosensitive silver conductor tape and its composition
JP4075277B2 (en) Inorganic particle-containing photosensitive composition and photosensitive film
JP2004055402A (en) Conductive paste composition, transcription film for electrode formation, and electrode for plasma display
JP2001084833A (en) Conductive resin composition and transfer film for forming electrode
JP3570475B2 (en) Transfer film and plasma display panel manufacturing method using the same
JP2000007383A (en) Composition containing inorganic particle, transfer film and production of plasma display panel using the same
JP2001243878A (en) Method of producing barrier rib for plasma display panel
JP2001084898A (en) Manufacture of barrier for plasma display panel
JPH11144628A (en) Barrier rib forming transfer film and manufacture of plasma display panel with it
JPH11185644A (en) Barrier for plasma display panel and its manufacture
JP4134411B2 (en) Plasma display panel manufacturing method and transfer film
JP4366820B2 (en) Inorganic particle-containing photosensitive composition and photosensitive film
JP2000173454A (en) Formation method of barrier rib of plasma display panel and barrier rib of plasma display panel
JP2009132142A (en) Transfer film for forming metallic pattern and method of forming metallic pattern
JP4013093B2 (en) Barrier rib forming element and barrier rib manufacturing method using the same
JPH11185645A (en) Barrier rib material for plasma display panel, manufacture of barrier rib, barrier rib and substrate for plasma display panel
JP2006045270A (en) Resin composition containing inorganic powder, transfer film and manufacturing method of plasma display panel
JPH11213908A (en) Barrier of plasma display panel, manufacture thereof and back board for plasma display panel
JP2000268712A (en) Barrier lib forming method for plasma display panel and manufacture of plasma display panel
JPH11231524A (en) Production of plasma display panel
JPH11185642A (en) Barrier for plasma display panel and its manufacture
JPH11191377A (en) Barrier of plasma display panel and its manufacture
JPH11185643A (en) Barrier material for plasma display panel, its manufacture and base board for barrier and plasma display panel