JP2001243772A - ダイナミック・ランダム・アクセス・メモリ(dram) - Google Patents

ダイナミック・ランダム・アクセス・メモリ(dram)

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JP2001243772A
JP2001243772A JP2000054147A JP2000054147A JP2001243772A JP 2001243772 A JP2001243772 A JP 2001243772A JP 2000054147 A JP2000054147 A JP 2000054147A JP 2000054147 A JP2000054147 A JP 2000054147A JP 2001243772 A JP2001243772 A JP 2001243772A
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signal
circuit
dram
atd
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Akihiro Funyu
明裕 舩生
Shinya Fujioka
伸也 藤岡
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 入力信号の遷移の検出に応じてメモリセルア
レイへのアクセス動作を行う複数の個別動作回路とを備
え、入力信号にグリッチが発生しても致命的な誤動作が
発生しないDRAMの実現。 【解決手段】 メモリセルアレイ10と、入力信号の遷移
を検出するATD回路14と、ATD回路の発生する検出
信号に応じてメモリセルアレイへのアクセス動作を行う
複数の個別動作回路19-29 とを備えるDRAMにおい
て、複数の個別動作回路のATD信号に応じて動作を開
始する可能性(感度)が異なり、不正データが書き込ま
れないように及び不正データを読み出さないように設定
されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ダイナミック・ラ
ンダム・アクセス・メモリ(DRAM)に関し、特に外
部から入力されるアドレス信号や制御信号の変化を検出
するアドレス遷移検出回路(ATD回路:address tran
sition detection circuit) を有し、ATD回路の検出
信号に応じて内部回路が動作するDRAMに関する。
【0002】
【従来の技術】従来の汎用DRAMは、制御信号として
/RAS及び/CASが入力され、/RAS及び/CA
Sの状態又はその変化に応じて、アドレス信号をDRA
M内に取込むと共にデータ信号の入出力を行う。具体的
には、/RASの立ち下がりからパルスを生成し、この
パルスから、ロウアドレスラッチ信号とロウアドレスで
指示される部分のアクセスに関係するRAS系周辺回路
を動作させるrasz信号を生成、更にrasz信号か
らコラムラインの選択信号やセンスアンプ活性化信号を
除くDRAMメモリセルアレイのコア部の制御信号を生
成していた。次に/CASが立ち下がると、ATD回路
でコラムアドレス信号の遷移を検出し、それに応じて発
生されるATDパルスでコラムアドレス信号自体をラッ
チしていた。/CASは、出力イネーブルの期間を規定
しているだけであった。
【0003】DRAMではアクセスサイクルを高速化す
るための開発が行われ、アドレスマルチプレクスによる
ベージモード動作を行うDRAMが開発された。ベージ
モード動作は、同一のロウアドレスに対してコラムアド
レスを連続して変化させた場合に高速の読み出しが可能
な動作である。近年では、このベージモードを基本に、
外部よりクロックを供給し、内部動作をクロック(又は
クロックから生成した内部クロック)に同期して動作す
るパイプライン構成とすることにより更にアクセスサイ
クルを高速化するシンクロナスDRAM(SDRAM)
が開発されている。しかし、このSDRAMは、ベージ
モード動作に対しては高速であるが、ロウアドレスも変
化するようなランダムアクセスに対しては高速とはいえ
なかった。
【0004】そこで、本出願人は、公表特許WO98/560
04号で、ロウアドレスで指示される部分のアクセスに関
係するRAS系周辺回路の動作もパイプライン構成とす
ることにより、ロウアドレスも変化するようなランダム
アクセスに対しても高速動作するSDRAMを提案して
いる。ここではこのSDRAMをFCDRAMと称する
こととする。
【0005】SRAMは記憶したデータをリフレッシュ
無しに保持できるが、DRAMに比べて各メモリセルを
構成するトランジスタの個数が多く、大容量化が難しい
という問題があった。そこで、大容量で安価であるとい
う特徴を有するFCDRAMをSRAMの代わりに使用
することが検討されている。このような置き換えが容易
に行えるようにするには、FCDRAMのインターフェ
ースをSRAMと同じ制御信号で動作できるようにする
ことが望ましい。
【0006】しかし、SRAMの制御信号は、/WEや
/OEなどで構成され、SDRAMやFCDRAMの制
御信号とは異なる。例えば、FCDRAMには外部から
クロックが供給され、FCDRAMの内部はクロック又
は内部クロックに同期して動作するが、SRAMでは外
部クロックは供給されず、内部をクロック又は内部クロ
ックに同期して動作させることができないという問題が
ある。
【0007】いずれにしろ、DRAMの内部動作を高速
化するには、DRAMの内部のアクセス動作に関係する
複数の回路を、アクセスに応じて直ちに起動することが
必要である。前述のように、汎用DRAMではコラムア
ドレス信号の遷移を検出するためにATD回路が使用さ
れていたが、このATD回路をアドレス信号だけでなく
制御信号も含めた遷移を検出する回路として使用し、そ
の出力であるATD信号でアクセス動作に関係する複数
の回路の動作を開始することが考えられる。
【0008】アドレス信号や制御信号に雑音が入り、非
常に小さな幅の不正なパルスが発生する場合がある。こ
のような不正なパルスをグリッチと呼ぶので、ここでも
この語を使用する。ATD回路を使用して複数の回路の
動作を開始するように構成した場合、グリッチに応じて
ATD信号が発生されたりパルス幅が減少するといった
ことが発生し、それに応じて複数の回路のすべて又は一
部が動作を開始することが起こり得る。
【0009】前述のように、汎用DRAMでは、/RA
Sの立ち下がりから生成したパルスでロウアドレス信号
のラッチとRAS系周辺回路の動作を開始し、次にAT
D回路でコラムアドレス信号の遷移を検出するとコラム
アドレス信号をラッチしていた。アクセス動作のサイク
ルを規定するのはコラムアドレス信号のラッチから出力
までの経路であった。
【0010】汎用DRAMでも、/RAS、/CAS、
ロウアドレス信号、及びコラムアドレス信号にグリッチ
が発生すると誤動作が問題になる。/RASにグリッチ
が発生すると誤ってロウアドレス信号のラッチやRAS
系周辺回路の動作が開始されたり一部の回路が動作しな
いるという問題を生じるために、/RASの立ち下がり
を検出する回路では、グリッチを除去して正規の/RA
Sの立ち下がりのみを検出するようにしていた。グリッ
チを除去するには、所定時間以上安定した信号のみを検
出するが、そのためには除去するグリッチの幅に応じた
時間だけ信号を遅延させることが必要である。汎用DR
AMのアクセスサイクルはFCRAMに比べて低速であ
り、/RASの立ち下がりからコラムアドレス信号の遷
移まで十分な時間があり、/RASのグリッチの影響は
ほとんど除去することが可能であり、問題にはならなか
った。なお、ロウアドレス信号やコラムアドレス信号を
ラッチする時にグリッチが発生すると不正なアドレスに
アクセスすることになり問題であるが、アドレス信号を
ラッチするのは十分にグリッチが除去された/RASが
正常に変化した場合のみであり、あまり問題にならなか
った。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】FCDRAMをSRA
Mの代わりに使用できるようにするために、ATD回路
を使用してアドレス信号だけでなく制御信号も含めた入
力信号の遷移を検出し、複数の回路の動作を開始するよ
うに構成した場合、入力信号のグリッチに応じてATD
信号が発生され、それに応じて複数の回路のすべて又は
一部が誤動作する可能性がある。そのため、グリッチの
影響を除去する必要があるが、高速のFCDRAMの場
合グリッチを除去する時間を十分長くすることができな
いという問題がある。
【0012】この問題は、FCDRAMに限らず、高速
に動作するために入力信号の遷移を検出して複数の回路
を動作させる場合には同様に発生する。本発明は、この
ような問題を解決したDRAMを実現するもので、入力
信号の遷移の検出に応じてメモリセルアレイへのアクセ
ス動作を行う複数の個別動作回路とを備える高速なDR
AMにおいて、たとえ入力信号にグリッチが発生しても
致命的な誤動作が発生しないようにすることを目的とす
る。
【0013】
【課題を解決するための手段】上記目的を実現するた
め、本発明のダイナミック・ランダム・アクセス・メモ
リ(DRAM)では、複数の個別動作回路がATD信号
に応じて動作を開始する可能性(感度)を異ならせて、
ダイナミック・ランダム・アクセス・メモリに不正デー
タが書き込まれないように及び不正データを読み出さな
いように設定することを特徴とする。
【0014】ATD回路の発生する検出信号(ATD信
号)に応じてメモリセルアレイへのアクセス動作を行う
回路には、アドレスラッチ回路、メモリセルアレイのロ
ウアドレスで指示される部分のアクセスに関係するRA
S系周辺回路、及びデータの読み出し又は書き込み動作
に係わるデータ入出力系回路などが含まれる。ATD回
路は、外部から入力される信号が遷移すると、その変化
に対してパルス信号を発生する。アドレスラッチ回路、
RAS系周辺回路及びデータ入出力系回路は、このパル
ス信号をトリガとして動作を開始する。このパルス信号
がATD信号であり、すべての動作の原点となる信号で
ある。この信号から、アドレスラッチ回路、RAS系周
辺回路及びデータ入出力系回路を動作させる外部アドレ
スラッチ信号、RAS系周辺回路活性化信号及び読み取
り(リード)信号又は書き込み(ライト)動作命令信号
が発生させる。
【0015】ここで、入力信号にグリッチが発生し、そ
れに応じてATD信号のパルス幅が正常な時より狭くな
ってしまった場合を考える。この場合、内部における通
常のATD信号に対して発生されるべき信号がすべて発
生され、各回路が正常に動作すれば問題はないが、AT
D信号の幅が更に細くなると、発生されない信号が出て
くる。これは、グリッチにより正規のATD信号が発生
された場合も同様である。ここで、どの信号が発生さ
れ、どの信号が発生されないかで、誤動作による影響の
程度が異なる。例えば、アドレス信号をラッチしてもR
AS系周辺回路活性化信号が発生されなければDRAM
としてはアドレスを取り込むだけでそれ以外の動作はし
ないので問題は生じない。しかし、逆にアドレス信号を
ラッチしていないのにRAS系周辺回路活性化信号が発
生されると、意図しないアドレスに対してアクセスする
ことになり、場合によっては記憶データの破壊になる。
また、RAS系周辺回路活性化信号が発生されてもリー
ド信号又はライト信号が発生されなければデコードはす
るがセンスバッファ又はライトアンプは動作しなのでデ
ータは損傷しない。しかし、逆にRAS系周辺回路活性
化信号が発生されないのにリード信号又はライト信号が
発生されると、不定データが出力又は書き込まれる。ま
た、レイトライト方式であれば、書き込みデータを不定
データで書き換えてしまう可能性もある。
【0016】そこで、本発明のDRAMでは、ATD信
号に応じて動作を開始する可能性(感度)を、リード信
号又はライト信号に応じて動作するデータ入出力系回路
に対してもっとも小さくし、RAS系周辺回路、更にア
ドレスラッチ回路の順で高くなるように異ならせる。こ
れにより、たとえ外部入力信号にグリッチが発生して正
常でないATD信号が発生されても、データを損傷する
ような致命的な誤動作が発生しないようにする。
【0017】
【発明の実施の形態】図1は、本発明の実施例のDRA
Mの全体構成を示す図である。このDRAMは、RAS
系周辺回路及びデータ入出力系回路の動作を両方共パイ
プライン構成とし、ランダムアクセスに対しても高速動
作する公表特許WO98/56004号に開示されたFCDRA
Mであるが、SRAMと同じ制御信号で動作するように
ATD回路で制御信号/CE、/WE、/OE、及びア
ドレス信号の遷移を検出してATD信号を発生させ、A
TD信号に応じて各内部回路の動作を行う点が異なる。
【0018】図1に示すように、実施例のDRAMは、
メモリセルアレイ10と、アドレス信号が入力されるア
ドレスバッファ11と、制御信号CE2、/CE、/W
E、/OE、/UB、/LBが入力されるコントロール
バッファ12と、フィルタ13と、ATD回路14と、
EALGEN回路15と、RASGEN回路16と、C
MDSEL回路17と、CTLDEC回路18と、セル
フリフレッシュコントローラ&カウンタ19と、タイミ
ングコントローラ20と、アドレスラッチ21と、ロウ
デコーダ22と、コラムデコーダ23と、センスアンプ
24と、ライトアンプ25と、入力データラッチ&コン
トローラ26と、センスバッファ27と、出力データコ
ントローラ28と、データ信号が入出力される入出力バ
ッファ29とを有する。上記のように、本実施例のDR
AMは公表特許WO98/56004号に開示されたFCDRA
Mに類似した構成を有するので、ここでは本発明に関係
するフィルタ13と、ATD回路14と、EALGEN
回路15と、RASGEN回路16と、CMDSET回
路17とに関係する部分についてのみ説明し、他の部分
についての詳しい説明は省略する。
【0019】図1に示すように、制御信号CE2、/C
E、/WE、/OE、/UB、/LBは、コントロール
バッファ12に入力された後、フィルタ13でグリッチ
を低減した後、ATD回路14とCTLDEC18に供
給される。これらの制御信号はSRAMの制御信号であ
り、CE2と/CEはチップ選択信号、/WEは書き込
み命令信号、及び/OEは読み出し命令信号である。こ
のDRAMはデータ幅が16ビットであり、上位8ビッ
ト、下位8ビット又は16ビットすべてのいずれかを動
作の対象として選択することが可能になっており、/U
Bと/LBはそれを指示する制御信号である。アドレス
信号は20ビットで、アドレスバッファ11に入力さ
れ、ATD回路14とアドレスラッチ21に供給され
る。このDRAMでは、ATD回路14がアドレス信号
及びフィルタ13を通過した制御信号の変化を検出して
ATD信号atdpzを出力し、このATD信号atd
pzに応じて内部回路が起動される。
【0020】図2は、ATD回路14の構成を示す図で
ある。ATD回路は広く知られているので詳しい説明は
省略するが、アドレス信号の各ビット及びフィルタ13
を通過した制御信号(/UBと/LBを除く)の変化を
検出する信号変化検出回路(atdb)31が信号毎に
設けられている。従って、ここでは信号変化検出回路3
1が24個設けられている。ATD発生回路(ATDG
EN)32は、24個の信号変化検出回路31の出力の
いずれかが検出信号を出力するとATD信号atdpz
を発生する。ATD信号atdpzは、セルフリフレッ
シュコントローラ&カウンタ19に供給されると共にア
ドレスラッチ信号発生回路(EALGEN)15に供給
される。このDRAMは、SRAMと同じ入力信号で動
作するように別デバイスのコントローラによるDRAM
のリフレッシュ制御を無くしており、DRAM内部でa
tdpzとリフレッシュ要求信号を比較して、早くきた
方から動作を行う方式を採用しており、どちらの動作を
行うかで内部アドレスか外部アドレスを選択し、後述す
るアドレスラッチ信号ealzに応じてラッチする。
【0021】図3は、EALGEN回路15の構成を示
す図である。この回路は、ATD信号atdpzからア
ドレスラッチ信号ealzを発生させ、回路の途中から
信号pealzを出力する。回路の詳しい説明は省略す
るが、EALGEN回路15の発生したアドレスラッチ
信号ealz(pealz)は、アドレスラッチ21に
印加されると共に、RASGEN回路16とCMDSE
T回路17に供給される。
【0022】図4は、RASGEN回路16とCMDS
ET回路17の構成を示す図である。図示のように、上
記のEALGEN回路15が途中から出力する信号pe
alzと、CTLDEC18の出力するリード信号rd
z(又はライト信号wrz)と信号pealzとを合成
するactpgen回路33が設けられている。RAS
GEN回路16は、actpgen回路33が出力する
pealzを遅延させた信号actpzから、ロウアド
レス系に関係するRAS系周辺回路を活性化するRAS
系周辺回路活性化信号(rasz)を発生する。ras
zはタイミングコントローラ20に供給される。
【0023】CMDSEL回路17は、actpgen
回路33が出力するrdpzとwrpz、及びRASG
EN回路16の出力する信号icsxからリード動作信
号rdpz(又はライト動作信号wrpz)を発生す
る。リード動作信号rdpz(又はライト動作信号wr
pz)は、タイミングコントローラ20と入出力バッフ
ァ29に供給される。
【0024】図5はフィルタ回路13の構成を示す図で
あり、図6はフィルタ回路13の動作を示すタイムチャ
ートである。前述のように、入力信号のグリッチは誤動
作を発生させるので、除去するのが望ましい。本実施例
のDRAMは、グリッチの影響を低減するため内部回路
毎にグリッチに対する感度に差を持たせているが、より
確実にグリッチの影響を除去するため、フィルタ回路1
3でもグリッチ(ノイズ)を遮断するようにしている。
図5のフィルタ回路が、制御信号毎に設けられる。
【0025】図5及び図6に示すように、入力される制
御信号は、インバータにより生成される逆相信号n4に
分かれ、各々が片効きディレイ素子(L入力を遅延させ
る素子)に入力される。ここでL入力に対しての出力が
遅れるため、短いLパルスが入力されれば、その出力で
はパルスがなくなってしまう。その結果、ディレイ素子
の各出力n2、n6は図6に示すようになる。つまり、
このn2、n6は各々、外部入力からLパルスノイズ、
Hパルスノイズを取り去った信号である。言い換えれ
ば、n2は正規のL遷移情報を持ち、n6は正規のH遷
移情報を持っていることを意味している。そこで、n2
の立ち下がり、n6の立ち上がりからHパルスn3、n
7を作り、n2、n6から各々正規の遷移情報をパルス
として取り出す。そのようにして生成されたパルスのう
ち、正規の遷移情報を持ったパルスは必ずn2側、n6
側から交互に出力されるはずなので、次段のNOR型フ
リップ・フロップ(FF)で正規の出力を生成すること
ができる。この時の出力信号は、グリッチ(ノイズ)を
含まない入力に対してディレイ分遅れて出力され、この
ディレイ値が除去できるグリッチ(ノイズ)のパルス幅
となる。
【0026】図7は、本実施例のDRAMの各部の起動
信号を示すタイムチャートである。図7を参照して、上
記の各部の動作タイミングとグリッチに対する感度につ
いて説明する。各々の外部信号exe.signalが
変化するとATD回路14の信号変化検出回路(atd
b)31により、Lパルスとしてデバイス内部に伝えら
れる。これらのLパルスは、ATD発生回路(ATDG
EN)32で合成され、パルス状のATD信号atdp
zが発生される。EALGEN回路15は、ATD信号
atdpzを拡張し、拡張されたパルスの終わりからエ
ッジトリガ回路でパルス状の信号pealzを発生す
る。ここで、atdpzのパルス幅が変化して狭くなっ
ていくと拡張素子で潰れてpealzが発生されなくな
る。すなわち、外部信号の変化に対して、EALGEN
回路15がpealzを発生する可能性は、ATD信号
atdpzが発生される可能性より低くなっている。当
然、pealzから発生されるアドレスラッチ信号ea
lzの発生の可能性もatdpzの発生の可能性より低
く、アドレスラッチ21でラッチが行われる可能性は、
ATD回路14でatdpzが発生される可能性より低
い。ここではこれを感度という語で表現する。すなわ
ち、アドレスラッチ21の感度は、ATD回路14の感
度より低い。ただし、pealzのパルス幅はディレイ
素子の遅延量で決まるため、atdpzのパルス幅とp
ealzのパルス幅の大小関係で感度の高低が決定され
るわけではない。これについては更に後述する。
【0027】pealzは、actgen回路33でa
ctpzとrdpz(又はwrpz)を発生する。ここ
ではactpzの感度をrdpz(又はwrpz)の感
度より高くするため、rdpz(又はwrpz)を発生
する入力初段では、多入力ゲートを使用して応答感度を
低くしている。感度の設定は、各回路の応答能力を調整
することにより行うが、例えば、ゲート長くすることで
も調整できる。なお、rdpzとwrpzは、同時に出
力されることはないので、感度は同じに設定してある。
【0028】actpzとrdpz(又はwrpz)
は、それぞれRASGEN回路16とCMDSEL回路
17で、rasz、rdpx(wrpx)を発生する。
actpzとrdpz(又はwrpz)は、一定以上の
パルス幅を有すれば、入力先のFFを変化させることが
可能であり、rasz、rdpx(wrpx)を発生で
きる。これらは一度発生すれば、そのパルス幅はディレ
イによって決定されるため、パルス幅は直接には感度に
関係しない。rdpxは、コア制御信号を出力するタイ
ミングを読み取りと書き込みで切り替えたり、センスバ
ッファ27の活性化などに使用される。
【0029】raszが発生すると(Hになると)、こ
れをトリガとして信号bltzがHになり、更にwlz
がHになる。このようにしてraszを元にして連鎖的
にコアの制御信号が生成(活性化)されていく。この中
には信号sprxが含まれ、この信号を元にraszを
Lにし、raszがLになることでwlzがLになる。
このように、raszを元に連鎖的にコアの制御信号が
非活性になり、プリチャージされる。
【0030】以上のように、raszを元に複数の制御
信号が生成されるが、そのパルス幅は、派生元の信号の
始まりのエッジを受け、タイミングを合わせるためのデ
ィレイ素子を通って作られる。一方パルスの終わりは、
派生元の信号の終わりのエッジを受け、タイミングを合
わせるためのディレイ素子を通って作られたり、sbe
zのように自分のパルスパルスの立ち上がりからディレ
イで立ち下がりのタイミングを決めている。このよう
に、rasz以降に発生するパルス信号のパルス幅は、
派生元の信号、すなわちraszが出ていれば必ず一定
であり、これらの信号間に感度関係はない。
【0031】以上説明したように、感度とは、入力され
る信号の変化に対して、各回路が動作を行う可能性(応
答性)であり、各回路が発生する制御信号の幅には直接
は関係しない。ここで、本実施例のDRAMにおける感
度関係を図8に示す。外部から入力される信号に発生す
るグリッチが小さいとATD信号のパルス幅も小さくな
る。そこで、図8では、ATD信号のパルス幅に対する
各動作信号の発生する確率を感度としている。図示のよ
うに、ATD信号のパルス幅の増加に従って各信号の発
生確率は増加するが、アドレスラッチ信号の発生確率は
小さなパルス幅に対しても高く、次にRAS系周辺回路
の活性化信号の発生確率が高く、リード・ライト動作命
令信号の発生確率は低くなっている。なお、ある程度以
上のパルス幅に対してはすべての信号の発生確率は同じ
(ほぼ100%)であり、正常動作が行われる。
【0032】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ATD回路を有し、入力信号の遷移の検出に応じて複数
の個別動作回路を起動する高速なDRAMにおいて、た
とえ入力信号にグリッチが発生しても致命的な誤動作が
発生しないようにできる。これにより、SRAM型のI
/Oインターフェースで動作する高速のDRAMが実現
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例のDRAMの全体構成を示す図
である。
【図2】実施例のATD回路の構成を示す図である。
【図3】実施例のアドレスラッチ信号発生(EALGE
N)回路の構成を示す図である。
【図4】実施例のRAS系周辺回路活性化信号発生(R
ASGEN)回路とデータ入出力系活性化信号発生(C
MDSEL)回路の構成を示す図である。
【図5】実施例のフィルタ回路の構成を示す図である。
【図6】実施例のフィルタ回路の動作を示すタイムチャ
ートである。
【図7】実施例のDRAMの全体の動作を示すタイムチ
ャートである。
【図8】実施例における感度設定を示す図である。
【符号の説明】
10…メモリセルアレイ 11…アドレスバッファ 12…コントロールバッファ 13…フィルタ 14…ATD回路 15…アドレスラッチ信号発生(EALGEN)回路 16…RAS系周辺回路活性化信号発生(RASGE
N)回路 17…データ入出力系活性化信号発生(CMDSEL)
回路

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 メモリセルアレイと、入力信号の遷移を
    検出する検出回路と、該検出回路の発生する検出信号に
    応じて前記メモリセルアレイへのアクセス動作を行う複
    数の個別動作回路とを備えるダイナミック・ランダム・
    アクセス・メモリ(DRAM)において、 前記複数の個別動作回路の前記検出信号に応じて動作を
    開始する感度が異なることを特徴とするダイナミック・
    ランダム・アクセス・メモリ。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載のダイナミック・ランダ
    ム・アクセス・メモリであって、 前記複数の個別動作回路には、前記メモリセルアレイの
    ロウアドレスで指示される部分のアクセスに関係するR
    AS系周辺回路と、データの読み出し又は書き込み動作
    に係わるデータ入出力系回路とが含まれるダイナミック
    ・ランダム・アクセス・メモリ。
  3. 【請求項3】 請求項2に記載のダイナミック・ランダ
    ム・アクセス・メモリであって、 前記データ入出力系回路の前記検出信号に応じて動作を
    開始する感度は、前記RAS系周辺回路より低いダイナ
    ミック・ランダム・アクセス・メモリ。
  4. 【請求項4】 請求項2に記載のダイナミック・ランダ
    ム・アクセス・メモリであって、 前記複数の個別動作回路には、更にアドレス信号ラッチ
    回路が含まれるダイナミック・ランダム・アクセス・メ
    モリ。
  5. 【請求項5】 請求項4に記載のダイナミック・ランダ
    ム・アクセス・メモリであって、 前記RAS系周辺回路の前記検出信号に応じて動作を開
    始する感度は、前記アドレス信号ラッチ回路より低いダ
    イナミック・ランダム・アクセス・メモリ。
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