JP2001237666A - 弾性表面波フィルタ - Google Patents
弾性表面波フィルタInfo
- Publication number
- JP2001237666A JP2001237666A JP2000042275A JP2000042275A JP2001237666A JP 2001237666 A JP2001237666 A JP 2001237666A JP 2000042275 A JP2000042275 A JP 2000042275A JP 2000042275 A JP2000042275 A JP 2000042275A JP 2001237666 A JP2001237666 A JP 2001237666A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- basic cell
- finger
- excitation
- surface acoustic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14502—Surface acoustic wave [SAW] transducers for a particular purpose
- H03H9/14505—Unidirectional SAW transducers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
する弾性波表面波フィルタを提供する。 【解決手段】 圧電基板101の上に、入力及び出力I
DTサ電極を形成し、入力IDT電極102と出力ID
T電極103とを所定の距離を設けて配置することによ
って構成される弾性表面波フィルタにおいて、入力ID
T電極102は一方向性励起電極基本セル104と第1
の非励起電極基本セル105、及び第2の非励起電極基
本セル106とを含む構成であり、出力IDT電極10
3は一方向性励起電極基本セル107と第1の非励起電
極基本セル108、及び第2の非励起電極基本セル10
9とを含む構成である。
Description
に用いられる弾性表面波フィルタに関する。
れる情報量も増大している。それに伴い、比較的広帯域
で、かつ通過帯域内の位相直線性に優れた弾性表面波フ
ィルタが求められており、従来、このような弾性表面波
フィルタとしてはトランスバーサル型の弾性表面波フィ
ルタが適している。
面波フィルタについて説明する。
表面波フィルタを示す図である。1501は圧電基板で
あり、圧電基板1501の上に、入力及び出力インター
ディジタルトランスデューサ電極(以下IDT電極とす
る)を形成し、入力IDT電極1502と出力IDT電
極1503とを所定の距離を設けて配置することによっ
て弾性表面波フィルタが構成される。
電極1503には、IEEE Ultrasonics symposium,1989,
pp.77-89に開示されている従来技術による一方向性励起
電極1504、1505が用いられており、基本的な構
成として圧電基板1501上を伝搬する弾性表面波の波
長λの1/4幅のλ/4幅電極指1つとλ/8幅電極指
2つとによる合計3本の電極指により基本単位が構成さ
れている。
05では、弾性表面波の励起中心に対して電極指による
反射中心が非対称な関係にあることから弾性表面波の伝
搬に方向性が生じる。一方向性励起電極1504では入
力IDT1502から出力IDT電極1503の方向に
方向性が生じ、一方向性励起電極1505では出力ID
T1503から入力IDT電極1502の方向に方向性
が生じる。
IDT電極1503には、IEEE Ultrasonics symposiu
m,1973,pp.423-426に開示されている従来技術による間
引き重み付けが施されており、入力IDT電極150
2、及び出力IDT電極1503内には電極指が間引き
された領域1506が複数存在する。
フィルタにおいては、一方向性励起電極によってトラン
スバーサル型の弾性表面波フィルタ特有の両方向性損失
が低減されている。また、間引き重み付けを施すことに
より広帯域で通過帯域内が平坦なフィルタ特性を実現し
ている。
化が進み、それに伴い、IF段の弾性表面波フィルタの小
型化が求められている。しかしながら、上述のトランス
バーサル型の弾性表面波フィルタでは、CDMA用など
で求められている高い選択度、すなわち通過帯域近傍で
の急峻な減衰量を得ようとした場合、入力、及び出力の
IDT電極に十分な重み付けが必要であり、IDT電極
長が長くなり、小型化が困難であるという課題があっ
た。
過帯域で優れた選択度特性を有する弾性波表面波フィル
タを提供することを目的とする。
電基板と、前記圧電基板上に少なくとも2つのインター
ディジタルトランスデューサ電極とを備え、少なくとも
1つの前記インターディジタルトランスデューサ電極は
一方向性励起電極と第1及び第2の非励起電極とを含む
構成であるとともに、前記第1の非励起電極の1波長基
本セルは前記一方向性励起電極の1波長基本セルと弾性
表面波の伝搬方向に対して同一の電極構成であるととも
に、前記第2の非励起電極の1波長基本セルは前記一方
向性励起電極の1波長基本セルと弾性表面波の伝搬方向
に対して左右対称の電極構成であることを特徴とする弾
性表面波フィルタである。
1波長基本セルが3本の電極指からなる構成であって、
前記3本の電極指のうち1本は他の2本と電極指の幅が
異なることを特徴とする請求項1に記載の弾性表面波フ
ィルタである。
1波長基本セルが4本の電極指を有する構成であり、前
記4本の電極指は2つの電極指対を形成し、前記2つの
電極指対は隣り合う電極指の線幅が異なっており、細い
電極指の線幅(L1)と太い電極の線幅(L2)の線幅
比率(L2/L1)が1より大きい構成であることを特
徴とする請求項1に記載の弾性表面波フィルタである。
電基板上に少なくとも2つのインターディジタルトラン
スデューサ電極とを備え、少なくとも1つの前記インタ
ーディジタルトランスデューサ電極は一方向性励起電極
と第1及び第2の非励起電極とを含む構成であるととも
に、一方向性励起電極は1波長基本セルが4本の電極指
を有する構成であり、前記4本の電極指は2つの電極指
対を形成し、前記2つの電極指対は隣り合う電極指の線
幅が異なっており、細い電極指の線幅(L1)と太い電
極の線幅(L2)の線幅比率(L2/L1)が1より大
きい構成であるとともに、第1及び第2の非励起電極は
1波長基本セルが4本の電極指を有する構成であり、前
記4本の電極指は2つの電極指対を形成し、前記2つの
電極指対は隣り合う電極指の線幅が異なっており、細い
反射器電極指の線幅(Lr1)と太い反射器電極指の線
幅(Lr2)の線幅比率(Lr2/Lr1)が1より大
きい構成であり、前記第1の非励起電極の1波長基本セ
ルは前記第2の非励起電極の1波長基本セルと弾性表面
波の伝搬方向に対して左右対称の電極構成であることを
特徴とする弾性表面波フィルタである。
2非励起電極の線幅比率(Lr1/Lr2)が2つ以上
の値を有する領域を有することを特徴とする請求項4に
記載の弾性表面波フィルタである。
おいて、電極指対が(数1)を満足する構成であること
を特徴とする請求項3から5に記載の弾性表面波フィル
タである。
間の距離、αはIDT電極を半波長単位で区切った領域
の左端と細い電極指との距離、βはIDT電極を半波長
単位で区切った領域の右端と太い電極指との距離をそれ
ぞれ示す。
おいて、電極指対が(数2)を満足する構成であること
を特徴とする請求項3から5に記載の弾性表面波フィル
タである。
間の距離、αはIDT電極を半波長単位で区切った領域
の左端と細い電極指との距離、βはIDT電極を半波長
単位で区切った領域の右端と太い電極指との距離をそれ
ぞれ示す。
2の非励起電極において、電極指対が(数3)を満足す
る構成であることを特徴とする請求項3から5に記載の
弾性表面波フィルタである。
指間の距離、αrはIDT電極を半波長単位で区切った
領域の左端と細い電極指との距離、βrはIDT電極を
半波長単位で区切った領域の右端と太い電極指との距離
をそれぞれ示す。
2の非励起電極において、電極指対が(数4)を満足す
る構成であることを特徴とする請求項3から5に記載の
弾性表面波フィルタである。
指間の距離、αrはIDT電極を半波長単位で区切った
領域の左端と細い電極指との距離、βrはIDT電極を
半波長単位で区切った領域の右端と太い電極指との距離
をそれぞれ示す。
ルトランスデューサ電極に両方向性電極の領域とダミー
電極の領域の少なくともどちらかが含まれる構成であっ
て、前記両方向性電極は1波長内に電極指の線幅が同一
の2本あるいは4本の電極指により構成されるととも
に、ダミー電極は1波長内に電極指の線幅が同一の4本
の電極指により構成される電極であることを特徴とする
請求項1から9に記載の弾性表面波フィルタである。
圧電基板と、前記圧電基板上に少なくとも2つのインタ
ーディジタルトランスデューサ電極(以下IDT電極と
略す)とを備え、少なくとも1つの前記IDT電極は一
方向性励起電極と第1及び第2の非励起電極とを含む構
成であるとともに、前記第1の非励起電極の1波長基本
セルが前記一方向性励起電極の1波長基本セルと弾性表
面波の伝搬方向に対して同一の電極構成であるととも
に、前記第2の非励起電極の1波長基本セルが前記一方
向性励起電極の1波長基本セルと弾性表面波の伝搬方向
に対して左右対称の電極構成であることを特徴とする。
の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
1の実施の形態の弾性表面波フィルタを示すものであ
る。図1において、101は圧電基板であり、圧電基板
101の上に、入力及び出力インターディジタルトラン
スデューサ電極(以下IDT電極とする)を形成し、入
力IDT電極102と出力IDT電極103とを所定の
距離を設けて配置することによって弾性表面波フィルタ
が構成される。
基本セル104と第1の非励起電極基本セル105、及
び第2の非励起電極基本セル106とを含む構成であ
り、一方向性励起電極基本セル104と第1の非励起電
極基本セル105、及び第2の非励起電極基本セル10
6において、それぞれの基本セルは1波長(1λ)を基
本としている。
起電極基本セル107と第1の非励起電極基本セル10
8、及び第2の非励起電極基本セル109とを含む構成
であり、一方向性励起電極基本セル107と第1の非励
起電極基本セル108、及び第2の非励起電極基本セル
108において、それぞれの基本セルは1波長(1λ)
を基本としている。ここで、非励起電極とは弾性表面波
の励起に寄与しない電極のことである。
(a)は一方向性励起電極基本セル104、図2(b)
は第1の非励起電極基本セル105、図2(c)は第2
の非励起電極基本セル106を示す。
本セル104は1λ内に3本の電極指を有しており、第
1の電極指201、及び第2の電極指202は電極幅が
λ/8幅であり、第3の電極指203はλ/4幅であ
り、第1の電極指201、及び第3の電極指203は下
側の引き出し電極204に接続され、第2の電極指20
2は上側の引き出し電極205に接続され、第2の電極
指202と第1の電極指201、及び第3の電極指20
3とは交差した構造となっており、この一方向性励起電
極基本セル104にて弾性表面波を励起する。
本セル105において電極指構成は、図2(a)におけ
る一方向性励起電極基本セル104と同様であるが、第
2の電極指202が第1、及び第3の電極指201、2
03と同じ下側の引き出し電極204に接続されている
点が異なり、それぞれの電極指は交差せず、弾性表面波
の励起は行わない。また、図2(c)において、第2の
非励起電極基本セル106は、第1の非励起電極基本セ
ル105とは左右対称構造となっている。
タについて、以下、その動作を説明する。
置の概略図である。図3(a)は一方向性励起電極基本
セル104と第1の非励起電極基本セル105の配置例
であり、一方向性励起電極基本セル104の右側に第1
の非励起電極基本セル105が配置される。この場合、
一方向性励起電極基本セル104におけるλ/4幅電極
指301aと第1の非励起電極基本セル105における
λ/4幅電極指301bは反射器として作用し、その間
隔はλであり、第1の非励起電極基本セル105による
反射波は一方向性励起電極基本セル104と同じ方向性
を有し、一方向性励起電極基本セル104が右方向に強
い波を励起することに対して、第1の非励起電極基本セ
ル105による反射波は、同じ右方向に強い反射波とな
る。
セル104と第2の非励起電極基本セル106の配置例
であり、一方向性励起電極基本セル104の右側に第2
の第2の非励起電極基本セル106が配置される。この
場合、一方向性励起電極基本セル104におけるλ/4
幅電極指302aと第2の非励起電極基本セル106に
おけるλ/4幅電極指302bは反射器として作用し、
その間隔は1.5λであり、非励起電極基本セル106
による反射波は一方向性励起電極基本セル104と逆の
方向性を有し、一方向性励起電極基本セル104が右方
向に強い波を励起することに対して、第2の非励起電極
基本セル106による反射波は、逆の左方向に強い反射
波となる。
一方向性励起電極基本セル107と第1の非励起電極基
本セル108、及び第2の非励起電極基本セル109
が、入力IDT電極102の一方向性励起電極基本セル
104と第1の非励起電極基本セル105、及び第2の
非励起電極基本セル106と左右対称の構成となる。
セル104と第1の非励起電極基本セル105、及び第
2の非励起電極基本セル106とにより入力IDT電極
102を構成することにより、弾性表面波の反射による
方向性重み付けを行うことにより設計の自由度が向上
し、さらには、第1の非励起電極基本セル105、及び
第2の非励起電極基本セル106を用いて入力、及び出
力IDT電極102、103内で伝搬路を折り返すこと
により、IDT電極長さを短くしてもフィルタ特性に必
要な十分な重み付けを施すことが可能でありフィルタサ
イズの小型化が実現できる。
第1の非励起電極基本セル105、及び第2の非励起電
極基本セル106とは1λ内で同じ電極構成あるいは左
右対称構成であり、基本セル内においては弾性表面波の
音速を等しくでき、周波数特性を改善することができ
る。
ルタの通過特性図である。圧電基板としては水晶基板を
用いている。図4において、縦軸は減衰量を示し、横軸
は周波数を示しており、実線は本発明における弾性表面
波フィルタの通過特性であり、破線は従来例における弾
性表面波フィルタの通過特性である。図4において、本
発明の弾性表面波フィルタは、中心周波数(f0)から
−5dB減衰量の帯域幅が1.32MHzであり、従来
の1.18MHzに比べて広帯域な特性を有している。
このように、本発明の弾性表面波フィルタは、従来例に
比べて広帯域化、帯域内特性の平坦性が実現しているも
のである。
示すような構成でもよい。図5において、一方向性励起
電極基本セル501は1λ内に3本の電極指を有してお
り、第1の電極指502、及び第2の電極指503は電
極幅がλ/8幅であり、第3の電極指504はλ/4幅
であり、第1の電極指504、及び第3の電極指504
は下側の引き出し電極505に接続され、第2の電極指
203は上側の引き出し電極506に接続され、第1の
電極指502と第2の電極指503、及び第3の電極指
504とは交差した構造となっており、この一方向性励
起電極基本セル104にて弾性表面波を励起する。
1は、図1における一方向性励起電極基本セル104を
λ/2ずらした構成である。なお、これ以外の基本セル
構成であっても、一方向性を生じる構成であれば、本発
明においては同様の効果が得られるものである。
非励起電極基本セル、及び第2の非励起電極基本セルの
個数とIDT電極内の配置位置に関しては、本実施例に
限るものではなく、所望のフィルタ特性を得るための最
適な重み付けにより行われるものである。
性励起電極基本セルと第1の非励起電極基本セル、及び
第2の非励起電極基本セルを含む構成としているが、こ
れに限るものではなく、複数のλ/4反射器電極、ある
いは複数のλ/8幅電極指をダミー電極を含めてもよ
く、また、一方向性励起電極の他に、図6(a)に示す
ように、1λ内に同一電極幅の電極指を2本有する両方
向性電極セル601、あるいは図6(b)に示すよう
に、1λ内に同一電極幅の電極指を4本有する両方向性
電極602を含んでいても、本実施例で説明した効果と
同様に、反射波の重み付けの効果が得られる。
セル104の励起中心と両方向性電極基本セル601、
602の励起中心をλの整数倍とするために、図6
(c)、図6(d)に示すように、セル間に間隔60
3、604を設ければよい。なお、図6においては、電
極幅をλ/4、あるいはλ/8としているが、これ以外
でも、両方向性を示す特性であればかまわない。
らか一方を第2の非励起電極基本セルを含まない構成と
しても構わない。フィルタ特性は入力IDT電極と出力
IDT電極の特性の掛け合わせで得られるため、入力I
DT電極と出力IDT電極のどちらか一方の重み付けで
十分な場合は、入力IDT電極と出力IDT電極のどち
らか一方に本発明のIDT電極を適用すればよい。
の引き出し電極に接続されるとしたが、これは上側の引
き出し電極であってもかまわない。また、図7に示すよ
うに上側および下側の引き出し電極に接続されない構成
であってもよく、また、この場合は入力側の第1および
第2の非励起電極基本セル701、702、あるいは出
力側の第1および第2の非励起電極基本セル703、7
04は接地されていても本発明と同様の効果が得られ
る。
2の実施の形態の弾性表面波フィルタを示すものであ
る。図8において、801は圧電基板であり、圧電基板
801の上に、入力及び出力インターディジタルトラン
スデューサ電極(以下IDT電極とする)を形成し、入
力IDT電極802と出力IDT電極803とを所定の
距離を設けて配置することによって弾性表面波フィルタ
が構成される。
基本セル804と第1の非励起電極基本セル805、及
び第2の非励起電極基本セル806とを含む構成であ
り、一方向性励起電極基本セル804と第1の非励起電
極基本セル805、及び第2の非励起電極基本セル80
6において、それぞれの基本セルは1波長(1λ)を基
本としている。
基本セル807と第1の非励起電極基本セル808、及
び第2の非励起電極基本セル809とを含む構成であ
り、一方向性励起電極基本セル807と第1の非励起電
極基本セル808、及び第2の非励起電極基本セル80
9において、それぞれの基本セルは1波長(1λ)を基
本としている。ここで、非励起電極とは弾性表面波の励
起に寄与しない電極のことである。
(a)は一方向性励起電極基本セル804、図9(b)
は第1の非励起電極基本セル805、図9(c)は第2
の非励起電極基本セル806を示す。
本セル804は1λ内に4本の電極指を有しており、第
1の電極指対901は細い電極指901aと太い電極指
901bとにより構成される。また、第2の電極指対9
02は細い電極指902aと太い電極指902bとによ
り構成される。第1の電極指対901は上側の引き出し
電極904に接続され、第2の電極指対902は下側の
引き出し電極903に接続され、第1の電極指対901
と第2の電極指対903は交差した構造となっており、
この一方向性励起電極基本セル804にて弾性表面波を
励起する。
本セル805において電極指構成は、図9(a)におけ
る一方向性励起電極基本セル804と同様であるが、第
1の電極指対901、及び第2の電極指902の両方が
同じ下側の引き出し電極に接続されている点が異なり、
それぞれの電極指対は交差せず、弾性表面波の励起は行
わない。また、図9(c)において、第2の非励起電極
基本セル806は、第1の非励起電極基本セル805と
は左右対称構造となっている。
902aの電極指幅をL1、太い電極901b、902
bの電極指幅をL2としたときに、この場合、L2/L
1を1より大きく、好ましくは1.0から3.0の範囲
とすることにより、良好な右方向の一方向性が得られ
る。さらに、細い電極指901aと太い電極指902a
の間隔及び細い電極指901bと太い電極指902bの
間隔をγとし、一方向性励起電極基本セル804を2分
割してλ/2セルを考えて、細い電極指901aと第1
の電極指対901を含むλ/2セル905の左端との間
隔、及び細い電極指902aと第1の電極指対902を
含むλ/2セル906の左端との間隔をα、太い電極指
901bと第1の電極指対901を含むλ/2セル90
5の右端との間隔、及び太い電極指902bと第1の電
極指対902を含むλ/2セル906の右端との間隔を
βとしたとき、γはα+βよりも大きく、α<βの関係
を満足する。α<βとすることにより対称性に優れるこ
ととなり、通過帯域内偏差を小さく、通過帯域外減衰量
を大きくすることができる。
基板上において、電極指膜厚hと波長λの膜厚比率(h
/λ)がほぼ1%であり、L1+L2=λ/4であると
きには、α、βは図9(d)に示すような関係となる。
図9(d)において、縦軸はα、及びβをλ/16で規
格化した値、α/(λ/16)、β/(λ/16)であ
り、横軸は線幅比率(L2/L1)である。線幅比率か
らα、βを決定することにより、一方向性励起電極基本
セル804において、弾性表面波の励起中心と反射中心
の位相関係によって右側に強い波を生じる。
これらのα/(λ/16)、β/(λ/16)も変化す
るが、γがα+βよりも大きく、α<βの関係について
は膜厚比率(h/λ)に関係なく同じである。
タについて、以下、その動作を説明する。
配置の概略図である。図10(a)は一方向性励起電極
基本セル804と第1の非励起電極基本セル805の配
置例であり、一方向性励起電極基本セル804の右側に
第1の非励起電極基本セル805が配置される。この場
合、一方向性励起電極基本セル104における反射中心
と第1の非励起電極基本セル805における反射中心と
は位相関係が同相であり、第1の非励起電極基本セル8
05による反射波は一方向性励起電極基本セル804と
同じ方向性を有し、一方向性励起電極基本セル804が
右方向に強い波を励起することに対して、第1の非励起
電極基本セル805による反射波は、同じ右方向に強い
反射波となる。
本セル804と第2の非励起電極基本セル806の配置
例であり、一方向性励起電極基本セル804の右側に第
2の第2の非励起電極基本セル806が配置される。こ
の場合、一方向性励起電極基本セル804における反射
中心と第2の非励起電極基本セル806における反射中
心とは位相関係が逆相であり、非励起電極基本セル80
6による反射波は一方向性励起電極基本セル804と逆
の方向性を有し、一方向性励起電極基本セル804が右
方向に強い波を励起することに対して、第2の非励起電
極基本セル806による反射波は、逆の左方向に強い反
射波となる。
一方向性励起電極基本セル807と第1の非励起電極基
本セル808、及び第2の非励起電極基本セル809
が、入力IDT電極802の一方向性励起電極基本セル
804と第1の非励起電極基本セル805、及び第2の
非励起電極基本セル806と左右対称の構成となる。
セル104と第1の非励起電極基本セル805、及び第
2の非励起電極基本セル806とにより入力IDT電極
802を構成することにより、弾性表面波の反射による
方向性重み付けを行うことにより設計の自由度が向上
し、さらには、第1の非励起電極基本セル805、及び
第2の非励起電極基本セル806を用いて入力、及び出
力IDT電極802、803内で伝搬路を折り返すこと
により、IDT電極長さを短くできフィルタサイズの小
型化が実現できる。
第1の非励起電極基本セル805、及び第2の非励起電
極基本セル806とは1λ内で同じ電極構成あるいは左
右対称構成であり、基本セル内においては弾性表面波の
音速を等しくでき、周波数特性を改善することができ
る。
非励起電極基本セル、及び第2の非励起電極基本セルの
個数とIDT電極内の配置位置に関しては、本実施例に
限るものではなく、所望のフィルタ特性を得るための最
適な重み付けにより行われるものである。また、本実施
例では、IDT電極は一方向性励起電極基本セルと第1
の非励起電極基本セル、及び第2の非励起電極基本セル
を含む構成としているが、これに限るものではなく、複
数のλ/8幅電極指をダミー電極として含めてもよく、
また、一方向性励起電極の他に、図11(a)に示すよ
うに、1λ内に同一電極幅の電極指を2本有する両方向
性電極セル601、あるいは図11(b)に示すよう
に、1λ内に同一電極幅の電極指を4本有する両方向性
電極602を含んでいても、本実施例で説明した効果と
同様に、反射波の重み付けの効果が得られる。
らか一方を第2の非励起電極基本セルを含まない構成と
しても構わない。フィルタ特性は入力IDT電極と出力
IDT電極の特性の掛け合わせで得られるため、入力I
DT電極と出力IDT電極のどちらか一方の重み付けで
十分な場合は、入力IDT電極と出力IDT電極のどち
らか一方に本発明のIDT電極を適用すればよい。
の引き出し電極に接続されるとしたが、これは上側の引
き出し電極であってもかまわない。また、図12に示す
ように上側および下側の引き出し電極に接続されない構
成であってもよく、また、この場合は入力IDT側の第
1および第2の非励起電極基本セル1201、120
2、あるいは出力IDT側の第1および第2の非励起電
極基本セル1203、1204は接地されていても本発
明と同様の効果が得られる。
起電極基本セル804と第1の非励起電極基本セル80
5は伝搬方向に対して同一の電極構造、及び第2の非励
起電極基本セル806は伝搬方向に対して左右対称構造
としたが、図13に示すように、線幅比率がL2/L1
である一方向性励起電極基本セル804に対して、第1
の非励起電極基本セル1301の線幅比率をLr2/L
r1として反射率を変えてもよい。
極指1302bの間隔をγrとし、非励起電極基本セル
1301を2分割してλ/2セル1303を考えて、細
い電極指1302aとλ/2セル1303の左端との間
隔をαr、太い電極指1302bとλ/2セル1303
の右端との間隔βrとしたとき、γrはαr+βrより
も大きく、αr<βrの関係を満足する。αr<βrと
することにより対称性に優れることとなり、通過帯域内
偏差を小さく、通過帯域外減衰量を大きくすることがで
きる。また、第2の非励起電極基本セルは第1の非励起
電極基本セル1301とは左右対称構造となっている。
T電極は、線幅比率がL2/L1である一方向性励起電
極基本セル1401に対して、第1の非励起電極基本セ
ルが複数の線幅比率(Lr2/Lr1)と(Lr2a/
Lr1a)とを有する複数種類の非励起電極基本セルと
を含む構成であってもかまわない。この場合は、非励起
電極基本セルにおける反射率を変えることが可能である
ので、さらに設計の自由度が向上するものである。
4(a)に示すように、第1の非励起電極λ/2セル1
401の右側に第2の非励起電極λ/2セル1402と
を並べた構造や、あるいは第1の非励起電極λ/2セル
1401の左側に第2の非励起電極λ/2セル1402
とを並べた構造であってもかまわない。
セル1401は、図9における第1の非励起電極基本セ
ルにおけるλ/2セル905と同じ構造であり、第2の
非励起電極λ/2セル1402は第1の非励起電極λ/
2セル1401の左右対称構造である。
をh/λがおおよそ1%であり、L1+L2=λ/4と
して説明したが、h/λはそれ以外の膜厚比率でもよ
く、また、L1+L2もλ/4で以外であっても、α<
βを満足していれば、本発明と同様の効果が得られる。
基板として水晶基板を用いて説明をしたが、LiTaO
3やLi2B4O7などの他の圧電基板を用いても同様の効
果が得られる。また、La3Ga5SiO14やLa3Ga
5.5Nb0.5O14、La3Ta0. 5Ga5.5O14などの基板
の結晶異方性により電極指の周期的配置だけで一方向性
が得られる基板に対しても、電極構成は異なるが反射に
よる重み付けという点では同様の効果が得られる。
励起電極構成に関しては、第1の実施形態における一方
向性励起電極に比べ、弾性表面波の励起効率が改善され
るものであり、さらなる低損失化が実現できるものであ
る。
本発明によると、小型で広い通過帯域で優れた選択度特
性を有する弾性波表面波フィルタを提供することができ
るものである。
ィルタの構成図
起電極基本セルの配置図 (b)一方向性励起電極基本セルと第2の非励起電極基
本セルの配置図
電極基本セルを示す図 (b)1波長内に電極指を4本有する両方向性電極基本
セルを示す図 (c)一方向性励起電極基本セルと両方向性電極基本セ
ル601の配置図 (d)一方向性励起電極基本セルと両方向性電極基本セ
ル602の配置図
ィルタの他の構成図
ィルタの構成図
16)の線幅比率特性を示す図
励起電極基本セルの配置図 (b)一方向性励起電極基本セルと第2の非励起電極基
本セルの配置図
電極基本セル601の配置図 (b)一方向性励起電極基本セルと両方向性電極基本セ
ル602の配置図
フィルタの他の構成図
基本セル 106,702,806,1202 第2の非励起電極
基本セル 107,807 出力側の一方向性励起電極基本セル 108,703,808,1203 出力側の第1の非
励起電極基本セル 109,704,809,1204 出力側の第2の非
励起電極基本セル 201,502 第1の電極指 202,503 第2の電極指 203,504 第3の電極指 204,505,903 下側の引き出し電極 205,506,904 上側の引き出し電極 301a λ/4幅電極指 301b λ/4幅電極指 302a λ/4幅電極指 302b λ/4幅電極指 501 一方向性基本セル 601 両方向性電極基本セル 602 両方向性電極基本セル 603 セル間隔 604 セル間隔 901 第1の電極指対 901a,902a 細い電極指 901b,902b 太い電極指 902 第2の電極指対
Claims (10)
- 【請求項1】 圧電基板と、前記圧電基板上に少なくと
も2つのインターディジタルトランスデューサ電極とを
備え、少なくとも1つの前記インターディジタルトラン
スデューサ電極は一方向性励起電極と第1及び第2の非
励起電極とを含む構成であるとともに、前記第1の非励
起電極の1波長基本セルは前記一方向性励起電極の1波
長基本セルと弾性表面波の伝搬方向に対して同一の電極
構成であるとともに、前記第2の非励起電極の1波長基
本セルは前記一方向性励起電極の1波長基本セルと弾性
表面波の伝搬方向に対して左右対称の電極構成であるこ
とを特徴とする弾性表面波フィルタ。 - 【請求項2】 一方向性励起電極は1波長基本セルが3
本の電極指からなる構成であって、前記3本の電極指の
うち1本は他の2本と電極指の幅が異なることを特徴と
する請求項1に記載の弾性表面波フィルタ。 - 【請求項3】 一方向性励起電極は1波長基本セルが4
本の電極指を有する構成であり、前記4本の電極指は2
つの電極指対を形成し、前記2つの電極指対は隣り合う
電極指の線幅が異なっており、細い電極指の線幅(L
1)と太い電極の線幅(L2)の線幅比率(L2/L
1)が1より大きい構成であることを特徴とする請求項
1に記載の弾性表面波フィルタ。 - 【請求項4】 圧電基板と、前記圧電基板上に少なくと
も2つのインターディジタルトランスデューサ電極とを
備え、少なくとも1つの前記インターディジタルトラン
スデューサ電極は一方向性励起電極と第1及び第2の非
励起電極とを含む構成であるとともに、前記一方向性励
起電極は1波長基本セルが4本の電極指を有する構成で
あり、前記4本の電極指は2つの電極指対を形成し、前
記2つの電極指対は隣り合う電極指の線幅が異なってお
り、細い電極指の線幅(L1)と太い電極の線幅(L
2)の線幅比率(L2/L1)が1より大きい構成であ
るとともに、第1及び第2の非励起電極は1波長基本セ
ルが4本の電極指を有する構成であり、前記4本の電極
指は2つの電極指対を形成し、前記2つの電極指対は隣
り合う電極指の線幅が異なっており、細い反射器電極指
の線幅(Lr1)と太い反射器電極指の線幅(Lr2)
の線幅比率(Lr2/Lr1)が1より大きい構成であ
り、前記第1の非励起電極の1波長基本セルは前記第2
の非励起電極の1波長基本セルと弾性表面波の伝搬方向
に対して左右対称の電極構成であることを特徴とする弾
性表面波フィルタ。 - 【請求項5】 第1または/及び第2非励起電極の線幅
比率(Lr1/Lr2)が2つ以上の値を有する領域を
有することを特徴とする請求項4に記載の弾性表面波フ
ィルタ。 - 【請求項6】 一方向性励起電極において、電極指対が
(数1)を満足する構成であることを特徴とする請求項
3から5に記載の弾性表面波フィルタ。 (数1) γ>α+β ただし、γは電極指対における細い電極指と太い電極指
間の距離、αはIDT電極を半波長単位で区切った領域
の左端と細い電極指との距離、βはIDT電極を半波長
単位で区切った領域の右端と太い電極指との距離をそれ
ぞれ示す。 - 【請求項7】 一方向性励起電極において、電極指対が
(数2)を満足する構成であることを特徴とする請求項
3から5に記載の弾性表面波フィルタ。 (数2) γ>α+βおよびα<β ただし、γは電極指対における細い電極指と太い電極指
間の距離、αはIDT電極を半波長単位で区切った領域
の左端と細い電極指との距離、βはIDT電極を半波長
単位で区切った領域の右端と太い電極指との距離をそれ
ぞれ示す。 - 【請求項8】 第1または/及び第2の非励起電極にお
いて、電極指対が(数3)を満足する構成であることを
特徴とする請求項3から5に記載の弾性表面波フィル
タ。 (数3) γr>αr+βr ただし、γrは電極指対における細い電極指と太い電極
指間の距離、rはIDT電極を半波長単位で区切った領
域の左端と細い電極指との距離、βrはIDT電極を半
波長単位で区切った領域の右端と太い電極指との距離を
それぞれ示す。 - 【請求項9】 第1または/及び第2の非励起電極にお
いて、電極指対が(数4)を満足する構成であることを
特徴とする請求項3から5に記載の弾性表面波フィル
タ。 (数4) γr>αr+βrおよびαr<βr ただし、γrは電極指対における細い電極指と太い電極
指間の距離、αrはIDT電極を半波長単位で区切った
領域の左端と細い電極指との距離、βrはIDT電極を
半波長単位で区切った領域の右端と太い電極指との距離
をそれぞれ示す。 - 【請求項10】 インターディジタルトランスデューサ
電極に両方向性電極の領域とダミー電極の領域の少なく
ともどちらかが含まれる構成であって、前記両方向性電
極は1波長内に電極指の線幅が同一の2本あるいは4本
の電極指により構成されるとともに、ダミー電極は1波
長内に電極指の線幅が同一の4本の電極指により構成さ
れる電極であることを特徴とする請求項1から9に記載
の弾性表面波フィルタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000042275A JP3395752B2 (ja) | 2000-02-21 | 2000-02-21 | 弾性表面波フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000042275A JP3395752B2 (ja) | 2000-02-21 | 2000-02-21 | 弾性表面波フィルタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001237666A true JP2001237666A (ja) | 2001-08-31 |
JP3395752B2 JP3395752B2 (ja) | 2003-04-14 |
Family
ID=18565372
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000042275A Expired - Lifetime JP3395752B2 (ja) | 2000-02-21 | 2000-02-21 | 弾性表面波フィルタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3395752B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6806619B2 (en) | 2001-10-16 | 2004-10-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Interdigital transducer, surface acoustic wave filter, and radio communication apparatus |
WO2005036742A1 (de) * | 2003-09-29 | 2005-04-21 | Epcos Ag | Mit oberflächenwellen arbeitender wandler |
WO2006092184A1 (de) * | 2005-03-01 | 2006-09-08 | Epcos Ag | Bandpassfilter |
JP2012084953A (ja) * | 2010-10-07 | 2012-04-26 | Panasonic Corp | 弾性波素子と、これを用いた分波器 |
-
2000
- 2000-02-21 JP JP2000042275A patent/JP3395752B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6806619B2 (en) | 2001-10-16 | 2004-10-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Interdigital transducer, surface acoustic wave filter, and radio communication apparatus |
US6870302B2 (en) | 2001-10-16 | 2005-03-22 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Interdigital transducer, surface acoustic wave filter, and radio communication apparatus |
WO2005036742A1 (de) * | 2003-09-29 | 2005-04-21 | Epcos Ag | Mit oberflächenwellen arbeitender wandler |
US7489213B2 (en) | 2003-09-29 | 2009-02-10 | Epcos Ag | Surface acoustic wave transducer |
DE10345239B4 (de) * | 2003-09-29 | 2013-09-05 | Epcos Ag | Mit Oberflächenwellen arbeitender Wandler |
WO2006092184A1 (de) * | 2005-03-01 | 2006-09-08 | Epcos Ag | Bandpassfilter |
US7800463B2 (en) | 2005-03-01 | 2010-09-21 | Epcos Ag | Band pass filter |
JP2012084953A (ja) * | 2010-10-07 | 2012-04-26 | Panasonic Corp | 弾性波素子と、これを用いた分波器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3395752B2 (ja) | 2003-04-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10938371B2 (en) | Acoustic wave resonator, filter, and multiplexer | |
KR100312001B1 (ko) | 탄성표면파장치 | |
US6046656A (en) | Elastic boundary wave device and method of its manufacture | |
US20070267942A1 (en) | Piezoelectric film resonator, radio-frequency filter using them, and radio-frequency module using them | |
JP5689080B2 (ja) | 圧電薄膜共振子、通信モジュール、通信装置 | |
JP6513104B2 (ja) | 弾性波共振器、これを用いた弾性波フィルタ、アンテナ共用器、モジュール及び通信機器 | |
US7135805B2 (en) | Surface acoustic wave transducer | |
WO2000076067A1 (fr) | Filtre a ondes de surface | |
US20230107820A1 (en) | Assembly with partially embedded interdigital transducer electrode | |
WO2000070758A1 (fr) | Dispositif d'onde acoustique de surface | |
JP3438705B2 (ja) | 表面波装置及び通信機装置 | |
US20010035802A1 (en) | Surface acoustic wave filter, duplexer, and communication device | |
JP2001237666A (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
JP2002330048A (ja) | 弾性表面波フィルタ及びこれを用いた通信機器 | |
JP7493306B2 (ja) | 弾性波装置 | |
JP2005278154A (ja) | 一方向性弾性表面波変換器及びそれを用いた弾性表面波デバイス | |
JP3248231B2 (ja) | 弾性表面波トランスデュ−サおよび弾性表面波デバイス | |
JP4561337B2 (ja) | 一方向性弾性表面波変換器及びそれを用いた弾性表面波デバイス | |
JP3290164B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
JPH1056353A (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
JPH08204501A (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
JP4506394B2 (ja) | 一方向性弾性表面波変換器及びそれを用いた弾性表面波デバイス | |
JP2002043887A (ja) | 弾性表面波フィルタ及びこれを用いた通信機器 | |
JP3445261B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ及びこれを用いた通信機器 | |
JP2001326552A (ja) | 弾性表面波変換器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 3395752 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080207 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090207 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100207 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100207 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110207 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120207 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130207 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130207 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140207 Year of fee payment: 11 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D02 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |