JP2001229581A - 精密駆動ステージ駆動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ヨーイングを抑えて安定な送りを実現させる
ことができ、送りピッチ精度を向上させることができる
精密駆動ステージ駆動装置を提供する。 【解決手段】 １対のダンパーを精密駆動ステージに対
称に設け、ステージにかかる駆動力が２つのダンパーの
真中に作用させる。１対のダンパーの一方の空間同士か
ら出た粘性流体を同じ開口制限部を通過させて１対のダ
ンパーの他方の空間内に流入させるようにして、常に２
つのダンパーのダンピング力を一定にする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばナノメータ
単位の高精度の送りが要求される精密駆動ステージ駆動
装置に関するものである。そのような精密駆動ステージ
駆動装置を適用する例としては、光ディスクの原盤を作
製するマスタリング工程で使われるレーザビームレコー
ダの記録ヘッドの送り装置などがある。

【０００２】

【従来の技術】高精度の光ディスクは、サブミクロンの
トラックピッチで、サブミクロンの大きさの小さな「ピ
ット」と呼ばれる信号が螺旋状に記録されている。その
原盤をレーザで記録する装置が「レーザビームレコー
ダ」と呼ばれており、ナノメータ単位の送り精度が要求
される。そのため、記録光学系を搭載したステージは、
スティックスリップを防ぐため静圧空気軸受けでガイド
され、分解能がナノメータ単位の位置検出器で位置を検
出して送り速度が制御されていた。

【０００３】しかし、この方式はガイドが静圧空気軸受
けのため、送り方向の抵抗成分がなく、床振動や空気振
動、又はステージ上の記録レンズアクチュエータの振動
など、外乱に対しては拘束力がなかった。そのため静圧
空気軸受けにダンパーを設けて抵抗を与え、スティック
スリップがなく、かつ、送りに抵抗がある方式が試みら
れている。

【０００４】これを図５に従って従来例の送り装置を説
明する。３１はガイドで、３２はステージである。ステ
ージ３２とガイド３１の間に静圧空気軸受けが形成され
ている。ステージ３２の下に図示されていないがリニア
モータが取付けられていて、ステージ３２に駆動力を与
える。ステージ３２の片側に腕１８が取付けられてい
て、先端に記録レンズアクチュエータ１９が固定されて
いる。記録レンズアクチュエータ１９は記録レンズ２０
を上下移動可能に保持する部材である。３６はガラス原
盤で、図６の回転モータ１０により矢印の方向に回転さ
せられる。ステージ３２が移動することにより記録レン
ズから出射されるレーザ光が回転するガラス原盤３６を
露光し、螺旋状に信号列を記録していくとともに、ナノ
メータ単位の送り精度でステージ３２が送られて、ガラ
ス盤３６の信号記録領域に信号が記録される。ステージ
３２の腕取付け側とは反対側にダンパー受け部材１５が
取付けられている。ダンパー１６の移動ロッド１７の先
端がダンパー受け部材１５に固定されている。ダンパー
１６は粘性流体を内蔵するタイプのダンパーでステージ
３２が矢印の方向に移動する時に速度に比例した抵抗を
与える。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】図６に上記従来例の装
置の断面図を示す。３１はガイド、３２はステージであ
る。腕１８に固定された記録レンズアクチュエータ１９
の記録レンズにレーザ光１１が入射し、ガラス原盤３６
に焦点を結ぶ。レーザ光１１はガラス盤３６上の感光剤
を露光し信号を記録する。記録レンズアクチュエータ１
９はガラス盤３６の上下変動に対し常に焦点をガラス盤
３６上に結ぶように焦点誤差を検出して記録レンズを動
かす役目をする。１０は回転モータである。１５はダン
パー受け部材で、図５のダンパーロッド１７の先端が固
定されている。ステージ３２の下側にはボイスコイル１
２が取付けられていて、磁気ヨーク１３ａ、１３ｂ、１
３ｃと磁石１４が形成する磁気回路のギャップ内を移動
する。ここで、ボイスコイル１２に電流が流されると、
フレミングの法則に従い紙面に垂直な力がステージ３２
に働く。これが駆動力になりステージ３２を所定の速度
で移動させる。図６から分かるように、駆動力はステー
ジ３２の下側中央に働くが、ステージ３２に抵抗を与え
るダンピングはダンピング受け部材１５の位置にあり、
ステージ３２にモーメント力が働いていた。このモーメ
ント力は静圧空気軸受けの両サイドの空気軸受けに変位
を与え、いわゆるヨーイングを起していた。そのため、
腕１８に取付けられた記録レンズアクチュエータ１９が
ガラス盤３６の半径方向に動き、トラックピッチのむら
を生じさせていた。

【０００６】従って、本発明の目的は、上記問題を解決
することにあって、ヨーイングを抑えて安定な送りを実
現させることができ、送りピッチ精度を向上させること
ができる精密駆動ステージ駆動装置を提供することにあ
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は以下のように構成する。

【０００８】本発明の第１態様によれば、精密駆動ステ
ージと、上記精密駆動ステージに駆動力を作用させて上
記精密駆動ステージを直線的に移動させる駆動源と、上
記精密駆動ステージの直線的な移動を案内する精密軸受
けと、上記駆動源の両側でかつ上記精密駆動ステージの
直線的な移動方向沿いに配置されかつ上記精密駆動ステ
ージの直線的な移動に抵抗を与える１対のダンパーとを
備え、上記駆動源から上記精密駆動ステージに作用され
る上記駆動力を、上記１対のダンパーのほぼ真中に作用
させるようにしたことを特徴とする精密駆動ステージ駆
動装置を提供する。

【０００９】本発明の第２態様によれば、上記各ダンパ
ーは、内部に粘性流体が充填されたシリンダーと、上記
シリンダー内を摺動往復するピストンとを有し、上記精
密駆動ステージがある方向に直線的に移動するときの上
記１対のダンパーの上記シリンダー内の上記ピストンで
隔てられた圧縮側の空間同士を第１配管で接続するとと
もに膨張側の空間同士を第２配管で接続し、上記第１配
管と上記第２配管とを第３配管で接続し、上記第３配管
の途中に、上記粘性流体の移動を制限する絞りを有する
開口制限器をさらに備える第１の態様に記載の精密駆動
ステージ駆動装置を提供する。

【００１０】本発明の第３態様によれば、上記開口制限
器は、上記粘性流体の移動を制限する絞りを構成する開
口を有し、上記開口の大きさが調整自在である第２の態
様に記載の精密駆動ステージ駆動装置を提供する。

【００１１】本発明の第４態様によれば、上記１対のダ
ンパーは、上記精密軸受けに対して対称の位置に配置さ
れている第１〜３のいずれかの態様に記載の精密駆動ス
テージ駆動装置を提供する。

【００１２】本発明の第５態様によれば、上記精密軸受
けが静圧空気軸受けである第１〜４のいずれかの態様に
記載の精密駆動ステージ駆動装置を提供する。

【００１３】本発明の第６態様によれば、光ディスクの
原盤を作製するマスタリング工程で使用するレーザビー
ムレコーダの記録ヘッドの送り装置として使用され、か
つ、上記精密駆動ステージの片側に取付けられた腕の先
端に記録レンズアクチュエータが固定され、上記記録レ
ンズアクチュエータには記録レンズが上下動可能に支持
されて、記録レーザが上記記録レンズに入射してスポッ
ト形状に絞られて上記記録レンズを出たビームが、回転
モータで回転させられるガラス盤を照射して信号を記録
するとともに、上記精密駆動ステージが移動する第１〜
５のいずれかの態様に記載の精密駆動ステージ駆動装置
を提供する。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下に、本発明にかかる実施の形
態を図面に基づいて詳細に説明する。

【００１５】本発明の第１実施形態にかかる精密駆動ス
テージ駆動装置を、図１及び図２に従って説明する。こ
の第１実施形態にかかる精密駆動ステージ駆動装置は、
光ディスクの原盤を作製するマスタリング工程で使用す
るレーザビームレコーダの記録ヘッドの送り装置として
使用される場合について説明する。

【００１６】図１及び図２において、１は静圧空気軸受
けのようなスティックスリップのない精密軸受けより構
成されるガイド、２は精密駆動ステージである。３は精
密駆動ステージ２の片側に取付けられた腕で、腕３の先
端に記録レンズアクチュエータ４が固定されている。記
録レンズアクチュエータ４には記録レンズ５が上下動可
能に支持されている。ガラス盤６は図６で示したような
回転モータ１０で回転させられる。記録レーザは、記録
レンズ５に入射して小さなスポットに絞られる。記録レ
ンズ５を出た記録レーザビームがガラス盤６を小さなス
ポットとして照射してガラス盤６に信号を記録するとと
もに、ナノメータ単位の送り精度で精密駆動ステージ２
が送られて、ガラス盤６の信号記録領域に信号が記録さ
れるのは、従来例で説明した通りである。

【００１７】ステージ２の両サイドにはダンパー受け部
材７ａ，７ｂが突出して取付けられている。上記精密軸
受けのガイド１に対して対称の位置に、２つのダンパー
８ａ，８ｂがステージ２の両サイド近傍に互に平行に配
置されている。この２つのダンパー８ａ，８ｂのダンパ
ーロッド９ａ、９ｂの先端が、それぞれダンパー受け部
材７ａ，７ｂに固定されている。ダンパー８ａ，８ｂは
図示されない固定具で精密駆動ステージ駆動装置基台に
固定されている。ステージ２が図１の矢印の方向に例え
ばナノメータ単位の送り精度で直線的に移動すると、ダ
ンパーロッド９ａ，９ｂは互いに平行に直線的に移動し
てダンパーの８ａ，８ｂ中に押し込まれ、ダンパー８
ａ，８ｂ中の粘性流体の抵抗を受ける。粘性流体として
はシリコンオイルなどを用いる。このダンパー８ａ，８
ｂは図４の左右の両送り方向の移動に対して抵抗があ
り、送り方向への抗力だけでなく、ステージ２が左右方
向に振動するのも防止することができる。

【００１８】図２は図１の断面図を示し、ステージ２の
真下に、ステージ２の駆動源の一部としてボイスコイル
１２が取付けられている。図２において、１３ａ、１３
ｂ、１３ｃは磁気ヨーク、１４は磁気ヨーク１３ａ、１
３ｂ、１３ｃ間に配置された磁石である。ボイスコイル
１２が駆動力を受ける原理は従来例で説明した通りであ
る。すなわち、磁気ヨーク１３ａ、１３ｂ、１３ｃと磁
石１４が形成する磁気回路のギャップ内をボイスコイル
１２が移動するとき、ボイスコイル１２に電流が流され
ると、フレミングの法則に従い図４の紙面を貫通する方
向沿いに力がステージ１２に働く。これが駆動力にな
り、ステージ１２の駆動源としてステージ１２を所定の
速度で移動させることができる。

【００１９】図２に示すように、この第１実施形態では
駆動力が１対のダンパー８ａ，８ｂのほぼ真中に作用す
る。この結果、各々のダンパー８ａ，８ｂに均等に力が
かかるため、ステージ２にモーメント力が発生しない。
従って、静圧空気軸受け膜に垂直な方向の力が発生せ
ず、ヨーイングを起すことがない。

【００２０】ガイド１とステージ２の間に静圧空気軸受
け膜が形成されているが、２つのダンパー８ａ，８ｂは
左右の静圧空気軸受け膜の外側に、静圧空気軸受けに対
し対称に配置されている。そのため、ステージ２はより
安定に２つのダンパー８ａ，８ｂで支持される。その効
果を以下に述べる。

【００２１】ステージ２の片側には、記録レンズアクチ
ュエータ４（図６の従来例のアクチュエータ１９参照）
が固定されている。前述したように、ガラス盤６の回転
に伴う振動によって、ガラス盤６の上面は上下動する
が、記録レンズ５の焦点が常にガラス盤６の上面に結ぶ
ように、記録レンズ５がガラス盤６の上面の振動に追従
している。その記録レンズ５の上下動の振動がステージ
２に伝わり、ステ−ジ２を加振する。従来例のようにス
テージ３２の力学的支持が不安定であれば、水平方向に
も微少な振動を起し、その振動が記録レンズを正規の位
置からずらしてピッチ誤差を生じさせることになる。し
かしながら、上記第１実施形態によれば、ステージ２に
対して対称に２つのダンパー８ａ，８ｂが配置されてい
れば、ステージ２の水平方向の振動を抑えることが出来
る。ステージ２に影響する外乱はこれ以外にも、床振動
や記録レーザの冷却水の脈動などがある。この第１実施
形態の構成のステージ駆動装置では、これらの外乱に対
しても、同様の効果を有している。

【００２２】このように、上記第１実施形態によれば、
静圧空気軸受けのようなスティックスリップのない精密
軸受けをガイド１として構成し、ボイスコイル１２と磁
気ヨーク１３ａ、１３ｂ、１３ｃと磁石１４とより構成
される上記駆動源より駆動力を受けて直線的に往復移動
するステージ２において、ステージ２の動きに抵抗を与
えるダンパー８ａ，８ｂを１対設け、かつ、２つのダン
パー８ａ，８ｂを精密軸受けのガイド１に対し対称に配
置することによって、上記駆動力がステージ２の上記１
対のダンパー８ａ，８ｂのほぼ真中に作用するように配
置している。このため、ステージ２は、２つのダンパー
８ａ，８ｂでもって、より安定して支持され、かつ、ス
テージ２を動かす駆動力は２つのダンパー８ａ，８ｂに
均等に作用し、モーメント力を発生しない。そのため、
ステージ２にヨーイングを起すことがない。

【００２３】次に、本発明の第２実施形態にかかる精密
駆動ステージ駆動装置を説明する。上記第１実施形態に
かかる精密駆動ステージ駆動装置において左右のダンパ
ー８ａ，８ｂの抵抗力に若干の差があれば、その分だけ
モーメントが働き、ステージ２に横方向の力を発生させ
ることになる。この問題を解決することができるのが、
第２実施形態にかかる精密駆動ステージ駆動装置であ
る。この精密駆動ステージ駆動装置を図３，図４に基づ
いて説明する。

【００２４】図３は上記精密駆動ステージ駆動装置の平
面図であり、基本的構成は図１の第１実施形態の上記駆
動装置と同じである。ただ１対のダンパー８ａ，８ｂが
配管によって接続されている。図４に一対のダンパー８
ａ，８ｂを模式的に示している。ダンパー８ａ，８ｂは
シリンダーであり、その内部に収納されたピストン２１
ａ，２１ｂによってシリンダー内が２つの左右の空間２
２ａと２３ａ及び２２ｂ，２３ｂに隔てられている。図
４の例ではダンパーロッド９ａ，９ｂが左方向に移動し
ており、左側空間２２ａ，２２ｂが圧縮側で、右側空間
２３ａ，２３ｂが膨張側になっている。そして、図３の
ようにダンパー８ａ，８ｂの圧縮側の左側空間２２ａ，
２２ｂが第１配管２４で接続されている。また、膨張側
の右側空間２３ａ，２３ｂが第２配管２６で接続されて
いる。そして、第１配管２４と第２配管２６はそれぞの
中央部で第３配管２７で接続されており、第３配管２７
の途中に、上記粘性流体の移動を制限する絞りを有する
開口制限器２５が設けられている。この絞りは、調整可
能な開口より構成されている。この調整可能な開口の一
例としては、図４のように開口制限器２５内の通路２５
ａの一部が回転し、実質的に流通断面積を可変できる構
造などがある。

【００２５】このような構造において、図４のようにダ
ンパーロッド９ａ，９ｂが左方向に移動すると、ダンパ
ー８ａ，８ｂの左側空間２２ａ，２２ｂより各シリンダ
ー内から第１配管２４に同時的に粘性流体が流れ出す。
両ダンパー８ａ，８ｂから第１配管２４に流出した粘性
流体は、ともに第３配管２７を通り、第２配管２６に向
けて、開口制限器２５を通過する。このような構成のダ
ンパー８ａ，８ｂは、開口制限器２５の開口度合いすな
わち絞り度合いによって抵抗力を得ているため、２つの
ダンパー８ａ，８ｂの抵抗力は同じ値となる。そのた
め、２つのダンパー８ａ，８ｂの抵抗力の差によって横
方向のモーメントが発生することがない。開口制限器２
５を通過した粘性流体は、第２配管２６を通り、２つの
ダンパー８ａ，８ｂの膨張側空間２３ａ，２３ｂに等し
く流れ込んで収納される。また、ピストン２１ａ及び２
１ｂが逆方向に動いた時も同様の効果を有する。すなわ
ち、図４においてダンパーロッド９ａ，９ｂが右方向に
移動すると、ダンパー８ａ，８ｂの右側空間２３ａ，２
３ｂより各シリンダー内の粘性流体が第２配管２６に流
出する。両ダンパー８ａ，８ｂから流出した粘性流体は
ともに第３配管２７を通り、第１配管２４に向けて、開
口制限器２５を通過する。このとき、上記と同様に、ダ
ンパー８ａ，８ｂは、開口制限器２５の開口度合いすな
わち絞りによって抵抗力を得ているため、２つのダンパ
ー８ａ，８ｂの抵抗力は同じ値となる。そのため、２つ
のダンパー８ａ，８ｂの抵抗力の差によって横方向のモ
ーメントが発生することがない。開口制限器２５を通過
した粘性流体は、第１配管２４を通り、２つのダンパー
８ａ，８ｂの膨張側の左側空間２２ａ，２２ｂに等しく
流れ込んで収納される。

【００２６】上記第２実施形態によれば、上記したよう
に、２つのダンパー８ａ，８ｂの圧縮側空間よりそれぞ
れ流れ出た粘性流体は一旦各シリンダーの外に出て、同
じ配管２４又は２６で交わり、同じ開口制限器２５を通
過する。そのため、ダンパー８ａ，８ｂの抵抗力が常に
同じになるのである。この結果、２つのダンパー８ａ，
８ｂの抵抗力の差によって横方向のモーメントが発生す
ることがない。また、上記ダンパー８ａ，８ｂは、内部
に粘性流体が充填されたシリンダーと上記シリンダー内
を摺動往復するピストン２１ａ，２１ｂを有し、上記１
対のダンパー８ａ，８ｂの、上記ピストン２１ａ，２１
ｂに隔てられた上記シリンダー内の圧縮側及び及び膨張
側の空間をそれぞれ配管２４又は２６で接続し、上記２
つの配管２４及び２６を第３配管２７で接続し、上記第
３配管２７の途中に上記粘性流体の移動を制限する開口
制限器２５が設けられている。そのため、ピストン２１
ａ，２１ｂの移動によって生じる粘性流体の移動は左右
のダンパー８ａ，８ｂとも同じ開口制限部２５を通るた
め抵抗力は同じ値となり、ステージ２に横方向のモーメ
ントを与えることがない。このように、２つのダンパー
８ａ，８ｂの抵抗力が同じになるような構成をとれば、
モーメントを無くすことができて、ステージ２のより安
定した移動を実現することができる。

【００２７】なお、本発明は上記実施形態に限定される
ものではなく、その他種々の態様で実施できる。例え
ば、各実施形態では、ガイド１として静圧空気軸受けに
ついて説明したが、静圧空気軸受けに代えて、スティッ
クスリップを起さないようなクロスローラガイドなどの
精密軸受けであってもよい。

【００２８】

【発明の効果】本発明の精密駆動ステージ駆動装置によ
れば、静圧空気軸受けのようなスティックスリップのな
い精密軸受けをガイドとして構成し、駆動源より駆動力
を受けて直線的に往復移動するステージにおいて、ステ
ージの動きに抵抗を与えるダンパーを１対設け、かつ、
２つのダンパーを精密軸受けのガイドに対して対称に配
置することによって、上記駆動力がステージの上記１対
のダンパーのほぼ真中に作用するように配置している。
このため、ステージは、２つのダンパーでもって、より
安定して支持され、かつ、ステージを動かす駆動力は２
つのダンパーに均等に作用し、モーメント力を発生しな
い。そのため、ステージにヨーイングを起すことがな
く、高精度の定速送りを実現し、精度の良い送りピッチ
を得ることができる。

【００２９】よって、この精密駆動ステージ駆動装置
を、光ディスクの原盤を作製するマスタリング工程で使
用するレーザビームレコーダの記録ヘッドの送り装置と
して使用するようにすれば、ナノメータ単位の高精度の
送りピッチを得ることができる。

【００３０】ステージは機械的にバランスされた安定な
ダンピング力を受けており、記録レンズの振動や床振動
などの外乱に対してステージが振動し、トラックピッチ
誤差を起するのを防ぐことが出来る。

【００３１】また、２つのダンパーの圧縮側空間よりそ
れぞれ流れ出た粘性流体は一旦各シリンダーの外に出
て、同じ配管で交わり、同じ開口制限器を通過するよう
にすれば、ダンパーの抵抗力が常に同じになる。この結
果、２つのダンパーの抵抗力の差によって横方向のモー
メントが発生することがない。また、上記ダンパーは、
内部に粘性流体が充填されたシリンダーと上記シリンダ
ー内を摺動往復するピストンを有するようにし、かつ、
上記１対のダンパーの、上記ピストンに隔てられた上記
シリンダー内の圧縮側及び及び膨張側の空間をそれぞれ
配管で接続し、上記２つの配管を第３配管で接続し、上
記第３配管の途中に上記粘性流体の移動を制限する開口
制限器を設けるようにすれば、ピストンの移動によって
生じる粘性流体の移動は左右のダンパーとも同じ開口制
限部を通るため抵抗力は同じ値となり、ステージに横方
向のモーメントを与えることがない。このように、２つ
のダンパーの抵抗力が同じになるような構成をとれば、
モーメントを無くすことができて、ステージのより安定
した移動を実現することができる。

【００３２】よって、このような精密駆動ステージ駆動
装置を、光ディスクの原盤を作製するマスタリング工程
で使用するレーザビームレコーダの記録ヘッドの送り装
置として使用するようにすれば、ステージは機械的にバ
ランスされた安定なダンピング力を受けることになり、
記録レンズの振動や床振動などの外乱に対してステージ
が振動し、トラックピッチ誤差を起するのを防ぐことが
出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１実施形態にかかかる精密駆動ス
テージ駆動装置の平面図である。

【図２】 図１の精密駆動ステージ駆動装置の断面図で
ある。

【図３】 本発明の第２実施形態にかかかる精密駆動ス
テージ駆動装置の平面図である。

【図４】 図３の精密駆動ステージ駆動装置のダンパー
部の模式図である。

【図５】 従来例の平面図である。

【図６】 図５の従来例の断面図である。

【符号の説明】

１…ガイド、２…ステージ、３…腕、４…記録レンズア
クチュエータ、５…記録レンズ、６…ガラス盤、７ａ，
７ｂ…ダンパー受け部材、８ａ，８ｂ…ダンパー、９
ａ，９ｂ…ダンパーロッド、１０…回転モータ、１１…
レーザビーム、１２…ボイスコイル、１３ａ，１３ｂ，
１３ｃ…磁気ヨーク、１４…磁石、２１ａ…ピストン、
２２ａ…圧縮側空間、２３ａ…膨張側空間、２４…第１
配管、２５…開口制限器、２６…第２配管、２７…第３
配管。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3J069 AA59 EE36 EE62 5D068 AA02 BB01 CC01 EE01 GG03 GG07 5D117 AA02 CC04 JJ02 JJ12 KK10 5D121 AA02 BB38 BB40 JJ03 JJ04

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 精密駆動ステージと、 上記精密駆動ステージに駆動力を作用させて上記精密駆
   動ステージを直線的に移動させる駆動源と、 上記精密駆動ステージの直線的な移動を案内する精密軸
   受けと、 上記駆動源の両側でかつ上記精密駆動ステージの直線的
   な移動方向沿いに配置されかつ上記精密駆動ステージの
   直線的な移動に抵抗を与える１対のダンパーとを備え、 上記駆動源から上記精密駆動ステージに作用される上記
   駆動力を、上記１対のダンパーのほぼ真中に作用させる
   ようにしたことを特徴とする精密駆動ステージ駆動装
   置。
2. 【請求項２】 上記各ダンパーは、内部に粘性流体が充
   填されたシリンダーと、上記シリンダー内を摺動往復す
   るピストンとを有し、上記精密駆動ステージがある方向
   に直線的に移動するときの上記１対のダンパーの上記シ
   リンダー内の上記ピストンで隔てられた圧縮側の空間同
   士を第１配管で接続するとともに膨張側の空間同士を第
   ２配管で接続し、上記第１配管と上記第２配管とを第３
   配管で接続し、上記第３配管の途中に、上記粘性流体の
   移動を制限する絞りを有する開口制限器をさらに備える
   請求項１に記載の精密駆動ステージ駆動装置。
3. 【請求項３】 上記開口制限器は、上記粘性流体の移動
   を制限する絞りを構成する開口を有し、上記開口の大き
   さが調整自在である請求項２に記載の精密駆動ステージ
   駆動装置。
4. 【請求項４】 上記１対のダンパーは、上記精密軸受け
   に対して対称の位置に配置されている請求項１〜３のい
   ずれかに記載の精密駆動ステージ駆動装置。
5. 【請求項５】 上記精密軸受けが静圧空気軸受けである
   請求項１〜４のいずれかに記載の精密駆動ステージ駆動
   装置。
6. 【請求項６】 光ディスクの原盤を作製するマスタリン
   グ工程で使用するレーザビームレコーダの記録ヘッドの
   送り装置として使用され、かつ、上記精密駆動ステージ
   の片側に取付けられた腕の先端に記録レンズアクチュエ
   ータが固定され、上記記録レンズアクチュエータには記
   録レンズが上下動可能に支持されて、記録レーザが上記
   記録レンズに入射してスポット形状に絞られて上記記録
   レンズを出たビームが、回転モータで回転させられるガ
   ラス盤を照射して信号を記録するとともに、上記精密駆
   動ステージが移動する請求項１〜５のいずれかに記載の
   精密駆動ステージ駆動装置。