JPH08329476A

JPH08329476A - 光ディスク原盤露光装置および光ディスク原盤露光装置の制御方法

Info

Publication number: JPH08329476A
Application number: JP13247095A
Authority: JP
Inventors: Jun Nishida; 純西田; Nobutaka Kikuiri; 信孝菊入; Yuichi Tachikawa; 雄一立川; Norio Uchida; 憲男内田
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1995-05-31
Filing date: 1995-05-31
Publication date: 1996-12-13

Abstract

(57)【要約】【目的】光ディスク原盤に露光を行う露光装置のスライ
ダの振動を抑制し、スライダ上の対物レンズを精度良く
定速で移動させることを目的とする。【構成】スライダ１上に設けられた露光用光学系６によ
って、露光ビーム５が対物レンズ８で集光される。対物
レンズ８は、取り付けた第１微動テーブル１０の位置を
微調整する圧電素子１１が第２微動テーブル９に設けら
れる。対物レンズ８と対向する位置に光ディスク原盤４
が配置されている。光ディスク原盤４を回転させるター
ンテーブル２が配置されている。そして、スライダ１の
振動と同じ距離だけ、第１微動テーブル１０を振動方向
と逆向きに移動させることにより、スライダ１の振動は
打ち消され、第１微動テーブル１０上の対物レンズ８
は、スライダ１の目標とする定速移動を精度良く行うこ
とが可能となる。すると、トラックピッチの精度を劣化
させることもない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、光ディスク原盤露光装
置およびその制御方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】光ディスクは、大量の情報を記録するこ
とができ、情報化社会を支える記憶媒体として近年世界
中に広まりつつある。現在、そのトラックピッチは１
［μｍ］以下とも言われ、光ディスクを用いた原盤露光
装置には、ナノメートルオーダの高精度位置決め技術が
要求される。

【０００３】このような高精度な位置決めを必要とする
露光装置の従来例について、図面を参照しながら説明し
ていく。図４は、従来の露光装置の側面図で、図５は、
露光装置の制御方法を表す制御図である。

【０００４】図４に示すように、一軸方向に移動可能な
スライダ１０１は、空気圧によってレール１１９に対し
て非接触に浮上している。スライダ１０１上には、複数
のレンズや鏡からなる露光用光学系１０６が設けられて
いる。また、スライダ１０１には、第２粗動テーブル１
０９が接続され、第２粗動テーブル１０９に第２微動テ
ーブル１２１が接続されている。第２微動テーブル１２
１には、対物レンズ１０８が固定されている。ここで第
２粗動テーブル１０９と第２微動テーブル１２１は、ス
ライダ１０１の移動方向に対して直交する方向、すなわ
ち鉛直方向に移動が可能である。対物レンズ１０８と非
接触に対向する位置に光ディスクなどの原盤１０４が配
置され、原盤１０４は、エアチャック装置１０３によっ
て固定されている。エアチャック装置１０３は、ターン
テーブル１０２上に配置され、図示されないエアスピン
ドルによって回転自在となっている。さらに、第２微動
テーブル１２１の固定部には、対物レンズ位置計測用ミ
ラー１１４が設けられている。

【０００５】一方、レーザ光発生装置１２０から発生し
原盤１０４に露光を行う露光ビーム１０５は、スライダ
１０１上の露光用光学系１０６に導かれ、折り返しミラ
ー１０７を経て、対物レンズ１０８で集光され、原盤１
０４上に結像する。

【０００６】そして露光中は、対物レンズ１０８で集光
した露光ビーム１０５が正確に原盤１０４上で結像する
ように、第２微動テーブル１２１を微調整しながら露光
動作を行っていく。

【０００７】光ディスク原盤は、原盤毎に必ずしも厚さ
が一定ではないため、第２微動テーブル１２１の調整範
囲に入るように、あらかじめ露光前に第２粗動テーブル
１０９で対物レンズ１０８と原盤１０４の距離を粗調整
しておく。

【０００８】そして、スライダ１０１をレール１１９に
沿って所定の位置より所定の速度パターンで逐次移動さ
せる。そして、同時に第２微動テーブル１０９を駆動す
ることによって露光軸の焦点位置を微調整させ結像し、
露光を行っていく。

【０００９】ここで、対物レンズ１０８の位置検出は、
ヘリウムネオンレーザ１１２を、対物レンズ位置計測用
ミラー１１４に当てることによって行っている。また、
図５に示されるように、対物レンズ位置計測用ミラー１
１４からの位置信号は、スライダ制御系１１６に入力さ
れ、ＣＰＵ(Central Processing Unit)１１８からの位
置信号と比較処理され、モータ１１５に駆動力を与え
る。

【００１０】そして、駆動力が与えられたモータ１１５
は、スライダ１０１に設けられるロッド１２１を摩擦駆
動させてスライダ１０１を所定の位置より所定の速度パ
ターンで移動させていく。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】上記のような露光装置
およびその制御方法では、スライダは空気圧によって案
内され、スライダの後に設けられているロッドを摩擦駆
動することによって移動する仕組みになっている。そし
て、スライダの位置は、ヘリウムネオンレーザなどを用
いたレーザ測長計によって計測され、フィードバック制
御されて低速送りを実現している。

【００１２】しかしながら、このスライダには、ローリ
ング、ピッチング、ヨーイングなどが少なく、さらに真
直度が良く、高精度が要求されるが、従来ロッドを摩擦
駆動する場合の機械的接触の不均一さや磨耗、経年変化
によって、また外乱によって、スライダの移動方向に微
小な振動が発生するといった問題があった。

【００１３】また、スライダの高精度の低速送りにはサ
ーボを用いるが、精度を上げるためにサーボゲインをな
るべく高く設定する必要がある。しかしながら、スライ
ダの機械的共振周波数があまり高くないためにサーボゲ
インを高く取れず、移動方向の微小な振動が残るといっ
た問題があった。

【００１４】以上のような振動がスライダに搭載された
集光手段である対物レンズに伝わり、対物レンズによる
結像位置はスライダの移動方向に振動してしまう。する
と露光ビームは、光ディスクなどの原盤上の本来の位置
には露光せず、トラックピッチ精度の劣化が生じるとい
った問題が起こってくる。

【００１５】本発明は上記のような従来の技術の問題点
に鑑みてなされたもので、スライダの振動や送り誤差を
減少させることで、対物レンズが振動したり送り誤差が
生じても、トラックピッチ精度を劣化させることのない
露光装置および制御方法を提供することを目的とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに本発明の光ディスク原盤露光装置は、露光用光学系
と、前記露光用光学系によって導かれる露光ビームを集
光させる集光手段と、前記集光手段を接続する移動可能
なスライダと、前記スライダに接続され、前記スライダ
の移動方向とは異なる方向に移動可能な粗動装置と、前
記集光手段による露光ビームの集光位置に光ディスク原
盤を保持可能とする、回転可能なターンテーブルと、前
記スライダの位置を測定するスライダ位置測定用手段
と、前記集光手段の位置を測定する集光手段位置計測用
手段と、前記粗動装置に接続され、前記スライダの移動
方向とは異なる方向に移動可能な第２微動装置と、前記
第２微動装置に接続され、前記集光手段位置計測用手段
から検出される結果に基づいて、前記集光手段を前記ス
ライダの移動方向と同一方向に微動させる第１微動装置
とから構成される。

【００１７】また、本発明の光ディスク露光装置は、露
光用光学系と、前記露光用光学系によって導かれる露光
ビームを集光させる集光手段と、前記集光手段を接続す
る移動可能なスライダと、前記集光手段による露光ビー
ムの集光位置に光ディスク原盤を保持可能とする、回転
可能なターンテーブルと、前記ターンテーブルを前記ス
ライダの移動方向とは異なる方向に移動可能なターンテ
ーブル移動装置と、前記スライダの位置を測定するスラ
イダ位置測定用手段と、前記集光手段の位置を測定する
集光手段位置計測用手段と、前記スライダに接続され、
前記スライダの移動方向とは異なる方向に移動可能な第
２微動装置と、前記第２微動装置に接続され、前記集光
手段位置計測用手段から検出される結果に基づいて、前
記集光手段を前記スライダの移動方向と同一方向に微動
させる第１微動装置とから構成される。

【００１８】また、本発明の光ディスク原盤露光装置の
制御方法は、スライダの位置を測定するスライダ位置測
定用手段から得られる位置信号が入力され、前記スライ
ダの位置決め制御を行うスライダ制御系と、前記スライ
ダの移動方向と同一方向に微動する集光手段の位置を測
定する集光手段位置計測用手段から得られる位置信号が
入力され、前記集光手段の位置決め制御を行う微動装置
制御系とから構成され、前記スライダ制御系に出力され
るスライダの位置情報の目標値と、前記微動装置制御系
に出力される前記集光手段の位置情報の目標値とが、同
一かつ同期した信号となるように制御される構成とし
た。

【００１９】

【作用】以上述べたように本発明の構成によれば、微動
装置には、スライダが定速移動時に生じさせる振動や送
り誤差の量と同じ大きさで、振動や送り誤差を打ち消す
方向（反対の方向）に移動を行わせることができる。

【００２０】そして、微動装置に設けられる集光手段
は、スライダの目標とする定速移動と同じ定速移動が可
能となる。その結果、スライダの振動や送り誤差を減少
させ、スライダが振動したり送り誤差が生じても、トラ
ックピッチ精度を劣化させることのない露光装置および
その制御方法を実現している。

【００２１】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しながら
説明していく。図１は、露光装置の第１実施例の側面図
を示している。図１に示すように、露光装置の第１実施
例の構成図を示している。

【００２２】図１に示すように、一軸方向に移動可能な
スライダ１は、空気圧によってレール２０に対して非接
触に浮上している。スライダ１上には、複数のレンズや
鏡からなる露光用光学系６が設けられている。また、ス
ライダ１には、粗動テーブル２３（粗動装置）が接続さ
れている。そして、粗動テーブル２３には、第１微動テ
ーブル１０（第１微動装置）が接続され、第１微動テー
ブル１０に、第２微動テーブル９（第２微動装置）が接
続されている。第２微動テーブル９には、対物レンズ８
（集光手段）が固定されている。

【００２３】ここで、第１微動テーブル１０は、スライ
ダ１の移動方向と同一方向に移動が可能であり、第２微
動テーブル９と粗動テーブル２３は、スライダ１の移動
方向に対して直交方向、すなわち鉛直方向に例えばボイ
スコイルモータや直流モータによって移動可能である。

【００２４】また、第１微動テーブル１０には、圧電素
子１１が接続され、第１微動テーブル１０が移動可能と
なる。そして、対物レンズ８と非接触に対向する位置に
光ディスク原盤４があり、光ディスク原盤４は、エアチ
ャック装置３によって固定されている。エアチャック装
置３は、ターンテーブル２上に配置され、図示されない
エアスピンドルによって回転自在となっている。

【００２５】さらに、第２微動テーブル９の固定部に
は、対物レンズ位置計測用ミラー１４（集光手段位置計
測用手段）が設けられている。また、スライダ１には、
スライダ位置計測用ミラー１３（スライダ位置計測用手
段）が設けられている。

【００２６】ここで、スライダ１の位置検出には、ヘリ
ウムネオンレーザ１２ａを、スライダ位置計測用ミラー
１３に当てることによって行っている。また、対物レン
ズ８の位置検出には、ヘリウムネオンレーザ１２ｂを、
対物レンズ位置計測用ミラー１４に当てることによって
行っている。そして、レーザ発生装置２１から発生し光
ディスク原盤４に露光を行う露光ビーム５は、スライダ
１上の露光用光学系６に導かれ、折り返しミラー７を経
て、対物レンズ８で集光され、ほぼ光ディスク原盤４上
に結像し、露光を行っていく。

【００２７】ここで、スライダ１を初期位置に移動させ
る。そして、粗動テーブル２３により、厚さの異なる種
々の光ディスク原盤４に対して、大雑把に焦点を合わせ
る。そして、第２微動テーブル９で焦点を合わせなが
ら、スライダ１を対物レンズ８の位置測定結果から得た
位置情報を、対物レンズ８の位置目標値に近付けるよう
に、スライダ１をレール２０に沿って一軸方向に所定の
速度パターンで移動させると共に、第１微動テーブル１
０によって、対物レンズ８は、スライダ１の移動方向に
同一方向に、スライダ１の振動や対物レンズ８の振動に
よる送り誤差を打ち消すような方向に駆動することによ
って、スライダ１や対物レンズ８の送り誤差の微調整を
行いながら光ディスク原盤４に露光していく。

【００２８】ここで、圧電素子１１が伸びれば、伸縮自
在な接続部２３ａが縮み、接続部２３ｂが伸びて露光軸
を微調整していく。逆に、圧電素子１１が縮めば、接続
部２３ａが伸び、接続部２３ｂが縮む。

【００２９】以上、述べたような構成によれば、本実施
例では、露光面のブレの際に生ずる結像位置の誤差も第
１微動テーブル１０によってスライダ１の鉛直方向に対
物レンズ８を微動することで調整が可能である。

【００３０】また、光ディスク原盤４に露光を行う際に
は、スライダ１の鉛直方向の精度以上に、スライダ１の
移動方向の精度が特に重要である。そのため、本構成に
よれば、対物レンズ８を微動させる圧電素子１１がより
対物レンズ８の近くにあることによって、粗動テーブル
２３の移動に伴うスライダ１ん移動方向に対して同一方
向の移動誤差も第１微動テーブル１０で補償でき、露光
に必要な高精度な位置決めが可能となり、スライダ１が
振動したり、また、送り誤差が生じても、トラックピッ
チの精度を劣化させることのない露光装置を実現してい
る。

【００３１】次に、図２は、露光装置の第２実施例の側
面図を示している。この実施例の特徴は、スライダ１側
には、スライダ１の移動方向に対して直交する方向に粗
動させる装置を設けずに、ターンテーブル４側に設けて
いることにある。

【００３２】図２に示すように、一軸方向に移動可能な
スライダ１は、空気圧によってレール２０に対して非接
触に浮上している。スライダ１上には、複数のレンズや
鏡からなる露光用光学系６が設けられている。また、ス
ライダ１には、テーブル２９が接続されている。そし
て、テーブル２９には第１微動テーブル（第１微動装
置）１０が接続され、第１微動テーブル１０に第２微動
テーブル（第２微動装置）９が接続されている。第２テ
ーブル９には、対物レンズ（集光手段）８が固定されて
いる。第１微動テーブル１０には、圧電素子１１が接続
され、第１微動テーブル１０が移動可能となる。

【００３３】そして、対物レンズ８と非接触に対向する
位置に光ディスク原盤４が配置されている。光ディスク
原盤４は、エアチャック装置３によって固定されてい
る。エアチャック装置３は、ターンテーブル２上に配置
されている。エアチャック装置３は、エアスピンドルを
設けた移動可能なターンテーブル移動装置１９上に配置
してある。

【００３４】ここで、第１微動テーブル１０は、スライ
ダ１の移動方向と同一方向に移動が可能である。また、
ターンテーブル移動装置１９と第２微動テーブル９は、
スライダ１の移動方向に対して直交する方向、すなわち
鉛直方向に移動が可能である。そして、対物レンズ８
には、対物レンズ位置計測用ミラー１４ａ（集光手段位
置計測用手段）が設けられている。また、スライダ１に
は、スライダ位置計測用ミラー１３（スライダ位置計測
用手段）が設けられている。

【００３５】そして、レーザ発生装置２１から発生する
光ディスク原盤４に露光を行う露光ビーム５は、スライ
ダ１上の露光用光学系６に導かれ、折り返しミラー７を
経て、対物レンズ８で集光され、ほぼ光ディスク原盤４
上に結像し、露光を行っていく。ここで、スライダ１
を初期位置に移動させる。そして、ターンテーブル移動
装置１９により、厚さの異なる種々の光ディスク原盤４
に対して、焦点距離の誤差範囲内に大雑把に焦点を合わ
せる。そして、第２微動テーブル９で焦点を合わせなが
ら、スライダ１を対物レンズ８の位置測定結果から得た
位置情報を、対物レンズ８の位置目標値に近付けるよう
に、スライダ１をレール２０に沿って所定の速度パター
ンで移動させる。それと同時に、第１微動テーブル１０
によって、対物レンズ８は、スライダ１の移動方向と同
一方向に、スライダ１の振動や対物レンズ８の振動によ
る送り誤差を打ち消すような方向に駆動することによっ
て、スライダ１や対物レンズ８の送り誤差の微調整を行
いながら光ディスク原盤４に露光していく。

【００３６】ここで、圧電素子１１が伸びれば、伸縮自
在な接続部２３ａが縮み、接続部２３ｂが伸びて露光軸
を微調整していく。逆に、圧電素子１１が縮めば、接続
部２３ａが伸び、接続部２３ｂが縮む。この様にして、
対物レンズ８の焦点位置をスライダ１の移動方向に微調
整する。

【００３７】以上、述べたような構成によれば、本実施
例では第１実施例の機能を発揮することはいうまでもな
く、ターンテーブル移動装置１９を設けることにより、
光ディスク原盤４の交換時に光ディスク原盤４の厚みの
変動に応じて、スライダ１の移動方向に対して直交方向
の高さを調整することが可能となる。

【００３８】また、スライダ１に搭載される微動装置が
１つであるため軽量化が実現されるとともに、重量に起
因するたわみも低減できる。また、光ディスク原盤露光
装置のスライダ１の移動方向の剛性の低さによって、装
置全体の共振周波数が低下することも回避可能である。

【００３９】そのため、対物レンズ８の集光位置に関し
て高精度な位置決めが可能となる。そして、スライダ１
の振動や送り誤差を減少させ、スライダ１が振動した
り、また、送り誤差が生じても、トラックピッチの精度
を劣化させることのない露光装置を実現している。

【００４０】次に、図３は、露光装置の制御方法の実施
例を表す制御図である。対物レンズ８（集光手段）に対
物レンズ位置計測用ミラー１４（集光手段位置計測用手
段）が設けられており、また、スライダ１にスライダ位
置計測用ミラー１３（集光手段位置計測用手段）が設け
られている。

【００４１】対物レンズ８の位置検出は、図示されない
ヘリウムネオンレーザを対物レンズ位置計測用ミラー１
４に当てることによって行っている。また、スライダ１
の位置検出は、ヘリウムネオンレーザをスライダ位置計
測用ミラー１３に当てることによって行っている。そし
て、対物レンズ８の位置信号は、第１微動装置制御系１
７に送られる。また、スライダ１の位置信号は、スライ
ダ制御系１６に送られる。

【００４２】スライダ制御系１６は、スライダ１を駆動
させるモータ１５にＰＩＤ(Proportional Integrationa
l and Differential) 制御によって処理された位置信号
を送っており、また、第１微動装置制御系１７は、対物
レンズ８を微調整する圧電素子１１に例えばＰＩＤ制御
やＦＦ(Feed Forward)制御などによって処理された位置
信号を送っている。

【００４３】また、スライダ制御系１６と第１微動装置
制御系１７にＣＰＵ(Central Processing Unit) １８が
接続されてある。このような構成の露光装置の制御方法
について以下、説明していく。

【００４４】まず、スライダ１が図７中の鎖線で書かれ
た矢印の方向に定速で移動している場合を考える。ここ
で、スライダ１を定速で送る場合、ＣＰＵ１８よりスラ
イダ制御系１６と第１微動装置制御系１７に定速移動の
同一の位置情報が送られる。そして、スライダ制御系１
６と第１微動装置制御系１７は、出力タイミングが同期
され、常に同一の位置目標値がそれぞれの制御系に出力
されるようになっている。そこで、スライダ１の位置の
実測値から定速移動の目標値を差し引くと、図６（ｂ）
に示すようなスライダ１の振動成分が残る。この振動成
分の影響をなくすために以下の制御を行っていく。

【００４５】スライダ位置計測用ミラー１３にヘリウム
ネオンレーザを照射することによって計測されるスライ
ダ１の位置の実測値は、スライダ制御系１６にフィード
バックされてＰＩＤ制御に利用される。

【００４６】また、対物レンズ８の位置は、対物レンズ
位置計測用ミラー１４にヘリウムネオンレーザを照射す
ることによって計測される対物レンズ８の位置の実測値
は、第１微動装置制御系１７にフィードバックされてＰ
ＩＤ制御に利用される。

【００４７】このような構成においては、スライダ１が
目標値とほぼ同じ定速移動が実現されるが、微小な振動
が発生する場合がある。しかし、第１微動テーブル１０
は、位置情報が定速送りとなっているため、第１微動装
置制御系１７のサーボ機能によって、スライダ１の振動
によって生じる送り誤差分ほど、送り誤差を打ち消す方
向に移動する。すなわち、スライダ１の振動成分は、圧
電素子１１によって第１微動テーブル１０を移動させる
ことによって、結果的に打ち消される。

【００４８】したがって、第１微動テーブル１０の上の
対物レンズ８には、スライダ１の目標とする定速移動信
号が実現される。以上のような構成において、対物レン
ズ８には振動のない定速送りが実現され、一定のトラッ
クピッチで露光することが可能となる。また、スライダ
１に定常的な送り誤差があっても振動の場合と同じよう
に動作して、結果的に定常的な送り誤差が打ち消され
る。

【００４９】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ス
ライダの移動方向の振動や送り誤差を打ち消すことがで
きるため、スライダ上の集光手段に振動や送り誤差が伝
わらず、精度のよい定速送りが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の露光装置の第１実施例の側面図。

【図２】本発明の露光装置の第２実施例の側面図。

【図３】本発明の露光装置の制御方法を表す制御図。

【図４】従来の露光装置の側面図。

【図５】従来の露光装置の制御方法を表す制御図。

【符号の説明】

１スライダ２ターンテーブル３エアチャック装置４光ディスク原盤５露光ビーム６露光用光学系７折り返しミラー８対物レンズ（集光手段）９第２微動テーブル（第２微動装置）１０第１微動テーブル（第１微動装置）１１圧電素子（第１微動装置）１２ａ、１２ｂヘリウムネオンレーザ１３スライダ位置計測用ミラー（スライダ位置計測用
手段）１４、１４ａ対物レンズ位置計測用ミラー（集光手段
位置計測用手段）１５モータ１６スライダ制御系１７第１微動装置制御系１８ＣＰＵ１９ターンテーブル移動装置２０レール２１レーザ発生装置２２アンプ（第１微動装置制御系）２３粗動テーブル（粗動装置）２３ａ、２３ｂ接続部

フロントページの続き (72)発明者内田憲男神奈川県川崎市幸区小向東芝町１番地株式会社東芝研究開発センター内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】露光用光学系と、前記露光用光学系によっ
て導かれる露光ビームを集光させる集光手段と、前記集
光手段を接続する移動可能なスライダと、前記スライダ
に接続され、前記スライダの移動方向とは異なる方向に
移動可能な粗動装置と、前記集光手段による露光ビーム
の集光位置に光ディスク原盤を保持可能とする、回転可
能なターンテーブルと、前記スライダの位置を測定する
スライダ位置測定用手段と、前記集光手段の位置を測定
する集光手段位置計測用手段と、前記粗動装置に接続さ
れ、前記スライダの移動方向とは異なる方向に移動可能
な第２微動装置と、前記第２微動装置に接続され、前記
集光手段位置計測用手段から検出される結果に基づい
て、前記集光手段を前記スライダの移動方向と同一方向
に微動させる第１微動装置とから構成されることを特徴
とする光ディスク原盤露光装置。
【請求項２】露光用光学系と、前記露光用光学系によっ
て導かれる露光ビームを集光させる集光手段と、前記集
光手段を接続する移動可能なスライダと、前記集光手段
による露光ビームの集光位置に光ディスク原盤を保持可
能とする、回転可能なターンテーブルと、前記ターンテ
ーブルを前記スライダの移動方向とは異なる方向に移動
可能なターンテーブル移動装置と、前記スライダの位置
を測定するスライダ位置測定用手段と、前記集光手段の
位置を測定する集光手段位置計測用手段と、前記スライ
ダに接続され、前記スライダの移動方向とは異なる方向
に移動可能な第２微動装置と、前記第２微動装置に接続
され、前記集光手段位置計測用手段から検出される結果
に基づいて、前記集光手段を前記スライダの移動方向と
同一方向に微動させる第１微動装置とから構成されるこ
とを特徴とする光ディスク原盤露光装置。
【請求項３】スライダの位置を測定するスライダ位置測
定用手段から得られる位置信号が入力され、前記スライ
ダの位置決め制御を行うスライダ制御系と、前記スライ
ダの移動方向と同一方向に微動する集光手段の位置を測
定する集光手段位置計測用手段から得られる位置信号が
入力され、前記集光手段の位置決め制御を行う微動装置
制御系とから構成され、前記スライダ制御系に出力され
るスライダの位置情報の目標値と、前記微動装置制御系
に出力される前記集光手段の位置情報の目標値とが、同
一かつ同期した信号となるように制御されることを特徴
とする光ディスク原盤露光装置の制御方法。