JP2001225270A - サンドブラスト装置及びサンドブラスト装置における研掃材の分級方法及び該方法におけるダスト捕集方法 - Google Patents
サンドブラスト装置及びサンドブラスト装置における研掃材の分級方法及び該方法におけるダスト捕集方法Info
- Publication number
- JP2001225270A JP2001225270A JP2000033866A JP2000033866A JP2001225270A JP 2001225270 A JP2001225270 A JP 2001225270A JP 2000033866 A JP2000033866 A JP 2000033866A JP 2000033866 A JP2000033866 A JP 2000033866A JP 2001225270 A JP2001225270 A JP 2001225270A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cyclone
- processing chamber
- classifying
- nozzle
- abrasive material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/10—Greenhouse gas [GHG] capture, material saving, heat recovery or other energy efficient measures, e.g. motor control, characterised by manufacturing processes, e.g. for rolling metal or metal working
Landscapes
- Cyclones (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】サイクロンを可及的に小型化し、サイクロンの
分級能力を向上する。 【解決手段】研掃材を噴射するノズルを備える加工室か
らサイクロンを介して集塵装置へ至る研掃材の分級機構
を有するサンドブラスト装置において、前記加工室を、
該加工室と前記サイクロンを連通する風管の前記加工室
との連結部以外の部分を気密状態とする。
分級能力を向上する。 【解決手段】研掃材を噴射するノズルを備える加工室か
らサイクロンを介して集塵装置へ至る研掃材の分級機構
を有するサンドブラスト装置において、前記加工室を、
該加工室と前記サイクロンを連通する風管の前記加工室
との連結部以外の部分を気密状態とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はサンドブラスト装置に
おいてエネルギーコストを下げ、サイクロンの小型化を
可能として研掃材の分級性能を向上する方法に関し、よ
り詳細にはサンドブラスト装置の加工室において、該加
工室からサイクロンへの風管以外の部分を完全に密閉す
ることにより、集塵装置においてブロアーを使用するこ
となく、ノズルから噴射される高圧ガスのみを使用して
加工室からサイクロンを通り集塵装置へ気流を生成し、
最小限のエネルギーにより研掃材の分級と粉塵などの集
塵を行い、前記サイクロンに流れる風量を減少すること
により前記サイクロンを小型化でき、従って、分級能力
を向上せしめる手段に関する。
おいてエネルギーコストを下げ、サイクロンの小型化を
可能として研掃材の分級性能を向上する方法に関し、よ
り詳細にはサンドブラスト装置の加工室において、該加
工室からサイクロンへの風管以外の部分を完全に密閉す
ることにより、集塵装置においてブロアーを使用するこ
となく、ノズルから噴射される高圧ガスのみを使用して
加工室からサイクロンを通り集塵装置へ気流を生成し、
最小限のエネルギーにより研掃材の分級と粉塵などの集
塵を行い、前記サイクロンに流れる風量を減少すること
により前記サイクロンを小型化でき、従って、分級能力
を向上せしめる手段に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のサンドブラスト装置は、図２に示
すように、集塵装置３に取り付けたブロアー１０を回転
させることにより負圧を発生させ、この負圧により加工
室１からサイクロン２を通り集塵装置３に流れる気流を
生成し、この気流によりサイクロン２での分級および集
塵装置３による破砕された研掃材と、研削された被化工
物の微粉末などのダストの集塵を行う。
すように、集塵装置３に取り付けたブロアー１０を回転
させることにより負圧を発生させ、この負圧により加工
室１からサイクロン２を通り集塵装置３に流れる気流を
生成し、この気流によりサイクロン２での分級および集
塵装置３による破砕された研掃材と、研削された被化工
物の微粉末などのダストの集塵を行う。
【０００３】すなわち、同図において、ノズル７から噴
射された研掃材は集塵装置３のブロアー１０による負圧
力により加工室１からホッパー２０を通り風管１５を介
してサイクロン２に運ばれる。このとき研掃材を運ぶ気
流は、外気取り入れ口２８から流入する外気とノズル７
から噴射される高圧ガスにより生成される。
射された研掃材は集塵装置３のブロアー１０による負圧
力により加工室１からホッパー２０を通り風管１５を介
してサイクロン２に運ばれる。このとき研掃材を運ぶ気
流は、外気取り入れ口２８から流入する外気とノズル７
から噴射される高圧ガスにより生成される。
【０００４】この気流の力によりサイクロン２におい
て、使用できる研掃材と、破砕された研掃材及び切削さ
れた加工基板の切削くず（「ダスト」とも言う。）に分
級され、使用できる研掃材は研掃材タンク２３に入り、
破砕された研掃材及び切削された被化工物（「加工基
板」とも言う。）の切削くずは集塵機３の前記負圧によ
り風管１６を通り、集塵装置３に捕集される。研掃材タ
ンク２３に入った研掃材は研掃材定量供給装置２４から
研掃材ホース２１に入り、加工室１においてノズル７か
ら高圧ガスと研掃材の混合流体３０として、搬送装置２
７上の被化工物に噴射される。
て、使用できる研掃材と、破砕された研掃材及び切削さ
れた加工基板の切削くず（「ダスト」とも言う。）に分
級され、使用できる研掃材は研掃材タンク２３に入り、
破砕された研掃材及び切削された被化工物（「加工基
板」とも言う。）の切削くずは集塵機３の前記負圧によ
り風管１６を通り、集塵装置３に捕集される。研掃材タ
ンク２３に入った研掃材は研掃材定量供給装置２４から
研掃材ホース２１に入り、加工室１においてノズル７か
ら高圧ガスと研掃材の混合流体３０として、搬送装置２
７上の被化工物に噴射される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】かような従来のサンド
ブラスト装置においては、集塵装置３からの負圧による
気流を生成し、分級および集塵を行うため、加工室１に
気流を作るための外気の取り入れ口２８が必要となる。
また、前記ノズル７から噴射した研掃材が加工室から飛
び出さないようにするため、通常ノズル７から噴射する
高圧ガスの３倍以上の風量を加工室１に引き込むように
集塵装置３のブロアー１０を設定する。
ブラスト装置においては、集塵装置３からの負圧による
気流を生成し、分級および集塵を行うため、加工室１に
気流を作るための外気の取り入れ口２８が必要となる。
また、前記ノズル７から噴射した研掃材が加工室から飛
び出さないようにするため、通常ノズル７から噴射する
高圧ガスの３倍以上の風量を加工室１に引き込むように
集塵装置３のブロアー１０を設定する。
【０００６】しかしながら、あまりに大量の空気を外部
から取り込むとサンドブラスト装置を設置したクリーン
ルームなどの作業環境を完全に密閉することができず、
さらに作業環境を空調する場合には、大型の空調装置を
使用する必要があり、できるだけ空気の取り込み量を少
なくすることが望まれている。
から取り込むとサンドブラスト装置を設置したクリーン
ルームなどの作業環境を完全に密閉することができず、
さらに作業環境を空調する場合には、大型の空調装置を
使用する必要があり、できるだけ空気の取り込み量を少
なくすることが望まれている。
【０００７】さらに、大量の風量を流すためには集塵装
置の能力を大きくする必要があるため、集塵装置自体も
大きくなりエネルギーコストも高くなる。同時に大量の
風量を保持し、圧損を少なくするためには、サイクロン
も大きくする必要があり装置全体が大きくなってしま
う。一般的にサイクロンは外形が大きくなると分級能力
が下がり、微細な研掃材が分級できなくなってしまう。
置の能力を大きくする必要があるため、集塵装置自体も
大きくなりエネルギーコストも高くなる。同時に大量の
風量を保持し、圧損を少なくするためには、サイクロン
も大きくする必要があり装置全体が大きくなってしま
う。一般的にサイクロンは外形が大きくなると分級能力
が下がり、微細な研掃材が分級できなくなってしまう。
【０００８】例えばサンドブラストによりＰＤＰなどの
高精細リブのパターン研削化工を行う場合、パターン幅
を細くする要求があり、微細な研掃材を循環使用する要
望が高くなっており、このためにもサイクロンの分級能
力をより向上する必要があり、サイクロンを可及的に小
型化する必要がある。
高精細リブのパターン研削化工を行う場合、パターン幅
を細くする要求があり、微細な研掃材を循環使用する要
望が高くなっており、このためにもサイクロンの分級能
力をより向上する必要があり、サイクロンを可及的に小
型化する必要がある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明においては、上記
課題を解決する手段として、サンドブラスト装置におい
て、前記加工室を、該加工室と前記サイクロンを連通す
る風管の前記加工室との連結部以外の部分を気密状態と
したことを特徴とするものである。かような構成によ
り、前記集塵装置において負圧を生成するブロアーを使
用する必要がなく、前記ノズルから噴射される高圧ガス
により前記加工室内の圧力を大気圧より高くすることに
より、前記加工室から、一定量の研掃材を収容したタン
クを下方に設置して成るサイクロンを通り集塵装置へ流
れる気流が生成され、この気流を利用してサイクロンに
て研掃材を分級し、且つ、集塵装置での粉塵の除去を行
うものである。
課題を解決する手段として、サンドブラスト装置におい
て、前記加工室を、該加工室と前記サイクロンを連通す
る風管の前記加工室との連結部以外の部分を気密状態と
したことを特徴とするものである。かような構成によ
り、前記集塵装置において負圧を生成するブロアーを使
用する必要がなく、前記ノズルから噴射される高圧ガス
により前記加工室内の圧力を大気圧より高くすることに
より、前記加工室から、一定量の研掃材を収容したタン
クを下方に設置して成るサイクロンを通り集塵装置へ流
れる気流が生成され、この気流を利用してサイクロンに
て研掃材を分級し、且つ、集塵装置での粉塵の除去を行
うものである。
【００１０】この方法によりサンドブラスト装置内を流
れる風量が研掃材から噴射する圧縮空気のみとなり、前
記サイクロン及び前記集塵装置を小型可することができ
る。またサイクロンが小型可されることにより分級性能
が向上し、また、前記加工室を完全密閉にできることに
より加工室からの研掃材の飛散の問題も解消した。
れる風量が研掃材から噴射する圧縮空気のみとなり、前
記サイクロン及び前記集塵装置を小型可することができ
る。またサイクロンが小型可されることにより分級性能
が向上し、また、前記加工室を完全密閉にできることに
より加工室からの研掃材の飛散の問題も解消した。
【００１１】
【発明の実施の形態】図１において加工基板８を基板固
定台５に固定して、加工室１を完全に密閉する。
定台５に固定して、加工室１を完全に密閉する。
【００１２】ノズル７から高圧ガスと研掃材の混合流体
が噴射されると、高圧ガスにより加工室１内の圧力が大
気圧に比べ高くなり、加工室１から風管１５を通りサイ
クロン２へ送られ、さらにサイクロン２から風管１６を
通り集塵装置３に流入する気流が生成される。
が噴射されると、高圧ガスにより加工室１内の圧力が大
気圧に比べ高くなり、加工室１から風管１５を通りサイ
クロン２へ送られ、さらにサイクロン２から風管１６を
通り集塵装置３に流入する気流が生成される。
【００１３】すなわち、サイクロン２下方は、研掃材タ
ンク２３に連通しているが、研掃材タンク２３は、所定
量の研掃材を常に収納しており、研掃材タンク２３から
本実施形態における研掃材定量供給装置２４を経て、研
掃材ホース２１への回路は、閉鎖され、サイクロン２も
風間１６への連結部分を除き気密状態となっており、集
塵装置３に流入する気流のみが生成される。
ンク２３に連通しているが、研掃材タンク２３は、所定
量の研掃材を常に収納しており、研掃材タンク２３から
本実施形態における研掃材定量供給装置２４を経て、研
掃材ホース２１への回路は、閉鎖され、サイクロン２も
風間１６への連結部分を除き気密状態となっており、集
塵装置３に流入する気流のみが生成される。
【００１４】加工室１からの気流によって、噴射された
研掃材が搬送されてサイクロン２に入る。ここで、加工
室１から集塵装置３に流れる気流により、分級され、使
用できる研掃材は研掃材タンク２３に入り破砕された研
掃材及び切削された加工基板の切削くずなどのダストは
上記集塵装置３へ流れる気流により集塵装置３に運ばれ
集塵装置３内の図示せざるフィルターに捕集され、気体
は、排気口１２より排出される。
研掃材が搬送されてサイクロン２に入る。ここで、加工
室１から集塵装置３に流れる気流により、分級され、使
用できる研掃材は研掃材タンク２３に入り破砕された研
掃材及び切削された加工基板の切削くずなどのダストは
上記集塵装置３へ流れる気流により集塵装置３に運ばれ
集塵装置３内の図示せざるフィルターに捕集され、気体
は、排気口１２より排出される。
【００１５】なお、この排気口１２に前記噴射圧力以下
のブロワーを設けてもよい。
のブロワーを設けてもよい。
【００１６】研掃材タンク２３に入った研掃材は、実施
例では、研掃材定量供給装置２４を経て、いわゆるサク
ション式あるいは直圧式による移送力により、研掃材ホ
ース２１からノズル７に送られ圧縮空気などの高圧流体
との混合流体３０として噴射される。
例では、研掃材定量供給装置２４を経て、いわゆるサク
ション式あるいは直圧式による移送力により、研掃材ホ
ース２１からノズル７に送られ圧縮空気などの高圧流体
との混合流体３０として噴射される。
【００１７】なお、２６はノズル駆動部で加工基板８に
対して一定範囲でノズルを移動させる機構である。 実施例１ 本発明装置による実施例と従来のブラスト装置を比較す
る。 本発明の実施例 サイクロン外形：φ１００mm ノズル内の加工内圧：0.5kg/cm2 ノズルから噴射する圧縮空気量：1.5m3/min 研掃材の噴射量：200g/min 使用した研掃材：カーボランダム＃１５００ 加工基板：4インチシリコンウェハー ノズル距離：３０mm ガン移動距離：１５０mm 加工基板移動幅：１５０mm ノズル移動スピード：１０m/min 基板移動スピード：３０mm/min 加工深さ：８μｍ 従来の装置 サイクロン外形：φ３００mm ノズル内の加工内圧：0.5kg/cm2 ノズルから噴射する圧縮空気量：1.5m3/min 集塵装置の風量：10.8m3/min 研掃材の噴射量：200g/min 使用した研掃材：カーボランダム＃１５００ 加工基板：4インチシリコンウェハー ノズル距離：３０mm ガン移動距離：１５０mm 加工基板移動幅：１５０mm ノズル移動スピード：１０m/min 基板移動スピード：３０mm/min 加工深さ：８μｍ 上記の装置例で比較すると、従来の装置と本発明装置の
研掃材の噴射量及びノズルから噴射される空気量は同じ
であり、4インチのシリコンウェハーを加工したときに
加工時間3分で深さ８μｍと同じ加工能力であった。
対して一定範囲でノズルを移動させる機構である。 実施例１ 本発明装置による実施例と従来のブラスト装置を比較す
る。 本発明の実施例 サイクロン外形：φ１００mm ノズル内の加工内圧：0.5kg/cm2 ノズルから噴射する圧縮空気量：1.5m3/min 研掃材の噴射量：200g/min 使用した研掃材：カーボランダム＃１５００ 加工基板：4インチシリコンウェハー ノズル距離：３０mm ガン移動距離：１５０mm 加工基板移動幅：１５０mm ノズル移動スピード：１０m/min 基板移動スピード：３０mm/min 加工深さ：８μｍ 従来の装置 サイクロン外形：φ３００mm ノズル内の加工内圧：0.5kg/cm2 ノズルから噴射する圧縮空気量：1.5m3/min 集塵装置の風量：10.8m3/min 研掃材の噴射量：200g/min 使用した研掃材：カーボランダム＃１５００ 加工基板：4インチシリコンウェハー ノズル距離：３０mm ガン移動距離：１５０mm 加工基板移動幅：１５０mm ノズル移動スピード：１０m/min 基板移動スピード：３０mm/min 加工深さ：８μｍ 上記の装置例で比較すると、従来の装置と本発明装置の
研掃材の噴射量及びノズルから噴射される空気量は同じ
であり、4インチのシリコンウェハーを加工したときに
加工時間3分で深さ８μｍと同じ加工能力であった。
【００１８】しかしながら、従来のサンドブラスト装置
においては装置内を流れる風量は10.8m3/minであり、本
発明装置においてはノズルから噴射される圧縮空気量だ
けであり、1.5m3/minと少ないためサイクロンの大きさ
を外形１００mmと小さくしても研掃材を分級処理するこ
とができた。
においては装置内を流れる風量は10.8m3/minであり、本
発明装置においてはノズルから噴射される圧縮空気量だ
けであり、1.5m3/minと少ないためサイクロンの大きさ
を外形１００mmと小さくしても研掃材を分級処理するこ
とができた。
【００１９】また外気を全く取り込まなくてもよいため
サンドブラスト装置を設置する作業環境からの空気の取
り込みは必要なくなった。
サンドブラスト装置を設置する作業環境からの空気の取
り込みは必要なくなった。
【００２０】一般的にサイクロンは研掃材の遠心力によ
り分級されるがサイクロンの外形が小さいほうが遠心力
が大きくなり分級効率が上がるためである。
り分級されるがサイクロンの外形が小さいほうが遠心力
が大きくなり分級効率が上がるためである。
【００２１】1時間あたり、集塵機に流れる研掃材の量
を測定したところでは。従来の装置においては1.2kg/mi
nの研掃材が集塵装置に流れたが、本発明装置は0.3kg/m
inと研掃材の分級能力が上がっていた。
を測定したところでは。従来の装置においては1.2kg/mi
nの研掃材が集塵装置に流れたが、本発明装置は0.3kg/m
inと研掃材の分級能力が上がっていた。
【図１】本発明密閉式サンドブラスト装置の概略図
【図２】従来のサンドブラスト装置の概略図
１ 加工室 ２ サイクロン ３ 集塵装置 ５ 基板固定台 ８ 加工基板 １０ ブロアー １２ 排気口 １５ 風管１ １６ 風管２ ２０ 加工室ホッパー ２１ 研掃材ホース ２３ 研掃材タンク ２４ 研掃材定量供給装置 ２６ ノズル駆動部 ２７ 搬送装置 ２８ 外気取り入れ口 ３０ 研掃材＋高圧ガス
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１２年３月８日（２０００．３．８）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００２】
【従来の技術】従来のサンドブラスト装置は、図２に示
すように、集塵装置３に取り付けたブロアー１０を回転
させることにより負圧を発生させ、この負圧により加工
室１からサイクロン２を通り集塵装置３に流れる気流を
生成し、この気流によりサイクロン２での分級および集
塵装置３による破砕された研掃材と、研削された被加工
物の微粉末などのダストの集塵を行う。
すように、集塵装置３に取り付けたブロアー１０を回転
させることにより負圧を発生させ、この負圧により加工
室１からサイクロン２を通り集塵装置３に流れる気流を
生成し、この気流によりサイクロン２での分級および集
塵装置３による破砕された研掃材と、研削された被加工
物の微粉末などのダストの集塵を行う。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００４】この気流の力によりサイクロン２におい
て、使用できる研掃材と、破砕された研掃材及び切削さ
れた加工基板の切削くず（「ダスト」とも言う。）に分
級され、使用できる研掃材は研掃材タンク２３に入り、
破砕された研掃材及び切削された被加工物（「加工基
板」とも言う。）の切削くずは集塵機３の前記負圧によ
り風管１６を通り、集塵装置３に捕集される。研掃材タ
ンク２３に入った研掃材は研掃材定量供給装置２４から
研掃材ホース２１に入り、加工室１においてノズル７か
ら高圧ガスと研掃材の混合流体３０として、搬送装置２
７上の被加工物に噴射される。
て、使用できる研掃材と、破砕された研掃材及び切削さ
れた加工基板の切削くず（「ダスト」とも言う。）に分
級され、使用できる研掃材は研掃材タンク２３に入り、
破砕された研掃材及び切削された被加工物（「加工基
板」とも言う。）の切削くずは集塵機３の前記負圧によ
り風管１６を通り、集塵装置３に捕集される。研掃材タ
ンク２３に入った研掃材は研掃材定量供給装置２４から
研掃材ホース２１に入り、加工室１においてノズル７か
ら高圧ガスと研掃材の混合流体３０として、搬送装置２
７上の被加工物に噴射される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００８】例えばサンドブラストによりＰＤＰなどの
高精細リブのパターン研削加工を行う場合、パターン幅
を細くする要求があり、微細な研掃材を循環使用する要
望が高くなっており、このためにもサイクロンの分級能
力をより向上する必要があり、サイクロンを可及的に小
型化する必要がある。
高精細リブのパターン研削加工を行う場合、パターン幅
を細くする要求があり、微細な研掃材を循環使用する要
望が高くなっており、このためにもサイクロンの分級能
力をより向上する必要があり、サイクロンを可及的に小
型化する必要がある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１０】この方法によりサンドブラスト装置内を流
れる風量が研掃材から噴射する圧縮空気のみとなり、前
記サイクロン及び前記集塵装置を小型化することができ
る。またサイクロンが小型化されることにより分級性能
が向上し、また、前記加工室を完全密閉にできることに
より加工室からの研掃材の飛散の問題も解消した。
れる風量が研掃材から噴射する圧縮空気のみとなり、前
記サイクロン及び前記集塵装置を小型化することができ
る。またサイクロンが小型化されることにより分級性能
が向上し、また、前記加工室を完全密閉にできることに
より加工室からの研掃材の飛散の問題も解消した。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１３】すなわち、サイクロン２下方は、研掃材タ
ンク２３に連通しているが、研掃材タンク２３は、所定
量の研掃材を常に収納しており、研掃材タンク２３から
本実施形態における研掃材定量供給装置２４を経て、研
掃材ホース２１への回路は、閉鎖され、サイクロン２も
風管１６への連結部分を除き気密状態となっており、集
塵装置３に流入する気流のみが生成される。
ンク２３に連通しているが、研掃材タンク２３は、所定
量の研掃材を常に収納しており、研掃材タンク２３から
本実施形態における研掃材定量供給装置２４を経て、研
掃材ホース２１への回路は、閉鎖され、サイクロン２も
風管１６への連結部分を除き気密状態となっており、集
塵装置３に流入する気流のみが生成される。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１７】なお、２６はノズル駆動部で加工基板８に
対して一定範囲でノズルを移動させる機構である。 実施例１ 本発明装置による実施例と従来のブラスト装置を比較す
る。 本発明の実施例 サイクロン外形：φ１００mm ノズル内の加工内圧：0.05MPa ノズルから噴射する圧縮空気量：1.5m３/min 研掃材の噴射量：200g/min 使用した研掃材：カーボランダム＃１５００ 加工基板：4インチシリコンウェハー ノズル距離：３０mm ガン移動距離：１５０mm 加工基板移動幅：１５０mm ノズル移動スピード：１０m/min 基板移動スピード：３０mm/min 加工深さ：８μｍ 従来の装置 サイクロン外形：φ３００mm ノズル内の加工内圧：0.05MPa ノズルから噴射する圧縮空気量：1.5m３/min 集塵装置の風量：10.8m３/min 研掃材の噴射量：200g/min 使用した研掃材：カーボランダム＃１５００ 加工基板：4インチシリコンウェハー ノズル距離：３０mm ガン移動距離：１５０mm 加工基板移動幅：１５０mm ノズル移動スピード：１０m/min 基板移動スピード：３０mm/min 加工深さ：８μｍ 上記の装置例で比較すると、従来の装置と本発明装置の
研掃材の噴射量及びノズルから噴射される空気量は同じ
であり、4インチのシリコンウェハーを加工したときに
加工時間3分で深さ８μｍと同じ加工能力であった。
対して一定範囲でノズルを移動させる機構である。 実施例１ 本発明装置による実施例と従来のブラスト装置を比較す
る。 本発明の実施例 サイクロン外形：φ１００mm ノズル内の加工内圧：0.05MPa ノズルから噴射する圧縮空気量：1.5m３/min 研掃材の噴射量：200g/min 使用した研掃材：カーボランダム＃１５００ 加工基板：4インチシリコンウェハー ノズル距離：３０mm ガン移動距離：１５０mm 加工基板移動幅：１５０mm ノズル移動スピード：１０m/min 基板移動スピード：３０mm/min 加工深さ：８μｍ 従来の装置 サイクロン外形：φ３００mm ノズル内の加工内圧：0.05MPa ノズルから噴射する圧縮空気量：1.5m３/min 集塵装置の風量：10.8m３/min 研掃材の噴射量：200g/min 使用した研掃材：カーボランダム＃１５００ 加工基板：4インチシリコンウェハー ノズル距離：３０mm ガン移動距離：１５０mm 加工基板移動幅：１５０mm ノズル移動スピード：１０m/min 基板移動スピード：３０mm/min 加工深さ：８μｍ 上記の装置例で比較すると、従来の装置と本発明装置の
研掃材の噴射量及びノズルから噴射される空気量は同じ
であり、4インチのシリコンウェハーを加工したときに
加工時間3分で深さ８μｍと同じ加工能力であった。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２０】1時間あたり、集塵機に流れる研掃材の量
を測定したところでは、従来の装置においては1.2kg/mi
nの研掃材が集塵装置に流れたが、本発明装置は0.3kg/m
inと研掃材の分級能力が上がっていた。
を測定したところでは、従来の装置においては1.2kg/mi
nの研掃材が集塵装置に流れたが、本発明装置は0.3kg/m
inと研掃材の分級能力が上がっていた。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２１】一般的にサイクロンは研掃材の遠心力によ
り分級されるがサイクロンの外形が小さいほうが遠心力
が大きくなり分級効率が上がるためである。
り分級されるがサイクロンの外形が小さいほうが遠心力
が大きくなり分級効率が上がるためである。
Claims (3)
- 【請求項１】研掃材を噴射するノズルを備える加工室か
ら、一定量の研掃材を収容したタンクを下方に設置して
成るサイクロンを介して、集塵装置へ至る研掃材の分級
機構を有するサンドブラスト装置において、前記加工室
を、該加工室と前記サイクロンを連通する風管の前記加
工室との連結部以外の部分を気密状態としたことを特徴
とするサンドブラスト装置。 - 【請求項２】研掃材を噴射するノズルを備える加工室か
ら、一定量の研掃材を収容したタンクを下方に設置して
成るサイクロンを介して、集塵装置へ至る気流により研
掃材を分級するサンドブラスト装置において、前記加工
室と前記サイクロンを連通する風管の前記加工室との連
結部以外の部分を気密状態として、前記ノズルから噴射
される高圧ガスにより前記加工室内の圧力を大気圧より
高くすることにより、前記加工室からサイクロンを介し
て集塵装置へ流れる気流を生成し、該気流により前記サ
イクロンにて研掃材を分級することを特徴とする研掃材
の分級方法。 - 【請求項３】前記加工室からサイクロンを介して集塵装
置へ流れる気流により、前記サイクロンで分級された破
砕された研掃材と、研削された被化工物の微粉末を前記
集塵装置内のフィルターにて捕集することを特徴とする
請求項２記載の研掃材の分級方法におけるダスト捕集方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000033866A JP2001225270A (ja) | 2000-02-10 | 2000-02-10 | サンドブラスト装置及びサンドブラスト装置における研掃材の分級方法及び該方法におけるダスト捕集方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000033866A JP2001225270A (ja) | 2000-02-10 | 2000-02-10 | サンドブラスト装置及びサンドブラスト装置における研掃材の分級方法及び該方法におけるダスト捕集方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001225270A true JP2001225270A (ja) | 2001-08-21 |
Family
ID=18558289
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000033866A Pending JP2001225270A (ja) | 2000-02-10 | 2000-02-10 | サンドブラスト装置及びサンドブラスト装置における研掃材の分級方法及び該方法におけるダスト捕集方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001225270A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009056438A (ja) * | 2007-09-03 | 2009-03-19 | Sharp Corp | ガラスの回収方法および回収装置 |
| CN102211317A (zh) * | 2011-05-23 | 2011-10-12 | 锦州市锦利电器有限公司 | 多功能喷砂造型机 |
| KR101164528B1 (ko) * | 2009-10-01 | 2012-07-20 | 한국생산성본부 | 세라믹 재질 가공용 블라스트 장치 |
| WO2015041236A1 (ja) * | 2013-09-18 | 2015-03-26 | 株式会社不二機販 | 粉末状金属材料の表面処理方法 |
| CN113043171A (zh) * | 2021-04-01 | 2021-06-29 | 中国船舶重工集团公司第七一六研究所 | 一种基于扫砂的表面处理作业平台及表面处理方法 |
-
2000
- 2000-02-10 JP JP2000033866A patent/JP2001225270A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009056438A (ja) * | 2007-09-03 | 2009-03-19 | Sharp Corp | ガラスの回収方法および回収装置 |
| KR101164528B1 (ko) * | 2009-10-01 | 2012-07-20 | 한국생산성본부 | 세라믹 재질 가공용 블라스트 장치 |
| CN102211317A (zh) * | 2011-05-23 | 2011-10-12 | 锦州市锦利电器有限公司 | 多功能喷砂造型机 |
| WO2015041236A1 (ja) * | 2013-09-18 | 2015-03-26 | 株式会社不二機販 | 粉末状金属材料の表面処理方法 |
| JP2015059236A (ja) * | 2013-09-18 | 2015-03-30 | 株式会社不二機販 | 粉末状金属材料の表面処理方法 |
| CN105339112A (zh) * | 2013-09-18 | 2016-02-17 | 株式会社不二机贩 | 粉末状金属材料的表面处理方法 |
| CN113043171A (zh) * | 2021-04-01 | 2021-06-29 | 中国船舶重工集团公司第七一六研究所 | 一种基于扫砂的表面处理作业平台及表面处理方法 |
| CN113043171B (zh) * | 2021-04-01 | 2022-06-10 | 中国船舶重工集团公司第七一六研究所 | 一种基于扫砂的表面处理作业平台及表面处理方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100504629B1 (ko) | 고속 입자 스트림을 생성하기 위한 방법 및 장치 | |
| JP2010120134A (ja) | ブラスト加工方法及びブラスト加工装置における研磨材噴射回収部構造 | |
| KR101548243B1 (ko) | 분사재 회수 장치, 분사재 회수 장치를 구비한 블라스트 가공 장치 및 블라스트 가공 방법 | |
| CN109070310A (zh) | 用于抛光陶瓷制品或天然石材的抛光头的冷却和抽吸系统 | |
| TWI656947B (zh) | 噴射加工裝置及噴射加工裝置列 | |
| JP2001225270A (ja) | サンドブラスト装置及びサンドブラスト装置における研掃材の分級方法及び該方法におけるダスト捕集方法 | |
| JP2005074563A (ja) | 換気機構を備えたブラスト加工装置 | |
| JP5910933B2 (ja) | 湿式ブラスト加工用ノズルおよびそのノズルを備えたブラスト加工装置 | |
| CN208179324U (zh) | 一种机械加工用磨料回收再利用装置 | |
| JP6941299B2 (ja) | 表面処理装置及び表面処理方法 | |
| JPH09323263A (ja) | ブラスト装置 | |
| JP3179338B2 (ja) | ブラスト加工装置 | |
| JP5910935B2 (ja) | 乾式および湿式のブラスト加工を行うためのノズルおよびそのノズルを備えたブラスト加工装置 | |
| GB2169192A (en) | Compressed air powered suction unit | |
| JP7146172B2 (ja) | 異物除去装置及び異物除去装置を備えたブラスト加工装置 | |
| JP2004154894A (ja) | サンドブラスト加工における研磨材供給方法および装置 | |
| CN216756803U (zh) | 一种旋风分离器 | |
| JPS61265275A (ja) | ブラスト装置 | |
| JP2002103230A (ja) | 表面研磨方法 | |
| JP6619037B2 (ja) | ブラスト装置 | |
| JP2002166368A (ja) | 管内面研掃装置および管の製造方法 | |
| JP2004154901A (ja) | 連続研磨材供給・噴射方法及び装置 | |
| GB764171A (en) | Improvements in or relating to surface treating apparatus | |
| CN103302598B (zh) | 真空压差式微加工装置及方法 | |
| JP3075625B2 (ja) | 管内面の負圧吸引ブラスト方法とその装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070205 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090522 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090603 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20091007 |