JP2001218482A - 振動アクチュエータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 低価格で小型であっても、駆動効率が高く、
しかも潤滑油等を必要としない振動アクチュエータを提
供する。 【解決手段】 ステンレス製の相対運動部材３１をフッ
素樹脂製の支持部４１で支持することにより、摩擦係数
μ１＞μ２の関係を保ち、振動アクチュエータの効率を
高くする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、所定周波数の振動
を駆動力として発生する振動子を備える振動アクチュエ
ータであって、特に摺動部の摺動抵抗を低減させる改良
をした振動アクチュエータに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】機械の小型化、軽量化が進む中、従来の
モータにはない様々な特徴を備えた振動アクチュエータ
が多数開発され、注目が集まっている。これらの振動ア
クチュエータは、ダイレクトドライブが可能であるた
め、小型、軽量化を達成できるにも関わらず騒音を発生
することもない。また、磁場を発生せず、逆に磁場の影
響も受けない。更に、電気入力を行わなくても保持力を
維持する。こういった点を生かして今後、携帯機器や超
小型精密機械等に積極的に搭載されることが予想され
る。従来、これらの振動アクチュエータは、超音波振動
を駆動力として発生する振動子と、この駆動力により相
対的に運動する相対運動部材と、前記振動子を所定の加
圧力で相対運動部材に加圧する加圧部と、相対運動部材
を支持する支持部等とを備えており、振動モードの種類
等により、複数の系統に分類されている。これら従来の
振動アクチュエータの支持部は、加圧力を受け、この加
圧力に伴う垂直抗力により発生する摩擦による摺動抵抗
を低減するために、ベアリングを使用することが一般に
行われていた。

【０００３】ところで、振動アクチュエータとしては、
小型で軽量化が期待できるものとして、図６に示した振
動アクチュエータがある。図６は、この振動アクチュエ
ータの振動子１０の動作を説明する図である。振動子１
０は、圧電素子１１と、電極１２等とを備えている。圧
電素子１１は、例えば、ＰＺＴなどの圧電材料をドーナ
ツ板形状に形成し、全面を板厚方向に分極したものであ
る。このドーナツ板形状は、径方向対称伸び振動モード
（Ｒ，１）と非軸対称面内振動モード（（１，１））の
共振周波数がほぼ等しくなるように設計、製造されてい
る。

【０００４】この圧電素子１１は、表面には、扇形の第
１，第２の電極１２ａ，１２ｂが形成されており［図６
（Ａ）］、裏面には、ほぼ全面に第３の電極１２ｃが形
成されている［図６（Ｂ）］。

【０００５】振動子１０は、発振器，移相器，増幅器等
を含む駆動電圧発生装置によって、第１の電極１２ａに
は、第１の交流電圧が印加される。また、第２の電極１
２ｂには、第１の交流電圧とは電気的に位相が（π／
２）だけ異なる第２の交流電圧が印加される。裏面の第
３の電極１２ｃは、ＧＮＤ電位に接続される。

【０００６】この振動子１０は、交流電圧の周波数を２
つの振動モードの共振周波数に近づけることによって、
２つのモードで共振し、径方向対称伸び振動と、非軸対
称面内振動とが同時に発生する。

【０００７】径方向対称伸び振動（Ｒ，１）は、図６
（Ｃ）に示すように、Ａ点を節とした放射方向（径方
向）の対称な伸縮振動であり、Ｃ１，Ｃ２点では、径方
向の成分Ｕｒをもつ。また、非軸対称面内振動（（１，
１））は、図６（Ｄ）に示すように、Ｂ１，Ｂ２点を節
として、破線で示すように、同一面内で潰れる（ひしゃ
げる）ような変形を、図６（Ｄ）の左右に繰り返す屈曲
振動であり、円周上のＣ１，Ｃ２点では、矢印方向の変
位成分Ｕθをもつ。そして、振動子１０は、Ｃ１，Ｃ２
点（駆動力取出部）の位置に、２つの振動が合成された
変位として、図６（Ａ）に示すような楕円運動が発生す
る。楕円運動は、振動子１０と相対運動部材の間に加圧
力が加えられることにより、相対運動部材の運動に変換
される。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前述した従来
の振動アクチュエータに、ベアリングを使用して相対運
動部材を支持すると、高価になり、かつ小型化が難しか
った。すなわち、ベアリング自体の価格が高価で、小型
化にも限度があるため、振動子１０等が低価格であって
も、全体としては、高価であり、小型なものも無かっ
た。また、相対運動部材が直線運動をするリニア型の振
動アクチュエータの場合には、例えば、フランジを設け
たベアリングを複数配置したり、リニアガイド等を利用
することが考えられる。このような場合には、ベアリン
グ，リニアガイド等の価格が更に高価になり、振動アク
チュエータの価格が上昇することに加え、振動アクチュ
エータが占有するスペースも大きくなることが予想され
るため、振動アクチュエータが使用される用途は、ごく
限られた範囲内にとどまっていた。更に、ベアリング、
リニアガイド等は、潤滑剤として油を用いているため、
油を嫌う真空中やクリーン環境等の特殊用途では使用す
ることができなかった。更にまた、ベアリング、リニア
ガイド等は、潤滑剤が必須の機械要素であるので、メン
テナンスフリーを要求される用途には使用することがで
きなかった。

【０００９】本発明の課題は、低価格で小型であって
も、駆動効率が高く、しかも潤滑油等を必要としない振
動アクチュエータを提供することである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、以下のような
解決手段により、前記課題を解決する。なお、理解を容
易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付
して説明するが、これに限定されるものではない。すな
わち、請求項１の発明は、所定周波数の振動を駆動力と
して発生する振動子（１０）と、前記振動子と所定の加
圧力で接触して前記駆動力により前記振動子に対して相
対的に運動する相対運動部材（３１，３２，３３，３
４，３５）と、前記所定の加圧力で前記振動子により加
圧された前記相対運動部材を相対運動可能に支持する支
持部（４１，４２，４３，４４，４５）とを備える振動
アクチュエータにおいて、前記相対運動部材と前記支持
部との間の摺動抵抗（μ１）を、前記振動子と前記相対
運動部材との間の摺動抵抗（μ２）よりも下げる摺動抵
抗低減手段を有することを特徴とする振動アクチュエー
タである。

【００１１】請求項２の発明は、請求項１に記載の振動
アクチュエータにおいて、前記摺動抵抗低減手段は、前
記相対運動部材（３２）又は前記支持部（４２）の内少
なくとも一方の表面に施され、前記相対運動部材と前記
支持部間の摩擦係数を前記振動子と前記相対運動部材間
の摩擦係数より小さくする表面処理部からなることを特
徴とする振動アクチュエータである。

【００１２】請求項３の発明は、請求項１又は請求項２
に記載の振動アクチュエータにおいて、前記支持部（４
５）は、軸状のレール部材からなり、前記相対運動部材
を支持し、前記相対運動部材（３５）は、前記レール部
材の表面形状と略等しい形状を有する摺動面を有し、前
記摺動面が前記レール部材と接触しながら移動可能であ
り、前記摺動抵抗低減手段は、前記レール部材の表面又
は前記摺動面に形成された低摩擦素材からなることを特
徴とする振動アクチュエータである。

【００１３】請求項４の発明は、請求項１に記載の振動
アクチュエータにおいて、前記摺動抵抗低減手段は、前
記相対運動部材（３１，３３）の移動時に前記相対運動
部材と前記支持部（４３，４４）との間に非接触状態を
存在させることを特徴とする振動アクチュエータであ
る。

【００１４】請求項５の発明は、請求項４に記載の振動
アクチュエータにおいて、前記摺動抵抗低減手段は、前
記相対運動部材（３３）と前記支持部（４３）との間に
介在する気体層（４３ｃ）であり、前記支持部は、前記
気体層を形成する気体を噴出する噴出部（４３ａ）を有
していることを特徴とする振動アクチュエータである。

【００１５】請求項６の発明は、請求項６に記載の振動
アクチュエータにおいて、前記摺動抵抗低減手段は、前
記支持部（４４）と前記相対運動部材（３１）との接触
面に振動を発生させる励振部材（４４−３）からなるこ
とを特徴とする振動アクチュエータである。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、図面等を参照して、本発明
の実施の形態について、さらに詳しく説明する。 （第１実施形態）図１は、本発明による振動アクチュエ
ータの第１実施形態を示す図である。なお、以下の各実
施形態の説明において、前述した従来例と同様の機能を
果たす部分は、重複する説明を適宜省略する。本実施形
態における振動アクチュエータは、振動子１０と、相対
運動部材３１と、支持部４１等を有し、超音波領域の振
動を駆動力として発生する超音波アクチュエータであ
る。

【００１７】振動子１０は、面内振動を発生する振動子
であり、図示しない加圧部により相対運動部材３１に所
定の加圧力Ｎを与える状態で、その中央部において固定
されている。また、振動子１０の駆動力取り出し部には
摺動材として銅箔が貼り付けてある。

【００１８】相対運動部材３１は、振動子１０に対して
相対的に移動する部材であり、鉄系金属により形成さ
れ、本実施形態では、ステンレスを用いている。

【００１９】支持部４１は、相対運動部材３１を移動可
能に支持する部分であり、フッ素樹脂のブロックを用い
ている。支持部４１の断面は凹型をしており、相対運動
部材３１を抱え込むことで支持部４１からの脱落を防い
でいる。

【００２０】ここで図１に示すように、振動子１０に加
える加圧力をＮとし、振動子１０と相対運動部材３１の
間の摩擦係数をμ１、相対運動部材３１と支持部４１と
の間の摩擦係数をμ２とすると、以下の関係が成立して
いる必要がある。

【００２１】

【数１】

【００２２】相対運動部材３１は、支持部４１から受け
る摺動抵抗（＝加圧力に伴う垂直抗力により生ずる摩擦
抵抗）に打ち勝つだけの進行力を振動子１０から与えら
れなければ起動することはできない。振動子１０からそ
れだけの進行力を受け取るには、摺動面に上記の関係が
必要である。一般に鉄と銅の間の摩擦係数は０．４〜
０．５（＝μ１）程度、鉄とフッ素樹脂の間の摩擦係数
はそれより低く０．３（＝μ２）程度以下である。よっ
て、本実施形態では、μ１＞μ２の関係が成立してい
る。

【００２３】本実施形態によれば、非常に簡単な構成に
より相対運動部材の摺動抵抗を低減したので、駆動効率
が高く、しかも潤滑油等を必要としない振動アクチュエ
ータを低価格かつ小型にすることができる。

【００２４】（第２実施形態）図２は、本発明による振
動アクチュエータの第２実施形態を示す図である。第２
実施形態における振動アクチュエータの形状自体は、第
１実施形態に示したものと同様であるが、振動子１０の
駆動力取り出し部（＝Ａ面）、相対運動部材３２の振動
子１０側側面（＝Ｂ面）、相対運動部材３２の支持部４
２側側面（＝Ｃ面）、支持部４２の相対運動部材３２と
の接触面（＝Ｄ面）、の計４つの面について選択的にコ
ーティングを施すことで摩擦係数を変えた実施形態であ
る。

【００２５】振動子１０は、Ａ面へのコーティングは行
わず、銅箔を貼り付けたままの状態である。

【００２６】相対運動部材３２は、鉄系金属により形成
されており、Ｂ面は、何も処理を行わず、Ｃ面にのみ、
摩擦係数を低減する効果の高いガラス性のコーティング
を施した。

【００２７】支持部４２は、フッ素樹脂よりも安価なプ
ラスチック材料により形成されており、Ｄ面には、Ｃ面
と同様に、ガラス性のコーティングを施した。

【００２８】本実施形態において施すコーティングの選
択は、Ａ面とＢ面の間の摩擦係数をμＡＢ、Ｃ面とＤ面
の間の摩擦係数をμＣＤとすると、以下の関係を満たす
ようにコーティングの種類や有無を変えて行う。

【００２９】

【数２】

【００３０】ここで、仮にコーティングの種類を１種類
に限定しても、Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄのそれぞれにコーティン
グを行うか否かの組合せだけで２×２×２×２＝１６通
りもあり、更にコーティングの種類も多数の中から選択
可能であるので、振動アクチュエータの駆動に最適な条
件を簡単に設定することができる。

【００３１】また、コーティングにより表面の摩擦係数
の関係が守られるようにすれば、摺動材、相対運動部材
３２、支持部４２の材料は何でも良く、より安い材料に
変更しても構わない。

【００３２】本実施形態によれば、相対運動部材３２や
支持部４２の材料を自由に選択することができるので、
加工の容易性や価格等の点で有利な材料を使用すること
ができ、振動アクチュエータをより低価格にすることが
できる。

【００３３】（第３実施形態）図３は、本発明による振
動アクチュエータの第３実施形態を示す図であり、一部
断面により示している。第３実施形態における振動アク
チュエータの主な構成は、第１，第２実施形態と同様で
あるが、相対運動部材と支持部との間の摺動抵抗を更に
軽減させた形態である。

【００３４】相対運動部材３３は、支持部４３側の面に
コーティング等を施す必要はなく、錆止め等の他の理由
がなければ、素材のままで構わない。本実施形態では、
ステンレスをそのまま使用した。

【００３５】支持部４３は、断面で示したように、相対
運動部材３３側の面から裏面まで貫通する小径の孔４３
ａが多数設けられている。孔４３ａの裏面側には、エア
ーチューブ４３ｂが各孔毎に接続されており、図示しな
いエアー供給源からエアーが供給され、相対運動部材３
３側の孔（噴出部）４３ａから放出されることにより、
相対運動部材３３と支持部４３との間にエアー層（気体
層）４３ｃが形成される。

【００３６】振動アクチュエータの駆動時には、相対運
動部材３３と支持部４３との間には、エアーが常に供給
されているので、相対運動部材３３と支持部４３とが直
接接触せず、エアー層４３ｃを介した空気軸受けである
ため、従来の接触型のベアリング等よりも摺動抵抗が少
なく、高効率が達成できる。また、相対運動部材３３が
エアーにより浮いており支持部側との摩擦磨耗がほとん
どないので、発塵が極めて少ない。そのためクリーン度
が非常に高い環境でも使用できる。

【００３７】本実施形態に必須のエアー供給源を、専用
のエアーボンベ等とすると、従来例や第２実施形態まで
に示した振動アクチュエータと比較して全体が大型化す
る可能性もある。しかし、振動アクチュエータが設置さ
れる周囲に既に別目的でエアー設備が存在する場合など
は、チューブ等で引き回してくるだけで済むので、結果
的に振動アクチュエータを小型で安上がりにすることが
できる。

【００３８】本実施形態によれば、空気軸受けを利用す
るので、相対運動部材３３と支持部４３との間の摺動抵
抗を更に低減することができ、振動アクチュエータの効
率を一層高めることができる。また、相対運動部材３３
と支持部４３との間の摩擦磨耗がほとんどないので、発
塵が極めて少なく、クリーン度が非常に高い環境でも使
用することができる。

【００３９】（第４実施形態）図４は、本発明による振
動アクチュエータの第４実施形態を示す図であり、図４
（ａ）は、振動子を省略して、相対運動部材３４及び支
持部４４の分解斜視図を示し、図４（ｂ）は、支持部４
４を裏返して示した斜視図である。第４実施形態におけ
る振動アクチュエータは、エアーを使用せずに、相対運
動部材と支持部との間の摺動抵抗を軽減させた形態であ
り、第１実施形態の支持部４１を支持部４４に変更した
ものであるので、ここでは、支持部４４についてのみ説
明する。

【００４０】支持部（励振部材）４４は、低摩擦材４４
−１，弾性体４４−２，圧電素子４４−３，支持軸４４
−４を有している。

【００４１】低摩擦材４４−１は、フッ素樹脂のブロッ
クを用いている。低摩擦材４４−１の断面は凹型をして
おり、相対運動部材３１を抱え込むことで低摩擦材４４
−１からの脱落を防いでいる。また、低摩擦材４４−１
は、後述する波形Ｐの腹に相当する位置に一対で配置さ
れ、相対運動部材３１を支えている。

【００４２】弾性体４４−２は、圧電素子４４−３に貼
り付けられた金属板であり、低摩擦材４４−１，支持軸
４４−４が固定されている。

【００４３】圧電素子４４−３は、振動を発生する部材
であり、ＰＺＴに電極を設けた電気機械変換素子であ
る。電極の配置は、図４（ｂ）に示すように配置され、
電極４４−３ａと電極４４−３ｂに位相が１８０度ずれ
た交流電圧が印加されることにより、２次の屈曲振動を
行い、波形Ｐで示した振動波形を発生する。そして印加
する交流電圧の周波数を支持部４４の共振周波数に近づ
ければ、大きな振動を得ることができる。

【００４４】支持軸４４−４は、波形Ｐの節に相当する
部分に設けられた軸であり、弾性体４４−２に固定さ
れ、もう一端を図示しない固定部に固定されている。

【００４５】圧電素子４４−３に電圧を印加しない状態
では、支持部４４は、鉄系素材とフッ素樹脂の間の摩擦
係数である０．３（＝μ２）程度以下のままであり、第
１実施形態と変わらない。しかし、ここで圧電素子４４
−３の２種の電極４４−３ａと電極４４−３ｂとに１８
０度の位相差がある交流電圧を印加して先の２次の屈曲
振動を励振する。すると、腹に相当する位置に設けた低
摩擦材４４−１と相対運動部材３１との接触状態が間欠
的になり、見かけの摩擦係数が大幅に下がり、空気軸受
けを使用している第３実施形態と同様な効果が得られ
る。更に、この現象で得られる摩擦の強弱は電極４４−
３ａと電極４４−３ｂに入力する周波数や電圧により制
御が可能であるため、例えば振動子１０が駆動していな
いときに相対運動部材３１を保持する自己保持力の大き
さを任意に制御することもできる。

【００４６】本実施形態によれば、エアー供給源がない
場合でも、駆動時には空気軸受けと同様な効果を得られ
る上に、振動子が駆動していないときの自己保持力の大
きさを任意に制御することもできる。

【００４７】（第５実施形態）図５は、本発明による振
動アクチュエータの第５実施形態を示す図である。第５
実施形態における振動アクチュエータは、振動子１０−
２，相対運動部材３５，支持部４５を備えている。

【００４８】振動子１０−２は、ステンレスを弾性体１
０−２ｂとして両側から圧電素子１０−２ａで挟む形で
接着した積層構造の振動子であり、弾性体１０−２ｂ
は、圧電素子１０−２ａよりも外径が少し大きめに設計
してあり、この突出部分を摺動材として利用している。

【００４９】相対運動部材３５は、チューブ部３５ａ，
振動子接触部３５ｂからなる部材である。チューブ部３
５ａは、フッ素樹脂により形成され、チューブ形状の外
径部にＤカット面が加えられている。振動子接触部３５
ｂは、チューブ部３５ａのＤカット面に接着されたセラ
ミック製の板である。

【００５０】支持部４５は、ステンレス製の棒状の部材
（レール部材）であり、相対運動部材３５が滑らかに移
動可能に嵌合している。

【００５１】ここで、仮に、振動子接触部３５ｂがない
場合を想定すると、振動子１０と相対運動部材３５との
摩擦係数が、相対運動部材３５と支持部４５との摩擦係
数と等しくなり、駆動効率が非常に悪くなるか、駆動で
きなくなる。また、この摩擦係数の問題が解決された場
合であっても、フッ素樹脂は、硬度が低く、変形しやす
いので、振動子１０の振動を相対運動部材３５が吸収、
減衰してしまい、この場合も駆動効率が非常に悪くなる
か、駆動できなくなる。

【００５２】本実施形態では、フッ素樹脂からなる相対
運動部材３５の振動子１０が接触する部分にセラミック
からなる振動子接触部３５ｂを設けており、ステンレス
とセラミックとの摩擦係数は、フッ素樹脂とステンレス
との摩擦係数よりも十分大きいので、摺動抵抗の大小関
係は適切な関係となる。また、セラミックは、硬度が高
く、変形しにくいので、振動子１０の振動を吸収、減衰
することもない。

【００５３】本実施形態によれば、簡単な構成で摺動抵
抗の大小関係を保つことができ、生産性及び信頼性が高
く、しかも低価格な振動アクチュエータを製作すること
ができる。また、振動子の振動を吸収、減衰することな
く効率よく駆動をすることができる。

【００５４】（変形形態）以上説明した実施形態に限定
されることなく、種々の変形や変更が可能であって、そ
れらも本発明の均等の範囲内である。

【００５５】（１）第１実施形態において、材料を適当
に選ぶことで摺動抵抗の関係を満足させたが、これに限
らず、例えば、素材表面の仕上げ状態を切削や薬品等に
よる粗しや変質で変えることにより同様の効果を得るこ
とができる。

【００５６】（２）第２実施形態において、コーティン
グは相対的に摩擦係数を下げるために用いたが、逆に摩
擦係数を上げるためにコーティングを用いてもよい。ま
た、付加的な表面処理としてはコーティングに限らず、
メッキや塗装など同様の効果が得られるものであれば何
でもよい。

【００５７】（３）第４実施形態において、２次の屈曲
振動を用いる例を示したが、これに限らず、同様の効果
が得られるならばモードや次数は問わない。

【００５８】（４）第５実施形態において、支持部４５
は、ステンレス製であり、相対運動部材３５がフッ素樹
脂である例を示したが、この関係を逆にして、支持部４
５をフッ素樹脂として、相対運動部材３５をステンレス
製としてもよい。この場合、セラミック板を貼り付けな
くても、摺動抵抗の大小関係を保つことができる。

【００５９】（５）各実施形態において、（Ｒ，１）と
（（１，１））を用いた異モード縮退型振動子とリニア
駆動に限定して説明してきたが、これに限らず、相対運
動部材がロータであってもよいし、ロータ、ステータ等
を有する縦−ねじり振動の縮退を利用した振動アクチュ
エータであってもよい。また、リニア型であっても、実
施形態に示した形態に限るものではなく、例えば、縦―
屈曲型の振動アクチュエータであってもよい。

【００６０】

【発明の効果】以上詳しく説明したように、本発明によ
れば、以下の効果がある。 （１）低摩擦素材を使用して、非常に簡単な構成により
相対運動部材の摺動抵抗を低減するので、駆動効率が高
く、しかも潤滑油等を必要としない振動アクチュエータ
を低価格かつ小型にすることができる。

【００６１】（２）表面処理を利用して相対運動部材の
摺動抵抗を低減するため、相対運動部材や支持部の材料
を自由に選択することができ、加工の容易性や価格等の
点で有利な材料を使用することができるので、振動アク
チュエータをより低価格にすることができる

【００６２】（３）空気軸受けを利用するので、相対運
動部材と支持部との間の摺動抵抗を更に低減することが
でき、振動アクチュエータの効率を一層高めることがで
きる。また、相対運動部材と支持部との間の摩擦磨耗が
ほとんどないので、発塵が極めて少なく、クリーン度が
非常に高い環境でも使用することができる。

【００６３】（４）励振部材を使用して相対運動部材と
支持部との間の摺動抵抗を低減するので、エアー供給源
がない場合でも、駆動時には、空気軸受けと同様な効果
を得られる上に、振動子が駆動していないときの自己保
持力の大きさを任意に制御することもできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による振動アクチュエータの第１実施形
態を示す図である。

【図２】第２実施形態を示す図である。

【図３】第３実施形態を示す図である。

【図４】第４実施形態を示す図である。

【図５】第５実施形態を示す図である。

【図６】振動子１０の動作を説明する図である。

【符号の説明】

１０ 振動子 ３１，３２，３３，３４，３５ 相対運動部材 ４１，４２，４３，４４，４５ 支持部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5H680 AA00 AA06 AA12 AA19 BB01 BB04 BB13 CC02 CC03 DD01 DD14 DD15 DD23 DD27 DD39 DD53 DD55 DD59 DD72 DD82 DD83 DD84 DD85 DD88 DD92 DD99 EE01 EE10 FF16 FF17 FF26 FF33 GG02 GG27 GG45

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定周波数の振動を駆動力として発生す
   る振動子と、 前記振動子と所定の加圧力で接触して前記駆動力により
   前記振動子に対して相対的に運動する相対運動部材と、 前記所定の加圧力で前記振動子により加圧された前記相
   対運動部材を相対運動可能に支持する支持部と、 を備える振動アクチュエータにおいて、 前記相対運動部材と前記支持部との間の摺動抵抗を、前
   記振動子と前記相対運動部材との間の摺動抵抗よりも下
   げる摺動抵抗低減手段を有すること、 を特徴とする振動アクチュエータ。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の振動アクチュエータに
   おいて、 前記摺動抵抗低減手段は、前記相対運動部材又は前記支
   持部の内少なくとも一方の表面に施され、前記相対運動
   部材と前記支持部間の摩擦係数を前記振動子と前記相対
   運動部材間の摩擦係数より小さくする表面処理部からな
   ること、 を特徴とする振動アクチュエータ。
3. 【請求項３】 請求項１又は請求項２に記載の振動アク
   チュエータにおいて、 前記支持部は、軸状のレール部材からなり、前記相対運
   動部材を支持し、 前記相対運動部材は、前記レール部材の表面形状と略等
   しい形状を有する摺動面を有し、前記摺動面が前記レー
   ル部材と接触しながら移動可能であり、 前記摺動抵抗低減手段は、前記レール部材の表面又は前
   記摺動面に形成された低摩擦素材からなること、 を特徴とする振動アクチュエータ。
4. 【請求項４】 請求項１に記載の振動アクチュエータに
   おいて、 前記摺動抵抗低減手段は、前記相対運動部材の移動時に
   前記相対運動部材と前記支持部との間に非接触状態を存
   在させること、 を特徴とする振動アクチュエータ。
5. 【請求項５】 請求項４に記載の振動アクチュエータに
   おいて、 前記摺動抵抗低減手段は、前記相対運動部材と前記支持
   部との間に介在する気体層であり、前記支持部は、前記
   気体層を形成する気体を噴出する噴出部を有しているこ
   と、 を特徴とする振動アクチュエータ。
6. 【請求項６】 請求項６に記載の振動アクチュエータに
   おいて、 前記摺動抵抗低減手段は、前記支持部と前記相対運動部
   材との接触面に振動を発生させる励振部材からなるこ
   と、 を特徴とする振動アクチュエータ。