JP2001216628A - Floppy disk and its manufacturing method - Google Patents

Floppy disk and its manufacturing method

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JP2001216628A
JP2001216628A JP2000020503A JP2000020503A JP2001216628A JP 2001216628 A JP2001216628 A JP 2001216628A JP 2000020503 A JP2000020503 A JP 2000020503A JP 2000020503 A JP2000020503 A JP 2000020503A JP 2001216628 A JP2001216628 A JP 2001216628A
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JP
Japan
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film
heat
resin film
floppy disk
magnetic layer
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Application number
JP2000020503A
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Japanese (ja)
Inventor
Kazuyuki Usuki
一幸 臼杵
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Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
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Publication date
Application filed by Fuji Photo Film Co Ltd filed Critical Fuji Photo Film Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a floppy disk having high dimensional stability and heat resistance. SOLUTION: A heat resistant resin films 4 each having a magnetic layer 3 consisting of a ferromagnetic metal thin film and a protective layer 9 which are formed thereon are thermally adhered onto both surfaces of a thermo plastic resin film 2 to manufacture the floppy disk and its method.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は高記録密度のフロッ
ピーディスクの製造方法に関し、寸法安定性および耐熱
性が高く、そりが少なく、平滑な表面性を有する支持
体、この支持体を用いたフロッピーディスクおよびその
製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a floppy disk having a high recording density, and more particularly, to a support having high dimensional stability and heat resistance, low warpage and a smooth surface, and a floppy using the support. The present invention relates to a disk and a method for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】磁気記録媒体には、磁性層の形成方法と
して、強磁性粉体を結着剤中に分散した塗布型の磁気記
録媒体と、支持体上に強磁性金属薄膜をスパッタリング
法や蒸着法等の真空成膜法によって作製した強磁性金属
薄膜からなる磁気記録媒体が用いられている。真空成膜
法によって形成した強磁性金属薄膜は、高い磁気エネル
ギーが容易に得られ、さらに非磁性基板の表面を平滑に
することによって磁性層表面を平滑な面とすることが容
易であるために、スペーシング損失が少なく、高い電磁
変換特性を有する特徴があるため高密度記録材料に適し
ている。特にスパッタリング法により得られた磁性層は
蒸着法より得られたものに比べて磁気エネルギーを高め
ることができるため、ハードディスクの様な高い記録密
度が要求される媒体に採用されている。
2. Description of the Related Art In a magnetic recording medium, as a method for forming a magnetic layer, a coating type magnetic recording medium in which a ferromagnetic powder is dispersed in a binder, a ferromagnetic metal thin film on a support by a sputtering method or the like. A magnetic recording medium composed of a ferromagnetic metal thin film manufactured by a vacuum film forming method such as an evaporation method is used. The ferromagnetic metal thin film formed by the vacuum film forming method can easily obtain high magnetic energy, and it is easy to make the surface of the magnetic layer smooth by smoothing the surface of the nonmagnetic substrate. It is suitable for a high-density recording material because it has a small spacing loss and high electromagnetic conversion characteristics. In particular, a magnetic layer obtained by a sputtering method can increase the magnetic energy as compared with a magnetic layer obtained by a vapor deposition method, and thus is used for a medium requiring a high recording density such as a hard disk.

【0003】一方、フロッピーディスク型の磁気記録媒
体はハードディスクと比較して、対衝撃性に優れ、低コ
ストであるために非常に広く使用されている。さらに本
出願人は、基体上に形成した下層磁性層、もしくは下層
非磁性層上に薄膜の磁性層を磁性塗料の塗布によって形
成した塗布型の磁気記録媒体によって、3.5型のフロ
ッピーディスク1枚当たり100MBを超える大容量の
媒体を提供している。しかしながら、その記録密度は未
だハードディスクの1/10以下である。これはハード
ディスクのように磁性層をスパッタリング法で作製しよ
うとする試みが多数報告されているものの、未だ実用化
には至っていないことが大きな要因である。
On the other hand, floppy disk type magnetic recording media are widely used because of their superior impact resistance and low cost as compared with hard disks. Further, the present applicant has proposed a 3.5-type floppy disk 1 by using a coating type magnetic recording medium in which a thin magnetic layer is formed by applying a magnetic paint on a lower magnetic layer formed on a base or a lower non-magnetic layer. A large-capacity medium exceeding 100 MB per sheet is provided. However, its recording density is still 1/10 or less of that of a hard disk. This is largely due to the fact that although many attempts have been made to produce a magnetic layer by a sputtering method like a hard disk, it has not yet been put to practical use.

【0004】これには様々な理由があるが、その理由の
一つにこの様なフロッピーディスクに適した支持体の開
発が困難であることが挙げられる。スパッタリング法で
磁性層を作製するフロッピーディスクの支持体には少な
くとも以下の様な4つの特性が要求される。 (1)平滑な表面性 スパッタリング法で磁気記録媒体を作製する場合には支
持体の表面性がほぼそのまま媒体の表面性に反映される
ため、高い記録密度の磁気記録媒体を作製するには非常
に平滑な表面性を有する支持体が必要となる。具体的に
は最大表面粗さRmax で60nm以下の支持体が必要で
ある。 (2)高い耐熱性 高密度記録用の磁性層には高出力、低ノイズといった電
磁変換特性が必要であり、このために磁性層をスパッタ
リング法で作製する際、支持体を加熱しながら成膜しな
ければならない。このため支持体には非常に高い耐熱性
が要求され、加熱においても変形や化学変化を生じるこ
となく安定でなければならない。具体的には支持体とし
て200℃以上の耐熱性が必要である。
There are various reasons for this. One of the reasons is that it is difficult to develop a support suitable for such a floppy disk. The support of a floppy disk on which a magnetic layer is formed by a sputtering method is required to have at least the following four characteristics. (1) Smooth surface property When a magnetic recording medium is manufactured by a sputtering method, the surface property of the support is directly reflected on the surface property of the medium. A support having a smooth surface is required. Specifically, a support having a maximum surface roughness Rmax of 60 nm or less is required. (2) High heat resistance The magnetic layer for high-density recording needs electromagnetic conversion characteristics such as high output and low noise. For this reason, when the magnetic layer is formed by sputtering, the film is formed while heating the support. Must. For this reason, the support is required to have extremely high heat resistance, and must be stable without causing deformation or chemical change even during heating. Specifically, the support must have heat resistance of 200 ° C. or higher.

【0005】(3)少ないそり 高密度フロッピーディスクでは転送速度を高めるため、
ハードディスク同様に高速回転しながら磁気ヘッドと接
触または接触に近い非常に低いフライングハイトで摺動
する。フロッピーディスクが面ぶれを起こすとヘッドと
強く接触し、摺動が不安定となるため走行耐久性、信頼
性の劣化につながる。このためフロッピーディスクの面
ぶれは50μm以下に押さえる必要がある。このような
面ぶれはフロッピーディスクが静的に持っているそりの
影響を強く受ける。このそりは支持体がもともと持って
いる場合と磁気記録媒体の製造工程で表裏の応力差が生
じて発生する場合がある。製造工程で発生するそりは工
程条件によって調整可能であるが、支持体がもともと持
っているそりは支持体の厚みが磁性層の厚みよりも遙か
に大きいため、工程条件による調整は非常に困難であ
る。しかも支持体として耐熱性の大きなポリイミドやポ
リアミドフィルムを用いる場合には、素材の耐熱性が高
いため、加熱による形状修正が不可能である。このため
支持体は静的にほとんどそりが無いことが必要となる。
具体的には3.5型のディスク形状に打ち抜いた状態で
1mm以下に押さえる必要がある。 (4)寸法安定性 最近のフロッピーディスクはノート型パソコンの普及に
よってノート型パソコン内部で使用されることが考えら
れるが、ノート型パソコン内部は温度が高く、またノー
ト型パソコンは外出先に携帯されことも多いため、広い
温度範囲で使用される。この様な状況においてフロッピ
ーディスクは温度に対する寸法安定性に優れ、安定にト
ラッキング可能とする必要がある。このためには支持体
は熱的寸法安定性に優れなければならない。
(3) Less warpage In a high-density floppy disk, to increase the transfer speed,
While rotating at high speed like a hard disk, it slides at a very low flying height in contact with or close to the magnetic head. If the floppy disk runs out of surface, the floppy disk comes into strong contact with the head and the sliding becomes unstable, leading to deterioration in running durability and reliability. For this reason, it is necessary to keep the surface deviation of the floppy disk to 50 μm or less. Such run-out is strongly influenced by the static sled of the floppy disk. This warpage may be caused by a difference in stress between the front and back sides of the magnetic recording medium during the manufacturing process of the magnetic recording medium when the support originally has the warp. Although the warpage generated in the manufacturing process can be adjusted by the process conditions, the warpage inherent to the support is very difficult to adjust by the process conditions because the thickness of the support is much larger than the thickness of the magnetic layer. It is. In addition, when a polyimide or polyamide film having high heat resistance is used as the support, the material has high heat resistance, so that the shape cannot be corrected by heating. For this reason, it is necessary for the support to have almost no static warpage.
Specifically, it is necessary to press down to 1 mm or less in a state of being punched into a 3.5-type disk shape. (4) Dimensional stability Recent floppy disks are considered to be used inside notebook PCs due to the spread of notebook PCs. However, the temperature inside the notebook PC is high, and notebook PCs are carried around. They are often used over a wide temperature range. In such a situation, the floppy disk needs to have excellent dimensional stability with respect to temperature and be capable of stable tracking. For this purpose, the support must have excellent thermal dimensional stability.

【0006】以上の4つの必要特性を満たす支持体の開
発は非常に困難であり、市販されていない。例えば磁気
テープ、フロッピーディスクの支持体として広く使用さ
れているポリエチレンテレフタレートやポリエチレンナ
フタレートは、そのガラス転移温度がスパッタリング法
で磁性層を成膜する際の加熱温度よりも遙かに低いた
め、磁性層を成膜する際に変形を生じ、さらに磁性層に
クラックが発生する場合が多い。またこの様な温度まで
加熱するとオリゴマーの表面析出による表面性の劣化が
著しい。
It is very difficult to develop a support that satisfies the above four required properties, and it is not commercially available. For example, polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate, which are widely used as supports for magnetic tapes and floppy disks, have a glass transition temperature much lower than the heating temperature when forming a magnetic layer by a sputtering method. In many cases, deformation occurs when the layer is formed, and cracks often occur in the magnetic layer. When heated to such a temperature, the surface properties of the oligomer are significantly deteriorated due to the precipitation of the surface of the oligomer.

【0007】また、芳香族ポリイミドや芳香族ポリアミ
ドといった耐熱性樹脂フィルムは十分な耐熱性を有する
ものの、その製造における問題により、平滑な表面性と
少ないそりを実現することが困難である。またポリアミ
ドフィルムは、その厚みが50μm以上のフィルムの作
製することが困難である。またポリイミドやアラミドフ
ィルムはその価格が高価であるため、作製するフロッピ
ーディスクの製造原価において大きな割合を占める。さ
らにどの様な材料の支持体を使用したとしても、ある程
度以上表面を平滑にすると、支持体の搬送や巻き取りと
いった取り扱いが非常に困難となる。この問題を解決す
るためには支持体の端面近傍に故意に凹凸を作製し、搬
送部材や支持体裏面への貼り付きを防止する必要がある
が、この方法を用いても支持体の幅をある程度広くする
と、その効果が少なくなり、取り扱い特性が悪化する。
Although heat-resistant resin films such as aromatic polyimides and aromatic polyamides have sufficient heat resistance, it is difficult to realize smooth surface properties and low warpage due to problems in their production. Further, it is difficult to produce a polyamide film having a thickness of 50 μm or more. Further, polyimide and aramid films are expensive, and thus account for a large proportion of the manufacturing cost of the floppy disk to be manufactured. Further, no matter what kind of material is used, if the surface is smoothed to a certain degree or more, handling such as transporting and winding the support becomes very difficult. In order to solve this problem, it is necessary to intentionally create irregularities near the end surface of the support to prevent sticking to the conveying member or the back surface of the support, but even if this method is used, the width of the support may be reduced. If it is widened to some extent, the effect is reduced and the handling characteristics are deteriorated.

【0008】このため上記必要特性を満足する支持体を
作製するためには、既存のフィルムを加工して、支持体
としての特性を向上させる必要がある。この様な方法と
してポリイミドやポリアミドといった耐熱性フィルムを
積層して貼り合わせて積層体からなる支持体を作製する
方法が考えられる。この方法を用いることによってフィ
ルムがそりを待っている場合でも、そりを打ち消し合う
方向に貼り合わせることによって、そのそりを大幅に低
減することが可能である。また必ずしも両面が平滑であ
る必要が無く、一方の表面を可能な限り平滑にし、他方
の面を粗くして取り扱いを容易とし、粗い面同士を接着
することによって両面が平滑な支持体を作製することが
可能である。
For this reason, in order to produce a support satisfying the above-mentioned required properties, it is necessary to process an existing film to improve the properties of the support. As such a method, a method in which a heat-resistant film such as a polyimide or a polyamide is laminated and attached to each other to produce a support made of a laminate can be considered. By using this method, even when the film is waiting for warpage, it is possible to greatly reduce the warpage by bonding the films in directions that cancel each other. Also, it is not always necessary for both surfaces to be smooth. One surface is made as smooth as possible, the other surface is roughened to facilitate handling, and the rough surfaces are bonded together to produce a support having both surfaces smooth. It is possible.

【0009】しかしながら、従来から行われている汎用
のエポキシ系の接着剤を使用して積層を行う方法では接
着剤の耐熱性が不十分であるため、磁性層成膜時の加熱
によって接着力が著しく低下したり、熱分解による揮発
性気体が発生するという間題があった。また十分な耐熱
性を有する熱硬化性ポリイミドを接着剤として使用して
積層を行う方法では熱硬化性ポリイミドが特定の高沸点
溶媒にしか溶解せず、この溶剤を完全に除去することが
困難であるため、接着のための熱硬化工程で接着面に気
泡が発生するという間題があった。更に他の耐熱性の高
い熱硬化型、熱可塑性樹脂を溶剤に溶解して塗布し、接
着剤として用いる場合には、接着剤の粘度が高く、接着
剤の精密な濾過による異物の除去が不可能であるため、
接着面に異物が混入しやすいという間題があった。
However, the conventional method of laminating using a general-purpose epoxy-based adhesive is insufficient in heat resistance of the adhesive. There was a problem that the temperature significantly decreased or volatile gas was generated by thermal decomposition. In the method of laminating using a thermosetting polyimide having sufficient heat resistance as an adhesive, the thermosetting polyimide is dissolved only in a specific high boiling point solvent, and it is difficult to completely remove this solvent. For this reason, there is a problem that air bubbles are generated on the bonding surface in the thermosetting process for bonding. Furthermore, when another thermosetting or thermoplastic resin having high heat resistance is applied by dissolving in a solvent and used as an adhesive, the viscosity of the adhesive is high, and it is not possible to remove foreign substances by precise filtration of the adhesive. Because it is possible,
There is a problem that foreign matter is easily mixed into the bonding surface.

【0010】例えば、特開平8−249641号公報の
ように磁性層を形成した耐熱性高分子フィルムを接着剤
を介して基材フィルムに接着する方法も提案されている
が、この方法では接着層を形成するための塗布工程が必
要であり、接着面に異物が混入しやすい、あるいは基材
フィルムのそりがフロッピーディスクに影響してそりの
少ないフロッピーディスクを作製できない等の問題があ
った。
For example, there has been proposed a method of bonding a heat-resistant polymer film having a magnetic layer formed thereon to a substrate film via an adhesive as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 8-249641. This requires a coating process for forming a film, and foreign matter is apt to be mixed into the adhesive surface, or the warpage of the base film affects the floppy disk, so that a floppy disk with little warping cannot be produced.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、平滑な表面
性、高い耐熱性、少ないそり、および高い寸法安定性を
有するフロッピーディスクの製造方法を提供しようとす
るものである。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a method for producing a floppy disk having smooth surface properties, high heat resistance, low warpage, and high dimensional stability.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】上記課題は、フロッピー
ディスクにおいて、耐熱性樹脂フィルムの片面に強磁性
金属薄膜からなる磁性層、保護層を形成した耐熱性樹脂
フィルムを、熱可塑性樹脂フィルムの両面に、磁性層を
形成した面が外側になるように加熱接着したものである
フロッピーディスクによって解決される。また、耐熱性
樹脂フィルムが芳香族ポリアミドフィルム、芳香族ポリ
イミドフィルムのいずれかから選ばれるものである前記
のフロッピーディスクである。
The object of the present invention is to provide a floppy disk with a heat-resistant resin film in which a magnetic layer made of a ferromagnetic metal thin film and a protective layer are formed on one side of a heat-resistant resin film. In addition, the problem is solved by a floppy disk which is heated and bonded so that the surface on which the magnetic layer is formed is on the outside. Further, in the above-mentioned floppy disk, the heat-resistant resin film is selected from an aromatic polyamide film and an aromatic polyimide film.

【0013】また、フロッピーディスクの製造方法にお
いて、強磁性金属薄膜からなる磁性層と保護層を形成し
た耐熱性樹脂フィルムを、熱可塑性樹脂フィルムの両面
に磁性層を形成した面が外側となるように重ねて、熱可
塑性樹脂フィルムと耐熱性樹脂フィルムとを加熱接着し
て両面に磁性層を形成するフロッピーディスクの製造方
法である。また、耐熱性樹脂フィルムの接着面、熱可塑
性樹脂フィルムの表面の少なくともいずれかを活性化処
理した後に加熱接着する前記のフロッピーディスクの製
造方法である。加熱接着が平板熱プレス、または熱ラミ
ネートロールにより熱可塑性樹脂のフィルムの融点以上
において行う前記のフロッピーディスクの製造方法であ
る。
[0013] In the method of manufacturing a floppy disk, the heat-resistant resin film having the magnetic layer made of the ferromagnetic metal thin film and the protective layer may be formed such that the surfaces of the thermoplastic resin film having the magnetic layers formed on both sides are outside. This is a method for manufacturing a floppy disk in which a thermoplastic resin film and a heat-resistant resin film are bonded together by heating to form magnetic layers on both surfaces. Further, in the above-mentioned method for producing a floppy disk, at least one of the bonding surface of the heat-resistant resin film and the surface of the thermoplastic resin film is activated and then heat-bonded. The above-mentioned method for producing a floppy disk, wherein the heat bonding is performed by a flat plate hot press or a heat laminating roll at a temperature higher than the melting point of the thermoplastic resin film.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】すなわち、本発明は、片面に磁性
層を形成した、表面の平滑性に優れた耐熱性フィルム
を、熱可塑性樹脂フィルムの両面に積層して加熱接着す
ることにより、磁性層としての優れた特性と、表面性、
およびそりの面で優れた磁気記録媒体が得られることを
見いだしたものである。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention relates to a method of laminating a heat-resistant film having a magnetic layer formed on one side and having excellent surface smoothness on both sides of a thermoplastic resin film and heating and bonding the film. Excellent properties as a layer, surface properties,
In addition, it has been found that a magnetic recording medium excellent in warpage can be obtained.

【0015】図1は、本発明のフロッピーディスクを説
明する図であり、断面図である。本発明のフロッピーデ
ィスク1は、熱可塑性樹脂フィルム2の両面に、磁性層
3を形成した耐熱性樹脂フィルム4が積層されている。
耐熱性樹脂フィルム4は、その表面の平滑性が不充分で
あると平滑な表面を有する磁性層が得られないので、耐
熱性樹脂フィルム4上には、下塗り層5が形成されても
良い。下塗り層5上には磁性層の静磁気特性を改善する
目的で下地層6を形成し、その上に磁性層7が形成され
ている。また、下地層6の結晶配向性を制御するため
に、下地層6の形成に先立ちシード層8が形成されても
良く、下地層6あるいはシード層8と下塗り層5の密着
性を向上させる目的で密着層9が形成されても良い。さ
らに、磁性層6上には、保護層10および潤滑層11が
形成されている。本発明のフロッピーディスク1は、熱
可塑性樹脂フィルム2を用いたことによってその両面
に、磁性層3を形成した耐熱性樹脂フィルム4を加熱接
着することができるので、両者の積層に接着剤を用いる
ことなく積層することができる。
FIG. 1 is a diagram for explaining a floppy disk of the present invention, and is a sectional view. In the floppy disk 1 of the present invention, a heat-resistant resin film 4 having a magnetic layer 3 is laminated on both surfaces of a thermoplastic resin film 2.
If the smoothness of the surface of the heat-resistant resin film 4 is insufficient, a magnetic layer having a smooth surface cannot be obtained. Therefore, the undercoat layer 5 may be formed on the heat-resistant resin film 4. An underlayer 6 is formed on the undercoat layer 5 for the purpose of improving the magnetostatic properties of the magnetic layer, and a magnetic layer 7 is formed thereon. Further, in order to control the crystal orientation of the underlayer 6, the seed layer 8 may be formed prior to the formation of the underlayer 6, and the purpose is to improve the adhesion between the underlayer 6 or the seed layer 8 and the undercoat layer 5. May form the adhesion layer 9. Further, a protective layer 10 and a lubricating layer 11 are formed on the magnetic layer 6. In the floppy disk 1 of the present invention, since the thermoplastic resin film 2 is used, the heat-resistant resin film 4 having the magnetic layer 3 formed on both surfaces thereof can be heat-bonded. Therefore, an adhesive is used for laminating the both. It can be stacked without any.

【0016】本発明で用いる耐熱性樹脂フィルムには、
芳香族ポリイミドフィルム、芳香族ポリアミドフィル
ム、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルスルホ
ン、ポリエーテルイミド、ポリスルホン、ポリフェニレ
ンスルフィド、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオ
ロプロピレン共重合体(FEP)、アルキルビニルエー
テル共重合体(PFA)、テトラフルオロエチレン−エ
チレン共重合体(ETFE)、クロロトリフルオロエチ
レン樹脂(CTFE)から選ばれるフッ素樹脂等のよう
な耐熱性樹脂フィルムを挙げることができる。これらの
中でも耐熱性の観点からポリイミドフィルム、ポリアミ
ドフィルムが好ましい。これは後述のように磁性層をス
パッタリングによって形成する際に基板として使用する
耐熱性樹脂フィルムの加熱や形成時のプラズマの熱によ
って基板表面が高温に達するためであり、耐熱性が不足
すると熱変形、分解した気体の放出、オリゴマー析出と
いった支障をきたす。
The heat-resistant resin film used in the present invention includes:
Aromatic polyimide film, aromatic polyamide film, polyetheretherketone, polyethersulfone, polyetherimide, polysulfone, polyphenylene sulfide, tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer (FEP), alkyl vinyl ether copolymer (PFA) And a heat-resistant resin film such as a fluororesin selected from tetrafluoroethylene-ethylene copolymer (ETFE) and chlorotrifluoroethylene resin (CTFE). Among these, a polyimide film and a polyamide film are preferable from the viewpoint of heat resistance. This is because the surface of the substrate reaches a high temperature due to the heating of the heat-resistant resin film used as the substrate when forming the magnetic layer by sputtering and the heat of the plasma during the formation, as described later. This causes problems such as release of decomposed gas and precipitation of oligomer.

【0017】この耐熱性フィルムの支持体の表面となる
面の表面性は可能な限り平滑な表面であることが好まし
い。これは作製するフロッピーディスクの表面性はその
電磁変換特性に非常に大きな影響を与えるためである。
具体的には後述の下塗り層を使用する場合で、光学式の
表面粗さ計で測定した表面粗さが中心線平均粗さRaで
10nm以内、好ましくは5nm以内、触針式粗さ計で
測定した突起高さが1μm以内、好ましくは0.1μm
以内である。下塗り層を用いない場合には光学式の表面
粗さ計で測定した表面粗さが中心線平均粗さRaで3n
m以内、好ましくは1nm以内、触針式粗さ計で測定し
た突起高さが0.1μm以内、好ましくは0.06μm
以内である。
The surface of the surface of the heat-resistant film which is to be the support is preferably as smooth as possible. This is because the surface property of the manufactured floppy disk has a very large effect on its electromagnetic conversion characteristics.
Specifically, when an undercoat layer described below is used, the surface roughness measured by an optical surface roughness meter is 10 nm or less, preferably 5 nm or less in center line average roughness Ra, and is measured by a stylus roughness meter. The measured protrusion height is within 1 μm, preferably 0.1 μm
Within. When the undercoat layer was not used, the surface roughness measured by an optical surface roughness meter was 3n in center line average roughness Ra.
m, preferably within 1 nm, and the projection height measured with a stylus-type roughness meter is within 0.1 μm, preferably 0.06 μm.
Within.

【0018】また耐熱性樹脂フィルムの接着面は取り扱
いや接着性のため、適度な凹凸を有することが好まし
く、具体的には光学式の表面粗さ計で測定した表面粗さ
が中心線平均粗さRaで10nm以内、好ましくは5n
m以内、触針式粗さ計で測定した突起高さが0.1μm
以内、好ましくは0.06μm以内である。また接着力
をさらに高めるため、接着面の活性化処理を用いたもの
が好ましい。活性化は一般的に知られているコロナ処
理、酸素プラズマ処理、火炎処理、紫外線処理、オゾン
処理、クロム酸処理などが使用できる。なかでもコロナ
処理や酸素プラズマ処理が接着力の改善効果、生産性の
観点から好ましい。
The adhesive surface of the heat-resistant resin film preferably has moderate unevenness for handling and adhesiveness. Specifically, the surface roughness measured by an optical surface roughness meter is the center line average roughness. Ra within 10 nm, preferably 5 n
Within 0.1 m, protrusion height measured with a stylus type roughness meter is 0.1 μm
Within, preferably within 0.06 μm. Further, in order to further increase the adhesive strength, it is preferable to use an activation treatment of the adhesive surface. For the activation, generally known corona treatment, oxygen plasma treatment, flame treatment, ultraviolet treatment, ozone treatment, chromic acid treatment and the like can be used. Among them, corona treatment and oxygen plasma treatment are preferred from the viewpoint of the effect of improving adhesive strength and productivity.

【0019】ポリイミドフィルムの例としては宇部興産
(株)製ユーピレックス、鐘淵化学(株)製アピカル、
東レ・デュポン(株)製カプトン等があげられる。また
ポリアミドフィルムの例としては旭化成工業(株)製ア
ラミカ、東レ(株)社製ミクトロン等があげられる。こ
れらの耐熱性フィルムの厚みは2〜50μmの範囲が好
ましく、特に好ましくは3〜25μmである。
Examples of the polyimide film include Upilex manufactured by Ube Industries, Ltd., Apical manufactured by Kanebuchi Chemical Co., Ltd.
Examples include Kapton manufactured by Toray Dupont. Examples of the polyamide film include Aramica manufactured by Asahi Kasei Kogyo Co., Ltd. and Miktron manufactured by Toray Industries, Inc. The thickness of these heat resistant films is preferably in the range of 2 to 50 μm, particularly preferably 3 to 25 μm.

【0020】本発明で使用する熱可塑性樹脂フィルムと
しては、ポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレー
ト、ポリエチレンナフタレート、ポリアミド、ポリエス
テル、ポリイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリ
エーテルスルホン、ポリエーテルイミド、ポリスルホ
ン、ポリフェニレンスルフィド、テトラフルオロエチレ
ン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体(FEP)、ア
ルキルビニルエーテル共重合体(PFA)、テトラフル
オロエチレン−エチレン共重合体(ETFE)、クロロ
トリフルオロエチレン樹脂(CTFE)から選ばれるフ
ッ素樹脂等の熱可塑性樹脂フィルムが使用できる。なか
でも接着性の観点から融点が200℃〜300℃の範囲
のものが好ましい。融点がこれより高いと熱接着に高い
温度が必要となり、生産性が低下する。逆に融点がこれ
より低いとフロッピーディスクの熱安定性が低下する場
合が多い。
The thermoplastic resin film used in the present invention includes polyolefin, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polyamide, polyester, polyimide, polyether ether ketone, polyether sulfone, polyetherimide, polysulfone, polyphenylene sulfide, tetrafluoroethylene Thermoplastics such as fluororesins selected from ethylene-hexafluoropropylene copolymer (FEP), alkyl vinyl ether copolymer (PFA), tetrafluoroethylene-ethylene copolymer (ETFE), and chlorotrifluoroethylene resin (CTFE) Resin film can be used. Among them, those having a melting point in the range of 200 ° C to 300 ° C are preferable from the viewpoint of adhesiveness. If the melting point is higher than this, a high temperature is required for thermal bonding, and the productivity is reduced. Conversely, if the melting point is lower than this, the thermal stability of the floppy disk often decreases.

【0021】耐熱製樹脂フィルムと熱可塑性樹脂フィル
ムの選択においては次のような基準で選択される。すな
わち、本発明では熱接着時に耐熱性樹脂が加圧部材と接
着するのを防止するために、耐熱性樹脂の融点が熱接着
温度よりも高く、かつ熱可塑性樹脂の融点が熱接着温度
よりも低い必要がある。したがってこのような観点でフ
ィルムを選択すると、例えば300℃で接着する場合に
は耐熱性樹脂フィルムには芳香族ポリイミドを、熱可塑
性樹脂にはポリエーテルスルホンを使用する組合せが使
用でき、250℃で接着する場合には耐熱性樹脂にPF
Aを、熱可塑性樹脂にはポリスルホンを使用する組合せ
が使用できる。
In selecting a heat-resistant resin film and a thermoplastic resin film, the following criteria are used. That is, in the present invention, in order to prevent the heat-resistant resin from adhering to the pressing member during the heat bonding, the melting point of the heat-resistant resin is higher than the heat bonding temperature, and the melting point of the thermoplastic resin is higher than the heat bonding temperature. Need to be low. Therefore, if a film is selected from such a viewpoint, for example, when bonding at 300 ° C., a combination using an aromatic polyimide for the heat-resistant resin film and polyether sulfone for the thermoplastic resin can be used. When bonding, use PF on heat-resistant resin
A can be used as a combination of A and polysulfone as a thermoplastic resin.

【0022】この熱可塑性樹脂フィルムは耐熱性樹脂フ
ィルムの接着剤として働くとともに、支持体に熱可塑性
樹脂フィルムが存在することによって、磁性層のスパッ
タリング工程などで発生するそりを低減することができ
る。これは磁性層形成後の耐熱性樹脂フィルムにそりが
発生しても、熱可塑性樹脂フィルムとの熱接着時に、熱
可塑性樹脂フィルムのガラス転移点以上の温度に加熱す
ることによって、その応力差を緩和し、固定できるため
である。また温度や湿度の影響で特定方向にそりが発生
することも防止することができる。
The thermoplastic resin film functions as an adhesive for the heat-resistant resin film, and the presence of the thermoplastic resin film on the support can reduce the warpage generated in the step of sputtering the magnetic layer. This is because even if warpage occurs in the heat-resistant resin film after the formation of the magnetic layer, the stress difference is caused by heating to a temperature equal to or higher than the glass transition point of the thermoplastic resin film during thermal bonding with the thermoplastic resin film. This is because it can be relaxed and fixed. In addition, it is possible to prevent warping in a specific direction due to the influence of temperature and humidity.

【0023】この熱可塑性樹脂フィルムの表面性は後述
のように溶融接着して使用するため、一般的な表面粗さ
のものが使用可能であるが、表面粗さは平滑なものが好
ましい。具体的には光学式の表面粗さ計で測定した表面
粗さが中心線平均粗さRaで10nm以内、好ましくは
5nm以内、触針式粗さ計で測定した突起高さが1μm
以内、好ましくは0.1μm以内である。この表面粗さ
は表裏面でほぼ同等であることが好ましい。
Since the thermoplastic resin film is used after being melt-bonded as described later, a general surface roughness can be used, but a smooth surface roughness is preferable. Specifically, the surface roughness measured by an optical surface roughness meter is within 10 nm, preferably within 5 nm as a center line average roughness Ra, and the projection height measured by a stylus roughness meter is 1 μm.
Within, preferably within 0.1 μm. This surface roughness is preferably substantially the same on the front and back surfaces.

【0024】また本発明の熱可塑性樹脂フィルムは接着
力を高めるため、表面の活性化処理を行ったものが好ま
しい。表面の活性化は一般的に知られているコロナ処
理、酸素プラズマ処理、火炎処理、紫外線処理、オゾン
処理、クロム酸処理などが使用できる。なかでもコロナ
処理や酸素プラズマ処理が接着力の改善効果、生産性の
観点から好ましい。この熱可塑性フィルムの厚みは3〜
75μm、好ましくは5〜50μmである。
The thermoplastic resin film of the present invention is preferably subjected to a surface activation treatment in order to increase the adhesive strength. For the activation of the surface, generally known corona treatment, oxygen plasma treatment, flame treatment, ultraviolet treatment, ozone treatment, chromic acid treatment and the like can be used. Among them, corona treatment and oxygen plasma treatment are preferred from the viewpoint of the effect of improving adhesive strength and productivity. The thickness of this thermoplastic film is 3 to
It is 75 μm, preferably 5 to 50 μm.

【0025】熱接着は耐熱性樹脂フィルムの磁性層を形
成した面が外側となるように熱可塑性樹脂フィルムをは
さんで重ね、これを加熱接着して行うが、加熱接着方法
は平板熱プレス、熱ラミネートロールによる熱ラミネー
ト、高周波接合、超音波接合などが使用できる。なかで
も好ましくは平板熱プレスまたは熱ラミネートロールに
よる熱ラミネートである。このときの加熱温度は使用す
るフィルムの特性に応じた接着に必要な温度で決定され
るが、好ましくは熱可塑性樹脂フィルムのガラス転移点
以上、さらに好ましくは融点以上に加熱することによっ
て安定した接着を行うことができる。
The thermal bonding is performed by laminating a thermoplastic resin film so that the surface of the heat-resistant resin film on which the magnetic layer is formed is on the outside, and bonding by heating. Heat lamination using a heat laminating roll, high frequency bonding, ultrasonic bonding, and the like can be used. Among them, heat lamination by a flat plate hot press or a heat laminating roll is preferable. The heating temperature at this time is determined by the temperature required for adhesion according to the characteristics of the film to be used, but is preferably at least the glass transition point of the thermoplastic resin film, more preferably stable adhesion by heating to the melting point or more It can be performed.

【0026】平板熱プレスを用いる場合には、耐熱性樹
脂フィルム、熱可塑性樹脂フィルム、耐熱性樹脂フィル
ムをこの順に重ね、1枚ごとに熱接着してもよいが、複
数枚を積層させ、一度にプレスし、この全体をオーブン
などの加熱手段によって加熱して接着を行っても良い。
これらの方法は生産性が劣るものの、表裏面の熱および
応力分布を均一にすることができるため、そりの少ない
支持体が作製可能である。
When a flat plate heat press is used, a heat-resistant resin film, a thermoplastic resin film, and a heat-resistant resin film may be stacked in this order, and may be heat-bonded one by one. And the whole may be heated by a heating means such as an oven to perform the bonding.
Although these methods are inferior in productivity, since the heat and stress distribution on the front and back surfaces can be made uniform, a support with less warpage can be manufactured.

【0027】また、接着温度が高い熱可塑性樹脂フィル
ムでも接着が可能である。このとき、熱プレスは接着面
の気泡発生を防止するため、また各フィルムヘの塵埃の
付着を防止するため、真空中でのプレスが好ましい。プ
レス面の表面粗さは使用する支持体よりも平滑であるこ
とが好ましく、表面が粗いとこの表面が支持体に転写
し、支持体表面にも凹凸が形成されてしまう。さらにプ
レス面は接着後の支特体の貼り付きを防止するため、フ
ッ素化合物などによるフッ素加工などの表面処理が施さ
れていることが好ましい。プレス圧力は1×10-2〜1
MPaが好ましい。加熱時間は熱可塑性樹脂フィルムの
熱的、化学的性質に依存するが、数秒から数時間の間で
適宜選定することができる。
In addition, it is possible to bond even a thermoplastic resin film having a high bonding temperature. At this time, the hot press is preferably performed in a vacuum in order to prevent generation of bubbles on the bonding surface and to prevent dust from adhering to each film. The surface roughness of the pressed surface is preferably smoother than that of the support to be used. If the surface is rough, the surface is transferred to the support and irregularities are formed on the surface of the support. Further, it is preferable that the press surface has been subjected to a surface treatment such as a fluorine process with a fluorine compound or the like in order to prevent the support body from sticking after bonding. Press pressure is 1 × 10 -2 〜1
MPa is preferred. The heating time depends on the thermal and chemical properties of the thermoplastic resin film, but can be appropriately selected from several seconds to several hours.

【0028】熱ラミネートロールによる熱ラミネートを
用いる場合には、耐熱性樹脂フィルム、熱可塑性樹脂フ
ィルム、耐熱性樹脂フィルムをこの順に重ね、1枚ごと
に枚葉式に接着させても良いし、ロールからロールヘ連
続的にラミネートしても良い。枚葉式でラミネートする
場合には平滑な加熱板上にフィルムを重ね、上面または
下面を熱ラミネートロールで押して接着させるか、熱ラ
ミネートロール間にフィルムを通すことで接着させる。
連続でラミネートする場合には熱ラミネートロール間に
フィルムを通して接着させる。このときの加熱時間は熱
可塑性樹脂フィルムの熱的、化学的性質に依存するが、
数秒以内である。
In the case of using heat lamination with a heat laminating roll, a heat-resistant resin film, a thermoplastic resin film, and a heat-resistant resin film may be stacked in this order and adhered one by one to a sheet. From the roll to the roll. When laminating in a single-wafer system, a film is superimposed on a smooth heating plate, and the upper or lower surface is pressed and bonded with a heat laminating roll, or the film is passed between the heat laminating rolls.
When laminating continuously, the film is adhered between the heat laminating rolls. The heating time at this time depends on the thermal and chemical properties of the thermoplastic resin film,
Within a few seconds.

【0029】このためラミネートロールの表面温度は熱
可塑性樹脂フィルムの接着温度より高く設定する必要が
あることが行われる。熱ラミネートロールは蒸気加熱、
熱媒油加熱によるものが使用できるが、接着温度が高い
熱可塑性樹脂フィルムの場合には誘導加熱ロールを用い
ても良い。また熱ラミネートロールの表面性は使用する
支持体よりも平滑であることが好ましく、表面が粗いと
この表面が支持体に転写し、支持体表面に凹凸が形成さ
れてしまう。さらにラミネートは接着面の気泡発生を防
止するため、また各フィルムヘの塵埃の付着を防止する
ため、真空中でのラミネートが好ましい。ラミネートロ
ール圧力は10N/m〜10kN/mが適当である。
For this reason, the surface temperature of the laminating roll needs to be set higher than the bonding temperature of the thermoplastic resin film. Heat laminating roll is steam heated,
Although heating by heating medium oil can be used, in the case of a thermoplastic resin film having a high bonding temperature, an induction heating roll may be used. The surface properties of the heat laminating roll are preferably smoother than the support used. If the surface is rough, the surface is transferred to the support and irregularities are formed on the surface of the support. Further, the lamination is preferably performed in a vacuum in order to prevent generation of air bubbles on the bonding surface and to prevent dust from adhering to each film. The laminating roll pressure is suitably from 10 N / m to 10 kN / m.

【0030】次に本発明で使用できる下塗り層について
説明する。本発明の耐熱性樹脂フィルムの表面性が不十
分である場合には、耐熱性樹脂フィルム表面に平滑化を
目的とした下塗り層を作製することが好ましい。下塗り
層は耐熱性樹脂フィルムと同様に耐熱性が要求されるた
め、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、シリコー
ン樹脂、フッ素樹脂等を使用する必要があり、ポリエス
テル樹脂などは耐熱性に劣るので使用できない。なかで
も下塗り層の素材としては平滑化効果が高い、熱硬化型
イミドや熱硬化型シリコーン樹脂を用いることが好まし
い。この下塗り層の厚みとしては0.1〜3μmが好ま
しい。またこの下塗り層は耐熱性樹脂フィルムと熱可塑
性樹脂フィルムの接着の前に作製しても良いし、接着後
に作製しても良い。
Next, the undercoat layer that can be used in the present invention will be described. When the surface properties of the heat-resistant resin film of the present invention are insufficient, it is preferable to form an undercoat layer on the surface of the heat-resistant resin film for the purpose of smoothing. Since the undercoat layer is required to have heat resistance in the same manner as the heat-resistant resin film, it is necessary to use a polyimide resin, a polyamide-imide resin, a silicone resin, a fluororesin or the like, and a polyester resin or the like cannot be used because of its poor heat resistance. Above all, it is preferable to use a thermosetting imide or a thermosetting silicone resin having a high smoothing effect as a material of the undercoat layer. The thickness of the undercoat layer is preferably 0.1 to 3 μm. The undercoat layer may be formed before or after bonding the heat-resistant resin film and the thermoplastic resin film.

【0031】下塗り層形成用物質として用いられる熱硬
化性イミド樹脂を用いる例としては分子内に末端不飽和
基を2個以上有するイミドモノマーの熱重合物であるポ
リイミド樹脂がある。この様なイミドモノマーの例とし
ては下記化学式1で表されるビスアリルナジイミドが挙
げられる。
Examples of the use of a thermosetting imide resin used as a substance for forming an undercoat layer include a polyimide resin which is a thermal polymer of an imide monomer having two or more terminal unsaturated groups in a molecule. An example of such an imide monomer is bisallylnadiimide represented by the following chemical formula 1.

【0032】◎

【化1】 Embedded image

【0033】ただし、R1、R2は独立に選択された水素
またはメチル基、R3は脂肪族または芳香族の炭化水素
基等の2価の連結基。すなわち、本発明の下地層として
好ましい熱硬化型ポリイミド樹脂は既に重合したポリイ
ミド樹脂ではなく、まず耐熱性樹脂フィルム上にイミド
モノマーの塗布膜を形成した後、熱重合させて作製する
ポリイミドである。
However, R 1 and R 2 are independently selected hydrogen or methyl groups, and R 3 is a divalent linking group such as an aliphatic or aromatic hydrocarbon group. That is, the thermosetting polyimide resin that is preferable as the base layer of the present invention is not a polyimide resin that has already been polymerized, but is a polyimide that is formed by first forming a coating film of an imide monomer on a heat-resistant resin film and then thermally polymerizing it.

【0034】このイミドモノマーは既にイミド環化反応
が終了しているもので、分子内に末端不飽和基を2個以
上有するものである。ポリイミドヘの重合反応は加熱な
どによってこのビニル基が付加重合することによって進
行する。したがって重合反応は比較的低温で進行するた
め、ポリイミドをはじめ様々な非磁性支持体上に下地層
として形成することができる。またイミドモノマーはそ
の構造によって汎用の有機溶剤に溶解することが可能で
あるため、生産性、作業性に優れる。またイミドモノマ
ーはポリイミドよりも分子量が小さいため、その溶液の
粘度が低く、これを非磁性支持体上に塗布したときに、
凹凸に対する回り込みが良く、平滑化効果も高い。
This imide monomer has already undergone the imide cyclization reaction and has two or more terminal unsaturated groups in the molecule. The polymerization reaction on the polyimide proceeds by addition polymerization of the vinyl group by heating or the like. Therefore, since the polymerization reaction proceeds at a relatively low temperature, it can be formed as an underlayer on various non-magnetic supports including polyimide. Further, the imide monomer can be dissolved in a general-purpose organic solvent depending on its structure, and thus is excellent in productivity and workability. In addition, since the imide monomer has a smaller molecular weight than polyimide, the viscosity of the solution is low, and when this is applied on a non-magnetic support,
Good wraparound for unevenness and high smoothing effect.

【0035】この様なイミド環と末端不飽和結合を2個
以上有するイミドモノマー化合物は特開昭59−806
62号公報、特開昭60−178862号公報、特開昭
61−18761号公報、特開昭63−170358号
公報、特開平7−53516号公報などに記載されてい
る公知の合成法で合成された公知の化合物を使用するこ
とができる。化合物1においてR1、R2はそれぞれ独立
に選択される水素またはメチル基であり、R3 は脂肪
族、芳香族等の2価の連結基であれば任意のものを用い
ることができる。例えば直鎖または分岐構造のアルキレ
ン基およびアルケニル基、シクロアルキレン基、アルキ
レン基を有するシクロアルキレン基、芳香族基、アルキ
レン基を有する芳香族基、ポリオキシアルキレン基、カ
ルボニル基、エーテル基等などが挙げられる。
An imide monomer compound having such an imide ring and two or more terminal unsaturated bonds is disclosed in JP-A-59-806.
No. 62, JP-A-60-178882, JP-A-61-18761, JP-A-63-170358, and JP-A-7-53516. Known compounds described above can be used. In compound 1, R 1 and R 2 are independently selected hydrogen or a methyl group, and R 3 can be any one of divalent linking groups such as aliphatic and aromatic. For example, a linear or branched alkylene group and alkenyl group, a cycloalkylene group, a cycloalkylene group having an alkylene group, an aromatic group, an aromatic group having an alkylene group, a polyoxyalkylene group, a carbonyl group, an ether group, and the like. No.

【0036】イミドモノマーの溶剤溶解性やその重合物
であるポリイミド樹脂の耐熱性はおもにR3 の構造で決
定される。このため所望の特性はR3 の構造を選択する
ことによって達成される。この様な化合物は丸善石油化
学社からBANIシリーズ、ANIシリーズとして市販
されているものを用いることができる。
The solvent solubility of the imide monomer and the heat resistance of the polyimide resin, which is a polymer thereof, are determined mainly by the structure of R 3 . Thus the desired characteristics are achieved by selecting the structure of R 3. As such compounds, those commercially available from Maruzen Petrochemical Co., Ltd. as BANI series and ANI series can be used.

【0037】また本発明の下塗り層にはイミドモノマー
以外の成分が含有されていても良い。例えば重合を促進
するための硬化剤、表面に凹凸を設けるための耐熱性微
粒子(フィラー)、密着性を改善するためのカップリン
グ剤、磁性層の酸化を防止する防錆剤などが挙げられ
る。硬化剤としてはp−トルエンスルホン酸、p−キシ
レンスルホン酸、トルエンスルホン酸メチル、ピリジニ
ウム−p−トルエンスルホネート、ピリジニウム−m−
二トロベンゼンスルホネート、硫酸メチルヒドラジンな
どが使用できる。塗布溶剤としては化学式1のR3 の種
類によって異なるが、多くの構造ではトルエン、キシレ
ン、アセトニトリル、シクロヘキサノン、メチルエチル
ケトン、アセトンなどに溶解可能であり、一部の構造に
おいてはイソプロピルアルコール、エタノール、メタノ
ール等にも溶解可能である。また溶剤としてこれらの混
合溶剤を使用することもできる。
The undercoat layer of the present invention may contain components other than imide monomers. For example, a curing agent for accelerating polymerization, heat-resistant fine particles (filler) for forming irregularities on the surface, a coupling agent for improving adhesion, a rust inhibitor for preventing oxidation of the magnetic layer, and the like are included. As a curing agent, p-toluenesulfonic acid, p-xylenesulfonic acid, methyl toluenesulfonate, pyridinium-p-toluenesulfonate, pyridinium-m-
Nitrobenzenesulfonate, methylhydrazine sulfate and the like can be used. The coating solvent varies depending on the type of R 3 in Chemical Formula 1, but in many structures it can be dissolved in toluene, xylene, acetonitrile, cyclohexanone, methyl ethyl ketone, acetone, etc., and in some structures it is isopropyl alcohol, ethanol, methanol, etc. Can also be dissolved. These mixed solvents can be used as the solvent.

【0038】また本発明で好ましい熱硬化性シリコーン
樹脂の例としては、有機基が導入されたケイ秦化合物を
原料としてゾルゲル法で作成したシリコーン樹脂が挙げ
られる。この様なシリコーン樹脂は二酸化ケイ素の結合
の一部を有機基で置換した構造からなり、シリコーンゴ
ムよりも大幅に耐熱性に優れている。また二酸化ケイ素
膜よりも柔軟性に優れるため、耐熱性樹脂フィルムの様
な可撓性フィルム上に作製してもクラックや剥離が生じ
にくい。
As a preferred example of the thermosetting silicone resin in the present invention, a silicone resin prepared by a sol-gel method using a Keitan compound into which an organic group has been introduced as a raw material can be given. Such a silicone resin has a structure in which a part of the bond of silicon dioxide is substituted with an organic group, and has much higher heat resistance than silicone rubber. Further, since it is more flexible than a silicon dioxide film, cracking and peeling hardly occur even when it is formed on a flexible film such as a heat-resistant resin film.

【0039】原料となるモノマーを耐熱性樹脂フィルム
上に直接塗布し、硬化させる方法であるため、汎用溶剤
を使用することができ、凹凸に対する回り込みも良く、
平滑化効果が高い。さらに縮重合反応は酸やキレート剤
などの触媒の添加によって比較的低温から進行するた
め、硬化が短時間で可能であり、このため汎用の塗布機
で作製が可能である。
Since the method is a method in which a monomer as a raw material is directly applied on a heat-resistant resin film and cured, a general-purpose solvent can be used, and the wraparound to unevenness is good.
High smoothing effect. Furthermore, since the condensation polymerization reaction proceeds from a relatively low temperature by the addition of a catalyst such as an acid or a chelating agent, curing can be performed in a short time, and therefore, it can be produced by a general-purpose coating machine.

【0040】この熱硬化性シリコーン樹脂の原料となる
モノマーとしては芳香族炭化水素基、脂肪族やエポキシ
基を含有した有機残基等の有機残基を有するシランカッ
プリング剤である。芳香族炭化水素基や脂肪族炭化水素
基は硬化した樹脂において柔軟性を付与する効果があ
り、特に芳香族炭化水素基を有するシランカップリング
剤は脂肪族炭化水素基を導入したものより、耐熱性に優
れるため好ましい。またエポキシ基を含有したシランカ
ップリング剤は比較的低温から塗膜を硬化させる効果が
ある。例えば芳香族炭化水素基を含有するシランカップ
リング剤は下記化学式2で表される構造を有する化合物
である。
The monomer used as a raw material of the thermosetting silicone resin is a silane coupling agent having an organic residue such as an organic residue containing an aromatic hydrocarbon group, an aliphatic group or an epoxy group. Aromatic hydrocarbon groups and aliphatic hydrocarbon groups have the effect of imparting flexibility to the cured resin, and silane coupling agents having aromatic hydrocarbon groups are more heat-resistant than those having aliphatic hydrocarbon groups introduced. It is preferable because of excellent properties. Further, the silane coupling agent containing an epoxy group has an effect of curing the coating film from a relatively low temperature. For example, a silane coupling agent containing an aromatic hydrocarbon group is a compound having a structure represented by the following chemical formula 2.

【0041】◎

【化2】 Embedded image

【0042】ただし、R、R’はメチル基等一価の有機
基、Aは直結あるいはアルキレン基等の二価の有機基、
Bはアルコキシ基、ハロゲン、水酸基等の一価の基 x+y+z=4である。 化学式2においてAは好ましくは無し、すなわち直結さ
れているか、メチレン基である。Bは反応性や磁性層へ
の腐食性を考慮すると好ましくはアルコキシ基であり、
重合反応を容易とするため、特にメトキシ基など炭素数
4以下のアルコキシ基が好ましい。xは好ましくは1ま
たは2であるが、重合反応を容易とするため、特に1で
あることが好ましい。yは好ましくは0または1である
が、重合反応を容易とするため、特に好ましくは0であ
る。従ってzは特に3であることが好ましい。このよう
な具体例としては、以下のものが挙げられる。
Wherein R and R 'are monovalent organic groups such as a methyl group; A is a divalent organic group such as a direct bond or an alkylene group;
B is a monovalent group x + y + z = 4 such as an alkoxy group, a halogen, and a hydroxyl group. In Chemical Formula 2, A is preferably absent, that is, directly connected or a methylene group. B is preferably an alkoxy group in consideration of reactivity and corrosiveness to the magnetic layer,
In order to facilitate the polymerization reaction, an alkoxy group having 4 or less carbon atoms such as a methoxy group is particularly preferable. x is preferably 1 or 2, but is particularly preferably 1 in order to facilitate the polymerization reaction. y is preferably 0 or 1, but particularly preferably 0 for facilitating the polymerization reaction. Accordingly, z is particularly preferably 3. Examples of such specific examples include the following.

【0043】◎

【化3】 Embedded image

【0044】エポキシ基を有する有機残基を含んだシラ
ンカップリング剤は例えば下記化学式3で表される構造
である。
The silane coupling agent containing an organic residue having an epoxy group has, for example, a structure represented by the following chemical formula 3.

【0045】◎

【化4】 Embedded image

【0046】ただし、Aはアルキレン基など2価の有機
残基 Bは水素またはアルキル基などの1価の有機残基 Rはアルキル基などの1価の有機残基 Xはアルコキシ基、水酸基、ハロゲン、水素から選択さ
れる1価の基 i+j+k=4 である。化学式3の構造においてAは好ましくは水素で
ある。Rはメチル基、エチル基など1価の有機残基であ
る。Xは反応性や磁性層の腐食に対する影響を考慮する
と好ましくはアルコキシ基であり、重合反応を容易とす
るため、特にメトキシ基など炭素数4以下のアルコキシ
基が好ましい。iは好ましくは1または2であるが、重
合反応を容易とするため、特に1であることが好まし
い。jは好ましくは0または1であるが、重合反応を容
易とするため、特に好ましくは0である。従ってkは特
に3であることが好ましい。このような化合物として
は、以下の化学式で示されるものが挙げられる。これら
の化合物は、特開昭51一11871号公報、特開昭6
3−23224号公報に記載されている。
A is a divalent organic residue such as an alkylene group B is a monovalent organic residue such as hydrogen or an alkyl group R is a monovalent organic residue such as an alkyl group X is an alkoxy group, a hydroxyl group, a halogen , A monovalent group selected from hydrogen, i + j + k = 4. In the structure of Formula 3, A is preferably hydrogen. R is a monovalent organic residue such as a methyl group or an ethyl group. X is preferably an alkoxy group in consideration of the reactivity and the influence on the corrosion of the magnetic layer. In order to facilitate the polymerization reaction, X is particularly preferably an alkoxy group having 4 or less carbon atoms such as a methoxy group. i is preferably 1 or 2, but is preferably 1 in order to facilitate the polymerization reaction. j is preferably 0 or 1, but particularly preferably 0 for facilitating the polymerization reaction. Therefore, k is particularly preferably 3. Examples of such a compound include those represented by the following chemical formula. These compounds are disclosed in JP-A-51-111871 and JP-A-61-18771.
It is described in JP-A-3-23224.

【0047】◎

【化5】 Embedded image

【0048】また、耐熱性、低コスト化、重合速度調整
のため、例えばメチル基等の炭化水素基を含んだシラン
カップリング剤を混合して用いてもよい。炭化水素を含
んだシランカップリング剤を併用すると下塗り層の耐熱
性を向上させることもできる。具体的にはこの炭化水素
基を含んだシランカップリング剤は下記のような構造で
ある。 R−Si(OR’)3 但し、R,R’は炭化水素基、Rの炭素数は少ないほど
下塗り層の耐熱性の向上に効果的である。上記芳香族炭
化水素基を有するシランカップリング剤およびエポキシ
基を有する有機残基を含んだシランカップリング剤のア
ルコキシシラン等の部分は後述の方法によって塗布乾燥
することによって加水分解、重合してシロキサン結合を
生成する。一方、エポキシ基は酸触媒や熱によって開環
重合する。この加水分解速度と重合速度は塩酸等の酸を
添加することによって調整できる。
For heat resistance, cost reduction, and polymerization rate adjustment, a silane coupling agent containing a hydrocarbon group such as a methyl group may be mixed and used. When a silane coupling agent containing a hydrocarbon is used in combination, the heat resistance of the undercoat layer can be improved. Specifically, this silane coupling agent containing a hydrocarbon group has the following structure. R—Si (OR ′) 3 where R and R ′ are a hydrocarbon group, and the smaller the carbon number of R, the more effective the improvement of the heat resistance of the undercoat layer. The silane coupling agent having an aromatic hydrocarbon group and the silane coupling agent containing an organic residue having an epoxy group, such as alkoxysilane, are hydrolyzed and polymerized by coating and drying by the method described below to form a siloxane. Create a bond. On the other hand, the epoxy group undergoes ring opening polymerization by an acid catalyst or heat. The hydrolysis rate and the polymerization rate can be adjusted by adding an acid such as hydrochloric acid.

【0049】より低温から重合を開始させるためには、
硬化剤の併用が好ましく、例えば金属キレート化合物、
有機酸およびその塩、過塩素酸塩等、様々な化合物が知
られているが、特に硬化剤としては硬化の低温化、磁性
層の腐食防止の理由から金属キレート化合物が好まし
い。例えば3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラ
ンにアルミニウムアセチルアセトネートを硬化触媒とし
て加えた場合100℃前後で短時間加熱するだけで硬化
できる。従ってグラビア連続塗布法を用いてブロッキン
グを生じること無く、巻き取ることができる。このよう
な硬化剤としては、アルミニウムアネチルアセトネー
ト、ジルコニウムアネチルアセトネート、チタニウムア
セチルアセトネート等のβ−ジケトン類と金属のキレー
ト化合物が特に有効である。このとき使用される塗布溶
剤は塩酸の添加量やシランカップリング剤の構造によっ
て決定されるが、エタノール、メタノール、イソプロピ
ルアルコール、シクロヘキサノン等を用いることができ
る。
In order to start the polymerization from a lower temperature,
It is preferable to use a curing agent in combination, for example, a metal chelate compound,
Various compounds such as organic acids and salts thereof, and perchlorates are known, but a metal chelate compound is particularly preferred as a curing agent from the viewpoint of lowering the curing temperature and preventing corrosion of the magnetic layer. For example, when aluminum acetylacetonate is added to 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane as a curing catalyst, curing can be performed only by heating at about 100 ° C. for a short time. Therefore, the film can be wound without blocking by using the gravure continuous coating method. As such a curing agent, a chelate compound of a metal with a β-diketone such as aluminum acetylacetonate, zirconium acetylacetonate, or titanium acetylacetonate is particularly effective. The coating solvent used at this time is determined by the amount of hydrochloric acid added and the structure of the silane coupling agent, but ethanol, methanol, isopropyl alcohol, cyclohexanone and the like can be used.

【0050】本発明において耐熱性樹脂フィルムに前述
の熱硬化性ポリイミド樹脂層または熱硬化性シリコーン
樹脂層からなる下塗り層を作製する方法としては、原料
となるモノマーと必要に応じて硬化剤など加え、有機溶
剤に溶解した塗布溶液をワイヤーバー法、グラビア法、
スプレー法、ディップコート法、スピンコート法等の手
法によって耐熱性樹脂フィルム上に塗布した後、乾燥す
る方法を使用することができる。さらにこの後、必要に
応じて下塗り層を焼成して硬化を促進させ、耐熱性や耐
溶剤性、密着性などを向上させることができる。また乾
燥は溶剤を揮発させために行われるものであるが、この
時点で同時に硬化を行うこともできる。乾燥方法として
は一般的に行われている熱風乾燥、赤外線乾燥などが使
用できる。このときの乾燥温度は60℃〜250℃程度
が好ましい。
In the present invention, a method for preparing an undercoat layer comprising the above-mentioned thermosetting polyimide resin layer or thermosetting silicone resin layer on a heat-resistant resin film includes adding a monomer as a raw material and a curing agent if necessary. , A coating solution dissolved in an organic solvent, a wire bar method, a gravure method,
A method of applying the composition on a heat-resistant resin film by a method such as a spray method, a dip coating method, and a spin coating method and then drying the applied film can be used. Further, thereafter, the undercoat layer may be baked, if necessary, to accelerate the curing and improve heat resistance, solvent resistance, adhesion, and the like. Drying is performed to evaporate the solvent, but curing can be performed at this time. As a drying method, hot air drying, infrared drying and the like which are generally performed can be used. The drying temperature at this time is preferably about 60 ° C to 250 ° C.

【0051】塗膜の乾燥の後、さらに硬化を促進させる
焼成方法としては熱風加熱、赤外線加熱、熱ローラー加
熱などが使用できる。このときの加熱温度としては塗膜
の厚みと後の磁性層の成膜方法及び成膜温度にもよる
が、1μm前後の場合には100℃〜350℃、好まし
くは200℃〜270℃の範囲である。温度がこれより
も低い場合には重合反応の進行が不十分であったり、磁
性層のスパッタリング時に残留ガスや分解ガスを発生
し、磁性層の結晶成長を阻害することがある。逆に高す
ぎると支持体の変形を引き起こしたり、生産性の低下に
つながる。また一部の素材では加熱による重合以外にも
紫外線照射、電子線照射などによる重合も可能である。
After the coating film is dried, as a firing method for further accelerating the curing, hot air heating, infrared heating, hot roller heating and the like can be used. The heating temperature at this time depends on the thickness of the coating film, the method of forming the magnetic layer afterward, and the film forming temperature, but in the case of about 1 μm, it is in the range of 100 to 350 ° C., preferably 200 to 270 ° C. It is. If the temperature is lower than this, the progress of the polymerization reaction may be insufficient, or a residual gas or a decomposition gas may be generated during the sputtering of the magnetic layer, which may hinder the crystal growth of the magnetic layer. Conversely, if it is too high, the support may be deformed or productivity may be reduced. For some materials, polymerization by ultraviolet irradiation, electron beam irradiation, or the like is also possible in addition to polymerization by heating.

【0052】また下塗り層表面に高さが非常に低い微小
突起を設けることによって、磁気記録媒体と摺動部材と
の真実接触面積を低減し、摺動特性を改善することがで
きるため、基材上の磁性層面には微小突起構造を有する
ものが特に好ましい。この微小突起構造は接着後の支持
体の取り扱い性も著しく高める効果がある。この様な微
小突起構造を作製する方法としては球状シリカ粒子を塗
布する方法、エマルジョンを塗布して有機物の突起を形
成する方法などが使用できるが、耐熱性を確保するため
シリカ粒子が好ましい。
Further, by providing minute projections having a very low height on the surface of the undercoat layer, the real contact area between the magnetic recording medium and the sliding member can be reduced and the sliding characteristics can be improved. It is particularly preferable that the upper magnetic layer surface has a fine projection structure. This microprojection structure has the effect of significantly improving the handleability of the support after bonding. As a method of producing such a fine projection structure, a method of applying spherical silica particles, a method of applying an emulsion to form organic projections, and the like can be used, but silica particles are preferable in order to ensure heat resistance.

【0053】また突起をフィルム表面に固定するために
バインダーを用いることも可能であるが、耐熱性を確保
するため、十分な耐熱性を有する樹脂が好ましく、この
ような素材としては本発明で下塗り層形成に使用する熱
硬化性イミドや熱硬化性シリコーン樹脂を用いることが
特に好ましい。微小突起の高さは5〜60nm、好まし
くは10〜30nmであり、その密度は0.1〜100
個/μm2 、好ましくは1〜10個/μm2 である。微
小突起の高さが高すぎると記録再生ヘッドと媒体のスペ
ーシング損失によって電磁変換特性が劣化し、微小突起
が低すぎると摺動特性の改善効果が少なくなる。微小突
起の密度が少なすぎる場合は摺動特性の改善効果が少な
くなり、多すぎると凝集粒子の増加によって高い突起が
増加して電磁変換特性が劣化する。またバインダーの塗
膜厚みは20nm以下である。バインダーが厚すぎると
乾燥後にフィルム裏面と接着(ブロッキング)を生じる
場合がある。
It is also possible to use a binder to fix the projections to the film surface, but a resin having sufficient heat resistance is preferable in order to secure heat resistance. It is particularly preferable to use a thermosetting imide or a thermosetting silicone resin used for forming a layer. The height of the microprojections is 5 to 60 nm, preferably 10 to 30 nm, and the density is 0.1 to 100.
Particles / μm 2 , preferably 1 to 10 particles / μm 2 . If the height of the minute projections is too high, the electromagnetic conversion characteristics are degraded due to the spacing loss between the recording / reproducing head and the medium. If the height of the minute projections is too low, the effect of improving the sliding characteristics is reduced. If the density of the fine projections is too low, the effect of improving the sliding characteristics is reduced, and if it is too high, the number of high projections increases due to the increase in aggregated particles, and the electromagnetic conversion characteristics deteriorate. The coating thickness of the binder is 20 nm or less. If the binder is too thick, it may adhere (block) to the back surface of the film after drying.

【0054】本発明のフロッピーディスクにおける磁性
層となる強磁性金属薄膜はスパッタリング法や真空蒸着
法によって形成される。磁性層の組成としてはコバルト
を主体とした金属または合金が挙げられ、具体的にはC
o−Cr、Co−Ni−Cr、Co−Cr−Ta、Co
−Cr−Pt、Co−Cr−Ta−Pt、Co−Cr−
Pt−Si、Co−Cr−Pt−B、Co−O等が使用
できる。特に電磁変換特性を改善するためにCo−Cr
−Pt、Co−Cr−Pt−Taが好ましい。磁性層の
厚みは10〜30nmとするのが望ましい。
The ferromagnetic metal thin film serving as a magnetic layer in the floppy disk of the present invention is formed by a sputtering method or a vacuum evaporation method. Examples of the composition of the magnetic layer include metals or alloys mainly containing cobalt.
o-Cr, Co-Ni-Cr, Co-Cr-Ta, Co
-Cr-Pt, Co-Cr-Ta-Pt, Co-Cr-
Pt-Si, Co-Cr-Pt-B, Co-O or the like can be used. In particular, Co-Cr is used to improve electromagnetic conversion characteristics.
-Pt and Co-Cr-Pt-Ta are preferred. It is desirable that the thickness of the magnetic layer be 10 to 30 nm.

【0055】またこの場合磁性層の静磁気特性を改善す
るための下地層を設けることが好ましく、この下地層の
組成としては金属または合金などが挙げられ、具体的に
はCr、V、Ti、Ta、W、Si等またはこれらの合
金が使用でき、なかでもCr、Cr−Tiが特に好まし
い。この下地層の厚みとしては5nm〜50nmであ
り、好ましくは10nm〜30nmである。
In this case, it is preferable to provide an underlayer for improving the magnetostatic characteristics of the magnetic layer. The composition of the underlayer may be a metal or an alloy. Specifically, Cr, V, Ti, Ta, W, Si or the like or an alloy thereof can be used, and among them, Cr and Cr-Ti are particularly preferable. The thickness of the underlayer is 5 nm to 50 nm, preferably 10 nm to 30 nm.

【0056】さらに下地層の結晶配向性を制御するため
に、下地層の下にシード層を用いることが好ましく、具
体的にはTa、Mo、W、V、Zr、Cr、Rh、H
f、Nb、Mn、Ni、Al、Ru、Tiまたはこれら
の合金、特に好ましくはTa、Ni−P、Ni−Al、
Cr−Tiから選ばれ、厚みとしては15〜60nmで
あることが好ましい。また、これらは下地層と異なり、
アモルファスまたは下地層よりも結晶子が小さい状態で
使用される。
In order to further control the crystal orientation of the underlayer, it is preferable to use a seed layer under the underlayer. Specifically, Ta, Mo, W, V, Zr, Cr, Rh, H
f, Nb, Mn, Ni, Al, Ru, Ti or an alloy thereof, particularly preferably Ta, Ni-P, Ni-Al,
It is selected from Cr-Ti, and preferably has a thickness of 15 to 60 nm. Also, these are different from the underlayer,
It is used in a state where the crystallite is smaller than that of the amorphous layer or the underlayer.

【0057】さらに下塗り層とシード層との密着性を高
めるために、密着層を形成しても良く、シード層を形成
しない場合には、下塗り層と下地層との密着性を高かめ
るために密着層を導入してもよい。密着層としては具体
的にはCr、V、Ti、Ta、W、Si等またはこれら
の合金が使用できる。スパッタリング法で磁性層を作製
する場合には、支持体を加熱した状態で成膜することが
好ましく、DCまたはRFマグネトロンスパッタリング
法を用い、支持体温度は100℃〜250℃とすること
が好ましい。
Further, an adhesion layer may be formed in order to enhance the adhesion between the undercoat layer and the seed layer. If the seed layer is not formed, the adhesion between the undercoat layer and the underlayer may be increased. An adhesion layer may be introduced. As the adhesion layer, specifically, Cr, V, Ti, Ta, W, Si, or the like or an alloy thereof can be used. When the magnetic layer is formed by a sputtering method, it is preferable to form a film while the support is heated, and it is preferable to use a DC or RF magnetron sputtering method and set the temperature of the support to 100 ° C. to 250 ° C.

【0058】一方、支持体温度は加熱だけではなく、ス
パッタリング時の熱によっても加熱されるので注意を要
する。またスパッタリング法、真空蒸着法ともに1枚ご
とに成膜する枚葉式成膜法またはウェブ状フィルムに連
続成膜するウェブ成膜法のいずれの方法も使用可能であ
る。性能を重視する場合には枚葉式成膜法、生産性を重
視する場合にはウェブ成膜法が好適である。特にウェブ
成膜法において本発明を用いると生産性を著しく高める
ことができる。これはウェブ成膜法において磁性層の成
膜が一方の面にのみで良いためであり、従来両面のウェ
ブ成膜法で問題であった磁性層と搬送ローラー間の滑り
によって発生する擦り傷などの表面欠陥を著しく低減で
きること、さらに接着に熱ラミネーターロールによる連
続ラミネートが可能となるためである。
On the other hand, the temperature of the support is not only heated but also heated by sputtering. In addition, both the sputtering method and the vacuum deposition method can be used, either a single-wafer type film forming method for forming a film one by one or a web film forming method for continuously forming a film on a web-like film. When performance is important, a single-wafer type film forming method is preferable, and when productivity is important, a web film forming method is preferable. In particular, when the present invention is used in the web film forming method, the productivity can be significantly improved. This is because the formation of the magnetic layer only needs to be performed on one side in the web film formation method. This is because surface defects can be significantly reduced, and continuous lamination using a hot laminator roll can be performed for bonding.

【0059】本発明のフロッピーディスクにおいては強
磁性金属薄膜上に保護層を設けることが好ましく、この
保護層によって走行耐久性、耐食性を著しく改善するこ
とができる。保護層としてはシリカ、アルミナ、チタニ
ア、ジルコニア、酸化コバルト、酸化ニッケルなどの酸
化物、窒化チタン、窒化ケイ素、窒化ホウ素などの窒化
物、炭化ケイ素、炭化クロム、炭化ホウ素等の炭化物、
グラファイト、無定型カーボンなどの炭素からなる保護
層が挙げられる。この保護層としては、ヘッド材質と同
等またはそれ以上の硬度を有する硬質膜が好ましく、さ
らに摺動中に焼き付きを生じ難く、その効果が安定して
持続するものが最も好ましく、そのような保護層として
はダイヤモンド状炭素(DLC)といわれる硬質炭素膜
が挙げられる。
In the floppy disk of the present invention, it is preferable to provide a protective layer on the ferromagnetic metal thin film. With this protective layer, running durability and corrosion resistance can be remarkably improved. As the protective layer, silica, alumina, titania, zirconia, cobalt oxide, oxides such as nickel oxide, nitrides such as titanium nitride, silicon nitride, boron nitride, silicon carbide, chromium carbide, carbides such as boron carbide,
Examples of the protective layer include carbon such as graphite and amorphous carbon. As this protective layer, a hard film having a hardness equal to or higher than that of the head material is preferable, and further, a material that hardly causes seizure during sliding and has a stable and stable effect is most preferable. Examples include a hard carbon film called diamond-like carbon (DLC).

【0060】ダイヤモンド状炭素膜は、プラズマCVD
法、スパッタリング法等で作製したアモルファス炭素膜
であり、微視的にはSp2 結合によるクラスターとSp
3 結合によるクラスターの混合物である。この膜の硬度
はビッカース硬度で10×103 MPa〜20×103
MPa以上である。ダイヤモンド状炭素膜のラマン光分
光分析によって測定した場合には、1540-1cm付近
にいわゆるGピークと呼ばれるメインピークが、139
0cm-1にいわゆるDピークと呼ばれるショルダーが検
出されることによって確認することができる。これらの
ダイヤモンド状炭素膜はスパッタリング法やCVD法に
よって作製することができるが、生産性、品質の安定性
および厚み10nm以下の超薄膜でも良好な耐磨耗性を
確保できるという点からCVD法によって作製すること
が好ましく、とくにプラズマによってメタン、エタン、
プロパン、ブタン等のアルカン、あるいはエチレン、プ
ロピレン等のアルケン、またはアセチレン等のアルキン
をはじめとした炭素含有化合物を分解して生成した化学
種を磁性層またはその手前に設けた網状電極に負バイア
ス電圧を印加して加速して堆積する手法が好ましい。さ
らに原料ガスに窒素ガスを混合し、C、H、Nからなる
ダイヤモンド状炭素膜とすることでヘッドに対する摩擦
係数を低減できる。硬質炭素保護層の膜厚が厚いと電磁
変換特性の悪化や磁性層に対する密着性の低下が生じ、
膜厚が薄いと耐磨耗性が不足するために、膜厚2〜30
nmが好ましく、特に好ましくは5〜20nmである。
The diamond-like carbon film is formed by plasma CVD.
Law, an amorphous carbon film produced by sputtering, cluster and Sp by microscopically Sp 2 bond
It is a mixture of clusters by three bonds. The hardness of this film is 10 × 10 3 MPa to 20 × 10 3 in Vickers hardness.
MPa or more. When measured by Raman spectroscopy of the diamond-like carbon film, a main peak called a G peak at about 1540 -1 cm was 139.
This can be confirmed by detecting a so-called D peak at 0 cm -1 . These diamond-like carbon films can be prepared by a sputtering method or a CVD method. However, since the productivity, the stability of quality, and the excellent abrasion resistance can be ensured even with an ultrathin film having a thickness of 10 nm or less, the CVD method is used. It is preferable to produce the methane, ethane,
Negative bias voltage is applied to the magnetic layer or a reticulated electrode provided in front of the magnetic layer by decomposing a carbon-containing compound such as an alkane such as propane or butane, an alkene such as ethylene or propylene, or an alkyne such as acetylene. It is preferable to apply the pressure and accelerate the deposition. Further, by mixing nitrogen gas with the source gas to form a diamond-like carbon film made of C, H, and N, the friction coefficient with respect to the head can be reduced. When the thickness of the hard carbon protective layer is large, the electromagnetic conversion characteristics deteriorate and the adhesion to the magnetic layer decreases,
When the film thickness is small, abrasion resistance is insufficient.
nm, particularly preferably 5 to 20 nm.

【0061】本発明のフロッピーディスクにおいて、走
行耐久性および耐食性を改善するため、上記磁性層もし
くは保護層上に潤滑剤や防錆剤を付与することが好まし
い。潤滑剤としては公知の炭化水素系潤滑剤、フッ素系
潤滑剤、極圧添加剤などが使用できる。炭化水素系潤滑
剤としてはステアリン酸、オレイン酸等のカルボン酸
類、ステアリン酸ブチル等のエステル類、オクタデシル
スルホン酸等のスルホン酸類、リン酸モノオクタデシル
等のリン酸エステル類、ステアリルアルコール、オレイ
ルアルコール等のアルコール類、ステアリン酸アミド等
のカルボン酸アミド類、ステアリルアミン等のアミン類
などが挙げられる。
In the floppy disk of the present invention, in order to improve running durability and corrosion resistance, it is preferable to provide a lubricant or a rust inhibitor on the magnetic layer or the protective layer. As the lubricant, known hydrocarbon-based lubricants, fluorine-based lubricants, extreme pressure additives and the like can be used. Examples of the hydrocarbon-based lubricant include carboxylic acids such as stearic acid and oleic acid, esters such as butyl stearate, sulfonic acids such as octadecylsulfonic acid, phosphoric esters such as monooctadecyl phosphate, stearyl alcohol, oleyl alcohol and the like. Alcohols, carboxylic acid amides such as stearic acid amide, and amines such as stearylamine.

【0062】フッ素系潤滑剤としては上記炭化水素系潤
滑剤のアルキル基の一部または全部をフルオロアルキル
基もしくはパーフルオロポリエーテル基で置換した潤滑
剤が挙げられる。パーフルオロポリエーテル基としては
パーフルオロメチレンオキシド重合体、パーフルオロエ
チレンオキシド重合体、パーフルオロ−n−プロピレン
オキシド重合体(CF2CF2CF2O)n、パーフルオロ
イソプロピレンオキシド重合体(CF(CF3)CF
2O)n 、またはこれらの共重合体等である。具体的は
分子量末端に水酸基を有するパーフルオロメチレンーパ
ーフルオロエチレン共重合体(アウジモント社製 FO
MBLIN Z−DOL)等があげられる。
Examples of the fluorine-based lubricant include lubricants in which part or all of the alkyl group of the hydrocarbon-based lubricant is substituted with a fluoroalkyl group or a perfluoropolyether group. Examples of the perfluoropolyether group include a perfluoromethylene oxide polymer, a perfluoroethylene oxide polymer, a perfluoro-n-propylene oxide polymer (CF 2 CF 2 CF 2 O) n , and a perfluoroisopropylene oxide polymer (CF ( CF 3 ) CF
2 O) n or a copolymer thereof. Specifically, a perfluoromethylene-perfluoroethylene copolymer having a hydroxyl group at a molecular weight terminal (FODI manufactured by Audimont Co., Ltd.)
MBLIN Z-DOL).

【0063】極圧添加剤としてはリン酸トリラウリル等
のリン酸エステル類、亜リン酸トリラウリル等の亜リン
酸エステル類、トリチオ亜リン酸トリラウリル等のチオ
亜リン酸エステルやチオリン酸エステル類、二硫化ジベ
ンジル等の硫黄系極圧剤などが挙げられる。
Examples of extreme pressure additives include phosphoric esters such as trilauryl phosphate, phosphites such as trilauryl phosphite, thiophosphites and thiophosphoric esters such as trilauryl trithiophosphite, and the like. And sulfur-based extreme pressure agents such as dibenzyl sulfide.

【0064】上記潤滑剤は単独もしくは複数を併用して
使用される。これらの潤滑剤を磁性層もしくは保護層上
に付与する方法としては潤滑剤を有機溶剤に溶解し、ワ
イヤーバー法、グラビア法、スピンコート法、ディップ
コート法等で塗布するか、真空蒸着法によって付着させ
ればよい。潤滑剤の塗布量としては1〜30mg/m 2
が好ましく、2〜20mg/m2が特に好ましい。
The above lubricants may be used alone or in combination.
used. Apply these lubricants on the magnetic layer or protective layer.
As a method of imparting water to a lubricant, a lubricant is dissolved in an organic solvent
Ear bar method, gravure method, spin coating method, dip
Apply by a coating method or adhere by vacuum evaporation.
Just do it. The amount of lubricant to be applied is 1 to 30 mg / m Two
Is preferably 2 to 20 mg / mTwoIs particularly preferred.

【0065】本発明で使用できる防錆剤としてはベンゾ
トリアゾール、ベンズイミダゾール、プリン、ピリミジ
ン等の窒素含有複素環類およびこれらの母核にアルキル
側鎖等を導入した誘導体、ベンゾチアゾール、2−メル
カプトンベンゾチアゾール、テトラザインデン環化合
物、チオウラシル化合物等の窒素および硫黄含有複素環
類およびこの誘導体等が挙げられる。
The rust preventives usable in the present invention include nitrogen-containing heterocycles such as benzotriazole, benzimidazole, purine and pyrimidine, and derivatives having an alkyl side chain introduced into their mother nucleus, benzothiazole, 2-mercapto And nitrogen- and sulfur-containing heterocycles such as benzothiazole, tetrazaindene ring compounds and thiouracil compounds, and derivatives thereof.

【0066】これらは潤滑剤に混合して保護層上に塗布
しても良いし、潤滑剤を塗布する前に保護層上に塗布
し、その上に潤滑剤を塗布しても良い。防錆剤の塗布量
としては0.1〜10mg/m2が好ましく、0.5〜
5mg/m2が特に好ましい。このような目的で使用可
能なテトラサインデン環化合物には、下記に示すものが
挙げられる。
These may be mixed with a lubricant and applied on the protective layer, or may be applied on the protective layer before applying the lubricant, and the lubricant may be applied thereon. The coating amount of the rust inhibitor is preferably 0.1 to 10 mg / m 2 , and 0.5 to 10 mg / m 2.
5 mg / m 2 is particularly preferred. Tetrasignedene ring compounds usable for such purposes include those shown below.

【0067】◎

【化6】 Embedded image

【0068】ここで、Rには、アルキル基、アルコキシ
基、アルキルアミド基から選ばれる炭化水素基である。
特に好ましくは、炭素数3以上20以下であり、アルコ
キシの場合には R4OCOCH2−のR4 は、C3
7−、C613−、フェニル、またアルキル基の場合に
は、C613−、C919−、C1735−が挙げられ、ア
ルキルアミドの場合にはR5NHCOCH2−のR5はフ
ェニル、C37−が挙げられる。また、チオウラシル環
化合物には、下記に示すものが挙げられる。
Here, R is a hydrocarbon group selected from an alkyl group, an alkoxy group and an alkylamide group.
Particularly preferably not having 3 to 20 carbon atoms, R 4 OCOCH 2 in the case of alkoxy - R 4 s, C 3 H
7 -, C 6 H 13 - , phenyl, also in the case of alkyl groups, C 6 H 13 -, C 9 H 19 -, C 17 H 35 - , and the like, in the case of an alkylamide R 5 NHCOCH 2 - the R 5 phenyl, C 3 H 7 - and the like. Further, examples of the thiouracil ring compound include the following.

【0069】◎

【化7】 Embedded image

【0070】ここで、Rは、上記したテトラザインデン
環化合物におけるものと同様のものから選ばれる。
Here, R is selected from the same as those in the above-mentioned tetrazaindene ring compound.

【0071】[0071]

【実施例】以下に実施例を示し、本発明を説明する。 実施例1 両面がコロナ処理されており、磁性面の最大突起粗さR
max が0.1μm、中心線平均粗さRaが1.2nm、
厚み12μmの芳香族ポリアミドフィルムを直径18c
mの円形に打ち抜き、この磁性面にスピンコート法で熱
硬化型イミド樹脂(丸善石油化学社製BANI−NB)
のシクロヘキサン/エタノール混合溶剤(1:1)に溶
解した溶液を塗布し、室温で乾燥した後、250℃で3
時間加熱し、厚み1.0μmの下塗り層を作製した。さ
らにこの上に、直径25nmのシリカ粒子と熱硬化性イ
ミド樹脂のシクロヘキサノン溶液を塗布した後、250
℃で1時間乾燥して、突起高さの平均値が20nm、突
起密度が3個/μm2 の微小突起を形成した。
The present invention will be described below with reference to examples. Example 1 Both surfaces are corona-treated and the maximum protrusion roughness R of the magnetic surface is
max is 0.1 μm, center line average roughness Ra is 1.2 nm,
Aromatic polyamide film having a thickness of 12 μm is formed with a diameter of 18c.
m, and a thermosetting imide resin (BANI-NB manufactured by Maruzen Petrochemical Co.) is spin-coated on the magnetic surface.
Of a cyclohexane / ethanol mixed solvent (1: 1) was applied and dried at room temperature.
After heating for an hour, an undercoat layer having a thickness of 1.0 μm was prepared. Further, a cyclohexanone solution of silica particles having a diameter of 25 nm and a thermosetting imide resin was applied thereon,
After drying at 1 ° C. for 1 hour, microprojections having an average projection height of 20 nm and a projection density of 3 / μm 2 were formed.

【0072】次いでこのフィルムを均一な張力を印加す
る円形のホルダーに挟み込んで固定し、磁性層形成用の
スパッタリング装置に設置し、支持体を200℃に加熱
した後、DCマグネトロンスパッタリング法でCr−T
i下地層を30nm成膜し、さらに引き続きCo−Cr
−Pt磁性層を30nm成膜した。さらにこの試料をス
パッタリング装置から取り出し、磁性層上にエタンを原
料としたプラズマCVD法によって厚み15nmのダイ
ヤモンド状炭素保護層を成膜した。
Next, this film was sandwiched and fixed in a circular holder to which a uniform tension was applied, and the film was placed in a sputtering apparatus for forming a magnetic layer. After the support was heated to 200 ° C., the Cr—Cr film was formed by DC magnetron sputtering. T
i An underlayer is formed to a thickness of 30 nm, and further Co-Cr
-A 30 nm thick Pt magnetic layer was formed. Further, this sample was taken out from the sputtering apparatus, and a 15-nm-thick diamond-like carbon protective layer was formed on the magnetic layer by a plasma CVD method using ethane as a raw material.

【0073】次にこのフィルムの接着面を両面がコロナ
処理されており、中心線平均粗さRaが4.1nm、
4.5nm、厚み25μm、直径12cmの円形のポリ
エーテルイミドフィルムの両面に重ね、これを1組と
し、これを10組重ね、真空中で鏡面研磨した直径20
cmのステンレス板間に981Paの圧力を加えてプレ
スした。この状態のまま大気中に取り出し、オーブンに
設置し、260℃で5時間加熱した。その後、このフィ
ルムを取りだした。
Next, both sides of the adhesive surface of this film were subjected to corona treatment, and the center line average roughness Ra was 4.1 nm.
A circular polyetherimide film of 4.5 nm, thickness of 25 μm and diameter of 12 cm is superimposed on both sides, and this is made into one set.
A pressure of 981 Pa was applied between stainless steel plates having a diameter of 98 cm and pressed. In this state, it was taken out into the atmosphere, placed in an oven, and heated at 260 ° C. for 5 hours. Thereafter, the film was taken out.

【0074】さらにこの試料の保護層上にパーフルオロ
ポリエーテル系潤滑剤(アウジモント社製FOMBLI
NZ−DOL)をフッ素系溶剤(住友スリーエム社製F
C−77)に溶解した溶液をディップコート法で塗布し
て厚み1nmの潤滑層を作製した。そしてこの試料を
3.5型の磁気ディスク形状に打ち抜き、フロッピーデ
ィスクFD1を作製した。得られたフロッピーディスク
FD1は以下の評価方法によって評価を行い、その結果
を表1に示す。
Further, on the protective layer of this sample, a perfluoropolyether-based lubricant (FOMBLI manufactured by Ausimont) was used.
NZ-DOL) with a fluorinated solvent (Sumitomo 3M F
The solution dissolved in C-77) was applied by a dip coating method to form a lubricating layer having a thickness of 1 nm. Then, this sample was punched into a 3.5-type magnetic disk to produce a floppy disk FD1. The obtained floppy disk FD1 was evaluated by the following evaluation methods, and the results are shown in Table 1.

【0075】実施例2 両面がコロナ処理されており、磁性面の最大突起粗さR
max が0.2μm、中心線平均粗さRaが2.0nm、
厚み25μmの芳香族ポリイミドフィルムを直径18c
mの円形に打ち抜き、この磁性面にスピンコート法で熱
硬化型イミド樹脂(丸善石油化学社製BANI−NB)
のシクロヘキサン/エタノール混合溶剤(1:1)に溶
解した溶液を塗布し、室温で乾燥した後、250℃で3
時間加熱し、厚み1.7μmの下塗り層を作製した。さ
らにこの上に、直径25nmのシリカ粒子と熱硬化性イ
ミド樹脂のシクロヘキサノン溶液を塗布した後、250
℃で1時間乾燥して、突起高さの平均値が約20nm、
突起密度が3個/μm2 の微小突起を形成した。
Example 2 Both surfaces were corona-treated, and the maximum protrusion roughness R of the magnetic surface was
max is 0.2 μm, center line average roughness Ra is 2.0 nm,
An aromatic polyimide film having a thickness of 25 μm and a diameter of 18c
m, and a thermosetting imide resin (BANI-NB manufactured by Maruzen Petrochemical Co.) is spin-coated on the magnetic surface.
Of a cyclohexane / ethanol mixed solvent (1: 1) was applied and dried at room temperature.
Heating was performed for a time to prepare an undercoat layer having a thickness of 1.7 μm. Further, a cyclohexanone solution of silica particles having a diameter of 25 nm and a thermosetting imide resin was applied thereon,
At 1 ° C. for 1 hour, the average value of the protrusion height is about 20 nm,
Fine projections having a projection density of 3 / μm 2 were formed.

【0076】次いでこのフィルムを均一な張力を印加す
る円形のホルダーに挟み込んで固定し、磁性層形成用の
スパッタリング装置に設置し、支持体を200℃に加熱
した後、DCマグネトロンスパッタリング法でCr−T
i下地層を30nm成膜し、さらに引き続きCo−Cr
−Pt磁性層を30nm成膜した。この下地層、および
磁性層は支持体の両面に対して成膜した。さらにこの試
料をスパッタリング装置から取り出し、磁性層上にエタ
ンを原料としたプラズマCVD法によって厚み15nm
のダイヤモンド状炭素保護層を成膜した。
Next, this film was sandwiched and fixed in a circular holder to which a uniform tension was applied, and the film was placed in a sputtering apparatus for forming a magnetic layer. After the support was heated to 200 ° C., the Cr— T
i An underlayer is formed to a thickness of 30 nm, and further Co-Cr
-A 30 nm thick Pt magnetic layer was formed. The underlayer and the magnetic layer were formed on both surfaces of the support. Further, this sample was taken out from the sputtering apparatus, and a thickness of 15 nm was formed on the magnetic layer by plasma CVD using ethane as a raw material.
A diamond-like carbon protective layer was formed.

【0077】次にこのフィルムの接着面を両面がコロナ
処理されており、中心線平均粗さRaが一方の面が5.
5nm、他方の面が5.6nmである厚み25μm、直
径12cmの円形状のテトラフルオロエチレン−エチレ
ン共重合体(ETFE)製のフィルムの両面に重ね、こ
れを1組とし、これを10組重ね、真空中で鏡面研磨し
た直径20cmのステンレス板間に圧力981Paを加
えてプレスした。この状態のまま大気中に取り出し、オ
ーブンに設置し、260℃で5時間加熱した。その後、
このフィルムを取りだした。
Next, the adhesive surface of this film is corona-treated on both sides, and the center line average roughness Ra is 5.
5 nm, the other surface is 5.6 nm, and the thickness is 25 μm, and is 12 cm in diameter. It is superimposed on both surfaces of a circular film made of tetrafluoroethylene-ethylene copolymer (ETFE). A pressure of 981 Pa was applied between stainless steel plates having a diameter of 20 cm and mirror-polished in a vacuum, and pressed. In this state, it was taken out into the atmosphere, placed in an oven, and heated at 260 ° C. for 5 hours. afterwards,
This film was taken out.

【0078】さらにこの試料の保護層上にパーフルオロ
ポリエーテル系潤滑剤(アウジモント社製FOMBLI
NZ−DOL)をフッ素系溶剤(住友スリーエム社製F
C−77)に溶解した溶液をディップコート法で塗布し
て厚み1nmの潤滑層を作製した。そしてこの試料を
3.5型の磁気ディスク形状に打ち抜き、フロッピーデ
ィスクFD2を作製した。得られたフロッピーディスク
は以下の評価方法によって評価を行い、その結果を表1
に示す。
Further, a perfluoropolyether-based lubricant (FOMBLI manufactured by Ausimont Co., Ltd.) was applied on the protective layer of this sample.
NZ-DOL) with a fluorinated solvent (Sumitomo 3M F
The solution dissolved in C-77) was applied by a dip coating method to form a lubricating layer having a thickness of 1 nm. Then, this sample was punched into a 3.5-type magnetic disk to produce a floppy disk FD2. The obtained floppy disks were evaluated by the following evaluation methods, and the results were shown in Table 1.
Shown in

【0079】実施例3 両面がコロナ処理されており、磁性面の最大突起粗さR
maxが0.1μm、中心線平均粗さRaが1.2nm、
厚み25μm、幅30cmのロール状の芳香族ポリアミ
ドフィルムを連続巻き取り式グラビアコーターに設置
し、下記組成の塗布液をグラビアコート法で塗布し、こ
れを120℃で乾燥、硬化させ、熱硬化性シリコーン樹
脂から膜厚0.6μmの下塗り層を作製して巻き取っ
た。さらにこの下塗り層上に直径25nmのシリカ粒子
と下記熱硬化性シリコーン樹脂のエタノール/シクロヘ
キサノン溶液(1:1)を塗布した後、120℃で乾燥
して、突起高さの平均値が20nm、突起密度が3個/
μm2 の微小突起を形成した。この下塗り層を170℃
に加熱した熱ロールに接触させながら0.1m/sec
で搬送し、下塗り層の硬化を行って巻き取った。
Example 3 Both surfaces are corona-treated and the maximum protrusion roughness R of the magnetic surface is
max is 0.1 μm, center line average roughness Ra is 1.2 nm,
A roll-shaped aromatic polyamide film having a thickness of 25 μm and a width of 30 cm is set on a continuous winding type gravure coater, and a coating solution having the following composition is applied by a gravure coating method, which is dried and cured at 120 ° C. An undercoat layer having a thickness of 0.6 μm was prepared from the silicone resin and wound up. Further, on this undercoat layer, silica particles having a diameter of 25 nm and an ethanol / cyclohexanone solution (1: 1) of the following thermosetting silicone resin were applied, and then dried at 120 ° C. to obtain an average projection height of 20 nm. The density is 3 pieces /
A microprojection of μm 2 was formed. 170 ° C
0.1m / sec while contacting the heated roll
, And the undercoat layer was cured and wound up.

【0080】 3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン 20.0重量% フェニルトリエトキシシラン 20.0重量% エタノール 44.6重量% シクロヘキサノン 0.6重量% 精製水 10.0重量% 塩酸(1モル/l) 4.4重量% アルミニウムアセチルアセトネート 0.4重量% この下塗り層を設けた耐熱性樹脂フィルムを連続巻き取
り式スパッタリング装置に設置し、速度60cm/mi
nで搬送しながら、150℃に加熱した加熱ロール上で
フィルム磁性面にDCマグネトロンスパッタリング法で
Cr−Ti下地層を30nm、Co−Cr−Pt磁性層
を30nm、カーボン保護層を20nmとなるように成
膜して巻き取った。
3-glycidoxypropyltrimethoxysilane 20.0% by weight Phenyltriethoxysilane 20.0% by weight Ethanol 44.6% by weight Cyclohexanone 0.6% by weight Purified water 10.0% by weight Hydrochloric acid (1 mol / l) 4.4% by weight Aluminum acetylacetonate 0.4% by weight The heat-resistant resin film provided with the undercoat layer was set in a continuous winding type sputtering apparatus, and the speed was 60 cm / mi.
While being transported with n, a DC magnetron sputtering method was applied to the film magnetic surface on a heating roll heated to 150 ° C. so that the Cr-Ti underlayer was 30 nm, the Co-Cr-Pt magnetic layer was 30 nm, and the carbon protective layer was 20 nm. And wound up.

【0081】次にこの磁性層を設けた耐熱性樹脂フィル
ムの2ロールと加熱接着部材として用いるポリエーテル
スルホンフィルムの1ロールを連続熱ラミネーターに設
置した。このポリエーテルスルホンフィルムは両面がコ
ロナ処理されており、中心線平均粗さRaが一方の面は
4.1nm、他方の面は4.9nmであり、厚み25μ
m、幅25cmのものを用いた。これらを重ね、300
℃に加熱したラミネートロールに線圧4.91N/mを
印加し、速度0.1m/secで搬送し加熱接着を行っ
た。
Next, two rolls of the heat-resistant resin film provided with the magnetic layer and one roll of the polyethersulfone film used as a heating adhesive member were placed on a continuous heat laminator. This polyethersulfone film is corona-treated on both sides, has a center line average roughness Ra of 4.1 nm on one side, 4.9 nm on the other side, and a thickness of 25 μm.
m and a width of 25 cm were used. Overlay these, 300
A linear pressure of 4.91 N / m was applied to the laminating roll heated to 0 ° C., and the laminate was conveyed at a speed of 0.1 m / sec to perform heat bonding.

【0082】次にこの試料を連続グラビアコート装置に
取り付け、両面の保護層上にパーフルオロポリエーテル
系潤滑剤(アウジモント社製FOMBLINZ−DO
L)をフッ素系溶剤(住友スリーエム社製FC−77)
に溶解した溶液をディップコート法で塗布して厚み1n
mの潤滑層を作製して巻き取った。そしてこの試料を
3.5型の磁気ディスク形状に打ち抜き、フロッピーデ
ィスクFD3を作製した。得られたフロッピーディスク
は以下の評価方法によって評価を行い、その結果を表1
に示す。
Next, this sample was attached to a continuous gravure coater, and a perfluoropolyether-based lubricant (FOMBLINZ-DO manufactured by Ausimont) was applied on the protective layers on both sides.
L) with a fluorinated solvent (FC-77 manufactured by Sumitomo 3M Limited)
Solution is applied by dip coating method and the thickness is 1n
m of lubricating layer was prepared and wound. Then, this sample was punched into a 3.5-type magnetic disk to produce a floppy disk FD3. The obtained floppy disks were evaluated by the following evaluation methods, and the results were shown in Table 1.
Shown in

【0083】比較例1 両面がコロナ処理されており、磁性面の最大突起粗さR
max が0.1μm、中心線平均粗さRaが1・2nm、
厚み12μmの芳香族ポリアミドフイルムを直径18c
mの円形に打ち抜き、この磁性面にスピンコート法で熱
硬化型イミド樹脂(丸善石油化学社製BANI−NB)
のシクロヘキサン/エタノール混合溶剤(1:1)に溶
解した溶液を塗布し、室温で乾燥した後、250℃で3
時間加熱し、厚み1.0μmの下塗り層を作製した。さ
らにこの上に、平均直径25nmのシリカ粒子と熱硬化
性イミド樹脂のシクロヘキサノン溶液を塗布した後、2
50℃で1時間乾燥して、突起高さの平均値が20n
m、突起密度が3個/μm2の微小突起を形成した。
Comparative Example 1 Both surfaces were corona-treated, and the maximum protrusion roughness R of the magnetic surface was
max is 0.1 μm, center line average roughness Ra is 1.2 nm,
Aromatic polyamide film having a thickness of 12 μm was formed with a diameter of 18c.
m, and a thermosetting imide resin (BANI-NB manufactured by Maruzen Petrochemical Co.) is spin-coated on the magnetic surface.
Of a cyclohexane / ethanol mixed solvent (1: 1) was applied and dried at room temperature.
After heating for an hour, an undercoat layer having a thickness of 1.0 μm was prepared. Further, a cyclohexanone solution of silica particles having an average diameter of 25 nm and a thermosetting imide resin was applied thereon,
After drying at 50 ° C. for 1 hour, the average height of the protrusions is 20 n.
m, microprojections having a projection density of 3 / μm 2 were formed.

【0084】次いでこのフィルムを均一な張力を印加す
る円形のホルダーに挟み込んで固定し、磁性層形成用の
スパッタリング装置に取り付け、支待体を200℃に加
熱した後、DCマグネトロンスパッタリング法でCr−
Ti下地層を30nm成膜し、さらに引き続きCo−C
r−Pt磁性層を30nm成膜した。さらにこの試料を
スパッタリング装置から取り出し、磁性層上にエタンを
原料としたプラズマCVD法によって厚み15nmのダ
イヤモンド状炭素保護層を成膜した。次にこのフィルム
の接着面にポルエステル樹脂(東洋紡バイロン#10
0)のメチルエチルケトン溶液をスプレーコート法で塗
布して接着層を作製した。
Next, this film was sandwiched and fixed in a circular holder to which a uniform tension was applied, attached to a sputtering device for forming a magnetic layer, and the support was heated to 200 ° C., and then Cr—Cr was deposited by DC magnetron sputtering.
A Ti underlayer is formed to a thickness of 30 nm, followed by Co-C
An r-Pt magnetic layer was formed to a thickness of 30 nm. Further, this sample was taken out from the sputtering apparatus, and a 15-nm-thick diamond-like carbon protective layer was formed on the magnetic layer by a plasma CVD method using ethane as a raw material. Next, a polester resin (Toyobo Byron # 10) is applied to the adhesive surface of this film.
The adhesive layer was prepared by applying the methyl ethyl ketone solution of 0) by a spray coat method.

【0085】このフィルムの接着面を両面がコロナ処理
されており、中心線平均粗さRaが一方の面が2.2n
m、他方の面が2.5nm、厚み25μm、直径12c
mの円形のポリエチレンテレフタレートの両面に重ね、
これを1組としたものを10組重ね真空中で、鏡面研磨
した直径20cmのステンレス板間に圧力981Paを
加えながらプレスした。この状態のまま大気中に取り出
し、オーブンに設置し、100℃で5時間加熱した。そ
の後、このフィルムを取りだした。
The adhesive surface of this film is corona-treated on both sides, and the center line average roughness Ra is 2.2 n on one side.
m, the other surface is 2.5 nm, thickness 25 μm, diameter 12c
m on both sides of a circular polyethylene terephthalate,
Ten sets of these were stacked and pressed in vacuum while applying a pressure of 981 Pa between mirror-polished stainless steel plates having a diameter of 20 cm. In this state, it was taken out into the atmosphere, placed in an oven, and heated at 100 ° C. for 5 hours. Thereafter, the film was taken out.

【0086】さらにこの試料の保護層上にパーフルオロ
ポリエーテル系潤滑剤(アウジモント社製FOMBLI
NZ−DOL)をフッ素系溶剤(住友スリーエム社製F
C−77)に溶解した溶液をディップコート法で塗布し
て厚み1nmの潤滑層を作製した。そしてこの試料を
3.5型の磁気デイスク形状に打ち抜き、フロッピーデ
ィスクFD4を作製した。得られたフロッピーディスク
は以下の評価方法によって評価を行い、その結果を表1
に示す。
Further, a perfluoropolyether-based lubricant (FOMBLI manufactured by Ausimont Co., Ltd.) was applied on the protective layer of this sample.
NZ-DOL) with a fluorinated solvent (Sumitomo 3M F
The solution dissolved in C-77) was applied by a dip coating method to form a lubricating layer having a thickness of 1 nm. Then, this sample was punched into a 3.5-type magnetic disk to produce a floppy disk FD4. The obtained floppy disks were evaluated by the following evaluation methods, and the results were shown in Table 1.
Shown in

【0087】比較例2 平滑面の最大突起粗さRmax が0.1μm、中心線平均
粗さRaが1.2nm、粗面のRmax が0.2μm、R
aが1.8nmで厚み50μm、直径18cmの円状の
実施例1と同じ化学構造からなる芳香族ポリアミドフィ
ルムを支持体5Aとし、支持体5Aの表面に熱硬化型イ
ミド樹脂(丸善石油化学社製BANI−NB)のシクロ
ヘキサン/エタノール混合溶剤(1:1)に溶解した溶
液をディップコート法で塗布し、室温で乾燥した後、2
50℃で3時間加熱し、厚み1.0μmの下塗り層を作
製した。さらにこの上に、平均直径25nmのシリカ粒
子と熱硬化性イミド樹脂のシクロヘキサノン溶液を塗布
した後、250℃で1時間乾燥して、突起高さの平均値
が20nm、突起密度が3個/μm2 の微小突起を形成
した。これを支持体5Bとした。
[0087] Comparative Example 2 the maximum protrusion roughness R max is 0.1μm smooth surface, the center line average roughness Ra 1.2 nm, the rough surface R max is 0.2 [mu] m, R
The support 5A is a circular aromatic polyamide film having the same chemical structure as in Example 1 having a diameter of 1.8 nm, a thickness of 50 μm, and a diameter of 18 cm, and a thermosetting imide resin (Maruzen Petrochemical Co., Ltd.) is provided on the surface of the support 5A. A solution of BANI-NB) in cyclohexane / ethanol mixed solvent (1: 1) was applied by dip coating and dried at room temperature.
The coating was heated at 50 ° C. for 3 hours to form an undercoat layer having a thickness of 1.0 μm. Furthermore, a silica particle having an average diameter of 25 nm and a cyclohexanone solution of a thermosetting imide resin are applied thereon, followed by drying at 250 ° C. for 1 hour to obtain an average projection height of 20 nm and a projection density of 3 / μm. Two microprojections were formed. This was designated as support 5B.

【0088】次いでこの支持体5Bを切り出し、均一な
張力を印加する円形のホルダーに挟み込んで固定し、磁
性層形成用のスパッタリング装置に設置し、支持体を2
00℃に加熱した後、DCマグネトロンスパッタリング
法でCr−Ti下地層を30nm成膜し、さらに引き続
きCo−Cr−Pt磁性層を30nm成膜した。この下
地層、磁性層は支持体の両面に対して成膜した。さらに
この試料をスパッタリング装置から取り出し、磁性層上
にエタンを原料としたプラズマCVD法によって厚み1
5nmのダイヤモンド状炭素保護層を成膜した。次にこ
の試料をホルダーから取り出し、この保護層上にパーフ
ルオロポリエーテル系潤滑剤(アウジモント社製FOM
BLINZ−DOL)をフッ素系溶剤(住友スリーエム
社製FC−77)に溶解した溶液をディップコート法で
塗布して厚み1nmの潤滑層を作製した。そしてこの試
料を3.5型の磁気ディスク形状に打ち抜き、フロッピ
ーディスクを作製した。得られたフロッピーディスクを
FD5とした。得られたフロッピーディスクは以下の評
価方法によって評価を行い、その結果を表1に示す。
Next, the support 5B was cut out, sandwiched and fixed in a circular holder to which a uniform tension was applied, and set in a sputtering apparatus for forming a magnetic layer.
After heating to 00 ° C., a 30 nm Cr-Ti underlayer was formed by DC magnetron sputtering, followed by a 30 nm Co-Cr-Pt magnetic layer. The underlayer and the magnetic layer were formed on both sides of the support. Further, this sample was taken out from the sputtering apparatus, and the thickness of the magnetic layer was reduced to 1 by a plasma CVD method using ethane as a raw material.
A 5 nm diamond-like carbon protective layer was formed. Next, the sample was taken out of the holder, and a perfluoropolyether-based lubricant (FOM manufactured by Ausimont, Inc.) was placed on the protective layer.
A solution of BLINZ-DOL in a fluorine-based solvent (FC-77 manufactured by Sumitomo 3M Limited) was applied by a dip coating method to form a lubricating layer having a thickness of 1 nm. Then, the sample was punched into a 3.5-type magnetic disk to produce a floppy disk. The obtained floppy disk was designated as FD5. The obtained floppy disks were evaluated by the following evaluation methods, and the results are shown in Table 1.

【0089】比較例3 平滑面の最大突起粗さRmax が0.2μm、中心線平均
粗さRaが2.0nm、粗面のRmax が0.2μm,R
aが2.9μmで厚み50μm、直径18cmの円形状
の芳香族ポリイミドフィルムを支持体7Aとし、次にこ
の支持体の表面に熱硬化型イミド樹脂(丸善石油化学社
製BANI−NB)のシクロヘキサン/エタノール混合
溶剤(1:1)に溶解した溶液をディップコート法で塗
布し、室温で乾燥した後、250℃で3時間加熱し、厚
み1.7μm下塗り層を作製した。 さらにこの上に、
直径25nmのシリカ粒子と熱硬化性イミド樹脂のシク
ロヘキサノン溶液を塗布した後、250℃で1時間乾燥
して、突起高さの平均値が絢20nm、突起密度が3個
/μm2の微小突起を形成した。これを支持体7Bとし
た。
[0089] Comparative Example 3 the maximum protrusion roughness R max is 0.2 [mu] m of the smooth surface, the center line average roughness Ra 2.0 nm, the rough surface R max is 0.2 [mu] m, R
a is a circular aromatic polyimide film having a thickness of 2.9 μm, a thickness of 50 μm, and a diameter of 18 cm as a support 7A, and then a cyclohexane of a thermosetting imide resin (BANI-NB manufactured by Maruzen Petrochemical Co.) is provided on the surface of the support. A solution dissolved in a mixed solvent of ethanol / ethanol (1: 1) was applied by a dip coating method, dried at room temperature, and then heated at 250 ° C. for 3 hours to form a 1.7 μm-thick undercoat layer. Further on this,
After applying a cyclohexanone solution of silica particles having a diameter of 25 nm and a thermosetting imide resin, the coating is dried at 250 ° C. for 1 hour to form fine projections having an average projection height of 20 nm and a projection density of 3 / μm 2. Formed. This was designated as support 7B.

【0090】次いでこの支持体7Bを切り出し、均一な
張力を印加する円形のホルダーに挟み込んで固定し、磁
性層形成用のスパッタリング装置に設置し、支持体を2
00℃に加熱した後、DCマグネトロンスパッタリング
法でCr−Ti下地層を30nm成膜し、さらに引き続
きCo−Cr−Pt磁性層を30nm成膜した。この下
地層、磁性層は支持体の両面に対して成膜した。さらに
この試料をスパッタリング装置から取り出し、磁性層上
にエタンを原料としたプラズマCVD法によって厚み1
5nmのダイヤモンド状炭素保護層を成膜した。次にこ
の試料をホルダーから取り出し、この保護層上にパーフ
ルオロポリエーテル系潤滑剤(アウジモンート社製FO
MBLINZ−DOL)をフッ素系溶剤(住友スリーエ
ム社製FC−77)に溶解した溶液をディップコート法
で塗布して厚み1nmの潤滑層を作製した。そしてこの
試料を3.5型の磁気ディスク形状に打ち抜き、フロッ
ピーディスクを作製した。得られたフロッピーディスク
をFD6とした。得られたフロッピーディスクは以下の
評価方法によって評価を行い、その結果を表1に示す。
Next, the support 7B was cut out, sandwiched and fixed in a circular holder to which a uniform tension was applied, and set in a sputtering apparatus for forming a magnetic layer.
After heating to 00 ° C., a 30 nm Cr-Ti underlayer was formed by DC magnetron sputtering, followed by a 30 nm Co-Cr-Pt magnetic layer. The underlayer and the magnetic layer were formed on both sides of the support. Further, this sample was taken out from the sputtering apparatus, and the thickness of the magnetic layer was reduced to 1 by a plasma CVD method using ethane as a raw material.
A 5 nm diamond-like carbon protective layer was formed. Next, the sample was taken out of the holder, and a perfluoropolyether-based lubricant (FOI, manufactured by Audimont Corporation) was placed on the protective layer.
A solution in which MBLINZ-DOL was dissolved in a fluorine-based solvent (FC-77 manufactured by Sumitomo 3M Limited) was applied by a dip coating method to form a lubricating layer having a thickness of 1 nm. Then, the sample was punched into a 3.5-type magnetic disk to produce a floppy disk. The obtained floppy disk was designated as FD6. The obtained floppy disks were evaluated by the following evaluation methods, and the results are shown in Table 1.

【0091】(評価方法) (1)外観 各支持体ならびにフロッピーディスクについて目視なら
びに光学顕微鏡観察(100倍)をおこない、支持体表
面および接着面の異物のかみ込み、気泡の発生の有無を
調べた。 (2)カール値 各支持体および完成したフロッピーディスクを3.5型
のフロッピーディスク形状に打ち抜き、これらを垂直に
立てた状態で、ディスク中心をリングでチャッキングし
60rpmで回転させた。そして半径方向について内周
からの半径位置20mm〜45mmの範囲をレーザー変
位計で走査し、ディスク−変位計間距離が最短となる位
置と最長となる位置の差を求め、カール値とした。
(Evaluation Method) (1) Appearance Each support and floppy disk were visually observed and observed with an optical microscope (100 times), and the presence or absence of foreign matter on the surface of the support and the adhesive surface and the occurrence of bubbles were examined. . (2) Curl value Each support and the finished floppy disk were punched into a 3.5-type floppy disk shape, and in the state of standing vertically, the disk center was chucked with a ring and rotated at 60 rpm. Then, a laser displacement meter was used to scan a range of a radial position from the inner circumference in a range of 20 mm to 45 mm in the radial direction, and a difference between a position where the distance between the disk and the displacement meter was shortest and a position where the distance was longest was determined as a curl value.

【0092】[0092]

【表1】試料 外観 カール(mm) 実施例1(FD1) 良好 0.5 良好 実施例2(FD2) 良好 0.4 良好 実施例3(FD3) 良好 0.4 良好 比較例1(FD4) うねり 1.7 不良 比較例2(FD5) 良好 3.8 不良 比較例3(FD6) 良好 2.0 不良Table 1 Sample Appearance Curl (mm) Example 1 (FD1) Good 0.5 Good Example 2 (FD2) Good 0.4 Good Example 3 (FD3) Good 0.4 Good Comparative example 1 (FD4) 1.7 Poor Comparative Example 2 (FD5) Good 3.8 Poor Comparative Example 3 (FD6) Good 2.0 Poor

【0093】以上のように本発明によって作製した実施
例の磁気記録媒体は外観、カールがともに良好であるこ
とがわかる。比較例1では接着剤層によってポリエチレ
ンテレフタレートの両面に積層したが、ポリエチレンテ
レフタレートの変形の影響でカールが残存した。また積
層せずに、1枚のフィルムを支持体として使用した比較
例2および3ではフィルム固有のそりが残存し、カール
量が大きくなった。
As described above, it can be seen that the magnetic recording media of the examples manufactured according to the present invention have good appearance and curl. In Comparative Example 1, although laminated on both sides of polyethylene terephthalate by the adhesive layer, curl remained due to the influence of deformation of polyethylene terephthalate. Further, in Comparative Examples 2 and 3 in which one film was used as a support without laminating, the warpage unique to the film remained, and the curl amount was large.

【0094】[0094]

【発明の効果】本発明の磁気記録媒体は、そりが少な
く、表面および接着面に欠陥が少ない支持体を作製する
ことができ、この支持体を用いて作製したフロッピーデ
ィスクはカール量も小さくすることができる。
According to the magnetic recording medium of the present invention, it is possible to produce a support having a small warpage and a small defect on the surface and the adhesive surface, and the floppy disk produced using this support also has a small curl amount. be able to.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】図1は、本発明のフロッピーディスクの断面図
である。
FIG. 1 is a sectional view of a floppy disk according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…フロッピーディスク、2…熱可塑性樹脂フィルム、
3…磁性層、4…耐熱性樹脂フィルム、5…下塗り層、
6…下地層、7…磁性層、8…シード層、9…密着層、
10…保護層、11…潤滑層
1 ... floppy disk, 2 ... thermoplastic resin film,
3: magnetic layer, 4: heat-resistant resin film, 5: undercoat layer,
6 ... underlayer, 7 ... magnetic layer, 8 ... seed layer, 9 ... adhesion layer,
10: protective layer, 11: lubricating layer

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 フロッピーディスクにおいて、耐熱性樹
脂フィルムの片面に強磁性金属薄膜からなる磁性層、保
護層を形成した耐熱性樹脂フィルムを、熱可塑性樹脂フ
ィルムの両面に、磁性層を形成した面が外側になるよう
に加熱接着したものであることを特徴とするフロッピー
ディスク。
1. A floppy disk comprising a heat-resistant resin film having a magnetic layer formed of a ferromagnetic metal thin film on one surface thereof and a heat-resistant resin film having a protective layer formed thereon, and a thermoplastic resin film having magnetic layers formed on both surfaces thereof. A floppy disk characterized in that the disk is heated and bonded so that the outer side is on the outside.
【請求項2】 耐熱性樹脂フィルムが芳香族ポリアミド
フィルム、芳香族ポリイミドフィルムのいずれかから選
ばれるものであることを特徴とする請求項1記載のフロ
ッピーディスク。
2. The floppy disk according to claim 1, wherein the heat-resistant resin film is selected from an aromatic polyamide film and an aromatic polyimide film.
【請求項3】 フロッピーディスクの製造方法におい
て、強磁性金属薄膜からなる磁性層と保護層を形成した
耐熱性樹脂フィルムを、熱可塑性樹脂フィルムの両面に
磁性層を形成した面が外側となるように重ねて、熱可塑
性樹脂フィルムと耐熱性樹脂フィルムとを加熱接着して
両面に磁性層を形成することを特徴とするフロッピーデ
ィスクの製造方法。
3. A method for manufacturing a floppy disk, comprising: forming a heat-resistant resin film on which a magnetic layer made of a ferromagnetic metal thin film and a protective layer are formed; A method for manufacturing a floppy disk, comprising: forming a magnetic layer on both surfaces by heating and bonding a thermoplastic resin film and a heat-resistant resin film.
【請求項4】 耐熱性樹脂フィルムの接着面、熱可塑性
樹脂フィルムの表面の少なくともいずれかを活性化処理
した後に加熱接着することを特徴とする請求項3記載の
フロッピーディスクの製造方法。
4. The method for producing a floppy disk according to claim 3, wherein at least one of the bonding surface of the heat-resistant resin film and the surface of the thermoplastic resin film is activated and then heat-bonded.
【請求項5】 加熱接着が平板熱プレス、または熱ラミ
ネートロールにより熱可塑性樹脂のフィルムの融点以上
において行うことを特徴とする請求項3または4のいず
れかに記載のフロッピーディスクの製造方法。
5. The method for producing a floppy disk according to claim 3, wherein the heat bonding is performed by a flat plate hot press or a heat laminating roll at a temperature higher than the melting point of the thermoplastic resin film.
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