JP2001283426A - Floppy (r) disk and its manufacture method - Google Patents

Floppy (r) disk and its manufacture method

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JP2001283426A
JP2001283426A JP2000094521A JP2000094521A JP2001283426A JP 2001283426 A JP2001283426 A JP 2001283426A JP 2000094521 A JP2000094521 A JP 2000094521A JP 2000094521 A JP2000094521 A JP 2000094521A JP 2001283426 A JP2001283426 A JP 2001283426A
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JP
Japan
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film
support
floppy disk
resin film
heat
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Application number
JP2000094521A
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Japanese (ja)
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Kazuyuki Usuki
一幸 臼杵
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Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
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Publication date
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C43/00Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
    • B29C43/32Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C43/52Heating or cooling

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Blow-Moulding Or Thermoforming Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a supporting body for floppy disk having high dimensional stability and heat resistance and to provide a floppy disk. SOLUTION: The floppy disk has at least a magnetic film, a protective film and a lubricating film laminated on the surface of the supporting body for floppy disk manufactured by press-contacting heat resistant resin films on the both sides of a thermoplastic resin film, then heat-molding the thermoplastic resin film at a state that it is heated up to its melting point or more and stripping the heat resistant resin films after it is cooled to flatten the surface of the supporting body.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は高記録密度のフロッ
ピーディスクおよびその支持体の製造方法に関し、寸法
安定性および耐熱性が高く、そりが少なく、平滑な表面
性を有する支持体、およびこの支持体を用いたフロッピ
ーディスク、およびこれらの製造方法に関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a floppy disk having a high recording density and a method for producing the support, and more particularly to a support having high dimensional stability and heat resistance, low warpage, and smooth surface properties, and a support for the support. The present invention relates to a floppy disk using a body and a method for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】磁気テープ、ハードディスク等の磁気記
録媒体には、支持体上に強磁性金属薄膜をスパッタリン
グ法や蒸着法等の真空成膜法によって作製した強磁性金
属薄膜からなる磁気記録媒体が用いられている。真空成
膜法によって形成した強磁性金属薄膜は、高い磁気エネ
ルギーが容易に得られ、さらに非磁性基板の表面を平滑
にすることによって磁性層表面を平滑な面とすることが
容易であるために、スペーシング損失が少なく、高い電
磁変換特性を有する特徴があるため高密度記録材料に適
している。特にスパッタリング法により得られた磁性層
は蒸着法より得られたものに比べて磁気エネルギーを高
めることができるため、ハードディスクの様な高い記録
密度が要求される磁気記録媒体に採用されている。
2. Description of the Related Art Magnetic recording media, such as magnetic tapes and hard disks, include a ferromagnetic metal thin film formed on a support by a vacuum film forming method such as a sputtering method or a vapor deposition method. Used. The ferromagnetic metal thin film formed by the vacuum film forming method can easily obtain high magnetic energy, and it is easy to make the surface of the magnetic layer smooth by smoothing the surface of the nonmagnetic substrate. It is suitable for a high-density recording material because it has a small spacing loss and high electromagnetic conversion characteristics. In particular, a magnetic layer obtained by a sputtering method can increase the magnetic energy as compared with a magnetic layer obtained by a vapor deposition method, and thus is used for a magnetic recording medium such as a hard disk which requires a high recording density.

【0003】一方、フロッピーディスク型の磁気記録媒
体はハードディスクと比較して、対衝撃性に優れ、低コ
ストであるために非常に広く使用されている。さらに本
出願人は、基体上に形成した下層磁性層、もしくは下層
非磁性層上に薄膜の磁性層を磁性塗料の塗布によって形
成した塗布型の磁気記録媒体によって、3.5型のフロ
ッピーディスク1枚当たり100MBを超える大容量の
媒体を提供している。しかしながら、その記録密度は未
だハードディスクの1/10以下である。これはハード
ディスクのように磁性層をスパッタリング法で作製しよ
うとする試みが多数報告されているものの、未だ実用化
には至っていないことが大きな要因である。
On the other hand, floppy disk type magnetic recording media are widely used because of their superior impact resistance and low cost as compared with hard disks. Further, the present applicant has proposed a 3.5-type floppy disk 1 by using a coating type magnetic recording medium in which a thin magnetic layer is formed by applying a magnetic paint on a lower magnetic layer formed on a base or a lower non-magnetic layer. A large-capacity medium exceeding 100 MB per sheet is provided. However, its recording density is still 1/10 or less of that of a hard disk. This is largely due to the fact that although many attempts have been made to produce a magnetic layer by a sputtering method like a hard disk, it has not yet been put to practical use.

【0004】これには様々な理由があるが、その理由の
一つにこの様なフロッピーディスクに適した支持体の開
発が困難であることが挙げられる。スパッタリング法で
磁性層を作製するフロッピーディスクの支持体には少な
くとも以下の様な4つの特性が要求される。 (1)平滑な表面性 スパッタリング法で磁気記録媒体を作製する場合には支
持体の表面性がほぼそのまま媒体の表面性に反映される
ため、高い記録密度の磁気記録媒体を作製するには非常
に平滑な表面性を有する支持体が必要となる。具体的に
は最大表面粗さRmax で60nm以下の支持体が必要で
ある。 (2)高い耐熱性 高密度記録用の磁性層には高出力、低ノイズといった電
磁変換特性が必要であり、このために磁性層をスパッタ
リング法で作製する際、支持体を加熱しながら成膜しな
ければならない。このため支持体には非常に高い耐熱性
が要求され、加熱においても変形や化学変化を生じるこ
となく安定でなければならない。具体的には支持体とし
て200℃以上の耐熱性が必要である。
There are various reasons for this. One of the reasons is that it is difficult to develop a support suitable for such a floppy disk. The support of a floppy disk on which a magnetic layer is formed by a sputtering method is required to have at least the following four characteristics. (1) Smooth surface property When a magnetic recording medium is manufactured by a sputtering method, the surface property of the support is directly reflected on the surface property of the medium. A support having a smooth surface is required. Specifically, a support having a maximum surface roughness Rmax of 60 nm or less is required. (2) High heat resistance The magnetic layer for high-density recording needs electromagnetic conversion characteristics such as high output and low noise. For this reason, when the magnetic layer is formed by sputtering, the film is formed while heating the support. Must. For this reason, the support is required to have extremely high heat resistance, and must be stable without causing deformation or chemical change even during heating. Specifically, the support must have heat resistance of 200 ° C. or higher.

【0005】(3)少ないそり 高密度フロッピーディスクでは転送速度を高めるため、
ハードディスク同様に高速回転しながら磁気ヘッドと接
触または接触に近い非常に低いフライングハイトで摺動
する。フロッピーディスクが面ぶれを起こすとヘッドと
強く接触し、摺動が不安定となるため走行耐久性、信頼
性の劣化につながる。このためフロッピーディスクの面
ぶれは50μm以下に押さえる必要がある。このような
面ぶれはフロッピーディスクが静的に持っているそりの
影響を強く受ける。このそりは支持体がもともと持って
いる場合と磁気記録媒体の製造工程で表裏の応力差が生
じて発生する場合がある。製造工程で発生するそりは工
程条件によって調整可能であるが、支持体がもともと持
っているそりは支持体の厚みが磁性層の厚みよりも遙か
に大きいため、工程条件による調整は非常に困難であ
る。しかも支持体として耐熱性の大きなポリイミドやポ
リアミドフィルムを用いる場合には、素材の耐熱性が高
いため、加熱による形状修正が不可能である。このため
支持体は静的にほとんどそりが無いことが必要となる。
具体的には3.5型のディスク形状に打ち抜いた状態で
1mm以下に押さえる必要がある。
(3) Less warpage In a high-density floppy disk, to increase the transfer speed,
While rotating at high speed like a hard disk, it slides at a very low flying height in contact with or close to the magnetic head. If the floppy disk runs out of surface, the floppy disk comes into strong contact with the head and the sliding becomes unstable, leading to deterioration in running durability and reliability. For this reason, it is necessary to keep the surface deviation of the floppy disk to 50 μm or less. Such run-out is strongly influenced by the static sled of the floppy disk. This warpage may be caused by a difference in stress between the front and back sides of the magnetic recording medium during the manufacturing process of the magnetic recording medium when the support originally has the warp. Although the warpage generated in the manufacturing process can be adjusted by the process conditions, the warpage inherent to the support is very difficult to adjust by the process conditions because the thickness of the support is much larger than the thickness of the magnetic layer. It is. In addition, when a polyimide or polyamide film having high heat resistance is used as the support, the material has high heat resistance, so that the shape cannot be corrected by heating. For this reason, it is necessary for the support to have almost no static warpage.
Specifically, it is necessary to press down to 1 mm or less in a state of being punched into a 3.5-type disk shape.

【0006】(4)寸法安定性 最近のフロッピーディスクはノート型パソコンの普及に
よってノート型パソコン内部で使用されることが考えら
れるが、ノート型パソコン内部は温度が高く、またノー
ト型パソコンは外出先に携帯されことも多いため、広い
温度範囲で使用される。この様な状況においてフロッピ
ーディスクは温度に対する寸法安定性に優れ、安定にト
ラッキング可能とする必要がある。このためには支持体
は熱的寸法安定性に優れなければならない。以上の4つ
の必要特性を満たす支持体の開発は非常に困難であり、
市販されていない。
(4) Dimensional stability Recent floppy disks are considered to be used inside notebook computers due to the spread of notebook computers. However, the temperature inside the notebook computers is high, and the notebook computers are out of the office. It is often used in a wide range of temperatures. In such a situation, the floppy disk needs to have excellent dimensional stability with respect to temperature and be capable of stable tracking. For this purpose, the support must have excellent thermal dimensional stability. It is very difficult to develop a support that satisfies the above four required properties.
Not commercially available.

【0007】例えば磁気テープ、フロッピーディスクの
支持体として広く使用されているポリエチレンテレフタ
レートやポリエチレンナフタレートは、そのガラス転移
温度がスパッタリング法で磁性層を成膜する際の加熱温
度よりも遙かに低いため、磁性層を成膜する際に変形を
生じ、さらに磁性層にクラックが発生する場合が多い。
またこの様な温度まで加熱するとオリゴマーの表面析出
による表面性の劣化や加水分解による機械的な特性の劣
化が著しい。
For example, polyethylene terephthalate or polyethylene naphthalate, which is widely used as a support for magnetic tapes and floppy disks, has a glass transition temperature much lower than a heating temperature when a magnetic layer is formed by a sputtering method. For this reason, deformation occurs when the magnetic layer is formed, and cracks often occur in the magnetic layer.
Further, when heated to such a temperature, the surface properties of the oligomer are degraded by precipitation on the surface, and the mechanical properties are significantly degraded by hydrolysis.

【0008】また、芳香族ポリイミドや芳香族ポリアミ
ドといった耐熱性樹脂フィルムは十分な耐熱性を有する
ものの、その製造における問題により、平滑な表面性と
少ないそりを実現することが困難である。またポリアミ
ドフィルムは、その厚みが50μm以上のフィルムの作
製することが困難である。またポリエーテルエーテルケ
トン、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルホン、ポ
リスルホン、ETFE、PFA、FEP等のフッ素樹脂
フィルムは熱可塑性であるため、そりを少なくすること
が可能であるが、本発明の目的に見合う平滑な表面性を
有するものは存在しない。
Although heat-resistant resin films such as aromatic polyimides and aromatic polyamides have sufficient heat resistance, it is difficult to realize smooth surface properties and low warpage due to problems in their production. Further, it is difficult to produce a polyamide film having a thickness of 50 μm or more. Fluororesin films such as polyetheretherketone, polyetherimide, polyethersulfone, polysulfone, ETFE, PFA, and FEP are thermoplastic, so that it is possible to reduce the warpage, but this is suitable for the purpose of the present invention. Nothing has a smooth surface.

【0009】さらにどの様な材料の支持体を使用したと
しても、ある程度以上表面を平滑にすると、支持体の搬
送や巻き取りといった取り扱いが非常に困難となる。こ
の問題を解決するためには支持体の端面近傍に故意に凹
凸を作製し、搬送部材や支持体裏面への貼り付きを防止
する必要があるが、この方法を用いても支持体の幅をあ
る程度広くすると、その効果が少なくなり、取り扱い特
性が悪化する。
Whatever material is used for the support, if the surface is smoothed to a certain degree or more, handling such as transport and winding of the support becomes very difficult. In order to solve this problem, it is necessary to intentionally create irregularities near the end surface of the support to prevent sticking to the conveying member or the back surface of the support, but even if this method is used, the width of the support may be reduced. If it is widened to some extent, the effect is reduced and the handling characteristics are deteriorated.

【0010】そこでロール状のフィルムではなく、ポリ
エーテルイミド等の熱可塑性の樹脂を用いる射出成型に
よって一枚ごとに支持体を作成する方法も提案されてい
るが、本発明の目的の支持体を得るためには高温下で平
滑な金型に樹脂を流し込む必要があり、この様な場合、
樹脂と金型が接着してしまい、樹脂が金型から取り出せ
ないという問題が生じるため使用できない。
In view of the above, there has been proposed a method of forming a support for each sheet by injection molding using a thermoplastic resin such as polyetherimide instead of a roll-shaped film. In order to obtain it, it is necessary to pour the resin into a smooth mold under high temperature. In such a case,
Since the resin and the mold adhere to each other and the resin cannot be removed from the mold, it cannot be used.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、平滑な表面
性、高い耐熱性、少ないそり、高い寸法安定性を有する
フロッピーディスク用支持体を作成し、高密度記録に適
したフロッピーディスク媒体を提供しようとするもので
ある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a floppy disk support having smooth surface properties, high heat resistance, low warpage, and high dimensional stability, and a floppy disk medium suitable for high-density recording. It is something to offer.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明の課題は、フロッ
ピーディスクにおいて、熱可塑性樹脂フィルムの両面に
耐熱性樹脂フィルムを圧着させて熱成型によって作製し
た平滑な熱可塑性フィルム表面に少なくとも磁性膜、保
護膜、潤滑膜を積層したフロッピーディスクである。ま
た、熱可塑性樹脂フィルムがポリエーテルイミド、ポリ
エーテルエーテルケトン、ポリエーテルスルホンからな
る群から選ばれるものである前記のフロッピーデイスク
である。熱可塑性樹脂フィルムの両面に下塗膜を設けた
前記のフロッピーデイスクである。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a floppy disk having at least a magnetic film on a smooth thermoplastic film surface produced by pressing a heat-resistant resin film on both surfaces of a thermoplastic resin film and thermoforming. This is a floppy disk on which a protective film and a lubricating film are laminated. The above-mentioned floppy disk wherein the thermoplastic resin film is selected from the group consisting of polyetherimide, polyetheretherketone and polyethersulfone. This is the above-mentioned floppy disk in which an undercoat film is provided on both surfaces of a thermoplastic resin film.

【0013】また、本発明は、フロッピーディスク用支
持体の製造方法において、支持体用の熱可塑性樹脂フィ
ルムを融点以上に加熱し、その両面に耐熱性樹脂フィル
ムを圧着させた後、該熱可塑性樹脂フィルムを融点以上
の温度に加熱した状態で熱成型し、冷却後に該耐熱性フ
ィルムを引き剥がすことによって表面を平滑にするフロ
ッピーディスク用支持体の製造方法である。
The present invention also relates to a method of manufacturing a support for a floppy disk, wherein a thermoplastic resin film for a support is heated to a melting point or higher, and a heat-resistant resin film is pressed on both surfaces thereof. This is a method for producing a support for a floppy disk, in which a resin film is thermoformed in a state of being heated to a temperature not lower than its melting point, and after cooling, the heat resistant film is peeled off to smooth the surface.

【0014】フロッピーディスク用支持体の製造方法に
おいて、支持体用の熱可塑性樹脂フィルムの両面に耐熱
性樹脂フィルムを圧着させ成型し、冷却後に該耐熱性フ
ィルムを引き剥がすことによって表面を平滑にするフロ
ッピーディスク用支持体の製造方法である。該熱可塑性
樹脂フィルムがポリエーテルイミド、ポリエーテルエー
テルケトン、ポリエーテルスルホンからなる群から選ば
れる少なくとも1種である前記のフロッピーディスク用
支持体の製造方法である。該耐熱性樹脂フィルムが芳香
族ポリイミドまたは芳香族ポリアミドのいずれかである
前記のフロッピーディスク用支持体の製造方法である。
該耐熱性樹脂フィルム表面に平滑化膜が設けられている
前記のフロッピーディスク用支持体の製造方法である。
In the method of manufacturing a support for a floppy disk, a heat-resistant resin film is pressed and molded on both sides of a thermoplastic resin film for the support, and after cooling, the heat-resistant film is peeled off to smooth the surface. This is a method for producing a support for a floppy disk. The method for producing a support for a floppy disk as described above, wherein the thermoplastic resin film is at least one selected from the group consisting of polyetherimide, polyetheretherketone, and polyethersulfone. The method for producing a support for a floppy disk as described above, wherein the heat-resistant resin film is one of an aromatic polyimide and an aromatic polyamide.
The method for producing a support for a floppy disk, wherein the smoothing film is provided on the surface of the heat-resistant resin film.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】本発明は、熱可塑性樹脂フィルム
を融点以上の温度に加熱し、熱可塑性樹脂フィルムの両
面に耐熱性樹脂フィルムを圧着して成型し、冷却後に耐
熱性樹脂フィルムを引き剥がして形成した平滑な面に磁
性膜等の層形成を行ったものである。図1は、本発明の
フロッピーディスクを説明する図であり、断面図であ
る。本発明のフロッピーディスク1は、熱可塑性樹脂フ
ィルム2の両面に、下塗膜3が積層されており、下塗膜
3上には、直接あるいは下地膜を介して磁性膜4が形成
されている。さらに、磁性膜4上には保護膜5が形成さ
れており、保護膜5上には潤滑膜6が形成されている。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION In the present invention, a thermoplastic resin film is heated to a temperature not lower than its melting point, heat-resistant resin films are pressed and molded on both surfaces of the thermoplastic resin film, and after cooling, the heat-resistant resin film is drawn. This is one in which a layer such as a magnetic film is formed on a smooth surface formed by peeling. FIG. 1 is a diagram for explaining a floppy disk of the present invention, and is a cross-sectional view. In the floppy disk 1 of the present invention, a lower coating 3 is laminated on both surfaces of a thermoplastic resin film 2, and a magnetic film 4 is formed on the lower coating 3 directly or via a base film. . Further, a protective film 5 is formed on the magnetic film 4, and a lubricating film 6 is formed on the protective film 5.

【0016】本発明で使用する熱可塑性樹脂フィルム
は、一般的に用いられている熱可塑性樹脂が使用できる
が、耐熱性を考慮するとポリイミド、ポリエーテルエー
テルケトン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルイミ
ド、ポリスルホン、ポリフェニレンスルフィド、テトラ
フルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体
(FEP)、アルキルビニルエーテル共重合体(PF
A)、テトラフルオロエチレン−エチレン共重合体(E
TFE)等のフッ素樹脂等が好ましい。さらに支持体と
しての機械特性を考慮するとポリエーテルエーテルケト
ン、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルホンが特に
好ましい。
As the thermoplastic resin film used in the present invention, generally used thermoplastic resins can be used. However, considering heat resistance, polyimide, polyetheretherketone, polyethersulfone, polyetherimide, polysulfone , Polyphenylene sulfide, tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer (FEP), alkyl vinyl ether copolymer (PF
A), tetrafluoroethylene-ethylene copolymer (E
Fluororesins such as TFE) are preferred. Further, in consideration of the mechanical properties of the support, polyetheretherketone, polyetherimide, and polyethersulfone are particularly preferred.

【0017】耐熱性樹脂の耐熱特性は磁性膜のスパッタ
リングや下塗り膜を付与する場合にはその熱硬化温度等
の製造工程の支持体到達温度を考慮して決定する。例え
ばスパッタリング時に基板加熱とプラズマの熱によって
支持体が200℃程度まで加熱される場合には、上記の
ポリエーテルエーテルケトン等の耐熱性の高い熱可塑性
フィルムを使用する必要があるし、逆に基板を冷却しな
がらスパッタリングする場合にはフィルムの温度上昇は
プラズマに曝されるごく表面に限られるため、ポリスル
ホンで十分な場合もある。
The heat resistance of the heat-resistant resin is determined in consideration of the temperature reached by the support in the manufacturing process such as the thermosetting temperature when a magnetic film is sputtered or an undercoat film is applied. For example, when the support is heated to about 200 ° C. by the heating of the substrate and the heat of the plasma during sputtering, it is necessary to use a thermoplastic film having high heat resistance such as the above polyetheretherketone, and conversely, When sputtering is performed while cooling the film, the temperature rise of the film is limited only to the very surface exposed to the plasma, so that polysulfone may be sufficient in some cases.

【0018】熱可塑性樹脂のガラス転移温度、もしくは
2次転移温度がスパッタリング時の基板加熱温度よりも
高いことが好ましい。また磁性膜スパッタリング以外の
下塗り膜の硬化や保護膜の成膜工程で基板が加熱される
場合も同様であり、熱可塑性樹脂のガラス転移温度もし
は2次転移温度は、これらの工程における基板加熱温度
よりも高いことが好ましい。
It is preferable that the glass transition temperature or the secondary transition temperature of the thermoplastic resin is higher than the substrate heating temperature during sputtering. The same applies to the case where the substrate is heated in the step of curing the undercoat film or forming the protective film other than the magnetic film sputtering. The glass transition temperature or the secondary transition temperature of the thermoplastic resin is determined by the substrate heating temperature in these steps. Preferably, it is higher than the temperature.

【0019】この熱可塑性樹脂フィルムは後述のように
溶融圧着して使用するため、一般的な表面粗さのものが
使用可能であるが、表面粗さは平滑なものが好ましい。
具体的には光学式の表面粗さ計で測定した表面粗さが中
心線平均粗さRaで10nm以内、好ましくは5nm以
内、触針式粗さ計で測定した突起高さが1μm以内、好
ましくは0.1μm以内である。この表面粗さは表裏面
でほぼ同等であることが好ましい。また異物などの付着
物は表面欠陥となるので、付着を防止する必要がある。
この熱可塑性フィルムの厚みは3〜150μm、好まし
くは25〜100μmである。
Since this thermoplastic resin film is used after being melt-compressed as described later, a film having a general surface roughness can be used, but a film having a smooth surface roughness is preferable.
Specifically, the surface roughness measured by an optical surface roughness meter is within 10 nm, preferably 5 nm or less, as a center line average roughness Ra, and the projection height measured by a stylus roughness meter is 1 μm or less, preferably Is within 0.1 μm. This surface roughness is preferably substantially the same on the front and back surfaces. In addition, since foreign matter and the like becomes a surface defect, it is necessary to prevent the foreign matter.
The thickness of this thermoplastic film is 3 to 150 μm, preferably 25 to 100 μm.

【0020】ポリエーテルエーテルケトンフィルム、ポ
リエーテルサルフォンフィルムの具体例としては住友べ
一クライト(株)社製スミライトフィルム、ポリエーテ
ルイミドフィルムの具体例としては三菱樹脂(株)社製
スペリオフィルムがあげられる。
Specific examples of the polyetheretherketone film and the polyethersulfone film include Sumilite film manufactured by Sumitomo Belite Co., Ltd., and specific examples of the polyetherimide film include Superior Film manufactured by Mitsubishi Plastics, Inc. Is raised.

【0021】本発明で使用する耐熱性樹脂フィルムは、
芳香族ポリイミドフィルム、芳香族ポリアミドフィルム
が好ましい。これはこれらのフィルムが前記熱可塑性樹
脂フィルムの溶融する温度においても安定であり、かつ
前記熱可塑性樹脂フィルムに対して不活性であるためで
ある。従って後述の方法で圧着させても、表面性を損な
うことなく簡単に熱可塑性樹脂フィルムと耐熱性樹脂フ
ィルムを引き剥がすことができる。
The heat-resistant resin film used in the present invention comprises:
Aromatic polyimide films and aromatic polyamide films are preferred. This is because these films are stable even at the temperature at which the thermoplastic resin film melts, and are inert to the thermoplastic resin film. Therefore, the thermoplastic resin film and the heat-resistant resin film can be easily peeled off without impairing the surface properties even if they are pressure-bonded by the method described below.

【0022】本発明においてこれらの耐熱性樹脂フィル
ムを使用せずに、熱可塑性樹脂フィルムを直接鏡面研磨
した金属、ガラス、シリコン基板等で成型しようとする
と、熱可塑性樹脂フィルム樹脂はこの鏡面研磨基板と強
く接着し、引き剥がすことが不可能となる。
In the present invention, if the thermoplastic resin film is to be molded directly from a mirror-polished metal, glass, silicon substrate, or the like without using these heat-resistant resin films, the thermoplastic resin film resin becomes Strongly adhered, making it impossible to peel off.

【0023】また、耐熱性フィルムの圧着時に熱可塑性
樹脂と接する面の表面性は可能な限り平滑な表面である
ことが好ましい。本発明では支持体である熱可塑性樹脂
フィルムの表面性はこの耐熱性樹脂フィルムの表面性に
よって決定されるためであり、さらに作製するフロッピ
ーディスクの表面性はその電磁変換特性に非常に強い影
響を与えるためである。具体的には、光学式の表面粗さ
計で測定した表面粗さが平均中心線粗さ5nm以内、触
針式粗さ計で測定した突起高さで0.1μm以内であ
る。さらに好ましくは光学式の表面粗さ計で測定した表
面粗さが平均中心線粗さで1nm以内、触針式粗さ計で
測定した突起高さで0.06μm以内である。耐熱性樹
脂フィルムの表面性が粗くて使用できない場合は、耐熱
性樹脂フィルム表面に平滑化膜を設ける必要がある。平
滑化膜としてはポリイミド樹脂やシリコーン樹脂が好適
である。この平滑化膜は後述の熱可塑性樹脂フィルム上
の下塗膜と全く同様な手法で作成することができる。
It is preferable that the surface in contact with the thermoplastic resin when the heat resistant film is pressed is as smooth as possible. In the present invention, the surface property of the thermoplastic resin film as the support is determined by the surface property of the heat-resistant resin film, and the surface property of the floppy disk to be produced has a very strong influence on its electromagnetic conversion characteristics. To give. Specifically, the surface roughness measured by an optical surface roughness meter is within 5 nm of the average center line roughness, and the projection height measured by a stylus roughness meter is within 0.1 μm. More preferably, the surface roughness measured by an optical surface roughness meter is 1 nm or less in average center line roughness, and 0.06 μm or less in projection height measured by a stylus roughness meter. When the heat-resistant resin film has a rough surface and cannot be used, it is necessary to provide a smoothing film on the surface of the heat-resistant resin film. As the smoothing film, a polyimide resin or a silicone resin is preferable. This smoothing film can be formed by the same method as the undercoating on the thermoplastic resin film described later.

【0024】本発明ではこの耐熱性樹脂の表面性が熱可
塑性樹脂フィルムに転写されるが、一般的にフィルムの
表面欠陥は突起状のものが多く、このような突起は熱可
塑性樹脂フィルムに転写されると凹みとなる。フロッピ
ーディズクでは表面欠陥となる高い突起はヘッドと衝突
してスクラッチを発生しやすいため、非常に問題となる
が、凹みは記録信号のエラーとなるものの、エラー訂正
によって実用上問題とならない。これは本発明の大きな
効果の一つである。
In the present invention, the surface properties of the heat-resistant resin are transferred to the thermoplastic resin film. Generally, the surface defects of the film are often in the form of protrusions, and such protrusions are transferred to the thermoplastic resin film. When it is done, it becomes concave. In the case of a floppy disk, a high projection which becomes a surface defect is likely to cause a scratch by colliding with the head, which is very problematic. However, although a dent causes an error in a recording signal, it does not cause a practical problem due to error correction. This is one of the great effects of the present invention.

【0025】またこの耐熱性フイルムにはフィラーが含
有されていてもかまわないが、成型後の表面性を平滑に
するためにフィラーを含有していないものが好ましい。
この耐熱性フィルムの厚みは2〜100μmの範囲が好
ましく、特に好ましくは3〜25μmである。
The heat-resistant film may contain a filler, but preferably does not contain a filler in order to smooth the surface properties after molding.
The thickness of this heat-resistant film is preferably in the range of 2 to 100 μm, particularly preferably 3 to 25 μm.

【0026】芳香族ポリイミドフィルムの具体例として
は宇部興産(株)製ユーピレックス、鐘淵化学(株)製
アピカル、東レ・デュポン(株)製カプトン等があげら
れる。また芳香族ポリアミドフィルムの具体例としては
旭化成工業(株)製アラミカ、東レ(株)社製ミクトロ
ン等があげられる。
Specific examples of the aromatic polyimide film include Upilex (Ube Industries, Ltd.), Apical (Kanebuchi Chemical Co., Ltd.), and Kapton (Toray Dupont). Specific examples of the aromatic polyamide film include Aramica manufactured by Asahi Kasei Kogyo Co., Ltd., and Miktron manufactured by Toray Industries, Inc.

【0027】本発明は前述の2枚の耐熱性樹脂フィルム
間に熱可塑性樹脂フィルムを挟み、圧着させて成型する
が、熱可塑性樹脂フィルムは1枚であっても、複数枚で
あってもよい。広い環境においてそりを発生させないた
めには、同じフィルムを2枚背中合わせになるように重
ねて接着すればよいし、機械的特性を調整するために、
異なった素材を組み合わせて複合フィルムとしてもかま
わない。
In the present invention, a thermoplastic resin film is sandwiched between the above-mentioned two heat-resistant resin films and pressed and molded, but the number of thermoplastic resin films may be one or plural. . In order to prevent warping in a wide environment, the same film may be laminated and bonded back to back, and in order to adjust mechanical properties,
Different materials may be combined to form a composite film.

【0028】本発明の支持体の厚みとしては25〜12
0μm、好ましくは30〜75μmである。この支持体
の最適な厚みはフィルムの材質、フロッピーディスクの
大きさ、フロッピーディスクドライブの記録再生方法に
依存するため、それらを考慮して決定する必要がある。
The thickness of the support of the present invention is 25 to 12
0 μm, preferably 30 to 75 μm. The optimum thickness of the support depends on the material of the film, the size of the floppy disk, and the recording / reproducing method of the floppy disk drive.

【0029】本発明の製造方法において熱可塑性樹脂フ
ィルムを成型する方法としては、うねりを発生させない
ために鏡面研磨された金属、ガラス、シリコン基板の上
に耐熱性樹脂フィルム、熱可塑性樹脂フィルム、鏡面研
磨基板の順で重ね合わせ、これを加熱成型する。加熱成
型方法は平板熱プレス、熱ロールによる熱成型、高周波
加熱成型などが使用できるが、好ましくは平板熱プレス
である。このときの加熱温度は熱可塑性樹脂フィルムの
融点以上である。
The method for molding a thermoplastic resin film in the production method of the present invention includes a heat-resistant resin film, a thermoplastic resin film, and a mirror-finished surface on a metal, glass, or silicon substrate which has been mirror-polished to prevent undulation. Lamination is performed in the order of the polishing substrates, and this is heated and molded. As the heat molding method, a flat plate hot press, thermoforming with a hot roll, high-frequency heating molding and the like can be used, but a flat plate hot press is preferable. The heating temperature at this time is equal to or higher than the melting point of the thermoplastic resin film.

【0030】平板熱プレスを用いる場合には、鏡面研磨
基板、耐熱性櫛脂フィルム、熱可塑性樹脂フィルム、耐
熱性樹脂フィルム、鏡面研磨基板をこの順に重ね、1枚
ごとに熱接着してもよいが、複数枚を積層させ、一度に
プレスし、この全体をオーブンなどの加熱手段によって
加熱して成型しても良い。これらの方法は生産性が劣る
ものの、表裏面の熱および応力分布を均一にすることが
できるため、そりの少ない支持体が作成可能であり、ま
た融点が高い熱可塑性樹脂フィルムでも成型が可能であ
る。このとき、プレスは接着面の気泡発生を防止するた
め、また各フィルムヘの塵埃の付着を防止するため、真
空中でのプレスが好ましい。またフィルムから発生する
ガスによる気泡の発生を防止するため、接着温度に加熱
する前に、予備加熱を行うことが好ましい。予備加熱温
度は100℃以上で、熱可塑性樹脂の融点以下であるこ
とが好ましい。
When a flat plate hot press is used, a mirror-polished substrate, a heat-resistant comb film, a thermoplastic resin film, a heat-resistant resin film, and a mirror-polished substrate may be stacked in this order and thermally bonded one by one. However, a plurality of sheets may be laminated and pressed at once, and the whole may be heated and molded by a heating means such as an oven. Although these methods are inferior in productivity, since the heat and stress distribution on the front and back surfaces can be made uniform, a support with less warpage can be produced, and a thermoplastic resin film having a high melting point can be molded. is there. At this time, the press is preferably performed in a vacuum in order to prevent the generation of air bubbles on the bonding surface and to prevent dust from adhering to each film. Further, in order to prevent generation of bubbles due to gas generated from the film, it is preferable to perform preliminary heating before heating to the bonding temperature. The preheating temperature is preferably 100 ° C. or higher and equal to or lower than the melting point of the thermoplastic resin.

【0031】プレス面に使用する鏡面研磨基板の表面粗
さは使用する耐熱性樹脂フィルムの表面よりも十分に平
滑であることが好ましい。表面が粗いとこの表面が支持
体に転写し、支持体表面があれてしまう。プレス圧力は
1×10-2MPa〜10MPaが適当である。加熱時間
は熱可塑性樹脂フィルムの熱的、化学的性質に依存する
ため、数秒から数時間の間で適宜選択する。成型後、十
分に冷却した後、耐熱性樹脂フィルムを引き剥がすこと
によって、両面が十分に平滑で、そりの少ない熱可塑性
樹脂フィルムを得ることができる。
The surface roughness of the mirror-polished substrate used for the pressing surface is preferably sufficiently smoother than the surface of the heat-resistant resin film used. If the surface is rough, this surface is transferred to the support, and the support surface is exposed. An appropriate pressing pressure is 1 × 10 −2 MPa to 10 MPa. Since the heating time depends on the thermal and chemical properties of the thermoplastic resin film, it is appropriately selected from several seconds to several hours. After the molding and sufficient cooling, the heat-resistant resin film is peeled off, whereby a thermoplastic resin film with sufficiently smooth both sides and less warpage can be obtained.

【0032】熱ロールによる熱成型方法を用いる場合に
は、耐熱性樹脂フィルム、熱可塑性樹脂フィルム、耐熱
性樹脂フィルムをこの順に重ね、1枚ごとにバッチ式に
成型させても良いし、ロールからロールヘ連続で成型し
ても良い。バッチ式で成型する場合には平滑な加熱板上
にフィルムを重ね、この上を熱ロールで押して成型する
か、熱ロール間に前記積層フィルムを通すことで成型す
る。連続で成型する場合には熱ロール間にフィルムを通
して成型させる。このときの加熱時間は熱可塑性樹脂フ
ィルムの熱的、化学的性質に依存するが、原理上数秒以
内である。このため熱ロールの表面温度は熱可塑性樹脂
フィルムの融点より高く設定する必要があることが多
い。熱ロールは一般的な蒸気加熱、熱オイル加熱のもが
使用できるが、接着温度が高い熱可塑性樹脂フィルムの
場合には誘導加熱ロールを用いる。
When a thermoforming method using a heat roll is used, a heat-resistant resin film, a thermoplastic resin film, and a heat-resistant resin film may be stacked in this order and molded one by one in a batch manner. It may be molded continuously to a roll. In the case of molding by a batch method, a film is superimposed on a smooth heating plate, and is molded by pressing the film with a hot roll or by passing the laminated film between hot rolls. In the case of continuous molding, a film is formed between hot rolls. The heating time at this time depends on the thermal and chemical properties of the thermoplastic resin film, but is within several seconds in principle. For this reason, the surface temperature of the heat roll often needs to be set higher than the melting point of the thermoplastic resin film. As the heat roll, general steam heating or hot oil heating can be used. In the case of a thermoplastic resin film having a high bonding temperature, an induction heating roll is used.

【0033】またフィルムから発生するガスによる気泡
の発生を防止するため、接着温度に加熱する前に、予備
加熱を行うことが好ましい。予備加熱温度は100℃以
上で、熱可塑性樹脂の融点以下であることが好ましい。
また熱ラミネートロールの表面性は使用する支持体より
も平滑であることが好ましく、表面が粗いとこの表面が
支持体に転写し、支持体表面があれてしまう。さらにラ
ミネートは接着面の気泡発生を防止するため、また各フ
ィルムヘの塵埃の付着を防止するため、真空中でのラミ
ネートが好ましい。ラミネートロール圧力は1kN/m
〜10kN/mが適当である。
In order to prevent the generation of bubbles due to the gas generated from the film, it is preferable to perform preheating before heating to the bonding temperature. The preheating temperature is preferably 100 ° C. or higher and equal to or lower than the melting point of the thermoplastic resin.
Further, the surface property of the heat laminating roll is preferably smoother than the support used. If the surface is rough, this surface is transferred to the support and the support surface is exposed. Further, the lamination is preferably performed in a vacuum in order to prevent generation of air bubbles on the bonding surface and to prevent dust from adhering to each film. Laminate roll pressure is 1kN / m
〜1010 kN / m is appropriate.

【0034】次に本発明で使用できる下塗り膜について
説明する。本発明で成型した熱可塑性樹脂フィルムの表
面性が不十分である場合には、熱可塑性樹脂フィルムの
表面に平滑化を目的とした下塗り膜を作成することが好
ましい。下塗り膜は熱可塑性樹脂フィルム以上に耐熱性
が要求されるため、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド
樹脂、シリコーン樹脂、フッ素系樹脂等が使用する必要
があり、一般的なポリエステル樹脂、ウレタン樹脂など
は使用できない。中でも下塗り膜の素材としては平滑化
効果が高い、熱硬化型イミドや熱硬化型シリコン樹脂を
用いることが好ましい。この下塗り膜の厚みとしては
0.1〜3μmが好ましい。またこの下塗り膜は耐熱性
樹脂フィルムと熱可塑性樹脂フィルムの接着の前に作製
しても良いし、接着後に作製しても良い。
Next, the undercoat film usable in the present invention will be described. When the surface property of the thermoplastic resin film molded in the present invention is insufficient, it is preferable to form an undercoat film for smoothing on the surface of the thermoplastic resin film. Since the undercoat film requires heat resistance more than a thermoplastic resin film, it is necessary to use a polyimide resin, a polyamide imide resin, a silicone resin, a fluorine-based resin, and the like, and cannot use a general polyester resin, a urethane resin, or the like. . Above all, it is preferable to use a thermosetting imide or a thermosetting silicone resin having a high smoothing effect as a material of the undercoat film. The thickness of the undercoat film is preferably 0.1 to 3 μm. Further, the undercoat film may be formed before or after bonding the heat-resistant resin film and the thermoplastic resin film.

【0035】前記、熱硬化性イミド樹脂を用いる例とし
ては分子内に末端不飽和基を2つ以上有するイミドモノ
マーの熱童合物であるポリイミド樹脂がある。この様な
イミドモノマーの例としては下記化学式1で表されるピ
スアリルナジイミドがあげられる。
An example of the use of the thermosetting imide resin is a polyimide resin which is a thermal compound of an imide monomer having two or more terminal unsaturated groups in the molecule. An example of such an imide monomer is pisallylnadiimide represented by the following chemical formula 1.

【0036】◎

【化1】 Embedded image

【0037】ただし、R1、R2は独立に選択された水素
またはメチル基、R3は脂肪族または芳香族の炭化水素
基等の2価の連結基。本発明で好ましい熱硬化型ポリイ
ミド樹脂は既に重合したポリイミドを付与するのではな
く、まず耐熱性樹脂フィルム上にイミドモノマーを付与
した後、熱重合させて作製するポリイミドである。この
イミドモノマーは既にイミド環化反応が終了しているも
ので、分子内に末端不飽和基を2つ以上有するものであ
る。ポリイミドヘの重合反応は加熱などによってこのビ
ニル基が付加重合することによって進行する。したがっ
て重合反応は比較的低温で進行するため、ポリイミドを
はじめ様々な非磁性支持体上に付与することができる。
またイミドモノマーはその構造によって汎用の有機溶剤
に溶解することが可能であるため、生産性、作業性に優
れる。またイミドモノマーは当然ポリイミドよりも分子
量が小さいため、その溶液の粘度が低く、これを非磁性
支持体上に塗布したときに、凹凸に対する回り込みが良
く、平滑化効果が高い。
However, R 1 and R 2 are independently selected hydrogen or methyl groups, and R 3 is a divalent linking group such as an aliphatic or aromatic hydrocarbon group. The thermosetting polyimide resin preferred in the present invention is a polyimide prepared by first applying an imide monomer onto a heat-resistant resin film and then thermally polymerizing the polyimide, instead of providing the already polymerized polyimide. This imide monomer has already undergone the imide cyclization reaction and has two or more terminal unsaturated groups in the molecule. The polymerization reaction on the polyimide proceeds by addition polymerization of the vinyl group by heating or the like. Therefore, since the polymerization reaction proceeds at a relatively low temperature, it can be provided on various non-magnetic supports such as polyimide.
Further, the imide monomer can be dissolved in a general-purpose organic solvent depending on its structure, and thus is excellent in productivity and workability. In addition, since the imide monomer naturally has a lower molecular weight than polyimide, the viscosity of the solution is low. When this solution is applied on a non-magnetic support, the imide monomer has good wraparound to unevenness and a high smoothing effect.

【0038】この様なイミド環と末端不飽和結合を2つ
以上有するイミドモノマー化合物は特開昭59−806
62号公報、特開昭60−178862号公報、特開昭
61−18761号公報、特開昭63−170358号
公報、特開平7−53516号公報などに記載されてい
る公知の合成方法で合成された公知の化合物を使用する
ことができる。
An imide monomer compound having such an imide ring and two or more terminal unsaturated bonds is disclosed in JP-A-59-806.
No. 62, JP-A-60-178882, JP-A-61-18761, JP-A-63-170358, and JP-A-7-53516. Known compounds described above can be used.

【0039】化合物1においてR1、R2はそれぞれ独立
に選択される水素またはメチル基、R3 は脂肪族、芳香
族等の2価の連結基であって特に限定はされない。例え
ば直鎖または分岐構造のアルキレン基およびアルケニル
基、シクロアルキレン基、アルキレン基を有するシクロ
アルキレン基、芳香族基、アルキレン基を有する芳香族
基、ポリオキシアルキレン基、カルボニル基、エーテル
基等などが挙げられる。イミドモノマーの溶剤への溶解
性やその重合物であるポリイミド樹脂の耐熱性はおもに
3 の構造で決定される。このため所望の特性はR3
構造を選択することによって達成される。
In compound 1, R 1 and R 2 are independently selected hydrogen or a methyl group, and R 3 is a divalent linking group such as an aliphatic or aromatic group, and is not particularly limited. For example, a linear or branched alkylene group and alkenyl group, a cycloalkylene group, a cycloalkylene group having an alkylene group, an aromatic group, an aromatic group having an alkylene group, a polyoxyalkylene group, a carbonyl group, an ether group, and the like. No. The solubility of the imide monomer in the solvent and the heat resistance of the polyimide resin as a polymer thereof are mainly determined by the structure of R 3 . Thus the desired characteristics are achieved by selecting the structure of R 3.

【0040】この様な化合物は丸善石油化学社からBA
NIシリーズ、ANIシリーズとして市販されている。
また本発明の下塗り膜にはイミドモノマー以外の成分が
含有されていても良い。例えば重合を促進するための硬
化剤、表面に凹凸を設けるための耐熱性微粒子(フィラ
ー)、密着を改善するためのカップリング剤、磁性膜の
酸化を防止する防錆剤などが挙げられる。
Such a compound was obtained from Maruzen Petrochemical Company in BA
It is commercially available as NI series and ANI series.
The undercoat film of the present invention may contain components other than the imide monomer. For example, a curing agent for promoting polymerization, heat-resistant fine particles (filler) for forming irregularities on the surface, a coupling agent for improving adhesion, a rust inhibitor for preventing oxidation of the magnetic film, and the like are included.

【0041】硬化剤としてはp−トルエンスルホン酸、
p−キシレンスルホン酸、トルエンスルホン酸メチル、
ピリジニウムp−トルエンスルホネート、ピリジニウム
−m−ニトロベンゼンスルホネート、硫酸メチルヒドラ
ジンなどが使用できる。
As a curing agent, p-toluenesulfonic acid,
p-xylenesulfonic acid, methyl toluenesulfonate,
Pyridinium p-toluenesulfonate, pyridinium-m-nitrobenzenesulfonate, methylhydrazine sulfate and the like can be used.

【0042】塗布溶剤としては化学式1のR3 の種類に
よって異なるが、多くの構造ではトルエン、キシレン、
アセトニトリル、シクロヘキサノン、メチルエチルケト
ン、アセトンなどに溶解可能であり、一部の構造におい
てはイソプロピルアルコール、エタノール、メタノール
等にも溶解可能である。また溶剤としてこれらの混合溶
剤を使用することもできる。
The coating solvent varies depending on the type of R 3 in Chemical Formula 1, but in many structures, toluene, xylene,
It is soluble in acetonitrile, cyclohexanone, methyl ethyl ketone, acetone, etc., and in some structures it is also soluble in isopropyl alcohol, ethanol, methanol, etc. These mixed solvents can be used as the solvent.

【0043】また本発明で好ましい熱硬化性シリコーン
樹脂の例としては、有機基が導入されたケイ素化合物を
原料としてゾルゲル法で作成したシリコーン樹脂があげ
られる。この様なシリコーン樹脂は二酸化ケイ素の結合
の一部を有機基で置換した構造からなり、シリコーンゴ
ムよりも大幅に耐熱性に優れている。また二酸化ケイ素
膜よりも柔軟性に優れるため、耐熱性樹脂フィルムの様
な可撓性フィルム上に作製してもクラックや剥離が生じ
にくい。
Further, as a preferred example of the thermosetting silicone resin in the present invention, a silicone resin prepared by a sol-gel method using a silicon compound into which an organic group has been introduced as a raw material can be mentioned. Such a silicone resin has a structure in which a part of the bond of silicon dioxide is substituted with an organic group, and has much higher heat resistance than silicone rubber. Further, since it is more flexible than a silicon dioxide film, cracking and peeling hardly occur even when it is formed on a flexible film such as a heat-resistant resin film.

【0044】原料となるモノマーを耐熱性樹脂フィルム
上に直接塗布し、硬化させる方法であるため、汎用溶剤
を使用することができ、凹凸に対する回り込みも良く、
平滑化効果が高い。さらに縮重合反応は酸やキレート剤
などの触媒の添加によって比較的低温から進行するた
め、硬化が短時間で可能であり、このため汎用の塗布機
での作製が可能である。
Since the method is a method in which a monomer as a raw material is directly applied to a heat-resistant resin film and cured, a general-purpose solvent can be used, and the wraparound to unevenness is good.
High smoothing effect. Further, the polycondensation reaction proceeds from a relatively low temperature by the addition of a catalyst such as an acid or a chelating agent, so that curing can be performed in a short time, and therefore, it can be produced by a general-purpose coating machine.

【0045】この熱硬化性シリコーン樹脂の原料となる
モノマーとしては芳香族炭化水素基、脂肪族やエポキシ
基を含有した有機残基等の有機残基を有するシランカッ
プリング剤である。芳香族炭化水素基や脂肪族炭化水素
基は硬化した樹脂において柔軟性を付与する効果があ
り、特に芳香族炭化水素基を有するシランカップリング
剤は脂肪族炭化水素基を導入したものより、耐熱性に優
れるため好ましい。またエポキシ基を含有したシランカ
ップリング剤は比較的低温から塗膜を硬化させる効果が
ある。
The monomer used as a raw material of the thermosetting silicone resin is a silane coupling agent having an organic residue such as an organic residue containing an aromatic hydrocarbon group, an aliphatic group or an epoxy group. Aromatic hydrocarbon groups and aliphatic hydrocarbon groups have the effect of imparting flexibility to the cured resin, and silane coupling agents having aromatic hydrocarbon groups are more heat-resistant than those having aliphatic hydrocarbon groups introduced. It is preferable because of excellent properties. Further, the silane coupling agent containing an epoxy group has an effect of curing the coating film from a relatively low temperature.

【0046】例えば芳香族炭化水素基を含有するシラン
カップリング剤は下記化学式2で表される構造である。
For example, a silane coupling agent containing an aromatic hydrocarbon group has a structure represented by the following chemical formula 2.

【0047】◎

【化2】 Embedded image

【0048】ただしR,R’はメチル基等一価の有機基
Aはアルキレン基等の二価の有機基または無し(直結)
Bはアルコキシ基、ハロゲン、水酸基等の一価の基X+
Y+Z=4である。化学式2においてAは好ましくは無
し、またはメチレン基である。
However, R and R 'are monovalent organic groups such as a methyl group A is a divalent organic group such as an alkylene group or none (directly connected)
B is a monovalent group X + such as an alkoxy group, a halogen, and a hydroxyl group.
Y + Z = 4. In Chemical Formula 2, A is preferably absent or a methylene group.

【0049】Bは反応性や磁性膜への腐食性を考慮する
と好ましくはアルコキシ基であり、重合反応を容易とす
るため、特にメトキシ基など炭素数4以下のアルコキシ
基が好ましい。Xは好ましくは1または2であるが、重
合反応を容易とするため、特に1であることが好まし
い。Yは好ましくは0または1であるが、重合反応を容
易とするため、特に好ましくは0である。従ってZは特
に3で有ることが好ましい。
B is preferably an alkoxy group in consideration of reactivity and corrosiveness to the magnetic film, and particularly preferably an alkoxy group having 4 or less carbon atoms such as a methoxy group for facilitating the polymerization reaction. X is preferably 1 or 2, but is preferably 1 in order to facilitate the polymerization reaction. Y is preferably 0 or 1, but particularly preferably 0 for facilitating the polymerization reaction. Accordingly, Z is particularly preferably 3.

【0050】このような具体例としては、以下のものが
挙げられる。◎
The following are specific examples. ◎

【化3】 Embedded image

【0051】エポキシ基を有する有機残基を含んだシラ
ンカップリング剤は例えば下記化学式3で表される構造
である。
The silane coupling agent containing an organic residue having an epoxy group has, for example, a structure represented by the following chemical formula 3.

【0052】◎

【化4】 Embedded image

【0053】ただし、Aはアルキレン基など2価の有機
残基 Bは水素またはアルキル基などの1価の有機残基 Rはアルキル基などの1価の有機残基 Xはアルコキシ基、水酸基、ハロゲン、水素から選択さ
れる1価の基 i+j+k=4 である。
A is a divalent organic residue such as an alkylene group, B is a monovalent organic residue such as hydrogen or an alkyl group, R is a monovalent organic residue such as an alkyl group, X is an alkoxy group, a hydroxyl group, or a halogen. , A monovalent group selected from hydrogen, i + j + k = 4.

【0054】化学式1の構造においてAは好ましくは水
素である。Rはメチル基、エチル基など。1価の有機残
基である。Xは反応性や磁性膜への腐食性を考慮すると
好ましくはアルコキシ基であり、重合反応を容易とする
ため、特にメトキシ基など炭素数4以下のアルコキシ基
が好ましい。Mは好ましくは1または2であるが、重合
反応を容易とするため、特に1であることが好ましい。
Lは好ましくは0または1であるが、重合反応を容易と
するため、特に好ましくは0である。したがってNは特
に3であることが好ましい。
In the structure of Formula 1, A is preferably hydrogen. R represents a methyl group, an ethyl group, or the like. It is a monovalent organic residue. X is preferably an alkoxy group in consideration of reactivity and corrosiveness to the magnetic film, and particularly preferably an alkoxy group having 4 or less carbon atoms such as a methoxy group in order to facilitate the polymerization reaction. M is preferably 1 or 2, but particularly preferably 1 in order to facilitate the polymerization reaction.
L is preferably 0 or 1, but particularly preferably 0 for facilitating the polymerization reaction. Therefore, N is particularly preferably 3.

【0055】このような化合物としては、以下の化学式
で示されるものが挙げられる。これらの化合物は、特開
昭51一11871号公報、特開昭63−23224号
公報に記載されている。
Such compounds include those represented by the following chemical formula. These compounds are described in JP-A-51-111871 and JP-A-63-23224.

【0056】◎

【化5】 Embedded image

【0057】また、耐熱性、低コスト化、重合速度調整
のため、例えばメチル基等の炭化水素基を含んだシラン
カップリング剤を混合して用いてもよい。炭化水素を含
んだシランカップリング剤を併用すると下塗膜の耐熱性
を向上させることもできる。具体的にはこの炭化水素基
を含んだシランカップリング剤は下記のような構造であ
る。 R−Si(OR’)3 但し、R,R’は炭化水素基、Rの炭素数は少ないほど
下塗膜の耐熱性の向上に効果的である。
For the purpose of heat resistance, cost reduction and polymerization rate adjustment, a silane coupling agent containing a hydrocarbon group such as a methyl group may be mixed and used. When a silane coupling agent containing a hydrocarbon is used in combination, the heat resistance of the undercoating film can be improved. Specifically, this silane coupling agent containing a hydrocarbon group has the following structure. R—Si (OR ′) 3 where R and R ′ are hydrocarbon groups, and the smaller the carbon number of R, the more effective the improvement of the heat resistance of the undercoat.

【0058】上記芳香族炭化水素基を有するシランカッ
プリング剤およびエポキシ基を有する有機残基を含んだ
シランカップリング剤のアルコキシシラン等の部分は後
述の方法によって塗布乾燥することによって加水分解、
重合してシロキサン結合を生成する。一方、エポキシ基
は酸触媒や熱によって開環重合する。この加水分解速度
と重合速度は必要に応じて塩酸等の酸を添加することに
よって調整できる。
A portion of the silane coupling agent having an aromatic hydrocarbon group and the silane coupling agent containing an organic residue having an epoxy group, such as alkoxysilane, is hydrolyzed by coating and drying by the method described below.
Polymerizes to form siloxane bonds. On the other hand, the epoxy group undergoes ring opening polymerization by an acid catalyst or heat. The hydrolysis rate and the polymerization rate can be adjusted by adding an acid such as hydrochloric acid as needed.

【0059】より低温から重合を開始させるためには、
硬化剤の併用が好ましく、例えば金属キレート化合物、
有機酸およびその塩、過塩素酸塩等、様々な化合物が知
られているが、特に硬化剤としては硬化の低温化、磁性
膜への腐食性の理由から金属キレート化合物が好まし
い。例えば3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラ
ンにアルミニウムアセチルアセトネートを硬化触媒とし
て加えた場合100℃前後で短時間加熱するだけで硬化
できる。したがってグラビア連続塗布方法を用いてブロ
ッキングを生じること無く、巻き取ることができる。こ
のような硬化剤としては、アルミニウムアセチルアセト
ネート、ジルコニウムアセチルアセトネート、チタニウ
ムアセチルアセトネート等のβ−ジケトン類と金属のキ
レート化合物が特に有効である。このとき使用される塗
布溶剤は塩酸の添加量やシランカップリング剤の構造に
よって決定されるが、エタノール、メタノール、イソプ
ロピルアルコール、シクロヘキサノン等を用いることが
できる。
In order to start the polymerization from a lower temperature,
It is preferable to use a curing agent in combination, for example, a metal chelate compound,
Various compounds such as organic acids and salts thereof, perchlorates and the like are known, but a metal chelate compound is particularly preferred as a curing agent from the viewpoint of lowering the curing temperature and corrosiveness to a magnetic film. For example, when aluminum acetylacetonate is added to 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane as a curing catalyst, curing can be performed only by heating at about 100 ° C. for a short time. Therefore, the film can be wound without blocking by using the gravure continuous coating method. As such a curing agent, a chelate compound of a metal with a β-diketone such as aluminum acetylacetonate, zirconium acetylacetonate, or titanium acetylacetonate is particularly effective. The coating solvent used at this time is determined by the amount of hydrochloric acid added and the structure of the silane coupling agent, but ethanol, methanol, isopropyl alcohol, cyclohexanone and the like can be used.

【0060】本発明において耐熱性樹脂フィルムに前述
の熱硬化性ポリイミド樹脂層または熱硬化性シリコーン
樹脂層からなる下塗膜を作製する方法としては、原料と
なるモノマーと必要に応じて硬化剤など加え、有機溶剤
に溶解した塗布溶液をワイヤーバー法、グラビア法、ス
プレー法、ディップコート法、スピンコート法等の手法
によって耐熱性樹脂フィルム上に塗布した後、乾燥する
方法を使用することができる。さらにこの後、必要に応
じて下塗膜を焼成して硬化を促進させ、耐熱性や耐溶剤
性、密着性などを向上させることができる。また乾燥は
溶剤を揮発させために行われるものであるが、この時点
で同時に硬化を行うこともできる。乾燥方法としては一
般的に行われている熱風乾燥、赤外線乾燥などが使用で
きる。このときの乾燥温度は60℃〜250℃程度が好
ましい。
In the present invention, a method for preparing an undercoating film comprising the above-mentioned thermosetting polyimide resin layer or thermosetting silicone resin layer on a heat-resistant resin film includes a monomer as a raw material and a curing agent if necessary. In addition, a method in which a coating solution dissolved in an organic solvent is applied on a heat-resistant resin film by a method such as a wire bar method, a gravure method, a spray method, a dip coating method, a spin coating method, and then dried can be used. . Further, after that, if necessary, the undercoating film is baked to accelerate the curing, and the heat resistance, the solvent resistance, the adhesion and the like can be improved. Drying is performed to evaporate the solvent, but curing can be performed at this time. As a drying method, hot air drying, infrared drying and the like which are generally performed can be used. The drying temperature at this time is preferably about 60 ° C to 250 ° C.

【0061】塗膜の乾燥の後、さらに硬化を促進させる
焼成方法としては熱風加熱、赤外線加熱、熱ローラー加
熱などが使用できる。このときの加熱温度としては塗膜
の厚みと後の磁性膜の成膜方法及び成膜温度にもよる
が、1μm前後の場合には100℃〜350℃、好まし
くは200℃〜270℃の範囲である。温度がこれより
も低い場合には重合反応の進行が不十分であったり、磁
性膜のスパッタリング時に残留ガスや分解ガスを発生
し、磁性膜の結晶成長を阻害することがある。逆に高す
ぎると支持体の変形を引き起こしたり、生産性の低下に
つながる。また加熱による重合以外にも紫外線照射、電
子線照射などによる重合が可能な材料の場合には、加熱
によらずにこれらの照射によって重合反応を行っても良
い。
After the coating film is dried, as a baking method for further promoting the curing, heating with hot air, heating with infrared rays, heating with a hot roller, or the like can be used. The heating temperature at this time depends on the thickness of the coating film, the method of forming the magnetic film afterward, and the film forming temperature, but in the case of about 1 μm, it is in the range of 100 ° C. to 350 ° C., preferably 200 ° C. to 270 ° C. It is. If the temperature is lower than this, the progress of the polymerization reaction may be insufficient, or a residual gas or a decomposition gas may be generated during the sputtering of the magnetic film, which may hinder the crystal growth of the magnetic film. Conversely, if it is too high, the support may be deformed or productivity may be reduced. In the case of a material that can be polymerized by ultraviolet irradiation, electron beam irradiation, or the like in addition to polymerization by heating, the polymerization reaction may be performed by these irradiations without heating.

【0062】また下塗膜表面に高さが非常に低い微小突
起を設けることによって、磁気記録媒体と摺動部材との
真実接触面積を低滅し、摺動特性を改善することができ
るため、基材上の磁性膜面には微小突起構造を有するも
のが特に好ましい。この微小突起構造は接着後の支持体
のハンドリング性も著しく高める効果がある。
Further, by providing very small height projections on the surface of the lower coating film, the real contact area between the magnetic recording medium and the sliding member can be reduced, and the sliding characteristics can be improved. It is particularly preferable that the surface of the magnetic film on the material has a minute projection structure. This micro-projection structure has the effect of significantly improving the handling of the support after bonding.

【0063】この様な微小突起構造を作製する方法とし
ては球状シリカ粒子を塗布する方法、エマルジョンを塗
布して有機物の突起を形成する方法などが使用できる
が、耐熱性を確保するためシリカ粒子が好ましい。また
突起をフィルム表面に固定するためにバインダーを用い
ることも可能であるが、耐熱性を確保するため、十分な
耐熱性を有する樹脂が好ましく、このような素材として
は本発明で接着剤として使用する熱硬化性イミドや熱硬
化性シリコーン樹脂を用いることが特に好ましい。微小
突起の高さは5〜60nm、好ましくは10〜30nm
であり、その密度は0.1〜100個/μm2 、好まし
くは1〜10個/μm2 である。微小突起の高さが高す
ぎると記録再生ヘッドと媒体のスペーシング損失によっ
て電磁変換特性が劣化し、微小突起が低すぎると摺動特
性の改善効果が少なくなる。微小突起の密度が小さすぎ
る場合は摺動特性の改善効果が小さくなり、多すぎると
凝集粒子の増加によって高い突起が増加して電磁変換特
性が劣化する。またバインダーの塗膜厚みは20nm以
下である。バインダーが厚すぎると乾燥後にフィルム裏
面と接着(ブロッキング)を生じる場合がある。
As a method of producing such a fine projection structure, a method of applying spherical silica particles, a method of forming an organic substance projection by applying an emulsion, etc. can be used. preferable. It is also possible to use a binder to fix the projections to the film surface, but a resin having sufficient heat resistance is preferable to ensure heat resistance, and such a material is used as an adhesive in the present invention. It is particularly preferable to use a thermosetting imide or a thermosetting silicone resin. The height of the microprojections is 5 to 60 nm, preferably 10 to 30 nm
And the density is 0.1 to 100 / μm 2 , preferably 1 to 10 / μm 2 . If the height of the minute projections is too high, the electromagnetic conversion characteristics are degraded due to the spacing loss between the recording / reproducing head and the medium. If the height of the minute projections is too low, the effect of improving the sliding characteristics is reduced. If the density of the fine projections is too low, the effect of improving the sliding characteristics is small. The coating thickness of the binder is 20 nm or less. If the binder is too thick, it may adhere (block) to the back surface of the film after drying.

【0064】本発明のフロッピーディスクにおける磁性
層となる強磁性金属薄膜はスパッタリング法や真空蒸着
法によって形成される。磁性層の組成としてはコバルト
を主体とした金属または合金が挙げられ、具体的にはC
o−Cr、Co−Ni−Cr、Co−Cr−Ta、Co
−Cr−Pt、Co−Cr−Ta−Pt、Co−Cr−
Pt−Si、Co−Cr−Pt−B、Co−O等が使用
できる。特に電磁変換特性を改善するためにCo−Cr
−Pt、Co−Cr−Pt−Taが好ましい。磁性層の
厚みは10〜30nmとするのが望ましい。
The ferromagnetic metal thin film serving as a magnetic layer in the floppy disk of the present invention is formed by a sputtering method or a vacuum evaporation method. Examples of the composition of the magnetic layer include metals or alloys mainly containing cobalt.
o-Cr, Co-Ni-Cr, Co-Cr-Ta, Co
-Cr-Pt, Co-Cr-Ta-Pt, Co-Cr-
Pt-Si, Co-Cr-Pt-B, Co-O or the like can be used. In particular, Co-Cr is used to improve electromagnetic conversion characteristics.
-Pt and Co-Cr-Pt-Ta are preferred. It is desirable that the thickness of the magnetic layer be 10 to 30 nm.

【0065】またこの場合磁性層の静磁気特性を改善す
るための下地層を設けることが好ましく、この下地層の
組成としては金属または合金などが挙げられ、具体的に
はCr、V、Ti、Ta、W、Si等またはこれらの合
金が使用でき、なかでもTa、Ni−P、Ni−Al、
Cr−Tiが特に好ましい。この下地層の厚みとしては
5nm〜50nmであり、好ましくは10nm〜30n
mである。
In this case, it is preferable to provide an underlayer for improving the magnetostatic characteristics of the magnetic layer. The composition of the underlayer may be a metal or an alloy. Specifically, Cr, V, Ti, Ta, W, Si or the like or an alloy thereof can be used. Among them, Ta, Ni-P, Ni-Al,
Cr-Ti is particularly preferred. The thickness of the underlayer is 5 nm to 50 nm, preferably 10 nm to 30 n.
m.

【0066】さらに下地層の結晶配向性を制御するため
に、下地層の下にシード層を用いることが好ましく、具
体的にはTa、Mo、W、V、Zr、Cr、Rh、H
f、Nb、Mn、Ni、Al、Ru、Tiまたはこれら
の合金、特に好ましくはTa、Cr、Tiまたはこれら
の合金であり、厚みとしては15〜60nmであること
が好ましい。また、これらは下地層と異なり、アモルフ
ァス状態または下地層よりも結晶子が小さい状態で使用
される。
In order to further control the crystal orientation of the underlayer, it is preferable to use a seed layer under the underlayer. Specifically, Ta, Mo, W, V, Zr, Cr, Rh, H
f, Nb, Mn, Ni, Al, Ru, Ti or an alloy thereof, particularly preferably Ta, Cr, Ti or an alloy thereof, and preferably has a thickness of 15 to 60 nm. Also, these are used in an amorphous state or in a state where the crystallite is smaller than that of the underlayer, unlike the underlayer.

【0067】さらに下塗膜とシード層との密着性を高め
るために、密着層を形成しても良く、シード層を形成し
ない場合には、下塗膜と下地層との密着性を高かめるた
めに密着層を導入してもよい。密着層としては具体的に
はCr、V、Ti、Ta、W、Si等またはこれらの合
金が使用できる。
In order to further enhance the adhesion between the undercoat and the seed layer, an adhesion layer may be formed. When the seed layer is not formed, the adhesion between the undercoat and the underlayer is increased. For this purpose, an adhesion layer may be introduced. As the adhesion layer, specifically, Cr, V, Ti, Ta, W, Si, or the like or an alloy thereof can be used.

【0068】スパッタリング法で磁性層を作製する場合
には、支持体を加熱した状態で成膜することが好まし
く、DCまたはRFマグネトロンスパッタリング法を用
い、支持体温度は100℃〜250℃とすることが好ま
しい。一方、支持体温度は加熱だけではなく、スパッタ
リング時の熱によっても加熱されるので注意を要する。
When the magnetic layer is formed by a sputtering method, it is preferable to form the film while the support is heated, and to use a DC or RF magnetron sputtering method and set the temperature of the support to 100 ° C. to 250 ° C. Is preferred. On the other hand, since the temperature of the support is not only heated but also heated by sputtering, care must be taken.

【0069】本発明の磁気記録媒体においては強磁性金
属薄膜上に保護膜が設けることが好ましく、この保護膜
によって走行耐久性、耐食性を著しく改善することがで
きる。保護膜としてはシリカ、アルミナ、チタニア、ジ
ルコニア、酸化コバルト、酸化ニッケルなどの酸化物、
窒化チタン、窒化ケイ素、窒化ホウ素などの窒化物、炭
化ケイ素、炭化クロム、炭化ホウ素等の炭化物、グラフ
ァイト、無定型カーボンなどの炭素からなる保護膜が挙
げられる。この保護膜としては、ヘッド材質と同等また
はそれ以上の硬度を有する硬質膜が好ましく、さらに摺
動中に焼き付きを生じ難く、その効果が安定して持続す
るものが最も好ましく、そのような保護膜としてはダイ
ヤモンド状炭素(DLC)と称される硬質炭素膜が挙げ
られる。
In the magnetic recording medium of the present invention, it is preferable to provide a protective film on the ferromagnetic metal thin film, and this protective film can significantly improve running durability and corrosion resistance. As the protective film, silica, alumina, titania, zirconia, cobalt oxide, oxides such as nickel oxide,
Examples of the protective film include nitrides such as titanium nitride, silicon nitride, and boron nitride; carbides such as silicon carbide, chromium carbide, and boron carbide; and carbon such as graphite and amorphous carbon. As the protective film, a hard film having a hardness equal to or higher than that of the head material is preferable. Further, a film that hardly causes seizure during sliding and has a stable and stable effect is most preferable. Examples include a hard carbon film called diamond-like carbon (DLC).

【0070】ダイヤモンド状炭素膜は、プラズマCVD
法、スパッタリング法等で作製したアモルファス炭素膜
であり、微視的にはsp2 結合によるクラスターとsp
3 結合によるクラスターの混合物である。この膜の硬度
はビッカース硬度で10×103MPa以上、好ましく
は20×103MPa以上である、ダイヤモンド状炭素
膜のラマン光分光分析によって測定した場合には、15
40-1cm付近にいわゆるGピークと呼ばれるメインピ
ークが、1390cm-1にいわゆるDピークと呼ぱれる
ショルダーが検出されることによって確認することがで
きる。これらのダイヤモンド状炭素膜はスパツタリング
法やCVD法によって作製することができるが、生産
性、品質の安定性および厚み10nm以下の超薄膜でも
良好な耐磨耗性を確保できるという点からCVD法によ
って作製することが好ましく、とくにプラズマによって
メタン、エタン、プロパン、ブタン等のアルカン、ある
いはエチレン、プロピレン等のアルケン、またはアセチ
レン等のアルキンをはじめとした炭素含有化合物を分解
して生成した化学種を磁性膜またはその手前に設けた電
極に負バイアス電圧を印加して加速して堆積する手法が
好ましい。
The diamond-like carbon film is formed by plasma CVD.
Law, an amorphous carbon film produced by sputtering, cluster and sp by microscopically sp 2 bond
It is a mixture of clusters by three bonds. This film has a Vickers hardness of 10 × 10 3 MPa or more, preferably 20 × 10 3 MPa or more. When measured by Raman spectroscopy of a diamond-like carbon film, the film has a hardness of 15 × 10 3 MPa or more.
A main peak called a so-called G peak is detected around 40 -1 cm, and a shoulder called a so-called D peak is detected at 1390 cm -1 . These diamond-like carbon films can be prepared by a sputtering method or a CVD method. However, the CVD method is used because the productivity, the stability of quality, and the good abrasion resistance can be ensured even with an ultrathin film having a thickness of 10 nm or less. It is preferable to produce a magnetic species by decomposing carbon-containing compounds such as alkane such as methane, ethane, propane and butane, or alkene such as ethylene and propylene, or alkyne such as acetylene. It is preferable to apply a negative bias voltage to the film or an electrode provided in front of the film to accelerate and deposit the film.

【0071】さらに原料ガスに窒素ガスを混合し、C、
H、Nからなるダイヤモンド状炭素とすることでヘッド
に対する摩擦係数を低減できる。硬質炭素保護膜の膜厚
が厚いと電磁変換特性の悪化や磁性層に対する密着性の
低下が生じ、膜厚が薄いと耐磨耗性が不足するために、
膜厚2〜30nmが好ましく、特に好ましくは5〜20
nmである。
Further, nitrogen gas is mixed with the raw material gas, and C,
By using diamond-like carbon composed of H and N, the coefficient of friction with respect to the head can be reduced. When the thickness of the hard carbon protective film is large, the electromagnetic conversion characteristics are deteriorated and the adhesion to the magnetic layer is reduced, and when the film thickness is small, the wear resistance is insufficient.
The thickness is preferably 2 to 30 nm, particularly preferably 5 to 20 nm.
nm.

【0072】本発明の磁気記録媒体において、走行耐久
性および耐食性を改善するため、上記磁性膜もしくは保
護膜上に潤滑剤や防錆剤を付与することが好ましい。潤
滑剤としては公知の炭化水素系潤滑剤、フッ素系潤滑
剤、極圧添加剤などが使用できる。炭化水素系潤滑剤と
してはステアリン酸、オレイン酸等のカルボン酸類、ス
テアリン酸ブチル等のエステル類、オクタデシルスルホ
ン酸等のスルホン酸類、リン酸モノオクタデシル等のリ
ン酸エステル類、ステアリルアルコール、オレイルアル
コール等のアルコール類、ステアリン酸アミド等のカル
ボン酸アミド類、ステアリルアミン等のアミン類などが
挙げられる。
In the magnetic recording medium of the present invention, in order to improve running durability and corrosion resistance, it is preferable to add a lubricant or a rust inhibitor to the magnetic film or the protective film. As the lubricant, known hydrocarbon-based lubricants, fluorine-based lubricants, extreme pressure additives and the like can be used. Examples of the hydrocarbon-based lubricant include carboxylic acids such as stearic acid and oleic acid, esters such as butyl stearate, sulfonic acids such as octadecylsulfonic acid, phosphoric esters such as monooctadecyl phosphate, stearyl alcohol, oleyl alcohol and the like. Alcohols, carboxylic acid amides such as stearic acid amide, and amines such as stearylamine.

【0073】フッ素系潤滑剤としては上記炭化水素系潤
滑剤のアルキル基の一部または全部をフルオロアルキル
基もしくはパーフルオロポリエーテル基で置換した潤滑
剤が挙げられる。パーフルオロポリエーテル基としては
パーフルオロメチレンオキシド重合体、パーフルオロエ
チレンオキシド重合体、パーフルオロ−n−プロピレン
オキシド重合体(CF2CF2CF2O)、パーフルオロ
イソプロピレンオキシド重合体(CF(CF3)CF
20)n 、またはこれらの共重合体等である。具体的は
分子量末端に水酸基を有するパーフルオロメチレン−パ
ーフルオロエチレン共重合体(FOMBLIN Z−D
OL)等が挙げられる。
Examples of the fluorine-based lubricant include lubricants in which part or all of the alkyl group of the hydrocarbon-based lubricant is substituted with a fluoroalkyl group or a perfluoropolyether group. Examples of the perfluoropolyether group include a perfluoromethylene oxide polymer, a perfluoroethylene oxide polymer, a perfluoro-n-propylene oxide polymer (CF 2 CF 2 CF 2 O), and a perfluoroisopropylene oxide polymer (CF (CF 3 ) CF
20 ) n or a copolymer thereof. Specifically, a perfluoromethylene-perfluoroethylene copolymer having a hydroxyl group at a molecular weight terminal (FOMBLIN Z-D)
OL) and the like.

【0074】極圧添加剤としてはリン酸トリラウリル等
のリン酸エステル類、亜リン酸トリラウリル等の亜リン
酸エステル類、トリチオ亜リン酸トリラウリル等のチオ
亜リン酸エステルやチオリン酸エステル類、二硫化ジベ
ンジル等の硫黄系極圧剤などが挙げられる。
Examples of extreme pressure additives include phosphoric esters such as trilauryl phosphate, phosphites such as trilauryl phosphite, thiophosphites and thiophosphoric esters such as trilauryl trithiophosphite, and the like. And sulfur-based extreme pressure agents such as dibenzyl sulfide.

【0075】上記潤滑剤は単独もしくは複数を併用して
使用される。これらの潤滑剤を磁性膜もしくは保護膜上
に付与する方法としては潤滑剤を有機溶剤に溶解し、ワ
イヤーバー法、グラビア法、スピンコート法、ディップ
コート法等で塗布するか、真空蒸着法によって付着させ
ればよい。潤滑剤の塗布量としては1〜30mg/m2
が好ましく、2〜20mg/m2が特に好ましい。
The above lubricants are used alone or in combination of two or more. As a method of applying these lubricants on a magnetic film or a protective film, a lubricant is dissolved in an organic solvent and applied by a wire bar method, a gravure method, a spin coating method, a dip coating method, or a vacuum evaporation method. What is necessary is just to make it adhere. The amount of the lubricant to be applied is 1 to 30 mg / m 2.
Preferably, 2 to 20 mg / m 2 is particularly preferred.

【0076】本発明で使用できる防錆剤としてはベンゾ
トリアゾール、ベンズイミダゾール、プリン、ピリミジ
ン等の窒素含有複素環類およびこれらの母核にアルキル
側鎖等を導入した誘導体、ベンゾチアゾール、2−メル
カプトベンゾチアゾール、テトラザインデン環化合物、
チオウラシル化合物等の窒素および硫黄含有複素環類お
よびこの誘導体等が挙げられる。これらは潤滑剤に混合
して保護膜上に塗布しても良いし、潤滑剤を塗布する前
に保護膜上に塗布し、その上に潤滑剤を塗布しても良
い。防錆剤の塗布量としては0.1〜10mg/m2
好ましく、0.5〜5mg/m2 が特に好ましい。
Examples of the rust preventives usable in the present invention include nitrogen-containing heterocycles such as benzotriazole, benzimidazole, purine and pyrimidine, derivatives having an alkyl side chain introduced into the mother nucleus thereof, benzothiazole, 2-mercapto Benzothiazole, tetrazaindene ring compound,
Nitrogen- and sulfur-containing heterocycles such as thiouracil compounds and derivatives thereof. These may be mixed with a lubricant and applied on the protective film, or may be applied on the protective film before applying the lubricant, and the lubricant may be applied thereon. Preferably 0.1 to 10 mg / m 2 as a coating amount of rust preventives, 0.5 to 5 mg / m 2 is particularly preferred.

【0077】このような目的で使用可能なテトラサイン
デン環化合伽には、下記に示すものが挙げられる。
The tetrasignedene cyclization compounds usable for such a purpose include the following.

【0078】◎

【化6】 Embedded image

【0079】ここで、Rには、アルキル基、アルコキシ
基、アルキルアミド基から選ばれる炭化水素基である。
特に好ましくは、炭素数3以上20以下であり、アルコ
キシの場合には R4OCOCH2−のR4 は、C3
7−、C613−、フェニル、またアルキル基の場合に
は、C613−、C919−、C1735−が挙げられ、ア
ルキルアミドの場合にはR5NHCOCH2−のR5はフ
ェニル、C37−が挙げられる。また、チオウラシル環
化合物には、下記に示すものが挙げられる。
Here, R is a hydrocarbon group selected from an alkyl group, an alkoxy group and an alkylamide group.
Particularly preferably not having 3 to 20 carbon atoms, R 4 OCOCH 2 in the case of alkoxy - R 4 s, C 3 H
7 -, C 6 H 13 - , phenyl, also in the case of alkyl groups, C 6 H 13 -, C 9 H 19 -, C 17 H 35 - , and the like, in the case of an alkylamide R 5 NHCOCH 2 - the R 5 phenyl, C 3 H 7 - and the like. Further, examples of the thiouracil ring compound include the following.

【0080】◎

【化7】 Embedded image

【0081】ここで、Rは、上記したテトラザインデン
環化合物におけるものと同様のものから選ばれる。
Here, R is selected from the same as those in the above-mentioned tetrazaindene ring compound.

【0082】[0082]

【実施例】以下に実施例を示し、本発明を説明する。 実施例1 図2に示す成型装置10において、真空槽11内に、ア
ルミニウム製の基台12にフッ素ゴム(デュポン社 バ
イトン)板13を載置し、さらにアルミニウム板14、
熱電対を備えたプレートヒータ15を載置し、プレート
ヒータ面上に鏡面研磨した直径8インチのシリコン基板
16を載置し、この上に平滑面の最大突起粗さRmax
0.06μm、平均中心線粗さRaが0.8nm、厚み
12μm、直径20cmの円盤状の芳香族ポリアミドフ
ィルムを平滑面が上となるように広げ、この上に表面の
平均中心線粗さRaが0.2μm、厚み25μm、直径
18cmの円盤状のポリエーテルイミドフィルムを平滑
面が外側となるように背中合わせで2枚重ね、さらにそ
の上に平滑面が下面となるように前記芳香族ポリアミド
フィルムを重ねた試料17を載置した。試料17上に
は、鏡面研磨したシリコン板18を重ね、シリコン板1
8上には熱電対を備えたプレートヒータ19を載置し、
最上部にアルミニウム板20を載置して、排気口21に
結合した減圧装置(図示しない)により成型装置10内
を0.1Paまで脱気し、この状態で試料を150℃で
1時間予備加熱した。
The present invention will be described below with reference to examples. Example 1 In a molding apparatus 10 shown in FIG. 2, a fluororubber (Viton Co., Ltd.) plate 13 was placed on an aluminum base 12 in a vacuum chamber 11.
Placing the plate heater 15 having a thermocouple was placed a diameter of 8 inch silicon substrate 16 was mirror-polished on the plate heater surface, the maximum protrusion roughness R max of the smooth surface on the is 0.06 .mu.m, A disk-shaped aromatic polyamide film having an average centerline roughness Ra of 0.8 nm, a thickness of 12 μm, and a diameter of 20 cm is spread so that a smooth surface is on the top, and the average centerline roughness Ra of the surface is 0.2 μm on this. A sample in which two disk-shaped polyetherimide films each having a thickness of 25 μm and a diameter of 18 cm are stacked back to back so that the smooth surface faces outward, and the aromatic polyamide film is further stacked thereon such that the smooth surface faces downward. 17 was placed. On the sample 17, a mirror-polished silicon plate 18 is superimposed,
A plate heater 19 equipped with a thermocouple is placed on 8,
The aluminum plate 20 is placed on the top, and the inside of the molding device 10 is evacuated to 0.1 Pa by a decompression device (not shown) connected to the exhaust port 21. In this state, the sample is preheated at 150 ° C. for 1 hour. did.

【0083】次に、成型装置上部に設けた空気シリンダ
22によって圧力10kPaで加圧してプレスし、28
0℃で1時間加熱成型した。その後、試料を取りだし、
両面の芳香族ポリアミドフィルムを引き剥がし、支持体
1Aとした。次に、この支持体1Aの表面に熱硬化型イ
ミド樹脂(丸善石油化学社製BANI−NB)のエタノ
ールに溶解した溶液をディップコート法で塗布し、室温
で乾燥した後、180℃で3時間加熱し、厚み1.0μ
m下塗膜を作製した。さらにこの上に、直径25nmの
シリカ粒子と熱硬化性イミド樹脂のエタノール溶液を塗
布した後、180℃で1時間乾燥して、突起高さの平均
値が約20nm、突起密度が3個/μm2の微小突起を
形成した。これを支持体1Bとした。
Next, pressurization is performed at a pressure of 10 kPa by an air cylinder 22 provided at the upper part of the molding apparatus, and the pressurization is performed.
Heat molding was performed at 0 ° C. for 1 hour. After that, take out the sample,
The aromatic polyamide film on both sides was peeled off to obtain a support 1A. Next, a solution of a thermosetting imide resin (BANI-NB manufactured by Maruzen Petrochemical Co., Ltd.) dissolved in ethanol was applied to the surface of the support 1A by dip coating, dried at room temperature, and then at 180 ° C. for 3 hours. Heat, thickness 1.0μ
m undercoat was prepared. Further, an ethanol solution of silica particles having a diameter of 25 nm and a thermosetting imide resin is applied thereon, followed by drying at 180 ° C. for 1 hour. The average height of the projections is about 20 nm, and the density of the projections is 3 / μm. Two microprojections were formed. This was designated as support 1B.

【0084】次いでこの支持体1Aまたは1Bを切り出
し、均一な張力を印加する円形のホルダーに挟み込んで
固定し、磁性膜形成用のスパッタリング装置に設置し、
支持体を150℃に加熱した後、DCマグネトロンスパ
ッタリング法でCr−Ti下地膜を30nm成膜し、さ
らに引き続きCo−Cr−Pt磁性膜を30nm成膜し
た。 この下地膜、磁性膜は支持体の両面に対して成膜
した。さらにこの試料をスパッタリング装置から取り出
し、磁性膜上にエタンを原料としたプラズマCVD法に
よって厚み15nmのダイヤモンド状炭素膜からなる保
護膜を成膜した。
Next, the support 1A or 1B is cut out, inserted and fixed in a circular holder to which a uniform tension is applied, and set in a sputtering apparatus for forming a magnetic film.
After heating the support to 150 ° C., a 30 nm Cr—Ti underlayer was formed by DC magnetron sputtering, and a 30 nm Co—Cr—Pt magnetic film was formed. The base film and the magnetic film were formed on both sides of the support. Further, this sample was taken out from the sputtering apparatus, and a protective film made of a diamond-like carbon film having a thickness of 15 nm was formed on the magnetic film by a plasma CVD method using ethane as a raw material.

【0085】次に、この試料をホルダーから取り出し、
この保護膜上にパーフルオロポリエーテル系潤滑剤(ア
ウジモント社製FOMBLIN Z−DOL)をフッ素
系溶剤(住友スリーエム社製FC−77)に溶解した溶
液をディップコート法で塗布して厚み1nmの潤滑膜を
作製した。そしてこの試料を3.5型の磁気ディスク形
状に打ち抜き、フロッピーディスクを作製した。これら
の試料をそれぞれディスク1A、ディスク1Bとした。
後述のカール測定後、このディスクはZipドライブ用
シェル(富士写真フイルム製)に組み込んだ。
Next, the sample is taken out of the holder,
A solution in which a perfluoropolyether-based lubricant (FOMBLIN Z-DOL manufactured by Ausimont) is dissolved in a fluorinated solvent (FC-77 manufactured by Sumitomo 3M) is applied on the protective film by dip coating, and lubricated to a thickness of 1 nm. A film was prepared. Then, the sample was punched into a 3.5-type magnetic disk to produce a floppy disk. These samples were used as disks 1A and 1B, respectively.
After the curl measurement described later, this disk was incorporated into a Zip drive shell (manufactured by Fuji Photo Film).

【0086】実施例2 実施例1において用いた成型装置において、直径20c
mのアルミニウム板上に鏡面研磨した直径8インチのシ
リコン基板を設置し、この上に平滑面の最大突起粗さR
max が0.1μm、平均中心線粗さRaが1.2nm、
厚み25μm、直径20cmの円状の芳香族ポリイミド
フィルムを平滑面が上面となるように広げ、この上に表
面の平均中心線粗さRaが10nm、厚み25μm、直
径18cmの円盤状のポリエーテルエーテルケトンフィ
ルムを平滑面が外側となるように背中合わせで重ね、さ
らにその上に平滑面が下面となるように前記芳香族ポリ
イミドフィルム、シリコン基板、アルミニウム板を順次
重ねた。
Example 2 In the molding apparatus used in Example 1, the diameter was 20c.
An 8-inch diameter silicon substrate, which has been mirror-polished, is placed on an aluminum plate having a maximum surface roughness of about 8 m.
max is 0.1 μm, average center line roughness Ra is 1.2 nm,
A circular aromatic polyimide film having a thickness of 25 μm and a diameter of 20 cm is spread so that the smooth surface thereof becomes the upper surface, and a disc-shaped polyetherether having an average center line roughness Ra of 10 nm, a thickness of 25 μm and a diameter of 18 cm is formed thereon. The ketone film was stacked back to back so that the smooth surface was on the outside, and the aromatic polyimide film, the silicon substrate, and the aluminum plate were sequentially stacked thereon such that the smooth surface was on the bottom.

【0087】これを1組とし、これを10組重ね、この
成型装置内を0.1Paまで脱気し、この状態で試料を
150℃で1時間予備加熱加熱した。次に圧力100k
Paでプレスし、320℃で1時間加熱成型した。その
後、このフィルムを取りだし、両面の芳香族ポリイミド
フィルムを引き剥がし、支持体2Aとした。支持体2A
について実施例1と同様に下塗り膜、磁性膜などを作成
し、支持体2B、ディスク2A、ディスク2Bとした。
One set of these was set, and 10 sets were stacked. The inside of the molding apparatus was evacuated to 0.1 Pa, and the sample was preheated and heated at 150 ° C. for 1 hour in this state. Next, pressure 100k
It was pressed at Pa and heat molded at 320 ° C. for 1 hour. Thereafter, this film was taken out, and the aromatic polyimide film on both sides was peeled off to obtain a support 2A. Support 2A
An undercoat film, a magnetic film, and the like were formed in the same manner as in Example 1 to obtain a support 2B, a disk 2A, and a disk 2B.

【0088】実施例3 実施例1において用いた成型装置において、平滑面の最
大突起粗さRmaxが0.06μm、平均中心線粗さRa
が0.6nm、厚み12μmの芳香族ポリアミドフィル
ムの表面に熱硬化型イミド樹脂(丸善石油化学社製BA
NI−NB)のシクロヘキサノン/エタノール混合溶媒
(重量比1:1)に溶解した溶液をディップコート法で
塗布し、室温で乾燥した後、350℃で1時間加熱し、
厚み1.0μm平滑化層を作成した。この平滑化層の表
面は最大突起粗さが0.04μm、中心線平均粗さが
0.6nmであった。
Example 3 In the molding apparatus used in Example 1, the maximum roughness R max of the smooth surface was 0.06 μm, and the average center line roughness Ra was
Is a thermosetting imide resin (BA manufactured by Maruzen Petrochemical Co., Ltd.) on the surface of an aromatic polyamide film having a thickness of 0.6 nm and a thickness of 12 μm.
A solution of NI-NB) in a mixed solvent of cyclohexanone / ethanol (weight ratio 1: 1) was applied by dip coating, dried at room temperature, and then heated at 350 ° C. for 1 hour.
A smoothing layer having a thickness of 1.0 μm was formed. The surface of this smoothing layer had a maximum projection roughness of 0.04 μm and a center line average roughness of 0.6 nm.

【0089】次に鏡面研磨したアルミニウム板上にこの
芳香族ポリアミドフィルムを20cm角の正方形として
平滑面が上面となるように広げ、この上に表面の中心線
平均粗さRaが20nm、厚み25μm、18cm角の
正方形状のポリエーテルスルホンフィルムを平滑面が外
側となるように背中合わせで重ね、さらにその上に平滑
面が下面となるように前記芳香族ポリアミドフィルムを
重ねた。これを1組とし、大気中で150℃1時間の予
備乾燥を行った後、真空中でロール温度が350℃の誘
導加熱ロールを線圧力500N/mを加えながら、0.
1m/secの速度で走行させ成型した。これを大気中
に取り出し、両面の芳香族ポリアミドフイルムを引き剥
がし、支持体3Aとした。支持体3Aについて実施例1
と同様に下塗膜、磁性膜などを成膜し、支持体3B、デ
ィスク3A、ディスク3Bとした。
Next, this aromatic polyamide film was spread on a mirror-polished aluminum plate as a square of 20 cm square so that the smooth surface became the upper surface, and the center line average roughness Ra of the surface was 20 nm, the thickness was 25 μm, An 18 cm square polyethersulfone film was stacked back to back so that the smooth surface was on the outside, and the aromatic polyamide film was further stacked thereon such that the smooth surface was on the bottom. After making pre-drying at 150 ° C. for 1 hour in the air, the rolls were heated in vacuum at an induction heating roll having a roll temperature of 350 ° C. while applying a linear pressure of 500 N / m.
The mold was run at a speed of 1 m / sec. This was taken out to the atmosphere, and the aromatic polyamide film on both sides was peeled off to obtain a support 3A. Example 1 of support 3A
In the same manner as described above, a lower coating film, a magnetic film, and the like were formed into a support 3B, a disk 3A, and a disk 3B.

【0090】比較例1 実施例1において、厚み50μmのポリエーテルイミド
フィルムを支持体4Aとし、このポリエーテルイミド上
に直接または実施例1と同様の下塗膜を設けた後、フロ
ッピーディスクを作製し、これらをディスク4A、ディ
スク4Bとした。
Comparative Example 1 In Example 1, a polyetherimide film having a thickness of 50 μm was used as the support 4A, and an undercoating film was provided directly on the polyetherimide or in the same manner as in Example 1, and then a floppy disk was produced. These were used as a disk 4A and a disk 4B.

【0091】比較例2 実施例1において本発明の耐熱性樹脂フィルムを使用せ
ず、シリコン基板上に直接ポリエーテルイミドフィルム
を成型した。しかし、この場合、シリコン基板とポリエ
ーテルイミドフィルムを引き剥がすことができず、支持
体を作製することができなかった。
Comparative Example 2 A polyetherimide film was formed directly on a silicon substrate in Example 1 without using the heat-resistant resin film of the present invention. However, in this case, the silicon substrate and the polyetherimide film could not be peeled off, and a support could not be produced.

【0092】作製した試料は以下の評価方法によって評
価を行った。 (評価方法) (1)外観 各実施例の支持体ならびにフロッピーディスクについて
目視ならびに光学顕微鏡観察(100倍)をおこない、
支持体の表面粗れの有無を調べた。 (2)表面性 フロッピーディスクの試料の表裏両面について、光学式
の粗さ計を用いて250μm四方の面積について表面粗
さRaを調べた。 (3)カール値 各支持体および完成したフロッピーデイスクを3.5型
のフロッピーデイスク形状に打ち抜き、これらを垂直に
立てた状態で、デイスク中心をリングで固定した状態で
60rpmで回転させた。そしてこの一定の半径方向に
ついて内周からの半径位置20mm〜45mmの範囲を
レーザー変位計で走査し、ディスク−変位計距離が最短
となる距離と最長となる距離の差を求め、カール値とし
た。 (4)電磁変換特性 作製したフロッピーディスクを3000rpmで回転さ
せ、半径位置32mmについてインダクティブヘッドで
12MHzの信号を記録再生した。このときの信号出力
を実施例1Bの出力に対して相対評価した。
The prepared samples were evaluated by the following evaluation methods. (Evaluation method) (1) Appearance The support and the floppy disk of each example were visually observed and observed with an optical microscope (100 times).
The support was examined for surface roughness. (2) Surface Properties The surface roughness Ra of each of the front and back surfaces of the floppy disk sample was measured using an optical roughness meter for an area of 250 μm square. (3) Curl value Each support and the completed floppy disk were punched out into a 3.5-type floppy disk shape, and the disks were rotated up to 60 rpm with the disk center fixed with a ring while standing upright. Then, the laser displacement meter scans the range of the radial position 20 mm to 45 mm from the inner circumference with respect to this constant radial direction, and the difference between the shortest distance and the longest distance of the disk-displacement meter distance is determined as the curl value. . (4) Electromagnetic Conversion Characteristics The prepared floppy disk was rotated at 3000 rpm, and a signal of 12 MHz was recorded and reproduced with an inductive head at a radial position of 32 mm. The signal output at this time was evaluated relative to the output of Example 1B.

【0093】上記評価方法に基づいて、各実施例、およ
び比較例で作製した試料を評価した評価結果を表1に示
す。
Table 1 shows the results of evaluation of the samples produced in each of the examples and comparative examples based on the above evaluation method.

【0094】[0094]

【表1】 試料 外観 表面粗さ(nm) カール(mm) 出力(dB) 表面 裏面 実施例1 支持体1A 良好 良好 0.3 支持体1B 良好 良好 0.4 ディスク1A 良好 1.0 1.1 良好 0.5 −3.9 ディスク1B 良好 0.8 0.8 良好 0.6 0 実施例2 支持体2A 良好 良好 0.2 支持体2B 良好 良好 0.3 ディスク2A 良好 1.5 1.8 良好 0.4 −4.5 ディスク2B 良好 0.9 1.1 良好 0.5 −1.1 実施例3 支持体3A 良好 良好 0.9 支持体3B 良好 良好 0.8 ディスク3A 良好 1.1 1.3 良好 1.0 +1.2 ディスク3B 良好 1.0 1.0 良好 0.9 −0.9 比較例1 支持体4A 良好 不良 2.6 支持体4B 良好 不良 1.9 ディスク4A 良好 210 220 不良 3.4 −12.5 ディスク4B 良好 80 110 不良 2.2 −8.9 Table 1 Sample Appearance Surface roughness (nm) Curl (mm) Output (dB) Surface Back side Example 1 Support 1A Good Good 0.3 Support 1B Good Good 0.4 Disk 1A Good 1.0 1.1 Good 0.5 -3.9 Disc 1B Good 0.8 0.8 Good 0.6 0 Example 2 Support 2A Good Good 0.2 Support 2B Good Good 0.3 Disc 2A Good 1.5 1.8 Good 0.4 -4.5 Disc 2B Good 0.9 1.1 Good 0.5-1.1 Example 3 Support 3A Good Good 0.9 Support 3B Good Good 0.8 Disc 3A Good 1.1 1.3 Good 1.0 +1.2 Disc 3B Good 1.0 1.0 Good 0.9- 0.9 Comparative Example 1 Support 4A Good Bad 2.6 Support 4B Good Bad 1.9 Disk 4A Good 210 220 Bad 3.4 -12.5 Disk 4B Good 80 110 Bad 2.2-8.9

【0095】上記実施例からもわかるように本発明によ
って作製した実施例の支持体およびフロッピーディスク
は比較例と比較して接着性、カール量の全て良好であ
り、耐熱性樹脂フィルムの引き剥がしによる面あれも生
じていないことがわかる。さらに本発明を使用した実施
例の表面性は使用した耐熱性樹脂フィルムとほぼ同等の
レベルまで改善されたことがわかる。
As can be seen from the above examples, the support and the floppy disk of the examples prepared according to the present invention have better adhesiveness and curl amount as compared with the comparative examples, and are obtained by peeling off the heat-resistant resin film. It can be seen that no surface failure has occurred. Further, it can be seen that the surface properties of the examples using the present invention were improved to almost the same level as the heat-resistant resin film used.

【0096】[0096]

【発明の効果】本発明によって、そりが少なく、表面が
平滑かつ欠陥が少ない支持体を作成することができ、こ
の支持体を用いて作成したフロッピーディスクはカール
量も小さくすることができる。
According to the present invention, it is possible to produce a support having a small warpage, a smooth surface and few defects, and a floppy disk produced using this support can have a small curl amount.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】図1は、本発明のフロッピーディスクの断面図
である。
FIG. 1 is a sectional view of a floppy disk according to the present invention.

【図2】図2は、本発明のフロッピーディスクの支持体
を成型する成型装置の一例を説明する図であり、断面図
である。
FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating an example of a molding device for molding a floppy disk support of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…フロッピーディスク、2…熱可塑性樹脂フィルム、
3…下塗膜、4…磁性膜、5…保護膜、6…潤滑膜、1
0…成型装置、11…真空槽、12…基台、13…フッ
素ゴム板、14,20…アルミニウム板、15,19…
プレートヒータ、16,18…シリコン基板、17…試
料、21…排気口、22…空気シリンダ
1 ... floppy disk, 2 ... thermoplastic resin film,
3: Undercoat, 4: Magnetic film, 5: Protective film, 6: Lubricating film, 1
0: molding apparatus, 11: vacuum chamber, 12: base, 13: fluoro rubber plate, 14, 20: aluminum plate, 15, 19 ...
Plate heater, 16, 18 silicon substrate, 17 sample, 21 exhaust port, 22 air cylinder

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G11B 5/84 G11B 5/84 A Z // B29K 61:00 B29K 61:00 71:00 71:00 77:00 77:00 B29L 9:00 B29L 9:00 17:00 17:00 Fターム(参考) 4F100 AK01A AK01B AK01C AK47B AK49A AK49B AK54A AK55A AK56A AR00D AR00E BA05 BA07 BA10B BA10E EH662 EJ172 EJ422 EJ912 GB41 JB16A JG06D JJ03B JJ03C JK15 JK16E JL00E JL04 4F208 AA24 AA32 AA34 AA40 AC03 AD05 AD08 AG01 AG03 AG19 AH38 AH79 AM28 AR06 MA05 MB01 MB11 MB22 MC03 MG04 MH06 MH10 MK20 MW02 MW21 5D006 CB01 CB02 CB07 CB08 DA02 FA00 FA04 5D112 AA02 AA11 AA24 BA01 BA09 GB01 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme court ゛ (Reference) G11B 5/84 G11B 5/84 AZ // B29K 61:00 B29K 61:00 71:00 71:00 77 : 00 77:00 B29L 9:00 B29L 9:00 17:00 17:00 F term (reference) 4F100 AK01A AK01B AK01C AK47B AK49A AK49B AK54A AK55A AK56A AR00D AR00E BA05 BA07 BA10B BA10E EH662 EJ172 J03J03 EJ422 EJ912 GB03 JK16E JL00E JL04 4F208 AA24 AA32.

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 フロッピーディスクにおいて、熱可塑性
樹脂フィルムの両面に耐熱性樹脂フィルムを圧着させて
熱成型によって作製した平滑な熱可塑性フィルム表面に
少なくとも磁性膜、保護膜、潤滑膜を積層したことを特
徴とするフロッピーディスク。
In a floppy disk, at least a magnetic film, a protective film, and a lubricating film are laminated on a surface of a smooth thermoplastic film produced by pressing a heat-resistant resin film on both surfaces of a thermoplastic resin film and thermoforming. Features floppy disk.
【請求項2】 熱可塑性樹脂フィルムがポリエーテルイ
ミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルスル
ホンからなる群から選ばれるものであることを特徴とす
る請求項1記載のフロッピーディスク。
2. The floppy disk according to claim 1, wherein the thermoplastic resin film is selected from the group consisting of polyetherimide, polyetheretherketone, and polyethersulfone.
【請求項3】 熱可塑性樹脂フィルムの両面に下塗膜を
設けたことを特徴とする請求項1または2記載のフロッ
ピーディスク。
3. The floppy disk according to claim 1, wherein an undercoat is provided on both surfaces of the thermoplastic resin film.
【請求項4】 フロッピーディスク用支持体の製造方法
において、支持体用の熱可塑性樹脂フィルムの両面に耐
熱性樹脂フィルムを圧着させた後、該熱可塑性樹脂フィ
ルムを融点以上の温度に加熱した状態で熱成型し、冷却
後に該耐熱性フィルムを引き剥がすことによって表面を
平滑にすることを特徴とするフロッピーディスク用支持
体の製造方法。
4. A method for producing a support for a floppy disk, wherein a heat-resistant resin film is pressure-bonded to both sides of a thermoplastic resin film for a support, and the thermoplastic resin film is heated to a temperature equal to or higher than the melting point. A method for producing a support for a floppy disk, wherein the surface is smoothed by peeling off the heat-resistant film after cooling.
【請求項5】 フロッピーディスク用支持体の製造方法
において、支持体用の熱可塑性樹脂フィルムを融点以上
に加熱し、その両面に耐熱性樹脂フィルムを圧着させ成
型し、冷却後に該耐熱性フィルムを引き剥がすことによ
って表面を平滑にすることを特徴とするフロッピーディ
スク用支持体の製造方法。
5. A method for manufacturing a support for a floppy disk, comprising: heating a thermoplastic resin film for a support to a temperature equal to or higher than a melting point; pressing and molding a heat-resistant resin film on both surfaces thereof; A method for producing a support for a floppy disk, characterized in that the surface is smoothed by peeling.
【請求項6】 該熱可塑性樹脂フィルムがポリエーテル
イミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルス
ルホンからなる群から選ばれる少なくとも1種であるこ
とを特徴とする請求項4または5記載のフロッピーディ
スク用支持体の製造方法。
6. The support for a floppy disk according to claim 4, wherein the thermoplastic resin film is at least one selected from the group consisting of polyetherimide, polyetheretherketone, and polyethersulfone. How to make the body.
【請求項7】 該耐熱性樹脂フィルムが芳香族ポリイミ
ドまたは芳香族ポリアミドのいずれかであることを特徴
とする請求項4または5記載のフロッピーディスク用支
持体の製造方法。
7. The method for producing a support for a floppy disk according to claim 4, wherein the heat-resistant resin film is one of aromatic polyimide and aromatic polyamide.
【請求項8】 該耐熱性樹脂フィルム表面に平滑化膜が
設けられていることを特徴とする請求項4ないし7のい
ずれかに記載のフロッピーディスク用支持体の製造方
法。
8. The method for producing a support for a floppy disk according to claim 4, wherein a smoothing film is provided on the surface of the heat-resistant resin film.
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