JP2001215201A - Ｘ線撮影方法と装置 - Google Patents
Ｘ線撮影方法と装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 シンチレータに欠陥があってもそれの影響な
く対象物の鮮明な画像が得られるようにする。 【解決手段】 シンチレータ３の面方向の移動中に対象
物１のＸ線撮影を行なうことにより、上記の目的を達成
する。
く対象物の鮮明な画像が得られるようにする。 【解決手段】 シンチレータ３の面方向の移動中に対象
物１のＸ線撮影を行なうことにより、上記の目的を達成
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はＸ線を用いて対象物
の透過画像を撮影するＸ線撮影方法と装置に関し、対象
物の内部検査などに利用される。
の透過画像を撮影するＸ線撮影方法と装置に関し、対象
物の内部検査などに利用される。
【０００２】
【従来の技術】従来、シンチレータを用いたＸ線撮影装
置は特開平１１−１９０７７３号公報で既に知られてい
る。このものは、図５に示すように対象物ａにＸ線ｂを
照射して透過したＸ線ｂをシンチレータｃで受けて可視
光に変換し、この変換によりシンチレータｃ上に映じた
対象物ａの透過画像をＣＣＤカメラｄにより撮影するよ
うにしている。シンチレータｃはＸ線によって発光する
粉末状のＸ線蛍光体ｅをシリコン基板ｆ上の溝の中に均
一に形成することにより、Ｘ線シンチレータｃの表面の
光の拡散を防いで分解能の高いＸ線撮影装置を実現しよ
うとするものであり、表面は強化ガラスｋにより覆って
いる。
置は特開平１１−１９０７７３号公報で既に知られてい
る。このものは、図５に示すように対象物ａにＸ線ｂを
照射して透過したＸ線ｂをシンチレータｃで受けて可視
光に変換し、この変換によりシンチレータｃ上に映じた
対象物ａの透過画像をＣＣＤカメラｄにより撮影するよ
うにしている。シンチレータｃはＸ線によって発光する
粉末状のＸ線蛍光体ｅをシリコン基板ｆ上の溝の中に均
一に形成することにより、Ｘ線シンチレータｃの表面の
光の拡散を防いで分解能の高いＸ線撮影装置を実現しよ
うとするものであり、表面は強化ガラスｋにより覆って
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、電子部品を
回路基板に実装して電子回路基板を製造する分野では、
近年、半導体ベアチップの電極の上に金属バンプを形成
しておき、この金属バンプを回路基板の導体ランドなど
に金属接合や半田接合させたり、接触状態に接着して接
合したりして直接実装するフリップチップ実装が広く採
用されるようになっている。
回路基板に実装して電子回路基板を製造する分野では、
近年、半導体ベアチップの電極の上に金属バンプを形成
しておき、この金属バンプを回路基板の導体ランドなど
に金属接合や半田接合させたり、接触状態に接着して接
合したりして直接実装するフリップチップ実装が広く採
用されるようになっている。
【０００４】このフリップチップ実装では、電子部品と
回路基板との接合部は双方の間にあって外部から見えな
いので、リードを利用した電子部品の実装において従来
から行なわれている外観検査ができなくなっている。
回路基板との接合部は双方の間にあって外部から見えな
いので、リードを利用した電子部品の実装において従来
から行なわれている外観検査ができなくなっている。
【０００５】上記Ｘ線撮影装置はそのようなフリップチ
ップ実装された電子部品と回路基板との間の接合部をＸ
線による透過画像として撮影し、撮影した画像を画像処
理することにより金属バンプの位置ずれや有無などの必
要な検査が行なえる撮影方式である。
ップ実装された電子部品と回路基板との間の接合部をＸ
線による透過画像として撮影し、撮影した画像を画像処
理することにより金属バンプの位置ずれや有無などの必
要な検査が行なえる撮影方式である。
【０００６】金属バンプの直径が例えば８０μｍである
のに対応して、Ｘ線透過画像から金属バンプの有無を検
出するのに１画素当たり約１０〜１５μｍ以下の高い分
解能を発揮するＸ線用のシンチレータが必要である。
のに対応して、Ｘ線透過画像から金属バンプの有無を検
出するのに１画素当たり約１０〜１５μｍ以下の高い分
解能を発揮するＸ線用のシンチレータが必要である。
【０００７】しかし、シンチレータｃを製造する現行の
技術では、シンチレータｃの製造工程で不順物が混入す
るなどにより、Ｘ線が入射しても発光しない部分として
直径約１０〜１００μｍの欠陥点が発生している。この
欠陥点は図６に示すＸ線透過画像ｇにおいて黒点ノイズ
ｈとして現れ、電子部品像ｉにおける金属バンプ像ｊと
混在し、黒点ノイズｈが金属バンプ像ｊと重なったり、
近傍に位置したりすると、金属バンプの有無や位置ず
れ、大きさの判定ができず誤認識の原因になるので、対
策が必要である。
技術では、シンチレータｃの製造工程で不順物が混入す
るなどにより、Ｘ線が入射しても発光しない部分として
直径約１０〜１００μｍの欠陥点が発生している。この
欠陥点は図６に示すＸ線透過画像ｇにおいて黒点ノイズ
ｈとして現れ、電子部品像ｉにおける金属バンプ像ｊと
混在し、黒点ノイズｈが金属バンプ像ｊと重なったり、
近傍に位置したりすると、金属バンプの有無や位置ず
れ、大きさの判定ができず誤認識の原因になるので、対
策が必要である。
【０００８】また、粉末状のＸ線蛍光体ｅをシリコン基
板ｆの溝の中に形成する工程において、シリコン基板ｆ
の表面におけるＸ線蛍光体ｅの量が不均一になりやす
い。このような不均一があるとＸ線蛍光体ｅの層の厚さ
が大きいところではＸ線による発光量が多くなり、厚さ
が小さいところではＸ線による発光量が少なくなるの
で、ＣＣＤカメラｄにより撮影したＸ線透過画像ｇのコ
ントラストが画面内で不均一になり、画面全体を所定の
２値レベルで２値化して金属バンプ像ｊの位置などを画
像認識するのに金属バンプ像ｊが欠けたり膨大したりし
て正確に認識できない問題があり、対策が必要である。
板ｆの溝の中に形成する工程において、シリコン基板ｆ
の表面におけるＸ線蛍光体ｅの量が不均一になりやす
い。このような不均一があるとＸ線蛍光体ｅの層の厚さ
が大きいところではＸ線による発光量が多くなり、厚さ
が小さいところではＸ線による発光量が少なくなるの
で、ＣＣＤカメラｄにより撮影したＸ線透過画像ｇのコ
ントラストが画面内で不均一になり、画面全体を所定の
２値レベルで２値化して金属バンプ像ｊの位置などを画
像認識するのに金属バンプ像ｊが欠けたり膨大したりし
て正確に認識できない問題があり、対策が必要である。
【０００９】本発明の目的は、シンチレータに欠陥があ
ってもそれの影響なく対象物の鮮明な画像が得られるＸ
線撮影方法と装置を提供することにある。
ってもそれの影響なく対象物の鮮明な画像が得られるＸ
線撮影方法と装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明のＸ線撮影方法は、対象物にＸ線を照射し
て透過したＸ線をシンチレータで受けて可視光に変換
し、この変換によりシンチレータ上に映じた対象物の透
過画像をカメラにより撮影するのに、シンチレータの面
方向の移動中に撮影を行なうことを特徴としている。
めに、本発明のＸ線撮影方法は、対象物にＸ線を照射し
て透過したＸ線をシンチレータで受けて可視光に変換
し、この変換によりシンチレータ上に映じた対象物の透
過画像をカメラにより撮影するのに、シンチレータの面
方向の移動中に撮影を行なうことを特徴としている。
【００１１】このような構成では、シンチレータにＸ線
によって発光しない欠陥点や、Ｘ線による発光量の不均
一があっても、撮影中にシンチレータをその面方向に移
動させることにより、シンチレータが対象物に照射し透
過したＸ線を可視光に変換して撮影に供するのに、欠陥
点による黒点ノイズや不均一による濃淡が特定の個所に
止まらないようにして、撮影画面に映ずるのを移動速度
に応じてぼかすので、シンチレータに映じている静止し
たＸ線透過画像をシンチレータの欠陥による影響なく鮮
明に撮影することができる。
によって発光しない欠陥点や、Ｘ線による発光量の不均
一があっても、撮影中にシンチレータをその面方向に移
動させることにより、シンチレータが対象物に照射し透
過したＸ線を可視光に変換して撮影に供するのに、欠陥
点による黒点ノイズや不均一による濃淡が特定の個所に
止まらないようにして、撮影画面に映ずるのを移動速度
に応じてぼかすので、シンチレータに映じている静止し
たＸ線透過画像をシンチレータの欠陥による影響なく鮮
明に撮影することができる。
【００１２】シンチレータの移動が往復移動であると、
小さな欠陥点を越えた範囲で高速に振動的に移動させや
すく、往復移動ストローク以下の小さな欠陥点による黒
点ノイズないしはこれに対応する局部的な不均一による
濃淡をぼかすのに好都合である。シンチレータの移動が
回転であると、シンチレータ全体の連続移動となって不
均一域が広く存在したり全体に及んでいる場合でも、そ
れによる濃淡をぼかすことができ、回転が高速であると
欠陥点による黒点ノイズもぼかすことができる。
小さな欠陥点を越えた範囲で高速に振動的に移動させや
すく、往復移動ストローク以下の小さな欠陥点による黒
点ノイズないしはこれに対応する局部的な不均一による
濃淡をぼかすのに好都合である。シンチレータの移動が
回転であると、シンチレータ全体の連続移動となって不
均一域が広く存在したり全体に及んでいる場合でも、そ
れによる濃淡をぼかすことができ、回転が高速であると
欠陥点による黒点ノイズもぼかすことができる。
【００１３】上記方法を達成するＸ線撮影装置として
は、対象物にＸ線を照射するＸ線源と、対象物を透過し
たＸ線を可視光に変換するシンチレータと、このシンチ
レータ上に映じた対象物のＸ線透過画像を撮影するカメ
ラとを備えたものにおいて、少なくとも撮影中にシンチ
レータをその面方向に移動させる駆動手段を設けたもの
で足りる。
は、対象物にＸ線を照射するＸ線源と、対象物を透過し
たＸ線を可視光に変換するシンチレータと、このシンチ
レータ上に映じた対象物のＸ線透過画像を撮影するカメ
ラとを備えたものにおいて、少なくとも撮影中にシンチ
レータをその面方向に移動させる駆動手段を設けたもの
で足りる。
【００１４】駆動手段は、シンチレータの欠陥の種類に
応じて、往復移動させるもの、あるいは回転させるもの
を適用すればよい。
応じて、往復移動させるもの、あるいは回転させるもの
を適用すればよい。
【００１５】本発明のそれ以上の特徴および作用は、以
下に続く詳細な説明および図面の記載から明らかにな
る。本発明の各特徴は可能な限りにおいてそれ単独で、
あるいは種々な組み合わせで複合して用いることができ
る。
下に続く詳細な説明および図面の記載から明らかにな
る。本発明の各特徴は可能な限りにおいてそれ単独で、
あるいは種々な組み合わせで複合して用いることができ
る。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態に係る
Ｘ線撮影方法と装置につき図１〜図４を参照しながら詳
細に説明し、本発明の理解に供する。
Ｘ線撮影方法と装置につき図１〜図４を参照しながら詳
細に説明し、本発明の理解に供する。
【００１７】図１、図２に示す実施の形態１、および図
３、図４に示す実施の形態２に係るＸ線撮影装置を参照
して説明すると、対象物１にＸ線２を照射して透過した
Ｘ線２をシンチレータ３で受けて可視光に変換し、この
変換によりシンチレータ３上に映じた対象物１の透過画
像をカメラ４により撮影するのに、シンチレータ３を矢
印α、βで例示しているように面３ａの方向に移動させ
ている間に撮影を行なう。
３、図４に示す実施の形態２に係るＸ線撮影装置を参照
して説明すると、対象物１にＸ線２を照射して透過した
Ｘ線２をシンチレータ３で受けて可視光に変換し、この
変換によりシンチレータ３上に映じた対象物１の透過画
像をカメラ４により撮影するのに、シンチレータ３を矢
印α、βで例示しているように面３ａの方向に移動させ
ている間に撮影を行なう。
【００１８】前記カメラ４でのＸ線撮影において、対象
物１に照射され透過したＸ線をシンチレータ３が可視光
に変換するが、Ｘ線は対象物１を透過する部分の厚みと
Ｘ線の吸収係数に応じて減衰されるので、シンチレータ
３の上に対象物１のＸ線透過画像が映じ撮影に供され
る。このとき従来レベルのシンチレータ３を用いてそれ
にＸ線２によって発光しない欠陥点や、Ｘ線２による発
光量の不均一があっても、上記のように撮影の間、シン
チレータ３をその面３ａの方向に移動させると、それら
シンチレータ３のＸ線２によって発光しない欠陥点によ
る像である黒点ノイズやＸ線による発光量の不均一によ
る濃淡が特定の個所に止まらないようにして、撮影画面
に映ずるのを移動速度に比例してぼかすことができる。
これにより、シンチレータ３に映じている静止した対象
物１のＸ線透過画像をシンチレータ３の欠陥の影響なく
鮮明に撮影することができる。
物１に照射され透過したＸ線をシンチレータ３が可視光
に変換するが、Ｘ線は対象物１を透過する部分の厚みと
Ｘ線の吸収係数に応じて減衰されるので、シンチレータ
３の上に対象物１のＸ線透過画像が映じ撮影に供され
る。このとき従来レベルのシンチレータ３を用いてそれ
にＸ線２によって発光しない欠陥点や、Ｘ線２による発
光量の不均一があっても、上記のように撮影の間、シン
チレータ３をその面３ａの方向に移動させると、それら
シンチレータ３のＸ線２によって発光しない欠陥点によ
る像である黒点ノイズやＸ線による発光量の不均一によ
る濃淡が特定の個所に止まらないようにして、撮影画面
に映ずるのを移動速度に比例してぼかすことができる。
これにより、シンチレータ３に映じている静止した対象
物１のＸ線透過画像をシンチレータ３の欠陥の影響なく
鮮明に撮影することができる。
【００１９】したがって、フリップチップ実装した電子
部品と回路基板との接合部をＸ線撮影して、撮影画像を
２値化し金属バンプの有無や位置を検査するのに、前記
の撮影方法を採用することにより、対象物１の撮影画像
が前記欠点による黒点ノイズや濃淡を含む背景部分に対
し十分なコントラストをもって鮮明に得られるので、設
定できる２値化レベルの幅が大きく、接合部の画像が欠
けたり膨大したりしない２値化画像により正確な検査が
できる。
部品と回路基板との接合部をＸ線撮影して、撮影画像を
２値化し金属バンプの有無や位置を検査するのに、前記
の撮影方法を採用することにより、対象物１の撮影画像
が前記欠点による黒点ノイズや濃淡を含む背景部分に対
し十分なコントラストをもって鮮明に得られるので、設
定できる２値化レベルの幅が大きく、接合部の画像が欠
けたり膨大したりしない２値化画像により正確な検査が
できる。
【００２０】シンチレータ３の移動が往復移動である
と、小さな欠陥点による黒点ノイズを越えた範囲で高速
に振動的に移動させやすく、往復移動ストローク以下の
小さな欠陥点による黒点ノイズやこれに対応する局部的
な不均一による濃淡をぼかすのに好都合である。シンチ
レータ３の移動が回転であると、シンチレータ３全体の
連続移動となって不均一域が広く存在したり全体に及ん
でいる場合でも、それによる濃淡をぼかすことができ、
回転が高速であると欠陥点の像をもぼかすことができ
る。
と、小さな欠陥点による黒点ノイズを越えた範囲で高速
に振動的に移動させやすく、往復移動ストローク以下の
小さな欠陥点による黒点ノイズやこれに対応する局部的
な不均一による濃淡をぼかすのに好都合である。シンチ
レータ３の移動が回転であると、シンチレータ３全体の
連続移動となって不均一域が広く存在したり全体に及ん
でいる場合でも、それによる濃淡をぼかすことができ、
回転が高速であると欠陥点の像をもぼかすことができ
る。
【００２１】なお、回転はシンチレータ３が柔軟材料で
ないことにより選択した連続移動方法であり、シンチレ
ータ３が柔軟材料として現存しあるいは将来的に提供さ
れれば、エンドレスな周回による連続移動も採用するこ
とができる。いずれにしても、必要な速度でシンチレー
タ３を移動させられればよく移動の方式や駆動の方式は
特に問わない。
ないことにより選択した連続移動方法であり、シンチレ
ータ３が柔軟材料として現存しあるいは将来的に提供さ
れれば、エンドレスな周回による連続移動も採用するこ
とができる。いずれにしても、必要な速度でシンチレー
タ３を移動させられればよく移動の方式や駆動の方式は
特に問わない。
【００２２】図１、図２の実施の形態１、および図３、
図４の実施の形態２のＸ線撮影装置は、上記のような撮
影方法を達成するのに、対象物１にＸ線２を照射するＸ
線源５と、対象物１を透過したＸ線２を可視光に変換す
るシンチレータ３と、このシンチレータ３上に映じた対
象物１の透過画像を撮影するカメラ４、少なくとも撮影
中にシンチレータ３をその面３ａの方向に移動させる駆
動手段６を備えている。
図４の実施の形態２のＸ線撮影装置は、上記のような撮
影方法を達成するのに、対象物１にＸ線２を照射するＸ
線源５と、対象物１を透過したＸ線２を可視光に変換す
るシンチレータ３と、このシンチレータ３上に映じた対
象物１の透過画像を撮影するカメラ４、少なくとも撮影
中にシンチレータ３をその面３ａの方向に移動させる駆
動手段６を備えている。
【００２３】カメラ４は高感度カメラであり、シンチレ
ータ３の微弱な光を明るく撮影するために露光時間を調
整する機能を有し、Ｆ値の小さい明るいレンズ７が取り
付けられている。また、カメラ４はシンチレータ３と一
体に組み込んだ撮像装置８を構成し、焦点調節ねじ９に
よりシンチレータ３の面３ａに焦点を合わせて用いるよ
うになっている。なお、シンチレータ３は１画素ごとに
溝を掘ったシリコン基板の上にＸ線蛍光体を埋め込んだ
構造になっていることにより、シリコン基板を透過した
Ｘ線２がＸ線蛍光体を発光させたときに、光が横方向に
拡散して分解能が低下することを防止している。また、
Ｘ線蛍光体の表面を保護するために強化ガラスで覆って
接着剤により固定している。さらに、高感度なカメラ４
のＸ線によるダメージを防止するために、シンチレータ
３とカメラ４の間にＸ線２の吸収率が高い鉛ガラス１１
を設けてある。
ータ３の微弱な光を明るく撮影するために露光時間を調
整する機能を有し、Ｆ値の小さい明るいレンズ７が取り
付けられている。また、カメラ４はシンチレータ３と一
体に組み込んだ撮像装置８を構成し、焦点調節ねじ９に
よりシンチレータ３の面３ａに焦点を合わせて用いるよ
うになっている。なお、シンチレータ３は１画素ごとに
溝を掘ったシリコン基板の上にＸ線蛍光体を埋め込んだ
構造になっていることにより、シリコン基板を透過した
Ｘ線２がＸ線蛍光体を発光させたときに、光が横方向に
拡散して分解能が低下することを防止している。また、
Ｘ線蛍光体の表面を保護するために強化ガラスで覆って
接着剤により固定している。さらに、高感度なカメラ４
のＸ線によるダメージを防止するために、シンチレータ
３とカメラ４の間にＸ線２の吸収率が高い鉛ガラス１１
を設けてある。
【００２４】図１、図２に示す実施の形態１では特に、
シンチレータ３は撮像装置８に往復摺動するように設け
た矩形のフレーム１２に保持され、駆動手段６により小
さなストロークで矢印αの方向に往復移動されるように
してある。駆動手段６は撮像装置８に取り付けたモータ
６ａとこれに直結したカム６ｂとで構成され、このカム
６ｂの回転に可動フレーム１２が従動するようにばね１
３により付勢している。
シンチレータ３は撮像装置８に往復摺動するように設け
た矩形のフレーム１２に保持され、駆動手段６により小
さなストロークで矢印αの方向に往復移動されるように
してある。駆動手段６は撮像装置８に取り付けたモータ
６ａとこれに直結したカム６ｂとで構成され、このカム
６ｂの回転に可動フレーム１２が従動するようにばね１
３により付勢している。
【００２５】撮影中、つまりカメラ４での露光中にモー
タ６ａを働かせてカム６ｂを回転駆動することにより、
フレーム１２は回転するカム６ｂに従動してシンチレー
タ３を伴い往復移動されて、シンチレータ３をカム６ｂ
により設定した一定のストロークを持って往復移動させ
る。これにより、シンチレータ３の欠陥による往復移動
ストローク以下の大きさの画像ノイズをぼかすことがで
きる。従って、ぼかしたい画像ノイズの大きさに対応し
てカム６ｂによる往復移動ストロークを設定すればよ
い。画像ノイズのぼかし効果は移動速度が振動といえる
程度に速いほどよいが、モータ６ａの回転速度はカメラ
４での露光時間中にシンチレータ３が１回以上往復移動
を行うように設定して必要なぼかし効果が得られるよう
にする。しかし、シンチレータ３の往復移動は弧回動方
式で行うこともできる。
タ６ａを働かせてカム６ｂを回転駆動することにより、
フレーム１２は回転するカム６ｂに従動してシンチレー
タ３を伴い往復移動されて、シンチレータ３をカム６ｂ
により設定した一定のストロークを持って往復移動させ
る。これにより、シンチレータ３の欠陥による往復移動
ストローク以下の大きさの画像ノイズをぼかすことがで
きる。従って、ぼかしたい画像ノイズの大きさに対応し
てカム６ｂによる往復移動ストロークを設定すればよ
い。画像ノイズのぼかし効果は移動速度が振動といえる
程度に速いほどよいが、モータ６ａの回転速度はカメラ
４での露光時間中にシンチレータ３が１回以上往復移動
を行うように設定して必要なぼかし効果が得られるよう
にする。しかし、シンチレータ３の往復移動は弧回動方
式で行うこともできる。
【００２６】図３、図４に示す実施の形態２のＸ線撮影
装置では、シンチレータ３が撮像装置８に回転できるよ
うに設けた円形のフレーム２１に保持され、駆動手段６
により矢印βの方向に連続回転されるようにしてある。
駆動手段６は撮像装置８に取り付けたモータ６ａとこれ
に直結した駆動ギヤ６ｃ、この駆動ギヤ６ｃが噛み合う
フレーム２１まわりの従動ギヤ６ｄとで構成されてい
る。
装置では、シンチレータ３が撮像装置８に回転できるよ
うに設けた円形のフレーム２１に保持され、駆動手段６
により矢印βの方向に連続回転されるようにしてある。
駆動手段６は撮像装置８に取り付けたモータ６ａとこれ
に直結した駆動ギヤ６ｃ、この駆動ギヤ６ｃが噛み合う
フレーム２１まわりの従動ギヤ６ｄとで構成されてい
る。
【００２７】撮影中にモータ６ａを働かせて駆動ギヤ６
ｃを回転駆動すると、フレーム２１はその従動ギヤ６ｄ
を介してシンチレータ３を伴い回転されてシンチレータ
３を連続に回転移動させる。これにより、シンチレータ
３の欠陥による大きな範囲の濃淡などの画像ノイズをぼ
かすことができ、高速回転であると小さな黒点ノイズな
どでもぼかすことができるが、モータの回転速度は、カ
メラ４の露光時間中にシンチレータ３が１回転以上する
ように設定して必要なぼかし効果が得られるようにす
る。
ｃを回転駆動すると、フレーム２１はその従動ギヤ６ｄ
を介してシンチレータ３を伴い回転されてシンチレータ
３を連続に回転移動させる。これにより、シンチレータ
３の欠陥による大きな範囲の濃淡などの画像ノイズをぼ
かすことができ、高速回転であると小さな黒点ノイズな
どでもぼかすことができるが、モータの回転速度は、カ
メラ４の露光時間中にシンチレータ３が１回転以上する
ように設定して必要なぼかし効果が得られるようにす
る。
【００２８】この場合、シンチレータ３の中心部は移動
しないか移動速度が遅いので、ぼかし効果が得られない
か、得にくい嫌いはあるが、実施の形態１での振動的な
移動と組み合わせた構成とすることにより、そのような
問題を解消することができる。また、シンチレータ３を
カメラ４による撮影視野から外れた位置を中心に回転さ
せても上記問題を解消することができる。
しないか移動速度が遅いので、ぼかし効果が得られない
か、得にくい嫌いはあるが、実施の形態１での振動的な
移動と組み合わせた構成とすることにより、そのような
問題を解消することができる。また、シンチレータ３を
カメラ４による撮影視野から外れた位置を中心に回転さ
せても上記問題を解消することができる。
【００２９】他の構成および奏する作用は実施の形態１
の場合と特に変わるところはないので、同じ部材には同
一の符号を付して重複する説明は省略する。
の場合と特に変わるところはないので、同じ部材には同
一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００３０】なお、以上はＸ線撮影に関してのみ述べた
が、基本的には放射線一般を利用した撮影に本発明は適
用して有効であり、本発明の範疇に属する。
が、基本的には放射線一般を利用した撮影に本発明は適
用して有効であり、本発明の範疇に属する。
【００３１】
【発明の効果】本発明によれば、以上の説明から明らか
なように、シンチレータにＸ線によって発光しない欠陥
点や、Ｘ線による発光量の不均一があっても、それらシ
ンチレーション特性の欠陥による黒点ノイズや濃淡が撮
影画面に映ずるのをぼかして、シンチレータに映じてい
る静止したＸ線透過画像をシンチレータの欠陥の影響な
く鮮明に撮影することができる。
なように、シンチレータにＸ線によって発光しない欠陥
点や、Ｘ線による発光量の不均一があっても、それらシ
ンチレーション特性の欠陥による黒点ノイズや濃淡が撮
影画面に映ずるのをぼかして、シンチレータに映じてい
る静止したＸ線透過画像をシンチレータの欠陥の影響な
く鮮明に撮影することができる。
【図１】本発明の実施の形態１に係るＸ線撮影方法およ
び装置を示す構成図である。
び装置を示す構成図である。
【図２】図１の装置のA−A線より見た横断面図である。
【図３】本発明の実施の形態２に係るＸ線撮影方法およ
び装置を示す構成図である。
び装置を示す構成図である。
【図４】図３の装置のA−A線より見た横断面図である。
【図５】従来のX線撮影装置を示す構成図である。
【図６】図５の装置により撮影したＸ線透過画像を示す
説明図である。
説明図である。
１ 対象物 ２ Ｘ線 ３ シンチレータ ４ カメラ ５ Ｘ線源 ６ 駆動手段 ６ａ モータ ６ｂ カム ６ｃ 駆動ギヤ ６ｄ 従動ギヤ １２、２１ フレーム １３ ばね α、β 移動方向
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 規之 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 鳥羽 広門 横浜市港北区綱島東四丁目３番１号 松下 通信工業株式会社内 (72)発明者 本郷 英男 横浜市港北区綱島東四丁目３番１号 松下 通信工業株式会社内 (72)発明者 宇田川 勲 横浜市港北区綱島東四丁目３番１号 松下 通信工業株式会社内 Ｆターム(参考） 2G001 AA01 BA11 CA01 DA01 DA02 DA09 GA05 GA13 HA12 HA13 JA06 JA16 JA20 KA03 LA11 SA10
Claims (5)
- 【請求項１】 対象物にＸ線を照射して透過したＸ線を
シンチレータで受けて可視光に変換し、この変換により
シンチレータ上に映じた対象物の透過画像をカメラによ
り撮影するＸ線撮影方法において、 シンチレータの面方向の移動中に撮影を行なうことを特
徴とするＸ線撮影方法。 - 【請求項２】 移動は往復移動または回転である請求項
１に記載のＸ線撮影方法。 - 【請求項３】 対象物にＸ線を照射するＸ線源と、対象
物を透過したＸ線を可視光に変換するシンチレータと、
このシンチレータ上に映じた対象物の透過画像を撮影す
るカメラとを備えたＸ線撮影装置において、 少なくとも撮影中にシンチレータをその面方向に移動さ
せる駆動手段を設けたことを特徴とするＸ線撮影装置。 - 【請求項４】 駆動手段は、シンチレータを往復移動さ
せる請求項３に記載のＸ線撮影装置。 - 【請求項５】 駆動手段は、シンチレータを回転させる
請求項３に記載のＸ線撮影装置。
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|---|---|---|---|---|
| JP2005326385A (ja) * | 2004-05-12 | 2005-11-24 | Katsuya Hasegawa | Ｘ線を利用した火薬及び推進薬の燃焼速度測定方法 |
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-
2000
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