JP2001215153A - 透明体検出装置 - Google Patents

透明体検出装置

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JP2001215153A
JP2001215153A JP2000024402A JP2000024402A JP2001215153A JP 2001215153 A JP2001215153 A JP 2001215153A JP 2000024402 A JP2000024402 A JP 2000024402A JP 2000024402 A JP2000024402 A JP 2000024402A JP 2001215153 A JP2001215153 A JP 2001215153A
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JP
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light
transparent
wavelength
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JP2000024402A
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English (en)
Inventor
Akihisa Matsuyama
晃久 松山
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Omron Corp
Original Assignee
Omron Corp
Omron Tateisi Electronics Co
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 素子の劣化がなく、安価な透明体検出装置を
提供する。 【解決手段】 透明体検出装置は、紫外線光源11から
検出すべき透明瓶12を透過した紫外線を受ける蛍光体
14を含む。蛍光体14は波長330nm以下の紫外線
のみを効率よく受光する厚さを有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は石英ガラス以外の
透明ガラスあるいは樹脂等の透明体を検出する透明体検
出装置に関し、特に、透明体の有無の検出または位置決
めに用いられる透明体検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】この発明に興味のある、従来の石英ガラ
ス以外の透明体検出に用いられるガラス瓶あるいは液晶
ガラス等の検出方法はたとえば特開平6−342083
号公報に開示されている。図6は同公報に開示された透
明体検出装置の構成を示すブロック図である。
【0003】図6を参照して、従来の透明体検出装置
は、紫外線光源111と、紫外線光源111からの紫外
線を受ける石英レンズ112と、紫外線パスフィルタ1
14と、石英レンズ115とからなる光学系と受光器1
16とを含み、受光器116で受けた紫外線をアンプ1
17で増幅する。ここで、検出されるべき透明瓶等の透
明体113は石英レンズ112と紫外線パスフィルタ1
14の間に設置されるかまたは、この間を通過する。す
なわち、紫外線光源111から紫外線(以下UVと省略
する場合が有る)を透明瓶113に照射する。
【0004】図7は検出されるべき透明体113として
のガラスの透過率特性を示すグラフである。図7から明
らかなように、合成石英ガラスは170nm以下のUV
を吸収し、ソーダガラスは300nm以下の紫外線を吸
収する。
【0005】図8は紫外線光源111となる低圧水銀ラ
ンプの分光感度特性を示すグラフである。図8に示すよ
うに、低圧水銀ランプの分光感度は254nm近辺にピ
ークがある。
【0006】従来の透明体検出装置は図7に示した紫外
線透過特性を利用して透明瓶の検出を行なっている。す
なわち、ガラス瓶に使用されるようなソーダガラスは上
記したように波長約300nm以下の紫外線をよく吸収
するため、図8に示すような250nm近辺の紫外線が
殆どである分光感度特性の低圧水銀ランプであれば、ガ
ラスにより殆どの紫外線が吸収され、可視光や赤外光に
比べ、透過光の有無がはっきり区分できる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】従来の透明体検出装置
は上記のように構成されていた。しかしながら、UV光
源111には、350nm近辺に主波長のある図9に示
すような分光感度特性の高圧水銀ランプがある。このよ
うな紫外線光源を使用するために波長300nm以下の
紫外線のみを透過するような紫外線パスフィルタ114
を設ける必要がある。この場合次のような問題が発生す
る。
【0008】(1) 受光器が紫外線を直接受光するた
め、受光器が劣化しやすい。 (2) (1)の問題点をクリアにするために、高価な
紫外線専用の受光器を使用しなければならない。
【0009】(3) 紫外線光源が高圧水銀ランプを使
用する場合、波長を選択するUVパスフィルタが必要な
ため構成が複雑になる。
【0010】(4) UVパスフィルタで紫外線が減衰
してしまい全体の信号値が減少する。
【0011】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、上記のような問題点が生じない
透明体検出装置を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】この発明に係る透明体検
出装置は、紫外線を発する光源と、紫外線を可視光に変
換し、かつ、波長330nm以下に感度ピークを持つ波
長変換素子と、波長変換素子で変換された可視光を受光
する受光素子とを備え、光源と波長変換素子との間で透
明体の有無を検出する。透明体検出装置の波長変換素子
は波長330nm以下の紫外線のみを効率よく受光す
る。
【0013】この発明に係る透明体検出装置において
は、波長330nm以下のガラス瓶等が吸収する紫外線
のみを効率よく変換するため、透明瓶、ガラス、樹脂等
の透明体の有無検出を効率よく行うことができる。
【0014】好ましくは、波長変換素子は板状で、受光
素子の受光面積よりも大きな領域を持つ側面を有し、か
つ受光素子は波長変換素子の側面に配置される。
【0015】このように波長変換素子と受光素子とを配
置することにより、未変換のUV光が直接受光素子に入
らず、素子の劣化を防ぐことができる。また、UV光の
入射方向に波長変換素子を長くなるようにすると、未変
換のUV光を極端に減衰できるため、素子の劣化はより
起きにくくなる。
【0016】この発明の他の局面においては、波長変換
素子は紫外線の入射方向の厚さに応じて波長ごとの内部
透過率が異なり、波長変換素子の厚さは感度ピーク波長
の透過率が50%以下である。
【0017】感度ピーク波長の透過率が50%以下にな
るよう波長変換素子の厚さが選ばれているため、波長3
50nm以下の紫外線を効率よく変換して透明体の検出
が可能になる。
【0018】この発明の他の局面においては、波長変換
素子の形状は棒状であり、紫外線は棒の円形断面方向に
入射し、波長変換素子の感度ピーク波長の透過率は50
%以下である。
【0019】波長変換素子の感度ピーク波長の透過率は
50%以下であるため、波長350nm以下の紫外線を
効率よく変換して透明体の検出が可能になる。
【0020】好ましくは、光源と波長変換素子の間に開
口を有する。光源と波長変換素子の間に開口を有するた
め、透明体の高精度の位置決めが可能になる。
【0021】
【発明の実施の形態】以下この発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。
【0022】図1はこの発明に係る透明体検出装置の構
成を示すブロック図である。図1を参照して、この発明
に係る透明体検出装置は、UV光源11と、UV光源1
1の前方に置かれ、UV光源11からのUVを受ける波
長変換素子となる蛍光体14とを含む。検出対象となる
透明瓶12はUV光源11と蛍光体14との間に載置さ
れるかまたはこの間を通過する。蛍光体14と透明瓶1
2の間に所定の開口を有する絞り13が設けられる。蛍
光体14は、入射したUVを蛍光に変換してUV光の入
射面と交わる方向(図中矢印で示す方向)の端面で取り
出し、ファイバ17を介してアンプ18内に設けられた
受光素子19に送る。一方未変換のUV光は蛍光体14
を未変換紫外線15として透過する。
【0023】以上のように、この発明に係る透明体検出
装置は、波長変換素子として作動する蛍光ガラスを用い
て検出体である透明瓶等を透過したUV光を可視光に変
換してそれを受光素子19が受けるため、受光素子19
の劣化が少ない。
【0024】図2は蛍光体14として用いられる蛍光ガ
ラスの分光感度特性を示すグラフである。図2を参照し
て、蛍光ガラスは波長250〜330nm付近に感度の
ピークを有している。
【0025】図3は図1に示した蛍光体14として用い
られる蛍光ガラスの透過率特性をその厚み別に示したグ
ラフである。図3から明らかなように、蛍光ガラス14
の厚みにより波長300nm〜400nmの透過率が変
動する。蛍光体14の厚みTが薄くなるほど波長の短い紫
外線が透過し、厚さTを1mm以下にすれば波長330
nm以上の紫外線は約50%以上透過させることができ
る。波長330nm以下の紫外線のみを高効率に変換で
きるため、透明瓶、ガラス、樹脂などの透明体の有無検
出等を効率よく行なうことができる。
【0026】また、紫外線以外は吸収または透過するた
め、紫外線のみを可視光に変換できる。その結果、UV
パスフィルタは不要となり、透明体検出装置の構成を単
純化できる。
【0027】さらに、波長変換素子としての蛍光体以外
の光学手段を必要としないため、全体の信号値を大きく
とれる。
【0028】また、UV光源が図8および図9のような
ランプのどちらでもUVパスフィルタを使用せずにガラ
ス等の透明体の有無を判別するのに必要な波長330n
m以下の光を効率よく検出することができる。
【0029】なお、図1の構成の変形例として、ファイ
バを用いずに蛍光を直接受光素子で受光してもよいし、
蛍光ガラスの形状を板状あるいは棒状にしてもよい。
【0030】また、波長変換素子と受光素子の関係を、
波長変換素子は受光素子の受光面積よりも大きな領域を
持つ側面を有し、受光素子は波長変換素子の側面に配置
してもよい。
【0031】図4はそのような配置をした場合の蛍光体
14と受光素子19との位置関係を示す模式図である。
図4を参照して、蛍光体14はUV光を入射する入射面
と入射面に対して直交する入射方向に長い側面とを有
し、この側面に対向して受光素子19が配置されてい
る。受光素子19に対向する側面の面積が入射面の面積
より広い。
【0032】このように蛍光体14と受光素子とを配置
することにより、未変換のUV光が直接受光素子19に
入らず、受光素子の劣化を防ぐことができる。また、U
V光の入射方向に蛍光体14を長くしているため、未変
換のUV光は極端に減衰しているため、受光素子の劣化
は起きにくい。
【0033】また、紫外線光源と蛍光ガラスの間に位置
検出精度を向上するような開口を設けることで透明板、
ガラス、樹脂などの透明体の高精度な位置決め等を行な
うことができる。
【0034】図5に図1に示した透明体検出装置を用い
た場合のガラスの検出特性を示す。図5(A)は透明ガ
ラスの検出特性を示す図であり、検出対象である透明ガ
ラスの移動距離とその時の出力との関係を示す図であ
る。図5(B)は図5(A)の検出特性を得るために用
いた透明体検出装置の具体的構成を示す図である。
【0035】図5(B)を参照して、UV光源21と棒
状の蛍光ガラス22の間に透明ガラス24を図中矢印方
向へ移動させて透明ガラス24の検出特性を求めた。
【0036】図5(A)では5〜8mmにかけて出力が
大きく変化しており、この間に透明ガラス24の右端が
図5(B)の左から光軸を横切って右へ移動し、UV光
が透明ガラス24を通過するようになったことがわか
る。
【0037】ガラスの検出特性はガラスの有り無しの区
別が明確なほど、すなわち、図5(A)における6mm
付近の出力が高い状態(ガラスなし)と低い状態(ガラ
スあり)の落差が急に変化するほど良好であるといえ
る。なお、ここで、蛍光ガラスのUV入射側に設けられ
た開口の絞り23の寸法は6.0mmである。
【0038】今回開示された実施の形態はすべての点で
例示であって制限的なものではないと考えられるべきで
ある。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求
の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味お
よび範囲内でのすべての変更が含まれることが意図され
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明に係る透明体検出装置の構成を示す
ブロック図である。
【図2】 この発明で用いられる蛍光ガラスの分光感度
特性を示すグラフである。
【図3】 この発明で用いられる蛍光ガラスの透過率特
性を示すグラフである。
【図4】 この発明に係る透明体検出装置の要部の他の
構成例を示す図である。
【図5】 この発明による透明体の検出特性を示す図で
ある。
【図6】 従来の透明体検出装置の構成を示すブロック
図である。
【図7】 ガラスの紫外線透過率特性を示すグラフであ
る。
【図8】 低圧水銀ランプの分光感度特性を示すグラフ
である。
【図9】 高圧水銀ランプの分光感度特性を示すグラフ
である。
【符号の説明】
11 紫外線(UV)光源、12 透明瓶、13 絞
り、14 蛍光体、15未変換紫外線、16 蛍光、1
7 ファイバ、18 アンプ。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 紫外線を発する光源と、 前記紫外線を可視光に変換し、かつ、波長330nm以
    下に感度ピークを持つ波長変換素子と、 前記波長変換素子で変換された可視光を受光する受光素
    子とを備え、 前記光源と前記波長変換素子との間で透明体の有無を検
    出する透明体検出装置であって、 前記波長変換素子は波長330nm以下の紫外線のみを
    効率よく受光する、透明体検出装置。
  2. 【請求項2】 前記波長変換素子は板状で、前記受光素
    子の受光面積よりも大きな領域を持つ側面を有し、前記
    受光素子は前記波長変換素子の前記側面に配置される、
    請求項1に記載の透明体検出装置。
  3. 【請求項3】 前記波長変換素子は前記紫外線の入射方
    向の厚さに応じて波長ごとの内部透過率が異なり、前記
    波長変換素子の厚さは前記感度ピーク波長の透過率が5
    0%以下である、請求項1または2に記載の透明体検出
    装置。
  4. 【請求項4】 前記波長変換素子の形状は棒状であり、
    前記紫外線は前記棒の円形断面方向に入射し、前記波長
    変換素子の感度ピーク波長の透過率は50%以下であ
    る、請求項1に記載の透明体検出装置。
  5. 【請求項5】 前記光源と前記波長変換素子の間に開口
    を有する、請求項1〜4のいずれかに記載の透明体検出
    装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012220497A (ja) * 2011-04-08 2012-11-12 Optosys Ag 動いている物体を監視する方法および装置
JP2020191458A (ja) * 2014-10-14 2020-11-26 ケーエルエー コーポレイション 測定ウェハ装置

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