JP2001210848A - 太陽電池及びその製造方法 - Google Patents

太陽電池及びその製造方法

Info

Publication number
JP2001210848A
JP2001210848A JP2000019111A JP2000019111A JP2001210848A JP 2001210848 A JP2001210848 A JP 2001210848A JP 2000019111 A JP2000019111 A JP 2000019111A JP 2000019111 A JP2000019111 A JP 2000019111A JP 2001210848 A JP2001210848 A JP 2001210848A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
spherical
semiconductor
hole
substrate
solar cell
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2000019111A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3369525B2 (ja
Inventor
Atsushi Fukui
淳 福井
Keisuke Kimoto
啓介 木本
Hideyoshi Kai
秀芳 甲斐
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsui High Tec Inc
Original Assignee
Mitsui High Tec Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsui High Tec Inc filed Critical Mitsui High Tec Inc
Priority to JP2000019111A priority Critical patent/JP3369525B2/ja
Publication of JP2001210848A publication Critical patent/JP2001210848A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3369525B2 publication Critical patent/JP3369525B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/02Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
    • H01L33/20Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a particular shape, e.g. curved or truncated substrate
    • H01L33/24Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a particular shape, e.g. curved or truncated substrate of the light emitting region, e.g. non-planar junction
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/62Arrangements for conducting electric current to or from the semiconductor body, e.g. lead-frames, wire-bonds or solder balls
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy

Landscapes

  • Photovoltaic Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 球状半導体のコア部の電極を新規な連続的手
段で生産性よく形成でき、さらに球状半導体の削り除去
が少なく受光面を大きくとれる太陽電池を得る。また、
太陽電池の連続的な製造及びモジュール化が円滑に出来
る製造方法を得る。 【解決手段】 表面に第2導電層の半導体が形成され第
1導電型の半導体をコア部に有した球状基板を備えた太
陽電池において、球状基板1に貫通孔4があけられ、該
貫通孔4に電極金属5が串刺し挿入され、シンタリング
により前記球状基板1との間で合金層が形成されて接合
し、球状基板1を出た電極金属5が第1導電型の電極6
を形成して太陽電池10を構成している。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は太陽電池及びその製
造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】球状半導体はどの方向からの光について
も吸収性にすぐれ太陽電池としてすぐれている。
【0003】球状半導体は光があたると電子(−)と正
孔(+)の対が生まれ、電子はn型半導体に、正孔はp
型半導体に引き寄せられ、pn接合部分の両側のn型半
導体とp型半導体の間に起電力が発生する。この起電力
を取り出すためにn型半導体及びp型半導体に電極が設
けられる。
【0004】従来、球状半導体においてはコアの球状シ
リコン半導体が例えばp型半導体であれば、表層にn型
半導体が形成されているので、p型半導体の電極は球状
シリコン半導体の一部をエッチング或いは研削してコア
を露出させ、該露出部に形成している。
【0005】
【この発明が解決しようとする課題】前記電極の形成で
は、球状体が動き回るので樹脂等に一部を埋め込み、加
熱等して樹脂を硬化させて球状半導体を固定し、前記露
出させる加工を行わなければならなず、生産がバッチ的
で生産性が低い問題がある。
【0006】また、前記球状体の一部を露出させて電極
を形成したのち、先に固定した樹脂等を取り除く処理を
せねばならずこの点からも生産性が上がらない。
【0007】さらに、前記露出加工は球状半導体の表面
に形成しているn型半導体層の一部を除去することにな
り、受光部が減る問題がある。
【0008】本発明は球状半導体のコア部の電極を新規
な連続的手段で生産性よく形成でき、さらに球状半導体
の削り除去が少なく受光面を大きくとれる太陽電池を得
ることを目的とする。また、太陽電池の連続的な製造及
びモジュール化が円滑にできる製造方法を他の目的とす
る。
【0009】なお、球状半導体の表面に形成される例え
ばn型半導体は、その電極を導電ペーストの付設等によ
り比較的容易になされる。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、表面に
第2導電層の半導体が形成され第1導電型の半導体をコ
ア部に有する球状基板を備えた太陽電池において、前記
球状基板に貫通孔があけられ、該貫通孔に電極金属が串
刺し挿入され、前記球状基板との合金により接合し、球
状基板を出た電極金属が第1導電型の電極を形成してい
ることを特徴とする太陽電池にある。第2の要旨は、前
記球状基板が複数個列状に配列され、各球状基板が貫通
孔に串刺し挿入した電極金属を介して連続して配列され
ている太陽電池にある。第3の要旨は、前記第1導電型
の半導体を形成する球状基板のコア部が球状シリコン、
又は球状化合物半導体で、球状基板の貫通孔に串刺し挿
入された電極金属がアルミニュウームであることを特徴
とする太陽電池にある。
【0011】本発明の製造方法に関する第4の要旨は、
表面に第2導電層の半導体が形成され第1導電型の半導
体をコア部に有する球状基板を備えた太陽電池の製造方
法において、前記球状基板に貫通孔をあけ、洗浄して、
前記貫通孔に電極金属を挿入串刺し、シンタリングによ
り前記電極金属と貫通孔部の球状基板の間で合金を形成
して接合し、球状基板から出でいる電極金属を第1導電
型の半導体の電極とすることを特徴とする太陽電池の製
造方法にある。第5の要旨は、前記球状基板に貫通孔を
あけ、貫通孔にワイヤを通して球状基板を複数個続けて
配列して洗浄し、前記ワイヤを除去するとともに貫通孔
に電極金属を挿入し複数個の球状基板を串刺し列状に配
列し、シンタリングにより前記電極金属と貫通孔部の球
状基板の間で合金を形成して接合し、複数個配列した球
状基板の先端又は後端から出ている電極金属を第1導電
型の半導体の電極とすることを特徴とする太陽電池の製
造方法にある。第6の要旨は、前記第1導電型の半導体
を形成する球状基板のコア部が球状シリコン、又は球状
化合物半導体で、球状基板の貫通孔に串刺し挿入する電
極金属がアルミニュウームであることを特徴とする太陽
電池の製造方法にある。
【0012】
【発明の実施の形態】次に、本発明の1実施例について
図面を参照し説明する。図1は本発明の1実施例による
太陽電池の製造を示すものである。1は球状基板で、コ
ア部が例えば直径が約1mmのp型多結晶シリコン粒
2、又はp型アモルファスシリコン球であり第1導電層
の半導体を構成し、真空中で加熱しつつ落下されながら
球状に形成され、第1導電層の半導体例えばp型多結晶
シリコン粒2が形成され、その表面に、拡散法によるn
型化合物ドープ、フォスフィンを含むシラン等の混合ガ
スを用いたCVD法、又はイオン注入法等により第2導
電層のn型多結晶シリコン層3が形成されている。
【0013】前記球状基板1には貫通孔4がレーザー、
電子ビーム、ドリル又は放電加工等により直径方向にあ
けられる。該貫通孔4の穿孔は球状基板1を挟み治具で
挟持して固定し、或いはチューブ内に入れて保持し、該
球状基板1に例えばレーザー、電子ビームの照射、或い
はドリルにより連続的になされる。
【0014】前記貫通孔4の穿孔の際には、貫通孔4の
入口と出口には図1の(b)に示すように、テーパー加
工を貫通孔4の形成前、或いは形成後に施すことが、該
貫通孔4に挿入する電極金属と前記表層のn型多結晶シ
リコン層3が短絡しないようにするのに好ましい。
【0015】前記短絡の防止のためには、前記テーパー
加工に限らず、図2の(a)のように貫通孔4の入口と
出口のn型多結晶シリコン層3を直截状に削り落し、或
いは同図の(b)のように貫通孔4の入口と出口部のn
型多結晶シリコン層3をドリルの口径や、レーザーの照
射光径の広げ等により広めに除去すればよい。
【0016】貫通孔4が穿孔された球状基板1は洗浄さ
れ、電導金属5、例えばアルミニュウーム、アルミニュ
ウーム合金等の線状体を貫通孔4に挿入串刺しする。串
刺しで球状基板1から出る部分が電極6となるので、導
電金属5は電極6に必要な長さ球状基板1から出るよう
に串刺しする。前記導電金属5の中で好ましいのは球状
基板1のコア部がシリコンである場合はアルミニュウー
ムである。
【0017】前記電導金属5は貫通孔4に挿入する前
に、当該導電金属4を冷却しておき、冷却収縮状態を利
用し、挿入後に常温に戻ることで貫通孔4への固定を高
めるようにしてもよい。
【0018】電導金属5が挿入串刺しされた球状基板1
は加熱装置にて例えば300〜350℃にてシンタリン
グされ、前記電導金属5と貫通孔部の球状基板1とで互
いに拡散させ合金層が形成され接合する。これにより球
状基板1から出ている電導金属5が電極6、この実施例
ではp型電極として機能できるようになる。
【0019】なお、第2導電型のn型多結晶シリコン層
3のn型電極7は、球状基板1を載置し接合した導電プ
レート8上に形成される。なお、9は前記導電プレート
8の下面に設けられた絶縁材である。
【0020】このようにして本発明による球状半導体か
らなる太陽電池10が製造されるが、球状半導体のコア
部の電極6を樹脂固定及びその除去等の面倒な作業工程
をすることなく、生産性よく形成できる。
【0021】次に、第2実施例の球状基板1を複数個続
けて配列した太陽電池とその製造について図3、図4、
図5、図6、図7、図8を参照して説明する。球状基板
1は先の実施例と同じように製造されるものであり、表
面層に例えばn型多結晶シリコン3が形成され、コア部
はp型多結晶シリコン粒2である。
【0022】球状基板1は図3のように例えば挟み治具
11で挟持固定され、該球状基板1にレーザー、電子ビ
ーム、ドリル、或いは放電加工等により貫通孔4を穿設
する。該貫通孔4の穿設に際しては先の実施例で述べた
ように、入口と出口にテーパ等を形成するのが好まし
い。
【0023】穿孔された球状基板1は挟み治具11から
図4に示す筒12内に押し出され、該筒12内に設けら
れている支持ワイヤー13が前記貫通孔4に入り、順
次、穿孔された球状基板1が支持ワイヤー13を介して
所望個数縦列される。図5にこの実施例で球状基板1を
4個、支持ワイヤー13に通し続けて配列したものを示
している。なお、配列の個数は4個に限らず目的に応じ
て変えられる。
【0024】前記複数配列された球状基板1は洗浄さ
れ、付着粉や液分等が除去される。その後、前記支持ワ
イヤー13を除去するとともに、貫通孔4に電導金属
5、例えばアルミニュウーム、アルミニュウーム合金等
を図6に示すように挿入串刺しする。なお、14はスト
ッパーで串刺しされた先頭の球状基板1を止めるもので
ある。
【0025】次いで前記串刺しされた複数個の球状基板
1は加熱装置にてシンタリングが前記と同様になされ、
電導金属5と貫通孔4部の球状基板1が合金層を形成し
て接合し、球状基板1から出ている電導金属5がこの実
施例ではp型多結晶シリコン粒2の電極となる。このよ
うに本発明では複数個配列した球状基板1のコア部の電
極が新規な少い工程で形成される。
【0026】コア部の電極が形成され複数個配列された
球状基板1は、その一列が図7に示すように、或いは、
所望の複数列として図8に示すように、導電プレート1
5の上に置かれ、球状基板1の表層のn型多結晶シリコ
ン層3と接している前記導電プレート15が、n型半導
体の電極16となる。なお、導電プレート15の下面に
は絶縁材17が設けられている。
【0027】前記絶縁材17としてフレキシビリィティ
なポリイミドフィルム等を用いると、その後のモジュー
ル化の加工処理がリール・ツー・リールで出来るように
なる。
【0028】このように、本発明では球状基板を複数個
配列された太陽電池が、前記と同じく樹脂固定やその除
去などをすることなく、少ない工程で生産性よく製造で
きる。
【0029】前記実施例では球状基板のコア部がp型半
導体、表層部にn型半導体か形成されたものについて述
べたが、これに限らず、コア部がn型半導体、表層部に
p型半導体が形成されたものであっても、本発明は同様
に適用できる。
【0030】
【発明の効果】本発明による球状基板はコア部の電極を
形成するのに球状体を削り取りするようなことがないの
で、受光部を大きくとれる太陽電池が得られる。また、
前述のように太陽電池が生産性よく製造される等の効果
がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の1実施例による太陽電池の製造を示す
図。
【図2】本発明の1実施例における球状基板への貫通孔
の形成形状を示す図。
【図3】本発明の第2実施例による球状基板への貫通孔
の形成を説明するための図。
【図4】本発明の第2実施例による太陽電池の製造過程
を説明するための図。
【図5】本発明の第2実施例による太陽電池の製造過程
を説明するための図。
【図6】本発明の第2実施例による太陽電池を示す図。
【図7】本発明の第2実施例による球状基板の1列配列
の太陽電池を示す図。
【図8】本発明の第2実施例による球状基板の複数列配
列の太陽電池を示す図。
【符号の説明】
1 球状基板 2 p型多結晶シリコン粒 3 n型多結晶シリコン層 4 貫通孔 5 電導金属 6 電極 7 n型電極 8 導電プレート 9 絶縁材 10 太陽電池 11 挟み治具 12 筒 13 支持ワイヤー 14 ストッパー 15 導電プレート 16 電極 17 絶縁材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 甲斐 秀芳 北九州市八幡西区小嶺2丁目10番1号 株 式会社三井ハイテック内 Fターム(参考) 5F051 AA03 AA07 CB12 CB19 CB20 CB27 CB29 DA03 DA20 FA06 GA04

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 表面に第2導電層の半導体が形成され第
    1導電型の半導体をコア部に有した球状基板を備えた太
    陽電池において、前記球状基板に貫通孔があけられ、該
    貫通孔に電極金属が串刺し挿入され前記球状基板との合
    金により接合し、球状基板を出た電極金属が第1導電型
    の電極を形成していることを特徴とする太陽電池。
  2. 【請求項2】 前記球状基板が複数個列状に配列され、
    各球状基板が貫通孔に串刺し挿入した電極金属を介して
    連続して配列されていることを特徴とする請求項1記載
    の太陽電池。
  3. 【請求項3】 前記第1導電型の半導体を形成する球状
    基板のコア部が球状シリコン、又は球状化合物半導体
    で、球状基板の貫通孔に串刺し挿入された電極金属がア
    ルミニュウームであることを特徴とする請求項1または
    請求項2記載の太陽電池。
  4. 【請求項4】 表面に第2導電層の半導体が形成され第
    1導電型の半導体をコア部に有した球状基板を備える太
    陽電池の製造方法において、前記球状基板に貫通孔をあ
    け、洗浄して、前記貫通孔に電極金属を挿入串刺し、シ
    ンタリングにより前記電極金属と貫通孔部の球状基板の
    間で合金層を形成して接合し、球状基板から出でいる電
    極金属を第1導電型の半導体の電極とすることを特徴と
    する太陽電池の製造方法。
  5. 【請求項5】 表面に第2導電層の半導体が形成され第
    1導電型の半導体をコア部に有した球状基板を備える太
    陽電池の製造方法において、前記球状基板に貫通孔をあ
    け、貫通孔にワイヤを通して球状基板を複数個続けて配
    列して洗浄し、前記ワイヤを除去するとともに貫通孔に
    電極金属を挿入し複数個の球状基板を串刺し列状に配列
    し、シンタリングにより前記電極金属と貫通孔部の球状
    基板の間で合金層を形成して接合し、複数個配列した球
    状基板の先端又は後端から出ている電極金属を第1導電
    型の半導体の電極とすることを特徴とする太陽電池の製
    造方法。
  6. 【請求項6】 前記第1導電型の半導体を形成する球状
    基板のコア部が球状シリコン、又は球状化合物半導体
    で、球状基板の貫通孔に串刺し挿入する電極金属がアル
    ミニュウームであることを特徴とする請求項4または請
    求項5記載の太陽電池の製造方法。
JP2000019111A 2000-01-27 2000-01-27 太陽電池及びその製造方法 Expired - Fee Related JP3369525B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000019111A JP3369525B2 (ja) 2000-01-27 2000-01-27 太陽電池及びその製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000019111A JP3369525B2 (ja) 2000-01-27 2000-01-27 太陽電池及びその製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001210848A true JP2001210848A (ja) 2001-08-03
JP3369525B2 JP3369525B2 (ja) 2003-01-20

Family

ID=18545872

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000019111A Expired - Fee Related JP3369525B2 (ja) 2000-01-27 2000-01-27 太陽電池及びその製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3369525B2 (ja)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004001858A1 (ja) * 2002-06-21 2003-12-31 Josuke Nakata 受光又は発光用デバイスおよびその製造方法
EP1427027A1 (en) * 2001-08-13 2004-06-09 Josuke Nakata Semiconductor device and method of its manufacture
EP1427026A1 (en) * 2001-08-13 2004-06-09 Josuke Nakata LIGHT−EMITTING OR LIGHT−RECEIVING SEMICONDUCTOR MODULE AND METHOD OF ITS MANUFACTURE
US7214557B2 (en) 2003-10-24 2007-05-08 Kyosemi Corporation Light receiving or light emitting modular sheet and process for producing the same
US7238966B2 (en) 2002-05-02 2007-07-03 Josuke Nakata Light-receiving panel or light-emitting panel, and manufacturing method thereof
US7378757B2 (en) 2003-06-09 2008-05-27 Kyosemi Corporation Power generation system
US7387400B2 (en) 2003-04-21 2008-06-17 Kyosemi Corporation Light-emitting device with spherical photoelectric converting element
US7602035B2 (en) 2001-10-19 2009-10-13 Josuke Nakata Light emitting or light receiving semiconductor module and method for manufacturing same
JP2011138909A (ja) * 2009-12-28 2011-07-14 Clean Venture 21 Corp 光電変換素子およびその製造方法、ならびに光電変換装置およびその製造方法

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7244998B2 (en) 2001-08-13 2007-07-17 Josuke Nakata Light-emitting or light-receiving semiconductor module and method of its manufacture
US7238968B2 (en) 2001-08-13 2007-07-03 Josuke Nakata Semiconductor device and method of making the same
EP1427026A1 (en) * 2001-08-13 2004-06-09 Josuke Nakata LIGHT−EMITTING OR LIGHT−RECEIVING SEMICONDUCTOR MODULE AND METHOD OF ITS MANUFACTURE
EP1427027A4 (en) * 2001-08-13 2006-12-20 Josuke Nakata SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
EP1427026A4 (en) * 2001-08-13 2006-12-20 Kyosemi Corp LIGHT EMITTING SEMICONDUCTOR MODULE OR LIGHT RECEIVER AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
EP1427027A1 (en) * 2001-08-13 2004-06-09 Josuke Nakata Semiconductor device and method of its manufacture
US7602035B2 (en) 2001-10-19 2009-10-13 Josuke Nakata Light emitting or light receiving semiconductor module and method for manufacturing same
US7238966B2 (en) 2002-05-02 2007-07-03 Josuke Nakata Light-receiving panel or light-emitting panel, and manufacturing method thereof
US7220997B2 (en) 2002-06-21 2007-05-22 Josuke Nakata Light receiving or light emitting device and itsd production method
WO2004001858A1 (ja) * 2002-06-21 2003-12-31 Josuke Nakata 受光又は発光用デバイスおよびその製造方法
CN100380685C (zh) * 2002-06-21 2008-04-09 中田仗祐 光电或发光用器件及其制造方法
US7387400B2 (en) 2003-04-21 2008-06-17 Kyosemi Corporation Light-emitting device with spherical photoelectric converting element
US7378757B2 (en) 2003-06-09 2008-05-27 Kyosemi Corporation Power generation system
US7214557B2 (en) 2003-10-24 2007-05-08 Kyosemi Corporation Light receiving or light emitting modular sheet and process for producing the same
JP2011138909A (ja) * 2009-12-28 2011-07-14 Clean Venture 21 Corp 光電変換素子およびその製造方法、ならびに光電変換装置およびその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP3369525B2 (ja) 2003-01-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0887869B9 (en) Method of manufacturing thermionic element
JP5992396B2 (ja) 太陽電池および太陽電池を製造する方法
US20060162766A1 (en) Back-contacted solar cells with integral conductive vias and method of making
US8193439B2 (en) Thermoelectric modules and related methods
KR20120031302A (ko) 배선 시트가 부착된 태양 전지 셀, 태양 전지 모듈 및 배선 시트가 부착된 태양 전지 셀의 제조 방법
US20100243059A1 (en) Solar battery cell
KR20080107434A (ko) 고전압 태양전지 및 태양전지 모듈
US20020140079A1 (en) Mounting structure and mounting method of a photovoltaic element, mounting substrate for mounting a semiconductor element and method for mounting said semiconductor element on said mounting substrate
JPH025447A (ja) 半導体デバイスの製造方法並びにその製造方法に使用する可撓性ウエファ構造
JP2001210848A (ja) 太陽電池及びその製造方法
US20080011347A1 (en) Connecting lead wire for a solar battery module, method for fabricating same, and solar battery module using the connecting lead wire
DE102016107792B4 (de) Packung und halbfertiges Produkt mit vertikaler Verbindung zwischen Träger und Klammer sowie Verfahren zum Herstellen einer Packung und einer Charge von Packungen
KR102234830B1 (ko) 태양 패널 및 이러한 태양 패널의 제조방법
JP2006229025A (ja) 光電変換装置の製造方法および光電変換装置
JPWO2016152649A1 (ja) 太陽電池モジュール及びその製造方法
JP2002050780A (ja) 太陽電池の製造方法および太陽電池
JP2002110981A (ja) 半導体装置の電極構造および半導体パッケージ
JP7346427B2 (ja) 熱電変換材料のチップの製造方法及びその製造方法により得られたチップを用いた熱電変換モジュールの製造方法
JP4590617B2 (ja) 光電変換装置およびその製造方法
CN116525704A (zh) 用于太阳能电池的导电线的金属化
RU2127009C1 (ru) Способ изготовления полупроводникового фотопреобразователя
JP3964123B2 (ja) 太陽電池の製造方法
JPH10242536A (ja) 熱電モジュールの製造方法
JPWO2005015649A1 (ja) 熱電変換素子およびその製造方法
KR101153720B1 (ko) 열전모듈 및 이의 제조방법

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071115

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081115

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091115

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091115

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101115

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111115

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121115

Year of fee payment: 10

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees