JP2001195034A - Array substrate and its inspection method - Google Patents

Array substrate and its inspection method

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JP2001195034A
JP2001195034A JP2000003616A JP2000003616A JP2001195034A JP 2001195034 A JP2001195034 A JP 2001195034A JP 2000003616 A JP2000003616 A JP 2000003616A JP 2000003616 A JP2000003616 A JP 2000003616A JP 2001195034 A JP2001195034 A JP 2001195034A
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signal
signal line
circuit
inspection
array substrate
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JP2000003616A
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Ryoichi Watanabe
良一 渡辺
Masahiro Seiki
正寛 清木
Ikuo Matsunaga
郁夫 松永
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Toshiba Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an array substrate whose cost is capable of being reduced without lowering the measuring accuracy of a circuit for inspection and an inspection method which is an inspection method inspecting short circuits and disconnection of a display device capable of making pixels to be highly accurate and is capable of being applied to the array substrate. SOLUTION: A first signal line X1 and a second signal line X2 which are adjacent with each other are made to be a pair and the first probe PR1 of a circuit for inspection 900 is connected to a connection pad PD1A and, also, a second probe PR2 is connected to a pad for inspection PD1B which is provided on the signal line X2. Then, the short circuit between the signal lines of the pair is detected by writing an anolog signal to the first signal line X1 in a state in which the connection pad PD1A connected to the first probe PR1 is connected electrically to the first signal line X1 by the control of a switch SW1 which is included in a selection circuit 170 and by reading out an output signal from the second signal line X2 connected electrically to the pad for inspection PD1B.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、アレイ基板及び
その検査方法に係り、特に、外部回路との接続数が低減
できる表示装置の検査方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an array substrate and a method of inspecting the same, and more particularly, to a method of inspecting a display device capable of reducing the number of connections to an external circuit.

【0002】[0002]

【従来の技術】表示装置、たとえば多結晶シリコンTF
Tを用いた液晶表示装置では、駆動回路としての信号線
駆動用回路の一部及びゲート線駆動用回路をアレイ基板
上に一体的に形成することができる。この場合、基板外
部にも信号線駆動回路の一部、例えばディジタル・アナ
ログ変換回路(DAC)が設けられるが、アモルファス
シリコンTFTを用いた液晶表示装置と比較して、アレ
イ基板と外部回路との接続配線の数を大幅に減少でき
る。
2. Description of the Related Art Display devices such as polycrystalline silicon TF
In a liquid crystal display device using T, a part of a signal line driving circuit as a driving circuit and a gate line driving circuit can be integrally formed over an array substrate. In this case, a part of the signal line driving circuit, for example, a digital-to-analog conversion circuit (DAC) is also provided outside the substrate. However, as compared with a liquid crystal display device using amorphous silicon TFTs, the connection between the array substrate and the external circuit is reduced. The number of connection wirings can be greatly reduced.

【0003】上述したような表示装置において、例え
ば、隣接する信号線間の短絡を検査する場合には、各信
号線に検査用のパッドを設け、両パッドに検査用回路の
プローブを接続し、抵抗値を測定することによって、信
号線間の短絡を検出する。
In the above-described display device, for example, when inspecting a short circuit between adjacent signal lines, an inspection pad is provided for each signal line, and a probe of an inspection circuit is connected to both pads. The short circuit between the signal lines is detected by measuring the resistance value.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、信号線
間の短絡を検査するために少なくとも信号線数と同じ数
の検査用パッドが必要となるだけでなく、パッドの数に
対応した数の検査用プローブも必要となる。このため、
検査用パッドの配置スペースの確保、高精度な位置合わ
せが要求され、また高価なプローブを用意する必要があ
る。
However, in order to inspect for short-circuits between signal lines, not only the number of test pads as many as the number of signal lines are required, but also the number of test pads corresponding to the number of pads is required. Probes are also required. For this reason,
It is necessary to secure the arrangement space for the inspection pads and to perform high-precision alignment, and it is necessary to prepare expensive probes.

【0005】この発明は、上述した問題点に鑑みなされ
たものであって、その目的は、画素の高精細化が可能な
表示装置の短絡を検査する検査方法であって、検査用回
路の測定精度を低減することなくコストを低減できるア
レイ基板およびこのアレイ基板に適用される検査方法を
提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described problems, and has as its object to provide an inspection method for inspecting a short circuit of a display device capable of increasing the definition of pixels, and a method of measuring an inspection circuit. An object of the present invention is to provide an array substrate capable of reducing costs without reducing accuracy and an inspection method applied to the array substrate.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決し目的を
達成するために、請求項1に記載のアレイ基板は、基板
上に互いに直交して配列された複数のゲート線及び複数
の信号線と、ゲート線と信号線とのそれぞれの交差部に
配置されたトランジスタと、各トランジスタに接続され
た画素電極と、駆動ICから出力されたアナログ信号が
入力される入力端子と、前記入力端子から入力されたア
ナログ信号を複数の隣接する信号線から順次選択して振
り分ける選択手段と、前記選択手段と前記トランジスタ
との間に配置され、前記信号線に電気的に接続された検
査用パッドと、を備えたことを特徴とする。
In order to solve the above-mentioned problems and achieve the object, an array substrate according to the first aspect of the present invention comprises a plurality of gate lines and a plurality of signal lines arranged orthogonally to each other on the substrate. A transistor disposed at each intersection of the gate line and the signal line; a pixel electrode connected to each transistor; an input terminal to which an analog signal output from the driver IC is input; A selection unit for sequentially selecting and distributing an input analog signal from a plurality of adjacent signal lines, and a test pad arranged between the selection unit and the transistor and electrically connected to the signal line; It is characterized by having.

【0007】請求項5に記載のアレイ基板の検査方法
は、基板上に互いに直交して配列された複数のゲート線
及び複数の信号線と、ゲート線と信号線とのそれぞれの
交差部に配置されたトランジスタと、各トランジスタに
接続された画素電極と、駆動ICから出力されたアナロ
グ信号が入力される入力端子と、前記入力端子から入力
されたアナログ信号を複数の隣接する信号線から順次選
択して振り分ける選択手段と、前記選択手段と前記トラ
ンジスタとの間に配置され、前記信号線に電気的に接続
された検査用パッドと、を備えたアレイ基板の検査方法
において、互いに隣接する第1信号線及び第2信号線の
それぞれに配置された前記検査用パッドに検査用回路の
プローブを接続し、前記第1信号線上の第1検査用パッ
ドから前記第1信号線にアナログ信号を書き込み、前記
第2信号線から前記第2信号線上の第2検査用パッドを
介して出力される出力信号を読み取り、前記第2検査用
パッドから読み取った出力信号に基づいて、前記第1信
号線と前記第2信号線との間の短絡を検査する、ことを
特徴とする。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a method for inspecting an array substrate, wherein a plurality of gate lines and a plurality of signal lines are arranged on the substrate at right angles to each other, and are arranged at respective intersections of the gate lines and the signal lines. Transistor, a pixel electrode connected to each transistor, an input terminal to which an analog signal output from the driving IC is input, and an analog signal input from the input terminal sequentially selected from a plurality of adjacent signal lines. And a test pad disposed between the select means and the transistor and electrically connected to the signal line. A probe of a test circuit is connected to the test pads arranged on each of the signal line and the second signal line, and the first signal is supplied from the first test pad on the first signal line. An analog signal, reads an output signal output from the second signal line via a second inspection pad on the second signal line, and, based on the output signal read from the second inspection pad, A short circuit between the first signal line and the second signal line is inspected.

【0008】請求項6に記載のアレイ基板の検査方法
は、基板上に互いに直交して配列された複数のゲート線
及び複数の信号線と、ゲート線と信号線とのそれぞれの
交差部に配置されたトランジスタと、各トランジスタに
接続された画素電極と、駆動ICから出力されたアナロ
グ信号が入力される入力端子と、前記入力端子から入力
されたアナログ信号を複数の隣接する信号線から順次選
択して振り分ける選択手段と、前記選択手段と前記トラ
ンジスタとの間に配置され、前記信号線に電気的に接続
された検査用パッドと、を備えたアレイ基板の検査方法
において、前記選択手段により第1信号線を選択し、前
記入力端子、及び、前記第1信号線に隣接する第2信号
線上に配置された検査用パッドに検査用回路のプローブ
を接続し、前記入力端子から前記第1信号線にアナログ
信号を書き込み、前記第2信号線から前記検査用パッド
を介して出力される出力信号を読み取り、前記検査用パ
ッドから読み取ったアナログ信号に基づいて、前記第1
信号線と前記第2信号線との間の短絡を検査する、こと
を特徴とする。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a method for inspecting an array substrate, wherein a plurality of gate lines and a plurality of signal lines are arranged on the substrate at right angles to each other, and are disposed at intersections of the gate lines and the signal lines. Transistor, a pixel electrode connected to each transistor, an input terminal to which an analog signal output from the driving IC is input, and an analog signal input from the input terminal sequentially selected from a plurality of adjacent signal lines. And an inspection pad disposed between the selection unit and the transistor and electrically connected to the signal line, wherein the inspection method of the array substrate comprises: Selecting one signal line, connecting a probe of a test circuit to the input terminal and a test pad arranged on a second signal line adjacent to the first signal line, Write an analog signal from the child to the first signal line, reads the output signal output via the test pads from the second signal line, based on the analog signals read from the test pads, the first
A short circuit between the signal line and the second signal line is inspected.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】以下、この発明のアレイ基板を備
えた表示装置、例えば多結晶シリコンTFTを画素TF
Tとして用い有効表示領域が対角15インチサイズの光
透過型液晶表示装置、及びこのアレイ基板に適用される
検査方法に係る一実施の形態について図面を参照して説
明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a display device provided with an array substrate according to the present invention, for example, a polycrystalline silicon TFT will be referred to as a pixel TF.
An embodiment of a light-transmitting liquid crystal display device having a diagonal size of 15 inches as an effective display area and an inspection method applied to the array substrate will be described with reference to the drawings.

【0010】図1に示すように、この液晶表示装置1
は、アレイ基板100と、このアレイ基板100に対し
て所定の間隔をおいて対向配置された対向基板200
と、これらアレイ基板100と対向基板200との間に
挟持され配向膜(図示せず)を介して配置される液晶層
300とを備えている。アレイ基板100と対向基板2
00とは、その周辺に配置されるシール材400によっ
て貼り合わせられている。
As shown in FIG. 1, this liquid crystal display 1
Is a counter substrate 200 disposed opposite to the array substrate 100 at a predetermined distance from the array substrate 100.
And a liquid crystal layer 300 sandwiched between the array substrate 100 and the counter substrate 200 and disposed via an alignment film (not shown). Array substrate 100 and counter substrate 2
00 is attached by a seal member 400 disposed around the periphery.

【0011】アレイ基板100は、行方向に沿って延出
された複数のゲート線Yと、列方向に沿って延出された
複数の信号線Xと、ゲート線Yと信号線Xとの各交差部
に設けられたスイッチング素子としての画素薄膜トラン
ジスタすなわち画素TFT110と、ゲート線Yと信号
線Xとによって囲まれた各画素に対応して設けられた画
素電極120と、を備えている。
The array substrate 100 includes a plurality of gate lines Y extending in a row direction, a plurality of signal lines X extending in a column direction, and a plurality of gate lines Y and signal lines X. It includes a pixel thin film transistor or a pixel TFT 110 as a switching element provided at the intersection, and a pixel electrode 120 provided corresponding to each pixel surrounded by the gate line Y and the signal line X.

【0012】画素TFT110は、多結晶シリコン膜を
半導体層とする多結晶シリコンTFTである。画素TF
T110のゲート電極は、ゲート線Yに接続されている
とともに、ソース電極は、信号線Xに接続されている。
また、画素TFT110のドレイン電極は、画素電極1
20及びこの画素電極120と並列に補助容量素子13
0を構成する一方の電極に接続されている。
The pixel TFT 110 is a polycrystalline silicon TFT using a polycrystalline silicon film as a semiconductor layer. Pixel TF
The gate electrode of T110 is connected to the gate line Y, and the source electrode is connected to the signal line X.
The drain electrode of the pixel TFT 110 is the pixel electrode 1
20 and the auxiliary capacitance element 13 in parallel with the pixel electrode 120.
0 is connected to one of the electrodes.

【0013】ゲート線Yを駆動するための駆動信号を出
力するゲート線駆動手段として機能するゲート線駆動回
路150は、画素TFT110と同一プロセスでアレイ
基板100上に一体的に形成されている。
A gate line driving circuit 150 functioning as a gate line driving means for outputting a driving signal for driving the gate line Y is integrally formed on the array substrate 100 in the same process as the pixel TFT 110.

【0014】信号線Xを駆動するための駆動信号を出力
する信号線駆動回路部160は、フレキシブル配線基板
上に信号線駆動用IC511が実装され、アレイ基板1
00と電気的に接続されるTCP500−1、500−
2…、500−6と、アレイ基板100上に画素TFT
110と同一プロセスで形成された選択手段として機能
する選択回路170とによって構成される。
The signal line driving circuit section 160 for outputting a driving signal for driving the signal line X has a signal line driving IC 511 mounted on a flexible wiring board, and the array substrate 1
TCP 500-1, 500- electrically connected to
2,..., 500-6, and a pixel TFT on the array substrate 100
110 and a selection circuit 170 formed by the same process and functioning as selection means.

【0015】TCP500−1〜6は、アレイ基板10
0の一辺に列設され、外部回路基板としてのPCB基板
600に接続されている。このPCB基板600には、
外部から入力される基準クロック信号及びディジタル方
式のデータ信号に基づいて、各種制御信号及び制御信号
に同期したデータ信号を出力する制御IC、電源回路な
どが実装されている。
The TCPs 500-1 to 500-6 correspond to the array substrate 10
0, and are connected to a PCB board 600 as an external circuit board. On this PCB board 600,
Based on a reference clock signal and a digital data signal input from the outside, a control IC for outputting various control signals and a data signal synchronized with the control signal, a power supply circuit, and the like are mounted.

【0016】TCP500−Nは、図2に示すように、
PCB基板600に形成された接続配線上の接続端子に
接続されるPCB側パッド513と、アレイ基板100
に形成された接続配線上の接続端子に接続されるアレイ
側パッド515と、これらのパッド間を接続する各種配
線とを備えている。これらのPCB側パッド513及び
アレイ側パッド515は、異方性導電フィルム(AC
F)を介してそれぞれPCB基板600及びアレイ基板
100に電気的に接続されている。
The TCP 500-N is, as shown in FIG.
A PCB-side pad 513 connected to a connection terminal on a connection wiring formed on the PCB substrate 600;
An array-side pad 515 connected to a connection terminal on a connection wiring formed in the array, and various wirings connecting these pads are provided. These PCB side pads 513 and array side pads 515 are made of an anisotropic conductive film (AC
F), and are electrically connected to the PCB substrate 600 and the array substrate 100, respectively.

【0017】信号線駆動回路部160の信号線駆動用I
C511は、PCB基板600からの入力信号に基づい
て、データ信号をアナログ方式の映像信号として出力す
る。
The signal line driving circuit 160 of the signal line driving circuit unit 160
The C511 outputs a data signal as an analog video signal based on an input signal from the PCB 600.

【0018】すなわち、図3に示すように、信号線駆動
用IC511は、シフトレジスタ521、データレジス
タ523、D/Aコンバータ525などから構成されて
いる。シフトレジスタ521には、PCB基板600側
からクロック信号及び制御信号が入力される。データレ
ジスタ523には、PCB基板600側からデータ信号
が入力される。また、D/Aコンバータ525には、P
CB基板600側から基準信号が入力され、入力された
データ信号がアナログ映像信号に変換される。
That is, as shown in FIG. 3, the signal line driving IC 511 includes a shift register 521, a data register 523, a D / A converter 525, and the like. A clock signal and a control signal are input to the shift register 521 from the PCB substrate 600 side. A data signal is input to the data register 523 from the PCB board 600 side. Also, the D / A converter 525 has P
A reference signal is input from the CB substrate 600, and the input data signal is converted into an analog video signal.

【0019】TCP−Nの信号線駆動用IC511から
出力される各アナログ映像信号は、各水平走査期間毎に
2つの信号線に対応したアナログ映像信号を含み、これ
を時系列に出力し、これがアレイ基板100上に形成さ
れた信号線駆動回路部160の選択回路170に入力さ
れる。
Each analog video signal output from the TCP-N signal line driving IC 511 includes an analog video signal corresponding to two signal lines in each horizontal scanning period, and outputs these in a time series. The signal is input to the selection circuit 170 of the signal line drive circuit section 160 formed on the array substrate 100.

【0020】選択回路170は、信号線駆動用IC51
1からの配線に接続され、信号線駆動用IC511から
の各シリアルアナログ映像信号が出力される出力端子O
UT1、OUT2…と、信号線X1、X2…の一端に設
けられた入力端子1A及び1B、2A及び2B…とを選
択的に接続するスイッチSW1、SW2…を備えてお
り、これにより各水平走査期間で信号線駆動用IC51
1からの2つの隣接する信号線に対応するシリアルな各
アナログ映像信号は、後述するように隣接する2つの信
号線に順次振り分けられる。
The selection circuit 170 includes a signal line driving IC 51
Output terminal O, which is connected to the wiring from the terminal 1 and outputs each serial analog video signal from the signal line driving IC 511.
, And switches SW1 and SW2 for selectively connecting input terminals 1A and 1B, 2A and 2B provided at one end of signal lines X1, X2,. Signal line driving IC 51 in the period
Each serial analog video signal corresponding to two adjacent signal lines from 1 is sequentially distributed to two adjacent signal lines as described later.

【0021】この実施の形態では、出力端子OUTの数
は、信号線Xの数の半分であり、1出力端子から2本の
信号線に対して順次駆動信号を出力している。更に接続
数を低減するのであれば、出力端子OUTの数を信号線
Xの数の1/3あるいは1/4等にもすることは可能で
ある。
In this embodiment, the number of output terminals OUT is half of the number of signal lines X, and drive signals are sequentially output from one output terminal to two signal lines. To further reduce the number of connections, the number of output terminals OUT can be reduced to 1/3 or 1/4 of the number of signal lines X.

【0022】そして、例えば、スイッチSW1は、スイ
ッチ信号に基づいて、1水平走査期間内に、出力端子O
UT1と、信号線X1及びX2の入力端子1A及び1B
とをそれぞれ所定のタイミングで順次接続する。スイッ
チSW1は、スイッチ信号がONのタイミングで出力端
子OUT1と入力端子1Aとを接続し、スイッチ信号が
OFFのタイミングで出力端子OUT1と入力端子1B
とを接続する。
For example, the switch SW1 outputs the output terminal O within one horizontal scanning period based on the switch signal.
UT1 and input terminals 1A and 1B of signal lines X1 and X2
Are sequentially connected at predetermined timings. The switch SW1 connects the output terminal OUT1 and the input terminal 1A when the switch signal is ON, and outputs the output terminal OUT1 and the input terminal 1B when the switch signal is OFF.
And connect.

【0023】スイッチSW2も同様に、1水平走査期間
内に、出力端子OUT2と、信号線X3及びX4の入力
端子2A及び2Bとをそれぞれ所定のタイミングで接続
する。スイッチSW2は、スイッチ信号がONのタイミ
ングで出力端子OUT2と入力端子2Bとを接続し、ス
イッチ信号がOFFのタイミングで出力端子OUT2と
入力端子2Bとを接続する。
Similarly, the switch SW2 connects the output terminal OUT2 to the input terminals 2A and 2B of the signal lines X3 and X4 at a predetermined timing within one horizontal scanning period. The switch SW2 connects the output terminal OUT2 to the input terminal 2B when the switch signal is ON, and connects the output terminal OUT2 to the input terminal 2B when the switch signal is OFF.

【0024】このように、ゲート線駆動回路を基板上に
一体的に形成し、信号線駆動回路を基板上に一体的に形
成した選択回路とTCP上に実装された信号線駆動用I
Cとで構成し、1水平走査期間内に、選択回路のスイッ
チが複数の信号線に順次駆動信号を出力することによ
り、画素を高精細化してもアレイ基板上に形成される接
続配線の数を信号線の本数分に対応して形成する必要が
なくなり、接続配線間のピッチを十分に確保できる。
As described above, the gate line driving circuit is formed integrally on the substrate, the signal line driving circuit is formed integrally on the substrate, and the signal line driving I / O mounted on the TCP is formed.
And the number of connection wirings formed on the array substrate even when the pixels are made high definition by the switch of the selection circuit sequentially outputting drive signals to a plurality of signal lines within one horizontal scanning period. Need not be formed corresponding to the number of signal lines, and a sufficient pitch between connection wirings can be secured.

【0025】また、ゲート線駆動回路及び信号線駆動回
路をすべて基板上に形成する場合と比較して、配線長が
長くなることを防止することができ、データ信号、ある
いは映像信号の劣化を防止できるとともに、製造コスト
の増大を防止できる。
Further, compared with the case where the gate line driving circuit and the signal line driving circuit are all formed on the substrate, it is possible to prevent the wiring length from becoming longer, and to prevent the data signal or the video signal from deteriorating. In addition, the manufacturing cost can be prevented from increasing.

【0026】次に、各信号線Xの駆動方法、すなわち各
信号線から各画素へのアナログ映像信号の書き込み方法
の一例について説明する。
Next, an example of a method of driving each signal line X, that is, an example of a method of writing an analog video signal from each signal line to each pixel will be described.

【0027】ここで、たとえば1水平走査期間の前半に
入力端子1A、後半に入力端子1Bにそれぞれ接続され
た信号線X1及びX2に映像信号の書き込みを行う場合
について説明する。
Here, for example, a case where a video signal is written to the signal lines X1 and X2 connected to the input terminal 1A in the first half of one horizontal scanning period and to the input terminal 1B in the second half will be described.

【0028】まず、1水平走査期間の前半に、スイッチ
SW1が入力端子1Aに接続され、信号線X1にアナロ
グ映像信号が書き込まれる。信号線X1にアナログ映像
信号が保持されている状態で、1水平周期の後半に、ス
イッチSW1が入力端子1Bに接続され、信号線X2に
アナログ映像信号が書き込まれる。
First, in the first half of one horizontal scanning period, the switch SW1 is connected to the input terminal 1A, and an analog video signal is written to the signal line X1. In a state where the analog video signal is held on the signal line X1, the switch SW1 is connected to the input terminal 1B in the latter half of one horizontal cycle, and the analog video signal is written on the signal line X2.

【0029】この際、信号線X1は、信号線X2の電位
変化に伴い、信号線同士の結合容量によって、電位の変
化が生じてしまう。その結果、信号線X1では、本来、
書き込まれるべきアナログ映像信号に基づく電位と異な
る電位に変動し、表示上、問題が生じる恐れがある。
At this time, the potential of the signal line X1 changes due to the coupling capacitance between the signal lines with the change in the potential of the signal line X2. As a result, the signal line X1 originally has
The potential fluctuates to a potential different from the potential based on the analog video signal to be written, which may cause a display problem.

【0030】たとえば、1垂直走査期間毎に信号線に書
き込まれる映像信号の極性すなわち正負を切り替え、ま
た隣接する信号線に正負が反転する映像信号が書き込ま
れるVライン反転駆動の場合、一様画面を表示させる、
たとえば電圧を印加して黒表示をする場合、コモン電位
を5Vとすれば、正側は9V、負側は1Vの電圧を印加
することとなる。
For example, in the case of V-line inversion driving in which the polarity of a video signal written to a signal line, that is, positive or negative, is switched every one vertical scanning period, and a video signal whose polarity is inverted is written to an adjacent signal line, a uniform screen is used. To be displayed,
For example, when black display is performed by applying a voltage, if the common potential is 5 V, a voltage of 9 V is applied to the positive side and a voltage of 1 V is applied to the negative side.

【0031】先の問題が生じた場合、信号線X1が9V
の電位を書き込まれた後、隣接する信号線X2に1Vを
書き込むが、信号線X1の電位が信号線X2の電位変動
により9Vの電位が5Vに近づく方向に変化することに
なる。すなわち、黒のレベルが変化し、変動が大きい場
合には、縦に階調の異なる縞が見えてしまうことにつな
がり、表示装置としての機能に重大な支障が生じる。
When the above problem occurs, the signal line X1 is set to 9 V
Is written to the adjacent signal line X2, the potential of the signal line X1 changes in a direction in which the potential of 9V approaches 5V due to the fluctuation of the potential of the signal line X2. In other words, if the black level changes and the fluctuation is large, this leads to the appearance of stripes having different gradations in the vertical direction, which seriously impairs the function of the display device.

【0032】そこで、この実施の形態では、信号線への
書き込み順序を所定の垂直走査期間及び水平走査期間の
少なくとも一方毎に変えることにより、電位変動を生じ
た画素を時間的あるいは空間的に分散し、これによっ
て、表示画面の階調変動を視認しづらくする。
Therefore, in this embodiment, by changing the order of writing to the signal lines at least in each of the predetermined vertical scanning period and horizontal scanning period, the pixels having the potential fluctuation can be temporally or spatially dispersed. This makes it difficult to visually recognize the gradation change of the display screen.

【0033】すなわち、図4に示すように、nフレーム
において、スイッチSW1には、1水平走査期間の前半
でONとなり、後半でOFFとなるスイッチ信号が入力
される。これにより、出力端子OUT1は、1水平走査
期間の前半に入力端子1Aに接続され、後半に入力端子
1Bに接続される。また、スイッチSW2には、1水平
走査期間の前半でOFFとなり、後半でONとなるスイ
ッチ信号が入力される。これにより、出力端子OUT2
は、1水平走査期間の前半に入力端子2Bに接続され、
後半に入力端子2Aに接続される。
That is, as shown in FIG. 4, in the n-th frame, a switch signal which is turned on in the first half of one horizontal scanning period and turned off in the latter half of one horizontal scanning period is input. Thus, the output terminal OUT1 is connected to the input terminal 1A in the first half of one horizontal scanning period, and is connected to the input terminal 1B in the second half. A switch signal that is turned off in the first half of one horizontal scanning period and turned on in the second half is input to the switch SW2. Thereby, the output terminal OUT2
Is connected to the input terminal 2B in the first half of one horizontal scanning period,
The latter half is connected to the input terminal 2A.

【0034】出力端子OUT1から出力される出力信号
は、1水平走査期間の前半及び後半で反転し、前半に
は、接続された入力端子1Aを介して信号線X1に正の
映像信号を書き込み、後半には、接続された入力端子1
Bを介して信号線X2に負の映像信号を書き込む。
The output signal output from the output terminal OUT1 is inverted in the first half and the second half of one horizontal scanning period. In the first half, a positive video signal is written to the signal line X1 via the connected input terminal 1A. In the latter half, connected input terminal 1
A negative video signal is written to the signal line X2 via B.

【0035】出力端子OUT2から出力される出力信号
は、1水平走査期間の前半及び後半で反転し、前半に
は、接続された入力端子2Bを介して信号線X4に負の
映像信号を書き込み、後半には、接続された入力端子2
Aを介して信号線X3に正の映像信号を書き込む。
The output signal output from the output terminal OUT2 is inverted in the first half and the second half of one horizontal scanning period. In the first half, a negative video signal is written to the signal line X4 via the connected input terminal 2B. In the latter half, connected input terminal 2
A positive video signal is written to the signal line X3 via A.

【0036】これにより、画素1には、1水平走査期間
の前半から正の映像信号が書き込まれ、画素2には、後
半から負の映像信号が書き込まれることになる。また、
画素3には、1水平走査期間の後半から正の映像信号が
書き込まれ、画素4には、前半から負の映像信号が書き
込まれることになる。
As a result, a positive video signal is written to the pixel 1 from the first half of one horizontal scanning period, and a negative video signal is written to the pixel 2 from the latter half. Also,
A positive video signal is written to the pixel 3 from the second half of one horizontal scanning period, and a negative video signal is written to the pixel 4 from the first half.

【0037】このとき、隣接する画素の書き込み電位の
影響により、1水平走査期間の前半に書き込まれた電位
が変動する。すなわち、画素1では、画素2に電位が書
き込まれた影響により、書き込み時の9Vからわずかに
低下し、また、画素4では、画素3に電位が書き込まれ
た影響により、書き込み時の1Vからわずかに上昇す
る。
At this time, the potential written in the first half of one horizontal scanning period fluctuates due to the influence of the writing potential of the adjacent pixel. That is, in the pixel 1, the potential is slightly lowered from 9 V at the time of writing due to the effect of writing the potential to the pixel 2, and in the pixel 4, the potential is slightly lowered from 1 V at the time of writing due to the effect of writing the potential to the pixel 3. To rise.

【0038】続いて、図5に示すように、(n+1)フ
レームにおいて、スイッチSW1には、1水平走査期間
の前半でOFFとなり、後半でONとなるスイッチ信号
が入力される。これにより、出力端子OUT1は、1水
平走査期間の前半に入力端子1Bに接続され、後半に入
力端子1Aに接続される。また、スイッチSW2には、
1水平走査期間の前半でONとなり、後半でOFFとな
るスイッチ信号が入力される。これにより、出力端子O
UT2は、1水平走査期間の前半に入力端子2Aに接続
され、後半に入力端子2Bに接続される。
Subsequently, as shown in FIG. 5, in the (n + 1) frame, a switch signal which is turned off in the first half of one horizontal scanning period and turned on in the second half is input to the switch SW1. Thus, the output terminal OUT1 is connected to the input terminal 1B in the first half of one horizontal scanning period, and is connected to the input terminal 1A in the second half. Also, the switch SW2 includes:
A switch signal that is turned on in the first half of one horizontal scanning period and turned off in the second half is input. Thereby, the output terminal O
The UT 2 is connected to the input terminal 2A in the first half of one horizontal scanning period, and is connected to the input terminal 2B in the second half.

【0039】出力端子OUT1から出力される出力信号
は、1水平走査期間の前半及び後半で反転し、前半に
は、接続された入力端子1Bを介して信号線X2に正の
映像信号を書き込み、後半には、接続された入力端子1
Aを介して信号線X1に負の映像信号を書き込む。
The output signal output from the output terminal OUT1 is inverted in the first half and the second half of one horizontal scanning period. In the first half, a positive video signal is written to the signal line X2 via the connected input terminal 1B. In the latter half, connected input terminal 1
A negative video signal is written to the signal line X1 via A.

【0040】出力端子OUT2から出力される出力信号
は、1水平走査期間の前半及び後半で反転し、前半に
は、接続された入力端子2Aを介して信号線X3に負の
映像信号を書き込み、後半には、接続された入力端子2
Bを介して信号線X4に正の映像信号を書き込む。
The output signal output from the output terminal OUT2 is inverted in the first half and the second half of one horizontal scanning period. In the first half, a negative video signal is written to the signal line X3 through the connected input terminal 2A. In the latter half, connected input terminal 2
A positive video signal is written to the signal line X4 via B.

【0041】これにより、画素1には、1水平走査期間
の後半から負の映像信号が書き込まれ、画素2には、前
半から正の映像信号が書き込まれることになる。また、
画素3には、1水平走査期間の前半から負の映像信号が
書き込まれ、画素4には、後半から正の映像信号が書き
込まれることになる。
As a result, a negative video signal is written to the pixel 1 from the latter half of one horizontal scanning period, and a positive video signal is written to the pixel 2 from the former half. Also,
A negative video signal is written to the pixel 3 from the first half of one horizontal scanning period, and a positive video signal is written to the pixel 4 from the second half.

【0042】このとき、画素2では、画素1に電位が書
き込まれた影響により、書き込み時の9Vからわずかに
低下し、また、画素3では、画素4に電位が書き込まれ
た影響により、書き込み時の1Vからわずかに上昇す
る。
At this time, in the pixel 2, the potential is slightly lowered from 9 V at the time of writing due to the effect of writing the potential to the pixel 1. Slightly rises from 1V.

【0043】このように、nフレームにおいて、画素1
及び画素4の電位がそれぞれコモン電位に近い方向にず
れ、画素2及び画素3と比較して、黒レベルが薄くな
る。また、(n+1)フレームにおいて、画素2及び画
素3の電位がそれぞれコモン電位に近い方向にずれ、画
素1及び画素4と比較して、黒レベルが薄くなる。
As described above, in the n-th frame, the pixel 1
And the potential of the pixel 4 is shifted in a direction closer to the common potential, and the black level becomes thinner than the pixels 2 and 3. Further, in the (n + 1) frame, the potentials of the pixels 2 and 3 are shifted in a direction closer to the common potential, and the black level is lower than that of the pixels 1 and 4.

【0044】表示画面上の他の部分についても同様に動
作するため、この場合、信号線X1に接続された画素列
及び信号線X2に接続された画素列、あるいは、信号線
X3に接続された画素列及び信号線X4に接続された画
素列の黒レベルが交互に薄くなる。この結果、表示画面
全体として、表示が薄くなる部分が平均化されることに
なり、電位変動の影響による表示の変動を視認しづらく
することが可能となる。
Since other parts on the display screen operate similarly, in this case, the pixel column connected to the signal line X1 and the pixel column connected to the signal line X2, or the pixel column connected to the signal line X3. The black level of the pixel column and the pixel column connected to the signal line X4 are alternately reduced. As a result, the portion where the display becomes thinner is averaged over the entire display screen, and it is possible to make it difficult to visually recognize the change in the display due to the influence of the potential change.

【0045】したがって、信号線駆動用ICの出力端子
数が信号線の本数より少ないため、信号線駆動用ICの
個数を低減することが可能となり、コストを低減できる
とともに、信号線駆動用ICの個数を低減しても、画面
の表示品位を低下させることなく表示させることが可能
となる。
Therefore, since the number of output terminals of the signal line driving IC is smaller than the number of signal lines, the number of signal line driving ICs can be reduced, and the cost can be reduced. Even if the number is reduced, display can be performed without deteriorating the display quality of the screen.

【0046】上述した実施の形態では、信号線の選択周
期を1垂直走査期間毎としたが、1水平走査期間毎でも
同様の作用が生じ、電位が変動する画素を市松状に分散
することができる。また、1水平走査期間毎且つ1垂直
走査期間毎に信号線の選択周期を変更しても良い。この
場合、市松状の配列が垂直走査期間毎に入れ替わること
になり、一層電位変動を生じた画素を平均化できる。
In the above-described embodiment, the signal line selection cycle is set for each one vertical scanning period. However, the same operation occurs every one horizontal scanning period, and pixels having a fluctuating potential can be dispersed in a checkered pattern. it can. Further, the signal line selection cycle may be changed every one horizontal scanning period and every one vertical scanning period. In this case, the checkerboard arrangement is switched every vertical scanning period, and the pixels having further potential fluctuations can be averaged.

【0047】同様に、信号線の選択周期を1水平走査期
間や1垂直走査期間に限らず、複数周期で実行しても良
い。例えば、信号線の選択周期を1水平走査期間毎且つ
2垂直走査期間毎に変更しても良い。すなわち、上述し
た実施の形態では、ある画素に注目した場合、電位変動
が特定の極性の映像信号を書き込む際に生じるという偏
りがあったが、この場合には、極性に関しても順に入れ
替わるため、偏りの発生を抑制できる。
Similarly, the signal line selection cycle is not limited to one horizontal scanning period or one vertical scanning period, and may be executed in a plurality of periods. For example, the signal line selection cycle may be changed every one horizontal scanning period and every two vertical scanning periods. That is, in the above-described embodiment, when attention is paid to a certain pixel, there is a bias that a potential change occurs when a video signal of a specific polarity is written. Can be suppressed.

【0048】上述した実施の形態では、図1に示したT
CP500−1〜6は、すべて同一であり、図2に示し
たように構成されている。すなわち、各TCP500−
NのPCBパッド513及びアレイパッド515に対応
したPCB基板600上及びアレイ基板100上の接続
配線数及び接続配線間のピッチは、それぞれ同一であ
る。
In the above-described embodiment, the T shown in FIG.
The CPs 500-1 to 500-6 are all the same, and are configured as shown in FIG. That is, each TCP500-
The number of connection wires and the pitch between the connection wires on the PCB substrate 600 and the array substrate 100 corresponding to the N PCB pads 513 and the array pads 515 are the same.

【0049】このTCP500−Nは、信号線駆動用I
C511にPCB基板600からの入力信号に対応して
設けられた入力信号用配線群531、信号線駆動用IC
511からの出力信号に対応して設けられた出力信号用
配線群533、液晶表示装置用の電源配線、選択回路1
70のスイッチSW用の電源配線及びスイッチ信号(制
御信号)用配線などの各種配線群535および537を
備えている。
The TCP 500-N has a signal line driving I
An input signal wiring group 531 provided on the C511 corresponding to an input signal from the PCB substrate 600, a signal line driving IC
Output signal wiring group 533 provided corresponding to the output signal from 511, power supply wiring for liquid crystal display device, selection circuit 1
Various wiring groups 535 and 537 such as a power supply wiring for a switch SW and a wiring for a switch signal (control signal) are provided.

【0050】図2に示すように、信号線駆動用IC51
1への入力信号用配線群531及び出力信号用配線群5
33は、略等しい本数に分配された各種配線群535と
537との間に配置されている。
As shown in FIG. 2, the signal line driving IC 51
1 wiring group 531 for input signal and wiring group 5 for output signal
33 is disposed between various wiring groups 535 and 537 distributed in substantially equal numbers.

【0051】アレイ基板100の両端に配置されたTC
P500−1及び500−6は、アレイ基板100の両
端に設けられたゲート線駆動回路150に対応して、各
種配線群535及び537に、ゲート線駆動回路150
用の電源配線及び制御信号用配線を備えている。もちろ
ん、ゲート線駆動回路150がアレイ基板の一端のみに
設けられた場合には、これに対応して一方のTCP50
0−1または500−6のみに、ゲート線駆動回路15
0用の電源配線及び制御信号用配線を備えればよい。
The TCs arranged at both ends of the array substrate 100
P500-1 and P500-6 correspond to the gate line driving circuits 150 provided at both ends of the array substrate 100, and correspond to the various wiring groups 535 and 537.
Power supply wiring and control signal wiring. Of course, when the gate line driving circuit 150 is provided only at one end of the array substrate, one TCP 50
0-1 or 500-6 only, the gate line driving circuit 15
A power supply wiring for 0 and a wiring for control signal may be provided.

【0052】このように、TCP上にゲート線駆動回路
用の電源配線及び制御信号用配線や、選択回路のスイッ
チ用の電源配線及びスイッチ信号用配線、液晶表示装置
用の電源配線などを、信号線駆動用ICの入出力信号用
配線とともに形成することにより、別途の配線部材を用
意する必要がなくなり、コストを低減することが可能と
なる。
As described above, the power supply wiring and control signal wiring for the gate line driving circuit, the power supply wiring and switch signal wiring for the switch of the selection circuit, and the power supply wiring for the liquid crystal display device are formed on the TCP. By forming the wiring drive IC together with the input / output signal wiring, it is not necessary to prepare a separate wiring member, and the cost can be reduced.

【0053】なお、上述した実施の形態では、TCP5
00−1〜6をすべて同一としたが、TCP500−1
及び500−6と、TCP500−2〜500−5とを
異なる構成としてもよい。すなわち、TCP500−2
〜500−5のアレイパッド515に対応したアレイ基
板100上の接続配線数は、TCP500−1及び50
0−6に比べて少ない。このため、TCP500−2〜
500−5は、接続配線間のピッチをより拡大できる。
In the above-described embodiment, the TCP5
Although 00-1 to 6 were all the same, TCP500-1
And 500-6 and the TCPs 500-2 to 500-5 may have different configurations. That is, TCP500-2
The number of connection wirings on the array substrate 100 corresponding to the array pads 515 to 500-5 is TCP 500-1 and TCP 500
Less than 0-6. Therefore, TCP500-2 ~
In the case of 500-5, the pitch between the connection wirings can be further increased.

【0054】より具体的には、TCP500−1及び5
00−6は、図2に示すような構造であって、信号線駆
動用IC511にPCB基板600からの入力信号に対
応して設けられた入力信号用配線群531、信号線駆動
用IC511からの出力信号に対応して設けられた出力
信号用配線群533、液晶表示装置用の電源配線、選択
回路170のスイッチSW用の電源配線及びスイッチ信
号(制御信号)用配線、ゲート線駆動回路150用の電
源配線及び制御信号用配線などの各種配線群535およ
び537を備えている。
More specifically, TCP 500-1 and TCP 500-5
Reference numeral 00-6 denotes a structure as shown in FIG. 2, wherein an input signal wiring group 531 provided on the signal line driving IC 511 in correspondence with an input signal from the PCB substrate 600 and a signal line driving IC 511 The output signal wiring group 533 provided corresponding to the output signal, the power supply wiring for the liquid crystal display device, the power supply wiring for the switch SW of the selection circuit 170 and the wiring for the switch signal (control signal), and the gate line driving circuit 150 And various wiring groups 535 and 537 such as power supply wiring and control signal wiring.

【0055】図2に示すように、信号線駆動用IC51
1への入力信号用配線群531及び出力信号用配線群5
33は、略等しい本数に分配された各種配線群535と
537との間に配置されている。
As shown in FIG. 2, the signal line driving IC 51
1 wiring group 531 for input signal and wiring group 5 for output signal
33 is disposed between various wiring groups 535 and 537 distributed in substantially equal numbers.

【0056】TCP500−2〜500−5は、図6に
示すような構造であって、信号線駆動用IC511にP
CB基板600からの入力信号に対応して設けられた入
力信号用配線群531、信号線駆動用IC511からの
出力信号に対応して設けられた出力信号用配線群53
3、液晶表示装置用の電源配線、選択回路170のスイ
ッチSW用の電源配線及びスイッチ信号(制御信号)用
配線などの各種配線群541および543を備えてい
る。
The TCPs 500-2 to 500-5 have a structure as shown in FIG.
An input signal wiring group 531 provided corresponding to an input signal from the CB substrate 600, and an output signal wiring group 53 provided corresponding to an output signal from the signal line driving IC 511.
3. Various wiring groups 541 and 543 such as a power supply wiring for a liquid crystal display device, a power supply wiring for a switch SW of the selection circuit 170, and a wiring for a switch signal (control signal).

【0057】図6に示すように、信号線駆動用IC51
1への入力信号用配線群531及び出力信号用配線群5
33は、略等しい本数に分配された各種配線群541と
543との間に配置されている。
As shown in FIG. 6, the signal line driving IC 51
1 wiring group 531 for input signal and wiring group 5 for output signal
33 is arranged between various wiring groups 541 and 543 distributed in substantially equal numbers.

【0058】図2に示したTCPにおける各種配線群5
35及び537の本数は、20〜40本程度であるのに
対して、図6に示したTCPにおける各種配線群541
及び543の本数は、5〜20本程度である。
Various wiring groups 5 in the TCP shown in FIG.
Although the number of lines 35 and 537 is about 20 to 40, various wiring groups 541 in the TCP shown in FIG.
And 543 are about 5 to 20.

【0059】図7に示すように、アレイ基板100の一
端側に、TCP500−1が接続される。アレイ基板1
00は、その一辺に沿って、TCP500−1のアレイ
パッド515が接続される接続パッド群PDを備えてい
る。これらの接続パッド群PDの中央部には、信号線駆
動用IC511からの出力信号、スイッチ信号、スイッ
チの電源を選択回路170に入力するためのパッドが設
けられている。
As shown in FIG. 7, a TCP 500-1 is connected to one end of the array substrate 100. Array substrate 1
00 includes a connection pad group PD to which the array pad 515 of the TCP 500-1 is connected along one side thereof. In the center of the connection pad group PD, a pad for inputting an output signal from the signal line driving IC 511, a switch signal, and a switch power supply to the selection circuit 170 is provided.

【0060】接続パッド群PDの一端側には、主にゲー
ト線駆動回路150に電源及び制御信号を入力するため
のパッドが設けられている。これらのパッドから供給さ
れる制御信号としては、例えば、ゲート線駆動回路15
0がシフトレジスタで構成されている場合、クロック信
号やスタート信号、リセット信号などである。また、こ
れらのパッドからは、必要に応じて液晶表示装置の電源
が供給されても良い。
At one end of the connection pad group PD, pads for mainly inputting power and control signals to the gate line drive circuit 150 are provided. Control signals supplied from these pads include, for example, the gate line driving circuit 15
When 0 is constituted by a shift register, it is a clock signal, a start signal, a reset signal, or the like. Power from the liquid crystal display device may be supplied from these pads as needed.

【0061】図8に示すように、アレイ基板100の一
辺に沿った中央部には、TCP500−2〜500−5
が接続される。アレイ基板100は、その一辺に沿っ
て、TCP500−2〜500−5のアレイパッド51
5が接続される接続パッド群PDを備えている。これら
の接続パッド群PDには、信号線駆動用IC511から
の出力信号、スイッチ信号、スイッチの電源を選択回路
170に入力するためのパッドが設けられている。
As shown in FIG. 8, TCPs 500-2 to 500-5 are provided at a central portion along one side of the array substrate 100.
Is connected. The array substrate 100 is arranged along one side thereof with array pads 51 of TCPs 500-2 to 500-5.
5 is provided with a connection pad group PD to be connected. The connection pad group PD is provided with pads for inputting an output signal from the signal line driving IC 511, a switch signal, and a switch power supply to the selection circuit 170.

【0062】図9に示すように、アレイ基板100の他
端側に、TCP500−6が接続される。アレイ基板1
00は、その一辺に沿って、TCP500−6のアレイ
パッド515が接続される接続パッド群PDを備えてい
る。これらの接続パッド群PDの中央部には、信号線駆
動用IC511からの出力信号、スイッチ信号、スイッ
チの電源を選択回路170に入力するためのパッドが設
けられている。
As shown in FIG. 9, a TCP 500-6 is connected to the other end of the array substrate 100. Array substrate 1
00 includes a connection pad group PD to which the array pad 515 of the TCP 500-6 is connected along one side thereof. In the center of the connection pad group PD, a pad for inputting an output signal from the signal line driving IC 511, a switch signal, and a switch power supply to the selection circuit 170 is provided.

【0063】接続パッド群PDの他端側には、主にゲー
ト線駆動回路150に電源及び制御信号を入力するため
のパッドが設けられている。また、これらのパッドから
は、必要に応じて液晶表示装置の電源が供給されても良
い。
At the other end of the connection pad group PD, pads for mainly inputting power and control signals to the gate line drive circuit 150 are provided. Power from the liquid crystal display device may be supplied from these pads as needed.

【0064】以上の構成により、TCP500−2〜5
00−5は、信号線駆動ICからの出力信号が入力され
る配線の他、選択回路170のスイッチSW用の電源及
びスイッチ信号を入力するための配線のみで良く、TC
P500−1及び500−6と比べて接続すべき配線の
数を削減することができる。このため、各配線の一端に
設けられたパッドのピッチを拡大することができる。こ
れにより、信頼性を損なうことなく、高精細化を図るこ
とが可能である。
With the above configuration, TCP 500-2 to TCP 500-5
Reference numeral 00-5 denotes a wiring for inputting an output signal from the signal line driving IC, a power supply for the switch SW of the selection circuit 170 and a wiring for inputting a switch signal.
The number of wirings to be connected can be reduced as compared with P500-1 and P-6. Therefore, the pitch of the pads provided at one end of each wiring can be increased. Thus, high definition can be achieved without impairing reliability.

【0065】次に、上述したような表示装置において、
アレイ基板100の信号線X(1、2、3…)の短絡を
検査する第1の検査方法について説明する。
Next, in the display device as described above,
A first inspection method for inspecting a short circuit of the signal line X (1, 2, 3,...) Of the array substrate 100 will be described.

【0066】図10に示すように、まず、アレイ基板1
00に検査用回路900を接続する。この検査用回路9
00は、内部の各回路やスイッチを制御するCPU90
1と、信号線にアナログ信号を書き込む書込回路902
と、信号線から出力される信号を読み取る読取回路90
3と、接続パッドPD(1、2、3…)にそれぞれ接続
されるプローブPR(1、2)とを備えている。
As shown in FIG. 10, first, the array substrate 1
00 is connected to the inspection circuit 900. This inspection circuit 9
00 is a CPU 90 for controlling internal circuits and switches.
1 and a writing circuit 902 for writing an analog signal to a signal line
And a reading circuit 90 for reading a signal output from a signal line
3 and probes PR (1, 2) connected to the connection pads PD (1, 2, 3,...), Respectively.

【0067】検査用回路900のCPU901は、書込
回路902、読取回路903、及びアレイ基板100の
選択回路170に対してそれぞれ所定のタイミングで制
御信号を出力する。
The CPU 901 of the test circuit 900 outputs control signals to the write circuit 902, the read circuit 903, and the selection circuit 170 of the array substrate 100 at predetermined timings.

【0068】一方、アレイ基板100側は、信号線上に
おいて、選択回路170のスイッチSW(1、2、…)
と、このスイッチに最も近い画素トランジスタ110N
との間に配置された検査用パッドPD1B(2B、3
B、…)を備えている。すなわち、この検査用パッドP
D1Bは、信号線X2に電気的に接続されているととも
に、選択回路170に含まれるスイッチSW1の入力端
子1Bと、画素トランジスタ110Nとの間に配置され
ている。
On the other hand, on the array substrate 100 side, the switch SW (1, 2,...)
And the pixel transistor 110N closest to this switch
And inspection pads PD1B (2B, 3B)
B,...). That is, the inspection pad P
D1B is electrically connected to the signal line X2 and is arranged between the input terminal 1B of the switch SW1 included in the selection circuit 170 and the pixel transistor 110N.

【0069】同様に、他の検査用パッドPD2B…も、
例えば偶数番目の信号線X2n(n=1、2、…)上に
おける選択回路170のスイッチと、このスイッチに最
も近い画素トランジスタとの間に配置されている。
Similarly, the other inspection pads PD2B.
For example, it is arranged between the switch of the selection circuit 170 on the even-numbered signal line X2n (n = 1, 2,...) And the pixel transistor closest to this switch.

【0070】まず、互いに隣接する第1信号線X1と第
2信号線X2との短絡を検査する検査方法について説明
する。これら第1信号線X1及び第2信号線X2は、選
択回路170の同一スイッチSW1によって選択され、
同一の接続パッドPD1を介してアナログ信号の書き込
み及び読み取りを行う。
First, an inspection method for inspecting a short circuit between the first signal line X1 and the second signal line X2 adjacent to each other will be described. These first signal line X1 and second signal line X2 are selected by the same switch SW1 of the selection circuit 170,
Writing and reading of analog signals are performed via the same connection pad PD1.

【0071】すなわち、図10に示すように、第1プロ
−ブPR1を接続パッドPD1Aに接続し、第2プロー
ブPR2を検査用パッドPD1Bに接続する。
That is, as shown in FIG. 10, the first probe PR1 is connected to the connection pad PD1A, and the second probe PR2 is connected to the inspection pad PD1B.

【0072】そして、検査用回路900のCPU901
は、選択回路170に対して、スイッチSW1の出力端
子OUT1を第1信号線X1の入力端子1Aに接続する
ような制御信号を出力する。
The CPU 901 of the inspection circuit 900
Outputs a control signal to the selection circuit 170 such that the output terminal OUT1 of the switch SW1 is connected to the input terminal 1A of the first signal line X1.

【0073】そして、CPU901は、書込回路902
を制御して、第1プローブPR1を介して第1信号線X
1に所定のアナログ信号を書き込む。
Then, the CPU 901 sets the write circuit 902
To control the first signal line X through the first probe PR1.
1 is written with a predetermined analog signal.

【0074】続いて、CPU901は、読取回路903
を制御して、第2プローブPR2を介して第2信号線X
2からの出力信号を読み取る。
Subsequently, the CPU 901 reads the reading circuit 903
To control the second signal line X via the second probe PR2.
Read the output signal from 2.

【0075】CPU901は、第2信号線X2から所定
のアナログ信号を検出した場合に、第1信号線X1と第
2信号線X2とが短絡していると判断し、第2信号線X
2から信号を検出しなかった場合に、第1信号線X1と
第2信号線X2との間に短絡が生じていないものと判断
する。
When a predetermined analog signal is detected from the second signal line X2, the CPU 901 determines that the first signal line X1 and the second signal line X2 are short-circuited, and
If no signal is detected from the second signal line 2, it is determined that no short circuit has occurred between the first signal line X1 and the second signal line X2.

【0076】次に、互いに隣接する第2信号線X2と第
3信号線X3との短絡を検査する検査方法について説明
する。これら第2信号線X2及び第3信号線X3は、そ
れぞれ選択回路170の異なるスイッチ、すなわちスイ
ッチSW1及びSW2によって選択され、それぞれのス
イッチSW1及びSW2に接続された接続パッドPD1
A及びPD2Aを介してアナログ信号の書き込み及び読
み取りを行う。
Next, an inspection method for inspecting a short circuit between the second signal line X2 and the third signal line X3 adjacent to each other will be described. The second signal line X2 and the third signal line X3 are respectively selected by different switches of the selection circuit 170, that is, switches SW1 and SW2, and the connection pad PD1 connected to the respective switches SW1 and SW2.
A and the analog signal are written and read via the PD 2A.

【0077】このとき、第1プローブPR1は、接続パ
ッドPD2Aに接続されている。
At this time, the first probe PR1 is connected to the connection pad PD2A.

【0078】すなわち、CPU901は、選択回路17
0に対して、スイッチSW2の出力端子OUT2を第3
信号線X3の入力端子2Aに接続するような制御信号を
出力する。
That is, the CPU 901 controls the selection circuit 17
0, the output terminal OUT2 of the switch SW2 is set to the third
The control signal is output such that it is connected to the input terminal 2A of the signal line X3.

【0079】そして、CPU901は、書込回路902
を制御して、第1プローブPR1を介して第3信号線X
3に所定のアナログ信号を書き込む。
Then, the CPU 901 controls the writing circuit 902
To control the third signal line X via the first probe PR1.
3, a predetermined analog signal is written.

【0080】続いて、CPU901は、読取回路903
を制御して、第2プローブPR2を介して第2信号線X
2からの出力信号を読み取る。
Subsequently, the CPU 901 reads the reading circuit 903
To control the second signal line X via the second probe PR2.
Read the output signal from 2.

【0081】CPU901は、第2信号線X2から所定
のアナログ信号を検出した場合に、第2信号線X2と第
3信号線X3とが短絡していると判断し、第2信号線X
2から信号を検出しなかった場合に、第2信号線X2と
第3信号線X3との間に短絡が生じていないものと判断
する。
When a predetermined analog signal is detected from the second signal line X2, the CPU 901 determines that the second signal line X2 and the third signal line X3 are short-circuited, and
If no signal is detected from the second signal line 2, it is determined that no short circuit has occurred between the second signal line X2 and the third signal line X3.

【0082】以下、同様にして、互いに隣接する2本の
信号線をペアとし、検査用回路の一方のプローブを接続
パッドに接続するとともに他方のプローブを信号線上に
設けられた検査用パッドに接続し、一方のプローブに接
続された接続パッドと一方の信号線とを電気的に接続し
た状態で、この一方の信号線に対してアナログ信号を書
き込み、検査用パッドに電気的に接続された他方の信号
線からの出力信号を読み取ることにより、ペアの信号線
間の短絡を検出することが可能となる。
Similarly, two signal lines adjacent to each other are paired, and one probe of the test circuit is connected to the connection pad, and the other probe is connected to the test pad provided on the signal line. Then, in a state where the connection pad connected to the one probe and one signal line are electrically connected, an analog signal is written to the one signal line, and the other signal electrically connected to the test pad. By reading the output signal from the signal line, it is possible to detect a short circuit between the pair of signal lines.

【0083】このように、接続パッドの一部またはすべ
てを検査用パッドとして利用することで、検査用のパッ
ドの数の増大を抑えることが可能となり、画素を高精細
化した場合であってもパッドを配置するスペースの確保
が容易となるとともに、多結晶シリコンTFTを用いた
利点を有効に活用することが可能となる。
As described above, by using a part or all of the connection pads as test pads, it is possible to suppress an increase in the number of test pads, and even when pixels are made finer. The space for arranging the pads can be easily secured, and the advantage of using the polycrystalline silicon TFT can be effectively utilized.

【0084】また、プローブの数の増大も抑えることが
でき、あるいはプローブの間隔を十分に広くとることが
できるため、コストアップすることなくメンテナンスが
容易な検査用回路を提供することが可能となる。
Further, the increase in the number of probes can be suppressed, or the interval between the probes can be made sufficiently large, so that it is possible to provide an inspection circuit which can be easily maintained without increasing the cost. .

【0085】次に、上述したような表示装置において、
アレイ基板100の信号線X(1、2、3…)の短絡を
検査する第2の検査方法について説明する。
Next, in the display device as described above,
A second inspection method for inspecting the signal lines X (1, 2, 3,...) Of the array substrate 100 for a short circuit will be described.

【0086】図11に示すように、まず、アレイ基板1
00に検査用回路900を接続する。この検査用回路9
00は、内部の各回路やスイッチを制御するCPU90
1と、信号線にアナログ信号を書き込む書込回路902
と、信号線から出力される信号を読み取る読取回路90
3と、接続パッドPD(1、2、3…)にそれぞれ接続
されるプローブPR(1、2、3)と、第2プローブP
R2または第3プローブPR3を切り換える切換回路9
04とを備えている。
As shown in FIG. 11, first, the array substrate 1
00 is connected to the inspection circuit 900. This inspection circuit 9
00 is a CPU 90 for controlling internal circuits and switches.
1 and a writing circuit 902 for writing an analog signal to a signal line
And a reading circuit 90 for reading a signal output from a signal line
3, the probes PR (1, 2, 3) connected to the connection pads PD (1, 2, 3,...), Respectively, and the second probe P
Switching circuit 9 for switching between R2 and third probe PR3
04.

【0087】検査用回路900のCPU901は、書込
回路902、読取回路903、切換回路904、及びア
レイ基板100の選択回路170に対してそれぞれ所定
のタイミングで制御信号を出力する。
The CPU 901 of the inspection circuit 900 outputs a control signal to the write circuit 902, the read circuit 903, the switching circuit 904, and the selection circuit 170 of the array substrate 100 at a predetermined timing.

【0088】一方、アレイ基板100側においては、選
択回路170のスイッチSW(1、2、…)は、1つの
出力端子OUT1に対して、3本の信号線X1、X2、
X3にそれぞれ対応する入力端子1A、1B、1Cを選
択可能に形成されている。また、アレイ基板100は、
信号線上において、選択回路170のスイッチSW
(1、2、…)と、このスイッチに最も近い画素トラン
ジスタ110Nとの間に配置された検査用パッドPD1
B、PD1C(PD2B、PD2C、…)を備えてい
る。
On the other hand, on the array substrate 100 side, the switches SW (1, 2,...) Of the selection circuit 170 connect three signal lines X1, X2,
The input terminals 1A, 1B, and 1C respectively corresponding to X3 are formed so as to be selectable. In addition, the array substrate 100
On the signal line, the switch SW of the selection circuit 170
The test pad PD1 arranged between (1, 2,...) And the pixel transistor 110N closest to this switch.
B, PD1C (PD2B, PD2C,...).

【0089】まず、互いに隣接する第1信号線X1と第
2信号線X2との短絡を検査する検査方法について説明
する。これら第1信号線X1及び第2信号線X2は、選
択回路170の同一スイッチSW1によって選択され、
同一の接続パッドPD1Aを介してアナログ信号の書き
込み及び読み取りを行う。
First, an inspection method for inspecting a short circuit between the first signal line X1 and the second signal line X2 adjacent to each other will be described. These first signal line X1 and second signal line X2 are selected by the same switch SW1 of the selection circuit 170,
Writing and reading of analog signals are performed via the same connection pad PD1A.

【0090】すなわち、図11に示すように、第1プロ
−ブPR1を接続パッドPD1Aに接続し、第2プロー
ブPR2を検査用パッドPD1Cに接続する。また、第
3プローブPR3を接続パッドPD1Bに接続する。
That is, as shown in FIG. 11, the first probe PR1 is connected to the connection pad PD1A, and the second probe PR2 is connected to the inspection pad PD1C. Further, the third probe PR3 is connected to the connection pad PD1B.

【0091】そして、検査用回路900のCPU901
は、選択回路170に対して、スイッチSW1の出力端
子OUT1を第1信号線X1の入力端子1Aに接続する
ような制御信号を出力する。また、CPU901は、切
換回路904に対して第3プローブPR3を選択するよ
うな制御信号を出力する。
The CPU 901 of the inspection circuit 900
Outputs a control signal to the selection circuit 170 such that the output terminal OUT1 of the switch SW1 is connected to the input terminal 1A of the first signal line X1. Further, the CPU 901 outputs a control signal to the switching circuit 904 to select the third probe PR3.

【0092】そして、CPU901は、書込回路902
を制御して、第1プローブPR1を介して第1信号線X
1に所定のアナログ信号を書き込む。
Then, the CPU 901 sets the write circuit 902
To control the first signal line X through the first probe PR1.
1 is written with a predetermined analog signal.

【0093】続いて、CPU901は、読取回路903
を制御して、第3プローブPR3を介して第2信号線X
2からの出力信号を読み取る。
Subsequently, the CPU 901 reads the reading circuit 903
To control the second signal line X via the third probe PR3.
Read the output signal from 2.

【0094】CPU901は、第2信号線X2から所定
のアナログ信号を検出した場合に、第1信号線X1と第
2信号線X2とが短絡していると判断し、第2信号線X
2から信号を検出しなかった場合に、第1信号線X1と
第2信号線X2との間に短絡が生じていないものと判断
する。
When a predetermined analog signal is detected from the second signal line X2, the CPU 901 determines that the first signal line X1 and the second signal line X2 are short-circuited, and
If no signal is detected from the second signal line 2, it is determined that no short circuit has occurred between the first signal line X1 and the second signal line X2.

【0095】次に、互いに隣接する第2信号線X2と第
3信号線X3との短絡を検査する検査方法について説明
する。これら第2信号線X2及び第3信号線X3は、選
択回路170の同一スイッチSW1によって選択され、
同一の接続パッドPD1Aを介してアナログ信号の書き
込み及び読み取りを行う。
Next, an inspection method for inspecting a short circuit between the second signal line X2 and the third signal line X3 adjacent to each other will be described. The second signal line X2 and the third signal line X3 are selected by the same switch SW1 of the selection circuit 170,
Writing and reading of analog signals are performed via the same connection pad PD1A.

【0096】すなわち、CPU901は、選択回路17
0に対して、スイッチSW1の出力端子OUT1を第2
信号線X2の入力端子1Bに接続するような制御信号を
出力する。また、CPU901は、切換回路904に対
して第2プローブPR2を選択するような制御信号を出
力する。
That is, the CPU 901 controls the selection circuit 17
0, the output terminal OUT1 of the switch SW1 is connected to the second
It outputs a control signal such as to connect to the input terminal 1B of the signal line X2. Further, the CPU 901 outputs a control signal to the switching circuit 904 to select the second probe PR2.

【0097】そして、CPU901は、書込回路902
を制御して、第1プローブPR1を介して第2信号線X
2に所定のアナログ信号を書き込む。
Then, the CPU 901 controls the writing circuit 902
To control the second signal line X via the first probe PR1.
2, a predetermined analog signal is written.

【0098】続いて、CPU901は、読取回路903
を制御して、第2プローブPR2を介して第3信号線X
3からの出力信号を読み取る。
Subsequently, the CPU 901 executes the reading circuit 903
To control the third signal line X via the second probe PR2.
Read the output signal from 3.

【0099】CPU901は、第3信号線X3から所定
のアナログ信号を検出した場合に、第2信号線X2と第
3信号線X3とが短絡していると判断し、第3信号線X
3から信号を検出しなかった場合に、第2信号線X2と
第3信号線X3との間に短絡が生じていないものと判断
する。
When a predetermined analog signal is detected from the third signal line X3, the CPU 901 determines that the second signal line X2 and the third signal line X3 are short-circuited, and
If no signal is detected from No. 3, it is determined that no short circuit has occurred between the second signal line X2 and the third signal line X3.

【0100】次に、互いに隣接する第3信号線X3と第
4信号線X4との短絡を検査する検査方法について説明
する。これら第3信号線X3及び第4信号線X4は、そ
れぞれ選択回路170の異なるスイッチ、すなわちスイ
ッチSW1及びSW2によって選択され、それぞれのス
イッチSW1及びSW2に接続された接続パッドPD1
A及びPD2Aを介してアナログ信号の書き込み及び読
み取りを行う。
Next, an inspection method for inspecting a short circuit between the third signal line X3 and the fourth signal line X4 adjacent to each other will be described. The third signal line X3 and the fourth signal line X4 are respectively selected by different switches of the selection circuit 170, that is, the switches SW1 and SW2, and the connection pad PD1 connected to the respective switches SW1 and SW2.
A and the analog signal are written and read via the PD 2A.

【0101】このとき、第1プローブPR1は、接続パ
ッドPD2Aに接続されている。
At this time, the first probe PR1 is connected to the connection pad PD2A.

【0102】すなわち、CPU901は、選択回路17
0に対して、スイッチSW2の出力端子OUT2を第4
信号線X4の入力端子2Aに接続するような制御信号を
出力する。また、CPU901は、切換回路904に対
して第2プローブPR2を選択するような制御信号を出
力する。
That is, the CPU 901 controls the selection circuit 17
0, the output terminal OUT2 of the switch SW2 is connected to the fourth terminal.
The control signal is output such that it is connected to the input terminal 2A of the signal line X4. Further, the CPU 901 outputs a control signal to the switching circuit 904 to select the second probe PR2.

【0103】そして、CPU901は、書込回路902
を制御して、第1プローブPR1を介して第4信号線X
4に所定のアナログ信号を書き込む。
Then, the CPU 901 controls the writing circuit 902
To control the fourth signal line X via the first probe PR1.
4, a predetermined analog signal is written.

【0104】続いて、CPU901は、読取回路903
を制御して、第2プローブPR2を介して第3信号線X
3からの出力信号を読み取る。
Subsequently, the CPU 901 executes the reading circuit 903
To control the third signal line X via the second probe PR2.
Read the output signal from 3.

【0105】CPU901は、第3信号線X3から所定
のアナログ信号を検出した場合に、第3信号線X3と第
4信号線X4とが短絡していると判断し、第3信号線X
3から信号を検出しなかった場合に、第3信号線X3と
第4信号線X4との間に短絡が生じていないものと判断
する。
When a predetermined analog signal is detected from the third signal line X3, the CPU 901 determines that the third signal line X3 and the fourth signal line X4 are short-circuited, and
When no signal is detected from No. 3, it is determined that no short circuit has occurred between the third signal line X3 and the fourth signal line X4.

【0106】以下、同様にして、互いに隣接する2本の
信号線をペアとし、検査用回路の一方のプローブを接続
パッドに接続するとともに他方のプローブを信号線上に
設けられた検査用パッドに接続し、一方のプローブに接
続された接続パッドと一方の信号線とを電気的に接続し
た状態で、この一方の信号線に対してアナログ信号を書
き込み、検査用パッドに電気的に接続された他方の信号
線からの出力信号を読み取ることにより、ペアの信号線
間の短絡を検出することが可能となる。
Similarly, two signal lines adjacent to each other are paired, and one probe of the test circuit is connected to the connection pad, and the other probe is connected to the test pad provided on the signal line. Then, in a state where the connection pad connected to the one probe and one signal line are electrically connected, an analog signal is written to the one signal line, and the other signal electrically connected to the test pad. By reading the output signal from the signal line, it is possible to detect a short circuit between the pair of signal lines.

【0107】これにより、上述した第1の検査方法と同
様の作用効果を得ることが可能となる。
Thus, it is possible to obtain the same operation and effect as those of the first inspection method described above.

【0108】次に、上述したような表示装置において、
アレイ基板100の信号線X(1、2、3…)の短絡を
検査する第3の検査方法について説明する。この第3の
検査方法では、各信号線上に検査用パッドを設け、互い
に隣接する信号線間の短絡を検査するとともに、選択回
路に含まれるスイッチの動作も同時に検査する。
Next, in the display device as described above,
A third inspection method for inspecting the signal lines X (1, 2, 3,...) Of the array substrate 100 for a short circuit will be described. In the third inspection method, an inspection pad is provided on each signal line to inspect a short circuit between adjacent signal lines, and to simultaneously inspect the operation of a switch included in the selection circuit.

【0109】図12に示すように、まず、アレイ基板1
00に検査用回路900を接続する。この検査用回路9
00は、内部の各回路やスイッチを制御するCPU90
1と、信号線にアナログ信号を書き込む書込回路902
と、信号線から出力される信号を読み取る読取回路90
3と、接続パッドPD(1、2、3…)にそれぞれ接続
されるプローブPR(1、2、3)と、第2プローブP
R2または第3プローブPR3を切り換える切換回路9
04とを備えている。
As shown in FIG. 12, first, the array substrate 1
00 is connected to the inspection circuit 900. This inspection circuit 9
00 is a CPU 90 for controlling internal circuits and switches.
1 and a writing circuit 902 for writing an analog signal to a signal line
And a reading circuit 90 for reading a signal output from a signal line
3, the probes PR (1, 2, 3) connected to the connection pads PD (1, 2, 3,...), Respectively, and the second probe P
Switching circuit 9 for switching between R2 and third probe PR3
04.

【0110】検査用回路900のCPU901は、書込
回路902、読取回路903、切換回路904、及びア
レイ基板100の選択回路170に対してそれぞれ所定
のタイミングで制御信号を出力する。
The CPU 901 of the inspection circuit 900 outputs a control signal to the write circuit 902, the read circuit 903, the switching circuit 904, and the selection circuit 170 of the array substrate 100 at a predetermined timing.

【0111】一方、アレイ基板100側においては、選
択回路170のスイッチSW(1、2、…)は、1つの
出力端子OUT1に対して、2本の信号線X1、X2に
それぞれ対応する入力端子1A、1Bを選択可能に形成
されている。また、アレイ基板100は、信号線上にお
いて、選択回路170のスイッチSW(1、2、…)
と、このスイッチに最も近い画素トランジスタ110N
との間に配置された検査用パッドPD1B、PD1C
(PD2B、PD2C、…)を備えている。この検査用
パッドPD1B、PD1Cは、各信号線にそれぞれ電気
的に接続されている。
On the other hand, on the array substrate 100 side, the switches SW (1, 2,...) Of the selection circuit 170 are connected to one output terminal OUT1 with respect to the input terminals corresponding to the two signal lines X1 and X2, respectively. 1A and 1B are formed to be selectable. In addition, the array substrate 100 includes a switch SW (1, 2,...) Of the selection circuit 170 on the signal line.
And the pixel transistor 110N closest to this switch
Inspection pads PD1B, PD1C arranged between
(PD2B, PD2C,...). The inspection pads PD1B and PD1C are electrically connected to the respective signal lines.

【0112】まず、互いに隣接する第1信号線X1と第
2信号線X2とを選択可能なスイッチSW1の動作を検
査する検査方法について説明する。これら第1信号線X
1及び第2信号線X2は、選択回路170の同一スイッ
チSW1によって選択され、同一の接続パッドPD1A
を介してアナログ信号の書き込み及び読み取りを行う。
First, an inspection method for inspecting the operation of the switch SW1 that can select the first signal line X1 and the second signal line X2 adjacent to each other will be described. These first signal lines X
The first and second signal lines X2 are selected by the same switch SW1 of the selection circuit 170 and have the same connection pad PD1A.
To write and read analog signals.

【0113】すなわち、図12に示すように、第1プロ
−ブPR1を接続パッドPD1Aに接続し、第2プロー
ブPR2を検査用パッドPD1Cに接続する。また、第
3プローブPR3を接続パッドPD1Bに接続する。
That is, as shown in FIG. 12, the first probe PR1 is connected to the connection pad PD1A, and the second probe PR2 is connected to the inspection pad PD1C. Further, the third probe PR3 is connected to the connection pad PD1B.

【0114】そして、検査用回路900のCPU901
は、選択回路170に対して、スイッチSW1の出力端
子OUT1を第1信号線X1の入力端子1Aに接続する
ような制御信号を出力する。また、CPU901は、切
換回路904に対して第3プローブPR3を選択するよ
うな制御信号を出力する。
The CPU 901 of the inspection circuit 900
Outputs a control signal to the selection circuit 170 such that the output terminal OUT1 of the switch SW1 is connected to the input terminal 1A of the first signal line X1. Further, the CPU 901 outputs a control signal to the switching circuit 904 to select the third probe PR3.

【0115】そして、CPU901は、書込回路902
を制御して、第1プローブPR1を介して第1信号線X
1に接続された接続パッドPD1Aから所定のアナログ
信号を書き込む。
Then, the CPU 901 sets the write circuit 902
To control the first signal line X through the first probe PR1.
A predetermined analog signal is written from the connection pad PD1A connected to No. 1.

【0116】続いて、CPU901は、読取回路903
を制御して、第3プローブPR3を介して第1信号線X
1上の検査用パッドPD1Bからの出力信号を読み取
る。
Subsequently, the CPU 901 executes the reading circuit 903
To control the first signal line X via the third probe PR3.
An output signal from the inspection pad PD1B on the first device is read.

【0117】CPU901は、検査用パッドPD1Bか
ら所定のアナログ信号を検出した場合に、選択回路17
0におけるスイッチSW1が正常に動作していると判断
し、検査用パッドPD1Bから信号を検出しなかった場
合に、スイッチSW1が異常であると判断する。
When the CPU 901 detects a predetermined analog signal from the inspection pad PD1B, the selection circuit 17
When it is determined that the switch SW1 at 0 is operating normally and no signal is detected from the inspection pad PD1B, it is determined that the switch SW1 is abnormal.

【0118】次に、互いに隣接する第1信号線X1と第
2信号線X2との短絡を検査する検査方法について説明
する。
Next, an inspection method for inspecting a short circuit between the first signal line X1 and the second signal line X2 adjacent to each other will be described.

【0119】すなわち、検査用回路900のCPU90
1は、選択回路170に対して、スイッチSW1の出力
端子OUT1を第1信号線X1の入力端子1Aに接続す
るような制御信号を出力する。また、CPU901は、
切換回路904に対して第2プローブPR2を選択する
ような制御信号を出力する。
That is, the CPU 90 of the inspection circuit 900
1 outputs a control signal to the selection circuit 170 such that the output terminal OUT1 of the switch SW1 is connected to the input terminal 1A of the first signal line X1. Further, the CPU 901 includes:
A control signal for selecting the second probe PR2 is output to the switching circuit 904.

【0120】そして、CPU901は、書込回路902
を制御して、第1プローブPR1を介して第1信号線X
1に所定のアナログ信号を書き込む。
Then, the CPU 901 controls the writing circuit 902
To control the first signal line X through the first probe PR1.
1 is written with a predetermined analog signal.

【0121】続いて、CPU901は、読取回路903
を制御して、第2プローブPR2を介して第2信号線X
2からの出力信号を読み取る。
Subsequently, the CPU 901 executes the reading circuit 903
To control the second signal line X via the second probe PR2.
Read the output signal from 2.

【0122】CPU901は、第2信号線X2から所定
のアナログ信号を検出した場合に、第1信号線X1と第
2信号線X2とが短絡していると判断し、第2信号線X
2から信号を検出しなかった場合に、第1信号線X1と
第2信号線X2との間に短絡が生じていないものと判断
する。
When a predetermined analog signal is detected from the second signal line X2, the CPU 901 determines that the first signal line X1 and the second signal line X2 are short-circuited, and
If no signal is detected from the second signal line 2, it is determined that no short circuit has occurred between the first signal line X1 and the second signal line X2.

【0123】次に、互いに隣接する第2信号線X2と第
3信号線X3との短絡を検査する検査方法について説明
する。これら第2信号線X2及び第3信号線X3は、そ
れぞれ選択回路170の異なるスイッチ、すなわちスイ
ッチSW1及びSW2によって選択され、それぞれのス
イッチSW1及びSW2に接続された接続パッドPD1
A及びPD2Aを介してアナログ信号の書き込み及び読
み取りを行う。
Next, an inspection method for inspecting a short circuit between the second signal line X2 and the third signal line X3 adjacent to each other will be described. The second signal line X2 and the third signal line X3 are respectively selected by different switches of the selection circuit 170, that is, switches SW1 and SW2, and the connection pad PD1 connected to the respective switches SW1 and SW2.
A and the analog signal are written and read via the PD 2A.

【0124】このとき、第1プローブPR1は、接続パ
ッドPD2Aに接続されている。
At this time, the first probe PR1 is connected to the connection pad PD2A.

【0125】すなわち、CPU901は、選択回路17
0に対して、スイッチSW2の出力端子OUT2を第3
信号線X3の入力端子2Aに接続するような制御信号を
出力する。また、CPU901は、切換回路904に対
して第2プローブPR2を選択するような制御信号を出
力する。
That is, the CPU 901 controls the selection circuit 17
0, the output terminal OUT2 of the switch SW2 is set to the third
The control signal is output such that it is connected to the input terminal 2A of the signal line X3. Further, the CPU 901 outputs a control signal to the switching circuit 904 to select the second probe PR2.

【0126】そして、CPU901は、書込回路902
を制御して、第1プローブPR1を介して第3信号線X
3に所定のアナログ信号を書き込む。
Then, the CPU 901 controls the writing circuit 902
To control the third signal line X via the first probe PR1.
3, a predetermined analog signal is written.

【0127】続いて、CPU901は、読取回路903
を制御して、第2プローブPR2を介して第2信号線X
2からの出力信号を読み取る。
Subsequently, the CPU 901 executes the reading circuit 903
To control the second signal line X via the second probe PR2.
Read the output signal from 2.

【0128】CPU901は、第2信号線X2から所定
のアナログ信号を検出した場合に、第2信号線X2と第
3信号線X3とが短絡していると判断し、第2信号線X
2から信号を検出しなかった場合に、第2信号線X2と
第3信号線X3との間に短絡が生じていないものと判断
する。
When a predetermined analog signal is detected from the second signal line X2, the CPU 901 determines that the second signal line X2 and the third signal line X3 are short-circuited, and
If no signal is detected from the second signal line 2, it is determined that no short circuit has occurred between the second signal line X2 and the third signal line X3.

【0129】以下、同様にして、互いに隣接する2本の
信号線をペアとし、検査用回路の一方のプローブを接続
パッドに接続するとともに他方のプローブを信号線上に
設けられた検査用パッドに接続し、一方のプローブに接
続された接続パッドと一方の信号線とを電気的に接続し
た状態で、この一方の信号線に対してアナログ信号を書
き込み、検査用パッドに電気的に接続された他方の信号
線からの出力信号を読み取ることにより、ペアの信号線
間の短絡を検出することが可能となる。
In the same manner, two signal lines adjacent to each other are paired, and one probe of the test circuit is connected to the connection pad, and the other probe is connected to the test pad provided on the signal line. Then, in a state where the connection pad connected to the one probe and one signal line are electrically connected, an analog signal is written to the one signal line, and the other signal electrically connected to the test pad. By reading the output signal from the signal line, it is possible to detect a short circuit between the pair of signal lines.

【0130】また、同様にして、選択回路に含まれるス
イッチを動作させ、このスイッチを挟む接続パッドと検
査用パッドとの間で信号の書き込み及び読み取りを行う
ことにより、新たにパッドを用意すること無しに、スイ
ッチの動作を検査することが可能となる。
Similarly, a switch included in the selection circuit is operated, and signals are written and read between the connection pad and the inspection pad sandwiching the switch, thereby preparing a new pad. Without this, the operation of the switch can be inspected.

【0131】[0131]

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、画素の高精細化が可能な表示装置の短絡を検査する
検査方法であって、検査用回路の測定精度を低減するこ
となくコストを低減できるアレイ基板およびこのアレイ
基板に適用される検査方法を提供するができる。
As described above, according to the present invention, there is provided an inspection method for inspecting a short circuit of a display device capable of increasing the definition of pixels, and the cost can be reduced without reducing the measurement accuracy of an inspection circuit. And an inspection method applied to the array substrate can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】図1は、この発明のアレイ基板を備えた表示装
置の一実施の形態に係る液晶表示装置の構成を概略的に
示す図である。
FIG. 1 is a diagram schematically showing a configuration of a liquid crystal display device according to an embodiment of a display device provided with an array substrate of the present invention.

【図2】図2は、図1に示した液晶表示装置の一辺に設
けられるTCPの構成を概略的に示す図である。
FIG. 2 is a diagram schematically showing a configuration of a TCP provided on one side of the liquid crystal display device shown in FIG.

【図3】図3は、図1に示した液晶表示装置の信号線駆
動回路の構成を概略的に示す図である。
FIG. 3 is a diagram schematically showing a configuration of a signal line driving circuit of the liquid crystal display device shown in FIG. 1;

【図4】図4は、図1に示した液晶表示装置の各画素に
データ信号を書き込む際のタイミングチャートを示す図
である。
FIG. 4 is a diagram showing a timing chart when a data signal is written to each pixel of the liquid crystal display device shown in FIG. 1;

【図5】図5は、図1に示した液晶表示装置の各画素に
データ信号を書き込む際のタイミングチャートを示す図
である。
FIG. 5 is a diagram showing a timing chart when writing a data signal to each pixel of the liquid crystal display device shown in FIG. 1;

【図6】図6は、図1に示した液晶表示装置の一辺に設
けられるTCPの構成を概略的に示す図である。
FIG. 6 is a diagram schematically showing a configuration of a TCP provided on one side of the liquid crystal display device shown in FIG. 1;

【図7】図7は、図1に示した液晶表示装置のアレイ基
板の一端側に設けられた配線パッドの構成を概略的に示
す図である。
FIG. 7 is a diagram schematically showing a configuration of a wiring pad provided on one end side of an array substrate of the liquid crystal display device shown in FIG. 1;

【図8】図8は、図1に示した液晶表示装置のアレイ基
板の中央部に設けられた配線パッドの構成を概略的に示
す図である。
FIG. 8 is a diagram schematically showing a configuration of a wiring pad provided at a central portion of an array substrate of the liquid crystal display device shown in FIG. 1;

【図9】図9は、図1に示した液晶表示装置のアレイ基
板の他端側に設けられた配線パッドの構成を概略的に示
す図である。
FIG. 9 is a diagram schematically illustrating a configuration of a wiring pad provided on the other end side of the array substrate of the liquid crystal display device illustrated in FIG. 1;

【図10】図10は、この発明のアレイ基板の検査方法
における2信号線間の短絡を検査する第1の検査方法を
説明するための回路構成を概略的に示す図である。
FIG. 10 is a diagram schematically showing a circuit configuration for explaining a first inspection method for inspecting a short circuit between two signal lines in the inspection method of the array substrate according to the present invention;

【図11】図11は、この発明のアレイ基板の検査方法
における2信号線間の短絡を検査する第2の検査方法を
説明するための回路構成を概略的に示す図である。
FIG. 11 is a diagram schematically showing a circuit configuration for explaining a second inspection method for inspecting a short circuit between two signal lines in the inspection method of the array substrate according to the present invention;

【図12】図12は、この発明のアレイ基板の検査方法
における2信号線間の短絡を検査する第3の検査方法を
説明するための回路構成を概略的に示す図である。
FIG. 12 is a diagram schematically showing a circuit configuration for explaining a third inspection method for inspecting a short circuit between two signal lines in the inspection method of the array substrate according to the present invention;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…液晶表示装置 100…アレイ基板 110…多結晶シリコン薄膜トランジスタ 150…ゲート線駆動回路 160…信号線駆動回路 170…選択回路 200…対向基板 300…液晶層 511…信号線駆動用IC 900…検査用回路 901…CPU 902…書込回路 903…読取回路 904…切換回路 X(1、2、…)…信号線 PD(1A、2A、…)…接続パッド PD(1B、2B、…)…検査用パッド PD(1C、2C、…)…検査用パッド PR(1、2、3…)…プローブ SW(1、2、…)…スイッチ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Liquid crystal display device 100 ... Array substrate 110 ... Polycrystalline silicon thin film transistor 150 ... Gate line drive circuit 160 ... Signal line drive circuit 170 ... Selection circuit 200 ... Counter substrate 300 ... Liquid crystal layer 511 ... Signal line drive IC 900 ... For inspection Circuit 901 CPU 902 Write circuit 903 Read circuit 904 Switching circuit X (1, 2,...) Signal line PD (1A, 2A,...) Connection pad PD (1B, 2B,...) Pad PD (1C, 2C, ...) ... Inspection pad PR (1, 2, 3, ...) ... Probe SW (1, 2, ...) ... Switch

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G09F 9/00 352 G09G 3/36 G09G 3/36 G02F 1/136 500 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) G09F 9/00 352 G09G 3/36 G09G 3/36 G02F 1/136 500

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】基板上に互いに直交して配列された複数の
ゲート線及び複数の信号線と、 ゲート線と信号線とのそれぞれの交差部に配置されたト
ランジスタと、 各トランジスタに接続された画素電極と、 駆動ICから出力されたアナログ信号が入力される入力
端子と、 前記入力端子から入力されたアナログ信号を複数の隣接
する信号線から順次選択して振り分ける選択手段と、 前記選択手段と前記トランジスタとの間に配置され、前
記信号線に電気的に接続された検査用パッドと、 を備えたことを特徴とするアレイ基板。
A plurality of gate lines and a plurality of signal lines arranged orthogonally to each other on a substrate; a transistor disposed at each intersection of the gate line and the signal line; and a transistor connected to each transistor. A pixel electrode; an input terminal to which an analog signal output from the driving IC is input; a selection unit for sequentially selecting and distributing the analog signal input from the input terminal from a plurality of adjacent signal lines; An inspection pad disposed between the transistor and the transistor and electrically connected to the signal line.
【請求項2】1つの前記選択手段によって選択される前
記信号線の数をNとしたとき、前記検査用パッドの数
は、(N−1)であることを特徴とする請求項1に記載
のアレイ基板。
2. The apparatus according to claim 1, wherein when the number of said signal lines selected by one said selecting means is N, the number of said test pads is (N-1). Array substrate.
【請求項3】前記選択手段は、前記信号線を所定数の信
号線から成る複数の信号線群に区分し、各前記信号線群
毎に対応するアナログ信号を入力し、前記アナログ信号
を各前記信号線群の対応する信号線に順次振り分ける、 ことを特徴とする請求項1に記載のアレイ基板。
3. The signal processing apparatus according to claim 1, wherein the selecting unit divides the signal line into a plurality of signal line groups each including a predetermined number of signal lines, inputs an analog signal corresponding to each of the signal line groups, and The array substrate according to claim 1, wherein the array substrate is sequentially allocated to signal lines corresponding to the signal line group.
【請求項4】前記アレイ基板は、前記ゲート線に駆動信
号を供給するゲート線駆動手段を一体的に含むことを特
徴とする請求項1に記載のアレイ基板。
4. The array substrate according to claim 1, wherein said array substrate integrally includes gate line driving means for supplying a drive signal to said gate lines.
【請求項5】基板上に互いに直交して配列された複数の
ゲート線及び複数の信号線と、 ゲート線と信号線とのそれぞれの交差部に配置されたト
ランジスタと、 各トランジスタに接続された画素電極と、 駆動ICから出力されたアナログ信号が入力される入力
端子と、 前記入力端子から入力されたアナログ信号を複数の隣接
する信号線から順次選択して振り分ける選択手段と、 前記選択手段と前記トランジスタとの間に配置され、前
記信号線に電気的に接続された検査用パッドと、 を備えたアレイ基板の検査方法において、 互いに隣接する第1信号線及び第2信号線のそれぞれに
配置された前記検査用パッドに検査用回路のプローブを
接続し、 前記第1信号線上の第1検査用パッドから前記第1信号
線にアナログ信号を書き込み、 前記第2信号線から前記第2信号線上の第2検査用パッ
ドを介して出力される出力信号を読み取り、 前記第2検査用パッドから読み取った出力信号に基づい
て、前記第1信号線と前記第2信号線との間の短絡を検
査する、 ことを特徴とする検査方法。
5. A plurality of gate lines and a plurality of signal lines arranged orthogonally to each other on a substrate, transistors arranged at respective intersections of the gate lines and the signal lines, and connected to the respective transistors. A pixel electrode; an input terminal to which an analog signal output from the driving IC is input; a selection unit for sequentially selecting and distributing the analog signal input from the input terminal from a plurality of adjacent signal lines; A test pad disposed between the transistor and the signal line, the test pad electrically connected to the signal line; and a test method for an array substrate, comprising: a test pad disposed on each of the first signal line and the second signal line adjacent to each other. Connecting a probe of a test circuit to the test pad, writing an analog signal from the first test pad on the first signal line to the first signal line, An output signal output from a signal line via a second inspection pad on the second signal line is read, and the first signal line and the second signal are read based on the output signal read from the second inspection pad. Inspection method for inspecting a short circuit between a wire and a wire.
【請求項6】基板上に互いに直交して配列された複数の
ゲート線及び複数の信号線と、 ゲート線と信号線とのそれぞれの交差部に配置されたト
ランジスタと、 各トランジスタに接続された画素電極と、 駆動ICから出力されたアナログ信号が入力される入力
端子と、 前記入力端子から入力されたアナログ信号を複数の隣接
する信号線から順次選択して振り分ける選択手段と、 前記選択手段と前記トランジスタとの間に配置され、前
記信号線に電気的に接続された検査用パッドと、 を備えたアレイ基板の検査方法において、 前記選択手段により第1信号線を選択し、 前記入力端子、及び、前記第1信号線に隣接する第2信
号線上に配置された検査用パッドに検査用回路のプロー
ブを接続し、 前記入力端子から前記第1信号線にアナログ信号を書き
込み、 前記第2信号線から前記検査用パッドを介して出力され
る出力信号を読み取り、 前記検査用パッドから読み取ったアナログ信号に基づい
て、前記第1信号線と前記第2信号線との間の短絡を検
査する、 ことを特徴とする検査方法。
6. A plurality of gate lines and a plurality of signal lines arranged orthogonally to each other on a substrate, transistors arranged at respective intersections of the gate lines and the signal lines, and connected to each transistor. A pixel electrode; an input terminal to which an analog signal output from the driving IC is input; a selection unit for sequentially selecting and distributing the analog signal input from the input terminal from a plurality of adjacent signal lines; A test pad disposed between the transistor and the signal line, the test pad being electrically connected to the signal line; a test method for an array substrate, comprising: a first signal line selected by the selecting means; And connecting a probe of an inspection circuit to an inspection pad arranged on a second signal line adjacent to the first signal line, and connecting an analog signal from the input terminal to the first signal line. And an output signal output from the second signal line via the inspection pad is read. Based on the analog signal read from the inspection pad, the first signal line and the second signal line are connected to each other. An inspection method for inspecting a short circuit between the two.
【請求項7】前記検査用回路は、前記選択手段に対して
前記第1信号線を選択する選択信号を出力することを特
徴とする請求項6に記載のアレイ基板の検査方法。
7. The method according to claim 6, wherein the inspection circuit outputs a selection signal for selecting the first signal line to the selection unit.
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