JP2001185785A - 固体レーザ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ロッド型固体レーザ媒質の温度分布の偏心を
防止して、出力が低下せず、真円度の高いレーザ光線が
得られる固体レーザ装置を提供する。 【解決手段】 ロッド型固体レーザ媒質、該ロッド型固
体レーザ媒質を励起するレーザダイオード、上記ロッド
型固体レーザ媒質の外周を取り囲みロッド型固体レーザ
媒質との間に冷媒流路４を形成する筒状流路体、および
該筒状流路体に設けられ上記冷媒流路に冷媒を導入する
冷媒導入手段６を備え、上記冷媒導入手段によって上記
冷媒流路に生じる冷媒のよどみ部に配置されたロッド型
固体レーザ媒質部分まで上記レーザダイオードにより励
起するように構成された固体レーザ装置において、上記
冷媒流路に生じる冷媒のよどみを低減する手段６０を備
えた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、レーザダイオー
ドにより励起されるロッド型固体レーザ媒質を用いた固
体レーザ装置に関し、特にその冷却構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】図１５は従来の固体レーザ装置を示す横
断面図であり、図１６はその冷媒流路を示す斜視図、図
１７は冷媒の流れの様子を説明するための図である。図
において、１はレーザダイオード（以下、ＬＤと記
す。）、２はロッド型固体レーザ媒質、３はフローチュ
ーブ、４は冷媒流路、６は冷媒導入管、７は冷媒導出
管、１４は集光器、１５は光学素子である。

【０００３】従来の固体レーザ装置においては、図１５
に示されるように、ロッド型固体レーザ媒質２の外周部
にフローチューブ３を配置し、ロッド型固体レーザ媒質
２との間に冷却用の冷媒が流通する冷媒流路を形成して
いる。また、ロッド型固体レーザ媒質２の４方にはロッ
ド型固体レーザ媒質２を光励起するためのＬＤ１を配置
している。ＬＤ１から放出される励起光は励起光を導光
するための光学素子１５の中に配置されているロッド型
固体レーザ媒質２に、集光器１４を通って導かれる。ロ
ッド型固体レーザ媒質２を均一に励起するために、ＬＤ
１は側面４方向に配置されている。そして、ロッド型固
体レーザ媒質２をＬＤ１にて光励起することにより、誘
導放出された光は共振器（図示せず）により増幅され、
レーザ光として外部に取り出される。また、ロッド型固
体レーザ媒質２はＬＤ１により大量に加熱されるが、ロ
ッド型固体レーザ媒質２の外側に設置されたフローチュ
ーブ３で、ロッド型固体レーザ媒質２との間に冷媒流路
４を形成し、ロッド型固体レーザ媒質２の長さ方向に例
えば純水などの冷媒を流すことにより、ロッド型固体レ
ーザ媒質２を冷却している。なお、このような固体レー
ザ装置は例えば特開平１０−２７５９５２号公報に記載
されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記のような構成によ
る従来の固体レーザ装置においては、図１６および図１
７に示すように、冷媒導入管６から冷媒流路４に冷媒が
流入する際、冷媒流路４の図中斜線で示した部分８の方
向に冷媒が流れるには、曲がり圧力損失が存在するため
に、当該部分８に対しては流れにくくなり、他の部分と
比較して流速が低下するよどみの部分８となる。このた
め、３方向以上からＬＤ１によりロッド型固体レーザ媒
質２をほぼ軸対称に励起したとしても、よどみ部８で流
速が低下するために、この部分の熱伝達率が低下し、十
分に冷却されず高温となる。このように、温度分布が軸
対称ではなくなり、不均一となる結果、ロッド型固体レ
ーザ媒質２の温度分布は高温になるよどみ部８の方向に
偏心するという問題があった。

【０００５】このように温度分布が軸対称ではなく不均
一であるロッド型固体レーザ媒質２では、励起され、温
度上昇した時に生じる凸レンズ作用が不均一になるた
め、得られるレーザ光線の光軸が偏位するという問題が
あった。これは、光軸とロッド型固体レーザ媒質２の中
心線がずれることを意味し、十分な出力が得られないと
いう問題があった。また、得られるレーザ光線の真円度
が低下するため、例えば、このレーザ光により加工を行
う場合には、加工する方向によりその加工性能に異方性
が生じるという問題があった。

【０００６】また、このように温度分布が非軸対称であ
る固体レーザ装置においては、投入エネルギーに応じて
温度分布の偏心量が変化することになり、従って発振さ
れるレーザ光線の光軸が投入エネルギーに応じて偏位す
るという問題があった。

【０００７】更に、このような温度分布の偏位があるた
めに、レーザ媒質を直列に複数個並べてレーザ動作させ
る場合には調整が難しく、またレーザ光の光軸がロッド
型固体レーザ媒質の中心線からずれるために、十分に出
力が得られないという問題があった。また、得られたレ
ーザ光線を光ファイバに導光しようとするときには、低
入力でレーザ位置に光ファイバを調整したのちに、序々
に投入エネルギを上げながら、偏位していくレーザ光に
あわせて、光ファイバ位置を調整していかなければなら
ないため、調整が困難であるという問題があった。

【０００８】本発明は、上記のような従来のものの問題
点を解決するためになされたものであり、第１の目的と
しては、ロッド型固体レーザ媒質の温度分布の偏心を防
止して、出力が低下せず、真円度が高くしかも投入エネ
ルギによって光軸が変化しないレーザ光線が得られる固
体レーザ装置を提供することである。また、第２の目的
としては、レーザ媒質を直列に複数並べてレーザ動作さ
せる場合にも、出力が低下せず、調整が容易な固体レー
ザ装置を提供することである。更に第３の目的として
は、光ファイバ導光した場合にも、調整が容易な固体レ
ーザ装置を提供することである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明に係る固体レーザ
装置は、ロッド型固体レーザ媒質、該ロッド型固体レー
ザ媒質を励起するレーザダイオード、上記ロッド型固体
レーザ媒質の外周を取り囲み上記ロッド型固体レーザ媒
質との間に冷媒流路を形成する筒状流路体、および該筒
状流路体に設けられ上記冷媒流路に冷媒を導入する冷媒
導入手段を備え、上記冷媒導入手段によって上記冷媒流
路に生じる冷媒のよどみ部に配置されたロッド型固体レ
ーザ媒質部分まで上記レーザダイオードにより励起する
ように構成された固体レーザ装置において、上記冷媒流
路に生じる冷媒のよどみを低減する手段を備えたもので
ある。

【００１０】また、冷媒のよどみ低減手段は、冷媒の導
入方向を筒状流路体の中心軸に対して偏心させるもので
ある。

【００１１】また、冷媒のよどみ低減手段は、筒状流路
体の内面に設けられた螺旋状の溝である。

【００１２】また、冷媒のよどみ低減手段は、冷媒が導
入する筒状流路体部分に設けられたたまり部である。

【００１３】また、ロッド型固体レーザ媒質は側面の少
なくとも３方向からレーザダイオードにより励起される
ものである。

【００１４】さらに、複数個のロッド型固体レーザ媒質
が直列に配列されたものである。

【００１５】さらに、ロッド型固体レーザ媒質からの出
力光を光ファイバに導入するものである。

【００１６】

【発明の実施の形態】実施の形態１．図１は本発明の実
施の形態１による固体レーザ装置の要部の構成を示す縦
断面図であり、固体レーザ装置の要部を冷媒流路の中心
軸を通る平面で切った図である。図２は図１の冷媒流路
を示す斜視図、図３は冷媒の流れの様子を説明するため
の図である。図において、１はＬＤ、２はロッド型固体
レーザ媒質である。図１のＡ−Ａ線による横断面は図１
５で示した従来のものと同じであり、本実施の形態にお
いても、ＬＤ１はロッド型固体レーザ媒質２の４方に配
置されており、ロッド型固体レーザ媒質２をほぼ軸対称
に励起できる。なお、図１では紙面の都合でロッド型固
体レーザ媒質２の軸方向の長さを縮小して示している。
また、図示を省略しているが、図１５と同様にＬＤ１と
ロッド型固体レーザ媒質２との間に集光器１４や光学素
子１５を備えている。これらは以下の図においても同様
である。３はロッド型固体レーザ媒質２の外周を取り囲
むフローチューブであり、フローチューブ３は円筒状を
なし、ロッド型固体レーザ媒質２を長手方向にわたって
ほぼ全体的に包囲している。５はフローチューブ３を固
定するブロックであり、端板５１によりロッド型固体レ
ーザ媒質２の位置が固定され、押え板５２とＯリング５
３によりロッド型固体レーザ媒質２の部分のシールがな
されている。

【００１７】本実施の形態ではフローチューブ３とブロ
ック５とにより、ロッド型固体レーザ媒質２の外周を取
り囲みロッド型固体レーザ媒質２との間に冷媒流路４を
形成する筒状流路体を構成している。６はブロック５に
設けられ、冷媒流路４に例えば純水等の冷媒を導入する
冷媒導入手段すなわち冷媒導入管であり、本実施の形態
では冷媒の導入方向が筒状流路体すなわちフローチュー
ブ３の中心軸に対して偏心した方向となるように配置さ
れており、よどみ低減手段となっている。７はブロック
５に設けられ、冷媒流路４から冷媒を導出する冷媒導出
管である。冷媒導入管６より供給された冷媒は、ロッド
型固体レーザ媒質２とブロック５およびフローチューブ
３との間で形成される冷媒流路４を流れ、その間にロッ
ド型固体レーザ媒質２を直接冷却する。冷媒流路４を通
過した冷媒は冷媒導出管７から排出される。

【００１８】本実施の形態では、ロッド型固体レーザ媒
質２は冷媒導入管６の近傍までＬＤ１により励起されて
おり、冷媒導入管６によって冷媒流路に生じる冷媒のよ
どみ部８に配置されたロッド型固体レーザ媒質２部分ま
でＬＤ１により励起されている。例えば具体的数値を示
すと、ロッド型固体レーザ媒質２の直径は４ｍｍ、フロ
ーチューブ３の管径は５ｍｍ〜６ｍｍ、冷媒導入管６の
管径は３．５〜４ｍｍ、冷媒導入管６のブロック５への
接続部からロッド型固体レーザ媒質２の励起部までの距
離Ｌは１５ｍｍ以下、冷媒の流速は５ｍ／ｓｅｃ〜７ｍ
／ｓｅｃである。

【００１９】このように構成された固体レーザ装置にお
いては、冷媒導入管６から冷媒流路４に導入された冷媒
が冷媒流路４において旋回流となるために、よどみ部８
の領域が図３中斜線にて示されるように周方向に回転す
る。このため、よどみ部８の影響が周方向に平均化され
ることになり、軸方向の平均として、よどみの影響が均
一化されることになる。さらに、冷媒を旋回させること
によりよどみが成長しにくくなり、よどみ自体も小さく
することができる。従って、よどみ自体およびよどみの
影響は低減されることになり、冷媒流路４およびロッド
型固体レーザ媒質２はほぼ軸対称の温度分布を得ること
ができる。その結果、ロッド型固体レーザ媒質２が励起
され温度上昇したときに生じる凸レンズ作用が軸対称と
なり、得られるレーザ光線の光軸は偏位しなくなるの
で、従来技術においてみられた出力低下の問題もなくな
る。また、レーザ光線も真円度の高いものが得られるの
で、加工に利用する際にも、加工する方向による異方性
が小さい固体レーザ装置が得られる。なお、冷媒が導入
部近傍での旋回方向を保ったまま滑らかに冷媒導出管７
へ流出するように、冷媒導出管７をフローチューブ３の
中心軸に対して偏心させて配置してもよく、冷媒の旋回
を排出口まで維持できるので圧損を低減することができ
る。なお、ＬＤ１による励起は４方向に限らず、３方向
以上であればロッド型固体レーザ媒質２を均一に励起す
ることができる。

【００２０】実施の形態２．図４は本発明の実施の形態
２による固体レーザ装置の要部の構成を示す縦断面図で
あり、固体レーザ装置の要部を冷媒流路の中心軸を通る
平面で切った図である。なお、図４では図１のＬＤ１を
省略して示している。これは以下の図においても同様で
ある。図において、５０は冷媒導入管６が接続されたブ
ロック５の内面に形成された螺旋状の溝であり、よどみ
低減手段となっている。

【００２１】このように構成された固体レーザ装置にお
いては、冷媒導入管６からブロック５内へ導入された冷
媒は、ブロック５内部を流れる際に螺旋状の溝５０によ
り旋回成分を与えられて旋回流となるため、上記実施の
形態１で説明したのと同様に、軸方向の平均としてよど
みの影響が周方向に均一化され、ほぼ軸対称の温度分布
を得ることができる。その結果、実施の形態１の場合と
同様に、ロッド型固体レーザ媒質２が励起され温度上昇
したときに生じる凸レンズ作用が軸対称となり、得られ
るレーザ光線の光軸は偏位しなくなるので、従来技術に
おいてみられた出力低下の問題もなくなる。また、レー
ザ光線も真円度の高いものが得られるので、加工に利用
する際にも、加工する方向による異方性が小さい固体レ
ーザ装置が得られる。

【００２２】実施の形態３．図５は本発明の実施の形態
３による固体レーザ装置の要部の構成を示す縦断面図で
あり、固体レーザ装置の要部を冷媒流路の中心軸を通る
平面で切った図である。図において、３０はフローチュ
ーブ３の内面に形成された螺旋状の溝であり、よどみ低
減手段となっている。本実施の形態においても、実施の
形態２の場合と同様に、冷媒は、フローチューブ３とロ
ッド型固体レーザ媒質２との間に形成された冷媒流路４
を流れる際に螺旋状の溝３０によって旋回成分を与えら
れ、旋回流となる。従って、軸方向の平均としてよどみ
の影響が周方向に均一化され、ほぼ軸対称の温度分布を
得ることができ、実施の形態２の場合と同様の効果が得
られる。

【００２３】なお、実施の形態２と実施の形態３とを同
時に実施してもよいのは言うまでもない。

【００２４】実施の形態４．図６は本発明の実施の形態
４による固体レーザ装置の要部の構成を示す縦断面図で
あり、固体レーザ装置の要部を冷媒流路の中心軸を通る
平面で切った図である。図７は図６の冷媒流路を示す斜
視図、図８は冷媒の流れの様子を説明するための図であ
る。図において、６０は冷媒導入管６が接続されたブロ
ック５に設けられたたまり部すなわちヘッダーであり、
よどみ低減手段となっている。７０は冷媒導出管７が接
続されたブロック５に設けられたたまり部すなわちヘッ
ダーである。このように構成されたものにおいては、た
まり部６０があるために、冷媒導入管６から導入された
冷媒の流れがたまり部６０内で均一化され、図８に示す
ように冷媒流路４においては、よどみ部８の大きさが小
さくなり、温度分布の偏りを小さくすることができる。
特に、冷媒流路４の径Ｄ１に対してたまり部６０の外径
Ｄ２を１．５倍以上とした時に、効果的に温度分布の偏
位を小さくすることができた。なお、冷媒導出管７側の
たまり部７０は、有れば、冷媒が冷媒流路４から冷媒導
出管７へ流出する際に、流れの軸対称性がずれる影響を
より小さくすることができるが、無くてもよい。

【００２５】実施の形態５．図９は本発明の実施の形態
５による固体レーザ装置の要部の構成を示す縦断面図で
あり、固体レーザ装置の要部を冷媒流路の中心軸を通る
平面で切った図である。図１０は冷媒の流れの様子を説
明するための図である。上記実施の形態４においては、
たまり部６０の内径は冷媒流路の外径Ｄ１と同一であっ
たが、図９に示すように、冷却水路の外径Ｄ１よりも大
きくしてもよい。このような構成にした場合、たまり部
６０内で冷媒の流れが均一化するための流れ圧損と冷媒
流路４へ流れ込むための圧損との差を更に大きくするこ
とができるために、たまり部６０内で周方向に冷媒の流
れが更に均一化され、温度分布の偏りを更に小さくする
ことができる。

【００２６】実施の形態６．図１１は本発明の実施の形
態６による固体レーザ装置の要部の構成を示し、冷媒流
路を示す斜視図、図１２は冷媒の流れの様子を説明する
ための図である。本実施の形態は、実施の形態１と実施
の形態５とを同時に実現したものであり、冷媒導入管６
が接続されたブロック５にたまり部６０を設け、かつ冷
媒導入管６を冷媒の導入方向がフローチューブ３の中心
軸に対して偏心した方向となるように配置している。ま
た、冷媒導出管７が接続されたブロック５にもたまり部
７０を設け、かつ冷媒導出管７を冷媒の導出方向がフロ
ーチューブ３の中心軸に対して偏心した方向となるよう
に配置している。

【００２７】このように構成された固体レーザ装置にお
いては、冷媒が冷媒流路４に導入される際に、たまり部
７にて流れが均一化されるために、図１２に示すよう
に、よどみ部８の領域を小さくすることができるととも
に、実施の形態１で示した場合よりも、フローチューブ
３の中心軸に対して更に大きな偏心を与えることができ
るように冷媒の導入方向を設定することができ、より大
きな旋回モーメントを与えることができために、温度分
布が周方向により平均化され、温度分布の偏りをさらに
小さくすることができる。なお、冷媒導出管７側のたま
り部７０は、実施の形態５で説明したのと同様に無くて
もよい。また、冷媒が導入部近傍での旋回方向を保った
まま滑らかに冷媒導出管７へ流出するように、冷媒導出
管７をフローチューブ３の中心軸に対して偏心させて配
置した場合には、冷媒の旋回を排出口まで維持できるの
で圧損を低減することができるが、必ずしも偏心させな
くてもよい。

【００２８】本実施形態においては、実施の形態１と実
施の形態５とを同時に実施した場合について示したが、
実施の形態１の代わりに実施の形態２や実施の形態３で
あってもよく、また、実施の形態５の代わりに実施の形
態４であってもよく、同様の効果が期待できる。

【００２９】実施の形態７．図１３は本発明の実施の形
態７による固体レーザ装置の構成を示す図である。図に
おいて、９はリアミラー、１０は出力ミラー、１１はレ
ーザ光線である。本実施の形態では、複数個、例えば３
個のロッド型固体レーザ媒質２を、リアミラー９と出力
ミラー１０の間に直列に並べてレーザ発振に使用してい
る。なお、図では省略しているが図１５で示したのと同
様に、各ロッド型固体レーザ媒質２の周りにはＬＤ１や
集光器１４や光学素子１５が配置され、各ロッド型固体
レーザ媒質２をほぼ均一に励起してレーザ光線１１を取
り出すレーザヘッドを構成しており、さらに、冷媒流路
４と上記実施の形態１〜６のうちの何れかのよどみ低減
手段とを備えている。

【００３０】このように構成された固体レーザ装置にお
いては、冷媒流路のよどみを低減してロッド型固体レー
ザ媒質２の温度分布を軸対称にできるために、光軸がず
れることなくレーザ発振することが可能となり、調整が
容易となると共に出力を十分に取り出すことができる。

【００３１】実施の形態８．図１４は本発明の実施の形
態８による固体レーザ装置の構成を示す図である。図に
おいて、１２は光ファイバ、１３は例えばレンズ等の導
光光学系である。本実施形態では、ロッド型固体レーザ
媒質２から出射されるレーザ光線１１を導光光学系１３
により光ファイバ１２に導光して利用する。なお、図で
は省略しているが、上記実施の形態７と同様に、各ロッ
ド型固体レーザ媒質２の周りにはＬＤ１や集光器１４や
光学素子１５が配置され、各ロッド型固体レーザ媒質２
をほぼ均一に励起してレーザ光線１１を取り出すレーザ
ヘッドを構成しており、さらに、冷媒流路４と上記実施
の形態１〜６のうちの何れかのよどみ低減手段とを備え
ている。

【００３２】このように構成された固体レーザ装置にお
いては、冷媒流路のよどみを低減してロッド型固体レー
ザ媒質２の温度分布を軸対称化できるために、光軸がず
れることなくレーザ発振することが可能となり、光ファ
イバ１２へ導光する位置が偏位することがなくなり、調
整が容易となる。

【００３３】以上の各実施の形態において、図１５のよ
うに励起が均一であるＬＤによる側面励起で３方向以上
から励起される形態においては、周方向に対して、励起
が均一にできるともに、発熱状態も均一にできるので、
特に温度分布を均一にすることができる。

【００３４】

【発明の効果】以上のように、本発明に係る固体レーザ
装置は、ロッド型固体レーザ媒質、該ロッド型固体レー
ザ媒質を励起するレーザダイオード、上記ロッド型固体
レーザ媒質の外周を取り囲み上記ロッド型固体レーザ媒
質との間に冷媒流路を形成する筒状流路体、および該筒
状流路体に設けられ上記冷媒流路に冷媒を導入する冷媒
導入手段を備え、上記冷媒導入手段によって上記冷媒流
路に生じる冷媒のよどみ部に配置されたロッド型固体レ
ーザ媒質部分まで上記レーザダイオードにより励起する
ように構成された固体レーザ装置において、上記冷媒流
路に生じる冷媒のよどみを低減する手段を備えたので、
よどみの影響を低減して冷却を均一化することができ、
ロッド型固体レーザ媒質の温度分布を軸対称なものとす
ることができる結果、出力が低下せず、真円度が高くし
かも投入エネルギによって光軸が変化しないレーザ光線
が得られる。

【００３５】また、冷媒のよどみ低減手段は、冷媒の導
入方向を筒状流路体の中心軸に対して偏心させるもので
あるので、冷媒に旋回成分を与えることができる結果、
よどみの影響を周方向に平均化することができ、従って
冷却を均一化することができるので、ロッド型固体レー
ザ媒質の温度分布を軸対称なものとすることができる。

【００３６】また、冷媒のよどみ低減手段は、筒状流路
体の内面に設けられた螺旋状の溝であるので、冷媒に旋
回成分を与えることができる結果、よどみの影響を周方
向に平均化することができ、従って冷却を均一化するこ
とができるので、ロッド型固体レーザ媒質の温度分布を
軸対称なものとすることができる。

【００３７】また、冷媒のよどみ低減手段は、冷媒が導
入する筒状流路体部分に設けられたたまり部であるの
で、冷媒導入管から導入された冷媒の流れがたまり部内
で均一化され、冷媒流路におけるよどみの大きさを低減
することができる。従って冷却を均一化することができ
るので、ロッド型固体レーザ媒質の温度分布を軸対称な
ものとすることができる。

【００３８】また、ロッド型固体レーザ媒質は側面の少
なくとも３方向からレーザダイオードにより励起される
ものであるので、周方向に対して、励起が均一にできる
ともに、発熱状態も均一にできるので、特に温度分布を
均一にすることができる。

【００３９】さらに、複数個のロッド型固体レーザ媒質
を直列に配列する場合にも、調整が容易で出力を十分に
取り出すことができる。

【００４０】さらに、ロッド型固体レーザ媒質からの出
力光を光ファイバに導入する場合にも、調整が容易にで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施の形態１による固体レーザ装置
の要部の構成を示す縦断面図である。

【図２】 本発明の実施の形態１に係り、図１の冷媒流
路を示す斜視図である。

【図３】 本発明の実施の形態１に係り、冷媒の流れの
様子を説明するための図である。

【図４】 本発明の実施の形態２による固体レーザ装置
の要部の構成を示す縦断面図である。

【図５】 本発明の実施の形態３による固体レーザ装置
の要部の構成を示す縦断面図である。

【図６】 本発明の実施の形態４による固体レーザ装置
の要部の構成を示す縦断面図である。

【図７】 本発明の実施の形態４に係り、図６の冷媒流
路を示す斜視図である。

【図８】 本発明の実施の形態４に係り、冷媒の流れの
様子を説明するための図である。

【図９】 本発明の実施の形態５による固体レーザ装置
の要部の構成を示す縦断面図である。

【図１０】 本発明の実施の形態５に係り、冷媒の流れ
の様子を説明するための図である。

【図１１】 本発明の実施の形態６による固体レーザ装
置の要部の構成を示し、冷媒流路を示す斜視図である。

【図１２】 本発明の実施の形態６に係り、冷媒の流れ
の様子を説明するための図である。

【図１３】 本発明の実施の形態７による固体レーザ装
置の要部の構成を示す図である。

【図１４】 本発明の実施の形態８による固体レーザ装
置の要部の構成を示す図である。

【図１５】 従来の固体レーザ装置の構成を示す横断面
図である。

【図１６】 従来の固体レーザ装置における冷媒流路を
示す斜視図である。

【図１７】 従来の固体レーザ装置における冷媒の流れ
の様子を説明するための図である。

【符号の説明】

１ ＬＤ、２ ロッド型固体レーザ媒質、３ フローチ
ューブ、４ 冷媒流路、５ ブロック、６ 冷媒導入
管、７ 冷媒導出管、６０，７０ たまり部、８よどみ
部、９ リアミラー、１０ 出力ミラー、１１ レーザ
光線、１２ 光ファイバ、１３ 導光光学系、１４ 光
学素子、１５ 集光器、３０，５０ 螺旋状の溝。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大谷 昭博 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 Ｆターム(参考） 5F072 AK01 KK30 PP07 TT01 TT22 YY06

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ロッド型固体レーザ媒質、該ロッド型固
   体レーザ媒質を励起するレーザダイオード、上記ロッド
   型固体レーザ媒質の外周を取り囲み上記ロッド型固体レ
   ーザ媒質との間に冷媒流路を形成する筒状流路体、およ
   び該筒状流路体に設けられ上記冷媒流路に冷媒を導入す
   る冷媒導入手段を備え、上記冷媒導入手段によって上記
   冷媒流路に生じる冷媒のよどみ部に配置されたロッド型
   固体レーザ媒質部分まで上記レーザダイオードにより励
   起するように構成された固体レーザ装置において、上記
   冷媒流路に生じる冷媒のよどみを低減する手段を備えた
   ことを特徴とする固体レーザ装置。
2. 【請求項２】 冷媒のよどみ低減手段は、冷媒の導入方
   向を筒状流路体の中心軸に対して偏心させるものである
   ことを特徴とする請求項１記載の固体レーザ装置。
3. 【請求項３】 冷媒のよどみ低減手段は、筒状流路体の
   内面に設けられた螺旋状の溝であることを特徴とする請
   求項１記載の固体レーザ装置。
4. 【請求項４】 冷媒のよどみ低減手段は、冷媒が導入す
   る筒状流路体部分に設けられたたまり部であることを特
   徴とする請求項１記載の固体レーザ装置。
5. 【請求項５】 ロッド型固体レーザ媒質は側面の少なく
   とも３方向からレーザダイオードにより励起されること
   を特徴とする請求項１ないし４の何れかに記載の固体レ
   ーザ装置。
6. 【請求項６】 複数個のロッド型固体レーザ媒質が直列
   に配列されたことを特徴とする請求項１ないし５の何れ
   かに記載の固体レーザ装置。
7. 【請求項７】 ロッド型固体レーザ媒質からの出力光を
   光ファイバに導入することを特徴とする請求項１ないし
   ６の何れかに記載の固体レーザ装置。