JP2001185353A - Manufacturing method of organic layer of organic led display and display device using it - Google Patents

Manufacturing method of organic layer of organic led display and display device using it

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JP2001185353A
JP2001185353A JP37050899A JP37050899A JP2001185353A JP 2001185353 A JP2001185353 A JP 2001185353A JP 37050899 A JP37050899 A JP 37050899A JP 37050899 A JP37050899 A JP 37050899A JP 2001185353 A JP2001185353 A JP 2001185353A
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JP
Japan
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electrode
organic
organic layer
voltage
substrate
Prior art date
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JP37050899A
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Japanese (ja)
Inventor
Yoshimasa Fujita
悦昌 藤田
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Original Assignee
Sharp Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing the organic layer of organic LED display efficiently and easily in pattern form. SOLUTION: In the process of forming organic layer by applying a coating liquid that at least includes organic material, on the plural electrodes disposed in a pattern on a board, a direct current voltage is applied on the electrodes corresponding to the pixel which do not form organic layers as formed by the organic material, thereby the adhesion of the coating liquid is prevented.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、フルカラー有機
LEDディスプレイの製造方法に関し、とくにその有機
層の形成方法とそれを用いた表示装置に関する。
The present invention relates to a method for manufacturing a full-color organic LED display, and more particularly to a method for forming an organic layer and a display device using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、高度情報化に伴い、薄型、低消費
電力、軽量の表示素子への要望が高まる中、有機LED
ディスプレイは、自発光であること、発光色が多様であ
ることから注目を集めている。
2. Description of the Related Art In recent years, demands for thin, low power consumption, and light weight display devices have been increasing with the advancement of information technology.
Displays have attracted attention because of their self-luminous nature and the variety of luminescent colors.

【0003】この有機LEDディスプレイにおけるカラ
ー化の方法としては、赤色、緑色、青色をそれぞれ発光
する発光層を用いる方法(特開平3−269995号公
報参照)、カラーフィルターを用いる方法(特開平3−
152897号公報参照)、波長変換蛍光体層を用いる
方法(特開平3−152897号公報参照)、誘電体多
層膜を用いる方法(特開平6−275381号公報参
照)などが知られている。
[0003] As a method of colorization in this organic LED display, a method using a light emitting layer which emits red, green and blue light respectively (see Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-269953) and a method using a color filter (Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 3-26995).
There are known a method using a wavelength conversion phosphor layer (see JP-A-3-152897), a method using a dielectric multilayer film (see JP-A-6-275381), and the like.

【0004】しかしながら、カラーフィルターを用いる
方法では、発光層のパターニングの必要が無い等の利点
はあるが、高効率で安定な白色発光材料が現在のところ
見出されていないことや、カラーフィルター自身の吸収
により発光効率が低下する等の問題点がある。
[0004] However, the method using a color filter has advantages such as no necessity of patterning the light-emitting layer. However, a high-efficiency and stable white light-emitting material has not been found at present, and the color filter itself has not been found. There are problems such as a decrease in luminous efficiency due to absorption of light.

【0005】また、波長変換蛍光体層を用いる方法で
は、発光層のパターニングの必要が無い等の利点はある
が、波長変換蛍光体層の変換効率(特に、青色から赤色
への変換効率)が低く、青色の透過に伴う色純度も低い
等の問題点がある。
Although the method using the wavelength conversion phosphor layer has the advantage that the patterning of the light emitting layer is not required, the conversion efficiency of the wavelength conversion phosphor layer (particularly, the conversion efficiency from blue to red) is low. There are problems such as low color purity and low color purity associated with blue transmission.

【0006】さらに、誘電体多層膜を用いる方法では、
発光層のパターニングの必要が無く発光効率が優れてい
る等の利点はあるが、原理的に指向性を伴うため、視野
角が狭くなるという問題点がある。
Further, in the method using a dielectric multilayer film,
Although there is an advantage that the patterning of the light emitting layer is not required and the light emitting efficiency is excellent, there is a problem that the viewing angle is narrowed because of the directivity in principle.

【0007】赤色、緑色、青色をそれぞれ発光する発光
層を用いる方法では、発光効率色純度に優れているとい
った利点があるが、発光層をそれぞれパターニングする
必要があるといった欠点を有する。しかし、この方法
は、容易なパターニング方法を実現できれば、非常に優
れたカラー化の方法である。この解決法の一つとして、
電着により、発光層をパターン化する方法が提案されて
いる(特開平9−7768号公報、特開平11−870
54号公報参照)。
A method using a light emitting layer that emits red, green, and blue light, respectively, has the advantage of being excellent in luminous efficiency and color purity, but has the drawback that it is necessary to pattern each light emitting layer. However, this method is a very excellent colorization method if an easy patterning method can be realized. As one of the solutions,
A method of patterning a light emitting layer by electrodeposition has been proposed (JP-A-9-7768, JP-A-11-870).
No. 54).

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかし、このような方
法では、所望の電極以外の電極上にも電着塗料が付着し
て、混色(異なる発光色を発する2層以上の層が同時に
発光する現象)が生じるため、所望の電極上に有機層を
形成した後、所望の電極以外の電極上に付着した電着塗
料を除去する必要があり、この工程により先に形成した
有機層が汚染される問題や、電着塗料を除去する過程で
所望の電極上に形成された有機層の表面が荒れたり、膜
厚が所望の値より薄くなったり、各画素で膜厚がばらつ
くことによる発光ムラが生じたりする問題がある。
However, in such a method, the electrodeposition paint adheres to electrodes other than the desired electrode, and the mixed color (two or more layers emitting different emission colors emit light simultaneously). Phenomenon), it is necessary to form an organic layer on a desired electrode, and then remove the electrodeposition paint adhered on electrodes other than the desired electrode. This step contaminates the previously formed organic layer. Problem, the surface of the organic layer formed on the desired electrode is roughened in the process of removing the electrodeposition paint, the film thickness becomes thinner than the desired value, and the light emission unevenness occurs due to the film thickness varying in each pixel. There is a problem that occurs.

【0009】そこで、本来有機層を形成しない電極上に
有機材料が付着することを完全に防止するため、鋭意研
究した結果、電気的反発力を利用することにより、任意
の電極上に有機材料の付着を防止することが可能である
ことを見出し、この発明を完成するに至った。
In order to completely prevent the organic material from adhering to an electrode on which an organic layer is not originally formed, the present inventors have conducted intensive studies. They have found that it is possible to prevent adhesion, and have completed the present invention.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明は、基板上にパタ
ーン化された複数の電極上に、少なくとも有機材料を含
む塗液を塗布して有機層を形成する際に、前記有機材料
からなる有機層を形成しない画素に対応した電極には直
流電圧を印加して前記塗液の付着を防止することを特徴
とするLEDディスプレイの有機層の形成方法を提供す
るものである。
The present invention provides a method for forming an organic layer by applying a coating liquid containing at least an organic material on a plurality of electrodes patterned on a substrate. An object of the present invention is to provide a method for forming an organic layer of an LED display, wherein a DC voltage is applied to an electrode corresponding to a pixel on which an organic layer is not formed to prevent the coating liquid from adhering.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】この発明では図2に示すように、
パターン化した第1電極21,22を有する基板1の任
意の第1電極22に外部電源8から負または正の極性を
持つ電圧を印加し、かつ、基板1に有機材料を含有する
塗液を塗布することにより、電圧を印加してある任意の
第1電極22上に前記有機材料からなる有機層を形成さ
せないことを特徴とする。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In the present invention, as shown in FIG.
A voltage having a negative or positive polarity is applied from an external power supply 8 to an arbitrary first electrode 22 of the substrate 1 having the patterned first electrodes 21 and 22, and a coating liquid containing an organic material is applied to the substrate 1. By applying, an organic layer made of the organic material is not formed on any of the first electrodes 22 to which a voltage is applied.

【0012】これにより電極22上には、電気的反発力
により前記有機材料からなる有機層が形成されないが、
電圧を印加していない電極21上には、電気的反発力が
生じないため、前記有機材料を含有する塗液が付着する
ので、前記有機材料からなる有機層が形成される。これ
を、電圧を印加する電極を変えて、繰り返すことで、有
機層のパターン化ができ、多色発光を表示するディスプ
レイを作製することが可能となる。
As a result, an organic layer made of the organic material is not formed on the electrode 22 by electric repulsion.
Since no electric repulsive force is generated on the electrode 21 to which no voltage is applied, the coating liquid containing the organic material adheres, so that an organic layer made of the organic material is formed. By repeating this process while changing the electrode to which a voltage is applied, the organic layer can be patterned, and a display that displays multicolor light emission can be manufactured.

【0013】ここで、基板上に塗液を付着せる方法(塗
布する方法)としては、浸漬塗布法、スピンコート法、
バーコート法、吐出コート法、スプレーコート法、イン
クジェット法等があるが、本発明はこれらに限定される
ものではない。また、有機層の膜厚の制御は、浸漬塗布
法の場合には塗液の粘度、引き上げ速度等を適切に制御
することにより、スピンコート法では塗液の粘度、回転
数、回転時間等を適切に制御することにより、可能とな
る。
Here, as a method of applying the coating liquid on the substrate (application method), a dip coating method, a spin coating method,
There are a bar coating method, a discharge coating method, a spray coating method, an ink jet method and the like, but the present invention is not limited to these. In the case of the dip coating method, the thickness of the organic layer is controlled by appropriately controlling the viscosity of the coating liquid, the pulling speed, and the like. Appropriate control makes it possible.

【0014】また、この発明では、図3に示すように、
任意の第1電極22以外の電極21に第1電極に印加し
た電圧との逆の極性を持つ電圧を印加してもよい。これ
により、第1電極22上に電気的吸引力により、前記有
機材料からなる有機層をさらに効率よく形成することが
可能となる。また、電極に供給する電流値を適切に制御
することにより膜厚を制御することが可能となる。
In the present invention, as shown in FIG.
A voltage having a polarity opposite to the voltage applied to the first electrode may be applied to any electrode 21 other than the first electrode 22. Thus, the organic layer made of the organic material can be more efficiently formed on the first electrode 22 by the electric attraction. In addition, the film thickness can be controlled by appropriately controlling the current value supplied to the electrode.

【0015】また、この発明は、好ましくは有機材料よ
りなる有機層を形成した後、形成した有機層を不溶化も
しくは難溶化する工程を含む。このことにより、この発
明の有機層のパターン化の工程を繰り返した際でも、す
でに第1電極上に形成してある有機層の膜厚の減少、表
面の荒れ、および、塗液への有機層の溶け出しによる塗
液の汚染を防止することが可能となる。
The present invention also includes a step of forming an organic layer, preferably made of an organic material, and then insolubilizing or insolubilizing the formed organic layer. As a result, even when the step of patterning the organic layer of the present invention is repeated, the thickness of the organic layer already formed on the first electrode is reduced, the surface is roughened, and the organic layer is not coated on the coating liquid. It is possible to prevent the coating liquid from being contaminated due to the dissolution of the liquid.

【0016】また、この発明では、塗液を塗布する工程
を、それぞれ赤色、緑色、青色の発光材料もしくは赤
色、緑色、青色の発光材料の前駆体を溶解もしくは分散
した塗液を用いて行うことができる。これにより、赤、
緑、青色発光層のパターン化が可能となり、その結果、
フルカラー表示可能なディスプレイを作製することが可
能となる。また、この発明は、基板上のパターン化され
た電極上に、本発明の方法によりパターン化された有機
層を直接形成してもよいし、基板上のパターン化された
電極上に、第1有機層を公知の方法で形成した後、前記
第1有機層上に本発明の方法によりパターン化された有
機層を形成してもよい。ここで使用される第1有機層
は、電荷を輸送する能力を持った有機層であるため、パ
ターン化された電極上に印加した電圧が、そのまま、第
1有機層上に同一極性の電圧として現れるので、第1有
機層を形成していても本発明の方法により有機層をパタ
ーン化することが可能である。
In the present invention, the step of applying the coating liquid is performed using a coating liquid in which a red, green, or blue light emitting material or a precursor of a red, green, or blue light emitting material is dissolved or dispersed, respectively. Can be. This allows red,
Green and blue light emitting layers can be patterned, and as a result,
A display capable of full-color display can be manufactured. Also, the present invention may directly form an organic layer patterned by the method of the present invention on a patterned electrode on a substrate, or a first layer on a patterned electrode on a substrate. After forming the organic layer by a known method, an organic layer patterned by the method of the present invention may be formed on the first organic layer. Since the first organic layer used here is an organic layer having an ability to transport electric charges, the voltage applied on the patterned electrode remains unchanged on the first organic layer as a voltage of the same polarity. Since it appears, the organic layer can be patterned by the method of the present invention even if the first organic layer is formed.

【0017】また、この発明では、少なくともパターン
化した電極間に隔壁を設けることにより、任意の電極以
外の電極への塗液の付着を完全に防止でき、また、エッ
ジをシャープにすることが可能となり、より細かな有機
層のパターン化が可能となる。また、前記隔壁により第
1電極の少なくとも一部を覆うことにより、第1電極の
エッジ部での電界集中を防止することが可能となる。
Further, in the present invention, by providing a partition between at least the patterned electrodes, it is possible to completely prevent the coating liquid from adhering to electrodes other than an arbitrary electrode and to sharpen the edge. Thus, finer organic layer patterning becomes possible. In addition, by covering at least a part of the first electrode with the partition, it is possible to prevent electric field concentration at the edge of the first electrode.

【0018】また、この発明の方法を用いて浸漬塗布法
により有機層を形成した有機LEDディスプレイにおい
て、駆動回路と接続する方向と浸漬塗布する際の引き上
げ方向が逆方向であることが好ましい。
Further, in the organic LED display having the organic layer formed by the dip coating method using the method of the present invention, it is preferable that the direction of connection with the drive circuit and the pulling direction at the time of dip coating are opposite to each other.

【0019】また、任意の第1電極以外の第1電極にも
電圧を印加して有機層を形成した有機LEDディスプレ
イにおいて、駆動回路を接続する方向と、有機層のパタ
ーン化を行うときに任意の第1電極以外の第1電極に外
部電源を接続した方向とが同一方向であることが好まし
い。これにより、第1電極の電圧降下による輝度ムラを
低減することが可能となる。
In an organic LED display in which an organic layer is formed by applying a voltage to a first electrode other than an arbitrary first electrode, a direction in which a drive circuit is connected and an arbitrary pattern when patterning the organic layer are determined. It is preferable that the direction in which an external power supply is connected to the first electrode other than the first electrode is the same direction. This makes it possible to reduce luminance unevenness due to a voltage drop of the first electrode.

【0020】より具体的に説明すると、第1電極自身に
は抵抗成分があり、パネルを駆動回路に接続した場合、
第1電極自身の抵抗により、つまり、電極の電圧降下に
より駆動回路と接続していない側は、接続している側に
比べて、電圧が低くなる。このため、駆動回路に接続さ
れている側の画素に比べ駆動回路に接続されていない側
の画素では、輝度が低くなり、ディスプレイとしてみる
と、発光ムラとなる。
More specifically, the first electrode itself has a resistance component, and when the panel is connected to a drive circuit,
The voltage of the side not connected to the drive circuit due to the resistance of the first electrode itself, that is, the voltage drop of the electrode, is lower than that of the side connected to the drive circuit. For this reason, the luminance of the pixel that is not connected to the driving circuit is lower than that of the pixel that is connected to the driving circuit, and light emission unevenness occurs as a display.

【0021】また、浸漬塗布法により有機層を形成する
場合、液ダレにより引き上げ方向の上の部分が下の部分
に比べて形成された有機層の膜厚が薄くなる。また、任
意の第1電極以外の第1電極にも任意の第1電極に印加
した電圧の逆極性の電圧を印加して有機層を形成する際
にも、第1電極の電圧降下により外部電源に接続した側
と接続していない側で電位差が生じる。この為、第1電
極に形成される有機層の膜厚が外部電源に接続した側で
は接続していない側より厚くなる。ここで、駆動回路を
接続する方向と、浸漬塗布する引き上げ方向とを逆方向
とすることにより、駆動回路接続側の画素部の有機層の
膜厚は厚く(有機層の抵抗は高く)、駆動回路と接続し
ていない側の有機層の膜厚は薄く(有機層の抵抗は低
く)なり、第1電極の抵抗成分による電圧降下を低減す
る働きをする。
When the organic layer is formed by the dip coating method, the thickness of the organic layer formed in the upper portion in the pulling direction is smaller than that in the lower portion due to liquid dripping. In addition, when an organic layer is formed by applying a voltage having a polarity opposite to the voltage applied to the first electrode to the first electrode other than the first electrode, an external power supply is generated due to the voltage drop of the first electrode. A potential difference is generated between the side connected to and the side not connected. For this reason, the thickness of the organic layer formed on the first electrode is larger on the side connected to the external power supply than on the side not connected. Here, by setting the driving circuit connection direction and the dip coating pull-up direction in opposite directions, the thickness of the organic layer in the pixel portion on the driving circuit connection side is large (the resistance of the organic layer is high), and the driving is performed. The thickness of the organic layer on the side not connected to the circuit is thin (the resistance of the organic layer is low), and serves to reduce the voltage drop due to the resistance component of the first electrode.

【0022】また、駆動回路と接続する方向と、有機材
料のパターン化を行うときに任意の第1電極以外の第1
電極に外部電源を接続した方向とが同一方向とすること
により駆動回路側の画素部の有機層の膜厚は厚く(有機
層の抵抗は高く)、駆動回路と接続していない側の有機
層の膜厚は薄く(有機層の抵抗は低く)なり、第1電極
の抵抗成分による電圧降下を低減する働きをする。この
ためパネルとして、輝度のバラツキが低減される。
The direction of connection with the drive circuit and the first electrode other than the first electrode when patterning the organic material are performed.
By setting the direction in which the external power supply is connected to the electrodes in the same direction, the thickness of the organic layer in the pixel portion on the drive circuit side is large (the resistance of the organic layer is high), and the organic layer on the side not connected to the drive circuit Has a small thickness (the resistance of the organic layer is low), and functions to reduce the voltage drop due to the resistance component of the first electrode. For this reason, variations in luminance are reduced as a panel.

【0023】この発明の作用を図4を用いて説明する
と、まず、有機材料の溶液10の中に対向電極9を設
け、外部電極源8から基板1上の第1電極の任意の第1
電極22に対して負または正の極性を有する電圧を第1
電極22と対向電極9の間に印加する。また、必要に応
じて、前記任意の第1電極22以外の第1電極21に任
意の第1電極22に印加した電圧と逆の極性を持つ電圧
を印加する。
The operation of the present invention will be described with reference to FIG. 4. First, a counter electrode 9 is provided in a solution 10 of an organic material, and an arbitrary first electrode of the first electrode on the substrate 1 is supplied from an external electrode source 8.
A voltage having a negative or positive polarity with respect to the electrode 22 is applied to the first
The voltage is applied between the electrode 22 and the counter electrode 9. In addition, if necessary, a voltage having a polarity opposite to the voltage applied to the arbitrary first electrode 22 is applied to the first electrodes 21 other than the arbitrary first electrode 22.

【0024】そして、図2に示す基板1を図4に示すよ
うに溶液10中に浸漬させる。有機材料自身が電荷を持
っている場合、例えば、有機発光材料自身がイオン性官
能基を持つ場合にはその有機材料を溶解又は分散させた
溶液を使用することにより、もしくは、有機材料自身が
分極している場合、例えば、有機材料自身が誘電性を持
つ場合はその有機材料を溶解又は分散させた溶液を使用
することにより、もしくは、有機材料自身が電荷を持た
ない場合は、有機材料自身とミセル化剤を配合した溶液
を使用することにより、任意の第1電極22上には電気
的反発力が生じ有機材料の付着が防止され、有機材料か
らなる層が形成されない。
Then, the substrate 1 shown in FIG. 2 is immersed in a solution 10 as shown in FIG. When the organic material itself has an electric charge, for example, when the organic light emitting material itself has an ionic functional group, by using a solution in which the organic material is dissolved or dispersed, or when the organic material itself is polarized. If the organic material itself has a dielectric property, for example, by using a solution in which the organic material is dissolved or dispersed, or when the organic material itself has no electric charge, By using the solution containing the micellizing agent, an electric repulsive force is generated on any of the first electrodes 22 to prevent the organic material from adhering, and a layer made of the organic material is not formed.

【0025】しかし、ここで、任意の第1電極22以外
の第1電極上には、有機材料からなる有機層が形成され
る。また、必要に応じて、任意の第1電極22以外の第
1電極21に、任意の第1電極22に印加した電圧の極
性と逆の極性を持つ電圧を印加することで、任意の第1
電極22以外の第1電極22上に電気的吸着力が発生し
有機材料からなる有機層をより効率的に形成させること
が可能となる。これにより、不必要な有機材料からなる
有機層が“洗い流す”等の方法で除去する工程が不要と
なるばかりでなく“洗い流す”工程より先に形成した有
機層が汚染されることもない。
However, here, an organic layer made of an organic material is formed on the first electrodes other than the arbitrary first electrodes 22. Further, if necessary, a voltage having a polarity opposite to the polarity of the voltage applied to the arbitrary first electrode 22 is applied to the first electrodes 21 other than the arbitrary first electrode 22 so that the arbitrary first electrode 22 is applied.
An electric attraction force is generated on the first electrode 22 other than the electrode 22, and an organic layer made of an organic material can be more efficiently formed. This eliminates the need for a step of removing an organic layer made of an unnecessary organic material by a method such as "washing out", and also prevents the organic layer formed prior to the "washing out" step from being contaminated.

【0026】以下、この発明の好適な実施の形態につい
て図面を参照してさらに詳細に説明する。まず、この発
明に係る有機LEDディスプレイを構成する有機LED
素子について説明する。図1に示すように、有機LED
素子は、基板1と、第1電極2、第2電極4と、第1電
極2と第2電極4に挟持された少なくとも1層の有機発
光層を有する有機LED媒体3から構成されている。こ
こで、各画素間には隔壁7が設けられ、基板1の外側に
は偏向板6が設けられ、また、第2電極4上には、封止
膜又は封止基板5が設けられていることが好ましい。
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the drawings. First, an organic LED constituting an organic LED display according to the present invention
The element will be described. As shown in FIG. 1, the organic LED
The device includes an organic LED medium 3 having a substrate 1, a first electrode 2, a second electrode 4, and at least one organic light emitting layer sandwiched between the first electrode 2 and the second electrode 4. Here, a partition 7 is provided between each pixel, a deflecting plate 6 is provided outside the substrate 1, and a sealing film or a sealing substrate 5 is provided on the second electrode 4. Is preferred.

【0027】基板1としては、石英基板、ガラス基板、
プラスチック基板等が使用可能であるがこれらに限定さ
れるものではない。第1電極2と第2電極4としては、
上記有機LEDディスプレイにおいて、基板1及び第1
電極2が透明である場合には、有機LED媒体からの発
光は、基板1側から放出されるので、発光効率を高める
為、第2電極4が反射電極であること、もしくは、第2
電極4上に反射膜を有することが好ましい。逆に、第2
電極4を透明材料で構成して、有機LED媒体3からの
発光を第2電極4側から放出させることもできる。この
場合には、第1電極2が反射電極であること、もしく
は、第1電極2と基板1との間に反射膜を有することが
好ましい。
As the substrate 1, a quartz substrate, a glass substrate,
A plastic substrate or the like can be used, but is not limited thereto. As the first electrode 2 and the second electrode 4,
In the organic LED display, the substrate 1 and the first
When the electrode 2 is transparent, the light emitted from the organic LED medium is emitted from the substrate 1 side, so that the second electrode 4 is a reflective electrode, or
It is preferable to have a reflective film on the electrode 4. Conversely, the second
The electrode 4 may be made of a transparent material, and light emitted from the organic LED medium 3 may be emitted from the second electrode 4 side. In this case, it is preferable that the first electrode 2 is a reflective electrode or that a reflective film is provided between the first electrode 2 and the substrate 1.

【0028】ここで、透明電極としては、CuI、IT
O、SnO2 、ZnO等の透明電極が使用可能で、反射
電極としては、アルミニウム、カルシウム等の金属、マ
グネシウム−銀、リチウム−アルミニウム等の合金、マ
グネシウム/銀等の金属同士の積層膜、フッ化リチウム
/アルミニウム等の絶縁体と金属との積層膜等が使用可
能である。
Here, as the transparent electrode, CuI, IT
Transparent electrodes such as O, SnO 2 , and ZnO can be used, and as the reflective electrode, a metal such as aluminum and calcium, an alloy such as magnesium-silver, lithium-aluminum, a laminated film of metals such as magnesium / silver, and a fluorine film. A laminated film of an insulator such as lithium oxide / aluminum and a metal can be used.

【0029】有機LED媒体3としては、少なくとも1
層の有機発光層を有する構造で、有機発光層の単層構
造、あるいは、電荷輸送層と有機発光層の多層構造であ
っても良い。また、ここで、電荷輸送層、有機発光層は
多層構造であっても良い。
As the organic LED medium 3, at least one
The organic light-emitting layer may have a single-layer structure or a multi-layer structure of a charge transport layer and an organic light-emitting layer. Here, the charge transport layer and the organic light emitting layer may have a multilayer structure.

【0030】また、使用できる有機発光材料としては、
有機LED用、有機光導電体用の公知の低分子材料、オ
リゴマー、高分子材料が使用可能であり、例えば、1,
4−ビス(2,2−ジフェニルビニル)ビフェニル、ト
リス(8−キノリノラト)アルミニウム錯体、(ポリ
(5−メトキシ−(2−プロパノキシスルフォナイド)
−1,4−フェニレンビニレン)、(ポリ[2,5−ビ
ス[2−(N,N,N−トリエチルアンモニュウム)エ
トキシ]−1,4−フェニレン−アルト−1,4−フェ
ニレン)]、ポリパラフェニレンビニレン前駆体、ポリ
パラフェニレンビニレン前駆体等が挙げられるが本発明
は特にこれらに限定されるものではない。
The organic light emitting materials that can be used include:
Known low-molecular materials, oligomers, and high-molecular materials for organic LEDs and organic photoconductors can be used.
4-bis (2,2-diphenylvinyl) biphenyl, tris (8-quinolinolato) aluminum complex, (poly (5-methoxy- (2-propanoxysulfonide)
-1,4-phenylenevinylene), (poly [2,5-bis [2- (N, N, N-triethylammonium) ethoxy] -1,4-phenylene-alto-1,4-phenylene)], poly Examples include a paraphenylene vinylene precursor and a polyparaphenylene vinylene precursor, but the present invention is not particularly limited thereto.

【0031】また、有機発光層は前記有機発光材料のみ
から構成されても良いし、添加剤等を含有しても良い。
ここで、発光層の形成方法としては、発光層はパターン
化を行う為に、少なくとも1層の発光層はウエットプロ
セスで作製する必要があり、塗液を塗布する方法は、従
来の浸漬塗布法、スピンコート法が好ましい。
The organic light-emitting layer may be composed of only the organic light-emitting material, or may contain an additive or the like.
Here, as a method of forming the light emitting layer, at least one light emitting layer needs to be formed by a wet process in order to perform patterning of the light emitting layer. The spin coating method is preferred.

【0032】使用できる電荷輸送材料としては、有機L
ED用、有機光導電体用の公知の低分子材料、オリゴマ
ー、高分子材料が使用可能であり、例えば、N,N−ビ
ス(3−メチルフェニル)−N,N−ビス−(フェニ
ル)ベンジジン、3−(4−ビフェニリル)−4−フェ
ニル−5−t−ブチルフェニル−1,2,4−トリアゾ
ール、ポリビニルカルバゾール、ポリパラフェニレンビ
ニレン前駆体、ポリパラフェニレンビニレン前駆体等が
挙げられるが本発明は特にこれらに限定されるものでは
ない。
As the charge transport material that can be used, organic L
Known low-molecular materials, oligomers, and high-molecular materials for EDs and organic photoconductors can be used. For example, N, N-bis (3-methylphenyl) -N, N-bis- (phenyl) benzidine , 3- (4-biphenylyl) -4-phenyl-5-t-butylphenyl-1,2,4-triazole, polyvinylcarbazole, polyparaphenylenevinylene precursor, polyparaphenylenevinylene precursor and the like. The invention is not particularly limited to these.

【0033】また、電荷輸送層は、前記した電荷輸送材
料のみから構成されてもよいし、添加剤等を含有しても
よい。ここで、電荷輸送層の形成方法としては、スピン
コート法、浸漬塗布法、ドクターブレード法等のウエッ
トプロセス、蒸着法、スパッタ法等のドライプロセスで
も良い。
The charge transport layer may be composed of only the charge transport material described above, or may contain additives and the like. Here, as a method for forming the charge transport layer, a wet process such as a spin coating method, a dip coating method, a doctor blade method, or a dry process such as an evaporation method or a sputtering method may be used.

【0034】隔壁7としては、単層構造であっても良い
し、多層構造であっても良いし、また、隔壁の材質とし
ては、発光材料もしくはその前駆体を溶解もしくは分散
した溶媒に不溶もしくは難溶であることが好ましく、例
えば、従来のレジスト材料、SiO、SiO2 、TiO
等の無機材料、ポリイミド等の有機発光材料が挙げられ
る。ディスプレイとしての表示品位を上げる目的で、ブ
ラックマトリックス用の材料を用いることが好ましい。
The partition wall 7 may have a single-layer structure or a multilayer structure. The partition wall may be made of a material which is insoluble or soluble in a solvent in which a luminescent material or a precursor thereof is dissolved or dispersed. It is preferably hardly soluble, for example, a conventional resist material, SiO, SiO 2 , TiO
And organic light-emitting materials such as polyimide. In order to improve the display quality as a display, it is preferable to use a material for a black matrix.

【0035】偏向板6としては、従来の直線偏向板と1
/4λ板を組み合わせたものであればよい。封止膜又は
封止基板5としては、樹脂、ガラス基板等を使用するこ
とが可能である。また、第2電極4と封止膜又は封止基
板5との間には、不活性気体、不活性液体、吸湿剤、吸
酸素剤等が注入されていてもよい。
As the deflecting plate 6, a conventional linear deflecting plate and one
Any combination of a / 4λ plate may be used. As the sealing film or the sealing substrate 5, a resin, a glass substrate, or the like can be used. In addition, an inert gas, an inert liquid, a moisture absorbent, an oxygen absorbent, or the like may be injected between the second electrode 4 and the sealing film or the sealing substrate 5.

【0036】次に、図5を用いて、有機LEDディスプ
レイの製造工程の1例について説明する。予め基板上の
第1電極を従来のフォトリソグラフィー法等によりスト
ライプ状にパターン化し、また、必要に応じて第1電極
間に隔壁をフォトリソグラフィー法により形成する。
Next, an example of a manufacturing process of an organic LED display will be described with reference to FIG. The first electrode on the substrate is patterned in a stripe shape by a conventional photolithography method or the like, and a partition is formed between the first electrodes by a photolithography method as needed.

【0037】次に、このパターン化した第1電極の3
n、3n+1(n=0,1,2…)番目の電極(図2の
任意の第1電極22に対応する)に対して負又は正の極
性を有する電圧を対向電極9との間に印加する。これを
負又は正のイオン性官能基を持つ有機発光材料を溶解さ
せた溶液10中に浸けると(図5(a))、電気的相互
作用により3n、3n+1(n=0,1,2…)番目の
第1電極上には、電気的反発力により発光材料が付着し
ない。しかし、この基板を引き上げると(図5
(b))、電圧を印加していない第1電極上3n+2番
目の第1電極には、従来の浸漬塗布法と同様の原理によ
り、前記発光材料からなる第1発光層が形成される。
Next, the patterned first electrode 3
A voltage having a negative or positive polarity with respect to the n, 3n + 1 (n = 0, 1, 2,...) -th electrode (corresponding to an arbitrary first electrode 22 in FIG. 2) is applied between the n-th electrode and the counter electrode 9. I do. When this is immersed in a solution 10 in which an organic light emitting material having a negative or positive ionic functional group is dissolved (FIG. 5A), 3n, 3n + 1 (n = 0, 1, 2,...) The light emitting material does not adhere to the first electrode due to electric repulsion. However, when this substrate is lifted (FIG. 5)
(B)) The first light emitting layer made of the light emitting material is formed on the 3n + 2nd first electrode on the first electrode to which no voltage is applied, according to the same principle as the conventional dip coating method.

【0038】次に、3n、3n+2(n=0,1,2
…)番目の電極に対して負又は正の極性を有する電圧を
対向電極9との間に印加し、先ほどと異なる発光色を発
光する負又は正のイオン性官能基を持つ発光材料を溶解
させた溶液10a中に浸けると(図5(c))、電気的
相互作用により3n、3n+2(n=0,1,2…)番
目の第1電極上には電気的反発力により前記発光材料が
付着しない。しかし、この基板を引き上げると(図5
(d))、電圧を印加していない第1電極上3n+1番
目の第1電極には、従来の浸漬塗布法と同様の原理によ
り、前記発光材料からなる第2発光層が形成される。つ
まり、2色発光の発光層のパターニングができることに
なる。
Next, 3n, 3n + 2 (n = 0, 1, 2,
...) A voltage having a negative or positive polarity is applied between the counter electrode 9 and the second electrode to dissolve a luminescent material having a negative or positive ionic functional group that emits a different emission color from the previous electrode. When immersed in the solution 10a (FIG. 5 (c)), the light emitting material is formed on the 3n, 3n + 2 (n = 0, 1, 2,...) First electrode by electric repulsion due to electric interaction. Does not adhere. However, when this substrate is lifted (FIG. 5)
(D)) A second light emitting layer made of the light emitting material is formed on the (3n + 1) th first electrode on the first electrode to which no voltage is applied, according to the same principle as the conventional dip coating method. That is, patterning of the light-emitting layer for two-color light emission can be performed.

【0039】次に、3n+1、3n+2(n=0,1,
2…)番目の電極に対して負又は正の極性を有する電圧
を対向電極9との間に印加し、先ほどと異なる発光色を
発光する負又は正のイオン性官能基を持つ発光材料を溶
解させた溶液10b中に浸けると(図5(e))、電気
的相互作用により3n+1、3n+2(n=0,1,2
…)番目の第1電極上には電気的反発力により前記発光
材料が付着しない。しかし、この基板を引き上げると
(図5(f))、電圧を印加していない第1電極上3n
番目の第1電極には、従来のディップコーティング法と
同様の原理により、前記発光材料からなる第3発光層が
形成される。つまり、3色発光の発光層のパターニング
ができたことになる。ここで第1発光層として赤色発光
層を、第2発光層として緑色発光層を、第3発光層とし
て青色発光層を形成するとフルカラーディスプレイが作
製できる。
Next, 3n + 1, 3n + 2 (n = 0, 1,
(2 ...) A voltage having a negative or positive polarity is applied between the counter electrode 9 and the second electrode to dissolve a luminescent material having a negative or positive ionic functional group that emits a different emission color from the previous electrode. When immersed in the solution 10b (FIG. 5 (e)), 3n + 1, 3n + 2 (n = 0, 1, 2) due to electrical interaction.
The light emitting material does not adhere to the first electrode due to electric repulsion. However, when this substrate is lifted (FIG. 5 (f)), 3n on the first electrode to which no voltage is applied is obtained.
A third light emitting layer made of the light emitting material is formed on the first first electrode according to the same principle as the conventional dip coating method. In other words, the patterning of the light-emitting layer for three-color light emission is completed. Here, a full color display can be manufactured by forming a red light emitting layer as the first light emitting layer, a green light emitting layer as the second light emitting layer, and a blue light emitting layer as the third light emitting layer.

【0040】ここで、第1発光層の形成工程(図5
(b))と第2発光層の形成工程(図5(c))の間
に、第1発光層の不溶化処理工程を、第2発光層の形成
工程(図5(a))と第3発光層の形成工程(図5
(e))の間に、第2発光層の不溶化処理工程を設ける
ことが望ましい。具体的には、π共役系高分子の前駆体
を発光材料として用いた場合は、適切な加熱処理を行え
ば、溶剤に対して不溶になる。
Here, the step of forming the first light emitting layer (FIG. 5)
(B)) and the step of forming the second light emitting layer (FIG. 5 (c)), the step of insolubilizing the first light emitting layer includes the step of forming the second light emitting layer (FIG. 5 (a)) and the step of forming the third light emitting layer. Step of forming light emitting layer (FIG. 5)
It is desirable to provide a step of insolubilizing the second light emitting layer during (e)). Specifically, when a precursor of a π-conjugated polymer is used as a light-emitting material, it becomes insoluble in a solvent if an appropriate heat treatment is performed.

【0041】また、ここで、パターン化した電極上に予
め単層もしくは多層からなる電荷輸送層を形成しておい
てもよいし、発光層をパターン化した後で発光層上に単
層もしくは多層からなる電荷輸送層を形成していても良
い。また、その両方を行っても良い。なお、この電荷輸
送層は、ドライプロセス(真空蒸着法、スパッタ法
等)、もしくは、ウエットプロセス(スピンコート法、
電着法等)で形成することができる。
Here, a charge transport layer composed of a single layer or a multilayer may be previously formed on the patterned electrode, or a single layer or a multilayer may be formed on the light emitting layer after the pattern of the light emitting layer. May be formed. In addition, both may be performed. The charge transport layer is formed by a dry process (a vacuum deposition method, a sputtering method, etc.) or a wet process (a spin coating method,
(Electrodeposition method or the like).

【0042】また、有機LED素子の最終の形態として
は、パターン化した発光層よりなる単層型有機LED素
子であっても良いし、パターン化した発光層と単層また
は多層の電荷輸送層からなる多層型有機LED素子であ
っても良い。ここで用いることができる電荷輸送層、発
光層としては、従来の有機光導電体材料、有機EL用の
材料などが使用できる。
The final form of the organic LED element may be a single-layer type organic LED element comprising a patterned light emitting layer, or a combination of a patterned light emitting layer and a single or multilayer charge transport layer. A multilayer organic LED element may be used. As the charge transport layer and the light emitting layer that can be used here, a conventional organic photoconductor material, a material for organic EL, and the like can be used.

【0043】そして、最後に第2電極4他(図1)を形
成する。この第2電極4は、ドライプロセス(真空蒸着
法、スパッタ法等)、もしくは、ウエットプロセス(ス
ピンコート法、電着法等)で形成することができる。
Finally, the second electrode 4 and others (FIG. 1) are formed. The second electrode 4 can be formed by a dry process (a vacuum deposition method, a sputtering method, or the like) or a wet process (a spin coating method, an electrodeposition method, or the like).

【0044】[0044]

【実施例】次に実施例によりこの発明を具体的に説明す
る。
Next, the present invention will be described in detail with reference to examples.

【0045】実施例1 膜厚130nmのITO膜を一様に積層したガラス基板
を用いて、フォトリソグラフィ法により、第1電極とし
て幅100μm、ピッチ120μmの3本の平行なIT
O透明ストライプ電極をガラス基板上に作製する。
Example 1 Three parallel ITs having a width of 100 μm and a pitch of 120 μm were formed as first electrodes by a photolithography method using a glass substrate on which an ITO film having a thickness of 130 nm was uniformly laminated.
An O transparent stripe electrode is formed on a glass substrate.

【0046】次に、下記構造式1で示されるポリフェニ
レンビニレン(以下、PPVと略す)前駆体をメチルア
ルコールと水の混合溶媒(メチルアルコール:水=9
5:5)に0.5wt%溶かし、電解質溶液とする。
Next, a polyphenylenevinylene (hereinafter abbreviated as PPV) precursor represented by the following structural formula 1 is mixed with a mixed solvent of methyl alcohol and water (methyl alcohol: water = 9).
5: 5) to give an electrolyte solution.

【0047】次に、上述したようにして作製した3本の
ストライプ状の第1電極の両側の2本と、対向電極とし
て用いた白金網電極との間に、第1電極側を正極として
10Vの直流電圧を印加し、そのまま、前記溶液に漬け
る。最後に、10mm/secの速度で、この基板を引
き上げ後、Ar雰囲気下で、150℃、4時間加熱する
ことでPPV前駆体をPPVに変換し、緑色発光層を形
成する。
Next, a voltage of 10 V was applied between the two electrodes on both sides of the three striped first electrodes produced as described above and the platinum mesh electrode used as the counter electrode, with the first electrode side as the positive electrode. And then immersed in the solution as it is. Finally, the substrate is lifted at a speed of 10 mm / sec, and then heated at 150 ° C. for 4 hours in an Ar atmosphere to convert the PPV precursor into PPV, thereby forming a green light emitting layer.

【0048】[0048]

【化1】 Embedded image

【0049】この様にして作製した基板を、He−Ne
レーザーを励起光源とし、発光層からの蛍光を測定する
ことにより、基板上での発光層の有無を確認したとこ
ろ、電圧を印加していない中央の第1電極上からは、P
PVに起因する550nmにピークを持つ蛍光が観測さ
れた。しかし、正の極性の電圧を印加した第1電極上か
らは、全く蛍光は観測されなかった。
The substrate manufactured in this manner is made of He—Ne
The presence or absence of the light emitting layer on the substrate was confirmed by measuring the fluorescence from the light emitting layer using a laser as an excitation light source. From the central first electrode where no voltage was applied, P
Fluorescence having a peak at 550 nm due to PV was observed. However, no fluorescence was observed from the first electrode to which the positive polarity voltage was applied.

【0050】実施例2 3本の第1電極の中央の電極と、対向電極として用いた
白金網電極との間に第1電極側を負極として0.5Vの
直流電圧を印加し、両側の第1電極と対向電極との間に
第1電極側を正極として10Vの電圧を印加し、そのま
ま、2分間前記溶液に漬ける。その他は実施例1と同様
とする。
Example 2 A DC voltage of 0.5 V was applied between the center electrode of the three first electrodes and the platinum mesh electrode used as the counter electrode, with the first electrode side as the negative electrode. A voltage of 10 V is applied between the first electrode and the counter electrode with the first electrode side as a positive electrode, and immersed in the solution for 2 minutes. Others are the same as in the first embodiment.

【0051】作製した基板を、実施例1と同様に、He
−Neレーザーを励起光源とし、発光層からの蛍光を測
定することにより、基板上での発光層の有無を確認した
ところ、−0.5V電圧を印加した中央の第1電極上か
らは、PPVに起因する550nmにピークを持つ蛍光
が観測された。しかし、正の極性の電圧を印加した両側
の第1電極上からは、全く蛍光は観測されなかった。
The manufactured substrate was replaced with He in the same manner as in Example 1.
When the presence or absence of the light emitting layer on the substrate was confirmed by measuring the fluorescence from the light emitting layer using the -Ne laser as an excitation light source, the PPV was applied from the central first electrode to which a voltage of -0.5 V was applied. Fluorescence having a peak at 550 nm was observed. However, no fluorescence was observed from the first electrodes on both sides to which the positive polarity voltage was applied.

【0052】実施例3 膜厚130nmのITO膜を一様に積層したガラス基板
を用いて、フォトリソグラフィ法により、第1電極とし
て幅100μm、ピッチ120μmの3本の平行なIT
O透明ストライプ電極をガラス基板上に作製する。次
に、PPV前駆体をメチルアルコールと水の混合溶媒
(メチルアルコール:水:95:5)に1.0wt%溶
かし、電解質溶液とする。
Example 3 Using a glass substrate on which an ITO film having a thickness of 130 nm was uniformly laminated, three parallel ITs having a width of 100 μm and a pitch of 120 μm were formed as first electrodes by photolithography.
An O transparent stripe electrode is formed on a glass substrate. Next, the PPV precursor is dissolved in a mixed solvent of methyl alcohol and water (methyl alcohol: water: 95: 5) in an amount of 1.0 wt% to prepare an electrolyte solution.

【0053】次に、上述した様にして作製した3本の第
1電極の両側2本と中央の1本との間に両側の第1電極
が正極性になるように10Vの直流電圧を印加し、スピ
ンコーターに固定する。前記基板上に、前記溶液を垂ら
し、2000prmで90秒間回転する。最後に、この
電圧を印加したまま、Ar雰囲気下で、150℃、4時
間加熱することでPPV前駆体をPPVに変換し、緑色
発光層を形成する。
Next, a DC voltage of 10 V is applied between the two first electrodes on both sides of the three first electrodes manufactured as described above and the center electrode so that the first electrodes on both sides are positive. And fix it to the spin coater. The solution is dripped on the substrate and rotated at 2000 prm for 90 seconds. Finally, the PPV precursor is converted into PPV by heating at 150 ° C. for 4 hours in an Ar atmosphere while applying this voltage, thereby forming a green light emitting layer.

【0054】この様にして作製した基板を、He−Ne
レーザーを励起光源とし、発光層からの蛍光を測定する
ことで、基板上での発光層の有無を確認したところ、中
央の第1電極上からは、PPVに起因する550nmに
ピークを持つ蛍光が観測された。しかし、正の極性の電
圧を印加した両側の第1電極上からは、全く蛍光は観測
されなかった。
The substrate manufactured in this manner is made of He-Ne.
The presence or absence of a light emitting layer on the substrate was confirmed by measuring the fluorescence from the light emitting layer using a laser as the excitation light source. From the center first electrode, the fluorescent light having a peak at 550 nm due to PPV was found from the central first electrode. Observed. However, no fluorescence was observed from the first electrodes on both sides to which the positive polarity voltage was applied.

【0055】比較例1 両側の第1電極に電圧を印加しないこと以外は、実施例
2と同様である。この様にして作製した基板を、He−
Neレーザーを励起光源とし、発光層からの蛍光を測定
することで、基板上での発光層の有無を確認したとこ
ろ、負の極性の電圧を印加した第1電極上のみならず、
電圧を印加していない第1電極上からも、PPVに起因
する550nmにピークをもつ蛍光が観測された。
Comparative Example 1 The same as Example 2 except that no voltage was applied to the first electrodes on both sides. The substrate fabricated in this manner is
By using a Ne laser as an excitation light source and measuring the fluorescence from the light emitting layer to confirm the presence or absence of the light emitting layer on the substrate, not only on the first electrode to which a negative polarity voltage was applied,
Fluorescence having a peak at 550 nm due to PPV was also observed on the first electrode to which no voltage was applied.

【0056】比較例2 第1電極のいずれにも電圧を印加しないこと以外は、実
施例3と同様である。この様にして作製した基板を、H
e−Neレーザーを励起光源とし、発光層からの蛍光を
測定することで、基板上での発光層の有無を確認したと
ころ、いずれの第1電極上からも、PPVに起因する5
50nmにピークを持つ蛍光が観測された。
Comparative Example 2 The same as Example 3 except that no voltage was applied to any of the first electrodes. The substrate fabricated in this manner is
The presence or absence of the light emitting layer on the substrate was confirmed by measuring the fluorescence from the light emitting layer using an e-Ne laser as an excitation light source.
Fluorescence having a peak at 50 nm was observed.

【0057】実施例4 膜厚160nmのITO膜を一様に積層したガラス基板
を用いて、フォトリソグラフィ法により、第1電極とし
て幅100μm、ピッチ120μmの480本の平行な
ITO透明ストライプ電極をガラス基板上に作製する。
Example 4 Using a glass substrate on which an ITO film having a thickness of 160 nm was uniformly laminated, 480 parallel ITO transparent stripe electrodes having a width of 100 μm and a pitch of 120 μm were formed as a first electrode by photolithography. Fabricated on a substrate.

【0058】前記基板上に樹脂ブラックレジストを用い
スピンコート法により、厚さ5μmの厚みになるように
形成する。次に露光装置により、幅30μm、ピッチ1
20μmの電極間(電極と5μmだけオーバーラップす
る)の部分を硬化する。次に、これをエッチングするこ
とにより隔壁を作製する。
A resin black resist is formed on the substrate by a spin coating method so as to have a thickness of 5 μm. Next, using an exposure apparatus, a width of 30 μm and a pitch of 1
The part between the 20 μm electrodes (which overlaps the electrodes by 5 μm) is cured. Next, this is etched to form a partition.

【0059】次に、PPV前駆体をメチルアルコールと
水の混合溶媒(メチルアルコール:水=95:5)に
0.5wt%溶かし、緑色電解質溶液とする。次に、上
記基板のストライプ電極の(3n+1)及び(3n+
2)番目と対向電極としての白金網電極との間に、スト
ライプ電極側を正極として10Vの電圧を印加したま
ま、基板を60秒間、前記溶液に漬ける。最後に、10
mm/secの速度でこの基板を引き上げた後、Ar雰
囲気下で、150℃、4時間加熱することでPPV前駆
体をPPVに変換し、60nmの膜厚を有する緑色発光
層を形成する。
Next, the PPV precursor is dissolved in a mixed solvent of methyl alcohol and water (methyl alcohol: water = 95: 5) in an amount of 0.5 wt% to obtain a green electrolyte solution. Next, the stripe electrodes (3n + 1) and (3n +)
2) The substrate is immersed in the solution for 60 seconds while applying a voltage of 10 V with the stripe electrode side as the positive electrode between the second and the platinum mesh electrode as the counter electrode. Finally, 10
After pulling up the substrate at a speed of mm / sec, the substrate is heated at 150 ° C. for 4 hours in an Ar atmosphere to convert the PPV precursor into PPV, thereby forming a green light emitting layer having a thickness of 60 nm.

【0060】次に、下記構造式2で示すシアノポリフェ
ニレンビニレン(以下、CN−PPVと略す。)前駆体
をメチルアルコールと水の混合溶媒(メチルアルコー
ル:水=95:5)に0.5wt%溶かし、赤色電解質
溶液とする。そして、すでに緑色発光層を形成している
基板のストライプ電極の3n及び(3n+2)番目と対
向電極との間にトライプ電極側を正極として10Vの電
圧を印加したまま、基板を50秒間、前記溶液に漬け
る。最後に、10mm/secの速度で、この基板を引
き上げた後、Ar雰囲気下で、150℃、4時間加熱す
ることでCN−PPV前駆体をCN−PPVに変換し、
60nmの膜厚を有する赤色発光層を形成する。
Next, a cyanopolyphenylenevinylene (hereinafter abbreviated as CN-PPV) precursor represented by the following structural formula 2 was added to a mixed solvent of methyl alcohol and water (methyl alcohol: water = 95: 5) in an amount of 0.5 wt%. Dissolve to form a red electrolyte solution. Then, while applying a voltage of 10 V with the trip electrode side as a positive electrode between the 3n-th and (3n + 2) -th stripe electrodes of the substrate on which the green light emitting layer is already formed, and applying a voltage of 10 V, the substrate is exposed to the solution for 50 seconds. Soak in Finally, after pulling up the substrate at a speed of 10 mm / sec, the CN-PPV precursor is converted into CN-PPV by heating at 150 ° C. for 4 hours under an Ar atmosphere.
A red light emitting layer having a thickness of 60 nm is formed.

【0061】[0061]

【化2】 Embedded image

【0062】次に、下記構造式3で示すポリパラフェニ
レン(以下、PPPと略す。)を水に0.5wt%溶か
し、青色電解質溶液とする。次に、すでに緑色発光層と
赤色発光層を形成している基板のストライプ電極の3n
及び(3n+1)番目と対向電極との間にストライプ電
極側を正極として10Vの電圧を印加したまま、基板を
30秒間、前記溶液に漬ける。最後に、10mm/se
cの速度で、この基板を引き上げた後、前記と同様に加
熱して60nmの膜厚を有する青色発光層を形成する。
Next, 0.5 wt% of polyparaphenylene (hereinafter abbreviated as PPP) represented by the following structural formula 3 is dissolved in water to obtain a blue electrolyte solution. Next, 3n of the stripe electrode of the substrate on which the green light emitting layer and the red light emitting layer are already formed.
The substrate is immersed in the solution for 30 seconds while a voltage of 10 V is applied between the (3n + 1) -th and the counter electrode with the stripe electrode side as a positive electrode. Finally, 10mm / se
After the substrate is pulled up at a speed of c, the substrate is heated in the same manner as described above to form a blue light emitting layer having a thickness of 60 nm.

【0063】[0063]

【化3】 Embedded image

【0064】次に、上記のように青色、緑色、赤色発光
層を形成した基板を、真空抵抗加熱装置を用いて、電子
輸送層として、下記構造式4で示すアルミニウム錯体
(以下、Alq3 と略す。)を50nm真空蒸着する。
Next, the substrate on which the blue, green, and red light-emitting layers were formed as described above was used as an electron transport layer by using a vacuum resistance heating device to form an aluminum complex represented by the following structural formula 4 (hereinafter, Alq 3 and Alq 3 ). Is abbreviated to 50 nm.

【0065】[0065]

【化4】 Embedded image

【0066】最後に、第2電極として、厚さ0.2μ
m、幅300μm、ピッチ320μmの120本のスト
ライプ状のAlLi合金電極をシャドウマスクを用いた
蒸着法により形成する。
Finally, a second electrode having a thickness of 0.2 μm
120 stripe-shaped AlLi alloy electrodes having a length of m, a width of 300 μm, and a pitch of 320 μm are formed by an evaporation method using a shadow mask.

【0067】以上のようにして作製した有機LEDディ
スプレイは、第1電極と第2電極間、第1電極間及び第
2電極間でのショートは発生せず、外部駆動回路を、前
記発光層を形成したときに溶液から引き上げた引き上げ
方向とは、逆の第1電極端と第2電極端につなぎ、発光
特性を評価したところ、各画素からそれぞれ、赤色、緑
色、青色の発光が観測された。
In the organic LED display manufactured as described above, no short circuit occurs between the first electrode and the second electrode, and between the first electrode and the second electrode. When connected to the first electrode end and the second electrode end, which were opposite to the direction of pulling up from the solution when formed, and the light emission characteristics were evaluated, red, green, and blue light emission was observed from each pixel, respectively. .

【0068】実施例5 PPV前駆体をメチルアルコールと純水の混合溶媒(メ
チルアルコール:純水=95:5)に0.05wt%溶
かして緑色電解質溶液とする。前述のように製作した基
板上のストライプ電極の3n番目と対向電極との間にス
トライプ電極側を負極として0.5Vの電圧を印加し、
(3n+1)及び(3n+2)番目と対向電極との間に
ストライプ電極側を正極として10Vの電圧を印加した
まま、60秒間、前記溶液に漬ける。最後に、この基板
を引き上げた後、Ar雰囲気下で、150℃、4時間加
熱することでPPV前駆体をPPVに変換し、60nm
の膜厚を有する緑色発光層を形成する。
Example 5 A green electrolyte solution was prepared by dissolving 0.05% by weight of a PPV precursor in a mixed solvent of methyl alcohol and pure water (methyl alcohol: pure water = 95: 5). A voltage of 0.5 V is applied between the 3nth stripe electrode on the substrate manufactured as described above and the counter electrode, with the stripe electrode side as a negative electrode,
Immerse in the solution for 60 seconds while applying a voltage of 10 V with the stripe electrode side as a positive electrode between the (3n + 1) th and (3n + 2) th and the counter electrode. Finally, after lifting the substrate, the substrate is heated at 150 ° C. for 4 hours in an Ar atmosphere to convert the PPV precursor into PPV, and to convert the PPV precursor to 60 nm.
A green light-emitting layer having a thickness of 5 nm is formed.

【0069】次に、CN−PPV前駆体をメチルアルコ
ールと純水の混合溶媒(メチルアルコール:純水=9
5:5)に0.05wt%溶かし、赤色電解質溶液とす
る。基板上のストライプ電極の(3n+1)番目と対向
電極との間にストライプ電極側を負極として0.5Vの
電圧を印加し、3n及び(3n+2)番目と対向電極と
の間にストライプ電極側を正極として10Vの電圧を印
加したまま、50秒間、前記溶液に漬ける。最後に、こ
の基板を引き上げた後、Ar雰囲気下で、150℃、4
時間加熱することでCN−PPV前駆体をCN−PPV
に変換し、60nmの膜厚を有する赤色発光層を形成す
る。
Next, the CN-PPV precursor was mixed with a mixed solvent of methyl alcohol and pure water (methyl alcohol: pure water = 9).
5: 5) to give a red electrolyte solution. A voltage of 0.5 V is applied between the (3n + 1) th stripe electrode and the counter electrode on the substrate, with the stripe electrode side as a negative electrode, and the stripe electrode side between the 3n and (3n + 2) th counter electrodes and a positive electrode. Immersed in the solution for 50 seconds while applying a voltage of 10V. Finally, after lifting the substrate, the substrate is heated at 150 ° C. and 4 ° C. in an Ar atmosphere.
Heating the CN-PPV precursor for CN-PPV
To form a red light emitting layer having a thickness of 60 nm.

【0070】次に、PPPを水に0.05wt%溶か
し、青色電解質溶液とする。基板のストライプ状電極の
(3n+2)番目と対向電極との間にストライプ電極側
を負極として0.5Vの電圧を印加し、3n及び(3n
+1)番目と対向電極との間にストライプ電極側を正極
として10Vの電圧を印加したまま、30秒間、前記溶
液に漬ける。最後に、この基板を引き上げた60nmの
膜厚を有する青色発光層を形成する。その他は、実施例
4と同様にして有機LEDディスプレイを作製する。
Next, 0.05 wt% of PPP is dissolved in water to obtain a blue electrolyte solution. A voltage of 0.5 V is applied between the (3n + 2) th of the stripe electrodes on the substrate and the counter electrode, with the stripe electrode side as the negative electrode, and 3n and (3n
Immersion in the solution for 30 seconds while applying a voltage of 10 V with the stripe electrode side as a positive electrode between the +1) th and the counter electrode. Finally, a blue light emitting layer having a thickness of 60 nm is formed by lifting the substrate. Otherwise, an organic LED display is manufactured in the same manner as in Example 4.

【0071】以上のようにして作製した有機LEDディ
スプレイは、第1電極と第2電極間、第1電極間及び第
2電極間でのショートは発生せず、外部駆動回路を、前
記発光層を形成したときに印加した負極の電圧と逆の方
向の第1電極端と第2電極端につなぎ、発光特性を評価
したところ、各画素からそれぞれ、赤色、緑色、青色の
発光が観測された。
In the organic LED display manufactured as described above, no short circuit occurs between the first electrode and the second electrode, and between the first electrode and the second electrode. When the light-emitting device was connected to the first electrode end and the second electrode end in the opposite direction to the negative electrode voltage applied during the formation, and the light-emitting characteristics were evaluated, red, green, and blue light were emitted from each pixel.

【0072】実施例6 膜厚160nmのITO膜を一様に積層したガラス基板
を、フォトリソグラフィ法により、第1電極として幅1
00μm、ピッチ120μmの480本の平行なITO
透明ストライプ電極をガラス基板上に作製する。前記基
板上に樹脂ブラックレジストを用いスピンコート法によ
り、厚さ5μmの厚みになるように形成する。次に露光
装置により、幅30μm、ピッチ120μmの電極間
(電極と5μmだけオーバーラップする)の部分を硬化
する。次に、これをエッチングすることにより隔壁を作
製する。
Example 6 A glass substrate on which an ITO film having a thickness of 160 nm was uniformly laminated was formed by photolithography as a first electrode with a width of 1 mm.
480 parallel ITOs with 00 μm and pitch 120 μm
A transparent stripe electrode is formed on a glass substrate. A film having a thickness of 5 μm is formed on the substrate by spin coating using a resin black resist. Next, a portion between the electrodes having a width of 30 μm and a pitch of 120 μm (overlapping the electrodes by 5 μm) is cured by an exposure device. Next, this is etched to form a partition.

【0073】次に、PPV前駆体をメチルアルコールと
水の混合溶媒(メチルアルコール:水=95:5)に
0.5wt%溶かし、緑色電解質溶液とする。次に、上
記基板においてストライプ電極の(3n+1)及び(3
n+2)番目を正極、他のストライプ電極を負極として
両者間に10Vの電圧を印加する。そのまま、基板をス
ピンコーターに固定し、前記緑色電解質溶液を基板に滴
下し、2000rpmで90秒間回転する。その後、A
r雰囲気下で、150℃、4時間加熱することでPPV
前駆体をPPVに変換し、60nmの膜厚を有する緑色
発光層を形成する。
Next, the PPV precursor is dissolved in a mixed solvent of methyl alcohol and water (methyl alcohol: water = 95: 5) in an amount of 0.5 wt% to obtain a green electrolyte solution. Next, (3n + 1) and (3n)
A voltage of 10 V is applied between the (n + 2) -th positive electrode and the other stripe electrodes as negative electrodes. The substrate is fixed on a spin coater as it is, the green electrolyte solution is dropped on the substrate, and the substrate is rotated at 2000 rpm for 90 seconds. Then A
heating at 150 ° C. for 4 hours in an atmosphere of r
The precursor is converted to PPV to form a green light emitting layer having a thickness of 60 nm.

【0074】次に、構造式2で示すシアノポリフェニレ
ンビニレン(以下、CN−PPVと略す。)前駆体をメ
チルアルコールと水の混合溶媒(メチルアルコール:水
=95:5)に0.5wt%溶かし、赤色電解質溶液と
する。次に、すでに緑色発光層を形成している基板にお
いてストライプ状電極の3n及び(3n+2)番目を正
極、他のストライプ電極を負極として両者間に10Vの
電圧を印加する。そのまま、基板をスピンコーターに固
定し、前記赤色電解質溶液を基板に滴下し、2000r
pmで90秒間回転する。その後、Ar雰囲気下で、1
50℃、4時間加熱することでCN−PPV前駆体をC
N−PPVに変換し、60nmの膜厚の赤色発光層を形
成する。
Next, a cyanopolyphenylenevinylene (hereinafter abbreviated as CN-PPV) precursor represented by the structural formula 2 is dissolved in a mixed solvent of methyl alcohol and water (methyl alcohol: water = 95: 5) in an amount of 0.5 wt%. , A red electrolyte solution. Next, a voltage of 10 V is applied between the 3n-th and (3n + 2) -th stripe electrodes of the substrate on which the green light-emitting layer has already been formed, with the other stripe electrodes as the negative electrodes. As it is, the substrate is fixed on a spin coater, and the red electrolyte solution is dropped on the substrate,
Spin at pm for 90 seconds. Then, under Ar atmosphere, 1
By heating at 50 ° C for 4 hours, the CN-PPV precursor is converted to C
After conversion to N-PPV, a red light emitting layer having a thickness of 60 nm is formed.

【0075】次に、構造式3で示すポリパラフェニレン
を水に0.5wt%溶かし、青色電解質溶液とする。次
に、すでに緑色発光層と赤色発光層を形成している基板
においてストライプ状電極の3n及び(3n+1)番目
を正極、他のストライプ電極を負極として両者間に10
Vの電圧を印加する。そのまま、基板をスピンコーター
に固定し、前記青色電解質溶液を基板に滴下し、200
0rpmで90秒間回転する。その後、上記のように加
熱して60nmの膜厚の青色発光層を60nm形成す
る。
Next, 0.5% by weight of polyparaphenylene represented by the structural formula 3 is dissolved in water to obtain a blue electrolyte solution. Next, on the substrate on which the green light emitting layer and the red light emitting layer are already formed, the 3n and (3n + 1) th stripe electrodes are used as a positive electrode, and the other stripe electrodes are used as a negative electrode.
A voltage of V is applied. As it is, the substrate was fixed on a spin coater, and the blue electrolyte solution was dropped on the substrate,
Spin at 0 rpm for 90 seconds. Thereafter, heating is performed as described above to form a 60 nm-thick blue light emitting layer having a thickness of 60 nm.

【0076】次に、以下の様な方法で、すでに青色、緑
色、赤色発光層を形成してある基板を、真空抵抗加熱装
置を用いて、電子輸送層として、前記構造式4で示すア
ルミニウム錯体を50nm真空蒸着する。
Next, the substrate on which the blue, green, and red light emitting layers have been formed is converted into an electron transport layer by using the aluminum complex represented by the structural formula 4 by using a vacuum resistance heating device in the following manner. Is vacuum deposited by 50 nm.

【0077】最後に、第2電極として、厚さ0.2μ
m、幅300μm、ピッチ320μmの120本のスト
ライプ状のAlLi合金電極をシャドウマスクを用いた
蒸着法により形成する。
Finally, a second electrode having a thickness of 0.2 μm
120 stripe-shaped AlLi alloy electrodes having a length of m, a width of 300 μm, and a pitch of 320 μm are formed by an evaporation method using a shadow mask.

【0078】以上のようにして作製した有機LEDディ
スプレイは、第1電極と第2電極間、第1電極間及び第
2電極間でのショートは発生せず、外部駆動回路を、前
記発光層を形成したときに印加した負極の電圧と逆の方
向の第1電極端と第2電極端につなぎ、発光特性を評価
したところ、各画素からそれぞれ、赤色、緑色、青色の
発光が観測された。
In the organic LED display manufactured as described above, no short circuit occurs between the first electrode and the second electrode, and between the first electrode and the second electrode. When the light-emitting device was connected to the first electrode end and the second electrode end in the opposite direction to the negative electrode voltage applied during the formation, and the light-emitting characteristics were evaluated, red, green, and blue light were emitted from each pixel.

【0079】[0079]

【発明の効果】本発明によると、パターン化した複数の
電極に有機材料を塗布する場合に、任意の電極に電圧を
印加することにより、その任意の電極には有機層が付着
しないので、複数の電極に異なる発光色の有機材料を塗
布する処理が簡単になり、フルカラー有機LEDディス
プレイの製造が容易になる。
According to the present invention, when an organic material is applied to a plurality of patterned electrodes, by applying a voltage to an arbitrary electrode, the organic layer does not adhere to the arbitrary electrode. The process of applying organic materials having different emission colors to the electrodes is simplified, and the manufacture of a full-color organic LED display is facilitated.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明による有機LEDディスプレイを構成す
る素子の概略部分断面図である。
FIG. 1 is a schematic partial sectional view of an element constituting an organic LED display according to the present invention.

【図2】本発明による電極への電圧の印加方法を示す概
略斜視図である。
FIG. 2 is a schematic perspective view showing a method of applying a voltage to an electrode according to the present invention.

【図3】本発明による電極への電圧の印加方法を示す概
略斜視図である。
FIG. 3 is a schematic perspective view showing a method of applying a voltage to an electrode according to the present invention.

【図4】本発明による電極への電圧の印加方法を示す説
明図である。
FIG. 4 is an explanatory diagram showing a method of applying a voltage to an electrode according to the present invention.

【図5】本発明による有機LEDディスプレイの製造工
程を示す説明図である。
FIG. 5 is an explanatory view showing a manufacturing process of the organic LED display according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板 2 第1電極 3 有機LED媒体 4 第2電極 5 封止層 6 偏向板 7 隔壁 8 外部電源 9 対向電極 10 溶液 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 2 1st electrode 3 Organic LED medium 4 2nd electrode 5 Sealing layer 6 Deflection plate 7 Partition 8 External power supply 9 Counter electrode 10 Solution

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板上にパターン化された複数の電極上
に、少なくとも有機材料を含む塗液を塗布して有機層を
形成する際に、前記有機材料からなる有機層を形成しな
い画素に対応した電極には直流電圧を印加して前記塗液
の付着を防止することを特徴とするLEDディスプレイ
の有機層の形成方法。
When a coating liquid containing at least an organic material is applied on a plurality of electrodes patterned on a substrate to form an organic layer, the organic layer is formed of an organic material. A method of forming an organic layer of an LED display, wherein a DC voltage is applied to the electrode to prevent the coating liquid from adhering.
【請求項2】 前記有機材料からなる有機層を形成させ
る画素に対応した電極には、その一端を介して前記直流
電圧と異なる極性の第2直流電圧を印加することを特徴
とする請求項1記載の有機LEDディスプレイの有機層
の形成方法。
2. The method according to claim 1, wherein a second DC voltage having a polarity different from the DC voltage is applied to an electrode corresponding to a pixel on which an organic layer made of the organic material is formed, via one end thereof. The method for forming an organic layer of the organic LED display according to the above.
【請求項3】 形成された有機層を不溶化又は難溶化す
る工程をさらに備えた請求項1又は2記載の有機LED
ディスプレイの有機層の形成方法。
3. The organic LED according to claim 1, further comprising a step of insolubilizing or hardly solubilizing the formed organic layer.
A method for forming an organic layer of a display.
【請求項4】 塗液が、赤色、緑色および青色の発光材
料又はそれらの前駆体を溶解もしくは分散した塗液であ
る請求項1〜3のいずれか1つに記載の有機LEDディ
スプレイの有機層の形成方法。
4. The organic layer of an organic LED display according to claim 1, wherein the coating liquid is a coating liquid in which red, green and blue luminescent materials or precursors thereof are dissolved or dispersed. Formation method.
【請求項5】 塗液を塗布する工程が、浸漬塗布法によ
り行われる請求項1〜4のいずれか1つに記載の有機L
EDディスプレイの有機層の形成方法。
5. The organic liquid according to claim 1, wherein the step of applying the coating liquid is performed by a dip coating method.
A method for forming an organic layer of an ED display.
【請求項6】 塗液を塗布する工程が、スピンコート法
により行われる請求項1〜4のいずれか1つに記載の有
機LEDディスプレイの有機層の形成方法。
6. The method for forming an organic layer of an organic LED display according to claim 1, wherein the step of applying a coating liquid is performed by a spin coating method.
【請求項7】 隣接する電極間に隔壁を形成する工程を
さらに備える請求項1〜6のいずれか1つに記載の有機
LEDディスプレイの有機層の形成方法。
7. The method for forming an organic layer of an organic LED display according to claim 1, further comprising a step of forming a partition wall between adjacent electrodes.
【請求項8】 電極の少なくとも一部が隔壁により覆わ
れることを特徴とする請求項7記載の有機LEDディス
プレイの有機層の形成方法。
8. The method for forming an organic layer of an organic LED display according to claim 7, wherein at least a part of the electrode is covered with a partition.
【請求項9】 請求項5の方法により形成される有機層
を用いた有機LEDディスプレイと、電極に表示用駆動
電圧を印加するための出力端子を有する駆動回路とを備
え、電極に接続される出力端子は、電極の両端部の内、
有機材料の塗布時に浸漬漕から遅く引き出された方の端
部に接続されることを特徴とする表示装置。
9. An organic LED display using an organic layer formed by the method of claim 5, and a drive circuit having an output terminal for applying a display drive voltage to the electrodes, and connected to the electrodes. The output terminals are
A display device, wherein the display device is connected to an end that is slowly pulled out of an immersion tank when applying an organic material.
【請求項10】 請求項2記載の方法により形成される
有機層を用いた有機LEDディスプレイと、電極に表示
用駆動電圧を印加するための出力端子を有する駆動回路
とを備え、電極に接続される出力端子は、電極の両端部
の内、有機材料の塗布時に第2直流電圧を供給した端部
と同一方向の端部に接続されることを特徴とする表示装
置。
10. An organic LED display using an organic layer formed by the method according to claim 2, and a drive circuit having an output terminal for applying a display drive voltage to the electrode, wherein the drive circuit is connected to the electrode. Wherein the output terminal is connected to an end in the same direction as an end to which the second DC voltage is supplied at the time of application of the organic material, from both ends of the electrode.
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