JP2001183529A

JP2001183529A - マスタホログラム

Info

Publication number: JP2001183529A
Application number: JP36398199A
Authority: JP
Inventors: 久典 ▲吉▼水; Hisanori Yoshimizu; Akihiro Yamazaki; 哲広山崎; Shigeo Shimizu; 滋雄清水
Original assignee: Victor Company of Japan Ltd
Current assignee: Victor Company of Japan Ltd
Priority date: 1999-12-22
Filing date: 1999-12-22
Publication date: 2001-07-06

Abstract

(57)【要約】【課題】ホログラムフィルタに明瞭なアライメントマ
ークを形成し、ホログラムフィルタとＩＣ基板との位置
合わせを容易にするマスタホログラムを提供する。【解決手段】ホログラムフィルタ１７に形成された位
置合わせマーク５と、基板２７に形成された位置合わせ
マーク２６との位置合わせを行なって、ホログラムフィ
ルタ１７と基板２７とを貼り合わせて液晶表示素子２８
を作製する際にホログラムフィルタ１７を形成するため
のマスタホログラム１において、マスタホログラム１の
アライメントマーク５は、赤色光を回折分光し、第１ピ
ッチを有するグレーティング部６と、グレーティング部
６中に緑色光を回折分光し、グレーティング部６と同方
向に第２ピッチを有するグレーティング部７と、グレー
ティング部７の露光光の入射側に第１及び第２グレーテ
ィング部６、７と直交し、第２ピッチと等しいピッチを
有するグレーティング部８とからなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】液晶プロジェクタ等の表示装
置に用いられる液晶表示素子の作製する際に用いれるマ
スタホログラムに関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示素子は、マスタホログラムを用
いて、以下のように作製される。図４は、従来のマスタ
ホログラムを用いてホログラム感光材を露光する様子を
示す側面図である。図５は、従来のマスタホログラムを
示し、（Ａ）は，平面図、（Ｂ）は側面図である。図６
は、従来のマスタホログラムを用いて作製されたホログ
ラムフィルタを示す平面図である。図７は、薄板ガラス
と共に一体化したホログラムフィルタを示す断面図であ
る。図８は、ＩＣ基板上に形成された紫外線硬化型接着
剤及びアライメントマークを示す平面図である。図９
は、従来のマスタホログラムを用いて作製された液晶表
示素子を示す断面図である。

【０００３】（ホログラムフィルタ作製工程）図４に示
すように、ガラス板９に塗布されたホログラム感光材１
０上に光学カップリングオイル１１を介してマスタホロ
グラム１８を載置し、このマスタホログラム１８上に台
形プリズム１２を配置する。ホログラム感光材１０とし
ては、例えば、デュポン（株）製のｏｍｉｎｉｄｅｘが
用いられる。

【０００４】図５に示すように、マスタホログラム１８
は、ガラス板２上の略中央部にＣｒ膜３を加工して形成
されたマスタホログラムレンズ４と、マスタホログラム
レンズ４の周囲にリニアグレーティングからなる４個の
アライメントマーク１９、１９、１９、１９とからな
る。アライメントマーク１９、１９、１９、１９は、露
光光のうち赤色（Ｒ）光を回折出射し、第１ピッチのリ
ニアグレーティングからなるＲリニアグレーティング部
６、６、６、６と、このＲリニアグレーティング部６、
６、６、６の中に、これと相似形をなし、かつＲリニア
グレーティング部６、６、６、６のリニアグレーティン
グと同方向に形成され、緑色（Ｇ）光を回折出射し、第
２ピッチのリニアグレーティングからなるＧリニアグレ
ーティング部７、７、７、７とからなる。

【０００５】この後、露光光（例えば、Ａｒレーザ光）
を台形プリズム１２の傾斜部からマスタホログラム１８
に斜め入射させ、マスタホログラムレンズ４及びアライ
メントマーク１９、１９、１９、１９に応じて所定の回
折角で回折出射される１次回折光とそのまま透過直進す
る０次回折光により、ホログラム感光材１０を露光す
る。次に、図６に示すように、ホログラム感光材１０の
現像を行った後、ホログラム感光材１０中に残留する色
素を除去する紫外線処理及び熱処理を行なって、略中央
部にホログラムレンズ１３とこのホログラムレンズ１３
の周囲に４個のアライメントマーク２０、２０、２０、
２０を形成する。

【０００６】アライメントマーク２０、２０、２０、２
０は、Ｒリニアグレーティング６に対応したＲ光を反射
し、これ以外の光を透過するＲ補色フィルタ部１５、こ
のＲ補色フィルタ部１５中にＧリニアグレーティング部
７に対応したＧ光を反射し、これ以外の光を透過するＧ
補色フィルタ部１６からなる。アライメントマーク２
０、２０、２０、２０をＲ及びＧ補色フィルタ部１５、
１６とで構成するのは、Ｒ及びＧ補色フィルタ部１５、
１６に白色色を照射させて、これらのフィルタ部から反
射されるＲ及びＧ光を観察した時に、Ｒ光とＧ光の境界
が明瞭になり、後述する基板アライメントマーク２６、
２６、２６、２６とＧ補色フィルタ部１６、１６、１
６、１６との位置合わせを容易にするためである。

【０００７】更に、カッターナイフ等を用いて、アライ
メントマーク２０、２０、２０、２０で囲まれた領域の
外周囲に沿い、かつこのアライメントマーク２０、２
０、２０、２０端部から所定幅Ｖの外側のホログラム感
光材１０をトリミングして、ホログラムレンズ１３及び
アライメントマーク２０、２０、２０、２０の周囲に保
護領域１０ａを形成して、ホログラムフィルタ２１を作
製する。このように、保護領域１０ａを形成するのは、
ホログラムレンズ１３の端部に形成された部分の回折格
子の回折角（スラント角）を歪ませないためである。

【０００８】（一体化工程）次に、図７に示すように、
ホログラムレンズ１３及びアライメントマーク２０、２
０、２０、２０側を薄板ガラス２２に対向させて、ホロ
グラムフィルタ２１を熱硬化型接着剤２３を介して薄板
ガラス２２に接着して、薄板ガラス２２と共に一体化し
たホログラムフィルタ２１を得る。この際、熱硬化型接
着剤２３は、保護領域１０ａの周囲にも形成され、ホロ
グラムフィルタ２１と薄板ガラス２２との接着強度を補
強している。

【０００９】（液晶表示素子作製工程）更に、図８に示
すように、ＩＣ基板２４上に、この外周部に沿って液晶
注入口２５ａを有したパターンを有する紫外線硬化型接
着剤２５とこの紫外線硬化型接着剤２５の内側の四隅に
形成された基板アライメントマーク２６、２６、２６、
２６を形成する。この基板アライメントマーク２６、２
６、２６、２６は、ホログラムフィルタ２１上に形成さ
れたアライメントマーク２０、２０、２０、２０のＧ補
色フィルタ部１６、１６、１６、１６よりも小さい相似
形をなし、ホログラムフィルタ２１のアライメントマー
ク２０、２０、２０、２０と位置合わせできるように配
置される。

【００１０】図９に示すように、薄板ガラス２２と共に
一体化したホログラムフィルタ２１を薄板ガラス２２側
がＩＣ基板２４の紫外線硬化型接着剤２５に対向するよ
うにして配置し、白色光を右斜め上方からホログラムフ
ィルタ２１に照射し、この白色光のうちアライメントマ
ーク２０、２０、２０、２０のＧ補色フィルタ部１６、
１６、１６、１６で反射され、ホログラムフィルタ２１
の上方に出射されるＧ光と、このＧ補色フィルタ部１６
を透過したＧ光以外の光が基板アライメントマーク２
６、２６、２６、２６で反射され、ホログラムフィルタ
２１の上方に出射されるＧ光以外の光とによって、基板
アライメントマーク２６、２６、２６、２６とＧ補色フ
ィルタ部１６、１６、１６、１６との位置合わせを行な
い、前記した薄板ガラス２２と共に一体化したホログラ
ムフィルタ２１を紫外線硬化型接着剤２５を介してＩＣ
基板２４上に載置する。引き続いて、ホログラムフィル
タ２１のガラス板９側から紫外線を照射し、紫外線硬化
型接着剤２５を硬化させて、薄板ガラス２２と共に一体
化したホログラムフィルタ２１をＩＣ基板２４に貼り合
わせる。

【００１１】更に、紫外線硬化型接着剤２５の液晶注入
口２５ａから液晶２７を注入した後、封止して液晶表示
素子２８を作製する。この場合、通常、薄板ガラス２２
とＩＣ基板２４との間には、図示しないスペーサボール
が散布されているので、このスペーサボールによって薄
板ガラス２２とＩＣ基板２４との間隙が形成される。

【００１２】

【発明の解決しようとする課題】しかしながら、従来の
マスタホログラムを用いた液晶表示素子の作製方法には
以下の問題を生じていた。この問題について、図１０乃
至図１２を用いて説明する。図１０は、ホログラムフィ
ルタを作製する際のマスタホログラムにおけるアライメ
ントマークの近傍を拡大した断面図である。なお、図１
０では、図４の構成において説明に必要な構成としてホ
ログラム感光材１０とマスタホログラム１８のアライメ
ントマーク１９のみを示し、その他の構成を省略してあ
る。図１１は、従来のマスタホログラムを用いて作製さ
れたホログラムフィルタに生じる問題点を説明する平面
図である。

【００１３】図１０に示すように、（ホログラムフィル
タ作製工程）において、マスタホログラム１８のアラメ
ントマーク１９のＲリニアグレーティング部６で回折出
射するＲ光の１次回折光の回折角は、Ｇリニアグレーテ
ィング部７で回折出射するＧ光の１次回折光の回折角よ
りも大きいため、露光光はＲリニアグレーティング部６
側から入射するので、この露光光の入射方向に近いＲリ
ニアグレーティング部６とＧリニアグレーティング部７
との境界１９ａ付近では、Ｒ光とＧ光が交叉する。この
ため、図１０及び図１１に示すように、ホログラムフィ
ルタ２１におけるＲ補色フィルタ部１５、１５、１５、
１５とＧ補色フィルタ部１６、１６、１６、１６との境
界には、Ｒ光とＧ光が混色したボケライン２０ａ、２０
ａ、２０ａ、２０ａが形成される。

【００１４】このように、露光光の入射方向に近い側の
Ｒ補色フィルタ部１５、１５、１５、１５とＧ補色フィ
ルタ部１６、１６、１６、１６の境界にボケライン２０
ａ、２０ａ、２０ａ、２０ａが生じると、薄板ガラス２
２と共に一体化したホログラムフィルタ２１をＩＣ基板
２４に精度良く位置合わせすることが難しかった。

【００１５】この対策として、図１２に示すように、露
光光の入射側のＲリニアグレーティング部６とＧリニア
グレーティング部７との境界１９ａに遮光膜２９、２
９、２９、２９を形成して、前記したボケライン２０ａ
を生じないようにすることが考えられた。図１２は、露
光光の入射側のＲリニアグレーティング部とＧリニアグ
レーティング部との境界に遮光膜を形成したマスタホロ
グラムにおけるアライメントマーク近傍の拡大した断面
図である。

【００１６】しかし、露光光が遮光膜２９を通過する
際、０次回折光が減衰するため、この遮光膜２９に対応
したホログラム感光材１０には、ボケ領域２０ｂを生じ
るこの結果、前記したと同様に、ホログラムフィルタ２
１のアライメントマーク２０、２０、２０、２０とＩＣ
基板２４の基板アライメントマーク２６、２６、２６、
２６との位置合わせが難しく、薄板ガラス２２と共に一
体化したホログラムフィルタ２１をＩＣ基板２４に精度
良く位置合わせすることが難しかった。

【００１７】そこで、本発明は、かかる問題点を解消す
るためになされたもので、ホログラムフィルタに明瞭な
アライメントマークを形成し、ホログラムフィルタとＩ
Ｃ基板との位置合わせを容易にするマスタホログラムを
提供することを目的とする。

【００１８】

【課題を解決するための手段】本発明のマスタホログラ
ムは、ホログラムフィルタに形成された第１位置合わせ
マークと、基板に形成された第２位置合わせマークとの
位置合わせを行なって、前記ホログラムフィルタと前記
基板とを配置した後、貼り合わせて液晶表示素子を作製
する際に前記ホログラムフィルタを形成するために用い
られるマスタホログラムにおいて、前記マスタホログラ
ムのアライメントマークは、赤色光を回折分光し、第１
ピッチを有する第１リニアグレーティング部と、前記第
１リニアグレーティング部中に緑色光を回折分光し、前
記第１リニアグレーティング部と同方向に第２ピッチを
有する第２リニアグレーティング部と、前記第２リニア
グレーティング部の露光光の入射側に前記第１及び第２
リニアグレーティング部と直交し、前記第２ピッチと等
しいピッチを有する第３リニアグレーティング部とから
なることを特徴とする。

【００１９】

【発明の実施の形態】本発明の実施形態のマスタホログ
ラムについて図１乃至図３を参照しながら説明する。図
１は、本発明の実施形態のマスタホログラムを示し、
（Ａ）は平面図、（Ｂ）は（Ａ）のＭＭ断面図である。
図２は、本発明の実施形態のマスタホログラムを用いて
ホログラムフィルタを露光する様子を示す側面図であ
る。図３は、本発明の実施形態のマスタホログラムを用
いて作製されたホログラムフィルタを示す平面図であ
る。従来例と同一構成には同一符号を付し、その説明を
省略する。

【００２０】まず始めに、本発明の実施形態のマスタホ
ログラムについて説明する。マスタホログラム１は、ガ
ラス基板２の略中央部にＣｒ膜３を加工して形成された
マスタホログラムレンズ４と、このマスタホログラムレ
ンズ４の周囲に４個のアライメントマーク５、５、５、
５が形成されている。このアライメントマーク５、５、
５、５は、露光光のうち赤色（Ｒ）光を回折出射し、第
１ピッチのリニアグレーティングからなるＲリニアグレ
ーティング部６、６、６、６と、このＲリニアグレーテ
ィング部６、６、６、６の中に、これと相似形をなし、
かつＲリニアグレーティング部６、６、６、６のリニア
グレーティングと同方向に形成され、緑色（Ｇ）光を回
折出射し、第２ピッチのリニアグレーティングからなる
Ｇリニアグレーティング部７、７、７、７とからなる。

【００２１】更に、Ｇリニアグレーティング部７、７、
７、７の中には、Ｇリニアグレーティング部７、７、
７、７及びＲリニアグレーティング部６、６、６、６に
直交し、かつＧリニアグレーティング部７、７、７、７
と同一ピッチのリニアグレーティングを有するスリット
部８、８、８、８が形成されている。このスリット部
８、８、８、８のリニアグレーティングのピッチは、Ｇ
リニアグレーティング部７、７、７、７を通過する露光
光の０次回折光の光強度と同等にする必要があるので、
Ｇリニアグレーティング部７、７、７、７のリニアグレ
ーティングのピッチと同等にしてある。

【００２２】また、このスリット部８、８、８、８の幅
Ｌは、Ｒリニアグレーティング部６、６、６、６で回折
される１次回折光（Ｒ光）とＧリニアグレーティング部
７、７、７、７で回折される１次回折光（Ｇ光）とが交
叉しないように設定されている。ここで、Ｒリニアグレ
ーティング部６、６、６、６、Ｇリニアグレーティング
部７、７、７、７及びスリット部８、８、８、８の幅Ｌ
は、それぞれに対応して、例えば、１辺が１００μｍの
正方形、１辺が６０μｍの正方形及び１０μｍである。

【００２３】本発明のマスタホログラムを用いた液晶表
示素子は以下のようにして作製できる。まず、図２に示
すように、ガラス板９に塗布されたホログラム感光材１
０上に光学カップリングオイル１１を介してマスタホロ
グラム１を載置し、このマスタホログラム１上に台形プ
リズム１２を配置する。この後、露光光を台形プリズム
１２の傾斜部から斜め入射させて、マスタホログラムレ
ンズ４及びアライメントマークパターン５、５、５、５
に応じた所定回折角で回折される１次回折光とそのまま
透過直進する０次回折光により、ホログラム感光材１０
を露光する。

【００２４】この際、アライメントマークパターン５、
５、５、５のＲリニアグレーティング部６、６、６、６
及びＧリニアグレーティング部７、７、７、７で露光光
が回折されるように、Ｒリニアグレーティング部６、
６、６、６及びＧリニアグレーティング部７、７、７、
７のリニアグレーティングは、露光光の入射方向に対し
て直交する方向に配置されている。

【００２５】次に、図３に示すように、ホログラム感光
材１０の現像を行った後、ホログラム感光材１０中に残
留する色素を除去する紫外線処理及び熱処理を行なっ
て、略中央部にホログラムレンズ１３とこのホログラム
レンズ１３の周囲に４個のアライメントマーク１４、１
４、１４、１４を形成する。この際、アライメントマー
ク１４、１４、１４、１４は、Ｒリニアグレーティング
部６、６、６、６に対応したＲ光を反射し、これ以外の
光を透過するＲ補色フィルタ部１５、１５、１５、１
５、Ｇリニアグレーティング部７、７、７、７に対応し
たＧ光を反射し、これ以外の光を透過するＧ補色フィル
タ部１６、１６、１６、１６からなる。

【００２６】スリット部８、８、８、８では、Ｇ光の１
次回折光は生じないので、白色光はそのまま通過する一
方、スリット部８、８、８、８に対応するホログラム感
光材１０部分には、Ｒリニアグレーティング部６、６、
６、６によって回折出射されたＲ光の０次回折光と１次
回折光との干渉によって形成されるＲ補色フィルタ部１
５、１５、１５、１５と同じ性質を有する補色フィルタ
部が形成される。即ち、本発明の実施形態で形成される
Ｒ補色フィルタ１５、１５、１５、１５領域は、従来の
Ｒ補色フィルタ部１５、１５、１５、１５領域よりも広
がる。この結果、Ｒ補色フィルタ部１５、１５、１５、
１５とＧ補色フィルタ部１６、１６、１６、１６との境
界が明瞭にすることができる。

【００２７】更に、カッターナイフ等を用いて、４個の
アライメントマーク１４、１４、１４、１４で囲まれる
領域の外周囲に沿い、かつこのアライメントマーク１
４、１４、１４、１４の端部から所定幅Ｖの外側のホロ
グラム感光材１０をトリミングして、ホログラムレンズ
１３及びアライメントマーク１４、１４、１４、１４の
周囲に保護領域１０ａを形成して、本発明の実施形態の
ホログラムフィルタ１７を作製する。この際、露光光の
０次回折光は、マスタホログラム１のスリット部８、
８、８、８とＧリニアグレーティング部７、７、７、７
とを同等の光強度で通過し、かつ１次回折光は、Ｒリニ
アグレーティング部６、６、６、６で１次回折されて出
射されたＲ光とＧリニアグレーティング部７、７、７、
７で１次回折されて出射されたＧ光とが交叉しないの
で、ホログラム感光材１０には、Ｒ補色フィルタ部１
５、１５、１５、１５とＧ補色フィルタ部１６、１６、
１６、１６との境界が明瞭なアライメントマーク１４、
１４、１４、１４を形成できるのである。

【００２８】この後、従来例の（一体化工程）乃至（液
晶表示素子作製工程）と同様の工程を行って、薄板ガラ
ス２２と共に一体化したホログラムフィルタ１７をＩＣ
基板２４に精度良く位置合わされた液晶表示素子２８を
得る。以上のように、本発明の実施形態のマスタホログ
ラムによれば、マスタホログラム１のアライメントマー
ク５は、赤色光を回折分光し、第１ピッチを有するＲリ
ニアグレーティング部６と、このＲリニアグレーティン
グ部６中に緑色光を回折分光し、Ｒリニアグレーティン
グ部６と同方向に第２ピッチを有するＧリニアグレーテ
ィング部７と、Ｇリニアグレーティング部７の露光光の
入射側にＲ及びＧリニアグレーティング部６、６と直交
し、前記第２ピッチと等しいピッチのリニアグレーティ
ングを有するスリット部８とからなるので、Ｒ補色フィ
ルタ部１５とＧ補色フィルタ部１６との境界が明瞭なア
ライメントマーク１４を有するホログラムフィルタ１７
を形成することができる。

【００２９】また、液晶表示素子２８を作製する際に、
このようなホログラムフィルタ１７を用いるので、ＩＣ
基板２４に形成されている基板アライメントマーク２
６、２６、２６、２６との位置合わせを精度良く行うこ
とができるため、薄板ガラス板２２と共に一体化したホ
ログラムフィルタ１７をＩＣ基板２４に精度良く位置合
わせすることができる。

【００３０】

【発明の効果】本発明のマスタホログラムによれば、ホ
ログラムフィルタに形成された第１位置合わせマーク
と、基板に形成された第２位置合わせマークとの位置合
わせを行なって、前記ホログラムフィルタと前記基板と
を配置した後、貼り合わせて液晶表示素子を作製する際
に前記ホログラムフィルタを形成するために用いられる
マスタホログラムにおいて、前記マスタホログラムのア
ライメントマークは、赤色光を回折分光し、第１ピッチ
を有する第１リニアグレーティング部と、前記第１リニ
アグレーティング部中に緑色光を回折分光し、前記第１
リニアグレーティング部と同方向に第２ピッチを有する
第２リニアグレーティング部と、前記第２リニアグレー
ティング部の露光光の入射側に前記第１及び第２リニア
グレーティング部と直交し、前記第２ピッチと等しいピ
ッチを有する第３リニアグレーティング部とからなるの
で、明瞭なアライメントマークを有するホログラムフィ
ルタを形成することができる。このため、前記ホログラ
ムフィルタの第１位置合わせマークと前記基板に形成さ
れている第２位置合わせマークとの位置合わせを精度良
く行うことができるので、ホログラムフィルタを基板に
精度良く位置合わせすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態のマスタホログラムを示し、
（Ａ）は平面図、（Ｂ）は（Ａ）のＭＭ断面図である。

【図２】本発明の実施形態のマスタホログラムを用いて
ホログラムフィルタを露光する様子を示す側面図であ
る。

【図３】本発明の実施形態のマスタホログラムを用いて
作製されたホログラムフィルタを示す平面図である。

【図４】従来のマスタホログラムを用いてホログラム感
光材を露光する様子を示す側面図である。

【図５】従来のマスタホログラムを示し、（Ａ）は，平
面図、（Ｂ）は側面図である。

【図６】従来のマスタホログラムを用いて作製されたホ
ログラムフィルタを示す平面図である。

【図７】薄板ガラスと共に一体化したホログラムフィル
タを示す断面図である。

【図８】ＩＣ基板上に形成された紫外線硬化型接着剤及
びアライメントマークを示す平面図である。

【図９】従来のマスタホログラムを用いて作製された液
晶表示素子を示す断面図である。

【図１０】ホログラムフィルタを作製する際のマスタホ
ログラムにおけるアライメントマークの近傍を拡大した
断面図である。

【図１１】従来のマスタホログラムを用いて作製された
ホログラムフィルタに生じる問題点を説明する平面図で
ある。

【図１２】露光光の入射側のＲリニアグレーティング部
とＧリニアグレーティング部との境界に遮光膜を形成し
たマスタホログラムにおけるアライメントマーク近傍の
拡大した断面図である。

【符号の説明】

１…マスタホログラム、２…ガラス基板、３…Ｃｒ膜、
４…マスタホログラムレンズ、５…アライメントマーク
（第１位置合わせマーク）、６…Ｒリニアグレーティン
グ部（第１リニアグレティング部）、７…Ｇリニアグレ
ーティング部（第２リニアグレーティング部）、８…ス
リット部（第３リニアグレーティング部）、９…ガラス
板、１０…ホログラム感光材、１１…光学カップリング
オイル、１２…台形プリズム、１３…ホログラムレン
ズ、１４…アライメントマーク、１５…Ｒ補色フィルタ
部、１６…Ｇ補色フィルタ部、１７…ホログラムフィル
タ、２４…ＩＣ基板（基板）、２６…基板アライメント
マーク（第２位置合わせマーク）、２８…液晶表示素子

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 2H049 CA01 CA05 CA07 CA08 CA17 CA22 2H091 FA50X FA50Z FD12 LA30 MA07 2K008 AA00 BB01 BB04 BB08 GG01 HH19

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ホログラムフィルタに形成された第１位置
合わせマークと、基板に形成された第２位置合わせマー
クとの位置合わせを行って、前記ホログラムフィルタと
前記基板とを配置した後、貼り合わせて液晶表示素子を
作製する際に前記ホログラムフィルタを形成するために
用いられるマスタホログラムにおいて、前記第２位置合
わせマークを形成するマスタホログラムのアライメント
マークは、赤色光を回折分光し、第１ピッチを有する第
１リニアグレーティング部と、前記第１リニアグレーテ
ィング部中に緑色光を回折分光し、前記第１リニアグレ
ーティング部と同方向に第２ピッチを有する第２リニア
グレーティング部と、前記第２リニアグレーティング部
中の露光光の入射側に前記第１及び第２リニアグレーテ
ィング部と直交し、前記第２ピッチと等しいピッチを有
する第３リニアグレーティング部とからなることを特徴
とするマスタホログラム。