JP2001182685A

JP2001182685A - 改良真空ポンプ

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Publication number: JP2001182685A
Application number: JP2000353122A
Authority: JP
Inventors: Ian David Stones; ディヴィッドストーンズイアン
Original assignee: BOC Group Ltd
Current assignee: BOC Group Ltd
Priority date: 1999-11-19
Filing date: 2000-11-20
Publication date: 2001-07-06
Anticipated expiration: 2020-11-20
Also published as: EP1101945B1; ATE369495T1; GB9927493D0; US6375413B1; EP1101945A2; EP1101945A3; DE60035842D1; JP4864198B2; DE60035842T2

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】十分に高いポンピング能力を達成する改良さ
れた真空ポンプを提供する。【解決手段】少なくとも２つの分子吸収段1,2を有
し、これらの分子吸収段は各々、隣接した、定置ホルウ
ェックシリンダー13,14と回転ホルウェックシリンダー1
5,16,17とを有し、定置ホルウェックシリンダー13,14は
ステーター本体3に取付けられ、回転ホルウェックシリ
ンダー15,16,17はローター6に取付けられ、定置ホルウ
ェックシリンダー13,14と回転ホルウェックシリンダー1
5,16,17との間に、定置ホルウェックシリンダー又は回
転ホルウェックシリンダーの何れかに取付けられたねじ
山状直立螺旋フランジ20が位置決めされ、ポンプ入口21
に最も近い分子吸収段は、その回転ホルウェックシリン
ダー15にねじ山状フランジ20を有し、それに続く分子吸
収段は、その定置ホルウェックシリンダー14にねじ山状
フランジを有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は真空ポンプに関し、
更に詳細には、好ましくは再生作動モードに接続され
た、分子吸収作動モードを採用するポンプに関する。

【０００２】

【従来の技術】ローターがステーター本体内を高速、例
えば１分間当たり１万回転(10,000 rpm)で回転し、ロー
ターは、その周縁又は、変形例としてその周側面の何れ
かに環状アレイ(array)をなして位置決めされた一連の
ブレードを有し、ステーターは環状チャンネルを有し、
ブレードは環状チャンネル内を回転し、環状チャンネル
は、「ストリッパー」として知られているチャンネルのう
ちのわずかな部分以外、個々のブレードよりも大きい断
面積を有し、「ストリッパー」は、ブレードに対する接近
した隙間を設けるように小さい断面を有する、再生モー
ドで作動する真空ポンプ及び／又はコンプレッサーが知
られている。

【０００３】そのようなポンプの使用中、ポンピング(p
umping)すべきガスは、ストリッパーの一端に隣接して
位置決めされた入口を経て環状チャンネルに入り、回転
ローターのブレードによって環状チャンネルに沿って推
進され、ついにはストリッパーの他端にぶつかり、次い
で、ストリッパーの他端に位置した出口から推し出され
る。そのような作動モードを採用するポンプ／コンプレ
ッサーは比較的少ない流量で高い圧縮比をもたらすこと
ができることが知られている。しかしながら、これらの
ポンプは連続体流れ条件でポンピングするのに最も良く
適しており、そのようなポンプの場合、直列に追加した
過渡的及び／又は分子的な流れに適した真空ポンプの使
用に頼ることなしに、十分に高い最高真空及びポンピン
グ速度を得難いことがある。

【０００４】出願人の先行の欧州特許出願第0 805 275A
号には、特定のローターと関連した多段ポンピング作用
を通じて実質的により高い圧縮が得られる真空ポンプが
記載されている。

【０００５】この出願人の先行欧州特許出願では、ロー
ターとステーター本体とを有し、ローターはステーター
の中で回転するようになっており、ローターは、その１
つの側面に環状アレイをなして位置決めされた一連のブ
レードを有し、ステーターは環状チャンネルを有し、ブ
レードは環状チャンネル内を回転し、環状チャンネル
は、そのうちのわずかな部分以外、個々のブレードより
も大きい断面積を有し、前記わずかな部分は、ブレード
に対する接近した隙間を設けるように小さい断面を有す
る再生型真空ポンプであって、ローターはその側面に同
心環状アレイをなして位置決めされた少なくとも２連の
ブレードを有し、ステーターはこれらのブレードの連数
に対応する数のチャンネルを有し、環状アレイのブレー
ドはチャンネル内を回転し、ポンピングによって排気さ
れるガスが通過できる連続通路を形成するために、これ
らのチャンネルを連通させる手段が設けられている、再
生型真空ポンプが開示されている。

【０００６】先行欧州特許出願のポンプが、 i) 独立した個々の真空ポンプとして、採用されても
良いし、 ii) ターボ分子ポンプ又は分子吸収ポンプのような他
の真空ポンプに接続されて、採用されても良いし、 iii) 異なる種類の段、例えば分子吸収段を更に有す
る、より大きい複合真空ポンプの構成部分として、採用
されても良いことが更に開示されている。

【０００７】特に、先行欧州特許出願による再生段、並
びに、例えば「ホルウェック」段として知られている１つ
の種類の分子吸収段を有する複合ポンプが特に有用であ
ることが開示されている。

【０００８】ホルウェック段では、一つおきの定置及び
回転同心中空シリンダー、並びに、隣接した中空シリン
ダー間の隙間にわたって実質的に延びる螺旋構造体を形
成するねじ山状直立フランジが設けられ、このフランジ
は回転中空シリンダー又は定置中空シリンダーの何れか
に取付けられている。

【０００９】そのようなポンプ、特に再生／分子吸収複
合ポンプが、一般的には、比較可能な真空ポンプで利用
できるよりも高い最高真空並びに比較的高い圧縮比をも
たらすことができることが分かった。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】それにもかかわらず、
出願人の先行欧州特許出願のポンプは、ある環境では、
十分に高いポンピング能力が必ずしも達成されない不利
益を被る。

【００１１】本発明は、この不利益及びその他の不利益
を取除いた修正デザインの真空ポンプ関する。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明によれば、ガスを
ポンプ入口からポンプ出口までポンピングするための真
空ポンプであって、ローターと、ステーター本体とを有
し、ローターはステーター本体内で回転するようになっ
ており、少なくとも２つの分子吸収段を更に有し、これ
らの分子吸収段は各々、隣接した、定置ホルウェックシ
リンダーと回転ホルウェックシリンダーとを有し、定置
ホルウェックシリンダーはステーター本体に取付けら
れ、回転ホルウェックシリンダーはローターに取付けら
れ、定置ホルウェックシリンダーと回転ホルウェックシ
リンダーとの間に、定置ホルウェックシリンダー又は回
転ホルウェックシリンダーの何れかに取付けられたねじ
山状直立螺旋フランジが位置決めされ、ポンプ入口に最
も近い分子吸収段は、その回転ホルウェックシリンダー
に取付けられたねじ山状フランジを有し、それに続く分
子吸収段は、その定置ホルウェックシリンダーに取付け
られたねじ山状フランジを有する、真空ポンプが提供さ
れる。

【００１３】本発明の基本的特徴は、最初のホルウェッ
ク段、即ちポンプ入口に最も近いホルウェック段の回転
ホルウェックシリンダーのねじ山状フランジの存在にあ
る。この特徴が、引続くホルウェック段におけるフラン
ジの逆の位置決めと組合わされることにより、ポンプが
より高い(入口)圧力における高いポンピング能力及び圧
縮と低動力消費とに特に関連した優れた特性を全体とし
て有することが可能である。

【００１４】加えて、ホルウェック段が半径方向の配置
をなして構成されること、特に、ポンピングされるガス
が第１ホルウェックシリンダーからそれに続く半径方向
に配列されたホルウェックシリンダーに半径方向外方に
流れるようになっていることは極めて有利である。その
ようなポンプの更なる利益は、 i) 連続体流れにおいて、比較可能な外径のホルウェ
ックシリンダーを軸線方向に配列したものよりも低い動
力消費、 ii) ローターをポンプ本体に組立て、それをポンプ本
体から分解することができること、及び iii) ポンプ全体のコンパクトさ、を含む。

【００１５】本発明のポンプは又、好ましくは、ポンプ
の出口端の方に再生段を更に含み、ポンピングされるガ
スが分子吸収段のガス排出に引続いて再生段に入るよう
になっている。好ましくは、再生段は、ローターの片
面、両面又は縁に環状アレイをなして位置決めされた一
連のブレードを有する。

【００１６】好ましい実施形態では、ローターは、ロー
ターの１つの面に同心環状アレイをなして位置決めされ
た少なくとも２連のブレードと、これらのブレードの連
数に対応する数のチャンネルとを有し、ブレードのアレ
イはこれらのチャンネルの中を回転することができる。

【００１７】そのような実施形態では、ブレードがほぼ
軸線方向に延びているのが有利である。好ましくは、ロ
ーターは、ブレードのアレイが位置決めされる側面がブ
レードのアレイを受入れるための実質的に平らな面をな
すように形作られ、普通、この平らな面はローターの主
軸線に対して半径方向に配向される。一般的には、ブレ
ードのアレイ間のこの平らな面は、この面に対応するス
テーターの環状平面と協働して、ブレードのアレイ間に
面シールをつくる。

【００１８】適当であるならば、本発明は又、ブレード
の少なくとも２つのアレイがローターの各側面にある可
能性を有し、好ましくは、各側面は、これらのアレイを
受入れるための実質的に平らな面をなす。

【００１９】好ましい実施形態では、ローターは、その
片面又は両面に少なくとも５つ又は６つのアレイを有す
る。

【００２０】各アレイの個々のブレードは、一般的に
は、ローターに対して半径方向に配列される。各ブレー
ドは実質的に平らであっても良いし、或いは、少なくと
も一部分が、凹面をローターの移動方向に向けた弧形で
あっても良く、後者はポンピング効率を助けるのに好ま
しい。

【００２１】ブレードとストリッパーとの間の「シール
形成(sealing)」を改善するために、ストリッパーと協働
するブレード縁が、尖った又は丸みを付けた端ではな
く、平らな面を有するのが好ましい。

【００２２】典型的には、各アレイは少なくとも約１０
個、好ましくは少なくとも５０個のブレードを有する。
一般的には、ブレードは各アレイについて約１５０個に
及ぶのが有用である。好ましくは、チャンネルの主部分
の断面積は、ブレードの半径方向横断面積の３乃至６倍
である。

【００２３】本発明に従って環状アレイをなす１連以上
のブレードをローターの表面に有することは、種々の利
点及び好機をもたらす。

【００２４】第１に、排気されるガス流を、それがポン
プの中心部に向って排出するように最も外側のアレイか
ら最も内側のアレイまで生じさせるならば、ポンプシャ
フトに対して一連の同心アレイをなすブレード及びこれ
らのブレードに対応するチャンネルの配列は固有の容積
圧縮比をもたらすことができる。個々のチャンネルの断
面積が最も外側のチャンネルから最も内側のチャンネル
まで徐々に減少するならば、この効果は増大する。例え
ば、６つのそのようなアレイを有するポンプでは、最も
内側のチャンネルの断面積は、最も外側のチャンネルの
断面積の６分の１乃至２分の１の程度のもので良い。

【００２５】第２に、ブレード／チャンネルの同心アレ
イにより、ブレードの多段軸線方向アレイを備えたポン
プよりも全体として軸線方向に短いポンプを見込める。

【００２６】第３に、特に、ガス流が外側のチャンネル
から内側のチャンネルまでアレイをなすならば、軸線方
向負荷を減少させることができる、というのは、そのよ
うな配列における最高圧力部はポンプの中心部にあり、
より小さい領域にしか作用しないからである。

【００２７】第４に、ブレードの各アレイがローターの
表面に存在する隆起リング上に取付けられており、ブレ
ードに対応するステーターチャンネルがチャンネルの中
を通るブレードの回転を可能にするためにブレードの周
りに存在するけれども、ステーターと隆起リングの湾曲
面との間に比較的厳密な公差を備えている特に好ましい
特徴の使用は、ローターとステーターとの間の半径方向
のシール形成の機会をもたらす。

【００２８】分子吸収段では、回転シリンダーを再生段
の回転ローターと同じシャフトに取付けたホルウェック
シリンダーを軸線方向に配列することが特に有用である
ことが分かった。

【００２９】ローターブレードがローターから全体的に
軸線方向に垂下する本発明の再生ポンプ段に関連して、
ホルウェックシリンダーの軸線方向配列が好ましい。ロ
ーターの再生ブレードとの組合わせでは、半径方向に介
在したステーター部分がないポンプが形成され、それに
より、ポンプの容易な組立及び分解を可能にする。

【００３０】そのようなことに関連して、一方のポンプ
段がローターの片側にあり、他方のポンプ段がローター
の反対側にあるのが好ましい。この特徴は、全体とし
て、より小さくて軽量のポンプの可能性をもたらす。

【００３１】ホルウェック段は、ごく一般的には、ポン
プの(高真空即ち低圧力の)入口端にあり、ガスを最も内
側のシリンダーから入れることによって、ホルウェック
シリンダーのかかる軸線方向配列が、全体として、ポン
プにとって自然な入口をもたらすことが分かった。ホル
ウェック段のガス流が中心部から外方に配列され、再生
段のガス流が外周部から内方に配列されるのが有利であ
り、それにより、全体としてバランスのとれた効率的な
ポンプになる。

【００３２】組合わされた再生／ホルウェックポンプで
は、有利なことには、全体的な設計は単一ピースロータ
ーに適しており、単一ピースローターは、軽金属又は合
金、例えばアルミニウムで作られるのが有用である。

【００３３】好ましい実施形態では、第１分子吸収段の
回転ホルウェックシリンダーは、それに続くホルウェッ
ク段のねじ山状フランジよりも大きい半径方向フランジ
深さのねじ山状フランジを有する。これにより、全体的
には、より大きいポンピング能力を見込める。その上、
有利なことには、第１ホルウェック段のねじ山状フラン
ジは、可変ねじ山ピッチ及び／又は可変ねじ山チャンネ
ル深さを有している。可変ねじ山ピッチと可変ねじ山チ
ャンネル深さのうちの一方又は両方の存在により、全体
的には、低(入口)圧力時の適当な性能と組合わされた、
ポンプを特に高(入口)圧力作動で作動させる際、少ない
動力消費を見込める。回転可能なホルウェックフランジ
と深いねじ山即ちチャンネル深さとを有する組合わせに
より、低入口圧力での良好な性能と組合わされた、ポン
プを特に高入口圧力作動で作動させる際の低動力消費を
見込める。

【００３４】これらの好ましい実施形態では、ねじ山ピ
ッチは、それがポンプの入口から離れる方向に徐々に減
少するように変えられるのが有利であり、また、ねじ山
深さは、それがポンプの入口から離れる方向に徐々に減
少するのが有利であり、その結果、ねじ山ピッチ及びね
じ山深さは段への入口で高ポンピング能力をもたらす。

【００３５】特に、半径方向に配列されたホルウェック
シリンダーを有し、ポンプの作動中にポンピングされる
ガスが中心に位置決めされた入口からホルウェック段を
通ってほぼ半径方向外方に推進され、例えばブレードを
ローターの面にホルウェック段からほぼ離れる向きに配
列した再生段がホルウェック段の軸線方向下方に位置決
めされ、その結果、特に再生段が同じように半径方向に
配列された、本発明のポンプは、全体的にコンパクトな
デザインのものであり、加えて、異なる構造モジュール
に利用できるように作られる利点を有する。

【００３６】例えば、基準プラットフォームモジュール
は簡単なローターディスクを有し、再生段のブレードが
このローターディスクの下面に垂下し、定置のフランジ
付きホルウェックシリンダーと回転するフランジ無しホ
ルウェックシリンダーとを有するホルウェック段がこの
ローターディスクの上面に軸線方向に延びている。

【００３７】第２モジュールは、回転可能でフランジ無
しシリンダーを有する追加のホルウェック段を有し、そ
れに続くモジュールは、回転可能なフランジ無しホルウ
ェックシリンダーを更に有する。

【００３８】最後のモジュールは本発明による完成ポン
プを有し、この完成ポンプは、回転可能なフランジ付き
のシリンダーをポンプ入口の最も近くに有するホルウェ
ック段を更に有し、このフランジ付きシリンダーは、好
ましくは、ピッチ及び／又はフランジ深さが可変であ
る。

【００３９】本発明のより良い理解のために、添付図面
が例示としてのみ参照される。

【００４０】

【発明の実施の形態】図面、特に最初に図１を参照する
と、全体的に参照番号１で指示する再生段と、全体的に
参照番号２で指示する分子吸収(ホルウェック)段とを有
する本発明の真空ポンプが示される。

【００４１】真空ポンプは、多数の異なる部分で作られ
たステーター本体３を有し、これらの異なる部分は互い
にボルト止めされ(又はその他の方法で固定され)、異な
る部分の間に関連シールを備える。

【００４２】長手方向軸線を中心に回転するようになっ
ているシャフト４がステーター本体３に取付けられ、シ
ャフト４は、このシャフト４をそれ自体既知の仕方で包
囲する電気モーター(図示せず)によって駆動される。

【００４３】再生段に関しては、ローター６がボルト手
段５によってシャフト４に固着されるように取付けられ
る。ローター６は、ほぼ円形ディスクの形態をなし、
(図示のように)その下面は実質的に平らな面をなし、こ
の下面に、ローターの中心点の周りにローター上に対称
に位置した複数(６つ)の隆起リング７、８、９、１０、
１１、１２が下面と一体に位置決めされる。ブレードＢ
の一連の等間隔アレイが隆起リングの各々に取付けら
れ、例えば、ブレードの同心環状アレイを形成するよう
に、各アレイに１００個のブレードが取付けられる。

【００４４】各リングの幅及びそれに対応する各リング
のブレードの寸法は、最も外側のリング７から最も内側
のリング１２まで徐々に減少する。ブレードの各々はわ
ずかに弧形であり、その凹形側面はローターの移動方向
に向いている。

【００４５】ステーター本体は(図示のように)その上面
に「鍵穴」形横断面の６つの円形チャンネルＣを有し、円
形チャンネルＣは、矩形断面の(図示のような)上側部分
が６つの隆起リング７、８、９、１０、１１、１２を接
近して収容する寸法のものであり、円形断面の(図示の
ような)下側部分は、関連した隆起リングに対応するブ
レードを収容し、ブレードの断面積はチャンネルの円形
断面部分の断面積の約６分の１である。

【００４６】この一般的な種類の再生作動モードのすべ
てのポンプに関して、各チャンネルＣ(この場合では、
チャンネルＣの円形断面部分)は、チャンネルの弧状方
向長さが短い、例えば１ｃｍの部分にわたって、チャン
ネルＣの中に収容されるブレードの形状寸法とほぼ同じ
形状寸法の縮小断面積(図示せず)を有する。各チャンネ
ルのこの縮小断面部分は、使用中、このチャンネルを通
り抜けるガスを次の(内側の)チャンネル内への排出(図
示せず)によって向きを変えるように推進させる「ストリ
ッパー」を形成する。

【００４７】隆起リングへのブレードの取付けを含む上
述の構成は、本構成がローターとステーターとの間の半
径方向のシール形成並びに以前から採用されている軸線
方向のシール形成を備える点における改良を表す。この
側面では、半径方向のシール形成は隆起リング７、８、
９、１０、１１、１２の側面と、これらの隆起リングと
関連したチャンネルの矩形断面部分の隆起リングに対応
する側面、特に示すように、最も外側の側面との間に起
こる。

【００４８】ホルウェック段２に関しては、このホルウ
ェック段は、一般的には、ステーター本体３の上側部分
に形成される。

【００４９】シャフト４と関連した軸線方向に配向され
た２つ１組の中空環状シリンダー１３、１４が上側本体
部分３から垂下し、ホルウェック段用のステーターを形
成する。

【００５０】又、シャフト４と関連した軸線方向に配向
された３つ１組の同心中空シリンダー１５、１６、１７
が、(図示のように)それらの下端が回転ローター６の上
面に固着され、従って、これらの同心中空シリンダーは
回転ローター６と共に回転するようになっている。これ
ら３つのシリンダーのうちの２つのシリンダー１６、１
７はローター６と一体に形成される。残りのシリンダー
１５はボルト１８、１９によってローター６に固定され
る。

【００５１】５つのホルウェックシリンダーの各々は、
ポンプの主軸線を中心に対称的に取付けられ、一方の組
のシリンダーは他方の組のシリンダーと図１に示す仕方
で交互配置されており、それにより、各隣接したシリン
ダー間に均一な隙間を形成する。

【００５２】各隣接したシリンダー間の隙間に、ねじ山
状直立フランジが位置し、この直立フランジは、上記隙
間にわたって実質的に延びる螺旋構造体を形成する。こ
れらのフランジは、図２にもっと明瞭に示すように、本
体部分３の１つの内面と、定置シリンダー１３、１４
（シリンダー１３の両面）と、回転可能なシリンダー１
５の外面とに取付けられる。ポンプ性能を高めるため
に、これらのフランジ部分のいくつか又は全部は、可変
ピッチ及び／又は可変フランジ深さのものである。各シ
リンダーのフランジは連続するフランジでも良いし、或
いは、例えば図２に示すように、螺旋構成全体を集合的
に形成する多数のフランジを有しても良いことに気付か
れるであろう。

【００５３】回転可能なシリンダー１５に関しては、回
転可能なシリンダー１５に取付けられたねじ山状直立フ
ランジ２０は、可変ピッチ及び可変フランジ深さのもの
であり、他のホルウェック段のフランジよりも全体とし
て大きいフランジ深さのものである。ピッチ及びフラン
ジ深さは連続的な仕方で軸線方向に変えられるのが好ま
しく、ポンプ入口での最適なポンピング性能をもたらす
ように選択される。

【００５４】本発明のポンプの基本的特徴は、最初のホ
ルウェック段用の直立フランジ２０が回転可能なシリン
ダー１５上に位置しており、次のホルウェック段用のね
じ山すなわち直立フランジがこの段と関連した定置のホ
ルウェックシリンダー上に位置していることにある。ね
じ山すなわち直立フランジを取付けたホルウェックシリ
ンダー１５の回転は、少量の余分な高圧力動力の負担で
高い入口ポンピング能力をもたらし、シリンダー１３、
１４上の次のホルウェックねじ山の存在は、高圧縮及び
少ない動力消費をもたらす。かくして、ポンプ全体の設
計は、低動力と高ポンピング性能の良好な折り合いをも
たらす。

【００５５】シャフト４及びローター６を高速度で回転
させたポンプの使用中、ガスは本体部分３の入口２１に
引かれ、隣接したホルウェックシリンダー１４、１５間
の隙間の中に引かれる。次いで、ガスは、シリンダー１
５の直立フランジ２０によって形成された螺旋体を下方
に進み、そこから、シリンダー１４、１６間の隙間を上
方に進み、ついには、リンダー１７と本体部分３の内面
のねじ山との間の隙間を下方に進む。次いで、ガスは、
図示していない排出口から隆起リング７と関連したチャ
ンネルの円形断面部分に進み、そこから、隆起リング
８、９、１０、１１、１２と関連したチャンネルの中を
(この順番に)それぞれのストリッパーの作用によって進
み、ついには、本体部分３の出口ボア(図示せず)を経て
ポンプから排気される。

【００５６】従って、ガス流は、分子吸収(ホルウェッ
ク)段では、ほぼ半径方向外向きであり、再生段では、
ほぼ半径方向内向きであり、それにより、バランスのと
れた効率的なポンプになる。これにより、一般的には、
ポンプの高圧領域と低圧領域との間の複数の動的シール
を設ける必要をなくすことができる。

【００５７】ローターを、本体３の上側ねじ山状部分の
分解を含む本体部分３からの取外しによって保守のため
に簡単に軸線方向に取外すことができるおかげで、図面
と関連して説明した装置は又、容易に組立てられ／分解
されることができる。

【００５８】本発明のポンプは、ポンプを異なる構造モ
ジュールに利用できるように作ることができる利点をも
たらす。これに関して、図３、４及び５はそのようなモ
ジュールの例を示す。

【００５９】図３は、本体部分３と回転可能なシリンダ
ー１７とによって形成されたホルウェック段だけを表
し、より小さいポンプ入口を追加の本体部分２２によっ
て形成した１つの最も簡単なモジュールを特に示す。ポ
ンプの作動の際、シリンダー１６が有用な目的を果さな
いことが認識されよう。

【００６０】図４は３つのホルウェック段を備え、これ
らのホルウェック段は本体部分３及び(両面のフランジ
を含む)定置のホルウェックシリンダー１３と、回転シ
リンダー１６及び１７との間に形成されている。

【００６１】図５は４つのホルウェック段を備え、これ
らのホルウェック段は本体部分３及び定置のホルウェッ
クシリンダー１３、１４と、回転シリンダー１６及び１
７との間に形成されている。このモジュールは又、十分
なポンピング能力をもたらすために、図１のより広い孔
２１、即ち、図３及び４の孔よりも広い孔を有し、この
孔はホルウェックシリンダー１４と兼ねていても良い。

【図面の簡単な説明】

【図１】再生段とホルウェック段の両方を示す、本発明
の真空ポンプの概略横断面図である。

【図２】図1のポンプの内側ホルウェックシリンダーの
概略的な(等尺ではない)斜視図である。

【図３】図１に示した真空ポンプ用のプラットフォーム
モジュールである。

【図４】図１に示した真空ポンプ用の第２モジュールで
ある。

【図５】図１に示した真空ポンプ用の更なるモジュール
である。

【符号の説明】

ＢブレードＣチャンネル１再生段２分子吸収(ホルウェック)段３ステーター本体４シャフト６ローター７、８、９、１０、１１、１２隆起リング１３中空環状シリンダー１４中空環状シリンダー１５中空シリンダー１６中空シリンダー１７中空シリンダー２０ねじ山状直立フランジ２１入口

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ガスをポンプ入口からポンプ出口までポ
ンピングするための真空ポンプであって、ローターと、
ステーター本体とを有し、前記ローターは前記ステータ
ー本体内で回転するようになっており、少なくとも２つ
の分子吸収段を更に有し、これらの分子吸収段は各々、
隣接した定置ホルウェックシリンダーと回転ホルウェッ
クシリンダーとを有し、前記定置ホルウェックシリンダ
ーは前記ステーター本体に取付けられ、前記回転ホルウ
ェックシリンダーは前記ローターに取付けられ、前記定
置ホルウェックシリンダーと前記回転ホルウェックシリ
ンダーとの間に、前記定置ホルウェックシリンダー又は
前記回転ホルウェックシリンダーの何れかに取付けられ
たねじ山状直立螺旋フランジが位置決めされ、前記ポン
プ入口に最も近い分子吸収段は、その回転ホルウェック
シリンダーに前記ねじ山状フランジを有し、それに続く
分子吸収段は、その定置ホルウェックシリンダーにねじ
山状フランジを有する、真空ポンプ。
【請求項２】前記ホルウェック段は半径方向の配置を
なして構成され、ポンピングすべきガスが第１ホルウェ
ックシリンダーからそれに続くホルウェックシリンダー
へ外方に流れるようになっている、請求項１に記載の真
空ポンプ。
【請求項３】ポンプの出口端の方に再生段を更に有
し、ポンピングされたガスが分子吸収段のガス排出に続
いて前記再生段に入るようになっている、請求項１又は
２に記載の真空ポンプ。
【請求項４】前記再生段は、前記ローターの片面、両
面又は縁に環状アレイをなして位置決めされた一連のブ
レードを有する、請求項３に記載の真空ポンプ。
【請求項５】前記ローターは、その１つの面に同心環
状アレイをなして位置決めされた少なくとも２連のブレ
ードを有し、前記ステーターはこれらのブレードの連数
に対応する数のチャンネルを有し、前記ブレードのアレ
イは前記チャンネルの中で回転できる、請求項３又は４
に記載の真空ポンプ。
【請求項６】前記ブレードはほぼ軸線方向に延びる、
請求項５に記載の真空ポンプ。
【請求項７】前記ローターはその片面又は両面に少な
くとも５つ又は６つのアレイを有する、請求項３乃至６
の何れか１項に記載の真空ポンプ。
【請求項８】排出すべきガス流を、それがポンプの中
心部に向って排出するように最も外側のアレイから最も
内側のアレイまで生じさせ、個々のチャンネルの断面積
は最も外側のチャンネルから最も内側のチャンネルまで
徐々に減少する、請求項５乃至７の何れか１項に記載の
真空ポンプ。
【請求項９】前記第１分子吸収段の回転ホルウェック
シリンダーは、それに続くホルウェック段のねじ山状フ
ランジよりも全体的として大きい半径方向フランジ深さ
のねじ山状フランジを有する、請求項１乃至８の何れか
１項に記載の真空ポンプ。
【請求項１０】前記第１ホルウェック段のねじ山状フ
ランジは、ねじ山ピッチ及び／又はねじ山チャンネル深
さが変えられる、請求項１乃至９の何れか１項に記載の
真空ポンプ。
【請求項１１】異なる構造モジュールに利用できるよ
うに作られている、請求項１乃至１０の何れか１項に記
載の真空ポンプ。