JP2001177150A - 発光ダイオードアレイ - Google Patents

発光ダイオードアレイ

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JP2001177150A
JP2001177150A JP35986099A JP35986099A JP2001177150A JP 2001177150 A JP2001177150 A JP 2001177150A JP 35986099 A JP35986099 A JP 35986099A JP 35986099 A JP35986099 A JP 35986099A JP 2001177150 A JP2001177150 A JP 2001177150A
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JP
Japan
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light emitting
light
diode array
emitting diode
mesa
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JP35986099A
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English (en)
Inventor
Takayori Matsuda
孝順 松田
Eiichi Kunitake
栄一 国武
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Hitachi Cable Ltd
Original Assignee
Hitachi Cable Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 発光部の順メサ方向の斜面から光が漏れない
ようにして発光スポット形状を均一化することができる
発光ダイオードアレイを提供する。 【解決手段】 発光部22の順メサ方向の両方の斜面2
2b、22cを遮光性膜26で覆う。これにより、発光
部の斜面からの光の漏れが無くなり、ボンディングワイ
ヤでの反射も無くなり、1発光部の発光スポット形状を
発光部形状と同等として均一化することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、メサ分離型の発光
ダイオードアレイに関し、特にLED(発光ダイオー
ド)プリンタのプリンタヘッド等に使用される発光ダイ
オードアレイに関するものである。
【0002】
【従来の技術】図3は、従来のメサ分離型の両側電極発
光ダイオードアレイの概略断面図である。この両側電極
発光ダイオードアレイ10は、発光ダイオードアレイチ
ップ11上に、複数の発光部12が図面に垂直方向に所
定の間隔をあけて配列され、透明なガラス膜でなる保護
膜13が成膜され、隣り合う発光部12の金属電極14
が、発光部12の配列の両側に交互に引き出されて形成
された構成となっている。
【0003】この金属電極14の電流注入領域14a
は、発光部12の上面12aから発光部12の順メサ方
向の一方の斜面12bにかけて形成され、金属電極14
のボンディングパッド14bは、電流注入領域14aと
リード14cで接続されている。光は、発光部12内の
pn接合12d近傍から等方的に発生し、大部分の光は
結晶を通って電流注入領域14aを除く発光部12の上
面12aから略上方に取り出される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の両側電
極発光ダイオードアレイ10によると、以下の問題があ
る。図4は、従来の両側電極発光ダイオードアレイ10
の問題点を説明するための概略断面図である。pn接合
12d近傍で発生した光Lのうち、大部分の光L1は結
晶を通って電流注入領域14aを除く発光部12の上面
12aから略上方に取り出されるが、光Lはpn接合1
2d近傍から等方的に放射されるため、一部の光L2は
電流注入領域14aで被覆されていない発光部12の順
メサ方向の他方の斜面12cから斜方に放出される。
【0005】そして、この光L2は、対向する斜面11
aやボンディングパッド14b上に接続されているボン
ディングワイヤ(LEDプリンタヘッドに実装する際の
配線)15に当たって反射するので、発光部12の発光
スポット形状を不均一とし、LEDプリンタの印字ムラ
の原因になるという問題があった。
【0006】従って、本発明の目的は、発光部の順メサ
方向の斜面から光が漏れないようにして発光スポット形
状を均一化することができる発光ダイオードアレイを提
供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を実
現するため、両側をメサ分離溝で挟まれたメサ台地にア
レイ状に配置された複数の発光部と、前記メサ分離溝に
対して前記メサ台地の反対側に形成されたボンディング
領域から前記メサ分離溝を通って前記複数の発光部にそ
れぞれ伸びた複数の電極と、前記ボンディング領域にお
いて前記複数の電極にそれぞれ接続された複数のボンデ
ィングワイヤを備え、前記複数の発光部から出射して前
記複数のボンディングワイヤに達する光を遮光する遮光
性膜を前記メサ台地の壁面に設けたことを特徴とする発
光ダイオードアレイを提供する。
【0008】上記構成によれば、半導体の結晶が露出し
ている発光部の斜面を遮光性膜で覆うことにより、発光
部の上面以外から光が漏れないようにしている。このた
め、発光部の斜面からの光の漏れを無くして、ボンディ
ングワイヤでの反射を無くすことができ、1発光部の発
光スポット形状を発光部形状と同等として均一化するこ
とができる。
【0009】
【発明の実施の形態】図1は、本発明の発光ダイオード
アレイの実施形態を示す概略平面図である。この発光ダ
イオードアレイは、メサ分離型の両側電極発光ダイオー
ドアレイ20であり、発光ダイオードアレイチップ21
上に、複数の発光部22が図面に垂直方向に所定の間隔
をあけて配列され、透明なガラス膜でなる保護膜23が
成膜され、隣り合う発光部22の金属電極24が、発光
部22の配列の両側に交互に引き出されて形成された構
成となっている。
【0010】この金属電極24の電流注入領域24a
は、発光部22の上面22aから発光部22の順メサ方
向の一方の斜面22bまたは22cにかけて形成され、
金属電極24のボンディングパッド24bは、電流注入
領域24aとリード24cで接続されている。
【0011】そして、この両側電極発光ダイオードアレ
イ20の特徴的な部分は、発光部22の順メサ方向の他
方の斜面22cが、遮光性膜26で被覆されている点に
ある。この遮光性膜26の材料としては、金属が主成分
の材料が用いられるが、例えば、製造工程数を増加させ
ないために、金属電極24の材料と同一材料により金属
電極24の形成と同時に遮光性膜26を成膜してもよ
い。
【0012】この遮光性膜26は、発光部22全体を覆
っている保護膜22上に形成されるため、結晶との導通
は無く、pn接合を跨いで短絡するようなことはない。
また、遮光性膜26で覆う範囲は、パターン不良による
短絡防止のため、発光部22の順メサ方向の他方の斜面
22cまたは22bに対向する斜面21aまでは伸ばさ
ずに、斜面22cまたは22bと斜面21aの間の溝の
底までを覆うことが望ましい。
【0013】このように、発光部22の順メサ方向の一
方の斜面22bは金属電極24で覆われ、発光部22の
順メサ方向の他方の斜面22cは遮光性膜26で覆われ
ているので、発光部22の露出部分は電流注入領域24
aを除く発光部22の上面22aのみとなる。
【0014】このため、発光部22内のpn接合22d
近傍から等方的に発生した光Lは、結晶を通って電流注
入領域24aを除く発光部22の上面22aから略上方
に取り出されることになるので、光Lの出力を低下させ
ずに、発光部22の順メサ方向の他方の斜面22cまた
は22bからの光の漏れを無くし、ボンディングワイヤ
25での反射を無くすことができる。よって、1発光部
22の発光スポット形状を均一化してLEDプリンタの
印字ムラを大幅に減少させることができる。
【0015】図2は、本発明の発光ダイオードアレイの
別の実施形態を示す概略平面図である。この発光ダイオ
ードアレイは、メサ分離型の両側電極発光ダイオードア
レイ30であり、発光ダイオードアレイチップ31上
に、複数の発光部32が図面に垂直方向に所定の間隔を
あけて配列され、透明なガラス膜でなる保護膜33が成
膜され、隣り合う発光部32の金属電極34が、発光部
32の配列の両側に交互に引き出されて形成された構成
となっている。
【0016】この金属電極34の電流注入領域34a
は、発光部32の上面32aから発光部32の順メサ方
向の一方の斜面32bにかけて形成され、金属電極34
のボンディングパッド34bは、電流注入領域34aと
リード34cで接続されている。
【0017】そして、この両側電極発光ダイオードアレ
イ30の特徴的な部分は、発光部32の上面32aの端
部から順メサ方向の他方の斜面32cまたは32bにか
けて、遮光性膜36で被覆されている点にある。この遮
光性膜36の材料としては、金属が主成分の材料が用い
られるが、例えば、製造工程数を増加させないために、
金属電極34の材料と同一材料により金属電極34の形
成と同時に遮光性膜36を成膜してもよい。
【0018】この遮光性膜36は、発光部32全体を覆
っている保護膜32上に形成されるため、結晶との導通
は無く、pn接合を跨いで短絡するようなことはない。
また、遮光性膜36で覆う範囲は、パターン不良による
短絡防止のため、発光部32の順メサ方向の他方の斜面
32cまたは32bに対向する斜面31aまでは伸ばさ
ずに、斜面32cまたは32bと斜面31aの間の溝の
底までを覆うことが望ましい。
【0019】このように、発光部32の順メサ方向の一
方の斜面32bは金属電極34で覆われ、発光部32の
上面32aの端部および順メサ方向の他方の斜面32c
は遮光性膜36で覆われているので、発光部32の露出
部分は電流注入領域34aおよび遮光性膜36の一部を
除く発光部32の上面32aのみとなる。
【0020】このため、発光部32内のpn接合32d
近傍から等方的に発生した光Lは、結晶を通って電流注
入領域34aおよび遮光性膜36の一部を除く発光部3
2の上面32aから略上方に取り出されることになるの
で、発光強度のばらつきを抑えて、発光部32の順メサ
方向の他方の斜面32cまたは32bからの光の漏れを
無くし、ボンディングワイヤ35での反射を無くすこと
ができる。よって、1発光部32の発光スポット形状を
均一化してLEDプリンタの印字ムラを大幅に減少させ
ることができる。
【0021】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、発
光部の斜面からの不必要な光の漏れを無くし、ボンディ
ングワイヤでの反射を無くしているので、1発光部の発
光スポット形状を発光部寸法と一致させることができ
る。これにより、発光部の発光スポット形状は均一にな
り、例えばLEDプリンタの印字ムラを大幅に減少させ
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の発光ダイオードアレイの実施形態を示
す概略平面図である。
【図2】本発明の発光ダイオードアレイの別の実施形態
を示す概略平面図である。
【図3】従来のメサ分離型の両側電極発光ダイオードア
レイの概略断面図である。
【図4】従来の両側電極発光ダイオードアレイ10の問
題点を説明するための概略断面図である。
【符号の説明】
10 両側電極発光ダイオードアレイ 11 発光ダイオードアレイチップ 12 発光部 12a 上面 12b 斜面 12c 斜面 12d pn接合 13 保護膜 14 金属電極 14a 電流注入領域 14b ボンディングパッド 15 ボンディングワイヤ 20 両側電極発光ダイオードアレイ 21 発光ダイオードアレイチップ 22 発光部 22a 上面 22b 斜面 22c 斜面 22d pn接合 23 保護膜 24 金属電極 24a 電流注入領域 24b ボンディングパッド 25 ボンディングワイヤ 26 遮光性膜 30 両側電極発光ダイオードアレイ 31 発光ダイオードアレイチップ 32 発光部 32a 上面 32b 斜面 32c 斜面 32d pn接合 33 保護膜 34 金属電極 34a 電流注入領域 34b ボンディングパッド 35 ボンディングワイヤ 36 遮光性膜

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 両側をメサ分離溝で挟まれたメサ台地に
    アレイ状に配置された複数の発光部と、 前記メサ分離溝に対して前記メサ台地の反対側に形成さ
    れたボンディング領域から前記メサ分離溝を通って前記
    複数の発光部にそれぞれ伸びた複数の電極と、 前記ボンディング領域において前記複数の電極にそれぞ
    れ接続された複数のボンディングワイヤを備え、 前記複数の発光部から出射して前記複数のボンディング
    ワイヤに達する光を遮光する遮光性膜を前記メサ台地の
    壁面に設けたことを特徴とする発光ダイオードアレイ。
  2. 【請求項2】 前記遮光性膜は、前記メサ分離溝の底面
    から前記メサ台地に形成されたpn接合面を超える高さ
    の位置まで形成されていることを特徴とする請求項1に
    記載の発光ダイオードアレイ。
  3. 【請求項3】 前記遮光性膜は、前記メサ分離溝の底面
    から前記メサ台地の上面まで形成されていることを特徴
    とする請求項1に記載の発光ダイオードアレイ。
  4. 【請求項4】 前記遮光性膜は、主成分が金属の材料で
    成膜されていることを特徴とする請求項1に記載の発光
    ダイオードアレイ。
  5. 【請求項5】 前記遮光性膜は、前記発光部の金属電極
    と同一材料で成膜されていることを特徴とする請求項1
    に記載の発光ダイオードアレイ。
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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