JP2001177018A - レーザダイオード用ステムおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 金属ベース部と素子マウント部とを一体に形
成したレーザダイオード用ステムを安価に提供する。 【解決手段】 金属ベース部２と素子マウント部３とを
鉄により一体に形成したベース・マウント部一体構体１
を製作するとともに、前記ベース・マウント部一体構体
１に銅めっき層８を形成し、金属ベース部２のリード封
着孔４，４にガラス６，６を介してリード７，７を封着
したレーザダイオード用ステムＡおよびその製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザダイオード
用ステムおよびその製造方法に関し、より詳細には、金
属ベース部と素子マウント部とを単体金属で一体に形成
したレーザダイオード用のステムおよびその製造方法に
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、レーザダイオード用のステムは、
リード封着孔にガラスを介してリードを気密に封着した
金属ベース部と、この金属ベース部に電気的・機械的お
よび熱的に接続された素子マウント部とを有する。そし
て、前記素子マウント部にレーザダイオード（以下ＬＤ
という）素子をマウントし、このＬＤ素子からリードに
ワイヤボンディングして、上から透光板またはレンズを
具備する金属キャップを被せて金属ベース部に抵抗溶接
にて固着封止される。

【０００３】したがって、ＬＤ用ステムには、次のよう
な特性が要求される。 金属ベース部にリードのガラス封着ができること。 金属ベース部に金属キャップが抵抗溶接できること。 素子マウント部にマウントしたＬＤ素子の熱放散性が
良いこと。

【０００４】

【先行技術】以下、上記の諸要求特性を満たすためのＬ
Ｄ用ステムについて、図面を参照して説明する。図１７
は従来のＬＤ用ステムの斜視図、図１８はその平面図、
図１９は図１８のステムのＹ−Ｙ線に沿う断面図であ
る。図１７ないし図１９において、ＬＤ用ステムは、鉄
製の金属ベース部６１にリード封着孔６２，６２と位置
決め用の切欠き部６３ａ，６３ａ，６３ｂとを有し、前
記リード封着孔６２，６２にガラス６４，６４を介して
リード６５，６５が気密に封着されている。そして、前
記金属ベース部６１のほぼ中央部には、その一面６６ａ
が金属ベース部６１の中心軸にほぼ一致するように、銅
製の素子マウント部６６がろう材６７により電気的・機
械的および熱的に結合されている。なお、前記「素子マ
ウント部６６の一面６６ａが金属ベース部６１の中心軸
にほぼ一致する」との表現は、この素子マウント部６６
の一面６６ａにＬＤ素子（図示省略）をマウントした場
合に、そのＬＤ素子の発光面が金属ベース部６１の中心
軸に一致するような位置を意味するものである。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記ＬＤ用
ステムは、鉄製の金属ベース部６１に銅製の素子マウン
ト部６６ろう材６７によりろう付けしたものであるた
め、次のような問題点がある。 金属ベース部６１と素子マウント部６６とを別々に製
作するため、それぞれの製作型が必要で型代が嵩み、ス
テムの原価高騰の第１の要因になっている。 別々に製作した金属ベース部６１と素子マウント部６
６とを組み立て、しかもそのろう付け部分に板状または
線状等のろう材片を供給してろう付けするため、製作工
程数が増大し、ステムの原価高騰の第２の要因になって
いる。 金属ベース部６１と素子マウント部６６とのろう付け
部分に供給するろう材片が微小部材であるため、所定量
以上供給される過剰供給や、ろう材片の供給漏れによる
ろう付け不良を生じやすい。 金属ベース部６１と素子マウント部６６とをろう付け
するため、高い位置精度が要求されるＬＤ用ステムとし
ての要求を満たすことが困難である。

【０００６】そこで、鉄−銅クラッド材または鉄−銅−
鉄クラッド材をプレスして、金属ベース部と素子マウン
ト部とを一体に形成したＬＤ用ステムやその製造方法が
提案されている。（特開平６−２９１２２４号公報や特
開平１１−１８６６４号公報）

【０００７】このようなＬＤ用ステムによれば、金属ベ
ース部と素子マウント部とを一体に形成するので、前記
〜の要求特性はすべて満足できるように考えられる
が、実際には、鉄−銅クラッド材または鉄−銅−鉄クラ
ッド材が高価であるため、原価低減には限度がある。

【０００８】そこで、本発明は、上記の要求特性を満足
する安価なＬＤ用ステムを提供することおよびそのＬＤ
用ステムの製造方法を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１記載の
ＬＤ用ステムは、金属ベース部のリード封着孔にガラス
を介してリードを気密に封着するとともに金属ベース部
にその上面よりも突出する素子マウント部を具備してな
るＬＤ用ステムにおいて、前記金属ベース部と前記素子
マウント部とが単体金属により一体に形成されていると
ともに、素子マウント部にこの素子マウント部の形成材
料よりも良熱伝導性の金属めっき層が形成されているこ
とを特徴とするＬＤ用ステムである。このようなＬＤ用
ステムによれば、出発材料が単体の金属であるため、鉄
−銅クラッド材や鉄−銅−鉄クラッド材に比較して安価
であり、安価なＬＤ用ステムが得られる。

【００１０】本発明の請求項２記載の発明は、前記金属
ベース部および素子マウント部が、鉄で形成されている
ことを特徴とする請求項１記載のＬＤ用ステムである。
このようなＬＤ用ステムによれば、出発材料が安価な鉄
であるため、安価なＬＤ用ステムが得られる。

【００１１】本発明の請求項３記載の発明は、前記金属
ベース部および素子マウント部が、銅−タングステンで
形成されていることを特徴とする請求項１記載のＬＤ用
ステムである。このようなＬＤ用ステムによれば、出発
材料が単体の銅−タングステン材料であるため、前記鉄
よりは高価ではあるが、鉄−銅クラッド材や鉄−銅−鉄
クラッド材よりも安価であり、安価なＬＤ用ステムが得
られる。

【００１２】本発明の請求項４記載の発明は、前記めっ
き層が、銅めっき層であることを特徴とする請求項１記
載のＬＤ用ステムである。このようなＬＤ用ステムによ
れば、銅めっき層の熱伝導率が鉄や銅−タングステン合
金の熱伝導率よりも大きいため、この銅めっき層を介し
てＬＤ素子の熱放散性の向上が図れる。

【００１３】本発明の請求項５記載の発明は、前記銅め
っき層が、厚さ１０〜５０μｍであることを特徴とする
請求項４記載のＬＤ用ステムである。このようなＬＤ用
ステムによれば、銅めっき層の存在により素子マウント
部の熱放散性が良くなるばかりでなく、銅めっき層が存
在していても、鉄製または銅−タングステン合金製の金
属ベース部に、金属キャップを抵抗溶接できる。

【００１４】本発明の請求項６記載の発明は、単体金属
材料をプレス成形してリード封着孔を有する金属ベース
部と素子マウント部とを一体に有するベース・マウント
部一体構体を製作する工程と、全体に銅めっき層を形成
する工程と、金属ベース部のリード封着孔にガラスを介
してリードを封着する工程とを有することを特徴とする
ＬＤ用ステムの製造方法である。このようなＬＤ用ステ
ムの製造方法によれば、銅めっき層の存在により、途中
工程におけるベース・マウント部一体構体の発錆や浸炭
現象を防止できるのみならず、素子マウント部の銅めっ
き層の存在により、素子マウント部の熱放散性を向上で
き、しかも銅めっき層は鉄−銅クラッド材または鉄−銅
−鉄クラッド材に比較して簡単な設備で安価に形成でき
るので、熱放散性の良いＬＤ用ステムを安価に製造する
ことができる。

【００１５】本発明の請求項７記載の発明は、前記金属
材料が、鉄または銅−タングステンのいずれかであるこ
とを特徴とする請求項６記載のＬＤ用ステムの製造方法
である。このようなＬＤ用ステムの製造方法によれば、
金属ベース部にガラスを介してリードを封着可能で、熱
放散性の良いＬＤ用ステムを安価に製造できる。

【００１６】本発明の請求項８記載の発明は、前記リー
ド封着工程の後、露出金属部分に下地ニッケルめっき層
の上に金めっき層を積層形成する工程を有することを特
徴とする請求項６記載のＬＤ用ステムの製造方法であ
る。このようなＬＤ用ステムの製造方法によれば、下地
ニッケルめっき層によりステムの発錆を防止できるとと
もに、金めっき層によりＬＤ素子を金−シリコン共晶に
よるろう材で取り付けることができる。

【００１７】

【発明を実施する態様】以下、本発明の実施態様を図面
を参照して説明する。

【実施態様１】図１は本発明の第１実施態様のＬＤ用ス
テムＡの断面図、図２はその斜視図、図３はその平面図
であり、前記図１は図３におけるＸ−Ｘ線に沿う断面図
を示す。図１ないし図３において、１は鉄製のベース・
マウント部一体構体で、円板形の金属ベース部２と、そ
の中心部近傍に素子マウント部３が金属ベース部２と一
体に、かつ突出して形成されている。この素子マウント
部３の素子マウント面３ａは、前記金属ベース部２の中
心軸にほぼ一致する位置に形成されている。前記素子マ
ウント部３の近傍にはリード封着孔４，４が穿設されて
いる。さらに金属ベース部２の周面２ａには、前記リー
ド封着孔４，４の中心軸を結ぶ方向の線上に、位置決め
用の楔状の切欠き部５ａ，５ａが設けられ、前記の線と
直交する位置に位置決め用の矩形状の切欠き部５ｂが設
けられている。そして、前記リード封着孔４，４には、
それぞれソーダライムガラスやソーダバリウムガラスや
ホウケイ酸ガラス等よりなるガラス６，６介して、Ｆｅ
−Ｎｉ合金やＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金等よりなるリード
７，７が気密に封着されている。なお、前記金属ベース
部２には、ガラス６，６によるリード７，７の封着前に
全体に厚さが１０〜５０μｍの銅めっき層８が形成され
ている。しかも、リード７，７の封着後のベース・マウ
ント部一体構体１およびリード７，７の露出面全体に仕
上げめっき層９が形成されている。この仕上げめっき層
９は、厚さが３〜６μｍの下地ニッケルめっき層の上
に、厚さが０．１〜０．３μｍの金めっき層を積層形成
したものである。

【００１８】

【製造方法実施態様】次に、上記ＬＤ用ステムＡの製造
方法について説明する。図４は、上記ＬＤ用ステムＡの
製造方法を説明する工程ブロック図で、図５ないし図１
１は前記各工程におけるベース・素子マウント部一体構
体１の断面図である。ただし、図７ないし図１１におい
ては、本発明の製造工程の説明を主眼としているため、
各構成要素の寸法や形成位置等をデフォルメしたイメー
ジ図としている。まず、所定厚さの鉄製の板材１０を用
意し（図４ａ、図５）、この鉄板材１０を所定の成形型
（図示省略）でプレス成形して、金属ベース部２と素子
マウント部３とを一体に形成したベース・マウント部一
体構体１を製作する（図４ｂ、図６）。前記金属ベース
部２の所定位置にプレス成形によりリード封着孔４，４
を穿設する（図４ｃ、図７）。次に、プレス打ち抜きに
より前記ベース・素子マウント部一体構体１を打ち抜く
とともに、位置決め用の切欠き部５ａ，５ａ，５ｂを形
成する。ただし、図８においては、切欠き部５ａ，５ｂ
の図示は省略している（図４ｄ、図８）。次に、ベース
・マウント部一体構体１を洗浄し、全体に厚さ１０〜５
０μｍの銅めっき層８を形成する。ここで、銅めっき層
８を形成する理由は、第１に素子マウント部３にマウン
トするＬＤ素子の熱放散性を高めるためであり、第２に
途中工程で金属ベース部２および素子マウント部３の発
錆や変色、あるいはグラファイト製の封着治具から遊離
した炭素がベース・マウント部一体構体１に浸入する，
いわゆる浸炭現象によってベース・マウント部一体構体
１の性状が変動することを防止するためである。第２の
目的のためには銅めっき層８の厚さはもっと薄くてもよ
いが、第１の目的のために１０〜５０μｍに設定してい
る（図４ｅ、図９）。その後、前記リード封着孔４，４
にガラス６，６を介してリード７，７を気密に封着する
（図４ｆ、図１０）。次に、ベース・マウント部一体構
体１を洗浄し、続いてベース・マウント部一体構体１お
よびリード７，７の露出面全面に仕上げめっき層９，例
えば下地ニッケルめっき層の上に金めっき層を積層形成
する（図４ｇ、図１１）。

【００１９】

【実施例】次に、本発明の上記第１実施態様のＬＤ用ス
テムＡの実施例について説明する。 ベース・マウント部一体構体１ 金属ベース部２ 材質 ：鉄（低炭素鋼） 形状 ：直径５．６ｍｍΦ×厚さ１．２ｍｍ リード封着孔４ ：直径１．０ｍｍΦ×深さ１．２ｍｍ 素子マウント部３ 材質 ：鉄（低炭素鋼）＝熱伝導率９９ｋ／Ｗ・ｍ^-1・Ｋ^-1 形状 ：縦１．２ｍｍ×横１．０ｍｍ×高さ１．５ｍｍ ガラス６ 材質 ：ソーダガラス リード７ 材質 ：鉄−ニッケル合金 寸法 ：直径０．４５ｍｍΦ×長さ８．３ｍｍ 銅めっき層８ ：１０〜５０μｍ（熱伝導率４２０ｋ／Ｗ・ｍ^-1・Ｋ^-1） 仕上げめっき層９ ：下地ニツケルめっき層３〜６μｍ 金めっき層０．１〜０．３μｍ

【００２０】上記のＬＤ用ステムＡにおいて、銅めっき
層８の厚さを２０μｍにして、素子マウント部３にＬＤ
素子（発熱量：３００ｍＷ）を取り付け、大気放熱の状
態（気温：２５℃）でＬＤ素子１００個の温度を測定し
た結果、ＬＤ素子の飽和温度は平均６９．６℃であっ
た。

【００２１】これに対して、第１の比較例として、銅め
っき層８を形成していない他は上記と同様のＬＤ用ステ
ムの素子マウント部にＬＤ素子を取り付け、同一条件で
ＬＤ素子１００個の温度を測定した結果、ＬＤ素子の飽
和温度は平均７２．３℃であった。

【００２２】また、第２の比較例として、上記素子マウ
ント部３と同一寸法の銅製の素子マウント部を銀ろうに
より鉄製の金属ベース部にろう付けしたＬＤ用ステムの
素子マウント部にＬＤ素子を取り付け同一条件でＬＤ素
子１００個の温度を測定した結果、ＬＤ素子の飽和温度
は平均６６．０℃であった。

【００２３】以上の結果から、本発明のＬＤ用ステムＡ
は、銅めっき層８の形成によって、銅めっき層８がない
第１比較例に対して、熱放散性が格段に向上し、十分な
実用性を有するものであることが分かる。なお、銅めっ
き層８を厚くするほど、素子マウント部３の放熱性が向
上することも確認した。なお、上記実施例のＬＤ用ステ
ムＡは、銅製の素子マウント部を銀ろうによりろう付け
した第２比較例よりは若干劣るとはいえ、低出力のＬＤ
用としては十分な熱放散性を有しており、銅めつき層８
の厚さを増大すればさらに熱放散性が向上する。しかも
第２比較例に対しては、原価を約１／２程度の格段に安
価にできるという実用上極めて有用な特長を有するもの
である。

【００２４】上記のようなＬＤ用ステムＡおよびその製
造方法によれば、次のような作用効果が得られる。 素子マウント部３の表面に銅めっき層８を有するの
で、熱放散性に優れている。 金属ベース部２と素子マウント部３とを一つの製作型
で製作できるので、型代が安価である。 金属ベース部２と素子マウント部３とを同時に製作す
るので、製造工程数が少なく製造原価が低くできる。 金属ベース部２と素子マウント部３とのろう付けのた
めのろう材およびその供給が不要で、材料費および加工
費が節減できる。 金属ベース部２と素子マウント部３との位置ずれがな
くなって両者の位置精度が高くなり、商品価値が向上す
る。 鉄を出発材料としているので、鉄−銅クラッド材や鉄
−銅−鉄クラッド材を用いる場合に比較して、原価低減
ができ、安価なＬＤ用ステムを製造することができる。

【００２５】

【実施態様２】図１２は、本発明の第２実施態様のＬＤ
用ステムＢの平面図で、素子マウント部の熱放散性を向
上させるために、素子マウント部の熱容量を大きくした
ものである。すなわち、図１ないし図３に示す第１実施
態様のＬＤ用ステムＡにおける素子マウント部３は、直
方体状のものであったが、本実施態様２におけるベース
・マウント部一体構体１１は、平板状の金属ベース１２
と扇柱形状の素子マウント部１３とを有するものであ
る。なお、それ以外の点は特に変わりがないので、符号
および説明を省略する。このようなＬＤ用ステムＢによ
れば、素子マウント部１３の熱容量が大きくなることに
よって、素子マウント部１３の熱放散性が向上する。ま
た、素子マウント部１３の円弧状の周面１３ａを利用し
て、金属キャップの位置決めをすることもできるという
特長がある。

【００２６】

【実施態様３】図１３は、本発明の第３実施態様のＬＤ
用ステムＣの平面図で、素子マウント部の熱放散性をさ
らに向上させるために、素子マウント部の熱容量をさら
に大きくしたものである。すなわち、本実施態様３にお
けるベース・マウント部一体構体２１は、平板状の金属
ベース部２２と略半円柱形状の素子マウント部２３とを
有するものである。なお、それ以外の点は特に変わりが
ないので、符号および説明を省略する。このようなＬＤ
用ステムＣによれば、素子マウント部２３の熱容量がさ
らに大きくなることによって、素子マウント部１３の熱
放散性がさらに向上する。また、素子マウント部２３の
半円状の周面２３ａを利用して、金属キャップの位置決
めをすることもできるという特長がある。

【００２７】なお、本発明の上記実施態様は、特定の構
造のＬＤ用ステムＡ〜Ｃについて説明したが、本発明は
上記実施態様に限定されるものではなく、本発明の精神
を逸脱しない範囲で、各種の変形が可能であることはい
うまでもない。

【００２８】

【実施態様４〜６】例えば、上記第１ないし第３実施態
様のＬＤ用ステムＡ〜Ｃにおいては、金属ベース部２，
１２，２２の素子マウント部３，１３，２３の形成部分
を除く上面が、平坦状のものについて説明したが、ＬＤ
素子の発光の有無またはその強度をモニタするモニタ用
受光素子をマウントする構造のものにあっては、素子マ
ウント部３，１３，２３のＬＤ素子マウント面の下方に
傾斜面部を形成してもよい。この傾斜面部は、図１４に
示す第４実施態様のＬＤ用ステムＤにおけるベース・マ
ウント一体構体３１のように、素子マウント部３３のＬ
Ｄ素子のマウント位置の下方の金属ベース部３２に、傾
斜面部３４全体を金属ベース部３２の上面３２ａから突
出するように形成してもよいし、、図１５に示す第５実
施態様のＬＤ用ステムＥにおけるベース・マウント一体
構体４１のように、傾斜面部４４全体が金属ベース部４
２の上面４２ａから凹入するように形成してもよいし、
さらには、図１６に示す第６実施態様のＬＤ用ステムＦ
におけるベース・マウント一体構体５１のように、傾斜
面部５４のほぼ半分が金属ベース部５２の上面５２ａか
ら突出するとともに、ほぼ半分が金属ベース部５２の上
面５２ａから凹入するように形成してもよい。上記の第
４〜第６実施態様のＬＤ用ステムＤ〜Ｆにおける各種傾
斜面部３４，４４，５４は、いずれも金属ベース部３
２，４２，５２と素子マウント部３３，４３，５３とが
一体に形成されたベース・マウント部一体構体３１，４
１，５１を製作する際に同時に形成できるので、工程数
は何ら増加せず、したがって加工費の増大もない。

【００２９】また、例えば、上記実施態様においては、
ＬＤ用ステムＡないしＣとして、金属ベース部２，１
２，２２の形状が円形状のものについて説明したが、も
し、必要ならば、矩形状その他任意の形状のものにも実
施可能である。

【００３０】さらに、第１実施態様のＬＤ用ステムＡに
おける金属ベース部２の上面に、金属キャップの位置決
め用の突起ないし凹部を形成したものでもよい。

【００３１】さらにまた、上記実施例では、出発材料と
して鉄の板材を用いる場合について説明したが、銅−タ
ングステンの合金ないしは銅粒子とタングステン粒子と
を分散混在させた複合材を用いてもよい。そのような場
合、鉄材よりは原価が上昇するが、鉄材よりも素子マウ
ント部の熱放散性を向上させることができる。

【００３２】

【発明の効果】本発明のＬＤ用ステムは、金属ベース部
のリード封着孔にガラスを介してリードを気密に封着す
るとともに金属ベース部にその上面よりも突出する素子
マウント部を具備してなるＬＤ用ステムにおいて、前記
金属ベース部と素子マウント部とが単体金属により一体
に形成されているとともに、素子マウント部にこの素子
マウント部の形成材料よりも良熱伝導性の金属めっき層
が形成されていることを特徴とするレーザダイオード用
ステムであるから、熱放散性に優れたＬＤ用ステムを安
価に提供できる。

【００２８】また、本発明のＬＤ用ステムの製造方法
は、単体金属材料をプレス成形してリード封着孔を有す
る金属ベース部と素子マウント部とを一体に有するベー
ス・マウント部一体構体を製作する工程と、全体に銅め
っき層を形成する工程と、金属ベース部のリード封着孔
にガラスを介してリードを封着する工程とを有すること
を特徴とするＬＤ用ステムの製造方法であるから、リー
ドのガラス封着部の信頼性が高く、放熱性に優れたＬＤ
用ステムを安価に製造できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１実施態様のレーザダイオード用
ステムＡにおける断面図

【図２】 本発明の第１実施態様のレーザダイオード用
ステムＡにおける斜視図

【図３】 本発明の第１実施態様のレーザダイオード用
ステムＡにおける平面図

【図４】 本発明の第１実施態様のレーザダイオード用
ステムＡの製造方法について説明する工程ブロック図

【図５】 本発明の第１実施態様のレーザダイオード用
ステムＡの製造工程における出発材料である鉄板材の要
部断面図

【図６】 本発明の第１実施態様のレーザダイオード用
ステムＡの製造工程におけるベース・マウント部一体構
体のプレス形成後の要部断面図

【図７】 本発明の第１実施態様のレーザダイオード用
ステムＡの製造工程におけるベース・マウント部一体構
体のリード封着孔形成後の要部断面図

【図８】 本発明の第１実施態様のレーザダイオード用
ステムＡの製造工程におけるベース・マウント部一体構
体の打ち抜き後の要部断面図

【図９】 本発明の第１実施態様のレーザダイオード用
ステムＡの製造工程におけるベース・マウント部一体構
体の銅めっき層形成後の要部断面図

【図１０】 本発明の第１実施態様のレーザダイオード
用ステムＡの製造工程におけるベース・マウント部一体
構体のリード封着後の要部断面図

【図１１】 本発明の第１実施態様のレーザダイオード
用ステムＡの製造工程におけるベース・マウント部一体
構体の仕上げめっき層形成後の要部断面図

【図１２】 本発明の第２実施態様のレーザダイオード
用ステムＢの平面図

【図１３】 本発明の第３実施態様のレーザダイオード
用ステムＣの平面図

【図１４】 本発明の第４実施態様のレーザダイオード
用ステムＤにおけるベース・マウント部一体構体の要部
拡大断面図

【図１５】 本発明の第５実施態様のレーザダイオード
用ステムＥにおけるベース・マウント部一体構体の要部
拡大断面図

【図１６】 本発明の第６実施態様のレーザダイオード
用ステムＦにおけるベース・マウント部一体構体の要部
拡大断面図

【図１７】 従来のレーザダイオード用ステムの斜視図

【図１８】 従来のレーザダイオード用ステムの平面図

【図１９】 従来のレーザダイオード用ステムの断面図

【符号の説明】

Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆ レーザダイオード用ステム １、１１、２１、３１、４１、５１ ベース・マウント
部一体構体 ２、１２、２２、３２、４２、５２ 金属ベース部 ３、１３、２３、３３、４３、５３ 素子マウント部 ３ａ ＬＤ素子マウント面 ４ リード封着孔 ５ａ、５ｂ 位置決め用切欠き部 ６ ガラス ７ リード ８ 銅めっき層 ９ 仕上げめっき層 １０ 鉄板材 １３ａ、２３ａ 素子マウント部の周面 ３４、４４、５４ 傾斜面部

フロントページの続き (72)発明者 宮脇 寿仁 滋賀県大津市晴嵐２丁目９番１号 関西日 本電気株式会社内 (72)発明者 奥野 晃 滋賀県大津市晴嵐２丁目９番１号 関西日 本電気株式会社内 Ｆターム(参考） 5F036 BB14

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】金属ベース部のリード封着孔にガラスを介
   してリードを気密に封着するとともに金属ベース部にそ
   の上面よりも突出する素子マウント部を具備してなる気
   密端子において、前記金属ベース部と素子マウント部と
   が単体金属により一体に形成されているとともに、素子
   マウント部にこの素子マウント部の形成材料よりも良熱
   伝導性の金属めっき層が形成されていることを特徴とす
   るレーザダイオード用ステム。
2. 【請求項２】前記金属ベース部および素子マウント部
   が、鉄で形成されていることを特徴とする請求項１記載
   のレーザダイオード用ステム。
3. 【請求項３】前記金属ベース部および素子マウント部
   が、銅−タングステンで形成されていることを特徴とす
   る請求項１記載のレーザダイオード用ステム。
4. 【請求項４】前記めっき層が、銅めっき層であることを
   特徴とする請求項１記載のレーザダイオード用ステム。
5. 【請求項５】前記銅めっき層が、厚さ１０〜５０μｍで
   あることを特徴とする請求項４記載のレーザダイオード
   用ステム。
6. 【請求項６】単体金属材料をプレス成形してリード封着
   孔を有する金属ベース部と素子マウント部とを一体に有
   するベース・マウント部一体構体を製作する工程と、全
   体に銅めっき層を形成する工程と、金属ベース部のリー
   ド封着孔にガラスを介してリードを封着する工程とを有
   することを特徴とするレーザダイオード用ステムの製造
   方法。
7. 【請求項７】前記金属材料が、鉄または銅−タングステ
   ン合金のいずれかであることを特徴とする請求項６記載
   のレーザダイオード用ステムの製造方法。
8. 【請求項８】前記リード封着工程の後、露出金属部分に
   下地ニッケルめっき層の上に金めっき層を積層形成する
   仕上げめっき工程を有することを特徴とする請求項６記
   載のレーザダイオード用ステムの製造方法。