CN201113221Y - 具有组合式散热基板的半导体激光器 - Google Patents
具有组合式散热基板的半导体激光器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN201113221Y CN201113221Y CNU2007200130250U CN200720013025U CN201113221Y CN 201113221 Y CN201113221 Y CN 201113221Y CN U2007200130250 U CNU2007200130250 U CN U2007200130250U CN 200720013025 U CN200720013025 U CN 200720013025U CN 201113221 Y CN201113221 Y CN 201113221Y
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- base plate
- semiconductor laser
- chip carrier
- heat
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Abstract
本实用新型公开一种具有组合式散热基板的半导体激光器,有热电致冷器(1),在热电致冷器(1)上置有散热基板(2),半导体激光器芯片载体(3)置于散热基板(2)上,所述散热基板(2)由小基板(4)、大基板(5)相接而成,所述的半导体激光器芯片载体(3)位于小基板(4)上。小基板可以采用热传导性能好、与芯片载体(陶瓷)热膨胀系数相近的钨铜材料,而大基板则可采用成本低、易加工、与钨铜材料热膨胀系数相近的铁钴镍合金材料。半导体激光器芯片所产生的热量不但可通过小基板(钨铜材料)迅速散出,保证半导体激光器芯片载体、小基板及大基板在环境温度变化时胀缩一致,同时可大大降低制造成本,同时由于铁钴镍合金材料的可加工性,提高了产品成品率,降低了加工成本。
Description
技术领域:
本实用新型涉及一种半导体激光器,尤其是一种散热效果好、加工容易且成本低的具有组合式散热基板的半导体激光器。
背景技术:
由于半导体激光器芯片在工作过程中会发热,若不能及时散热将会导致其温度升高,直接影响半导体激光器的性能和使用寿命。因此,现有半导体激光器都设有热电致冷器,在热电致冷器上置有散热基板,半导体激光器芯片载体置于散热基板上,以便及时将芯片工作时产生的热量通过散热基板传到热电致冷器表面而散掉。同时需要在基板上加工出多个台阶,用以装配半导体激光器的其他零部件。目前所用的散热基板都是采用热传导性能好、与芯片载体(陶瓷)热膨胀系数相近的钨铜材料,不但散热效果好,而且当外部环境温度变化时,芯片载体与散热基板胀缩一致,从而保证两者之间的焊接质量,提高半导体激光器的可靠性。但是,由于现有的散热基板为整块钨铜板,存在着如下缺点:
1.钨铜材料的主要成份为贵重金属钨(80%或85%)、铜(20%-15%),导致钨铜材料成本过高;
2.钨铜材料的硬度很高,加工台阶等形状时需要特别的刀具,而且加工过程中所产生的金属(铜)屑会粘在刀具上,减少刀具的寿命,同时还存在着成品率低的问题,使得加工成本高。
发明内容:
本实用新型是为了解决现有技术所存在的上述问题,提供一种散热效果好、加工容易且成本低的具有组合式散热基板的半导体激光器。
本实用新型的技术解决方案是:一种具有组合式散热基板的半导体激光器,有热电致冷器1,在热电致冷器1上置有散热基板2,半导体激光器芯片载体3置于散热基板2上,所述散热基板2由小基板4、大基板5相接而成,所述的半导体激光器芯片载体3位于小基板4上。
所述大基板5的一端有缺角6,小基板4形状与缺角6吻合且置于缺角6处。
本实用新型是由大、小基板拼接成散热基板,并将半导体激光器芯片载体位于小基板上,这样小基板可以采用热传导性能好、与芯片载体(陶瓷)热膨胀系数相近的钨铜材料,而大基板则可采用成本低、易加工、与钨铜材料热膨胀系数相近的铁钴镍合金材料。半导体激光器芯片所产生的热量不但可通过小基板(钨铜材料)迅速散出,保证半导体激光器芯片载体、小基板及大基板在环境温度变化时胀缩一致,同时可大大降低制造成本,同时由于铁钴镍合金材料的可加工性,提高了产品成品率,降低了加工成本。尤其是将大基板一端制成缺角形状,小基板的形状与缺角吻合且安装于缺角处,使组合式散热基板的整体性得以提高。
附图说明:
图1是本实用新型实施例的结构示意图。
具体实施方式:
下面将结合附图说明本实用新型的具体实施方式。如图1所示:同现有技术相同,有热电致冷器1,在热电致冷器1上置有散热基板2,半导体激光器芯片载体3置于散热基板2上,与现有技术所不同的是散热基板2是由小基板4、大基板5相接而成,所述的半导体激光器芯片载体3位于小基板4上。小基板4可采用热传导性能好、与芯片载体(陶瓷)热膨胀系数相近的钨铜材料,大基板5则可采用成本低、易加工、与钨铜材料热膨胀系数相近的铁钴镍合金材料,用高温(480℃)钎焊到一起。小基板4、大基板5的焊接面可以是竖直的平面,也可以将大基板5的一端的角削去,形成缺角6,如图1所示,是将长方形大基板5的上端直角切去,形成L形面,即缺角6;而小基板4的形状为与L形面吻合的长方形,小基板4焊接在L形面上。
Claims (2)
1. 一种具有组合式散热基板的半导体激光器,有热电致冷器(1),在热电致冷器(1)上置有散热基板(2),半导体激光器芯片载体(3)置于散热基板(2)上,其特征在于:所述散热基板(2)由小基板(4)、大基板(5)相接而成,所述的半导体激光器芯片载体(3)位于小基板(4)上。
2. 根据权利要求1所述的具有组合式散热基板的半导体激光器,其特征在于:所述大基板(5)的一端有缺角(6),小基板(4)形状与缺角(6)吻合且置于缺角(6)处。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CNU2007200130250U CN201113221Y (zh) | 2007-07-02 | 2007-07-02 | 具有组合式散热基板的半导体激光器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CNU2007200130250U CN201113221Y (zh) | 2007-07-02 | 2007-07-02 | 具有组合式散热基板的半导体激光器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN201113221Y true CN201113221Y (zh) | 2008-09-10 |
Family
ID=39964963
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CNU2007200130250U Expired - Fee Related CN201113221Y (zh) | 2007-07-02 | 2007-07-02 | 具有组合式散热基板的半导体激光器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN201113221Y (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011063713A1 (en) * | 2009-11-30 | 2011-06-03 | Huawei Technologies Co.,Ltd. | Thermoelectric cooling apparatus of photonic integrated circuits |
CN103715599A (zh) * | 2013-12-17 | 2014-04-09 | 长春理工大学 | 多单管合束半导体激光器封装壳体 |
-
2007
- 2007-07-02 CN CNU2007200130250U patent/CN201113221Y/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011063713A1 (en) * | 2009-11-30 | 2011-06-03 | Huawei Technologies Co.,Ltd. | Thermoelectric cooling apparatus of photonic integrated circuits |
CN102598439A (zh) * | 2009-11-30 | 2012-07-18 | 华为技术有限公司 | 光子集成电路的有效热电冷却 |
US8337096B2 (en) | 2009-11-30 | 2012-12-25 | Futurewei Technologies, Inc. | Efficient thermoelectric cooling of photonic integrated circuits |
CN102598439B (zh) * | 2009-11-30 | 2015-09-09 | 华为技术有限公司 | 光子集成电路的有效热电冷却 |
CN103715599A (zh) * | 2013-12-17 | 2014-04-09 | 长春理工大学 | 多单管合束半导体激光器封装壳体 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN103457151B (zh) | 一种高温硬焊料准连续半导体激光器巴条叠阵封装方法 | |
US8735729B2 (en) | Double-sided substrate, semiconductor device and method for the same | |
CN103000559A (zh) | 半导体芯片的定位夹具以及半导体装置的制造方法 | |
JP2003152145A (ja) | 半導体放熱用基板とその製造方法及びパッケージ | |
CN201113221Y (zh) | 具有组合式散热基板的半导体激光器 | |
JP5665355B2 (ja) | セラミック部材とフィン付き放熱部材との接合体の製造方法 | |
CN103633550B (zh) | 一种半导体激光器bar条垂直阵列的封装方法 | |
JP2009038162A (ja) | 放熱部品、その製造方法及びパワーモジュール | |
US10957560B2 (en) | Pressure sintering procedure in which power semiconductor components with a substrate are connected to each other via a sintered connection | |
US7223617B2 (en) | Semiconductor laser device and a method of mounting a semiconductor laser component on a submount | |
JP6221590B2 (ja) | 絶縁基板と冷却器の接合構造体、その製造方法、パワー半導体モジュール、及びその製造方法 | |
JP6259625B2 (ja) | 絶縁基板と冷却器の接合構造体、その製造方法、パワー半導体モジュール、及びその製造方法 | |
JP2001358480A (ja) | 複合式ヒートシンク及びその製造方法 | |
CN103021973A (zh) | 一种集成电路气密性封装散热结构 | |
JP2008159946A (ja) | 半導体モジュールの冷却装置およびその製造方法 | |
JPWO2005091363A1 (ja) | ヒートシンク基板とその製造方法 | |
JP5892184B2 (ja) | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
TW202032874A (zh) | 半導體雷射光源裝置 | |
JP5203896B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
US6464409B1 (en) | Package for optical communications modules | |
CN111375855A (zh) | 精密合金与钨铜合金复合结构热沉及其制造方法 | |
JPH04230063A (ja) | 多層ヒートシンク | |
TWM284076U (en) | The structure of the base of the package of a semiconductor device | |
JP4954575B2 (ja) | 銅または銅含有合金からなる放熱板およびその接合方法 | |
CN2938400Y (zh) | 半导体元件的封装基座 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C17 | Cessation of patent right | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20080910 Termination date: 20120702 |