JP2001172035A - セラミックス製板状体の孔あけ方法 - Google Patents

セラミックス製板状体の孔あけ方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】被加工物のチッピングを低減し、ドリル寿命の
長くなる加工方法を提供する。 【解決手段】ドリル1を、軸が円運動をしながら板状体
に切り込む孔あけ方法で、ドリル1は、円錐台状の先端
部分1aと円柱状の基部1b等からなり、先端部分の頂
面の直径が、テーパ角度が3〜30度であり、高さが板
状体の板厚の50〜120%であり、基部の直径が孔直
径の20〜80%である孔あけ方法とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、セラミックス製板
状体に貫通孔を形成する孔あけ方法に関し、特に電子用
の基板となる板ガラスに貫通孔を形成する孔あけ方法に
関する。
【0002】
【従来の技術】板ガラスで代表されるセラミックス製板
状体に貫通孔を形成する孔あけ方法は、板状体の材質、
板厚、孔径等により各種の方法が採用されている。たと
えば、建築用の板ガラス等のように比較的板厚の大きい
板状体(たとえば板厚12mm)に比較的直径の大きい
孔(たとえば直径25mm)を加工する場合にはダイヤ
モンドのコアドリル(円筒形状のドリル)を使用する加
工方法が、加工速度、ドリルの寿命等の点で望ましい。
【0003】一方、電子用の基板(たとえば、プラズマ
ディスプレイパネル用基板)となる板ガラスに貫通孔
(たとえば、排気用の孔)を形成する孔あけでは、比較
的直径の小さい孔(たとえば直径2mm)が一般的であ
り、小径のコアドリルの製作が困難なことより、ラップ
棒と呼ばれる、円柱状の金属棒の周面および端面にダイ
ヤモンド砥粒を形成(電着形成)した工具を使用した加
工方法が一般的である。
【0004】また、ラップ棒を使用した加工方法でも、
単にラップ棒を回転させながら板状体の板厚方向に切り
込んでいく方法以外に、ラップ棒を回転させながら、同
時にラップ棒の軸が円運動をしながら板状体の板厚方向
に切り込んでいく、いわゆるスパイラル運動により孔あ
け加工を行う方法も採用されている。すなわち、ラップ
棒が第一の回転手段で回転運動を与えられるとともに、
ラップ棒を保持する第一の回転手段が、保持台に設けら
れた第二の回転手段により回転運動を与えられる方法で
ある。
【0005】この方法は、加工液(クーラント)の加工
点への供給が効果的に行われ、その結果として工具寿命
が長い利点がある。その他に、1本のラップ棒で各種の
孔径の加工ができる利点もある。
【0006】さらに、上記スパイラル運動による加工方
法において、工具形状を単なる円柱形状とせず、円錐台
と円柱とを組合わせた形状とすることも採用されてい
る。すなわち、工具は先端部分と基部とドリル軸からな
り、先端部分は先端から基部に向かって拡径する円錐台
形状であり、基部は先端部分の円錐台形状の底面の直径
と略同一の直径の円柱形状である構成を採る。
【0007】この工具でスパイラル運動による孔加工を
行う場合には、さらに以下に述べる利点もある。すなわ
ち、上記ドリルを使用しスパイラル運動により徐々に切
り込んでいく場合には、孔形状もテーパ形状の状態で徐
々に深くなっていく。そして、孔が貫通した時点では貫
通部(他の一側)の孔径は設計孔径よりテーパの分だけ
小さくなっている。これにより貫通部におけるチッピン
グが減少できる効果がある。なお、チッピングとは、一
般に脆性体の加工部に生ずる貝殻形状の欠けをいう。
【0008】板ガラスで代表されるセラミックス製板状
体に貫通孔を形成する孔あけでの大きな問題点として、
貫通部におけるチッピングが挙げられる。すなわち、貫
通部分の基板に、貫通時の衝撃による貝殻形状の欠けが
生じる。これを防ぐため、貫通時の切り込み速度を遅く
したり、基板の両側より切り込みを行い基板内部で孔を
貫通させる方法を採ったりして対処している。
【0009】ところが、上記の、工具形状を単なる円柱
形状とせず、円錐台と円柱を組合わせた形状とし、か
つ、スパイラル運動による孔加工を行う方式では、上述
のように貫通部におけるチッピングが減少できる効果が
ある。すなわち、孔が貫通した時点では貫通部(他の一
側)の孔径は設計孔径よりテーパの分だけ小さくなって
いるので、チッピングが生じてもその部分の大半はその
後の加工で除去され、製品の欠陥としてはほとんど残ら
ない。
【0010】上記加工方法を、加工工程順に説明する。
まず、板状体の一側より、上記の円錐台と円柱を組合わ
せた形状のダイヤモンドドリルを回転させるとともに、
該ドリルの軸にも円運動を与え、いわゆるスパイラル運
動させながら一定速度で板状体に切り込んでいく。ドリ
ルの先端が板状体を貫通した時点では、ドリルのテーパ
部と接触している板状体の孔の内壁面は所定の内径まで
加工されておらず、削り残し部となっている。ドリルを
さらに進め切り込んでいくと、削り残し部は徐々に削ら
れていき、基部の先端が板状体の反対側に突き抜けた時
点で孔あけ加工が終了する。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の加工で
はドリルの先端部分のダイヤモンド砥粒の磨耗が多く、
ドリルの基部のダイヤモンド砥粒がまだ磨耗していない
状態でもドリルの先端部分が使用できない状態となり、
その結果ドリルの寿命が早く尽きる。そのため、上記の
加工方法の利点を充分には生かしきれない不具合となっ
ていた。
【0012】したがって、上記従来の加工方法におい
て、ドリルの先端部分と基部のダイヤモンド砥粒の磨耗
が均一となる加工条件の最適化が望まれていた。本発明
は、前述の課題を解決すべくなされたものであり、上記
従来の加工方法においてドリル寿命の長くなる加工方法
を提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明は、板状体の一側
より、回転するドリルを、該ドリルの軸が円運動をしな
がら前記板状体に切り込むセラミックス製板状体の孔あ
け方法であって、前記ドリルとして、先端部分と基部と
ドリル軸からなり、先端部分は先端から基部に向かって
拡径する円錐台形状であり、基部は先端部分の円錐台形
状の底面の直径と略同一の直径の円柱形状であり、先端
部分の円錐台形状の頂面の直径が孔あけする孔直径の2
0〜60%であり、円錐台形状のテーパ角度がドリル軸
の軸心に対し3〜30度であり、円錐台の高さが前記セ
ラミックス製板状体の板厚の50〜120%であり、基
部の円柱の直径が孔あけする孔直径の40〜80%であ
るドリルを使用することを特徴とするセラミックス製板
状体の孔あけ方法を提供する。
【0014】このようなドリル形状とすることで、ドリ
ルの先端部分と基部のダイヤモンド砥粒の磨耗が均一と
なり、ドリル寿命を長くすることができる。上記のドリ
ル形状は、先端部分の円錐台形状の頂面の直径が孔あけ
する孔直径の20〜30%であり、円錐台形状のテーパ
角度がドリル軸の軸心に対し18〜22度の範囲が特に
好ましい。なお、上記円錐台形状とは、円錐台の側面の
断面が直線状である真正の円錐台形状のみならず、断面
が凸状の円弧状または断面が凹状の円弧状のものである
略円錐台形状のものも含むものとする。
【0015】本発明において、前記ドリルの先端部分と
基部が#100〜#400メッシュのダイヤモンドを用
いたダイヤモンド砥石であることが好ましい。このよう
なサイズのダイヤモンド砥粒を使用したダイヤモンド砥
石であれば、加工速度および仕上がり精度の両方の要求
が満足できる。
【0016】また、本発明において、前記ドリルの先端
部分が#100〜#200メッシュのダイヤモンドを用
いたダイヤモンド砥石であり、基部が#200〜#40
0メッシュのダイヤモンドを用いたダイヤモンド砥石で
あることが好ましい。ダイヤモンド砥粒の磨耗が多い先
端部分に粒サイズの比較的大きいダイヤモンド砥粒を使
用すればダイヤモンド砥粒の磨耗速度が遅くなる。ま
た、基部に粒サイズの比較的小さいダイヤモンド砥粒を
使用すれば加工部の仕上がり精度が向上する。
【0017】また、本発明において、前記セラミックス
製板状体が板ガラスであることが好ましい。すなわち、
チッピング発生の多い板ガラスに本発明の方法が特に有
効である。
【0018】
【実施例】[実施例]図1は、本発明の実施例で使用す
るドリルの形状を示す正面図である。先端部分1aの円
錐台は、頂面の直径D1が1mm、底面の直径D2が
2.6mm、高さL1が2mmである。基部1bの円柱
は、直径D2が2.6mm、高さL2が5.0mmであ
る。基部1bの端面からはドリル軸1cが延設されてお
り、先端部分1a、基部1bおよびドリル軸1cは同心
に加工されている。先端部分1aには#270のダイヤ
モンド砥粒層が、基部1bには#270のダイヤモンド
砥粒層が、それぞれ電着により形成されている。
【0019】被加工物である板状体として板ガラスを使
用した。1000×600mmの板ガラス(旭硝子
(株)製、商品名:PD200)を使用した。板ガラス
の板厚は2.8mm、設計孔径は4mmである。したが
って、先端部分1aの円錐台形状の頂面の直径は、孔あ
けする孔直径の25%となり、円錐台の高さは前記セラ
ミックス製板状体の板厚の71%となり、基部の円柱の
直径は孔あけする孔直径の65%となる。また、円錐台
形状のテーパ角度θはドリル軸1cの軸心に対し20度
となる。
【0020】ドリルの回転数は、毎分20000回転、
ドリル軸の偏心量(ドリル軸が円運動するときのドリル
軸軌跡の直径)は、0.5mm、ドリル軸の偏心回転数
は、毎分75回転、ドリルの切り込み速度は、毎分4m
mとした。加工時に供給するクーラント(研削液)には
水道水を使用した。クーラントの供給量は毎分約4リッ
トルである。図3に、ドリルの動きを概念図として示
す。同図において、矢印3は、クーラントの流れを示
す。
【0021】図5は、本発明の実施例において、ドリル
貫通時の板状体の孔形状を示す断面図である。同図にお
いて、切り残し部2aは、ドリル貫通時において設計孔
形状と比較した切り残し部分である。本実施例では、こ
の状態からさらに切り込みを続行し、基部1bの先端が
基板の反対側に完全に抜け出すまで行う。その後、切り
込み運動を停止し、ドリル軸の偏心量を徐々に増加さ
せ、設計寸法の孔径まで加工した時点で加工を終了させ
る。なお、偏心量(ドリル軸が円運動するときのドリル
軸軌跡の直径)の増加速度、すなわち、第二の回転手段
を有する保持台に対する第一の回転手段の孔径方向の移
動速度は、毎分4mmである。本実施例ではこのよう
な、切り込みと拡径手段の二段階の加工を採用したが、
切り込み加工の段階で設計寸法の孔径まで加工する方法
であってもよい。
【0022】[比較例]図2は、従来方法である比較例
で使用するドリルの形状を示す正面図である。先端部分
1aの円錐台は、頂面の直径D1が1.8mm、底面の
直径D2が2.6mm、高さL1が1mmである。基部
1bの円柱は、直径D2が2.6mm、高さL2が5.
0mmである。基部1bの端面からはドリル軸1cが延
設されており、先端部分1a、基部1bおよびドリル軸
1cは同心に加工されている。先端部分1aには#27
0のダイヤモンド砥粒層が、基部1bには#270のダ
イヤモンド砥粒層が、それぞれ電着により形成されてい
る。
【0023】被加工物である板状体には、実施例と同じ
板ガラスを使用した。板ガラスの板厚は2.8mm、設
計孔径は4mmである。したがって、先端部分1aの円
錐台形状の頂面の直径は、孔あけする孔直径の45%と
なり、円錐台の高さは前記セラミックス製板状体の板厚
の35.7%となり、基部の円柱の直径は孔あけする孔
直径の65%となる。また、円錐台形状のテーパ角度θ
はドリル軸1cの軸心に対し24.2度となる。
【0024】ドリルの回転数、ドリル軸の偏心量、ドリ
ル軸の偏心回転数、ドリルの切り込み速度、供給するク
ーラントの条件、等は実施例と同一とした。図4に、ド
リルの動きを概念図として示す。同図において、矢印3
は、クーラントの流れを示す。
【0025】図6は、比較例において、ドリル貫通時の
板状体の孔形状を示す断面図である。同図において、切
り残し部2aは、ドリル貫通時において設計孔形状と比
較した切り残し部分である。比較例では、実施例と同様
に、この状態からさらに切り込みを続行し、基部1bの
先端が基板の反対側に完全に抜け出すまで行い、その
後、切り込み運動を停止し、ドリル軸の偏心量を徐々に
増加させ、設計寸法の孔径まで加工した時点で加工を終
了させる。なお、偏心量の増加速度、すなわち、第二の
回転手段を有する保持台に対する第一の回転手段の孔径
方向の移動速度は、実施例と同一である。
【0026】[実施例と比較例との対比]図7は、本発
明の実施例および比較例において、研削負荷の推移を示
すグラフである。なお、研削負荷とは、研削加工時に被
研削物からドリルへ向かって垂直方向に加わる荷重、す
なわちドリルの軸方向の荷重である。該研削負荷は次の
ようにして測定した。
【0027】研削加工を行わない状態(ドリルの回転お
よびドリル軸の円運動を停止した状態)で、ドリルの軸
方向に所定の荷重を加え、そのときのドリル回転手段の
変位量(モータ筐体後部の変位量)を位置センサ(たと
えば、リニヤゲージ)で測定し、荷重と変位量との関係
を求めた。この測定を数種類の荷重に対して行い、荷重
−変位量の関係図を作成した。そして、研削加工時にも
ドリル回転手段の変位量を位置センサで測定し、荷重−
変位量の関係図より研削負荷を求めた。
【0028】実施例の場合、比較例の場合のいずれにお
いても、新品のドリルを装着した直後(同図の、加工孔
数が1のとき)では、研削負荷は4.9N程度である。
実施例の場合、比較例の場合のいずれにおいても加工孔
数が増すに従い研削負荷が上昇する。ただし、研削負荷
の上昇速度は異なっている。比較例の場合では40孔加
工時点で研削負荷が約14.7Nになった。そしてこの
時点で基板にチッピングが生じ加工を続行できなくなっ
た。これに対し、実施例の場合では120孔加工時点で
研削負荷が約14.7Nになった。ただし、この時点で
も基板にチッピングは生じず、加工を続行できる。
【0029】図8は、本発明の実施例および比較例にお
いて、ドリル寿命を示すグラフである。比較例の7例で
は、ドリル寿命はいずれも50孔に及ばないレベルであ
るのに対し、実施例の3例では、いずれも100孔を超
えている。
【0030】このような効果は以下の原理によって達成
できると考えられる。まず、ドリルの先端部分の円錐台
形状のテーパ角度を小さくすることにより先端部分の長
さが長くなり、その結果先端部分の面積も増える。これ
により、先端部分のダイヤモンド砥粒数も増え、各ダイ
ヤモンド砥粒が負担する負荷が減少し、ダイヤモンド砥
粒の磨耗も少なくなる。
【0031】また、ドリルの先端部分の長さが長くなる
ことで、先端部分の先端へのクーラントの供給の効果が
増し、その結果ダイヤモンド砥粒の磨耗も少なくなる。
以上に述べたようなメカニズムにより、ダイヤモンド砥
粒の磨耗も少なく、その結果砥石の寿命が大幅に向上す
るものと推測される。
【0032】品質面では、ドリルの先端部分の先端径が
小さく、ドリルが貫通したときの衝撃が小さくその結果
チッピングが低減するものと推測される。また、ドリル
が貫通したときの切り残し部(未加工領域)が多く、そ
の結果チッピングが低減するものと推測される。以上に
述べた理由より従来例にない顕著な効果が得られるもの
と考えられる。
【0033】なお、実施例では、ダイヤモンド砥石は、
ダイヤモンド砥粒層が電着により形成されているいわゆ
る電着砥石を使用したが、これに限られずメタルボン
ド、ビトリファイドボンド、レジンボンド等による、い
わゆるボンド砥石を使用しても同様の効果が得られる。
また、ドリル回転数、偏心回転数、ドリルの切り込み速
度等の加工条件は、実施例の条件に限られず、板状体の
材質、板厚等に応じて各種の組合せが適用できる。
【0034】上記以外の要素として、先端部分と基部と
におけるダイヤモンド砥粒サイズの組合せを選択するこ
とにより、砥石寿命の最適化もできる。たとえば、ドリ
ルの先端部分に#170メッシュのダイヤモンドを用
い、基部に#325メッシュのダイヤモンドを用いたダ
イヤモンド砥石の場合である。この場合、ダイヤモンド
砥粒の磨耗が速いドリルの先端部分に比較的砥粒粒径の
大きいダイヤモンド砥粒を用いるので、該部分の砥粒寿
命は長くなり、孔あけ加工の終了時に使用するドリルの
基部に比較的砥粒粒径の小さいダイヤモンド砥粒を用い
るので、加工部位の品質が向上するという効果が得られ
る。本実施例では板ガラスの加工について説明したが、
他のセラミックス製板状体でも同様の効果が得られる。
【0035】
【発明の効果】本発明により、セラミックス製板状体に
対し孔加工に使用するドリル寿命を大幅に長くすること
ができる。これにより、ドリルコストの低減、ドリル交
換に伴うジョブチェンジによる稼働率低下の防止、加工
歩留の向上等の効果が得られ、生産性向上、コストダウ
ンに寄与できる。また、品質面においてもチッピングが
低減する等の効果が得られる。上記効果は、特にセラミ
ックス製板状体に小径の孔あけをする場合に著しい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例で使用するドリルの形状を示す
正面図。
【図2】比較例で使用するドリルの形状を示す正面図。
【図3】本発明の実施例においてドリルの動きを説明す
る概念図。
【図4】比較例においてドリルの動きを説明する概念
図。
【図5】本発明の実施例において、ドリル貫通時の板状
体の孔形状を示す断面図。
【図6】比較例において、ドリル貫通時の板状体の孔形
状を示す断面図。
【図7】本発明の実施例および比較例において、研削負
荷の推移を示すグラフ。
【図8】本発明の実施例および比較例において、ドリル
寿命を示すグラフ。
【符号の説明】
1:ドリル 1a:先端部分 1b:基部 1c:ドリル軸 2:板状体 2a:切り残し部 3:クーラントの流れ

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】板状体の一側より、回転するドリルを、該
    ドリルの軸が円運動をしながら前記板状体に切り込むセ
    ラミックス製板状体の孔あけ方法であって、 前記ドリルとして、先端部分と基部とドリル軸からな
    り、先端部分は先端から基部に向かって拡径する円錐台
    形状であり、基部は先端部分の円錐台形状の底面の直径
    と略同一の直径の円柱形状であり、先端部分の円錐台形
    状の頂面の直径が孔あけする孔直径の20〜60%であ
    り、円錐台形状のテーパ角度がドリル軸の軸心に対し3
    〜30度であり、円錐台の高さが前記セラミックス製板
    状体の板厚の50〜120%であり、基部の円柱の直径
    が孔あけする孔直径の40〜80%であるドリルを使用
    することを特徴とするセラミックス製板状体の孔あけ方
    法。
  2. 【請求項2】前記ドリルの先端部分と基部が#100〜
    #400メッシュのダイヤモンドを用いたダイヤモンド
    砥石である請求項1に記載のセラミックス製板状体の孔
    あけ方法。
  3. 【請求項3】前記ドリルの先端部分が#100〜#20
    0メッシュのダイヤモンドを用いたダイヤモンド砥石で
    あり、基部が#200〜#400メッシュのダイヤモン
    ドを用いたダイヤモンド砥石である請求項1に記載のセ
    ラミックス製板状体の孔あけ方法。
  4. 【請求項4】前記セラミックス製板状体が板ガラスであ
    る請求項1、2または3に記載のセラミックス製板状体
    の孔あけ方法。
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